JP3933042B2 - 撮像方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定ワークの外形寸法を自動画像認識法によって検査する際における、被測定ワークの外形をシルエット画像として撮像する撮像装置および撮像方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
被測定ワークの外形寸法を、自動画像認識法によって検査する際の、被測定ワークの外形寸法画像を撮像する撮像装置および撮像方法に関しては、従来例えば、特許文献1に記載されたものが知られている。
【0003】
すなわち、図4は、前記特許文献1に記載された従来の電子部品P(被測定ワーク)の観察装置の斜視図を(a)に、側面図を(b)に示したものである。
【0004】
図4(a)および(b)において、移送ヘッド1のノズル2に真空吸着された電子部品Pの上方に位置する光透過板3と、この光透過板3に光を照射する光源25とを備え、この光透過板3から光を下方へ漏光させて、電子部品Pのシルエットをカメラ8で観察する観察装置であって、光透過板3の下部にカメラ8の光軸とほぼ平行な光のみを下方へ透過させるフイルター26を設けて、光透過板3から漏光した一部の光が電子部品Pの下面へ回り込まないようにして、チップの正しいシルエットを観察できるようにしたものである。
【0005】
【特許文献1】
特開平6ー164199号公報(第3頁〜第4頁、図3、図4)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の電子部品(被測定ワーク)の観察装置における撮像装置においては、被測定ワークより上方に照明機構が必要になるが、そのような照明機構では、構造上チップ全周囲にわたり均一な照明ができないという問題があった。
【0007】
また、観察装置を検査機械に取り付ける際に、検査機械には構造上種々の機構物品が取り付けられている場合が多いが、このような機械まわりではCCDカメラ8の反対側に光源を設置できないので、被測定ワークのシルエット像を得ることができない。
【0008】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、電子部品のような被測定ワークの外観を誤差無く正確に検出するとともに、観察装置を検査機械に取り付ける際に、検査機械の構造上CCDカメラの反対側に光源を設置できない場合にも、カメラと同じ側に光源を配置して、被測定ワークのシルエット像を得ることができるようにした撮像装置および撮像方法を提案することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、カメラと該カメラ側に同心に設けられたリング状の光源と、該光源の上に同心にリング状反射板が設けられ、リング状の光源とリング状反射板よりも内側で且つ同心に筒状フードが設けられ、吸着ノズルと、該ノズルの先端側を反射面とする吸着ノズルの反射面が該ノズルに形成され、樹脂封止半導体装置を先端に真空吸引により吸着した吸着ノズルが、回転運動の間欠送りで運ばれてきては筒状フードの上方に止まり、続いて上下可動で吸着ノズルに吸着した樹脂封止半導体装置が筒状フード内に入ると、リング状の光源から、リング状反射板と吸着ノズルの反射面とを経て、カメラへ到達する光路が形成されて、カメラに対して樹脂封止半導体装置を背後から照射して、該半導体装置のシルエット画像をカメラに取り込む事を特徴とする撮像方法である。
【0010】
このような構成の撮像方法とすることによって、光の当たり具合に関係なく白と黒のコントラストによる画像とし、従って二値化画像データの生成が容易であり誤差が生じない正確な検査を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図1から図3を用いて詳しく説明する。
【0014】
(実施の形態1)
図1は、本発明の撮像装置の基本構造を断面図で示したものである。
【0015】
図2は本発明の撮像装置の撮像部によって撮像される被測定ワークである電子部品のシルエット像である。
【0016】
図3は、本発明の撮像装置の撮像部が設置された部分周辺を示す検査機械の斜視図である。
【0017】
さて、図1において、1は光源、2は光路、3は反射板、4は反射板3の反射面、5は吸着ノズル、6は吸着ノズルの反射面、7は被測定ワーク、8はフード、9はCCDカメラであって、光源1、反射板3、反射板3の反射面4はそれぞれリング形状をしており、フード8は筒形状であって、これらセットは一定の配置で固定され撮像装置の一部を構成している。吸着ノズル5は独立していて可動する部分であり、丁度CCDカメラ9の上部に静止し、上下運動により光源からの光を反射板の反射面と吸着ノズルの反射面で反射させることにより得られる被測定ワークのシルエット画像を、CCDカメラで撮像するようにした。このような構造からなる撮像装置を検査機械の一セクションに設置した場合の斜視図が図3であり、要部のみ示した。
【0018】
図3の検査機械において、被測定ワーク7である電子部品の超小型樹脂封止半導体装置を先端に真空吸引により吸着したノズル5が、回転運動の間欠送りで運ばれてきてはフード8の上方に止まり、続いて上下可動でノズル5の先端部がフード8内に降り入ると、光源からでた光が図1の光路2のように進んで反射板3の反射面4で屈折し、その光が吸着ノズル5の反射面6で反射し被測定ワーク7を背後から照射して、シルエッ画像がCCDカメラに取り込まれて撮像され、図2の様な測定ワーク7の電子部品のシルエット画像を、図示はしないが、自動画像認識装置のテレビ画面に映し出す。
【0019】
CCDカメラ9で撮像した後は、吸着ノズル5の先端部がフード8内から抜け上がって、又間欠送りされ次の新しい測定ワークが運ばれてくるようになっている。
【0020】
図1において、ここで測定ワークがフードの中に降り入って、測定ワークのシルエット像がCCDカメラにコントラスト良く光のノイズの無い正確な情報とするために、光のフレア(反射光でシルエット像のコントラストを下げる現象)を防止するためにリング状でその内側面が光を吸収すべく真っ黒に塗られているのである。
【0021】
光源からの光を反射板の反射面と吸着ノズルの反射面で反射させることにより得られる被測定ワークのシルエット画像を、CCDカメラで撮像するようにした撮像装置である。
【0022】
1は光源でリング状のハロゲンランプ、8はフードでCCDカメラ9側と同じ側にCCDカメラ9を取り囲むように設置されている。
【0023】
図3の検査機械において、次々に新しい被測定ワークの電子部品の超小型樹脂封止半導体装置を先端に吸着したノズルが回転機の回転により間欠送りで運ばれてきては撮像装置の上に止まると同時にカメラのフード内に降り立ち、測定ワークのシルエット像を作り、CCDカメラで撮像した後フード内から抜け上がって、又間欠送りされ次の新しい測定ワークが運ばれてくるようになっている。
【0024】
図3に示すように、電子部品のシルエット像を作成する一番容易な方法はCCDカメラの反対側の吸着ノズルの側からリング状光源を設置できればよいが、本検査装置には24本の吸着ノズルが円盤に放射状に取り付けられていて、順次数秒単位で間欠送りされ各機能を持った位置で止まっては所定の検査を済ませるようになっている。この内の機能の一つに電子部品の外形測定機能を持たせた部位がありこの部位に電子部品のシルエット像の撮像装置を取り付けてある。
【0025】
電子部品を取り付けられて間欠送りされるので、この側へ照明の為のリング状光源を設置することは、24本の吸着ノズルが常時回転し間欠送りされるため不可能である。従って、照明の為のリング状光源は静止固定されているCCDカメラと同じ側に設置するしかない。そして電子部品のシルエット像を得るためにはカメラの反対側で電子部品の後ろから光を当てなければならない。
【0026】
そこで、リング状光源から発する光を、まずリング状の反射面に当てて吸着ノズルに向けて集光し、反射面を有するリング状反射板と、前記反射面で反射された反射光を反射するリング状の反射面を有するワーク吸着ノズルと、前記ワーク吸着ノズルの反射面で反射された光の一部のみ通すようにして、それ以外のフレア光を遮断するフードと、前記光を当てできる被測定ワークのシルエット画像を撮り込むCCDカメラとから構成された撮像装置であって、前記光源からの光を反射板の反射面と吸着ノズルの反射面で反射させることにより得られる被測定ワークのシルエット画像を、CCDカメラで撮像するようにしたものである。
【0027】
(実施例1)
図1を参照しながら、具体的な実施例として、表面実装用の超小型電子部品である樹脂封止型半導体装置の外観検査におけるシルエット画像撮像の場合を紹介する。
【0028】
測定ワークの樹脂封止型半導体装置の大きさは、横1.6mm、縦0.8mm、厚さ0.6mm、または横2.0mm、縦1.2mm、厚さ0.7mmである。
【0029】
リング状反射板3は、厚さが5.3mmで、反射面4の角度は、水平面に対して約55度の角度であり、広口部内径が25mmで、面の精度は鏡面に近い精度に磨かれてある。
【0030】
ワーク吸着ノズル5は、円筒状で、先端の細い部分の径が直径1、太い部分
の径の直径が4mmであり、反射面6は、細い部分の径と太い部分の径の差の1.5mmの幅である。そしてその幅面は、角度が水平面に対して平行で、程鏡面に近いものである。
【0031】
ワーク吸着ノズル5の細い部分の先端までの長さは、約5.9mmであり、その先端の真空吸着口には、測定ワークの樹脂封止半導体装置が吸着されている。フード8は、円筒形で内径が4mmである。
【0032】
測定時には、ノズルの先端が0.38mm程フード内に降りてきて、先端に吸着した測定ワークをすっぽりフードの中に挿入するようになっている。これによって測定ワークはノズルの反射面で反射した光のうちフード内に入った光でかつワークで遮断された光以外だけが通過し、その他の余分な光は全てフード内には入ってこないから、コントラストの明確な被測定ワーク7のシルエット画像をCCDカメラ9が撮像できるのである。
【0033】
このようにして、回転可動部があったりして外観検査装置の構造上、光源1をノズル5側に設置できない場合でも、シルエット画像をCCDカメラ9で撮像することができる。
【0034】
なお、本実施の形態では、被測定ワークに電子部品の樹脂封止半導体装置を用いたが、カメラ側に光源をおいてシルエット画像を作ってCCDカメラで撮像しなければならないような検査を必要とする測定ワークには、各部分のサイズを変えるだけで、いずれの場合にも適用できる。
【0035】
【発明の効果】
以上のように、本発明の撮像装置によれば、CCDカメラと同一側に設置されたリング状光源から光を照射し、リング状光源の上部に設置されたリング状反射板の反射面と、リング状光源の上部にある吸着ノズルに設けた反射面とで光を反射させ、その反射光を被測定ワークの背後から照射するようになっているので、吸着ノズルが多数個セットされ間欠送りされる可動部がある等で検査機械構造上CCDカメラの反対側に光源を設置できない場合でも、CCDカメラと同一側に光源をおいて被測定ワークのシルエット像を形成することができるとともに、内壁面が黒色の筒状フードをリング状光源とカメラの間に設け、かつ吸着ノズルに吸着された被測定ワークをフードの入り口から隠れる程度中側に案内してフードで反射光によるフレア光を吸収遮蔽して、被測定ワークのシルエット像をカメラで撮像するので、コントラストのはっきりした、従って輪郭精度の高いシルエット画像を得ることができる極めて有用な発明である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による撮像装置の基本構造断面図
【図2】同撮像装置の撮像部によって撮像される被測定ワークのシルエット画像を示す図
【図3】同撮像装置の撮像部を設置した検査機械の要部斜視図
【図4】(a)従来の撮像装置の斜視図
(b)従来の撮像装置の側面図
【符号の説明】
1 リング状光源
2 光路
3 リング状反射板
4 リング状反射板の反射面
5 吸着ノズル
6 吸着ノズルの反射面
7 被測定ワーク
8 筒状フード
9 CCDカメラ
Claims (1)
- カメラと該カメラ側に同心に設けられたリング状の光源と、該光源の上に同心にリング状反射板が設けられ、前記リング状の光源と前記リング状反射板よりも内側で且つ同心に筒状フードが設けられ、
吸着ノズルと、該ノズルの先端側を反射面とする吸着ノズルの反射面が該ノズルに形成され、
樹脂封止半導体装置を先端に真空吸引により吸着した前記吸着ノズルが、回転運動の間欠送りで運ばれてきては前記筒状フードの上方に止まり、続いて上下可動で前記吸着ノズルに吸着した前記樹脂封止半導体装置が前記筒状フード内に入ると、
前記リング状の光源から、前記リング状反射板と前記吸着ノズルの反射面とを経て、前記カメラへ到達する光路が形成されて、前記カメラに対して前記樹脂封止半導体装置を背後から照射して、該半導体装置のシルエット画像を前記カメラに取り込む事を特徴とする撮像方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002354071A JP3933042B2 (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | 撮像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002354071A JP3933042B2 (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | 撮像方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004187158A JP2004187158A (ja) | 2004-07-02 |
JP3933042B2 true JP3933042B2 (ja) | 2007-06-20 |
Family
ID=32755200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002354071A Expired - Fee Related JP3933042B2 (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | 撮像方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3933042B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013156222A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Waida Seisakusho:Kk | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
JP6009888B2 (ja) | 2012-09-27 | 2016-10-19 | 富士フイルム株式会社 | 薬剤検査装置及び方法 |
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2002
- 2002-12-05 JP JP2002354071A patent/JP3933042B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004187158A (ja) | 2004-07-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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