JP4042491B2 - Screen printing apparatus and screen printing method - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーム半田などのペーストをワークに印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品を半田接合する方法として、半田バンプや半田プリコートによる方法が知られている。この方法では電子部品や基板などのワークの電極に、半田接合のために半田の突出電極である半田バンプや、または半田被膜である半田プリコートが形成される。これらの半田形成工程における半田供給方法として、スクリーン印刷が広く用いられている。この方法では、マスクプレートに設けられたパターン孔を介してクリーム半田がワーク上面に印刷される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年電子部品のファイン化が進み、ワークに形成される電極のピッチも微小化し、狭ピッチで多数の電極が密に形成されるようになっている。ところがこのようなファインピッチの電極に従来より用いられているスクリーン印刷を適用すると、良好な印刷結果を得られず各種の不具合が発生する。
【0004】
スクリーン印刷において良好な印刷品質を確保するためには、パターン孔内へ確実にペーストを充填させる充填性とともに、充填後にマスクプレートをワークから離隔させる版離れの際にペーストをパターン孔から型くずれすることなく離隔させる版離れ性が良好であることが求められる。しかしながら、ファインピッチ化に伴って印刷難度は増加し、特にワークの全面にわたって均一で良好な版離れ性を確保することが非常に困難となっている。
【0005】
そこで本発明は、良好な版離れ性を確保することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載のスクリーン印刷装置は、パターン孔が形成されたマスクプレートをワーク上に装着し前記パターン孔を介してワークにペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートを前記ワーク上面に当接状態で装着するマスク装着手段と、装着された状態のマスクプレート上で移動することにより前記パターン孔内にペーストを充填させるスキージと、前記ワークをマスクプレートから相対的に離隔させて版離れ動作を行わせる版離れ手段と、前記版離れ動作の開始時においてマスクプレートをワークの離隔方向に変位させてワークに追従させるマスク追従手段としてのマスク押し下げ機構とを備え、前記マスク押し下げ機構は、スキージユニットの水平方向移動範囲の両端部近傍に配設され、前記マスクプレートの上面のワークの周辺部に相当する位置に線状に当接する細長い棒状部材と、この細長い棒状部材を昇降させる昇降機構とから成る。
【0007】
請求項2記載のスクリーン印刷方法は、パターン孔が形成されたマスクプレートをワーク上に装着し前記パターン孔を介してワークにペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートを前記ワーク上面に当接状態で装着するマスク装着工程と、装着された状態のマスクプレート上でスキージを移動させることにより前記パターン孔内にペーストを充填させるスキージング工程と、前記ワークをマスクプレートから相対的に離隔させて版離れ動作を行わせる版離れ工程とを含み、前記版離れ動作の開始時においてマスクプレートをワークの離隔方向に変位させてワークに追従させるマスク追従動作を行うものであり、
前記マスク追従動作は、スキージユニットの水平方向移動範囲の両端部近傍に配設されたマスク押し下げ機構を駆動してこのマスク押し下げ機構の細長い棒状部材をマスクプレートの上面のワークの周辺部に相当する位置に線状に当接させ、マスクプレートをワークの離隔方向に押し下げてワークに追従させる。
【0008】
本発明によれば、ワークをマスクプレートから相対的に離隔させる版離れ動作の開始時において、マスクプレートの上面のワークの周辺部に相当する位置に線状に当接する当接部によりマスクプレートを押し下げてワークの離隔方向に変位させてワークに追従させることにより、ワークの周辺部と中央部との間の版離れ速度の差を極力小さくして、ワーク全面にわたって版離れ条件を均一にして良好な版離れ性を確保することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の斜視図、図2は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の部分断面図、図3は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法の工程説明図である。
【0010】
まず図1、図2を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図1において基台1上にはワークである基板を位置決めする基板位置決め部2が配設されている。基板位置決め部2は、X軸テーブル3、Y軸テーブル4および送りねじ5によって昇降するZ軸テーブル6を段積みし、Z軸テーブル6上に基板8をクランパ9によって保持する基板保持部7を配置して構成されている。図2に示すように、基板8の下面は下受け部6aによって下受けされ、Z軸テーブル6はZ軸駆動機構19によって昇降する。Z軸駆動機構19は、版離れ制御部20によって制御される。
【0011】
基台1には、基板位置決め部2の上方に位置してスクリーン印刷部10が配設されている。スクリーン印刷部10は枠形状のホルダ11に保持されたマスクプレート12、マスクプレート12上で摺動するスキージ16を備えたスキージユニット13およびスキージ移動テーブル14を備えている。
【0012】
基板保持部7に基板8を保持させた状態で、基板位置決め部2のX,Y,Zの各軸テーブルを駆動することにより、保持した基板8をスクリーン印刷部10のマスクプレート12に対して位置合わせし、下方からマスクプレート12の下面に当接させて装着することができる。また、このマスク装着状態から、Z軸駆動機構19によってZ軸テーブル6を下降させることにより、基板8はマスクプレート12の下面からから離隔し、版離れが行われる。
【0013】
したがって基板位置決め部2および基板保持部7は、マスクプレート12を基板8の上面に当接状態で装着するマスク装着手段となっている。また基板保持部7およびZ軸駆動機構19を備えたZ軸テーブル6は、基板8をマスクプレート12から相対的に離隔させることにより版離れ動作を行わせる版離れ手段となっている。
【0014】
図1においてスキージ移動テーブル14は送りねじ14b、モータ14aを備えており、モータ14aを駆動することにより、スキージユニット13は水平方向に移動する。図2に示すように、スキージユニット13はシリンダ15によって上下動する一対のスキージ16を備えており、基板8をスクリーン印刷部10の下方に位置させてマスクプレート12を基板8の上面に当接させた状態で、シリンダ15を駆動することによりスキージ16は下降してその下端部がマスクプレート12の上面に当接する。
【0015】
マスクプレート12上にペーストであるクリーム半田17が供給された状態でスキージ移動テーブル14を駆動することにより、スキージ16はクリーム半田17をマスクプレート12上で掻き寄せる。このスキージング動作により、パターン孔12a内にはクリーム半田17が充填される。
【0016】
スキージユニット13の水平移動範囲の端部近傍には、マスク押し下げ機構18が配設されている。マスク押し下げ機構18は、下方に延出してマスクプレート12に当接する当接部18aおよび当接部18aを昇降させる昇降機構を備えている。当接部18aは基板8の長さ方向(図2において紙面に垂直方向)に細長い棒状部材であり、マスクプレート12の上面の基板8の周辺部に相当する位置に線状に当接して、マスクプレート12を基板8の周辺部に対して押し付ける。なお、当接部18aによってマスクプレート12を押し下げる位置は、基板8の周辺部であれば基板8の端面の内側・外側のいずれでもよい。
【0017】
マスク押し下げ機構18の昇降機構の動作は版離れ制御部20によって制御され、これにより、当接部18aによってマスクプレート12を任意の押し下げ量および押し下げ速度で押し下げることができるようになっている。版離れ動作の開始時において、マスク押し下げ機構18およびZ軸駆動機構19の下降動作が同期するよう、版離れ制御部20によって制御することにより、マスクプレート12を基板8の下降動作に追従させることができる。すなわち、マスク押し下げ機構18および版離れ制御部20は、版離れ動作の開始時においてマスクプレート12を基板8の離隔方向に変位させて基板8に追従させるマスク追従手段となっている。
【0018】
このスクリーン印刷装置は上記のように構成されており、以下スクリーン印刷動作について図3を参照して説明する。まず基板保持部7の下受け部6aに下受けされクランパ9によってクランプされた基板8を、マスクプレート12の下面に当接させることにより、マスクプレート12の基板8への装着が行われる(マスク装着工程)。
【0019】
次いで、図3(a)に示すように、マスクプレート12上にクリーム半田17を供給した状態で、スキージユニット13のスキージ16を下降させてマスクプレート12に当接させる。この後スキージユニット13を水平移動させることにより、スキージ16はマスクプレート12上でクリーム半田17を掻き寄せながら移動するスキージング動作を行い、図3(b)に示すように、パターン孔12a内にクリーム半田22を充填させる(スキージング工程)。
【0020】
この後スキージ16を退避させた後、基板8をマスクプレート12から離隔させる版離れ動作が行われる(版離れ工程)。版離れは、Z軸駆動機構19によってZ軸テーブル6を下降させることによって行われるが、この版離れ動作の開始時においては、図3(c)に示すように、Z軸テーブル6を下降させるとともに、マスク追従動作を行う。
【0021】
すなわち、マスク押し下げ機構18を駆動して当接部18aをマスクプレート12に当接させる。そしてマスクプレート12を基板8の離隔方向に押し下げ、基板8に追従させる。このマスクプレート12の追従動作において、マスク押し下げ機構18の下降速度18はZ軸駆動機構19の押し下げ速度よりも小さくてもよく、またマスク押し下げ速度とZ軸駆動機構19の下降速度と同速度にして完全に追従させるようにしてもよい。
【0022】
そしてマスクプレート12が所定の追従量hだけ下降したならば、マスク押し下げ機構18による押し下げを停止する。追従量hは、基板8の印刷範囲の大きさやマスクプレート12の弾性の程度などの条件により決定され、試行結果に基づいて最適値が求められる。
【0023】
この後、Z軸駆動機構19が引き続き駆動されて基板8がマスクプレート12からさらに離隔することにより、パターン孔12a内に充填されたクリーム半田17はパターン孔12aから離脱し版離れする。次いで、マスク押し下げ機構18を上昇させることにより、図3(d)に示すように、クリーム半田17がパターン孔12aから離脱して基板8への印刷動作が完了する。
【0024】
この版離れ工程においてマスクプレート12は、基板8の周辺部に相当する位置を上面側から押さえ付けられていることから、従来のスクリーン印刷における版離れ動作のように、マスクプレート12と基板8とが周辺部から中央部に向かって順次離隔する版離れ時の時間遅れ現象が発生しない。これにより、基板8の上面とマスクプレート12の下面との離隔は、基板8への印刷範囲全面にわたってほぼ同一のタイミングで行われる。
【0025】
すなわち、クリーム半田17がパターン孔12aから離隔する際の版離れ速度は、全てのパターン孔12aについて一定に保たれ、版離れ条件を一定にすることが可能となる。したがって、従来のスクリーン印刷装置における版離れ動作のように、印刷範囲の中央部と周辺部とで版離れ速度が異なることによる印刷品質のばらつきが発生せず、安定した印刷品質を確保することができる。
【0026】
そして版離れ条件が全印刷範囲にわたって一定であることから、版離れ条件出し作業を精細な条件でかつ効率よく行うことができる。このため、狭ピッチで多数の電極が形成され版離れ難度が高い高密度基板を印刷対象とする場合においても、精細な版離れ制御によって印刷範囲の全面にわたって均一で良好な版離れ性を確保することができる。
【0027】
なお上記実施の形態では、マスク追従手段として、昇降機構を備えたマスク押し下げ機構18によってマスクプレート12を押し下げるようにしているが、対象とするマスクプレートの種類によって厳密な追従性が要求されないような場合においては、マスク追従手段としてバネの付勢力や重錘によって単にマスクプレート12の周辺部を押し下げるのみの構成としてもよい。要は、版離れ動作開始時において、マスクプレート12と基板8との離隔が周辺部から部分的に開始されることなく、印刷範囲全面にわたって版離れが行われるような構成であればよい。また、マスクプレート12の上面から押し下げる構成でなく、マスクプレート12を下面側から吸着して引き下げるように構成してもよい。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、ワークをマスクプレートから相対的に離隔させる版離れ動作の開始時において、マスクプレートの上面のワークの周辺部に相当する位置に線状に当接する当接部によりマスクプレートを押し下げてワークの離隔方向に変位させてワークに追従させるようにしたので、ワークの周辺部と中央部との間の版離れ速度の差を極力小さくして、ワーク全面にわたって版離れ条件を均一にして良好な版離れ性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の部分断面図
【図3】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法の工程説明図
【符号の説明】
2 基板位置決め部
7 基板保持部
8 基板
10 スクリーン印刷部
12 マスクプレート
12a パターン孔
13 スキージユニット
16 スキージ
17 クリーム半田
18 マスク押し下げ機構
19 Z軸駆動機構
20 版離れ制御部
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a screen printing apparatus and a screen printing method for printing paste such as cream solder on a workpiece.
[0002]
[Prior art]
Known methods for soldering electronic components include solder bumps and solder precoat. In this method, a solder bump as a solder protruding electrode or a solder precoat as a solder film is formed on a workpiece electrode such as an electronic component or a substrate for solder bonding. Screen printing is widely used as a solder supply method in these solder formation processes. In this method, cream solder is printed on the upper surface of the workpiece through the pattern holes provided in the mask plate.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in recent years, finer electronic components have progressed, and the pitch of electrodes formed on a workpiece has also been reduced, so that a large number of electrodes are densely formed at a narrow pitch. However, when screen printing conventionally used for such fine pitch electrodes is applied, good printing results cannot be obtained and various problems occur.
[0004]
In order to ensure good print quality in screen printing, the paste should be removed from the pattern hole when the plate is released to separate the mask plate from the workpiece after filling, as well as the filling ability to reliably fill the pattern hole with the paste. It is required that the separation property of the plate to be separated is good. However, the difficulty of printing increases with the fine pitch, and it is very difficult to ensure uniform and good plate release properties over the entire surface of the workpiece.
[0005]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing apparatus and a screen printing method that can ensure good plate release properties.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
2. The screen printing apparatus according to claim 1, wherein a mask plate on which a pattern hole is formed is mounted on a work and a paste is printed on the work through the pattern hole, wherein the mask plate is placed on the upper surface of the work. A mask mounting means for mounting in contact with the mask plate, a squeegee for filling the pattern hole by moving on the mask plate in the mounted state, and a plate with the workpiece relatively spaced from the mask plate. A plate separating means for performing a separating operation, and a mask pressing mechanism as a mask following means for displacing the mask plate in the separation direction of the workpiece and following the workpiece at the start of the plate separating operation, , it is disposed in the vicinity of both end portions of the horizontal movement range of the squeegee unit, the mask plate An elongated rod-like member abutting the linear position corresponding to the peripheral portion of the upper surface of the workpiece, comprising a lifting mechanism for lifting the elongated bar-like member.
[0007]
3. The screen printing method according to claim 2, wherein a mask plate on which a pattern hole is formed is mounted on a work and a paste is printed on the work through the pattern hole, the mask plate being placed on the upper surface of the work. A mask mounting step for mounting in contact with the mask plate, a squeegeeing step for filling the pattern hole with paste by moving a squeegee on the mask plate in the mounted state, and the workpiece relative to the mask plate. A plate separation step of separating the plate and performing a plate separation operation, and performing a mask follow-up operation to follow the workpiece by displacing the mask plate in the separation direction of the workpiece at the start of the plate separation operation,
The mask following operation corresponds to the peripheral portion of the workpiece on the upper surface of the mask plate by driving a mask pressing mechanism disposed near both ends of the horizontal movement range of the squeegee unit. The mask plate is brought into linear contact with the position, and the mask plate is pushed down in the separation direction of the workpiece to follow the workpiece.
[0008]
According to the present invention, at the start of the plate separation operation for relatively separating the workpiece from the mask plate, the mask plate is moved by the contact portion that linearly contacts the position corresponding to the peripheral portion of the workpiece on the upper surface of the mask plate. By pushing down and displacing in the workpiece separation direction to follow the workpiece, the difference in plate separation speed between the peripheral part and the center part of the work is minimized, and the plate separation conditions are uniform over the entire work surface. Can be secured.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partial sectional view of the screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a screen printing according to an embodiment of the present invention. It is process explanatory drawing of a method.
[0010]
First, the structure of the screen printing apparatus will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, a substrate positioning portion 2 for positioning a substrate as a work is disposed on a base 1. The substrate positioning unit 2 stacks a Z-axis table 6 that is moved up and down by an X-axis table 3, a Y-axis table 4, and a feed screw 5, and a substrate holding unit 7 that holds a substrate 8 by a clamper 9 on the Z-axis table 6. It is arranged and configured. As shown in FIG. 2, the lower surface of the substrate 8 is received by the lower receiving portion 6 a, and the Z-axis table 6 is moved up and down by the Z-axis drive mechanism 19. The Z-axis drive mechanism 19 is controlled by the plate separation control unit 20.
[0011]
On the base 1, a screen printing unit 10 is disposed above the substrate positioning unit 2. The screen printing unit 10 includes a mask plate 12 held by a frame-shaped holder 11, a squeegee unit 13 including a squeegee 16 that slides on the mask plate 12, and a squeegee moving table 14.
[0012]
By driving the X, Y, and Z axis tables of the substrate positioning unit 2 with the substrate holding unit 7 holding the substrate 8, the held substrate 8 is moved with respect to the mask plate 12 of the screen printing unit 10. It is possible to align and attach the lower surface of the mask plate 12 from below. Further, by lowering the Z-axis table 6 by the Z-axis drive mechanism 19 from this mask mounted state, the substrate 8 is separated from the lower surface of the mask plate 12 and the plate is separated.
[0013]
Therefore, the substrate positioning unit 2 and the substrate holding unit 7 serve as a mask mounting unit that mounts the mask plate 12 in contact with the upper surface of the substrate 8. The Z-axis table 6 including the substrate holding unit 7 and the Z-axis drive mechanism 19 serves as a plate separating unit that performs a plate separating operation by relatively separating the substrate 8 from the mask plate 12.
[0014]
In FIG. 1, the squeegee moving table 14 includes a feed screw 14b and a motor 14a. By driving the motor 14a, the squeegee unit 13 moves in the horizontal direction. As shown in FIG. 2, the squeegee unit 13 includes a pair of squeegees 16 that move up and down by a cylinder 15. The substrate 8 is positioned below the screen printing unit 10 and the mask plate 12 is brought into contact with the upper surface of the substrate 8. In this state, by driving the cylinder 15, the squeegee 16 is lowered and the lower end thereof comes into contact with the upper surface of the mask plate 12.
[0015]
The squeegee 16 scrapes the cream solder 17 on the mask plate 12 by driving the squeegee moving table 14 in a state where the cream solder 17 as paste is supplied onto the mask plate 12. By this squeezing operation, cream solder 17 is filled in the pattern holes 12a.
[0016]
A mask push-down mechanism 18 is disposed near the end of the horizontal movement range of the squeegee unit 13. The mask push-down mechanism 18 includes a contact portion 18 a that extends downward and contacts the mask plate 12 and a lifting mechanism that moves the contact portion 18 a up and down. The abutting portion 18a is a rod-like member that is elongated in the length direction of the substrate 8 (perpendicular to the paper surface in FIG. 2), linearly abuts at a position corresponding to the peripheral portion of the substrate 8 on the upper surface of the mask plate 12, The mask plate 12 is pressed against the periphery of the substrate 8. It should be noted that the position where the mask plate 12 is pushed down by the contact portion 18 a may be either inside or outside the end face of the substrate 8 as long as it is a peripheral portion of the substrate 8.
[0017]
The operation of the elevating mechanism of the mask depressing mechanism 18 is controlled by the plate separation control unit 20, whereby the mask plate 12 can be depressed with an arbitrary depressing amount and depressing speed by the abutting portion 18 a. By controlling by the plate separation control unit 20 so that the lowering operations of the mask pressing mechanism 18 and the Z-axis drive mechanism 19 are synchronized at the start of the plate separation operation, the mask plate 12 is made to follow the lowering operation of the substrate 8. Can do. That is, the mask push-down mechanism 18 and the plate separation control unit 20 serve as a mask follow-up unit that displaces the mask plate 12 in the separation direction of the substrate 8 and follows the substrate 8 at the start of the plate separation operation.
[0018]
This screen printing apparatus is configured as described above, and the screen printing operation will be described below with reference to FIG. First, the substrate 8 that is received by the lower support 6a of the substrate holder 7 and clamped by the clamper 9 is brought into contact with the lower surface of the mask plate 12, whereby the mask plate 12 is mounted on the substrate 8 (mask). Mounting process).
[0019]
Next, as shown in FIG. 3A, the squeegee 16 of the squeegee unit 13 is lowered and brought into contact with the mask plate 12 while the cream solder 17 is supplied onto the mask plate 12. Thereafter, by horizontally moving the squeegee unit 13, the squeegee 16 performs a squeezing operation of moving the cream solder 17 on the mask plate 12 while scraping it, and as shown in FIG. The cream solder 22 is filled (squeezing process).
[0020]
Thereafter, after the squeegee 16 is retracted, a plate separating operation for separating the substrate 8 from the mask plate 12 is performed (plate separating step). The plate separation is performed by lowering the Z-axis table 6 by the Z-axis drive mechanism 19. At the start of this plate separation operation, the Z-axis table 6 is lowered as shown in FIG. At the same time, a mask following operation is performed.
[0021]
That is, the mask pressing mechanism 18 is driven to bring the contact portion 18 a into contact with the mask plate 12. Then, the mask plate 12 is pushed down in the separation direction of the substrate 8 to follow the substrate 8. In the following operation of the mask plate 12, the lowering speed 18 of the mask pressing mechanism 18 may be smaller than the pressing speed of the Z-axis drive mechanism 19, and the mask pressing speed and the lowering speed of the Z-axis driving mechanism 19 are the same. May be made to follow completely.
[0022]
When the mask plate 12 is lowered by a predetermined follow-up amount h, the pressing by the mask pressing mechanism 18 is stopped. The follow-up amount h is determined by conditions such as the size of the printing range of the substrate 8 and the degree of elasticity of the mask plate 12, and an optimum value is obtained based on the trial result.
[0023]
Thereafter, the Z-axis drive mechanism 19 is continuously driven to further separate the substrate 8 from the mask plate 12, whereby the cream solder 17 filled in the pattern hole 12a is detached from the pattern hole 12a and separated from the plate. Next, by raising the mask push-down mechanism 18, the cream solder 17 is detached from the pattern hole 12a as shown in FIG. 3D, and the printing operation on the substrate 8 is completed.
[0024]
In this plate separation process, the mask plate 12 is pressed from the upper surface side at a position corresponding to the peripheral portion of the substrate 8, so that the mask plate 12, the substrate 8, and the like are separated as in the conventional plate separation operation in screen printing. There is no time delay phenomenon at the time of detaching the plate, which is sequentially separated from the peripheral part toward the central part. Thereby, the separation between the upper surface of the substrate 8 and the lower surface of the mask plate 12 is performed at substantially the same timing over the entire surface of the printing range on the substrate 8.
[0025]
That is, the plate separation speed when the cream solder 17 is separated from the pattern holes 12a is kept constant for all the pattern holes 12a, and the plate separation conditions can be made constant. Therefore, unlike the plate separation operation in the conventional screen printing apparatus, there is no variation in print quality due to the difference in the plate separation speed between the central portion and the peripheral portion of the printing range, and stable printing quality can be ensured. it can.
[0026]
Since the plate separation conditions are constant over the entire printing range, the plate separation conditions can be efficiently calculated under fine conditions. For this reason, even when a high-density substrate having a large number of electrodes formed at a narrow pitch and having a high degree of plate separation difficulty is to be printed, uniform and good plate separation properties are ensured over the entire printing range by fine plate separation control. be able to.
[0027]
In the above-described embodiment, the mask plate 12 is pushed down by the mask push-down mechanism 18 provided with the lifting mechanism as the mask follow-up means. However, strict follow-up is not required depending on the type of the mask plate to be used. In some cases, the mask follower may be configured such that the peripheral portion of the mask plate 12 is simply pushed down by the biasing force or weight of the spring. In short, it is sufficient that the separation of the mask plate 12 and the substrate 8 is not started partially from the peripheral portion at the start of the plate separation operation, but the plate separation is performed over the entire printing range. In addition, instead of pressing down from the upper surface of the mask plate 12, the mask plate 12 may be sucked and pulled down from the lower surface side.
[0028]
【The invention's effect】
According to the present invention, at the start of the plate separation operation for relatively separating the workpiece from the mask plate, the mask plate is moved by the contact portion that linearly contacts the position corresponding to the peripheral portion of the workpiece on the upper surface of the mask plate. Since it is pushed down and displaced in the workpiece separation direction to follow the workpiece, the difference in plate separation speed between the peripheral part and the central part of the work is minimized, and the plate separation conditions are made uniform over the entire work surface. And good releasability can be ensured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a partial sectional view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. Process description of printing method 【Explanation of symbols】
2 Substrate positioning unit 7 Substrate holding unit 8 Substrate 10 Screen printing unit 12 Mask plate 12a Pattern hole 13 Squeegee unit 16 Squeegee 17 Cream solder 18 Mask pressing mechanism 19 Z-axis drive mechanism 20 Plate separation control unit

Claims (2)

パターン孔が形成されたマスクプレートをワーク上に装着し前記パターン孔を介してワークにペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートを前記ワーク上面に当接状態で装着するマスク装着手段と、装着された状態のマスクプレート上で移動することにより前記パターン孔内にペーストを充填させるスキージと、前記ワークをマスクプレートから相対的に離隔させて版離れ動作を行わせる版離れ手段と、前記版離れ動作の開始時においてマスクプレートをワークの離隔方向に変位させてワークに追従させるマスク追従手段としてのマスク押し下げ機構とを備え、前記マスク押し下げ機構は、スキージユニットの水平方向移動範囲の両端部近傍に配設され、前記マスクプレートの上面のワークの周辺部に相当する位置に線状に当接する細長い棒状部材と、この細長い棒状部材を昇降させる昇降機構とから成ることを特徴とするスクリーン印刷装置。A screen printing apparatus for mounting a mask plate on which a pattern hole is formed on a work and printing a paste on the work through the pattern hole, the mask mounting means for mounting the mask plate in contact with the upper surface of the work A squeegee that fills the pattern hole with a paste by moving on the mounted mask plate, and a plate separating means for separating the workpiece from the mask plate to perform a plate separating operation; A mask push-down mechanism as a mask follow-up means for displacing the mask plate in the separation direction of the workpiece and following the workpiece at the start of the plate separation operation, and the mask push-down mechanism has both ends of the horizontal movement range of the squeegee unit. A position corresponding to the peripheral part of the workpiece on the upper surface of the mask plate, which is disposed in the vicinity of the part An elongated rod-like member abutting on the linear, screen printing apparatus characterized by comprising a lift mechanism for lifting the elongated bar-like member. パターン孔が形成されたマスクプレートをワーク上に装着し前記パターン孔を介してワークにペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートを前記ワーク上面に当接状態で装着するマスク装着工程と、装着された状態のマスクプレート上でスキージを移動させることにより前記パターン孔内にペーストを充填させるスキージング工程と、前記ワークをマスクプレートから相対的に離隔させて版離れ動作を行わせる版離れ工程とを含み、前記版離れ動作の開始時においてマスクプレートをワークの離隔方向に変位させてワークに追従させるマスク追従動作を行うものであり、
前記マスク追従動作は、スキージユニットの水平方向移動範囲の両端部近傍に配設されたマスク押し下げ機構を駆動してこのマスク押し下げ機構の細長い棒状部材をマスクプレートの上面のワークの周辺部に相当する位置に線状に当接させ、マスクプレートをワークの離隔方向に押し下げてワークに追従させることを特徴とするスクリーン印刷方法。
A screen printing method for mounting a mask plate on which a pattern hole is formed on a work and printing a paste on the work through the pattern hole, the mask mounting process for mounting the mask plate in contact with the upper surface of the work A squeegeeing step for filling the pattern holes with paste by moving a squeegee on the mounted mask plate, and a plate for separating the workpiece from the mask plate to perform a plate separating operation. Including a separation step, and at the start of the plate separation operation, a mask follow operation is performed in which the mask plate is displaced in the separation direction of the workpiece to follow the workpiece,
The mask following operation corresponds to the peripheral portion of the workpiece on the upper surface of the mask plate by driving a mask pressing mechanism disposed near both ends of the horizontal movement range of the squeegee unit. A screen printing method comprising: bringing a mask plate into contact with a position linearly;
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