JP4182311B2

JP4182311B2 - Linear motor control method and apparatus

Info

Publication number: JP4182311B2
Application number: JP32061999A
Authority: JP
Inventors: 秀和宮河; 暁洋山本
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 1999-11-11
Filing date: 1999-11-11
Publication date: 2008-11-19
Anticipated expiration: 2019-11-11
Also published as: JP2001136767A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、リニアモータを駆動制御する方法とその装置に関し、特にリニアモータの高精度送りを実現する上で制御パラメータの高ゲイン化が必要であるときのキーとなる機械の固有振動対策を施す制御手段に係る。
【０００２】
【従来の技術】
これまでのリニアモータの構成例で、固有振動対策を施した従来例としては、例えば特開平９−１２１５８９号公報に掲載されているのがそれである。この従来例のリニアモータの駆動回路のブロック構成図を、図８に示す。これは図８に示すように、固定子側に配列された界磁マグネットと、この界磁マグネットと磁気空隙を介して移動可能に設けられた電機子コイル８１４Ａ，８１４Ｂ，８１４Ｃを有する移動体８０６とを具備する可動コイル型リニアモータ８０２であって、移動体８０６に設けた位置読出し部８２２からの信号に基づいて移動体８０６の位置を認識するエンコーダ部８２４と、界磁マグネットの磁極を検出するための磁極検出部８１６と、エンコーダ部８２４からの位置信号と位置指令信号とに基づいて制御信号を求める制御部８２６と、この制御部８２６の制御信号と磁極検出部８１６からの磁極検出信号に基づいて電機子コイル８１４Ａ，８１４Ｂ，８１４Ｃに供給する駆動電流を形成する駆動部８４４と、制御信号あるいは磁極検出信号から可動コイル型リニアモータ８０２の固有振動周波数と実質的に同一の周波数帯域の信号成分を減衰させる帯域減衰フィルタ部８４２とを備えるように構成することによって、帯域減衰フィルタ部８４２にて固有振動周波数と同一周波数成分の信号を減衰させ、移動体８０６の共振を抑制するものである。
【０００３】
ところで一般的にリニアモータおいては、可動部の質量と軸受の剛性により、ヨーイング(yawing・偏揺れ),ピッチング(pitching・縦揺れ),ローリング(rolling・横揺れ)の３つの固有振動モードを有する[図９参照]。そこで、特開平９−１２１５８９号公報以前の通常のリニアモータにおいては、位置(あるいは速度)センサでは目標指令値に対する動作量の他に、これらの振動成分を含んだ信号が検出される。よって、制御器にフィードバックされる信号に振動成分が含まれるため、機械的固有振動数で発振する現象が生じる。これを図１０に示し、制御に甚だしい障害となっていたことが分かる。
それで、先の特開平９−１２１５８９号公報では、予めリニアモータの機械的固有振動数に一致する周波数の帯域減衰フィルタ８４２を制御部８２６に設けて、機械の振動を除去し、ホスト・ホストコンピュータよりの位置指令信号(目標指令値)に対する追従性を向上させている[図１１参照]。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところがこの従来技術 [特開平9-121589号公報] では、1 つの機械的固有振動数にのみ対応しており、制御性能に影響を与える機械的固有振動数が２つ以上ある場合に、対応できないという問題がある。また、可動部の質量や経年変化により軸受の剛性が変化した場合、制御器に設定した周波数と機械的固有振動数との間にずれが生じるため、振動抑制ができなくなるという問題がある [図12参照] 。
ここにおいて本発明では、このような機械的固有振動数が変化する場合や、２つ以上の機械的固有振動数が存在する場合でも、これらの振動を抑制し、高速、かつ高精度な動作を可能とするリニアモータの制御方法およびその装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１の発明は、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の状態量と、前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度および回転角速度の状態量を、センサによって計測された前記可動部の変位または速度と、前記可動部に作用させる推力の指令値と、から推定し、この推定された前記重心点における位置または速度の状態量をフィードバックして、前記可動部の位置および速度を制御することを特徴とするリニアモータの制御方法である。
リニアモータの機械的固有振動モード（ピッチング，ヨーイング，ローリング）では、可動部の重心点が振動の節となる。よって重心点における位置または速度の情報には、これらの振動成分が含まれない。この現象を利用して、重心点における位置や速度を制御器にフィードバックすれば、機械的固有振動の影響を受けない制御を行うことが可能である。
また、振動成分のみを制御器にフィードバックすると、振動の周波数，減衰を制御することが可能となる。従って、このようなリニアモータの機械的な固有の振動メカニズムに着目し、リニアモータの力学モデルを定式化した。この式をオブザーバとして制御系に組み込むことで、機械的固有振動成分を含まない重心点の位置，速度情報や機械的固有振動成分のみの分離を可能とした。
つまり、本発明の請求項１の発明によれば、先の従来の制御手段の問題点を解決するために、位置もしくは速度センサの情報と速度制御器から出力された推力指令の信号より、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の情報を推定し、この推定値を制御器にフィードバックするリニアモータの制御方法である。例えば可動部の質量が変化した場合でも、ノッチフィルタ[可変帯域フィルタ]を使用しなくても、その他制御系で予め予測設定した振動周波数が外乱でずれが生じた場合でも、機械的固有振動数の影響を全く受けることなく、被制御体（ワーク）の位置及び速度の制御が高精度送りを実現する上での制御パラメータのハイゲイン化の要求を完璧に充足できるという特段の効果を奏することが可能である。
【０００６】
本発明の請求項２の発明は、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の状態量と、前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度および回転角速度の状態量を、センサによって計測された前記可動部の変位または速度と、前記可動部に作用させる推力の指令値と、から推定し、この推定された前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度または回転角速度の状態量をフィードバックして、前記可動部の位置および速度を制御することを特徴とするリニアモータの制御方法である。
【０００７】
本発明の請求項３の発明は、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の状態量と、前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度および回転角速度の状態量を、センサによって計測された前記可動部の変位または速度と、前記可動部に作用させる推力の指令値と、から推定し、この推定された前記重心点における位置または速度の状態量と、前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度または回転角速度の状態量とをフィードバックして、前記可動部の位置および速度を制御することを特徴とするリニアモータの制御方法である。
【０００８】
本発明の請求項２および請求項３の発明によれば、さらに、推定された前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度または回転角速度の状態量を用いてフィードバック制御が行われることで、きめ細かい制振作用が働き、さらなる高速・高精度の制御が可能になり、斯界に裨益するところ大と言える。
【０００９】
本発明の請求項４の発明は、目標指令値と推定位置情報との偏差を受け入れる位置制御器と、この位置制御器からの出力と推定速度情報との偏差を受け入れる速度制御器と、この速度制御器から出力された推力指令値に従いリニアモータおよび可動部を駆動させるドライブ部と、そのドライブ部の出力で駆動されるリニアモータおよび可動部と、この可動部と機台との相対的な位置を計測して位置情報を出力するセンサと、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の状態量と、前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度および回転角速度の状態量を、前記センサによって計測された前記位置情報と、前記速度制御器から出力された前記推力指令値と、から推定するオブザーバと、を備え、前記位置制御器には前記オブザーバで推定された前記重心点における位置の状態量を前記推定位置情報としてフィードバックさせ、前記速度制御器には前記オブザーバで推定された前記重心点における速度の状態量を前記推定速度情報としてフィードバックさせて、前記可動部の位置または速度を制御することを特徴とするリニアモータの制御装置である。
【００１０】
本発明請求項５の発明は、目標指令値と位置情報との偏差を受け入れる位置制御器と、この位置制御器からの出力と速度情報との偏差を受け入れる速度制御器と、この速度制御器から出力された推力指令値に従いリニアモータおよび可動部を駆動させるドライブ部と、そのドライブ部の出力で駆動されるリニアモータおよび可動部と、この可動部と機台との相対的な位置を計測して位置情報を出力するセンサと、前記位置情報を微分演算して速度情報を出力する微分演算器と、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の状態量と、前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度および回転角速度の状態量とを、前記センサによって計測された前記位置情報と、前記速度制御器から出力された前記推力指令値と、から推定するオブザーバと、を備え、前記ドライブ部には前記オブザーバで推定された前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度または回転角速度の状態量に所定のゲインを乗じて前記推力指令値と加算した値を入力させて、前記可動部の位置または速度を制御することを特徴とするリニアモータの制御装置である。
【００１１】
本発明請求項６の発明は、目標指令値と推定位置情報との偏差を受け入れる位置制御器と、この位置制御器からの出力と推定速度情報との偏差を受け入れる速度制御器と、この速度制御器から出力された推力指令値に従いリニアモータおよび可動部を駆動させるドライブ部と、そのドライブ部の出力で駆動されるリニアモータおよび可動部と、この可動部と機台との相対的な位置を計測して位置情報を出力するセンサと、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の状態量と、前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度および回転角速度の状態量とを、前記センサによって計測された前記位置情報と、前記速度制御器から出力された前記推力指令値と、から推定するオブザーバと、を備え、前記位置制御器には前記オブザーバで推定された前記重心点における位置の状態量を前記推定位置情報としてフィードバックさせ、前記速度制御器には前記オブザーバで推定された前記重心点における速度の状態量を前記推定速度情報としてフィードバックさせ、前記ドライブ部には前記オブザーバで推定された前記重心点を中心とした前記可動部の回転角度または回転角速度の状態量に所定のゲインを乗じて前記推力指令値と加算した値を入力させて、前記可動部の位置または速度を制御することを特徴とするリニアモータの制御装置である。
【００１２】
この本発明の請求項４乃至請求項６の発明によれば、請求項１乃至請求項３の発明と同様な優れた効果が発揮できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。全ての図面において、同一符号は同一もしくは相当部材を示す。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態におけるリニアモータの制御を行う電気的回路の構成を示すブロック図である。図２は、その主としてリニアモータ及び可動部周辺の機構を表す斜視図である。可動部１は電機子コイル２と一体となっており、固定側となる機台３に取付けられたレール４に対して、軸受５を用いて一定方向にのみ可働する。推力を発生するマグネット６は機台３に固着されている。電機子コイル２は、マグネット６に対向している。スケール７は機台３に取付けられ、可動部１の動作位置を測定するものであり、位置検出センサ８は可動部１に取付けられていて、スケール７から可動部１の位置を検出するものである。まずこの制御手段は、目標指令値９と可動部１に取付けられたセンサ８で検出した位置および速度の情報１０を比較し、偏差をとり、この偏差より制御演算を行い、推力指令１１を算出する。ドライブ部１０５は推力指令１１に相当する電流１２をリニアモータへ出力する。制御器では多くの場合、比例・積分・微分制御という制御則が用いられている。
【００１５】
位置制御器１０２には目標指令値９とオブザーバ１０７で推定した可動部重心点の位置情報１６との偏差が取り込まれる。速度制御器１０４には位置制御器１０２の出力とオブザーバ１０７で推定した可動部重心点の速度情報１７との偏差が取り込まれる。オブザーバ１０７から出力される位置および速度情報は、リニアエンコーダ[以下、単に『センサ』という]８からの位置情報１０と速度制御器１０４から出力される推力指令値１１から推定される。ドライブ部１０５では推力指令値１１に相当する電流１２が出力され、その電流１２により、リニアモータ１０６が駆動される。可動部１の位置情報１０は、センサ８によって検出され、オブザーバ１０７に取り込まれる。
【００１６】
図８の従来例の制御装置との相違点は、センサ８によって検出された位置情報10を直接に制御器102,104 にフィードバックするのではなく、センサ８の位置情報10と推力指令値11よりオブザーバ107 で可動部１の重心点の位置情報16, 速度情報17を推定して制御器102,104 にフィードバックしていることである。
この実施の形態により、機械的固有振動の影響を受けずに制御が可能となり、高速かつ高精度な制御が実現できる。
【００１７】
初めに機械モデルについて言及しておく。オブザーバを構成するために、リニアモータ駆動の可動部１の振動メカニズムの定式化を行う。軸受５の横（Ｙ）方向、上下（Ｚ）方向の剛性および摺動面の粘性摩擦、クーロン摩擦をモデル化する必要がある。
Ｆ＝Ｍｄ^２Ｘ／ｄｔ^２＋ＣｄＸ／ｄｔ＋ＫＸ＋Ｆ_ｃ…（１式）
ここで、Ｘは可動部１の重心点における状態量を表すベクトルであり、重心点における位置と重心点を中心とした可動部の回転角度の状態量を表す。Ｍ，Ｃ，Ｋはそれぞれリニアモータの質量、減衰、剛性を表す行列、Ｆはリニアモータの推力、Ｆ_ｃはリニアモータのクーロン摩擦を表すベクトルである。物体が弾性支持されている振動絶縁装置の運動方程式より、（１式）に示した行列成分とベクトル成分を求めた。
【数１】
Ｘ＝（ｘ _ｇｙ _ｇｚ _ｇ θ _ｘ θ _ｙ θ _ｚ） ^Ｔ …（２式）
【００１８】
ここで、ｘ、ｙ、ｚは、それぞれ、リニアモータの動作方向、可動部のピッチング動作をなす軸となる方向、可動部のヨーイング動作をなす軸となる方向、Ｆ _ｘは可動部に与えられるリニアモータの推力（Ｎ）、ｘ_ｇ，ｙ_ｇ，ｚ_ｇはそれぞれ可動部重心点のｘ、ｙ、ｚ方向の変位（ｍ）、ｍは可動部質量（ｋｇ）、Ｉは可動部重心点周りの慣性テンソル（ｋｇ・ｍ^２）［対角項が慣性モーメント、非対角項は慣性乗積］、Ｃ_ｔは可動部摺動面の粘性摩擦（Ｎ・ｓ・ｍ）、Ｃ_ｙ，Ｃ_ｚは重心点におけるヨーイング方向およびピッチング方向の減衰［Ｎ・ｍ・（ｓ／ｒａｄ）］、ｉは可動部の軸受の番号、ａ_ｉｘ，ａ_ｉｙ，ａ_ｉｚはそれぞれ重心点から軸受ｉまでのｘ、ｙ、ｚ方向の距離、Δｙ，Δｚはそれぞれ重心点から推力作用点までのｙ、ｚ方向の距離（ｍ）、θ_ｘ，θ_ｙ，θ_ｚはそれぞれ可動部重心点のｘ軸まわり、ｙ軸まわり、ｚ軸まわりの回転角度（ｒａｄ）、Ｃ_ｃｔは可動部摺動面のクーロン摩擦（Ｎ）、Ｋ_ｉｙ，Ｋ_ｉｚは軸受ｉの横方向と上下方向の剛性、Ｔは転置を意味する。
（２式）より、リニアモータ駆動可動部の振動は重心点位置を基準とした回転振動（ヨーイング、ピッチング、ローリング）と並進振動（translative vibration本発明の制御手段には余り関連がない）であることが分かる。
次に、（２式）より得られたθ_ｙ，θ_ｚ，ｘ_ｇを用いて運動学計算し、センサ点の変位を算出する。ただし、ロール角θ_ｘは制御性能には影響しないため、省略する。
センサ点の変位ｘ_sは、
ｘ_ｓ＝（−Ｓ_ｙsinθ_ｚ＋Ｓ_ｘcosθ_ｚcosθ_ｙ＋Ｓ_ｚcosθ_ｚsinθ_ｙ＋ｘ_ｇ）−Ｓ_ｘ…（３式）
と表すことができる。ここでＳ_ｘ，Ｓ_ｙ，Ｓ_ｚは重心点からセンサまでのｘ、ｙ、ｚ方向の距離（ｍ）である。
【００１９】
そしてオブザーバ１０７の構成について説明する。先に示した機械モデルを基にオブザーバ１０７を構成する。慣性乗積の項は十分小さく、慣性乗積の項は十分小さいことから、演算を簡略化するため、Ｉ _ｘｙ，Ｉ _ｙｚ，Ｉ _ｚｚ ≒０、 sin θ≒θ， cos θ≒１の近似を行った。
オブザーバ１０７における演算式は次の（４ａ式）、（４ｂ式）のように表せる。
【数２】
【００２０】
【数３】
【数４】
【数５】
【００２１】
（第２の実施の形態）
図３は、オブザーバによる可動部重心点の位置情報の推定の代わりにリニアモータの機構で構成した第２の実施の形態の斜視図である。この場合、可動部１の重心点１３上にレーザセンサ１５の反射板１４[図示する可動部表面上の開溝側面でレーザセンサに対向する表面を指す]を配置する。機台３にレーザセンサ１５を設置し、可動部重心点１３上の位置を検出する。検出した位置情報はピッチングやヨーイングの振動成分を含まない信号であり、この信号を制御器１０２，１０４にフィードバックすることで、図２に示すオブザーバ１０７による制振制御と同様に機械的固有振動数の影響をうけずに高速かつ高精度な動作が可能となる。
【００２２】
（第３の実施の形態）
図４は、本発明の第３の実施の形態における回路の構成を示すブロック図である。
位置制御器102 には、目標指令値９とセンサ８の位置情報10との偏差が取り込まれる。速度制御器104 にはセンサ８の位置情報10を差分演算 [ここではディジタル演算であるが、アナログ演算の場合は微分演算である] した速度情報20と位置制御器との偏差が取り込まれる。速度制御器104 では、推力指令値11を出力する。センサ８によって検出された位置情報10と推力指令値11よりオブザーバ107 で可動部１の重心点の回転角情報18と回転角速度情報19を推定し、回転角フィードバックゲインＫ1,角速度フィードバックゲインＫ2 を乗じて推力指令値11に加算する。ドライブ部105 では推力指令値11に相当する電流12が出力され、その電流12により、リニアモータ106 が駆動される。可動部１の位置情報10はセンサ８によって検出され、オブザーバ107 と制御器に取り込まれる。
【００２３】
この実施の形態により、機械的固有振動数を除去した制御が可能となり、高速かつ高精度な動作が実現できる。本実施の形態では、１つの機械的固有振動モードの回転角と回転角速度のみを推定し、フィードバックしているが、２つ以上の機械的固有振動モードに対しても可能である、つまり制振制御が常に連続して行われているので逐次変化する機械的固有振動モードに対応できることは自明である。オブザーバ１０７による推定の代わりに、リニアモータの機構で構成することも可能である。その場合、可動部１にジャイロセンサ[不図示]を配置する。これにより可動部の回転角情報，回転角速度情報のみを検出し、制御器にフィードバックすることで機械的固有振動数の影響を受けずに高速かつ高精度な動作が可能となる。
【００２４】
（第４の実施の態様）
図５は、本発明の第４の実施の形態における回路の構成を示すブロック図である。位置制御器１０２には目標指令値９とオブザーバ１０７で推定した可動部重心点の位置情報１６との偏差が取り込まれる。速度制御器１０４には、位置制御器１０２の出力とオブザーバ１０７で推定した可動部重心点の速度情報１７との偏差が取り込まれる。速度制御器１０４では、推力指令値１１を出力する。センサ８によって検出された位置情報１０と推力指令値１１によりオブザーバ１０７で可動部１の重心点における位置情報１６,速度情報１７と重心点の回転角情報１８,回転角速度情報１９を推定する。推定した回転角情報１８と回転角速度情報１９は、それぞれ回転角フィードバックゲインＫ１,角速度フィードバックゲインＫ２を乗じて推力指令値１１に加算する。ドライブ部では推力指令値１１に相当する電流１２が出力され、その電流１２により、リニアモータ１０６が駆動される。可動部１の位置情報１０はセンサ８によって検出され、オブザーバ１０７と制御器１０２，１０４に取り込まれる。この第４の実施の態様により、機械的固有振動数の影響を受けずに制御が可能となり、高速かつ高精度な動作が実現できる。また、この第４の実施の態様では、１つの固有振動モードの回転角と回転角速度のみを推定し、フィードバックしたが、２つ以上の固有振動モードに対して、推定し、フィードバックすることも可能である、すなわち、制御は連続してセンサからの検出された位置または速度情報により演算されるから、円滑に高速かつ高精度の制振制御ができる。
【００２５】
図６は、本発明を用いた場合の可動部の応答速度の時間の推移による変化曲線特性図である。
図11の従来技術( 帯域減衰フィルタを使った場合) と同等な効果が得られている。さらに、機械的固有振動数が変化した場合でも、図12の従来技術( 帯域減衰フィルタを使った場合) に比べ制振が可能である[ 図７参照] 。
さらに、本発明の全ての実施の態様において、図６，図７の結果が得られる。
【００２６】
【発明の効果】
以上のような、本発明の制御方法および制御装置を用いることで、機械的固有振動数の影響を受けずにリニアモータの制御が可能になるという特段の効果を奏する。
すなわち、リニアモータの機械的固有振動モード（ピッチング，ヨーイング，ローリング）では、可動部の重心点が振動の節となる。よって重心点における位置または速度の情報には、これらの振動成分が含まれない。この現象を利用して、重心点における位置や速度を制御器にフィードバックすれば、機械的固有振動の影響を受けない制御を行うことが可能である。また、振動成分のみを制御器にフィードバックすると、振動の周波数，減衰を制御することが可能となる。従って、このようなリニアモータの機械的な固有の振動メカニズムに着目し、リニアモータの力学モデルを定式化した。この式をオブザーバとして制御系に組み込むことで、機械的固有振動成分を含まない重心点の位置，速度情報や機械的固有振動成分のみの分離を可能とした。
【００２７】
つまり、本発明によれば、先の従来の制御手段の問題点を解決するために、位置もしくは速度センサの情報と速度制御器から出力された信号より、リニアモータ可動部の重心点における位置および速度の情報を推定し、この推定値を制御器にフィードバックするリニアモータの制御方法である。
例えば可動部の質量が変化した場合でも、ノッチフィルタを使用しなくても、その他制御系で予め予測設定した振動周波数が外乱でずれが生じた場合でも、機械的固有振動数の影響を全く受けることなく、被制御体（ワーク）の位置及び速度の制御が高精度送りを実現する上での制御パラメータのハイゲイン化の要求を完璧に充足できるという顕著な効果を発揮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態におけるリニアモータの制御を行う電気的回路の構成を示すブロック図
【図２】本発明の第１の実施の形態の主としてリニアモータ及び可動部周辺の機構を表す斜視図
【図３】本発明の第２の実施の形態を表すオブザーバによる可動部重心点の位置情報の推定の代わりにリニアモータの機構で構成した斜視図
【図４】本発明の第３の実施の形態における回路の構成を示す制御ブロック図
【図５】本発明の第４の実施の形態における回路の構成を示す制御ブロック図
【図６】本発明を用いた場合の可動部の速度応答の時間経過図
【図７】本発明を用いた場合の固有振動が変化したときの可動部の速度応答の時間経過図
【図８】従来例〔例えば特開平９−１２１５８９号公報に掲載されている〕リニアモータの駆動回路の制御ブロック構成図
【図９】一般的なリニアモータにおける可動部の有する振動モードの説明図で、(a)はヨーイング・モード、(b)はピッチング・モード、(c)はローリング・モードを表す
【図１０】一般的なリニアモータの制御装置で駆動した場合の可動部の速度応答の時間経過からの振動状態図〔制御に甚だしい障害となっていた〕
【図１１】従来技術〔特開平９−１２１５８９号公報〕で帯域減衰フィルタを用いた場合の可動部の速度応答の時間経過からの振動状態図
【図１２】従来技術（帯域減衰フィルタ）で固有振動数が変化した場合の可動部の速度応答の時間経過からの振動状態図[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a method and apparatus for controlling the driving of a linear motor, and in particular, measures against natural vibrations of a machine that is a key when a high gain of a control parameter is necessary to realize high-precision feed of the linear motor. The control means.
[0002]
[Prior art]
As a conventional example of the configuration of the linear motor so far and taking a countermeasure against natural vibration, it is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-121589. FIG. 8 shows a block configuration diagram of a driving circuit of this conventional linear motor. As shown in FIG. 8, this is a moving body 806 having a field magnet arranged on the stator side, and armature coils 814A, 814B, and 814C provided movably through the field magnet and a magnetic gap. And an encoder unit 824 for recognizing the position of the moving body 806 based on a signal from a position reading unit 822 provided on the moving body 806, and detecting a magnetic pole of the field magnet. A magnetic pole detection unit 816 for performing control, a control unit 826 for obtaining a control signal based on a position signal and a position command signal from the encoder unit 824, a control signal of the control unit 826, and a magnetic pole detection signal from the magnetic pole detection unit 816 And a drive unit 844 that generates a drive current to be supplied to the armature coils 814A, 814B, and 814C, and a control signal or a magnetic pole detection signal. Is provided with a band attenuation filter unit 842 for attenuating a signal component in a frequency band substantially the same as the natural vibration frequency of the movable coil linear motor 802, so that the band attenuation filter unit 842 has the natural vibration frequency. The signal having the same frequency component is attenuated to suppress the resonance of the moving body 806.
[0003]
By the way, in general, in a linear motor, depending on the mass of the moving part and the rigidity of the bearing, there are three natural vibration modes, yawing (pitching), pitching ( pitching ), rolling ( rolling ). It has [refer FIG. 9]. Therefore, in a normal linear motor prior to Japanese Patent Laid-Open No. 9-121589, a position (or speed) sensor detects a signal including these vibration components in addition to an operation amount with respect to a target command value. Therefore, since a vibration component is included in the signal fed back to the controller, a phenomenon of oscillation at the mechanical natural frequency occurs. This is shown in FIG. 10, and it can be seen that it was a serious obstacle to control.
Therefore, in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-121589, a band attenuation filter 842 having a frequency that matches the mechanical natural frequency of the linear motor is previously provided in the control unit 826 to remove the vibration of the machine. The followability with respect to the position command signal (target command value) is improved [see FIG. 11].
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, this prior art [Japanese Patent Laid-Open No. 9-128989] supports only one mechanical natural frequency, and cannot cope with two or more mechanical natural frequencies that affect the control performance. There is a problem. In addition, when the stiffness of the bearing changes due to the mass of moving parts or changes over time, there is a problem in that vibrations cannot be suppressed because a deviation occurs between the frequency set in the controller and the mechanical natural frequency. See 12].
Here, in the present invention, even when such a mechanical natural frequency changes or when two or more mechanical natural frequencies exist, these vibrations are suppressed, and high-speed and high-precision operation is achieved. It is an object of the present invention to provide a linear motor control method and an apparatus for the same.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the first aspect of the present invention provides a state quantity of a position and speed at a center of gravity of a linear motor movable part, and a rotation angle and a rotation angular speed of the movable part around the center of gravity. Is estimated from the displacement or speed of the movable part measured by the sensor and the command value of the thrust acting on the movable part, and the estimated state quantity of the position or speed at the center of gravity is calculated. A method of controlling a linear motor , wherein feedback is performed to control the position and speed of the movable part .
In the mechanical natural vibration mode (pitching, yawing, rolling) of the linear motor, the center of gravity of the movable part becomes a vibration node. Therefore, the position or velocity information at the center of gravity does not include these vibration components. By utilizing this phenomenon and feeding back the position and speed at the center of gravity to the controller, it is possible to perform control that is not affected by mechanical natural vibration.
Further, when only the vibration component is fed back to the controller, the frequency and damping of the vibration can be controlled. Therefore, paying attention to such mechanical inherent vibration mechanism of the linear motor, a dynamic model of the linear motor was formulated. By incorporating this equation into the control system as an observer, it is possible to separate only the position of the center of gravity, velocity information, and mechanical natural vibration components that do not include mechanical natural vibration components.
In other words, according to the first aspect of the present invention, in order to solve the problems of the conventional control means, linear information is obtained from the position or speed sensor information and the thrust command signal output from the speed controller. This is a linear motor control method that estimates information on the position and speed of the motor movable portion at the center of gravity and feeds back this estimated value to a controller. For example, even if the mass of the moving part changes, even if the notch filter [variable band filter] is not used, even if the vibration frequency predicted in advance in other control systems is shifted due to disturbance, the mechanical natural frequency The control of the position and speed of the controlled body (work) can achieve the special effect that the requirement of high gain of the control parameter for realizing the high-precision feed can be perfectly satisfied without being affected by Is possible.
[0006]
According to a second aspect of the present invention, the state quantity of the position and speed at the center of gravity of the linear motor movable part and the state quantity of the rotation angle and rotation angular velocity of the movable part around the center of gravity point are measured by a sensor. Estimated from the displacement or speed of the movable part and the command value of the thrust acting on the movable part, and the state quantity of the rotational angle or rotational angular velocity of the movable part around the estimated center of gravity Is fed back to control the position and speed of the movable part.
[0007]
According to the third aspect of the present invention, the state quantity of the position and speed at the center of gravity of the linear motor movable part and the state quantity of the rotation angle and rotation angular velocity of the movable part around the center of gravity point are measured by a sensor. Estimated from the displacement or speed of the movable part and the command value of the thrust acting on the movable part, and the estimated position or speed state quantity at the center of gravity and the center of gravity The linear motor control method is characterized in that the position and speed of the movable part are controlled by feeding back the rotational angle or rotational angular velocity state quantity of the movable part.
[0008]
According to the second and third aspects of the present invention, the feedback control is further performed by using the state quantity of the rotational angle or rotational angular velocity of the movable part around the estimated center of gravity. , fine-grained damping action works, enables control of further high-speed, high-precision, it can be said that large a place to benefit in the art.
[0009]
According to a fourth aspect of the present invention, a position controller that accepts a deviation between the target command value and the estimated position information, a speed controller that accepts a deviation between the output from the position controller and the estimated speed information, and the speed A drive unit for driving the linear motor and the movable unit according to the thrust command value output from the controller, a linear motor and a movable unit driven by the output of the drive unit, and a relative position between the movable unit and the machine base A sensor that measures position and outputs position information, a state quantity of position and speed at the center of gravity of the linear motor movable part, and a state quantity of rotation angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity point, An observer that estimates from the position information measured by the sensor and the thrust command value output from the speed controller, and the position controller includes the observer The estimated state quantity of the position at the centroid point is fed back as the estimated position information, and the speed controller is fed back the velocity state quantity at the centroid point estimated by the observer as the estimated speed information, A linear motor control device that controls the position or speed of the movable portion.
[0010]
The invention according to claim 5 of the present invention includes a position controller that accepts a deviation between the target command value and the position information, a speed controller that accepts a deviation between the output from the position controller and the speed information, and the speed controller. The drive unit that drives the linear motor and the movable unit according to the output thrust command value, the linear motor and movable unit that are driven by the output of the drive unit, and the relative positions of the movable unit and the machine base are measured. A sensor that outputs position information, a differential calculator that differentially calculates the position information and outputs speed information, a position and speed state quantity at the center of gravity of the linear motor movable portion, and the center of gravity center A state quantity of the rotational angle and rotational angular velocity of the movable part is estimated from the position information measured by the sensor and the thrust command value output from the speed controller. And the drive unit is multiplied by a predetermined gain by the state quantity of the rotation angle or rotation angular velocity of the movable unit around the center of gravity estimated by the observer and added to the thrust command value. The linear motor control device is characterized in that the position or speed of the movable portion is controlled by inputting the measured value.
[0011]
According to the sixth aspect of the present invention, a position controller that accepts a deviation between the target command value and the estimated position information, a speed controller that accepts a deviation between the output from the position controller and the estimated speed information, and the speed control. The drive unit that drives the linear motor and the movable unit according to the thrust command value output from the device, the linear motor and the movable unit that are driven by the output of the drive unit, and the relative position of the movable unit and the machine base A sensor that measures and outputs position information, a state quantity of position and speed at the center of gravity of the linear motor movable part, and a state quantity of rotation angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity point, An observer that estimates from the position information measured by the sensor and the thrust command value output from the speed controller, and the position controller includes the observer The estimated state quantity of the position at the centroid point is fed back as the estimated position information, and the speed controller feeds back the velocity state quantity at the centroid point estimated by the observer as the estimated speed information, The drive unit receives a value obtained by multiplying a state quantity of the rotational angle or rotational angular velocity of the movable unit centered on the center of gravity estimated by the observer by a predetermined gain and added to the thrust command value, and A linear motor control device that controls the position or speed of a movable portion.
[0012]
According to the fourth to sixth aspects of the present invention, the same excellent effects as those of the first to third aspects of the invention can be exhibited.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding members.
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an electric circuit for controlling the linear motor in the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view mainly showing the mechanism around the linear motor and the movable part. The movable part 1 is integrated with the armature coil 2, and is movable only in a certain direction using a bearing 5 with respect to the rail 4 attached to the machine base 3 on the fixed side. A magnet 6 that generates thrust is fixed to the machine base 3. The armature coil 2 faces the magnet 6. The scale 7 is attached to the machine base 3 and measures the operating position of the movable part 1, and the position detection sensor 8 is attached to the movable part 1 and detects the position of the movable part 1 from the scale 7. is there. First, this control means compares the target command value 9 with the position and speed information 10 detected by the sensor 8 attached to the movable part 1, takes a deviation, performs a control calculation from this deviation, and calculates a thrust command 11. To do. The drive unit 105 outputs a current 12 corresponding to the thrust command 11 to the linear motor. In many cases, control laws such as proportional / integral / derivative control are used in the controller.
[0015]
Deviation between the position information 16 of the movable portion center of gravity estimated in a target command value 9 and the observer 107 is incorporated to take the position controller 102. A deviation between the output of the position controller 102 and the speed information 17 of the center of gravity of the movable part estimated by the observer 107 is taken into the speed controller 104 . The position and speed information output from the observer 107 is estimated from the position information 10 from the linear encoder [hereinafter simply referred to as “sensor”] 8 and the thrust command value 11 output from the speed controller 104. The drive unit 105 outputs a current 12 corresponding to the thrust command value 11, and the linear motor 106 is driven by the current 12. The position information 10 of the movable part 1 is detected by the sensor 8 and is taken into the observer 107.
[0016]
The difference from the control device of the conventional example shown in FIG. 8 is that the position information 10 detected by the sensor 8 is not directly fed back to the controllers 102 and 104, but the observer 107 uses the position information 10 of the sensor 8 and the thrust command value 11. The position information 16 and the speed information 17 of the center of gravity of the movable part 1 are estimated and fed back to the controllers 102 and 104.
According to this embodiment, control is possible without being affected by mechanical natural vibration, and high-speed and high-precision control can be realized.
[0017]
First, let me mention the machine model. In order to construct an observer , the vibration mechanism of the linear motor-driven movable part 1 is formulated. It is necessary to model the rigidity of the bearing 5 in the horizontal (Y) direction and the vertical (Z) direction, the viscous friction of the sliding surface, and the Coulomb friction.
F = Md ² X / dt ² + CdX / dt + KX + F _c (1 formula)
Here, X is a vector representing the state quantity at the center of gravity of the movable part 1, and represents the position quantity at the center of gravity and the state quantity of the rotation angle of the movable part around the center of gravity. M, C, and K are matrices representing the mass, damping, and rigidity of the linear motor, F is the thrust of the linear motor, and F _c is a vector that represents the Coulomb friction of the linear motor . From the equation of motion of the vibration isolator in which the object is elastically supported, the matrix component and the vector component shown in (1) are obtained.
[Expression 1]
X = (x _g y _g z _g θ _x θ _y θ _z ) ^T (Expression 2)
[0018]
Here, x, y, and z are respectively given to the moving direction of the linear motor, the direction serving as the axis that performs the pitching operation of the movable portion, the direction serving as the axis that performs the yawing operation of the movable portion , and F _x. Linear motor thrust (N) , x _g , y _g , and z _g are displacements (m) in the x, y, and z directions of the movable part, m is the movable part mass (kg), and I is the movable part center of gravity. Inertia tensor (kg · m ² ) [diagonal term is moment of inertia, non-diagonal term is product of inertia], C _t is viscous friction (N · s · m) of sliding surface of moving part, C _y , C _z is the damping [N · m · (s / rad)] in the yawing direction and the pitching direction at the center of gravity , i is the number of the bearing of the movable part , and a _ix , a _iy , and a _iz are from the center of gravity to the bearing i, respectively. X, y and z direction distances, and Δy and Δz are thrust forces from the center of gravity. The distance (m) in the y and z directions to the point , θ _x , θ _y , and θ _z are the rotation angles (rad) around the x axis, the y axis, and the z axis of the center of gravity of the movable part, respectively , and C _ct is movable Coulomb friction (N), K _iy , K _{iz on the} sliding surface of the part, the rigidity in the lateral and vertical directions of the bearing i , and T means transposition .
From (Formula 2), the vibration of the linear motor drive movable part is rotational vibration (yawing, pitching, rolling) and translational vibration (translative vibration based on the position of the center of gravity) (translational vibration has little relation to the control means of the present invention). I understand that.
Next, kinematic calculation is performed using θ _y , θ _z , and x _g obtained from (Equation 2) to calculate the displacement of the sensor point. However, since the roll angle θ _x does not affect the control performance, omitted.
The displacement x _{s of the} sensor point is
x _s = (− S _y sin θ _z + S _x cos θ _z cos θ _y + S _z cos θ _z sin θ _y + x _g ) −S _x (Expression 3)
It can be expressed as. Here, S _x , S _y , and S _z are distances (m) in the x, y, and z directions from the center of gravity to the sensor .
[0019]
The configuration of the observer 107 will be described. The observer 107 is configured based on the machine model shown above. Term products of inertia is sufficiently rather small, since the term of the products of inertia is sufficiently small, to simplify the _{_{_{operation, I xy, I yz, I}}} zz ≒ 0, sin θ ≒ θ, the approximation of cos theta ≒ 1 Went.
The arithmetic expression in the observer 107 can be expressed as the following (Expression 4a) and (Expression 4b).
[Expression 2]
[0020]
[Equation 3]
[Expression 4]
[Equation 5]
[0021]
(Second Embodiment)
FIG. 3 is a perspective view of a second embodiment configured with a linear motor mechanism instead of estimating the position information of the center of gravity of the movable part by the observer. In this case, the reflector 14 of the laser sensor 15 [refers to the surface facing the laser sensor on the side surface of the groove on the surface of the movable part shown in the figure] is arranged on the center of gravity 13 of the movable part 1. A laser sensor 15 is installed on the machine base 3 to detect the position on the movable portion barycentric point 13. The detected position information is a signal that does not include a pitching or yawing vibration component, and this signal is fed back to the controllers 102 and 104 so that the mechanical natural frequency is the same as in the vibration suppression control by the observer 107 shown in FIG. High-speed and high-precision operation is possible without being affected by this.
[0022]
(Third embodiment)
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a circuit according to the third embodiment of the present invention.
The position controller 102 receives a deviation between the target command value 9 and the position information 10 of the sensor 8. The speed controller 104 takes in the deviation between the speed information 20 and the position controller, which is a difference calculation of the position information 10 of the sensor 8 [here, it is a digital calculation but is a differential calculation in the case of analog calculation]. The speed controller 104 outputs a thrust command value 11. Based on the position information 10 detected by the sensor 8 and the thrust command value 11, the observer 107 estimates the rotation angle information 18 and the rotation angular velocity information 19 of the center of gravity of the movable part 1 and multiplies the rotation angle feedback gain K1 and the angular velocity feedback gain K2. And add to the thrust command value 11. The drive unit 105 outputs a current 12 corresponding to the thrust command value 11, and the linear motor 106 is driven by the current 12. Position information 10 of the movable part 1 is detected by the sensor 8 and is taken into the observer 107 and the controller.
[0023]
According to this embodiment, control with the mechanical natural frequency removed is possible, and high-speed and highly accurate operation can be realized. In the present embodiment, only the rotation angle and rotation angular velocity of one mechanical natural vibration mode are estimated and fed back. However, it is possible for two or more mechanical natural vibration modes. Since the control is always performed continuously, it is obvious that it can cope with the mechanical natural vibration mode that changes sequentially. Instead of the estimation by the observer 107, a linear motor mechanism may be used. In that case, a gyro sensor [not shown] is arranged on the movable part 1. Thereby, only the rotation angle information and rotation angular velocity information of the movable part is detected and fed back to the controller, thereby enabling high-speed and high-precision operation without being affected by the mechanical natural frequency.
[0024]
(Fourth embodiment)
FIG. 5 is a block diagram showing a circuit configuration according to the fourth embodiment of the present invention. The position controller 102 receives a deviation between the target command value 9 and the position information 16 of the movable portion center of gravity estimated by the observer 107. A deviation between the output of the position controller 102 and the speed information 17 of the center of gravity of the movable part estimated by the observer 107 is taken into the speed controller 104. The speed controller 104 outputs a thrust command value 11. Position information 16 at the center of gravity point of the movable portion 1 more observer 107 in the position information 10 and the thrust force command value 11 detected by the sensor 8, the rotation angle information 18 of the speed information 17 and the center of gravity, to estimate the rotational angular velocity information 19. The estimated rotation angle information 18 and rotation angular velocity information 19 are multiplied by the rotation angle feedback gain K1 and the angular velocity feedback gain K2, respectively, and added to the thrust command value 11. The drive unit outputs a current 12 corresponding to the thrust command value 11, and the linear motor 106 is driven by the current 12. The position information 10 of the movable unit 1 is detected by the sensor 8 and is taken into the observer 107 and the controllers 102 and 104. According to the fourth embodiment, control can be performed without being affected by the mechanical natural frequency, and high-speed and high-precision operation can be realized. In the fourth embodiment, only the rotation angle and rotation angular velocity of one natural vibration mode are estimated and fed back. However, it is possible to estimate and feed back two or more natural vibration modes. That is, since the control is continuously calculated based on the position or velocity information detected from the sensor, the vibration damping control can be smoothly performed at high speed and with high accuracy.
[0025]
FIG. 6 is a characteristic diagram of a change curve according to the transition of the response speed of the movable part over time when the present invention is used.
An effect equivalent to that of the conventional technique of FIG. 11 (when using a band attenuation filter) is obtained. Furthermore, even when the mechanical natural frequency changes, vibration suppression is possible as compared with the conventional technique of FIG. 12 (when a band attenuation filter is used) [see FIG. 7].
Further, in all the embodiments of the present invention, the results of FIGS. 6 and 7 are obtained.
[0026]
【The invention's effect】
By using the control method and the control device of the present invention as described above, there is a special effect that the linear motor can be controlled without being affected by the mechanical natural frequency.
That is, in the mechanical natural vibration mode (pitching, yawing, rolling) of the linear motor, the center of gravity of the movable part becomes a vibration node. Therefore, the position or velocity information at the center of gravity does not include these vibration components. By utilizing this phenomenon and feeding back the position and speed at the center of gravity to the controller, it is possible to perform control that is not affected by mechanical natural vibration. Further, when only the vibration component is fed back to the controller, the frequency and damping of the vibration can be controlled. Therefore, paying attention to such mechanical inherent vibration mechanism of the linear motor, a dynamic model of the linear motor was formulated. By incorporating this equation into the control system as an observer, it is possible to separate only the position of the center of gravity, velocity information, and mechanical natural vibration components that do not include mechanical natural vibration components.
[0027]
That is, according to the present invention, in order to solve the problems of the previous conventional control means, the position at the center of gravity of the linear motor movable portion and the signal output from the speed controller information and the position or speed sensor This is a linear motor control method that estimates speed information and feeds back this estimated value to a controller.
For example, even if the mass of the moving part changes, even if the notch filter is not used, or when the vibration frequency predicted in advance in the control system is shifted due to disturbance, it is completely affected by the mechanical natural frequency. Therefore, the control of the position and speed of the controlled body (workpiece) can achieve the remarkable effect that the requirement for the high gain of the control parameter for realizing the high-precision feed can be perfectly satisfied.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an electric circuit that controls a linear motor according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is mainly a linear motor according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective view showing a mechanism of a linear motor instead of estimation of position information of the center of gravity of the movable part by an observer representing the second embodiment of the present invention. 4 is a control block diagram showing a circuit configuration according to the third embodiment of the present invention. FIG. 5 is a control block diagram showing a circuit configuration according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 7 is a time lapse diagram of the speed response of the movable part when the natural vibration changes when the present invention is used.
FIG. 8 is a control block diagram of a linear motor drive circuit (for example, published in Japanese Patent Laid-Open No. 9-121589). FIG. 9 is an explanatory diagram of vibration modes of a movable part in a general linear motor. in, (a) shows the yawing mode, (b) the pitching mode, (c) represents the rolling mode [10] of the velocity response of the movable part when it was driven by a control apparatus of the general linear motor Vibration state diagram over time (was a serious obstacle to control)
FIG. 11 is a vibration state diagram over time of the speed response of the movable part when a band attenuation filter is used in the prior art [Japanese Patent Laid-Open No. 9-121589]. FIG. 12 is inherent in the prior art (band attenuation filter). Vibration state diagram over time of speed response of moving parts when frequency changes

Claims

State quantity of position and speed at the center of gravity of the moving part of the linear motor ,
The state of the rotational angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity point, the displacement or speed of the movable part measured by a sensor,
Estimated from the command value of the thrust acting on the movable part,
A method for controlling a linear motor, wherein the estimated position or speed state quantity at the center of gravity is fed back to control the position and speed of the movable part .

State quantity of position and speed at the center of gravity of the moving part of the linear motor,
The state of the rotational angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity point, the displacement or speed of the movable part measured by a sensor,
Estimated from the command value of the thrust acting on the movable part,
A method of controlling a linear motor, wherein the position and speed of the movable part are controlled by feeding back a state quantity of the rotational angle or rotational angular speed of the movable part centered on the estimated center of gravity.

State quantity of position and speed at the center of gravity of the moving part of the linear motor,
The state of the rotational angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity point, the displacement or speed of the movable part measured by a sensor,
Estimated from the command value of the thrust acting on the movable part,
The estimated position or speed state quantity at the center of gravity point and the rotational angle or rotational angular speed state quantity of the movable part around the center of gravity point are fed back to control the position and speed of the movable part. A control method for a linear motor.

A position controller that accepts a deviation between the target command value and the estimated position information;
A speed controller that accepts the deviation between the output from the position controller and the estimated speed information;
A drive unit for driving the linear motor and the movable unit according to the thrust command value output from the speed controller;
A linear motor and a movable part driven by the output of the drive part;
A sensor that measures the relative position of the movable part and the machine base and outputs position information;
The positional information measured by the sensor, the state quantity of the position and speed at the center of gravity of the linear motor movable part, and the state quantity of the rotational angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity point, and the speed The thrust command value output from the controller, and an observer to estimate from,
The position controller feeds back the state quantity of the position at the center of gravity estimated by the observer as the estimated position information,
A linear motor control device, wherein the speed controller feeds back a state quantity of the speed at the center of gravity estimated by the observer as the estimated speed information to control the position or speed of the movable part. .

A position controller that accepts a deviation between the target command value and the position information;
A speed controller that accepts a deviation between the output from the position controller and the speed information;
A drive unit for driving the linear motor and the movable unit according to the thrust command value output from the speed controller;
A linear motor and a movable part driven by the output of the drive part;
A sensor that measures the relative position of the movable part and the machine base and outputs position information;
A differential calculator for differentially calculating the position information and outputting speed information;
The state quantity of the position and speed at the center of gravity of the linear motor movable part and the state quantity of the rotational angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity are measured by the sensor. An observer that estimates from the position information and the thrust command value output from the speed controller,
The drive unit is inputted with a value obtained by multiplying a state quantity of the rotation angle or rotation angular velocity of the movable unit around the center of gravity estimated by the observer by a predetermined gain and adding the thrust command value, A linear motor control device that controls the position or speed of the movable portion.

A position controller that accepts a deviation between the target command value and the estimated position information;
A speed controller that accepts the deviation between the output from the position controller and the estimated speed information;
A drive unit for driving the linear motor and the movable unit according to the thrust command value output from the speed controller;
A linear motor and a movable part driven by the output of the drive part;
A sensor that measures the relative position of the movable part and the machine base and outputs position information;
The position information measured by the sensor, the state quantity of the position and speed at the center of gravity of the linear motor movable part, and the state quantity of the rotation angle and rotational angular velocity of the movable part around the center of gravity point, The thrust command value output from the speed controller, and an observer to estimate from,
The position controller feeds back the state quantity of the position at the center of gravity estimated by the observer as the estimated position information,
The speed controller feeds back the speed state quantity at the center of gravity estimated by the observer as the estimated speed information,
The drive unit is inputted with a value obtained by multiplying a state quantity of the rotation angle or rotation angular velocity of the movable unit around the center of gravity estimated by the observer by a predetermined gain and adding the thrust command value, A linear motor control device that controls the position or speed of the movable portion.