JP3952358B2 - Data conversion apparatus and method, and program using the method - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、データ変換装置およびその方法、並びに当該方法を用いたプログラムに関し、より特定的には、CADデータ等の線図データをランレングスデータに変換するデータ変換装置およびその方法、並びに当該方法を用いたプログラムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、プリント基板を製造する際に用いるマスク用フィルムやマスク板は、一般にドラムスキャン型またはフラットベット型のレーザプロッタによって、感光性を有するマスク用の基材に所望のパターンをレーザ描画(露光)することによって作成される。また、近年、プリント基板の基材自体に感光性のフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜をレーザ描画する直描方式のレーザプロッタが開発されている。
【0003】
このレーザプロッタで描画する描画データのパターンを作成する線図データは、一般的にCADデータが用いられる。CADシステムは、コンピュータを利用した設計用作図システムであり、様々な分野で利用されている。このCADシステムで作成されたCADデータを利用して、微細設計パターンを、上述のように描画することが行われる。しかしながら、レーザプロッタの入力データの形式は、CADシステムの出力データの形式と異なるため、何らかのデータ変換が必要となる。
【0004】
このデータ変換は、一般的にCADデータからランレングスデータを作成するデータ変換装置(画像処理装置)が用いられている。以下、上記データ変換についての概略を説明する。なお、図20は上記データ変換方法を示すフローチャートであり、図21は上記データ変換によるCADデータからランレングスデータを生成する過程を示す概略図である。
【0005】
図20および図21において、上記データ変換装置は、CADシステムから出力されたアパーチャデータAPおよびそのアパーチャデータAPの軌跡を示す軌跡データKDとを含むCADデータを読み込む(ステップS201)。図21(a)に示すように、軌跡データKDは、直線の情報の場合ベクトルの始点と終点とによって表現し、アパーチャデータAPは、描画に用いるペンの種類(すなわち、ペン先の形状)で表現される。さらに、データ変換装置には、フォーマット情報および配置データが与えられる。フォーマット情報は、CADデータのフォーマットを定義するための情報を含み、配置データは、CADデータを表示領域に配置するときの情報(位置、回転、ポジ/ネガ、拡大/縮小)を含む。
【0006】
次に、データ変換装置は、図21(b)に示すように、上記軌跡データKDに基づいて上記アパーチャデータAPを移動させたときに生成されるアパーチャデータAPの軌跡の輪郭を、ベクトル(以下、輪郭ベクトルRVとする)で表すことにより、軌跡データKDおよびアパーチャデータAPを輪郭ベクトルRVに変換する(ステップS202)。なお、輪郭ベクトルRVは、任意の始点から順に右回りの方向に形成されるように変換される。
【0007】
次に、データ変換装置は、図21(c)に示すように、輪郭ベクトルRVをONベクトルON−VとOFFベクトルOFF−Vとに選別する(ステップS203)。上記選別動作では、レーザプロッタの光ビームの走査方向を主走査方向、主走査方向に対して垂直な方向を副走査方向とした場合、副走査方向に向いた輪郭ベクトルRVをONベクトルON−Vに、反副走査方向に向いた輪郭ベクトルRVをOFFベクトルOFF−Vとし、副走査方向に垂直な輪郭ベクトルRVは削除する。
【0008】
次に、データ変換装置は、図21(d)に示すように、ステップS203で作成されたONベクトルON−VおよびOFFベクトルOFF−Vに対して、OFFベクトルOFF−Vのみの方向を反転させた後、それぞれの始点の副走査方向の昇順にソートする(ステップS204)。ここで、ソートとは、データを所定の基準で並べ替えることを意味しており、本従来例では、ソートの結果、ON−V1→OFF−V3→OFF−V2→ON−V2→OFF−V1の順に並び替えられる。
【0009】
次に、データ変換装置は、図21(e)に示すように、描画領域のレーザプロッタの分解能に対応した複数の走査ラインに対して、主走査方向の1走査ラインとステップS204で作成されたベクトルとの交点を上記ソート結果に基づいて検出し、上記ONベクトルON−Vとの交点をON変化点、上記OFFベクトルOFF−Vとの交点をOFF変化点に変換することにより、ランレングスデータを作成する(ステップS205)。このとき、上記交点が副走査方向の走査ラインと一致しない場合、上記交点を主走査方向に移動させることにより最初に検出される主走査方向の走査ラインと副走査方向の走査ラインとの交点が、上記変化点として変換される(切り捨て処理)。このランレングスデータは、表示領域の1走査ライン毎の描画データを、白領域(非露光領域)から黒領域(露光領域)への変化点(ON変化点)と黒領域から白領域への変化点(OFF変化点)とで表したデータであるため、レーザプロッタの描画処理に適しており、レーザプロッタは、与えられるランレングスデータに従って、1ライン毎に描画を行うことができる。
【0010】
次に、データ変換装置は、ステップS205で変換された変化点を主走査方向の昇順にソートする(ステップS206)。そして、データ変換装置は、まだランレングスデータに変換されていないベクトルがあるか否かを判断し(ステップS207)、まだ、変換されていないベクトルが残っている場合、ステップS205の変換で対象とした主走査方向の走査ラインを副走査方向にある別の主走査方向の走査ラインを対象として(ステップS208)、ステップS205に戻る。一方、データ変換装置は、ステップS207で全てのベクトルが、ランレングスデータに変換されたと判断した場合、変換した全てのランレングスデータをレーザプロッタに送り(ステップS209)、フローを終了する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、設計者が回路パターン等の線図データを上記CADデータで作成する際、典型的には複数のパターンデータを示すCADデータを重ね合わせる合成処理を用いて作成される。例えば、設計者は、中抜き形状をCADデータで作成する場合、その外周等の全体的な基本形状を表す塗りデータに対して、中抜き部分を表す抜きデータを合成することにより作成する。また、設計者は、作成したCADデータに不要な部分がある場合、その部分を削除するために、削除形状に合わせた平面形状を抜きデータとして合成することもある。さらに、設計者は、互いに異なるパターン形状を表す塗りデータ同士を合成してCADデータを作成することもある。このようなパターンデータの合成処理を用いることにより、CADデータの生成が容易になる。また、設計者が上記合成処理を意識しなくても、CADデータを作成するプログラムによっては自動的に合成処理を用いて処理する場合もあり、CADデータの作成では、様々な状況で上記合成処理が用いられている。
【0012】
しかしながら、このような複数のパターンデータを合成することによって作成されたCADデータを、上記ランレングスデータに変換する場合、上記データ変換装置には、それぞれのパターンデータ毎のCADデータが独立して供給され、それぞれのCADデータは、位置情報に基づいて互いの位置が関連付けられている。従来の方法では、供給されたそれぞれのパターンデータ毎のCADデータ全てを上記位置情報に基づいてレーザプロッタの描画領域に配置し、配置された全てのCADデータをベクトル変換およびソート処理した後、ランレングスデータ変換するため、変換処理に膨大な時間を要していた。
【0013】
また、上記供給されたそれぞれのパターンデータ毎のCADデータを、それぞれのパターンデータ毎にベクトル変換した後、ベクトル変換された全てのCADデータを上記描画領域に配置し、ランレングスデータに変換する方法がある。図22は、ベクトル変換された複数のデータを合成する方法を示す概略図である。
【0014】
図22(a)において、パターンデータXは、上記塗りデータであり、輪郭ベクトルRVxで示されている。一方、パターンデータYは、上記抜きデータであり、輪郭ベクトルRVyで示されている。なお、それぞれのパターンデータXおよびYは、同じ位置情報Mに基づいて、上記描画領域に配置されるパターンデータである。
【0015】
図22(b)は、上記パターンデータXおよびYが、位置情報Mに基づいて上記描画領域に割り付けられた図である。ここでは、輪郭ベクトルRVxおよびRVyは、まだ合成されておらず単純に重ね合わせて配置された状態である。
【0016】
図22(c)は、図22(b)で配置された輪郭ベクトルRVxおよびRVyがベクトルデータで合成処理され、新たな輪郭ベクトルRVxyが作成された状態を示す図である。上述したように、輪郭ベクトルRVxが塗りデータであり輪郭ベクトルRVyが抜きデータであるため、上記合成処理は、塗りデータに対して、抜きデータが重なった領域のみが削除される合成が行われる。図22(b)と図22(c)とを比較すると、ベクトルデータによる合成処理では、抜きデータである輪郭ベクトルRVyに対して上記重なった領域に含まれないベクトルの削除、輪郭ベクトルRVxおよびRVyを互いに連結させる処理およびベクトルデータの一部を削除する処理等、上記塗り抜き合成をベクトルデータで算出しなければならず、データ処理が複雑でデータ処理に時間がかかる。
【0017】
それ故に、本発明の目的は、合成処理が用いられたCADデータ等の線図データを、ランレングスデータに変換する際に、データ変換処理時間を大幅に短縮できるデータ変換装置およびその方法、並びに当該方法を用いたプログラムを提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第1の発明は、互いに重なり合った複数のパターンデータが含まれた線図データを、所定の出力機の処理に適合する出力機の走査ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換するデータ変換装置であって、パターンデータを読み込む読み込み部と、パターンデータに基づいて、パターンデータのランレングスデータを生成するパターンランレングスデータ生成部と、パターンデータを互いに重ね合う合成処理を、パターンランレングスデータ生成部で生成されたパターンデータのランレングスデータを用いて実行するパターン合成部とを備え、パターンデータは、少なくとも、描画形状を表す塗りパターンデータと、塗りパターンデータと重なり合うことにより塗りパターンデータの一部を削除する抜きパターンデータとを含み、パターン合成部は、塗りパターンデータに対して抜きパターンデータが重なり合う領域を削除する塗り抜き合成処理を、パターンランレングスデータ生成部で生成されたパターンデータのランレングスデータを用いて実行し、塗りパターンデータおよび抜きパターンデータは、互いに塗り抜き合成される優先順位を示す優先度データをそれぞれ所有しており、パターン合成部は、優先度データに基づいて塗り抜き合成処理を優先順位が相対的に低いパターンデータのランレングスデータに対してのみ実行し、優先度データは、塗りパターンデータを偶数で定義し、抜きパターンデータを奇数で定義し、優先順位を数値の大きさで表すことを特徴とする。
【0019】
第1の発明によれば、ランレングスデータを用いた合成処理では、ランレングスデータを用いた単純な算出で合成処理できるため、データ処理時間を大幅に短縮できる。また、第1の発明によれば、塗り抜き合成においても、ランレングスデータを用いた単純な算出で合成処理できるため、データ処理時間を大幅に短縮できる。さらに、第1の発明によれば、線図データの作成で用いられている合成の優先度を、ランレングスデータの合成処理にも適用し、ランレングスデータの塗り抜き合成を相対的に優先順位が低いパターンデータに対して行うことにより、線図データの作成で意図された合成と同様の合成処理を行うことができる。さらに、第1の発明によれば、一つの優先度データで、パターンデータの種類および優先順位とを表すことができるため、処理するデータ量を少なくすることができる。
【0026】
第2の発明は、第1の発明に従属する発明であって、パターンデータは、出力機の描画領域に配置される位置を示すパターン位置データを所有しており、パターン位置データは、パターンデータに出力機の走査ラインを適用させた処理の始点であることを特徴とする。
【0027】
第2の発明によれば、出力機の処理領域の走査順で合成処理を行う場合、走査ラインを適用させた始点でパターン位置データを表すことにより、合成処理の対象となるパターンデータを上記パターン位置データで検索することができるため、検索処理速度が速くなる。
【0028】
第3の発明は、互いに重なり合った複数のパターンデータが含まれた線図データを、所定の出力機の処理に適合する出力機の走査ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換するデータ変換方法であって、パターンデータを読み込む読み込みステップと、パターンデータに基づいて、パターンデータのランレングスデータを生成するパターンランレングスデータ生成ステップと、パターンデータを互いに重ね合う合成処理を、パターンランレングスデータ生成ステップで生成されたパターンデータのランレングスデータを用いて実行するパターン合成ステップとを含み、パターンデータは、少なくとも、描画形状パターンを表す塗りパターンデータと、塗りパターンデータと重なり合うことにより塗りパターンデータの一部を削除する抜きパターンデータとを含み、パターン合成ステップは、塗りパターンデータに対して抜きパターンデータが重なり合う領域を削除する塗り抜き合成処理を、パターンランレングスデータ生成ステップで生成されたパターンデータのランレングスデータを用いて実行し、塗りパターンデータおよび抜きパターンデータは、互いに塗り抜き合成される優先順位を示す優先度データをそれぞれ所有しており、パターン合成配置ステップは、優先度データに基づいて塗り抜き合成処理を優先順位が相対的に低いパターンデータのランレングスデータに対してのみ実行し、優先度データは、塗りパターンデータを偶数で定義し、抜きパターンデータを奇数で定義し、優先順位を数値の大きさで表すことを特徴とする。
【0032】
第4の発明は、第3の発明に従属する発明であって、パターンデータは、出力機の描画領域に配置される位置を示すパターン位置データを所有しており、パターン位置データは、パターンデータに出力機の走査ラインを適用させた処理の始点であることを特徴とする。
【0033】
第5の発明は、互いに重なり合った複数のパターンデータが含まれた線図データを、所定の出力機の処理に適合する出力機の走査ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換するコンピュータで実行されるデータ変換プログラムであって、パターンデータを読み込む読み込みステップと、パターンデータに基づいて、パターンデータのランレングスデータを生成するパターンランレングスデータ生成ステップと、パターンデータを互いに重ね合う合成処理を、パターンランレングスデータ生成ステップで生成されたパターンデータのランレングスデータを用いて実行するパターン合成ステップとを含み、パターンデータは、少なくとも、描画形状パターンを表す塗りパターンデータと、塗りパターンデータと重なり合うことにより塗りパターンデータの一部を削除する抜きパターンデータとを含み、パターン合成ステップは、塗りパターンデータに対して抜きパターンデータが重なり合う領域を削除する塗り抜き合成処理を、パターンランレングスデータ生成ステップで生成されたパターンデータのランレングスデータを用いて実行し、塗りパターンデータおよび抜きパターンデータは、互いに塗り抜き合成される優先順位を示す優先度データをそれぞれ所有しており、パターン合成配置ステップは、優先度データに基づいて塗り抜き合成処理を優先順位が相対的に低いパターンデータのランレングスデータに対してのみ実行し、優先度データは、塗りパターンデータを偶数で定義し、抜きパターンデータを奇数で定義し、優先順位を数値の大きさで表すことを特徴とする。
【0037】
第6の発明は、第5の発明に従属する発明であって、パターンデータは、出力機の描画領域に配置される位置を示すパターン位置データを所有しており、パターン位置データは、パターンデータに出力機の走査ラインを適用させた処理の始点であることを特徴とする。
【0038】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の一実施形態に係るデータ変換装置を用いた露光描画システムの構成を示すブロック図である。当該データ変換装置で用いられる線図データは、典型的にCADデータが用いられ、このCADデータを用いて描画したい回路パターンが設計者によって作成される。図1において、データ変換装置1には、オンライン伝送路3を介して外部のCADシステム(図示せず)から軌跡データおよびアパーチャデータとを含むCADデータが与えられる。また、データ変換装置1には、DAT等の記憶装置2に格納された軌跡データおよびアパーチャデータを含んだCADデータが読み出されて与えられる。つまり、データ変換装置1には、オンラインまたはオフライン形式で上記CADデータが与えられる。データ変換装置1は、与えられた軌跡データおよびアパーチャデータを含んだCADデータを、ベクトルデータに変換した後、さらにランレングスデータに変換し、レーザプロッタ4に出力する。なお、このデータ変換装置1で行われるデータ変換の詳細については、後述する。
【0039】
図2は、図1におけるデータ変換装置1のより詳細な構成を示すブロック図である。図2において、データ変換装置1は、CPU11と、プログラムメモリ12と、RAM13とを備えている。プログラムメモリ12には、CPU11の動作プログラムが格納されており、CPU11は、この動作プログラムに従って、所定の処理を実行する。なお、プログラムメモリ12は、ROMによって構成され、予めプログラムが格納されていても良いし、書き換え可能な記憶媒体(RAM、ハードディスク、MOD)によって構成され、出荷前にプログラムがインストールされても良い。また、オンライン伝送路3を介してプログラムメモリ12にプログラムがダウンロードされても良い。RAM13は、CPU11が所定の処理を実行する際に必要な種々のデータを記憶する。
【0040】
図3〜図19は、図1におけるデータ変換装置1の動作を示すフローチャート、データ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図、あるいはデータ変換装置1が用いるデータおよびテーブルを示す図である。以下、図3〜図19参照して、データ変換装置1の動作について説明する。
【0041】
図3において、データ変換装置1のCPU11は、回路パターンを表したCADデータを読み込み、RAM13に格納する(ステップS11)。図4に示すように、上記CADデータは、アパーチャデータAPと軌跡データKDとを含んでいる。アパーチャデータAPは、描画に用いるペンの種類(すなわち、ペン先の形状)で表現され、軌跡データKDは、そのアパーチャデータAPの軌跡を表現する。なお、軌跡データKDは、直線の場合、情報を始点および終点によって表現し、円の場合、情報を始点、終点、および中心点によって表現する。
【0042】
さらに、データ変換装置1のCPU11には、フォーマット情報および配置データが与えられ、RAM13に格納する(ステップS12)。上記CADデータで表された回路パターンは、設計者によって複数のCADデータが互いに重なり合う合成によって形成される場合が多い。例えば、CADデータは、上記回路パターンの基本的な構造を形成するパターンデータ(以下、塗りパターンデータとする)に、その塗りデータの一部を削除するパターンデータ(以下、抜きパターンデータとする)を、合成処理することにより、最終的な上記回路パターンが形成される。また、設計者が上記合成処理を意識しなくても、CADデータを作成するプログラムによっては自動的に合成処理を用いて処理する場合もあり、CADデータの作成では、様々な状況で上記合成処理が用いられている。
【0043】
このような合成処理が用いられたCADデータを、データ変換装置1が読み込んだ場合、上記フォーマット情報は、それぞれのパターンデータを表すCADデータのフォーマットを定義するための情報として、上記合成処理に用いられるCADデータの種類(すなわち、塗りあるいは抜きパターンデータ)およびその優先度も含まれている。なお、図5の例では、図5(a)に上記塗りパターンデータPdを示すCADデータとして、塗り軌跡データKDdおよび塗りアパーチャデータAPdが示され、図5(b)に上記抜きパターンデータPeを示すCADデータとして、抜き軌跡データKDeおよび抜きアパーチャデータAPeが示されている。
【0044】
また、配置データは、CADデータを表示領域に配置するときの情報(位置、回転、ポジ/ネガ、拡大/縮小)を含む。この配置データは、それぞれの上記パターンデータが、レザープロッタ4の描画領域αに対して描画される基準の描画位置として、所定の座標系の座標データ(以下、面付け位置情報とする)として含まれている。つまり、上記面付け位置情報は、上記パターンデータのパターン位置データとして描画領域αに対する位置を定めるため、上記面付け位置情報と描画領域αの位置情報とは、同一の座標系で作成される。なお、図5の例では、上記面付け位置情報として、図5(a)に、塗り軌跡データKDdおよび塗りアパーチャデータAPdに対して面付け位置情報Mdが示され、図5(b)に抜き軌跡データKDeおよび抜きアパーチャデータAPeに対して面付け位置情報Meが示されている。
【0045】
次に、データ変換装置1は、ステップS12で回路パターンを構成する与えられたパターンデータの中から、所定の順番で1つのパターンデータを処理対象として選択する(ステップS13)。以降、図5に示す、塗りパターンデータPdおよび抜きパターンデータPeが選択された例を説明する。
【0046】
次に、データ変換装置1は、選択されたパターンデータをランレングスデータに変換する(ステップS14)。図6は、ステップS14のランレングスデータへの変換動作の詳細を示すサブルーチンである。以下、図6を参照して、データ変換装置1のランレングスデータへの変換動作について説明する。
【0047】
図6において、データ変換装置1は、選択されたパターンデータの軌跡データKDおよびアパーチャデータAPを読み出し、上記軌跡データKDに基づいて上記アパーチャデータAPを移動させたときに生成されるアパーチャデータAPの軌跡の輪郭を、ベクトル(以下、輪郭ベクトルRVとする)で表すことによりベクトル変換する(ステップS141)。なお、輪郭ベクトルRVは、各描画線を基準に右回りの方向に形成されるように変換される。ただし、ループ状のパターンの場合、それぞれの描画線(すなわち、上辺、下辺、左辺、および右辺)に対して右回りの方向に形成されるため、外側の輪郭ベクトルRVは右回りで形成され、内側の輪郭ベクトルRVは左回りで形成される。なお、図7の例では、図7(a)に、塗りパターンデータPdに該当する塗り軌跡データKDdおよび塗りアパーチャデータAPdを、塗り輪郭ベクトルRVdで表すことによりベクトル変換されて、図7(b)に、抜きパターンデータPeに該当する抜き軌跡データKDeおよび抜きアパーチャデータAPeを、抜き輪郭ベクトルRVeで表すことによりベクトル変換された例を示している。
【0048】
次に、データ変換装置1は、輪郭ベクトルRVをONベクトルON−VとOFFベクトルOFF−Vとに選別する(ステップS142)。ここで、図1におけるレーザプロッタ4の描画領域αは、レーザプロッタ4の分解能で表される光ビームの走査方向(主走査方向)および主走査方向に対して垂直な方向(副走査方向)の複数の走査ラインで分割されており、それぞれの方向の走査ラインの交点がレーザプロッタ4によって露光されるか否かを区別することにより、画像が生成される。上記選別動作では、パターンデータが描かれた描画領域に上記描画領域と同一の走査ラインを定義し、副走査方向に向いた輪郭ベクトルRVをONベクトルON−Vに、反副走査方向に向いた輪郭ベクトルRVをOFFベクトルOFF−Vとし、副走査方向に垂直な輪郭ベクトルRVは削除する。図8の例では、図8(a)に、描画領域βに示された塗りパターンデータPdに該当する塗り輪郭ベクトルRVdが、塗りONベクトルON−Vdおよび塗りOFFベクトルOFF−Vdに変換され、図8(b)に、描画領域γに示された抜きパターンデータPeに該当する抜き輪郭ベクトルRVeが、抜きONベクトルON−Veおよび抜きOFFベクトルOFF−Veに変換された例を示している。
【0049】
次に、データ変換装置1は、ステップS142で作成されたONベクトルON−VおよびOFFベクトルOFF−Vに対して、OFFベクトルOFF−Vのみの方向を反転させた後、それぞれの始点の副走査方向の昇順にソートする(ステップS143)。ここで、ソートとは、データを所定の基準で並べ替えることを意味している。図9の例では、図9(a)に、塗りOFFベクトルOFF−Vdの方向が反転し、図9(b)に、抜きOFFベクトルOFF−Veの方向が反転した例を示している。
【0050】
次に、データ変換装置1は、上述したパターンデータの描画領域のレーザプロッタ4の分解能に対応した複数の走査ラインに対して、主走査方向の1走査ラインとステップS143で作成されたベクトルとの交点を上記ソート結果に基づいて検出し、上記ONベクトルON−Vとの交点をON変化点、上記OFFベクトルOFF−Vとの交点をOFF変化点に変換することにより、上記1走査ラインと交わる全ての上記ベクトルに対してランレングスデータを作成する(ステップS144)。このランレングスデータの作成では、主走査方向の1走査ラインとステップS143で作成されたベクトルとの交点を検出し、上記ONベクトルON−Vとの交点をON変化点、上記OFFベクトルOFF−Vとの交点をOFF変化点に切り捨て処理で変換することにより、ランレングスデータを作成する。なお、変換対象のベクトルの終点と走査ラインの交点とが一致した場合、当該交点をそれぞれの変化点に変換する処理は行わず、当該交点を削除する。図10の例では、図10(a)に、描画領域βの走査ラインに対して、塗りONベクトルON−VdがON変化点および塗りOFFベクトルOFF−VdがOFF変化点に変換されており、図10(b)に、描画領域γの走査ラインに対して、抜きONベクトルON−VeがON変化点および抜きOFFベクトルOFF−VeがOFF変化点に変換された例を示している。なお、図10は、後述のステップS148を終えた状態におけるON変化点およびOFF変化点を示している。
【0051】
ここで、切り捨て処理とは、上記ベクトルとの交点が副走査方向の走査ラインと一致しない場合、上記ベクトルとの交点を主走査方向に移動させることにより最初に検出される主走査方向の走査ラインと副走査方向の走査ラインとの交点が、上記変化点として変換されることを表している。なお、上記切り捨て処理は、副走査方向の走査ラインと上記ベクトルとの交点を反主走査方向に移動させることにより最初に検出される主走査方向の走査ラインと副走査方向の走査ラインとの交点を、上記変化点として変換することにしてもかまわない。当該データ処理装置1の切り捨て処理として、上記交点を移動させる方向をどちらかの1方向に設定することにより、どちらの方向に設定されてもランレングスデータを作成することができる。
【0052】
また、ランレングスデータは、描画領域の1走査ライン毎の描画データを、非描画画素から描画画素への変化点であるON変化点と描画画素から非描画画素への変化点であるOFF変化点とを表したデータである。つまり、ランレングスデータは、1走査ライン毎の描画データを、白領域(非露光領域)から黒領域(露光領域)への変化点(ON変化点)と黒領域から白領域への変化点(OFF変化点)とで表したデータであるため、レーザプロッタ4の描画処理に適しており、レーザプロッタ4は、与えられるランレングスデータに従って、1ライン毎に描画を行うことができる。
【0053】
次に、データ変換装置1は、ステップS144で変換された1走査ラインの変化点を主走査方向の昇順にソートする(ステップS145)。そして、データ変換装置1は、まだ選択されたパターンデータの中にランレングスデータに変換されていないベクトルがあるか否かを判断し(ステップS146)、まだ、変換されていないベクトルが残っている場合、ステップS144の変換で対象とした主走査方向の走査ラインを副走査方向にある別の主走査方向の走査ラインを対象として(ステップS147)、ステップS144に戻る。一方、データ変換装置1は、ステップS146で全てのベクトルが、ランレングスデータに変換されたと判断した場合、選択されたパターンデータを変換した全てのランレングスデータをRAM13に格納し(ステップS148)、フローを終了する。
【0054】
図3に戻り、データ変換装置1は、選択されたパターンデータに該当するランレングスデータに対して、スタートポイントを描画領域αの座標に置き換えて算出する(ステップS15)。ここで、スタートポイントとは、上記ランレングスデータが示された描画領域を走査する始点であり、パターンデータの描画領域内で最も反副走査方向でその中で最も反主走査方向に位置する走査ラインの交点である。データ変換装置1は、上記スタートポイントを、ステップS12で取得した面付け位置情報に基づいて、レーザプロッタ4の描画領域αの走査ラインの交点座標に置き換えて算出する。ここでは、上記交点座標を、副走査方向をX方向および主走査方向をY方向とし、副走査方向の走査ラインの昇順にX=0、1、2、3、…、n(nは自然数)および主走査方向の走査ラインの昇順にY=0、1、2、3、…、nとして、上記交点座標に置き換えられたスタートポイントSPを交点座標(Xp、Yp)で表す。図11の例では、図11(a)に、塗りパターンデータPdのランレングスデータに対して、描画領域βのスタートポイントSP1が描画領域αの交点座標(Xp1、Yp1)に置き換えられ、図11(b)に、抜きパターンデータPeのランレングスデータに対して、描画領域γのスタートポイントSP2が描画領域αの交点座標(Xp2、Yp2)に置き換えられ設定された例を示している。
【0055】
次に、データ変換装置1は、まだ、上記ランレングスデータに変換されていないパターンデータがあるか否かを判断する(ステップS16)。まだ、変換されていないパターンデータがある場合、所定の基準でランレングスデータに変換されていない別のパターンデータを選択し(ステップS17)、ステップS14に戻る。一方、ランレングスデータに変換されていないパターンデータがない場合、処理は次のステップS18に進む。
【0056】
そして、データ変換装置1は、ランレングスデータに変換されスタートポイントSPが関連つけられたそれぞれのパターンデータに対して、スタートポイントSPの交点X座標Xpの昇順にソートして面付けテーブルを作成する(ステップS18)。図12は、上述したパターンデータPdおよびPeが、Xp1<Xp2として上記面付けテーブルに登録された例を示している。データ変換装置1は、上記面付けテーブルとして、パターンデータPdおよびPeに対して、それぞれのスタートポイントSP1の交点座標(Xp1、Yp1)およびスタートポイントSP2の交点座標(Xp2、Yp2)とそれぞれの合成処理の優先度とをパターンデータPdを上位にして登録する。ここで、優先度は、上述したステップS12で取得されたフォーマット情報に含まれるデータであり、合成処理の優先度を定義する。この優先度は、塗りパターンデータを0を含んだ0以上の偶数で表し、抜きパターンデータを1以上の奇数で表す。また、優先度の数値が大きいものほど、合成される優先順位が高いことを示している。
【0057】
次に、データ変換装置1は、ランレングスデータに変換されたパターンデータの合成処理を行う(ステップS19)。図13はデータ変換装置1が行う合成処理の動作を示すサブルーチンであり、図14はランレングスデータに変換された塗りパターンデータPdおよび抜きパターンデータPeがスタートポイントSP1およびSP2の交点座標(Xp1、Yp1)および(Xp2、Yp2)に基づいて、レーザプロッタ4の描画領域αに配置された状態を示した図である。以下、図13および図14を参照して、データ変換装置1が行う合成処理について説明する。
【0058】
図13において、データ変換装置1は、合成対象の主走査ラインのX座標としてX=0を設定する(ステップS191)。そして、処理は次のステップに進む。
【0059】
次に、データ変換装置1は、設定された主走査ラインXと、上述したステップS18で作成された面付けテーブルに設定された最上位のパターンデータに関連付けられているスタートポイントSPの交点X座標Xpとが等しいか否かを判断する(ステップS192)。そして、データ変換装置1は、Xp≠Xの場合、ステップS200に進む。これは、上述したようにステップS18で作成した面付けテーブルが交点X座標Xpの昇順でソートされており、他のパターンデータの検索が不要のためである。一方、上記面付けテーブルに設定されている最上位のパターンデータが関連付けられているスタートポイントSPの交点X座標がXp=Xの場合、そのパターンデータを選択して、処理は次のステップS193に進む。
【0060】
次に、データ変換装置1は、選択されたパターンデータの主走査ラインXに該当するランレングスデータ(Y座標値)およびその優先度を取得する(ステップS193)。なお、ステップS193で取得されるランレングスデータは、スタートポイントSPの交点座標(Xp、Yp)に基づいて、描画領域αの交点座標におけるY座標値に変換された後読み込まれる。そして、処理は次のステップに進む。
【0061】
次に、データ変換装置1は、上記面付けテーブルから、ステップS193で選択したパターンデータの一つ下位に該当するパターンデータに関連付けられているスタートポイントSPの交点X座標Xpと設定された主走査ラインXとが等しいか否かを判断する(ステップS194)。そして、処理は、Xp=Xの場合、ステップS193に戻り、Xp≠Xの場合、次のステップに進む。
【0062】
次に、データ変換装置1は、取得された主走査ラインXのランレングスデータの合成処理を行う(ステップS195)。なお、図15は、ステップS195で行われる主走査ラインXの合成処理の詳細な動作を示すサブルーチンである。また、図16は、データ変換装置1が上記ステップS193で、図14に示した主走査ラインX=16に該当するランレングスデータを取得した例を用いて、主走査ラインX=16の合成処理で用いられるデータおよびデータテーブルの例を示した図である。以下、図15および図16を用いて、主走査ラインXの合成処理について説明する。
【0063】
図15において、データ変換装置1は、出力ON−OFFテーブルの設定を「OFF」にする(ステップS251)。この出力ON−OFFテーブルは、現在合成対象となっている主走査ラインXの状態(ONあるいはOFF)を示すテーブルである。
【0064】
次に、データ変換装置1は、パターンデータON−OFFテーブルの設定を全て「OFF」にする(ステップS252)。このパターンデータON−OFFテーブルは、取得されたそれぞれのパターンデータに対して、現在合成対象となっている主走査ラインXの状態(ONあるいはOFF)を示すテーブルである。
【0065】
そして、データ変換装置1は、優先度テーブルを「−1」に設定する(ステップS253)。この優先度テーブルとは、現在合成対象となっている主走査ラインXで、どのような優先度のランレングスデータが有効に処理されているか示すテーブルである。上述したように、優先度は、0以上の整数で表されるため、「−1」で設定することは、現在優先度を所有するランレングスデータが有効に処理されていないことを示している。なお、優先度の初期設定値は「−1」でなくても、マイナスの奇数値であれば、どのような初期設定値にしてもかまわない。
【0066】
図16(a)は、上記ステップS253で主走査ラインX=16の合成処理が初期設定された状態を示す図である。図16(a)において、データ処理装置1は、取得データとして、主走査ラインX=16のパターンデータPdおよびPeに対応したランレングスデータ(Y座標値)および優先度を取得している。また、ステップS251で出力ON−OFFテーブルが「OFF」、ステップS252でパターンデータON−OFFがパターンデータPdおよびPeに対して全て「OFF」、およびステップS253で優先度テーブルが「−1」に設定されている。
【0067】
図15に戻り、データ変換装置1は、取得した主走査ラインXに対応する全てのランレングスデータ(Y座標値)の中から、一番小さい数値のデータを選択する(ステップS254)。なお、同じ数値のデータが複数ある場合は、所定の設定に基づいて、その中から1つのデータが選択される。図16(a)の例では、パターンデータPdのランレングスデータ(Y座標値)「4」が一番小さいデータであるので、データとしてパターンデータPdの「4」が選択される。
【0068】
次に、データ変換装置1は、ステップS254で選択したデータに該当するパターンデータON−OFFテーブルの設定を反転させる(ステップS255)。図16(a)の例では、ステップS254で選択したデータ「4」がパターンデータPdに該当するため、パターンデータPdのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に反転させる。
【0069】
次に、データ変換装置1は、ステップS255で反転させたパターンデータON−OFFテーブルの設定が、「OFF」から「ON」に反転させたか否かを判断する(ステップS256)。そして、「ON」から「OFF」に反転させた場合、データ変換装置1は、ステップS254で選択したデータが所有する優先度と同じ数値を、上記優先度テーブルから削除し(ステップS257)、次のステップS259に進む。一方、「OFF」から「ON」に反転させた場合、データ処理装置1は、ステップS254で選択したデータが所有する優先度と同じ数値を、上記優先度テーブルに追加し(ステップS258)、次のステップS259に進む。図16(a)の例では、ステップS255でパターンデータPdのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に反転させたため、処理は、ステップS258に進み、選択したデータ「4」が所有する優先度「0」が優先度テーブルに追加される。
【0070】
次に、データ変換装置1は、現在選択しているデータと同じ数値のランレングスデータ(Y座標値)が、他にもあるか否かを判断する(ステップS259)。他にも同じ数値のデータがある場合、処理はステップS254に戻り、他の同じ数値のデータに対して同様の処理が行われる。一方、他に同じ数値のデータがない場合、処理は次のステップに進む。図16(a)の例では、ランレングスデータ(Y座標値)の中に、データ「4」が他に存在しないため、次のステップに進む。
【0071】
次に、データ変換装置1は、上記ステップS257あるいはS258で設定した優先度テーブルの中から、最も優先順位の高い優先度を選択し、その優先度に対してON−OFF判定してテーブルに登録する(ステップS260)。上述したように、上記優先度は、塗りパターンデータを0を含んだ0以上の偶数で表し、抜きパターンデータを1以上の奇数で表している。また、優先度の数値が大きいものほど、合成される優先順位が高いことを示している。ステップS260の判定では、まず優先度テーブルから最も数値の大きな優先度を選択し、その選択された優先度が偶数か奇数かを判断する。そして、選択された優先度が偶数の場合、ON−OFF判定は「ON」となり、選択された優先度が奇数の場合、ON−OFF判定は「OFF」となる。図16(a)の例では、上記ステップS258で優先度「0」が上記優先度テーブルに追加されており、上記優先度テーブルで最も数値の大きな優先度が「0」であるため、ON−OFF判定は「ON」に設定される。
【0072】
次に、データ変換装置1は、上記出力ON−OFFテーブルの設定と上記ステップS260のON−OFF判定とを比較し、同じ状態に設定されているか否かを判断する(ステップS261)。そして、データ変換装置1は、上記出力ON−OFFテーブルおよび上記ON−OFF判定が互いに異なる状態に設定されている場合、現在選択しているランレングスデータを上記ON−OFF判定の状態に変化させる変化点として出力する(ステップS262)。これは、現在の主走査ラインXの状態(すなわち、出力ON−OFFの状態)に対して、優先度を含んだ合成処理結果としてのランレングスデータの状態(すなわち、優先度テーブルのON−OFF判定)が異なる場合、主走査ラインXの状態がそのランレングスデータに基づいて変化していると判断できるため、変化点として検出することができる。一方、データ変換装置1は、上記出力ON−OFFテーブルおよび上記ON−OFF判定が互いに同じ状態に設定されている場合、ステップS264に進む。
【0073】
図16(b)は、図16(a)で初期設定されたデータからパターンデータPdのランレングスデータ(Y座標値)「4」が選択され、上記ステップS261まで処理された例を示す図である。図16(b)において、データ処理装置1は、選択されたデータ「4」に対して、出力ON−OFFテーブルが「OFF」に設定されており、ON−OFF判定が「ON」に設定されているため、上記ステップS262でデータ「4」を主走査ラインX=16のランレングスデータ(Y座標値)のON変化点として出力する。
【0074】
図15に戻り、データ変換装置1は、出力ON−OFFテーブルの状態を反転させる(ステップS263)。これは、上記ステップS262で変化点が出力されているために、主走査ラインXの状態を変更するためである。図16(b)の例では、出力ON−OFFのテーブルが「OFF」に設定されているため、出力ON−OFFテーブルの状態が「ON」に変更される。
【0075】
次に、データ変換装置1は、上記ステップS254で選択されているランレングスデータ(Y座標値)を削除する(ステップS264)。図16(b)の例では、現在選択されているパターンデータPdのデータ「4」が削除される。
【0076】
次に、データ変換装置1は、上記ステップS193で取得したランレングスデータ(Y座標値)がまだ残っているか否かを判断する(ステップS265)。ランレングスデータ(Y座標値)が残っている場合、処理はステップS254に戻り、ランレングスデータ(Y座標値)が残っていない場合、当該サブルーチンを終了する。
【0077】
図16(c)は、パターンデータPdのデータ「4」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPdのランレングスデータ「6」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPdのランレングスデータ「6」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPdのパターンデータON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、ステップS257で優先度テーブルからパターンデータPdの優先度「0」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「−1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定して、ステップS262でデータ「6」を主走査ラインX=16のランレングスデータ(Y座標値)のOFF変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、パターンデータPdのランレングスデータ「6」は、ステップS264で削除される。
【0078】
図16(d)は、パターンデータPdのデータ「6」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「8」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「8」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS258で優先度テーブルにパターンデータPeの優先度「1」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定する。そして、出力ON−OFFテーブルおよびON−OFF判定の設定が、同じ「OFF」であるため、パターンデータPeのランレングスデータ「8」はランレングスデータとして出力せずに、ステップS264で削除される。
【0079】
図16(e)は、パターンデータPeのデータ「8」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「10」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「10」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、ステップS257で優先度テーブルからパターンデータPeの優先度「1」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「−1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定する。そして、出力ON−OFFテーブルおよびON−OFF判定の設定が、同じ「OFF」であるため、パターンデータPeのランレングスデータ「10」はランレングスデータとして出力せずに、ステップS264で削除される。
【0080】
図16(f)は、パターンデータPeのデータ「10」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「12」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「12」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS258で優先度テーブルにパターンデータPeの優先度「1」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定する。そして、出力ON−OFFテーブルおよびON−OFF判定の設定が、同じ「OFF」であるため、パターンデータPeのランレングスデータ「12」はランレングスデータとして出力せずに、ステップS264で削除される。
【0081】
図16(g)は、パターンデータPeのデータ「12」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「14」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「14」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、ステップS257で優先度テーブルからパターンデータPeの優先度「1」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「−1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定する。そして、出力ON−OFFテーブルおよびON−OFF判定の設定が、同じ「OFF」であるため、パターンデータPeのランレングスデータ「14」はランレングスデータとして出力せずに、ステップS264で削除される。
【0082】
図16(h)は、パターンデータPeのデータ「14」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPdのランレングスデータ「16」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPdのランレングスデータ「16」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPdのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS258で優先度テーブルにパターンデータPdの優先度「0」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「0」を用いてON−OFF判定を「ON」に設定して、ステップS262でデータ「16」を主走査ラインX=16のランレングスデータ(Y座標値)のON変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、パターンデータPdのランレングスデータ「16」は、ステップS264で削除される。
【0083】
図16(i)は、パターンデータPdのデータ「16」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPdのランレングスデータ「18」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPdのランレングスデータ「18」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPdのパターンデータON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、ステップS257で優先度テーブルからパターンデータPdの優先度「0」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「−1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定して、ステップS262でデータ「18」を主走査ラインX=16のランレングスデータ(Y座標値)のOFF変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、パターンデータPdのランレングスデータ「18」は、ステップS264で削除され、主走査ラインX=16のランレングスデータが全て削除されたため、主走査ラインX=16のランレングスデータ合成処理が終了する。
【0084】
次に、図14で示した主走査ラインX=20に該当するランレングスデータを取得した例を用いて、合成処理について説明する。なお、図17は、主走査ラインX=20の合成処理で用いられるデータおよびデータテーブルの例を示した図である。
【0085】
図17(a)は、上記ステップS253で主走査ラインX=20の合成処理が初期設定された状態を示す図である。図17(a)において、データ処理装置1は、取得データとして、主走査ラインX=20のパターンデータPdおよびPeに対応したランレングスデータ(Y座標値)および優先度を取得している。また、ステップS251で出力ON−OFFテーブルが「OFF」、ステップS252でパターンデータON−OFFがパターンデータPdおよびPeに対して全て「OFF」、およびステップS253で優先度テーブルが「−1」に設定されている。
【0086】
図17(b)は、図17(a)で初期設定されたデータからパターンデータPdのランレングスデータ(Y座標値)「4」が最小値として選択さた例を示す図である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPdのランレングスデータ「4」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPdのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS258で優先度テーブルにパターンデータPdの優先度「0」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「0」を用いてON−OFF判定を「ON」に設定して、ステップS262でデータ「4」を主走査ラインX=20のランレングスデータ(Y座標値)のON変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、パターンデータPdのランレングスデータ「4」は、ステップS264で削除される。
【0087】
図17(c)は、パターンデータPdのデータ「4」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「8」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「8」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS257で優先度テーブルにパターンデータPeの優先度「1」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定して、ステップS262でデータ「8」を主走査ラインX=20のランレングスデータ(Y座標値)のOFF変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、パターンデータPeのランレングスデータ「8」は、ステップS264で削除される。
【0088】
なお、上述したパターンデータPeのランレングスデータ「8」の合成処理では、ステップS260の優先度テーブルのON−OFF判定において、上記優先度テーブルに設定されている複数の優先度に対して判定されている。このような場合、データ変換装置1は、この複数設定された優先度の中から、優先順位が最上位の優先度を用いてON−OFF判定していることから、当該合成処理は、優先度が高いランレングスデータが優先されることによって、優先順位が相対的に低いランレングスデータに対して実行されていることがわかる。
【0089】
図17(d)は、パターンデータPeのデータ「8」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「10」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「10」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、ステップS258で優先度テーブルからパターンデータPeの優先度「1」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「0」を用いてON−OFF判定を「ON」に設定して、ステップS262でデータ「10」を主走査ラインX=20のランレングスデータ(Y座標値)のON変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、パターンデータPeのランレングスデータ「10」は、ステップS264で削除される。
【0090】
図17(e)は、パターンデータPdのデータ「10」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「12」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「12」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS257で優先度テーブルにパターンデータPeの優先度「1」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定して、ステップS262でデータ「12」を主走査ラインX=20のランレングスデータ(Y座標値)のOFF変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、パターンデータPeのランレングスデータ「12」は、ステップS264で削除される。
【0091】
図17(f)は、パターンデータPeのデータ「12」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPeのランレングスデータ「14」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPeのランレングスデータ「14」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPeのパターンデータON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、ステップS258で優先度テーブルからパターンデータPeの優先度「1」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「0」を用いてON−OFF判定を「ON」に設定して、ステップS262でデータ「14」を主走査ラインX=20のランレングスデータ(Y座標値)のON変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、パターンデータPeのランレングスデータ「14」は、ステップS264で削除される。
【0092】
図17(g)は、パターンデータPeのデータ「14」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータPdのランレングスデータ「18」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータPdのランレングスデータ「18」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータPdのパターンデータON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、ステップS257で優先度テーブルからパターンデータPdの優先度「0」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「−1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定して、ステップS262でデータ「18」を主走査ラインX=20のランレングスデータ(Y座標値)のOFF変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、パターンデータPdのランレングスデータ「18」は、ステップS264で削除され、主走査ラインX=20のランレングスデータが全て削除されたため、主走査ラインX=20のランレングスデータ合成処理が終了する。
【0093】
さらに、データ変換装置1が上記ステップS193で3つのパターンデータに該当するランレングスデータを取得した例を用いて、主走査ラインXの合成処理について説明する。なお、図18は、データ変換装置1がステップS193で3つのパターンデータに該当するランレングスデータを取得した例を用いて、主走査ラインXの合成処理で用いられるデータおよびデータテーブルの例を示した図である。ここで、上記3つのパターンデータとは、
である。以下、図18を用いて、主走査ラインXの合成処理について説明する。
【0094】
図18(a)は、上記ステップS253で主走査ラインXの合成処理が初期設定された状態を示す図である。図18(a)において、データ処理装置1は、取得データとして、主走査ラインXの3つのパターンデータA〜Cに対応したランレングスデータ(Y座標値)および優先度を取得している。また、ステップS251で出力ON−OFFテーブルが「OFF」、ステップS252でパターンデータON−OFFがパターンデータA〜Cに対して全て「OFF」、およびステップS253で優先度テーブルが「−1」に設定されている。
【0095】
図18(b)は、図18(a)で初期設定されたデータからパターンデータAのランレングスデータ(Y座標値)「2」が最小値として選択され、上記ステップS261まで処理された例を示す図である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータAのランレングスデータ「2」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータAのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS258で優先度テーブルにパターンデータAの優先度「0」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「0」を用いてON−OFF判定を「ON」に設定して、ステップS262でデータ「2」を主走査ラインXのランレングスデータ(Y座標値)のON変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、パターンデータAのランレングスデータ「2」は、ステップS264で削除される。
【0096】
図18(c)は、パターンデータAのデータ「2」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータBのランレングスデータ「4」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータBのランレングスデータ「4」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータBのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS257で優先度テーブルにパターンデータBの優先度「1」を追加する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「1」を用いてON−OFF判定を「OFF」に設定して、ステップS262でデータ「4」を主走査ラインXのランレングスデータ(Y座標値)のOFF変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「ON」から「OFF」に設定し、パターンデータBのランレングスデータ「4」は、ステップS264で削除される。
【0097】
図18(d)は、パターンデータBのデータ「4」の処理が終了し削除された後、次に小さな数値であるパターンデータCのランレングスデータ「5」が選択された例である。まず、データ変換装置1は、ステップS254でパターンデータCのランレングスデータ「5」を選択する。次に、データ変換装置1は、ステップS255でパターンデータCのパターンデータON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、ステップS258で優先度テーブルからパターンデータCの優先度「2」を削除する。その後、優先度テーブルの最上位優先度「2」を用いてON−OFF判定を「ON」に設定して、ステップS262でデータ「5」を主走査ラインXのランレングスデータ(Y座標値)のON変化点として出力する。その後、ステップS263で出力ON−OFFテーブルを「OFF」から「ON」に設定し、パターンデータCのランレングスデータ「5」は、ステップS264で削除される。以降、同様の処理が繰り返されることによって、3つ以上のパターンデータの合成処理についても、ランレングスデータを用いて処理することができる。
【0098】
図13に戻り、データ変換装置1は、上記ステップS195で合成処理したランレングスデータの中に、エンドポイントデータがあったか否かを判断する(ステップS196)。ここで、エンドポイントデータとは、パターンデータを表すランレングスデータが示された描画領域を走査する終点であり、描画領域内で最も副走査方向でその中で最も主走査方向に位置する走査ラインの交点である。すなわち、エンドポイントデータがある場合、それ以降の処理では当該パターンデータが存在しないと判断できる。したがって、データ処理装置1は、エンドポイントデータがあった場合、当該パターンデータを上記面付けテーブルから削除する(ステップS197)。一方、エンドポイントデータがなかった場合、処理はステップS199に進む。
【0099】
次に、データ変換装置1は、面付けテーブルにパターンデータがあるか否かを判断する(ステップS198)。面付けテーブルにパターンデータがない場合、合成処理のサブルーチンを終了し、面付けテーブルにパターンデータが残っている場合、処理はステップS199に進む。
【0100】
次に、データ変換装置1は、上記面付けテーブルに設定されている上記ステップS193で合成処理対象となったパターンデータに関連付けられているスタートポイントSPの交点X座標Xpを全てXp+1に変更する(ステップS199)。そして、データ変換装置1は、合成処理の対象である主走査ラインXのX座標をX+1に変更して(ステップS200)、ステップS192に戻る。このような処理が繰り返されることにより、レーザプロッタ4の描画領域α全域に対して、ランレングスデータの合成処理が行われる。
【0101】
図3に戻り、データ変換装置1は、ステップS19で合成された描画領域α全域のランレングスデータを主走査方向の昇順にソートし、レーザプロッタ4に出力し(ステップS20)、フローを終了する。図19は、図14で配置された複数のパターンデータを示すランレングスデータが、上記合成処理された状態を示す図である。
【0102】
このように、ランレングスデータによるパターンデータの合成処理は、合成の優先順位を考慮しながら、ランレングスデータを排他的論理和で単純に処理するため、ベクトルデータによるパターンデータの合成処理と比較してもデータ処理時間を大幅に短縮できる。
【0103】
なお、上述の説明では、当該データ変換装置によって変換されたランレングスデータをレーザプロッタ等の描画処理に用いられる例を示したが、当該データ変換装置は、描画処理以外の用途にも用いることができる。例えば、当該データ変換装置から出力されるランレングスデータで表される描画画素データを外観検査装置のマスターデータとして用いて、被検査体の撮像データであるランレングスデータと比較検査することができる。また、当該データ変換装置から出力されるランレングスデータをビットマップデータ等の他の形式のデータに変換することにより上記マスターデータとして用いて、被検査体の撮像データであるビットマップデータ等と比較検査することによって、同様の外観検査装置の比較検査に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るデータ変換装置を用いた露光描画システムの構成を示すブロック図である。
【図2】図1におけるデータ変換装置1の構成を示すブロック図である。
【図3】図1におけるデータ変換装置1の動作を示すフローチャートである。
【図4】図1におけるデータ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図5】図1におけるデータ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図6】図3のステップS14のランレングスデータの変換動作の詳細を示すサブルーチンである。
【図7】図1におけるデータ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図8】図1におけるデータ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図9】図1におけるデータ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図10】図1におけるデータ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図11】図1におけるデータ変換装置1が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図12】図1におけるデータ変換装置1が、パターンデータを面付けテーブルに登録した例である。
【図13】図3のステップS19の合成処理動作の詳細を示すサブルーチンである。
【図14】ランレングスデータに変換された塗りパターンデータおよび抜きパターンデータがスタートポイントSPに基づいて、レーザプロッタ4の描画領域αに配置された状態を示した図である。
【図15】図13のステップS195の主走査ラインXの合成処理動作の詳細を示すサブルーチンである。
【図16】図1におけるデータ変換装置1が、図14に示した主走査ラインX=16の合成処理に用いられるデータおよびデータテーブルの例を示した図である。
【図17】図1におけるデータ変換装置1が、図14に示した主走査ラインX=20の合成処理で用いられるデータおよびデータテーブルの例を示した図である。
【図18】図1におけるデータ変換装置1が、3つのパターンデータに対して主走査ラインXの合成処理で用いるデータおよびデータテーブルの例を示した図である。
【図19】複数のパターンデータを示すランレングスデータが、合成処理された状態を示す図である。
【図20】従来のデータ変換方法を示すフローチャートである。
【図21】従来のデータ変換によるCADデータからランレングスデータを生成する過程を示す概略図である。
【図22】従来のベクトル変換された複数のデータを合成する方法を示す概略図である。
【符号の説明】
1…データ変換装置
11…CPU
12…プログラムメモリ
13…RAM
2…記憶装置
3…伝送路
4…レーザプロッタ
AP…アパーチャデータ
KD…軌跡データ
M…面付け位置情報
OFF−V…OFFベクトル
ON−V…ONベクトル
P…パターンデータ
R…ランレングスデータ
RV…輪郭ベクトル
SP…スタートポイント
α、β、γ…描画領域[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a data conversion apparatus and method, and a program using the method, and more specifically, a data conversion apparatus and method for converting diagram data such as CAD data into run-length data, and the method It relates to the program using.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a mask film or a mask plate used for manufacturing a printed circuit board is generally drawn (exposed) by a desired pattern on a mask substrate having a photosensitive property by a drum scan type or flat bed type laser plotter. Created by. In recent years, a direct drawing type laser plotter has been developed in which a photosensitive photoresist film is formed on a base material of a printed circuit board and this photoresist film is laser-drawn.
[0003]
CAD data is generally used as diagram data for creating a pattern of drawing data to be drawn by the laser plotter. The CAD system is a design drawing system using a computer, and is used in various fields. The fine design pattern is drawn as described above by using the CAD data created by this CAD system. However, since the format of the input data of the laser plotter is different from the format of the output data of the CAD system, some data conversion is required.
[0004]
For this data conversion, a data conversion device (image processing device) that generates run-length data from CAD data is generally used. Hereinafter, an outline of the data conversion will be described. FIG. 20 is a flowchart showing the data conversion method, and FIG. 21 is a schematic diagram showing a process of generating run-length data from CAD data by the data conversion.
[0005]
20 and 21, the data conversion apparatus reads CAD data including aperture data AP output from the CAD system and trajectory data KD indicating the trajectory of the aperture data AP (step S201). As shown in FIG. 21A, in the case of straight line information, the trajectory data KD is expressed by the start point and end point of a vector, and the aperture data AP is the type of pen used for drawing (that is, the shape of the pen tip). Expressed. Further, format information and arrangement data are given to the data converter. The format information includes information for defining the format of CAD data, and the arrangement data includes information (position, rotation, positive / negative, enlargement / reduction) when CAD data is arranged in the display area.
[0006]
Next, as shown in FIG. 21 (b), the data conversion apparatus uses a vector (hereinafter referred to as a contour) of the trajectory of the aperture data AP generated when the aperture data AP is moved based on the trajectory data KD. , The trajectory data KD and the aperture data AP are converted into a contour vector RV (step S202). Note that the contour vector RV is converted so as to be formed in a clockwise direction in order from an arbitrary start point.
[0007]
Next, as shown in FIG. 21C, the data conversion apparatus sorts the contour vector RV into an ON vector ON-V and an OFF vector OFF-V (step S203). In the above sorting operation, when the scanning direction of the light beam of the laser plotter is the main scanning direction and the direction perpendicular to the main scanning direction is the sub scanning direction, the contour vector RV oriented in the sub scanning direction is set to the ON vector ON-V. In addition, the contour vector RV oriented in the anti-sub-scanning direction is set to the OFF vector OFF-V, and the contour vector RV perpendicular to the sub-scanning direction is deleted.
[0008]
Next, as shown in FIG. 21D, the data converter reverses only the direction of the OFF vector OFF-V with respect to the ON vector ON-V and the OFF vector OFF-V created in step S203. After that, the starting points are sorted in ascending order in the sub-scanning direction (step S204). Here, “sort” means rearranging data according to a predetermined standard. In this conventional example, as a result of sorting, ON-V1 → OFF-V3 → OFF-V2 → ON-V2 → OFF-V1. It is rearranged in this order.
[0009]
Next, as shown in FIG. 21E, the data conversion device is created in step S204 with one scanning line in the main scanning direction for a plurality of scanning lines corresponding to the resolution of the laser plotter in the drawing area. By detecting the intersection with the vector based on the sorting result, and converting the intersection with the ON vector ON-V into an ON change point and the intersection with the OFF vector OFF-V into an OFF change point, run length data Is created (step S205). At this time, if the intersection point does not coincide with the scanning line in the sub-scanning direction, the intersection point between the scanning line in the main scanning direction and the scanning line in the sub-scanning direction which is detected first by moving the intersection point in the main scanning direction is , Converted as the change point (truncation process). This run-length data is the drawing data for each scanning line in the display area, the change point from the white area (non-exposure area) to the black area (exposure area) (ON change point) and the change from the black area to the white area. Since the data is expressed as points (OFF change points), it is suitable for the drawing process of the laser plotter, and the laser plotter can perform drawing for each line according to the given run-length data.
[0010]
Next, the data conversion apparatus sorts the change points converted in step S205 in ascending order in the main scanning direction (step S206). Then, the data conversion apparatus determines whether or not there is a vector that has not been converted into run-length data (step S207). The scanning line in the main scanning direction is targeted for another scanning line in the main scanning direction in the sub-scanning direction (step S208), and the process returns to step S205. On the other hand, if it is determined in step S207 that all the vectors have been converted into run-length data, the data converter sends all the converted run-length data to the laser plotter (step S209), and the flow ends.
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when a designer creates diagram data such as a circuit pattern with the CAD data, it is typically created using a synthesis process in which CAD data representing a plurality of pattern data is superimposed. For example, when a designer creates a hollow shape with CAD data, the designer creates it by synthesizing blank data representing a hollow portion with paint data representing an overall basic shape such as the outer periphery thereof. In addition, when there is an unnecessary portion in the created CAD data, the designer may synthesize a planar shape that matches the deleted shape as data to delete the portion. Furthermore, the designer may create CAD data by combining paint data representing different pattern shapes. By using such pattern data synthesis processing, CAD data can be easily generated. Further, even if the designer is not conscious of the above synthesis processing, depending on the program for creating CAD data, there may be a case where the processing is automatically performed using the synthesis processing. Is used.
[0012]
However, when converting CAD data created by combining a plurality of such pattern data into the run-length data, the CAD data for each pattern data is supplied to the data converter independently. Each CAD data is associated with each other's position based on the position information. In the conventional method, all the CAD data for each supplied pattern data is arranged in the drawing area of the laser plotter based on the position information, and after all the arranged CAD data is subjected to vector conversion and sorting processing, Since the length data is converted, a long time is required for the conversion process.
[0013]
Further, after the CAD data for each of the supplied pattern data is vector-converted for each pattern data, all the vector-converted CAD data is arranged in the drawing area and converted to run-length data There is. FIG. 22 is a schematic diagram showing a method of combining a plurality of vector-converted data.
[0014]
In FIG. 22A, pattern data X is the above-described paint data, and is indicated by a contour vector RVx. On the other hand, the pattern data Y is the above-described removal data and is indicated by the contour vector RVy. The pattern data X and Y are pattern data arranged in the drawing area based on the same position information M.
[0015]
FIG. 22B is a diagram in which the pattern data X and Y are allocated to the drawing area based on the position information M. Here, the contour vectors RVx and RVy have not yet been combined and are simply superimposed and arranged.
[0016]
FIG. 22C is a diagram showing a state in which the contour vectors RVx and RVy arranged in FIG. 22B are combined with vector data and a new contour vector RVxy is created. As described above, since the contour vector RVx is the fill data and the contour vector RVy is the drop data, the above combining process is performed by deleting only the area where the drop data overlaps the fill data. Comparing FIG. 22B and FIG. 22C, in the synthesis process using vector data, deletion of vectors that are not included in the overlapping region with respect to the outline vector RVy that is the extracted data, and outline vectors RVx and RVy The above-described painting synthesis must be calculated with vector data, such as a process of connecting the two to each other and a process of deleting a part of the vector data, and the data processing is complicated and takes time.
[0017]
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a data conversion apparatus and method capable of greatly reducing the data conversion processing time when converting diagram data such as CAD data using synthesis processing into run-length data, and It is to provide a program using the method.
[0018]
[Means for Solving the Problems and Effects of the Invention]
In order to achieve the above object, the present invention has the following features.
According to a first aspect of the present invention, diagram data including a plurality of overlapping pattern data is converted into a change point from a non-drawing pixel to a drawing pixel along a scanning line of an output device that is suitable for processing of a predetermined output device. A data conversion device for converting run-length data describing a change point from a drawing pixel to a non-drawing pixel, and generating run-length data of pattern data based on a reading unit that reads pattern data and the pattern data A pattern run-length data generation unit and a pattern synthesis unit that executes a synthesis process for superimposing the pattern data on each other using the run-length data of the pattern data generated by the pattern run-length data generation unitThe pattern data includes at least paint pattern data representing a drawing shape, and blank pattern data that deletes a part of the paint pattern data by overlapping with the paint pattern data. The paint composition process that deletes the area where the pattern data overlaps is executed using the run length data of the pattern data generated by the pattern run length data generation unit. Each of which has priority data indicating the priority order to be processed, and the pattern composition unit executes the paint composition process based on the priority data only for the run length data of the pattern data having a relatively low priority order. Priority data is an even number of paint pattern data. Define, Define the open pattern data in odd, characterized in that it represents the priority size numbers.
[0019]
According to the first aspect of the present invention, in the synthesis process using run-length data, the synthesis process can be performed by simple calculation using run-length data, so that the data processing time can be greatly reduced.Further, according to the first invention, even in the painting synthesis, since the synthesis process can be performed by simple calculation using run-length data, the data processing time can be greatly shortened. Furthermore, according to the first invention, the synthesis priority used in the creation of the diagram data is also applied to the run-length data synthesis process, and the run-length data is combined with a relative priority. If the pattern data is low, it is possible to perform a synthesizing process similar to the synthesis intended for creating the diagram data. Furthermore, according to the first invention, since one type of priority data can represent the type and priority order of pattern data, the amount of data to be processed can be reduced.
[0026]
First2The invention according to
[0027]
First2According to the invention, when the synthesis process is performed in the scanning order of the processing area of the output device, the pattern position data is represented by the start point to which the scanning line is applied, so that the pattern data to be synthesized is represented by the pattern position data. The search processing speed is increased because the search can be performed with.
[0028]
First3According to the present invention, diagram data including a plurality of overlapping pattern data is converted into a drawing pixel and a change point from a non-drawing pixel to a drawing pixel along a scanning line of an output machine suitable for processing of a predetermined output machine. A data conversion method for converting to run-length data describing transition points from non-drawing pixels to a pattern run for reading pattern data and generating pattern-length run length data based on the pattern data A length data generation step, and a pattern synthesis step for executing a synthesis process for superimposing the pattern data on each other using the run length data of the pattern data generated in the pattern run length data generation step.The pattern data includes at least paint pattern data representing a drawing shape pattern and blank pattern data that deletes a part of the paint pattern data by overlapping the paint pattern data. On the other hand, the painting composition process for deleting the region where the blank pattern data overlaps is executed using the run length data of the pattern data generated in the pattern run length data generation step. Priority data indicating the priority order to be combined is owned, and the pattern composition placement step performs the paint composition process on the run length data of the pattern data having a relatively low priority order based on the priority data. Only if the priority Data defines the fill pattern data in the even, to define the open pattern data in odd, characterized in that represents the priority size numbers.
[0032]
First4The invention of the3The pattern data possesses pattern position data indicating the position to be arranged in the drawing area of the output machine, and the pattern position data applies the scan line of the output machine to the pattern data. It is a starting point of the processed.
[0033]
First5According to the present invention, diagram data including a plurality of overlapping pattern data is converted into a drawing pixel and a change point from a non-drawing pixel to a drawing pixel along a scanning line of an output machine suitable for processing of a predetermined output machine. A computer-implemented data conversion program for converting run-length data describing transition points from non-rendering pixels to a pattern data run-length data based on the pattern data read step and pattern data A pattern run length data generation step for generating the pattern data, and a pattern synthesis step for executing a synthesis process for superimposing the pattern data on each other using the run length data of the pattern data generated in the pattern run length data generation step.The pattern data includes at least paint pattern data representing a drawing shape pattern and blank pattern data that deletes a part of the paint pattern data by overlapping the paint pattern data. On the other hand, the painting composition process for deleting the region where the blank pattern data overlaps is executed using the run length data of the pattern data generated in the pattern run length data generation step. Priority data indicating the priority order to be combined is owned, and the pattern composition placement step performs the paint composition process on the run length data of the pattern data having a relatively low priority order based on the priority data. Only if the priority Data defines the fill pattern data in the even, to define the open pattern data in odd, characterized in that represents the priority size numbers.
[0037]
First6The invention of the5The pattern data possesses pattern position data indicating the position to be arranged in the drawing area of the output machine, and the pattern position data applies the scan line of the output machine to the pattern data. It is a starting point of the processed.
[0038]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an exposure drawing system using a data conversion apparatus according to an embodiment of the present invention. As the diagram data used in the data converter, CAD data is typically used, and a circuit pattern to be drawn is created by the designer using the CAD data. In FIG. 1, CAD data including trajectory data and aperture data is given to the
[0039]
FIG. 2 is a block diagram showing a more detailed configuration of the
[0040]
3 to 19 are flowcharts showing the operation of the
[0041]
In FIG. 3, the CPU 11 of the
[0042]
Further, the format information and the arrangement data are given to the CPU 11 of the
[0043]
When the
[0044]
The arrangement data includes information (position, rotation, positive / negative, enlargement / reduction) when CAD data is arranged in the display area. This arrangement data includes coordinate data of a predetermined coordinate system (hereinafter referred to as imposition position information) as a reference drawing position where each of the pattern data is drawn with respect to the drawing area α of the
[0045]
Next, the
[0046]
Next, the
[0047]
In FIG. 6, the
[0048]
Next, the
[0049]
Next, the
[0050]
Next, the
[0051]
Here, the truncation process is a scanning line in the main scanning direction that is detected first by moving the intersection with the vector in the main scanning direction when the intersection with the vector does not coincide with the scanning line in the sub scanning direction. And the intersection of the scanning line in the sub-scanning direction indicates that the change point is converted. The truncation process is performed by moving the intersection between the scanning line in the sub-scanning direction and the vector in the anti-main scanning direction, and the intersection between the scanning line in the main scanning direction and the scanning line in the sub-scanning direction that is detected first. May be converted as the change point. As the truncation process of the
[0052]
The run-length data includes drawing data for each scanning line of the drawing area, an ON change point that is a change point from a non-draw pixel to a draw pixel, and an OFF change point that is a change point from a draw pixel to a non-draw pixel. It is data that represents. That is, the run-length data includes drawing data for each scanning line by changing the white area (non-exposure area) to the black area (exposure area) (change point ON) and the change point from the black area to the white area ( Since the data is expressed as “OFF change point”, it is suitable for the drawing process of the
[0053]
Next, the
[0054]
Returning to FIG. 3, the
[0055]
Next, the
[0056]
The
[0057]
Next, the
[0058]
In FIG. 13, the
[0059]
Next, the
[0060]
Next, the
[0061]
Next, the
[0062]
Next, the
[0063]
In FIG. 15, the
[0064]
Next, the
[0065]
Then, the
[0066]
FIG. 16A is a diagram showing a state in which the composition process for the main scanning line X = 16 is initially set in step S253. In FIG. 16A, the
[0067]
Returning to FIG. 15, the
[0068]
Next, the
[0069]
Next, the
[0070]
Next, the
[0071]
Next, the
[0072]
Next, the
[0073]
FIG. 16B is a diagram showing an example in which the run length data (Y coordinate value) “4” of the pattern data Pd is selected from the data initially set in FIG. 16A and processed up to step S261. is there. In FIG. 16B, the
[0074]
Returning to FIG. 15, the
[0075]
Next, the
[0076]
Next, the
[0077]
FIG. 16C shows an example in which the run length data “6” of the pattern data Pd which is the next smallest numerical value is selected after the processing of the data “4” of the pattern data Pd is completed and deleted. First, the
[0078]
FIG. 16D shows an example in which run length data “8” of pattern data Pe, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of data “6” of pattern data Pd is completed and deleted. First, the
[0079]
FIG. 16E shows an example in which the run length data “10” of the pattern data Pe, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of the data “8” of the pattern data Pe is completed and deleted. First, the
[0080]
FIG. 16F illustrates an example in which the run length data “12” of the pattern data Pe, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of the data “10” of the pattern data Pe is completed and deleted. First, the
[0081]
FIG. 16G shows an example in which, after the processing of the data “12” of the pattern data Pe is completed and deleted, the run length data “14” of the pattern data Pe, which is the next smallest numerical value, is selected. First, the
[0082]
FIG. 16H illustrates an example in which the run length data “16” of the pattern data Pd, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of the data “14” of the pattern data Pe is completed and deleted. First, the
[0083]
FIG. 16I shows an example in which the run length data “18” of the pattern data Pd which is the next smallest numerical value is selected after the processing of the data “16” of the pattern data Pd is completed and deleted. First, the
[0084]
Next, the synthesis process will be described using an example in which run-length data corresponding to the main scanning line X = 20 shown in FIG. 14 is acquired. FIG. 17 is a diagram illustrating an example of data and a data table used in the synthesis process of the main scanning line X = 20.
[0085]
FIG. 17A is a diagram showing a state in which the composition process for the main scanning line X = 20 is initially set in step S253. In FIG. 17A, the
[0086]
FIG. 17B is a diagram showing an example in which the run length data (Y coordinate value) “4” of the pattern data Pd is selected as the minimum value from the data initially set in FIG. First, the
[0087]
FIG. 17C shows an example in which the run length data “8” of the pattern data Pe, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of the data “4” of the pattern data Pd is completed and deleted. First, the
[0088]
In the above-described combining process of the run length data “8” of the pattern data Pe, the priority table ON / OFF determination in step S260 is performed for a plurality of priorities set in the priority table. ing. In such a case, since the
[0089]
FIG. 17D shows an example in which the run length data “10” of the pattern data Pe, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of the data “8” of the pattern data Pe is completed and deleted. First, the
[0090]
FIG. 17E shows an example in which the run length data “12” of the pattern data Pe which is the next smallest numerical value is selected after the processing of the data “10” of the pattern data Pd is completed and deleted. First, the
[0091]
FIG. 17F shows an example in which the run length data “14” of the pattern data Pe, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of the data “12” of the pattern data Pe is completed and deleted. First, the
[0092]
FIG. 17G shows an example in which the run length data “18” of the pattern data Pd which is the next smallest numerical value is selected after the processing of the data “14” of the pattern data Pe is completed and deleted. First, the
[0093]
Furthermore, the synthesis process of the main scanning line X will be described using an example in which the
It is. Hereinafter, the composition process of the main scanning line X will be described with reference to FIG.
[0094]
FIG. 18A is a diagram illustrating a state in which the main scanning line X combining process is initially set in step S253. In FIG. 18A, the
[0095]
FIG. 18B shows an example in which the run length data (Y coordinate value) “2” of the pattern data A is selected as the minimum value from the data initially set in FIG. 18A, and the processing up to step S261 is performed. FIG. First, the
[0096]
FIG. 18C shows an example in which, after the processing of the data “2” of the pattern data A is completed and deleted, the run length data “4” of the pattern data B, which is the next smallest numerical value, is selected. First, the
[0097]
FIG. 18D shows an example in which run length data “5” of pattern data C, which is the next smallest numerical value, is selected after the processing of data “4” of pattern data B is completed and deleted. First, the
[0098]
Returning to FIG. 13, the
[0099]
Next, the
[0100]
Next, the
[0101]
Returning to FIG. 3, the
[0102]
In this way, the pattern data combining process using run-length data is simply compared with the pattern data combining process using vector data because the run-length data is simply processed by exclusive OR while considering the combining priority. However, the data processing time can be greatly reduced.
[0103]
In the above description, the run length data converted by the data converter is used for drawing processing such as a laser plotter. However, the data converter can be used for purposes other than drawing processing. it can. For example, the drawing pixel data represented by the run-length data output from the data conversion device can be used as the master data of the appearance inspection device and compared with the run-length data that is the imaging data of the object to be inspected. In addition, the run length data output from the data converter is converted into data of another format such as bitmap data, and used as the master data to be compared with bitmap data that is imaging data of the object to be inspected. By inspecting, it can be used for a comparative inspection of a similar appearance inspection apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an exposure drawing system using a data conversion apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram showing a configuration of a
FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the
4 is a schematic diagram illustrating a process of data conversion performed by the
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a process of data conversion performed by the
6 is a subroutine showing details of the run-length data conversion operation in step S14 of FIG.
7 is a schematic diagram showing a data conversion process performed by the
FIG. 8 is a schematic diagram showing a process of data conversion performed by the
FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a process of data conversion performed by the
10 is a schematic diagram illustrating a process of data conversion performed by the
11 is a schematic diagram showing a process of data conversion performed by the
12 is an example in which the
FIG. 13 is a subroutine showing details of the composition processing operation in step S19 of FIG. 3;
FIG. 14 is a diagram showing a state in which paint pattern data and blank pattern data converted into run-length data are arranged in the drawing area α of the
FIG. 15 is a subroutine showing details of the composition processing operation of the main scanning line X in step S195 of FIG.
16 is a diagram showing an example of data and a data table used by the
17 is a diagram showing an example of data and a data table used by the
18 is a diagram illustrating an example of data and a data table used by the
FIG. 19 is a diagram illustrating a state in which run-length data indicating a plurality of pattern data is combined.
FIG. 20 is a flowchart showing a conventional data conversion method.
FIG. 21 is a schematic diagram showing a process of generating run-length data from CAD data by conventional data conversion.
FIG. 22 is a schematic diagram illustrating a conventional method of combining a plurality of vector-converted data.
[Explanation of symbols]
1 ... Data converter
11 ... CPU
12 ... Program memory
13 ... RAM
2. Storage device
3 ... Transmission path
4 ... Laser plotter
AP: Aperture data
KD ... Track data
M ... Imposition position information
OFF-V ... OFF vector
ON-V ... ON vector
P ... Pattern data
R ... Run-length data
RV ... contour vector
SP ... Start point
α, β, γ ... drawing area
Claims (6)
前記パターンデータを読み込む読み込み部と、
前記パターンデータに基づいて、前記パターンデータのランレングスデータを生成するパターンランレングスデータ生成部と、
前記パターンデータを互いに重ね合う合成処理を、前記パターンランレングスデータ生成部で生成された前記パターンデータのランレングスデータを用いて実行するパターン合成部とを備え、
前記パターンデータは、少なくとも、描画形状を表す塗りパターンデータと、前記塗りパターンデータと重なり合うことにより前記塗りパターンデータの一部を削除する抜きパターンデータとを含み、
前記パターン合成部は、前記塗りパターンデータに対して前記抜きパターンデータが重なり合う領域を削除する塗り抜き合成処理を、前記パターンランレングスデータ生成部で生成された前記パターンデータのランレングスデータを用いて実行し、
前記塗りパターンデータおよび抜きパターンデータは、互いに塗り抜き合成される優先順位を示す優先度データをそれぞれ所有しており、
前記パターン合成部は、前記優先度データに基づいて前記塗り抜き合成処理を前記優先順位が相対的に低い前記パターンデータのランレングスデータに対してのみ実行し、
前記優先度データは、前記塗りパターンデータを偶数で定義し、前記抜きパターンデータを奇数で定義し、前記優先順位を数値の大きさで表すことを特徴とする、データ変換装置。Diagram data including a plurality of overlapping pattern data is non-drawn from a drawing point and a change point from a non-drawing pixel to a drawing pixel along a scanning line of the output device suitable for processing of a predetermined output machine. A data conversion device that converts run-length data describing a change point to a pixel,
A reading unit for reading the pattern data;
A pattern run length data generating unit that generates run length data of the pattern data based on the pattern data;
The Kasaneau synthesis process mutually pattern data, e Bei and said pattern run length pattern combining section be performed using run-length data of the pattern data generated by the data generator,
The pattern data includes at least fill pattern data representing a drawing shape, and blank pattern data that deletes a part of the fill pattern data by overlapping the fill pattern data,
The pattern composition unit performs a paint composition process for deleting an area where the pattern data overlaps the pattern data using the run length data of the pattern data generated by the pattern run length data generation unit. Run,
The fill pattern data and the blank pattern data each have priority data indicating the priority order of the blank paint composition.
The pattern synthesis unit executes the paint synthesis process based only on the run length data of the pattern data having a relatively low priority based on the priority data,
The priority data defines the fill pattern data in the even, to define the open pattern data in odd, you characterized by representing the priorities on the size of numerical data conversion apparatus.
前記パターン位置データは、前記パターンデータに前記出力機の走査ラインを適用させた処理の始点であることを特徴とする、請求項1に記載のデータ変換装置。The pattern data has pattern position data indicating a position to be arranged in the drawing area of the output machine,
The data conversion apparatus according to claim 1, wherein the pattern position data is a start point of a process in which a scanning line of the output machine is applied to the pattern data.
前記パターンデータを読み込む読み込みステップと、
前記パターンデータに基づいて、前記パターンデータのランレングスデータを生成するパターンランレングスデータ生成ステップと、
前記パターンデータを互いに重ね合う合成処理を、前記パターンランレングスデータ生成ステップで生成された前記パターンデータのランレングスデータを用いて実行するパターン合成ステップとを含み、
前記パターンデータは、少なくとも、描画形状パターンを表す塗りパターンデータと、前記塗りパターンデータと重なり合うことにより前記塗りパターンデータの一部を削除する抜きパターンデータとを含み、
前記パターン合成ステップは、前記塗りパターンデータに対して前記抜きパターンデータが重なり合う領域を削除する塗り抜き合成処理を、前記パターンランレングスデータ生成ステップで生成された前記パターンデータのランレングスデータを用いて実行し、
前記塗りパターンデータおよび抜きパターンデータは、互いに塗り抜き合成される優先順位を示す優先度データをそれぞれ所有しており、
前記パターン合成ステップは、前記優先度データに基づいて前記塗り抜き合成処理を前記優先順位が相対的に低い前記パターンデータのランレングスデータに対してのみ実行し、
前記優先度データは、前記塗りパターンデータを偶数で定義し、前記抜きパターンデー タを奇数で定義し、前記優先順位を数値の大きさで表すことを特徴とする、データ変換方法。Diagram data including a plurality of overlapping pattern data is non-drawn from a drawing point and a change point from a non-drawing pixel to a drawing pixel along a scanning line of the output device suitable for processing of a predetermined output machine. A data conversion method for converting into run-length data describing a change point to a pixel,
A reading step for reading the pattern data;
A pattern run length data generating step for generating run length data of the pattern data based on the pattern data;
Kasaneau synthesizing processing together said pattern data, see contains a pattern synthesizing step performed using a run-length data of the pattern data generated by the pattern run-length data generating step,
The pattern data includes at least paint pattern data representing a drawing shape pattern, and blank pattern data for deleting a part of the paint pattern data by overlapping with the paint pattern data,
In the pattern synthesis step, a blanking synthesis process for deleting an area where the blank pattern data overlaps the blank pattern data is performed using the run length data of the pattern data generated in the pattern run length data generation step. Run,
The fill pattern data and the blank pattern data each have priority data indicating the priority order of the blank paint composition.
The pattern synthesis step executes the painting synthesis process based only on the run length data of the pattern data having a relatively low priority based on the priority data,
The priority data, the painted pattern data defining an even, to define the open pattern data in odd, characterized in that representing the priorities on the size of numerical data conversion method.
前記パターン位置データは、前記パターンデータに前記出力機の走査ラインを適用させた処理の始点であることを特徴とする、請求項3に記載のデータ変換方法。The pattern data has pattern position data indicating a position to be arranged in the drawing area of the output machine,
4. The data conversion method according to claim 3 , wherein the pattern position data is a starting point of processing in which a scanning line of the output machine is applied to the pattern data.
前記パターンデータを読み込む読み込みステップと、
前記パターンデータに基づいて、前記パターンデータのランレングスデータを生成するパターンランレングスデータ生成ステップと、
前記パターンデータを互いに重ね合う合成処理を、前記パターンランレングスデータ生成ステップで生成された前記パターンデータのランレングスデータを用いて実行するパターン合成ステップとを含み、
前記パターンデータは、少なくとも、描画形状パターンを表す塗りパターンデータと、前記塗りパターンデータと重なり合うことにより前記塗りパターンデータの一部を削除する抜きパターンデータとを含み、
前記パターン合成ステップは、前記塗りパターンデータに対して前記抜きパターンデータが重なり合う領域を削除する塗り抜き合成処理を、前記パターンランレングスデータ生成ステップで生成された前記パターンデータのランレングスデータを用いて実行し、
前記塗りパターンデータおよび抜きパターンデータは、互いに塗り抜き合成される優先順位を示す優先度データをそれぞれ所有しており、
前記パターン合成ステップは、前記優先度データに基づいて前記塗り抜き合成処理を前記優先順位が相対的に低い前記パターンデータのランレングスデータに対してのみ実行し、
前記優先度データは、前記塗りパターンデータを偶数で定義し、前記抜きパターンデータを奇数で定義し、前記優先順位を数値の大きさで表すことを特徴とする、データ変換プログラム。Diagram data including a plurality of overlapping pattern data is non-drawn from a drawing point and a change point from a non-drawing pixel to a drawing pixel along a scanning line of the output device suitable for processing of a predetermined output machine. A data conversion program executed by a computer that converts run-length data describing a change point to a pixel,
A reading step for reading the pattern data;
A pattern run length data generating step for generating run length data of the pattern data based on the pattern data;
Kasaneau synthesizing processing together said pattern data, see contains a pattern synthesizing step performed using a run-length data of the pattern data generated by the pattern run-length data generating step,
The pattern data includes at least paint pattern data representing a drawing shape pattern, and blank pattern data for deleting a part of the paint pattern data by overlapping with the paint pattern data,
In the pattern synthesis step, a blanking synthesis process for deleting an area where the blank pattern data overlaps the blank pattern data is performed using the run length data of the pattern data generated in the pattern run length data generation step. Run,
The fill pattern data and the blank pattern data each have priority data indicating the priority order of the blank paint composition.
The pattern synthesis step executes the painting synthesis process based only on the run length data of the pattern data having a relatively low priority based on the priority data,
A data conversion program characterized in that the priority data defines the paint pattern data as an even number, defines the blank pattern data as an odd number, and expresses the priority by a numerical value .
前記パターン位置データは、前記パターンデータに前記出力機の走査ラインを適用させた処理の始点であることを特徴とする、請求項5に記載のデータ変換プログラム。The pattern data has pattern position data indicating a position to be arranged in the drawing area of the output machine,
6. The data conversion program according to claim 5 , wherein the pattern position data is a start point of a process in which a scanning line of the output machine is applied to the pattern data.
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