JP3892774B2 - Manufacturing method of semiconductor device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係り、特にシリコン基板を用いて形成された再配線層上に半導体素子が搭載された半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
複数のLSI等の半導体素子を再配線基板上に搭載して一つの半導体装置として形成する技術が開発されている。図1はシリコン基板を用いて形成した配線基板上に複数のLSIを搭載して形成した半導体装置の断面図である。図1に示す半導体装置は、50〜200μm程度の厚さのシリコン基板(Si基板)1上に多層の配線層2を設けて形成した配線基板(インターポーザ)3を用いている。
【0003】
図1に示す例では、再配線基板3の配線層2上に2つのLSI4,5及びチップ部品としてコンデンサ6が搭載されている。配線基板3の裏側にはポリイミド樹脂よりなる絶縁層7が設けられ、絶縁層7の表面に電極パッド8が形成される。電極パッド8は、銅充填ビア9により配線層2内のパターン配線接続される。これにより、LSI4,5と電極パッド8とは電気的に接続される。銅充填ビア9は、シリコン基板1と絶縁層7とを貫通して形成された貫通孔内に銅メッキを充填して形成する。
【0004】
配線基板3の電極パッド8は、パッケージ基板としてのガラスセラミック基板10上に設けられた電極パッド11にハンダボールやハンダバンプ等により接続される。ガラスセラミック基板10の裏側に外部接続用端子としてのハンダボール12が設けられて半導体装置が形成される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図1に示す半導体装置において、上述のように、再配線基板3のSi基板1及び絶縁層7とを貫通して形成された貫通孔内に銅メッキを充填する必要がある。Si基板の厚みは50〜200μmであり、このような厚みの基板に小さな貫通孔を形成するには特殊な工程が必要である。例えば、誘導結合プラズマ−反応性イオンエッチング(ICP−RIE)により貫通孔を形成し、貫通孔の内面をCVDにより絶縁処理する必要がある。このような処理は比較的高価な処理であり、その分半導体装置の製造コストが上昇する。また、銅メッキを貫通孔に充填する際に、ボイドの発生を防止することは技術的に難しい。銅ビア内にボイドが発生すると、導通不良など信頼性低下の原因となる。
【0006】
また、Si基板1の厚さは50〜200μm程度と非常に薄いため、配線基板3を製造工程内で単体で扱うことは難しいという問題もある。
【0007】
さらに、Si基板1の片面に配線層2が設けられ、反対側の面に絶縁層7が設けられるため、配線基板3自体に反りが生じ易い。すなわち、配線層2は多層構造であり、その厚みは単層である絶縁層7より大きいため、厚みの相違に起因して反りが発生する。配線基板3に反りが発生すると、配線基板3上に微細ピッチ電極のLSIを搭載することが困難となるという問題もある。
【0008】
また、配線基板3のSi基板1は、製造工程において必要な部材であるが、完成した半導体装置としては必ずしも必要ではない。したがって、半導体装置の高さ(厚み)には、必ずしも必要ではないSi基板1の厚みが含まれるという問題もある。
【0009】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、配線基板中にSi基板があることに起因する上述の問題を解消した半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【0013】
請求項1記載の発明は、半導体装置の製造方法であって、シリコン基板上に金属薄膜層を形成し、該金属薄膜層上に導電層及び絶縁層を多段に形成して薄膜多層基板を形成し、前記薄膜多層基板に支持部材を接着部材により貼り付け、前記シリコン基板及び前記金属薄膜層を除去し、前記薄膜多層基板を前記支持部材と共に個片化し、前記薄膜多層基板をパッケージ基板に搭載し、前記薄膜多層基板を前記パッケージ基板に固定し、前記接着部材の粘着力を低下させて、前記支持部材及び前記接着部材を前記薄膜多層基板から剥離し、前記薄膜多層基板に半導体素子を搭載することを特徴とするものである。
【0014】
請求項1記載の発明によれば、薄膜多層基板は製造工程においてシリコン基板が除去されても支持部材により平坦に維持され、変形することなく容易に取り扱うことができる。
【0015】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、前記接着部材は、前記薄膜多層基板に接触する面に熱発泡粘着材を有しており、前記接着部材を剥離する工程は、前記接着部材を前記熱発泡粘着材の発泡開始温度以上の温度に加熱する工程を含むことを特徴とするものである。
【0016】
請求項2記載の発明によれば、発泡性粘着材を発泡させて粘着力を低下させることにより接着部材を支持部材と共に容易に剥離することができる。
【0017】
請求項3記載の発明は、請求項2記載の半導体装置の製造方法であって、前記シリコン基板を除去する工程の前に、前記薄膜多層基板が前記シリコン基板に固定された状態で前記薄膜多層基板のみを切断して個片化しておくことを特徴とするものである。
【0018】
請求項3記載の発明によれば、シリコン基板上において薄膜多層基板が分割されて面積が小さくなるので、シリコン基板が除去されたときに薄膜基板の表面に割れが生じることを防止することができる。
【0023】
請求項4記載の発明は、請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、前記シリコン基板及び金属薄膜層を除去する工程は、フッ硝酸を用いたスピンエッチングを含むことを特徴とするものである。
【0024】
請求項4記載の発明によれば、シリコン基板及び金属薄膜層を容易に且つ効率的に除去することができる。
【0025】
請求項5記載の発明は、請求項4記載の半導体装置の製造方法であって、前記シリコン基板及び金属薄膜層を除去する工程は、フッ硝酸を用いたスピンエッチングの後に、フッ硝酸を中和剤により中和する工程を含むことを特徴とするものである。
【0026】
請求項5記載の発明によれば、フッ硝酸を中和することにより後工程においてフッ硝酸が残留することによる問題を解消することができる。
【0027】
請求項6記載の発明は、請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、前記金属薄膜層及び前記薄膜多層基板を形成する工程は、前記金属薄膜層及び前記薄膜多層基板を前記シリコン基板上で予め個片化された状態に形成することを特徴とするものである。
【0028】
請求項6記載の発明によれば、薄膜多層基板をシリコン基板上で予め個片化してしまうため、薄膜多層基板の面積が小さくなり、シリコン基板が除去されたときに薄膜基板の表面に割れが生じることを防止することができる。
【0029】
請求項7記載の発明は、請求項1記載の半導体装置の製造方法であって、前記シリコン基板及び前記金属薄膜層を除去した後、露出した前記絶縁層にレーザを照射して開口を形成し、該開口内で前記導電層を露出させることを特徴とするものである。
【0030】
請求項7記載の発明によれば、シリコン基板を除去した後に薄膜多層基板の導電層を容易に露出させることができる。
【0031】
図2は本発明の第1実施例による半導体装置の断面図である。図2において、図1に示す構成部品と同等な部品は同じ符号を付す。
【0032】
本発明の第1実施例による半導体装置20は、薄膜多層基板21上にLSI4,5を搭載し、薄膜多層基板21をパッケージ基板10に搭載して形成したものである。薄膜多層基板21は図1における配線層2に相当する部分である。薄膜多層基板21とパッケージ基板10との間にはアンダーフィル22が充填され、薄膜多層基板21は比較的剛性の高いパッケージ基板10に固定される。薄膜多層基板21は、ポリイミドやBCB(Benzo−Cyclo−Butene)等の絶縁層と銅(Cu)等の配線層が積層されて形成される。パッケージ基板10は、ガラスセラミック基板(GC基板)やビルドアップ基板等の比較的剛性を有する基板である。なお、薄膜多層基板21はハンダ等によりパッケージ基板10に固定されるため、必ずしもアンダーフィル22を充填する必要はない。
【0033】
図1と図2を比較すると明らかなように、図2に示す半導体装置20において再配線基板として機能する部分は薄膜多層基板21だけである。すなわち、半導体装置20は、図1におけるSi基板1及び絶縁層7を有していない。したがって、Si基板1を貫通する銅ビア9も不要であり、銅ビア9を設けるために形成する貫通孔の加工も不要である。
【0034】
以上のように、半導体装置20は再配線基板としてSi基板を含んでいないため、Si基板中に銅ビアを形成する工程が不要であり、その分の製造コストを低減することができる。また、Si基板と絶縁層の厚み分だけ、半導体装置の高さ(厚み)を減少することができる。
【0035】
なお、図2に示す半導体装置20において、薄膜多層基板21とパッケージ基板10との接続は、ボールグリッドアレイ(BGA)構造の接続としたが、図3に示すようにランドグリッドアレイ(LGA)構造とすることもできる。
【0036】
次に、図2に示す半導体装置20の製造工程について、図4乃至14を参照しながら説明する。図4,6,8〜14は、半導体装置20の製造工程を順に示している。
【0037】
まず、図4に示すように、厚さ500〜700μm程度のシリコンウェハ23上にメタル薄膜層24を形成し、メタル薄膜層24の上に薄膜配線層25を形成する。薄膜配線層25は図2における薄膜多層基板21に相当する。以上の工程は通常のウェハプロセスに用いる装置類をそのまま用いて行うことができ、薄膜配線層25は微細な多層配線構造とすることができる。
【0038】
図5は図4におけるA部の拡大図である。メタル薄膜層24は、図5に示すように、シリコンウェハ23の上に形成されたTiスパッタ層24Aと、Tiスパッタ層23A上に形成されたCuスパッタ層24Bとよりなる。したがって、薄膜配線層25はCuスパッタ層24B上に形成される。Tiスパッタ層23AはCrスパッタ層やNiスパッタ層に置き換えられてもよい。メタル薄膜層24は、シリコンウェハ23上に配線メッキ層を形成するためのシードレイヤとして機能する。
【0039】
薄膜配線層25は、ポリイミド等の絶縁層の間に銅メッキ層による配線パターンを形成したもので、通常の多層配線基板の製造方法により形成される。図5に示すように、薄膜配線層25の内部には、下部電極26と上部電極27とが形成される。下部電極26は、後述のようにシリコンウェハを除去した最に露出して最配線基板の外部接続端子用の電極パッドとして機能する。上部電極27は、LSI4,5やチップ部品を搭載するための電極パッドとして機能する。
【0040】
下部電極26は、Cuスパッタ層24B上に形成された金(Au)メッキ層28と、金(Au)メッキ層28の上に形成されたニッケル(Ni)メッキ層29と、ニッケル(Ni)メッキ層29の上に形成された銅(Cu)メッキ層30とよりなる。Cuメッキ30層が電極パッドの本体であり、Auメッキ層28はハンダの濡れ性を確保するために設けられ、Niメッキ層29はハンダの拡散を防止するバリアメタル層として機能する。また、Auメッキ層28は、後述するエッチング工程において、下部電極のエッチングを防止するためのバリア層としても機能する。
【0041】
上部電極27は下部電極28と同様な構成であり、銅(Cu)メッキ層31の上にニッケル(Ni)メッキ層32が形成され、その上に金(Au)メッキ層33が形成される。
【0042】
また、薄膜配線層15の中に形成された下部電極や上部電極に対向するように電極を形成し、その間に高誘電率材料を配して内部キャパシタを形成することもできる。
【0043】
次に、図6に示すように、薄膜配線層25の上に接着フィルム35(接着部材)を介してガラス板等からなる支持部材36を貼り付ける。支持部材36は製造工程中に薄膜配線層と平坦な状態に維持して容易にハンドリングできるようにするために貼り付けられる。図7は接着フィルム35の構造を示す断面図である。接着フィルム35は、ポリエチレン(PET)フィルム35Aの一面に通常の粘着剤35Bが塗布され、反対側の面に熱発泡粘着材又はUV硬化型粘着材35Cが設けられた構造である。
【0044】
接着フィルム35において、粘着剤35Bは支持部材36であるガラス板を貼り付けるためのものであり、熱発泡粘着材又はUV硬化型粘着材35Cは薄膜配線層25を貼り付けるためのものである。熱発泡粘着材35Cは、所定の温度以上に加熱したときに内部で発泡が生じて粘着力が低下する粘着材である。また、UV硬化型粘着材35Cは紫外線を照射すると硬化して粘着力が低下する粘着材である。なお、熱発泡粘着材又はUV硬化型粘着材35Cを接着層として支持部材36に直接設けることとしてもよい。
【0045】
次に、図8に示すように、支持部材36にバックグラインド(BG)テープ37を貼り付け、支持部材36を回転させながらシリコンウェハ23を研磨(バックグラインド)する。この際、シリコンウェハの厚みが50μm程度となるまで研磨する。続いて、図9に示すように、研磨して薄くなったシリコンウェハ23を上側にして回転させながら、スピンエッチングによりシリコンウェハ23の残りの部分及びメタル薄膜層24を除去する。これにより、薄膜配線層25の最下層の絶縁層と下部電極26のAuメッキ層28とが露出する。
【0046】
ここで、本実施例では、スピンエッチングのエッチング液としてフッ硝酸(5%HF+55%HNO3+H2O)を用いる。フッ硝酸は、シリコンとTi及びCuを溶解するが、Auメッキ層やポリイミドの絶縁層は溶解しない。したがって、研磨されずに残っていたシリコンウェハ23のみがフッ硝酸に溶解されて除去され、薄膜配線層25の最下層の絶縁層と下部電極26のAuメッキ層28とが露出する。
【0047】
スピンエッチングが終了したら、フッ硝酸を中和して洗浄する処理を行い、洗浄後に乾燥させる。フッ硝酸の中和処理は、燐酸ソーダを露出面に滴下させながらスピンさせることにより行うことができる。すなわち、スピンエッチングの処理でフッ硝酸を滴下する代わりに燐酸ソーダ(燐酸3ナトリウム)を滴下することにより、露出面に残ったフッ硝酸中和する。その後、純粋で露出面を洗浄し、乾燥空気や窒素を吹き付けて乾燥させる。
【0048】
上述の中和剤としての燐酸3ナトリウムの化学式はNa3PO4・6H2Oである。燐酸3ナトリウムの濃度は5wt%(0.1〜10%程度が実用範囲)が好ましく、温度は50℃(20〜70℃程度で使用可)が好ましい。また、中和に必要な時間は10〜20秒程度である。
【0049】
次に、図10に示すように、薄膜配線層25が支持部材36に固定されている状態で、露出した下部電極26のAuメッキ層28の上にハンダバンプ38を形成する。ハンダバンプ38はメッキ法により形成することが一般的である。この際、接着フィルム35が熱発泡粘着材35Cを用いていた場合には、熱発泡粘着材35Cの発泡開始温度よりも処理温度を低く維持することが必要である。また、図3に示すようなLGA構造であれば、ハンダバンプ38を形成する必要はない。ここで、薄膜配線層25が支持部材36に固定されているので、薄膜配線層25を例えばメッキバンプ形成のためのフォトリソグラフィ処理を施すことが可能である。
【0050】
次に、図11に示すように、支持部材36にダイシングテープ39を貼り付け、ダイシングブレード40により薄膜配線層25を切断して個片化する。この際接着フィルム35及び支持部材36も切断する。したがって、個片化された薄膜配線層25(図2における薄膜多層基板21に相当する)は支持部材36に固定された状態で維持される。
【0051】
続いて、図12に示すように、個片化された薄膜多層基板21をハンダバンプ38を介してパッケージ基板10にフリップチップボンディングにより接続する。薄膜多層基板21はガラス板よりなる支持部材36に固定されているため、良好な平坦度に維持されており、ハンダバンプ38のコプラナリティも良好である。したがって、微細構造の薄膜多層基板21をパッケージ基板に容易に搭載することができる。この際、ボンディング温度を接着フィルムの発泡開始温度より低くする必要がある。その後、薄膜多層基板21とパッケージ基板10との間にアンダーフィル22を充填し、硬化させる。
【0052】
アンダーフィル22が硬化した後に、図13に示すように、接着フィルム35を薄膜多層基板21から剥離する。この際、接着フィルム35に熱発泡粘着材35Cが用いられている場合は、発泡開始温度以上に加熱して粘着力を低下させて粘着材35Cと薄膜多層基板21との間で剥離して、接着フィルム35を除去する。粘着材35Cの加熱は、アンダーフィル22を硬化させるための加熱と同時に行ってもよい。接着フィルム35にUV硬化型泡粘着材35Cが用いられている場合は、ガラス板よりなる支持部材36を介して紫外線を粘着材35Cに照射し、粘着力を低下させてから、粘着材35Cと薄膜多層基板21との間で剥離して、接着フィルム35を除去する。
【0053】
その後、図14に示すように、LSI4,5をフリップチップ接続により薄膜多層基板21に搭載し、また、チップ部品6を薄膜多層基板21に搭載する。その後、LSI4,5と薄膜多層基板21との間にアンダーフィル39を充填する。そして、パッケージ基板10の裏面に外部接続用端子としてハンダボール12を形成し、図2に示す半導体装置20が完成する。なお、図14ではチップ部品6の図示を省略している。
【0054】
なお、図15に示すように、半導体装置20のLSIチップ4,5の上に銀(Ag)ペースト40を介してヒートスプレッダやヒートシンク41を取り付けて、放熱を促進することとしてもよい。
【0055】
以上の半導体装置20の製造工程では、薄膜配線層25を支持部材36により平坦な状態に固定しておき、シリコン基板23を除去してしまうので、シリコン基板を貫通して延在する銅ビア等を形成する必要がない。また、薄膜配線層25を個片化して多層薄膜基板21とし、パッケージ基板10に搭載した後に支持部材36を剥離して除去するため、多層薄膜基板21は常に平坦な状態に固定されており、容易に取り扱うことができる。
【0056】
次に、本発明の第2実施例による半導体装置について説明する。図16は本発明の第2実施例による半導体装置50の断面図である。図16において、図2に示す半導体装置20の構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0057】
図16に示す半導体装置50は、上述の第1実施例による半導体装置20のLSIチップ4,5を封止樹脂51により封止したものであり、基本的な構成は半導体装置20と同じである。
【0058】
図17乃至図23は図16に示す半導体装置50の製造工程を順を追って説明する図である。半導体装置50の製造工程は、LSI4,5を薄膜配線層25に搭載するまでは、上述の半導体装置20の製造工程と同様であり、その説明は省略する。
【0059】
図17に示すようにLSI4,5を薄膜配線層25に搭載した後、図18に示すように、LSI4,5をエポキシ樹脂等の封止樹脂51(モールドタイプ又は液状樹脂タイプ)により封止する。封止樹脂51はLSI4,5の間に充填し、封止樹脂51の上面がLSI4,5の背面と同じ高さとなるようにする。したがって、封止樹脂の上面とLSI4,5の背面とにより平坦な面が形成される。
【0060】
この際、封止樹脂51の線膨張率α=8〜20ppmであり、シリコンの線膨張率に比べて大きいため、線膨張率の相違に起因してシリコンウェハ23に反りが生じるおそれがある。しかし、本実施例ではLSI4,5の周囲にのみ封止樹脂51を充填するので、封止樹脂51の体積は小さくなり、反りが発生しても大き反りにはならない。
【0061】
次に、図19に示すように、封止樹脂51の上面とLSI4,5の背面にバックグライドテープ37を貼り付けて、シリコンウェハ23の厚さが50μm程度となるまで研磨する。本実施例では、封止樹脂51が薄膜配線層25を平坦に維持する支持部材として機能するため、上述の第1実施例のように支持部材36を貼り付ける必要はない。そして、図20に示すように、フッ硝酸を用いたスピンエッチングにより残ったシリコンウェハ23とメタル薄膜層24を除去し、フッ硝酸の中和処理及、洗浄及び乾燥を行う。
【0062】
次に、図21に示すように、露出した下部電極26のAuメッキ層28の上にハンダバンプ38を形成する。そして、図22に示すように、封止樹脂51の上面とLSI4,5の背面にダイシングテープ39を貼り付け、ダイシングブレード40により薄膜配線層25及び封止樹脂51を切断して個片化する。
【0063】
続いて、図23に示すように、個片化された薄膜多層基板21をハンダバンプ38を介してパッケージ基板10にフリップチップボンディングにより接続する。薄膜多層基板21は封止樹脂51により固定されているため、良好な平坦度に維持されており、ハンダバンプ38のコプラナリティも良好である。したがって、微細構造の薄膜多層基板21をパッケージ基板に容易に搭載することができる。その後、薄膜多層基板21とパッケージ基板10との間にアンダーフィル22を充填し、硬化させることにより、図16に示す半導体装置50が完成する。
【0064】
なお、図24に示すように、半導体装置50のLSIチップ4,5の上に銀(Ag)ペースト40を介してヒートスプレッダやヒートシンク41を取り付けて、放熱を促進することとしてもよい。
【0065】
また、上述の製造工程において、図19に示すバックグラインド工程の前に、図25に示すようにLSI4,5の背面及び封止樹脂51を研磨することとしてもよい。すなわち、図25に示すようにLSI4,5の背面及び封止樹脂51を研磨した後、図26に示すようにシリコンウェハ23を研磨する。これにより、LSI4,5と封止樹脂51の上面を更に平坦化することができる。また、半導体装置50の厚みを減少することができる。更に、封止樹脂51の体積が小さくなるので、反りの発生を防止することができる。
【0066】
次に、上述の第1及び第2実施例に適用可能な変形例について説明する。
【0067】
図27は薄膜配線層25の変形例を説明するための拡大断面図である。図27に示す部分は、図4のA部に相当する部分、すなわち図5に相当する部分である。図27に示す薄膜配線層25では、絶縁層1乃至4が積み重ねられており、それらの間に電極や配線パターンが形成されている。ここで、シリコンウェハ23に最も近い絶縁層1を形成する絶縁材料(例えばポリイミド)を、その他の絶縁層2乃至4を形成する絶縁材料より低応力のもの(すなわち、より柔軟性を有する材料)とする。以下にその理由について説明する。
【0068】
通常、ポリイミドなどの絶縁薄膜は硬化した後に内部に残留応力が残る。上述の実施例のように、シリコンウェハ23及びメタル薄膜層24をエッチングにより除去すると、残留応力を有する絶縁層が露出して開放される。このような状態となると、図28に示すように、露出した絶縁層に内部の残留応力に起因して絶縁層の表面からクラックが発生するおそれがある。そこで、図27に示すように、絶縁層1を柔軟性の高い材料としておけば、残留応力は緩和されて小さくなるので、絶縁層1の表面からクラックが発生することが防止される。
【0069】
また、スピンエッチングによるシリコンウェハ23の除去後に、薄膜配線層25の下部電極26をレーザ等による孔開けにより露出させることとしてもよい。すなわち、図29に示すように、下部電極26となるCuメッキ層30を絶縁層1の上に形成しておき、シリコンウェハ23及びメタル薄膜層24を除去した後で、図30に示すように絶縁層1にレーザにより開口を形成してCuメッキ層30を露出させる。そして、図31に示すように、Cuメッキ層30の上にNiメキ層29及びAuメッキ層28を無電解メッキ法により形成する。
【0070】
次に、薄膜配線層25を最初から個片化された状態で形成する方法について、図32乃至34を参照しながら説明する。図32は薄膜配線層を形成する段階から分割して個片化する工程を説明するための図である。図33は個片化された薄膜配線層が形成されたシリコンウェハの平面図である。図34は図32に示す薄膜配線層が固定された支持部材をダイシングする工程を示す図である。
【0071】
上述の実施例では薄膜配線層25をダイシングすることにより個片化して薄膜多層基板21を形成しているが、薄膜配線層25をシリコンウェハ23上に形成する段階から最終的な大きさに分割しておくこともできる。図32に示すように、メタル薄膜層24及び薄膜配線層25の各層をシリコンウェハ23上に形成する際に、フォトエッチング等により最初から所望の大きさにとして積層していく。このようにして形成された薄膜配線層を上からみると図33に示す状態となる。すなわち、最終的にダイシングにより切断する部分にはメタル薄膜層24及び薄膜配線層25を形成しない。
【0072】
図33に示すようにシリコンウェハ23上に配列された薄膜配線層25(薄膜多層基板21に相当)は、接着フィルム35を介して支持部材36に固定されて、シリコンウェハ23及びメタル薄膜層24がエッチングにより除去される。そして、薄膜配線層25にハンダバンプ38が形成された後、図34に示すように、支持部材36をダイシングして個片化する。この際、支持部材36は薄膜配線層25が形成されなかった部分に沿って切断されることとなる。
【0073】
以上のように、最初から個片化された状態で薄膜配線層25を形成することにより、一つでつながっている薄膜配線層25の面積が小さくなり、エッチングによりシリコンウェハ23を除去した際に薄膜配線層25に生じるクラックが発生し難くなる。また、薄膜配線層25はダイシングにより切断されることはなく、ダイシングに起因する損傷を防止することができる。
【0074】
上述のように薄膜配線層25を最初から個片化して形成する代わりに、薄膜配線層25がシリコンウェハ23に形成されている状態で薄膜配線層25を個片化しておくこととしてもよい。図35乃至39は薄膜配線層25がシリコンウェハ23に形成されている状態で薄膜配線層25を個片化しておく工程を説明するための図である。
【0075】
まず、図35に示すように、シリコンウェハ23上に形成された薄膜配線層25をダイシングにより個片化する。この際、シリコンウェハ23は完全に切断せず、僅かに切り込みが入った程度(ハーフカット)とする。そして、図36に示すように、薄膜配線層25に接着フィルム35を介して支持部材36を貼り付ける。その後、図37に示すように、シリコンウェハを研磨(バックグラインド)することにより厚みを薄くする。この際、バックグラインドはシリコンウェハ23の切り込みの手前で止めてもよいし、切り込みまで進めてしまってもよい。
【0076】
続いて、図38に示すように、残ったシリコンウェハ23お呼びメタル薄膜層24をスピネンエッチングにより除去する。そして、図39に示すように、支持部材36にダイシングテープ39を貼り付けた状態で、接着フィルム35及び支持部材36をダイシングにより切断して個片化する。この際、ダイサーブレード40は、薄膜配線層25を切断する際に用いたダイサーブレードのより薄いものとし、薄膜配線層25が切断された線に沿ってダイシングする。
【0077】
以上のように、シリコンウェハに形成された状態で薄膜配線層25を個片化しておくことにより、一つでつながっている薄膜配線層25の面積が小さくなり、エッチングによりシリコンウェハ23を除去した際に薄膜配線層25に生じるクラックが発生し難くなる。
【0078】
次に、上述の方法で形成した薄膜多層基板の試験方法について説明する。
【0079】
まず、図40に示すように、薄膜配線層25(薄膜多層基板21に相当)がシリコンウェハ23上に形成された状態で、電気的導通試験を行うことができる。シリコンウェハ23の厚さは500〜700μmであり、剛性を有しているため、試験用のプローブ55を薄膜配線層25の上部電極に接触させて電気的導通をチェックすることができる。これによりウェハ状態での試験が可能となり、多数の薄膜多層基板21を効率的に試験することができる。
【0080】
また、図41に示すように、薄膜配線層25内を貫通してメタル薄膜層24から反対側の表面まで延在する導通部25aを設けておき、メタル薄膜層24と薄膜配線層25の表面の配線層との間の静電容量を測定することで、薄膜多層基板21の良否をチェックすることができる。この場合、メタル配線層24は最終的に除去されるため、薄膜多層基板21の機能に影響を及ぼすことはない。また、薄膜配線層25をダイシングにより切断する部分に導通部25aを設けておくことにより、薄膜配線層25を個片化する際のダイシングにより導通部25aを除去することもできる。
【0081】
また、図42に示すように、薄膜配線層25(薄膜多層基板21に相当)をシリコンウェハ23上に形成した後に、テスト配線層56を薄膜配線層25上に形成して所定の試験を行うこともできる。テスト配線層56はスパッタ等により形成し、試験終了後にエッチングにより除去すればよい。
【0082】
更に、図43に示すように、シリコンウェハ23およびメタル薄膜層24をスピンエッチングにより除去した後に、薄膜配線層25を支持部材36に貼り付けた状態で試験を行うこととしてもよい。この場合も、支持部材36は剛性を有しているため、試験用のプローブ55を薄膜配線層25の下部電極に接触させて電気的導通をチェックすることができる。これによりウェハ状態と同様に、多数の薄膜多層基板21を効率的に試験することができる。
【0083】
以上の如く、本明細書は以下の発明を開示する。
【0084】
(付記1) 薄膜多層基板と、
該薄膜多層基板に搭載された少なくとの一つの半導体素子と、
前記薄膜多層基板が接続されたパッケージ基板と、
該パッケージ基板に設けられた外部接続用端子と
よりなる半導体装置であって、
前記薄膜多層基板は前記パッケージ基板に対して固定されていることを特徴とする半導体装置。
【0085】
(付記2) 付記1記載の半導体装置であって、
前記半導体素子の背面に放熱部材が取り付けられたことを特徴とする半導体装置。
【0086】
(付記3) 半導体装置の製造方法であって、
シリコン基板上に金属薄膜層を形成し、
該金属薄膜層上に導電層及び絶縁層を多段に形成して薄膜多層基板を形成し、
前記薄膜多層基板に支持部材を接着部材により貼り付け、
前記シリコン基板及び前記金属薄膜層を除去し、
前記薄膜多層基板を前記支持部材と共に個片化し、
前記薄膜多層基板をパッケージ基板に搭載して、前記薄膜多層基板を前記パッケージ基板に固定し、
前記接着部材の粘着力を低下させて、前記支持部材及び前記接着部材を前記薄膜多層基板から剥離し、
前記薄膜多層基板に半導体素子を搭載する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0087】
(付記4) 付記3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記接着部材は、前記薄膜多層基板に接触する面に熱発泡粘着材を有しており、
前記接着部材を剥離する工程は、前記接着部材を前記熱発泡粘着材の発泡開始温度以上の温度に加熱する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0088】
(付記5) 付記3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記接着部材は、前記薄膜多層基板に接触する面にUV硬化型粘着材を有しており、
前記接着部材を剥離する工程は、前記接着部材に紫外線を照射する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0089】
(付記6) 付記3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記シリコン基板を前記薄膜多層基板から除去する工程から前記薄膜多層基板を前記パッケージ基板に搭載して固定する工程まで、前記支持部材を前記接着部材により前記薄膜多層基板に貼り付けておくことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0090】
(付記7) 付記3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記薄膜多層基板を個片化する工程において、前記薄膜多層基板と前記接着剤部材と前記支持部材とを同時に切断することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0091】
(付記8) 付記3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記シリコン基板を除去する工程の前に、前記薄膜多層基板が前記シリコン基板に固定された状態で前記薄膜多層基板のみを切断して個片化しておくことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0092】
(付記9) 薄膜多層基板と、
該薄膜多層基板に搭載された少なくとの一つの半導体素子と、
前記薄膜多層基板が接続されたパッケージ基板と、
該パッケージ基板に設けられた外部接続用端子と
よりなる半導体装置であって、
前記半導体素子は背面を露出した状態で前記薄膜多層基板上で封止樹脂により封止されており、
前記薄膜多層基板は前記パッケージ基板に対して固定されていることを特徴とする半導体装置。
【0093】
(付記10) 付記9記載の半導体装置であって、
前記半導体素子の背面に放熱部材が取り付けられたことを特徴とする半導体装置。
【0094】
(付記11) 半導体装置の製造方法であって、
シリコン基板上に金属薄膜層を形成し、
該金属薄膜層上に導電層及び絶縁層を多段に形成して薄膜多層基板を形成し、
前記薄膜多層基板に半導体素子を搭載し、
該半導体素子を前記薄膜多層基板上で樹脂封止し、
前記シリコン基板及び前記金属薄膜層を除去し、
前記薄膜多層基板を個片化し、
前記個片化された薄膜多層基板をパッケージ基板に搭載して、前記薄膜多層基板を前記パッケージ基板に固定する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0095】
(付記12) 付記3又は11記載の半導体装置の製造方法であって、
前記シリコン基板及び金属薄膜層を除去する工程は、フッ硝酸を用いたスピンエッチングを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0096】
(付記13) 付記12記載の半導体装置の製造方法であって、
前記シリコン基板及び金属薄膜層を除去する工程は、フッ硝酸を用いたスピンエッチングの後に、フッ硝酸を中和剤により中和する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0097】
(付記14) 付記3又は11記載の半導体装置の製造方法であって、
前記絶縁層のうち前記金属薄膜層に接する絶縁層を、他の絶縁層より柔軟性が高い材料より形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0098】
(付記15) 付記3又は11記載の半導体装置の製造方法であって、
前記金属薄膜層及び前記薄膜多層基板を形成する工程は、前記金属薄膜層及び前記薄膜多層基板を前記シリコン基板上で予め個片化された状態に形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0099】
(付記16) 付記3又は11記載の半導体装置の製造方法であって、
前記シリコン基板及び前記金属薄膜層を除去した後、露出した前記絶縁層にレーザを照射して開口を形成し、該開口内で前記導電層を露出させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0100】
(付記17) 付記3又は11記載の半導体装置の製造方法であって、
前記薄膜多層基板から前記シリコン基板を除去する前に、前記薄膜多層基板の試験を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0101】
(付記18) 付記17記載の半導体装置の製造方法であって、
前記薄膜多層基板を貫通して前記金属薄膜層から前記薄膜多層基板の表面まで延在する導通部を形成し、
前記導通部と前記薄膜多層基板の導電層とを用いて前記薄膜倒す基板の試験を行うことを特徴とする半導体装置の試験方法。
【0102】
(付記19) 付記17記載の半導体装置の製造方法であって、
前記薄膜多層基板が前記シリコン基板に固定されている状態で、前記薄膜多層基板の表面にテスト配線層を形成して試験を行い、試験終了後に該テスト配線層を除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【0103】
(付記20) 付記3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記薄膜多層基板が前記支持部材に固定された状態で、前記薄膜多層基板の試験を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、次に述べる種々の効果を実現することができる。
【0105】
請求項1記載の発明によれば、薄膜多層基板は製造工程においてシリコン基板が除去されても支持部材により平坦に維持され、変形することなく容易に取り扱うことができる。
【0106】
請求項2記載の発明によれば、発泡性粘着材を発泡させて粘着力を低下させることにより接着部材を支持部材と共に容易に剥離することができる。
【0107】
請求項3記載の発明によれば、シリコン基板上において薄膜多層基板が分割されて面積が小さくなるので、シリコン基板が除去されたときに薄膜基板の表面に割れが生じることを防止することができる。
【0110】
請求項4記載の発明によれば、シリコン基板及び金属薄膜層を容易に且つ効率的に除去することができる。
【0111】
請求項5記載の発明によれば、フッ硝酸を中和することにより後工程においてフッ硝酸が残留することによる問題を解消することができる。
【0112】
請求項6記載の発明によれば、薄膜多層基板をシリコン基板上で予め個片化してしまうため、薄膜多層基板の面積が小さくなり、シリコン基板が除去されたときに薄膜基板の表面に割れが生じることを防止することができる。
【0113】
請求項7記載の発明によれば、シリコン基板を除去した後に薄膜多層基板の導電層を容易に露出させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】シリコン基板を用いて形成した再配線基板上に複数のLSIを搭載して形成した半導体装置の断面図である。
【図2】本発明の第1実施例による半導体装置の断面図である。
【図3】本発明の第1実施例による半導体装置の変形例の断面図である。
【図4】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その1)である。
【図5】図4に示すA部の拡大図である。
【図6】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その2)である。
【図7】図6に示す接着フィルムの構造を示す断面図である。
【図8】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その3)である。
【図9】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その4)である。
【図10】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その5)である。
【図11】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その6)である。
【図12】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その7)である。
【図13】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その8)である。
【図14】図2に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その9)である。
【図15】図2に示す半導体装置の変形例を示す断面図である。
【図16】本発明の第2実施例による半導体装置の断面図である。
【図17】図16に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その1)である。
【図18】図16に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その2)である。
【図19】図16に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その3)である。
【図20】図16に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その4)である。
【図21】図16に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その5)である。
【図22】図16に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その6)である。
【図23】図16に示す半導体装置の製造工程を説明するための図(その7)である。
【図24】図16に示す半導体装置の変形例を示す断面図である。
【図25】図16に示す半導体装置において、LSIの背面を研磨する工程を示す図である。
【図26】図16に示す半導体装置において、LSIの背面を研磨した後の工程を示す図である。
【図27】薄膜配線層の変形例を示す断面図である。
【図28】薄膜配線層に生じるクラックを示す図である。
【図29】薄膜配線層の変形例の製造工程を説明するための図(その1)である。
【図30】薄膜配線層の変形例の製造工程を説明するための図(その2)である。
【図31】薄膜配線層の変形例の製造工程を説明するための図(その3)である。
【図32】薄膜配線層を形成する段階から分割して個片化する工程を説明するための図である。
【図33】個片化された薄膜配線層が形成されたシリコンウェハの平面図である。
【図34】図32に示す薄膜配線層が固定された支持部材をダイシングする工程を示す図である。
【図35】薄膜配線層がシリコンウェハに形成されている状態で薄膜配線層を個片化しておく工程を説明するための図(その1)である。
【図36】薄膜配線層がシリコンウェハに形成されている状態で薄膜配線層を個片化しておく工程を説明するための図(その2)である。
【図37】薄膜配線層がシリコンウェハに形成されている状態で薄膜配線層を個片化しておく工程を説明するための図(その3)である。
【図38】薄膜配線層がシリコンウェハに形成されている状態で薄膜配線層を個片化しておく工程を説明するための図(その4)である。
【図39】薄膜配線層がシリコンウェハに形成されている状態で薄膜配線層を個片化しておく工程を説明するための図(その5)である。
【図40】半導体装置の製造工程中に薄膜多層基板を試験する方法を説明する図である。
【図41】半導体装置の製造工程中に薄膜多層基板を試験する方法を説明する図である。
【図42】半導体装置の製造工程中に薄膜多層基板を試験する方法を説明する図である。
【図43】半導体装置の製造工程中に薄膜多層基板を試験する方法を説明する図である。
【符号の説明】
4,5 LSI
6 チップ部品
8 電極パッド
10 パッケージ基板
12 ハンダボール
20,50 半導体装置
21 薄膜多層基板
22 アンダーフィル
23 シリコンウェハ
24 メタル薄膜層
25 薄膜配線層
26 下部電極
27 上部電極
28,33 Auメッキ層
29,32 Niメッキ層
30,31 Cメッキ層
35 接着フィルム
36 支持部材
38 ハンダバンプ
41 ヒートスプレッダ
51 封止樹脂[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly to a semiconductor device in which a semiconductor element is mounted on a rewiring layer formed using a silicon substrate and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
A technique has been developed in which a plurality of semiconductor elements such as LSIs are mounted on a rewiring board to form a single semiconductor device. FIG. 1 is a cross-sectional view of a semiconductor device formed by mounting a plurality of LSIs on a wiring substrate formed using a silicon substrate. The semiconductor device shown in FIG. 1 uses a wiring substrate (interposer) 3 formed by providing a
[0003]
In the example shown in FIG. 1, two
[0004]
The electrode pads 8 of the
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the semiconductor device shown in FIG. 1, as described above, it is necessary to fill the through hole formed through the
[0006]
Further, since the thickness of the
[0007]
Furthermore, since the
[0008]
The
[0009]
The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor device and a method for manufacturing the same that solve the above-described problems caused by the presence of a Si substrate in a wiring board.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problems, the present invention is characterized by the following measures.
[0013]
[0014]
[0015]
[0016]
[0017]
[0018]
[0023]
[0024]
[0025]
[0026]
[0027]
[0028]
[0029]
[0030]
[0031]
FIG. 2 is a cross-sectional view of the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention. 2, parts that are the same as the parts shown in FIG. 1 are given the same reference numerals.
[0032]
The semiconductor device 20 according to the first embodiment of the present invention is formed by mounting
[0033]
As is clear from comparison between FIG. 1 and FIG. 2, the thin
[0034]
As described above, since the semiconductor device 20 does not include a Si substrate as a redistribution substrate, a process of forming a copper via in the Si substrate is unnecessary, and the manufacturing cost can be reduced accordingly. Further, the height (thickness) of the semiconductor device can be reduced by the thickness of the Si substrate and the insulating layer.
[0035]
In the semiconductor device 20 shown in FIG. 2, the thin
[0036]
Next, the manufacturing process of the semiconductor device 20 shown in FIG. 2 will be described with reference to FIGS. 4, 6, and 8 to 14 sequentially show the manufacturing process of the semiconductor device 20.
[0037]
First, as shown in FIG. 4, a metal
[0038]
FIG. 5 is an enlarged view of a portion A in FIG. As shown in FIG. 5, the metal
[0039]
The thin-
[0040]
The lower electrode 26 includes a gold (Au) plating
[0041]
The upper electrode 27 has the same configuration as the
[0042]
It is also possible to form an internal capacitor by forming an electrode so as to face the lower electrode or the upper electrode formed in the thin film wiring layer 15 and arranging a high dielectric constant material therebetween.
[0043]
Next, as shown in FIG. 6, a
[0044]
In the
[0045]
Next, as shown in FIG. 8, a back grind (BG)
[0046]
Here, in this embodiment, as an etchant for spin etching, hydrofluoric acid (5% HF + 55% HNO 3 + H 2 O) is used. Fluorine nitric acid dissolves silicon, Ti, and Cu, but does not dissolve the Au plating layer or polyimide insulating layer. Therefore, only the
[0047]
When the spin etching is finished, a cleaning process is performed by neutralizing fluorinated nitric acid, and drying is performed after the cleaning. The neutralization treatment of hydrofluoric acid can be performed by spinning while dropping sodium phosphate on the exposed surface. That is, instead of dropping hydrofluoric acid in the spin etching process, sodium phosphate (trisodium phosphate) is dropped to neutralize the hydrofluoric acid remaining on the exposed surface. After that, the pure and exposed surface is washed and dried by blowing dry air or nitrogen.
[0048]
The chemical formula of trisodium phosphate as neutralizer is Na 3 PO 4 ・ 6H 2 O. The concentration of trisodium phosphate is preferably 5 wt% (about 0.1 to 10% is practical), and the temperature is preferably 50 ° C. (can be used at about 20 to 70 ° C.). Moreover, the time required for neutralization is about 10 to 20 seconds.
[0049]
Next, as shown in FIG. 10, solder bumps 38 are formed on the exposed
[0050]
Next, as shown in FIG. 11, a dicing
[0051]
Subsequently, as shown in FIG. 12, the separated thin
[0052]
After the
[0053]
After that, as shown in FIG. 14, the
[0054]
As shown in FIG. 15, a heat spreader or a
[0055]
In the manufacturing process of the semiconductor device 20 described above, the thin
[0056]
Next explained is a semiconductor device according to the second embodiment of the invention. FIG. 16 is a sectional view of a semiconductor device 50 according to the second embodiment of the present invention. 16, parts that are the same as the parts of the semiconductor device 20 shown in FIG. 2 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0057]
A semiconductor device 50 shown in FIG. 16 is obtained by sealing the
[0058]
17 to 23 are diagrams for explaining the manufacturing process of the semiconductor device 50 shown in FIG. 16 in order. The manufacturing process of the semiconductor device 50 is the same as the manufacturing process of the semiconductor device 20 described above until the
[0059]
After LSIs 4 and 5 are mounted on the thin
[0060]
At this time, since the linear expansion coefficient α of the sealing
[0061]
Next, as shown in FIG. 19, a
[0062]
Next, as shown in FIG. 21, solder bumps 38 are formed on the exposed
[0063]
Subsequently, as shown in FIG. 23, the separated thin
[0064]
As shown in FIG. 24, a heat spreader or a
[0065]
Further, in the above manufacturing process, before the back grinding process shown in FIG. 19, the back surfaces of the
[0066]
Next, modified examples applicable to the first and second embodiments described above will be described.
[0067]
FIG. 27 is an enlarged cross-sectional view for explaining a modification of the thin
[0068]
Usually, an insulating thin film such as polyimide remains in the interior after being cured. When the
[0069]
Alternatively, after removing the
[0070]
Next, a method for forming the thin
[0071]
In the above-described embodiment, the thin
[0072]
As shown in FIG. 33, the thin film wiring layer 25 (corresponding to the thin film multilayer substrate 21) arranged on the
[0073]
As described above, by forming the thin
[0074]
Instead of forming the thin
[0075]
First, as shown in FIG. 35, the thin
[0076]
Subsequently, as shown in FIG. 38, the remaining
[0077]
As described above, by separating the thin
[0078]
Next, a test method for the thin film multilayer substrate formed by the above method will be described.
[0079]
First, as shown in FIG. 40, an electrical continuity test can be performed in a state where the thin film wiring layer 25 (corresponding to the thin film multilayer substrate 21) is formed on the
[0080]
Also, as shown in FIG. 41, a conductive portion 25a that penetrates through the thin
[0081]
42, after a thin film wiring layer 25 (corresponding to the thin film multilayer substrate 21) is formed on the
[0082]
Furthermore, as shown in FIG. 43, after the
[0083]
As described above, the present specification discloses the following invention.
[0084]
(Appendix 1) A thin film multilayer substrate;
At least one semiconductor element mounted on the thin film multilayer substrate;
A package substrate to which the thin film multilayer substrate is connected;
An external connection terminal provided on the package substrate;
A semiconductor device comprising:
The thin film multilayer substrate is fixed to the package substrate.
[0085]
(Supplementary note 2) The semiconductor device according to
A semiconductor device, wherein a heat radiating member is attached to a back surface of the semiconductor element.
[0086]
(Appendix 3) A method of manufacturing a semiconductor device,
A metal thin film layer is formed on a silicon substrate,
A conductive layer and an insulating layer are formed in multiple stages on the metal thin film layer to form a thin film multilayer substrate,
A support member is attached to the thin film multilayer substrate with an adhesive member,
Removing the silicon substrate and the metal thin film layer;
The thin film multilayer substrate is separated into pieces together with the support member,
Mounting the thin film multilayer substrate on a package substrate, fixing the thin film multilayer substrate to the package substrate;
Decreasing the adhesive strength of the adhesive member, peeling the support member and the adhesive member from the thin film multilayer substrate,
A semiconductor element is mounted on the thin film multilayer substrate.
A method for manufacturing a semiconductor device.
[0087]
(Additional remark 4) It is a manufacturing method of the semiconductor device of
The adhesive member has a thermally foamed adhesive material on a surface that contacts the thin film multilayer substrate,
The process of peeling the said adhesive member includes the process of heating the said adhesive member to the temperature more than the foaming start temperature of the said thermally foaming adhesive material, The manufacturing method of the semiconductor device characterized by the above-mentioned.
[0088]
(Additional remark 5) It is a manufacturing method of the semiconductor device of
The adhesive member has a UV curable adhesive on the surface that contacts the thin film multilayer substrate,
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the step of peeling the adhesive member includes a step of irradiating the adhesive member with ultraviolet rays.
[0089]
(Appendix 6) A method of manufacturing a semiconductor device according to
From the step of removing the silicon substrate from the thin film multilayer substrate to the step of mounting and fixing the thin film multilayer substrate on the package substrate, the support member is attached to the thin film multilayer substrate by the adhesive member. A method for manufacturing a semiconductor device.
[0090]
(Supplementary note 7) A method of manufacturing a semiconductor device according to
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the thin film multilayer substrate, the adhesive member, and the support member are simultaneously cut in the step of dividing the thin film multilayer substrate into individual pieces.
[0091]
(Appendix 8) A method of manufacturing a semiconductor device according to
Before the step of removing the silicon substrate, the method of manufacturing a semiconductor device, wherein only the thin film multilayer substrate is cut and separated into pieces while the thin film multilayer substrate is fixed to the silicon substrate.
[0092]
(Appendix 9) A thin film multilayer substrate;
At least one semiconductor element mounted on the thin film multilayer substrate;
A package substrate to which the thin film multilayer substrate is connected;
An external connection terminal provided on the package substrate;
A semiconductor device comprising:
The semiconductor element is encapsulated with an encapsulating resin on the thin film multilayer substrate with the back surface exposed.
The thin film multilayer substrate is fixed to the package substrate.
[0093]
(Supplementary note 10) The semiconductor device according to
A semiconductor device, wherein a heat radiating member is attached to a back surface of the semiconductor element.
[0094]
(Additional remark 11) It is a manufacturing method of a semiconductor device,
A metal thin film layer is formed on a silicon substrate,
A conductive layer and an insulating layer are formed in multiple stages on the metal thin film layer to form a thin film multilayer substrate,
A semiconductor element is mounted on the thin film multilayer substrate,
Resin-sealing the semiconductor element on the thin film multilayer substrate;
Removing the silicon substrate and the metal thin film layer;
Dividing the thin film multilayer substrate into pieces,
The singulated thin film multilayer substrate is mounted on a package substrate, and the thin film multilayer substrate is fixed to the package substrate.
A method for manufacturing a semiconductor device.
[0095]
(Additional remark 12) It is a manufacturing method of the semiconductor device of
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the step of removing the silicon substrate and the metal thin film layer includes spin etching using hydrofluoric acid.
[0096]
(Additional remark 13) It is a manufacturing method of the semiconductor device of
The step of removing the silicon substrate and the metal thin film layer includes a step of neutralizing hydrofluoric acid with a neutralizing agent after spin etching using hydrofluoric acid.
[0097]
(Supplementary note 14) A method for manufacturing a semiconductor device according to
A method for manufacturing a semiconductor device, wherein an insulating layer in contact with the metal thin film layer among the insulating layers is formed of a material having higher flexibility than other insulating layers.
[0098]
(Supplementary note 15) A method of manufacturing a semiconductor device according to
The step of forming the metal thin film layer and the thin film multilayer substrate includes forming the metal thin film layer and the thin film multilayer substrate in a state of being individually separated on the silicon substrate. .
[0099]
(Additional remark 16) It is a manufacturing method of the semiconductor device of
After removing the silicon substrate and the metal thin film layer, the exposed insulating layer is irradiated with laser to form an opening, and the conductive layer is exposed in the opening.
[0100]
(Supplementary note 17) A method of manufacturing a semiconductor device according to
A method of manufacturing a semiconductor device, comprising: testing the thin film multilayer substrate before removing the silicon substrate from the thin film multilayer substrate.
[0101]
(Supplementary note 18) A method of manufacturing a semiconductor device according to supplementary note 17,
Forming a conductive portion extending through the thin film multilayer substrate from the metal thin film layer to the surface of the thin film multilayer substrate;
A test method for a semiconductor device, comprising: testing a substrate for depressing the thin film using the conductive portion and a conductive layer of the thin film multilayer substrate.
[0102]
(Supplementary note 19) A method of manufacturing a semiconductor device according to supplementary note 17,
A test wiring layer is formed on the surface of the thin film multilayer substrate in a state where the thin film multilayer substrate is fixed to the silicon substrate, a test is performed, and the test wiring layer is removed after the test is completed Device manufacturing method.
[0103]
(Supplementary note 20) A method of manufacturing a semiconductor device according to
A method of manufacturing a semiconductor device, comprising: testing the thin film multilayer substrate in a state where the thin film multilayer substrate is fixed to the support member.
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, various effects described below can be realized.
[0105]
[0106]
[0107]
[0110]
[0111]
[0112]
[0113]
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a semiconductor device formed by mounting a plurality of LSIs on a rewiring substrate formed using a silicon substrate.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a semiconductor device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a modification of the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.
4 is a view (No. 1) for describing a manufacturing step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
5 is an enlarged view of a portion A shown in FIG.
6 is a view (No. 2) for explaining a manufacturing step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
7 is a cross-sectional view showing the structure of the adhesive film shown in FIG.
8 is a view (No. 3) for explaining a manufacturing step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
9 is a view (No. 4) for explaining a production step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
10 is a view (No. 5) for explaining a production step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
11 is a view (No. 6) for explaining a production step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
12 is a view (No. 7) for explaining a production step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
13 is a view (No. 8) for explaining a production step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
14 is a view (No. 9) for explaining a production step of the semiconductor device shown in FIG. 2; FIG.
15 is a cross-sectional view showing a modified example of the semiconductor device shown in FIG. 2;
FIG. 16 is a cross-sectional view of a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention.
17 is a view (No. 1) for explaining a manufacturing step of the semiconductor device shown in FIG. 16; FIG.
FIG. 18 is a view (No. 2) for explaining the manufacturing process of the semiconductor device shown in FIG. 16;
FIG. 19 is a diagram (No. 3) for explaining the manufacturing process of the semiconductor device shown in FIG. 16;
FIG. 20 is a view (No. 4) for explaining the production step of the semiconductor device shown in FIG. 16;
FIG. 21 is a view (No. 5) for explaining a manufacturing step of the semiconductor device shown in FIG. 16;
22 is a view (No. 6) for explaining a production step of the semiconductor device shown in FIG. 16;
FIG. 23 is a view (No. 7) for explaining a manufacturing step of the semiconductor device shown in FIG. 16;
24 is a cross-sectional view showing a modified example of the semiconductor device shown in FIG. 16;
FIG. 25 is a diagram showing a step of polishing the back surface of the LSI in the semiconductor device shown in FIG. 16;
FIG. 26 is a diagram showing a step after the back surface of the LSI is polished in the semiconductor device shown in FIG. 16;
FIG. 27 is a cross-sectional view showing a modification of the thin film wiring layer.
FIG. 28 is a diagram showing a crack generated in a thin film wiring layer.
FIG. 29 is a diagram (No. 1) for explaining a production process of the modification of the thin film wiring layer;
FIG. 30 is a diagram (No. 2) for explaining the production process of the modification of the thin film wiring layer;
FIG. 31 is a diagram (No. 3) for explaining the production process of the modification of the thin film wiring layer;
FIG. 32 is a diagram for explaining a process of dividing into individual pieces from the stage of forming a thin film wiring layer.
FIG. 33 is a plan view of a silicon wafer on which an individual thin film wiring layer is formed.
34 is a diagram showing a step of dicing the support member to which the thin film wiring layer shown in FIG. 32 is fixed.
FIG. 35 is a view (No. 1) for describing a step of dividing the thin film wiring layer into pieces while the thin film wiring layer is formed on the silicon wafer;
FIG. 36 is a diagram (No. 2) for explaining the step of dividing the thin film wiring layer into pieces while the thin film wiring layer is formed on the silicon wafer;
FIG. 37 is a diagram (No. 3) for explaining the step of dividing the thin film wiring layer into pieces while the thin film wiring layer is formed on the silicon wafer;
38 is a view (No. 4) for describing a step of dividing the thin film wiring layer into pieces while the thin film wiring layer is formed on the silicon wafer. FIG.
FIG. 39 is a view (No. 5) for describing a step of dividing the thin film wiring layer into pieces while the thin film wiring layer is formed on the silicon wafer.
FIG. 40 is a diagram illustrating a method for testing a thin film multilayer substrate during a manufacturing process of a semiconductor device.
FIG. 41 is a diagram illustrating a method for testing a thin film multilayer substrate during a manufacturing process of a semiconductor device.
FIG. 42 is a diagram illustrating a method for testing a thin film multilayer substrate during a manufacturing process of a semiconductor device.
FIG. 43 is a diagram illustrating a method for testing a thin film multilayer substrate during a manufacturing process of a semiconductor device.
[Explanation of symbols]
4,5 LSI
6 Chip parts
8 electrode pads
10 Package substrate
12 Solder balls
20, 50 Semiconductor device
21 Thin film multilayer substrate
22 Underfill
23 Silicon wafer
24 Metal thin film layer
25 Thin film wiring layer
26 Lower electrode
27 Upper electrode
28, 33 Au plating layer
29,32 Ni plating layer
30,31 C plating layer
35 Adhesive film
36 Support members
38 Solder bump
41 heat spreader
51 Sealing resin
Claims (7)
シリコン基板上に金属薄膜層を形成し、
該金属薄膜層上に導電層及び絶縁層を多段に形成して薄膜多層基板を形成し、
前記薄膜多層基板に支持部材を接着部材により貼り付け、
前記シリコン基板及び前記金属薄膜層を除去し、
前記薄膜多層基板を前記支持部材と共に個片化し、
前記薄膜多層基板をパッケージ基板に搭載して、前記薄膜多層基板を前記パッケージ基板に固定し、
前記接着部材の粘着力を低下させて、前記支持部材及び前記接着部材を前記薄膜多層基板から剥離し、
前記薄膜多層基板に半導体素子を搭載する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a semiconductor device, comprising:
A metal thin film layer is formed on a silicon substrate,
A conductive layer and an insulating layer are formed in multiple stages on the metal thin film layer to form a thin film multilayer substrate,
A support member is attached to the thin film multilayer substrate with an adhesive member,
Removing the silicon substrate and the metal thin film layer;
The thin film multilayer substrate is separated into pieces together with the support member,
Mounting the thin film multilayer substrate on a package substrate, fixing the thin film multilayer substrate to the package substrate;
Decreasing the adhesive strength of the adhesive member, peeling the support member and the adhesive member from the thin film multilayer substrate,
A semiconductor device is mounted on the thin film multilayer substrate. A method for manufacturing a semiconductor device, comprising:
前記接着部材は、前記薄膜多層基板に接触する面に熱発泡粘着材を有しており、
前記接着部材を剥離する工程は、前記接着部材を前記熱発泡粘着材の発泡開始温度以上の温度に加熱する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 1,
The adhesive member has a thermally foamed adhesive material on a surface that contacts the thin film multilayer substrate,
The process of peeling the said adhesive member includes the process of heating the said adhesive member to the temperature more than the foaming start temperature of the said thermally foaming adhesive material, The manufacturing method of the semiconductor device characterized by the above-mentioned.
前記シリコン基板を除去する工程の前に、前記薄膜多層基板が前記シリコン基板に固定された状態で前記薄膜多層基板のみを切断して個片化しておくことを特徴とする半導体装置の製造方法。A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 2,
Before the step of removing the silicon substrate, the method of manufacturing a semiconductor device, wherein only the thin film multilayer substrate is cut and separated into pieces while the thin film multilayer substrate is fixed to the silicon substrate.
前記シリコン基板及び金属薄膜層を除去する工程は、フッ硝酸を用いたスピンエッチングを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 1,
The method of manufacturing a semiconductor device, wherein the step of removing the silicon substrate and the metal thin film layer includes spin etching using hydrofluoric acid .
前記シリコン基板及び金属薄膜層を除去する工程は、フッ硝酸を用いたスピンエッチングの後に、フッ硝酸を中和剤により中和する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 4,
The step of removing the silicon substrate and the metal thin film layer includes a step of neutralizing hydrofluoric acid with a neutralizing agent after spin etching using hydrofluoric acid .
前記金属薄膜層及び前記薄膜多層基板を形成する工程は、前記金属薄膜層及び前記薄膜多層基板を前記シリコン基板上で予め個片化された状態に形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 1,
The step of forming the metal thin film layer and the thin film multilayer substrate includes forming the metal thin film layer and the thin film multilayer substrate in a state of being individually separated on the silicon substrate. .
前記シリコン基板及び前記金属薄膜層を除去した後、露出した前記絶縁層にレーザを照射して開口を形成し、該開口内で前記導電層を露出させることを特徴とする半導体装置の製造方法。 A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 1,
After removing the silicon substrate and the metal thin film layer, the exposed insulating layer is irradiated with laser to form an opening, and the conductive layer is exposed in the opening .
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