JP3931972B2 - Inkjet printer head - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドに係り、より詳しくは、列状に並ぶノズルの数を多くした大型のインクジェットプリンタヘッドの構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型のインクジェットプリンタヘッドにおいては、特開2002−36545号公報や特開2002−59547号公報等に開示されているように、複数枚のプレートを積層して、インク流路を有するキャビティユニットが構成され、これらのプレートは複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記各圧力室に接続するマニホールド室を有するマニホールドプレート等とから構成されている。圧電アクチュエータは、圧電セラミックス板を挟んで内部電極としてのコモン電極と個別電極とを交互に積層して構成され、前記個別電極とコモン電極との重なり部である活性部が前記圧力室となるように、圧電アクチュエータとキャビティユニットとが接合されている。
【0003】
ところで、通常のインクジェットプリンタ装置においては、そのインクジェットプリンタヘッドを備えたキャリッジを、用紙搬送方向(副走査方向という)と直交する幅方向(主走査方向)に往復移動させながら、前記用紙の幅方向に印刷作業するとき、前記インクジェットプリンタヘッドのノズル列方向は、用紙搬送方向(副走査方向)と平行状に並べられている。従って、前記1回の主走査方向のキャリッジの移動により印刷できる、副走査方向の印刷範囲(印刷長さ)は、前記各ノズルの列の長さに略対応することになる。例えば、前記副走査方向に、1インチ(25.4mm)の長さに、72個のノズルを千鳥配列させたインクジェットプリンタヘッドでは、1回の主走査方向の移動にて、副走査方向に印刷できる範囲(長さ)は1インチということになる。
【0004】
そして、最近のプリンタの印字速度の高速化、及び高品質化に伴い、同じ短いノズルの間隔(ドット間隔)で前記副走査方向のノズル数を増大させて、ノズル列の長さを2インチ程度にする等、ノズル列を長くすることが要望されている。その場合、キャビティユニットにおけるプレートにノズルや圧力室を形成する場合、レーザ加工またはエッチング加工等の製法によることと、プレートの材質(金属製または合成樹脂製)から、ノズルや圧力室の間隔は、その個数に関係なくほぼ設計値どおり正確に得ることができる。
【0005】
他方、1つの圧電アクチュエータの圧電セラミックス板に、前記ノズルの数と同じだけの活性部を形成するには、当該アクチュエータセラミックス板の長さも必然的に長くする必要があった。
【0006】
周知のように、圧電アクチュエータの製作に際しては、前記コモン電極がパターン形成された圧電セラミックス板と、個別電極がパターン形成された圧電セラミックス板とを交互に積層プレスして後、焼成するものであるから、その焼成により圧電セラミックス板は、長さ方向、幅方向及び厚さ方向の夫々の寸法が収縮するのが通常であり、特に長さ方向(ノズルの列方向)の収縮量が大きいから、その収縮量(収縮率)を見込んで、前記パターン形成される個別電極の間隔を設定する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、圧電セラミックス板の製作精度のバラツキ、及び焼成温度のバラツキ等により、圧電セラミックス板の長さが長い程、仕上がった状態での前記個別電極の配置間隔を圧力室の間隔に合わせることが困難になり、製品歩留りが悪化するという問題があった。
【0008】
本発明は、圧電アクチュエータのノズル列方向の長さを長くする代わりに、圧電アクチュエータをノズルの列方向に複数に分割して縦列配置し、その配置に応じて、キャビティユニット側の圧力室からノズルまでのインク流通路の形態を工夫することで、製造コストを抑えながら大型のインクジェットプリンタヘッドを簡単に提供することを技術的課題とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項1に記載の発明のインクジェットプリンタヘッドは、前面に列状に配置された複数個のノズルと、該各ノズル毎に対応する圧力室と、各圧力室から前記各ノズル毎に連通するインク流通路と、インク供給源からインクを溜めたのち前記列状の複数のノズルに対応する複数の圧力室にインクを補充するマニホールド室とを有した複数枚のプレートとを積層してなるキャビティユニットと、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを噴射させるアクチュエータとを積層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧力室を、前記ノズルの列方向の適宜数毎に複数のグループに分割し、前記アクチュエータを、前記圧力室の各グループに対応させて複数に分割し、且つ隣接するアクチュエータの端部を相互に対向させて複数配置し、前記キャビティユニットにおける圧力室の配置間隔のうち、前記隣接するグループの間を他の前記ノズルの列方向における圧力室の配置間隔よりも大きく設定し、前記キャビティユニットにおける各圧力室から対応するノズルまで連通するインク流通路を、キャビティユニットにおける複数枚のプレートの板厚方向に対して傾斜状に形成したものである。
【0010】
そして、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各アクチュエータにおける活性部の間隔と、対応する圧力室の間隔とを、前記ノズルの配置間隔と同じに設定したことを特徴とするものである。
【0011】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記複数のノズルからなる列を4列とし、前記各ノズルの列に対応させて配置する前記アクチュエータには、前記各ノズルの列に対応するように4列の活性部が形成されていることを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各アクチュエータにおける前記隣接する他のアクチュエータの端部と対向する端部と、前記ノズルの列方向の最列端の前記活性部との間は、前記活性部の配列ピッチの1/2よりも大きく設定したものである。
請求項5に記載の発明は、請求項1から4のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各アクチュエータは、前記各圧力室毎に対応した個別電極とその個別電極の列に平面視重複して位置するコモン電極との間に圧電シートを挟んで形成した圧電アクチュエータであり、前記個別電極とコモン電極との間の圧電シートの部分を前記活性部としているものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図1は本発明の実施の形態による圧電式のインクジェットプリンタヘッド10におけるキャビティユニット11と圧電アクチュエータ12との一部切欠き斜視図であり、図1において、金属板製のキャビティユニット11の上面に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ12の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル13(図5及び図6参照)が接着剤にて重ね接合されている。
【0013】
前記キャビティユニット11は図2〜図6に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート14、デセントプレート15、ダンパープレート16、二枚のマニホールドプレート17,18、3枚のスペーサプレート19,20,21及び圧力室23が形成されているベースプレート22の合計9枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート14を除き、各プレート15〜22は、42%ニッケル合金鋼板製で、50μm〜150μm程度の厚さを有する。
【0014】
前記ノズルプレート14には、微小径(実施形態では25μm程度)のインク噴出用のノズル24(個別の列のノズルに対しては符号24a,24b,24c,24dを付する)が、当該ノズルプレート14における第1の方向(キャビティユニット11の長辺方向であり、図2において、X軸方向)に沿って4列の千鳥配列状に設けられている(図2参照)。
【0015】
即ち、第1列のノズル24aと第2列のノズル24bとは、ノズルプレート14の前記第1の方向に延びる2つの平行状の近接した基準線(図示せず)に沿って各々微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されており、第3列のノズル24cと第4列のノズル24dとは、同じく前記第1の方向に延びる2つの平行状の近接した基準線に沿って、各々微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されている。また、第1列のノズル24aと第2列のノズル24bとの組と、第3列のノズル24cと第4列のノズル24dとの組は、キャビティユニット11の短辺方向(第2の方向、図2において、Y軸方向)に間隔をおいて平行に配置されている(図2参照)。実施例では、第1列〜第4列の各々のノズル列の長さは2インチ、各々のノズル24の数は150個で、つまり配列密度は75(dpi[ドット・パー・インチ])である(図5参照)。
【0016】
次に、キャビティユニット11の最上層であるベースプレート22における圧力室23の配置関係を、その上に前記ノズル24の列方向(第1の方向)に縦列させて配置する2つの圧電アクチュエータ12(個別には符号12a、12bを付する)における活性部の配置との関係から説明する。
【0017】
1つの圧電アクチュエータ12a(または12b)が、前記4列のノズル24の個数のうちの列方向の半数(1列につき75個)の圧力室23を作動させるように75個の活性部を有して配置される。従って、図2及び図6(a)に示すように、キャビティユニット11の上面のうち長手方向(前記第1の方向)の前半部に一方の圧電アクチュエータ12aが配置され、後半部に他方の圧電アクチュエータ12bが配置される。
【0018】
そして、各圧電アクチュエータ12a(または12b)は、後に詳述するように、コモン電極37と、前記各圧力室23の位置毎に対応させて配置された個別電極36とが圧電シートを挟んで交互に積層され、任意の個別電極36とコモン電極37との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極36に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みが発生するものである。該活性部は、圧力室23の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。
【0019】
即ち、前記活性部は、ノズル24(圧力室23)の列方向(第1の方向)に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数(4つ)と同じ数だけ、第2の方向に並べられている。また、各活性部は、前記第2の方向(キャビティユニット11の幅方向)に圧力室23の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔(ピッチP)も後述する圧力室23の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる(図4参照)。
【0020】
前記圧力室23は、2つの圧電アクチュエータ12a、12bと対応てベースプレート22の長手方向に2グループに分けて配置される。つまり、一方のアクチュエータ12aに対応するグループの圧力室23は、ノズル24の列方向(第1の方向)の前半部のものに対応し、他方のアクチュエータ12bに対応するグループの圧力室23は、ノズル24の列方向(第1の方向)の後半部のものに対応して、それぞれノズル24の配置間隔(ピッチP)と同じ間隔で、且つ2列の千鳥状配列を2組、計4列をなして配置されている。
【0021】
前記各圧力室23は、ベースプレート22の幅方向(第2の方向)に長く、且つベースプレート22を厚さ方向に貫通して形成されている。その各圧力室23の一端は、ベースプレート22とノズルプレート14との間に位置するスペーサプレート19、20、21、マニホールドプレート17、18、ダンパープレート16及び中間プレート15に貫通形成された各連通路25(個別には25a、25b,25c,25d,25e,25f,25gの符号を付する)を介して各ノズル24に連通する。また、各圧力室23の他端は、スペーサプレート19、20、21に形成された後述するマニホールド室26に連通する。
【0022】
図2及び図5に示すごとく、2グループの圧力室23の間は、ベースプレート22の長手方向に圧力室23の配置間隔(ピッチP)よりも広い間隔L2に設定されている。これは、各圧電アクチュエータ12a,12bの製作上、最列端の電極36、37とそれに近接する圧電アクチュエータの端部との距離L1を、電極36のピッチPの1/2以下に製作することが困難なため、距離L1を圧電アクチュエータ12a,12bの製作しやすい大きさとして、それよりも大きい間隔L2を設定したのである。隣接する圧電アクチュエータ12a,12bはその端部の間に隙間をあけて位置することになる。
【0023】
これにより、ノズル24のピッチPは、その列方向に一定に設定されているから、各圧力室23の一端をノズル24に接続する連通路25は、各プレートの積層方向に対して傾斜することになる。また、連通路25は、2グループの圧力室23の間隔L2の中央を境にして対称に傾斜する。
【0024】
前記二枚のマニホールドプレート17、18には、マニホールド室26(個別には、26a,26b,26c,26d,26e,26f,26g,26h)が、前記ノズル24の列に沿って延びるように穿設されている。さらに詳述すると、各マニホールド室26の長さは、前記各ノズル列方向に並ぶ圧力室23を適宜数毎に分割した長さであり、実施例では、図3に示すように、圧力室23の1グループ(1グループの1列の圧力室23の数が75)の長さにわたった長さを有し、且つキャビティユニット11には、圧力室23の列が4列あるので、その1つの列毎に配置する。従って、前記図2及び図3の実施例では、八本のマニホールド室26a,26b,26c,26d,26e,26f,26g,26hが形成されている。各マニホールド室26の長手方向一端部は、図示しないインク供給源からのインク供給孔31に連通するように、各グループの互いに反対側へ延長され、各マニホールド室26a,26c,26e,26gの他端は、他のグループのマニホールド室26b,26d,26f,26hの他端と近接している。また、各マニホールド室26の深さはマニホールドプレート17、18の板厚さ全体にわたるようレーザ加工またはプラズマジェット加工、電解エッチング加工等にて穿設形成され、この二枚を合わせたマニホールドプレート17、18の上層の第一スペーサプレート19と、下層のダンパープレート16とにより積層されることにより密閉される構造となっている。なお、ダンパープレート16には、前記マニホールド室26と平面視形状が同じで下面側をエッチング加工により板厚を薄くしたダンパー室27を形成する。
【0025】
圧電アクチュエータ12の駆動により圧力室23に作用する圧力波のうち、マニホールド室26の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート16の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。
【0026】
また、第2スペーサプレート20には、インク流の絞り部28を、前記各圧力室23毎に対応させて形成する。この絞り部28の平面視形状は、図6(b)に示すように、長手方向の両端部28a,28bの面積が大きく、その中間の面積が小さく形成されている。また、各絞り部28の長手方向を前記圧力室23の長手方向と平行状になるように形成されている。そして、第2スペーサプレート20をその下面側で前記第1スペーサプレート19を、上面側で第3スペーサプレート21を積層することにより、前記絞り部28が密閉されている。第1スペーサプレート19に穿設された第1インク通路29は、前記マニホールド室26と前記絞り部28における一端部28aとに連通している。他方、第3スペーサプレート21に穿設された第2インク通路30は、前記絞り部28における他端部28bと圧力室23の他端部とに連通している(図6(a)参照)。
【0027】
図2に示すように、前記ベースプレート22、第3、第2、第1の各スペーサプレート21、20、19における長手方向の両端部に、大きい径の8つのインク供給孔31a,31b,31c,31dが上下に連通し、且つ前記各マニホールド室26の端部に連通するように穿設形成されている。そして、また、スペーサプレート13の一端に穿設されたインク供給孔31aの上面には、その上方のインクタンク等のインク供給源から供給されるインク中の塵を除去するためのフィルタ32が張設されている。
【0028】
一方、前記各圧電アクチュエータ12は、図4に示すように、1枚の厚さが30μm程度の圧電セラミックス板からなる複数枚(4〜10枚)の圧電シート33、34とその最上層のトップシート35とを積層した構造である。そして、最下段の圧電シート33とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート33の上面(広幅面)には、図4に示すように、前記キャビティユニット11における各圧力室23に対応した箇所ごとに細幅の個別電極36a,36b,36c,36dが、第1の方向(圧電シート33の長辺方向、図4のX方向、ノズル24a,24b,24c,24dの列方向)に沿って列状に形成される。
【0029】
各個別電極36a,36b,36c,36dは前記第1の方向と直交する第2の方向(Y軸方向)に沿って各圧電シート33の短辺と平行状に延びる。その場合、各個別電極36a,36b,36c,36dは、前記各圧力室23a,23b,23c,23dとほぼ同じ長さで、平面視で圧力室よりもやや狭い幅に形成する。最外列側に配置される第1列目の個別電極36aと第4列目の個別電極36dとは、各圧電シート33のー対の長辺の側縁に近い側に各々配置されている。
【0030】
また、第2列目の個別電極36bと第3列目の個別電極36cとは、各圧電シート33の短辺方向の中央寄り部位(各圧電シート33のー対の長辺で挟まれる中央寄り部位)に配置されている。最下層以外の圧電シート33には、後述するコモン電極37における引き出し部37aと平面視で重複する個所に、ダミーコモン電極43を形成する。
【0031】
他方、前記コモン電極37は、下から偶数番目の圧電シート34の表面に印刷形成されるもので、当該圧電シート34の第1の方向(X軸方向、圧電シート34長辺に沿う方向)長い2本の幹部37a,37bと、該両幹部37a,37bと接続し、且つ圧電シート34の短辺縁に沿って伸びる引き出し部37cとからなる。前記一方の幹部37aは、前記第1列目の個別電極36aと第2列目の個別電極36bとの大部分に平面視で重複する位置に配置されている一方、この幹部37aの両側に沿って一定間隔で配置形成されるダミー電極38a,38bは、前記第1列目の個別電極36a及び第2列目の個別電極36bの一部と平面視で重複する位置に配置されている。
【0032】
同様にして、他方の幹部37bは、前記第3列目の個別電極36cと第4列目の個別電極36dとの大部分に平面視で重複する位置に配置されている一方、この幹部37bの両側に沿って一定間隔で配置形成されるダミー電極38c,38dは、前記第3列目の個別電極36c及び第4列目の個別電極36dの一部と平面視で重複する位置に配置されている。
【0033】
そして、トップシート35の表面(上面)には、前記4列の各個別電極36a,36b,36c,36dに対する4列の各表面電極39a,39b,39c,39dと、コモン電極37に対する表面電極40とが設けられている。そして、最下層の圧電シート33を除き、それより上層の圧電シート33、34とトップシート35とには、前記各表面電極39a,39b,39c,39dと、それらにそれぞれ対応する上下位置の個別電極36a,36b,36c,36dと、ダミー電極38a,38b,38c,38dとが互いに上下方向に連通するスルーホール41を穿設し、各スルーホール41内に充填した導電部材(導電性ペースト)を介して互いに電気的に導通できるように接続する。同様にして、トップシート35における表面電極40と、それに対応する下層の圧電シート34におけるコモン電極37の引き出し部37cと、圧電シート33におけるダミーコモン電極43とに互いに上下に連通するスルーホール42を穿設し、各スルーホール42内に充填した導電部材(導電性ペースト)を介して互いに電気的に導通できるように接続する。
【0034】
なお、圧電アクチュエータ12の製造方法としては、圧電シートであるセラミックス基板の表面に、個別電極、コモン電極、ダミー電極、ダミーコモン電極並びに表面電極はそれぞれ、銀−パラジゥムペースト等の導電性ペーストをスクリーン印刷形成し、乾燥後に、積層したのち焼成して形成するものである。当然のことながら、前記各ダミー電極38a,38b,38c,38dは、隣接するもの同士及びコモン電極37とも電気的に接続さないように島状に形成される。同様にして、ダミーコモン電極43は、個別電極と電気的に接続さないように島状に形成される。
【0035】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ12における下面(圧力室23と対面する広幅面)全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート(囲示せず)を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット11に対して、当該圧電アクチュエータ12が、その各個別電極を前記キャビティユニット11における各圧力室23の各々に対応させて接着・固定される(図5及び図6(a)参照)。また、この圧電アクチュエータ12における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル13が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル13における各種の配線パタ一ン(図示せず)が、前記各表面電極39、40に電気的に接合される。
【0036】
この構成において、圧電アクチュエータ12における表面電極39、40を介して全個別電極36とコモン電極37との間に分極用の高電圧を印加することで、各個別電極36とコモン電極37との間に挟まれた圧電シート33、34の部分を分極処理する。これにより、各個別電極36とコモン電極37との間に挟まれた圧電シート33、34の部分を活性部とする。そして、任意の表面電極39と表面電極40とを介して個別電極36とコモン電極37との間に駆動電圧を印加して、対応する活性部に分極方向と平行な電界を発生させると、その活性部が積層方向に伸長し、対応する圧力室23a〜23dの内容積が縮小され、この圧力室23a〜23d内のインクが、ノズル24a〜24dから液滴状に噴出して、所定の印字が行われる(図6(a)参照)。
【0037】
カラー印刷する場合に、4色のインク(ブラック、シアン、イエロー、マゼンタ)を使用する時には、例えば、前記第1列のノズル24aをブラックインクの吐出用とし、第2列のノズル24bをシアンインク、第3列のノズル24cをイエローインク、第4列のノズル24dをマゼンタインクの吐出用にそれぞれ設定すると、図3に示す対応するマニホールドプレート17(18)に形成された第1列目のマニホールド室26a,26bにはブラックインクが充填され、第2列目のマニホールド室26c,26dにはシアンインクが充填され、第3列目のマニホールド室26e,26fにはイエローインクが充填され、第4列目のマニホールド室26g,26hにはマゼンタインクが充填されるのである。
【0038】
上記のように本実施の形態においては、圧力室23をノズル24の列方向に沿って2つのグル−プに分け、そのグル−プの間隔をL2と広くする一方、ノズル24の間隔は上記グル−プ分けにかかわらずP(<L2)と狭くし、圧力室23からノズル24まで連通する連通路25を傾斜状に形成したものであるから、ノズル24の配置間隔(ピッチ)を従前のものと同一にしたままノズル数の多いヘッドを製作する場合、圧電アクチュエータ12a、12bはノズル24の列方向の長さの短いものをその列方向に並べて使用できる。従って、圧電アクチュエータを製造したときの各アクチュエータの焼成時の収縮量が少なくなるから、活性部の間隔のバラツキも少なくでき、寸法精度の良い圧電アクチュエータを効率良く製造できる。
【0039】
また、既に開発されたインクジェットプリンタヘッドで、長手方向(列方向)のノズル24(圧力室23)の個数が75個で、その個数を長さ1インチに配列したものがある場合、そのための圧電アクチュエータ12を複数使用することで、ノズル列の長さが2インチまたは数インチのものが容易に製造できる。
【0040】
また、前記従来の圧電アクチュエータに対応するキャビティユニットにおけるマニホールド室の長さ,深さ及び平面視形状が既に設計されていたとすると、実施形態では、ノズル列の長さが2インチまたは数インチになる場合でも、図3に示すように、前記各列のマニホールド室26の長さを分割することで、前記既に設計したものと同じ長さ,深さ及び平面視形状にて形成する。つまり、マニホールド室26をキャビティユニット11の長手方向、つまり列方向の圧力室23(ノズル24)の総数150(長さ2インチ)の半分の個所(個数で75個(1インチ))で分割されたように形成して配置する。
【0041】
つまり、ノズル数が多くなる(ノズル列が長くなる)のに対応してマニホールド室26を長くするのでないから、マニホールド室26が長くなるのに伴い流路抵抗が増して、インク供給量が低下するということがない。また、流路抵抗を減らすためにはマニホールド室26の幅や深さを大きくする必要があるが、そうすると、キャビティユニット11が大型化するだけでなく、アクチュエータの駆動により、圧力室23からマニホールド室26側に伝播した圧力波の成分が、クロストークを発生させないためには、アクチュエータ12の駆動電圧、駆動タイミング、駆動波形等を変更しなければならない。上記実施の形態では、既に開発・設計されたマニホールド室26を圧力室23のグループに対応して配置するだけで、アクチュエータの駆動電圧、駆動タイミング、駆動波形等も既に開発・設計されたものをほぼそのまま適用することができ、ノズル24からのインクの噴射形態等を従前と同じにできる。
【0042】
なお、図示実施形態では、複数の圧電アクチュエータ12a、12bをノズル24の列方向に沿って縦列配置するとき、該アクチュエータ12a、12bの相対向する端部間に隙間を設けたが、この隙間をほとんど零となるように配置しても良い。
【0043】
このように、従来品の圧電アクチュエータ12を使用し、且つマニホールド室26の長さ、深さ及び平面視形状も従来品の形態を流用して製作すれば、印刷性能や印刷精度(ノズルのドット密度)が従来品とほぼ同じであって、且つ1列の長さの長いインクジェットプリンタヘッドを簡単に実現させることでき、製品設計・開発に要する手間(期間)及び費用を節約(短縮)できるという効果を奏する。
【0044】
本発明において、マニホールド室の長さに対応する圧力室23(ノズル24)の数には限定はなく、また、配置すべき圧電アクチュエータ12の数にも制限はない。
【0045】
なお、キャビティユニット11における前記複数のノズル24からなる列を4列とし、前記各ノズル24の列に対応させて配置する前記各マニホールド室26は、前記各ノズル24の列の伸びる方向に沿って略平行状に形成すれば、ノズル24の列とマニホールド室26の列とが平面視で重複関係にあっても、不都合がなく、キャビティユニット11の平面視形状の面積を小さくしたコンパクトなものを製作できるという効果を奏する。
【0046】
本発明の変形例として、図2に示すキャビティユニット11(圧電アクチュエータ12aと12bとがX軸方向に縦列配置されているもの)を、Y軸方向に2つ並設した形態にすれば、2インチに300個のノズルを持つ列が4列平行状に配列されたインクジェットプリンタヘッドとなるから、その各列毎にインク色を変えた4色のカラープリンタとするときには、高密度のドット数(150dpi)で、且つ副搬送方向の印字範囲を2インチとする大型のプリンタヘッドとなり、高密度で高速印刷を達成できる。
【0047】
また、前記実施形態では、ノズルの列は4列であったが、本発明では1列以上のノズル列に対して適用できる。さらに、アクチュエータは、圧電素子を利用したものの他、静電気により、各圧力室の背面を覆う振動板を振動させてノズルからインクを吐出させる形式のものや、各圧力室のごとにジュール熱発生素子を設けて、駆動信号によりジュール熱発生素子を発熱させて圧力室内のインクを気化させてノズルから吐出するインクを加圧する形式であっても良い。
【0048】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項1に記載の発明のインクジェットプリンタヘッドは、前面に列状に配置された複数個のノズルと、該各ノズル毎に対応する圧力室と、各圧力室から前記各ノズル毎に連通するインク流通路と、インク供給源からインクを溜めたのち前記列状の複数のノズルに対応する複数の圧力室にインクを補充するマニホールド室とを有した複数枚のプレートとを積層してなるキャビティユニットと、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを噴射させるアクチュエータとを積層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧力室を、前記ノズルの列方向の適宜数毎に複数のグループに分割し、前記アクチュエータを、前記圧力室の各グループに対応させて複数に分割し、且つ隣接するアクチュエータの端部を相互に対向させて複数配置し、前記キャビティユニットにおける圧力室の配置間隔のうち、前記隣接するグループの間を他の前記ノズルの列方向における圧力室の配置間隔よりも大きく設定し、前記キャビティユニットにおける各圧力室から対応するノズルまで連通するインク流通路を、キャビティユニットにおける複数枚のプレートの板厚方向に対して傾斜状に形成したものである。
【0049】
このように構成することにより、ノズルの配置間隔(ピッチ)を従前のものと同一にしたままノズル数を増やしてノズル列を長くした場合でも、アクチュエータはノズルの列方向の長さの短いものを使用することができる。従って、アクチュエータを製造したときの収縮量が少なくなるから、活性部の間隔のバラツキも少なくでき、寸法精度の良いアクチュエータを効率良く、且つ安価に製造できるという効果を奏する。
【0050】
また、これにより、アクチュエータの長さの数倍に対応するノズル列を持つインクジェットプリンタヘッドを容易に製造できる。
【0051】
そして、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各アクチュエータにおける活性部の間隔と、対応する圧力室の間隔とを、前記ノズルの配置間隔と同じに設定したことを特徴とするものであるから、従前に開発したアクチュエータを利用し、且つその基本性能を変えず、また駆動電圧や駆動タイミングも変更することなく、大型のインクジェットプリンタヘッドを効率良く製作でき、高速印刷可能なプリンタに供することができるという効果を奏する。
【0052】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記複数のノズルからなる列を4列とし、前記各ノズルの列に対応させて配置する前記アクチュエータには、前記各ノズルの列に対応するように4列の活性部が形成されていることを特徴とするものであるから、請求項1または請求項2に記載の発明による効果に加えて、カラー用のインクジェットプリンタをコンパクトに製造できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータとを分離して示す一部斜視図である。
【図2】 キャビティユニットの分解斜視図である。
【図3】 マニホールドプレートの斜視図である。
【図4】 圧電アクチュエータにおける個別電極とコモン電極との配置パターンを示す部分的拡大斜視図である。
【図5】 フレキシブルフラットケーブルと、キャビティユニットと圧電アクチュエータとを接着・固定した状態のインクジェットプリンタヘッドの中途部を図1又は図2のX軸方向の断面で見た拡大断面図である。
【図6】 (a)はインクジェットプリンタヘッドの中途部を図1又は図2のY軸方向の断面で見た拡大断面図、(b)は絞り部の拡大平面図である。
【符号の説明】
10 インクジェットプリンタヘッド
11 キャビティユニット
12 圧電アクチュエータ
13 フレキシブルフラットケーブル
14 ノズルプレート
15 中間プレート
16 ダンパープレート
17、18 マニホールドプレート
19、20、21 スペーサプレート
22 ベースプレート
23 圧力室
24 ノズル
25 インク流通路としての連通路
26 マニホールド室
27 ダンパー室
28 絞り部
29、30 インク通路
31a〜31d インク供給孔
33、34 圧電シート
36 個別電極
37 コモン電極
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to an ink jet printer head, and more particularly to a configuration of a large ink jet printer head in which the number of nozzles arranged in a line is increased.
[0002]
[Prior art]
  In the prior art on-demand type ink jet printer head, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-36545 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-59547, a plurality of plates are stacked to have an ink flow path. A cavity unit is configured, and these plates include a nozzle plate having a plurality of nozzles, a base plate having a pressure chamber for each nozzle, and a manifold connected to an ink supply source and connected to each pressure chamber. It is comprised from the manifold plate etc. which have a chamber. The piezoelectric actuator is configured by alternately stacking common electrodes and individual electrodes as internal electrodes with a piezoelectric ceramic plate interposed therebetween, and an active portion that is an overlapping portion of the individual electrodes and the common electrode becomes the pressure chamber. Further, the piezoelectric actuator and the cavity unit are joined.
[0003]
  By the way, in a normal ink jet printer apparatus, the carriage provided with the ink jet printer head is reciprocated in the width direction (main scanning direction) orthogonal to the paper transport direction (sub scanning direction), and the width direction of the paper. When the printing operation is performed, the nozzle row direction of the inkjet printer head is arranged in parallel with the paper transport direction (sub-scanning direction). Therefore, the printing range (printing length) in the sub-scanning direction, which can be printed by the carriage movement in the main scanning direction, substantially corresponds to the length of each nozzle row. For example, an inkjet printer head in which 72 nozzles are staggered in a length of 1 inch (25.4 mm) in the sub-scanning direction prints in the sub-scanning direction by one movement in the main scanning direction. The possible range (length) is 1 inch.
[0004]
  And with recent increase in printing speed and quality of printers, the number of nozzles in the sub-scanning direction is increased at the same short nozzle interval (dot interval), and the length of the nozzle row is about 2 inches. For example, it is desired to lengthen the nozzle row. In that case, when forming nozzles and pressure chambers on the plate in the cavity unit, due to the manufacturing method such as laser processing or etching processing, and the material of the plate (made of metal or synthetic resin), the interval between the nozzles and pressure chambers is: Regardless of the number, it can be obtained almost exactly as designed.
[0005]
  On the other hand, in order to form as many active portions as the number of the nozzles on the piezoelectric ceramic plate of one piezoelectric actuator, the length of the actuator ceramic plate must be increased.
[0006]
  As is well known, when the piezoelectric actuator is manufactured, the piezoelectric ceramic plate with the common electrode patterned and the piezoelectric ceramic plate with the individual electrode patterned are alternately stacked and then fired. From the firing, the piezoelectric ceramic plate usually contracts in the length direction, the width direction, and the thickness direction, and the contraction amount in the length direction (nozzle row direction) is particularly large. In consideration of the amount of contraction (contraction rate), the interval between the individual electrodes to be patterned is set.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
  However, due to variations in manufacturing accuracy of piezoelectric ceramic plates and variations in firing temperature, the longer the length of the piezoelectric ceramic plates, the more difficult it is to adjust the spacing between the individual electrodes in the finished state to the pressure chamber spacing. As a result, there was a problem that the product yield deteriorated.
[0008]
  In the present invention, instead of increasing the length of the piezoelectric actuator in the nozzle row direction, the piezoelectric actuator is divided into a plurality of columns in the nozzle row direction and arranged in a vertical row. By devising the form of the ink flow path up to this point, it is a technical problem to simply provide a large inkjet printer head while suppressing manufacturing costs.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, an ink jet printer head according to a first aspect of the present invention includes a plurality of nozzles arranged in a line on the front surface, a pressure chamber corresponding to each nozzle, and a pressure chamber from each pressure chamber. A plurality of plates each having an ink flow path communicating with each nozzle, and manifold chambers for replenishing ink to a plurality of pressure chambers corresponding to the plurality of nozzles in the row after storing ink from an ink supply source; In an inkjet printer head formed by laminating a cavity unit formed by laminating and an actuator for ejecting ink having an active part that can be selectively driven for each pressure chamber,The pressure chamber is divided into a plurality of groups every appropriate number in the row direction of the nozzles,The actuator;Corresponding to each group of pressure chambersDividing into a plurality and arranging a plurality of adjacent end portions of the actuators facing each other, out of the arrangement intervals of the pressure chambers in the cavity unit, theMore than the interval between the pressure chambers in the row direction of the other nozzles between adjacent groupsAn ink flow path that is set large and communicates from each pressure chamber in the cavity unit to the corresponding nozzle is formed to be inclined with respect to the plate thickness direction of the plurality of plates in the cavity unit.
[0010]
  According to a second aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first aspect of the present invention, the interval between the active portions in each actuator and the corresponding interval between the pressure chambers are set as the nozzle arrangement interval.Same asIt is characterized by being set to.
[0011]
  According to a third aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first or second aspect, the plurality of nozzles are arranged in four rows, and the nozzles are arranged corresponding to the rows of the nozzles. The actuator is characterized in that four rows of active portions are formed so as to correspond to the rows of the nozzles.
  According to a fourth aspect of the present invention, in the inkjet printer head according to any one of the first to third aspects, an end portion of each actuator facing the end portion of the other adjacent actuator, and a row direction of the nozzles The space between the active portion at the most row end is set to be larger than ½ of the arrangement pitch of the active portions.
  According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first to fourth aspects, each actuator is overlapped in plan view with an individual electrode corresponding to each pressure chamber and a row of the individual electrodes. The piezoelectric actuator is formed by sandwiching a piezoelectric sheet between the common electrode and the common electrode, and a portion of the piezoelectric sheet between the individual electrode and the common electrode is used as the active portion.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a partially cutaway perspective view of a cavity unit 11 and a piezoelectric actuator 12 in a piezoelectric ink jet printer head 10 according to an embodiment of the present invention. In FIG. On the upper surface of the plate-type piezoelectric actuator 12 to be bonded, a flexible flat cable 13 (see FIGS. 5 and 6) is overlap-bonded with an adhesive for connection to an external device.
[0013]
  The cavity unit 11 is configured as shown in FIGS. That is, a total of nine plates including a nozzle plate 14, a descending plate 15, a damper plate 16, two manifold plates 17, 18, three spacer plates 19, 20, 21 and a base plate 22 on which pressure chambers 23 are formed. Each of the plates 15 to 22 is made of 42% nickel alloy steel plate and has a structure of 50 μm to 150 μm except for the nozzle plate 14 made of synthetic resin. Have a thickness of about.
[0014]
  The nozzle plate 14 has a nozzle 24 for ejecting ink having a very small diameter (in the embodiment, about 25 μm) (reference numerals 24a, 24b, 24c, and 24d are assigned to nozzles in individual rows). 14 in a staggered arrangement of four rows along the first direction (the long side direction of the cavity unit 11 and the X-axis direction in FIG. 2) (see FIG. 2).
[0015]
  That is, the first row of nozzles 24a and the second row of nozzles 24b each have a minute pitch P along two parallel adjacent reference lines (not shown) extending in the first direction of the nozzle plate 14. A plurality of nozzles 24c and a fourth row 24d are formed in a staggered arrangement at intervals of the same distance, and two parallel adjacent reference lines extending in the first direction are also provided. A large number of holes are formed in a staggered arrangement at intervals of a minute pitch P. Further, the set of the first row nozzle 24a and the second row nozzle 24b and the set of the third row nozzle 24c and the fourth row nozzle 24d are arranged in the short side direction (second direction) of the cavity unit 11. 2 are arranged in parallel with a gap in the Y-axis direction (see FIG. 2). In the embodiment, the length of each nozzle row of the first row to the fourth row is 2 inches, and the number of each nozzle 24 is 150, that is, the arrangement density is 75 (dpi [dot per inch]). Yes (see FIG. 5).
[0016]
  Next, two piezoelectric actuators 12 (individually arranged) are arranged so that the pressure chambers 23 are arranged in the column direction (first direction) of the nozzles 24 on the base plate 22 which is the uppermost layer of the cavity unit 11. Will be described from the relationship with the arrangement of the active portion in the reference numerals 12a and 12b).
[0017]
  One piezoelectric actuator 12a (or 12b) has 75 active portions so as to actuate half (75 per row) of pressure chambers 23 in the row direction out of the number of nozzles 24 in the four rows. Arranged. Accordingly, as shown in FIGS. 2 and 6A, one piezoelectric actuator 12a is disposed in the front half of the longitudinal direction (the first direction) of the upper surface of the cavity unit 11, and the other piezoelectric actuator is disposed in the rear half. An actuator 12b is arranged.
[0018]
  In each piezoelectric actuator 12a (or 12b), as will be described in detail later, the common electrode 37 and the individual electrode 36 arranged corresponding to each position of each pressure chamber 23 are alternately sandwiched between the piezoelectric sheets. By applying a voltage between any individual electrode 36 and the common electrode 37, the active portion of the piezoelectric sheet corresponding to the applied individual electrode 36 is distorted by the piezoelectric longitudinal effect in the stacking direction. Will occur. The active portions are formed in the same number in the same row with the same number as the number of pressure chambers 23.
[0019]
  That is, the active portions are arranged along the row direction (first direction) of the nozzles 24 (pressure chambers 23) and in the second direction by the same number as the number of the nozzle rows (four). Are lined up. In addition, each active portion is formed long in the longitudinal direction of the pressure chamber 23 in the second direction (width direction of the cavity unit 11), and an arrangement interval (pitch P) between adjacent active portions is also described later. The arrangement is similar to that of FIG. 4 and is staggered (see FIG. 4).
[0020]
  The pressure chambers 23 are arranged in two groups in the longitudinal direction of the base plate 22 corresponding to the two piezoelectric actuators 12a and 12b. In other words, the pressure chambers 23 of the group corresponding to one actuator 12a correspond to those in the first half of the row direction (first direction) of the nozzles 24, and the pressure chambers 23 of the group corresponding to the other actuator 12b are Corresponding to the latter half of the nozzle 24 in the row direction (first direction), two sets of two staggered arrays each having the same interval as the arrangement interval (pitch P) of the nozzles 24, for a total of four rows Are arranged.
[0021]
  Each of the pressure chambers 23 is formed so as to be long in the width direction (second direction) of the base plate 22 and penetrate the base plate 22 in the thickness direction. One end of each pressure chamber 23 is connected to each of the communication paths formed through the spacer plates 19, 20, 21, the manifold plates 17, 18, the damper plate 16 and the intermediate plate 15 located between the base plate 22 and the nozzle plate 14. The nozzles 24 communicate with each nozzle 24 through 25 (individually labeled 25a, 25b, 25c, 25d, 25e, 25f, and 25g). Further, the other end of each pressure chamber 23 communicates with a manifold chamber 26 described later formed in the spacer plates 19, 20, 21.
[0022]
  As shown in FIGS. 2 and 5, the space L2 between the two groups of pressure chambers 23 is set to be wider in the longitudinal direction of the base plate 22 than the space between the pressure chambers 23 (pitch P). This is because, in manufacturing each piezoelectric actuator 12a, 12b, the distance L1 between the electrodes 36, 37 at the end of the row and the end of the piezoelectric actuator adjacent thereto is made 1/2 or less of the pitch P of the electrodes 36. Therefore, the distance L1 is set to a size that facilitates the manufacture of the piezoelectric actuators 12a and 12b, and a larger interval L2 is set. Adjacent piezoelectric actuators 12a and 12b are positioned with a gap between their ends.
[0023]
  Thereby, since the pitch P of the nozzles 24 is set to be constant in the row direction, the communication path 25 connecting one end of each pressure chamber 23 to the nozzle 24 is inclined with respect to the stacking direction of the plates. become. The communication passage 25 is inclined symmetrically with the center of the interval L2 between the two groups of pressure chambers 23 as a boundary.
[0024]
  Manifold chambers 26 (individually, 26 a, 26 b, 26 c, 26 d, 26 e, 26 f, 26 g, and 26 h) are bored in the two manifold plates 17 and 18 so as to extend along the row of the nozzles 24. It is installed. More specifically, the length of each manifold chamber 26 is a length obtained by dividing the pressure chambers 23 arranged in the direction of each nozzle row into appropriate numbers. In the embodiment, as shown in FIG. Since there are four rows of pressure chambers 23 in the cavity unit 11, the length of one group (the number of pressure chambers 23 in one row is 75) is 1 in the cavity unit 11. Place every two columns. Accordingly, in the embodiment of FIGS. 2 and 3, eight manifold chambers 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, 26f, 26g, and 26h are formed. One end portion in the longitudinal direction of each manifold chamber 26 extends to the opposite side of each group so as to communicate with an ink supply hole 31 from an ink supply source (not shown), and in addition to each manifold chamber 26a, 26c, 26e, and 26g. The end is close to the other end of the manifold chambers 26b, 26d, 26f, and 26h of other groups. Further, the depth of each manifold chamber 26 is drilled and formed by laser processing, plasma jet processing, electrolytic etching processing or the like so as to cover the entire plate thickness of the manifold plates 17, 18. The first spacer plate 19 on the upper layer 18 and the damper plate 16 on the lower layer are stacked so as to be sealed. The damper plate 16 is formed with a damper chamber 27 having the same shape as the manifold chamber 26 in plan view and having a plate thickness reduced by etching on the lower surface side.
[0025]
  Of the pressure waves acting on the pressure chamber 23 by driving the piezoelectric actuator 12, the retreat component toward the manifold chamber 26 is absorbed by the vibration of the damper plate 16 having a thin plate thickness to prevent so-called crosstalk. To do.
[0026]
  The second spacer plate 20 is formed with an ink flow restricting portion 28 corresponding to each pressure chamber 23. As shown in FIG. 6B, the diaphragm portion 28 is formed such that the area of both end portions 28a and 28b in the longitudinal direction is large and the middle area is small as shown in FIG. In addition, the longitudinal direction of each throttle portion 28 is formed to be parallel to the longitudinal direction of the pressure chamber 23. Then, the diaphragm portion 28 is sealed by laminating the first spacer plate 19 on the lower surface side of the second spacer plate 20 and the third spacer plate 21 on the upper surface side. A first ink passage 29 formed in the first spacer plate 19 communicates with the manifold chamber 26 and one end portion 28 a of the throttle portion 28. On the other hand, the second ink passage 30 formed in the third spacer plate 21 communicates with the other end portion 28b of the throttle portion 28 and the other end portion of the pressure chamber 23 (see FIG. 6A). .
[0027]
  As shown in FIG. 2, eight large-diameter ink supply holes 31 a, 31 b, 31 c, and so on are provided at both longitudinal ends of the base plate 22, the third, second, and first spacer plates 21, 20, and 19. A hole 31d is formed so as to communicate with the top and bottom and communicate with the end of each manifold chamber 26. In addition, a filter 32 for removing dust in the ink supplied from an ink supply source such as an ink tank above is stretched on the upper surface of the ink supply hole 31a formed in one end of the spacer plate 13. It is installed.
[0028]
  On the other hand, as shown in FIG. 4, each of the piezoelectric actuators 12 includes a plurality of (4 to 10) piezoelectric sheets 33 and 34 each made of a piezoelectric ceramic plate having a thickness of about 30 μm and the top of the uppermost layer. In this structure, the sheet 35 is laminated. Then, on the upper surface (wide surface) of the lowermost piezoelectric sheet 33 and the odd-numbered piezoelectric sheet 33 counting upward from the lowermost piezoelectric sheet 33, as shown in FIG. 4, each location corresponding to each pressure chamber 23 in the cavity unit 11. The narrow individual electrodes 36a, 36b, 36c, and 36d are arranged along the first direction (the long side direction of the piezoelectric sheet 33, the X direction in FIG. 4, the row direction of the nozzles 24a, 24b, 24c, and 24d). It is formed in a shape.
[0029]
  Each individual electrode 36a, 36b, 36c, 36d extends in parallel with the short side of each piezoelectric sheet 33 along a second direction (Y-axis direction) orthogonal to the first direction. In that case, each individual electrode 36a, 36b, 36c, 36d is formed to have a width that is substantially the same as that of each of the pressure chambers 23a, 23b, 23c, 23d and slightly narrower than the pressure chamber in plan view. The first row of individual electrodes 36a and the fourth row of individual electrodes 36d arranged on the outermost row side are respectively arranged on the side close to the side edge of the pair of long sides of each piezoelectric sheet 33. .
[0030]
  In addition, the individual electrode 36b in the second row and the individual electrode 36c in the third row are located near the center in the short side direction of each piezoelectric sheet 33 (near the center between the pair of long sides of each piezoelectric sheet 33). Is located in the region). On the piezoelectric sheet 33 other than the lowermost layer, a dummy common electrode 43 is formed at a location overlapping with a lead portion 37a of the common electrode 37 described later in plan view.
[0031]
  On the other hand, the common electrode 37 is printed on the surface of the even-numbered piezoelectric sheet 34 from the bottom, and the first direction of the piezoelectric sheet 34 (the X-axis direction, the direction along the long side of the piezoelectric sheet 34).InIt consists of two long trunk portions 37a and 37b, and a lead portion 37c connected to both the trunk portions 37a and 37b and extending along the short edge of the piezoelectric sheet 34. The one trunk portion 37a is disposed at a position overlapping with most of the individual electrode 36a in the first row and the individual electrode 36b in the second row in plan view, and along the both sides of the trunk portion 37a. The dummy electrodes 38a and 38b arranged at regular intervals are arranged at positions overlapping with a part of the individual electrodes 36a in the first row and the individual electrodes 36b in the second row in plan view.
[0032]
  Similarly, the other trunk portion 37b is arranged at a position overlapping with most of the individual electrode 36c in the third row and the individual electrode 36d in the fourth row in plan view, while the trunk portion 37b The dummy electrodes 38c and 38d arranged at regular intervals along both sides are arranged at positions overlapping with a part of the third row of individual electrodes 36c and the fourth row of individual electrodes 36d in plan view. Yes.
[0033]
  On the surface (upper surface) of the top sheet 35, four rows of surface electrodes 39a, 39b, 39c, 39d for the four rows of individual electrodes 36a, 36b, 36c, 36d, and a surface electrode 40 for the common electrode 37 are provided. And are provided. Then, except for the lowermost piezoelectric sheet 33, the upper piezoelectric sheets 33 and 34 and the top sheet 35 are respectively provided with the surface electrodes 39a, 39b, 39c and 39d, and the upper and lower positions corresponding to them respectively. Conductive members (conductive paste) in which through-holes 41 are formed in which the electrodes 36a, 36b, 36c, 36d and the dummy electrodes 38a, 38b, 38c, 38d communicate with each other in the vertical direction, and the through-holes 41 are filled. So that they can be electrically connected to each other. Similarly, through-holes 42 communicating with the surface electrode 40 in the top sheet 35, the lead-out portion 37 c of the common electrode 37 in the lower piezoelectric sheet 34 corresponding thereto, and the dummy common electrode 43 in the piezoelectric sheet 33 are vertically connected. The through holes 42 are connected to each other through conductive members (conductive paste) filled in the through holes 42 so as to be electrically connected to each other.
[0034]
  In addition, as a manufacturing method of the piezoelectric actuator 12, the individual electrode, the common electrode, the dummy electrode, the dummy common electrode, and the surface electrode are electrically conductive paste such as silver-palladium paste on the surface of the ceramic substrate which is a piezoelectric sheet. Is formed by screen printing, dried, laminated, and fired. As a matter of course, the dummy electrodes 38a, 38b, 38c, and 38d are formed in an island shape so as not to be electrically connected to the adjacent electrodes and the common electrode 37. Similarly, the dummy common electrode 43 is electrically connected to the individual electrode.SetIt is formed in an island shape so that there is no.
[0035]
  An adhesive sheet (not shown) made of a non-ink-permeable synthetic resin material as an adhesive layer is formed on the entire lower surface (the wide surface facing the pressure chamber 23) of the plate-type piezoelectric actuator 12 having such a configuration. Then, the piezoelectric actuator 12 is bonded and fixed to the cavity unit 11 with the individual electrodes corresponding to the pressure chambers 23 in the cavity unit 11 (see FIG. 5 and FIG. 6 (a)). Further, when the flexible flat cable 13 is pressed against the upper surface of the piezoelectric actuator 12, various wiring patterns (not shown) in the flexible flat cable 13 are changed to the surface electrodes 39. , 40 are electrically joined.
[0036]
  In this configuration, a high voltage for polarization is applied between all the individual electrodes 36 and the common electrode 37 via the surface electrodes 39 and 40 in the piezoelectric actuator 12, so that each individual electrode 36 and the common electrode 37 can be connected to each other. The portions of the piezoelectric sheets 33 and 34 sandwiched between the two are polarized. As a result, the portions of the piezoelectric sheets 33 and 34 sandwiched between the individual electrodes 36 and the common electrode 37 serve as active portions. When a driving voltage is applied between the individual electrode 36 and the common electrode 37 through the arbitrary surface electrode 39 and the surface electrode 40 to generate an electric field parallel to the polarization direction in the corresponding active portion, The active portion extends in the stacking direction, the internal volume of the corresponding pressure chambers 23a to 23d is reduced, and the ink in the pressure chambers 23a to 23d is ejected in the form of droplets from the nozzles 24a to 24d to perform predetermined printing. Is performed (see FIG. 6A).
[0037]
  When four colors of ink (black, cyan, yellow, magenta) are used for color printing, for example, the first row of nozzles 24a is used for discharging black ink, and the second row of nozzles 24b is used for cyan ink. When the third row of nozzles 24c are set to discharge yellow ink and the fourth row of nozzles 24d are set to discharge magenta ink, the first row of manifolds formed on the corresponding manifold plate 17 (18) shown in FIG. The chambers 26a and 26b are filled with black ink, the second row manifold chambers 26c and 26d are filled with cyan ink, the third row manifold chambers 26e and 26f are filled with yellow ink, and the fourth row. The manifold chambers 26g and 26h in the row are filled with magenta ink.
[0038]
  As described above, in the present embodiment, the pressure chambers 23 are divided into two groups along the row direction of the nozzles 24, and the interval between the groups is increased to L2. Regardless of the grouping, it is narrowed to P (<L2), and the communication passage 25 communicating from the pressure chamber 23 to the nozzle 24 is formed in an inclined shape. When a head having a large number of nozzles is manufactured while keeping the same, the piezoelectric actuators 12a and 12b can be used by arranging the nozzles 24 having a short length in the row direction. Accordingly, since the amount of contraction when firing each actuator when the piezoelectric actuator is manufactured is reduced, the variation in the interval between the active portions can be reduced, and a piezoelectric actuator with high dimensional accuracy can be manufactured efficiently.
[0039]
  Further, in the case of an inkjet printer head that has already been developed and has 75 nozzles 24 (pressure chambers 23) in the longitudinal direction (row direction) arranged in a length of 1 inch, piezoelectrics for that purpose are available. By using a plurality of actuators 12, a nozzle array having a length of 2 inches or several inches can be easily manufactured.
[0040]
  Further, assuming that the length, depth, and plan view shape of the manifold chamber in the cavity unit corresponding to the conventional piezoelectric actuator have already been designed, in the embodiment, the length of the nozzle row is 2 inches or several inches. Even in this case, as shown in FIG. 3, the lengths of the manifold chambers 26 in each row are divided to form the same length, depth and plan view shape as those already designed. In other words, the manifold chamber 26 is divided into the longitudinal direction of the cavity unit 11, that is, the half of the total number 150 (2 inches in length) of the pressure chambers 23 (nozzles 24) in the row direction (75 in number (1 inch)). Formed and arranged as described above.
[0041]
  That is, since the manifold chamber 26 is not lengthened in response to the increase in the number of nozzles (the nozzle row is lengthened), the flow path resistance increases and the ink supply amount decreases as the manifold chamber 26 lengthens. There is nothing to do. Further, in order to reduce the flow resistance, it is necessary to increase the width and depth of the manifold chamber 26. In this case, the cavity unit 11 is not only enlarged, but also from the pressure chamber 23 to the manifold chamber by driving the actuator. In order that the component of the pressure wave propagated to the 26th side does not cause crosstalk, the drive voltage, drive timing, drive waveform, and the like of the actuator 12 must be changed. In the above-described embodiment, the actuator chamber drive voltage, drive timing, drive waveform, and the like have already been developed and designed by simply arranging the manifold chamber 26 that has already been developed and designed corresponding to the group of pressure chambers 23. The present invention can be applied almost as it is, and the ejection form of ink from the nozzles 24 can be made the same as before.
[0042]
  In the illustrated embodiment, when the plurality of piezoelectric actuators 12a and 12b are arranged in a row along the row direction of the nozzles 24, a gap is provided between the opposing ends of the actuators 12a and 12b. You may arrange | position so that it may become almost zero.
[0043]
  Thus, if the conventional piezoelectric actuator 12 is used and the manifold chamber 26 is manufactured using the conventional product in the length, depth, and shape in plan view, printing performance and printing accuracy (nozzle dot The density) is almost the same as that of the conventional product, and it is possible to easily realize an inkjet printer head having a long one row, and it is possible to save (shorten) labor (period) and cost required for product design and development. There is an effect.
[0044]
  In the present invention, the number of pressure chambers 23 (nozzles 24) corresponding to the length of the manifold chamber is not limited, and the number of piezoelectric actuators 12 to be arranged is not limited.
[0045]
  It should be noted that the rows of the plurality of nozzles 24 in the cavity unit 11 are four rows, and the manifold chambers 26 arranged corresponding to the rows of the nozzles 24 extend along the direction in which the rows of the nozzles 24 extend. If formed in a substantially parallel shape, there is no inconvenience even if the row of nozzles 24 and the row of manifold chambers 26 are overlapped in a plan view, and a compact one in which the area of the plan view shape of the cavity unit 11 is reduced. There is an effect that it can be produced.
[0046]
  As a modification of the present invention, if two cavity units 11 (piezoelectric actuators 12a and 12b are arranged in tandem in the X-axis direction) shown in FIG. Since an inkjet printer head in which rows having 300 nozzles in an inch are arranged in parallel in four rows is used, when a four-color printer is used in which the ink color is changed for each row, the number of high-density dots ( 150 dpi) and a large printer head having a printing range in the sub-transport direction of 2 inches, and high-speed printing can be achieved at high density.
[0047]
  Moreover, in the said embodiment, although the row | line | column of the nozzle was 4 rows, it can apply with respect to 1 or more nozzle rows in this invention. In addition to actuators that use piezoelectric elements, actuators that vibrate the diaphragm that covers the back of each pressure chamber by static electricity and eject ink from the nozzles, and Joule heat generating elements for each pressure chamber The Joule heat generating element is heated by the drive signal to vaporize the ink in the pressure chamber and pressurize the ink ejected from the nozzle.
[0048]
[Operation and effect of the invention]
  As described above, the ink jet printer head according to the first aspect of the present invention includes a plurality of nozzles arranged in a line on the front surface, a pressure chamber corresponding to each nozzle, and the pressure chamber from the pressure chamber. A plurality of plates each having an ink flow path communicating with each nozzle, and manifold chambers for replenishing ink to a plurality of pressure chambers corresponding to the plurality of nozzles in the row after storing ink from an ink supply source; In an inkjet printer head formed by laminating a cavity unit formed by laminating and an actuator for ejecting ink having an active part that can be selectively driven for each pressure chamber,The pressure chamber is divided into a plurality of groups every appropriate number in the row direction of the nozzles,The actuator;Corresponding to each group of pressure chambersDividing into a plurality and arranging a plurality of adjacent end portions of the actuators facing each other, out of the arrangement intervals of the pressure chambers in the cavity unit, theMore than the interval between the pressure chambers in the row direction of the other nozzles between adjacent groupsAn ink flow path that is set large and communicates from each pressure chamber in the cavity unit to the corresponding nozzle is formed to be inclined with respect to the plate thickness direction of the plurality of plates in the cavity unit.
[0049]
  By configuring in this way, even when the number of nozzles is increased and the nozzle row is lengthened with the nozzle arrangement interval (pitch) being the same as the previous one, the actuator has a short length in the nozzle row direction. Can be used. Therefore, since the amount of contraction when the actuator is manufactured is reduced, the variation in the interval between the active portions can be reduced, and an actuator with high dimensional accuracy can be manufactured efficiently and inexpensively.
[0050]
  This also makes it possible to easily manufacture an ink jet printer head having a nozzle row corresponding to several times the length of the actuator.
[0051]
  According to a second aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first aspect of the present invention, the interval between the active portions in each actuator and the corresponding interval between the pressure chambers are set as the nozzle arrangement interval.Same asThe large-scale inkjet printer head can be efficiently used without changing the basic performance, changing the drive voltage and drive timing. It can be manufactured and can be used for a printer capable of high-speed printing.
[0052]
  According to a third aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first or second aspect, the plurality of nozzles are arranged in four rows, and the nozzles are arranged corresponding to the rows of the nozzles. Since the actuator is characterized in that four rows of active portions are formed so as to correspond to the rows of the nozzles, in addition to the effect of the invention according to claim 1 or 2, The effect is that a color ink jet printer can be manufactured in a compact manner.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial perspective view showing a cavity unit and a piezoelectric actuator of a piezoelectric inkjet printer head according to an embodiment of the present invention separately.
FIG. 2 is an exploded perspective view of a cavity unit.
FIG. 3 is a perspective view of a manifold plate.
FIG. 4 is a partially enlarged perspective view showing an arrangement pattern of individual electrodes and common electrodes in a piezoelectric actuator.
5 is an enlarged cross-sectional view of an intermediate portion of an inkjet printer head in a state where a flexible flat cable, a cavity unit, and a piezoelectric actuator are bonded and fixed as viewed in a cross section in the X-axis direction of FIG. 1 or FIG.
6A is an enlarged cross-sectional view of a midway portion of the inkjet printer head as seen in the cross section in the Y-axis direction of FIG. 1 or FIG. 2, and FIG.
[Explanation of symbols]
    10 Inkjet printer head
    11 Cavity unit
    12 Piezoelectric actuator
    13 Flexible flat cable
    14 Nozzle plate
    15 Intermediate plate
    16 Damper plate
    17, 18 Manifold plate
    19, 20, 21 Spacer plate
    22 Base plate
    23 Pressure chamber
    24 nozzles
    25 Communication path as ink flow path
    26 Manifold room
    27 Damper room
    28 Aperture part
    29, 30 Ink passage
    31a to 31d Ink supply hole
    33, 34 Piezoelectric sheet
    36 Individual electrodes
    37 Common electrode

Claims (5)

前面に列状に配置された複数個のノズルと、該各ノズル毎に対応する圧力室と、各圧力室から前記各ノズル毎に連通するインク流通路と、インク供給源からインクを溜めたのち前記列状の複数のノズルに対応する複数の圧力室にインクを補充するマニホールド室とを有した複数枚のプレートとを積層してなるキャビティユニットと、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを噴射させるアクチュエータとを積層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧力室を、前記ノズルの列方向の適宜数毎に複数のグループに分割し、
前記アクチュエータを、前記圧力室の各グループに対応させて複数に分割し、且つ隣接するアクチュエータの端部を相互に対向させて複数配置し、
前記キャビティユニットにおける圧力室の配置間隔のうち、前記隣接するグループの間を他の前記ノズルの列方向における圧力室の配置間隔よりも大きく設定し、
前記キャビティユニットにおける各圧力室から対応するノズルまで連通するインク流通路を、キャビティユニットにおける複数枚のプレートの板厚方向に対して傾斜状に形成したことを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
A plurality of nozzles arranged in a row on the front surface, a pressure chamber corresponding to each nozzle, an ink flow path communicating from each pressure chamber to each nozzle, and an ink supply source after collecting ink A cavity unit formed by laminating a plurality of plates each having a plurality of pressure chambers corresponding to the plurality of nozzles arranged in a row and a manifold chamber for replenishing ink, and can be selectively driven for each pressure chamber In an inkjet printer head formed by laminating an actuator having an active part and ejecting ink,
The pressure chamber is divided into a plurality of groups every appropriate number in the row direction of the nozzles,
The actuator is divided into a plurality corresponding to each group of the pressure chambers, and a plurality of adjacent actuators are arranged opposite to each other,
Among the arrangement intervals of the pressure chambers in the cavity unit , set between the adjacent groups larger than the arrangement intervals of the pressure chambers in the row direction of the other nozzles ,
An ink jet printer head, wherein an ink flow path communicating from each pressure chamber in the cavity unit to a corresponding nozzle is formed to be inclined with respect to a thickness direction of a plurality of plates in the cavity unit.
前記各アクチュエータにおける活性部の間隔と、対応する圧力室の間隔とを、前記ノズルの配置間隔と同じに設定したことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッド。2. The ink jet printer head according to claim 1, wherein the interval between the active portions in each actuator and the interval between the corresponding pressure chambers are set to be the same as the arrangement interval of the nozzles. 前記複数のノズルからなる列を4列とし、前記各ノズルの列に対応させて配置する前記アクチュエータには、前記各ノズルの列に対応するように4列の活性部が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインクジェットプリンタヘッドIt is assumed that the rows of the plurality of nozzles are four rows, and that the actuators arranged corresponding to the rows of the nozzles have four rows of active portions corresponding to the rows of the nozzles. The ink jet printer head according to claim 1, wherein the ink jet printer head is provided . 前記各アクチュエータにおける前記隣接する他のアクチュエータの端部と対向する端部と、前記ノズルの列方向の最列端の前記活性部との間は、前記活性部の配列ピッチの1/2よりも大きく設定したことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。The distance between the end of each of the actuators facing the end of the other adjacent actuator and the active part at the end of the nozzle in the row direction is more than half of the arrangement pitch of the active parts. 4. The ink jet printer head according to claim 1, wherein the ink jet printer head is set large. 前記各アクチュエータは、前記各圧力室毎に対応した個別電極とその個別電極の列に平面視重複して位置するコモン電極との間に圧電シートを挟んで形成した圧電アクチュエータであり、前記個別電極とコモン電極との間の圧電シートの部分を前記活性部としていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。Each of the actuators is a piezoelectric actuator formed by sandwiching a piezoelectric sheet between an individual electrode corresponding to each pressure chamber and a common electrode positioned in an overlapping manner in a row of the individual electrode in plan view. The inkjet printer head according to claim 1, wherein a portion of the piezoelectric sheet between the first electrode and the common electrode is the active portion.
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