JP3878372B2

JP3878372B2 - Resistivity meter electrode

Info

Publication number: JP3878372B2
Application number: JP33568599A
Authority: JP
Inventors: 俊夫小澤; 精二亀坂; 康二佐藤
Original assignee: Saginomiya Seisakusho Inc
Current assignee: Saginomiya Seisakusho Inc
Priority date: 1999-11-26
Filing date: 1999-11-26
Publication date: 2007-02-07
Anticipated expiration: 2019-11-26
Also published as: JP2001153831A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などに用いられる抵抗率計の電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などにおいて、純水の純度や電解質液の濃度を測定するために、前記純水や電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計が用いられる。前記抵抗率計は、例えば図７に示す電極１０１を備えている。
【０００３】
図７に例示された抵抗率計の電極１０１は、前記電極部材としての内電極１０２と、電極部材としての外電極１０３と、前記内電極１０２及び外電極１０３を支持する支持部１０４と、前記内電極１０２と電気的に接続した内電極リード線１０６と、前記外電極１０３と電気的に接続した外電極リード線１０７と、を備えている。
【０００４】
内電極１０２は、円柱状に形成されている。内電極１０２の基端部１０２ａには、ねじ溝などを備えたナット螺合部１０８が設けられている。ナット螺合部１０８は、前記内電極１０２の基端部１０２ａの外周に形成されている。ナット螺合部１０８には、ナット１０９が螺合する。
【０００５】
外電極１０３は、その内径が前記内電極１０２の外径より大きく形成された円管状に形成されている。内電極１０２と外電極１０３とは、互いに同軸的でかつ前記外電極１０３内に内電極１０２が挿入された状態で配されている。
【０００６】
内電極１０２は、その先端部１０２ｂ側に位置する先端面１０２ｃが、前記外電極１０３の先端部１０３ｂ側に位置する先端面１０３ｃより若干外電極１０３の奥側に位置した状態で配されている。内電極１０２と外電極１０３は、共に導電性を有する金属やカーボンなどの非金属から構成されている。
【０００７】
前記支持部１０４は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの基端部１０２ａ，１０３ａを支持している。支持部１０４は、内電極ホルダ１１０と、外電極ホルダ１１１と、コネクタ部１１２と、を備えている。
【０００８】
内電極ホルダ１１０は、内径が内電極１０２の外径と略等しく形成された円管状に形成されている。内電極ホルダ１１０は、前記内電極１０２の基端部１０２ａの外周に嵌合する。内電極ホルダ１１０は、絶縁性を有する樹脂または金属などの材料から形成されている。
【０００９】
外電極ホルダ１１１は、円管状に形成されている。外電極ホルダ１１１は、一端部１１１ａに、前記外電極１０３の基端部１０３ａの外周に嵌合する外電極嵌合部１１１ｂと、前記内電極ホルダ１１０の外周に嵌合する内電極ホルダ嵌合部１１１ｃと、を設けている。外電極ホルダ１１１は、導電性を有する金属などの材料から構成されている。
【００１０】
外電極ホルダ１１１は、外電極嵌合部１１１ｂ及び内電極ホルダ嵌合部１１１ｃが、それぞれ前記外電極１０３の基端部１０３ａ及び内電極ホルダ１１０の外周に嵌合する。外電極ホルダ１１１は、他端部１１１ｄの内周にコネクタ部１１２が嵌合する。
【００１１】
また、外電極ホルダ１１１は、その軸線に沿った略中央部に、リング部材取付溝１０３ｄを設けている。リング部材取付溝１０３ｄは、前記外電極ホルダ１１１の内周面から凹に形成されている。リング部材取付溝１０３ｄは、前記外電極ホルダ１１１の周方向に沿って形成されている。
【００１２】
前記コネクタ部１１２は、コネクタ本体１１３と、前記リード線１０６，１０７それぞれと電気的に接続する接続ピン１１４，１１５を備えている、コネクタ本体１１３は、絶縁性を有する樹脂または金属などの材料から構成されている。コネクタ本体１１３は、前記外電極ホルダ１１１の内径と略等しい外径を有する円柱状に形成されている。
【００１３】
接続ピン１１４，１１５は、それぞれ、前記コネクタ本体１１３の長手方向に沿って、このコネクタ本体１１３内に埋設されている。接続ピン１１４，１１５は、それぞれ、前記コネクタ本体１１３の一端面１１３ａから他端面１１３ｂに亘って、前記コネクタ本体１１３を貫通して配されている。
【００１４】
前記コネクタ部１１２は、前記コネクタ本体１１３が、前記外電極ホルダ１１１の他端部１１１ｄの内周に嵌合して、前記外電極ホルダ１１１に取り付けられる。
【００１５】
内電極リード線１０６は、一端部が前記内電極１０２の基端部１０２ａに電気的に接続しているとともに、他端部が前記接続ピン１１４に電気的に接続している。内電極リード線１０６は、内電極接続部１２０によって、前記内電極１０２の基端部１０２ａに電気的に接続している。
【００１６】
内電極接続部１２０は、導電性円環部材１２１と、ばねなどからなる弾性体１２２と、前述したナット１０９と、を備えている。前記導電性円環部材１２１は、その内側に、ナット螺合部１０８が通ることのできる円環状に形成されている。導電性円環部材１２１は、導電性を有する金属などの材料から構成されている。
【００１７】
導電性円環部材１２１には、前記内電極リード線１０６の一端部が半田などを用いたろう付によって電気的に接続されている。弾性体１２２は、その内側に、ナット螺合部１０８が通ることのできる円環状に形成されている。
【００１８】
前記内電極接続部１２０は、前記導電性円環部材１２１をその内側にナット螺合部１０８を通しかつ前記内電極ホルダ１１０の端面１１０ａに重ね合わせ、さらに前記弾性体１２２をその内側にナット螺合部１０８を通して導電性円環部材１２１に重ね合わせ、前記ナット螺合部１０８にナット１０９を螺合させる。
【００１９】
そして、このナット１０９が、前記弾性体１２２を介して導電性円環部材１２１を内電極ホルダ１０２に向かって押圧して、前記内電極リード線１０６と内電極１０２との間の電気的な接続を確保する。さらに、前記ナット１０９をナット螺合部１０８に螺合させると、前記支持部１０４のうち特に内電極ホルダ１１０に対し内電極１０２を固定することとなる。
【００２０】
外電極リード線１０７は、一端部が前記外電極１０３の基端部１０３ａに電気的に接続しているとともに、他端部が前記接続ピン１１５に電気的に接続されている。外電極リード線１０７は、外電極接続部１３０によって、前記外電極１０３に電気的に接続されている。
【００２１】
外電極接続部１３０は、導電性円環部材１３１を備えている。導電性円環部材１３１は、円環状に形成されている。導電性円環部材１３１は、その外縁部が、前記リング部材取付溝１０３ｄに嵌合する。導電性円環部材１３１は、導電性を有する金属から構成されている。導電性円環部材１３１には、前記外電極リード線１０７の一端部が半田などを用いたろう付によって電気的に接続されている。
【００２２】
前述した構成によって、外電極接続部１３０は、導電性円環部材１３１の外縁部が前記リング部材取付溝１０３ｄに嵌合することによって、前記外電極リード線１０７と外電極１０３との間の電気的な接続を確保する。
【００２３】
前記抵抗率計の電極１０１内には、前記外電極ホルダ１１１の内周面と、前記内電極ホルダ１１０の端面１１０ａと、コネクタ本体１１３の端面１１３ａと、によって囲まれた空間１１６が、形成されている。この空間１１６内には、エポキシ樹脂１３２が充填されている。
【００２４】
このエポキシ樹脂１３２は、前記外電極ホルダ１１１の内周面、前記内電極ホルダ１１０の端面１１０ａ及びコネクタ本体１１３の端面１１３ａそれぞれとの間を液密に保ち、前記空間１１６内に前述した電解質液の侵入を防止する。さらに、このエポキシ樹脂１３２は、前記コネクタ本体１１３の外周面と外電極ホルダ１１１の内周面とを互いに接着して、これらのコネクタ本体１１３の外周面と外電極ホルダ１１１の内周面との間を液密に保つ。
【００２５】
また、抵抗率計の電極１０１は、前記内電極ホルダ１１０と、外電極ホルダ１１１との間に、Ｏリング１３３を設けている。このＯリング１３３は、前記ホルダ１１０，１１１の相互の間を液密に保ち、前記空間１１６内に前述した電解質液が侵入することを防止する。
【００２６】
前述した構成によって、抵抗率計の電極１０１は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの少なくとも先端部１０２ｂ，１０３ｂを、計測対象の電解質液の流路中に配置し、これらの電極１０２，１０３間の電気抵抗を測定することより前記電解質液の抵抗率を測定する。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】
前述した図７に例示された抵抗率計の電極１０１は、前記内電極１０２を支持部１０４特に内電極ホルダ１１０に固定する際に、前述した専用のナット１０９などを用いてきた。このため、前記内電極１０２の基端部１０２ａのナット螺合部１０８のねじ溝を形成する必要があるなどの、前記内電極１０２を形成する際に加工工数が増大する傾向となっている。
【００２８】
また、内電極１０２を固定するために前記ナット嵌合部１０８に螺合する専用のナット１０９が必要になるなどの部品点数が増加する傾向となっていた。
このように、前述した従来の抵抗率計の電極１０１の内電極１０２の固定方向では、加工工数が増大するとともに部品点数が増加して、コストが高騰する傾向となっていた。
【００２９】
また、前述した従来の抵抗率計の電極１０１において、内電極１０２を支持部１０４の内電極ホルダ１１０に半田を用いたろう付けによって固定することも考えられる。この場合、前記内電極ホルダ１１０が前述したように絶縁性を有する材料から形成されているので、内電極１０２と内電極ホルダ１１０との間に所望とする固定力を確保することが困難となり、前記内電極１０２を確実に固定するのは困難であった。
【００３０】
さらに、図示はしないが、電極部材としての内電極と外電極とを複数備えた抵抗率計において、内電極を支持部に固定するために、内電極の基端部をかしめるものも用いられている。この場合、前記内電極を固定するために比較的大きな力を用いてかしめる必要が生じ、加工工数が増大する傾向となっているとともに、前記内電極をかしめて固定した後、内電極を支持部から取り外すことが出来ずに、前記抵抗率計の整備性が低下する傾向となっていた。
【００３１】
したがって、本発明の目的は、電極部材を確実に固定できるとともに、部品点数及び組立にかかる工数を抑制して、コストの高騰を抑制することが可能な抵抗率計の電極を提供することにある。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の抵抗率計の電極は、２個の電極部材が計測対象の電解質液の流路中に所定間隔をおいて配置され、電極部材間の電気抵抗より前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、前記電極部材のうち一つの電極部材が柱状に形成され、かつ、他の電極部材が前記一つの電極部材を内側に設置する円管状に形成されているとともに、前記電極部材それぞれの基端部に嵌合して、前記電極部材間を前記所定間隔に保って、これらの電極部材を支持する支持部と、前記柱状に形成された電極部材の基端部の外周面に係止して、この電極部材の基端部が支持部から抜け出ることを阻止する係止部材と、を備え、前記係止部材は、円環状に形成された部材本体と、この部材本体の内縁部から部材本体の内側に向かって突出して複数設けられかつ前記柱状に形成された電極部材の外周面に係止する係止爪部と、を備え、前記係止爪部は、前記部材本体に対し、前記部材本体の外側から内側に向かうにしたがって前記柱状に形成された電極部材の先端部から基端部に向かって徐々に傾いて形成されているとともに、互いに間隔をあけて前記部材本体の周方向に等間隔に配置されていることを特徴としている。
【００３４】
請求項２に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１記載の抵抗率計の電極において、前記係止部材は、導電性を有する材料から形成され、前記柱状に形成された電極部材が検知する前記電解質液の抵抗率に基づいた情報を伝達する電線を備え、前記電線が前記係止部材に接続されたことを特徴としている。
【００３５】
請求項１に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、係止部材を柱状に形成された内電極の外周面に係止させることによって、基端部が支持部から抜け出ることを阻止して、電極部材を支持部に対し固定する。このため、確実に電極部材を固定することができる。
【００３６】
また、係止部材を柱状に形成された電極部材の外周面に係止させるだけで、前記電極部材を支持部に対し固定できるので、電極部材の基端部などにねじ溝などを形成する必要が生じないので、加工工数を抑制することができるとともに部品点数を抑制することが可能となる。
【００３７】
さらに、係止部材の電極部材の外周面に対する係止を解除するだけで、電極部材の支持部に対する固定を解除することができる。このため、抵抗率計の電極の組立後も電極部材を取り外すことが可能となって、抵抗率計の電極の整備性を低下することがない。
【００３８】
係止部材は、円環状に形成された部材本体と、この部材本体の内縁部から内側に向かって突出した係止爪部と、を備えている。そして、この係止爪部が、柱状に形成された電極部材の外周面に係止する。このため、より確実に電極部材を固定できるとともに、抵抗率計の電極の加工工数及び部品点数をより確実に抑制できる。
【００３９】
また、前記係止爪部が部材本体の外側から内側に向かうにしたがって、電極部材の基端部に向かって徐々に傾斜して形成されている。このため、係止爪部が電極部材の外周面に係止すると、電極部材の基端部が支持部から抜け出ることをより確実に防止できる。したがって、より一層確実に電極部材を支持部に固定することができる。
【００４０】
請求項２に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、電極部材が検知する電解質液の抵抗率に基づいた情報を伝達する電線を、導電性を有する材料から形成された係止部材に接続している。このため、前記係止部材を電極部材の外周面に係止させることで、前記電線と前記電極部材とを互いに電気的に接続させることができる。したがって、抵抗率計の電極を組み立てる際にかかる所要工数を抑制することができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図１ないし図５を参照して説明する。
図１などに示す本発明の一実施形態にかかる抵抗率計の電極１は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における純水などの水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び電解質液としての各種の薬液の濃度管理などに用いられる。前記電極１を用いた抵抗率計は、計測対象物としての前述した電解質液の純度を測定するために、前記電解質液の抵抗率を測定する装置に用いられる。
【００４２】
抵抗率計の電極１は、図１に示すように、電極部材としての内電極２と、電極部材としての外電極３と、前記内電極２及び外電極３を支持する支持部４と、温度検出部５と、前記内電極２と電気的に接続した本明細書に記した電線としての内電極リード線６と、前記外電極３と電気的に接続した外電極リード線７と、を備えている。
【００４３】
内電極２は、円柱状に形成されている。内電極２は、外径が比較的小さく形成された小径部２ａと、外径が比較的大きく形成された大径部２ｂと、を一体に備えている。これらの小径部２ａ及び大径部２ｂは、互いに同軸的でかつ直列に連結している。また、内電極２は、小径部２ａと大径部２ｂとの間に、段差面２ｊが形成されている。
【００４４】
内電極２は、前記大径部２ｂが抵抗率計の電極１の先端側に位置しかつ小径部２ａが基端側に位置した状態で配される。前記内電極２は、前記小径部２ａ側に位置する端面２ｃから前記大径部２ｂに向かって凹の温度検出部挿入孔２ｄが形成されている。
【００４５】
前記温度検出部挿入孔２ｄは、前記小径部２ａ及び大径部２ｂそれぞれと互いに同軸的に配されている。温度検出部挿入孔２ｄは、前記端面２ｃから前記内電極２の先端側に向かって延在している。温度検出部挿入孔２ｄは、内電極２の基端部２ｆ側に位置する端面２ｃと前記内電極２の先端部２ｇとに亘って形成されている。なお、温度検出部挿入２ｄは、前記端面２ｃには開口しているが、前記内電極２の先端部２ｇ側に位置する端面２ｅには開口していない。
【００４６】
外電極３は、その内径が前記内電極２の大径部２ｂの外径より大きく形成された円管状に形成されている。内電極２と外電極３とは、互いに同軸的でかつ前記外電極３内に内電極１が挿入された状態で配されている。内電極２は、前記大径部２ｂの端面２ｅが、前記外電極３の先端部３ｃ側に位置する端面３ａより若干外電極３の奥側に位置した状態で配されている。内電極２と外電極３は、共に導電性を有する金属などから構成されている。
【００４７】
前記支持部４は、前記内電極２及び外電極３それぞれの基端部２ｆ，３ｂを支持している。支持部４は、内電極ホルダ１０と、外電極ホルダ１１と、基端キャップ１２と、Ｏリング３０などを備えている。
【００４８】
内電極ホルダ１０は、円管状に形成されている。内電極ホルダ１０は、外径が比較的小さく形成された小径部１０ａと、外径が比較的大きく形成された大径部１０ｂと、を一体に備えている。小径部１０ａと大径部１０ｂとは互いに同軸的でかつ互いに直列に連結されている。
【００４９】
前記小径部１０ａの内径は、前記内電極２の小径部２ａの外径と略等しく形成されている。小径部１０ａの外径は、前記内電極２の大径部２ｂの外径と略等しく形成されている。
【００５０】
前記大径部１０ｂの内径は、前記小径部１０ａの外径と略等しく形成されている。すなわち大径部１０ｂの内径は、前記小径部１０ａの内径より大径に形成されている。大径部１０ｂの外径は、外電極３の外径と略等しく形成されている。このため、内電極ホルダ１０の内周において、前記小径部１０ａと大径部１０ｂとの間には、段差面１０ｃが形成されている。
【００５１】
段差面１０ｃは、前記内電極ホルダ１０の両端部に位置する両端面１０ｄ，１０ｅに沿って形成されている。内電極ホルダ１０は、絶縁性を有する樹脂または金属などから形成されている。
【００５２】
内電極ホルダ１０は、前記小径部１０ａが前記内電極２の近傍に位置しかつ前記大径部１０ｂが前記内電極２から離れた側に位置した状態で、前記内電極２の小径部２ａの外周に嵌合して配される。このとき、前記小径部１０ａ側に位置する端面１０ｄが、前記内電極２の段差面２ｊに重ねられている。
【００５３】
外電極ホルダ１１は、円管状に形成されている。外電極ホルダ１１は、外径が比較的小さく形成された小径部１１ａと、外径が比較的大きく形成された大径部１１ｂと、を一体に備えている。小径部１１ａと大径部１１ｂとは互いに同軸的でかつ互いに直列に連結されている。
【００５４】
前記小径部１１ａ及び大径部１１ｂそれぞれの内径即ち、外電極ホルダ１１の内径は、外電極３の外径と略等しく形成されている。外電極ホルダ１１は、導電性を有する金属などから構成されている。
【００５５】
外電極ホルダ１１は、前記大径部１１ｂが前記内電極２の近傍に位置しかつ前記小径部１１ａが前記内電極２から離れた側に位置した状態で、前記外電極３の基端部３ｂの外周に嵌合するとともに、前記内電極ホルダ１０の大径部１０ｂの外周に嵌合して配される。
【００５６】
外電極ホルダ１１は、その軸線に沿った略中央部に、リング部材取付溝１１ｃを設けている。リング部材取付溝１１ｃは、前記外電極ホルダ１１の内周面から凹に形成されている。リング部材取付溝１１ｃは、前記外電極ホルダ１１の周方向に沿って形成されている。
【００５７】
また、前記外電極ホルダ１１と内電極ホルダ１０との間には、互いの間を液密に保つＯリング１３が設けられている。内電極２と内電極ホルダ１０との間には、互いの間を液密に保つＯリング１４が設けられている。これらのＯリング１３，１４は、ゴムなどの弾性体から構成されている。
【００５８】
さらに、前記内電極２及び内電極ホルダ１０の長手方向に沿った方向において、前記内電極ホルダ１０と外電極３との間には、中間部材１５が設けられている。中間部材１５は、円環状に形成されている。中間部材１５は、内径が前記小径部１０ａの外径と略等しく形成されているとともに、外径が前記外電極ホルダ１１の内径と略等しく形成されている。
【００５９】
中間部材１５は、小径部１０ａの外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１の内周に嵌合している。中間部材１５は、絶縁性を有する樹脂又は金属などから構成されている。また、この中間部材１５が小径部１０ａの外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１の内周に嵌合することによって、前記内電極２と外電極３とは、これらの電極２，３の径方向に沿った間隔が所定間隔ｔ（図１に示す）に保たれている。
【００６０】
基端キャップ１２は、円板部１２ａと筒部１２ｂとを有する有底筒状に形成されている。円板部１２ａは、円板状に形成されている。筒部１２ｂは、筒状に形成されかつ円板部１２ａの周縁に連なっている。
【００６１】
基端キャップ１２は、周知のポリアミド樹脂（ナイロン）などの合成樹脂から形成されている。基端キャップ１２は、前記筒部１２ａが前記外電極ホルダ１１の小径部１１ａの外周に嵌合して配されている、基端キャップ１２は、前記筒部１２ｂが前記小径部１１ａに、周知のエポキシ系接着剤によって接着されて固定されている。
【００６２】
基端キャップ１２は、前記円板部１２ａを貫通する丸孔１２ｃを備えている。丸孔１２ｃは、その平面形状が略円形に形成されている。丸孔１２ｃは、前記円板部１２ａと同軸的に配されている。丸孔１２ｃは、その内側に、温度検出部５の後述する電線束２６が通る。
【００６３】
Ｏリング３０は、シリコンゴムなどの弾性体などから円環状に形成されている。Ｏリング３０は、軸線に沿った断面形が円形に形成されている。Ｏリング３０は、その初期状態において、その内径が前記電線束の外径より若干小さくかつ外径が外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内径より若干小さく形成されている。
【００６４】
Ｏリング３０は、円形に形成されたその断面形の直径が３ｍｍ以上でかつ前記電線束２６び外径の５０％以上に形成されている。このように、Ｏリング３０は、円形に形成された断面形状が比較的太く形成されている。
【００６５】
Ｏリング３０は、内周側に電線束２６を通しかつ前記外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内側即ち基端キャップ１２の筒部１２ｂの内側に配される。Ｏリング３０は、前記基端キャップ１２内に設けられると、前記電線束２６と、外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内周面と、の間を液密に保ち、前記空間１６内に電解質液が侵入することを防止する。
【００６６】
また、前記支持部４は、前記内電極ホルダ１０の大径部１０ｂの内周面１０ｆと、外電極ホルダ１１の内周面１１ｄと、基端キャップ１２の円板部１２ａ等で囲まれた空間１６を、その内部に形成している。この空間１６には、前記温度検出部挿入孔２ｄが開口している。
【００６７】
前記空間１６は、その内側に、前記外電極ホルダ１１のリング部材取付溝１１ｃに取り付けられるＣ状リング１７と、付勢手段としてのコイルばね１８と、係止部材としての第１の止め環１９と、第２の止め環２０などを収容している。
【００６８】
Ｃ状リング１７は、平面形状がＣ状の円環状に形成されている。Ｃ状リング１７は、その外縁が、前記リング部材取付溝１１ｃ内に嵌合して、外電極ホルダ１１に固定される。Ｃ状リング１７は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。
【００６９】
前記コイルばね１８は、その内側に、温度検出部５の電線束２６が通った状態で前記空間１６内に収容されている。コイルばね１８は、前記Ｃ状リング１７と、内電極ホルダ１０の大径部１０ｂとの間に配されており、前記Ｃ状リング１７を前記基端キャップ１２側に向かって付勢している。コイルばね１８は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。
【００７０】
第１の止め環１９は、導電性を有する周知の鋼などから形成されている。第１の止め環１９は、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、部材本体１９ａと、係止爪部１９ｂと、を一体に備えている。部材本体１９ａは、図３及び図４に示すように、軸線Ｐに関して対称な円環状に形成されている。
【００７１】
部材本体１９ａは、その外径Ｄ（図３（Ａ）に示す）が、前記大径部１０ｂの内径より小さく形成されている。部材本体１９ａは、その内径が、前記小径部２ａの外径より大きく形成されている。
【００７２】
係止爪部１９ｂは、前記部材本体１９ａの周方向に沿って互いに等間隔となる位置に複数設けられている。係止爪部１９ｂは、前記軸線Ｐを挟んで互いに相対向する位置に配されている。係止爪部１９ｂは、それぞれ、帯状に形成されている。
【００７３】
係止爪部１９ｂは、それぞれ、前記部材本体１９ａの内縁部から部材本体１９ａの内側に向かって突出して設けられている。係止爪部１９ｂは、それぞれ、前記部材本体１９ａの内縁部から、部材本体１９ａの内側に向かうにしたがって、部材本体１９ａに対し軸線Ｐに沿う方向に徐々に傾いて形成されている。
【００７４】
前記軸線Ｐを挟んで互いに相対向する係止爪部１９ｂ間の間隔ｄ２（図３（Ａ）に示す）は、前記内電極２の小径部２ａの外径より若干小さく形成されている。係止爪部１９ｂの部材本体１９ａの最も内側に位置する縁部即ち係止爪部１９ｂの先端縁１９ｃは、前記小径部２ａ即ち内電極２の外周面２ｉに係止する。
【００７５】
第１の止め環１９は、図１及び図４に示すように、その内側に内電極２の小径部２ａが通り、かつ前記係止爪部１９ｂが内電極２の外周面２ｉに係止した状態で、前記内電極ホルダ１０の大径部１０ｂ内に収容されている。このとき、第１の止め環１９は、前記係止爪部１９ｂが、部材本体１９ａの内側に向かうにしたがって、前記内電極２の先端部２ｇから基端部２ｆに向かって徐々に、部材本体１９ａに対し傾いた状態で、前記大径部１０ｂ内に収容されている。
【００７６】
前述したように前記係止爪部１９ｂが部材本体１９ａに対し傾いた状態で前記第１の止め環１９が前記大径部１０ｂ内に収容されて、前記係止爪部１９ｂが内電極２の外周面２ｉに係止することによって、第１の止め環１９は、内電極２の段差面２ｊとの間に、内電極ホルダ１０を挟み込む。
【００７７】
そして、第１の止め環１９は、前述したように前記係止爪部１９ｂが部材本体１９ａに対し傾いた状態となっているため、内電極２が、前記基端部２ｆから先端部２ｇに向かって変位することを規制する。このように、第１の止め環１９は、前記内電極ホルダ１０に対し内電極２の基端部２ｆが抜け出ることを阻止する。
【００７８】
第２の止め環２０は、ステンレス鋼などの周知の鋼などからなりかつ円環状に形成されている。第２の止め環２０は、その内側に、温度検出部５の電線束２６が通った状態で前記空間１６内に収容されている。第２の止め環２０は、前記Ｃ状リング１７の基端キャップ１２側に設けられている。第２の止め環２０は、その外縁が、前記外電極ホルダ１１の内周面１１ｄに嵌合して、前記外電極ホルダ１１などに固定されている。
【００７９】
前記温度検出部５は、図１及び図２に示すように、温度補償用の一対の温度センサ素子２１，２２と、これらの温度センサ素子２１，２２それぞれと電気的に接続した電線２３，２４と、円管ばね部材２５などを備えている。温度検出部５は、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。
【００８０】
温度センサ素子２１，２２は、それぞれ、温度検出部挿入孔５内でかつ前記内電極２の先端部２ｇに配されている。温度センサ素子２１，２２は、それぞれ、温度を測定する感温部２１ａ，２２ａを備えている。
【００８１】
温度センサ素子２１，２２は、それぞれ、感温部２１ａ，２２ａがディスク形、ペレット形あるいはそれに類似した面部を有する形状のサーミスタにより構成されている。温度センサ素子２１，２２は、それぞれの感温部２１ａ，２２ａの面部が、前記温度検出部挿入孔５内において、前記電解質液の流路に対し略平行となるように配置されている。
【００８２】
電線２３，２４は、それぞれ一端が前記温度センサ素子２１，２２の感温部２１ａ，２２ａに電気的に接続している、電線２３，２４は、前記内電極２の先端部２ｇから内電極２の基端部２ｆに向かって延びて、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。
【００８３】
電線２３，２４の長手方向に沿った中央部から他端部に至る部分と、内電極リード線６と、外電極リード線７と、は互いに束ねられて電線束２６を構成している。電線束２６は、前記温度検出部５が温度検出部挿入孔２ｄ内に収容された際に、前記内電極２及び外電極３の基端部２ｆ，３ｂ側に位置する基端キャップ１２の丸孔１２ｃを通って外部に導かれる。電線２３，２４は、それぞれ、図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００８４】
円管ばね部材２５は、導電性を有する材料としての周知の鋼などから構成されている。円管ばね部材２５は、円管状に形成されている。円管ばね部材２５は、図１などに示す切欠部３２と、図５などに示す貫通孔３３と、を備えている。
【００８５】
切欠部３２は、円管ばね部材２５の母材の一部が切りかかれて形成されている。切欠部３２は、円管ばね部材２５の長手方向に沿って形成されている。切欠部３２は、図１に示すように、前記円環ばね部材２５の一端から他端に向かうにしたがって、ジグザグ状に形成されている。
【００８６】
即ち、切欠部３２は、円管ばね部材２５の外周方向から見て波状に形成されている。このため、円管ばね部材２５は、長手方向に対し交差する断面の断面形状がＣ状に形成されている。
【００８７】
貫通孔３３は、図５に示すように、前記円管ばね部材２５の母材を径方向に沿って貫通している。貫通孔３３は、前記円管ばね部材２５の母材の内側と外側とを連通している。貫通孔３３は、円管ばね部材２５の外周方向から見て丸形に形成されている。
【００８８】
円管ばね部材２５は、前記切欠部３２の間隔が増減自在即ち、外径が伸縮自在となる弾性を有している。円管ばね部材２５は、初期状態において、前記内電極２の小径部２ａの内径より大きな外径となっている。
【００８９】
円管ばね部材２５は、前記電線束２６の温度センサ素子２１，２２寄りに配されている。円管ばね部材２５は、前記電線２３，２４を互いに束ねている。円管ばね部材２５は、その弾性復元力に抗して、前記小径部２ａ内に挿入される。円管ばね部材２５は、前記小径部２ａ内に挿入されると、弾性復元力を生じて、前記小径部２ａの内周面即ち温度検出部挿入孔２ｄの内周面２ｈと密接する。
【００９０】
また、前記温度センサ２１，２２の感温部２１ａ，２２ａを互いに電気的に接続しかつ前記円管ばね部材２５と電気的に接続する電線２７が設けられている。この電線２７は、図５に示すように、その端部が、貫通孔３３内を通されて、前記円管ばね部材２５と電気的に接続している。
【００９１】
電線２７は、前記感温部２１ａ，２２ａの互いの電位を前記円管ばね部材２５と等しく保つ機能を有している。なお、図示例において、電線２７は円管ばね部材２５の内側に配されており、前記端部が貫通孔３３を通って円管ばね部材２５の外側に導かれている。
【００９２】
内電極リード線６は、前記電線２７とともに、その一端部６ａが前記円管ばね部材２５と電気的に接続している。内電極リード線６は、導電性を有する芯線６ｂとこの芯線６ｂを覆いかつ絶縁性を有する材料から形成された被覆部６ｃとを備えている。
【００９３】
内電極リード線６の一端部６ａにおいては、被覆部６ｃがはがされて、芯線６ｂが剥き出しとなっている。内電極リード線６は、一端部６ａに位置する芯線６ｂが前記貫通孔３３内を通されている。
【００９４】
図示例において、内電極リード線６は、円管ばね部材２５の内側に配されており、前記端部が貫通孔３３を通って円管ばね部材２５の外側に導かれている。内電極リード線６の一端部６ａに位置する芯線６は、前記貫通孔３３内を通って、半田３６などを用いたろう付けによって、前記円管ばね部材２５に電気的に接続されている。
【００９５】
内電極リード線６は、円管ばね部材２５と電気的に接続することによって、前記内電極２と電気的に接続する。内電極リード線６は、前記電線２３，２４などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、前記丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。内電極リード線６は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００９６】
外電極リード線７は、一端部７ａが前記第２の止め環２０に電気的に接続している。外電極リード線７は、前記第２の止め環２０に電気的に接続することによって、外電極ホルダ１１及び外電極３３と電気的に接続する。外電極リード線７は、前記電線２３，２４などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、前記丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。外電極リード線７は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００９７】
また、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に前記温度検出部５が設けられかつ前記空間１６内に、Ｃ状リング１７、コイルばね１８及び止め環１９，２０などが収容された状態で、エポキシ樹脂３１が充填されている。
【００９８】
このエポキシ樹脂３１は、前記外電極ホルダ１１の内周面１１ｄ、前記内電極ホルダ１０の端面１０ｅとの間を液密に保ち、前記空間１６内に前述した電解質液の侵入を防止する。
【００９９】
前述した構成によれば、抵抗率計の電極１は、前記内電極２及び外電極３それぞれの少なくとも先端部２ｇ，３ｃを、計測対象の電解質液の流路中に配置し、前記リード線６，７などを介して演算装置などに伝えられる電極２，３間の電気抵抗を測定することにより前記電解質液の抵抗率を測定する。
【０１００】
このとき、前記温度センサ素子２１，２２の感温部２１ａ，２２ａから、前記電線２３，２４などを介して前記電解質液の温度に応じた情報が、前記演算装置に伝えられる。そして、この演算装置などが電解質液の温度の補償を行い、この電解質液のあらかじめ決められた一定温度における抵抗率を算出する。
【０１０１】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、第１の止め環１９の係止爪部１９ｂを内電極２の外周面２ｉに係止させる際に、係止爪部１９ｂが部材本体１９ａに対し内側に向かうにしたがって前記先端部２ｇから基端部２ｆ側に徐々に向かうように傾斜した状態で配されている。
【０１０２】
そして、第１の止め環１９と内電極２の段差面２ｊとの間に内電極ホルダ１０を挟み込んで固定するとともに、基端部２ｆから先端部２ｇに向かって変位しないように内電極２の動きを規制する。このため、第１の止め環１９は、基端部２ｆが内電極ホルダ１０から抜け出ることを阻止して、内電極２を内電極ホルダ１０に固定する。したがって、内電極２を確実に固定できる。
【０１０３】
また、第１の止め環１９を内電極２の外周面２ｉに係止させるだけで、前記内電極２を内電極ホルダ１０に対し固定できるので、内電極２の基端部２ｆなどにねじ溝などを形成する必要が生じないとともに、この内電極２とは別体のナットなどを用いる必要が生じない。このため、内電極２の加工工数を抑制することができるとともに部品点数を抑制することが可能となる。したがって、抵抗率計の電極１のコストの高騰を抑制できる。
【０１０４】
さらに、第１の止め環１９の内電極２の外周面２ｉに対する係止を解除するだけで、内電極２の内電極ホルダ１０に対する固定を解除できる。このため、抵抗率計の電極１の組立後も内電極２を支持部４から取り外すことが可能となって、抵抗率計の電極１の整備性を低下することがない。
【０１０５】
また、係止爪部１９ｂが部材本体１９ａの内縁部から内側に向かって突出している。そして、この係止爪部１９ｂが、内電極２の外周面２ｉに係止する。このため、より確実に内電極２を固定できるとともに、抵抗率計の電極１の加工工数及び部品点数をより確実に抑制できる。したがって、内電極２をより確実に固定できかつ抵抗率計の電極１のコストの高騰を抑制できる。
【０１０６】
さらに、本実施形態においては、内電極リード線６を円管ばね部材２５に電気的に接続して、内電極２が検知する電解質液の抵抗率に基づいた情報を取り出せるようにしているが、図６に示すように、前記内電極リード線６を第１の止め環１９に電気的に接続するようにしても良い。
【０１０７】
この場合、図６に示すように、前記芯線６ｂを部材本体１９ｂに結いて、前記内電極リード線６と第１の止め環１９とを電気的に接続する。そして、第１の止め環１９の係止爪部１９ｂを内電極２の外周面２ｉに係止することによって、前記内電極リード線６と内電極２とを互いに電気的に接続する。内電極２が検知する電解質液の抵抗率に基づいた情報を取り出す。
【０１０８】
また、図６の場合は、前記芯線６ｂを部材本体１９ｂに結いているだけであるが、前記芯線６ｂを半田などを用いたろう付けによって、前記部材本体１９ｂに固定しても良いことは勿論である。
【０１０９】
図６に示した場合によれば、内電極リード線６を第１の止め環１９に接続しているため、前記係止爪部１９ｂを内電極２の外周面２ｉに係止させることで、前記内電極リード線６と前記内電極２とを互いに電気的に接続させることができる。このため、抵抗率計を組み立てる際にかかる所要工数を抑制することができる。したがって、抵抗率計の電極１のコストの高騰をより一層抑制できる。さらに、前述した本発明の電極１は、電解質液の導電率を測定する導電率計にも適用できるのは勿論である。
【０１１０】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に記載の本発明によれば、係止部材を内電極の外周面に係止させることによって、基端部が支持部から抜け出ることを阻止する。このため、電極部材を支持部に対し確実に固定できる。
【０１１１】
また、係止部材を電極部材の外周面に係止させるだけで、前記電極部材を固定できるので、電極部材の基端部などにねじ溝などを形成したり、前記電極部材などとは別体のナットを用いる必要が生じない。このため、加工工数を抑制することができるとともに部品点数を抑制することが可能となる。したがって、抵抗率計の電極のコストの高騰を抑制できる。
【０１１２】
さらに、係止部材の電極部材の外周面に対する係止を解除するだけで、電極部材の固定を解除できる。このため、抵抗率計の電極の組立後も電極部材を支持部から取り外すことができ、抵抗率計の電極の整備性を低下することがない。
【０１１３】
係止部材は、円環状に形成された部材本体と、この部材本体の内縁部から内側に向かって突出しかつ柱状に形成された電極部材の外周面に係止する係止爪部と、を備えている。このため、より確実に電極部材を固定できる。
【０１１４】
また、前記係止爪部が部材本体の外側から内側に向かうにしたがって、電極部材の基端部に向かって徐々に傾斜して形成されている。このため、係止爪部が電極部材の外周面に係止すると、電極部材の基端部が支持部から抜け出ることをより確実に防止できる。したがって、より一層確実に前記電極部材を固定できる。
【０１１５】
請求項２に記載の本発明によれば、前述した請求項の効果にくわえ、電極部材が検知する電解質液の抵抗率に基づいた情報を伝達する電線を、導電性を有する材料から形成された係止部材に接続している。このため、前記係止部材を電極部材の外周面に係止させることで、前記電線と前記電極部材とを互いに電気的に接続させることができる。したがって、抵抗率計の電極を組み立てる際にかかる所要工数を抑制でき、抵抗率計の電極のコストの高騰をより一層抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【図２】同実施形態の電極の温度検出部の構成を示す側面図である。
【図３】（Ａ）は同実施形態の電極の第１の止め環を示す平面図である。（Ｂ）は図３（Ａ）中のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う断面図である。
【図４】図３に示した第１の止め環が内電極の外周面に係止した状態を示す側面図である。
【図５】同実施形態の電極の内電極リード線が取付られた状態の円管ばねを示す断面図である。
【図６】同実施形態の変形例の内電極リード線が取付られた状態の第１の止め環を示す平面図である
【図７】従来の抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１抵抗率計の電極
２内電極（電極部材）
２ｆ基端部
２ｇ先端部
２ｉ外周面
３外電極（電極部材）
３ｂ基端部
４支持部
６内電極リード線（電線）
１９第１の止め環（係止部材）
１９ａ部材本体
１９ｂ係止爪部
ｔ所定間隔[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
This invention is a resistivity meter used in semiconductor cleaning equipment, industrial machinery, agriculture, food, medical-related water quality management, insulation of cooling water in nuclear power plants, concentration management of various chemicals, etc. It relates to an electrode.
[0002]
[Prior art]
Purity of pure water and concentration of electrolyte in water quality management in semiconductor cleaning equipment, industrial machinery, agriculture, food, medical and other fields, insulation of cooling water in nuclear power plants, and concentration management of various chemicals In order to measure the above, a resistivity meter that measures the resistivity of the pure water or the electrolyte solution is used. The resistivity meter includes, for example, an electrode 101 shown in FIG.
[0003]
The electrode 101 of the resistivity meter illustrated in FIG. 7 includes an inner electrode 102 as the electrode member, an outer electrode 103 as the electrode member, a support portion 104 that supports the inner electrode 102 and the outer electrode 103, and An inner electrode lead wire 106 electrically connected to the inner electrode 102 and an outer electrode lead wire 107 electrically connected to the outer electrode 103 are provided.
[0004]
The inner electrode 102 is formed in a cylindrical shape. The base end portion 102a of the inner electrode 102 is provided with a nut screwing portion 108 having a thread groove or the like. The nut screwing portion 108 is formed on the outer periphery of the base end portion 102 a of the inner electrode 102. A nut 109 is screwed into the nut screwing portion 108.
[0005]
The outer electrode 103 is formed in a circular tube having an inner diameter larger than the outer diameter of the inner electrode 102. The inner electrode 102 and the outer electrode 103 are arranged coaxially with each other in a state where the inner electrode 102 is inserted into the outer electrode 103.
[0006]
The inner electrode 102 is disposed in a state in which a distal end surface 102 c located on the distal end portion 102 b side is located slightly behind the outer electrode 103 than the distal end surface 103 c located on the distal end portion 103 b side of the outer electrode 103. . The inner electrode 102 and the outer electrode 103 are both made of a non-metal such as a conductive metal or carbon.
[0007]
The support portion 104 supports base end portions 102a and 103a of the inner electrode 102 and the outer electrode 103, respectively. The support part 104 includes an inner electrode holder 110, an outer electrode holder 111, and a connector part 112.
[0008]
The inner electrode holder 110 is formed in a circular tube having an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the inner electrode 102. The inner electrode holder 110 is fitted on the outer periphery of the proximal end portion 102 a of the inner electrode 102. The inner electrode holder 110 is made of a material such as an insulating resin or metal.
[0009]
The outer electrode holder 111 is formed in a circular tube shape. The outer electrode holder 111 is fitted to one end 111a, an outer electrode fitting portion 111b fitted to the outer circumference of the base end portion 103a of the outer electrode 103, and an inner electrode holder fitted to the outer circumference of the inner electrode holder 110. Part 111c. The outer electrode holder 111 is made of a material such as a conductive metal.
[0010]
In the outer electrode holder 111, the outer electrode fitting portion 111b and the inner electrode holder fitting portion 111c are fitted to the base end portion 103a of the outer electrode 103 and the outer periphery of the inner electrode holder 110, respectively. In the outer electrode holder 111, the connector portion 112 is fitted to the inner periphery of the other end portion 111d.
[0011]
Further, the outer electrode holder 111 is provided with a ring member mounting groove 103d at a substantially central portion along the axis. The ring member mounting groove 103 d is formed in a concave shape from the inner peripheral surface of the outer electrode holder 111. The ring member mounting groove 103 d is formed along the circumferential direction of the outer electrode holder 111.
[0012]
The connector portion 112 includes a connector main body 113 and connection pins 114 and 115 electrically connected to the lead wires 106 and 107, respectively. The connector main body 113 is made of an insulating resin or metal material. It is configured. The connector body 113 is formed in a cylindrical shape having an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the outer electrode holder 111.
[0013]
The connection pins 114 and 115 are respectively embedded in the connector body 113 along the longitudinal direction of the connector body 113. The connection pins 114 and 115 are respectively arranged so as to penetrate the connector main body 113 from one end surface 113a to the other end surface 113b of the connector main body 113.
[0014]
The connector portion 112 is attached to the outer electrode holder 111 with the connector main body 113 fitted to the inner periphery of the other end portion 111 d of the outer electrode holder 111.
[0015]
The inner electrode lead wire 106 has one end portion electrically connected to the proximal end portion 102 a of the inner electrode 102 and the other end portion electrically connected to the connection pin 114. The inner electrode lead wire 106 is electrically connected to the proximal end portion 102 a of the inner electrode 102 by the inner electrode connecting portion 120.
[0016]
The inner electrode connecting portion 120 includes a conductive annular member 121, an elastic body 122 made of a spring or the like, and the nut 109 described above. The conductive annular member 121 is formed in an annular shape through which the nut screwing portion 108 can pass. The conductive ring member 121 is made of a material such as a conductive metal.
[0017]
One end of the inner electrode lead wire 106 is electrically connected to the conductive annular member 121 by brazing using solder or the like. The elastic body 122 is formed in an annular shape through which the nut screwing portion 108 can pass.
[0018]
The inner electrode connecting portion 120 has the conductive annular member 121 passed through the nut screwing portion 108 on the inside thereof and superimposed on the end surface 110a of the inner electrode holder 110, and further the elastic body 122 is screwed on the inner side thereof. The conductive ring member 121 is overlapped through the joint portion 108 and the nut 109 is screwed into the nut screwing portion 108.
[0019]
Then, the nut 109 presses the conductive annular member 121 toward the inner electrode holder 102 via the elastic body 122, and electrical connection between the inner electrode lead wire 106 and the inner electrode 102 is performed. Secure. Further, when the nut 109 is screwed into the nut screwing portion 108, the inner electrode 102 is fixed to the inner electrode holder 110 in the support portion 104.
[0020]
One end of the outer electrode lead wire 107 is electrically connected to the base end portion 103 a of the outer electrode 103, and the other end is electrically connected to the connection pin 115. The outer electrode lead wire 107 is electrically connected to the outer electrode 103 by the outer electrode connecting portion 130.
[0021]
The outer electrode connection part 130 includes a conductive annular member 131. The conductive annular member 131 is formed in an annular shape. The outer periphery of the conductive ring member 131 is fitted into the ring member mounting groove 103d. The conductive ring member 131 is made of a conductive metal. One end of the outer electrode lead wire 107 is electrically connected to the conductive ring member 131 by brazing using solder or the like.
[0022]
With the above-described configuration, the outer electrode connecting portion 130 is electrically connected between the outer electrode lead wire 107 and the outer electrode 103 by fitting the outer edge portion of the conductive annular member 131 into the ring member mounting groove 103d. Secure connections.
[0023]
A space 116 surrounded by the inner peripheral surface of the outer electrode holder 111, the end surface 110a of the inner electrode holder 110, and the end surface 113a of the connector body 113 is formed in the electrode 101 of the resistivity meter. ing. The space 116 is filled with an epoxy resin 132.
[0024]
The epoxy resin 132 keeps liquid tightness between the inner peripheral surface of the outer electrode holder 111, the end surface 110 a of the inner electrode holder 110, and the end surface 113 a of the connector main body 113. Prevent the intrusion. Further, the epoxy resin 132 adheres the outer peripheral surface of the connector main body 113 and the inner peripheral surface of the outer electrode holder 111 to each other so that the outer peripheral surface of the connector main body 113 and the inner peripheral surface of the outer electrode holder 111 are Keep the space liquid tight.
[0025]
Further, the electrode 101 of the resistivity meter is provided with an O-ring 133 between the inner electrode holder 110 and the outer electrode holder 111. The O-ring 133 keeps the space between the holders 110 and 111 fluid-tight, and prevents the electrolyte solution described above from entering the space 116.
[0026]
With the above-described configuration, the electrode 101 of the resistivity meter has at least the tip portions 102b and 103b of the inner electrode 102 and the outer electrode 103 disposed in the flow path of the electrolyte solution to be measured, and these electrodes 102 and 103 are arranged. The resistivity of the electrolyte solution is measured by measuring the electrical resistance between them.
[0027]
[Problems to be solved by the invention]
The above-described electrode 101 of the resistivity meter illustrated in FIG. 7 has used the above-described dedicated nut 109 or the like when fixing the inner electrode 102 to the support portion 104, particularly the inner electrode holder 110. For this reason, it is necessary to form a thread groove of the nut screwing portion 108 of the base end portion 102a of the inner electrode 102, and the number of processing steps tends to increase when the inner electrode 102 is formed.
[0028]
In addition, the number of parts tends to increase such that a dedicated nut 109 screwed to the nut fitting portion 108 is required to fix the inner electrode 102.
Thus, in the fixing direction of the inner electrode 102 of the electrode 101 of the conventional resistivity meter described above, the number of processing steps increases, the number of parts increases, and the cost tends to increase.
[0029]
Further, in the electrode 101 of the conventional resistivity meter described above, it is conceivable to fix the inner electrode 102 to the inner electrode holder 110 of the support portion 104 by brazing using solder. In this case, since the inner electrode holder 110 is formed of an insulating material as described above, it becomes difficult to secure a desired fixing force between the inner electrode 102 and the inner electrode holder 110, It is difficult to securely fix the inner electrode 102.
[0030]
Furthermore, although not shown in the figure, in a resistivity meter having a plurality of inner electrodes and outer electrodes as electrode members, a caulking of the base end portion of the inner electrode is also used to fix the inner electrode to the support portion. ing. In this case, it is necessary to caulk using a relatively large force to fix the inner electrode, and the number of processing steps tends to increase, and after the inner electrode is caulked and fixed, the inner electrode is supported. The maintenance of the resistivity meter tended to be lowered without being able to be removed from the part.
[0031]
Accordingly, an object of the present invention is to provide an electrode of a resistivity meter that can reliably fix an electrode member, and suppress the number of parts and the number of man-hours for assembly, thereby suppressing an increase in cost. .
[0032]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the problems and achieve the object, the electrode of the resistivity meter of the present invention according to claim 1, 2 In the electrode of the resistivity meter in which the electrode members are arranged at predetermined intervals in the flow path of the electrolyte solution to be measured and the resistivity of the electrolyte solution is measured from the electrical resistance between the electrode members, U Chiichi Two electrode members are formed in a column shape And while the other electrode member is formed in a circular tube in which the one electrode member is installed inside, Proximal end portion of each electrode member And the electrode members are kept at the predetermined distance to form the electrode members. A support portion for supporting the electrode member and the columnar electrode member Proximal A locking member that locks to the outer peripheral surface and prevents the base end portion of the electrode member from slipping out of the support portion. The locking member is associated with a ring-shaped member main body, and a plurality of projecting members projecting from the inner edge of the member main body toward the inner side of the member main body and formed in the columnar shape. A locking claw portion that stops, and the locking claw portion extends from the distal end portion of the electrode member formed in the columnar shape toward the inner side from the outer side of the member main body with respect to the member main body. And are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the member body with a space between each other. It is characterized by that.
[0034]
Claim 2 The electrode of the resistivity meter of the present invention described in claim 1 In the electrode of the resistivity meter, the locking member is formed of a conductive material, and an electric wire that transmits information based on the resistivity of the electrolyte solution detected by the columnar electrode member is detected. And the electric wire is connected to the locking member.
[0035]
According to the electrode of the resistivity meter of the present invention described in claim 1, the base end portion is prevented from coming out of the support portion by locking the locking member to the outer peripheral surface of the inner electrode formed in a column shape. Then, the electrode member is fixed to the support portion. For this reason, an electrode member can be fixed reliably.
[0036]
In addition, since the electrode member can be fixed to the support portion simply by locking the locking member to the outer peripheral surface of the electrode member formed in a columnar shape, it is necessary to form a screw groove or the like in the base end portion of the electrode member Therefore, it is possible to reduce the number of processing steps and the number of parts.
[0037]
Furthermore, the fixing of the electrode member to the support portion can be released simply by releasing the locking of the locking member with respect to the outer peripheral surface of the electrode member. For this reason, it becomes possible to remove an electrode member even after the assembly of the electrode of a resistivity meter, and the maintainability of the electrode of a resistivity meter is not reduced.
[0038]
Person in charge The stop member includes a member main body formed in an annular shape, and a locking claw portion protruding inward from an inner edge portion of the member main body. And this latching claw part latches to the outer peripheral surface of the electrode member formed in the column shape. For this reason, while being able to fix an electrode member more reliably, the process man-hour and the number of parts of an electrode of a resistivity meter can be controlled more certainly.
[0039]
Moreover, the said latching claw part is formed so that it may incline gradually toward the base end part of an electrode member as it goes inside from the outer side of a member main body. For this reason, when the locking claw is locked to the outer peripheral surface of the electrode member, the base end portion of the electrode member can be more reliably prevented from coming out of the support portion. Therefore, the electrode member can be more securely fixed to the support portion.
[0040]
Claim 2 According to the electrode of the resistivity meter of the present invention described in the above, an electric wire that transmits information based on the resistivity of the electrolyte solution detected by the electrode member is connected to a locking member formed of a conductive material. ing. For this reason, the said electric wire and the said electrode member can be mutually electrically connected by making the said locking member latch to the outer peripheral surface of an electrode member. Therefore, the required man-hour required when assembling the electrodes of the resistivity meter can be suppressed.
[0041]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
An electrode 1 of a resistivity meter according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 1 and the like is used for water quality management such as pure water in various fields such as semiconductor cleaning equipment, industrial machinery, agriculture, food, and medical, and nuclear power plants. It is used for the insulation of the cooling water and the concentration control of various chemical solutions as the electrolyte solution. The resistivity meter using the electrode 1 is used in an apparatus for measuring the resistivity of the electrolyte solution in order to measure the purity of the electrolyte solution described above as a measurement object.
[0042]
As shown in FIG. 1, the electrode 1 of the resistivity meter includes an inner electrode 2 as an electrode member, an outer electrode 3 as an electrode member, a support portion 4 that supports the inner electrode 2 and the outer electrode 3, and a temperature. A detector 5; an inner electrode lead wire 6 as an electric wire described in the present specification electrically connected to the inner electrode 2; and an outer electrode lead wire 7 electrically connected to the outer electrode 3. ing.
[0043]
The inner electrode 2 is formed in a cylindrical shape. The inner electrode 2 is integrally provided with a small diameter portion 2a formed with a relatively small outer diameter and a large diameter portion 2b formed with a relatively large outer diameter. The small diameter portion 2a and the large diameter portion 2b are coaxial with each other and connected in series. Further, the inner electrode 2 has a step surface 2j formed between the small diameter portion 2a and the large diameter portion 2b.
[0044]
The inner electrode 2 is arranged in a state where the large diameter portion 2b is located on the distal end side of the electrode 1 of the resistivity meter and the small diameter portion 2a is located on the proximal end side. The inner electrode 2 is formed with a temperature detecting portion insertion hole 2d that is concave from the end surface 2c located on the small diameter portion 2a side toward the large diameter portion 2b.
[0045]
The temperature detecting portion insertion hole 2d is coaxially arranged with the small diameter portion 2a and the large diameter portion 2b. The temperature detection portion insertion hole 2d extends from the end surface 2c toward the distal end side of the inner electrode 2. The temperature detecting portion insertion hole 2 d is formed across the end surface 2 c located on the base end portion 2 f side of the inner electrode 2 and the distal end portion 2 g of the inner electrode 2. The temperature detecting portion insertion 2d is open on the end face 2c, but is not open on the end face 2e located on the distal end 2g side of the inner electrode 2.
[0046]
The outer electrode 3 is formed in a circular tube having an inner diameter larger than the outer diameter of the large diameter portion 2 b of the inner electrode 2. The inner electrode 2 and the outer electrode 3 are arranged coaxially with each other in a state where the inner electrode 1 is inserted into the outer electrode 3. The inner electrode 2 is arranged in a state in which the end surface 2e of the large-diameter portion 2b is located slightly on the back side of the outer electrode 3 with respect to the end surface 3a located on the distal end portion 3c side of the outer electrode 3. Both the inner electrode 2 and the outer electrode 3 are made of conductive metal or the like.
[0047]
The support portion 4 supports base end portions 2f and 3b of the inner electrode 2 and the outer electrode 3, respectively. The support unit 4 includes an inner electrode holder 10, an outer electrode holder 11, a proximal end cap 12, an O-ring 30, and the like.
[0048]
The inner electrode holder 10 is formed in a circular tube shape. The inner electrode holder 10 is integrally provided with a small diameter portion 10a formed with a relatively small outer diameter and a large diameter portion 10b formed with a relatively large outer diameter. The small diameter portion 10a and the large diameter portion 10b are coaxial with each other and connected in series with each other.
[0049]
The inner diameter of the small diameter portion 10a is formed to be substantially equal to the outer diameter of the small diameter portion 2a of the inner electrode 2. The outer diameter of the small diameter portion 10 a is formed to be substantially equal to the outer diameter of the large diameter portion 2 b of the inner electrode 2.
[0050]
The inner diameter of the large diameter portion 10b is formed substantially equal to the outer diameter of the small diameter portion 10a. That is, the inner diameter of the large diameter portion 10b is larger than the inner diameter of the small diameter portion 10a. The outer diameter of the large diameter portion 10 b is formed to be substantially equal to the outer diameter of the outer electrode 3. For this reason, on the inner periphery of the inner electrode holder 10, a step surface 10c is formed between the small diameter portion 10a and the large diameter portion 10b.
[0051]
The step surface 10 c is formed along both end surfaces 10 d and 10 e located at both end portions of the inner electrode holder 10. The inner electrode holder 10 is made of an insulating resin or metal.
[0052]
The inner electrode holder 10 is configured so that the small diameter portion 10a is positioned in the vicinity of the inner electrode 2 and the large diameter portion 10b is positioned on the side away from the inner electrode 2. It is arranged by fitting to the outer periphery. At this time, an end surface 10d located on the small diameter portion 10a side is overlapped with the step surface 2j of the inner electrode 2.
[0053]
The outer electrode holder 11 is formed in a circular tube shape. The outer electrode holder 11 is integrally provided with a small diameter portion 11a formed with a relatively small outer diameter and a large diameter portion 11b formed with a relatively large outer diameter. The small diameter portion 11a and the large diameter portion 11b are coaxial with each other and are connected in series with each other.
[0054]
The inner diameter of each of the small diameter portion 11 a and the large diameter portion 11 b, that is, the inner diameter of the outer electrode holder 11 is formed substantially equal to the outer diameter of the outer electrode 3. The outer electrode holder 11 is made of a conductive metal or the like.
[0055]
The outer electrode holder 11 has a base end portion 3b of the outer electrode 3 in a state where the large diameter portion 11b is positioned in the vicinity of the inner electrode 2 and the small diameter portion 11a is positioned on the side away from the inner electrode 2. Is fitted to the outer periphery of the large-diameter portion 10b of the inner electrode holder 10 and is arranged.
[0056]
The outer electrode holder 11 is provided with a ring member mounting groove 11c at a substantially central portion along the axis. The ring member mounting groove 11 c is formed to be concave from the inner peripheral surface of the outer electrode holder 11. The ring member mounting groove 11 c is formed along the circumferential direction of the outer electrode holder 11.
[0057]
Further, an O-ring 13 is provided between the outer electrode holder 11 and the inner electrode holder 10 to keep the liquid-tight space therebetween. An O-ring 14 is provided between the inner electrode 2 and the inner electrode holder 10 to keep the liquid-tight space between each other. These O-rings 13 and 14 are made of an elastic body such as rubber.
[0058]
Further, an intermediate member 15 is provided between the inner electrode holder 10 and the outer electrode 3 in a direction along the longitudinal direction of the inner electrode 2 and the inner electrode holder 10. The intermediate member 15 is formed in an annular shape. The intermediate member 15 has an inner diameter formed substantially equal to the outer diameter of the small diameter portion 10 a and an outer diameter formed substantially equal to the inner diameter of the outer electrode holder 11.
[0059]
The intermediate member 15 is fitted to the outer circumference of the small diameter portion 10 a and is fitted to the inner circumference of the outer electrode holder 11. The intermediate member 15 is made of an insulating resin or metal. Further, when the intermediate member 15 is fitted to the outer circumference of the small diameter portion 10a and is fitted to the inner circumference of the outer electrode holder 11, the inner electrode 2 and the outer electrode 3 have a diameter of these electrodes 2 and 3. The interval along the direction is kept at a predetermined interval t (shown in FIG. 1).
[0060]
The base end cap 12 is formed in a bottomed cylindrical shape having a disc portion 12a and a cylindrical portion 12b. The disc part 12a is formed in a disc shape. The cylindrical part 12b is formed in a cylindrical shape and continues to the periphery of the disk part 12a.
[0061]
The base end cap 12 is formed from a synthetic resin such as a known polyamide resin (nylon). The base end cap 12 is arranged with the cylindrical portion 12a fitted on the outer periphery of the small diameter portion 11a of the outer electrode holder 11. The base end cap 12 is well known to the small diameter portion 11a. It is bonded and fixed by an epoxy adhesive.
[0062]
The base end cap 12 includes a round hole 12c that penetrates the disk portion 12a. The planar shape of the round hole 12c is formed in a substantially circular shape. The round hole 12c is arranged coaxially with the disc portion 12a. Inside the round hole 12c, a later-described wire bundle 26 of the temperature detection unit 5 passes.
[0063]
The O-ring 30 is formed in an annular shape from an elastic body such as silicon rubber. The O-ring 30 has a circular cross section along the axis. In the initial state, the O-ring 30 is formed so that its inner diameter is slightly smaller than the outer diameter of the wire bundle and its outer diameter is slightly smaller than the inner diameter of the small-diameter portion 11 a of the outer electrode holder 11.
[0064]
The O-ring 30 is formed in a circular shape with a cross-sectional diameter of 3 mm or more and 50% or more of the outer diameter of the wire bundle 26. Thus, the O-ring 30 has a circular cross-sectional shape that is relatively thick.
[0065]
The O-ring 30 is disposed inside the small diameter portion 11 a of the outer electrode holder 11, that is, inside the cylindrical portion 12 b of the base end cap 12, through the wire bundle 26 on the inner peripheral side. When the O-ring 30 is provided in the base end cap 12, the space between the wire bundle 26 and the inner peripheral surface of the small-diameter portion 11 a of the outer electrode holder 11 is kept liquid-tight, and the electrolyte is placed in the space 16. Prevent liquid from entering.
[0066]
The support portion 4 is surrounded by an inner peripheral surface 10f of the large-diameter portion 10b of the inner electrode holder 10, an inner peripheral surface 11d of the outer electrode holder 11, a disc portion 12a of the proximal cap 12, and the like. A space 16 is formed inside. In the space 16, the temperature detecting portion insertion hole 2d is opened.
[0067]
The space 16 includes a C-shaped ring 17 attached to the ring member attaching groove 11c of the outer electrode holder 11, a coil spring 18 as a biasing means, and a first retaining ring 19 as a locking member. And the second retaining ring 20 and the like.
[0068]
The C-shaped ring 17 is formed in an annular shape having a C-shaped planar shape. The outer edge of the C-shaped ring 17 is fitted into the ring member mounting groove 11 c and fixed to the outer electrode holder 11. The C-shaped ring 17 is made of a known steel such as stainless steel.
[0069]
The coil spring 18 is accommodated in the space 16 with the wire bundle 26 of the temperature detection unit 5 passing inside. The coil spring 18 is disposed between the C-shaped ring 17 and the large-diameter portion 10b of the inner electrode holder 10, and urges the C-shaped ring 17 toward the proximal cap 12 side. . The coil spring 18 is made of a known steel such as stainless steel.
[0070]
The first retaining ring 19 is made of a well-known steel having conductivity. As shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B), the first retaining ring 19 integrally includes a member main body 19a and a locking claw portion 19b. As shown in FIGS. 3 and 4, the member main body 19 a is formed in an annular shape symmetric with respect to the axis P.
[0071]
The member main body 19a has an outer diameter D (shown in FIG. 3A) smaller than the inner diameter of the large diameter portion 10b. The member main body 19a has an inner diameter larger than the outer diameter of the small diameter portion 2a.
[0072]
A plurality of locking claws 19b are provided at positions that are equidistant from each other along the circumferential direction of the member main body 19a. The locking claw portions 19b are arranged at positions facing each other across the axis P. Each of the locking claws 19b is formed in a band shape.
[0073]
The locking claw portions 19b are provided so as to protrude from the inner edge portion of the member main body 19a toward the inside of the member main body 19a. The locking claw portions 19b are formed so as to be gradually inclined in the direction along the axis P with respect to the member main body 19a from the inner edge of the member main body 19a toward the inside of the member main body 19a.
[0074]
A distance d2 (shown in FIG. 3A) between the locking claws 19b facing each other across the axis P is formed to be slightly smaller than the outer diameter of the small diameter portion 2a of the inner electrode 2. An innermost edge of the locking claw portion 19b, that is, a leading edge 19c of the locking claw portion 19b is locked to the small diameter portion 2a, that is, the outer peripheral surface 2i of the inner electrode 2.
[0075]
As shown in FIGS. 1 and 4, the first retaining ring 19 has a small-diameter portion 2 a of the inner electrode 2 passing inside thereof, and the locking claw portion 19 b is locked to the outer peripheral surface 2 i of the inner electrode 2. In the state, it is accommodated in the large-diameter portion 10 b of the inner electrode holder 10. At this time, the first retaining ring 19 gradually moves from the distal end portion 2g of the inner electrode 2 toward the proximal end portion 2f toward the proximal end portion 2f as the locking claw portion 19b moves toward the inner side of the member main body 19a. In the state inclined with respect to 19a, it accommodates in the said large diameter part 10b.
[0076]
As described above, the first retaining ring 19 is accommodated in the large-diameter portion 10b with the locking claw portion 19b inclined with respect to the member body 19a, and the locking claw portion 19b is By engaging with the outer peripheral surface 2 i, the first retaining ring 19 sandwiches the inner electrode holder 10 between the step surface 2 j of the inner electrode 2.
[0077]
Since the first retaining ring 19 is in the state in which the locking claw portion 19b is inclined with respect to the member main body 19a as described above, the inner electrode 2 is moved from the proximal end portion 2f to the distal end portion 2g. Regulating displacement toward Thus, the first retaining ring 19 prevents the base end portion 2f of the inner electrode 2 from slipping out of the inner electrode holder 10.
[0078]
The second retaining ring 20 is made of a well-known steel such as stainless steel and is formed in an annular shape. The second retaining ring 20 is accommodated in the space 16 with the wire bundle 26 of the temperature detection unit 5 passing inside. The second retaining ring 20 is provided on the proximal cap 12 side of the C-shaped ring 17. The outer edge of the second retaining ring 20 is fixed to the outer electrode holder 11 or the like by fitting into the inner peripheral surface 11 d of the outer electrode holder 11.
[0079]
As shown in FIGS. 1 and 2, the temperature detection unit 5 includes a pair of temperature sensor elements 21 and 22 for temperature compensation, and electric wires 23 and 24 electrically connected to the temperature sensor elements 21 and 22, respectively. And a circular tube spring member 25 and the like. The temperature detector 5 is disposed in the temperature detector insertion hole 2d.
[0080]
The temperature sensor elements 21 and 22 are respectively arranged in the temperature detection part insertion hole 5 and at the tip part 2 g of the inner electrode 2. Each of the temperature sensor elements 21 and 22 includes temperature sensing parts 21a and 22a that measure the temperature.
[0081]
The temperature sensor elements 21 and 22 are each constituted by a thermistor in which the temperature sensitive parts 21a and 22a have a disk shape, a pellet shape, or a shape similar to that. The temperature sensor elements 21 and 22 are arranged so that the surface portions of the temperature sensing parts 21a and 22a are substantially parallel to the flow path of the electrolyte solution in the temperature detection part insertion hole 5.
[0082]
One end of each of the electric wires 23 and 24 is electrically connected to the temperature sensing portions 21 a and 22 a of the temperature sensor elements 21 and 22. The electric wires 23 and 24 are connected to the inner electrode 2 from the tip 2 g of the inner electrode 2. Extending toward the base end portion 2f of the temperature detecting portion and disposed in the temperature detecting portion insertion hole 2d.
[0083]
A portion from the central portion along the longitudinal direction of the electric wires 23, 24 to the other end portion, the inner electrode lead wire 6 and the outer electrode lead wire 7 are bundled together to constitute an electric wire bundle 26. When the temperature detection unit 5 is accommodated in the temperature detection unit insertion hole 2d, the wire bundle 26 is a round of the base end cap 12 located on the base end portions 2f and 3b side of the inner electrode 2 and the outer electrode 3. It is guided to the outside through the hole 12c. The electric wires 23 and 24 are electrically connected to an arithmetic device (not shown).
[0084]
The circular tube spring member 25 is made of a well-known steel or the like as a conductive material. The circular tube spring member 25 is formed in a circular tube shape. The circular tube spring member 25 includes a notch 32 shown in FIG. 1 and the like, and a through hole 33 shown in FIG. 5 and the like.
[0085]
The notch 32 is formed by cutting a part of the base material of the circular tube spring member 25. The notch 32 is formed along the longitudinal direction of the circular tube spring member 25. As shown in FIG. 1, the notch 32 is formed in a zigzag shape from one end of the annular spring member 25 toward the other end.
[0086]
That is, the notch 32 is formed in a wave shape when viewed from the outer peripheral direction of the circular tube spring member 25. For this reason, the circular pipe spring member 25 has a C-shaped cross section that intersects the longitudinal direction.
[0087]
As shown in FIG. 5, the through hole 33 penetrates the base material of the circular tube spring member 25 along the radial direction. The through hole 33 communicates the inner side and the outer side of the base material of the circular tube spring member 25. The through hole 33 is formed in a round shape when viewed from the outer circumferential direction of the circular tube spring member 25.
[0088]
The circular tube spring member 25 has elasticity such that the interval between the cutout portions 32 can be increased or decreased, that is, the outer diameter can be expanded and contracted. The circular tube spring member 25 has an outer diameter larger than the inner diameter of the small diameter portion 2a of the inner electrode 2 in the initial state.
[0089]
The circular tube spring member 25 is disposed near the temperature sensor elements 21 and 22 of the wire bundle 26. The circular tube spring member 25 bundles the electric wires 23 and 24 together. The circular tube spring member 25 is inserted into the small diameter portion 2a against its elastic restoring force. When the circular tube spring member 25 is inserted into the small-diameter portion 2a, it generates an elastic restoring force and comes into close contact with the inner peripheral surface of the small-diameter portion 2a, that is, the inner peripheral surface 2h of the temperature detecting portion insertion hole 2d.
[0090]
In addition, an electric wire 27 is provided to electrically connect the temperature sensing portions 21 a and 22 a of the temperature sensors 21 and 22 and to the circular tube spring member 25. As shown in FIG. 5, the end portion of the electric wire 27 passes through the through hole 33 and is electrically connected to the circular tube spring member 25.
[0091]
The electric wire 27 has a function of keeping the mutual electric potentials of the temperature sensing parts 21a, 22a equal to the circular tube spring member 25. In the illustrated example, the electric wire 27 is arranged inside the circular tube spring member 25, and the end portion is guided to the outside of the circular tube spring member 25 through the through hole 33.
[0092]
The inner electrode lead wire 6 is electrically connected to the circular tube spring member 25 at one end 6 a together with the electric wire 27. The inner electrode lead wire 6 includes a conductive core wire 6b and a covering portion 6c that covers the core wire 6b and is formed of an insulating material.
[0093]
At one end portion 6a of the inner electrode lead wire 6, the covering portion 6c is peeled off, and the core wire 6b is exposed. The inner electrode lead wire 6 has a core wire 6 b positioned at one end 6 a passing through the through hole 33.
[0094]
In the illustrated example, the inner electrode lead wire 6 is disposed on the inner side of the circular tube spring member 25, and the end portion is guided to the outer side of the circular tube spring member 25 through the through hole 33. The core wire 6 positioned at one end 6a of the inner electrode lead wire 6 passes through the through hole 33 and is electrically connected to the circular tube spring member 25 by brazing using solder 36 or the like.
[0095]
The inner electrode lead wire 6 is electrically connected to the inner electrode 2 by being electrically connected to the circular tube spring member 25. The inner electrode lead wire 6 is led to the proximal end cap 12 as the wire bundle 26 together with the electric wires 23 and 24, and is led to the outside through the round hole 12c. The inner electrode lead wire 6 is electrically connected to the arithmetic unit (not shown) described above.
[0096]
One end 7 a of the outer electrode lead wire 7 is electrically connected to the second retaining ring 20. The external electrode lead wire 7 is electrically connected to the external electrode holder 11 and the external electrode 33 by being electrically connected to the second retaining ring 20. The outer electrode lead wire 7 is led to the proximal end cap 12 as the wire bundle 26 together with the electric wires 23, 24, etc., and is led outside through the round hole 12c. The outer electrode lead wire 7 is electrically connected to the arithmetic device (not shown) described above.
[0097]
In addition, the temperature detection unit 5 is provided in the temperature detection unit insertion hole 2d and the C-shaped ring 17, the coil spring 18, the retaining rings 19, 20 and the like are accommodated in the space 16, and the epoxy resin 31 is filled.
[0098]
The epoxy resin 31 keeps a liquid-tight space between the inner peripheral surface 11 d of the outer electrode holder 11 and the end surface 10 e of the inner electrode holder 10, and prevents the above-described electrolyte solution from entering the space 16.
[0099]
According to the above-described configuration, the electrode 1 of the resistivity meter has at least the tip portions 2g and 3c of the inner electrode 2 and the outer electrode 3 arranged in the flow path of the electrolyte solution to be measured, and the lead wire 6 , 7 etc., the resistivity of the electrolyte solution is measured by measuring the electrical resistance between the electrodes 2 and 3 transmitted to the arithmetic unit or the like.
[0100]
At this time, information corresponding to the temperature of the electrolyte solution is transmitted to the arithmetic unit from the temperature sensing parts 21a and 22a of the temperature sensor elements 21 and 22 through the electric wires 23 and 24, and the like. The arithmetic unit or the like compensates the temperature of the electrolyte solution, and calculates the resistivity of the electrolyte solution at a predetermined constant temperature.
[0101]
According to the electrode 1 of the resistivity meter of the present embodiment, when the locking claw portion 19b of the first retaining ring 19 is locked to the outer peripheral surface 2i of the inner electrode 2, the locking claw portion 19b is connected to the member main body 19a. With respect to the inner side, it is arranged in an inclined state so as to gradually move from the distal end portion 2g toward the proximal end portion 2f side.
[0102]
The inner electrode holder 10 is sandwiched and fixed between the first retaining ring 19 and the stepped surface 2j of the inner electrode 2, and the inner electrode 2 is prevented from being displaced from the base end portion 2f toward the distal end portion 2g. Regulate movement. For this reason, the first retaining ring 19 prevents the base end portion 2 f from coming out of the inner electrode holder 10 and fixes the inner electrode 2 to the inner electrode holder 10. Therefore, the inner electrode 2 can be reliably fixed.
[0103]
Further, since the inner electrode 2 can be fixed to the inner electrode holder 10 simply by locking the first retaining ring 19 to the outer peripheral surface 2i of the inner electrode 2, a thread groove is formed on the proximal end portion 2f of the inner electrode 2 or the like. Need not be formed, and there is no need to use a nut or the like separate from the inner electrode 2. For this reason, it is possible to reduce the number of processing steps for the inner electrode 2 and the number of parts. Therefore, an increase in the cost of the electrode 1 of the resistivity meter can be suppressed.
[0104]
Furthermore, the fixation of the inner electrode 2 to the inner electrode holder 10 can be released simply by releasing the locking of the first retaining ring 19 with respect to the outer peripheral surface 2 i of the inner electrode 2. For this reason, it becomes possible to remove the inner electrode 2 from the support part 4 after the assembly of the electrode 1 of the resistivity meter, and the maintainability of the electrode 1 of the resistivity meter is not deteriorated.
[0105]
Moreover, the latching claw part 19b protrudes inward from the inner edge part of the member main body 19a. And this latching claw part 19b latches to the outer peripheral surface 2i of the inner electrode 2. FIG. For this reason, while being able to fix the inner electrode 2 more reliably, the process man-hour and the number of parts of the electrode 1 of a resistivity meter can be suppressed more reliably. Therefore, the inner electrode 2 can be fixed more reliably, and the cost increase of the electrode 1 of the resistivity meter can be suppressed.
[0106]
Furthermore, in the present embodiment, the inner electrode lead wire 6 is electrically connected to the circular tube spring member 25 so that information based on the resistivity of the electrolyte solution detected by the inner electrode 2 can be taken out. As shown in FIG. 6, the inner electrode lead wire 6 may be electrically connected to the first retaining ring 19.
[0107]
In this case, as shown in FIG. 6, the core wire 6b is connected to the member main body 19b, and the inner electrode lead wire 6 and the first retaining ring 19 are electrically connected. The inner electrode lead wire 6 and the inner electrode 2 are electrically connected to each other by locking the locking claw portion 19 b of the first retaining ring 19 to the outer peripheral surface 2 i of the inner electrode 2. Information based on the resistivity of the electrolyte solution detected by the inner electrode 2 is extracted.
[0108]
Further, in the case of FIG. 6, the core wire 6b is only connected to the member main body 19b. However, the core wire 6b may be fixed to the member main body 19b by brazing using solder or the like. is there.
[0109]
According to the case shown in FIG. 6, since the inner electrode lead wire 6 is connected to the first retaining ring 19, by locking the locking claw portion 19 b to the outer peripheral surface 2 i of the inner electrode 2, The inner electrode lead wire 6 and the inner electrode 2 can be electrically connected to each other. For this reason, the required man-hour required when assembling the resistivity meter can be suppressed. Therefore, the cost increase of the electrode 1 of the resistivity meter can be further suppressed. Furthermore, it is needless to say that the electrode 1 of the present invention described above can also be applied to a conductivity meter for measuring the conductivity of an electrolyte solution.
[0110]
【The invention's effect】
As described above, according to the first aspect of the present invention, by locking the locking member to the outer peripheral surface of the inner electrode, the base end portion is prevented from coming out of the support portion. For this reason, an electrode member can be reliably fixed with respect to a support part.
[0111]
Further, since the electrode member can be fixed simply by locking the locking member to the outer peripheral surface of the electrode member, a screw groove or the like is formed in the base end portion of the electrode member or the like and is separate from the electrode member There is no need to use a nut. For this reason, it is possible to reduce the number of processing steps and the number of parts. Therefore, an increase in the cost of the electrode of the resistivity meter can be suppressed.
[0112]
Furthermore, the fixing of the electrode member can be released simply by releasing the locking of the locking member with respect to the outer peripheral surface of the electrode member. For this reason, an electrode member can be removed from a support part also after the assembly of the electrode of a resistivity meter, and the maintainability of the electrode of a resistivity meter is not reduced.
[0113]
Person in charge The stopper member includes a member main body formed in an annular shape, and a locking claw portion that protrudes inward from the inner edge of the member main body and engages with the outer peripheral surface of the electrode member formed in a columnar shape. Yes. For this reason, an electrode member can be fixed more reliably.
[0114]
Moreover, the said latching claw part is formed so that it may incline gradually toward the base end part of an electrode member as it goes inside from the outer side of a member main body. For this reason, when the locking claw is locked to the outer peripheral surface of the electrode member, the base end portion of the electrode member can be more reliably prevented from coming out of the support portion. Therefore, the electrode member can be fixed more reliably.
[0115]
Claim 2 According to the present invention, in addition to the effect of the above-described claim, the electric wire that transmits information based on the resistivity of the electrolyte solution detected by the electrode member is formed by a locking member formed of a conductive material. Connected to. For this reason, the said electric wire and the said electrode member can be mutually electrically connected by making the said locking member latch to the outer peripheral surface of an electrode member. Therefore, the required man-hour required when assembling the electrodes of the resistivity meter can be suppressed, and the increase in the cost of the electrodes of the resistivity meter can be further suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the overall configuration of electrodes of a resistivity meter according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing a configuration of an electrode temperature detection unit according to the embodiment;
FIG. 3A is a plan view showing a first retaining ring of the electrode according to the embodiment; (B) is sectional drawing which follows the IIIB-IIIB line | wire in FIG. 3 (A).
4 is a side view showing a state in which the first retaining ring shown in FIG. 3 is engaged with the outer peripheral surface of the inner electrode. FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the circular tube spring in a state where the inner electrode lead wire of the electrode of the embodiment is attached.
FIG. 6 is a plan view showing a first retaining ring in a state where an inner electrode lead wire according to a modification of the embodiment is attached;
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an overall configuration of an electrode of a conventional resistivity meter.
[Explanation of symbols]
1 Electrodes of resistivity meter
2 Inner electrode (electrode member)
2f Base end
2g tip
2i outer peripheral surface
3 Outer electrode (electrode member)
3b Base end
4 support parts
6 Inner electrode lead wire (electric wire)
19 First retaining ring (locking member)
19a Member body
19b Locking claw
t Predetermined interval

Claims

In the electrode of the resistivity meter in which two electrode members are arranged at predetermined intervals in the flow path of the electrolyte solution to be measured, and the resistivity of the electrolyte solution is measured from the electrical resistance between the electrode members,
It said electrode member sac Chi one electrode member is formed in a columnar shape, and, together are formed in a circular tubular other electrode member is disposed said one electrode member on the inside,
Fit to the base end of each of the electrode members, keep the gap between the electrode members at the predetermined interval, and support portions for supporting these electrode members ,
A locking member that locks to the outer peripheral surface of the base end portion of the electrode member formed in the columnar shape and prevents the base end portion of the electrode member from coming out of the support portion ;
Before Kigakaritome member engages the member body formed in an annular shape, the outer peripheral surface of the member main body from the inner edge protrudes toward the inside of the member main body provided in a plurality and the columnar to form an electrode member A locking claw portion to stop,
The locking claw portion is formed so as to be gradually inclined with respect to the member main body from the distal end portion to the base end portion of the electrode member formed in the column shape as it goes from the outer side to the inner side of the member main body . And the electrode of the resistivity meter characterized by being arrange | positioned at equal intervals in the circumferential direction of the said member main body at intervals .

The locking member is formed of a conductive material,
An electric wire for transmitting information based on the resistivity of the electrolyte solution detected by the electrode member formed in the columnar shape;
Claim 1 Symbol placement resistivity meter electrode, wherein the electric wire is connected to the locking member.