JP3905783B2 - 測定データ取込装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡、投影機、画像測定機及び三次元測定機などの表面性状を測定する際の測定データ取込装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、顕微鏡や投影機、あるいは画像測定機などを用いた測定では、目視による形状等の観察の他、視野内の十字レチクル交点にワーク(被測定物)の測定目標点(測定点)を位置決めしてその座標値(XY座標値=測定データ)を読み取り、それらの座標値からワークの形状を、より正確に測定することが行われている。
【0003】
また、実公平4-12407号公報には、投影機と、そのスクリーンに設置された受光器の出力からエッジ信号(測定信号)を出力するエッジ信号発生器(測定信号発生手段)とにより、スクリーンに投影された画像のエッジ(ワークの端部)を検出して、これによってワークの寸法形状等を測定する投影画像のエッジ検出装置が開示されている。
この装置における測定項目としては、1点の座標値、2点間の距離、2直線の交角、各種の形状判別などがある。これらを用いて、例えば穴中心位置の正確さ、穴中心位置間の正確さ、直線個所の真直度、直線と直線の交差角度、穴の真円度などの各種形状の正確さ、などが評価される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
これらの形状評価にあたっては、ワークの測定目標点の座標値(XY座標値)を読み取る必要がある。しかし、前述の受光器などのセンサでは、感度が高いために、ノイズ混入などによって誤作動したり、ワークの測定目標点への位置決め過程で、ワークの他の部分の画像エッジを検出して座標値を誤入力してしまうなどの問題があった。
【0005】
そこで、これらの問題の解決策として、従来は座標値読取有効/無効スイッチを設け、このスイッチがオンの期間は座標値読取を有効にし、オフの期間は座標値読取を無効にすることにより、不必要な座標値読取が行われないようにしていた。
【0006】
しかし、このような座標値読取有効/無効スイッチの操作は、ワークの測定目標点の近辺で頻繁に行う必要があって極めて操作性が悪かった。すなわち、
1)オペレータは座標値読取有効/無効スイッチを目視確認して操作しなければならないため、測定点毎にスクリーンとスイッチを交互に見直すことになり、スクリーン上の測定点の見間違い、スイッチの操作間違いなどが生じることがあった。
2)座標値読取有効/無効スイッチをONしたつもりが、実際にはONされておらず、座標値が読取られなかった場合は、必要な評価計算処理が行えず、場合によっては、再度、全ての測定をやり直す必要があって、測定の能率が悪かった。
3)座標値読取有効/無効スイッチをOFFしたつもりが、実際にはOFFされていなかった場合は、測定点とは異なる座標値が読取られてしまう場合があり、大きな測定誤差が生じる原因となり、また場合によっては、再度、全ての測定をやり直す必要があって、測定の能率が悪かった。
【0007】
これに対して、座標値読取有効/無効スイッチをONした後で、座標値読取が行われると、自動的に座標値読取有効/無効スイッチをOFFにする改良が行われたが、前記1)、2)項の問題点は解決されなかった。
【0008】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、測定の操作性を向上させ、測定作業の効率を高めることができる測定データ取込装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る測定データ取込装置は、被測定物を測定するセンサと、前記被測定物の測定点を前記センサが測定した時に測定信号を出力する測定信号発生手段と、前記検出しようとする測定点の予測座標値に対してこれを内部に含むように設定された所定の有効範囲を記憶する有効範囲記憶手段と、前記被測定物に対する前記センサの位置が前記設定された有効範囲内かどうかを比較する有効範囲比較手段と、前記センサが前記有効範囲内に位置している状態で前記測定信号発生手段が測定信号を出力した場合に、前記被測定物の測定点の位置を示す座標値を測定データとして記憶する座標値記憶手段と、前記測定信号発生手段が測定信号を出力したときに、前記被測定物の測定点の位置を示す座標値を測定データとして取り込むことを有効とする有効状態と、前記被測定物の測定点の位置を示す座標値を測定データとして取り込むことを無効とする無効状態とを切り替える有効無効切替手段とを備え、前記有効無効切替手段は、前記座標値記憶手段が前記測定データを記憶した後は、無効状態に切り替わるものであることを特徴とする。
【0010】
本発明によれば、センサが予測座標値を含む有効範囲に位置していることが、測定データの取り込みの条件となるので、センサが予測座標値に近づくと座標値読取がONになり、予測座標値から離れたところでは座標値読取がOFFとなる。このため、座標値読取有効/無効スイッチを手動でON/OFFする必要が無く、操作性が極めて良好になり、測定の作業効率も向上する。また、有効無効切替手段を有効にしたまま、無効に切り替えるのを忘れた場合でも、測定データの取込に連動して有効無効切替手段が無効に切り替わるので、測定誤差が生じる可能性を極力少なくすることができる。
【0013】
本発明の他の実施形態においては、前記被測定物の画像を表示する画像表示手段を更に備え、前記測定信号発生手段は、前記画像表示手段に表示された被測定物の画像に対して前記センサを相対的に移動させて前記センサが前記被測定物の画像のエッジを横切ったときに前記測定信号としてエッジ信号を出力することを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明の具体的な実施の形態について説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る画像のエッジデータ取込機能を有する幾何要素測定装置の外観図である。この幾何要素測定装置は、投影画像のエッジ検出機能を有する投影機10と、この投影機10から出力されるエッジ信号を処理してワーク30の幾何形状を判別する制御装置20とを備える。
【0015】
投影機10は、次のように構成されている。即ち、本体部11の上には、測定対象であるワーク30を載置するテーブル12が昇降機構13を介して設置されている。テーブル12は、テーブル12に設けられたX軸(図中左右方向)駆動つまみ14a及びY軸(図中前後方向)駆動つまみ14bと、本体部11に設けられたZ軸(図中上下方向)駆動つまみ14cとにより、XYZ方向に自由に移動させることができる。テーブル12に設置されたワーク30の光学像は、レンズ15を介してスクリーン(画像表示手段)16上に投影される。スクリーン16の前面には、受光器17が透明の取付板18に支持されて配置されている。
【0016】
また、図2に示すように、投影機10には、テーブル12のX軸位置とY軸位置とを検出するためのX軸リニヤスケール31xと、Y軸リニヤスケール31yとが設けられている。
【0017】
一方、制御装置20は、スクリーン16に投影された投影画像19のエッジの座標(エッジデータ)を測定して、その測定データに基づいて幾何形状の判別処理を行うもので、図2に示すように、エッジ信号発生器40、X軸カウンタ41x、Y軸カウンタ41y、有効範囲記憶手段42、有効範囲比較手段43、有効無効切替手段44、座標値記憶手段45及び表示手段46を備えて構成されている。
【0018】
エッジ信号発生器40は、受光器17の出力からスクリーン16上に投影された投影画像19のエッジを検出してエッジ信号を出力する。X軸カウンタ41x及びY軸カウンタ41yは、X軸リニヤスケール31xの出力及びY軸リニヤスケール31yの出力でカウント動作を行う。
【0019】
有効範囲記憶手段42は、例えば図3(a),(b)に示すように、測定しようとしている予測座標値Dnに対して設定された所定の有効範囲Rnを記憶する。この有効範囲Rnの設定は、図示しない設定手段あるいは図示しない入力装置によってワーク30のCADデータなどを入力して自動設定するものであっても良い。
【0020】
有効範囲比較手段43は、スクリーン16に投影された投影画像19に対する受光器17(センサ)の位置(現在座標値)、即ちX軸カウンタ41xとY軸カウンタ41yの値が有効範囲記憶手段42に記憶されている有効範囲Rnの範囲内にあるか否かを比較する。
【0021】
有効無効切替手段44は、受光器17の現在座標値が有効範囲Rn内にある場合、あるいは図示しない座標値読取有効/無効スイッチがON操作された場合に「有効」を選択し、受光器17で、スクリーン16に投影されたワーク30の投影画像19のエッジが検出されて座標値が読込まれた場合、あるいは図示しない座標値読取有効/無効スイッチがOFF操作された場合に「無効」を選択する。その選択状態は、座標値記憶手段45に供給される。
【0022】
座標値記憶手段45は、有効無効切替手段44の選択状態が「有効」であって、且つ受光器17がスクリーン16に投影されたワーク30の投影画像19のエッジを横切るときにエッジ信号発生器40からエッジ信号が出力された際にラッチされた座標値(エッジ信号が入力された時点のカウンタ41x,41yの計数値)を読込んでこれをエッジデータとして記憶するもので、所定の測定点数のエッジデータを記憶できる容量を備えている。
【0023】
表示手段46は、有効範囲記憶手段42に記憶された有効範囲Rnや座標値記憶手段45に記憶されたワーク30のエッジデータを表示する。
【0024】
ワーク30の測定データ(エッジデータ)を得るための測定操作手順としては、まずZ軸駆動つまみ14cを回してレンズ15とテーブル12の上下方向の位置を調整し、スクリーン16に投影されたワーク30の投影画像19のピントを調整する。次に、X軸駆動つまみ14a及びY軸駆動つまみ14bを操作してテーブル12に載置されたワーク30をレンズ15に対して移動させることによってスクリーン16上でワーク30の投影画像19を移動させ、投影画像19の測定したい点が受光器17を横切るように通過させる。これによって測定点の座標値を得ることが出来る。すなわち、テーブル12のX軸方向移動とY軸方向移動を検出するX軸リニヤスケール31xとY軸リニヤスケール31yの出力を計数するX軸カウンタ41xとY軸カウンタ41yに、受光器17の出力によってエッジ信号発生器40で生成されたエッジ信号を入力して、これらのカウンタの計数値をラッチして出力させることにより、測定点のX軸座標値とY軸座標値を得ることが出来る。これらのX軸座標値とY軸座標値は制御装置20の座標値記憶手段45によって記憶され、この記憶された座標値から、ワーク30の寸法や幾何形状を計算して評価を行う。
【0025】
図4は、この発明によって測定点の座標値を得るための処理手順を示すフローチャートである。
処理を開始(S10)した後、測定点座標値の読取りを可能にする有効範囲Rnを設定して有効範囲記憶手段42に記憶する(S20)。この有効範囲の設定は、図示しない設定手段あるいは図示しない入力装置によってワークのCADデータなどを入力して自動設定するものであっても良い。
つまり、通常はワークの各部の寸法の概略は設計図面やCADデータなどから既知であるために、測定したい点のおおよその座標値は予測することができる。そこでこの予測座標値に対して一定の有効範囲Rnを設定することができる。この有効範囲Rnは、各測定点毎に独立の範囲を設定しても良いが、全測定点に対して共通の範囲R0を設定しても良い。
【0026】
図5は、角穴Hを測定するために、6点の測定点Dnを配置した例を示す。この各測定点Dnに対して、有効範囲Rnを図3に示すように配置する。図3(a)は、角形状の有効範囲Rnを設定する場合を示し、図3(b)は、円形状の有効範囲Rnを設定する場合を示す。
【0027】
更に、この有効範囲Rnは、各測定点Dnに対して設定する方法に対して、図6に示すように投影画像上の領域に対して設定することも出来る。この図6では、座標軸に平行な4つの辺を持つ角穴を示すが、このような場合は、例えば測定点Dnに対しては、Y軸座標値>+LあるいはY軸座標値<−Lの領域を有効範囲Rnとすることが出来る。
【0028】
次に、ワーク30をテーブル12上に設置すると共に、座標値読取自動有効機能を働かせて測定操作を開始する(S30)。
投影機10のテーブル12に載置されたワーク30の形状はスクリーン16に投影され、投影画像19として表示される。テーブル12をX軸方向あるいはY軸方向に移動させると、スクリーン16に表示された投影画像19もX軸方向あるいはY軸方向に移動する。従って、スクリーン16の中央部に固定された受光器17と投影画像19は相対的に移動することになる。このようにして投影画像19を移動させ、ワーク30のエッジが受光器17通過すると、エッジ信号発生器40でエッジ信号が生成されて、X軸カウンタ41xとY軸カウンタ41yに供給され、その位置の座標値がラッチされる。このように、測定操作は投影画像19の測定点Dnを受光器17に近づけ、受光器17を通過させる操作をいう。
【0029】
従って、まず投影画像19の現在座標値(受光器17に対する相対座標値)が予測した測定点座標値の有効範囲Rnに入ったか否かを有効範囲比較手段43によって比較して判断する(S40)。現在座標値が有効範囲Rn内に入った場合は、有効無効切替手段44で「有効」を選択して座標値読取を有効にする(S50)が、有効範囲Rn外の場合は、測定終了かどうかの判断を行う(S100)。
【0030】
一方、座標値読取が「有効」状態にある場合は、受光器17によってワーク30の投影画像19のエッジが検出されたか否かを判断し(S60)、エッジが検出された場合は、カウンタ41x、41yからラッチされたエッジ座標値を読み取って座標値記憶手段45に記憶すると共に、カウンタ41x、41yのラッチを解除する(S70)。続いて有効無効切替手段44を「無効」に切替え(S80)、現在座標値が測定点座標値の有効範囲Rnから離脱したことを確認したのち、測定終了かどうかの判定を行う(S100)。
【0031】
受光器17によってワーク30の投影画像19のエッジが検出されない場合は、座標値読取有効/無効スイッチがOFF操作されていないかどうかを判断し(S90)、OFF操作(無効スイッチ操作)された場合は、有効無効切替手段44を「無効」に切替え(S80)、測定終了判定を行う(S100)。OFF操作されていない場合は、そのまま測定終了判定を行う(S100)。
【0032】
測定終了判定(S100)では、必要な全ての測定点が測定完了した場合、あるいは測定が中止された場合に測定終了と判断して、座標値読取自動有効機能を終了して(S110)、測定処理を終了する(S120)。測定が終了していない場合は、S40へ処理を戻す。
【0033】
この測定終了判断は、予め図示しない記憶手段に記憶させておいた測定すべき全測定点数と、実際に測定された点数とを比較することにより、自動で行うことができる。また、図示しない測定終了スイッチによって手動で測定終了させることも出来る。また、測定を途中で中止させる場合も、この測定終了スイッチの手動操作で行うようにすれば良い。
【0034】
この実施形態によれば、次の効果がある。
(1)予測される測定点座標値の周囲に有効範囲を設けて、センサの現在座標値がこの有効範囲内に入った場合に座標値読取を可能にしたので、測定点毎に座標値読取有効/無効スイッチを操作する必要がないので、ワーク(あるいはワークの投影画像)から目を離す必要がなくなり、測定間違いを防止することができる。
(2)座標値読取有効/無効スイッチのON忘れ、OFF忘れを防止できるので、測定の欠落、不要点での間違い測定を防止できる。
(3)有効範囲の形状として、角形状、円形状、領域のいずれも可能で且つその大きさが自由に設定できるため、測定点の位置精度、周囲の形状などによって最適な有効範囲が選択できる。例えば図7に示すような細かいスリット形状の特定個所のエッジを測定したい場合、この図に示すように有効範囲を設定すれば、他のスリット位置で誤ってエッジを測定してしまうことを避けられるので、センサの進入方向Fを自由に選択でき、測定が極めて容易になる。
【0035】
さらに、オートフォーカス機能を備えた顕微鏡などにおいて、焦点調節を行う場合に、焦点深度方向の予測座標値に対して有効範囲を設けて、その有効範囲内でのみオートフォーカス可能とすれば、ワークのオートフォーカス点に段差がある場合でも所定位置に焦点を合わせることが可能となる。例えば図8において、幅Aの範囲でオートフォーカス可能な顕微鏡を用いて測定を行う際に、狭い穴の底部S1に焦点を合わせたい場合であっても、面S2に焦点が合う場合があるが、このような場合、焦点深度方向に有効範囲Rnを設けることによって、確実に底部S1に焦点を合わせることが可能となる。
【0036】
この実施形態では、投影機に用いる二次元形状における測定に限って説明したが、その他に、測定機としては、顕微鏡、画像測定機、あるいは三次元形状を測定する三次元測定機などにおける測定にも用いることが出来る。また、センサとしても受光器に限って説明したが、CCD画像センサ、タッチ信号プローブなどでもあっても良い。特に、高精度タッチ信号プローブを高速三次元測定機に用いた場合は、プローブ移動に伴う急激な加減速によってタッチ信号が誤って出力されることがあるが、本件発明を用いることによって、位置決め時の誤動作を防止でき、測定点近辺でのタッチ信号のみを有効にできるので、誤測定を防止することが出来る。
【0037】
また、上記実施形態では、載置テーブルを手動で操作する場合に限って説明したが、パートプログラムを用いて自動測定を行う測定機であっても、同様に用いることが出来る。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、センサが予測座標値を含む有効範囲に位置していることが、データの取り込みの条件となるので、センサが予測座標値に近づくと座標値読取がONになり、予測座標値から離れたところでは座標値読取がOFFとなる。このため、座標値読取有効/無効スイッチを手動でON/OFFする必要が無く、操作性が極めて良好になり、測定の作業効率も向上するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態に係る幾何要素測定装置の外観正面図である。
【図2】 同装置の内部ブロック図である。
【図3】 同装置で設定される予測座標値に対する有効範囲を説明するための図である。
【図4】 同装置におけるエッジデータの取込処理を示すフローチャートである。
【図5】 同装置における幾何形状測定のために取り込まれるエッジデータを示す図である。
【図6】 同装置におけるスクリーンに表示された画像における取り込むべきエッジデータと有効範囲との関係を示す図である。
【図7】 同装置における複数の幾何要素から特定のエッジデータを取り込む処理を説明するための図である。
【図8】 同装置における特定の面に焦点を合わせたい場合の処理を説明するための図である。
【符号の説明】
10…投影機、12…テーブル、15…レンズ、16…スクリーン、17…受光器、19…投影画像、20…制御装置、31x…X軸リニヤスケール、31y…Y軸リニヤスケール、40…エッジ信号発生器、41x…X軸カウンタ、41y…Y軸カウンタ、42…有効範囲記憶手段、43…有効範囲比較手段、44…有効無効切替手段、45…座標値記憶手段、46…表示手段。
Claims (3)
- 被測定物を測定するセンサと、
前記被測定物の測定点を前記センサが測定した時に測定信号を出力する測定信号発生手段と、
前記検出しようとする測定点の予測座標値に対してこれを内部に含むように設定された所定の有効範囲を記憶する有効範囲記憶手段と、
前記被測定物に対する前記センサの位置が前記設定された有効範囲内かどうかを比較する有効範囲比較手段と、
前記センサが前記有効範囲内に位置している状態で前記測定信号発生手段が測定信号を出力した場合に、前記被測定物の測定点の位置を示す座標値を測定データとして記憶する座標値記憶手段と、
前記測定信号発生手段が測定信号を出力したときに、前記被測定物の測定点の位置を示す座標値を測定データとして取り込むことを有効とする有効状態と、前記被測定物の測定点の位置を示す座標値を測定データとして取り込むことを無効とする無効状態とを切り替える有効無効切替手段とを備え、
前記有効無効切替手段は、前記座標値記憶手段が前記測定データを記憶した後は、無効状態に切り替わるものである
ことを特徴とする測定データ取込装置。 - 前記被測定物の画像を表示する画像表示手段を更に備え、
前記測定信号発生手段は、前記画像表示手段に表示された被測定物の画像に対して前記センサを相対的に移動させて前記センサが前記被測定物の画像のエッジを横切ったときに前記測定信号としてエッジ信号を出力する
ことを特徴とする請求項1記載の測定データ取込装置。 -
前記有効無効切替手段は、前記センサが前記有効範囲内に位置している場合に前記有効状態とし、該有効状態であるときに前記測定信号発生手段により前記エッジ信号が出力された場合に前記無効状態とする
ことを特徴とする請求項2記載の測定データ取込装置。
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