JP3824158B2 - Urea detection method - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は尿素検出方法に関し、特には、試料水中の超微量の尿素を選択的に検出することができる尿素検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、電子産業用の洗浄用水には、不純物濃度が非常に低い超純水が必要とされており、近年では０．０５μｍ以上の微粒子数が１０個／ｍＬ以下、金属元素やイオン性成分が１０ｐｐｔ以下、全有機炭素（ＴＯＣ）が５ｐｐｂ以下というような極めて高純度の水質が求められている。しかしながら、塩化物イオンや硝酸イオンなどで測定されるイオン性成分が１０ｐｐｔ以下の高純度の超純水でも、有機物を分解すると塩化物イオンや硫酸イオン、硝酸イオンが最大数ｐｐｂ増加する場合があることが知られている(T.Mizuniwa, K.Kitami, M.Ito, R.Miwa, "Analysis of Organic-combined Chloride, Sulfate and Nitrate Ions in Ultrapure Water", Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, pp. 111-124, 1999.)。これらの成分のうち、硝酸イオンの生成源は、超純水用の原水に含まれる尿素が原因である可能性がある。
【０００３】
また、原水に含まれる尿素は超純水製造装置で十分には除去されないで、ｐｐｂ台の濃度ではあるが超純水にまで混入し、水質が変動した例が報告されている。半導体製造工程に供給された超純水に含まれる尿素が加水分解して生成するアンモニアが、超微細な半導体の加工における最も重要なリソグラフの工程においてレジストの異常感光をもたらして致命的な影響を及ぼすおそれがあることが指摘されている(John Rydzewski, Identification of a Critical UPW Contaminant by Applying an Understanding of Different TOC Measuring Technologies, Proceedings for Water Tec 2001-Portland, Oregon.)。
【０００４】
以上から、半導体や液晶製造用の超純水に含まれる尿素を正確に検出し、その濃度を正確に測定することが、半導体製造工場の安定稼動のために重要であると言える。
【０００５】
従来から、水中の尿素濃度を分析する方法として、窒素ガス体積分析法、分解後に生成するＮＨ３を滴定で定量する方法、α−イソニトロプロピオフェノン、ジアセチルモノオキシムその他の試薬を利用する吸光光度法（日本分析化学会編
分析化学便覧 改定４版 Ｐ７１７）などが知られている。
【０００６】
しかしながら、上記の方法の多くは、血液や尿中の尿素を測定するために用いられており、検出できる下限の濃度が高く、純水中のμｇ／Ｌ程度の濃度を検出するためには不十分であり、μｇ／Ｌレベルの尿素を再現性良く分析できる高感度の分析法が必要である。
【０００７】
また従来、試料水中のアンモニウムイオンを分析することにより試料水中の窒素を検出する検出方法が知られている。この種の検出方法の例としては、例えば特開２００１−８３１３４号公報に記載されたものがある。試料水中の尿素を検出するために、この特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法を適用することが考えられる。試料水中の尿素を検出するために特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法が適用される場合には、試料水に対して薬品が添加された状態で試料水中の尿素を加水分解させることによってアンモニウムイオンが生成せしめられ、そのアンモニウムイオンを分析することによって試料水中の尿素が検出される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法が尿素の検出に適用され、試料水に対して薬品が添加された状態でアンモニウムイオンが生成せしめられると、試料水中の尿素以外の窒素含有有機物も分解せしめられ、それに伴うアンモニウムイオンが生成せしめられてしまう。そのため、特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法を尿素の検出に適用することによっては、試料水中の尿素を選択的に検出することができない。
【０００９】
また、特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法では、イオンクロマトグラフを用いてアンモニウムイオンが分析されているものの、試料水に対して薬品が添加されない状態ではなく、試料水に対して薬品が添加された状態で生成せしめられたアンモニウムイオンがイオンクロマトグラフによって分析されている。そのため、特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法におけるイオンクロマトグラフによっては、超微量のアンモニウムイオンを分析することができず、せいぜいｐｐｍ（ｍｇ／Ｌ）レベルのアンモニウムイオンしか分析することができない。
【００１０】
前記問題点に鑑み、本発明は試料水中の超微量の尿素を選択的に検出することができる尿素検出方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明によれば、試料水中のアンモニウムイオンを分析することにより試料水中の尿素を検出する尿素検出方法において、試料水に対して薬品を添加することなく試料水中の尿素を加水分解させることによってアンモニウムイオンを生成させ、次いで、そのアンモニウムイオンを分析することにより試料水中の尿素を検出する方法であって、前記試料水が純水であり、アンモニウムイオンをイオンクロマトグラフによって分析することを特徴とする尿素検出方法が提供される。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、前記純水が超純水であり、尿素の濃度が１００ｐｐｂ以下であることを特徴とする請求項１に記載の尿素検出方法が提供される。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、試料水に対して薬品を添加することなく試料水を加圧しかつ加熱することによってアンモニウムイオンを生成させることを特徴とする請求項１又は２に記載の尿素検出方法が提供される。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、試料水を８０〜１３０℃の温度で１５〜６０分間加熱することを特徴とする請求項３に記載の尿素検出方法が提供される。
請求項５に記載の発明によれば、試料水に対して薬品を添加することなく試料水に対してオートクレーブ処理を行うことによってアンモニウムイオンを生成させることを特徴とする請求項３又は４に記載の尿素検出方法が提供される。
請求項６に記載の発明によれば、試料水をチューブ内に加圧注入しながら加熱することによってアンモニウムイオンを生成させることを特徴とする請求項３又は４に記載の尿素検出方法が提供される。
請求項７に記載の発明によれば、前もって既知濃度の尿素を同じ条件で加熱して尿素濃度とアンモニウムイオン濃度との関係を示す検量線を作成しておき、検量線に基づいて尿素濃度を求めることを特徴とする請求項３〜６のいずれか一項に記載の尿素検出方法が提供される。
【００１５】
請求項１〜７に記載の尿素検出方法では、試料水に対して薬品を添加することなく試料水中の尿素を加水分解させることによってアンモニウムイオンが生成せしめられ、次いで、そのアンモニウムイオンを分析することにより試料水中の尿素が検出される。つまり、請求項１〜７に記載の尿素検出方法において加水分解によって生成せしめられたアンモニウムイオンには、尿素以外の窒素含有有機物の加水分解によって生成せしめられたアンモニウムイオンが含まれていない。そのため、特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法を尿素の検出に適用した場合とは異なり、試料水中の尿素を選択的に検出することができる。
【００１６】
詳細には、例えば、試料水に対して薬品を添加することなく試料水に対してオートクレーブ処理が行われ、それにより、試料水中の尿素が加水分解せしめられてアンモニウムイオンが生成せしめられる。次いで、そのアンモニウムイオンを分析することにより、試料水中の尿素が検出される。
【００１７】
あるいは、試料水に対して薬品を添加することなく試料水がチューブ内に加圧注入されながら加熱され、それにより、試料水中の尿素が加水分解せしめられてアンモニウムイオンが生成せしめられる。次いで、そのアンモニウムイオンを分析することにより、試料水中の尿素が検出される。
【００１９】
請求項１〜７に記載の尿素検出方法では、試料水に対して薬品を添加することなく生成せしめられたアンモニウムイオンがイオンクロマトグラフによって分析される。そのため、試料水に対して薬品を添加した状態でアンモニウムイオンが生成せしめられ、そのアンモニウムイオンがイオンクロマトグラフによって分析される特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法とは異なり、超微量のアンモニウムイオンを分析することができる。それにより、試料水中の超微量の尿素を選択的に検出することができる。また、尿素を加水分解させることなく試料水中の超微量の尿素を選択的に検出しようとする場合よりも簡単な方法によって試料水中の超微量の尿素を選択的に検出することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を用いて本発明の実施形態について説明する。
【００２１】
水に溶解している尿素は加温されると次式のように変化してアンモニアを生じることが知られている。
２（ＮＨ２）２ＣＯ→Ｈ２ＮＣＯＮＨＣＯＮＨ２＋ＮＨ３
（ＮＨ２）２ＣＯ＋Ｈ２Ｏ→２ＮＨ３＋ＣＯ２
【００２２】
すなわち、薬剤を添加せずに温度を上げることだけで尿素が分解し、アンモニアが生じることになり、アンモニアを高感度で分析することができれば尿素を定量することができる。
【００２３】
水中で生じたアンモニアはすぐにアンモニウムイオンとなるから、微量分析技術を使用してアンモニウムイオンを分析すれば微量の尿素を分析できることになる。微量のアンモニウムイオンの分析はイオンクロマトグラフを用いれば１μｇ／Ｌ以下まで分析することが可能になる。
【００２４】
そこで、本発明の尿素検出方法の一実施形態では、試料水に対して薬品を添加することなく試料水中の尿素を加水分解させることによってアンモニウムイオンが生成せしめられ、次いで、そのアンモニウムイオンを分析することにより試料水中の尿素が検出される。
【００２５】
具体的には、試料水が８０〜１３０℃の温度で１５〜６０分間加熱され、次いで、イオンクロマトグラフ装置を用いてアンモニウムイオンの濃度が測定される。加熱前のアンモニウムイオン濃度も予め測定しておき、加熱によって増加したアンモニウムイオン濃度が求められる。前もって既知濃度の尿素を同じ条件で加熱して尿素濃度とアンモニウムイオン濃度との関係を示す検量線を作成しておき、検量線に基づいて尿素濃度が求められる。
【００２６】
加熱方法としては、試料水中の尿素の加水分解反応を確実に進めるために、試料水に対してオートクレーブ処理が行われる。オートクレーブ処理によれば、試料水が加圧下で１００℃以上に加温される。
【００２７】
本実施形態では、上述したようにオートクレーブ処理によって試料水中の尿素が加水分解せしめられるが、他の実施形態では、大気圧下での温浴により試料水中の尿素を加水分解させることも可能である。更に他の実施形態では、加圧ポンプと耐圧加熱容器と圧力調整機構とを備えた連続加熱処理装置を用いて試料水中の尿素を加水分解させることも可能である。詳細には、試料水がチューブ内に加圧注入されながら加熱される。
【００２８】
上述したように試料水中の尿素を加水分解させることによって生成せしめられたアンモニウムイオンは、次いで、イオンクロマトグラフを用いて分析され、それにより、試料水中の尿素が定量される。イオンクロマトグラフを用いた分析が行われる時には、空気中からのアンモニウムイオンの汚染混入が防止される。
【００２９】
（実施例）
超純水に尿素を１ｐｐｂから１００ｐｐｂまで段階的に取り、その溶液をステンレス製密閉容器に入れて、オートクレーブ装置（加熱滅菌器）にて、１２０℃、６０分の条件で加熱処理した。冷却後の容器内の試料水および加熱前の溶液について、陽イオン用のイオンクロマトグラフを用いてアンモニウムイオンの濃度を分析した。分析操作は濃縮時間１０分で濃縮分析を行った。この分析結果を表１に示し、それをグラフ化したものを図１に示す。
【００３０】
【表１】
分解前の尿素溶液からはアンモニウムイオンは全く検出されなかったが、それを加熱した溶液からはアンモニウムイオンが検出され、しかも検出されたアンモニウムイオン濃度は超純水に添加された尿素の濃度に比例することがわかった。このことは、一定の割合で尿素の分解反応が進んでいることを示しており、溶液作成に使用した超純水には尿素がほとんど含まれていないこともわかった。すなわち、上述した条件で処理すれば、１０ｐｐｂ以下の非常に低い濃度の尿素も測定できることがわかった。
【００３２】
上記標準溶液作成用の超純水とは異なる装置で製造された純水を試料水としてステンレス製容器に取り、これを１２０℃、６０分の条件で加熱処理し、上述した条件と同じ条件でアンモニウムイオンを分析した。その結果、熱処理前には検出されなかったアンモニウムイオンが、熱処理後には試料水中に２．２ｐｐｂ検出された。この濃度から図１に示した検量線を用いて尿素の濃度を求めると７．５ｐｐｂとなった。すなわち、純水中の１０ｐｐｂ以下の尿素を検出することができた。
【００３３】
【発明の効果】
請求項１〜７に記載の発明によれば、特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法を尿素の検出に適用した場合とは異なり、試料水中の尿素を選択的に検出することができる。
【００３４】
請求項１〜７に記載の発明によれば、試料水に対して薬品を添加した状態でアンモニウムイオンが生成せしめられ、そのアンモニウムイオンがイオンクロマトグラフによって分析される特開２００１−８３１３４号公報に記載された検出方法とは異なり、超微量のアンモニウムイオンを分析することができる。それにより、試料水中の超微量の尿素を選択的に検出することができる。つまり、試料水中の１０ｐｐｂ以下の低濃度の尿素も精度良く分析することができ、以前は検出できなかった新たな水質指標として水質管理に役立てることができ、例えば半導体製造工程の安定操業に寄与できる。また、尿素を加水分解させることなく試料水中の超微量の尿素を選択的に検出しようとする場合よりも簡単な方法によって試料水中の超微量の尿素を選択的に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例におけるアンモニウムイオン濃度の分析結果を示した図である。[0001]
[Technical field to which the invention belongs]
The present invention relates to a urea detection method, and more particularly to a urea detection method capable of selectively detecting an extremely small amount of urea in sample water.
[0002]
[Prior art]
For example, cleaning water for the electronics industry requires ultra-pure water with a very low impurity concentration. In recent years, the number of fine particles of 0.05 μm or more is 10 particles / mL or less, and metal elements and ionic components are contained. There is a demand for extremely high-purity water quality such as 10 ppt or less and total organic carbon (TOC) of 5 ppb or less. However, even if high purity ultrapure water having an ionic component measured by chloride ion or nitrate ion of 10 ppt or less, chloride ions, sulfate ions and nitrate ions may increase by a maximum of several ppb when organic substances are decomposed. (T. Mizuniwa, K. Kitami, M. Ito, R. Miwa, "Analysis of Organic-combined Chloride, Sulfate and Nitrate Ions in Ultrapure Water", Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, pp. 111 -124, 1999.). Among these components, the nitrate ion generation source may be caused by urea contained in the raw water for ultrapure water.
[0003]
In addition, it has been reported that urea contained in raw water is not sufficiently removed by the ultrapure water production apparatus, but is mixed into ultrapure water even though its concentration is on the order of ppb, and the water quality has changed. Ammonia produced by hydrolysis of urea contained in ultrapure water supplied to the semiconductor manufacturing process causes abnormal photosensitivity of the resist in the most important lithographic process in the processing of ultrafine semiconductors, and has a fatal effect. (John Rydzewski, Identification of a Critical UPW Contaminant by Applying an Understanding of Different TOC Measuring Technologies, Proceedings for Water Tec 2001-Portland, Oregon.).
[0004]
From the above, it can be said that it is important for the stable operation of a semiconductor manufacturing plant to accurately detect urea and accurately measure its concentration in ultrapure water for semiconductor and liquid crystal manufacturing.
[0005]
Conventionally, as a method for analyzing urea concentration in water, nitrogen gas volume analysis method, method of quantitatively determining NH 3 produced after decomposition, absorption using α-isonitropropiophenone, diacetyl monooxime and other reagents The photometric method (Analytical Chemistry Handbook revised 4th edition P717 edited by Japan Analytical Chemical Society) is known.
[0006]
However, many of the above methods are used to measure urea in blood and urine, and the lower limit of the detectable concentration is high, and it is not possible to detect a concentration of about μg / L in pure water. There is a need for a highly sensitive analytical method that is sufficient and capable of analyzing urea at the μg / L level with good reproducibility.
[0007]
Conventionally, a detection method for detecting nitrogen in sample water by analyzing ammonium ions in the sample water is known. An example of this type of detection method is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-83134. In order to detect urea in sample water, it is possible to apply the detection method described in this Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-83134. When the detection method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-83134 is applied to detect urea in the sample water, the urea in the sample water is hydrolyzed with a chemical added to the sample water. Thus, ammonium ions are generated, and urea in the sample water is detected by analyzing the ammonium ions.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the detection method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-83134 is applied to the detection of urea and ammonium ions are generated in a state where chemicals are added to the sample water, nitrogen other than urea in the sample water is generated. The contained organic matter is also decomposed and accompanying ammonium ions are generated. Therefore, urea in the sample water cannot be selectively detected by applying the detection method described in JP 2001-83134 A to urea detection.
[0009]
In addition, in the detection method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-83134, although ammonium ions are analyzed using an ion chromatograph, the chemical is not added to the sample water. Ammonium ions generated in the state where chemicals are added are analyzed by ion chromatography. Therefore, depending on the ion chromatograph in the detection method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-83134, it is impossible to analyze an extremely small amount of ammonium ions, and only analyze ammonium ions at a ppm (mg / L) level at most. I can't.
[0010]
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a urea detection method capable of selectively detecting an extremely small amount of urea in sample water.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the invention, in the urea detection method for detecting urea in the sample water by analyzing ammonium ions in the sample water, the urea in the sample water is added without adding chemicals to the sample water. A method for generating ammonium ions by decomposition and then detecting urea in the sample water by analyzing the ammonium ions , wherein the sample water is pure water and the ammonium ions are analyzed by an ion chromatograph The urea detection method characterized by this is provided.
[0012]
According to a second aspect of the present invention, there is provided the urea detection method according to the first aspect, wherein the pure water is ultrapure water and the concentration of urea is 100 ppb or less .
[0013]
According to the invention described in claim 3, ammonium ions are generated by pressurizing and heating the sample water without adding chemicals to the sample water. A urea detection method is provided.
[0014]
According to invention of Claim 4, sample water is heated for 15 to 60 minutes at the temperature of 80-130 degreeC, The urea detection method of Claim 3 characterized by the above-mentioned is provided.
According to invention of Claim 5, ammonium ion is produced | generated by performing an autoclave process with respect to sample water, without adding a chemical | medical agent with respect to sample water, Claim 3 or 4 characterized by the above-mentioned. A method for detecting urea is provided.
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the urea detection method according to the third or fourth aspect, wherein ammonium ions are generated by heating the sample water while being pressurized and injected into the tube. The
According to the seventh aspect of the present invention, a calibration curve showing the relationship between the urea concentration and the ammonium ion concentration is prepared in advance by heating urea of a known concentration under the same conditions, and the urea concentration is determined based on the calibration curve. It is calculated | required, The urea detection method as described in any one of Claims 3-6 provided.
[0015]
In the urea detection method according to any one of claims 1 to 7 , ammonium ions are generated by hydrolyzing urea in sample water without adding chemicals to the sample water, and then the ammonium ions are analyzed. Thus, urea in the sample water is detected. That is, ammonium ions generated by hydrolysis in the urea detection method according to claims 1 to 7 do not include ammonium ions generated by hydrolysis of nitrogen-containing organic substances other than urea. Therefore, unlike the case where the detection method described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-83134 is applied to the detection of urea, urea in the sample water can be selectively detected.
[0016]
Specifically, for example, autoclaving is performed on the sample water without adding a chemical to the sample water, whereby urea in the sample water is hydrolyzed to generate ammonium ions. Next, urea in the sample water is detected by analyzing the ammonium ions.
[0017]
Alternatively, the sample water is heated while being pressurized and injected into the tube without adding a chemical to the sample water, whereby urea in the sample water is hydrolyzed to produce ammonium ions. Next, urea in the sample water is detected by analyzing the ammonium ions.
[0019]
In the urea detection method according to any one of claims 1 to 7 , ammonium ions generated without adding chemicals to the sample water are analyzed by an ion chromatograph. Therefore, unlike the detection method described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-83134, ammonium ions are generated in a state where chemicals are added to the sample water, and the ammonium ions are analyzed by ion chromatography. The ammonium ion can be analyzed. Thereby, it is possible to selectively detect an extremely small amount of urea in the sample water. In addition, it is possible to selectively detect an extremely small amount of urea in the sample water by a simpler method than when trying to selectively detect an extremely small amount of urea in the sample water without hydrolyzing urea.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0021]
It is known that urea dissolved in water changes to the following formula when heated to produce ammonia.
2 (NH 2 ) 2 CO → H 2 NCONHCONH 2 + NH 3
(NH 2 ) 2 CO + H 2 O → 2NH 3 + CO 2
[0022]
That is, urea is decomposed and ammonia is generated only by raising the temperature without adding a drug, and urea can be quantified if ammonia can be analyzed with high sensitivity.
[0023]
Since ammonia generated in water immediately becomes ammonium ions, trace amounts of urea can be analyzed by analyzing ammonium ions using trace analysis techniques. Trace amounts of ammonium ions can be analyzed up to 1 μg / L or less using an ion chromatograph.
[0024]
Therefore, in one embodiment of the urea detection method of the present invention, ammonium ions are generated by hydrolyzing urea in the sample water without adding chemicals to the sample water, and then the ammonium ions are analyzed. As a result, urea in the sample water is detected.
[0025]
Specifically, the sample water is heated at a temperature of 80 to 130 ° C. for 15 to 60 minutes, and then the concentration of ammonium ions is measured using an ion chromatograph apparatus. The ammonium ion concentration before heating is also measured in advance, and the ammonium ion concentration increased by heating is determined. A calibration curve showing the relationship between urea concentration and ammonium ion concentration is prepared in advance by heating a known concentration of urea under the same conditions, and the urea concentration is obtained based on the calibration curve.
[0026]
As a heating method, autoclaving is performed on the sample water in order to surely advance the hydrolysis reaction of urea in the sample water. According to the autoclave treatment, the sample water is heated to 100 ° C. or higher under pressure.
[0027]
In this embodiment, as described above, urea in the sample water is hydrolyzed by the autoclave treatment, but in other embodiments, urea in the sample water can be hydrolyzed by a warm bath under atmospheric pressure. In still another embodiment, urea in the sample water can be hydrolyzed using a continuous heat treatment apparatus that includes a pressure pump, a pressure-resistant heating container, and a pressure adjustment mechanism. Specifically, the sample water is heated while being injected under pressure into the tube.
[0028]
The ammonium ions produced by hydrolyzing urea in the sample water as described above are then analyzed using an ion chromatograph, whereby the urea in the sample water is quantified. When analysis using an ion chromatograph is performed, contamination of ammonium ions from the air is prevented.
[0029]
(Example)
Urea was taken in ultrapure water stepwise from 1 ppb to 100 ppb, and the solution was placed in a stainless steel sealed container and heat-treated in an autoclave apparatus (heat sterilizer) at 120 ° C. for 60 minutes. About the sample water in the container after cooling, and the solution before a heating, the density | concentration of ammonium ion was analyzed using the ion chromatograph for cations. The analysis was conducted for concentration analysis with a concentration time of 10 minutes. The analysis results are shown in Table 1, and a graph of the results is shown in FIG.
[0030]
[Table 1]
No ammonium ions were detected in the urea solution before decomposition, but ammonium ions were detected in the heated solution, and the detected ammonium ion concentration was proportional to the concentration of urea added to ultrapure water. I found out that This indicates that the decomposition reaction of urea proceeds at a constant rate, and it was also found that the ultrapure water used for preparing the solution contained almost no urea. That is, it was found that if the treatment was performed under the above-described conditions, a very low concentration of urea of 10 ppb or less could be measured.
[0032]
Pure water produced by a device different from the ultrapure water used for preparing the standard solution is taken as a sample water in a stainless steel container, and this is heat-treated at 120 ° C. for 60 minutes, under the same conditions as described above. Ammonium ions were analyzed. As a result, ammonium ions that were not detected before the heat treatment were detected at 2.2 ppb in the sample water after the heat treatment. The urea concentration obtained from this concentration using the calibration curve shown in FIG. 1 was 7.5 ppb. That is, urea of 10 ppb or less in pure water could be detected.
[0033]
【The invention's effect】
According to the first to seventh aspects of the invention, unlike the case where the detection method described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-83134 is applied to the detection of urea, urea in the sample water can be selectively detected. it can.
[0034]
According to the invention described in claims 1 to 7 , in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-83134, ammonium ions are generated in a state where chemicals are added to sample water, and the ammonium ions are analyzed by ion chromatography. Unlike the detection methods described, ultra trace amounts of ammonium ions can be analyzed. Thereby, it is possible to selectively detect an extremely small amount of urea in the sample water. That is, low concentration urea of 10 ppb or less in sample water can be analyzed with high accuracy, and can be used for water quality management as a new water quality index that could not be detected before, for example, can contribute to stable operation of the semiconductor manufacturing process. . In addition, it is possible to selectively detect an extremely small amount of urea in the sample water by a simpler method than when trying to selectively detect an extremely small amount of urea in the sample water without hydrolyzing urea.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a graph showing the results of analysis of ammonium ion concentration in an example.
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