JP4174253B2

JP4174253B2 - Manufacturing method of multilayer piezoelectric actuator

Info

Publication number: JP4174253B2
Application number: JP2002204118A
Authority: JP
Inventors: 洋平渡部
Original assignee: NEC Tokin Corp
Current assignee: Tokin Corp
Priority date: 2002-07-12
Filing date: 2002-07-12
Publication date: 2008-10-29
Anticipated expiration: 2022-07-12
Also published as: JP2004047794A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電効果を利用して電気的エネルギーを変位あるいは機械エネルギーに変換する圧電アクチュエータの製造方法に係り、特に、複数の内部電極とセラミックを一体焼結した積層型圧電アクチュエータの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から精密位置決め装置や精密Ｘ-Ｙテーブルのアクチュエータとして、ボイスコイルモータやパルスモータ等の電磁式アクチュエータが使用されている。しかし、近年、位置決め精度、応答速度、消費電力等において電磁式アクチュエータより優れている圧電アクチュエータが多く使用されている。
【０００３】
圧電アクチュエータには、積層型とバイモルフ型の２種類があり、積層型は高変位精度と発生力の大きさにおいて、バイモルフ型は変位量の大きさにおいて、それぞれ特徴があり、精密位置決め装置や精密Ｘ-Ｙテーブルのアクチュエータとしては積層型が多く用いられている。
【０００４】
積層型圧電アクチュエータは、圧電セラミック層と内部電極層を交互に積層し、焼結することによって得られるセラミック積層体からなる。積層型圧電アクチュエータの変位量は、各圧電セラミック層に印加する電圧が一定の場合、圧電セラミック層と内部電極層の積層数に比例するので、圧電セラミック層の厚みを薄くし、積層数を多くすることで変位量を多くし、かつ低電圧駆動化がなされている。
【０００５】
また、積層型圧電アクチュエータの変位方向と直交する圧電セラミック層の断面積と内部電極層の断面積とを一致する構造とすることで、内部応力の集中を無くすことが可能であり、大きな発生力を得ることができる。
【０００６】
図３を参照して、積層型圧電アクチュエータの構造を説明する。ジルコンチタン酸鉛系の圧電セラミック層１１と銀パラジウム合金の内部電極層１２が交互に複数積層され、セラミック積層体１が形成される。また、内部電極層１２は一層置きに互いに対向する電極となるように、すなわち圧電セラミック層のそれぞれには並列に電圧が印加されるように外部電極が形成される。
【０００７】
そのために、セラミック積層体１の１つの側面において、ガラスの絶縁部１３が内部電極層１２の露出端部に一層置きに形成され、その側面においてガラス絶縁されていない内部電極層の端部を電気的に接続する外部電極１４が形成され、さらにリード線１５が備えられる。なお、図３は模式的であり、実際の積層数は、もっと多い。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来、外部電極の形成方法として、セラミック積層体の内部電極に一層置きのガラス絶縁部を形成するために、特許１６５５０１３号公報に示されているように電気泳動法によるガラスの塗布および焼き付けを行った後に、スクリーン印刷法などによって、ガラス絶縁部で被覆されていない内部電極の露出部に導電性の金属ペーストを印刷し焼き付ける方法や金属めっき膜、蒸着膜などを形成する方法がなされていた。
【０００９】
しかしながら、ペーストを焼き付ける方法の場合、ガラス絶縁部と導電膜を焼き付ける工程が２回以上となり、セラミック積層体への熱ストレスが大きくなり信頼性の低下に繋がる。
【００１０】
また、金属めっき膜の場合、セラミック積層体をめっき液に浸漬し形成するため、めっき液が酸・アルカリ溶液であるためセラミックの浸食や電極への残さによって、アクチュエータとして駆動させるときの電圧印加により、内部電極のマイグレーションを引き起こす場合があった。
【００１１】
また、蒸着膜の場合、工程が複雑であり量産に適していなかった。
【００１２】
そこで、本発明は、量産的に外部電極の形成が可能な積層型圧電アクチュエータの製造方法を提供することを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、圧電性のセラミック層と内部電極層が交互に積層されて、多角柱の形状をなし、セラミック層を介して互いに隣り合う前記内部電極層が一層置きに等電位となるように電気的に接続されてなる１対の外部電極を有する積層型圧電アクチュエータの製造方法において、前記内部電極層の端部が露出する前記多角柱の１つの面上で、セラミック層を介して互いに隣り合う前記内部電極層の露出端部に対して、一層置きに絶縁物で被覆した後、絶縁被覆されなかった内部電極層の端部を、全て電気的に接続する導電層を設けて外部電極を形成する工程として、（１）パターンが刻印されたグラビアロールの表面に絶縁ペーストを充填した後、前記グラビアロールに接して回転する転写ロールの表面に前記絶縁ペーストを転移させ、次に前記多角柱の内部電極層の露出端部に転写することによって、セラミック層を介して互いに隣り合う前記内部電極層の露出端部に対して、絶縁部を一層置きに設ける第１の転写部による転写工程と、（２）前記第１の転写部によって絶縁部が設けられた前記多角柱の面上で、絶縁被覆されなかった内部電極の露出端部の全てを電気的に接続するために、前記グラビアロールおよび転写ロールと同じ機構を用いて導電ペーストによる前記導電層を設ける第２の転写部による転写工程とを有し、前記絶縁ペーストは、ガラス、セラミック等の無機絶縁物をフィラーとして含み、前記導電ペーストは、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｔの少なくとも１種の低抵抗金属粉末を含み、前記絶縁ペーストと前記導電ペーストとを同時に焼き付けることを特徴とする積層型圧電アクチュエータの製造方法が得られる。
【００１４】
本発明によれば、前記１対の外部電極を形成する前記多角柱の２つの面は、平行であり、前記第１の転写部において、前記２つの面に、同時に前記絶縁部を形成した後、前記第２の転写部において、１対の外部電極となる２つの前記導電層を同時に形成する積層型圧電アクチュエータの製造方法が得られる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は、本発明による積層型圧電アクチュエータの外部電極形成方法を示す図であり、転写装置およびセラミック積層体は断面図で示した。また、図２は、本発明の積層型圧電アクチュエータにおける構成の説明図である。
【００２１】
図１を中心に、適宜、図２を参照して、本実施の形態の積層型圧電アクチュエータの外部電極形成方法を示す。
【００２２】
ここで用いる転写装置は、絶縁層を形成する第１の転写部１０１と電気的な接続を得るための導電層を形成する第２の転写部１０２およびセラミック積層体１を搬送する搬送部４から構成されている。
【００２３】
第１の転写部１０１は、第１のグラビアロール２１と第１の転写ロール２２より構成されており、セラミック積層体１の内部電極層１２の露出端部に対して、一層置きにガラス絶縁被覆を設ける。
【００２４】
まず、第１の転写部１０１には、第１のグラビアロール２１の凹部に絶縁ペースト２３を充填し、余剰の絶縁ペースト２３を凹部から掻き取るための第１のスキージ２４が具備され、凹部パターン内の絶縁ペースト２３が第１のゴムライニング２５を有する第１の転写ロール２２に転写される。
【００２５】
第１の転写ロール２２に転写された絶縁ペースト２３は、第１の転写ロール２２の回転方向と同一の方向に搬送される機構をもち、搬送部４に設置されたセラミック積層体１の内部電極層１２の端部に一層置きに転写される。
【００２７】
次に、セラミック積層体１は第２の転写部１０２に搬送される。
【００２８】
第２の転写部は、第１の転写部と同様に、第２のグラビアロール３１と第２の転写ロール３２から構成されており、セラミック積層体１の内部電極層１２の露出端部で一層置きのガラス絶縁被覆されなかった内部電極層の露出端部の全てについて電気的な接続を施して、各セラミック層に並列に電圧が印加できるように一対の電極層を形成する。
【００２９】
そのために、第２の転写部には、第２のグラビアロール３１の凹部に導電ペースト３３を充填し、凹部より余剰の導電ペースト３３を掻き取るための第２のスキージ３４が具備され、凹部パターンに充填された導電ペースト３３が第２のゴムライニング３５を有する第２の転写ロール３２に転写される。
【００３０】
転写された導電ペースト３３は、第２の転写ロール３２の回転方向と同一の方向に搬送される機構をもち、搬送部４に設置されたセラミック積層体１に転写される。
【００３１】
次に、図２を用いて、本発明の積層型圧電アクチュエータの構造を説明する。図２（ａ）は、ジルコンチタン酸鉛系の圧電セラミック層１１と銀パラジウム合金の内部電極層１２が交互に複数積層されたセラミック積層体１を示す断面図である。図２（ｂ）は、第１の転写ロール２２によって、内部電極層１２に一層置きに互いに対向する電極となるよう絶縁部１３が形成されている様子を示す断面図である。ここで、絶縁部１３の形成にはガラス、セラミック等の無機絶縁物がフィラーである絶縁ペーストを用いた。
【００３２】
図２（ｃ）は、絶縁被覆されていない内部電極層の露出端部の全てについて、第２の転写ロール３２によって、電気的な接続を施した様子を示す断面図であり、各圧電セラミック層１１に並列に電圧が印加できるように一対の外部電極１４となる導電ペーストが塗布されている。
【００３３】
このガラス絶縁ペーストと導電ペーストが塗布されたセラミック積層体を１２０℃の乾燥機で１０分間乾燥させた後、４５０℃〜６００℃のリフロー炉でガラス絶縁ペーストと導電ペーストを焼き付けることによって積層型圧電アクチュエータが得られる。
【００３４】
本実施の形態における積層型圧電アクチュエータの寸法は、断面が５ｍｍ×５ｍｍで長さが１８ｍｍ、内部電極間隔が１１５μｍ、内部電極積層数が１５０枚である。
【００３５】
本発明による外部電極形成方法の効果を確認するため、（１）絶縁ペーストとして、ホウ珪酸系のガラスペーストと、導電ペーストとしてＡｇペーストを用いて形成した外部電極形成方法▲１▼と、（２）絶縁ペーストとして熱硬化性の高分子材料を主体とするペーストと、導電ペーストとして熱硬化型Ａｇペーストを用いて形成した外部電極形成方法▲２▼によって作製した積層型圧電アクチュエータについて、エージング試験を実施した。
【００３６】
試料に印加した直流電圧は１００ボルトであり、恒温高湿試験槽中の環境条件は、温度４０℃で相対湿度９０％である。
【００３７】
試験結果を表１に示す。比較例として、電気泳動法でガラス絶縁部を焼き付けた後、電気的な接続を得るための導電ペーストを焼き付ける外部電極形成方法で作製した積層型圧電アクチュエータも同時に環境負荷試験を実施した。試料数は、各々５０個とした。
【００３８】
【表１】

【００３９】
表１の結果より、本発明による外部電極形成方法▲１▼または▲２▼によれば、恒温高湿度の環境下でのエージング試験において、従来からある電気泳動法による比較例に対して、故障率が小さく、長寿命化が達成されたことがわかる。これは、外部電極形成時の熱ストレスが解消された結果である。
【００４０】
それとともに、外部電極を形成する方法が簡便になったため、生産効率の向上も図ることができた。
【００４１】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、環境負荷試験の結果が良好で、生産効率の良い積層型圧電アクチュエータの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による積層型圧電アクチュエータの外部電極形成方法を示す図。
【図２】本発明による積層型圧電アクチュエータの構造の説明図。図２（ａ）は圧電セラミックと内部電極の積層体を示す断面図、図２（ｂ）はガラス絶縁部を形成した後の断面図、図２（ｃ）は外部電極層を形成した後の断面図。
【図３】積層型圧電アクチュエータの断面図。
【符号の説明】
１セラミック積層体
４搬送部
１１圧電セラミック層
１２内部電極層
１３絶縁部
１４外部電極
１５リード線
２１第１のグラビアロール
２２第１の転写ロール
２３絶縁ペースト
２４第１のスキージ
２５第１のゴムライニング
３１第２のグラビアロール
３２第２の転写ロール
３３導電ペースト
３４第２のスキージ
３５第２のゴムライニング
１０１第１の転写部
１０２第２の転写部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a piezoelectric actuator that uses a piezoelectric effect to convert electrical energy into displacement or mechanical energy, and more particularly to a method for manufacturing a laminated piezoelectric actuator in which a plurality of internal electrodes and ceramics are integrally sintered. .
[0002]
[Prior art]
Conventionally, electromagnetic actuators such as voice coil motors and pulse motors have been used as actuators for precision positioning devices and precision XY tables. However, in recent years, many piezoelectric actuators that are superior to electromagnetic actuators in terms of positioning accuracy, response speed, power consumption, and the like have been used.
[0003]
There are two types of piezoelectric actuators: stacked type and bimorph type. The stacked type is characterized by high displacement accuracy and magnitude of generated force, and the bimorph type is characterized by the amount of displacement. A laminated type is often used as an actuator for an XY table.
[0004]
The multilayer piezoelectric actuator is composed of a ceramic laminate obtained by alternately laminating piezoelectric ceramic layers and internal electrode layers and sintering them. The displacement of the multilayer piezoelectric actuator is proportional to the number of piezoelectric ceramic layers and internal electrode layers when the voltage applied to each piezoelectric ceramic layer is constant, so the thickness of the piezoelectric ceramic layer is reduced and the number of layers is increased. As a result, the amount of displacement is increased and low voltage driving is achieved.
[0005]
Also, by making the cross-sectional area of the piezoelectric ceramic layer perpendicular to the displacement direction of the multilayer piezoelectric actuator and the cross-sectional area of the internal electrode layer, it is possible to eliminate the concentration of internal stress and to generate a large force Can be obtained.
[0006]
The structure of the multilayer piezoelectric actuator will be described with reference to FIG. A plurality of lead zirconate titanate-based piezoelectric

ceramic layers

11 and silver-palladium alloy internal electrode layers 12 are alternately laminated to form a ceramic laminate 1. In addition, external electrodes are formed so that the internal electrode layers 12 are opposed to each other, that is, so that a voltage is applied in parallel to each of the piezoelectric ceramic layers .
[0007]
Therefore, on one side surface of the ceramic laminate 1, glass insulating portions 13 are formed on every other exposed end portion of the internal electrode layer 12, and the end portion of the internal electrode layer that is not glass-insulated on the side surface is electrically connected. The external electrode 14 to be connected is formed, and a lead wire 15 is further provided. Note that FIG. 3 is schematic, and the actual number of layers is larger.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
Conventionally, as a method for forming an external electrode, in order to form a single-layer glass insulating portion on the internal electrode of a ceramic laminate, glass is applied and baked by electrophoresis as disclosed in Japanese Patent No. 1655013. After that, by a screen printing method or the like, a method of printing and baking a conductive metal paste on an exposed portion of the internal electrode not covered with the glass insulating portion, or a method of forming a metal plating film, a vapor deposition film, or the like has been performed.
[0009]
However, in the case of the method of baking the paste, the step of baking the glass insulating portion and the conductive film is performed twice or more, which increases the thermal stress on the ceramic laminate and leads to a decrease in reliability.
[0010]
In the case of a metal plating film, the ceramic laminate is formed by immersing it in a plating solution. Since the plating solution is an acid / alkali solution, the ceramic erosion or the residue on the electrode causes voltage application when driving as an actuator. In some cases, internal electrode migration may occur.
[0011]
In the case of a vapor deposition film, the process is complicated and not suitable for mass production.
[0012]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a laminated piezoelectric actuator capable of forming external electrodes in mass production.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, the piezoelectric ceramic layers and the internal electrode layers are alternately stacked to form a polygonal column, and the internal electrode layers adjacent to each other via the ceramic layer are made equipotential every other layer. In a method of manufacturing a laminated piezoelectric actuator having a pair of external electrodes electrically connected to each other , on one surface of the polygonal column where the end portions of the internal electrode layers are exposed, the ceramic layers are connected to each other. The exposed end portions of the adjacent internal electrode layers are covered with an insulating layer every other layer, and then the external electrode is provided with a conductive layer that electrically connects all the end portions of the internal electrode layers that are not insulated. as a step of forming a (1) after the pattern has filled the surface insulation paste of the gravure roll engraved, by transferring the insulating paste on the surface of the transfer roll rotating in contact with the gravure roll, Wherein by transferring the exposed end portion of the inner electrode layer of the polygonal prism, a first transfer unit provided to the exposed end of the inner electrode layers adjacent to each other via the ceramic layers, the more place the insulating portion a transfer step by, (2) on the surface of the first of said polygonal prism insulating portion is provided by the transfer unit, in order to electrically connect all of the exposed end portions of the internal electrodes that are not insulating coating And a transfer step by a second transfer unit that provides the conductive layer with a conductive paste using the same mechanism as the gravure roll and the transfer roll, and the insulating paste is made of an inorganic insulating material such as glass or ceramic as a filler The conductive paste contains at least one low-resistance metal powder of Ag, Cu, Au, and Pt, and the insulating paste and the conductive paste are baked at the same time. That the production method of the laminated piezoelectric actuator is obtained.
[0014]
According to the present invention, two surfaces of said polygonal prism forming the external electrodes of the pair are parallel, in the first transfer portion, the two faces, the formation of the insulating portion at the same time after, in the second transfer portion, the manufacturing method of the laminated piezoelectric actuator to form two of the conductive layer serving as an external electrode of the pair simultaneously obtained.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0020]
FIG. 1 is a view showing a method of forming external electrodes of a multilayer piezoelectric actuator according to the present invention, and a transfer device and a ceramic laminate are shown in cross-sectional views. FIG. 2 is an explanatory diagram of the configuration of the multilayer piezoelectric actuator of the present invention.
[0021]
With reference to FIG. 2 as appropriate centering on FIG. 1, a method of forming an external electrode of the laminated piezoelectric actuator of the present embodiment will be described.
[0022]
The transfer apparatus used here includes a second transfer unit 102 that forms a conductive layer for obtaining electrical connection with the first transfer unit 101 that forms an insulating layer, and a transport unit 4 that transports the ceramic laminate 1. It is configured.
[0023]
The first transfer portion 101 is composed of a first gravure roll 21 and a first transfer roll 22, and the glass insulating coating is provided on every other layer on the exposed end portion of the internal electrode layer 12 of the ceramic laminate 1. Is provided.
[0024]
First, the first transfer portion 101 is provided with a first squeegee 24 for filling the concave portion of the first gravure roll 21 with the insulating paste 23 and scraping off the excess insulating paste 23 from the concave portion. The inner insulating paste 23 is transferred to a first transfer roll 22 having a first rubber lining 25.
[0025]
The insulating paste 23 transferred to the first transfer roll 22 has a mechanism to be transported in the same direction as the rotation direction of the first transfer roll 22, and the internal electrode of the ceramic laminate 1 installed in the transport unit 4. Every other layer is transferred to the end of the layer 12.
[0027]
Next, the ceramic laminate 1 is conveyed to the second transfer unit 102.
[0028]
Similar to the first transfer unit, the second transfer unit is composed of a second gravure roll 31 and a second transfer roll 32, and one layer is formed at the exposed end of the internal electrode layer 12 of the ceramic laminate 1. A pair of electrode layers are formed so that all exposed end portions of the internal electrode layers not covered with the insulating glass coating are electrically connected, and a voltage can be applied in parallel to each ceramic layer .
[0029]
For this purpose, the second transfer portion is provided with a second squeegee 34 for filling the concave portion of the second gravure roll 31 with the conductive paste 33 and scraping off the excess conductive paste 33 from the concave portion. The conductive paste 33 filled in is transferred to the second transfer roll 32 having the second rubber lining 35.
[0030]
The transferred conductive paste 33 has a mechanism that is transported in the same direction as the rotation direction of the second transfer roll 32, and is transferred to the ceramic laminate 1 installed in the transport unit 4.
[0031]
Next, the structure of the multilayer piezoelectric actuator of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2A is a cross-sectional view showing a ceramic laminate 1 in which a plurality of lead zirconate titanate piezoelectric

ceramic layers

11 and silver palladium alloy internal electrode layers 12 are alternately laminated. FIG. 2B is a cross-sectional view showing a state in which the insulating portions 13 are formed by the first transfer roll 22 so as to become electrodes facing each other on the internal electrode layer 12. Here, an insulating paste in which an inorganic insulator such as glass or ceramic is a filler was used to form the insulating portion 13.
[0032]
FIG. 2C is a cross-sectional view showing a state in which all exposed end portions of the internal electrode layer not covered with insulation are electrically connected by the second transfer roll 32, and each piezoelectric ceramic layer is shown in FIG. 11 is applied with a conductive paste to be a pair of external electrodes 14 so that a voltage can be applied in parallel.
[0033]
The ceramic laminate coated with the glass insulating paste and the conductive paste is dried for 10 minutes with a dryer at 120 ° C., and then the glass insulating paste and the conductive paste are baked in a reflow oven at 450 ° C. to 600 ° C. An actuator is obtained.
[0034]
The dimensions of the laminated piezoelectric actuator in this embodiment are 5 mm × 5 mm in cross section, 18 mm in length, 115 μm between internal electrodes, and 150 internal electrodes.
[0035]
In order to confirm the effect of the external electrode forming method according to the present invention, (1) external electrode forming method (1) formed using borosilicate glass paste as insulating paste and Ag paste as conductive paste, (2) ) An aging test was conducted on the laminated piezoelectric actuator produced by the external electrode forming method (2) formed using a paste mainly composed of a thermosetting polymer material as an insulating paste and a thermosetting Ag paste as a conductive paste. Carried out.
[0036]
The DC voltage applied to the sample is 100 volts, and the environmental conditions in the constant temperature and high humidity test tank are a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90%.
[0037]
The test results are shown in Table 1. As a comparative example, a laminated piezoelectric actuator manufactured by an external electrode forming method in which a glass paste was baked by electrophoresis and then a conductive paste for obtaining electrical connection was baked was also subjected to an environmental load test. The number of samples was 50 each.
[0038]
[Table 1]

[0039]
From the results of Table 1, according to the external electrode formation method (1) or (2) according to the present invention, in the aging test under the environment of constant temperature and high humidity, the failure was compared with the comparative example by the conventional electrophoresis method. It can be seen that the rate is small and that the longevity is achieved. This is a result of eliminating the thermal stress at the time of forming the external electrode.
[0040]
At the same time, the method of forming the external electrode has become simpler, so that the production efficiency can be improved.
[0041]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a laminated piezoelectric actuator that has good environmental load test results and good production efficiency.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a method for forming external electrodes of a multilayer piezoelectric actuator according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram of the structure of a multilayer piezoelectric actuator according to the present invention. 2A is a cross-sectional view showing a laminated body of piezoelectric ceramic and internal electrodes, FIG. 2B is a cross-sectional view after forming a glass insulating portion, and FIG. 2C is a view after forming an external electrode layer. Sectional drawing.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a multilayer piezoelectric actuator.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic laminated body 4 Conveying part 11 Piezoelectric ceramic layer 12 Internal electrode layer 13 Insulating part 14 External electrode 15 Lead wire 21 First gravure roll 22 First transfer roll 23 Insulating paste 24 First squeegee 25 First rubber lining 31 Second gravure roll 32 Second transfer roll 33 Conductive paste 34 Second squeegee 35 Second rubber lining 101 First transfer portion 102 Second transfer portion

Claims

Piezoelectric ceramic layers and internal electrode layers are alternately stacked to form a polygonal column, and the internal electrode layers adjacent to each other are electrically connected to each other at the same potential via the ceramic layers. In the method of manufacturing a laminated piezoelectric actuator having a pair of external electrodes, the internal electrode layers adjacent to each other via a ceramic layer on one surface of the polygonal column where an end of the internal electrode layer is exposed As a step of forming an external electrode by providing a conductive layer that electrically connects all the end portions of the internal electrode layer that is not covered with insulation after covering the exposed end portion with an insulating layer every other layer, (1) after the pattern is filled with an insulating paste engraved surface of the gravure roll, thereby transferring the insulating paste on the surface of the transfer roll rotating in contact with the gravure roll, and then said polygonal By transferring the exposed end parts electrode layer, and a transfer step of the first transfer unit provided to the exposed end of the inner electrode layers adjacent to each other via the ceramic layers, the more place the insulating portion, (2) In order to electrically connect all of the exposed end portions of the internal electrodes that are not covered with insulation on the surface of the polygonal column provided with an insulating portion by the first transfer portion, the gravure roll and A transfer step by a second transfer unit that provides the conductive layer with a conductive paste using the same mechanism as the transfer roll ,
The insulating paste includes an inorganic insulator such as glass or ceramic as a filler,
The method for manufacturing a multilayer piezoelectric actuator, wherein the conductive paste includes at least one low-resistance metal powder of Ag, Cu, Au, and Pt, and the insulating paste and the conductive paste are baked simultaneously .

Two faces of said polygonal prism forming the external electrodes of the pair are parallel, in the first transfer portion, the two faces, after forming the insulating portion at the same time, the second in the transfer portion, the method of fabricating the multilayer piezoelectric actuator according to claim 1, characterized in that to form two of the conductive layer serving as an external electrode of a pair simultaneously.