JP4131592B2 - Ultrasonic probe - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検体と超音波診断装置本体との間を媒介する超音波プローブに関する。
【0002】
【従来の技術】
図5(a)に従来のセクタ型超音波プローブの外形を示し、図5(b)にはその筐体を取り外して、プローブの心臓部とも言える先端部分の内部構造を示しており、さらに図5(c)にはその先端の内部構造を上方から見た展開図を示している。なお、図5(c)において、破線部分は、超音波の送受信が適切に行われる有効範囲を表している。超音波プローブで主要なのは、その先端に設けられている振動子配列構造であり、これは、短冊状に形成されている複数の振動子1を中心として、その上方、つまり超音波が送受信される表面側に音響整合層(図示しない)と音響レンズ13とが順に重ねられている。そして、振動子1の背面側には、この振動子1の配列構造を物理的に支えるという役割の他に、重要なものとして、振動子1の背面から放射される超音波を十分減衰する役割を担ってるバッキング材4が設けられている。
【0003】
振動子1は、圧電セラミックスに代表される圧電体を心臓部として、その表面にアース電極が形成され、圧電体の背面に信号電極が形成されてなる。そして、この信号電極はそれぞれ個別に、柔軟性配線板(フレキシブルプリント配線板;FPC)2の配線11によりバッキング材4の側面をつたって後方に引き出されている。また、アース電極は、配線板2と同じ側において銅箔等の導電性のアース板3に共通接続されていて、このアース板3から配線板2上の一部配線を介して後方に引き出されている。
【0004】
このような振動子構造は次のような工程により製造される。まず、圧電板の表面にアース板3が取り付けられ、また、背面に配線板2が取り付けられる。そして、この配線板2を挟んで、圧電板の背面側にバッキング材4が装着される。このようにバッキング材4を取り付けて、構造的にある程度の強度を持たした後に、圧電板を平行にカッティングして複数の振動子1に分割する作業が行われる。このカッティングの深度は、アース電極の上から刃を入れて、アース板3を含め、圧電板を貫き、そして振動子を確実に分離するために配線板2及びバッキング材2の表面を若干切り込む程度に調整されている。
【0005】
また、カッティングの位置は、配線板2に非常に高い精度で一定の太さで且つ一定の間隔で平行に整然と形成されている配線11を基準にその間隙に正確に合わされる。ここで、アース板3は、アース電極を共通接続する必要性から、振動子配列の幅、つまり圧電板の幅と同じ、又はそれより若干狭くしかし有効範囲より若干広い幅に調整されている。このアース板3は配線板2よりも上にあるので、配線板2の大部分を隠してしまって、カッティングの位置合わせに必要な配線11を視認できなくしてしまうので、実際には、配線板2の両側をアース板3よりも、さらに圧電板及びバッキング材2よりも約1. 5mm程度広げて、このダミーパターン部分12の配線11を上から見えるようにしている。
【0006】
しかしながら、このような性能的には何ら寄与するものではなく、ただ製造工程上必要とされるに過ぎない余分とも言えるダミーパターン部分12のために、筐体への収納性が悪くなってしまい、その分、プローブが大型化してしまい、超音波プローブの操作者にとってはプローブの回転や傾け等の操作性が悪くなるという不具合が発生してしまう。
【0007】
このためできるだけプローブを小型にするために、振動子構造の形状に合わせて、筐体20を作ると、図5(a)に示すように、その筐体20は必然的に角張った形状になってしまい、それを押しつけられる患者にとっては痛く、不快を感ぜざるを得ないという別な問題が起こってしまう。さらに、このような筐体20の四角く角張った形状は、構造的にクラック(ひび割れ)を生じ易く、外部からの衝撃に弱いという難点もある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的としては、超音波プローブの先端部分の筐体を、バッキング材程度の幅で小型化しながらも、四角く角張った形状ではなくて丸く又は直線的に面取りして緩やかな形状にすることを実現し、それにより操作性を向上し、また患者の不快感を和らげ、さらに外部からの衝撃に強くすることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1局面は、短冊形状の圧電体とその表面のアース電極と前記圧電体の背面の信号電極とから構成され、平行に配列された複数の振動子と、前記複数の振動子の背面側に設けられたバッキング材と、前記信号電極に接続され、前記バッキング材の側面に沿って設けられる信号電極引出用配線板と、前記信号電極引出用配線板の上に重ねられるアース板とを具備する超音波プローブにおいて、前記バッキング材は角が丸く又は直線的に面取りされ、前記信号電極引出用配線板と前記アース板とは、幅が前記バッキング材の面取り内のりの長辺方向の幅よりも狭
本発明の第2局面は、短冊形状の圧電体とその表面のアース電極と前記圧電体の背面の信号電極とから構成され、平行に配列された複数の振動子と、前記複数の振動子の背面側に設けられたバッキング材と、前記信号電極に接続され、前記バッキング材の側面に沿って設けられる信号電極引出用配線板と、前記アース電極に接続され、前記信号電極引出用配線板の上に重ねられるアース板とを具備する超音波プローブにおいて、前記バッキング材は角が丸く又は直線的に面取りされ、前記信号電極引出用配線板の幅は前記バッキング材の面取り内のりの長辺方向の幅よりも狭く、前記アース板の幅は前記信号電極引出用配線板の幅よりも狭く、前記信号電極引出用配線板及び前記アース板の反対側において前記複数の振動子のアース電極が導電板で共通接続され、前記バッキング材は角が丸く又は直線的に面取りされていることを特徴とする
【0010】
ただし、アース板の幅は狭いので、端に配列されている一部の振動子のアース電極には接続できない、つまり端に配列されている一部の振動子のアースをとれないという問題が起こり得るが、これは、アース板及び配線板の反対側においてアース電極を導電板で共通接続することが対処している。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の超音波プローブを好ましい実施形態により説明する。
図1は、本実施形態に係る超音波プローブの外観を示している。この超音波プローブは、セクタ走査タイプであり、その先端内部の振動子配列構造を収納して防水、防湿、耐衝撃性等の各種機能を担っている先端筐体114、115を有している。この筐体114、115の形状が特徴的であり、従来のように角張っていなくて、図1(a)に示すように角が直線的に面取りされ、又は図1(b)に示すように角が丸く面取りされている。しかも、バッキング材より少しだけ大きい程度の最低限の大きさまで小型化することを実現している。このようにプローブ先端の筐体114,115が、角張っていなくて、しかも小型であることにより、操作性が向上し、また患者の不快感を和らげ、さらに外部からの衝撃に対する耐性を向上することができるようになる。
【0012】
このように筐体114,115を小型で角張っていない形状にするには、そのプローブ先端の筐体114,115に収納される内部の振動子配列構造を改良することが不可欠である。以下に、この振動子配列構造について詳細に説明する。
【0013】
図2(a)には、図1の先端筐体114,115に収納されている振動子配列構造の外観を示し、図2(b)にはこの振動子配列構造を方向Xから見た側面図、図2(c)は信号電極引出用配線板102、アース板103及び共通電極板104を両側に広げた状態で振動子配列構造を上方から見た展開図を示している。
【0014】
振動子101は、圧電セラミックスに代表される短冊形状の圧電体108と、その圧電体108の表面に形成されたアース電極107と、圧電体108の背面に形成されている信号電極106とから構成されている。このような構造の複数の振動子101が、平行に配列されている。
【0015】
この配列された複数の振動子101の背面側には、この振動子1の配列構造を物理的に支えるという役割の他に、振動子1の背面から放射される超音波を十分減衰する役割を担ってるバッキング材105が設けられている。
【0016】
このバッキング材105と振動子1との間に挟まれている信号電極引出用配線板102は、フレキシブルプリント配線板(FPC)であり、その表面には、複数の配線111が形成されている。この複数の配線111は、複数の信号電極106とその一端において電気的に個別接続されている。この信号電極引出用配線板102は、バッキング材105の側面に沿うように折り込まれて筐体114,115に収納されている。このように信号電極106は信号電極引出用配線板102によりバッキング材105の後方に引き出されている。
【0017】
この信号電極引出用配線板102の上には、互いに絶縁状態で導電性を有する銅箔等のアース板103が重ねられている。このアース板103は複数のアース電極107とその一端において電気的に共通接続されている。
【0018】
ところで、周知の通り、超音波の送受信は、振動子101の機械的な厚み方向の振動を介して行われるものである。この振動子101の厚み方向の振動周波数、つまり共振周波数は、主に圧電体108の厚さで決まる。しかし実際の動きは、この厚み方向の振動だけでなく、これに幅方向の振動、さらに各振動子の周辺構造との関係で決まる制動条件といった様々なパラメータが加わり、共振周波数だけで単純に決まるものではない。そこで、各振動子101の振動周波数を実測して、その振動周波数が、その厚さから一義的に決まる共振周波数又はその付近の周波数に収まるのは、図2(c)に破線で示すように、全振動子配列より一回り小さい範囲(有効範囲)に限定される。従って、実際の送受信は、この有効範囲から外れた両端に置かれた幾つかの振動子101を排除し、有効範囲内にある中心側の振動子101だけを使って行われるのが一般的である。
【0019】
このような有効範囲を考慮して、振動子配列構造をさらに詳細に説明する。まず、信号電極引出用配線板102に重ねられるアース板103の幅W(103) は、信号電極引出用配線板102の幅W(102) よりも狭く設けられている。これにより信号電極引出用配線板102の両端部分はアース板103に覆われることなく、その表面が露呈している。
【0020】
このように信号電極引出用配線板102の両端部分がアース板103に覆われることなく、露呈しているので、この露呈部分において信号電極引出用配線板102上の配線を視認して、この配線を基準にしてカッティングの位置合わせを行うことができる。従って、カッティングの位置合わせのためだけに設けられていた従来のようなダミーパターン部分は不要になる。
【0021】
そして、信号電極引出用配線板102の幅W(102) は、バッキング材105の幅W(105) よりも狭く、しかも有効範囲での超音波の送受信を確保するために、有効範囲の幅W(effect)と略同じに設けられている。
【0022】
このように信号電極引出用配線板102の幅W(102) を、バッキング材105の幅W(105) よりも狭くできるので、バッキング材105の四隅の角の部分は、信号電極引出用配線板102及びアース板103で覆われることなく、むき出しになるので、振動子配列及びバッキング材105の四隅の角を、丸く又は直線的に面取りすることができる。
【0023】
このバッキング材105の形状に合わせて、筐体104、105も小型に且つ四角く角張った形状ではなくて四隅を丸く又は直線的に面取りした緩やかな形状にして、操作性を向上し、また患者の不快感を和らげ、さらに外部からの衝撃に強くすることができるようになる。
【0024】
ただし、上述したように、アース板103の幅W(103) は、信号電極引出用配線板102の幅W(102) よりも狭いので、有効範囲内の両端にある振動子101のアース電極107を、このアース板103に接続してここから直接的にアースをとることができなくなってしまう。このために、信号電極引出用配線板102及びアース板103の反対側において、有効範囲内の複数の振動子101のアース電極107を銅箔等の導電板104で共通接続し、この共通電極板104を介してアースをとるようにしている。このために共通電極板104の幅W(104) は、信号電極引出用配線板102と同様に、バッキング材105の角を覆わないようにバッキング材105の幅W(105) 及び振動子配列幅よりも狭くし、しかも有効範囲での超音波の送受信を確保するために、有効範囲の幅W(effect)と略同じに設けられている。
【0025】
次に、このような超音波プローブの製造方法を、図3,図4を参照しながら説明する。まず、図3(a)に示すように、カッティング前の板状の圧電板201が用意される。この圧電板201の表面(超音波放射面)には、後工程でアース電極107になる電極202が一面に形成されている。また、圧電板201の背面には、後工程で信号電極106になる電極203が一面に形成されている。この圧電板201の表面に、アース板103と共通電極板104とが半田付け、又は導電接着剤等により電気的及び物理的に接合される。
【0026】
次に、圧電板201の表面に、アース板103と共通電極板104とを挟み込んだ状態で、図示しない所望の厚みの音響整合層が取り付けられる。これは、予め所望の厚みに加工されたフィルム状の部材を接着してもよいし、エポシキ接着剤等を所望の厚み以上に厚く塗布して、乾燥後、所望の厚みに研磨してもよい。また、1層の整合層とすることもできるし、望む超音波波形によっては、2層以上の整合層を形成することも可能である。
【0027】
次に、図3(b)に示すように、圧電板201の背面に、信号電極引出用の配線板102が、半田付けまたは導電接着等の方法により電気的及び物理的に接合される。
【0028】
次に、図3(c)に示すように、圧電板201の背面に、信号電極引出用の配線板102を挟んで、四隅が面取りされたバッキング材4が接着される。
そして、図4(a)に示すように、アース板103を重ねた状態で信号電極引出用の配線板102をバッキング材105の側面に沿うように折り曲げる。このときアース板103は、信号電極引出用の配線板102上のアース引き出し線に、半田付け等の方法で電気的に接合される。
【0029】
次に、図4(b)に示すように、アース板103に覆われることなく、露呈している信号電極引出用配線板102の両端部分の配線210を基準にして、カッティングの位置合わせ、つまり隣り合う配線210の中間点に刃を合わせ、そしてこの位置から配線ピッチずつ刃をずらしながら、圧電板201を平行にカッティングしていき、短冊状の複数の振動子1に分割していく。このカッティングの深度は、圧電板201の上から刃を入れて、アース板103及び共通電極板104を含め、圧電板201を貫き、そして振動子101を確実に分離するために配線板102及びバッキング材105の表面を若干切り込む程度にまで微調整されている。
【0030】
そして、圧電板201のバッキング材105からはみ出している無効部分を、バッキング材105の形状に合わせて、切り落とす。最後に、音響整合層の上に音響レンズを接着し、振動子配列構造を完成する。この完成した振動子配列構造は、筐体114、115内に挿入し、固定する。
【0031】
なお、本発明は以上述べた実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変形実施が可能であることは言うまでもない。例えば、上記実施形態では配線板102にはダミーパターン部分が無いもので説明したが、従来と同じダミーパターン部分をもつ配線板を用いて、圧電板201を切断して複数の振動子101に分割した後、バッキング材105の形状に合わせて不要部分を切り落とすようにしても良い。この場合、配線板102に重ねる共通電極板103は、逆側の共通電極板104と同じ幅であってもよいし、逆側の共通電極板104は無くてもよい。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
(1)の発明においては、信号電極引出用配線板の幅とアース板の幅とは、バッキング材の幅よりも狭い。これによりバッキング材の角の部分は、信号電極引出用配線板及びアース板で覆われることなく、むき出しになるので、角を丸く又は直線的に面取りしたバッキング材を採用できる。したがって、このバッキング材の形状に合わせて、筐体も小型に且つ四角く角張った形状ではなくて丸く又は直線的に面取りした緩やかな形状にして、操作性を向上し、また患者の不快感を和らげ、さらに外部からの衝撃に強くすることができるようになる。
(2)の発明においては、アース板の幅が信号電極引出用配線板の幅よりも狭いので、このアース板の両側では、アース板に覆われることなく、信号電極引出用配線板の表面が露呈している。このためこの露呈部分の配線は上から視認できる。従って、この視認できる信号電極引出用配線板の端の部分の配線を基準にカッティングの位置合わせを行うことができるので、カッティングの位置合わせのためだけに設けられていた従来のようなダミーパターン部分は不要になる。このようにダミーパターン部分が不要になるので、信号電極引出用配線板の幅を、バッキング材の幅よりも狭くすることができる。これによりバッキング材の角の部分は、信号電極引出用配線板及びアース板で覆われることなく、むき出しになるので、角を丸く又は直線的に面取りしたバッキング材を採用できる。したがって、このバッキング材の形状に合わせて、筐体も小型に且つ四角く角張った形状ではなくて丸く又は直線的に面取りした緩やかな形状にして、操作性を向上し、また患者の不快感を和らげ、さらに外部からの衝撃に強くすることができるようになる。
【0033】
ただし、アース板の幅は狭いので、端に配列されている一部の振動子のアース電極には接続できない、つまり端に配列されている一部の振動子のアースをとれないという問題が起こり得るが、これは、アース板及び配線板の反対側においてアース電極を導電板で共通接続することが対処している。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の好ましい実施形態に係る超音波プローブの外形を示す図、(b)は他の外形を示す斜視図。
【図2】(a)は図1の先端の筐体に収納されている振動子配列構造の斜視図、(b)は(a)の振動子配列構造を方向Xから見た側面図、(c)は(a)の振動子配列構造を上方から見た展開図。
【図3】(a)は本実施形態に係る超音波プローブの振動子配列構造を製造する第1工程を示す図、(b)は第2工程、(c)は第3工程を示す図。
【図4】(a)は本実施形態に係る超音波プローブの振動子配列構造を製造する第4工程を示す図、(b)は第5を示す図。
【図5】(a)は従来の超音波プローブの外形を示す図、(b)は(a)の先端の筐体に収納されている振動子配列構造の斜視図、(c)は(a)の振動子配列構造を上方から見た展開図。
【符号の説明】
101…振動子、
102…信号電極引き出し用柔軟性配線板(FPC)、
103…アース板、
104…共通電極板、
105…バッキング材、
106…信号電極、
107…アース電極、
108…圧電体、
111…配線、
113…音響レンズ、
114…先端筐体、
115…先端筐体。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ultrasonic probe that mediates between a subject and an ultrasonic diagnostic apparatus main body.
[0002]
[Prior art]
FIG. 5 (a) shows the external shape of a conventional sector-type ultrasonic probe, and FIG. 5 (b) shows the internal structure of the tip portion, which can be called the heart of the probe, with the housing removed. FIG. 5 (c) shows a developed view of the internal structure of the tip as viewed from above. In FIG. 5C, a broken line portion represents an effective range in which ultrasound transmission / reception is appropriately performed. The main component of the ultrasonic probe is a transducer arrangement structure provided at the tip thereof, which is centered on a plurality of transducers 1 formed in a strip shape, that is, ultrasonic waves are transmitted and received. An acoustic matching layer (not shown) and the acoustic lens 13 are sequentially stacked on the surface side. In addition to the role of physically supporting the arrangement structure of the vibrators 1 on the back side of the vibrator 1, as an important thing, the role of sufficiently attenuating the ultrasonic waves radiated from the back face of the vibrator 1 A backing material 4 is provided.
[0003]
The vibrator 1 has a piezoelectric body represented by piezoelectric ceramics as a heart, a ground electrode formed on the surface thereof, and a signal electrode formed on the back surface of the piezoelectric body. The signal electrodes are individually drawn out backward through the side surface of the backing material 4 by the wiring 11 of a flexible wiring board (flexible printed wiring board; FPC) 2. The ground electrode is commonly connected to a conductive ground plate 3 such as a copper foil on the same side as the wiring board 2, and is pulled out rearward from the ground plate 3 through a part of the wiring on the wiring board 2. ing.
[0004]
Such a vibrator structure is manufactured by the following process. First, the ground plate 3 is attached to the surface of the piezoelectric plate, and the wiring board 2 is attached to the back surface. A backing material 4 is mounted on the back side of the piezoelectric plate with the wiring board 2 interposed therebetween. Thus, after attaching the backing material 4 and having a certain structural strength, an operation of cutting the piezoelectric plate in parallel and dividing it into a plurality of vibrators 1 is performed. The cutting depth is such that a blade is inserted from above the ground electrode, penetrates the piezoelectric plate including the ground plate 3, and the surface of the wiring board 2 and the backing material 2 is slightly cut to reliably separate the vibrator. Has been adjusted.
[0005]
In addition, the cutting position is accurately adjusted to the gap with reference to the wiring 11 that is formed on the wiring board 2 in a uniform manner with a constant thickness and a constant interval with very high accuracy. Here, the ground plate 3 is adjusted to have a width that is the same as or slightly narrower than the width of the transducer array, that is, the width of the piezoelectric plate, but slightly wider than the effective range, because of the necessity to commonly connect the ground electrodes. Since this ground plate 3 is above the wiring board 2, most of the wiring board 2 is concealed and the wiring 11 necessary for the alignment of cutting cannot be visually recognized. The both sides of 2 are further expanded by about 1.5 mm than the ground plate 3 and the piezoelectric plate and the backing material 2 so that the wiring 11 of the dummy pattern portion 12 can be seen from above.
[0006]
However, such a performance does not contribute at all, and because of the dummy pattern portion 12 that can be said to be an extra that is only required in the manufacturing process, the storage property in the housing is deteriorated, As a result, the probe is increased in size, and the operability such as rotation and tilting of the probe is deteriorated for the operator of the ultrasonic probe.
[0007]
For this reason, in order to make the probe as small as possible, when the housing 20 is made in accordance with the shape of the vibrator structure, the housing 20 inevitably has an angular shape as shown in FIG. This creates another problem that is painful and uncomfortable for patients who can push it. Furthermore, such a square and square shape of the casing 20 is structurally susceptible to cracks and is also vulnerable to external impacts.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
As an object of the present invention, the housing at the tip of the ultrasonic probe is reduced in size to the width of a backing material, but it is not a square and square shape, but is rounded or linearly chamfered into a gentle shape. Therefore, the operability is improved, the patient's discomfort is relieved, and the impact from the outside is further enhanced.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
According to a first aspect of the present invention, there are provided a plurality of vibrators configured by a strip-shaped piezoelectric body, a ground electrode on the surface thereof, and a signal electrode on the back surface of the piezoelectric body, A backing material provided on the back side, a signal electrode lead-out wiring board connected to the signal electrode and provided along a side surface of the backing material, and a ground plate overlaid on the signal electrode lead-out wiring board; In the ultrasonic probe, the backing material is rounded or linearly chamfered, and the signal electrode lead-out wiring board and the ground plate have a width in the long side direction of the inner chamfer of the backing material. not narrower than.
According to a second aspect of the present invention, a plurality of vibrators configured by a strip-shaped piezoelectric body, a ground electrode on the surface thereof, and a signal electrode on the back surface of the piezoelectric body, and arranged in parallel, Backing material provided on the back side, connected to the signal electrode, a signal electrode lead-out wiring board provided along a side surface of the backing material, connected to the ground electrode, and the signal electrode lead-out wiring board In the ultrasonic probe comprising a ground plate overlaid, the backing material is rounded or linearly chamfered, and the width of the signal electrode lead-out wiring board is in the long side direction of the inner chamfer of the backing material . The width of the ground plate is narrower than the width of the signal electrode lead-out wiring board, and the ground electrodes of the plurality of vibrators are led on the opposite side of the signal electrode lead-out wiring board and the ground plate. Connected to a common plate, the backing material is characterized in that the corners are rounded or linearly chamfered.
[0010]
However, since the ground plate is narrow, it cannot be connected to the ground electrode of some transducers arranged at the end, that is, there is a problem that some transducers arranged at the end cannot be grounded. This deals with the common connection of the ground electrode with the conductive plate on the opposite side of the ground plate and the wiring board.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an ultrasonic probe of the present invention will be described with reference to the drawings according to a preferred embodiment.
FIG. 1 shows the appearance of an ultrasonic probe according to this embodiment. This ultrasonic probe is a sector scanning type, and has tip housings 114 and 115 that house a transducer array structure inside the tip and perform various functions such as waterproof, moistureproof, and impact resistance. . The shapes of the casings 114 and 115 are characteristic and are not angular as in the prior art, and the corners are linearly chamfered as shown in FIG. 1A, or as shown in FIG. The corners are rounded and chamfered. In addition, downsizing to a minimum size that is slightly larger than the backing material is realized. As described above, the casings 114 and 115 at the probe tip are not angular and are small in size, so that operability is improved, patient discomfort is reduced, and resistance to external impact is improved. Will be able to.
[0012]
Thus, in order to make the casings 114 and 115 small and not angular, it is indispensable to improve the internal vibrator arrangement structure housed in the casings 114 and 115 at the tip of the probe. Hereinafter, the vibrator arrangement structure will be described in detail.
[0013]
FIG. 2A shows an appearance of the vibrator arrangement structure housed in the tip housings 114 and 115 of FIG. 1, and FIG. 2B shows a side view of the vibrator arrangement structure viewed from the direction X. FIG. 2C is a development view of the vibrator arrangement structure as viewed from above with the signal electrode lead-out wiring board 102, the ground plate 103, and the common electrode plate 104 spread on both sides.
[0014]
The vibrator 101 includes a strip-shaped piezoelectric body 108 typified by piezoelectric ceramics, a ground electrode 107 formed on the surface of the piezoelectric body 108, and a signal electrode 106 formed on the back surface of the piezoelectric body 108. Has been. A plurality of transducers 101 having such a structure are arranged in parallel.
[0015]
In addition to the role of physically supporting the array structure of the transducers 1 on the back side of the plurality of transducers 101 arranged, the ultrasonic wave emitted from the back surface of the transducers 1 is sufficiently attenuated. A backing material 105 is provided.
[0016]
The signal electrode lead-out wiring board 102 sandwiched between the backing material 105 and the vibrator 1 is a flexible printed wiring board (FPC), and a plurality of wirings 111 are formed on the surface thereof. The plurality of wirings 111 are electrically individually connected to the plurality of signal electrodes 106 at one end thereof. The signal electrode lead-out wiring board 102 is folded along the side surface of the backing material 105 and stored in the casings 114 and 115. In this way, the signal electrode 106 is drawn behind the backing material 105 by the signal electrode drawing wiring board 102.
[0017]
On this signal electrode lead-out wiring board 102, an earth plate 103 such as a copper foil having electrical conductivity in an insulated state is overlaid. The ground plate 103 is electrically connected to a plurality of ground electrodes 107 at one end thereof.
[0018]
Incidentally, as is well known, transmission / reception of ultrasonic waves is performed through mechanical vibration of the vibrator 101 in the thickness direction. The vibration frequency in the thickness direction of the vibrator 101, that is, the resonance frequency is mainly determined by the thickness of the piezoelectric body. However, the actual movement is determined not only by this vibration in the thickness direction, but also by various parameters such as the vibration in the width direction and the braking condition determined by the relationship with the surrounding structure of each vibrator, and is simply determined only by the resonance frequency. It is not a thing. Therefore, the vibration frequency of each vibrator 101 is measured, and the vibration frequency falls within the resonance frequency uniquely determined from the thickness or a frequency in the vicinity thereof as shown by the broken line in FIG. The range is limited to a range (effective range) that is slightly smaller than the entire transducer arrangement. Therefore, the actual transmission / reception is generally performed using only the center-side vibrator 101 within the effective range, excluding some vibrators 101 placed at both ends outside the effective range. is there.
[0019]
In consideration of such an effective range, the vibrator arrangement structure will be described in more detail. First, the width W (103) of the ground plate 103 superimposed on the signal electrode lead-out wiring board 102 is set to be narrower than the width W (102) of the signal electrode lead-out wiring board 102. As a result, both ends of the signal electrode lead-out wiring board 102 are not covered with the ground plate 103 and the surfaces thereof are exposed.
[0020]
As described above, since both end portions of the signal electrode lead-out wiring board 102 are exposed without being covered with the ground plate 103, the wiring on the signal electrode lead-out wiring board 102 is visually recognized in this exposed portion, and this wiring The cutting position can be adjusted with reference to. Accordingly, the conventional dummy pattern portion provided only for cutting alignment is not required.
[0021]
The width W (102) of the signal electrode lead-out wiring board 102 is narrower than the width W (105) of the backing material 105, and in order to ensure transmission and reception of ultrasonic waves in the effective range, the width W of the effective range. It is provided approximately the same as (effect).
[0022]
Since the width W (102) of the signal electrode lead-out wiring board 102 can be made narrower than the width W (105) of the backing material 105 in this way, the corner portions of the four corners of the backing material 105 are arranged at the signal electrode lead-out wiring board. Since it is exposed without being covered with 102 and the ground plate 103, the corners of the four corners of the transducer array and the backing material 105 can be rounded or linearly chamfered.
[0023]
In accordance with the shape of the backing material 105, the casings 104 and 105 are not made small and square and square, but they are rounded or gently chamfered with straight corners to improve operability and improve patient operability. It is possible to relieve discomfort and to withstand external impacts.
[0024]
However, as described above, since the width W (103) of the ground plate 103 is narrower than the width W (102) of the signal electrode lead-out wiring board 102, the ground electrode 107 of the vibrator 101 at both ends within the effective range. Cannot be directly grounded from the earth plate 103 connected to the earth plate 103. For this purpose, on the opposite side of the signal electrode lead-out wiring board 102 and the ground plate 103, the ground electrodes 107 of the plurality of vibrators 101 within the effective range are commonly connected by a conductive plate 104 such as copper foil, and this common electrode plate The ground is taken through 104. Therefore, the width W (104) of the common electrode plate 104 is set so that the width W (105) of the backing material 105 and the transducer array width are not covered with the corners of the backing material 105, like the signal electrode lead-out wiring board 102. In order to ensure transmission and reception of ultrasonic waves in the effective range, the width W (effect) of the effective range is provided substantially the same.
[0025]
Next, a method for manufacturing such an ultrasonic probe will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 3A, a plate-like piezoelectric plate 201 before cutting is prepared. On the surface (ultrasonic radiation surface) of the piezoelectric plate 201, an electrode 202 that becomes the ground electrode 107 in a later process is formed on one surface. In addition, on the back surface of the piezoelectric plate 201, an electrode 203 to be a signal electrode 106 in a later process is formed over the entire surface. The ground plate 103 and the common electrode plate 104 are electrically or physically joined to the surface of the piezoelectric plate 201 by soldering or a conductive adhesive.
[0026]
Next, an acoustic matching layer (not shown) having a desired thickness is attached to the surface of the piezoelectric plate 201 with the ground plate 103 and the common electrode plate 104 sandwiched therebetween. This may be performed by bonding a film-like member that has been processed to a desired thickness in advance, or by applying an epoxy adhesive or the like thicker than the desired thickness, and drying and polishing to a desired thickness. . Further, it can be a single matching layer, or two or more matching layers can be formed depending on the desired ultrasonic waveform.
[0027]
Next, as shown in FIG. 3B, the signal electrode lead-out wiring board 102 is electrically and physically joined to the back surface of the piezoelectric plate 201 by a method such as soldering or conductive bonding.
[0028]
Next, as shown in FIG. 3C, the backing material 4 with the four corners chamfered is bonded to the back surface of the piezoelectric plate 201 with the wiring board 102 for extracting the signal electrode interposed therebetween.
Then, as shown in FIG. 4A, the signal electrode lead-out wiring board 102 is bent along the side surface of the backing material 105 with the ground plate 103 overlapped. At this time, the ground plate 103 is electrically joined to a ground lead wire on the signal electrode lead-out wiring board 102 by a method such as soldering.
[0029]
Next, as shown in FIG. 4B, the cutting position is adjusted based on the wirings 210 at both ends of the exposed signal electrode wiring board 102 without being covered by the ground plate 103, that is, The piezoelectric plate 201 is cut in parallel while the blade is shifted from the position by the wiring pitch from the middle point of the adjacent wirings 210, and is divided into a plurality of strip-shaped vibrators 1. The cutting depth is determined by inserting a blade from above the piezoelectric plate 201, penetrating the piezoelectric plate 201 including the ground plate 103 and the common electrode plate 104, and the wiring board 102 and the backing in order to securely separate the vibrator 101. Fine adjustment is made so that the surface of the material 105 is slightly cut.
[0030]
Then, the ineffective portion protruding from the backing material 105 of the piezoelectric plate 201 is cut off according to the shape of the backing material 105. Finally, an acoustic lens is bonded onto the acoustic matching layer to complete the transducer array structure. The completed vibrator arrangement structure is inserted into the casings 114 and 115 and fixed.
[0031]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the wiring board 102 has been described as having no dummy pattern part. However, the piezoelectric board 201 is cut and divided into a plurality of vibrators 101 using a wiring board having the same dummy pattern part as the conventional one. After that, unnecessary portions may be cut off according to the shape of the backing material 105. In this case, the common electrode plate 103 superimposed on the wiring board 102 may have the same width as the common electrode plate 104 on the reverse side, or the common electrode plate 104 on the reverse side may not be provided.
[0032]
【The invention's effect】
According to the present invention, the following effects can be achieved.
In the invention of (1), the width of the signal electrode lead-out wiring board and the width of the ground plate are narrower than the width of the backing material. As a result, the corner portion of the backing material is exposed without being covered with the signal electrode lead-out wiring board and the ground plate, so that a backing material with rounded or straight chamfered corners can be employed. Therefore, in accordance with the shape of this backing material, the casing is not a small and square shape, but a round or straight chamfered gentle shape, improving operability and reducing patient discomfort. Furthermore, it becomes possible to be strong against the impact from the outside.
In the invention of (2), since the width of the ground plate is narrower than the width of the signal electrode lead-out wiring board, the surface of the signal electrode lead-out wiring board is not covered with the ground plate on both sides of the ground plate. Exposed. For this reason, the wiring of this exposed part is visible from above. Therefore, since it is possible to perform cutting alignment with reference to the wiring at the end of the signal electrode lead-out wiring board that can be visually recognized, the dummy pattern portion that is provided only for cutting alignment as in the prior art Is no longer needed. Thus, since the dummy pattern portion is unnecessary, the width of the signal electrode lead-out wiring board can be made smaller than the width of the backing material. As a result, the corner portion of the backing material is exposed without being covered with the signal electrode lead-out wiring board and the ground plate, so that a backing material with rounded or straight chamfered corners can be employed. Therefore, in accordance with the shape of this backing material, the casing is not a small and square shape, but a round or straight chamfered gentle shape, improving operability and reducing patient discomfort. Furthermore, it becomes possible to be strong against the impact from the outside.
[0033]
However, since the ground plate is narrow, it cannot be connected to the ground electrode of some transducers arranged at the end, that is, there is a problem that some transducers arranged at the end cannot be grounded. This deals with the common connection of the ground electrode with the conductive plate on the opposite side of the ground plate and the wiring board.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a diagram showing an outer shape of an ultrasonic probe according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view showing another outer shape.
2A is a perspective view of the transducer arrangement structure housed in the housing at the tip of FIG. 1, FIG. 2B is a side view of the transducer arrangement structure of FIG. FIG. 4C is a development view of the vibrator arrangement structure of FIG.
FIGS. 3A and 3B are diagrams showing a first process for manufacturing a transducer array structure of an ultrasonic probe according to the present embodiment, FIG. 3B is a second process, and FIG. 3C is a diagram showing a third process.
4A is a view showing a fourth step of manufacturing the transducer array structure of the ultrasonic probe according to the embodiment, and FIG. 4B is a view showing the fifth.
5A is a view showing the outer shape of a conventional ultrasonic probe, FIG. 5B is a perspective view of a transducer array structure housed in a housing at the tip of FIG. 5A, and FIG. ) Is a developed view of the vibrator arrangement structure of FIG.
[Explanation of symbols]
101 ... vibrator,
102: Flexible wiring board (FPC) for leading out signal electrodes,
103 ... Earth plate,
104 ... Common electrode plate,
105 ... backing material,
106: Signal electrode,
107: Earth electrode,
108: Piezoelectric material,
111 ... wiring,
113 ... acoustic lens,
114 ... tip housing,
115... Tip housing.

Claims (4)

短冊形状の圧電体とその表面のアース電極と前記圧電体の背面の信号電極とから構成され、平行に配列された複数の振動子と、
前記複数の振動子の背面側に設けられたバッキング材と、
前記信号電極に接続され、前記バッキング材の側面に沿って設けられる信号電極引出用配線板と、
前記信号電極引出用配線板の上に重ねられるアース板とを具備する超音波プローブにおいて、
前記バッキング材は角が丸く又は直線的に面取りされ
前記信号電極引出用配線板と前記アース板とは、幅が前記バッキング材の面取り内のりの長辺方向の幅よりも狭いことを特徴とする超音波プローブ。
A plurality of vibrators composed of a strip-shaped piezoelectric body, a ground electrode on the surface thereof, and a signal electrode on the back surface of the piezoelectric body, and arranged in parallel,
A backing material provided on the back side of the plurality of vibrators;
A signal electrode lead-out wiring board connected to the signal electrode and provided along a side surface of the backing material;
In the ultrasonic probe comprising a ground plate overlaid on the signal electrode lead-out wiring board,
The backing material is rounded or straight chamfered ,
The signal electrode and the and the ground plate and the lead-out wiring board, an ultrasonic probe, wherein the go narrower than the long side length of the chamfer in the glue width the backing material.
前記信号電極引出用配線板と前記アース板とは、超音波送受信が有効に行われる有効範囲と略同じ幅に設けられていることを特徴とする請求項1記載の超音波プローブ。  The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the signal electrode lead-out wiring board and the grounding board are provided in substantially the same width as an effective range in which ultrasonic transmission / reception is effectively performed. 短冊形状の圧電体とその表面のアース電極と前記圧電体の背面の信号電極とから構成され、平行に配列された複数の振動子と、
前記複数の振動子の背面側に設けられたバッキング材と、
前記信号電極に接続され、前記バッキング材の側面に沿って設けられる信号電極引出用配線板と、
前記アース電極に接続され、前記信号電極引出用配線板の上に重ねられるアース板とを具備する超音波プローブにおいて、
前記バッキング材は角が丸く又は直線的に面取りされ
前記信号電極引出用配線板の幅は前記バッキング材の面取り内のりの長辺方向の幅よりも狭く、前記アース板の幅は前記信号電極引出用配線板の幅よりも狭く、前記信号電極引出用配線板及び前記アース板の反対側において前記複数の振動子のアース電極が導電板で共通接続され、前記バッキング材は角が丸く又は直線的に面取りされていることを特徴とする超音波プローブ。
A plurality of vibrators composed of a strip-shaped piezoelectric body, a ground electrode on the surface thereof, and a signal electrode on the back surface of the piezoelectric body, and arranged in parallel,
A backing material provided on the back side of the plurality of vibrators;
A signal electrode lead-out wiring board connected to the signal electrode and provided along a side surface of the backing material;
In the ultrasonic probe comprising the ground plate connected to the ground electrode and superimposed on the signal electrode lead-out wiring board,
The backing material is rounded or straight chamfered ,
The width of the signal electrode lead-out wiring board is narrower than the width of the chamfered inner side of the backing material, and the width of the ground plate is narrower than the width of the signal electrode lead-out wiring board. An ultrasonic probe, wherein ground electrodes of the plurality of vibrators are commonly connected by a conductive plate on a side opposite to the wiring board and the ground plate, and the backing material is rounded or linearly chamfered.
前記信号電極引出用配線板と前記アース板とは、超音波送受信が有効に行われる有効範囲と略同じ幅に設けられていることを特徴とする請求項3記載の超音波プローブ。  The ultrasonic probe according to claim 3, wherein the signal electrode lead-out wiring board and the ground plate are provided in substantially the same width as an effective range in which ultrasonic transmission / reception is effectively performed.
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