JP3867799B2 - Liquid crystal device - Google Patents

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本発明は、基板の液晶層側の面に反射膜および着色層が形成された液晶装置、該液晶装置を備える電子機器および液晶装置用基板に関する。   The present invention relates to a liquid crystal device in which a reflective film and a colored layer are formed on a surface of a substrate on the liquid crystal layer side, an electronic device including the liquid crystal device, and a substrate for a liquid crystal device.

従来より、携帯情報端末等には、低消費電力という利点を有する反射型液晶装置が用いられている。特に最近では、画像情報の授受が増えてきたことに伴って、反射型液晶装置にカラー化の動きが高まっている。   Conventionally, a reflection type liquid crystal device having an advantage of low power consumption is used for a portable information terminal or the like. In recent years, in particular, with the increase in the transmission and reception of image information, the color movement of reflective liquid crystal devices has increased.

ここで、液晶装置において、反射膜を液晶層の外面あるいは内面のいずれか一方に設けることにより、反射型液晶装置を実現することができるが、反射膜を内面に設ける構成の方が、視差による二重像や色ボケなどの表示品質の低下が抑えられる点において好ましい、と考える。例えば、アクティブマトリクス方式の液晶装置では、スイッチング素子が設けられる基板に形成される画素電極に反射性を持たせて、画素電極を反射膜として兼用することで、表示品質の低下が抑えられた反射型カラー液晶装置を実現することができる。   Here, in the liquid crystal device, the reflective liquid crystal device can be realized by providing the reflective film on either the outer surface or the inner surface of the liquid crystal layer. However, the configuration in which the reflective film is provided on the inner surface is based on parallax. This is preferable in that the deterioration of display quality such as double image and color blur can be suppressed. For example, in an active matrix liquid crystal device, the pixel electrode formed on the substrate on which the switching element is provided has reflectivity, and the pixel electrode is also used as a reflective film, so that a reduction in display quality is suppressed. Type color liquid crystal device can be realized.

また、近年では、暗所での視認性を確保するために、光を反射させるだけでなく、光を透過させるように反射膜を形成することにより、反射型表示と透過型表示との双方の表示を可能とする半透過反射型液晶装置が提案されている。このような半透過反射型液晶装置によれば、通常は反射型表示として用いることにより、低消費電力が図られる一方、暗所においては必要に応じて透過型表示として用いることにより、視認性が確保されることとなる。   In recent years, in order to ensure visibility in a dark place, not only the light is reflected but also a reflective film is formed so as to transmit the light, so that both of the reflective display and the transmissive display are provided. A transflective liquid crystal device capable of display has been proposed. According to such a transflective liquid crystal device, low power consumption is usually achieved by using it as a reflective display, while visibility is improved by using it as a transmissive display as necessary in a dark place. Will be secured.

しかしながら、画素電極を反射膜と兼用する構成では、製造工程中、反射膜として一般的に用いられるアルミニウムが露出することになる。周知のようにアルミニウムは耐蝕性に欠けるので、このような構成では、アルミニウムがダメージを受けて、反射膜としての反射特性や、電極としての電気特性等が悪化する可能性がある。   However, in the configuration in which the pixel electrode is also used as the reflection film, aluminum generally used as the reflection film is exposed during the manufacturing process. As is well known, since aluminum lacks corrosion resistance, in such a configuration, aluminum may be damaged, and reflection characteristics as a reflective film, electrical characteristics as an electrode, and the like may deteriorate.

例えば、液晶装置の製造プロセスのうち、配向膜の形成工程では、N−メチルピロリドン(1−メチル−2−ピロリジノン)や、γ−ブチロラクトン(4−ヒドロキシブチィリック酸γ―ラクトン)などのような極性溶媒に溶解したポリイミドやポリアミク酸を主成分とする溶液を基板に塗布した後に、150℃から250℃に加熱する工程を含む。このため、当該アルミニウムがダメージを受ける可能性が高い。   For example, in the manufacturing process of the liquid crystal device, in the alignment film forming step, N-methylpyrrolidone (1-methyl-2-pyrrolidinone), γ-butyrolactone (4-hydroxybutyric acid γ-lactone), etc. And a step of heating from 150 ° C. to 250 ° C. after applying a solution mainly composed of polyimide or polyamic acid dissolved in a polar solvent to the substrate. For this reason, there is a high possibility that the aluminum is damaged.

さらに、反射電極に対向する他方の電極がITO(Indium Tin Oxide)である構成では、液晶層を狭持するアルミニウム電極とITO電極との間には極性差が生じるので、液晶装置の表示品位のみならず、長期信頼性も低下する。そして、これらの現象は、他の元素を含んだアルミニウム合金においても、程度の大小はあるものの、同様に発生する。   Furthermore, in the configuration in which the other electrode facing the reflective electrode is ITO (Indium Tin Oxide), there is a polarity difference between the aluminum electrode sandwiching the liquid crystal layer and the ITO electrode, so that only the display quality of the liquid crystal device is displayed. In addition, long-term reliability is also reduced. These phenomena occur in the same manner even in aluminum alloys containing other elements, although there are some magnitudes.

また、上述した半透過反射型液晶装置において、透過型表示とする場合、画素外からの漏れ光によりコントラスト比が大幅に低下してしまい、高品位な表示を行うことができない。このような漏れ光によるコントラスト比の低下を防ぐためには、反射膜が設けられる基板と対向する基板に、すなわち、観察者から見て手前側の基板に、遮光膜を別途設ける構成とすれば良い。   Further, in the above-described transflective liquid crystal device, when a transmissive display is used, the contrast ratio is significantly reduced due to light leaked from outside the pixel, and a high-quality display cannot be performed. In order to prevent such a decrease in contrast ratio due to leakage light, a configuration in which a light shielding film is separately provided on a substrate opposite to the substrate on which the reflective film is provided, that is, on the substrate on the near side as viewed from the observer may be employed. .

ここで、遮光膜としては、クロムあるいは黒色樹脂材料を用いるのが一般的である。このうち、クロムは、遮光性が高く、膜厚を200nm以下にすることができるが、金属材料であるために、表面反射率が大きい。例えば、単層クロムでは反射率が約60%程度もあり、また、低反射2層クロムでも反射率が約7%程度ある。このため、遮光膜にクロムを用いると、観察側から入射した光が当該遮光膜の表面で反射してしまうため、特に反射型表示においてコントラスト比が低下してしまう、という問題があった。   Here, as the light shielding film, it is common to use chromium or a black resin material. Among these, chromium has a high light-shielding property and can have a film thickness of 200 nm or less. However, since it is a metal material, it has a high surface reflectance. For example, single layer chrome has a reflectivity of about 60%, and low reflectivity double layer chrome has a reflectivity of about 7%. For this reason, when chromium is used for the light-shielding film, light incident from the observation side is reflected on the surface of the light-shielding film, resulting in a problem that the contrast ratio is lowered particularly in the reflective display.

一方、黒色樹脂材料は、低反射率であるため、表面反射率を抑えることができるが、遮光性が劣るので、透過型表示において要求される2以上の光学濃度を確保するためには、黒色樹脂を厚くしなければならない。このため、基板の平坦性が悪化するばかりか、パターニング幅を狭くできないので、結果的に開口率が小さくなる、といった問題があった。   On the other hand, since the black resin material has a low reflectance, the surface reflectance can be suppressed. However, since the light shielding property is inferior, in order to ensure the optical density of 2 or more required in the transmissive display, the black resin material is black. The resin must be thickened. For this reason, there is a problem that not only the flatness of the substrate is deteriorated but also the patterning width cannot be narrowed, resulting in a small aperture ratio.

本発明は、このような背景の下でなされたものであり、その目的とするところは、反射特性や表示特性が良好な液晶装置並びに電子機器及び液晶装置用基板を提供することにある。   The present invention has been made under such a background, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal device, an electronic apparatus, and a substrate for a liquid crystal device having good reflection characteristics and display characteristics.

上記目的を達成するために、本件第1の発明に係る液晶装置にあっては、第1の基板の側に形成された第1の透明電極と第2の基板の側に形成された第2の透明電極との間で液晶層を挟持してなる液晶装置であって、前記第2の基板における前記液晶層側の面に形成されて、少なくとも前記第1の基板側から入射する光を反射する反射膜と、前記第2の基板における前記液晶層側の面に形成されるとともに、前記第1および第2の透明電極の交差領域に対応した開口領域を有する遮光膜と、前記第2の基板における前記液晶層側の面にあって、前記遮光膜を覆うように形成された着色層とを具備することを特徴としている。   In order to achieve the above object, in the liquid crystal device according to the first aspect of the present invention, the first transparent electrode formed on the first substrate side and the second formed on the second substrate side. A liquid crystal device in which a liquid crystal layer is sandwiched between the transparent electrode, and formed on a surface of the second substrate on the liquid crystal layer side, and reflects light incident from at least the first substrate side. And a light-shielding film formed on the surface of the second substrate on the liquid crystal layer side and having an opening region corresponding to an intersecting region of the first and second transparent electrodes, and the second substrate And a colored layer formed on the surface of the substrate on the liquid crystal layer side so as to cover the light shielding film.

この第1の発明によれば、液晶層は、同種の第1および第2の透明電極によって挟持されるので、液晶装置の表示品位や長期信頼性が低下することがない。また、反射膜上には、遮光膜および着色層が形成されるので、反射膜を露出させないようにすることができる。このため、液晶装置の製造工程において、反射膜が、薬液や、ガス、液晶層等にさらされないようにして、反射膜へのダメージを抑えることができる。さらに、着色層が遮光膜を覆うように形成されているので、遮光膜での表面反射が抑えられるだけでなく、遮光膜に要求される光学濃度も小さくて済む。特に反射型表示において光は遮光膜を2回通過することになるので、反射型表示を主とする場合には、遮光膜の光学濃度が小さくても実質的には充分な遮光性が得られる。   According to the first aspect, since the liquid crystal layer is sandwiched between the first and second transparent electrodes of the same type, the display quality and long-term reliability of the liquid crystal device do not deteriorate. Further, since the light shielding film and the colored layer are formed on the reflective film, the reflective film can be prevented from being exposed. For this reason, in the manufacturing process of the liquid crystal device, the reflection film can be prevented from being exposed to the chemical solution, the gas, the liquid crystal layer, and the like, and damage to the reflection film can be suppressed. Further, since the colored layer is formed so as to cover the light shielding film, not only the surface reflection at the light shielding film can be suppressed, but also the optical density required for the light shielding film can be reduced. In particular, in the reflective display, light passes through the light shielding film twice. Therefore, when the reflective display is mainly used, even if the optical density of the light shielding film is small, substantially sufficient light shielding properties can be obtained. .

ここで、第1の発明において、前記遮光膜の開口領域内にあって、前記反射膜に光を透過する第1の開口部を備える構成が望ましい。この構成では、反射膜が電極として機能しないので、すなわち、反射膜の第1の開口部であっても第2の透明電極によって液晶層が駆動されるので、当該開口部を透過する光による透過型表示が可能となる。さらに、透過型表示において光は、遮光膜の開口領域ではなく、反射膜に設けられる第1の開口部によって規定されるので、遮光膜に要求される光学濃度は、反射型表示のみを考慮して設定すれば良いことになる。   Here, in the first aspect of the invention, it is desirable that the first opening is provided in the opening region of the light shielding film and transmits light to the reflective film. In this configuration, since the reflective film does not function as an electrode, that is, the liquid crystal layer is driven by the second transparent electrode even in the first opening of the reflective film, transmission by light transmitted through the opening is performed. Type display is possible. Furthermore, in transmissive display, light is defined not by the opening region of the light shielding film but by the first opening provided in the reflective film, so that the optical density required for the light shielding film takes into account only the reflective display. Set it.

また、第1の発明において、前記反射膜と第2の基板における前記液晶層側の面との間に第1の膜をさらに備える構成が好ましい。この構成によれば、反射膜として用いられる金属と第2の基板表面との密着性が劣るような組み合わせであっても、第1の膜により、反射膜の密着性を向上させることが可能となる。このように反射膜の密着性を向上させる第1の膜としては、金属や、酸化物、窒化物を用いることができる。このうち、金属としては、Taや、Cr、Mo、Wなどの5b〜6b族に含まれる遷移金属が挙げられる。また、酸化物の一例としては、Ta25などの上記遷移金属の酸化物やSiO2等の酸化シリコンなどが挙げられ、別例としては、TiO2や、ZrO2、これらとSiO2を適宜組み合わせたもの、Al23などが挙げられる。さらに、窒化物としては、Si34に代表される窒化シリコンが挙げられる。この第1の膜は、反射膜の密着性を向上させるためのものであるので、その膜厚は、100nm前後、場合によっては30〜60nm程度で十分である。さらに、導電性を有さないSiO2膜やTa25膜などを用いる場合には、当該膜が第2の基板全面に残存していても構わないので、当該膜をパターニングしないで済む。例えば、反射膜として銀や銀を主成分とする銀合金を用いるとともに、第2の基板としてガラスを用いた場合においては、密着性を向上するための第1の膜としては、Moや、Ta25 SiO2膜などを用いるのが望ましい。また、絶縁性基板にプラスチックフィルムなどの可撓性を有する基板を用いる場合においては、第1の膜として、SiO2膜や、TiO2、ZrO2、これらとSiO2を適宜組み合わせたものなど用いるのが望ましい。 In the first invention, it is preferable that the first film is further provided between the reflective film and the surface of the second substrate on the liquid crystal layer side. According to this configuration, it is possible to improve the adhesion of the reflective film by the first film even in a combination where the adhesion between the metal used as the reflective film and the surface of the second substrate is inferior. Become. As described above, a metal, an oxide, or a nitride can be used as the first film that improves the adhesion of the reflective film. Among these, examples of the metal include transition metals included in the groups 5b to 6b such as Ta, Cr, Mo, and W. Examples of oxides include oxides of the above transition metals such as Ta 2 O 5 and silicon oxides such as SiO 2 , and other examples include TiO 2 , ZrO 2 , these and SiO 2 . Suitable combinations, Al 2 O 3 and the like can be mentioned. Further, examples of the nitride include silicon nitride represented by Si 3 N 4 . Since this first film is for improving the adhesion of the reflective film, the film thickness is about 100 nm, and in some cases, about 30 to 60 nm is sufficient. Further, in the case of using a non-conductive SiO 2 film, Ta 2 O 5 film, or the like, the film may remain on the entire surface of the second substrate, so that the film need not be patterned. For example, in the case where silver or a silver alloy containing silver as a main component is used as the reflective film and glass is used as the second substrate, Mo or Ta is used as the first film for improving adhesion. It is desirable to use a 2 O 5 SiO 2 film or the like. When a flexible substrate such as a plastic film is used as the insulating substrate, a SiO 2 film, TiO 2 , ZrO 2 , an appropriate combination of these and SiO 2 is used as the first film. Is desirable.

さて、第1の発明において、前記遮光膜は、黒色の樹脂材料からなる構成が好ましい。このような黒色の樹脂材料としては、例えば、黒色顔料を分散させたカラーレジストや、印刷可能な黒色塗料などが挙げられる。上述したように黒色樹脂材料は、クロムと比較して、低反射率の点で優れているが、遮光性の点で劣る。ただし、第1の発明では、上述したように遮光膜の光学濃度が小さくて済むので、遮光膜を厚く形成する必要がない。例えば、透過型表示のみを考えた場合、遮光膜には2以上の光学濃度が要求されるが、この光学濃度を、黒色樹脂材料で得るためには、約0.9μmの膜厚が必要である。これに対して、第1の発明では、着色層が遮光膜を覆うように形成され、さらに、反射型表示において光は遮光膜を2回通過するので、また、透過型表示において光は反射膜の第1の開口部によって規定されるので、遮光膜に黒色樹脂材料を用いたとしても、必要な膜厚は0.5μm以下で済み、ほぼ半減させることが可能となる。このため、第1の発明において、遮光膜に黒色樹脂材料を用いても、基板の平坦性が悪化することがないし、開口率が低下することもない。なお、一般的に反射型表示装置のコントラスト比は1:10〜1:25程度であり、この値は透過型液晶装置に比較して低いので、用いる液晶モードに合わせて光学濃度を小さくして、黒色樹脂材料の膜厚をさらに薄く済ませることも可能である。   In the first invention, the light shielding film is preferably made of a black resin material. Examples of such a black resin material include a color resist in which a black pigment is dispersed and a printable black paint. As described above, the black resin material is excellent in terms of low reflectance as compared with chromium, but is inferior in light shielding properties. However, in the first invention, as described above, since the optical density of the light shielding film can be small, it is not necessary to form the light shielding film thick. For example, when only transmissive display is considered, the light shielding film requires an optical density of 2 or more. To obtain this optical density with a black resin material, a film thickness of about 0.9 μm is required. is there. On the other hand, in the first invention, the colored layer is formed so as to cover the light shielding film, and further, light passes through the light shielding film twice in the reflective display, and the light is reflected in the transmissive display. Therefore, even if a black resin material is used for the light-shielding film, the required film thickness is 0.5 μm or less and can be almost halved. For this reason, in the first invention, even when a black resin material is used for the light shielding film, the flatness of the substrate is not deteriorated and the aperture ratio is not lowered. In general, the contrast ratio of the reflective display device is about 1:10 to 1:25, and this value is lower than that of the transmissive liquid crystal device. Therefore, the optical density is reduced in accordance with the liquid crystal mode to be used. It is also possible to further reduce the thickness of the black resin material.

一方、第1の発明において、前記遮光膜は、前記着色層が2色以上積層されてなる構成も好ましい。この構成では、遮光膜として別個の層を設ける必要がなくなるので、低コスト化を図ることが可能となる。一般的な反射型液晶装置の着色層は、透過型表示装置の着色層の濃度と比較して淡いので、2色以上の着色層を積層しても、その光学濃度は、1以下の場合があり、必要な光学濃度を得ることが困難である。これに対して、この構成では、反射型表示において光は、着色層が2色以上積層してなる遮光膜を2回通過するので、また、透過型表示において光は反射膜の第1の開口部によって規定されるので、淡い着色層を用いても充分な遮光性を得ることができる。例えば、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の着色層を有する場合、これら3色の着色層を積層した場合の光学濃度が0.7であれば、光が2回通過することによる実質的な光学濃度は約1.4となるので、一般的にコントラスト比が1:25以下である反射型液晶装置では、実用上充分な遮光性を有することになる。   On the other hand, in the first invention, the light shielding film preferably has a configuration in which the colored layers are laminated in two or more colors. In this configuration, it is not necessary to provide a separate layer as the light shielding film, so that the cost can be reduced. The colored layer of a general reflective liquid crystal device is lighter than the colored layer of a transmissive display device, so even if two or more colored layers are stacked, the optical density may be 1 or less. It is difficult to obtain the necessary optical density. On the other hand, in this configuration, in the reflective display, light passes twice through the light-shielding film formed by stacking two or more colored layers, and in the transmissive display, light passes through the first opening of the reflective film. Therefore, sufficient light-shielding properties can be obtained even if a light colored layer is used. For example, when there are three colored layers of R (red), G (green), and B (blue), if the optical density when these three colored layers are stacked is 0.7, light is 2 Since the substantial optical density by passing the light is about 1.4, a reflection type liquid crystal device having a contrast ratio of 1:25 or less generally has a practically sufficient light shielding property.

また、遮光膜が、2色以上の着色層の積層部分からなる場合に、濃度を濃くした着色層が、遮光膜の開口領域に対してある割合で部分的に設けられる構成として、当該開口領域内において反射され着色される光の平均濃度が、反射型表示に適した値となるように設定しても良い。この構成によれば、濃度の濃い着色層が積層された部分が遮光膜となるので、当該遮光膜の光学濃度をさらに大きくすることができる。例えば、3色の着色層を積層した部分の光学濃度が1.6であれば、光が2回通過することによる実質的な光学濃度は約3.0前後にまで達するので、1:100以上の高いコントラスト比の反射型表示が可能となる。   Further, in the case where the light shielding film is composed of a laminated portion of two or more colored layers, the colored region having a high concentration is partially provided at a certain ratio with respect to the opening region of the light shielding film. The average density of light that is reflected and colored inside may be set to a value suitable for reflective display. According to this configuration, the portion where the dark colored layer is laminated becomes the light shielding film, so that the optical density of the light shielding film can be further increased. For example, if the optical density of the portion where the three colored layers are laminated is 1.6, the substantial optical density due to light passing twice reaches about 3.0, so 1: 100 or more. Reflective display with a high contrast ratio is possible.

このように第1の発明において、(光が1回通過することによる)前記遮光膜の光学濃度は、0.5以上1.7以下である構成が好ましい。第1の発明では、上述したように、反射型表示において光は遮光膜を2回通過するので、その光学濃度が小さくても、実質的な(光が2回通過することによる)光学濃度の値が大きくなるためである。   As described above, in the first invention, it is preferable that the optical density of the light shielding film (by passing light once) is 0.5 or more and 1.7 or less. In the first invention, as described above, since light passes through the light-shielding film twice in the reflective display, even if the optical density is small, the optical density is substantially reduced (by passing light twice). This is because the value increases.

ところで、第1の発明において、前記遮光膜の開口領域は、前記第1および第2の透明電極との交差領域に対し、当該領域の周縁から前記第1および第2の透明電極間の距離の略半分までを限度として当該領域の外側に拡大している構成が好ましい。   By the way, in the first invention, the opening region of the light shielding film is a distance between the first and second transparent electrodes from the periphery of the region with respect to the intersecting region with the first and second transparent electrodes. A configuration in which the area is expanded to the outside of the region up to approximately half is preferable.

ここで、液晶装置において、設計上の画素とは、第1および第2の透明電極が平面的にみて互いに重なる領域であるが、この設計上の画素領域外であっても、いわゆる斜め電界により液晶分子が駆動される領域がある。具体的に言えば、第1の透明電極内であって、第2の透明電極内である部分であって、第1および第2の透明電極の交差領域の端部から、電極間距離(液晶層の厚さ)の約1/2の距離に相当する部分までは、斜め電界によって液晶分子が駆動されることが本件発明者によって確認されている。例えば、ある液晶モードにおいて、電極間距離が4.0μmであるとき、電極の端部から外側に約2.0μm近傍までの領域では液晶分子が駆動される。そこで、この領域に対応する部分にまで、遮光膜の開口領域を拡大して、反射膜により光が反射する構成とすれば、実質的な開口率を向上することが可能となる。   Here, in the liquid crystal device, the designed pixel is a region where the first and second transparent electrodes overlap each other in plan view, but even outside the designed pixel region, a so-called oblique electric field is applied. There is a region where liquid crystal molecules are driven. Specifically, it is a portion in the first transparent electrode and in the second transparent electrode, and the distance between the electrodes (liquid crystal) from the end of the intersecting region of the first and second transparent electrodes. It has been confirmed by the present inventor that liquid crystal molecules are driven by an oblique electric field up to a portion corresponding to a distance corresponding to about ½ of the layer thickness. For example, in a certain liquid crystal mode, when the distance between the electrodes is 4.0 μm, the liquid crystal molecules are driven in a region from the end of the electrode to the vicinity of about 2.0 μm. Therefore, if the opening region of the light shielding film is expanded to a portion corresponding to this region and light is reflected by the reflective film, the substantial aperture ratio can be improved.

例えば、電圧無印加時に黒表示を行うノーマリーブラックモードの液晶装置において、電圧印加によって白表示を行う場合、設計上の画素の端部から多少離れていても、その領域では液晶分子が斜め電界によって駆動される。このため、当該領域に遮光膜を設けずに反射膜を配置すれば、実質的に画素として機能する面積が設計上の画素の面積よりも拡大する結果、開口率が向上して、明るい表示を実現することが可能となる。   For example, in a normally black mode liquid crystal device that displays black when no voltage is applied, when white display is performed by applying a voltage, liquid crystal molecules are obliquely applied in that region even if they are slightly apart from the designed pixel edge. Driven by. For this reason, if a reflective film is provided without providing a light-shielding film in the region, the area that substantially functions as a pixel is larger than the area of the designed pixel, resulting in an improved aperture ratio and a bright display. It can be realized.

一方、設計上の画素領域内であっても、いわゆる斜め電界により液晶分子が駆動されない領域があるが、このような領域には、遮光膜を設けて、反射膜により光が反射しない構成とすれば、コントラスト比の低下を防止することが可能となる。例えば、電圧無印加時に白表示を行うノーマリーホワイトモードの液晶装置において、液晶分子が駆動されない領域には、遮光膜を設けずに反射膜を配置すると、電圧印加によって黒表示をする場合でも、完全な黒表示とすることができないので、コントラスト比が低下することになるが、このような領域には、遮光膜を設けて視認されない構成とすれば、コントラスト比の低下を防止することが可能となる。   On the other hand, even within the designed pixel region, there is a region where liquid crystal molecules are not driven by a so-called oblique electric field. In such a region, a light shielding film is provided so that light is not reflected by the reflective film. In this case, it is possible to prevent a decrease in contrast ratio. For example, in a normally white mode liquid crystal device that performs white display when no voltage is applied, if a reflective film is disposed without providing a light shielding film in a region where liquid crystal molecules are not driven, even when black display is performed by voltage application, Since it is impossible to achieve complete black display, the contrast ratio is lowered. However, if such a region is not visually recognized by providing a light shielding film, it is possible to prevent the contrast ratio from being lowered. It becomes.

また、STN(Super Twisted Nematic)であって、ノーマリーホワイトモードを用いた液晶装置において、ある画素を黒表示とする場合に、設計上の画素の領域内であるにもかかわらず、その一辺では、斜め電界の影響により液晶分子が完全に駆動されない領域が残存する、という現象が発生して、コントラスト比が低下することもあるが、第1の発明のように反射膜と電極とが独立する構成では、当該領域を遮光膜で隠すことにより、コントラスト比の低下を防止することが可能となる。さらに、当該画素の領域外であっても、斜め電界によって液晶分子が駆動される領域には、遮光膜を設けずに反射膜を配置することで、実質的な開口率が向上して、明るい表示が可能となる。   Further, in a liquid crystal device using STN (Super Twisted Nematic) and using a normally white mode, when a certain pixel is displayed in black, it is not within the design pixel area, Although the phenomenon that the region where the liquid crystal molecules are not completely driven remains due to the influence of the oblique electric field may occur and the contrast ratio is lowered, the reflective film and the electrode are independent as in the first invention. In the configuration, it is possible to prevent a reduction in contrast ratio by hiding the region with a light shielding film. Further, even when outside the pixel region, a reflective film is disposed without providing a light-shielding film in a region where liquid crystal molecules are driven by an oblique electric field, so that a substantial aperture ratio is improved and bright. Display is possible.

このようなコントラスト比の低下防止と実質的な開口率の向上とについては、第1の発明のように、反射膜と画素電極とが独立して設けられることによってはじめて実現可能となるものである。そこで、この点について図を用いて今一度説明する。ここで、図19Aは、STNの液晶を用いたパッシブマトリクス方式の液晶装置の構成を示す概略平面図であり、図19Bは、同液晶装置における基板に隣接する液晶分子の配向方向と、液晶層のバルクにおける液晶分子の配向方向とを示す概略平面図である。また、図19Cは、電圧無印加時における図19Aの線GG−GG’についての概略断面図であり、図19Dは、電圧印加時における図19Aの線GG−GG’についての概略断面図である。   Such prevention of reduction in contrast ratio and substantial improvement in aperture ratio can be realized only when the reflective film and the pixel electrode are provided independently as in the first aspect of the invention. . Therefore, this point will be described once again with reference to the drawings. Here, FIG. 19A is a schematic plan view showing the configuration of a passive matrix type liquid crystal device using STN liquid crystal, and FIG. 19B shows the alignment direction of liquid crystal molecules adjacent to the substrate and the liquid crystal layer in the liquid crystal device. It is a schematic plan view which shows the orientation direction of the liquid crystal molecule in the bulk of. 19C is a schematic cross-sectional view taken along line GG-GG ′ in FIG. 19A when no voltage is applied, and FIG. 19D is a schematic cross-sectional view taken along line GG-GG ′ in FIG. 19A when voltage is applied. .

図19Aに示されるように、パッシブマトリクス方式の液晶装置においては、上基板21に設けられる透明な電極22とこれに対向する下基板31に設けられる透明な電極32とが平面的にみて互いに交差する領域が、設計上の画素の領域50となる。ここで、図19Bに示されるように、上基板21のラビング方向23と下基板31のラビング方向33との組み合わせにより、左回りのSTN液晶モードを採用した場合を想定する。この場合、上基板21近傍の液晶分子41は上基板21のラビング方向23に、下基板31近傍の液晶分子42は下基板31のラビング方向33に、それぞれ沿った形で配向し、また、液晶層40のバルクにおける液晶分子43は、下基板31の電極32の形成方向と直交する方向に配向することになる。   As shown in FIG. 19A, in the passive matrix type liquid crystal device, the transparent electrode 22 provided on the upper substrate 21 and the transparent electrode 32 provided on the lower substrate 31 opposed thereto cross each other in plan view. The area to be used is the designed pixel area 50. Here, as shown in FIG. 19B, it is assumed that a counterclockwise STN liquid crystal mode is adopted by a combination of the rubbing direction 23 of the upper substrate 21 and the rubbing direction 33 of the lower substrate 31. In this case, the liquid crystal molecules 41 near the upper substrate 21 are aligned along the rubbing direction 23 of the upper substrate 21, and the liquid crystal molecules 42 near the lower substrate 31 are aligned along the rubbing direction 33 of the lower substrate 31. The liquid crystal molecules 43 in the bulk of the layer 40 are aligned in a direction orthogonal to the formation direction of the electrodes 32 of the lower substrate 31.

ここで、電圧無印加時には、図19Cに示されるように、液晶層40のバルクにおける液晶分子43の配向は均一であるが、電圧印加時には、図19Dに示されるように、上基板21の電極22と下基板31の電極32との間に生じる電気力線53が画素の周縁で歪む(すなわち「斜め電界」の発生する)結果、画素53の一端部では、液晶層40のバルクにおける液晶分子43の配向が乱れ、リバースチルトドメインが発生して、液晶分子43が正常に駆動されない領域51が出現する。一方、画素の他方の端部では、下基板31の電極32外であっても、バルクにおける液晶分子43が正常に駆動される領域52が出現する。   Here, when no voltage is applied, the orientation of the liquid crystal molecules 43 in the bulk of the liquid crystal layer 40 is uniform as shown in FIG. 19C, but when the voltage is applied, the electrodes of the upper substrate 21 are shown in FIG. 19D. As a result, the electric lines of force 53 generated between the electrode 22 and the electrode 32 of the lower substrate 31 are distorted at the periphery of the pixel (that is, “an oblique electric field” is generated). 43 is disturbed, a reverse tilt domain is generated, and a region 51 in which the liquid crystal molecules 43 are not normally driven appears. On the other hand, at the other end of the pixel, a region 52 where the liquid crystal molecules 43 in the bulk are normally driven appears even outside the electrode 32 of the lower substrate 31.

したがって、液晶分子43が正常に駆動されない領域51に対応する位置にまで遮光膜を広げる一方、液晶分子43が正常に駆動される領域52に対応する位置には、遮光膜を設けずに反射膜で光が反射する構成として、コントラスト比を低下させることなく、実質的な開口率の向上を図って、明るい表示が可能となる。このような効果は、電極に反射性を持たせた従来構成では不可能であり、第1の発明のように、反射膜と画素電極とを独立して設けることによってはじめて実現可能となるものである。   Accordingly, the light shielding film is extended to a position corresponding to the region 51 where the liquid crystal molecules 43 are not normally driven, while the reflection film is not provided at the position corresponding to the region 52 where the liquid crystal molecules 43 are normally driven. As a configuration in which light is reflected, it is possible to achieve a bright display by substantially improving the aperture ratio without lowering the contrast ratio. Such an effect is not possible with the conventional configuration in which the electrode has reflectivity, and can be realized only by providing the reflective film and the pixel electrode independently as in the first invention. is there.

ところで、第1の発明において、反射膜としては、アルミニウムや、銀、クロム等を主成分とする金属合金または単体金属を用いることができる。反射膜として、アルミニウムを主成分とする金属合金を用いると、比較的反射率の高い反射膜を、製造コストを低く抑えて実現することができる。この際、金属合金におけるアルミニウムの含有割合は、80重量%以上であると好ましい。また、反射膜として、銀を主成分とする金属合金を用いると、その反射率を非常に高くすることができる。この際、金属合金における銀の割合は、80重量%以上であると好ましい。   By the way, in the first invention, as the reflective film, a metal alloy or a single metal mainly composed of aluminum, silver, chromium or the like can be used. When a metal alloy containing aluminum as a main component is used as the reflection film, a reflection film having a relatively high reflectance can be realized with a low manufacturing cost. At this time, the aluminum content in the metal alloy is preferably 80% by weight or more. Further, when a metal alloy containing silver as a main component is used as the reflective film, the reflectance can be made extremely high. At this time, the ratio of silver in the metal alloy is preferably 80% by weight or more.

また、第2の基板としては、ガラス等のほか、例えばプラスチックフィルム等の可撓性を有する基板を用いることも可能である。このような可撓性を有する基板を用いると、反射膜を無電解メッキなどにより被膜可能な金属、例えばニッケルを主成分とする金属合金などを用いることもできる。   In addition to glass or the like, a flexible substrate such as a plastic film can be used as the second substrate. When such a flexible substrate is used, a metal whose reflective film can be coated by electroless plating, such as a metal alloy mainly composed of nickel, can also be used.

ここで第1の発明において、反射膜として用いられる金属が、着色層を形成する際に、薬液やガスなどによりダメージを受ける可能性がある場合には、前記反射膜の表面を少なくとも覆う第2の膜を、さらに備える構成が好ましい。この構成において、第2の膜は、反射膜の反射率を著しく低下させない範囲内であることが望ましい。なお、第1の発明では、着色層が実質的に反射膜を保護しているので、この第2の膜は、着色層の形成する際にさらされる薬液やガス等に対して耐性を有していれば充分である。例えば、反射膜に印刷法や染色法などで着色層を形成する場合には、第2の膜は、特別に必要ではないが、感光性カラーレジストを用いた着色感材法で着色層を形成する場合には、使用する材料によっては、強アルカリ性の現像液が用いられるときもあるため、現像液と反射膜に用いられる金属との組み合わせに応じて、第2の膜を設けて、反射膜の表面を覆う構成とする方が好ましい。   Here, in the first invention, when the metal used as the reflective film is likely to be damaged by a chemical solution or a gas when forming the colored layer, the second film covers at least the surface of the reflective film. The structure further comprising this film is preferable. In this configuration, it is desirable that the second film be within a range that does not significantly reduce the reflectance of the reflective film. In the first invention, since the colored layer substantially protects the reflective film, the second film is resistant to chemicals and gases exposed when the colored layer is formed. That is enough. For example, when the colored layer is formed on the reflective film by a printing method or a dyeing method, the second film is not particularly necessary, but the colored layer is formed by a colored photosensitive material method using a photosensitive color resist. In this case, depending on the material used, a strong alkaline developer may be used, so a second film is provided according to the combination of the developer and the metal used for the reflective film, and the reflective film It is preferable to have a configuration covering the surface.

ただし、反射膜として、アルミニウム合金や銀合金等を用いると、第2の膜を不要とすることができる場合がある。例えば、反射膜として、ネオジウムを1重量%含むアルミニウム合金を用いると、耐蝕性が向上するため、炭酸ナトリウムと炭酸水素ナトリウムの混合水溶液や、テトラメチルアンモニウム水酸化物の水溶液などを用いた一般的組成の現像液に対しては、反射率の低下を招くようなダメージは受けにくくなるので、反射膜の表面を覆う第2の膜を設ける必要をなくすることができる。   However, when an aluminum alloy, a silver alloy, or the like is used as the reflective film, the second film may be unnecessary. For example, when an aluminum alloy containing 1% by weight of neodymium is used as the reflective film, the corrosion resistance is improved. Therefore, a general solution using a mixed aqueous solution of sodium carbonate and sodium hydrogencarbonate or an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide is used. Since the developer having the composition is less susceptible to damage that causes a decrease in reflectance, it is not necessary to provide a second film that covers the surface of the reflective film.

また例えば、反射膜として、ネオジウムを3重量%含むアルミニウム合金や、ネオジウムを3重量%とチタン(Ti)を3重量%とを含むアルミニウム合金等を用いると、耐蝕性がより向上するため、第2の膜を設ける必要がなくなる。   In addition, for example, when an aluminum alloy containing 3% by weight of neodymium or an aluminum alloy containing 3% by weight of neodymium and 3% by weight of titanium (Ti) is used as the reflective film, the corrosion resistance is further improved. No need to provide the second film.

さて、第2の透明電極は、ガラスや樹脂材料という異なる特性を持つ表面に形成する必要があるので、これらの表面に対して、ある程度の密着性を確保する必要がある。そこで、第1の発明において、前記第2の透明電極は、密着性を高める第3の膜上に形成されている構成が望ましい。このような第3の膜としては、SiO2に代表される無機酸化膜が挙げられ、特に、スパッタ法などによってSiO2と、第2の透明電極としてのITOを連続形成するのが望ましい。 Now, since it is necessary to form the 2nd transparent electrode on the surface which has a different characteristic called glass and a resin material, it is necessary to ensure a certain amount of adhesiveness with respect to these surfaces. Therefore, in the first invention, it is desirable that the second transparent electrode be formed on a third film that enhances adhesion. An example of such a third film is an inorganic oxide film typified by SiO 2. In particular, it is desirable to continuously form SiO 2 and ITO as the second transparent electrode by sputtering or the like.

ところで、第1の発明にあって、反射膜に第1の開口部を備える構成においては、前記着色層を覆うように形成された第4の膜と、前記遮光膜の開口領域にあって、前記着色層を開口する第2の開口部とをさらに備える構成が好ましい。これにより反射型表示と透過型表示とにおける色再現性をそれぞれ最適化することが可能となる。   By the way, in the first invention, in the configuration including the first opening in the reflective film, the fourth film formed so as to cover the colored layer and the opening region of the light shielding film, A configuration further comprising a second opening for opening the colored layer is preferable. This makes it possible to optimize the color reproducibility in the reflective display and the transmissive display.

あるいは、第1の発明において、単に、前記着色層を覆うように形成された第4の膜を、さらに備える構成が好ましい。この第4の膜によって、遮光膜の開口領域の有無や、着色層などに起因する段差、さらには、反射膜に第1の開口部がある場合にも、それによる段差等が平坦化されるので、表示品位の低下を防止することができる。   Alternatively, in the first invention, it is preferable to simply include a fourth film formed so as to cover the colored layer. By this fourth film, the presence or absence of the opening region of the light-shielding film, the step due to the colored layer, and the step due to the first opening in the reflective film are flattened. Therefore, it is possible to prevent the display quality from deteriorating.

ここで、前記第4の膜は、光散乱性を有する構成が好ましい。この構成によれば、第4の膜自体が散乱層となるため、別途散乱層を設ける必要がなくなる結果、工程数を減らして低コストを図ることが可能となる。   Here, the fourth film preferably has a light scattering property. According to this configuration, since the fourth film itself becomes a scattering layer, there is no need to provide a separate scattering layer. As a result, the number of steps can be reduced and the cost can be reduced.

このような第4の膜としては、樹脂材料中に、該樹脂材料とは屈折率が異なり、かつ、前記第4の膜厚よりも直径が小さい粒子を含む構成が考えられる。これにより、平坦性と散乱性とを両立した反射膜を得ることができる。   As such a fourth film, a configuration in which a resin material includes particles having a refractive index different from that of the resin material and smaller in diameter than the fourth film thickness is conceivable. Thereby, a reflective film having both flatness and scattering properties can be obtained.

第4の膜における樹脂材料として、アクリル樹脂やポリイミド樹脂などが挙げられ、また、粒子として、ガラスビーズなどの無機粒子やポリスチレン球などの有機ポリマー粒子などが挙げられる。そして、樹脂材料の膜厚や、屈折率差、粒子径、粒子の分散度などにより、散乱特性をコントロールすることが可能である。   Examples of the resin material in the fourth film include an acrylic resin and a polyimide resin, and examples of the particles include inorganic particles such as glass beads and organic polymer particles such as polystyrene spheres. The scattering characteristics can be controlled by the film thickness of the resin material, the refractive index difference, the particle diameter, the degree of dispersion of the particles, and the like.

この際、光散乱特性においてはヘイズ値が40〜90%の範囲内にあり、屈折率差が0.05〜0.12の範囲内であることが望ましい。例えば樹脂材料として考えられる材料の屈折率は、PMMA(ポリメチルメタクリレート)が1.50前後であり、ポリイミド樹脂が1.60〜1.65前後である一方、粒子として考えられる材料の屈折率は、PTFE(4−フッ化エチレン)が1.35前後であり、PVDF(フッ化ビニリデン)が1.42前後であり、LF1光学ガラスが1.57前後、スチレンが1.59前後、F2光学ガラスが1.62前後、SF2光学ガラスが1.65などの値を有している。このため、これらを適宜組み合わせることで、所望の散乱機能を得ることが可能となる。なお、ここで挙げた材料の屈折率は、その製法や形態によって異なる値となり得る。また、これらは利用可能な材料の一部であり、第1の発明はこれに限定されることなく、さまざまな特性を有する材料を組み合わせて使用可能であるのは言うまでもない。   At this time, it is desirable that the light scattering characteristics have a haze value in the range of 40 to 90% and a refractive index difference in the range of 0.05 to 0.12. For example, the refractive index of a material considered as a resin material is around 1.50 for PMMA (polymethyl methacrylate) and around 1.60 to 1.65 for a polyimide resin, while the refractive index of a material considered as a particle is PTFE (4-fluoroethylene) is around 1.35, PVDF (vinylidene fluoride) is around 1.42, LF1 optical glass is around 1.57, styrene is around 1.59, F2 optical glass Is around 1.62, and SF2 optical glass has a value such as 1.65. For this reason, it becomes possible to obtain a desired scattering function by appropriately combining these. In addition, the refractive index of the material mentioned here may become a value which changes with the manufacturing methods and forms. These are some of the materials that can be used, and the first invention is not limited to this, and it is needless to say that materials having various characteristics can be used in combination.

さて、第1の発明において、前記反射膜は、粗面に形成されている構成が望ましい。この構成によっても、第2の基板側で散乱特性を持つことになるため、別途散乱層を設ける必要がなくなる結果、工程数を減らして低コストを図ることが可能となる。さらに、第4の膜によって、粗面が平坦化されるので、粗面に起因する段差によって表示品位の低下を防止することができる。例えば、反射膜に良好な散乱特性を持たせるために、0.3μm〜1.5μmの差を有する山と谷を多数設けて粗面とした場合、その形状により、部分的に液晶層の厚みや液晶分子のプレティルト角が変化してしまうため、良好な表示特性が得られない可能性があるが、この構成では、第4の膜により平坦化されるので、第2の透明電極の平坦性を確保することができる。この構成は、100度以下のツイスト角を有するTN(Twisted Nematic)モードに対しても有効であるが、特に、液晶層の厚みに対して高い精度が要求されるSTNモードとの組み合わせにおいて有効である。   In the first invention, the reflection film is preferably formed on a rough surface. Even with this configuration, since the second substrate side has scattering characteristics, it is not necessary to provide a separate scattering layer. As a result, the number of steps can be reduced and the cost can be reduced. Furthermore, since the rough surface is flattened by the fourth film, it is possible to prevent the display quality from being deteriorated due to the level difference caused by the rough surface. For example, in order to give the reflective film good scattering characteristics, when a rough surface is formed by providing a large number of peaks and valleys having a difference of 0.3 μm to 1.5 μm, the thickness of the liquid crystal layer is partially determined depending on the shape. Since the pretilt angle of the liquid crystal molecules changes, it may not be possible to obtain good display characteristics. However, in this configuration, since the fourth film is flattened, the flatness of the second transparent electrode Can be secured. This configuration is effective for a TN (Twisted Nematic) mode having a twist angle of 100 degrees or less, but particularly effective in combination with an STN mode that requires high accuracy with respect to the thickness of the liquid crystal layer. is there.

ここで、前記粗面は、前記第2の基板における前記液晶層側の面に形成された樹脂材料の表面である構成が考えられる。このような樹脂材料としては、アクリル系やポリイミド系などの感光性樹脂などが有用である。これらの樹脂材料は、耐熱性が高いので、反射膜や、着色層、第2の透明電極などの形成プロセスに対して充分な耐性を有している。なお、感光性についてはネガタイプでもポジタイプでも構わない。また、粗面の形成については、多数の山および谷を有する面の金型を、樹脂材料を塗布した面に密着させ、圧力をかけて、当該面の形状を樹脂材料の表面に転写する、というプレス法を用いることもできる。   Here, a configuration in which the rough surface is a surface of a resin material formed on the surface of the second substrate on the liquid crystal layer side is conceivable. As such a resin material, a photosensitive resin such as acrylic or polyimide is useful. Since these resin materials have high heat resistance, they have sufficient resistance to the formation process of the reflective film, the colored layer, the second transparent electrode, and the like. The photosensitivity may be a negative type or a positive type. Further, for the formation of the rough surface, the surface mold having a large number of peaks and valleys is brought into close contact with the surface coated with the resin material, and pressure is applied to transfer the shape of the surface to the surface of the resin material. The pressing method can also be used.

また、前記粗面は、前記第2の基板における前記液晶層側の面を粗面化処理した構成も考えられる。この粗面化処理としては、粒子を分散させたゾルゲル溶液を塗布焼成する方法や、基板表面を不均一にエッチングする方法などが挙げられる。特に、第2の基板がガラス基板である場合、その基板表面に酸化膜を形成した後に、酸化膜の不均一な組成によって不均一にエッチングする第1の方法や、基板自体に含有されるアルミニウムや、ボロン、ナトリウムなどの濃度が高い部分を溶解させるエッチング液により不均一にエッチングする第2の方法、基板の組成物を過飽和としたフッ化水素酸水溶液に浸漬することにより組成物を析出させるLPD(Liquid Phase Deposition)法により不均一にエッチングする第3の方法などを用いることができる。これらのうち、第2および第3の方法は、塗布工程や、スパッタ工程を要さず、薬液に浸漬するだけで良いため、低コスト化の面で有利である。   Further, the rough surface may be configured by roughening the surface on the liquid crystal layer side of the second substrate. Examples of the surface roughening treatment include a method of applying and baking a sol-gel solution in which particles are dispersed, a method of etching a substrate surface non-uniformly, and the like. In particular, when the second substrate is a glass substrate, after forming an oxide film on the surface of the substrate, the first method of etching non-uniformly due to the non-uniform composition of the oxide film, or aluminum contained in the substrate itself Or a second method of etching non-uniformly with an etchant that dissolves high-concentration parts such as boron and sodium, and the composition is deposited by immersing the substrate composition in a supersaturated hydrofluoric acid aqueous solution. A third method for etching non-uniformly by an LPD (Liquid Phase Deposition) method can be used. Among these, the second and third methods are advantageous in terms of cost reduction because they do not require a coating process or a sputtering process and only need to be immersed in a chemical solution.

そして、このような第1の発明に係る液晶装置を備える電子機器では、明るくて表示品位が高い反射型表示が可能である一方、必要に応じて透過型表示が可能となるので、どのような環境下でも視認性に優れることになる。   In the electronic apparatus including the liquid crystal device according to the first aspect of the invention, a reflective display with high brightness and high display quality is possible, while a transmissive display is possible as necessary. Excellent visibility even in the environment.

さて、上記目的は、第1の発明に係る液晶装置のうちの、第2の基板側でも達成することが可能である。すなわち、本件の第2の発明に係る液晶装置用基板にあっては、液晶層を挟持する一対の基板のうち、観察側とは反対側に位置する液晶装置用基板であって、前記液晶層側の面に形成されて、少なくとも観察側から入射する光を反射する反射膜と、前記液晶層側の面に形成されて、反射膜に対して開口する開口領域を有する遮光膜と、前記液晶層側の面にあって、前記遮光膜を覆うように形成される着色層と、前記着色層上に形成された透明電極とを具備することを特徴としている。   The above object can also be achieved on the second substrate side of the liquid crystal device according to the first invention. That is, the substrate for a liquid crystal device according to the second invention of the present application is a substrate for a liquid crystal device located on the opposite side to the observation side of the pair of substrates sandwiching the liquid crystal layer, wherein the liquid crystal layer A reflective film that is formed on the surface on the side and reflects at least light incident from the observation side; a light-shielding film that is formed on the surface on the liquid crystal layer side and has an opening region that opens to the reflective film; and the liquid crystal A colored layer formed on the layer side surface so as to cover the light shielding film and a transparent electrode formed on the colored layer are provided.

この第2の発明によれば、観察側に位置する基板と貼り合わせられることによって、液晶層が、同種の透明電極によって挟持できるので、液晶装置の表示品位や長期信頼性が低下することがない。また、反射膜上には、遮光膜および着色層が形成されるので、反射膜へのダメージを抑えることができる。さらに、着色層が遮光膜を覆うように形成されているので、遮光膜での表面反射が抑えられるだけでなく、遮光膜に要求される光学濃度も小さくて済む。 According to the second aspect of the invention, the liquid crystal layer can be held between the transparent electrodes of the same type by being bonded to the substrate located on the observation side, so that the display quality and long-term reliability of the liquid crystal device do not deteriorate. . Moreover, since the light shielding film and the colored layer are formed on the reflective film , damage to the reflective film can be suppressed. Further, since the colored layer is formed so as to cover the light shielding film, not only the surface reflection at the light shielding film can be suppressed, but also the optical density required for the light shielding film can be reduced.

ここで、第2の発明において、前記遮光膜の開口領域内にあって、前記反射膜に光を透過する第1の開口部を備える構成が望ましい。この構成では、反射膜が電極として機能しないので、すなわち、反射膜の第1の開口部であっても透明電極によって液晶層が駆動されるので、当該開口部を透過する光による透過型表示が可能となり、さらに、透過型表示において光は、遮光膜の開口領域ではなく、反射膜に設けられる第1の開口部によって規定されるので、遮光膜に要求される光学濃度を、反射型表示のみを考慮して設定すれば良いことになる。   Here, in the second aspect of the present invention, it is desirable that the first opening is provided in the opening region of the light shielding film and transmits light to the reflective film. In this configuration, since the reflective film does not function as an electrode, that is, the liquid crystal layer is driven by the transparent electrode even in the first opening of the reflective film, a transmissive display by light transmitted through the opening is possible. Further, in the transmissive display, light is defined not by the opening area of the light shielding film but by the first opening provided in the reflective film, so that the optical density required for the light shielding film can be set only for the reflective display. This should be set in consideration of the above.

また、第2の発明において、前記反射膜と前記液晶層側の面との間に第1の膜を、さらに備える構成が好ましい。この構成によれば、反射膜に用いられる金属と第2の基板表面との密着性が劣るような組み合わせであっても、第1の膜により、反射膜の密着性を向上させることが可能となる。   In the second invention, it is preferable that the first film is further provided between the reflective film and the liquid crystal layer side surface. According to this configuration, the first film can improve the adhesion of the reflection film even if the adhesion between the metal used for the reflection film and the surface of the second substrate is inferior. Become.

さて、第2の発明において、前記遮光膜は、黒色の樹脂材料からなり、その光学濃度が、0.5以上1.7以下である構成が好ましい。この構成によれば、遮光膜に黒色樹脂材料を用いても、基板の平坦性が悪化することがないし、開口率が低下することもない。   In the second invention, preferably, the light shielding film is made of a black resin material and has an optical density of 0.5 or more and 1.7 or less. According to this configuration, even when a black resin material is used for the light shielding film, the flatness of the substrate is not deteriorated, and the aperture ratio is not lowered.

一方、第2の発明において、前記遮光膜は、前記着色層が2色以上積層されてなり、その光学濃度が、0.5以上1.7以下である構成も好ましい。この構成では、遮光膜として別個の層を設ける必要がなくなるので、低コスト化を図ることが可能となる。   On the other hand, in the second invention, it is also preferable that the light-shielding film is formed by laminating two or more colored layers and having an optical density of 0.5 or more and 1.7 or less. In this configuration, it is not necessary to provide a separate layer as the light shielding film, so that the cost can be reduced.

また、第2の発明において、前記反射膜の表面を少なくとも覆う第2の膜を、さらに備える構成が好ましい。この構成によれば、反射膜として用いられる金属が、着色層を形成する際において薬液やガスなどに直接さらされないので、ダメージを受けないようにすることができる。   In the second invention, it is preferable that the second film further cover at least the surface of the reflective film. According to this configuration, since the metal used as the reflective film is not directly exposed to the chemical liquid or gas when forming the colored layer, it can be prevented from being damaged.

さて、第2の発明において、前記透明電極は、密着性を高める第3の膜上に形成されている構成が好ましい。この構成によれば、透明電極が、ガラスや樹脂材料などのように、それとは異なる特性を有する表面に対し、密着性を確保した上で形成することが可能となる。   In the second invention, it is preferable that the transparent electrode is formed on a third film that improves adhesion. According to this configuration, it is possible to form the transparent electrode while ensuring adhesion to a surface having characteristics different from that, such as glass or a resin material.

ところで、第2の発明にあって、反射膜に第1の開口部を備える構成においては、前記着色層を覆うように形成された第4の膜と、前記遮光膜の開口領域にあって、前記着色層を開口する第2の開口部とをさらに備える構成が好ましい。これにより反射型表示と透過型表示とにおける色再現性をそれぞれ最適化することが可能となる。   By the way, in the second invention, in the configuration including the first opening in the reflective film, the fourth film formed so as to cover the colored layer, and the opening region of the light shielding film, A configuration further comprising a second opening for opening the colored layer is preferable. This makes it possible to optimize the color reproducibility in the reflective display and the transmissive display.

あるいは、第2の発明において、単に、前記着色層を覆うように形成された第4の膜を、さらに備える構成が好ましい。この第4の膜によって、遮光膜の開口領域の有無や、着色層などに起因する段差、さらには、反射膜に第1の開口部がある場合にも、それによる段差等が平坦化されるので、表示品位の低下を防止することができる。   Alternatively, in the second invention, it is preferable to simply include a fourth film formed so as to cover the colored layer. By this fourth film, the presence or absence of the opening region of the light-shielding film, the step due to the colored layer, and the step due to the first opening in the reflective film are flattened. Therefore, it is possible to prevent the display quality from deteriorating.

ここで、前記第4の膜は、光散乱性を有する構成が望ましい。この構成によれば、第4の膜自体が散乱層となるため、別途散乱層を設ける必要がなくなる結果、工程数を減らして低コストを図ることが可能となる。   Here, the fourth film preferably has a light scattering property. According to this configuration, since the fourth film itself becomes a scattering layer, there is no need to provide a separate scattering layer. As a result, the number of steps can be reduced and the cost can be reduced.

このような第4の膜としては、樹脂材料中に、該樹脂材料とは屈折率が異なり、かつ、前記第4の膜厚よりも直径が小さい粒子を含む構成が考えられる。これにより、平坦性と散乱性を両立した反射膜を得ることができる。   As such a fourth film, a configuration in which a resin material includes particles having a refractive index different from that of the resin material and smaller in diameter than the fourth film thickness is conceivable. Thereby, a reflective film having both flatness and scattering properties can be obtained.

また、第2の発明において、前記反射膜は、前記液晶層側の粗面に形成されている構成も好ましい。この構成によっても、この基板自体で散乱特性を持つことになるため、別途散乱層を設ける必要がなくなる結果、工程数を減らして低コストを図ることが可能となる。さらに、第4の膜によって、粗面が平坦化されるので、粗面に起因する段差によって表示品位の低下を防止することができる。   In the second invention, it is also preferable that the reflective film is formed on a rough surface on the liquid crystal layer side. Even with this configuration, since the substrate itself has scattering characteristics, there is no need to provide a separate scattering layer. As a result, the number of steps can be reduced and the cost can be reduced. Furthermore, since the rough surface is flattened by the fourth film, it is possible to prevent the display quality from being deteriorated due to the level difference caused by the rough surface.

ここで、前記粗面は、前記液晶層側の面に形成された樹脂材料の表面である構成や、前記液晶層側の面を粗面化処理した構成などが考えられる。   Here, a configuration in which the rough surface is a surface of a resin material formed on the surface on the liquid crystal layer side, a configuration in which the surface on the liquid crystal layer side is roughened, or the like can be considered.

本発明の液晶装置は、第1の基板と第2の基板との間に液晶層を挟持し、複数の画素領域を有してなり、観察側から入射した光が前記複数の画素領域で反射される反射型表示と、背面側から入射した光が前記複数の画素領域を透過する透過型表示とを行う液晶装置であって、前記複数の画素領域に対応した開口領域を有する遮光膜と、前記遮光膜の開口領域の全周にわたって前記遮光膜が反射膜に対して観察側となるように前記遮光膜と重なり、かつ、前記遮光膜の開口領域内において、前記遮光膜の開口領域内の一部に設けられた前記反射膜と、前記遮光膜の開口領域内において、前記反射膜が設けられた領域の一部と前記反射膜が設けられていない領域に重なるように設けられ、かつ、前記遮光膜の全体に重なるように設けられた着色層と、を具備し、前記遮光膜の開口領域内において、透過型表示において前記反射膜が設けられていない領域に位置する前記着色層により着色される光の波長に対する透過率の関係を示す光透過特性と、反射型表示において前記反射膜が設けられた領域に位置する前記着色層により着色される光および前記反射膜が設けられた領域の前記着色層が設けられない領域により着色されない光を合わせた平均光の波長に対する透過率の関係を示す光透過特性とが異なっており、反射型表示における前記反射膜が設けられた領域に位置する前記着色層により着色される光および前記反射膜が設けられた領域の前記着色層が形成されない領域により着色されない光を合わせた平均光の前記光透過特性における最低透過率は、透過型表示における前記反射膜が設けられていない領域に位置する前記着色層により着色される光の前記光透過特性における最低透過率よりも高いことを特徴とする。 The liquid crystal device of the present invention, a liquid crystal layer sandwiched between the first substrate and the second substrate, Ri Na has a plurality of pixel regions, the light incident from the observation side in the plurality of pixel areas A liquid crystal device that performs a reflective display to be reflected and a transmissive display in which light incident from the back side is transmitted through the plurality of pixel regions, and a light-shielding film having an opening region corresponding to the plurality of pixel regions; The light shielding film overlaps with the light shielding film so as to be on the observation side with respect to the reflective film over the entire circumference of the opening area of the light shielding film, and within the opening area of the light shielding film in the opening area of the light shielding film wherein a reflection film provided on a part of, the opening area of the light shielding film, the reflective film and a part of the reflective film is provided region is provided so as to overlap the region not provided, and , colored layer provided so as to overlap the entirety of the light shielding film , Comprising a, the opening area of the light shielding film, the light transmission characteristics showing a relationship between transmittance for the wavelength of light to be colored by the coloring layer located in a region where the reflective film is not provided in the transmissive display And the light that is colored by the colored layer located in the area where the reflective film is provided in the reflective display and the light that is not colored by the area where the colored layer is not provided in the area where the reflective film is provided The light transmission characteristic is different from the light transmission characteristic indicating the relationship of the transmittance with respect to the wavelength of the average light, and the light colored by the colored layer located in the region where the reflection film is provided in the reflective display and the reflection film are provided. From the transmittance in the light transmission characteristics of the average light which the coloring layer in the region has rolled the light which is not colored by not forming region, it said in transmissive display reflective film Higher than the minimum transmittance in the light transmission characteristics of light colored by the colored layer located provided non region characterized.

また、前記反射膜の前記開口部上に位置する前記着色層の膜厚が、前記反射膜の前記開口部以外の部分に位置する前記着色層の膜厚より厚く形成されていることを特徴とする。   Further, the thickness of the colored layer located on the opening of the reflective film is formed to be thicker than the thickness of the colored layer located on a portion other than the opening of the reflective film. To do.

また、本発明の電子機器は、上記液晶装置を備えることを特徴とする。   According to another aspect of the present invention, there is provided an electronic apparatus including the above liquid crystal device.

また、本発明の液晶装置における基板は、液晶層を挟持する一対の基板のうち、観察側とは反対側に位置する液晶装置用基板であって、前記液晶層側の面に形成されて、少なくとも観察側から入射する光を反射する反射膜と、前記液晶層側の面に形成されて、前記反射膜に対して開口する開口領域を有する遮光膜と、前記遮光膜の開口領域内において前記反射膜に設けられ、且つ光を透過する第1の開口部と、前記遮光膜の開口領域内において前記反射膜上に形成された着色層と、前記遮光膜の開口領域内において前記着色層に設けられた第2の開口部と、前記着色層を覆うように形成された保護膜と、前記保護膜上に形成された透明電極とを具備し、前記着色層は、前記反射膜の前記第1の開口部を覆うように形成されてなり、前記着色層の前記第2の開口部は、前記遮光膜の開口領域内において前記反射膜の前記第1の開口部を除いた部分上に設けられているように構成することができるFurther, the substrate in the liquid crystal device of the present invention is a substrate for a liquid crystal device located on the side opposite to the observation side among the pair of substrates sandwiching the liquid crystal layer, and is formed on the surface on the liquid crystal layer side, A reflection film that reflects at least light incident from the observation side; a light-shielding film that is formed on a surface on the liquid crystal layer side and that has an opening region that opens to the reflection film; and A first opening that is provided in the reflective film and transmits light; a colored layer formed on the reflective film in the opening area of the light shielding film; and the colored layer in the opening area of the light shielding film. A second opening provided, a protective film formed so as to cover the colored layer, and a transparent electrode formed on the protective film, wherein the colored layer includes the first layer of the reflective film. The colored layer is formed so as to cover the opening of 1 The second opening may be configured as being provided on the first portion except the opening of the reflective film in the opening area of the light shielding film.

また、本発明の液晶装置における基板は、液晶層を挟持する一対の基板のうち、観察側とは反対側に位置する液晶装置用基板であって、前記液晶層側の面に形成されて、少なくとも観察側から入射する光を反射する反射膜と、前記反射膜に設けられ、且つ光を透過する第1の開口部と、前記反射膜上に形成された着色層と、前記着色層に設けられた第2の開口部と、前記着色層上に形成された透明電極とを具備し、前記着色層は、前記反射膜の前記第1の開口部を覆うように形成されてなり、前記着色層の前記第2の開口部は、前記反射膜の前記第1の開口部を除いた部分上に設けられているように構成することができるFurther, the substrate in the liquid crystal device of the present invention is a substrate for a liquid crystal device located on the side opposite to the observation side among the pair of substrates sandwiching the liquid crystal layer, and is formed on the surface on the liquid crystal layer side, At least a reflective film that reflects light incident from the observation side, a first opening that is provided in the reflective film and transmits light, a colored layer formed on the reflective film, and provided in the colored layer And a transparent electrode formed on the colored layer, wherein the colored layer is formed so as to cover the first opening of the reflective film, and the colored layer is formed. The second opening of the layer can be configured to be provided on a portion of the reflective film excluding the first opening.

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

<第1の実施形態>
はじめに、本発明の第1の実施形態に係る反射型の液晶装置について説明する。なお、便宜上、第1に、この液晶装置の概略構成について図1を参照して説明し、第2に、この液晶装置における一対の基板のうち、背面側(観察側とは反対側)に位置する基板に適用可能な態様について図2〜図6を参照して説明し、第3に、各態様における遮光膜の位置関係について図7〜図9を参照して説明し、第4に、応用例・変形例について説明することとする。
<First Embodiment>
First, the reflective liquid crystal device according to the first embodiment of the present invention will be described. For convenience, first, the schematic configuration of the liquid crystal device will be described with reference to FIG. 1, and second, of the pair of substrates in the liquid crystal device, positioned on the back side (the side opposite to the observation side). 2 to 6 will be described with reference to FIGS. 2 to 6, and the positional relationship of the light shielding film in each embodiment will be described with reference to FIGS. 7 to 9. Examples and modifications will be described.

まず、この液晶装置の概略構成について説明する。図1は、その概略断面図である。この図に示されるように、この液晶装置では、それぞれ透明性および絶縁性を有する上側の基板(第1の基板)101および下側の基板(第2の基板)の間に、所定のツイスト角を有するネマチック液晶である液晶層58が枠状のシール材59によって封止されて、これにより液晶セルが形成されている。ここで、上側の基板101の内面上には、ITOなどの透明性を有する導電層からなるストライプ状の電極(第1の透明電極)110が、紙面垂直方向に複数形成され、さらに、それらの表面には、配向膜112が形成されて、所定方向にラビング処理されている。一方、基板101の外面上には、基板101の側から順に、前方散乱板121、位相差板123および偏光板125が配置されている。 First, a schematic configuration of the liquid crystal device will be described. FIG. 1 is a schematic sectional view thereof. As shown in this figure, in this liquid crystal device, a predetermined twist is provided between an upper substrate (first substrate) 101 and a lower substrate (second substrate) 1 having transparency and insulation, respectively. A liquid crystal layer 58 that is a nematic liquid crystal having a corner is sealed with a frame-shaped sealing material 59, thereby forming a liquid crystal cell. Here, on the inner surface of the upper substrate 101, a plurality of striped electrodes (first transparent electrodes) 110 made of a conductive layer having transparency such as ITO are formed in the direction perpendicular to the paper surface. An alignment film 112 is formed on the surface and rubbed in a predetermined direction. On the other hand, on the outer surface of the substrate 101, a front scattering plate 121, a phase difference plate 123, and a polarizing plate 125 are arranged in this order from the substrate 101 side.

また、下側の基板1の内面上には、反射膜2、保護膜3、遮光膜13、着色層4、保護膜6、密着性向上層5および電極7が順次形成されている。これらの詳細については詳述するが、電極(第2の透明電極)7は、上側の基板101に形成される電極110と同一材料、すなわちITOなどの透明性を有する導電層からなり、電極110と交差するように紙面左右方向に、ストライプ状に複数形成されたものである。したがって、この液晶装置では、電極7、110が互い交差する領域が設計上の画素となる。領域9は、この設計上の画素が配列する領域、すなわち表示領域を示している。   A reflective film 2, a protective film 3, a light shielding film 13, a colored layer 4, a protective film 6, an adhesion improving layer 5 and an electrode 7 are sequentially formed on the inner surface of the lower substrate 1. Although these details will be described in detail, the electrode (second transparent electrode) 7 is made of the same material as the electrode 110 formed on the upper substrate 101, that is, a conductive layer having transparency such as ITO. A plurality of stripes are formed in the left-right direction on the paper surface so as to intersect with each other. Therefore, in this liquid crystal device, a region where the electrodes 7 and 110 intersect with each other is a designed pixel. A region 9 indicates a region where the designed pixels are arranged, that is, a display region.

一方、反射膜2は、例えばアルミニウムや銀などの反射性を有する金属層からなり、上側の基板101から入射した光を反射するものである。次に、保護膜(第2の膜)3は、後述するように反射膜2の性質に応じて形成されるものである。また、遮光膜13は、黒色材料樹脂やクロムなどの遮光性材料からなり、電極7、101の交差領域に対応して開口するものである。さらに、着色層4は、遮光膜13の開口領域において、例えばR(赤)、G(緑)、B(青)の3色が所定パターンで配列されたものである。続いて、保護膜(第4の膜)6は、着色層4や遮光膜13などによる段差を平坦化する機能と、着色層4とともに反射膜2を保護する機能とを兼用するものである。次に、密着性向上層(第3の膜)5は、保護膜6の表面を含む全面に形成されて、電極7の密着性を高めるために設けられるものであり、SiO2のような無機酸化膜からなる。そして、密着向上層5や電極7の表面には、配向膜11が形成されて、所定方向にラビング処理が施されている。 On the other hand, the reflection film 2 is made of a reflective metal layer such as aluminum or silver, and reflects light incident from the upper substrate 101. Next, the protective film (second film) 3 is formed according to the properties of the reflective film 2 as will be described later. The light-shielding film 13 is made of a light-shielding material such as a black material resin or chrome, and opens corresponding to the intersecting region of the electrodes 7 and 101. Further, the colored layer 4 is formed by arranging, for example, three colors of R (red), G (green), and B (blue) in a predetermined pattern in the opening region of the light shielding film 13. Subsequently, the protective film (fourth film) 6 has a function of flattening a step due to the colored layer 4 and the light shielding film 13 and a function of protecting the reflective film 2 together with the colored layer 4. Next, the adhesion improving layer (third film) 5 is formed on the entire surface including the surface of the protective film 6 and is provided to improve the adhesion of the electrode 7, and is an inorganic material such as SiO 2. It consists of an oxide film. An alignment film 11 is formed on the surface of the adhesion improving layer 5 and the electrode 7 and is rubbed in a predetermined direction.

このような構成において、外光は、偏光板125、位相差板123、前方散乱板121、基板101、電極110、液晶層58、電極7、着色層4という経路を介して反射膜2に至り、ここで反射して、今きた経路を逆に辿って、偏光板125から観察側に出射する。このとき、偏光板125から出射する光量は、電極7、110によって液晶層58に印加される電圧に応じて、明状態、暗状態およびその中間の明るさの状態とされる。したがって、液晶層58への印加電圧を制御することで、所望の表示が可能となる。   In such a configuration, external light reaches the reflective film 2 through a path of the polarizing plate 125, the retardation plate 123, the forward scattering plate 121, the substrate 101, the electrode 110, the liquid crystal layer 58, the electrode 7, and the colored layer 4. Then, the light is reflected here, and the current path is traced in the reverse direction and emitted from the polarizing plate 125 to the observation side. At this time, the amount of light emitted from the polarizing plate 125 is set to a bright state, a dark state, and an intermediate brightness state according to the voltage applied to the liquid crystal layer 58 by the electrodes 7 and 110. Therefore, a desired display can be achieved by controlling the voltage applied to the liquid crystal layer 58.

したがって、この液晶装置によれば、液晶層58は、同じITOからなる電極7、110によって挟持されるので、表示品位や長期信頼性が低下することがない。また、反射膜2上には、遮光膜13および着色層4が形成されるので、反射膜2を露出させないようにすることができる。このため、液晶装置の製造工程において、反射膜2が、薬液や、ガス、液晶層等にさらされないので、反射膜2へのダメージを抑えることができる。さらに、着色層4が遮光膜13を覆うように形成されているので、遮光膜13での表面反射が抑えられるだけでなく、遮光膜13に要求される光学濃度も小さくて済む。特に反射型表示において光は遮光膜を2回通過することになるので、遮光膜13の実質的な光学濃度は小さくて済む。   Therefore, according to this liquid crystal device, since the liquid crystal layer 58 is sandwiched between the electrodes 7 and 110 made of the same ITO, display quality and long-term reliability are not deteriorated. Further, since the light shielding film 13 and the colored layer 4 are formed on the reflective film 2, the reflective film 2 can be prevented from being exposed. For this reason, in the manufacturing process of the liquid crystal device, the reflection film 2 is not exposed to the chemical solution, the gas, the liquid crystal layer, and the like, so that damage to the reflection film 2 can be suppressed. Furthermore, since the colored layer 4 is formed so as to cover the light shielding film 13, not only the surface reflection at the light shielding film 13 is suppressed, but also the optical density required for the light shielding film 13 is small. In particular, since light passes through the light shielding film twice in the reflective display, the substantial optical density of the light shielding film 13 may be small.

なお、この液晶装置は、パッシブマトリクス方式であるが、本発明は、これに限定されず、TFT(Thin Film Transistor)素子で代表される三端子型スイッチング素子や、TFD(Thin Film Diode)素子で代表される二端子型スイッチング素子などを用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置にも適用可能である。ここで、アクティブマトリクス型の液晶装置である場合には、電極110は、例えば矩形状の画素電極として形成され、スイッチング素子を介して配線に接続されることになる。このうち、TFD素子を備える液晶装置では、画素電極と対向するように、電極7をストライプ状にパターニングする必要があるが、TFT素子を備える液晶装置では、電極7をパターニングする必要がない。   Although this liquid crystal device is a passive matrix system, the present invention is not limited to this, and a three-terminal switching element represented by a TFT (Thin Film Transistor) element or a TFD (Thin Film Diode) element is used. The present invention can also be applied to an active matrix liquid crystal device using a representative two-terminal switching element. Here, in the case of an active matrix liquid crystal device, the electrode 110 is formed as, for example, a rectangular pixel electrode and is connected to a wiring through a switching element. Among these, in the liquid crystal device including the TFD element, the electrode 7 needs to be patterned in a stripe shape so as to face the pixel electrode. However, in the liquid crystal device including the TFT element, it is not necessary to pattern the electrode 7.

ところで、本実施形態において、下側の基板1の内面構造は、図1に示されるものに限られず、種々の態様が適用可能である。そこで、これらの態様の詳細について、配向膜11を省略した形で説明することとする。   By the way, in this embodiment, the inner surface structure of the lower substrate 1 is not limited to that shown in FIG. 1, and various modes can be applied. Therefore, the details of these aspects will be described in a form in which the alignment film 11 is omitted.

図2は、この一態様の構成を示す概略断面図である。まず、絶縁性および透明性を有するガラスなどの基板1の内面側、すなわち、上側の基板101と対向する面側には、アルミニウムを主成分とする反射膜2が形成されている。この反射膜2は、液晶装置の表示領域9を含むように、フォトリソグラフィー法などによりパターニングされたものである。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of this aspect. First, a reflective film 2 containing aluminum as a main component is formed on the inner surface side of a substrate 1 such as glass having insulating properties and transparency, that is, on the surface side facing the upper substrate 101. The reflective film 2 is patterned by a photolithography method or the like so as to include the display region 9 of the liquid crystal device.

次に、パターニングされた反射膜2には、黒色樹脂材料からなる遮光膜13が厚さ0.6μm程度で形成され、さらに、樹脂材料からなる着色層4が、着色感材法によって、例えばR(赤)、G(緑)、B(青)の3色が所定パターンで配列されるとともに、遮光膜13を含む反射膜2の全面を覆うように形成されている。これにより、着色層4は、実質的に反射膜2の保護膜としても機能することになる。   Next, on the patterned reflective film 2, a light shielding film 13 made of a black resin material is formed with a thickness of about 0.6 μm. Further, a colored layer 4 made of a resin material is formed by, for example, R Three colors of (red), G (green), and B (blue) are arranged in a predetermined pattern, and are formed so as to cover the entire surface of the reflective film 2 including the light shielding film 13. Thereby, the colored layer 4 substantially functions as a protective film for the reflective film 2.

この際、遮光膜4のみの光学濃度(Optical Density)は、1.4である。なお、光学濃度とは、被測定物である遮光膜13の透過率の逆数を対数で示した値である。すなわち、光学濃度Dは、遮光膜13に入射する光の強度をI0とし、遮光膜13を透過する光の強度をIとした場合に、次式によって示される。 At this time, the optical density (Optical Density) of only the light shielding film 4 is 1.4. The optical density is a value obtained by logarithmically representing the reciprocal of the transmittance of the light-shielding film 13 that is a measurement object. That is, the optical density D is expressed by the following equation when the intensity of light incident on the light shielding film 13 is I 0 and the intensity of light passing through the light shielding film 13 is I.

D=log10(I0/I)
続いて、密着性向上層5と、透明金属であるITO膜とが連続形成され、このうち、ITO膜は、適用する液晶装置に合わせてパターニングされて、電極7となっている。このうち、密着性向上層5は、ITOからなる電極7と樹脂材料からなる着色層4との密着性を確保するために設けられた厚さ20〜80nm程度のSiO2等の無機酸化膜である。このため、ITOが充分な密着性を有する場合には、この密着性向上層5を省略することが可能である。
D = log 10 (I 0 / I)
Subsequently, an adhesion improving layer 5 and an ITO film, which is a transparent metal, are continuously formed. Of these, the ITO film is patterned in accordance with a liquid crystal device to be applied to form an electrode 7. Among these, the adhesion improving layer 5 is an inorganic oxide film such as SiO 2 having a thickness of about 20 to 80 nm provided to ensure adhesion between the electrode 7 made of ITO and the colored layer 4 made of a resin material. is there. For this reason, when ITO has sufficient adhesiveness, this adhesion improving layer 5 can be omitted.

このような構成では、遮光膜13として、黒色樹脂材料が用いられているので、これを、液晶装置を構成する一対の基板のうち、背面側に位置する基板として用いると、その表面反射率が小さくなって、明るい場所においてコントラスト比が低下することを防ぐことができる。ここで、遮光膜13のみの光学濃度は1.4であるが、遮光膜13を覆うように着色層4が設けられ、反射型表示において光は遮光膜13を2度通過するので、遮光膜13の実質的な光学濃度は、反射型表示において充分な2.8以上となる。   In such a configuration, since a black resin material is used as the light shielding film 13, when this is used as a substrate located on the back side of a pair of substrates constituting the liquid crystal device, the surface reflectance is reduced. It becomes small and it can prevent that a contrast ratio falls in a bright place. Here, although the optical density of only the light shielding film 13 is 1.4, the colored layer 4 is provided so as to cover the light shielding film 13, and light passes through the light shielding film 13 twice in the reflective display. The substantial optical density of 13 is 2.8 or more, which is sufficient for reflective display.

さて、反射膜2としてアルミニウムを主成分とする金属を用いる場合には、図3に示されるように、反射膜2の表面を保護膜3で覆う構成としても良い。ここで、保護膜3は、パターニングされた反射膜2を陽極酸化することで形成されたものである。この陽極酸化における化成溶液は、サリチル酸アンモニウム1〜10重量%とエチレングリコール20〜80重量%とを含有する混合溶液が用いられ、また、化成電圧は5〜250V、電流密度は0.001〜1mA/cm2の条件の範囲内で、所望の膜厚が得られるように設定すれば良い。なお、化成溶液としては、上記混合溶液に限定されるものではなく、また、化成電圧や電流密度の各条件についても、用いる化成液に合わせて適宜設定すればよい。 When a metal containing aluminum as a main component is used as the reflective film 2, the surface of the reflective film 2 may be covered with a protective film 3 as shown in FIG. 3. Here, the protective film 3 is formed by anodizing the patterned reflective film 2. As the chemical conversion solution in this anodic oxidation, a mixed solution containing 1 to 10% by weight of ammonium salicylate and 20 to 80% by weight of ethylene glycol is used, the chemical conversion voltage is 5 to 250 V, and the current density is 0.001 to 1 mA. It may be set so as to obtain a desired film thickness within the range of the condition of / cm 2 . The chemical conversion solution is not limited to the above mixed solution, and each condition of the chemical conversion voltage and the current density may be appropriately set according to the chemical conversion solution to be used.

一方、反射膜2としてはアルミニウムのほか、クロムや、ニッケル、銀などの単体金属やこれらのいずれかを主成分とする合金を用いることが可能である。これらのうち、特に、銀単体やこれを主成分とする合金を反射膜2として用いると、反射率を高くすることができるが、陽極酸化が困難になるので、保護膜3の形成には、例えば化学気相成長法や、スピンコート法、ロールコート法等が用いられることになる。なお、保護膜3としては、化学気相成長法によって成膜する場合には、SiO2や、Si34を用いることができ、また、スピンコートやロールコート等により形成する場合には、有機絶縁膜が用いられることになる。 On the other hand, as the reflective film 2, it is possible to use aluminum, a simple metal such as chromium, nickel, silver, or an alloy containing any of these as a main component. Among these, in particular, when silver alone or an alloy containing this as a main component is used as the reflective film 2, the reflectance can be increased, but anodization becomes difficult. Therefore, in forming the protective film 3, For example, chemical vapor deposition, spin coating, roll coating, or the like is used. As the protective film 3, SiO 2 or Si 3 N 4 can be used when it is formed by chemical vapor deposition, and when it is formed by spin coating or roll coating, An organic insulating film will be used.

このように、保護膜3が、陽極酸化でない方法で形成される場合には、図4に示されるように、反射膜2の露出面だけではなく、基板1の内面全面に設けられることになる。なお、反射膜2としてアルミニウムを主成分とする金属を用いる場合でも、保護膜3としては、化学気相成長法により成膜されたSiO2や、Si34のほか、スピンコート法やロールコート法等により形成された有機絶縁膜を用いて、図3に示されるような構成としても良いのはもちろんである。 Thus, when the protective film 3 is formed by a method that is not anodized, it is provided not only on the exposed surface of the reflective film 2 but also on the entire inner surface of the substrate 1 as shown in FIG. . Even when a metal containing aluminum as a main component is used as the reflective film 2, the protective film 3 may be formed by a chemical vapor deposition method such as SiO 2 or Si 3 N 4 , a spin coating method or a roll. Of course, an organic insulating film formed by a coating method or the like may be used as shown in FIG.

また、液晶装置として、STNモードや、IPS(In Plain Switching)モードが用いられる場合、電極7の形成面には平坦性が要求されるので、このような場合には、図4における着色層4と密着性向上層5との間に、図5に示されるように保護膜6を別途設けた構成とするのが好ましい。この構成について詳述すると、パターニングされた反射膜2に、化学気相成長法によって、厚さ60nmのSiO2からなる保護膜3が形成されており、次いで、黒色樹脂材料からなる遮光膜13が形成されている。ここで、遮光膜13の厚さは、0.4μm程度であり、図2乃至図4と比較して薄くなっている。続いて、遮光膜13を含む反射膜2の全面を覆うように形成された着色層4には、さらに、感光性アクリル樹脂などからなる保護膜6が、着色層4の全体を覆い隠すように特定の領域に形成されている。 When the STN mode or the IPS (In Plain Switching) mode is used as the liquid crystal device, flatness is required for the surface on which the electrode 7 is formed. In such a case, the colored layer 4 in FIG. As shown in FIG. 5, it is preferable that a protective film 6 is separately provided between the adhesive improvement layer 5 and the adhesive improvement layer 5. More specifically, the protective film 3 made of SiO 2 having a thickness of 60 nm is formed on the patterned reflective film 2 by chemical vapor deposition, and then the light-shielding film 13 made of a black resin material is formed. Is formed. Here, the thickness of the light shielding film 13 is about 0.4 μm, which is thinner than those in FIGS. 2 to 4. Subsequently, the colored layer 4 formed so as to cover the entire surface of the reflective film 2 including the light shielding film 13 is further covered with a protective film 6 made of a photosensitive acrylic resin so as to cover the entire colored layer 4. It is formed in a specific area.

このような構成では、遮光膜13が0.4μm程度で薄いので、遮光膜13のみの光学濃度も、0.9と小さくなっているが、遮光膜13を覆うように着色層4および保護膜6が設けられ、さらに光は遮光膜13を2度通過するので、遮光膜13の実質的な光学濃度は、反射型表示において充分な1.8以上となる。さらに、遮光膜13を薄くすることにより、電極7の形成面における平坦性を、表示領域9にあって0.1μm以内に抑えることができる。   In such a configuration, since the light-shielding film 13 is as thin as about 0.4 μm, the optical density of only the light-shielding film 13 is also as low as 0.9. However, the colored layer 4 and the protective film cover the light-shielding film 13. 6 and light passes through the light-shielding film 13 twice, so that the substantial optical density of the light-shielding film 13 is 1.8 or more sufficient for the reflective display. Further, by making the light shielding film 13 thin, the flatness on the surface on which the electrode 7 is formed can be suppressed within 0.1 μm in the display region 9.

ところで、上述した態様では、反射膜2が基板1の上面に直接形成されていたが、反射膜2の密着性が問題となるような場合には、図5に示されるように、反射膜2と基板1の上面との間に、反射膜2の密着性を向上させる密着性向上層(第1の膜)8を別途設ける構成としても良い。ここで、密着性向上層8としては、金属や、酸化物、窒化物を用いることができる。このうち、金属としては、Taや、Cr、Mo、Wなどの5b〜6b族に含まれる遷移金属が挙げられる。また、酸化物の一例としては、Ta25などの上記遷移金属の酸化物やSiO2等の酸化シリコンなどが挙げられ、別例としては、TiO2や、ZrO2、これらとSiO2を適宜組み合わせたもの、Al23などが挙げられる。さらに、窒化物としては、Si34に代表される窒化シリコンが挙げられる。この密着性向上層8は、反射膜2の密着性を向上させるためのものであるので、その膜厚は、100nm前後、場合によっては30〜60nm程度で十分である。さらに、導電性を有さないSiO2膜やTa25膜などを用いた場合には、該密着性向上層8が基板1の上面全面に残存していても構わないので、該密着性向上層8をパターニングしないで済む。例えば、反射膜2として銀や銀を主成分とする銀合金が用いられとともに、基板1としてガラスが用いられる場合においては、密着性向上層8としては、Moや、Ta25 SiO2膜などを用いるのが望ましい。また、基板1にプラスチックフィルムなどの可撓性を有する材料を用いる場合においては、密着性向上層8として、SiO2膜や、TiO2、ZrO2、これらとSiO2を適宜組み合わせたものなど用いるのが望ましい。なお、このような密着性向上層8は、図5に示される基板のみならず、図2、図3または図4に示される基板に設けても良いのはもちろんである。 By the way, in the aspect mentioned above, although the reflecting film 2 was formed directly on the upper surface of the board | substrate 1, when the adhesiveness of the reflecting film 2 becomes a problem, as shown in FIG. An adhesion improving layer (first film) 8 for improving the adhesion of the reflective film 2 may be separately provided between the substrate 1 and the upper surface of the substrate 1. Here, as the adhesion improving layer 8, a metal, an oxide, or a nitride can be used. Among these, examples of the metal include transition metals included in the groups 5b to 6b such as Ta, Cr, Mo, and W. Examples of oxides include oxides of the above transition metals such as Ta 2 O 5 and silicon oxides such as SiO 2 , and other examples include TiO 2 , ZrO 2 , these and SiO 2 . Suitable combinations, Al 2 O 3 and the like can be mentioned. Further, examples of the nitride include silicon nitride represented by Si 3 N 4 . Since the adhesion improving layer 8 is for improving the adhesion of the reflective film 2, a film thickness of about 100 nm, or about 30 to 60 nm is sufficient in some cases. Further, when a non-conductive SiO 2 film or Ta 2 O 5 film is used, the adhesion improving layer 8 may remain on the entire upper surface of the substrate 1. It is not necessary to pattern the enhancement layer 8. For example, in the case where silver or a silver alloy containing silver as a main component is used as the reflective film 2 and glass is used as the substrate 1, Mo or Ta 2 O 5 SiO 2 film is used as the adhesion improving layer 8. Etc. are desirable. In the case where a flexible material such as a plastic film is used for the substrate 1, an SiO 2 film, TiO 2 , ZrO 2 , an appropriate combination of these and SiO 2 is used as the adhesion improving layer 8. Is desirable. Of course, such an adhesion improving layer 8 may be provided not only on the substrate shown in FIG. 5, but also on the substrate shown in FIG. 2, FIG. 3 or FIG.

さて、反射型表示では、光が、適度に散乱して、上側の基板101側の偏光板125から出射する構成が好ましい。このため、図1に示される構成では、上側の基板101の外面に、前方散乱板121が設けられていたが、この散乱機能については、後述する応用例のように反射膜2を基板1の粗面に形成するほか、保護膜6を図6に示されるように構成して、下側の基板1で負担させることも可能である。   In the reflective display, it is preferable that light is appropriately scattered and emitted from the polarizing plate 125 on the upper substrate 101 side. For this reason, in the configuration shown in FIG. 1, the front scattering plate 121 is provided on the outer surface of the upper substrate 101. With respect to this scattering function, the reflective film 2 is attached to the substrate 1 as in the application example described later. In addition to forming on a rough surface, the protective film 6 can be configured as shown in FIG.

すなわち、この図に示される保護膜6は、感光性アクリル樹脂などの樹脂材料6a中に、これとは屈折率が異なる材料の粒子6bが分散したものである。これらの樹脂材料6aと粒子6bとについては、両者の屈折率差が0.05〜0.12の範囲内となるように材料を組み合わせるのが望ましい。例えば、樹脂材料6aとしてのPMMA(ポリメチルメタクリレート)樹脂中に、粒子6bとしてのPVDF(ポリフッ化ビニリデン)粒子を分散させる組み合わせを採用すると、0.8程度の屈折率差が得られる。もちろん組み合わせはこれに限定されること無く、所望の屈折率差と散乱度が得られるように適宜材料を組み合わせて使用することが可能である。このような保護膜6は、Mie散乱により、光の散乱機能を有することになるので、図1における前方散乱板121を省略することができる。   That is, the protective film 6 shown in this figure is obtained by dispersing particles 6b of a material having a different refractive index from a resin material 6a such as a photosensitive acrylic resin. About these resin material 6a and particle | grains 6b, it is desirable to combine a material so that both refractive index difference may be in the range of 0.05-0.12. For example, when a combination of dispersing PVDF (polyvinylidene fluoride) particles as the particles 6b in a PMMA (polymethyl methacrylate) resin as the resin material 6a, a refractive index difference of about 0.8 is obtained. Of course, the combination is not limited to this, and any suitable combination of materials can be used so that a desired refractive index difference and scattering degree can be obtained. Since such a protective film 6 has a light scattering function due to Mie scattering, the front scattering plate 121 in FIG. 1 can be omitted.

なお、図5または図6における保護膜6としては、感光性アクリル樹脂以外の感光性を有する樹脂材料を用いることができる。また、保護膜6を特定の領域のみに設ける場合であっても、印刷法や転写法などを用いる場合や、保護膜6が基板1の全面に設けられても構わない場合においては、保護膜6として、ゾルゲル膜や感光性を有さない有機保護膜を用いることができる。   In addition, as the protective film 6 in FIG. 5 or FIG. 6, a resin material having photosensitivity other than the photosensitive acrylic resin can be used. Even when the protective film 6 is provided only in a specific region, when a printing method or a transfer method is used, or when the protective film 6 may be provided on the entire surface of the substrate 1, the protective film As 6, a sol-gel film or an organic protective film having no photosensitivity can be used.

次に、遮光膜13における位置関係、特に遮光膜13の開口領域と電極7との位置関係について説明する。ここで、図7Aは、下側の基板1の内面に形成される遮光膜13および着色層4の配列を示す概略平面図であり、また、図7Bは、図7Bの線A−A’についての概略断面図であり、両図は、いずれも着色層4が形成された段階の構成を示すものである。なお、図7Cは、図7Bに示される基板において、電極7までが形成された構成を示す概略断面図である。   Next, the positional relationship in the light shielding film 13, particularly the positional relationship between the opening region of the light shielding film 13 and the electrode 7 will be described. Here, FIG. 7A is a schematic plan view showing the arrangement of the light shielding film 13 and the colored layer 4 formed on the inner surface of the lower substrate 1, and FIG. 7B shows a line AA ′ in FIG. 7B. These figures are both schematic cross-sectional views, and both figures show the structure of the stage where the colored layer 4 is formed. 7C is a schematic cross-sectional view showing a configuration in which up to the electrode 7 is formed on the substrate shown in FIG. 7B.

これらの図に示されるように、遮光膜13の開口領域は、液晶層を有効に駆動できる領域20毎に設けられている。ここで、図7A、図7Bおよび図7Cに示される基板にあって、領域20とは、液晶装置として構成される場合に、下側の基板1に設けられる電極7と上側の基板101に設けられる電極110との交差領域であって、設計上の画素に一致している。すなわち、これらの図における領域20は、電極7の幅をL1とし、電極110の幅をW1とした場合に、長さL1および幅W1で規定される矩形状の領域をいう。 As shown in these drawings, the opening region of the light shielding film 13 is provided for each region 20 that can effectively drive the liquid crystal layer. Here, in the substrate shown in FIGS. 7A, 7B, and 7C, the region 20 is provided on the electrode 7 provided on the lower substrate 1 and the upper substrate 101 when configured as a liquid crystal device. This is a crossing region with the electrode 110 and corresponds to a designed pixel. That is, the region 20 in these drawings is a rectangular region defined by the length L 1 and the width W 1 when the width of the electrode 7 is L 1 and the width of the electrode 110 is W 1 .

なお、図19Dを参照して説明したように、斜め電界によって、該交差領域外であっても液晶分子が駆動される領域(ここでは便宜上、領域Aと称呼する)が存在する一方、該交差領域内であっても液晶分子が正常に駆動されない領域(便宜上、領域Bと称呼する)が存在するので、厳密に言えば、これらの領域を考慮して、遮光膜13の開口領域を設ける必要がある。ただし、液晶層の厚みd(図1参照)に対して、領域20(長さL1および幅W1)が充分に大きいのであれば、領域A、Bを無視して考えることができる。図7A、図7Bおよび図7Cに示される基板については、液晶層の厚みdに対し領域20(長さL1および幅W1)が充分に大きいとして、領域A、Bを無視して、遮光膜13の開口領域を設定したものである。 Note that, as described with reference to FIG. 19D, there is a region where liquid crystal molecules are driven by an oblique electric field even outside the intersecting region (referred to as region A here for convenience). Even within the region, there are regions where the liquid crystal molecules are not normally driven (for convenience, referred to as region B). Strictly speaking, it is necessary to provide an opening region of the light shielding film 13 in consideration of these regions. There is. However, if the region 20 (length L 1 and width W 1 ) is sufficiently larger than the thickness d of the liquid crystal layer (see FIG. 1), the regions A and B can be ignored. For the substrates shown in FIGS. 7A, 7B, and 7C, it is assumed that the region 20 (length L 1 and width W 1 ) is sufficiently larger than the thickness d of the liquid crystal layer, and the regions A and B are ignored and light shielding is performed. The opening area of the film 13 is set.

そこで今度は、領域A、Bを考慮して、遮光膜13の開口領域を設定した基板について説明する。まず、領域A、Bを考慮した場合における遮光膜13の開口領域とは、液晶装置として2枚の基板1、101が貼り合わせられた場合に、電極7、110の交差領域に、領域Aを加えた領域であって、領域Bを除いた領域をいい、図8Aにおいて、長さL2および幅W2で規定される矩形状の領域12である。ここで、図8Aは、下側の基板1の内面に形成される遮光膜13および着色層4の配列を示す部分平面図であり、図8Bは、図8Aにおける線E−E’線についての概略断面図であり、図8Cは、図8Aにおける線F−F’線についての概略断面図である。これらの図に示されるように、領域A、Bを考慮した遮光膜13の開口領域12は、設計上の画素の領域9c(長さL1および幅W1で規定される矩形状の領域)に対して、液晶層のバルクにおける液晶分子のダイレクタ方向と直交する辺の一方では、長さd1だけ狭く、それ以外の辺においては、長さd2だけ広くなっている。したがって、長さd2により広くなった領域が、斜め電界によって液晶分子が駆動される領域Aに相当し、長さd1により狭くなった領域が、斜め電界によって液晶分子が駆動されない領域Bに相当する。ここで、長さd1、d2について詳述すると、図1に示されるように液晶装置として2枚の基板1、101が貼り合わせられた場合に、電極7、110間の距離(すなわち、液晶層58の厚み)をdで表したとき、長さd1は、距離dの概ね同等以下の値であり、また、長さd2は、距離dの概ね1/2以下の値である。 Therefore, this time, the substrate in which the opening region of the light shielding film 13 is set in consideration of the regions A and B will be described. First, when the regions A and B are considered, the opening region of the light shielding film 13 is the region A at the intersection region of the electrodes 7 and 110 when the two substrates 1 and 101 are bonded as a liquid crystal device. The added region refers to a region excluding the region B, and is a rectangular region 12 defined by a length L 2 and a width W 2 in FIG. 8A. Here, FIG. 8A is a partial plan view showing the arrangement of the light shielding film 13 and the colored layer 4 formed on the inner surface of the lower substrate 1, and FIG. 8B shows the line EE ′ in FIG. 8A. FIG. 8C is a schematic cross-sectional view, and FIG. 8C is a schematic cross-sectional view taken along line FF ′ in FIG. 8A. As shown in these figures, the opening region 12 of the light shielding film 13 in consideration of the regions A and B is a designed pixel region 9c (a rectangular region defined by a length L 1 and a width W 1 ). On the other hand, one of the sides orthogonal to the director direction of the liquid crystal molecules in the bulk of the liquid crystal layer is narrowed by the length d 1 , and the other side is wide by the length d 2 . Therefore, the region widened by the length d 2 corresponds to the region A where the liquid crystal molecules are driven by the oblique electric field, and the region narrowed by the length d 1 is the region B where the liquid crystal molecules are not driven by the oblique electric field. Equivalent to. Here, the lengths d 1 and d 2 will be described in detail. When two substrates 1 and 101 are bonded as a liquid crystal device as shown in FIG. 1, the distance between the electrodes 7 and 110 (that is, When the thickness of the liquid crystal layer 58 is represented by d, the length d 1 is approximately equal to or less than the distance d, and the length d 2 is approximately 1/2 or less of the distance d. .

この構成では、電極7、110との交差領域9c外であっても、領域Aには遮光膜13が開口しているので、反射膜2で光が反射する結果、実質的な開口率の向上が図られる一方、交差領域9c内であっても、領域Bには遮光膜13が設けられるので、液晶分子が駆動されないことによるコントラスト比の低下を抑えることが可能となる。   In this configuration, since the light shielding film 13 is opened in the region A even outside the intersecting region 9c with the electrodes 7 and 110, the light is reflected by the reflective film 2, so that the substantial aperture ratio is improved. On the other hand, even within the intersecting region 9c, since the light shielding film 13 is provided in the region B, it is possible to suppress a decrease in contrast ratio due to the liquid crystal molecules not being driven.

なお、電極7、110の交差領域9cに対して、拡大する領域Aの方向・面積、および、縮小する領域Bの方向・面積は、用いる液晶モードや、基板1、101に対するラビング方向等の各種条件によって異なるが、いずれにしても、遮光膜13における開口領域12は、領域9cに対して、距離dと概ね同等の長さd1だけ内側から、距離dの概ね1/2である長さd2だけ外側まで、となるようにパターニングされることになる(図9A、図9Bおよび図9C参照)。すなわち、遮光膜13における開口領域12の長さL2および幅W2は、それぞれ次の範囲に収まることになる。 Note that the direction and area of the area A to be enlarged and the direction and area of the area B to be reduced with respect to the intersecting area 9c of the electrodes 7 and 110 vary depending on the liquid crystal mode used and the rubbing direction with respect to the substrates 1 and 101. In any case, the opening region 12 in the light-shielding film 13 has a length that is approximately ½ of the distance d from the inside by a length d 1 that is approximately the same as the distance d with respect to the region 9c. Patterning is performed so as to extend outward by d 2 (see FIGS. 9A, 9B, and 9C). That is, the length L 2 and the width W 2 of the opening region 12 in the light shielding film 13 are within the following ranges, respectively.

1−2・d1≦L2≦L1+2・d21−2・d1≦W2≦W1+2・d2 <第1の実施形態の応用・変形例>
ところで、上述した例では、遮光膜13を黒色の樹脂材料から形成したが、次のように形成しても良い。すなわち、遮光膜13として別途の層を設けるのではなく、R(赤)、G(緑)、B(青)の着色層4が3色分積層された部分を遮光膜13として用いるのである。このような構成を図10A、図10Bおよび図10Cを参照して説明する。ここで、図10Aは、同構成を示す部分平面図であり、図10Bは、図10Aにおける線W−W’線についての概略断面図であり、図10Cは、図10Aにおける線X−X’線についての概略断面図である。
L 1 −2 · d 1 ≦ L 2 ≦ L 1 + 2 · d 2 W 1 −2 · d 1 ≦ W 2 ≦ W 1 + 2 · d 2 <Application / Modification of First Embodiment>
By the way, in the example mentioned above, although the light shielding film 13 was formed from the black resin material, you may form as follows. That is, a separate layer is not provided as the light-shielding film 13, but a portion where three colored layers 4 of R (red), G (green), and B (blue) are stacked is used as the light-shielding film 13. Such a configuration will be described with reference to FIGS. 10A, 10B, and 10C. Here, FIG. 10A is a partial plan view showing the same configuration, FIG. 10B is a schematic cross-sectional view taken along line WW ′ in FIG. 10A, and FIG. 10C is a line XX ′ in FIG. 10A. It is a schematic sectional drawing about a line.

これらの図に示されるように、パターニングされた反射膜2上には、R、G、Bの感光性カラーレジストが、順番に、かつ、遮光膜13となるべき部分で重なるように、着色感材法を用いてパターニングされている。これにより、着色層4が3色分積層された部分は、加法混色により黒色となって、遮光膜13として機能する一方、1色のみの部分は、上述した例と同様に、遮光膜13の開口領域12として機能することになる。そして、これらの表面を覆うように保護膜6が形成されて、これらの保護とともに、着色層4が積層された部分とそうでない部分との平坦化が図られている。   As shown in these drawings, on the patterned reflective film 2, the color sensitization is performed so that the photosensitive color resists of R, G, and B are overlapped in order and in the portion that should become the light shielding film 13. Patterning is performed using a material method. As a result, the portion where the colored layers 4 are laminated for three colors becomes black due to additive color mixing and functions as the light shielding film 13, while the portion of only one color is the same as the above-described example. It functions as the opening region 12. And the protective film 6 is formed so that these surfaces may be covered, and the flattening of the part in which the colored layer 4 was laminated | stacked and the part which is not so with the protection of these is achieved.

ここで、着色層4が3色分積層された部分の光学濃度は0.7程度であるが、この部分は、もともと着色層4であるので、その表面反射率が小さい。このため、明るい場所において、コントラスト比の低下といった悪影響を及ぼさない。また、反射型表示において光は、着色層4が3色分積層されて、遮光膜13となる部分を2度通過するため、遮光膜13として光学濃度は実質的には1.4以上となって、反射型表示において充分な遮光性を有することなる。さらに、遮光膜13として別途の層を設ける工程が省略されるので、その分だけ、低コスト化が可能となる。   Here, the optical density of the portion where the colored layers 4 are laminated for three colors is about 0.7, but since this portion is originally the colored layer 4, its surface reflectance is small. For this reason, there is no adverse effect such as a decrease in contrast ratio in a bright place. Further, in the reflective display, since the colored layer 4 is laminated for three colors and passes through the portion that becomes the light shielding film 13 twice, the optical density of the light shielding film 13 is substantially 1.4 or more. Thus, it has a sufficient light shielding property in the reflective display. Furthermore, since a step of providing a separate layer as the light shielding film 13 is omitted, the cost can be reduced accordingly.

なお、これらの図において、他の構成や説明したものと同様であるので、同一の符号を付してその説明を省略することとする。また、着色層4が3色分積層された部分を遮光膜13とする構成においても、上述した保護膜3、6および密着性向上層5、8を適宜選択して適用することが可能であり、遮光膜13の開口領域としても図9のほか、図7、図8で説明したものとすることが可能である。   In addition, in these figures, since it is the same as that of another structure and what was demonstrated, suppose that the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted. Further, in the configuration in which the portion where the colored layers 4 are laminated for three colors is used as the light shielding film 13, the above-described protective films 3 and 6 and the adhesion improving layers 5 and 8 can be appropriately selected and applied. The opening region of the light shielding film 13 can also be the one described with reference to FIGS. 7 and 8 in addition to FIG.

さて、下側の基板1の側に光散乱特性を持たせる構成については、図6に示した構成のほか、図11A、図11Bおよび図11Cで示される構成でも可能である。ここで、図11Aは、光散乱特性を有する基板の構成を示す部分平面図であり、図11Bは、図11Aにおける線CC−CC’線についての概略断面図であり、図11Cは、図11Aにおける線DD−DD’線についての概略断面図である。   Now, with respect to the configuration in which the lower substrate 1 has light scattering characteristics, the configuration shown in FIGS. 11A, 11B, and 11C can be used in addition to the configuration shown in FIG. Here, FIG. 11A is a partial plan view showing the configuration of the substrate having light scattering characteristics, FIG. 11B is a schematic cross-sectional view taken along line CC-CC ′ in FIG. 11A, and FIG. 11C is FIG. It is a schematic sectional drawing about the line DD-DD 'in FIG.

これらの図に示されるように、基板1には、上側に粗面を有する粗面層16が形成されて、この粗面に反射膜2が形成されている。ここで、粗面層16は、例えば、アクリルを主成分とする感光性樹脂であり、基板1上に塗布された後に、次のような構造となるように、所定のフォトマスクを用いたフォトリソグラフィー法によってパターニングされたものである。すなわち、粗面層16における粗面は、山および谷の差が0.2μm〜1.5μmであり、山および谷のピッチが2μm〜15μmであって、ランダムな山および谷の形状にパターニングされたものである。   As shown in these drawings, a rough surface layer 16 having a rough surface on the upper side is formed on the substrate 1, and a reflective film 2 is formed on the rough surface. Here, the rough surface layer 16 is, for example, a photosensitive resin mainly composed of acrylic, and after being coated on the substrate 1, a photo using a predetermined photomask so as to have the following structure. Patterned by a lithography method. That is, the rough surface of the rough surface layer 16 has a peak-to-valley difference of 0.2 μm to 1.5 μm, a peak-to-valley pitch of 2 μm to 15 μm, and is patterned into random peak-and-valley shapes. It is a thing.

このような構成では、反射膜2は、粗面層16の粗面を反映したものとなって、上側の基板101側からの入射光をランダムな角度で反射させるため、下側の基板1側のみにより、適度な散乱特性を持たせることが可能となる。また、このような構成では、反射膜2の表面は、粗面層16の粗面を反映したものとなるが、反射膜2の表面を覆うように形成される着色層4、保護膜6によって平坦化されるため、電極7は、粗面を反映することなく、平坦面に形成されることになる。   In such a configuration, the reflective film 2 reflects the rough surface of the rough surface layer 16, and reflects incident light from the upper substrate 101 side at a random angle. Only by this, an appropriate scattering characteristic can be provided. Further, in such a configuration, the surface of the reflective film 2 reflects the rough surface of the rough surface layer 16, but the colored layer 4 and the protective film 6 formed so as to cover the surface of the reflective film 2. Since the planarization is performed, the electrode 7 is formed on the flat surface without reflecting the rough surface.

なお、図11A、図11Bおよび図11Cにおいて、他の構成や説明したものと同様であるので、同一の符号を付してその説明を省略することとする。また、これらの図において、遮光膜13として着色層4が3色分積層された部分が用いられているが、黒色樹脂材料が用いられても良いのはもちろんである。さらに、上述した保護膜3、6および密着性向上層5、8を適宜選択して適用することが可能であり、遮光膜13の開口領域としても図9のほか、図7、図8で説明したものとすることが可能である。   11A, 11B, and 11C are the same as the other configurations and those described, the same reference numerals are given and the description thereof is omitted. In these drawings, a portion where three colored layers 4 are laminated is used as the light shielding film 13, but it is needless to say that a black resin material may be used. Furthermore, the protective films 3 and 6 and the adhesion improving layers 5 and 8 described above can be appropriately selected and applied. The opening region of the light shielding film 13 is described with reference to FIGS. 7 and 8 in addition to FIG. It is possible that

また、下側の基板1の側に光散乱特性を持たせる構成については、図11A、図11Bおよび図11Cに示した構成のほか、図12A、図12Bおよび図12Cで示される構成でも可能である。ここで、図12Aは、光散乱特性を有する基板の構成を示す部分平面図であり、図12Bは、図12Aにおける線EE−EE’線についての概略断面図であり、図12Cは、図12Aにおける線FF−FF’線についての概略断面図である。   In addition to the configuration shown in FIGS. 11A, 11B, and 11C, the configuration shown in FIGS. 12A, 12B, and 12C is also possible as the configuration that gives the light scattering characteristics to the lower substrate 1 side. is there. Here, FIG. 12A is a partial plan view showing a configuration of a substrate having light scattering characteristics, FIG. 12B is a schematic cross-sectional view taken along line EE-EE ′ in FIG. 12A, and FIG. 12C is FIG. It is a schematic sectional drawing about line FF-FF 'in FIG.

これらの図で示されるように、基板1の上面が直接的に粗面化されて、この粗面17に反射膜2が形成されている。このような基板1における粗面17は、基板1としてガラスを用いて、その表面を、弗化水素酸を主成分とする水溶液によって、次のような形状となるように不均一にエッチングすることによって得られる。すなわち、基板1の表面は、山および谷の差が0.05μm〜2.5μmであり、山および谷のピッチが1μm〜50μmであって、ランダムな山および谷の形状となるように不均一にエッチングされる。   As shown in these drawings, the upper surface of the substrate 1 is directly roughened, and the reflective film 2 is formed on the rough surface 17. The rough surface 17 in the substrate 1 is made of glass as the substrate 1 and the surface thereof is etched non-uniformly with an aqueous solution containing hydrofluoric acid as a main component so as to have the following shape. Obtained by. That is, the surface of the substrate 1 is uneven so that the difference between the peaks and valleys is 0.05 μm to 2.5 μm, the pitch between the peaks and valleys is 1 μm to 50 μm, and the shape is random. Is etched.

このような構成でも、反射膜2は、基板1の粗面17を反映したものとなって、上側の基板101側からの入射光をランダムな角度で反射させるため、下側の基板1側のみにより、適度な散乱特性を持たせることが可能となる。また、このような構成では、反射膜2の表面は、粗面17の粗面を反映したものとなるが、反射膜2の表面を覆うように形成される着色層4、保護膜6によって平坦化されるため、電極7は、粗面を反映することなく、平坦面に形成されることになる。   Even in such a configuration, the reflective film 2 reflects the rough surface 17 of the substrate 1 and reflects incident light from the upper substrate 101 side at a random angle, so only the lower substrate 1 side is reflected. Thus, it is possible to provide appropriate scattering characteristics. In such a configuration, the surface of the reflective film 2 reflects the rough surface of the rough surface 17, but is flat by the colored layer 4 and the protective film 6 formed so as to cover the surface of the reflective film 2. Therefore, the electrode 7 is formed on a flat surface without reflecting the rough surface.

なお、図12A、図12Bおよび図12Cにおいて、他の構成は、すでに説明したものと同様であるので、同一の符号を付してその説明を省略することとする。また、これらの図において、遮光膜13として着色層4が3色分積層された部分が用いられているが、同様に、黒色樹脂材料が用いられても良いのはもちろんである。さらに、上述した保護膜3、6および密着性向上層5、8を適宜選択して適用することが可能であり、遮光膜13の開口領域としても図9のほか、図7、図8で説明したものとすることが可能である点も同様である。   In FIG. 12A, FIG. 12B, and FIG. 12C, the other configurations are the same as those already described, and therefore, the same reference numerals are given and description thereof is omitted. In these figures, a portion where three colored layers 4 are laminated is used as the light-shielding film 13, but it is needless to say that a black resin material may be used as well. Furthermore, the protective films 3 and 6 and the adhesion improving layers 5 and 8 described above can be appropriately selected and applied. The opening region of the light shielding film 13 is described with reference to FIGS. 7 and 8 in addition to FIG. This also applies to the point that it can be used.

<第2の実施形態>
次に、本発明の第2の実施形態に係る半透過反射型の液晶装置について説明する。上述した第1実施形態に係る反射型の液晶装置では、外光の強度が充分であれば、非常に明るい表示が可能であるが、その反面、外光の強度が不充分であると、表示が見づらくなるという欠点がある。
<Second Embodiment>
Next, a transflective liquid crystal device according to a second embodiment of the present invention will be described. In the reflection type liquid crystal device according to the first embodiment described above, a very bright display is possible if the intensity of the external light is sufficient. On the other hand, if the intensity of the external light is insufficient, the display is performed. Has the disadvantage of becoming difficult to see.

そこで、第2実施形態に係る半透過反射型の液晶装置は、反射膜2において画素毎に開口部を設けることにより、背面側から入射した光を通過可能として、外光の強度が不充分であれば、開口部を通過する光による透過型表示を行う一方、外光の強度が充分であれば、開口部以外で反射する光による反射型表示を行うものである。 Therefore, the transflective liquid crystal device according to the second embodiment is provided with an opening for each pixel in the reflective film 2 so that light incident from the back side can pass therethrough and the intensity of external light is insufficient. If there is, the transmissive display by the light passing through the opening is performed, while if the intensity of the external light is sufficient, the reflective display by the light reflected from other than the opening is performed.

図13は、この第2の実施形態に係る液晶装置の構成を示す概略断面図である。この図に示される液晶装置が、図1における第1実施形態に係る液晶装置と相違する点は、白色光を発する線状の蛍光管31と、一端面が蛍光管31に沿って配置する導光板33とを含む補助光源を備える第1の点、基板1の外面側に、位相差板23、偏光板25が順に設けられている第2の点、遮光膜13の開口領域毎に、反射膜2に開口部(第1の開口部)14がそれぞれ設けられて、下側から入射した光を透過させる第3の点、および、遮光膜13として着色層4が3色分積層された部分が用いられている第4の点にある。   FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the liquid crystal device according to the second embodiment. The liquid crystal device shown in this figure is different from the liquid crystal device according to the first embodiment shown in FIG. 1 in that a linear fluorescent tube 31 that emits white light and a conductive tube with one end face disposed along the fluorescent tube 31. A first point provided with an auxiliary light source including an optical plate 33, a second point where a retardation plate 23 and a polarizing plate 25 are provided in this order on the outer surface side of the substrate 1, and reflection for each opening region of the light shielding film 13. A portion where the opening portion (first opening portion) 14 is provided in the film 2 to transmit the light incident from below, and a portion where the colored layer 4 is laminated for three colors as the light-shielding film 13 Is in the fourth point where is used.

他の構成については、すでに説明したものと同様であるので、同一の符号を付してその説明を省略し、また、第4の点についても、すで説明しているので、その説明を省略する。したがって、ここでは、第1、第2および第3の点を中心にして説明することとする。 Other constitutions are similar to those already described are denoted with the same reference numerals and description thereof is omitted, also the fourth point also, since described in to, and their description Omitted. Therefore, here, the description will be focused on the first, second, and third points.

まず、導光板33は、裏面(図において下側の面)全体に散乱用の粗面が形成された透明体、または、散乱用の印刷層が形成されたアクリル樹脂板などの透明体である。これにより、導光板33は、蛍光管31の光をその一端面に入射すると、図の上面へ、ほぼ均一な光を照射することになる。なお、補助光源としては、ほかにLED(発光ダイオード)や、EL(エレクトロルミネセンス)などを用いたものなどが適用可能である。   First, the light guide plate 33 is a transparent body in which a rough surface for scattering is formed on the entire back surface (lower surface in the figure), or a transparent body such as an acrylic resin plate in which a printing layer for scattering is formed. . Thereby, when the light from the fluorescent tube 31 is incident on one end face of the light guide plate 33, the light guide plate 33 irradiates the upper surface of the figure with substantially uniform light. In addition, as an auxiliary light source, an LED (light emitting diode), an EL (electroluminescence), or the like can be used.

次に、基板1の外面に設けられる偏光板25、位相差板23は、補助光源により照射される光を所定の偏光状態とさせるために設けられている。   Next, the polarizing plate 25 and the phase difference plate 23 provided on the outer surface of the substrate 1 are provided in order to make the light irradiated from the auxiliary light source have a predetermined polarization state.

そして、反射膜2の開口部14は、図14Aに示されるように、遮光膜13の開口領域12毎に、すなわち、着色層4が1色分だけ設けられて領域毎に設けられるものであって、アルミニウムや、銀、クロムなどの反射性を有する金属層を、表示領域9を含むように、かつ、開口部14に相当する部分を除去するように、パターニングして形成したものである。ここで、図13または図14Bに示されるように、着色層4は、開口部14に充填されているので、背面側(図において下側)から入射して、開口部14を通過し、観察側(図において上側)に出射する光は、着色層4によって着色されることになる。なお、図14Aでは、開口部14の平面形状は矩形状であるが、いかなる形状であっても構わない。   As shown in FIG. 14A, the opening 14 of the reflective film 2 is provided for each opening region 12 of the light shielding film 13, that is, for each region in which the colored layer 4 is provided for one color. Then, a reflective metal layer such as aluminum, silver, or chromium is formed by patterning so as to include the display region 9 and to remove a portion corresponding to the opening 14. Here, as shown in FIG. 13 or FIG. 14B, since the colored layer 4 is filled in the opening 14, the colored layer 4 enters from the back side (lower side in the figure), passes through the opening 14, and is observed. The light emitted to the side (upper side in the figure) is colored by the colored layer 4. In FIG. 14A, the planar shape of the opening 14 is rectangular, but it may be any shape.

なお、図14Aは、図13における基板1の内面構造、特に反射膜2の開口部14と遮光膜13の開口領域12との位置関係を示す図であり、図14Bは、図14AにおけるY−Y’線についての略断面図であり、図14Cは、図14AにおけるZ−Z’線についての略断面図であるが、遮光膜13の開口領域12については、すでに説明しているので、ここでは省略することとする。   14A is a diagram showing the internal structure of the substrate 1 in FIG. 13, particularly the positional relationship between the opening 14 of the reflective film 2 and the opening region 12 of the light shielding film 13, and FIG. 14C is a schematic cross-sectional view taken along the line Y ′, and FIG. 14C is a schematic cross-sectional view taken along the line ZZ ′ in FIG. 14A. Since the opening region 12 of the light shielding film 13 has already been described, Then, it will be omitted.

このような第2実施形態において、外光の強度が充分であれば、蛍光管31が非点灯状態にされて、反射型表示が行われる。ここで、反射型表示において光は、偏光板125、位相差板123、前方散乱板121、基板101、電極110、液晶層58、電極7、着色層4という経路を介して反射膜2に至り、ここで反射して、今きた経路を逆に辿って、偏光板125から観察側に出射する。このとき、偏光板125から出射する光量は、電極7、110によって液晶層58に印加される電圧に応じて、明状態、暗状態およびその中間の明るさの状態にされるので、液晶層58への印加電圧を制御することにより、所望の表示が可能となる。   In such a second embodiment, if the intensity of external light is sufficient, the fluorescent tube 31 is turned off and a reflective display is performed. Here, in the reflective display, light reaches the reflective film 2 through a path of the polarizing plate 125, the retardation plate 123, the front scattering plate 121, the substrate 101, the electrode 110, the liquid crystal layer 58, the electrode 7, and the colored layer 4. Then, the light is reflected here, and the current path is traced in the reverse direction and emitted from the polarizing plate 125 to the observation side. At this time, the amount of light emitted from the polarizing plate 125 is set to a bright state, a dark state, and an intermediate brightness state according to the voltage applied to the liquid crystal layer 58 by the electrodes 7 and 110. A desired display can be achieved by controlling the voltage applied to the.

一方、外光の強度が不充分であれば、蛍光管31が点灯状態にされて、透過型表示が行われる。ここで、透過型表示において、蛍光管31、導光板33によって照射される光は、偏光板25、位相差板23を経ることで所定の偏光状態となり、基板1、開口部14、電極7、液晶層58、電極110を経て、偏光板125から観察側に出射する。このとき、偏光板125から出射する光量は、透過型表示と同様に、電極7、110によって液晶層58に印加される電圧に応じて、明状態、暗状態およびその中間の明るさの状態にされるので、液晶層58への印加電圧を制御することで、所望の表示が可能となる。   On the other hand, if the intensity of the external light is insufficient, the fluorescent tube 31 is turned on and transmissive display is performed. Here, in the transmissive display, the light irradiated by the fluorescent tube 31 and the light guide plate 33 passes through the polarizing plate 25 and the retardation plate 23 to be in a predetermined polarization state, and the substrate 1, the opening 14, the electrode 7, The light is emitted from the polarizing plate 125 to the observation side through the liquid crystal layer 58 and the electrode 110. At this time, the amount of light emitted from the polarizing plate 125 is in a bright state, a dark state, and an intermediate brightness state according to the voltage applied to the liquid crystal layer 58 by the electrodes 7 and 110 as in the transmissive display. Therefore, desired display can be performed by controlling the voltage applied to the liquid crystal layer 58.

この液晶装置によれば、液晶層58は、同じITOからなる電極7、110によって挟持されるので、表示品位や長期信頼性が低下することがない。また、反射膜2上には、遮光膜13および着色層4が形成されるので、反射膜2を露出させないようにすることができる。このため、液晶装置の製造工程において、反射膜2が、薬液や、ガス、液晶層等にさらされないので、反射膜2へのダメージを抑えることができる。さらに、着色層4が遮光膜13を覆うように形成されているので、遮光膜13での表面反射が抑えられるだけでなく、遮光膜13に要求される光学濃度も小さくて済む。例えば反射型表示において光は遮光膜を2回通過することになるので、遮光膜13の実質的な光学濃度は小さくて済むし、透過型表示において光は、遮光膜13により規定されるのではなく、反射膜2によって規定されるので、透過型表示において遮光膜13の光学濃度はほとんど影響を与えない。このため、本実施形態によれば、透過型表示においても反射型表示においてコントラスト比の低下を抑えた明るい高品位な表示が可能となる。   According to this liquid crystal device, since the liquid crystal layer 58 is sandwiched between the electrodes 7 and 110 made of the same ITO, display quality and long-term reliability are not deteriorated. Further, since the light shielding film 13 and the colored layer 4 are formed on the reflective film 2, the reflective film 2 can be prevented from being exposed. For this reason, in the manufacturing process of the liquid crystal device, the reflection film 2 is not exposed to the chemical solution, the gas, the liquid crystal layer, and the like, so that damage to the reflection film 2 can be suppressed. Furthermore, since the colored layer 4 is formed so as to cover the light shielding film 13, not only the surface reflection at the light shielding film 13 is suppressed, but also the optical density required for the light shielding film 13 is small. For example, since light passes through the light shielding film twice in the reflective display, the substantial optical density of the light shielding film 13 may be small. In the transmissive display, the light is not defined by the light shielding film 13. In other words, the optical density of the light shielding film 13 hardly affects the transmissive display. For this reason, according to the present embodiment, it is possible to perform a bright and high-quality display in which a reduction in contrast ratio is suppressed in a transmissive display even in a transmissive display.

また、反射膜が電極を兼ねる従来構成において、反射膜に開口部を設けると、この部分では液晶層に電圧が印加されないため、液晶分子が正常に駆動されない(表示に寄与しない)領域が出現してしまうことになる。これに対して、本実施形態では、反射膜2と電極7とは独立であり、開口部14の地点にも電極7を設けることできるため、開口部14にあっても、液晶分子が正常に駆動されることになる。したがって、この意味でも、本実施形態では、透過型表示におけるコントラスト比の低下が抑えられることとなる。   In addition, in the conventional configuration in which the reflective film also serves as an electrode, if an opening is provided in the reflective film, a voltage is not applied to the liquid crystal layer in this portion, and thus a region where liquid crystal molecules are not driven normally (does not contribute to display) appears. It will end up. On the other hand, in the present embodiment, the reflective film 2 and the electrode 7 are independent, and the electrode 7 can be provided at the position of the opening 14. Will be driven. Therefore, in this sense as well, in this embodiment, a reduction in contrast ratio in transmissive display can be suppressed.

ところで、第2実施形態における基板1の構造については、図13や図14等に示されるものに限られず、種々の態様が適用可能である。そこで、これらの態様のいくつかについて説明することとする。   By the way, about the structure of the board | substrate 1 in 2nd Embodiment, it is not restricted to what is shown by FIG.13, FIG.14 etc., A various aspect is applicable. Therefore, some of these aspects will be described.

まず、この態様について、図15A、図15Bおよび図15Cを参照して説明する。ここで、図15Aは、この態様に係る基板について、電極7までが形成された基板の構成を示す部分平面図であり、図15Bは、図15Aにおける線AA−AA’線についての概略断面図であり、図15Cは、図15Aにおける線BB−BB’線についての概略断面図である。   First, this aspect will be described with reference to FIGS. 15A, 15B, and 15C. Here, FIG. 15A is a partial plan view showing the configuration of the substrate on which up to the electrodes 7 are formed, and FIG. 15B is a schematic sectional view taken along line AA-AA ′ in FIG. 15A. FIG. 15C is a schematic cross-sectional view taken along line BB-BB ′ in FIG. 15A.

これらの図に示されるように、1つの画素について2つの開口部14、15が設けられる。このうち、開口部14については、図13や図14B、図14Cに示されるように、反射膜2が存在しない部分に着色層4が充填されたものであるが、開口部(第2の開口部)15については、図15Cに示されるように、反射膜2が存在する部分に着色層4が設けられないように形成されたもの、すなわち、着色層4の形成段階において反射膜2が露出するように形成されたものである。詳細には、開口部15は、R(赤)、G(緑)、B(青)の感光性カラーレジストを、着色感材法を用いて順次形成する際に、開口部15に相当する部分に、該感光性カラーレジストが残らないようにしたものである。   As shown in these drawings, two openings 14 and 15 are provided for one pixel. Among these, as shown in FIG. 13, FIG. 14B, and FIG. 14C, the opening 14 is a portion in which the reflective film 2 does not exist and is filled with the colored layer 4, but the opening (second opening Part) 15, as shown in FIG. 15C, the colored layer 4 is not provided in the portion where the reflective film 2 exists, that is, the reflective film 2 is exposed at the stage of forming the colored layer 4. It is formed to do. Specifically, the opening 15 is a portion corresponding to the opening 15 when the photosensitive color resists of R (red), G (green), and B (blue) are sequentially formed by using the color sensitive material method. Further, the photosensitive color resist is not left.

ここで、着色層4が設けられない開口部15の面積は、遮光膜13の開口領域12から開口部14を除いた部分の面積(すなわち、実質的に反射型表示において1画素として機能する面積)に対して、次のようにして設定する。すなわち、透過型表示において好適な着色層の光透過特性が図16Aであり、反射型表示において好適な着色層の光透過特性が図16Bであるとすると、第1に、開口部14を通過する光のみによる特性が、図16Aに示される特性になるように着色層4を形成し、第2に、遮光膜13の開口領域12のうち開口部14を除いた部分で反射して該着色層4により着色される光と、開口部15で反射して着色されない光とを合わせた平均光が、図16Bに示される特性になるように、開口部15の面積を、各色にあわせてそれぞれ設定するのが望ましい。なお、図16Aおよび図16Bに示された各色の特性はあくまでも一例であり、実際には、組み合わされる液晶モードや、透過率、色濃度に合わせて適切に変更される。   Here, the area of the opening 15 where the colored layer 4 is not provided is the area of the light-shielding film 13 excluding the opening 14 from the opening region 12 (that is, the area that substantially functions as one pixel in the reflective display). ) Is set as follows. That is, if the light transmission characteristic of the colored layer suitable for the transmissive display is FIG. 16A and the light transmission characteristic of the colored layer suitable for the reflective display is FIG. 16B, first, it passes through the opening 14. The colored layer 4 is formed so that the characteristic only by light becomes the characteristic shown in FIG. 16A, and secondly, the colored layer is reflected by the portion of the opening region 12 of the light shielding film 13 excluding the opening 14. The area of the opening 15 is set in accordance with each color so that the average light of the light colored by 4 and the light not reflected and colored by the opening 15 has the characteristics shown in FIG. 16B. It is desirable to do. Note that the characteristics of each color shown in FIGS. 16A and 16B are merely examples, and actually, the characteristics are appropriately changed according to the liquid crystal mode to be combined, the transmittance, and the color density.

この態様によれば、光の色特性を、反射型表示と透過型表示とに合わせて最適化することができるので、両表示のいずれにおいても優れた色再現性を実現することが可能となる。   According to this aspect, since the color characteristics of light can be optimized in accordance with the reflective display and the transmissive display, it is possible to realize excellent color reproducibility in both displays. .

なお、第2実施形態においては、着色層4が3色分積層された部分が遮光膜13として用いられているが、図17A、図17Bおよび図17Cに示されるように、黒色樹脂材料が用いられても良いのはもちろんである。   In the second embodiment, the portion where the colored layers 4 are laminated for three colors is used as the light shielding film 13, but a black resin material is used as shown in FIGS. 17A, 17B and 17C. Of course, it may be done.

また、第2実施形態における背面側に位置する基板としては、図14Aや、図15A、図17Aなどに示された基板に対して、第1実施形態で挙げた基板の各要素を適宜選択して適用することが可能である。例えば、保護膜3、6や、密着性向上層5、8を適宜選択して適用しても良いし、反射膜2を図11Bにおける粗面層16や図12Bにおける粗面17に形成するとともに、開口部14、15を設ける構成としても良い。   In addition, as the substrate located on the back side in the second embodiment, each element of the substrate described in the first embodiment is appropriately selected with respect to the substrate shown in FIG. 14A, FIG. 15A, FIG. It is possible to apply. For example, the protective films 3 and 6 and the adhesion improving layers 5 and 8 may be appropriately selected and applied, or the reflective film 2 may be formed on the rough surface layer 16 in FIG. 11B or the rough surface 17 in FIG. 12B. The openings 14 and 15 may be provided.

<電子機器>
続いて、上述した第1実施形態や、第2実施形態、応用例に係る液晶装置を適用した電子機器について説明する。上述したようにこれらの液晶装置は、様々な環境下で用いられ、しかも低消費電力が必要とされる携帯機器に適している。
<Electronic equipment>
Next, an electronic apparatus to which the liquid crystal device according to the first embodiment, the second embodiment, or the application example described above is applied will be described. As described above, these liquid crystal devices are suitable for portable devices that are used in various environments and require low power consumption.

まず、図18Aは、電子機器の一例である携帯情報機器の構成を示す斜視図である。この図に示されるように携帯情報機器本体の上側には、実施形態に係る液晶装置181が設けられ、また、下側には入力部183が設けられる。一般に、この種の携帯情報機器の表示部の前面には、タッチパネルを設けることが多い。
通常のタッチパネルは、表面反射が多いため、表示が見づらい。このため、従来では、携帯型であっても表示部には、透過型液晶装置が利用される場合が多かったが、透過型液晶装置では、常時補助光源を利用するため消費電力が大きく、電池寿命が短かった。これに対して、実施形態に係る液晶装置は、反射型でも半透過反射型でも、表示が明るく鮮やかであるため、携帯情報機器に好適である。
First, FIG. 18A is a perspective view illustrating a configuration of a portable information device which is an example of an electronic device. As shown in this figure, the liquid crystal device 181 according to the embodiment is provided on the upper side of the portable information device main body, and the input unit 183 is provided on the lower side. In general, a touch panel is often provided on the front surface of the display unit of this type of portable information device.
A normal touch panel has a lot of surface reflections, so the display is difficult to see. For this reason, conventionally, a transmissive liquid crystal device is often used for a display unit even in a portable type. However, a transmissive liquid crystal device always uses an auxiliary light source and consumes a large amount of power. Life was short. On the other hand, the liquid crystal device according to the embodiment is suitable for a portable information device because the display is bright and vivid regardless of whether it is a reflective type or a transflective type.

次に、図18Bは、電子機器の一例である携帯電話の構成を示す斜視図である。この図に示されるように携帯電話本体の前面上方部には、実施形態に係る液晶装置184が設けられる。携帯電話は、屋内屋外を問わず、あらゆる環境で利用される。特に自動車内で利用されることが多いが、夜間の車内は大変暗い。このため、表示装置184としては、消費電力が低い反射型表示をメインとし、必要に応じて補助光を利用した透過型表示ができる半透過反射型の液晶装置、すなわち、第2実施形態に係る液晶装置が望ましい。この液晶装置184では、反射型表示でも透過型表示でも従来の液晶装置より明るく、コントラスト比が高くて高品位な表示が可能となる。   Next, FIG. 18B is a perspective view illustrating a configuration of a mobile phone which is an example of the electronic apparatus. As shown in this figure, the liquid crystal device 184 according to the embodiment is provided in the upper front part of the mobile phone body. Mobile phones are used in all environments, whether indoors or outdoors. Although it is often used in automobiles, it is very dark at night. For this reason, the display device 184 is mainly a reflective display with low power consumption, and a transflective liquid crystal device capable of performing transmissive display using auxiliary light as necessary, that is, according to the second embodiment. A liquid crystal device is desirable. The liquid crystal device 184 is brighter than the conventional liquid crystal device in both the reflective display and the transmissive display, and has a high contrast ratio and can display with high quality.

続いて、図18Cは、電子機器の一例であるウォッチの構成を示す斜視図である。この図に示されるようにウォッチ本体の中央に、実施形態に係る表示部186が設けられる。ウォッチ用途における重要な観点は、高級感である。この液晶装置184は、明るくコントラストが高いことはもちろん、光の波長による特性変化が少ないために色付きも小さい。従って、従来の液晶装置と比較して、大変に高級感ある表示が得られる。   18C is a perspective view illustrating a configuration of a watch which is an example of an electronic device. As shown in this figure, a display unit 186 according to the embodiment is provided in the center of the watch body. An important aspect in watch applications is luxury. The liquid crystal device 184 is not only bright and high in contrast, but also has little coloration because there is little change in characteristics due to the wavelength of light. Therefore, an extremely high-quality display can be obtained as compared with the conventional liquid crystal device.

本発明の第1の実施形態に係る反射型の液晶装置の構成を示す略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration of a reflective liquid crystal device according to a first embodiment of the present invention. 同実施形態において背面側に位置する基板の一例を示す略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the board | substrate located in the back side in the same embodiment. 同基板の別の一例を示す略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows another example of the board | substrate. 同基板の別の一例を示す略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows another example of the board | substrate. 同基板の別の一例を示す略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows another example of the board | substrate. 同基板の別の一例を示す略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows another example of the board | substrate. Aは、同実施形態にあって背面側に位置する基板における遮光膜の開口領域の位置関係を示す平面図である。Bは、図7Aにおける線A−A’線についての概略断面図であって、着色層まで形成した構成を示す図である。Cは、図7Aにおける線A−A’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。A is a top view which shows the positional relationship of the opening area | region of the light shielding film in the board | substrate located in the back surface in the same embodiment. FIG. 7B is a schematic cross-sectional view taken along line A-A ′ in FIG. 7A, showing a configuration in which a colored layer is formed. FIG. 7C is a schematic cross-sectional view taken along line A-A ′ in FIG. 7A, showing a configuration in which electrodes are formed. Aは、同実施形態において背面側に位置する基板における遮光膜の開口領域の位置関係を示す部分平面図である。Bは、図8Aにおける線E−E’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。Cは、図8Aにおける線F−F’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。FIG. 4A is a partial plan view showing the positional relationship of the opening regions of the light shielding film on the substrate located on the back side in the same embodiment. FIG. 8B is a schematic cross-sectional view taken along line E-E ′ in FIG. 8A, showing a configuration in which electrodes are formed. FIG. 8C is a schematic cross-sectional view taken along line F-F ′ in FIG. Aは、同実施形態にあって背面側に位置する基板における遮光膜の開口領域の位置関係を示す部分平面図である。Bは、図9Aにおける線L−L’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。Cは、図9Aにおける線M−M’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。FIG. 4A is a partial plan view showing the positional relationship of the opening regions of the light shielding film on the substrate located on the back side in the same embodiment. FIG. 9B is a schematic cross-sectional view taken along line L-L ′ in FIG. 9A and shows a configuration in which electrodes are formed. FIG. 9C is a schematic cross-sectional view taken along line M-M ′ in FIG. 9A, illustrating a configuration in which electrodes are formed. Aは、同実施形態にあって背面側に位置する基板の別例の構成を示す部部分平面図である。Bは、図10Aにおける線W−W’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。Cは、図10Aにおける線X−X’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。FIG. 4A is a partial plan view showing a configuration of another example of the substrate located on the back side in the embodiment. FIG. 10B is a schematic cross-sectional view taken along line W-W ′ in FIG. 10A and shows a configuration in which electrodes are formed. FIG. 10C is a schematic cross-sectional view taken along line X-X ′ in FIG. 10A, showing a configuration in which electrodes are formed. Aは、同実施形態にあって背面側に位置する基板の別例の構成を示す部分平面図である。Bは、図11Aにおける線CC−CC’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。Cは、図11Aにおける線DD−DD’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。A is a partial top view which shows the structure of another example of the board | substrate located in the same embodiment in the back side. FIG. 11B is a schematic cross-sectional view taken along line CC-CC ′ in FIG. 11A and shows a configuration in which electrodes are formed. FIG. 11C is a schematic cross-sectional view taken along line DD-DD ′ in FIG. 11A and shows a configuration in which electrodes are formed. Aは、同実施形態において背面側に位置する基板の別例の構成を示す部分平面図である。Bは、図12Aにおける線EE−EE’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。Cは、図12Aにおける線FF−FF’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。A is a partial top view which shows the structure of another example of the board | substrate located in the back side in the embodiment. FIG. 12B is a schematic cross-sectional view taken along line EE-EE ′ in FIG. 12A and shows a configuration in which electrodes are formed. FIG. 12C is a schematic sectional view taken along line FF-FF ′ in FIG. 12A and shows a configuration in which electrodes are formed. 本発明の第2の実施形態に係る反射型の液晶装置の構成を示す略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structure of the reflection type liquid crystal device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. Aは、同実施形態にあって背面側に位置する基板における開口部の位置関係を示す部分平面図である。Bは、図14Aにおける線Y−Y’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。Cは、図14Aにおける線Z−Z’線についての概略断面図であって、電極まで形成した構成を示す図である。FIG. 4A is a partial plan view showing the positional relationship of openings in a substrate located on the back side in the same embodiment. FIG. 14B is a schematic cross-sectional view taken along line Y-Y ′ in FIG. 14A and shows a configuration in which electrodes are formed. FIG. 14C is a schematic cross-sectional view taken along line Z-Z ′ in FIG. 14A and shows a configuration in which electrodes are formed. Aは、同実施形態において背面側に位置する基板として適用可能な構成を示す部分平面図である。Bは、図15Aにおける線AA−AA’線についての概略断面図である。Cは、図15Aにおける線BB−BB’線についての概略断面図である。A is a partial top view which shows the structure applicable as a board | substrate located in the back side in the embodiment. FIG. 15B is a schematic sectional view taken along line AA-AA ′ in FIG. 15A. C is a schematic cross-sectional view taken along line BB-BB ′ in FIG. 15A. Aは、透過型表示における各色着色層の特性を示す図である。Bは、反射型表示における各色着色層の特性を示す図である。A is a figure which shows the characteristic of each color colored layer in a transmissive display. B is a figure which shows the characteristic of each color colored layer in reflection type display. Aは、同実施形態にあって背面側に位置する基板の一例における開口部の位置関係を示す部分平面図である。Bは、図17Aにおける線N−N’線についての概略断面図である。Cは、図17Aにおける線O−O’線についての概略断面図である。FIG. 4A is a partial plan view showing a positional relationship of openings in an example of a substrate located on the back side in the embodiment. FIG. 17B is a schematic cross-sectional view taken along line N-N ′ in FIG. C is a schematic cross-sectional view taken along line O-O ′ in FIG. 17A. Aは、実施形態に係る液晶装置を適用した携帯情報機器の構成を示す斜視図である。Bは、実施形態に係る液晶装置を適用した携帯電話の構成を示す斜視図である。Cは、実施形態に係る液晶装置を適用したウォッチの構成を示す斜視図である。FIG. 2A is a perspective view illustrating a configuration of a portable information device to which a liquid crystal device according to an embodiment is applied. FIG. 7B is a perspective view illustrating a configuration of a mobile phone to which the liquid crystal device according to the embodiment is applied. C is a perspective view illustrating a configuration of a watch to which the liquid crystal device according to the embodiment is applied. Aは、一般的なパッシブマトリクス方式の液晶装置の構成を示す概略平面図である。Bは、同液晶装置における基板に隣接する液晶分子の配向方向と、液晶層のバルクにおける液晶分子の配向方向とを示す平面図である。Cは、電圧無印加時における図19Aの線GG−GG’についての概略断面図である。Dは、電圧印加時における図19Aの線GG−GG’についての概略断面図である。A is a schematic plan view showing a configuration of a general passive matrix liquid crystal device. B is a plan view showing the alignment direction of the liquid crystal molecules adjacent to the substrate in the liquid crystal device and the alignment direction of the liquid crystal molecules in the bulk of the liquid crystal layer. C is a schematic cross-sectional view taken along line GG-GG ′ of FIG. 19A when no voltage is applied. FIG. 19D is a schematic cross-sectional view taken along line GG-GG ′ in FIG. 19A when a voltage is applied.

Claims (2)

第1の基板と第2の基板との間に液晶層を挟持し、複数の画素領域を有してなり、観察側から入射した光が前記複数の画素領域で反射される反射型表示と、背面側から入射した光が前記複数の画素領域を透過する透過型表示とを行う液晶装置であって、
前記複数の画素領域に対応した開口領域を有する遮光膜と、
前記遮光膜の開口領域の全周にわたって前記遮光膜が反射膜に対して観察側となるように前記遮光膜と重なり、かつ、前記遮光膜の開口領域内において、前記遮光膜の開口領域内の一部に設けられた前記反射膜と、
前記遮光膜の開口領域内において、前記反射膜が設けられた領域の一部と前記反射膜が設けられていない領域に重なるように設けられ、かつ、前記遮光膜の全体に重なるように設けられた着色層と、
を具備し、
前記遮光膜の開口領域内において、透過型表示において前記反射膜が設けられていない領域に位置する前記着色層により着色される光の波長に対する透過率の関係を示す光透過特性と、反射型表示において前記反射膜が設けられた領域に位置する前記着色層により着色される光および前記反射膜が設けられた領域の前記着色層が設けられない領域により着色されない光を合わせた平均光の波長に対する透過率の関係を示す光透過特性とが異なっており、
反射型表示における前記反射膜が設けられた領域に位置する前記着色層により着色される光および前記反射膜が設けられた領域の前記着色層が形成されない領域により着色されない光を合わせた平均光の前記光透過特性における最低透過率は、透過型表示における前記反射膜が設けられていない領域に位置する前記着色層により着色される光の前記光透過特性における最低透過率よりも高いことを特徴とする液晶装置。
A liquid crystal layer sandwiched between the first substrate and the second substrate, Ri Na has a plurality of pixel areas, the reflective display and the light incident from the observation side is reflected by the plurality of pixel areas A liquid crystal device that performs transmissive display in which light incident from the back side is transmitted through the plurality of pixel regions ,
A light shielding film having an opening region corresponding to the plurality of pixel regions;
The light shielding film overlaps with the light shielding film so as to be on the observation side with respect to the reflective film over the entire circumference of the opening area of the light shielding film, and within the opening area of the light shielding film, within the opening area of the light shielding film. said reflective film provided on a part,
In the opening area of the light shielding film, the light shielding film is provided so as to overlap a part of the area where the reflective film is provided and the area where the reflective film is not provided , and so as to overlap the entire light shielding film. A colored layer,
Comprising
The opening area of the light shielding film, the light transmission characteristics showing transmittance relationship to the wavelength of light to be colored by the coloring layer located in a region where the reflective film is not provided in the transmissive display, reflective display In the wavelength of the average light of the light colored by the colored layer located in the region where the reflective film is provided and the light which is not colored by the region where the colored layer is not provided in the region where the reflective film is provided It is different from the light transmission characteristics indicating the relationship of transmittance,
In the reflective display, the average light is the sum of the light colored by the colored layer located in the region where the reflective film is provided and the light not colored by the region where the colored layer is not formed in the region where the reflective film is provided. The minimum transmittance in the light transmission characteristics is higher than the minimum transmittance in the light transmission characteristics of light colored by the colored layer located in a region where the reflective film is not provided in a transmissive display. Liquid crystal device.
前記反射膜が設けられていない領域に位置する前記着色層の膜厚が、前記反射膜が設けられた領域に位置する前記着色層の膜厚より厚く形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶装置。 The thickness of the colored layer located in a region where the reflective film is not provided is formed to be thicker than the thickness of the colored layer located in a region where the reflective film is provided. 2. A liquid crystal device according to 1 .
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