JP3930614B2 - High-speed imaging device and high-speed imaging device - Google Patents
High-speed imaging device and high-speed imaging device Download PDFInfo
- Publication number
- JP3930614B2 JP3930614B2 JP22514497A JP22514497A JP3930614B2 JP 3930614 B2 JP3930614 B2 JP 3930614B2 JP 22514497 A JP22514497 A JP 22514497A JP 22514497 A JP22514497 A JP 22514497A JP 3930614 B2 JP3930614 B2 JP 3930614B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partial
- light receiving
- output unit
- accumulation
- imaging device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フレーム・インターライン・トランスファ型のCCD(Charge Coupled Device:固体撮像素子)を用いた高速度撮像素子および高速度撮像装置に関する。とくに、電荷の並列読出しおよび部分読出しを実行できるようにした高速度撮像素子および高速度撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
高速度撮像はスローモーション再生など、種々の分野で有用である。スローモーション再生を行うには、規格速度(NTSC方式のときは30画面/秒、PAL方式のときは25画面/秒)より大きい速度で撮像し、その画像データを規格速度で再生するとスローモーション映像を見ることができる。例えば、規格速度のn倍の速度で撮像した画像データを規格速度で再生すると、被写体の動きを1/nに遅くして観察することができる。このスローモーション画像は、周知の如く、スポーツ選手の運動動作の解析やスポーツ勝敗の判定に有用であるばかりでなく、様々な学術研究や工業生産分野での動態解析に著しう有用性を発揮している。
【0003】
一般に、このような高速度撮像の1つの手法として、CCD型撮像素子やMOS型撮像素子などの撮像素子のクロック周波数を上げることで反応速度を速くすることが知られている。しかし、この撮像素子の反応速度自体に一定の物理的制限があるので、クロック周波数を上げることに拠る撮像速度の高速化にも限界がある。
【0004】
この限界以上の高速化を実現するには、その1つの手法として、撮像素子からの出力数を複数にして並列に電荷を読み出す、いわゆる並列読出しの方法がある。例えば、1出力の構成で30画面/秒の規格の撮像素子に対して、読出し数を4並列に変更すれば、撮像速度を原理的には4倍の120画面/秒に上がることができる。
【0005】
ここで、このような並列読出しの従来例を図5に示す。この従来例は、フレームトランスファ型(フレーム・インターライン・トランスファ型)のCCD撮像素子について16個の並列読出しを行うように実施したものである。
【0006】
同図において、CCD撮像素子101は1チップの集積回路上に、非遮光状態の受光領域102、遮光状態の蓄積領域103、および出力部104を備える。受光領域102は、例えば水平方向512画素×垂直方向256画素に相当する複数の受光部が2次元配列されている。蓄積領域103は上記複数の受光部数分の蓄積部を、受光領域の垂直方向の両側にセパレートして第1、第2の蓄積領域103a,103bに分割配列されている。さらに出力部104は、垂直方向の両側にて第1、第2の蓄積領域に隣接して配置された第1、第2の水平レジスタ104a,104bを備える。第1、第2の水平レジスタ104a,104bは例えば8個の並列読出しチャンネル1〜8および9〜16を夫々有し、個々の読出しチャンネルから出力アンプ105を介して受光部の電荷が読み出される。このCCD撮像素子には、図示しない外部の駆動回路から駆動信号が供給されている。これにより、16チャンネルの並列読出しが可能になっている。
【0007】
受光領域102の各受光部に光が入射すると、その光は強度に電荷に変換される。外部から供給される駆動信号により全受光部の蓄積電荷が画素単位で蓄積領域に転送される。ここでは、受光領域102の受光部の半分ずつが第1、第2の蓄積領域103a,103bに別れて転送される。この分割転送により、転送時間の短縮が図られている。第1、第2の蓄積領域103a,103bにおいても、駆動信号に応答して電荷が画素単位で垂直方向に転送される。画素毎の第1、第2の蓄積領域103a,103bへの電荷転送を繰り返すことで、全受光部の電荷が第1、第2の蓄積領域の全蓄積部に一時的に蓄積された状態が得られる。
【0008】
次いで、第1、第2の水平レジスタ104a,104bに外部から駆動信号が供給されると、各読出しチャンネルから画素単位で蓄積領域の各蓄積部に蓄積されていた電荷が読み出される。この場合、第1、第2の水平レジスタ104a,104bそれぞれの各読出しチャンネルが担当する読出し画素数(水平方向の蓄積部の数)は全て均等(例えば、64個)になっている。これにより、16チャンネルの並列読出しが実施できる。
【0009】
【外1】
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のFT型CCD撮像素子にあっては、並列読出しチャンネル分に応じた高速撮像化は達成できるものの、1画面当たりの読出し画素数を減らして読み出す手法の「部分読出し」が実際上、時間短縮という観点からは効かないという状況にある。つまり、上述した図5に示す構成の素子において、例えば読出しチャンネル3〜6、11〜14までの中央部分の読出しに必要な時間と、読出しチャンネル1〜16の全ての読出しに必要な時間とは全く同じであるから、1画面の画素数を減らして読み出す、いわゆる部分読出しの効果は出ない。
【0011】
光学的マスクなどの構造体を使用しないで電気的に部分読出しができれば、部分読出しを行うときと行わないときとで、1種類の撮像素子でありながら、違う撮像速度(フレームレート)に対処できる。
【0012】
しかしながら、従来のFT型CCD撮像素子にあっては、部分読出しの効果、すなわち、部分読出しに拠る読出し時間短縮の効果が実際上、出ないから、1つの撮像素子で違う値の撮影速度に対処できない。これにより、撮像対象が要求する高速撮影速度(フレームレート)が異なる場合、撮像素子そのものを交換しなければならないなど、汎用性に欠けるという問題があった。
【0013】
さらに、従来のFT型CCD撮像素子では、部分読出しの効果が無いために並列読出しと部分読出しとを併用しても意味が無いから、撮像高速化の面において貢献できるのは並列読出しだけである。したがって、撮影の高速化の面でも物足りないという状況にあった。
【0014】
本発明は、このような従来技術が有する問題に鑑みてなされたもので、部分読出しが効かないとされていた従来のFT型CCD撮像素子において、部分読出しを可能にし、この部分読出しの実行、非実行の態様を通して、異なる撮像速度 (フレームレート)にも対処でき、汎用性の高い撮像素子および撮像装置を提供することを、その目的とする。
【0015】
また、本発明は、部分読出しが効かないとされていた従来のFT型CCD撮像素子において、そのように汎用性を高めるとともに、撮影の高速化も一層推し進めた撮像素子および撮像装置を提供することを、別の目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成させるため、本発明の一側面によれば、光信号を電荷に変換する2次元配列の複数の受光部から成る受光領域と、前記複数の受光部それぞれの蓄積電荷を垂直転送路に沿って垂直転送して一時的に前記全受光部の電荷を蓄積する複数の蓄積部から成る蓄積領域と、前記複数の蓄積部の蓄積電荷を水平方向に並列に読み出す複数の読出しチャンネルから成る出力部とを備えた高速度撮像素子が提供される。前記複数の読出しチャンネルのそれぞれに前記蓄積領域の複数の蓄積部により形成される水平方向1ラインの読出し画素数を不均一に割り当てたことを特徴とする。
【0017】
例えば、前記不均一割当ての読出し画素数は第1の数と第2の数の2種類であって、前記第1の数は第2の数よりも小さく設定してある。好適には、前記複数の読出しチャンネルの内、前記蓄積領域の水平方向の中央部に位置している読出しチャンネルが前記第1の数に等しい前記読出し画素数の前記出力転送を担当し、かつ、前記蓄積領域の水平方向における前記中央部の両側に位置している読出しチャンネルが前記第2の数に等しい前記読出し画素数の前記出力転送を担当するように配列されている。
【0018】
例えば、前記第1の数は前記第2の数の半分である。この場合、好適には、前記蓄積領域は前記受光領域の前記垂直方向の両側に分割して形成された第1および第2の蓄積領域から成り、前記出力部は前記第1および第2の蓄積領域それぞれに対応して分割して形成された第1および第2の出力部から成る。
【0019】
好適な一例として、前記受光領域の受光部および前記蓄積領域の蓄積部の水平方向の数は512個で形成され、前記第1および第2の出力部それぞれの前記読出しチャンネルの数は12個で形成され、この12個の読出しチャンネルの内の前記水平方向の両側それぞれ2個の読出しチャンネルは前記第2の数の電荷の出力転送を担当し、かつ、前記水平方向の中央部8個の読出しチャンネルは前記第1の数の電荷の出力転送を担当するように配列され、前記第1の数は32個かつ前記第2の数は64個に設定されている。例えば、前記受光領域の前記垂直方向には256個の前記受光部が配列されている。
【0020】
本発明の別な側面によれば、光信号を電荷に変換する2次元配列の複数の受光部から成る受光領域と、前記複数の受光部それぞれの蓄積電荷を垂直転送路に沿って垂直転送して一時的に前記全受光部の電荷を蓄積する複数の蓄積部から成る蓄積領域と、前記複数の蓄積部の蓄積電荷を水平方向に並列に読み出す複数の読出しチャンネルら成る出力部とを備えた撮像素子を有する高速度撮像装置が提供される。前記複数の読出しチャンネルのそれぞれに前記蓄積領域の複数の蓄積部により形成される水平方向1ラインの読出し画素数を不均一に割り当てる一方で、前記受光領域の複数の受光部の電荷を前記蓄積領域および前記出力部を介して読み出す電荷読出し手段を備えたことを特徴とする。
【0021】
例えば、前記電荷読出し手段は、前記受光領域の受光部全部の蓄積電荷を読み出す第1の撮像モードおよび前記受光領域の受光部の内の前記不均一割当てに応じた一部の受光部のみの蓄積電荷を読み出す第2の撮像モードを選択的に指定する指定手段と、この指定手段により指定された撮像モードに応じた前記蓄積電荷の読出しを行う読出し実行手段とを備える。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の1つの実施の形態を図1〜図4を参照して説明する。
【0023】
図1に示す高速度撮像装置は、エリアイメージセンサ11と、このセンサ11に接続された駆動回路12および処理回路13と、処理回路13に接続されたモニタ14とを備える。
【0024】
エリアイメージセンサ11は、対物レンジなどの光学系11aと、この光学系11aを介して受光面に入射する光を電荷信号に変換するCCD撮像素子11bとを備える。このCCD撮像素子11bは、例えば2相駆動方式の各種の駆動信号により駆動されるようになっている。
【0025】
CCD撮像素子11bは、半導体の薄膜積層技術によって、例えばn−基板上に形成した1チップのフレーム・インターライン・トランスファ型(FT型;フレーム・トランスファ型とも呼ばれる)のCCD撮像素子から成る。なお、図2において、x軸方向を水平(横)方向、y軸方向を垂直(縦)方向と便宜上呼ぶことにする。
【0026】
図2に模式的に示すように、このCCD撮像素子11bでは、かかる薄膜積層技術によって、垂直方向の中央部に形成された受光領域21と、この受光領域21の垂直方向両側に分割して形成された第1、第2の蓄積領域22a,22bと、第1、第2の蓄積領域22a,22bに隣接して形成された出力部としての第1、第2の水平レジスタ23a,23bとを備える。
【0027】
受光領域21は非遮光状態に形成されるとともに、この実施形態では512画素(水平方向)×256画素(垂直方向)分の複数の受光部LP…LPをxy面に2次元的に配列して成る。各受光部LPはフォトダイオードで形成されている。ここで、垂直方向または水平方向の同一列の受光部LPをラインと呼ぶことにする。
【0028】
各受光部LPは、1フレームの画像を形成する画素信号の素になる電荷を生成する。つまり、各受光部LPには入射光量に対応した電荷が蓄積される。この受光領域21には、駆動回路12から第1転送信号i to s信号(ここでは2相駆動方式で、位相の180°異なるi to s1信号とi to s2信号の2つから成る;図4参照)が供給される。このため、i to s信号のパルス波形が反転する度に、各受光部LPの蓄積電荷が垂直方向に画素単位で転送される。
【0029】
本実施形態では電荷転送の高速化を図るため、図2に示す如く、蓄積領域を垂直方向の上下に2分割するチップ構造を採用している。このため、受光領域21の垂直方向上半分の領域の各受光部LPの蓄積電荷は、上側の第1の蓄積領域22aに転送され、反対に、下半分の領域の各受光部LPの蓄積電荷は、下側の第2の蓄積領域22bに転送される。
【0030】
第1、第2の蓄積領域22a,22bはそれぞれ、512画素(水平方向)×128画素(垂直方向)分の電荷蓄積部をxy面に2次元配列したチップ構造を有する。この第1、第2の記憶領域22a,22bは遮光されている。電荷蓄積部は垂直方向の転送路を形成し、この各電荷蓄積部を介して画素単位で垂直方向に蓄積電荷を転送できるようになっている。つまり、この両蓄積領域22a,22bは新たな電荷蓄積は行わず、駆動回路12から供給される第2転送信号s to h信号(ここでは2相駆動方式で、位相の180°異なるs to h1信号とs to h2信号の2つから成る;図4参照)に応答して、受光領域21から転送されてきた電荷をさらに第1、第2の水平レジスタ23a,23bそれぞれに画素毎で渡す。第1、第2の蓄積領域22a,22bはその合計で、受光領域21と同じ画素サイズを有するから、電荷転送を繰り返すことで、受光領域21の全受光部LPの蓄積電荷を全て格納できる。
【0031】
出力部としての第1、第2の水平レジスタ23a,23bは、本発明の特徴の構造面での主要部を成すものである。図2に示す如く、水平レジスタ23a,23bはそれぞれ、図2に示す如く構造的に並列読出し用に12分割され、図2中の下側の第2の水平レジスタ23bがそれぞれ独立した読出しチャンネル1〜12を形成し、上側の第1の水平レジスタ23aがそれぞれ独立した読出しチャンネル13〜24を形成している。読出しチャンネル1〜24はそれぞれ、第1、第2の蓄積領域22a,22bで水平方向に割り当てた画素数分の垂直転送路からの転送電荷を並列に1回で読み出し、これを時系列に水平転送する機能を有する。
【0032】
ただし、各読出しチャンネルは従来方式とは異なり、不均一に分割されている。本実施形態の場合、図3に示す如く、第1、第2の水平レジスタ23a,23bにおいて、受光領域および蓄積領域それぞれの水平方向中央部に割り当てた256画素に相当する読出しチャンネル3〜10および15〜22のそれぞれは、蓄積領域22a,22bの水平方向における32画素分の垂直転送路からの水平転送を担うように割り振られている。また、かかる中央部の水平方向両側に位置する読出しチャンネル1,2,11,12および13,14,23,24のそれぞれは、蓄積領域22a,22bの水平方向における64画素分の垂直転送路からの水平転送を担うように割り振られている。これにより、第1、第2の水平レジスタ23a,23b夫々が水平方向の526(=64×4+32×8)画素分の全部の水平転送を賄っている。
【0033】
この水平転送は、駆動回路12から水平レジスタ23a,23bに夫々供給される第3転送信号h(ここでは2相駆動方式で、位相の180°異なるh1信号とh2信号の2つから成る;図4参照)と前述した第2転送信号s to h信号とが共働してなされる。受光領域21の全蓄積電荷が第1、第2の蓄積領域22a,22bに別かれて転送され、その全部が第1、第2の蓄積領域22a,22bに蓄積完了したタイミングで、第2転送信号s to h信号のパルス波形が1回立ち上がる(立ち下がる)。これに付勢されて、水平方向1ライン分の蓄積電荷が第1、第2の記憶領域22a,22bから第1、第2の水平レジスタ23a,23bにそれぞれ転送される。その後、位相が180°異なる第3転送信号h1,h2の立上がりによって、第1、第2の蓄積領域22a,22bの読出しチャンネル1〜24のそれぞれから割当て数画素数分の水平方向の蓄積電荷が画素毎に水平転送される。
【0034】
これにより、中央部の読出しチャンネル3〜10および15〜22のそれぞれから32個の画素数分の蓄積電荷が順次読み出され、同時に、両側の読出しチャンネル1,2,11,12および13,14,23,24のそれぞれから64個のそれが順次読み出される。
【0035】
このように、受光領域21の全部を1画面とする場合(フル画面の場合)、各読出しチャンネルからの読出し画素数に64個と32個との相違はあるが、1画面の読出し時間に関わるのは64個の方である。中央部の読出しチャンネル3〜10および15〜22では読出し画素数が少ない分(半分)、早く読出しが終了するだけである。このため、後述するように、フル画面で撮像するフル画面モードの場合、第3転送信号h1、h2のパルス数は多い方の読出し数に合わせて設定しておけばよく、64個と32個の双方に個別に合わせたパルス数の第3転送信号を設定する必要はない。
【0036】
第1、第2の水平レジスタ23a,23bの読出しチャンネル1〜24には、それぞれ、出力アンプ24が接続されている。この出力アンプ24も同一チップ上に積層形成されている。このため、読出しチャンネル1〜24のそれぞれから読み出された蓄積電荷は出力アンプ24を介して処理回路13に送出される。
【0037】
駆動回路12は、本発明の電荷読出し手段を構成する回路であり、上述した如く2相駆動方式でセンサ11を駆動するに必要な駆動信号を出力する。これを実行するため、駆動回路12は、基準となるタイミング信号(クロック)を発生するタイミング信号発生器12aと、タイミング信号から各種の駆動信号を生成し出力する駆動信号発生器12bと、画面モードを選択するスイッチ12cとを備える。このスイッチはCPUに置き換えて構成してもよい。
【0038】
駆動信号発生器12bは、例えばタイミング信号の所定数を計測するカウンタおよびそのカウント値に応答してパルス信号(駆動信号)を発生するパルス発生器を複数組備えて構成される。
【0039】
駆動信号には上述した如く、受光領域21から蓄積領域22a,22bに電荷転送するための第1転送信号i to s信号、蓄積領域22a,22bから水平レジスタ23a,23bに電荷転送するための第2転送信号s to h信号、および、水平レジスタ23a,23bから画素単位で電荷を読み出すための第3転送信号hのほか、出力アンプ24をリセットするために常に連続的に与えられるリセット信号rg(図4参照)、及び、蓄積領域から水平レジスタへの転送を許可する信号や出力アンプに出力を許可する信号(図示せず)が含まれる。
【0040】
また、スイッチ12cを操作することによって駆動信号発生器12bに画面モードを指定できるようになっている。本実施形態の場合、いずれも高速撮像モードに属するが、「フル画面モード」と「部分画面モード」の2種類の画面モードが用意されている。フル画面モードは、受光領域21の516×256画素分全体の蓄積電荷で広い1画面を形成できるモードである。また、部分画面モードは、受光領域21の中央部の256×256画素分の蓄積電荷で狭めの1画面を形成できるモードである。
【0041】
フル画面モードおよび部分画面モードは本発明の第1および第2の撮像モードに相当し、またスイッチは本発明の指定手段に相当する。
【0042】
スイッチ12cを介してフル画面モードを駆動信号発生器12bに指定すると、駆動信号発生器は第3転送信号h(h1,h2)のパルス数を、並列読出しに関わる不均一割当て画素数の内の多い方の数に自動的に切替える。この多い方の数は本実施形態の場合、64個である。また、部分画面モードを同様に指定すると、駆動信号発生器は第3転送信号h(h1,h2)のパルス数を、並列読出しに関わる不均一割当て画素数の内の少ない方の数に自動的に切替える。この少ないの数は本実施形態の場合、32個である。このように第3転送信号のパルス数を切替えることで、後述するように、部分画面モードのときの転送時間の更なる短縮が図られる。駆動信号発生器12b及び前述した処理回路13は本発明の読出し実行手段にも相当する。
【0043】
処理回路13は、波形整形(ノイズ除去)、増幅回路、補正回路などの信号処理回路を備えるとともに、画像表示のためのA/D変換器、フレームメモリ、D/A変換器を備える。これにより、センサ11から順次読み出される電荷信号が画像信号に処理され、モニタ14に1フレームの画像として表示される。
【0044】
続いて、本実施形態に係る高速度撮像装置の動作を、センサ11の転送動作を中心にして説明する。
【0045】
駆動回路12から図4に例示するシーケンスで、第1の第1転送信号i to s信号、第2転送信号s to h信号、第3転送信号h、および、リセット信号rgなどの駆動信号がセンサ11に出力される。
【0046】
あるタイミングで1画面の転送が開始されたとすると、第1転送信号i to s信号および第2転送信号s to h信号のパルス波形は同じタイミングにて、論理レベルH,L間で立ち上がり、および立ち下がる。このパルス数は、受光領域21の垂直方向のライン数(受光部数)と同一に設定されている。ここでは、128(=256/2)個のパルス波形となり、これにより、受光領域21の全受光部の蓄積電荷が第1、第2の蓄積領域22a,22bに別れて一次的に蓄積される。
【0047】
このようにして蓄積領域22a、22bへの電荷転送が完了すると、第2の転送信号s to h信号のパルス波形が1回立ち下がり、および立ち下がる。これに応答し、第1、第2の蓄積領域22a、22bのそれぞれにて、最初に、最も水平レジスタに近い位置に蓄積されている水平方向1ライン分の蓄積電荷が第1、第2の水平レジスタ23a,23bにそれぞれ一度に転送される。
【0048】
いまの場合、スイッチ12cにより「フル画面モード」が指定されているとすると、多い方の64個のパルス数の第3転送信号h(h1,h2)が撮像素子11bに供給される。これにより、読出しチャンネル1〜24それぞれからチャンネル担当分の電荷が水平転送されるから、第1、第2の水平レジスタ23a,23b全体では、水平方向の2ライン分の蓄積電荷が水平転送により並列に読み出される。
【0049】
上述した一連の各ラインの並列読出しは、第1、第2の水平レジスタ23a,23bそれぞれにて、水平方向のライン数(128=256/2)分の繰り返しにより実施される。これにより、フル画面モードのときの1画面分の電荷読出しが並列読出しによって高速に実施される。この後、再び、第1、第2転送信号が前述のように供給され、次画面分の電荷転送が同様に繰り返される。この定期的な電荷読出を繰り返すことで、連続画像に対する電荷信号が得られる。
【0050】
このようにして読み出された各フレーム(画面)分の電荷は処理回路13を経て、例えばスローモーション再生によりモニタ14に表示される。
【0051】
「フル画面モード」のときは以上のように転送処理される。このモード時の1画面分の電荷読出し時間Ftは、
【外2】
【0052】
これに対し、図2に示す如く受光領域21の中央部に黒枠で囲んだ領域で部分撮像(部分読出し)を行うものとする。この場合、スイッチ12cから「部分画面モード」を指定する。これにより、少ない方の32個のパルス数の第3転送信号h(h1,h2)が撮像素子11bに供給される。したがって、読出しチャンネル1〜24それぞれからチャンネル担当分の電荷が、前述と同様にライン毎に水平転送される。このとき、両側の読出しチャンネル1、2、11、12および13、14、23、24の読出し電荷は処理回路で無視され、中央部の読出しチャンネル3〜10および15〜22の読出し電荷のみが処理回路で採用される。したがって、実質的に、中央部の読出しチャンネル3〜10および15〜22のみの電荷読出しとなり、両側の読出しチャンネル1、2、11、12および13、14、23、24に対して第3転送信号hのパルス数が合わないことは問題にならない。
【0053】
この中央部の読出しチャンネルのみで実質的に行われる各ラインの並列読出しは、第1、第2の水平レジスタ23a,23bそれぞれにて、水平方向のライン数(128=256/2)分、繰り返して実施される。これにより、部分画面モードのときの中央部の部分画面分の電荷読出しが並列読出しおよび部分読出しの並行処理によって非常に高速に実施される。この後、再び、第1、第2転送信号が前述のように供給され、次フレームの部分画面分の電荷転送が同様に繰り返される。この定期的な電荷読出を繰り返すことで、連続画像に対する部分画面の電荷信号が得られる。
【0054】
このようにして読み出された各フレーム(画面)分の電荷は処理回路13を経て、例えばスローモーション再生によりモニタ14に表示される。
【0055】
【外3】
【0056】
つまり、この部分画面モードのときの読出し時間Ft′をフル画面モードのときのそれ(Ft)と比べてみると、水平読出しの時間が半分の「128×32Pt」になっていることが分かる。これは、水平レジスタ23a,23bを、読出し画素数の不均一割当てに基づく並列読出しができるように構成し、それを駆動できるようにしたことで初めて可能になることである。従来のように、均一割当てに拠る並列読出しのみの場合には達成し得なかった時間短縮効果である。
【0057】
【外4】
【0058】
このように、本実施形態によれば、部分読出しが効かないとされていたFT型CCD撮像素子であっても、並列読出しに加えて、電子的な部分読出しを実行できる。このため、並列読出しをベースにして、この処理に加えて部分読出しを行うときと、行わないときとで、異なる撮像速度(フレームレート)を得ることができる。上述の実施形態の場合、部分読出し行わないとき(並列読出しのみのとき)がフル画面モード、2000FPSに対応し、部分読出しを行うとき(並列読出し+部分読出しのとき)が部分画面モード、3200FPSに対応する。したがって、異なるフレームレートに対処できる汎用性の高い撮像素子および撮像装置を提供することができる。
【0059】
また、部分読出しを行えるようにすることで、1画面当たりの記録画素数を減らすことができ、部分画面モード時には並列読出しおよび部分読出しの共働によって、従来のFT型CCD撮像素子よりも一層高速に撮像でき、スローモーション撮影などに更に好適なものになる。
【0060】
なお、上述した実施形態では、受光領域の複数の受光部の蓄積電荷を垂直方向の上下両側に別けて転送する両側転送方式のFT型CCD撮像素子を説明したが、本発明は必ずしもそのような構造のチップに限定されるものではない。例えば、受光領域の複数の受光部の蓄積電荷を垂直方向の一方の側のみに形成した蓄積領域に転送する片側転送方式のチップにも同様に、本発明を適用できる。
【0061】
また、本発明において、部分画面モード時の部分画面の位置は必ずしも上述したように、受光領域の中央部に限定されるものではない。部分画面を中央部に設定する方が画面全体に対して画像の中心がずれることがないという利点はあるものの、この不都合を受容できるときは、部分画面の中心位置が受光領域の中心位置からずれた位置に設定してもよい。
【0062】
本発明は、前述した実施形態およびその変形例に記載のものに限定されることなく、請求項記載の発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜に変形可能である。
【0063】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にかかる高速度撮像素子および高速度撮像装置によれば、出力部の複数の読出しチャンネルのそれぞれに水平方向1ラインの読出し画素数を不均一に割り当てた撮像素子とし、また、この撮像素子から不均一割当てに応じて蓄積電荷を読み出すことができるようにしたため、従来、機構的に部分読出しの恩恵に浴することができないとされていた並列読出しのFT型CCD撮像素子であっても、部分読出しを確実に行うことができ、これにより、同一のFT型CCD撮像素子で異なるフレームレートに的確に対処できるから、撮影対象を広げることができ、素子の汎用性を向上させることができる。また、部分読出し機能の付加によって、並列読出しと部分読出しの両方の高速化機能が有効に効き、一層の高速読出しを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る高速度撮像装置の構成例を示す概略ブロック図。
【図2】実施形態に係るFT型CCD撮像素子の構造を模式的に示す図。
【図3】読出し画素数の不均一割当てを模式的に説明する水平レジスタ付近の部分説明図。
【図4】実施形態における読出し制御の概略を示すタイミングチャート。
【図5】従来例を説明するFT型CCD撮像素子の構造を模式的に示す図。
【符号の説明】
11 エリアイメージセンサ
11b CCD撮像素子
12 駆動回路(電荷読出し手段)
12a タイミング信号発生器
12b 駆動信号発生器(読出し実行手段)
12c スイッチ(指定手段)
13 処理回路
14 モニタ
21 受光領域
22a,22b 垂直転送路を有する第1,第2の蓄積領域(蓄積領域)
23a,23b 第1,第2の水平レジスタ(出力部)
LP 受光部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a high-speed imaging device and a high-speed imaging device using a frame interline transfer type CCD (Charge Coupled Device). In particular, the present invention relates to a high-speed imaging device and a high-speed imaging device that can execute parallel readout and partial readout of charges.
[0002]
[Prior art]
High-speed imaging is useful in various fields such as slow motion playback. To perform slow motion playback, capture images at a speed higher than the standard speed (30 screens / second for NTSC, 25 screens / second for PAL), and play back the image data at the standard speed. Can see. For example, when image data captured at a speed n times the standard speed is reproduced at the standard speed, the movement of the subject can be observed by slowing down to 1 / n. As is well known, this slow-motion image is not only useful for analyzing athletes' movements and determining the outcome of sports, but it is also very useful for dynamic research in various academic research and industrial production fields. is doing.
[0003]
In general, as one method of such high-speed imaging, it is known to increase the reaction speed by increasing the clock frequency of an imaging element such as a CCD type imaging element or a MOS type imaging element. However, since there is a certain physical limitation on the reaction speed of the image sensor itself, there is a limit to increasing the imaging speed by increasing the clock frequency.
[0004]
In order to realize a higher speed than this limit, there is a so-called parallel reading method in which charges are read out in parallel with a plurality of outputs from the image sensor. For example, if the number of readouts is changed to 4 in parallel for a 30-screen / second standard image sensor with a 1-output configuration, the imaging speed can be increased to 120 screens / second in principle.
[0005]
A conventional example of such parallel reading is shown in FIG. In this conventional example, a frame transfer type (frame, interline, transfer type) CCD image pickup device is implemented so as to perform 16 parallel readouts.
[0006]
In FIG. 1, a CCD
[0007]
When light enters each light receiving portion of the
[0008]
Next, when a driving signal is supplied from the outside to the first and second
[0009]
[Outside 1]
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described conventional FT type CCD image pickup device, although high-speed imaging according to the parallel readout channels can be achieved, the “partial readout” method of reading out by reducing the number of readout pixels per screen is actually The situation is not effective from the viewpoint of time reduction. That is, in the element having the configuration shown in FIG. 5 described above, for example, the time required for reading the central portion of the
[0011]
If partial readout can be performed electrically without using a structure such as an optical mask, it is possible to cope with different imaging speeds (frame rates) even when partial readout is performed, even though it is a single type of image sensor. .
[0012]
However, with the conventional FT CCD image sensor, the effect of partial readout, that is, the effect of shortening the readout time due to partial readout is practically not produced, so that one image sensor copes with different values of photographing speed. Can not. As a result, when the high-speed shooting speed (frame rate) required by the imaging target is different, there is a problem that the imaging device itself needs to be replaced, and the versatility is lacking.
[0013]
Furthermore, in the conventional FT type CCD image pickup device, since there is no effect of partial reading, there is no point in using parallel reading and partial reading together. Therefore, only parallel reading can contribute in terms of speeding up imaging. . Therefore, it was in a situation where the shooting speed was not satisfactory.
[0014]
The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art. In the conventional FT type CCD image pickup device which has been considered to be ineffective for partial readout, partial readout is possible, and execution of this partial readout is performed. It is an object of the present invention to provide a highly versatile imaging device and imaging apparatus that can cope with different imaging speeds (frame rates) through non-execution modes.
[0015]
Further, the present invention provides an imaging device and an imaging device that improve the versatility and further increase the speed of imaging in the conventional FT CCD imaging device that is considered to be ineffective for partial readout. For another purpose.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to one aspect of the present invention, a light receiving region composed of a plurality of light receiving portions in a two-dimensional array for converting an optical signal into electric charges, and a vertical transfer path for storing accumulated charges in the light receiving portions. A storage region composed of a plurality of storage units that temporarily transfer the charges of all the light-receiving units along the vertical direction, and a plurality of readout channels that read the stored charges of the plurality of storage units in parallel in the horizontal direction. A high-speed imaging device including an output unit is provided. The number of readout pixels in one horizontal line formed by the plurality of storage units of the storage region is non-uniformly assigned to each of the plurality of readout channels.
[0017]
For example, there are two types of readout pixels with non-uniform allocation: a first number and a second number, and the first number is set smaller than the second number. Preferably, among the plurality of readout channels, a readout channel located at a central portion in the horizontal direction of the accumulation region is responsible for the output transfer of the readout pixel number equal to the first number, and Readout channels located on both sides of the central portion in the horizontal direction of the accumulation region are arranged to handle the output transfer of the read pixel number equal to the second number.
[0018]
For example, the first number is half of the second number. In this case, it is preferable that the storage region is composed of first and second storage regions formed by being divided on both sides of the light receiving region in the vertical direction, and the output unit has the first and second storage regions. It consists of first and second output portions formed by being divided corresponding to each region.
[0019]
As a preferred example, the number of light receiving portions of the light receiving region and the number of storage portions of the storage region in the horizontal direction are 512, and the number of readout channels of each of the first and second output portions is twelve. Of the twelve read channels, two read channels on both sides in the horizontal direction are in charge of output transfer of the second number of charges, and eight horizontal central read-outs are formed. The channels are arranged to take charge of the output transfer of the first number of charges, the first number being set to 32 and the second number being set to 64. For example, 256 light receiving units are arranged in the vertical direction of the light receiving region.
[0020]
According to another aspect of the present invention, a light receiving region composed of a plurality of light receiving portions in a two-dimensional array for converting an optical signal into electric charges, and a charge stored in each of the light receiving portions are vertically transferred along a vertical transfer path. And a storage area composed of a plurality of storage sections for temporarily storing the charges of all the light receiving sections, and an output section consisting of a plurality of readout channels for reading out the stored charges of the plurality of storage sections in parallel in the horizontal direction. A high-speed imaging device having an imaging element is provided. The number of readout pixels in one horizontal line formed by the plurality of storage portions of the storage region is non-uniformly assigned to each of the plurality of read channels, while the charges of the plurality of light receiving portions of the light receiving region are allocated to the storage region And charge reading means for reading out via the output unit.
[0021]
For example, the charge reading means stores only a part of the light receiving units according to the first imaging mode for reading the accumulated charges of all the light receiving units in the light receiving region and the non-uniform allocation of the light receiving units in the light receiving region. Designation means for selectively designating a second imaging mode for reading out charges, and readout execution means for reading out the accumulated charges according to the imaging mode designated by the designation means.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0023]
The high-speed imaging device shown in FIG. 1 includes an
[0024]
The
[0025]
The CCD
[0026]
As schematically shown in FIG. 2, the CCD
[0027]
The
[0028]
Each light-receiving unit LP generates a charge that is a source of a pixel signal that forms an image of one frame. That is, charges corresponding to the amount of incident light are accumulated in each light receiving portion LP. The
[0029]
In the present embodiment, in order to increase the speed of charge transfer, a chip structure in which the accumulation region is divided into two in the vertical direction as shown in FIG. 2 is adopted. For this reason, the accumulated charge of each light receiving portion LP in the upper half region of the
[0030]
Each of the first and
[0031]
The first and second
[0032]
However, unlike the conventional method, each read channel is divided unevenly. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. 3, in the first and second
[0033]
This horizontal transfer is made up of a third transfer signal h (here, two-phase drive system, h1 signal and h2 signal which are 180 ° different in phase, respectively) supplied from the
[0034]
As a result, the stored charges corresponding to the number of 32 pixels are sequentially read from each of the
[0035]
As described above, when the entire
[0036]
An
[0037]
The
[0038]
The
[0039]
As described above, the drive signal includes the first transfer signal i for transferring charges from the
[0040]
Further, the screen mode can be designated for the
[0041]
The full screen mode and the partial screen mode correspond to the first and second imaging modes of the present invention, and the switch corresponds to the designation means of the present invention.
[0042]
When the full screen mode is designated to the
[0043]
The
[0044]
Subsequently, the operation of the high-speed imaging device according to the present embodiment will be described focusing on the transfer operation of the
[0045]
In the sequence illustrated in FIG. 4 from the
[0046]
If the transfer of one screen is started at a certain timing, the first transfer signal i to s signal and second transfer signal s to The pulse waveform of the h signal rises and falls between logic levels H and L at the same timing. The number of pulses is set to be the same as the number of lines in the vertical direction of the light receiving region 21 (the number of light receiving portions). Here, 128 (= 256/2) pulse waveforms are obtained, and as a result, the accumulated charges in all the light receiving portions of the
[0047]
When the charge transfer to the
[0048]
In this case, if the “full screen mode” is designated by the
[0049]
The parallel reading of the series of lines described above is performed by repeating the number of lines in the horizontal direction (128 = 256/2) in each of the first and second
[0050]
The charges for each frame (screen) read out in this way are displayed on the
[0051]
In the “full screen mode”, the transfer process is performed as described above. The charge read time Ft for one screen in this mode is
[Outside 2]
[0052]
On the other hand, as shown in FIG. 2, it is assumed that partial imaging (partial readout) is performed in a region surrounded by a black frame at the center of the
[0053]
The parallel readout of each line substantially performed only by the central readout channel is repeated by the number of horizontal lines (128 = 256/2) in each of the first and second
[0054]
The charges for each frame (screen) read out in this way are displayed on the
[0055]
[Outside 3]
[0056]
That is, comparing the readout time Ft ′ in the partial screen mode with that (Ft) in the full screen mode, it can be seen that the horizontal readout time is halved to “128 × 32 Pt”. This is possible only when the
[0057]
[Outside 4]
[0058]
As described above, according to the present embodiment, even in the case of an FT-type CCD image pickup device that is supposed to be ineffective for partial readout, electronic partial readout can be executed in addition to parallel readout. Therefore, on the basis of parallel reading, it is possible to obtain different imaging speeds (frame rates) depending on whether partial reading is performed in addition to this processing or not. In the case of the above-described embodiment, when partial reading is not performed (when only parallel reading is performed), the full screen mode corresponds to 2000 FPS, and when partial reading is performed (when parallel reading + partial reading is performed), the partial screen mode is set to 3200 FPS. Correspond. Therefore, it is possible to provide a highly versatile imaging device and imaging apparatus that can cope with different frame rates.
[0059]
In addition, by enabling partial readout, the number of recording pixels per screen can be reduced, and in the partial screen mode, the parallel readout and partial readout can be combined to achieve higher speed than the conventional FT type CCD image sensor. Therefore, it is more suitable for slow motion photography.
[0060]
In the above-described embodiment, the double-side transfer type FT CCD image pickup device that transfers the accumulated charges of the plurality of light receiving portions in the light receiving region separately to the upper and lower sides in the vertical direction has been described. It is not limited to the structure chip. For example, the present invention can be similarly applied to a one-side transfer type chip that transfers accumulated charges of a plurality of light receiving portions of a light receiving region to a storage region formed only on one side in the vertical direction.
[0061]
In the present invention, the position of the partial screen in the partial screen mode is not necessarily limited to the central portion of the light receiving region as described above. Setting the partial screen to the center has the advantage that the center of the image does not shift with respect to the entire screen, but if this inconvenience can be accepted, the center position of the partial screen is shifted from the center position of the light receiving area. It may be set at a different position.
[0062]
The present invention is not limited to those described in the above-described embodiments and modifications thereof, and can be appropriately modified without departing from the gist of the invention described in claims.
[0063]
【The invention's effect】
As described above, according to the high-speed imaging device and the high-speed imaging device according to the present invention, the imaging device is configured such that the number of readout pixels in one horizontal line is non-uniformly allocated to each of the plurality of readout channels of the output unit. In addition, since the stored charge can be read out from the image pickup device in accordance with the non-uniform assignment, the parallel read-out FT type CCD image pickup, which has conventionally been considered to be unable to take advantage of partial read out mechanically. Even in the case of an element, partial reading can be performed reliably, and by this, different frame rates can be dealt with accurately with the same FT CCD image sensor, so that the object to be photographed can be expanded, and the versatility of the element can be increased. Can be improved. Further, by adding the partial read function, the speed-up function for both parallel read and partial read is effective, and higher-speed read can be realized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic block diagram illustrating a configuration example of a high-speed imaging device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram schematically showing the structure of an FT CCD image sensor according to an embodiment.
FIG. 3 is a partial explanatory view in the vicinity of a horizontal register for schematically explaining non-uniform allocation of the number of readout pixels.
FIG. 4 is a timing chart showing an outline of read control in the embodiment.
FIG. 5 is a diagram schematically showing the structure of an FT CCD image sensor for explaining a conventional example.
[Explanation of symbols]
11 Area image sensor
11b CCD image sensor
12 Drive circuit (charge reading means)
12a Timing signal generator
12b Drive signal generator (reading execution means)
12c switch (specifying means)
13 Processing circuit
14 Monitor
21 Light receiving area
22a, 22b First and second storage areas (storage areas) having vertical transfer paths
23a, 23b First and second horizontal registers (output unit)
LP receiver
Claims (8)
光信号を電荷に変換する2次元配列の複数の受光部から成る受光領域と、前記複数の受光部それぞれの蓄積電荷を垂直転送路に沿って垂直転送して一時的に前記全受光部の電荷を蓄積する複数の蓄積部から成る蓄積領域と、前記複数の蓄積部の蓄積電荷を水平方向に並列に読み出す複数の読出しチャンネルから成る出力部とを備え、
前記蓄積領域は前記受光領域の垂直方向に分割して形成された第1および第2の部分蓄積領域から成り、
前記出力部は前記第1および第2の部分蓄積領域それぞれに対応して分割して形成された第1および第2の部分出力部から成る出力部であって、前記フル画面モードでは第1および第2の部分出力部の双方から、また前記部分画面モードでは前記第1の部分出力部から前記蓄積電荷が読み出される出力部であり、
前記複数の読み出しチャンネルの内、前記第1の部分出力部に対応する各読み出しチャンネルから読み出される前記各蓄積部の前記水平方向の画素数を第1の画素数とし、前記第2の部分出力部に対応する各読み出しチャンネルから読み出される前記各蓄積部の前記水平方向の画素数を第2の画素数とするとき、前記第1の画素数は前記第2の画素数よりも小さく設定される、
ことを特徴とする高速度撮像素子。 In a high-speed imaging device of a high-speed imaging device having a full screen mode and a partial screen mode,
A light receiving region composed of a plurality of light receiving portions in a two-dimensional array for converting an optical signal into electric charges, and charges accumulated in each of the light receiving portions are vertically transferred along a vertical transfer path to temporarily charge all the light receiving portions. An accumulation region composed of a plurality of accumulation units for accumulating, and an output unit consisting of a plurality of readout channels for reading out the accumulated charges of the plurality of accumulation units in parallel in the horizontal direction ,
The accumulation region is composed of first and second partial accumulation regions formed by being divided in the vertical direction of the light receiving region,
The output unit is an output unit composed of first and second partial output units that are divided and formed so as to correspond to the first and second partial accumulation regions, respectively. An output unit from which the accumulated charge is read out from both of the second partial output units, and in the partial screen mode, from the first partial output unit;
Among the plurality of readout channels, the number of pixels in the horizontal direction of each storage unit read from each readout channel corresponding to the first partial output unit is defined as a first pixel number, and the second partial output unit When the number of pixels in the horizontal direction of each storage unit read from each readout channel corresponding to the second pixel number is set, the first pixel number is set smaller than the second pixel number,
A high-speed imaging device.
前記第1の画素数は前記第2の画素数の半分である高速度撮像素子。 In the invention of claim 1 ,
The high-speed imaging device, wherein the first number of pixels is half of the second number of pixels .
前記第1の部分蓄積領域及び前記第1の部分出力部は、夫々前記蓄積領域及び前記出力部の水平方向の中央部に位置し、前記第2の部分蓄積領域及び前記第2の部分出力部は夫々前記中央部の両側に位置している、
高速度撮像素子。 In the invention of claim 1 ,
The first partial storage region and the first partial output unit are respectively located in the horizontal center of the storage region and the output unit , and the second partial storage region and the second partial output unit. Are respectively located on both sides of the central part ,
High-speed image sensor.
前記受光領域の受光部および前記蓄積領域の蓄積部の水平方向の数は512個で形成され、前記第1の部分出力部に対応する前記読み出しチャンネルの数は8個で形成され、前記中央部の両側に設けられている前記第2の部分出力部に対応する前記読み出しチャンネルの数は夫々2個で形成され、
前記第1の画素数は32個であり、前記第2の画素数は64個である、
高速度撮像素子。 In the invention of claim 3 ,
The number of light receiving portions of the light receiving region and the number of storage portions of the storage region in the horizontal direction is 512, the number of readout channels corresponding to the first partial output unit is 8 and the center portion. The number of the read channels corresponding to the second partial output portion provided on both sides of each of the two is formed by two,
The first number of pixels is 32 , and the second number of pixels is 64 .
High-speed image sensor.
前記受光領域の前記垂直方向には256個の前記受光部が配列されている高速度撮像素子。 In the invention of claim 4 ,
A high-speed imaging device in which 256 light receiving portions are arranged in the vertical direction of the light receiving region.
前記蓄積領域は前記受光領域の垂直方向の両側に分割して形成された第1および第2の蓄積領域から成り、前記出力部は前記第1および第2の蓄積領域それぞれに対応して分割して形成された第1および第2の出力部から成る高速度撮像素子。 In the invention of claim 1 ,
The accumulation area is composed of first and second accumulation areas formed on both sides of the light receiving area in the vertical direction, and the output unit is divided corresponding to each of the first and second accumulation areas. A high-speed imaging device comprising first and second output portions formed in the manner described above.
光信号を電荷に変換する2次元配列の複数の受光部から成る受光領域と、前記複数の受光部それぞれの蓄積電荷を垂直転送路に沿って垂直転送して一時的に前記全受光部の電荷を蓄積する複数の蓄積部から成る蓄積領域と、前記複数の蓄積部の蓄積電荷を水平方向に並列に読み出す複数の読出しチャンネルから成る出力部と、を具備する高速撮像素子と、A light receiving region composed of a plurality of light receiving portions in a two-dimensional array for converting an optical signal into electric charges, and charges accumulated in each of the light receiving portions are vertically transferred along a vertical transfer path to temporarily charge all the light receiving portions. A high-speed imaging device comprising: a storage region composed of a plurality of storage units for storing a plurality of storage channels; and an output unit composed of a plurality of readout channels for reading out the stored charges of the plurality of storage units in parallel in a horizontal direction;
前記フル画面モードと前記部分画面モードとを選択的に指定する指定手段と、A designation means for selectively designating the full screen mode and the partial screen mode;
備え、Prepared,
前記蓄積領域は、前記受光領域の垂直方向に分割して形成された第1および第2の部分蓄積領域から成り、The accumulation area is composed of first and second partial accumulation areas formed by being divided in the vertical direction of the light receiving area,
前記出力部は、前記第1および第2の部分蓄積領域それぞれに対応して分割して形成された第1および第2の部分出力部から成る出力部であって、前記フル画面モードでは第1および第2の部分出力部の双方から、また前記部分画面モードでは前記第1の部分出力部から前記蓄積電荷が読み出される出力部であり、The output unit is an output unit including first and second partial output units that are divided and formed corresponding to the first and second partial accumulation regions, respectively, and is the first in the full screen mode. The stored charge is read from both the first and second partial output units, and in the partial screen mode, from the first partial output unit,
前記複数の読み出しチャンネルの内、前記第1の部分出力部に対応する各読み出しチャンネルから読み出される前記各蓄積部の前記水平方向の画素数を第1の画素数とし、前記第2の部分出力部に対応する各読み出しチャンネルから読み出される前記各蓄積部の前記水平方向の画素数を第2の画素数とするとき、前記第1の画素数は前記第2の画素数よりも小さく設定される、Among the plurality of readout channels, the number of pixels in the horizontal direction of each storage unit read from each readout channel corresponding to the first partial output unit is defined as a first pixel number, and the second partial output unit When the number of pixels in the horizontal direction of each storage unit read from each readout channel corresponding to the second pixel number is set, the first pixel number is set smaller than the second pixel number,
ことを特徴とする高速度撮像装置。A high-speed imaging device.
前記フル画面モードでは前記第1及び第2の部分蓄積領域の蓄積電荷を読み出し、前記部分画面モードでは前記第1の部分蓄積領域の蓄積電荷を読み出す電荷読み出し実行手段、Charge read execution means for reading out the accumulated charges in the first and second partial accumulation regions in the full screen mode, and reading out the accumulated charges in the first partial accumulation region in the partial screen mode;
をさらに設けた高速度撮像装置。Is a high-speed imaging device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22514497A JP3930614B2 (en) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | High-speed imaging device and high-speed imaging device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22514497A JP3930614B2 (en) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | High-speed imaging device and high-speed imaging device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1169233A JPH1169233A (en) | 1999-03-09 |
JP3930614B2 true JP3930614B2 (en) | 2007-06-13 |
Family
ID=16824646
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22514497A Expired - Lifetime JP3930614B2 (en) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | High-speed imaging device and high-speed imaging device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3930614B2 (en) |
-
1997
- 1997-08-21 JP JP22514497A patent/JP3930614B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1169233A (en) | 1999-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6372488B2 (en) | Electronics | |
JP3668499B2 (en) | Electronic camera | |
JP4018820B2 (en) | Solid-state imaging device and signal readout method | |
JP3350073B2 (en) | High-speed camera | |
JP2000152259A (en) | Solid-state image pickup device and signal read method | |
JP6513164B2 (en) | Imaging device and imaging device | |
JP3967853B2 (en) | Solid-state imaging device and signal readout method | |
JP2017216649A (en) | Imaging device, imaging apparatus and imaging signal processing method | |
JP3930614B2 (en) | High-speed imaging device and high-speed imaging device | |
JP3943273B2 (en) | Solid-state imaging device and signal readout method | |
JP3930611B2 (en) | High-speed imaging device | |
JP2006304248A (en) | Solid-state imaging element and drive method therefor | |
JP4024367B2 (en) | Multi-plate imaging device | |
JP2010021745A (en) | Solid-state imaging device, and method of driving the same | |
JP2000224599A (en) | Solid-state image pickup device and signal reading method | |
JP2003234960A (en) | Imaging apparatus | |
JP3900318B2 (en) | High-speed imaging device | |
JP3251042B2 (en) | High-speed shooting device | |
JP4630200B2 (en) | Solid-state imaging device and imaging apparatus | |
JP2005303653A (en) | Image pickup device | |
JP2006303407A (en) | Solid-state imaging element and its driving method | |
JP2023054229A (en) | Electronic apparatus | |
JP2018148590A (en) | Electronic apparatus and imaging device | |
JPH05316402A (en) | High speed video camera | |
JP2004112304A (en) | Solid-state image pickup device, its drive method, and image pickup system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070306 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130316 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140316 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |