JP3881503B2 - Piezoelectric vibrator and piezoelectric device equipped with the same - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電振動子を容器状の基板などに導電性ペーストを硬化して得られる導電性接着材を介して接合した圧電デバイスに関するものである。尚、圧電振動子とは、水晶板、圧電セラミック基板、単結晶圧電基板を用いた振動子を含み、また、圧電デバイスとは、圧電振動素子単体のみを有する発振子や、この圧電振動子とともにICチップ、コンデンサ、抵抗などの電子部品素子を搭載した発振器である。また、基板とは、全体が平板状の絶縁基板、平板状部位に電極パッドを有する筐体状のセラミックパッケージなどである。
【0002】
【従来の技術】
従来の圧電デバイス、例えば発振器51は、図5〜図6に示すように、水晶振動素子を、電極パッドや電極パッドが形成された固定段部を有するセラミックパッケージなどの容器52体に配置していた。
【0003】
図5、図6に示す発振器51は、容器体52、水晶振動子53、導電性接着材54とからなり、図5では蓋体を省略している。
【0004】
また、容器体52の裏面には外部端子電極が形成されて、容器体52の内部には長手方向の片側の端部に電極パッドが形成されている。
【0005】
また、水晶振動子53は、矩形状の圧電基板の両主面に互いに対向する矩形状の励振電極及び該励振電極から水晶基板の一方短辺側の両主面に延びる引出し電極が形成されており、前記引き出し電極は導電性接着部材54により、前述の容器体の電極パッドと接続され、同時に導通されていた。
【0006】
さらに、最終的には、図6に示すように、水晶振動子53を気密封止にすべく、容器体52上に蓋体を被着して、水晶発振子は構成されていた。
【0007】
また、別の例としては、図7に示すように長手方向において対向する端面を連続して円弧状にした水晶振動子531の両主面に長手方向に対向する端部を連続して円弧状にした矩形状で、且つ両側の短辺側を半円状に形成した励振電極532を形成して、該水晶振動子を上述の内容と同様の方法で発振器として作製していた(特開平9-246903号)。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の発振器は、高精度品としてはICチップやコンデンサー、サーミスタ、抵抗などと組み合わせて温度補償回路を備えているのだが、この場合、水晶振動子固有の発振周波数の温度変化を温度補償回路で補償することで、発振周波数の温度変化を、例えば、−30℃〜80℃の使用温度範囲全範囲にて±1.5ppm以内に合わせ込んでいる。
【0009】
この場合、温度補償回路に用いられるコンデンサー、抵抗の値を変えることにより、発振周波数の温度変化を抑えこんでいたが、励振電極の設計によっては、上述のように発振周波数の温度による変化を合わせ込めない場合があった。
【0010】
その理由を以下に説明する。図8に示すように、水晶振動子の等価回路は等価直列抵抗R1、励振電極の実際に振動している個所で形成される等価直列容量C1、等価インダクタンスL1が直列回路に、励振電極の面積に依存する等価並列容量C0が並列に接続された構成となっている。その水晶振動子の等価回路に不図示であるが主に発振回路で構成される負荷容量CLが負荷された状態で温度補償型の発振器の等価回路が形成されることになる。ここで発振周波数の温度による変化の調整は周波数感度Sを上げることで行われが、その周波数感度Sは以下の式により表される。
【0011】
となる。等価直列容量C1は励振電極の実際の振動部における容量成分であるためほぼ一定と考えてよいので、容量比γが小さければ、水晶振動子の周波数感度Sが大きく取れることになり、これにより、温度が変化しても発振周波数を調整することが可能な周波数範囲を広くとれることになる。即ち、温度補償型の発振器として組んだ場合に、温度変化によっても発振周波数の調整の余裕度が大きくとれることになる。
【0012】
しかしながら、励振電極を概略長方形状として最適な励振電極を設計した場合に、一般的に現れる基本波振動の分布図(図3)に示すように、振動分布の四隅部である角部が弧状に現れるため、励振電極の四隅部分(角部)は実際の振動に寄与していないものであり、振動に寄与しない励振電極の面積部分が容量比γを高くして、これにより、温度補償型水晶発振器の設計の余裕度が少なく、前述のように水晶振動子とICチップと組み合わせるコンデンサー、抵抗の値を変えても例えば所望の±1.5ppm以内に合わせ込むことができないことがあった。従って、設計の効率及び生産の効率を悪くする場合があった。
【0013】
本発明は上述の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、励振電極を概略長方形状の励振電極を水晶振動子に用いた場合、等価回路定数の容量比γを小さくして、温度補償型の発振器に組み込んだ場合でも周波数可変感度が大きくとれ、設計や生産をする際に効率を上げられる圧電振動子及びそれを搭載した圧電デバイスを提供するものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、圧電基板の両主面に励振電極を形成した圧電振動子において、前記励振電極は、長方形状の励振電極を基準形状として、その基準形状の面積よりも95%〜98%となるように前記基準形状の四隅を円弧状で、且つ略均等に切り欠いた形状であることを特徴とする圧電振動子である。
【0015】
また、矩形状の圧電基板の両主面に励振電極を形成し、一方の短辺側の下面に前記励振電極と接続し、幅方向に分離した一対の引出し電極を形成した圧電振動子を、基板の表面に一対の電極パッドを形成した容器に、導電性接着材を介して前記圧電振動子の引出し電極と前記容器の電極パッドとが接続するように配置して成る圧電デバイスにおいて、
前記励振電極は、長方形状の励振電極を基準形状として、その基準形状の面積よりも95%〜98%となるように前記基準形状の四隅を略均等に切り欠いた形状であることを特徴とする圧電デバイスである。
【作用】
本発明の圧電振動子の振動について、図3に示すように、振動の基本波変位分布を等高線状に示すと、楕円ではなく、本発明のように長方形状の四隅部を円弧状に削ったような形状で励振電極外周から中央に向かって徐々に変位が大きくなって振動が発生する。
【0016】
このような振動が発生するので、励振電極が基準形状となる単なる長方形状である場合と本発明のように四隅を略均等に切り欠き、基準形状に比べて面積を95%〜98%となるように本発明の励振電極を形成すると、実際振動に寄与しない励振電極の不要部分がほとんど形成されていないので、励振電極の不要部分で発生する等価並列容量C0が基準形状から面積が小さくなった分だけ抑えられ、しかも、等価直列容量C1はほとんど影響がないため、容量比γ=C0/C1を減少させることができ、水晶振動子の周波数可変感度を大きくすることができ、発振周波数の合わせ込みの余裕度を大きく取れるようになる。
【0017】
結局、上述の圧電デバイスを確実に、且つ簡単に構成することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の圧電デバイスを図面に基づいて詳説する。なお、説明では、圧電振動子に水晶振動子を用いた例で説明する。
図1は、本発明にかかる発振器である圧電デバイスの蓋体を省略した状態の上面図であり、図2はその横断面図である。
【0019】
本発明の圧電デバイス1は、主に、基板21を有する容器体2、水晶振動子3、導電性接着部材4及び蓋体6とから構成されている。
【0020】
容器体2は、矩形状の単板セラミック基板21と、セラミック基板21の周囲にリング状基板22を積層して、その表面に載置されたシールリング25とから構成されているセラミックパッケージなどである。そして、全体として、図2に示すように表面側に開口を有するとともに、水晶振動子3が収容される実質的に矩形状のキャビティー部20が形成される。さらにキャビティー部20の底面、即ち基板21の上面の一方の電極パッド23、23が形成されている。この電極パッド23、23は、容器体2の短辺の幅方向に並んで夫々形成されている。その形状は概略矩形状となっている。
【0021】
上述のシールリング25はFe−Ni、Fe−Ni−Coなどの金属からなり、基板21の周囲にリング状基板22を積層して、その表面に形成された封止用導体膜24上にろう付けなどにより形成され、これにより、キャビティー部20の厚みを規定している。
【0022】
また、容器体2の底面には、電極パッド23、23と電気的に接続し、外部プリント配線基板と接合するための外部端子電極26が形成されている。この電極パッド23、23と外部端子電極26とは、容器体2の一部を貫くビアホール導体(不図示)によって接続されている。
【0023】
また、電極パッド23、23の表面、特に、キャビティー部20の中央部寄りには、バンプ5が形成されている。このバンプ5は、導電性金属ペーストの焼き付け、導電性樹脂ペースト、絶縁性樹脂ペーストの印刷、硬化により形成されており、例えば、1つの電極パッド23、23の幅方向の全幅に渡って帯状に形成されたり、また、ドット状に形成してもよい。
【0024】
水晶振動子3は、水晶基板30と励振電極31、33と引き出し電極32、34とから構成されている。
水晶基板30は所定結晶方位角に従ってカット(ATカット)されたものが用いられ、略矩形状に形成されている。
励振電極31、33は、水晶基板30の両主面に形成され、その平面が概略長方形状で、基準形状を長方形状とすると、基準形状の四隅部である角部が略均等に切り欠いて形成されている。また、励振電極31、33は基準形状の励振電極に比べて、その面積が95〜98%、好ましくは、95〜96%となるように四隅を切り欠いて形成される。
その面積が95%未満であると、実際に振動に寄与している振動部分の励振電極部を欠くことになり、等価直列容量C1が小さくなり、容量比γを小さくする効果が得られなくなる。一方、98%以上であると、励振電極31、33の不要部分を除去する比率が少ないために等価並列容量C0が減少させることができず容量比γを少なくすることができない。
【0025】
本発明はあくまで、基準形状が長方形状の励振電極の四隅を切り欠くのであって、従来技術の図7で示した励振電極531の短辺を半円状にしたものとは区別される。そのような形状の場合は、基本波における振動分布まで影響して等価直列容量C1が小さくなるという理由により本発明の効果は得られない。
【0026】
切り欠きの形状としては、円弧状に形成する場合(図3)や直線的に切り落とす場合(図4)が考えられるが、好ましくは、円弧状に形成したほうがよい。
その理由は振動状態により近い電極形状であるため、等価直列容量C1の損失が最も少ないためである。
【0027】
円弧状に切り欠く場合は、図1に示すように両主面の励振電極31、33夫々の四隅に略均等に円弧状の切り欠き31a、33aを形成する。
【0028】
引き出し電極32、34は一対の励振電極31、33から夫々水晶基板30の短辺方向(図では左側)に延出され、構成されている。より具体的には、水晶基板30の上面の短辺近傍に延出され、その短辺近傍の一方の長辺端面(図面では下側の端面)を介して下面側に延出されている。逆に、下面側の励振電極33から延出する引き出し電極34は、下面の短辺近傍に延出され、そして、短辺近傍の他方の長辺端面(図面では上側の端面)を介して上面側に延出されている。即ち、引出し電極32、34は、図には示さないが水晶基板30の一方短辺側の端面に形成されることがなく、この一方の短辺に接する長辺側の端面3面に形成され、このように引き出し電極は長辺側の端面3面にて導通されている。そして、この引出し電極32、34は、水晶基板30の両主面に夫々対向しあう位置に形成され、その形状は、所定位置に配置した時に、電極パッド23、23に導通し得る形状である。
【0029】
このような励振電極31、33及び引出し電極32、34は、水晶基板30の上面及び下面に、所定形状のマスクを配置して、蒸着やスパッタ等の手段を用いてAu、Ag、Crなどの蒸着などにより形成されている。
【0030】
上述の容器体2と水晶振動子3との電気的な接続及び機械的な接合は、シリコン系、エポキシ系、ポリイミド系などの樹脂にAg粉末などを添加して導電性樹脂ペーストを硬化した導電性接着部材4によって達成される。具体的には、基板21表面の電極パッド23、23上に、上述の導電性樹脂ペーストをディスペンサー等により供給し、電極パッド23、23上に盛り上がった半球状の導電性樹脂ペースト上に、水晶振動子3の一方短辺側の下面に延出された引出し電極が当接するように、水晶振動子3を載置し、導電性樹脂ペーストを硬化する。
【0031】
これにより、水晶振動子3の一対の励振電極31、33は、電極パッド23、23を介して容器体2の外面の外部端子電極26に導通することになる。
【0032】
尚、実際には、水晶振動子3を電極パッド23、23に電気的接続及び機械的接合を行った後、外部端子電極26などを用いて水晶振動子3の発振周波数を測定し、必要に応じて、水晶振動子3の上面側励振電極31の表面に、Agなどを蒸着して周波数の調整をおこなう。
【0033】
金属製蓋体6は、実質的に平板状の金属、例えばFe−Ni合金(42アロイ)やFe−Ni−Co合金(コバール)などからなる。このような金属製蓋体6は、水晶振動子3の収容領域(キャビティー部)20を、窒素ガスや真空などでシーム溶接などの手法により、気密的に封止する。
【0034】
上述の構造によれば、容器体2の一部である基板21の表面に、電極パッド23、23が形成されており、水晶振動子3の引出し電極32、34が、導電性樹脂ペーストを硬化して成る導電性接着部材4を介して電気的且つ機械的に接合されている。
【0035】
上述の水晶発振子は以下のようにして製造される。
まず、水晶基板30の両主面に励振電極31、33、一方の短辺側の両主面に延出された引出し電極32、34を有する水晶振動子3を用意する。また、同時に、容器体2の底面、即ち、基板21の表面に一対の電極パッド23、23が形成され、また、キャビティー部20の開口周囲の表面に封止用導体膜24、シールリング25が形成された容器体2、及び金属製蓋体6を用意する。
次に、電極パッド23、23に導電性接着部材4となる導電性樹脂ペーストをディスペンサーなどで供給・塗布する。この時、供給された導電性樹脂ペーストは、概略半球状に全体盛り上がった形状となる。
次に、水晶振動子3を概略半球状に盛り上がった形状に供給された導電性樹脂ペーストに載置する。具体的には、導電性樹脂ペーストの供給した部分に、一対の引出し電極32、34が当接するように水晶振動子3を載置する。
次に、導電性樹脂ペーストを硬化して、容器体2と水晶振動子3とを接合固定する。具体的には、熱による印加により硬化する。
その後、所定雰囲気中で、シールリング25に金属製蓋体6を載置し、両者をシーム溶接にて封止する。
【0036】
かくして、本発明の構成によれば、励振電極31、33の四隅部を長方形状の基準形状から略均等に切り欠き、励振電極31、33の面積を95%〜98%にした概略長方形状に形成してある。これにより、等価並列容量C0は励振電極31、33の面積に比例して決まるため、基準形状の励振電極を使用した場合と比較して、励振電極31、33の振動に寄与しない不要面積が小さくなった分、等価並列容量C0は小さくなり、しかも、等価直列容量C1については、振動に寄与していない部分をカットしているので一定とみなされるため、容量比γ=C0/C1を小さくすることができ、この水晶振動子3を使用して温度補償型水晶発振器を作製した場合、周波数可変感度を大きくできるため、発振周波数の合わせ込みの余裕度を大きく取れるようになる。結局、温度特性を満足する温度補償型水晶発振器を効率良く生産できるようになる。
【0037】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、圧電振動子の励振電極の形状を、長方形状を基本形状として、その四隅を略均等に切り落としたために、容量比γをさらに小さな値にすることができ、その結果、例えば、水晶振動子を用いて温度補償型の発振器を作製した場合に、−30℃〜80℃といった使用される温度範囲の全範囲にて問題なく温度補償させることができ、効率良く生産することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる圧電デバイスである発振器の蓋体を省略した状態の上面図である。
【図2】本発明にかかる圧電デバイスの断面図である。
【図3】本発明に用いる水晶振動子の振動部を示す上面図である。
【図4】参考例として示す圧電デバイスの蓋体を省略した状態の上面図である。
【図5】従来の圧電デバイスの蓋体を省略した状態の上面図である。
【図6】従来の圧電デバイスの断面図である。
【図7】従来の圧電デバイスの別の実施形態を示す上面図である。
【図8】水晶振動子の等価回路を示す説明図である。
【符号の説明】
1・・・圧電デバイス(発振器)
2・・・容器体
20・・・キャビティー部
21・・・基板
22・・・リング状基板
23・・・電極パッド
24・・・封止用導体膜
25・・・シールリング
26・・・外部端子電極
3・・水晶振動子
31、33・・・励振電極
32、34・・・引出し電極
4・・・導電性接着部材
5・・・バンプ
51・・・発振器
52・・・容器体
53・・・水晶振動子
54・・・電極パターン
57・・・導電性接着部材[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a piezoelectric device in which a piezoelectric vibrator is bonded to a container-like substrate or the like via a conductive adhesive obtained by curing a conductive paste. The piezoelectric vibrator includes a vibrator using a crystal plate, a piezoelectric ceramic substrate, and a single crystal piezoelectric substrate, and the piezoelectric device includes an oscillator having only a piezoelectric vibration element alone and the piezoelectric vibrator. This is an oscillator on which electronic component elements such as an IC chip, a capacitor, and a resistor are mounted. The substrate is a flat insulating substrate as a whole, a housing-like ceramic package having electrode pads in a flat portion, or the like.
[0002]
[Prior art]
As shown in FIGS. 5 to 6, a conventional piezoelectric device, for example, an
[0003]
The
[0004]
An external terminal electrode is formed on the back surface of the
[0005]
The
[0006]
Further, finally, as shown in FIG. 6, the crystal oscillator is configured by attaching a lid on the
[0007]
Further, as another example, as shown in FIG. 7, the end portions facing in the longitudinal direction are continuously arcuately formed on both main surfaces of the
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-mentioned oscillator is equipped with a temperature compensation circuit in combination with an IC chip, capacitor, thermistor, resistor, etc. as a high-accuracy product. In this case, the temperature change of the oscillation frequency unique to the crystal unit is compensated for temperature. By compensating with the circuit, the temperature change of the oscillation frequency is adjusted within ± 1.5 ppm over the entire operating temperature range of, for example, −30 ° C. to 80 ° C.
[0009]
In this case, the temperature change of the oscillation frequency was suppressed by changing the value of the capacitor and resistor used in the temperature compensation circuit. However, depending on the design of the excitation electrode, the change of the oscillation frequency due to the temperature may be adjusted as described above. There was a case that I could not put it.
[0010]
The reason will be described below. As shown in FIG. 8, the equivalent circuit of the crystal resonator has an equivalent series resistance R1, an equivalent series capacitance C1 formed at a place where the excitation electrode actually vibrates, and an equivalent inductance L1 in the series circuit, and the area of the excitation electrode. Equivalent parallel capacitance C0 depending on is connected in parallel. Although not shown in the equivalent circuit of the crystal resonator, an equivalent circuit of a temperature-compensated oscillator is formed in a state where a load capacitor CL mainly composed of an oscillation circuit is loaded. Here, adjustment of the change of the oscillation frequency due to temperature is performed by increasing the frequency sensitivity S, which is expressed by the following equation.
[0011]
It becomes. Since the equivalent series capacitance C1 is a capacitance component in the actual vibration part of the excitation electrode, it can be considered to be almost constant. Therefore, if the capacitance ratio γ is small, the frequency sensitivity S of the crystal resonator can be increased. Even if the temperature changes, the frequency range in which the oscillation frequency can be adjusted can be widened. That is, when it is built as a temperature compensation type oscillator, a large margin for adjusting the oscillation frequency can be obtained even by a temperature change.
[0012]
However, when an optimum excitation electrode is designed with a substantially rectangular excitation electrode, the corners, which are the four corners of the vibration distribution, are arcuate as shown in the distribution diagram of the fundamental wave vibration that generally appears (FIG. 3). Therefore, the four corner portions (corner portions) of the excitation electrode do not contribute to the actual vibration, and the area portion of the excitation electrode that does not contribute to the vibration increases the capacitance ratio γ. The design margin of the oscillator is small, and as described above, even if the value of the capacitor and the resistor combined with the crystal resonator and the IC chip are changed, it may not be possible to adjust within the desired ± 1.5 ppm. Therefore, the design efficiency and the production efficiency may be deteriorated.
[0013]
The present invention has been devised in view of the above-described problems, and its purpose is to reduce the capacitance ratio γ of the equivalent circuit constant when the excitation electrode is a substantially rectangular excitation electrode for a crystal resonator. Thus, the present invention provides a piezoelectric vibrator and a piezoelectric device equipped with the piezoelectric vibrator, which can take a large frequency variable sensitivity even when incorporated in a temperature-compensated oscillator, and can increase efficiency in designing and production.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to a piezoelectric vibrator in which excitation electrodes are formed on both principal surfaces of a piezoelectric substrate, and the excitation electrode has a rectangular excitation electrode as a reference shape and is 95% to 98% of the area of the reference shape. As described above, the piezoelectric vibrator is characterized in that the four corners of the reference shape are arc-shaped and substantially equally cut out.
[0015]
In addition, a piezoelectric vibrator in which excitation electrodes are formed on both main surfaces of a rectangular piezoelectric substrate, a pair of extraction electrodes separated in the width direction are connected to the excitation electrode on the lower surface on one short side, and In a piezoelectric device comprising a container in which a pair of electrode pads is formed on the surface of a substrate, the lead electrode of the piezoelectric vibrator and the electrode pad of the container are connected via a conductive adhesive,
The excitation electrode has a rectangular excitation electrode as a reference shape, and has a shape in which the four corners of the reference shape are substantially equally cut out so as to be 95% to 98% of the area of the reference shape. This is a piezoelectric device.
[Action]
Regarding the vibration of the piezoelectric vibrator of the present invention, as shown in FIG. 3, when the fundamental wave displacement distribution of the vibration is shown as contour lines, the four corners of the rectangular shape are cut into arcs as in the present invention instead of an ellipse. With such a shape, the displacement gradually increases from the outer periphery of the excitation electrode toward the center, and vibration is generated.
[0016]
Since such vibrations occur, the corners of the excitation electrode are cut out almost evenly as in the case of the present invention and the case where the excitation electrode has a simple rectangular shape, and the area becomes 95% to 98% compared to the reference shape. Thus, when the excitation electrode of the present invention is formed, since the unnecessary portion of the excitation electrode that does not actually contribute to vibration is hardly formed, the area of the equivalent parallel capacitance C0 generated in the unnecessary portion of the excitation electrode is reduced from the reference shape. Since the equivalent series capacitance C1 is hardly affected, the capacitance ratio γ = C0 / C1 can be reduced, the frequency variable sensitivity of the crystal resonator can be increased, and the oscillation frequency can be adjusted. A large margin can be taken.
[0017]
As a result, the above-described piezoelectric device can be reliably and easily configured.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a piezoelectric device of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description, an example in which a crystal resonator is used as the piezoelectric resonator will be described.
FIG. 1 is a top view of a state where a cover of a piezoelectric device which is an oscillator according to the present invention is omitted, and FIG. 2 is a cross-sectional view thereof.
[0019]
The piezoelectric device 1 of the present invention is mainly composed of a
[0020]
The
[0021]
The above-described
[0022]
In addition, external
[0023]
In addition, bumps 5 are formed on the surfaces of the
[0024]
The crystal unit 3 includes a
The
The
If the area is less than 95%, the excitation electrode portion of the vibration portion that actually contributes to vibration is lacking, the equivalent series capacitance C1 becomes smaller, and the effect of reducing the capacitance ratio γ cannot be obtained. On the other hand, if it is 98% or more, since the ratio of removing unnecessary portions of the
[0025]
In the present invention, the four corners of the excitation electrode whose reference shape is a rectangular shape are cut out, and is distinguished from the semicircular shape of the short side of the
[0026]
As the shape of the cutout, a case where it is formed in an arc shape (FIG. 3) or a case where it is cut off linearly (FIG. 4) can be considered, but it is preferable to form it in an arc shape.
The reason is that since the electrode shape is closer to the vibration state, the loss of the equivalent series capacitance C1 is the smallest.
[0027]
In the case of notching in an arc shape, as shown in FIG. 1, arc-shaped
[0028]
The
[0029]
[0030]
The electrical connection and mechanical joining of the
[0031]
As a result, the pair of
[0032]
Actually, after the crystal resonator 3 is electrically connected and mechanically joined to the
[0033]
The metal lid 6 is made of a substantially flat metal, for example, an Fe—Ni alloy (42 alloy), an Fe—Ni—Co alloy (Kovar), or the like. Such a metal lid 6 hermetically seals the accommodation region (cavity portion) 20 of the crystal resonator 3 by a technique such as seam welding with nitrogen gas or vacuum.
[0034]
According to the above-described structure, the
[0035]
The above-described crystal oscillator is manufactured as follows.
First, a crystal resonator 3 having
Next, a conductive resin paste that becomes the conductive adhesive member 4 is supplied and applied to the
Next, the quartz crystal resonator 3 is placed on a conductive resin paste supplied in a substantially hemispherical shape. Specifically, the crystal unit 3 is placed so that the pair of
Next, the conductive resin paste is cured, and the
Thereafter, the metal lid 6 is placed on the
[0036]
Thus, according to the configuration of the present invention, the four corners of the
[0037]
【The invention's effect】
As described above, in the present invention, since the shape of the excitation electrode of the piezoelectric vibrator is a rectangular shape as a basic shape, and the four corners thereof are cut off substantially evenly, the capacitance ratio γ can be further reduced. As a result, for example, when a temperature-compensated oscillator is manufactured using a crystal resonator, the temperature can be compensated without any problems in the entire temperature range of -30 ° C to 80 ° C, and production is efficient. Will be able to.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a top view of a state in which an oscillator lid that is a piezoelectric device according to the present invention is omitted.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a piezoelectric device according to the present invention.
FIG. 3 is a top view showing a vibrating part of a crystal resonator used in the present invention.
FIG. 4 is a top view showing a state where a lid of a piezoelectric device shown as a reference example is omitted.
FIG. 5 is a top view showing a state in which a lid of a conventional piezoelectric device is omitted.
FIG. 6 is a cross-sectional view of a conventional piezoelectric device.
FIG. 7 is a top view showing another embodiment of a conventional piezoelectric device.
FIG. 8 is an explanatory diagram showing an equivalent circuit of a crystal resonator.
[Explanation of symbols]
1 ... Piezoelectric device (oscillator)
2 ...
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