JP4165976B2 - Gas sensor - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はガスセンサに関し、特に自動車、船舶、飛行機等の移動用、産業用の内燃機関の排ガス中、或いはボイラ等の燃焼ガス中のNOxガス濃度測定に用いられるガスセンサに関し、中でもガスセンサの構成要素である酸素ポンプセルの電極成分に関する。
【0002】
【従来の技術】
ガスセンサの酸素ポンプセルは、一般的に、酸素イオン伝導体と、酸素イオン伝導体上にガスセンサが有する空隙部に面して形成された内部電極と、この酸素イオン伝導体上に被測定雰囲気に面して形成された外部電極と、から構成されている。
【0003】
ところで、特開平9-288086号公報には、第1の拡散律速部を通じて被測定ガスが導入される第1室と、第1室から第2の拡散律速部を通じてガスが導入される第2室と、第1室内の酸素濃度を制御する酸素ポンプセルと、第2室内の酸素を汲み出す測定用ポンプセルと、測定用ポンプセルの作動により流れるポンプ電流を検出する電流計を、有し、このポンプ電流検出値に基づいてNOxガス濃度を求める測定装置が提案されている。さらに、この公報には、上記酸素ポンプセルの構成要素であって、酸素イオン伝導体上に第1室内に面して形成された内部電極を、0.01wt%以上1wt%未満のAuと、残部が主として白金族元素とからなる合金からなるAu添加電極とすること、特に、白金族元素として「Pt、Rh等」を用いることが提案されている。その理由として、上記合金を含む電極は、NOx解離触媒能がきわめて低く、低酸素濃度下でもNOxを解離することがないため、正確なNOxガス濃度測定を阻害する酸素が第1室において選択的に排除できることが掲げられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平9-288086号公報に提案されたように、その内部電極としてAu添加電極を用いた酸素ポンプセルは、時間の経過とともにその酸素ポンピング能力が低下する傾向が見られる。この結果、第1室から第2室に拡散するガス中の残存酸素濃度が増加してしまい、第2室に面して設けられた測定用ポンプセルに流れるポンプ電流に基づいて精度良くNOxガスを検出することができないという問題が生じる。
【0005】
本発明の目的は、検出精度の経時変化が少ないガスセンサを提供することである。本発明の別の目的は、酸素ポンピング能力の経時変化が少ない酸素ポンプセルを備えるガスセンサを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、酸素ポンプセルの少なくとも内部電極がPt、Au及びPdを所定量含むガスセンサを提供する。本発明による上記内部電極は、従来のPtにAuを添加したAu添加電極と比較して、その酸素ポンピング能力は同等であるが、そのNOx解離抑制能力は低い。ゆえに、ガスセンサの使用初期において、本発明による内部電極を備えた酸素ポンプセルを有するガスセンサの素子感度(初期素子感度)は、従来のAu添加電極を備えた酸素ポンプセルを有するガスセンサの素子感度(初期素子感度)に比べて、若干減少する傾向にある。しかし、本発明によるガスセンサによれば、酸素ポンピング能力の経時変化が減少されるため、本発明のガスセンサの素子感度は、従来のガスセンサのそれよりも経時変化の度合いが少ない。よって、本発明のガスセンサによれば、長期間にわたって正確なガス濃度測定ができる。下記に、このような効果が得られる理由を説明する。
【0007】
すなわち、本発明者らは、酸素ポンプセルの内部電極として従来のPt+Au(1wt%)電極を用いたガスセンサの耐久試験を行い、この内部電極の最表面をSEM観察したところ、拡散抵抗部の近傍において、Pt粒子が他の電極構成成分中に埋もれたり、Pt粒子が滑らかになっている様子を見出した。本発明者らは、同様に、酸素ポンプセルの内部電極としてPt、Au及びPdを含む本発明に係る電極を用いたガスセンサの耐久試験を行い、この本発明に係る内部電極の最表面をSEM観察したところ、上記従来の電極の場合と比較して、Pt粒子が他の成分中に埋もれた様子は見られず、Pt粒子は大きな粒として存在したままでいる様子を見出した。つまり、Pd添加によって、Pt粒子の形状変化が長期間にわたり抑制され、酸素ポンピング能力を維持する上で必要な3相界面(気相、触媒相及び酸素イオン伝導相の界面)の面積が十分に維持された結果、酸素ポンピング能力の経時変化が減少されたものと考えられる。ゆえに、本発明のガスセンサによれば、長期間にわたって正確なガス濃度測定ができることとなる。
【0008】
本発明のその他の視点及び特徴は、各請求項に記載のとおりであり、その引用をもってその重複記載を省略する。よって、各請求項の各特徴は、ここに記載されているものとみなされる。なお、従属項はそれぞれ、各独立項に記載された発明の原理に反しない限り、各独立項に適用され得、又従属項は他の従属項に適用され得る。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。
【0010】
本発明のガスセンサはその好ましい実施の形態において、その多孔質な内部電極がPt、Au及びPdを含み、但し、Pt、Au及びPdの合量に対して、Pdを0.1wt%以上25wt%以下、Auを0.1wt%以上30wt%以下含有する。内部電極がPtを所定量含有することにより、酸素ポンプセルの酸素ポンピング能力が高くなる。また、内部電極がAuを所定量含有することにより、酸素ポンプセルが測定対象成分、特に含酸素成分、例えばNOxを解離してしまうことが抑制される。そして、内部電極がPdを所定量含有することにより、Pt粒子の形状変化が抑えられ、酸素ポンプに有効な3相界面が維持されるため、酸素ポンプ能力が長期間にわたって良好となり、又正確なガス濃度測定が可能となる。
【0011】
より好ましくは、内部電極は、Pt、Au及びPdの合量に対して、Pdを0.1wt%以上15wt%以下含有する。さらに好ましくは、内部電極は、Pt、Au及びPdの合量に対して、Pdを4wt%以上12wt%以下含有する。別に好ましくは、内部電極は、Pt、Au及びPdの合量に対して、Auを0.5wt%以上5wt%以下含有する。
【0012】
本発明のガスセンサはその好ましい実施の形態において、酸素ポンプセルの内部電極の一部、例えば、第1の空隙部に直接的に面する外周部分のみを、Pt、Au及びPdを含むよう形成する。また、本発明による内部電極には、本発明の効果が得られる限りにおいて、他の金属元素や酸素イオン伝導体と同質の成分を添加することができる。
【0013】
本発明による内部電極は、測定対象ガス成分の濃度を測定する上で酸素の影響を排除することが必要であり、このために、被測定ガスから酸素濃度が可及的に一定に制御されたガスを生成するガスセンサに好適に適用される。また、本発明によるガスセンサは、含酸素成分ガス、すなわちNOxガス濃度測定に好適に用いることができる
【0014】
本発明のガスセンサはその好ましい実施の形態において、第1の拡散抵抗部に通じる第1の空隙部と、酸素イオン伝導体上に第1の空隙部内外にそれぞれ面して形成された内部電極及び外部電極を備え、酸素を該第1の空隙部内外間で汲み出し入れする酸素ポンプセルと、第1の空隙部内に面して酸素イオン伝導体上に形成された酸素濃度検知電極と、第1の空隙部に第2の拡散抵抗部を通じて連通し第1の空隙部で酸素濃度が制御されたガスが導入される第2の空隙部と、酸素イオン伝導体上に第2の空隙部内に面して形成された電極を有する測定対象ガス成分濃度の測定用セルと、を有し、酸素濃度検知電極の電位に基づいて酸素ポンプセルによる酸素の汲み出し入れ量が制御され、又測定用セルに測定対象ガス成分の濃度に応じた電流又は電位が発生される。さらに好ましくは、第1の空隙部において酸素ポンプセルにより、第2の空隙部に拡散するガス中の酸素濃度を可及的に低く制御する。これによって、測定用セル(第2の酸素ポンプセル)に流れる酸素イオン伝導に起因する酸素ポンプ電流量が、第2の空隙部に拡散する酸素濃度の影響を受け難くされて、NOxガス濃度をよりよく反映するようになる。
【0015】
また、好ましくは、上記第1及び第2の空隙部(気体流通部)をセラミック等の多孔体、微細な貫通孔又は細かいスリット(すきま状にする)から構成する。
【0016】
本発明によるガスセンサ(素子)は、公知のグリーンシートの積層焼成によるガスセンサの製造技術に基づき、次のように作製することができる。すなわち、ZrO2グリーンシート単体、酸素ポンプセルの内部電極等となる多孔質な電極を形成するためPt等の電極成分を含むペースト、第1の拡散抵抗部(拡散孔)を形成するためのアルミナペースト、層間を絶縁するため或いは処理室を画成するための緻密層を形成するためのアルミナペースト、並びに処理室を画成するためのカーボンペーストなどがそれぞれ所定位置にスクリーン印刷法を用いて塗布されたZrO2グリーンシート、及び第2の拡散抵抗部(拡散孔)を形成するための多孔質セラミックス体(例えばアルミナ)が埋め込まれたZrO2グリーンシート等を積層し、乾燥し、焼成する。なお、ここでは安定化剤を含有するZrO2を用いることが好ましい。
【0017】
なお、酸素ポンプセルの内部電極となる原料ペーストは、Pt粉末、Au粉末、Pd粉末、ZrO2粉末及び適量の有機溶剤を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合することにより作製できる。或いは、Pt、Pdの合金とAuを混合し、乾式混合、分散、湿式混合を経て原料ペーストを作製することもできる。
【0018】
【実施例】
以上説明した本発明の好ましい実施の形態をさらに明確化するために、以下図面を参照して、本発明の一実施例を説明する。
【0019】
図1は、本発明の一実施例に係るガスセンサの説明図であり、ガスセンサ素子の先端部を長手方向に沿って積層方向に切断した断面を示している。図1を参照すると、このガスセンサ素子は、酸素イオン伝導性の固体電解質からなる第1層1〜第5層5が順に積層されて構成されている。なお、各層1〜5間には絶縁層が形成されている。第2層2及び第4層4は、酸素イオン伝導性の固体電解質層に代えて絶縁層(例えば緻密なアルミナ絶縁層)とすることができる。さらに、第2層2と同層に、第1層1、第2層2及び第3層3に囲まれて、被測定ガス雰囲気と画されてなる第1の空隙部7が画成されている。第4層4と同層に、第3層3、第4層4及び第5層5に囲まれて第2の空隙部9が画成されている。第2層2の両側面の一部には、第1の拡散抵抗部6が形成されている。第1の空隙部7の一側は、第1の拡散抵抗部6を通じて被測定ガス雰囲気に連通している。第3層3中には、第2の拡散抵抗部8が形成されている。第2の拡散抵抗部8の一側は、第1の空隙部7の他側であって第1の拡散抵抗部6から離間した位置に開口している。第2の拡散抵抗部8の他側は、第2の空隙部9に開口している。これによって、第1の空隙部7と第2の空隙部9は拡散抵抗を介して互いに連通している。
【0020】
酸素イオン伝導性の固体電解質層である第1層1の被測定雰囲気に面する一面上には第1の外部電極10、その第1の空隙部7に面する他面上には第1の内部電極11が形成されている。但し、第1の内部電極11の長さは、第1の外部電極10の長さより短くされ、第1の拡散抵抗部6近傍から第2の拡散抵抗部8の開口直上直前まで延在し、同開口直上までは形成されていない。第1の酸素ポンプセルは、第1層1、第1の外部電極10及び第1の内部電極11から構成される。
【0021】
酸素イオン伝導性の固体電解質層である第3層3の第1の空隙部7に面する一面上には、酸素濃度検知電極12が第2の拡散抵抗部8の開口周囲に形成されている。第3層3の他面上(第3層3、第4層4間)には、酸素濃度基準電極13が形成されている。酸素濃度測定セルは、第3層3、酸素濃度検知電極12及び酸素濃度基準電極13から構成される。なお、酸素濃度基準電極13の電位を安定化させるため、酸素濃度基準電極13に微小電流を供給することにより電極部の酸素濃度を高めてなる自己生成基準極とすることが好ましい。
【0022】
酸素イオン伝導性の固体電解質層である第5層5の一面上、第2の空隙部9に面して第2の内部電極14が形成され、第2の空隙部9外(第4層4、第5層5間)には第2の外部電極15が形成されている。第2の酸素ポンプセル、すなわち測定対象ガス成分濃度の測定用セルは、第5層5、第2の内部電極14及び第2の外部電極15から構成される。
【0023】
また、第1の外部電極10と第1の内部電極11間には、電源16及び第1の電流計17が互いに直列に接続されている。電源16が第1の外部電極10と第1の内部電極11間に印加する第1の印加電圧Vp1は、酸素濃度検知電極12と酸素濃度基準電極13の電位差が一定となるよう可変に制御される。第1の電流計17は、第1の外部電極10と第1の内部電極11間に流れる第1の酸素ポンプ電流Ip1を検出する。第1の酸素ポンプ電流Ip1の大きさは基本的に被測定ガス中の酸素濃度に比例する。一方、第2の内部電極14と第2の外部電極15間には定電圧源18及び第2の電流計19が接続されている。第2の電流計19は、第2の内部電極14と第2の外部電極15間に流れる第2の酸素ポンプ電流Ip2を検出する。第2の酸素ポンプ電流Ip2の大きさは基本的に被測定ガス中の測定対象ガス成分の濃度に比例している。
【0024】
なお、ガスセンサ素子を適温で動作させるために、素子の上層及び/又は下層にヒータ(不図示)が設置ないし貼着される。
【0025】
[試験例]
次に、図1に示した構成を有し、酸素ポンプセルの内部電極におけるPd添加量が互いに異なる3種のガスセンサ(実施例A,B及び参考例C)と、比較のため、この内部電極にPdが添加されていない以外は、実施例A,B及び参考例Cに係るガスセンサと同様の構成を有するガスセンサ(比較例1)を作製した。下記の表1に、各ガスセンサが有する内部電極の組成を示す。そして、これらのガスセンサを用いて、後述の試験1〜4を行った。なお、各内部電極においては、電極成分(Pt、Au及びPd)の合量に対して、固体電解質層と同成分(ZrO2)が14wt%外部添加されている。
【0026】
【表1】

Figure 0004165976
【0027】
[試験1:初期特性試験]
まず、各ガスセンサにO2=7%、NO=0ppm又は1500ppmとした被測定ガスをそれぞれ投入して、各ガスセンサの酸素ポンプセルに流れる第1の酸素ポンプ電流Ip1、測定用セルに流れる第2の酸素ポンプ電流Ip2を測定した。この試験条件を下記に示す。
【0028】
<試験1の条件>
[被測定ガス組成 NO:0,1500ppm、O2:7%、CO2:10%、H2O:10%、N2:bal、
被測定ガス温度 680℃、
測定用セル(第2の酸素ポンプセル)への印加電圧450mV]。
【0029】
試験1の結果を説明する。図2は、各ガスセンサにおいて、第1の酸素ポンプ電流Ip1の初期特性を示すグラフ、図3は同じく第1の印加電圧Vp1初期特性を示すグラフ、図4は同じく第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセット初期特性を示すグラフ、及び図5は同じく第2の酸素ポンプ電流Ip2の感度ΔIp2の初期特性を示すグラフである。なお、第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセットとは、NO=0ppmとしたときの第2の酸素ポンプ電流Ip2値であり、第2の空隙部に残留している酸素濃度に対応している。第2の酸素ポンプ電流Ip2の感度ΔIp2とは、NO=0ppmと1500ppmしたときにそれぞれ流れる第2の酸素ポンプ電流Ip2の差である。
【0030】
図2を参照すると、実施例A,B、参考例C及び比較例1のガスセンサにおいて、ほぼ同レベルの第1の酸素ポンプ電流Ip1が流れている。そして、図3を参照すると、各ガスセンサにおいて、第1の印加電圧Vp1は同等であった。ゆえに、内部電極としてPd添加電極(Pt+Au+Pd電極)を用いた実施例A,B及び参考例Cに係る酸素ポンプセルの初期酸素ポンピング能力は、内部電極としてPt+Au電極を用いた比較例1に係る酸素ポンプセルの初期酸素ポンピング能力と、同等であることが分かる。
【0031】
また、図4を参照すると、各ガスセンサにおいて、第1の空隙部から第2の空隙部へ拡散したガス中に残留している酸素濃度を示す第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセットの値がきわめて小さい。換言すれば、各ガスセンサが出力する第2の酸素ポンプ電流Ip2の酸素濃度依存性はきわめて小さく、第1の空隙部において酸素濃度が一定にされたガスを生成するための制御が高精度に実行されていることが分かる。
【0032】
一方、図5を参照すると、実施例A,B及び参考例Cに係るガスセンサの第2の酸素ポンプ電流Ip2の感度ΔIp2(特に参考例Cの感度ΔIp2)は、比較例1に係るガスセンサの第2の酸素ポンプ電流Ip2の感度ΔIp2を下回る結果となった。
【0033】
[試験2、初期特性試験]
次に、各ガスセンサに下記の被測定ガス▲1▼、被測定ガス▲2▼をそれぞれ投入し、酸素ポンプセルの内部電極と外部電極間に印加する第1の印加電圧Vp1を徐々に増加して、酸素ポンプセルの限界電流特性[初期特性]を調べた。この試験条件を下記に示す。
【0034】
<試験2の条件>
[被測定ガス組成▲1▼O2:750ppm+N2=bal.、
被測定ガス組成▲2▼NO:1500ppm+N2=bal.、
被測定ガス温度 680℃、
酸素ポンプセルへの印加電圧 0〜600mV(0.8mV/sec スウィープ通電)]。
【0035】
試験2の結果を説明する。図6は、被測定ガス▲1▼投入時、すなわちNOがない場合の酸素ポンプセルの限界電流特性(初期特性)を示すグラフ、図7は、同じく被測定ガス▲2▼投入時、すなわちNOが有る場合の酸素ポンプセルの限界電流特性(初期特性)を示すグラフである。
【0036】
図6を参照すると、各ガスセンサによれば、非限界領域(Vp1が0〜600mVの範囲)において、第1の酸素ポンプ電流Ip1をあらわす直線の傾きは互いに殆ど変わらないから、実施例A,B及び参考例Cに係るガスセンサが有する酸素ポンプセルの酸素ポンピング能力は、比較例1に係るガスセンサが有する酸素ポンプセルの酸素ポンピング能力と同等であることが分かる。
【0037】
図7を参照すると、実施例A,B及び参考例Cのガスセンサにおいては、比較例1のガスセンサと対比して、比較的低い第1の酸素ポンプ電圧Vp1で、第1の酸素ポンプ電流Ip1の値が大きくなっている。すなわち、実施例A,Bのガスセンサが有する酸素ポンプセルの内部電極、すなわち、Pd添加電極は、比較例1のガスセンサが有する酸素ポンプセルのPd無添加電極に比べて、NOx解離抑制能力が若干劣ることが分かる。特に、参考例Cの内部電極(電極成分中Pd=30wt%)は、NOx解離抑制能力が劣ることが分かる。また、図6及び図7を対照して、初期試験におけるO2に対するIp1の限界電流値と、同じくNOに対するIp1の限界電流値とを比較すると、いずれのガスセンサにおいても、両者の値はほとんど変わらなかった。
【0038】
ここで、各ガスセンサの第1の空隙部におけるNOx解離率を、第1の空隙部内の酸素濃度が一定となるような制御を行った場合における第1の酸素ポンプ電流Ip1のゲインΔIp1を、Vp1=600mVにおける第1の酸素ポンプ電流Ip1で割ることにより求めた。図8は、各ガスセンサにおいて、第1の空隙部におけるNOx解離率(初期特性)を示すグラフである。
【0039】
図8を参照すると、実施例A,BのガスセンサのPd添加電極は、比較例1ののPd無添加電極に比べて、NOx解離抑制能力が若干劣ることが確認された。
【0040】
[試験3、連続通電稼動(耐久)試験]
次に、実施例A,B及び比較例1のガスセンサを下記の条件で連続通電稼動し、下記の各稼動時間において、上記試験1(初期試験)と同様の試験を行い、ガスセンサの耐久特性(特性の経時変化)を調べた。
【0041】
<試験3の条件>
[被測定ガス組成 大気、
稼動時間 0,154,235,535,1013,1315時間、これら各稼動時間で特性を測定、
その他の条件は上述の試験1の試験条件を参照のこと]。
【0042】
試験3の結果を説明する。図9は、各ガスセンサにおいて第1の酸素ポンプ電流Ip1の耐久特性を示すグラフ、図10は同じく第1の印加電圧Vp1の耐久特性を示すグラフである。
【0043】
図9を参照すると、連続通電稼動試験を通じて、比較例1に係るガスセンサが出力する第1の酸素ポンプ電流Ip1のレベルは、実施例A及びBのガスセンサのそれに比べて低下していった。図10を参照すると、比較例1に係る第1の印加電圧Vp1のレベルは、実施例A及びBのそれに比べて上昇していった。よって、比較例1のガスセンサにおいては、第1の空隙部から外部へ酸素を汲み出すのに高電圧を要しているから、所定期間使用後、実施例A及びBのガスセンサに比べて、その酸素ポンプセルの酸素ポンピング能力が低下することが分かる。
【0044】
図11は、第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセット耐久特性を示すグラフ、図12は同じく第2の酸素ポンプ電流Ip2の感度ΔIp2の耐久特性を示すグラフである。
【0045】
図11を参照すると、比較例1のガスセンサにおいては、酸素ポンピング能力が低下したことにより、連続稼動時間500時間以降、第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセット電流が急激に上昇した。一方、実施例A及びBのガスセンサにおいて、このオフセット電流の上昇は非常に小さかった。
【0046】
図12を参照すると、比較例1のガスセンサにおいては、連続稼動時間500時間を経過したあたりから、第1の印加電圧Vp1及び第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセット電流の上昇に伴い、感度ΔIp2が低下した。一方、実施例A及びBのガスセンサは、全連続稼動時間を通じて、高い感度ΔIp2を維持していた。
【0047】
[試験4、連続通電稼動(耐久)試験後]
また、前記試験3の後、すなわち、連続通電稼動(耐久)試験後、上記試験2と同様の試験4を行い、各ガスセンサが有する酸素ポンプセルに流れる限界電流特性の経時変化を調べた。図13は、被測定ガス▲1▼投入時、すなわちNOがない場合の酸素ポンプセルの限界電流特性(耐久特性)を示すグラフ、図14は、同じく被測定ガス▲2▼投入時、すなわちNOが有る場合の酸素ポンプセルの限界電流特性(耐久特性)を示すグラフである。
【0048】
図13を参照すると、連続通電稼動(耐久)試験後、NOが無い場合における比較例1の第1の酸素ポンプ電流Ip1曲線の傾きは実施例A及びBのそれに比べて低く、比較例1のIp1曲線はなかなか飽和しなかった。図14を参照すると、連続通電稼動(耐久)試験後、NOが有る場合における比較例1の第1の酸素ポンプ電流Ip1曲線の傾きも実施例A及びBのそれに比べて低く、比較例1のIp1曲線はなかなか飽和しなかった。また、図13及び図14を対照して、耐久試験後におけるO2に対するIp1の限界電流値と、同じくNOに対するIp1の限界電流値とを比較すると、比較例1の場合にはNOに対するIp1の限界電流値がO2に対するIp1の限界電流値に比べて大きく低下していた。これらの結果より、長期間使用後、比較例1のガスセンサにおいては、酸素ポンプセルの酸素ポンピング能力が低下すること、及びこの酸素ポンプセルの内部電極が劣化することが分かる。
【0049】
図15は、連続通電稼動試験後の各ガスセンサにおいて、第1の空隙部におけるNOx解離率を示すグラフである。前記図8と図15を対照すると、比較例1、実施例A及びBに係るガスセンサにおいて、連続通電稼動試験後のNOx解離抑制能力はいずれも、初期時のものとほとんど変わらなかった。
【0050】
以上の試験結果より、本発明によるガスセンサによれば、長期間にわたって、酸素ポンプセルの酸素ポンピング能力劣化が抑制され、これによって、NOxガス濃度検出の酸素濃度依存性を低減されることが分かる。つまり、本発明によるガスセンサは、長期間にわたる、正確なNOxガス濃度の測定を可能とする。
【0051】
【発明の効果】
本発明によれば、ガスセンサの構成要素である酸素ポンプセルの内部電極として、Pt,AuにPdを添加した電極を用いたことにより、長期間使用後も、この酸素ポンプセルの酸素ポンピング能力の低下が小さくされ、この結果、検出精度の経時変化が少ないガスセンサが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るガスセンサの説明図であり、ガスセンサ素子の先端部を長手方向に沿って積層方向に切断した断面を示している。
【図2】各ガスセンサにおいて、第1の酸素ポンプ電流Ip1の初期特性を示すグラフである。
【図3】各ガスセンサにおいて、第1の印加電圧Vp1初期特性を示すグラフである。
【図4】各ガスセンサにおいて、第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセット初期特性を示すグラフである。
【図5】各ガスセンサにおいて、第2の酸素ポンプ電流Ip2の感度ΔIp2の初期特性を示すグラフである。
【図6】各ガスセンサにおいて、NOがない場合における酸素ポンプセルの限界電流初期特性を示すグラフである。
【図7】各ガスセンサにおいて、NOが有る場合における酸素ポンプセルの限界電流初期特性を示すグラフである。
【図8】各ガスセンサにおいて、第1の空隙部におけるNOx解離率(初期特性)を示すグラフである。
【図9】各ガスセンサにおいて、第1の酸素ポンプ電流Ip1の耐久特性を示すグラフである。
【図10】各ガスセンサにおいて、第1の印加電圧Vp1の耐久特性を示すグラフである。
【図11】各ガスセンサにおいて、第2の酸素ポンプ電流Ip2のオフセット耐久特性を示すグラフである。
【図12】各ガスセンサにおいて、第2の酸素ポンプ電流Ip2の感度ΔIp2の耐久特性を示すグラフである。
【図13】NOがない場合の酸素ポンプセルの限界電流特性(耐久特性)を示すグラフである。
【図14】NOが有る場合の酸素ポンプセルの限界電流特性(耐久特性)を示すグラフである。
【図15】連続通電稼動試験後の各ガスセンサにおいて、第1の空隙部におけるNOx解離率を示すグラフである。
【符号の説明】
1,…,5 第1層,…,第5層
6 第1の拡散抵抗部
7 第1の空隙部
8 第2の拡散抵抗部
9 第2の空隙部
10 第1の外部電極(酸素ポンプセルの外部電極)
11 第1の内部電極(Pt+Au+Pd添加電極、酸素ポンプセルの内部電極)
12 酸素濃度検知電極
13 酸素濃度基準電極
14 第2の内部電極(測定用セルの内部電極)
15 第2の外部電極(測定用セルの外部電極)
16 電源
17 第1の電流計
18 定電圧源
19 第2の電流計[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to a gas sensor, and in particular, NOx gas concentration in exhaust gas of an internal combustion engine for automobiles, ships, airplanes, etc., or in combustion gas of a boiler, etc.ofThe present invention relates to a gas sensor used for measurement, and particularly relates to an electrode component of an oxygen pump cell that is a constituent element of the gas sensor.
[0002]
[Prior art]
An oxygen pump cell of a gas sensor generally has an oxygen ion conductor, an internal electrode formed on the oxygen ion conductor so as to face a gap of the gas sensor, and a surface to be measured on the oxygen ion conductor. And an external electrode formed as described above.
[0003]
By the way, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-288086 discloses a first chamber into which a gas to be measured is introduced through a first diffusion rate-limiting part, and a second chamber into which gas is introduced from the first chamber through a second diffusion rate-limiting part. And an oxygen pump cell that controls the oxygen concentration in the first chamber, a measurement pump cell that pumps out oxygen in the second chamber, and an ammeter that detects the pump current that flows due to the operation of the measurement pump cell. A measuring device for obtaining the NOx gas concentration based on the detected value has been proposed. Further, this publication describes a component of the oxygen pump cell, wherein an internal electrode formed on the oxygen ion conductor so as to face the first chamber is composed of 0.01 wt% or more and less than 1 wt% Au, and the remainder It has been proposed to use an Au-added electrode made of an alloy mainly composed of a platinum group element, in particular, to use “Pt, Rh, etc.” as the platinum group element. The reason is that the electrode containing the above alloy has extremely low NOx dissociation catalytic ability and does not dissociate NOx even under a low oxygen concentration. Therefore, oxygen that inhibits accurate NOx gas concentration measurement is selectively used in the first chamber. Can be excluded.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, as proposed in JP-A-9-288086, an oxygen pump cell using an Au-added electrode as its internal electrode tends to have a reduced oxygen pumping capacity with the passage of time. As a result, the residual oxygen concentration in the gas diffusing from the first chamber to the second chamber increases, and the NOx gas is accurately generated based on the pump current flowing through the measurement pump cell provided facing the second chamber. The problem that it cannot be detected arises.
[0005]
An object of the present invention is to provide a gas sensor with little change in detection accuracy with time. Another object of the present invention is to provide a gas sensor having an oxygen pump cell with little change in oxygen pumping capacity with time.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides a gas sensor in which at least an internal electrode of an oxygen pump cell contains a predetermined amount of Pt, Au, and Pd. The internal electrode according to the present invention has the same oxygen pumping ability but low NOx dissociation inhibiting ability as compared with a conventional Au-added electrode obtained by adding Au to Pt. Therefore, in the initial stage of use of the gas sensor, the element sensitivity (initial element sensitivity) of the gas sensor having the oxygen pump cell having the internal electrode according to the present invention is the element sensitivity (initial element sensitivity) of the gas sensor having the oxygen pump cell having the conventional Au added electrode. It tends to decrease slightly compared to (sensitivity). However, according to the gas sensor of the present invention, the change over time of the oxygen pumping capacity is reduced, so that the element sensitivity of the gas sensor of the present invention is less changed over time than that of the conventional gas sensor. Therefore, according to the gas sensor of the present invention, accurate gas concentration measurement can be performed over a long period of time. The reason why such an effect is obtained will be described below.
[0007]
That is, the present inventors conducted a durability test of a conventional gas sensor using an Pt + Au (1 wt%) electrode as an internal electrode of an oxygen pump cell, and observed the outermost surface of this internal electrode by SEM. The Pt particles were buried in other electrode constituents, and the Pt particles were found to be smooth. Similarly, the present inventors conducted a durability test of the gas sensor using the electrode according to the present invention containing Pt, Au and Pd as the internal electrode of the oxygen pump cell, and observed the outermost surface of the internal electrode according to the present invention by SEM. As a result, as compared with the case of the conventional electrode, it was found that the Pt particles were not embedded in other components, and the Pt particles remained as large particles. That is, the addition of Pd suppresses the change in the shape of the Pt particles over a long period of time, and the area of the three-phase interface (the interface between the gas phase, the catalyst phase, and the oxygen ion conduction phase) necessary to maintain the oxygen pumping capacity is sufficient As a result of the maintenance, it is considered that the change over time in the oxygen pumping capacity was reduced. Therefore, according to the gas sensor of the present invention, accurate gas concentration measurement can be performed over a long period of time.
[0008]
The other viewpoints and features of the present invention are as described in the respective claims, and duplication of the description is omitted with reference thereto. Thus, each feature of each claim is considered to be described herein. Each dependent claim can be applied to each independent claim as long as it does not violate the principle of the invention described in each independent claim, and a dependent claim can be applied to other dependent claims.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described.
[0010]
In a preferred embodiment of the gas sensor of the present invention, the porous internal electrode contains Pt, Au and Pd, provided that Pd is 0.1 wt% or more and 25 wt% with respect to the total amount of Pt, Au and Pd. Hereinafter, Au is contained in an amount of 0.1 wt% to 30 wt%. When the internal electrode contains a predetermined amount of Pt, the oxygen pumping capacity of the oxygen pump cell is increased. Further, since the internal electrode contains a predetermined amount of Au, the oxygen pump cell is suppressed from dissociating the measurement target component, particularly the oxygen-containing component, for example, NOx. Since the internal electrode contains a predetermined amount of Pd, the change in shape of the Pt particles is suppressed, and an effective three-phase interface is maintained for the oxygen pump. Gas concentration can be measured.
[0011]
More preferably, the internal electrode contains 0.1 wt% or more and 15 wt% or less of Pd with respect to the total amount of Pt, Au, and Pd. More preferably, the internal electrode contains 4 wt% or more and 12 wt% or less of Pd with respect to the total amount of Pt, Au, and Pd. In another preferred embodiment, the internal electrode contains 0.5 wt% or more and 5 wt% or less of Au with respect to the total amount of Pt, Au, and Pd.
[0012]
In a preferred embodiment of the gas sensor of the present invention, a part of the internal electrode of the oxygen pump cell, for example, only the outer peripheral part directly facing the first gap is formed so as to contain Pt, Au and Pd. In addition, the internal electrode according to the present invention can be added with components similar to those of other metal elements and oxygen ion conductors as long as the effects of the present invention are obtained.
[0013]
  The internal electrode according to the present invention needs to eliminate the influence of oxygen in measuring the concentration of the gas component to be measured. For this purpose, the oxygen concentration is controlled as constant as possible from the gas to be measured. It is suitably applied to a gas sensor that generates gas. Further, the gas sensor according to the present invention includes an oxygen-containing component gas, that is, NOx.ofIt can be used suitably for gas concentration measurement.
[0014]
In a preferred embodiment of the gas sensor according to the present invention, a first gap portion communicating with the first diffusion resistance portion, an internal electrode formed on the oxygen ion conductor so as to face the inside and outside of the first gap portion, and An oxygen pump cell comprising an external electrode for pumping oxygen in and out of the first gap, an oxygen concentration detection electrode formed on the oxygen ion conductor facing the first gap, and a first A second void portion that communicates with the void portion through the second diffusion resistance portion and into which a gas having an oxygen concentration controlled in the first void portion is introduced, and faces the oxygen ion conductor in the second void portion. A measuring cell for measuring a gas component concentration having an electrode formed by controlling the oxygen pumping-out amount of the oxygen pump cell based on the potential of the oxygen concentration detecting electrode, and measuring the measuring cell in the measuring cell Current according to the concentration of gas components The potential is generated. More preferably, the oxygen concentration in the gas diffusing into the second gap is controlled as low as possible by the oxygen pump cell in the first gap. As a result, the amount of oxygen pump current caused by the conduction of oxygen ions flowing through the measurement cell (second oxygen pump cell) is less affected by the oxygen concentration diffusing into the second gap, and the NOx gas concentration is further increased. Reflect well.
[0015]
Preferably, the first and second void portions (gas flow portions) are formed of a porous body such as ceramic, a fine through hole, or a fine slit (gap).
[0016]
The gas sensor (element) according to the present invention can be manufactured as follows based on a known technology for manufacturing a gas sensor by laminating and firing green sheets. That is, ZrO2Green sheet alone, paste containing electrode components such as Pt to form a porous electrode that will be the internal electrode of the oxygen pump cell, alumina paste to form the first diffusion resistance part (diffusion hole), and insulation between layers ZrO in which an alumina paste for forming a dense layer for defining a processing chamber or a carbon paste for defining a processing chamber is applied to a predetermined position using a screen printing method.2ZrO embedded with a green sheet and a porous ceramic body (for example, alumina) for forming a second diffusion resistance portion (diffusion hole)2Laminate green sheets, etc., dry and fire. Here, ZrO containing a stabilizer is used.2Is preferably used.
[0017]
In addition, the raw material paste used as the internal electrode of the oxygen pump cell is Pt powder, Au powder, Pd powder, ZrO2It can be prepared by mixing and dispersing a powder and an appropriate amount of an organic solvent, adding a solution obtained by dissolving an organic binder in an organic solvent, adding a viscosity modifier, and mixing them. Alternatively, an alloy of Pt and Pd and Au can be mixed, and a raw material paste can be produced through dry mixing, dispersion, and wet mixing.
[0018]
【Example】
In order to further clarify the preferred embodiment of the present invention described above, an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0019]
FIG. 1 is an explanatory view of a gas sensor according to an embodiment of the present invention, and shows a cross section obtained by cutting the distal end portion of the gas sensor element in the stacking direction along the longitudinal direction. Referring to FIG. 1, this gas sensor element is configured by sequentially laminating a first layer 1 to a fifth layer 5 made of an oxygen ion conductive solid electrolyte. An insulating layer is formed between each layer 1-5. The second layer 2 and the fourth layer 4 may be insulating layers (for example, dense alumina insulating layers) instead of the oxygen ion conductive solid electrolyte layer. Further, in the same layer as the second layer 2, a first gap 7 is defined that is surrounded by the first layer 1, the second layer 2, and the third layer 3 and is defined as a measurement gas atmosphere. Yes. In the same layer as the fourth layer 4, a second gap portion 9 is defined by being surrounded by the third layer 3, the fourth layer 4, and the fifth layer 5. First diffused resistor portions 6 are formed on part of both side surfaces of the second layer 2. One side of the first gap portion 7 communicates with the measurement gas atmosphere through the first diffusion resistance portion 6. In the third layer 3, a second diffused resistor portion 8 is formed. One side of the second diffused resistor portion 8 is open on the other side of the first gap portion 7 and at a position separated from the first diffused resistor portion 6. The other side of the second diffused resistor portion 8 is open to the second gap portion 9. As a result, the first gap 7 and the second gap 9 communicate with each other via the diffusion resistance.
[0020]
The first external electrode 10 is on one surface of the first layer 1, which is an oxygen ion conductive solid electrolyte layer, facing the measurement atmosphere, and the first surface is on the other surface facing the first gap 7. An internal electrode 11 is formed. However, the length of the first internal electrode 11 is shorter than the length of the first external electrode 10 and extends from the vicinity of the first diffused resistor portion 6 to immediately above the opening of the second diffused resistor portion 8, It is not formed up to just above the opening. The first oxygen pump cell includes a first layer 1, a first external electrode 10, and a first internal electrode 11.
[0021]
An oxygen concentration detection electrode 12 is formed around the opening of the second diffusion resistance portion 8 on one surface facing the first gap portion 7 of the third layer 3 which is an oxygen ion conductive solid electrolyte layer. . An oxygen concentration reference electrode 13 is formed on the other surface of the third layer 3 (between the third layer 3 and the fourth layer 4). The oxygen concentration measurement cell includes the third layer 3, the oxygen concentration detection electrode 12, and the oxygen concentration reference electrode 13. In order to stabilize the potential of the oxygen concentration reference electrode 13, it is preferable that a self-generated reference electrode is formed by increasing the oxygen concentration of the electrode portion by supplying a minute current to the oxygen concentration reference electrode 13.
[0022]
A second internal electrode 14 is formed on one surface of the fifth layer 5, which is an oxygen ion conductive solid electrolyte layer, facing the second gap portion 9, and outside the second gap portion 9 (fourth layer 4 The second external electrode 15 is formed between the fifth layers 5. The second oxygen pump cell, that is, the cell for measuring the gas component concentration to be measured includes the fifth layer 5, the second internal electrode 14, and the second external electrode 15.
[0023]
A power source 16 and a first ammeter 17 are connected in series between the first external electrode 10 and the first internal electrode 11. The first applied voltage Vp1 applied by the power supply 16 between the first external electrode 10 and the first internal electrode 11 is variably controlled so that the potential difference between the oxygen concentration detection electrode 12 and the oxygen concentration reference electrode 13 is constant. The The first ammeter 17 detects a first oxygen pump current Ip1 that flows between the first external electrode 10 and the first internal electrode 11. The magnitude of the first oxygen pump current Ip1 is basically proportional to the oxygen concentration in the gas to be measured. On the other hand, a constant voltage source 18 and a second ammeter 19 are connected between the second internal electrode 14 and the second external electrode 15. The second ammeter 19 detects a second oxygen pump current Ip2 that flows between the second inner electrode 14 and the second outer electrode 15. The magnitude of the second oxygen pump current Ip2 is basically proportional to the concentration of the measurement target gas component in the gas to be measured.
[0024]
In order to operate the gas sensor element at an appropriate temperature, a heater (not shown) is installed or adhered to the upper layer and / or the lower layer of the element.
[0025]
[Test example]
Next, three types of gas sensors (Examples A and B and Reference Example C) having the configuration shown in FIG. 1 and having different amounts of Pd added to the internal electrode of the oxygen pump cell are compared with the internal electrode for comparison. A gas sensor (Comparative Example 1) having the same configuration as the gas sensors according to Examples A and B and Reference Example C was prepared except that Pd was not added. Table 1 below shows the composition of the internal electrodes of each gas sensor. And the below-mentioned tests 1-4 were done using these gas sensors. In each internal electrode, the same component as the solid electrolyte layer (ZrO) with respect to the total amount of the electrode components (Pt, Au, and Pd).2) Is externally added at 14 wt%.
[0026]
[Table 1]
Figure 0004165976
[0027]
[Test 1: Initial characteristic test]
First, O for each gas sensor2= 7%, NO = 0 ppm or 1500 ppm, and the first oxygen pump current Ip1 flowing in the oxygen pump cell of each gas sensor and the second oxygen pump current Ip2 flowing in the measurement cell were measured. . The test conditions are shown below.
[0028]
<Conditions for Test 1>
[Measured gas composition NO: 0.1500 ppm, O2: 7%, CO2: 10%, H2O: 10%, N2: Bal,
Measured gas temperature 680 ° C,
Application voltage 450 mV to measurement cell (second oxygen pump cell)].
[0029]
The result of Test 1 will be described. FIG. 2 is a graph showing the initial characteristics of the first oxygen pump current Ip1 in each gas sensor, FIG. 3 is a graph showing the first applied voltage Vp1 initial characteristics, and FIG. 4 is a graph showing the second oxygen pump current Ip2. FIG. 5 is a graph showing the initial characteristic of the offset, and FIG. 5 is a graph showing the initial characteristic of the sensitivity ΔIp2 of the second oxygen pump current Ip2. The offset of the second oxygen pump current Ip2 is the second oxygen pump current Ip2 value when NO = 0 ppm, and corresponds to the oxygen concentration remaining in the second gap. The sensitivity ΔIp2 of the second oxygen pump current Ip2 is a difference between the second oxygen pump current Ip2 that flows when NO = 0 ppm and 1500 ppm, respectively.
[0030]
Referring to FIG. 2, in the gas sensors of Examples A and B, Reference Example C, and Comparative Example 1, a first oxygen pump current Ip1 of almost the same level flows. Then, referring to FIG. 3, the first applied voltage Vp1 was the same in each gas sensor. Therefore, the initial oxygen pumping ability of the oxygen pump cells according to Examples A and B and Reference Example C using the Pd-added electrode (Pt + Au + Pd electrode) as the internal electrode is the same as the oxygen pump cell according to Comparative Example 1 using the Pt + Au electrode as the internal electrode. It can be seen that the initial oxygen pumping ability is equivalent.
[0031]
Further, referring to FIG. 4, in each gas sensor, the offset value of the second oxygen pump current Ip2 indicating the oxygen concentration remaining in the gas diffused from the first gap portion to the second gap portion is extremely high. small. In other words, the oxygen concentration dependence of the second oxygen pump current Ip2 output by each gas sensor is extremely small, and control for generating a gas having a constant oxygen concentration in the first gap is executed with high accuracy. You can see that.
[0032]
On the other hand, referring to FIG. 5, the sensitivity ΔIp2 (particularly the sensitivity ΔIp2 of Reference Example C) of the second oxygen pump current Ip2 of the gas sensor according to Examples A and B and Reference Example C is the same as that of the gas sensor according to Comparative Example 1. The result was below the sensitivity ΔIp2 of the oxygen pump current Ip2 of 2.
[0033]
[Test 2, initial characteristic test]
Next, the following gas to be measured (1) and gas to be measured (2) are respectively introduced into each gas sensor, and the first applied voltage Vp1 applied between the internal electrode and the external electrode of the oxygen pump cell is gradually increased. The limiting current characteristic [initial characteristic] of the oxygen pump cell was examined. The test conditions are shown below.
[0034]
<Conditions for Test 2>
[Measured gas composition (1) O2: 750 ppm + N2= Bal. ,
Gas composition to be measured (2) NO: 1500 ppm + N2= Bal. ,
Measured gas temperature 680 ° C,
Applied voltage to oxygen pump cell 0 to 600 mV (0.8 mV / sec sweep energization)].
[0035]
The result of Test 2 will be described. FIG. 6 is a graph showing the limiting current characteristic (initial characteristic) of the oxygen pump cell when the gas to be measured (1) is input, that is, when NO is not present, and FIG. It is a graph which shows the limiting current characteristic (initial characteristic) of the oxygen pump cell when it exists.
[0036]
Referring to FIG. 6, according to each gas sensor, the slopes of the straight lines representing the first oxygen pump current Ip1 hardly change in the non-limit region (the range where Vp1 is 0 to 600 mV). It can be seen that the oxygen pumping capacity of the oxygen pump cell included in the gas sensor according to Reference Example C is equivalent to the oxygen pumping capacity of the oxygen pump cell included in the gas sensor according to Comparative Example 1.
[0037]
Referring to FIG. 7, in the gas sensors of Examples A and B and Reference Example C, the first oxygen pump current Ip1 of the first oxygen pump voltage Ip1 is relatively low as compared with the gas sensor of Comparative Example 1. The value is increasing. That is, the internal electrode of the oxygen pump cell included in the gas sensors of Examples A and B, that is, the Pd-added electrode is slightly inferior to the NOx dissociation suppressing ability of the oxygen pump cell included in the gas sensor of Comparative Example 1 I understand. In particular, it can be seen that the internal electrode of Reference Example C (Pd in electrode component = 30 wt%) is inferior in NOx dissociation suppressing ability. In addition, in contrast to FIG. 6 and FIG.2When the limit current value of Ip1 with respect to NO and the limit current value of Ip1 with respect to NO were compared, the values of both were almost the same in any gas sensor.
[0038]
Here, the gain ΔIp1 of the first oxygen pump current Ip1 when the NOx dissociation rate in the first gap of each gas sensor is controlled so that the oxygen concentration in the first gap is constant is expressed as Vp1. It was determined by dividing by the first oxygen pump current Ip1 at = 600 mV. FIG. 8 is a graph showing the NOx dissociation rate (initial characteristics) in the first gap in each gas sensor.
[0039]
Referring to FIG. 8, it was confirmed that the Pd-added electrodes of the gas sensors of Examples A and B were slightly inferior in NOx dissociation suppressing ability as compared with the Pd-free electrode of Comparative Example 1.
[0040]
[Test 3, continuous energization operation (durability) test]
Next, the gas sensors of Examples A and B and Comparative Example 1 were continuously energized under the following conditions, and the same tests as in Test 1 (Initial Test) were performed at the following operating times. Changes in characteristics over time) were examined.
[0041]
<Conditions for Test 3>
[Measured gas composition Atmosphere,
Operating time 0,154,235,535,1013,1315 hours, characteristics measured at each of these operating times,
For other conditions, see the test conditions of Test 1 above].
[0042]
The result of Test 3 will be described. FIG. 9 is a graph showing the durability characteristics of the first oxygen pump current Ip1 in each gas sensor, and FIG. 10 is a graph showing the durability characteristics of the first applied voltage Vp1.
[0043]
Referring to FIG. 9, through the continuous energization operation test, the level of the first oxygen pump current Ip1 output by the gas sensor according to Comparative Example 1 was lower than that of the gas sensors of Examples A and B. Referring to FIG. 10, the level of the first applied voltage Vp <b> 1 according to Comparative Example 1 increased compared to that of Examples A and B. Therefore, in the gas sensor of Comparative Example 1, since a high voltage is required to pump out oxygen from the first gap to the outside, the gas sensor after using it for a predetermined period of time compared to the gas sensors of Examples A and B. It can be seen that the oxygen pumping capacity of the oxygen pump cell is reduced.
[0044]
FIG. 11 is a graph showing the offset durability characteristic of the second oxygen pump current Ip2, and FIG. 12 is a graph showing the durability characteristic of the sensitivity ΔIp2 of the second oxygen pump current Ip2.
[0045]
Referring to FIG. 11, in the gas sensor of Comparative Example 1, the offset current of the second oxygen pump current Ip2 rapidly increased after the continuous operation time of 500 hours due to the decrease in the oxygen pumping capacity. On the other hand, in the gas sensors of Examples A and B, the increase in offset current was very small.
[0046]
Referring to FIG. 12, in the gas sensor of Comparative Example 1, the sensitivity ΔIp2 is increased with the increase in the offset current of the first applied voltage Vp1 and the second oxygen pump current Ip2 after the continuous operation time of 500 hours has elapsed. Declined. On the other hand, the gas sensors of Examples A and B maintained high sensitivity ΔIp2 throughout the entire continuous operation time.
[0047]
[After test 4, continuous energization operation (durability) test]
Further, after the test 3, that is, after the continuous energization operation (endurance) test, the test 4 similar to the test 2 was performed, and the change with time of the limit current characteristics flowing in the oxygen pump cell of each gas sensor was examined. FIG. 13 is a graph showing the limit current characteristic (endurance characteristic) of the oxygen pump cell when the gas to be measured (1) is input, that is, when NO is not present, and FIG. It is a graph which shows the limiting current characteristic (durability characteristic) of the oxygen pump cell when there exists.
[0048]
Referring to FIG. 13, after the continuous energization operation (endurance) test, the slope of the first oxygen pump current Ip1 curve of Comparative Example 1 in the absence of NO is lower than that of Examples A and B. The Ip1 curve was not very saturated. Referring to FIG. 14, after the continuous energization operation (endurance) test, the slope of the first oxygen pump current Ip1 curve of Comparative Example 1 when NO is present is also lower than that of Examples A and B. The Ip1 curve was not very saturated. Further, in contrast to FIG. 13 and FIG.2When the limit current value of Ip1 with respect to NO is compared with the limit current value of Ip1 with respect to NO, in the case of Comparative Example 1, the limit current value of Ip1 with respect to NO is O2Compared with the limit current value of Ip1 with respect to the value, it was greatly reduced. From these results, it can be seen that, after long-term use, in the gas sensor of Comparative Example 1, the oxygen pumping capacity of the oxygen pump cell is lowered and the internal electrode of the oxygen pump cell is deteriorated.
[0049]
FIG. 15 is a graph showing the NOx dissociation rate in the first gap in each gas sensor after the continuous energization operation test. 8 and FIG. 15, in the gas sensors according to Comparative Example 1 and Examples A and B, the NOx dissociation suppressing ability after the continuous energization operation test was almost the same as that at the initial stage.
[0050]
From the above test results, it can be seen that according to the gas sensor of the present invention, the deterioration of the oxygen pumping capability of the oxygen pump cell is suppressed over a long period of time, thereby reducing the oxygen concentration dependency of the NOx gas concentration detection. That is, the gas sensor according to the present invention enables accurate measurement of NOx gas concentration over a long period of time.
[0051]
【The invention's effect】
According to the present invention, the use of an electrode obtained by adding Pd to Pt and Au as the internal electrode of the oxygen pump cell that is a constituent element of the gas sensor reduces the oxygen pumping capacity of the oxygen pump cell even after long-term use. As a result, it is possible to provide a gas sensor with a small change in detection accuracy with time.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of a gas sensor according to an embodiment of the present invention, and shows a cross section obtained by cutting the tip of a gas sensor element in the stacking direction along the longitudinal direction.
FIG. 2 is a graph showing initial characteristics of a first oxygen pump current Ip1 in each gas sensor.
FIG. 3 is a graph showing initial characteristics of a first applied voltage Vp1 in each gas sensor.
FIG. 4 is a graph showing an initial offset characteristic of a second oxygen pump current Ip2 in each gas sensor.
FIG. 5 is a graph showing initial characteristics of sensitivity ΔIp2 of a second oxygen pump current Ip2 in each gas sensor.
FIG. 6 is a graph showing initial limiting current characteristics of an oxygen pump cell in the case where there is no NO in each gas sensor.
FIG. 7 is a graph showing initial limiting current characteristics of an oxygen pump cell when NO is present in each gas sensor.
FIG. 8 is a graph showing the NOx dissociation rate (initial characteristics) in the first gap in each gas sensor.
FIG. 9 is a graph showing the durability characteristics of the first oxygen pump current Ip1 in each gas sensor.
FIG. 10 is a graph showing durability characteristics of the first applied voltage Vp1 in each gas sensor.
FIG. 11 is a graph showing the offset durability characteristic of the second oxygen pump current Ip2 in each gas sensor.
FIG. 12 is a graph showing a durability characteristic of sensitivity ΔIp2 of the second oxygen pump current Ip2 in each gas sensor.
FIG. 13 is a graph showing limit current characteristics (endurance characteristics) of an oxygen pump cell in the absence of NO.
FIG. 14 is a graph showing limit current characteristics (endurance characteristics) of an oxygen pump cell when NO is present.
FIG. 15 is a graph showing the NOx dissociation rate in the first gap in each gas sensor after the continuous energization operation test.
[Explanation of symbols]
1, ..., 5 1st layer, ..., 5th layer
6 First diffused resistor
7 First gap
8 Second diffused resistor
9 Second gap
10 First external electrode (external electrode of oxygen pump cell)
11 First internal electrode (Pt + Au + Pd added electrode, internal electrode of oxygen pump cell)
12 Oxygen concentration detection electrode
13 Oxygen concentration reference electrode
14 Second internal electrode (internal electrode of measurement cell)
15 Second external electrode (external electrode of measurement cell)
16 Power supply
17 First ammeter
18 Constant voltage source
19 Second ammeter

Claims (5)

被測定ガス雰囲気と画されてなる第1の空隙部と、前記第1の空隙部内に酸素濃度が制御された雰囲気を形成する酸素ポンプセルと、該第1の空隙部に第2の拡散抵抗部を通じて連通し、該第1の空隙部で酸素濃度が制御された雰囲気が導入される第2の空隙部と、該第2の空隙部内に面して形成された電極を有するNOxの測定用セルと、を有し、測定用セルに流れる電流に基づきNOxガスを測定するガスセンサであって、
前記酸素ポンプセルが備える複数の電極のうち前記第1の空隙部に面する電極、すなわち、内部電極がPt、Au及びPdを含み、但し、Pt、Au及びPdの合量に対して、Pdを0.1wt%以上25wt%以下、Auを0.1wt%以上30wt%以下含有することを特徴とするガスセンサ。
A first air-gap portion formed by being bounded with the measurement gas atmosphere, an oxygen pump cell for forming the atmosphere in which the oxygen concentration within the first cavity portion is controlled, a second diffusion resistance portion in the gap portion of the first A NOx measurement cell having a second void portion in which an atmosphere in which the oxygen concentration is controlled in the first void portion is introduced, and an electrode formed facing the second void portion. And a gas sensor for measuring NOx gas based on a current flowing through the measurement cell,
Of the plurality of electrodes provided in the oxygen pump cell, the electrode facing the first gap, that is, the internal electrode contains Pt, Au, and Pd, provided that Pd is equal to the total amount of Pt, Au, and Pd. A gas sensor comprising 0.1 wt% or more and 25 wt% or less and Au containing 0.1 wt% or more and 30 wt% or less.
前記内部電極がPt、Au及びPdを含み、但し、Pt、Au及びPdの合量に対して、Pdを0.1wt%以上15wt%以下含有することを特徴とする請求項1記載のガスセンサ。  The gas sensor according to claim 1, wherein the internal electrode contains Pt, Au, and Pd, provided that Pd is contained in an amount of 0.1 wt% to 15 wt% with respect to the total amount of Pt, Au, and Pd. 前記内部電極がPt、Au及びPdを含み、但し、Pt、Au及びPdの合量に対して、Pdを4wt%以上12wt%以下含有することを特徴とする請求項1記載のガスセンサ。  The gas sensor according to claim 1, wherein the internal electrode contains Pt, Au, and Pd, provided that Pd is contained in an amount of 4 wt% to 12 wt% with respect to the total amount of Pt, Au, and Pd. 前記内部電極がPt、Au及びPdを含み、但し、Pt、Au及びPdの合量に対して、Auを0.5wt%以上5wt%以下含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一記載のガスセンサ。  The internal electrode contains Pt, Au, and Pd, provided that Au is contained in an amount of 0.5 wt% to 5 wt% with respect to the total amount of Pt, Au, and Pd. A gas sensor according to claim 1. 被測定ガス雰囲気に通じる第1の拡散抵抗部と、前記第1の拡散抵抗部に通じる第1の空隙部と、酸素イオン伝導体上に前記第1の空隙部に面して形成された内部電極及び該酸素イオン伝導体上に該第1の空隙部外に面して形成された外部電極を備え酸素を該第1の空隙部内外間で汲み出し入れする酸素ポンプセルと、前記第1の空隙部内に面して酸素イオン伝導体上に形成された酸素濃度検知電極と、前記第1の空隙部に第2の拡散抵抗部を通じて連通し該第1の空隙部で酸素濃度が制御されたガスが導入される第2の空隙部と、酸素イオン伝導体上に形成された複数の電極を含み該複数の電極のうち少なくとも一つの電極が前記第2の空隙部内に面して形成されたガス濃度測定用セルと、を有し、前記酸素濃度検知電極の電位に基づいて前記酸素ポンプセルによる酸素の汲み出し量又は汲み入れ量が制御されること、前記測定用セルの前記複数の電極間にNOxの濃度に応じた電流又は電位が発生される、ガスセンサであって、
前記酸素ポンプセルの前記内部電極がPt、Au及びPdを含み、但し、Pt、Au及びPdの合量に対して、Pdを0.1wt%以上25wt%以下、Auを0.1wt%以上30wt%以下含有することを特徴とするガスセンサ。
A first diffusion resistance portion that communicates with the gas atmosphere to be measured; a first void portion that communicates with the first diffusion resistance portion; and an interior formed on the oxygen ion conductor facing the first void portion An oxygen pump cell comprising an electrode and an external electrode formed on the oxygen ion conductor so as to face the outside of the first gap, and pumping oxygen between the inside and outside of the first gap, and the first gap An oxygen concentration detection electrode formed on the oxygen ion conductor facing the inside of the gas passage, and a gas whose oxygen concentration is controlled in the first gap portion, communicating with the first gap portion through a second diffusion resistance portion Including a second void portion into which oxygen is introduced and a plurality of electrodes formed on the oxygen ion conductor, wherein at least one of the plurality of electrodes faces the second void portion A concentration measurement cell, based on the potential of the oxygen concentration detection electrode Serial oxygen pump cell to pump out the amount or pumped put amount of oxygen is controlled by a current or potential corresponding to the concentration of NOx between the plurality of electrodes of the measurement cell is generated, a gas sensor,
The internal electrode of the oxygen pump cell contains Pt, Au, and Pd, provided that Pd is 0.1 wt% or more and 25 wt% or less and Au is 0.1 wt% or more and 30 wt% with respect to the total amount of Pt, Au, and Pd. A gas sensor comprising:
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