JP4028559B2 - Rotation sensor - Google Patents

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Description

本発明は、回転体に取り付けてこの回転体の回転角度を検出するのに使用される回転センサに関する。   The present invention relates to a rotation sensor that is attached to a rotating body and used to detect the rotation angle of the rotating body.

例えば、自動車のステアリングシャフトなどの回転シャフトに取り付けてこのシャフトと一体になったハンドルの回転角度を検出するのにいわゆる回転センサが使用される。   For example, a so-called rotation sensor is used to detect a rotation angle of a handle attached to a rotating shaft such as a steering shaft of an automobile and integrated with the shaft.

かかる回転センサの一例として、ロータに対して固定コアを所定間隔隔てて対向配置したものがある。(例えば、特許文献1参照)。   As an example of such a rotation sensor, there is one in which a fixed core is disposed opposite to a rotor at a predetermined interval. (For example, refer to Patent Document 1).

この回転センサは、特許文献1に示すように、回転するシャフトに取り付けられるロータと、絶縁磁性材からなるコア本体及びコア本体内に収容される少なくとも1つの励磁コイルを有する固定コアと、回転角度検出部を備えている。なお、励磁コイルは、例えば図2(a)に示すように2個の励磁コイルからなり、それぞれロータの周方向に例えば90度などの所定の中心角度をなして配置されている。また、固定コアは、シャフトの近傍に位置する固定部材に取り付けられ、それぞれ交流磁界の遮蔽性を有する金属又は絶縁磁性材、あるいは絶縁性の樹脂材等からなるケースにロータとともに収納されている。   As shown in Patent Document 1, the rotation sensor includes a rotor attached to a rotating shaft, a core body made of an insulating magnetic material, a fixed core having at least one exciting coil housed in the core body, and a rotation angle. A detection unit is provided. The excitation coil is composed of two excitation coils as shown in FIG. 2A, for example, and is arranged at a predetermined center angle such as 90 degrees in the circumferential direction of the rotor. The fixed core is attached to a fixed member located in the vicinity of the shaft, and is housed together with a rotor in a case made of a metal or insulating magnetic material having an AC magnetic field shielding property, or an insulating resin material.

ロータは、絶縁磁性材あるいは絶縁性の樹脂材等からなるロータ取り付け部及びこれとステー部材を介して連結され周方向にわたって幅が連続的に変化するセンシング部とからなる。なお、センシング部は、幅が最小の幅狭部と、この幅狭部と半径方向反対側に幅が最大の幅広部とを有した導電性を有する金属からなり、ロータの回転角度に対応してセンシング部の半径方向の幅が変化するように形成され、交流磁界によって回転に伴う幅に対応した大きさの渦電流がセンシング部表面に誘起されるようになっており、この渦電流量の変動に伴い各励磁コイルのインピーダンスも変動する。   The rotor includes a rotor mounting portion made of an insulating magnetic material or an insulating resin material and a sensing portion that is connected to the rotor via a stay member and has a width that continuously changes in the circumferential direction. The sensing part is made of a conductive metal having a narrow part with the smallest width and a wide part with the largest width on the opposite side in the radial direction, and corresponds to the rotation angle of the rotor. The sensing part is formed so that its radial width changes, and an eddy current of a magnitude corresponding to the width accompanying rotation is induced by the alternating magnetic field on the sensing part surface. The impedance of each exciting coil varies with the variation.

回転センサの回路ブロック図は、図13に示すように、発振回路501からなり特定周波数の発振信号を出力する発振部500と、センシング部に発生する渦電流の大きさに応じて発振部500から入力された発振信号の位相をシフトする位相シフト部510(511,512)と、位相シフト量を検出する位相シフト量検出部520(521,522)と、検出された位相シフト量を対応するパラメータに変換する位相シフト量コンバート部530(531,532)と、位相シフト量コンバート部530から出力される位相シフト量を増幅する増幅部540(541,542)と、増幅部540からの出力に基づいて回転角度を算出する回転角度検出部550を有し、位相シフト部510に入力される回転角度を検出するようになっている。   As shown in FIG. 13, the circuit block diagram of the rotation sensor includes an oscillation unit 500 that includes an oscillation circuit 501 and outputs an oscillation signal of a specific frequency, and an oscillation unit 500 that corresponds to the magnitude of eddy current generated in the sensing unit. A phase shift unit 510 (511, 512) for shifting the phase of the input oscillation signal, a phase shift amount detection unit 520 (521, 522) for detecting the phase shift amount, and a parameter corresponding to the detected phase shift amount Based on the output from the amplifying unit 540, the phase shift amount converting unit 530 (531, 532) for converting to, the amplifying unit 540 (541 542) for amplifying the phase shift amount output from the phase shift amount converting unit 530, and the like. A rotation angle detection unit 550 that calculates the rotation angle and detects the rotation angle input to the phase shift unit 510. .

また、位相シフト部510は、図2(b)に示すように、電子回路の抵抗とコンデンサ及びコイルからからなる。ロータのセンシング部は上述したように周方向に幅が連続的に変化する形状を有しているので、回転軸の回転と連動するロータのセンシング部が回転することにより、コイルのインピーダンスが変化する。   In addition, the phase shift unit 510 includes a resistance of an electronic circuit, a capacitor, and a coil as shown in FIG. As described above, since the rotor sensing portion has a shape whose width continuously changes in the circumferential direction, the impedance of the coil changes as the rotor sensing portion rotates in conjunction with the rotation of the rotating shaft. .

回転軸が回転したとき、入力角度に対して位相シフト量検出部520の出力はセンシング部の形状によって決まり、図14に示すようにSin波形の如く変化させることができる。例えば、図2(b)に示すように、2つの固定コア(コイルA、コイルB)をロータ回転軸の中心に対して90°の中心角度で配置すると、図15に示すように入力角度に対して、一方の固定コアのコイルAのインピーダンス変化に基づいて信号処理した位相シフト量と、他方の固定コアのコイルBのインピーダンス変化に基づいて信号処理した位相シフト量は90°の位相差をもって変化することになる。   When the rotation shaft rotates, the output of the phase shift amount detection unit 520 with respect to the input angle is determined by the shape of the sensing unit, and can be changed like a Sin waveform as shown in FIG. For example, as shown in FIG. 2B, when two fixed cores (coil A and coil B) are arranged at a central angle of 90 ° with respect to the center of the rotor rotation axis, the input angle is set as shown in FIG. On the other hand, the phase shift amount processed based on the impedance change of the coil A of one fixed core and the phase shift amount processed based on the impedance change of the coil B of the other fixed core have a phase difference of 90 °. Will change.

そして、このような構成の回転センサを用いて、この渦電流の発生に伴う励磁コイルのインピーダンス変動を利用してロータの回転角度を検出するようになっている。
特開2003−202240号公報(第4−5頁、図1)
Then, the rotation angle of the rotor is detected by utilizing the fluctuation in impedance of the exciting coil accompanying the generation of the eddy current using the rotation sensor having such a configuration.
JP 2003-202240 A (page 4-5, FIG. 1)

一方、回転センサはそのロータのセンシング部が回転軸に固定され、励磁コイルが固定コアを介してケースに固定されている。すなわち、回転センサを取り付けるにあたって、回転センサのロータ側を回転軸に取り付けるとともにステータ側をブラケット等で回転軸以外の部分に取り付けるようになっている。そのため、回転センサの取り付け性向上を図るためにロータのセンシング部と励磁コイルとの間にある程度のずれが生じる場合がある。このずれが許容範囲の場合は問題ないが、ずれが許容範囲を超えるとロータのセンシング部と励磁コイルとのガタやコイルの温度特性等に起因して、図4に示すように、入力角度に対する位相シフト量にも許容できない程度のずれが生じる。図4には、位相シフト量がずれた場合(グラフ上で縦にずれる)を示しているが、入力角度がずれる(グラフ上で横にずれる)こともあり、両方のずれを伴うこともある。実際には、ロータのセンシング部と励磁コイルとの間において、センシング部半径方向のずれが生じやすい。このとき、回転角度検出部550では、実際の入力角度とずれがある角度をそのまま検知することになるが、現状の構成のみではこのような許容できないずれ発生の検出は困難である。また、仮にこれを検出しようとすると追加部品が必要となりコストアップにつながる。このように、ロータのセンシング部と励磁コイル間のガタや温度に起因する検出出力の変化を本来の検出角度の変化と区別することは難しいため、想定外のずれが生じた場合には異常と診断することができず、回転角度を誤検知してしまう。かかる回転センサのセンシング部と励磁コイルとの許容できない位置ずれが判別できれば、センサ出力信号を適時キャンセルするなどの対策をとることができるが、このような位置ずれが判別できないと適切な対策をとることは困難である。   On the other hand, in the rotation sensor, the sensing part of the rotor is fixed to the rotation shaft, and the excitation coil is fixed to the case via a fixed core. That is, when attaching the rotation sensor, the rotor side of the rotation sensor is attached to the rotation shaft and the stator side is attached to a portion other than the rotation shaft by a bracket or the like. For this reason, in order to improve the attachment of the rotation sensor, a certain amount of deviation may occur between the sensing portion of the rotor and the exciting coil. If this deviation is within the allowable range, there is no problem. However, if the deviation exceeds the allowable range, due to backlash between the sensing part of the rotor and the exciting coil, temperature characteristics of the coil, etc., as shown in FIG. An unacceptable shift occurs in the phase shift amount. FIG. 4 shows a case where the phase shift amount is shifted (vertically shifted on the graph), but the input angle may be shifted (shifted horizontally on the graph), and both may be shifted. . Actually, the sensing part tends to be displaced in the radial direction between the sensing part of the rotor and the exciting coil. At this time, the rotation angle detection unit 550 detects an angle with a deviation from the actual input angle as it is, but it is difficult to detect such an unacceptable deviation with the current configuration alone. Further, if this is detected, additional parts are required, leading to an increase in cost. In this way, it is difficult to distinguish changes in detection output due to backlash or temperature between the sensing section of the rotor and the excitation coil from changes in the original detection angle. The diagnosis cannot be made and the rotation angle is erroneously detected. If an unacceptable misalignment between the sensing unit of the rotation sensor and the exciting coil can be determined, measures such as timely cancellation of the sensor output signal can be taken. If such misalignment cannot be determined, an appropriate measure is taken. It is difficult.

本発明の目的は、回転センサのロータのセンシング部と励磁コイル間に許容できない位置ずれが生じた場合に検出誤差を含んだまま回転角度検出を行うことなく、回転センサの異常と判断する回転センサを提供することにある。   An object of the present invention is to detect a rotation sensor abnormality without detecting a rotation angle while including a detection error when an unacceptable positional deviation occurs between a sensing portion of a rotor of a rotation sensor and an excitation coil. Is to provide.

上述の課題を解決するために、本発明にかかる回転センサは、
回転するシャフトに取り付けられ、周方向に沿って幅が変化する導電性のセンシング部を有するロータと、
交流励磁電流が流されることで前記ロータのセンシング部との間に磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材から成形されかつ前記励磁コイルを保持するコア本体とを有し、回転するシャフト以外に取付けられる固定部材に取り付けて前記ロータのセンシング部に対して前記シャフトの軸線方向に間隔をおいて対向配置される固定コアとを備えた回転センサにおいて、
前記固定コアが前記ロータのセンシング部の周方向に所定の間隔で複数配置され、かつ各固定コアの励磁コイルが位相シフト部を形成し、当該位相シフト部は発振部と位相シフト量検出部に接続され、
前記何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量の値と、前記他の一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量の値とからセンサ異常を検知する手段を有し、
前記センサ異常を検知する手段は、前記何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量を一部飽和させて形成された平坦部からなる判定限界値を備え、当該判定限界値をなす位相シフト量の平坦部と平坦部でない通常変化部分の境目における位相シフト量と、前記他の何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた同一の入力角度における位相シフト量との差を予め定められた判定基準値と比較し、前記差が前記判定基準値を超えた時にセンサ異常を検知するようになっていることを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problem, the rotation sensor according to the present invention is:
A rotor attached to a rotating shaft and having a conductive sensing portion whose width varies along the circumferential direction;
An excitation coil that forms a magnetic circuit with the sensing portion of the rotor by passing an AC excitation current, and a core body that is molded from a magnetic material and holds the excitation coil, and other than the rotating shaft In a rotation sensor comprising a fixed core attached to a fixed member to be attached and disposed opposite to the sensing portion of the rotor at an interval in the axial direction of the shaft,
A plurality of the fixed cores are arranged at predetermined intervals in the circumferential direction of the sensing unit of the rotor, and the excitation coil of each fixed core forms a phase shift unit, and the phase shift unit is connected to the oscillation unit and the phase shift amount detection unit. Connected,
The value of the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one of the excitation coils and the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to the other one excitation coil Means for detecting a sensor abnormality from the value of
The means for detecting the sensor abnormality includes a determination limit value including a flat portion formed by partially saturating the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one of the exciting coils. The phase shift amount at the boundary between the flat portion of the phase shift amount that constitutes the determination limit value and the normal change portion that is not the flat portion, and the phase shift amount detection unit connected to any one of the other excitation coils The difference between the phase shift amount at the same input angle is compared with a predetermined criterion value, and a sensor abnormality is detected when the difference exceeds the criterion value.

本発明の回転センサは、このような手段を有することで、回転センサのセンシング部と励磁コイル間の取り付け上のずれに伴う出力のシフト量が許容できない範囲となったときに、簡易な装置構成で回転センサの異常を判断することができる。   The rotation sensor of the present invention has such a means, so that when the shift amount of the output due to the mounting displacement between the sensing portion of the rotation sensor and the exciting coil is in an unacceptable range, the device configuration is simple. Thus, the abnormality of the rotation sensor can be determined.

即ち、センサ異常を検知する手段が、何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量を一部飽和させて形成された平坦部からなる判定限界値を備え、当該判定限界値をなす位相シフト量の平坦部と平坦部でない通常変化部分の境目における位相シフト量と、他の何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた同一の入力角度における位相シフト量との差を予め定められた判定基準値と比較し、差が判定基準値を超えた時にセンサ異常を検知するようになっていることで、回転センサのセンシング部と励磁コイル間の取り付け上のずれに伴う出力のシフト量が許容できない範囲となったときに、特別な異常診断回路を追加することなく簡易な構成で回転センサを異常と判断することができる。   That is, the means for detecting the sensor abnormality has a determination limit value including a flat portion formed by partially saturating the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one of the exciting coils. The phase shift amount at the boundary between the flat portion of the phase shift amount that constitutes the determination limit value and the normal change portion that is not flat and the same obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one other exciting coil The difference between the phase shift amount at the input angle is compared with a predetermined criterion value, and when the difference exceeds the criterion value, a sensor abnormality is detected. When the output shift amount due to mounting displacement between the excitation coils is in an unacceptable range, it is possible to determine that the rotation sensor is abnormal with a simple configuration without adding a special abnormality diagnosis circuit. That.

また、本発明の請求項2に記載の回転センサは、
回転するシャフトに取り付けられ、周方向に沿って幅が変化する導電性のセンシング部を有するロータと、
交流励磁電流が流されることで前記ロータのセンシング部との間に磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材から成形されかつ前記励磁コイルを保持するコア本体とを有し、回転するシャフト以外に取付けられた固定部材に取り付けて前記ロータのセンシング部に対して前記シャフトの軸線方向に間隔をおいて対向配置される固定コアとを備えた回転センサにおいて、
前記固定コアが前記ロータのセンシング部の周方向に所定の間隔で複数配置され、かつ各固定コアの励磁コイルが位相シフト部を形成し、当該位相シフト部は発振部と位相シフト量検出部に接続され、
前記何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量の値と、前記他の何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量の値とからセンサ異常を検知する手段を有し、
前記センサ異常を検知する手段は、前記何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量と前記他の何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量の交点を求め、当該交点に対応する入力角度が予め決められた入力角度である最小の許容限界値と最大の許容限界値との間に入っている場合はセンサ正常と判断し、この範囲を超えた場合にセンサ異常と判断するようになっていることを特徴としている。
A rotation sensor according to claim 2 of the present invention is
A rotor attached to a rotating shaft and having a conductive sensing portion whose width varies along the circumferential direction;
An excitation coil that forms a magnetic circuit with the sensing portion of the rotor by passing an AC excitation current, and a core body that is molded from a magnetic material and holds the excitation coil, and other than the rotating shaft In a rotation sensor comprising a fixed core attached to an attached fixed member and opposed to the sensing portion of the rotor at an interval in the axial direction of the shaft,
A plurality of the fixed cores are arranged at predetermined intervals in the circumferential direction of the sensing unit of the rotor, and the excitation coil of each fixed core forms a phase shift unit, and the phase shift unit is connected to the oscillation unit and the phase shift amount detection unit. Connected,
The value of the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one of the excitation coils and the phase obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one of the other excitation coils A means for detecting a sensor abnormality from the value of the shift amount;
The means for detecting the sensor abnormality includes a phase shift amount obtained by a phase shift amount detector connected to any one of the excitation coils and a phase shift amount detection connected to any one of the other excitation coils. If the input angle corresponding to the intersection is between the minimum allowable limit value and the maximum allowable limit value, which are predetermined input angles, the sensor It is judged that the sensor is abnormal when it is determined to be normal and exceeds this range.

本発明によると、回転センサに許容できない位相シフト量のずれが生じた場合に検出誤差を含んだまま回転角度検出を行うことなくセンサ異常と判断し、これに対応するため、正確な回転角度の検出が可能となる。   According to the present invention, when an unacceptable phase shift amount deviation occurs in the rotation sensor, it is determined that the sensor is abnormal without detecting the rotation angle while including a detection error. Detection is possible.

以下、本発明の一実施形態にかかる回転センサを図面に基いて説明する。なお、この説明においては自動車のステアリング装置においてこの回転センサをステアリングシャフトに取り付けてハンドルの回転角度を検出する場合について説明する。   Hereinafter, a rotation sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In this description, a case will be described in which the rotation angle of the steering wheel is detected by attaching the rotation sensor to the steering shaft in a steering apparatus for an automobile.

本発明の一実施形態にかかる回転センサ1は、図1及び図12に示すように、回転するシャフトSに取り付けられるロータ10と、絶縁磁性材からなるコア本体及びコア本体内に収容される少なくとも1つの励磁コイルを有する固定コア31,32(41,42)と、固定コア31,32(41,42)を保持する保持部材90と、保持部材90の一部に備わった回路基板95と、これらを収容するケース20とを備えている。また、保持部材90には、固定コア31,41を間隔G(図12参照)で対向配置させるコイルコアホルダ92と、固定コア32,42を間隔G(図12参照)で対向配置させるコイルコアホルダ93が備わっている。そして、保持部材90は、図2(a)に示すように、コイルコアホルダ92,93がシャフトSの軸に対して中心角90度をなすように回転センサ1に組付けられている。これによって、一方の組の各固定コア31,41が他方の組の固定コア32,42に対してシャフトSの軸に関して中心角90°をなして配置される。そして、固定コア31,32は、上述の通りシャフトSの軸に対して中心角90°をなすように保持部材90の下ケース側に配置される。一方、固定コア41,42は、シャフトSの軸に対して中心角90°をなすように保持部材90の上ケース21側に配置される。   As shown in FIGS. 1 and 12, a rotation sensor 1 according to an embodiment of the present invention includes a rotor 10 attached to a rotating shaft S, a core body made of an insulating magnetic material, and at least housed in the core body. A fixed core 31, 32 (41, 42) having one excitation coil, a holding member 90 for holding the fixed core 31, 32 (41, 42), a circuit board 95 provided in a part of the holding member 90, And a case 20 for housing them. In addition, the holding member 90 includes a coil core holder 92 in which the fixed cores 31 and 41 are opposed to each other with a gap G (see FIG. 12), and a coil core in which the fixed cores 32 and 42 are arranged to face each other with a gap G (see FIG. 12). A holder 93 is provided. The holding member 90 is assembled to the rotation sensor 1 so that the coil core holders 92 and 93 form a central angle of 90 degrees with respect to the shaft S, as shown in FIG. As a result, the fixed cores 31 and 41 of one set are arranged at a central angle of 90 ° with respect to the axis of the shaft S with respect to the fixed cores 32 and 42 of the other set. The fixed cores 31 and 32 are arranged on the lower case side of the holding member 90 so as to form a central angle of 90 ° with respect to the axis of the shaft S as described above. On the other hand, the fixed cores 41 and 42 are disposed on the upper case 21 side of the holding member 90 so as to form a central angle of 90 ° with respect to the axis of the shaft S.

なお、一側の固定コア31,32は、絶縁磁性材(例えば、Ni−Zn系、Mn−Zn系、Mg−Zn系のフェライトに、ナイロン、ポリプロピレン(PP)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、アクリロニトリルブタジエンスチレン(ABS)等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂を混合したもの、あるいはセラミック等)からなり、円柱状に形成され、上面側に励磁コイルが収容されるリング状の空隙部を有するコア本体31a,32aとコア本体31a,32a内に収容される励磁コイル31b,32bを有している。また、他側の固定コア41,42も同様に、絶縁磁性材からなるコア本体41a,42aとコア本体41a,42a内に収容される励磁コイル41b,42bを有している。そして、励磁コイル31b,32bと励磁コイル41b,42bは、それぞれ直列に接続され、保持部材90の信号処理回路99と電気的に接続され、交流励磁電流が流されることでコイル周囲に交流磁界を形成し、それぞれ対となっている固定コア間で磁気回路を形成する。なお、本実施形態においては、その信号処理回路の説明において対となっている固定コアの励磁コイルをそれぞれコイルA、コイルBとして説明する。   The fixed cores 31 and 32 on one side are made of an insulating magnetic material (for example, Ni—Zn, Mn—Zn, Mg—Zn ferrite, nylon, polypropylene (PP), polyphenylene sulfide (PPS), acrylonitrile. Made of a mixture of thermoplastic synthetic resins having electrical insulation properties such as butadiene styrene (ABS) or ceramics, etc., formed in a columnar shape, and having a ring-shaped void on the upper surface side in which an exciting coil is accommodated. It has the core main bodies 31a and 32a and the exciting coils 31b and 32b accommodated in the core main bodies 31a and 32a. Similarly, the other fixed cores 41 and 42 have core bodies 41a and 42a made of an insulating magnetic material and exciting coils 41b and 42b accommodated in the core bodies 41a and 42a. The exciting coils 31b and 32b and the exciting coils 41b and 42b are respectively connected in series and electrically connected to the signal processing circuit 99 of the holding member 90, and an alternating magnetic field is caused to flow so that an alternating magnetic field is generated around the coil. A magnetic circuit is formed between the fixed cores that are paired with each other. In the present embodiment, the fixed core exciting coils that are paired in the description of the signal processing circuit will be described as coil A and coil B, respectively.

保持部材90は、例えば合成樹脂(例えば、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、アクリロニトリルブタジエンスチレン(ABS)等であり、ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたFRP(繊維強化プラスチック)等も含む)でできた矩形状の板部材であって下ケース22に取り付けられるベース部からなり、このベース部の一側端部にコイルコアホルダ92,93が備わっている。   The holding member 90 is made of, for example, a synthetic resin (for example, polybutylene terephthalate (PBT), nylon, polyphenylene sulfide (PPS), acrylonitrile butadiene styrene (ABS), etc., and FRP (fiber reinforced plastic) in which a glass fiber is impregnated with an epoxy resin. ) And the like, and includes a base portion attached to the lower case 22. Coil core holders 92 and 93 are provided at one end of the base portion.

また、固定コア31,32(41,42)が備わった保持部材90、信号処理回路99が備わった回路基板95、及びロータ10は、交流磁界の遮蔽性を有する金属又は絶縁磁性材からなるケース20に収容されている。なお、ケース20は、シャフトSの近傍に位置する固定部材(図示せず)に図示しないブラケット等を介して取り付けられている。   Further, the holding member 90 provided with the fixed cores 31 and 32 (41, 42), the circuit board 95 provided with the signal processing circuit 99, and the rotor 10 are made of a metal or an insulating magnetic material having a shielding property against an alternating magnetic field. 20. The case 20 is attached to a fixing member (not shown) located in the vicinity of the shaft S via a bracket or the like (not shown).

また、保持部材90の一部に備わった回路基板95には図3に示す信号処理回路99が実装されている。信号処理回路99は、ケース20から外部に延出させた複数の電線(図示せず)を介して電源や信号伝送用のワイヤハーネスと接続されると共に、ケース20の外部に設けられた外部装置と接続されるようになっている。   A signal processing circuit 99 shown in FIG. 3 is mounted on a circuit board 95 provided in a part of the holding member 90. The signal processing circuit 99 is connected to a power source and a signal transmission wire harness via a plurality of electric wires (not shown) extending from the case 20 to the outside, and is an external device provided outside the case 20. To be connected.

ロータ10は、図1、図2、及び図12に示すように、絶縁磁性材のロータ取り付け部と、当該ロータ取り付け部とステー部材を介して連結され、周方向にわたって幅が連続的に変化するセンシング部12とからなる。なお、センシング部12は、アルミニウム,銅,銀,真鍮等の導電性を有する金属でできている。また、センシング部12は、図1及び図2に示すように、幅が最小の幅狭部と、この幅狭部と半径方向反対側に幅が最大の幅広部とを有している。そして、ロータ10の回転角度に対応して半径方向の幅が変化するように形成され、ロータ回転に伴い後述する交流磁界によってセンシング幅の、各コイルに対応した領域の面積に基づく大きさの渦電流が誘起されるようになっている。   As shown in FIGS. 1, 2, and 12, the rotor 10 is connected through a rotor mounting portion of an insulating magnetic material, and the rotor mounting portion and a stay member, and the width continuously changes in the circumferential direction. It comprises a sensing unit 12. The sensing unit 12 is made of a conductive metal such as aluminum, copper, silver, or brass. As shown in FIGS. 1 and 2, the sensing unit 12 includes a narrow portion having a minimum width and a wide portion having a maximum width on the opposite side to the narrow portion in the radial direction. A vortex having a size based on the area of the region corresponding to each coil of the sensing width is formed by an alternating magnetic field (to be described later) along with the rotation of the rotor. An electric current is induced.

すなわち、各励磁コイル31b,32b,41b,42bに交流励磁電流が流されると、各励磁コイル31b,32b,41b,42bは周囲に交流磁界を形成し、対向するコア本体31aとコア本体41aは協働して磁気回路を形成し、同様に、対向するコア本体32aとコア本体42aも協働して磁気回路を形成する。このとき、磁束がセンシング部12を横切ると、該センシング部12の表面には渦電流が誘起され、各励磁コイル31b,32b,41b,42bのインピーダンスを変動させる。このインピーダンスの変動量は、センシング部12の表面に誘起される渦電流量に対応して変動する。センシング部12の表面に誘起される渦電流量は、固定コアに対応するセンシング部12の面積(センシング部12のセンシング面と直交する方向から見てセンシング部の固定コアに対する投影面積、すなわち「センシング部の固定コアへの投影面積」である。)により変動する。よって、ロータ10が回転すると、各固定コア31,32,41,42に対応するセンシング部12の幅はロータ10の回転角度に比例して変動し、これに伴い各励磁コイル31b,32b,41b,42bにおけるインピーダンスも変動する。このときの各励磁コイル31b,32b,41b,42bからの出力信号を後述する信号処理回路(図3参照)で検出し、ロータ10の角度信号に変換して、ロータ10の回転角度を検出するようになっている。   That is, when an alternating current is passed through each of the exciting coils 31b, 32b, 41b, and 42b, the exciting coils 31b, 32b, 41b, and 42b form an alternating magnetic field around them, and the opposing core body 31a and core body 41a are The magnetic circuit is formed by cooperation, and similarly, the core body 32a and the core body 42a facing each other also form the magnetic circuit. At this time, when the magnetic flux crosses the sensing unit 12, an eddy current is induced on the surface of the sensing unit 12, and the impedance of each exciting coil 31b, 32b, 41b, 42b is changed. The amount of variation in impedance varies in accordance with the amount of eddy current induced on the surface of the sensing unit 12. The amount of eddy current induced on the surface of the sensing unit 12 is the area of the sensing unit 12 corresponding to the fixed core (the projected area of the sensing unit with respect to the fixed core when viewed from the direction orthogonal to the sensing surface of the sensing unit 12, that is, “sensing The projected area of the part onto the fixed core "). Therefore, when the rotor 10 rotates, the width of the sensing unit 12 corresponding to each fixed core 31, 32, 41, 42 varies in proportion to the rotation angle of the rotor 10, and accordingly, each excitation coil 31b, 32b, 41b. , 42b also varies. At this time, output signals from the respective excitation coils 31b, 32b, 41b, and 42b are detected by a signal processing circuit (see FIG. 3) described later, converted into an angle signal of the rotor 10, and a rotation angle of the rotor 10 is detected. It is like that.

回転センサの信号処理回路は、図3の回路ブロック図に示すように、特定周波数の発振信号を発生する発振回路101を含んで構成される発振部100と、センシング部12に発生する渦電流の大きさに応じて発振部100から入力された発振信号の位相をシフトする位相シフト部110(111,112)と、位相シフト量を検出する位相シフト量検出部120(121,122)と、検出された位相シフト量を対応するパラメータ(例えば電圧値やデジタル値)に変換する位相シフト量コンバート部130(131,132)と、位相シフト量コンバート部130から出力される位相シフト量を増幅する増幅部140(141,142)と、位相シフト量に対応するパラメータから回転角度を算出するとともにセンサ異常の判断を行う信号処理部150とを有し、位相シフト部110に入力される各回転角度を検出するようになっている。信号処理部150は回転角度検出部151と異常検出部152を備え、回転角度の検出に加えてロータのセンシング部と励磁コイルとの位置ずれが許容できない範囲のときにセンサ異常も判断するようになっている。なお、本実施形態では記載されていないが、発振回路101と位相シフト部110との間に必要に応じて分周回路や緩衝増幅器(バッファ)を設けても良い。   As shown in the circuit block diagram of FIG. 3, the rotation sensor signal processing circuit includes an oscillation unit 100 including an oscillation circuit 101 that generates an oscillation signal of a specific frequency, and an eddy current generated in the sensing unit 12. A phase shift unit 110 (111, 112) for shifting the phase of the oscillation signal input from the oscillation unit 100 according to the magnitude, a phase shift amount detection unit 120 (121, 122) for detecting the phase shift amount, and a detection Phase shift amount conversion unit 130 (131, 132) for converting the phase shift amount into a corresponding parameter (for example, voltage value or digital value), and amplification for amplifying the phase shift amount output from phase shift amount conversion unit 130 Unit 140 (141, 142) and a signal for calculating a rotation angle from a parameter corresponding to the phase shift amount and determining sensor abnormality. And a processing unit 150, adapted to detect the rotation angle to be input to the phase shift unit 110. The signal processing unit 150 includes a rotation angle detection unit 151 and an abnormality detection unit 152. In addition to the detection of the rotation angle, the signal processing unit 150 also determines a sensor abnormality when the positional deviation between the rotor sensing unit and the excitation coil is not acceptable. It has become. Although not described in this embodiment, a frequency divider or a buffer amplifier (buffer) may be provided between the oscillation circuit 101 and the phase shift unit 110 as necessary.

続いて、本発明の実施形態にかかる回転センサ1の具体的な信号処理方法について説明する。まず、発振回路101は、特定周波数の発振信号を各励磁コイル31b及びコイル41b(コイルA)、コイル32b及びコイル42b(コイルB)に伝達する。これによって、各発振信号が図2(b)に示す抵抗R1,R2、コイルB1,B2及びコンデンサC1,C2からなる各位相シフト部110に出力される。このとき、コンデンサC1,C2両端における電圧信号の位相は、コイルB1,B2のインピーダンスの変動によって変化する。コンデンサC1,C2両端の電圧信号は、各位相シフト量検出部120へ出力される。各位相シフト量検出部120は、コンデンサC1,C2両端の電圧信号の位相シフト量をそれぞれ検出する。各位相シフト量コンバート部130は、検出された各位相シフト量を対応する電圧に変換する。   Subsequently, a specific signal processing method of the rotation sensor 1 according to the embodiment of the present invention will be described. First, the oscillation circuit 101 transmits an oscillation signal having a specific frequency to each excitation coil 31b and coil 41b (coil A), coil 32b and coil 42b (coil B). Thereby, each oscillation signal is output to each phase shift unit 110 including resistors R1 and R2, coils B1 and B2, and capacitors C1 and C2 shown in FIG. At this time, the phase of the voltage signal at both ends of the capacitors C1 and C2 changes due to fluctuations in impedance of the coils B1 and B2. The voltage signals across the capacitors C1 and C2 are output to each phase shift amount detection unit 120. Each phase shift amount detector 120 detects the phase shift amount of the voltage signal across the capacitors C1 and C2. Each phase shift amount conversion unit 130 converts each detected phase shift amount into a corresponding voltage.

そして、この電圧値を位相シフト量コンバート部130の後段に接続した増幅部140(141,142)に伝達する。増幅器140はオペアンプ等からなる電子回路であり、オペアンプの増幅率を調整することにより、上限はオペアンプのプラス側電源電圧、下限はオペアンプのマイナス側電源電圧(又はGND電圧)に飽和させて位相シフト量を対応する電圧値にフラット領域を形成する。   Then, this voltage value is transmitted to the amplifying unit 140 (141, 142) connected to the subsequent stage of the phase shift amount converting unit 130. The amplifier 140 is an electronic circuit composed of an operational amplifier, etc., and by adjusting the amplification factor of the operational amplifier, the upper limit is saturated with the positive power supply voltage of the operational amplifier, and the lower limit is saturated with the negative power supply voltage (or GND voltage) of the operational amplifier. A flat region is formed with a voltage value corresponding to the amount.

信号処理部150は、演算処理手段として例えばワンチップマイクロプロセッサが使用され、各増幅部140から入力される電圧値に基づき、回転角度検出部151がロータ2の回転角度を測定するとともに、異常検出部152が回転センサ1の異常を検出する。   The signal processing unit 150 uses, for example, a one-chip microprocessor as arithmetic processing means, and the rotation angle detection unit 151 measures the rotation angle of the rotor 2 and detects an abnormality based on the voltage value input from each amplification unit 140. The unit 152 detects an abnormality of the rotation sensor 1.

続いて、本実施形態における回転センサ1の異常診断の具体的構成について説明する。かかる回転センサの異常診断の構成は、図3に示すように、少なくとも何れか一方の励磁コイル(本実施形態ではコイルB)の位相シフト量検出部120で得られた位相シフト量の振幅に増幅部140で上限と下限を設けて当該位相シフト量をその上限と下限の一定値で飽和させ、フラット領域を積極的に形成する(図5及び図11参照)。そして、この飽和させた位相シフト量と何れか他方の励磁コイル(本実施形態ではコイルA)の位相シフト量検出部120で得られた位相シフト量とを比較してセンサ異常を検知するようになっている。なお、各コイルA、コイルBの位相シフト量検出部120は位相シフト量コンバート部130を介して増幅部140にそれぞれ接続されており、センサ異常を検出する信号は実際にはアナログ信号の電圧値となっている。   Then, the specific structure of the abnormality diagnosis of the rotation sensor 1 in this embodiment is demonstrated. As shown in FIG. 3, the abnormality diagnosis configuration of the rotation sensor is amplified to the amplitude of the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit 120 of at least one of the exciting coils (coil B in this embodiment). The unit 140 sets an upper limit and a lower limit, and saturates the phase shift amount at a constant value between the upper limit and the lower limit, thereby actively forming a flat region (see FIGS. 5 and 11). A sensor abnormality is detected by comparing the saturated phase shift amount with the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit 120 of one of the other excitation coils (coil A in the present embodiment). It has become. The phase shift amount detection unit 120 of each coil A and coil B is connected to the amplification unit 140 via the phase shift amount conversion unit 130, and the signal for detecting the sensor abnormality is actually a voltage value of an analog signal. It has become.

本実施形態にかかる回転センサ1の異常診断方法は以下の通りである。上述した通り、増幅部140によって位相シフト量の入力角度に対する振幅に上限と下限で規定されるフラット領域をもたせる(図11参照)。そして、図5に示すようにコイルBの位相シフト量を示す電圧値においてフラット領域と通常変化部分の境界であるA点でコイルBのインピーダンスから得られた位相シフト量をコイルAから得られた位相シフト量と比較する。A点を含む入力角度におけるコイルAとコイルBのインピーダンスから得られた位相シフト量の差Xは、設計により予め正常範囲が決められている。なお、図11においては正常範囲の上限値が判定基準上限値で規定され、下限値が判定基準下限値で規定されるようになっている。   The abnormality diagnosis method for the rotation sensor 1 according to the present embodiment is as follows. As described above, the amplifying unit 140 gives the flat region defined by the upper and lower limits to the amplitude of the phase shift amount with respect to the input angle (see FIG. 11). Then, as shown in FIG. 5, the phase shift amount obtained from the impedance of the coil B at the point A which is the boundary between the flat region and the normal change portion in the voltage value indicating the phase shift amount of the coil B was obtained from the coil A. Compare with the amount of phase shift. The normal range of the difference X between the phase shift amounts obtained from the impedances of the coils A and B at the input angle including the point A is determined in advance by design. In FIG. 11, the upper limit value of the normal range is defined by the determination reference upper limit value, and the lower limit value is defined by the determination reference lower limit value.

このように、入力角度に対する位相シフト量はフラットな部分を有することになる。そして、図5に示すようにコイルBの位相シフト量における飽和部分と通常変化部分の境界であるA点における位相シフト量をこれと同じ入力角度におけるコイルAのインピーダンスから得られた位相シフト量と比較する。コイルAとコイルBのインピーダンスから得られた位相シフト量の差X(判定基準値)は、設計により予め正常範囲を特定する既定値が決められており、Xを既定値と比較することにより回転センサが正常か否かを判断することができる。   Thus, the phase shift amount with respect to the input angle has a flat portion. Then, as shown in FIG. 5, the phase shift amount at the point A which is the boundary between the saturation portion and the normal change portion in the phase shift amount of the coil B is the phase shift amount obtained from the impedance of the coil A at the same input angle. Compare. The phase shift amount difference X (judgment reference value) obtained from the impedances of the coil A and the coil B has a predetermined value that specifies a normal range in advance by design, and is rotated by comparing X with a predetermined value. It can be determined whether the sensor is normal.

具体的には、A点における位相シフト量の差Xが既定値x1<=X<=x2の場合は、回転センサの励磁コイルとセンシング部との間にずれがないか又は許容できるずれの範囲内として回転センサは正常と判断する。また、A点における位相シフト量の差XがX<既定値x1、又はX>既定値x2の場合は、回転センサの励磁コイルとセンシング部との間に許容できないずれがあるとして、回転センサが異常と判断する。同様に、位相シフト量を示す電圧値の下限における飽和領域と通常変化部分との境界において上述のように位相シフト量の差を求めて、これが所定の範囲に含まれているか否かで回転センサの正常・異常を判断しても良い。   Specifically, when the difference X in the phase shift amount at the point A is the predetermined value x1 <= X <= x2, there is no deviation between the excitation coil of the rotation sensor and the sensing unit, or an allowable deviation range. It is determined that the rotation sensor is normal. Further, when the difference X in the phase shift amount at point A is X <predetermined value x1 or X> predetermined value x2, the rotation sensor is assumed to have an unacceptable deviation between the excitation coil of the rotation sensor and the sensing unit. Judge as abnormal. Similarly, the difference in the phase shift amount is obtained as described above at the boundary between the saturation region and the normal change portion at the lower limit of the voltage value indicating the phase shift amount, and the rotation sensor is determined by whether or not this is included in the predetermined range. Normality / abnormality may be judged.

なお、上述のように位相シフト量を表す電圧値の上限と下限の双方を設ける代わりに、ダイオードなどのリミッターを用いて位相シフト量の上限又は下限の片方のみを設けてこの片方の位相シフト量の電圧値のみから回転センサの取り付け位置ずれに伴うセンサ異常を判断するようにしても良い。   Instead of providing both the upper limit and the lower limit of the voltage value representing the phase shift amount as described above, only one of the upper limit or the lower limit of the phase shift amount is provided by using a limiter such as a diode, and this one phase shift amount is set. It is also possible to determine a sensor abnormality that accompanies the rotation sensor mounting position deviation only from the voltage value of the rotation sensor.

ここで、上述した実施形態について、図6乃至図8に示すように、少なくとも何れか一方の励磁コイル(本実施形態ではコイルB)の位相シフト量検出部120で得られた位相シフト量の波形と、何れか他方の励磁コイル(本実施形態ではコイルA)の位相シフト量検出部120で得られた位相シフト量の波形との交点のずれを判定してセンサ異常を検知するようにしてもよい。この場合、少なくとも一方の振幅に増幅部140で上限と下限を設けて当該位相シフト量をその上限と下限の一定値で飽和させるなどの方法で、フラット領域を積極的に形成することが望ましい。   Here, in the embodiment described above, as shown in FIGS. 6 to 8, the waveform of the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit 120 of at least one of the exciting coils (coil B in the present embodiment). And detecting the sensor abnormality by determining the deviation of the intersection of the phase shift amount waveform obtained by the phase shift amount detection unit 120 of one of the other exciting coils (coil A in the present embodiment). Good. In this case, it is desirable to actively form a flat region by a method of setting an upper limit and a lower limit on at least one amplitude in the amplification unit 140 and saturating the phase shift amount at a constant value of the upper limit and the lower limit.

具体的には、上述したセンサ異常判断の方法に代えて、図6乃至図8に示すような信号処理方法を用いても良い。すなわち、図6に示す位相シフト量の判定基準上限値以下のリニア領域において、例えばコイルAの信号とコイルBの信号の交点を求め、これとともにコイルAの許容できる位相シフト量のズレを図中一点鎖線で示すように定め、この一点鎖線で示す許容されるコイルAの位相シフト量とコイルBの位相シフト量の交点をそれぞれ許容限界値とする。この後、図7に示すように、この交点が予め決められた入力角度に関する最小の許容限界値W1と最大の許容限界値W2との間に入っている場合はセンサ正常と判断し、この範囲を超えた場合にセンサ異常と判断するようにしても良い。また、この交点が、図8に示すように、位相シフト量の最小の許容限界値Z1と最大の許容限界値Z2との間に入っている場合はセンサ正常と判断し、この範囲を超えたときにセンサ異常と判断するようにしても良い。   Specifically, instead of the above-described sensor abnormality determination method, a signal processing method as shown in FIGS. 6 to 8 may be used. That is, in the linear region below the determination reference upper limit value of the phase shift amount shown in FIG. 6, for example, the intersection of the signal of the coil A and the signal of the coil B is obtained, and the allowable deviation of the phase shift amount of the coil A is also shown in the figure. It is determined as shown by a one-dot chain line, and an intersection of an allowable phase shift amount of the coil A and a phase shift amount of the coil B indicated by the one-dot chain line is set as an allowable limit value. Thereafter, as shown in FIG. 7, if this intersection is between the minimum allowable limit value W1 and the maximum allowable limit value W2 regarding the predetermined input angle, it is determined that the sensor is normal, and this range is reached. It may be determined that the sensor is abnormal when the value exceeds. Further, as shown in FIG. 8, when the intersection is between the minimum allowable limit value Z1 and the maximum allowable limit value Z2 of the phase shift amount, it is determined that the sensor is normal, and exceeds this range. Sometimes, it may be determined that the sensor is abnormal.

続いて、本発明にかかる回転センサの変形例について説明する。具体的には、本変形例の場合、図9の回路ブロック図に示すように、発振回路201からなり特定周波数の発振信号を出力する発振部200と、センシング部12に発生する渦電流の大きさに応じて発振部200から入力された発振信号の位相をシフトする位相シフト部210(211,212)と、位相シフト量を検出する位相シフト量検出部220(221,222)と、検出された位相シフト量を対応するパラメータ(例えば電圧値やデジタル値)に変換する位相シフト量コンバート部230(231,232)と、位相シフト量コンバート部230から出力される位相シフト量に上下限を設ける設定演算部240(241,242)と、位相シフト量に対応するパラメータから回転角度を算出するとともにセンサ異常の判断を行う信号処理部250とを有し、位相シフト部210に入力される各回転角度を検出するようになっている。信号処理部250は回転角度検出部251と異常検出部252を備え、回転角度の検出に加えてロータのセンシング部と励磁コイルとの位置ずれが許容できない範囲のときにセンサ異常も判断するようになっている。本変形例においては、各コイルA、コイルBの位相シフト量検出部220は位相シフト量コンバート部230を介して設定演算部240にそれぞれ接続されており、センサ異常を検出する信号は実際にはアナログ信号の位相シフト量ではなく、位相シフト量をコンバートしたデジタル信号となっている。なお、本変形例では記載されていないが、発振回路201と位相シフト部210との間に必要に応じて分周回路や緩衝増幅器(バッファ)を設けても良い。   Then, the modification of the rotation sensor concerning this invention is demonstrated. Specifically, in the case of this modification, as shown in the circuit block diagram of FIG. 9, the oscillation unit 200 that includes the oscillation circuit 201 and outputs an oscillation signal of a specific frequency, and the magnitude of the eddy current generated in the sensing unit 12 A phase shift unit 210 (211, 212) that shifts the phase of the oscillation signal input from the oscillation unit 200 in response to this, and a phase shift amount detection unit 220 (221, 222) that detects the phase shift amount are detected. The phase shift amount conversion unit 230 (231 and 232) that converts the phase shift amount into a corresponding parameter (for example, a voltage value or a digital value), and upper and lower limits are set for the phase shift amount output from the phase shift amount conversion unit 230 A signal that calculates the rotation angle from the setting calculation unit 240 (241, 242) and the parameter corresponding to the phase shift amount and determines the sensor abnormality. And a processing unit 250, adapted to detect the rotation angle to be input to the phase shift unit 210. The signal processing unit 250 includes a rotation angle detection unit 251 and an abnormality detection unit 252 so that, in addition to the detection of the rotation angle, a sensor abnormality is also determined when the positional deviation between the rotor sensing unit and the excitation coil is not acceptable. It has become. In this modification, the phase shift amount detection unit 220 of each coil A and coil B is connected to the setting calculation unit 240 via the phase shift amount conversion unit 230, and the signal for detecting the sensor abnormality is actually It is a digital signal obtained by converting the phase shift amount, not the phase shift amount of the analog signal. Although not described in this modification, a frequency divider or a buffer amplifier (buffer) may be provided between the oscillation circuit 201 and the phase shift unit 210 as necessary.

続いて、本変形例の具体的な信号処理方法について説明する。まず、発振回路201は、特定周波数の発振信号を各励磁コイル31b及びコイル41b(コイルA)、コイル32b及びコイル42b(コイルB)に伝達する。これによって、各発振信号が図2(b)に示す抵抗R1,R2、コイルB1,B2及びコンデンサC1,C2からなる各位相シフト部210に出力される。このとき、コンデンサC1,C2両端における電圧信号の位相は、コイルB1,B2のインピーダンスの変動によって変化する。コンデンサC1,C2両端の電圧信号は、各位相シフト量検出部220へ出力される。各位相シフト量検出部220は、コンデンサC1,C2両端の電圧信号の位相シフト量をそれぞれ検出する。各位相シフト量コンバート部230は、検出された各位相シフト量を対応するデジタル信号に変換する。各設定演算部240は、各位相シフト量コンバート部230から出力された信号の上限値と下限値を定め、この上限値と下限値によって位相シフト量に対応するデジタル値をコイルAの位相シフト量とコイルBの位相シフト量ごとに形成する。信号処理部250は、演算処理手段として、例えばワンチップマイクロプロセッサが使用され、各設定演算部240から入力されるデジタル信号に基づき、回転角度検出部251がロータ10の回転角度を測定するとともに、異常検出部252が回転センサの異常を検出する。   Next, a specific signal processing method according to this modification will be described. First, the oscillation circuit 201 transmits an oscillation signal having a specific frequency to each excitation coil 31b and coil 41b (coil A), coil 32b and coil 42b (coil B). Thereby, each oscillation signal is output to each phase shift unit 210 including resistors R1 and R2, coils B1 and B2, and capacitors C1 and C2 shown in FIG. At this time, the phase of the voltage signal at both ends of the capacitors C1 and C2 changes due to fluctuations in impedance of the coils B1 and B2. The voltage signals across the capacitors C1 and C2 are output to each phase shift amount detection unit 220. Each phase shift amount detection unit 220 detects the phase shift amount of the voltage signal across the capacitors C1 and C2, respectively. Each phase shift amount conversion unit 230 converts each detected phase shift amount into a corresponding digital signal. Each setting calculation unit 240 determines an upper limit value and a lower limit value of the signal output from each phase shift amount conversion unit 230, and a digital value corresponding to the phase shift amount is determined by the upper limit value and the lower limit value. And for each phase shift amount of the coil B. The signal processing unit 250 uses, for example, a one-chip microprocessor as a calculation processing unit, and the rotation angle detection unit 251 measures the rotation angle of the rotor 10 based on the digital signal input from each setting calculation unit 240. The abnormality detection unit 252 detects an abnormality of the rotation sensor.

続いて、本変形例における回転センサの異常診断の具体的構成について説明する。かかる回転センサの異常診断の構成は、図9に示すように、少なくとも何れか一方の励磁コイル(本実施形態では図5におけるコイルB)の位相シフト量検出部220で得られた位相シフト量の振幅に設定演算部240で上限と下限を設けて、当該位相シフト量のフラット領域を積極的に形成する(図5及び図11参照)。そして、この位相シフト量と何れか他方の励磁コイル(本実施形態では図5におけるコイルA)の位相シフト量検出部220で得られた位相シフト量とを比較してセンサ異常を検知するようになっている。   Next, a specific configuration for abnormality diagnosis of the rotation sensor in the present modification will be described. As shown in FIG. 9, the abnormality diagnosis configuration of the rotation sensor has a phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit 220 of at least one of the exciting coils (coil B in FIG. 5 in this embodiment). The setting calculation unit 240 sets an upper limit and a lower limit on the amplitude to positively form a flat region of the phase shift amount (see FIGS. 5 and 11). Then, a sensor abnormality is detected by comparing this phase shift amount with the phase shift amount obtained by the phase shift amount detector 220 of one of the other exciting coils (coil A in FIG. 5 in this embodiment). It has become.

本変形例にかかる回転センサの異常診断方法は以下の通りである。具体的には、図9に示すように、位相シフト量検出部220で得られた位相シフト量をそれぞれ位相シフト量コンバート部230でデジタル信号に変換する。そして、このデジタル値を位相シフト量コンバート部230の後段に接続した設定演算部240(241,242)に伝達する。そして、位相シフト量コンバート部230の後段に接続した設定演算部240においてそれぞれ位相シフト量の上限と下限を設けて、この上限と下限で位相シフト量を飽和させる。具体的には、設定演算部240が予め設定してある判定限界値の上限側の値である判定上限値(図5参照)と下限側の値である判定下限値(図11参照)を有し、位相シフト量が判定基準上限値以上のデジタル値であれば判定基準上限値に置き換え、位相シフト量が判定基準下限値以下のデジタル値であれば判定基準下限値に置き換える演算処理を行う。この演算処理により、位相シフト量を表すデジタル値をその上限が判定基準上限値、下限が判定基準下限値となるようにする。   The abnormality diagnosis method for the rotation sensor according to this modification is as follows. Specifically, as shown in FIG. 9, the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit 220 is converted into a digital signal by the phase shift amount conversion unit 230, respectively. Then, this digital value is transmitted to the setting calculation unit 240 (241, 242) connected to the subsequent stage of the phase shift amount conversion unit 230. Then, an upper limit and a lower limit of the phase shift amount are provided in the setting calculation unit 240 connected to the subsequent stage of the phase shift amount conversion unit 230, and the phase shift amount is saturated at the upper limit and the lower limit. Specifically, the setting calculation unit 240 has a determination upper limit value (see FIG. 5) that is an upper limit value of the determination limit value that is set in advance and a determination lower limit value (see FIG. 11) that is a lower limit value. If the phase shift amount is a digital value greater than or equal to the determination reference upper limit value, a calculation process is performed to replace the determination reference upper limit value. If the phase shift amount is a digital value equal to or less than the determination reference lower limit value, an arithmetic process is performed. By this calculation processing, the digital value representing the phase shift amount is set such that the upper limit is the determination reference upper limit value and the lower limit is the determination reference lower limit value.

これによって、図11に示すように、位相シフト量の入力角度に対する振幅に上限と下限のそれぞれにフラットな領域をもたせることができる。なお、図11は位相シフト量がアナログ値で描かれているが、本変形例ではこれを量子化し、デジタル値として回転角度ごとに位相シフト量が出力され、そのうちの上限値が判定基準上限値で規定され、下限値が判定基準下限値で規定されるようになっている。   As a result, as shown in FIG. 11, the upper and lower limits of the amplitude of the phase shift amount with respect to the input angle can be made flat. In FIG. 11, the phase shift amount is drawn as an analog value, but in this modification, this is quantized and the phase shift amount is output as a digital value for each rotation angle, and the upper limit value is the criterion reference upper limit value. The lower limit value is defined by the determination criterion lower limit value.

このように、入力角度に対する位相シフト量はフラットな部分を有することになる。そして、図5に示すようにコイルBの位相シフト量におけるフラットな部分と通常変化部分の境界であるA点における位相シフト量をこれと同じ入力角度におけるコイルAのインピーダンスから得られた位相シフト量と比較する。コイルAとコイルBのインピーダンスから得られた位相シフト量の差Xは、設計により予め正常範囲を特定する既定値が決められており、Xを既定値と比較することにより回転センサが正常か否かを判断することができる。   Thus, the phase shift amount with respect to the input angle has a flat portion. Then, as shown in FIG. 5, the phase shift amount obtained from the impedance of the coil A at the same input angle as the phase shift amount at the point A which is the boundary between the flat portion and the normal change portion of the phase shift amount of the coil B is obtained. Compare with The phase shift amount difference X obtained from the impedances of the coil A and the coil B is determined in advance by design so that a normal value for specifying a normal range is determined. By comparing X with a predetermined value, whether the rotation sensor is normal or not is determined. Can be determined.

具体的には、A点における位相シフト量の差Xが既定値x1<=X<=x2の場合は、回転センサの励磁コイルとセンシング部との間にずれがないか又は許容できるずれの範囲内として回転センサは正常と判断する。また、A点における位相シフト量の差XがX<既定値x1、又はX>既定値x2の場合は、回転センサの励磁コイルとセンシング部との間に許容できないずれがあるとして、回転センサが異常と判断する。同様に、位相シフト量のデジタル値の下限におけるフラットな領域と通常変化部分との境界において上述のように位相シフト量の差を求めて、これが所定の範囲に含まれているか否かで回転センサの正常・異常を判断しても良い。   Specifically, when the difference X in the phase shift amount at the point A is the predetermined value x1 <= X <= x2, there is no deviation between the excitation coil of the rotation sensor and the sensing unit, or an allowable deviation range. It is determined that the rotation sensor is normal. Further, when the difference X in the phase shift amount at point A is X <predetermined value x1 or X> predetermined value x2, the rotation sensor is assumed to have an unacceptable deviation between the excitation coil of the rotation sensor and the sensing unit. Judge as abnormal. Similarly, the difference of the phase shift amount is obtained as described above at the boundary between the flat region at the lower limit of the digital value of the phase shift amount and the normal change portion, and the rotation sensor is determined by whether or not this is included in the predetermined range. Normality / abnormality may be judged.

なお、上述のように位相シフト量を表すデジタル値の上限と下限の双方を設ける代わりに、上限又は下限の片方のみを設けてこの片方の位相シフト量のデジタル値のみから回転センサの取り付け位置ずれに伴うセンサ異常を判断するようにしても良い。   Instead of providing both the upper limit and the lower limit of the digital value representing the phase shift amount as described above, only one of the upper limit or the lower limit is provided and only the digital value of the phase shift amount is shifted from the rotation sensor mounting position. It is also possible to determine the sensor abnormality that accompanies.

続いて、上述の実施形態の参考例について説明する。本参考例では励磁コイルがロータセンシング部の周方向所定位置に配置され、かつ励磁コイルが発振部と位相シフト部と位相シフト量検出部に接続されている。   Subsequently, a reference example of the above-described embodiment will be described. In this reference example, the excitation coil is disposed at a predetermined position in the circumferential direction of the rotor sensing unit, and the excitation coil is connected to the oscillation unit, the phase shift unit, and the phase shift amount detection unit.

また、本参考例の信号処理回路(図示せず)は、以下の構成となっている。すなわち、位相シフト量検出部は、位相シフト量コンバート部に接続され、位相シフト量が電圧値に変換されるようになっている。また、位相シフト量コンバート部は増幅部に接続され、上述の実施形態のように増幅部のゲインを変えることで電圧値に変換された位相シフト量を予め設定された上限と下限で飽和させるようになっている。そして、この飽和させた位相シフト量の飽和領域と予め定めたしきい値とを比較してセンサ異常を検知する。具体的には、図10に示すようにこの位相シフト量の電圧値の飽和領域におけるフラット部の幅Yが図11に示す一定範囲の幅(許容最小幅y1と許容最大幅y2)で規定されるしきい値を超えた場合は、位相シフト量が許容できない範囲まで上下方向にずれていることになる。これは、励磁コイルがセンシング部の半径方向に許容できない範囲までずれていることを示しているので、この場合には回転センサの異常と判断する。   The signal processing circuit (not shown) of this reference example has the following configuration. That is, the phase shift amount detection unit is connected to the phase shift amount conversion unit, and the phase shift amount is converted into a voltage value. Further, the phase shift amount converting unit is connected to the amplifying unit and saturates the phase shift amount converted into the voltage value by changing the gain of the amplifying unit as in the above-described embodiment at the preset upper and lower limits. It has become. Then, the sensor abnormality is detected by comparing the saturation region of the saturated phase shift amount with a predetermined threshold value. Specifically, as shown in FIG. 10, the width Y of the flat portion in the saturation region of the voltage value of the phase shift amount is defined by a certain range of widths (allowable minimum width y1 and allowable maximum width y2) shown in FIG. If the threshold value is exceeded, the phase shift amount is shifted in the vertical direction to an unacceptable range. This indicates that the exciting coil has shifted to an unacceptable range in the radial direction of the sensing unit. In this case, it is determined that the rotation sensor is abnormal.

このようにすると、励磁コイルがセンシング部の周方向において一ヶ所にしか配置されていなくても、飽和させた位相シフト量の電圧値の飽和領域の幅と予め定めたしきい値とを比較することで、回転センサの取り付け上のずれに伴う出力のシフト量が許容できない範囲となったときに、特別な異常診断回路を追加することなく回転センサを異常と判断することができる。   In this way, even if the exciting coil is arranged only in one place in the circumferential direction of the sensing unit, the width of the saturation region of the voltage value of the saturated phase shift amount is compared with a predetermined threshold value. Thus, when the shift amount of the output accompanying the deviation in mounting of the rotation sensor falls within an unacceptable range, it is possible to determine that the rotation sensor is abnormal without adding a special abnormality diagnosis circuit.

なお、この参考例のように増幅部のゲインを変えることで位相シフト量を予め設定された上限と下限で飽和させる代わりにダイオードによるリミッター回路を介して位相シフト量の電圧値の上限又は下限の双方若しくは何れか一方を飽和させ、この飽和したフラット部の領域の幅に基づいて回転センサの異常を判断しても良い。   In addition, instead of saturating the phase shift amount at the preset upper limit and lower limit by changing the gain of the amplification unit as in this reference example, the upper limit or lower limit of the voltage value of the phase shift amount is set via a diode limiter circuit. Both or one of them may be saturated, and the abnormality of the rotation sensor may be determined based on the width of the saturated flat portion region.

なお、この参考例においては、上述の変形例のように、位相シフト量コンバート部が位相シフト量をデジタル値に変換し、このデジタル値に基づいて上述と同様のやり方で異常診断を行っても良い。   In this reference example, even if the phase shift amount conversion unit converts the phase shift amount into a digital value and performs abnormality diagnosis in the same manner as described above based on this digital value, as in the above-described modification. good.

また、本参考例においては、一つの励磁コイルのみから回転センサの異常判断を可能としているが、回転センサが複数の励磁コイルを備える場合においても、何れか一つの励磁コイルのみを用いて回転センサの異常の判断を行うことも可能であるとともに、各励磁コイルの位相シフト量に基づいて各励磁コイルごとに回転センサの異常判断を行うことも可能である。これによって、特に励磁コイルがセンシング部の半径方向に許容できない程度にまでずれて回転センサが取り付けられた場合は全て回転センサを異常と判断できる。   In this reference example, it is possible to determine the abnormality of the rotation sensor from only one excitation coil. However, even when the rotation sensor includes a plurality of excitation coils, only one of the excitation coils is used. It is also possible to determine the abnormality of the rotation sensor, and it is also possible to determine the abnormality of the rotation sensor for each excitation coil based on the phase shift amount of each excitation coil. As a result, the rotation sensor can be determined to be abnormal in all cases, particularly when the excitation coil is displaced to such an extent that it cannot be permitted in the radial direction of the sensing unit.

なお、上記実施形態及びその変形例において、コイルコアホルダ92は、図12に示すような保持部材90に載置されているような構成でも良い。この場合、保持部材90は回路基板(図示せず)を兼ね備えることができる。具体的には、図12に示すように、上面側に励磁コイルが収容されるリング状の空隙部を有するコア本体31a,32aとコア本体31a,32a内に収容される励磁コイル31b,32bを有している。また、他側の固定コア41,42も同様に、絶縁磁性材からなるコア本体41a,42aとコア本体41a,42a内に収容される励磁コイル41b,42bを有している。そして、励磁コイル31b,32bと励磁コイル41b,42bは、それぞれ直列に接続され、保持部材90の信号処理回路(図示せず)と電気的に接続され、交流励磁電流が流されることでコイル周囲に交流磁界を形成し、それぞれ対となっている固定コア間で磁気回路を形成する。   In the above embodiment and its modifications, the coil core holder 92 may be configured to be placed on a holding member 90 as shown in FIG. In this case, the holding member 90 can also have a circuit board (not shown). Specifically, as shown in FIG. 12, the core main bodies 31a and 32a having ring-shaped gaps in which the excitation coils are accommodated on the upper surface side and the excitation coils 31b and 32b accommodated in the core main bodies 31a and 32a are provided. Have. Similarly, the other fixed cores 41 and 42 have core bodies 41a and 42a made of an insulating magnetic material and exciting coils 41b and 42b accommodated in the core bodies 41a and 42a. The exciting coils 31b and 32b and the exciting coils 41b and 42b are respectively connected in series, electrically connected to a signal processing circuit (not shown) of the holding member 90, and an AC exciting current is passed to surround the coils. An alternating magnetic field is formed on each other, and a magnetic circuit is formed between the pair of fixed cores.

このように、本発明にかかる回転センサは、取り付け性向上を図るためにロータのセンシング部と励磁コイル間で多少のガタを許容せざるを得ない車両用ステアリング装置の回転角度検出に特に適している。しかしながら、本発明にかかる回転センサは、取り付け状態でロータのセンシング部と励磁コイルとがずれる可能性のあるものであれば、例えばロボットアームのような回転する回転軸間の相対回転角度や回転トルクを求めるようなものにも適用可能である。   As described above, the rotation sensor according to the present invention is particularly suitable for detecting the rotation angle of a steering apparatus for a vehicle, in which a slight backlash must be allowed between the sensing portion of the rotor and the excitation coil in order to improve attachment. Yes. However, the rotation sensor according to the present invention may be a relative rotation angle or rotation torque between rotating shafts such as a robot arm as long as the sensing portion of the rotor and the exciting coil may be displaced in the attached state. It is also applicable to those that require

本発明の一実施形態にかかる回転センサの内部構造を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the internal structure of the rotation sensor concerning one Embodiment of this invention. 図1に示した回転センサのロータセンシング部とコイルコアとの配置を示した平面図(図2(a))及びこの励磁コイルに関連した回路図(図2(b))である。FIG. 2 is a plan view (FIG. 2A) showing an arrangement of a rotor sensing unit and a coil core of the rotation sensor shown in FIG. 1 and a circuit diagram related to the exciting coil (FIG. 2B). 本実施形態に関する回転センサの回路ブロック図である。It is a circuit block diagram of the rotation sensor regarding this embodiment. 中心角度90°でコイルコアを配置した場合に一方の励磁コイルの位相シフト量がずれた状態を示した検出特性図である。FIG. 6 is a detection characteristic diagram showing a state where the phase shift amount of one exciting coil is shifted when a coil core is arranged at a central angle of 90 °. 本実施形態及びその変形例に関する回転センサの異常判断の原理を示した位相シフト量の検出特性図の部分的拡大図である。It is the elements on larger scale of the detection characteristic figure of phase shift amount which showed the principle of abnormality judgment of a rotation sensor about this embodiment and its modification. 本実施形態にかかる回転センサの異常判断の原理の類似例を示した検出特性図である。It is the detection characteristic figure which showed the similar example of the principle of abnormality determination of the rotation sensor concerning this embodiment. 図6に示した検出特性図における異常判断の第1の方法を示した部分拡大図である。It is the elements on larger scale which showed the 1st method of abnormality determination in the detection characteristic figure shown in FIG. 図6に示した検出特性図における異常判断の第2の方法を示した部分拡大図である。It is the elements on larger scale which showed the 2nd method of abnormality determination in the detection characteristic figure shown in FIG. 本実施形態の変形例に関する回転センサの回路ブロック図である。It is a circuit block diagram of the rotation sensor regarding the modification of this embodiment. 本実施形態の参考例に関する回転センサの異常判断の原理を示した位相シフト量の検出特性図である。It is a detection characteristic figure of the amount of phase shift showing the principle of abnormality judgment of a rotation sensor about a reference example of this embodiment. 本実施形態及び変形例並びに参考例に関する回転センサの異常判断の原理を示した位相シフト量の検出特性図である。It is a detection characteristic figure of the amount of phase shift showing the principle of abnormality judgment of a rotation sensor about this embodiment, a modification, and a reference example. 図1における本発明の一実施形態にかかる回転センサの内部構造を示したXII-XII断面図である。It is XII-XII sectional drawing which showed the internal structure of the rotation sensor concerning one Embodiment of this invention in FIG. 従来の回転センサの回路ブロック図である。It is a circuit block diagram of the conventional rotation sensor. 従来の回転センサの特定のコイルコアの位相シフト量の検出特性図である。It is a detection characteristic figure of the phase shift amount of the specific coil core of the conventional rotation sensor. 中心角度を90°でコイルコアを配置した場合の位相シフト量の検出特性図である。It is a detection characteristic figure of the amount of phase shifts when a coil core is arranged at a central angle of 90 °.

符号の説明Explanation of symbols

1 回転センサ
10 ロータ
12 センシング部
20 ケース
21 上ケース
22 下ケース
31,32,41,42 固定コア
31a,32a コア本体
31b,32b 励磁コイル
41a,42a コア本体
41b,42b 励磁コイル
90 保持部材
92,93 コイルコアホルダ
100,200 発振部
101,201 発振回路
110(111,112),210(211,212) 位相シフト部
120(121,122),220(221,222) 位相シフト量検出部
130(131,132),230(231,232) 位相シフト量コンバート部
140 増幅部
150 信号処理部
151 回転角度検出部
152 異常検出部
240 設定演算部
500 発振部
501 発振回路
510(511,512) 位相シフト部
520(521,522) 位相シフト量検出部
530(531,532) 位相シフト量コンバート部
540(541,542) 増幅部
550 回転角度検出部
S シャフト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rotation sensor 10 Rotor 12 Sensing part 20 Case 21 Upper case 22 Lower case 31, 32, 41, 42 Fixed core 31a, 32a Core main body 31b, 32b Excitation coil 41a, 42a Core main body 41b, 42b Excitation coil 90 Holding member 92, 93 Coil core holder 100, 200 Oscillator 101, 201 Oscillator 110 (111, 112), 210 (211, 212) Phase shifter 120 (121, 122), 220 (221, 222) Phase shift amount detector 130 ( 131, 132), 230 (231, 232) Phase shift amount conversion unit 140 Amplification unit 150 Signal processing unit 151 Rotation angle detection unit 152 Abnormality detection unit 240 Setting calculation unit 500 Oscillation unit 501 Oscillation circuit 510 (511, 512) Phase shift Part 520 (52 1,522) Phase shift amount detection unit 530 (531, 532) Phase shift amount conversion unit 540 (541, 542) Amplification unit 550 Rotation angle detection unit S Shaft

Claims (1)

回転するシャフトに取り付けられ、周方向に沿って幅が変化する導電性のセンシング部
を有するロータと、
交流励磁電流が流されることで前記ロータのセンシング部との間に磁気回路を形成する
励磁コイルと、磁性材から成形されかつ前記励磁コイルを保持するコア本体とを有し、回
転するシャフト以外に取付けられる固定部材に取り付けて前記ロータのセンシング部に対
して前記シャフトの軸線方向に間隔をおいて対向配置される固定コアとを備えた回転セン
サにおいて、
前記固定コアが前記ロータのセンシング部の周方向に所定の間隔で複数配置され、かつ
各固定コアの励磁コイルが位相シフト部を形成し、当該位相シフト部は発振部と位相シフ
ト量検出部に接続され、
前記何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフト量
の値と、前記他の一つの励磁コイルに接続された位相シフト量検出部で得られた位相シフ
ト量の値とからセンサ異常を検知する手段を有し、
前記センサ異常を検知する手段は、前記何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフ
ト量検出部で得られた位相シフト量を一部飽和させて形成された平坦部からなる判定限界
値を備え、当該判定限界値をなす位相シフト量の平坦部と平坦部でない通常変化部分の境
目における位相シフト量と、前記他の何れか一つの励磁コイルに接続された位相シフト量
検出部で得られた同一の入力角度における位相シフト量との差を予め定められた判定基準
値と比較し、前記差が前記判定基準値を超えた時にセンサ異常を検知するようになってい
ることを特徴とする回転センサ。
A rotor attached to a rotating shaft and having a conductive sensing portion whose width varies along the circumferential direction;
An excitation coil that forms a magnetic circuit with the sensing portion of the rotor by passing an AC excitation current, and a core body that is molded from a magnetic material and holds the excitation coil, and other than the rotating shaft In a rotation sensor comprising a fixed core attached to a fixed member to be attached and disposed opposite to the sensing portion of the rotor at an interval in the axial direction of the shaft,
A plurality of the fixed cores are arranged at predetermined intervals in the circumferential direction of the sensing unit of the rotor, and the excitation coil of each fixed core forms a phase shift unit, and the phase shift unit is connected to the oscillation unit and the phase shift amount detection unit. Connected,
The value of the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one of the excitation coils and the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to the other one excitation coil Means for detecting sensor abnormality from the value of
The means for detecting the sensor abnormality includes a determination limit value including a flat portion formed by partially saturating the phase shift amount obtained by the phase shift amount detection unit connected to any one of the exciting coils. The phase shift amount at the boundary between the flat portion of the phase shift amount that constitutes the determination limit value and the normal change portion that is not the flat portion, and the phase shift amount detection unit connected to any one of the other excitation coils A rotation characterized in that a difference in phase shift amount at the same input angle is compared with a predetermined criterion value, and a sensor abnormality is detected when the difference exceeds the criterion value. Sensor.
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