JP3807797B2

JP3807797B2 - Fluid control valve

Info

Publication number: JP3807797B2
Application number: JP27193496A
Authority: JP
Inventors: 代喜佐原
Original assignee: 大野ベロー工業株式会社
Priority date: 1996-10-15
Filing date: 1996-10-15
Publication date: 2006-08-09
Anticipated expiration: 2016-10-15
Also published as: JPH10122422A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の流れを開閉制御するための流体制御弁に関し、特に、半導体製造装置などの工業用ガス供給ラインに用いられてその開閉状態を表示する表示機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造装置にあっては、シリコンウェーハの表面に形成されているフォトレジスタパターンをマスクとしてその下の薄膜を所望の形状となるように除去するエッチング処理が行われる。そして、このエッチング処理が行うためには複数種類の工業用ガスが必要であり、この半導体製造装置には工業用ガス供給ラインが設けられている。
【０００３】
図８に半導体製造装置などの工業用ガス供給ラインに用いられる従来の流体制御弁の断面を示す。
【０００４】
図８に示すように、弁本体001にはガス流体が流通する前後一対のガス流路002，003が形成されると共に、このガス流路002，003と直交するように弁棒支持孔004が形成されており、ガス流路002，003の各端部がこの弁棒支持孔004に連通している。そして、ガス流路002と弁棒支持孔004との連通部にはこのガス流路002を囲繞するようにリング状の弁座シート005が固定されている。また、弁本体001の弁棒支持孔004には筒状のボンネット006が嵌合され、このボンネット006はボンネットナット007によって弁本体001に固定されている。そして、弁本体001の弁棒支持孔004の奥部にはダイヤフラム008が装着され、このボンネット006の先端部によって外周部が保持されている。
【０００５】
ボンネット006内にはスリーブ009を介して弁棒010が挿入され、上端部がＥリング011が係止されている。そして、弁棒010の先端部には上下一対の嵌合部012，013が形成されると共にその間にＯリング014が装着され、ボンネット006の内周面に軸方向移動自在に嵌合している。また、スリーブ009の下端と嵌合部012との間にはスプリング015が介装されている。そして、この弁棒010の先端部とダイヤフラム008との間のボンネット006内にはスラストパッド016が嵌入されている。一方、スリーブ009は外周面がボンネット006の内周面とねじ部017によって螺合しており、且つ、上端部はボンネット006の外部に突出しており、ここにハンドル017が固定ピン018によって取付けられている。
【０００６】
また、ボンネット006の外周部にはインジケータ019が固定されており、このインジケータ019のフランジ部019aには「OPEN」と「SHUT」と記載された表示部020a，020bが設けられている。一方、ハンドル017の上面部にはネームプレート021が固定され、このネームプレート021には表示窓021aが形成されている。
【０００７】
従って、図８に示すように、弁棒010が上方位置にあって、ダイヤフラム008が弁座シート005から離間した位置では、ガス流路002と003は開放（流通）状態にあって、ネームプレート021の表示窓021aには「OPEN」の表示部020aが表示され、ガス流体はガス流路002から003に流れることができる。この状態から、ハンドル017を回動してスリーブ009とボンネット006とのねじ部により、スリーブ009と共に弁棒010を下方に移動させる。すると、弁棒010の先端部のスラストパッド014がダイヤフラム008を押し下げ変形させることで、このダイヤフラム008が弁座シート005に密着し、ガス流路002を閉じる。このとき、ハンドル017と共にネームプレート021が回動し、表示窓021aと「SHUT」の表示部020bが位置適合して表示され、ガス流体はガス流路002から003に流れることができなくなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の流体制御弁にあっては、ハンドル017を回動して弁棒010を軸方向に移動することで、スラストパッド014を介してダイヤフラム008と弁座シート005とを密着、あるいは、離間してガス流路002，003の開閉操作を行っている。そして、この弁の開放位置と閉止位置とで、ハンドル017は所定角度位置で停止し、このとき、表示窓021aと表示部020a「OPEN」、あるいは、表示窓021aと表示部020b「SHUT」とが位置適合して表示されるようになっている。
【０００９】
ところで、前述したように、ガス流路002，003の閉止時には、図９に示すように、弁棒010は下端位置に移動し、この弁棒010は嵌合部012を介してスプリング015の付勢力によって下方に押され、スラストパッド014を介してダイヤフラム008が弁座シート005に常時押しつけられて密着している。このように弁閉止時には弁座シート005に常時所定の圧力が作用していることから、弁座シート005はプラスチック材であり、図９に二点鎖線で示すように、長期の使用によって変形してしまう。そのため、ダイヤフラム008と弁座シート005との密着位置が変形量Ｓだけ下方にずれることとなる。すると、ハンドル017における弁閉止の角度位置が回動方向にずれ、このハンドル017における弁閉止の角度位置では、表示窓021aと「SHUT」の表示部020bとが位置が適合せず、弁閉止位置を適切に表示することができないという問題がある。
【００１０】
また、高圧ガスを流動する管にこの流体制御弁を設けた場合、ガス圧によって弁の開閉動作力、即ち、ハンドルの回動操作力が大きなものとなり、作業者は表示窓021aの表示を頼りにハンドル操作を終了し、弁開閉操作を行っている。そのため、前述したように、弁座シート005が長期の使用によって変形し、ダイヤフラム008と弁座シート005とが密着して閉止状態となるハンドル017の角度位置がずれると、このハンドル017の表示窓021aと「SHUT」の表示部020bとが適合した位置では、完全な弁閉止位置ではないため、ハンドル操作をここで終了すると弁は閉止されず、作業者による誤操作を発生する虞がある。
【００１１】
本発明はこのような問題を解決するものであって、弁の開閉状態を適切に表示することで誤操作を防止した流体制御弁を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するための本発明の流体制御弁は、流体が流通する流体通路及び該流体通路に連通する弁棒支持孔を有する弁本体と、前記流体通路を囲繞するように設けられた弁座と、前記弁棒支持孔内に軸方向移動自在に支持されると共に基端部が前記弁本体外部に位置して先端部が前記流体通路に臨む弁棒と、該弁棒の先端部に装着されて前記弁座に密着することで前記流体通路を閉止可能な弁体と、前記弁本体外部に位置した前記弁棒の基端部に連結されたハンドルと、該ハンドルの回転によって前記弁棒を前記弁棒支持孔内にて軸方向移動される移動機構とを具えた流体制御弁において、前記弁本体に第１表示部を有する第１インジケータと第２表示部を有する第２インジケータとを互いに相対回転自在に装着する一方、前記ハンドルにその回動位置に応じて前記第１表示部あるいは前記第２表示部のいずれか一方が表示される表示窓を設けると共に、前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第２インジケータを一方方向に回動させ弁閉止位置に位置決めさせる回動部を設けたことを特徴とするものである。
【００１３】
従って、作業者がハンドルを回動すると、移動機構によってこのハンドルと共に弁棒が弁棒支持孔内で軸方向一方に移動し、弁棒の先端部に装着された弁体が弁座に密着することで、流体通路を閉止することとなり、このとき、ハンドルの表示窓と第２インジケータの第２表示部との位置が適合して表示され、流体通路の閉止状態が確認される。一方、この流体通路の閉止状態から作業者がハンドルを前述とは逆方向に回動すると、移動機構によってこのハンドルと共に弁棒が弁棒支持孔内で軸方向他方に移動し、弁棒の先端部に装着された弁体が弁座から離間することで、流体通路を開放することとなり、このとき、ハンドルの表示窓と第１インジケータの第１表示部との位置が適合して表示され、流体通路の開放状態が確認される。そして、弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の閉止位置がずれ、ハンドルにおける閉止角度位置がずれると、このハンドルの閉止方向の回動に伴って回動部が第２インジケータを一方方向に回動させることとなり、この第２インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の閉止位置では、ハンドルの表示窓と第２インジケータの第２表示部との位置は確実に適合して表示され、作業者による誤操作の発生は抑制される。
【００１４】
また、本発明の流体制御弁は、前記第１インジケータと前記第２インジケータは互いに相対回転自在で且つ前記弁本体に対して回動自在であり、前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第１インジケータを一方方向に回動させる第１回動部を設けると共に、前記第２インジケータを他方方向に回動させる第２回動部を設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
従って、弁体の開放位置に弁座が設けられている場合であっても、この弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の開放位置がずれ、ハンドルにおける開放角度位置がずれても、このハンドルの開放方向の回動に伴って第１回動部が第１インジケータを他方方向に回動させることとなり、この第１インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の開放位置では、ハンドルの表示窓と第１インジケータの第１表示部との位置は確実に適合して表示される。
【００１６】
【本発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１７】
図１に本発明の第１実施形態に係る流体制御弁を表す断面、図２に流体制御弁の表示部分を表すハンドルの平面視、図３に第１インジケータの概略、図４に第２インジケータの概略を示す。
【００１８】
本実施形態の流体制御弁において、図１及び図２に示すように、弁本体１１にはガス流体が流通する前後一対のガス流路１２，１３が形成されると共に、このガス流路１２，１３と直交するように弁棒支持孔１４が形成されており、ガス流路１２，１３は連通路１２ａ，１３ａを介してこの弁棒支持孔１４に連通している。そして、ガス流路１２と弁棒支持孔１４との連通部にはこのガス流路１２を囲繞するようにリング状の弁座シート１５が固定されている。また、弁本体１１の弁棒支持孔１４には筒状のボンネット１６が嵌合され、このボンネット１６はボンネットナット１７によって弁本体１１に固定されている。そして、弁本体１１の弁棒支持孔１４の奥部にはダイヤフラム１８が装着され、このダイヤフラム１８はボンネット１６の先端部によって外周部が保持されている。
【００１９】
また、ボンネット１６内には弁棒１９が挿入され、基端部がボンネット１６から外方に突出している。そして、弁棒１９の先端部には上下一対の嵌合部２０，２１が形成されると共にその間にＯリング２２が装着され、ボンネット１６の内周面に軸方向移動自在に嵌合している。そして、この弁棒１９の先端部の嵌合部２１とダイヤフラム１８との間のボンネット１６内にはスラストパッド２３が嵌入されており、弁棒１９の下降によってこのスラストパッド２３を押し下げることで、スラストパッド２３の前面部がダイヤフラム１８を押圧変形して弁座シート１５に密着することができる。
【００２０】
更に、弁棒１９は外周面に雄ねじ部１９ａが形成される一方、ボンネット１６の内周面には雌ねじ部１６ａが形成され、この雄ねじ部１９ａと雌ねじ部１６ａが螺合している。そして、この弁棒１９の基端部にはハンドル２４が嵌合してナット２５によって一体回転可能に固結され、キャップ２６によって隠蔽されている。また、ハンドル２４の下面には係合突起２４ａが一体に形成されている。更に、ボンネット１６の上端外周部には第１インジケータ２７が固定ピン２８によって固定されると共に、この第１インジケータ２７の内周部には第２インジケータ２９が回転自在に嵌合している。一方、ハンドル２４の上面部にはネームプレート３０が固定され、このネームプレート３０には透明の表示窓３１が形成されている。
【００２１】
この第１インジケータ２７は、図３に詳細に示すように、円筒部２７ａの上部にフランジ部２７ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部２７ａの内周面は軸方向に沿って傾斜面２７ｃが形成されると共に、その下部に周方向に沿って嵌合溝２７ｄが形成され、また、取付孔２７ｅが穿設されている。そして、フランジ部２７ｂの上面には「OPEN」と記載された表示部２７ｆが設けられている。一方、第２インジケータ２９は、図４に詳細に示すように、円筒部２９ａの上部に扇形状の鍔部２９ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部２９ａには軸方向に沿った切欠２９ｃが４ヵ所にわたって形成されると共に、その下部外周面に周方向に沿って嵌合突起２９ｄが形成され、また、円筒部２９ａの下部には内方に突出する係止突起２９ｅが形成されている。そして、鍔部２９ｂの上面には「SHUT」と記載された表示部２９ｆが設けられている。
【００２２】
従って、第１インジケータ２７はボンネット１６の上端外周部に嵌合して固定ピン２８によって固定されている。そして、第２インジケータ２９はこの第１インジケータ２７の内周部に上方から挿入され、嵌合突起２９ｄが嵌合溝２７ｄに嵌合することで取付けられ、周方向回転自在となっている。そして、ハンドル２４、第１インジケータ２７、第２インジケータ２９を組み付け後、このハンドル２４を弁閉止方向に回動して弁棒１９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル２４の係合突起２４ａが第２インジケータ２９の係止突起２９ｅに当接してこの第２インジケータ２９を弁閉止方向に回動し、この第２インジケータ２９の表示部２９ｆは弁閉止位置に位置決めされることとなる。なお、第１インジケータ２７の表示部２７ｆはボンネット１６への固定時に弁開放位置に位置決めされる。そのため、ハンドル２４の開放位置ではネームプレート３０の表示窓３１と第１インジケータ２７の表示部２７ｆ「OPEN」とが一致し、ハンドル２４の閉止位置ではネームプレート３０の表示窓３１と第２インジケータ２９の表示部２９ｆ「SHUT」とが一致する。
【００２３】
このように構成された本実施形態の流体制御弁にあって、弁開放状態では、弁棒１９が上方位置にあってダイヤフラム１８が弁座シート１５から離間した位置にあるので、ガス流路１２と１３は流通しており、ネームプレート３０の表示窓３１には第１インジケータ２７の表示部２７ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流体はガス流路１２から１３に流れることができる。
【００２４】
そして、この弁開放状態から、図１に示すように、ハンドル２４と共に弁棒１９を回動し、雄ねじ部１９ａ及び雌ねじ部１６ａの螺合関係によって弁棒１９をボンネット１６に対して下方に移動させる。すると、弁棒１９は先端側のスラストパッド２３を押し下げ、このスラストパッド２３がダイヤフラム１８を押し下げ変形させることで、このダイヤフラム１８が弁座シート１５に密着し、ガス流路１２を閉じることができる。このとき、ハンドル２４と共にネームプレート３０が同方向に回動することで、ネームプレート３０の表示窓３１には第２インジケータ２９の表示部２９ｆ「SHUT」が表示されることとなり、ガス流体がガス流路１２から１３に流れることができなくなる。
【００２５】
そして、長期の使用によって弁座シート１５が変形し、スラストパッド２３によってダイヤフラム１８を弁座シート１５に密着させる位置がずれ、ハンドル２４における閉止角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル２４を弁閉止方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル２４の係合突起２４ａが第２インジケータ２９の係止突起２９ｅを介してこの第２インジケータ２９を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル２４を回動してスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）を弁座シート１５が変形した位置まで移動させることで、第２インジケータ２９の表示部２９ｆはその位置が弁閉止位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル２４の表示窓３１と第２インジケータ２９の表示部２９ｆとは、常にスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）が弁座シート１５に密着したガス流路１２，１３の閉止位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００２６】
図５に本発明の第２実施形態に係る流体制御弁を表す断面を示す。
【００２７】
本実施形態の流体制御弁において、図５に示すように、弁本体４１にはガス流体が流通する前後一対のガス流路４２，４３が形成されると共に、このガス流路４２，４３と直交するように弁棒支持孔４４が形成されており、ガス流路４２，４３は連通路４２ａ，４３ａを介してこの弁棒支持孔４４に連通している。そして、弁棒支持孔４４にはこのガス流路４２を囲繞するようにリング状の弁座４５が形成されている。また、弁本体４１には弁棒支持孔４４に連通するようにフランジ部材４６を介して筒状のボンネット４７が嵌合され、このボンネット４７はボンネットナット４８によって弁本体４１に固定されている。
【００２８】
また、ボンネット４７内には弁棒４９が挿入され、基端部がボンネット４７から外方に突出している。そして、弁棒４９の中間部には嵌合部５０が形成されると共にＯリング５１が装着され、ボンネット４７の内周面に軸方向移動自在に嵌合している。そして、この弁棒４９の先端部にはフランジ部材４６に軸移動自在に嵌合するディスクホルダ５２が固結され、このディスクホルダ５２の先端部にディスク５３が固定されており、弁棒４９の下降によってこのディスクホルダ５２と共にディスク５３を押し下げることで、このディスク５３の前面部が弁座４５に密着することができる。なお、フランジ部材４６とディスクホルダ５２との間にはベローズ５４が装着され、流体の外部漏れを防止している。
【００２９】
更に、弁棒４９の嵌合部５０は外周面に雄ねじ部５０ａが形成される一方、ボンネット４７の内周面には雌ねじ部４７ａが形成され、この雄ねじ部５０ａと雌ねじ部４７ａが螺合している。そして、この弁棒４９の基端部にはハンドル５５が嵌合してナット５６によって一体回転可能に固結され、キャップ５７によって隠蔽されている。また、ハンドル５５の下面には係合突起５５ａが一体に形成されている。更に、ボンネット４７の上端外周部には第１インジケータ５８が固定ピン５９によって固定されると共に、この第１インジケータ５８の内周部には第２インジケータ６０が回転自在に嵌合している。一方、ハンドル５５の上面部にはネームプレート６１が固定され、このネームプレート６１には透明の表示窓６２が形成されている。
【００３０】
この第１インジケータ５８には嵌合溝５８ｄが形成され、上面に「OPEN」と記載された表示部５８ｆが設けられる一方、第２インジケータ６０には嵌合突起６０ｄが形成されると共に係止突起６０ｅが形成され、上面に「SHUT」と記載された表示部６０ｆが設けられている。
【００３１】
従って、第１インジケータ５８はボンネット４７の上端外周部に嵌合して固定ピン５９によって固定されている。そして、第２インジケータ６０はこの第１インジケータ５８の内周部に上方から挿入され、嵌合突起６０ｄが嵌合溝５８ｄに嵌合することで取付けられ、周方向回転自在となっている。そして、ハンドル５５、第１インジケータ５８、第２インジケータ６０を組み付け後、このハンドル５５を弁閉止方向に回動して弁棒４９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル５５の係合突起５５ａが第２インジケータ６０の係止突起６０ｅに当接してこの第２インジケータ６０を弁閉止方向に回動し、この第２インジケータ６０の表示部６０ｆは弁閉止位置に位置決めされることとなる。なお、第１インジケータ５８の表示部５８ｆはボンネット４７への固定時に弁開放位置に位置決めされる。そのため、ハンドル５５の開放位置ではネームプレート６１の表示窓６２と第１インジケータ５８の表示部５８ｆ「OPEN」とが一致し、ハンドル５５の閉止位置ではネームプレート６１の表示窓６２と第２インジケータ６０の表示部６０ｆ「SHUT」とが一致する。
【００３２】
このように構成された本実施形態の流体制御弁にあって、弁開放状態では、弁棒４９が上方位置にあってディスク５３が弁座４５から離間した位置にあるので、ガス流路４２と４３は流通しており、ネームプレート６１の表示窓６２には第１インジケータ５８の表示部５８ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流体はガス流路４２から４３に流れることができる。
【００３３】
そして、この弁開放状態から、ハンドル５５と共に弁棒４９を回動し、雄ねじ部５０ａ及び雌ねじ部４７ａの螺合関係によって弁棒４９をボンネット４７に対して下方に移動させる。すると、弁棒４９は先端側のディスク５３が弁座４５に密着し、ガス流路４２を閉じることができる。このとき、ハンドル５５と共にネームプレート６１が同方向に回動することで、ネームプレート６１の表示窓６２には第２インジケータ６０の表示部６０ｆ「SHUT」が表示されることとなり、ガス流体がガス流路４２から４３に流れることができなくなる。
【００３４】
そして、長期の使用によってディスク５３の前面部が変形し、ディスク５３が弁座４５に密着する位置がずれ、ハンドル５５における閉止角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル５５を弁閉止方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル５５の係合突起５５ａが第２インジケータ６０の係止突起６０ｅを介してこの第２インジケータ６０を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル５５を回動して変形したディスク５３が弁座４５に密着する位置まで移動させることで、第２インジケータ６０の表示部６０ｆはその位置が弁閉止位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル５５の表示窓６２と第２インジケータ６０の表示部６０ｆとは、常にディスク５３が弁座４５に密着したガス流路４２，４３の閉止位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００３５】
図６に本発明の第３実施形態に係る流体制御弁を表す断面、図７に流体制御弁の表示部分の概略を示す。
【００３６】
本実施形態の流体制御弁は、開閉表示部以外は前述した第１実施形態とほぼ同様の構成となっており、なお、同様の機能を有する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３７】
本実施形態の流体制御弁において、図６に示すように、弁棒１９の基端部にはハンドル７１が嵌合してナット７２によって一体回転可能に固結され、キャップ７３によって隠蔽されている。また、ハンドル７１の下面には係合突起７１ａが一体に形成されている。更に、ボンネット１６の上端外周部には第１インジケータ７４が回転自在に嵌合し、この第１インジケータ７４の内周部には第２インジケータ７５が回転自在に嵌合している。一方、ハンドル７１の上面部にはネームプレート７６が固定され、このネームプレート７６には透明の表示窓７７が形成されている。
【００３８】
この第１インジケータ７４は、図７に詳細に示すように、円筒部７４ａの上部にフランジ部７４ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部７４ａには軸方向に沿った切欠７４ｃが４ヵ所にわたって形成されると共に、その下部が内方に折曲して嵌合部７４ｄが形成されている。そして、フランジ部７４ｂには扇形状の係止突起７４ｅが形成されると共に、上面に「OPEN」と記載された表示部７４ｆが設けられている。一方、第２インジケータ７５も、第１インジケータ７４と同様に、円筒部７５ａの上部に扇形状の鍔部７５ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部７５ａには軸方向に沿った切欠７５ｃが４ヵ所にわたって形成されると共に、その下部が内方に折曲して嵌合部７５ｄが形成されている。そして、フランジ部７５ｂには係止突起７５ｅが形成されると共に、上面に「SHUT」と記載された表示部７５ｆが設けられている。
【００３９】
従って、第１インジケータ７４はボンネット１６の上端外周部に嵌合部７４ｄが嵌合して周方向回転自在となっている。そして、第２インジケータ７５はこの第１インジケータ７４の内側で位置するようにボンネット１６の上端外周部に嵌合部７５ｄが嵌合して周方向回転自在となっている。そして、ハンドル７１、第１インジケータ７４、第２インジケータ７５を組み付け後、まず、このハンドル７１を弁開放方向に回動して弁棒１９を弁開放位置に移動することで、ハンドル７１の係合突起７１ａが第１インジケータ７４の係止突起７４ｅに当接してこの第１インジケータ７１を弁開放方向に回動し、この第１インジケータ７４の表示部７４ｆは弁開放位置に位置決めされることとなる。次に、このハンドル７１を弁閉止方向に回動して弁棒１９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル７１の係合突起７１ａが第２インジケータ７５の係止突起７５ｅに当接してこの第２インジケータ７５を弁閉止方向に回動し、この第２インジケータ７５の表示部７５ｆは弁閉止位置に位置決めされることとなる。そのため、ハンドル７１の開放位置ではネームプレート７６の表示窓７７と第１インジケータ７４の表示部７４ｆ「OPEN」とが一致し、ハンドル７１の閉止位置ではネームプレート７６の表示窓７７と第２インジケータ７５の表示部７５ｆ「SHUT」とが一致する。
【００４０】
このように構成された本実施形態の流体制御弁にあって、図６に示すように、弁開放状態では、弁棒１９が上方位置にあってダイヤフラム１８が弁座シート１５から離間した位置にあるので、ガス流路１２と１３は流通しており、ネームプレート７６の表示窓７７には第１インジケータ７４の表示部７４ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流体はガス流路１２から１３に流れることができる。
【００４１】
そして、この弁開放状態から、ハンドル７１と共に弁棒１９を回動し、雄ねじ部１９ａ及び雌ねじ部１６ａの螺合関係によって弁棒１９をボンネット１６に対して下方に移動させる。すると、弁棒１９は先端側のスラストパッド２３を押し下げ、このスラストパッド２３がダイヤフラム１８を押し下げ変形させることで、このダイヤフラム１８が弁座シート１５に密着し、ガス流路１２を閉じることができる。このとき、ハンドル７１と共にネームプレート７６が同方向に回動することで、ネームプレート７６の表示窓７７には第２インジケータ７５の表示部７５ｆ「SHUT」が表示されることとなり、ガス流体がガス流路１２から１３に流れることができなくなる。
【００４２】
そして、長期の使用によって弁座シート１５が変形し、スラストパッド２３によってダイヤフラム１８を弁座シート１５に密着させる位置がずれ、ハンドル７１における閉止角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル７１を弁閉止方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル７１の係合突起７１ａが第２インジケータ７５の係止突起７５ｅを介してこの第２インジケータ７５を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル７１を回動してスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）を弁座シート１５が変形した位置まで移動させることで、第２インジケータ７５の表示部７５ｆはその位置が弁閉止位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル７１の表示窓７７と第２インジケータ７５の表示部７５ｆとは、常にスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）が弁座シート１５に密着したガス流路１２，１３の閉止位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００４３】
また、長期の使用によって弁開放位置における弁棒１９の嵌合部２０とボンネット１６との接触部が摩耗し、この弁開放位置がずれ、ハンドル７１における開放角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル７１を弁開放方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル７１の係合突起７１ａが第１インジケータ７４の係止突起７４ｅを介してこの第１インジケータ７４を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル７１を回動して弁棒１９を弁開放位置まで移動させることで、第１インジケータ７４の表示部７４ｆはその位置が弁開放位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル７１の表示窓７７と第１インジケータ７５の表示部７４ｆとは、常に弁開放位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００４４】
なお、上述の実施形態において、本発明の流体制御弁を各種の制御弁に適用して説明したが、この実施形態に限定されるものではない。例えば、弁の閉止位置と開放位置の両方に弁座を有するものにおいても適用することができ、この場合、「OPEN」表示部を有する第１インジケータと「SHUT」表示部を有する第２インジケータとの両方を回動自在に装着することで、前述したものと同等の作用効果を得ることができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上、実施形態において詳細に説明したように本発明の流体制御弁によれば、流体が流通する流体通路を有する弁本体にこの流体通路を囲繞するように弁座を設ける一方、弁本体の弁棒支持孔内に弁棒を軸方向移動自在に支持して先端部に弁座に密着することで流体通路を閉止可能な弁体を装着する一方、弁棒の基端部にハンドルを連結してこのハンドルの回転により移動機構を介して弁棒を移動可能とし、弁本体に第１表示部を有する第１インジケータと第２表示部を有する第２インジケータとを互いに相対回転自在に装着する一方、ハンドルにその回動位置に応じて第１表示部あるいは第２表示部のいずれか一方が表示される表示窓を設けると共にハンドルあるいは弁棒に第２インジケータを一方方向に回動させ弁閉止位置に位置決めさせる回動部を設けたので、弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の閉止位置がずれてハンドルにおける閉止角度位置がずれても、このハンドルの閉止方向の回動に伴って回動部が第２インジケータを一方方向に回動させることとなり、この第２インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の閉止位置ではハンドルの表示窓と第２インジケータの第２表示部との位置を確実に適合して表示することができ、作業者による誤操作の発生を防止することができる。
【００４６】
また、本発明の流体制御弁によれば、第１インジケータと第２インジケータを互いに相対回転自在で且つ弁本体に対して回動自在とし、ハンドルあるいは弁棒に第１インジケータを一方方向に回動させる第１回動部を設けると共に第２インジケータを他方方向に回動させる第２回動部を設けたので、弁体の開放位置に弁座が設けられている場合であっても、この弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の開放位置がずれてハンドルにおける開放角度位置がずれても、このハンドルの開放方向の回動に伴って第１回動部が第１インジケータを他方方向に回動させることとなり、この第１インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の開放位置ではハンドルの表示窓と第１インジケータの第１表示部との位置を確実に適合して表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体制御弁を表す断面図である。
【図２】流体制御弁の表示部分を表すハンドルの平面図である。
【図３】第１インジケータの概略図である。
【図４】第２インジケータの概略図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る流体制御弁を表す断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る流体制御弁を表す断面図である。
【図７】流体制御弁の表示部分の概略図である。
【図８】従来の流体制御弁の断面図である。
【図９】従来の流体制御弁における弁閉止状態を表す要部断面図である。
【符号の説明】
１１，４１弁本体
１２，１３，４２，４３ガス流路
１４，４４弁棒支持孔
１５弁座シート
１６，４７ボンネット
１６ａ，４７ａ雌ねじ部（移動機構）
１８ダイヤフラム（弁体）
１９，４９弁棒
１９ａ，５０ａ雄ねじ部（移動機構）
２３スラストパッド
２４，５５，７１ハンドル
２４ａ，５５ａ，７１ａ係合突起（回動部）
２７，５８，７４第１インジケータ
２７ｆ，５８ｆ，７４ｆ表示部
２９，６０，７５第２インジケータ
２９ｅ，６０ｅ，７４ｅ，７５ｅ係止突起
２９ｆ，６０ｆ，７５ｆ表示部
３１，６２，７７表示窓
４５弁座
５３ディスク（弁体）
５４ベローズ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a fluid control valve for controlling opening and closing of a fluid flow, and more particularly to a display mechanism used for an industrial gas supply line such as a semiconductor manufacturing apparatus to display the opening and closing state.
[0002]
[Prior art]
In a semiconductor manufacturing apparatus, an etching process is performed to remove a thin film under a desired shape using a photoresist pattern formed on the surface of a silicon wafer as a mask. And in order to perform this etching process, multiple types of industrial gas is required, and this semiconductor manufacturing apparatus is provided with the industrial gas supply line.
[0003]
FIG. 8 shows a cross section of a conventional fluid control valve used in an industrial gas supply line such as a semiconductor manufacturing apparatus.
[0004]
As shown in FIG. 8, the valve body 001 is formed with a pair of front and rear gas flow paths 002 and 003 through which a gas fluid flows, and a valve rod support hole 004 is formed so as to be orthogonal to the gas flow paths 002 and 003. The end portions of the gas flow paths 002 and 003 communicate with the valve rod support hole 004. A ring-shaped valve seat 005 is fixed to a communication portion between the gas passage 002 and the valve rod support hole 004 so as to surround the gas passage 002. Further, a tubular bonnet 006 is fitted into the valve stem support hole 004 of the valve main body 001, and the bonnet 006 is fixed to the valve main body 001 by a bonnet nut 007. A diaphragm 008 is attached to the back of the valve stem support hole 004 of the valve body 001, and the outer peripheral portion is held by the tip of the bonnet 006.
[0005]
A valve stem 010 is inserted into the bonnet 006 via a sleeve 009, and an E ring 011 is locked at the upper end. A pair of upper and lower fitting portions 012 and 013 is formed at the tip of the valve stem 010, and an O-ring 014 is mounted between the fitting portions 012 and 013. . Further, a spring 015 is interposed between the lower end of the sleeve 009 and the fitting portion 012. A thrust pad 016 is inserted into the bonnet 006 between the tip of the valve stem 010 and the diaphragm 008. On the other hand, the outer surface of the sleeve 009 is screwed with the inner peripheral surface of the bonnet 006 by the screw portion 017, and the upper end portion protrudes to the outside of the bonnet 006. ing.
[0006]
An indicator 019 is fixed to the outer periphery of the bonnet 006, and display portions 020a and 020b described as “OPEN” and “SHUT” are provided on a flange portion 019a of the indicator 019. On the other hand, a name plate 021 is fixed to the upper surface of the handle 017, and a display window 021a is formed on the name plate 021.
[0007]
Therefore, as shown in FIG. 8, when the valve stem 010 is in the upper position and the diaphragm 008 is separated from the valve seat 005, the gas flow paths 002 and 003 are in an open (circulation) state, and the name plate The display window 021a of 021 displays an “OPEN” display portion 020a, and the gas fluid can flow from the gas flow path 002 to 003. From this state, the handle 017 is rotated and the valve rod 010 is moved downward together with the sleeve 009 by the threaded portion of the sleeve 009 and the bonnet 006. Then, the thrust pad 014 at the tip of the valve stem 010 pushes the diaphragm 008 to deform it, so that the diaphragm 008 comes into close contact with the valve seat 005 and closes the gas flow path 002. At this time, the name plate 021 rotates together with the handle 017, the display window 021a and the display section 020b of “SHUT” are displayed in a position-matched manner, and the gas fluid cannot flow from the gas flow path 002 to 003.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
In such a conventional fluid control valve, by rotating the handle 017 and moving the valve stem 010 in the axial direction, the diaphragm 008 and the valve seat 005 are brought into close contact with each other via the thrust pad 014, or The gas flow paths 002 and 003 are opened and closed apart. Then, the handle 017 stops at a predetermined angular position at the opening position and the closing position of the valve, and at this time, the display window 021a and the display section 020a “OPEN” or the display window 021a and the display section 020b “SHUT” Is displayed in a position-matched manner.
[0009]
By the way, as described above, when the gas flow paths 002 and 003 are closed, as shown in FIG. 9, the valve rod 010 moves to the lower end position, and the valve rod 010 is attached to the spring 015 via the fitting portion 012. The diaphragm 008 is constantly pressed against the valve seat 005 through the thrust pad 014 and is in close contact with the valve seat 005. Thus, when the valve is closed, a predetermined pressure is always applied to the valve seat 005. Therefore, the valve seat 005 is a plastic material, and is deformed by long-term use as shown by a two-dot chain line in FIG. End up. Therefore, the close contact position between the diaphragm 008 and the valve seat 005 is shifted downward by the deformation amount S. Then, the angular position of the valve closing at the handle 017 is shifted in the rotation direction. At the angular position of the valve closing at the handle 017, the positions of the display window 021a and the display unit 020b of “SHUT” do not match, and the valve closing position Cannot be displayed properly.
[0010]
In addition, when this fluid control valve is provided in a pipe through which high-pressure gas flows, the opening / closing operation force of the valve, that is, the turning operation force of the handle increases due to the gas pressure, and the operator relies on the display on the display window 021a. At the end of the steering wheel operation, the valve is opened and closed. Therefore, as described above, when the valve seat 005 is deformed by long-term use and the angular position of the handle 017 in which the diaphragm 008 and the valve seat 005 are brought into close contact with each other and the closed position is shifted, the display window of the handle 017 Since the position where 021a and the display unit 020b of “SHUT” are matched is not a complete valve closing position, the valve is not closed when the steering operation is ended here, and there is a possibility that an erroneous operation by the operator may occur.
[0011]
The present invention solves such problems, and an object of the present invention is to provide a fluid control valve that prevents erroneous operation by appropriately displaying the open / closed state of the valve.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-mentioned object, a fluid control valve of the present invention is provided so as to surround a fluid main body having a fluid passage through which a fluid flows and a valve rod support hole communicating with the fluid passage, and the fluid passage. A valve seat that is supported in the valve stem support hole so as to be axially movable, a base end portion located outside the valve body, and a distal end portion facing the fluid passage; and a distal end portion of the valve stem Attached to the valve seat so that the fluid passage can be closed, a handle connected to a base end of the valve stem located outside the valve body, and rotation of the handle A fluid control valve having a moving mechanism for moving a valve stem in an axial direction within the valve stem support hole, wherein the valve body has a first indicator having a first display portion and a second indicator having a second display portion. Are mounted so that they can rotate relative to each other. A display window for displaying either the first display unit or the second display unit is provided on the handle according to the rotation position, and the second indicator is rotated in one direction on the handle or the valve stem. Move Position at the valve closing position A rotating portion is provided.
[0013]
Therefore, when the operator rotates the handle, the valve stem is moved together with the handle in the axial direction in the valve stem support hole by the moving mechanism, and the valve body attached to the tip of the valve stem is in close contact with the valve seat. Thus, the fluid passage is closed. At this time, the positions of the display window of the handle and the second display portion of the second indicator are displayed in conformity, and the closed state of the fluid passage is confirmed. On the other hand, when the operator rotates the handle in the direction opposite to the above from the closed state of the fluid passage, the valve stem moves together with the handle in the axial direction in the valve stem support hole by the moving mechanism, and the tip of the valve stem When the valve body attached to the part is separated from the valve seat, the fluid passage is opened. At this time, the positions of the display window of the handle and the first display part of the first indicator are displayed in conformity, The open state of the fluid passage is confirmed. Then, when the valve seat is deformed by long-term use, the closing position of the fluid passage by the valve body is shifted, and the closing angle position of the handle is shifted, the rotating portion is moved to the second indicator as the handle rotates in the closing direction. The position of the second indicator is changed following the handle, and in the closed position of the fluid passage by the valve body, the display window of the handle and the second display portion of the second indicator are The position is displayed in a consistent manner, and the occurrence of erroneous operations by the operator is suppressed.
[0014]
In the fluid control valve of the present invention, the first indicator and the second indicator are rotatable relative to each other and rotatable relative to the valve body, and the first indicator is attached to the handle or the valve stem. A first rotating portion that rotates in one direction is provided, and a second rotating portion that rotates the second indicator in the other direction is provided.
[0015]
Therefore, even when the valve seat is provided at the opening position of the valve body, the valve seat is deformed by long-term use, the opening position of the fluid passage by the valve body is shifted, and the opening angle position of the handle is shifted. However, as the handle is rotated in the opening direction, the first rotating portion rotates the first indicator in the other direction, and the position of the first indicator is changed following the handle, so that the valve body The position of the handle display window and the first display portion of the first indicator are displayed in a surely adapted manner at the fluid passage opening position.
[0016]
[Embodiments of the Invention]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0017]
FIG. 1 is a sectional view showing a fluid control valve according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a handle showing a display portion of the fluid control valve, FIG. 3 is an outline of a first indicator, and FIG. 4 is a second indicator. The outline of is shown.
[0018]
In the fluid control valve of the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, a pair of front and rear gas passages 12 and 13 through which a gas fluid flows are formed in the valve body 11. A valve rod support hole 14 is formed so as to be orthogonal to 13, and the gas passages 12, 13 communicate with the valve rod support hole 14 via communication passages 12 a, 13 a. A ring-shaped valve seat 15 is fixed to a communication portion between the gas passage 12 and the valve rod support hole 14 so as to surround the gas passage 12. A tubular bonnet 16 is fitted into the valve stem support hole 14 of the valve body 11, and the bonnet 16 is fixed to the valve body 11 by a bonnet nut 17. A diaphragm 18 is attached to the back of the valve stem support hole 14 of the valve body 11, and the outer periphery of the diaphragm 18 is held by the tip of the bonnet 16.
[0019]
Further, a valve rod 19 is inserted into the bonnet 16, and a base end portion projects outward from the bonnet 16. A pair of upper and lower fitting portions 20, 21 are formed at the tip of the valve stem 19, and an O-ring 22 is mounted therebetween, and is fitted to the inner peripheral surface of the bonnet 16 so as to be movable in the axial direction. . A thrust pad 23 is inserted into the bonnet 16 between the fitting portion 21 at the tip of the valve stem 19 and the diaphragm 18, and the thrust pad 23 is pushed down by the lowering of the valve stem 19. The front surface portion of the thrust pad 23 can press and deform the diaphragm 18 to be in close contact with the valve seat 15.
[0020]
Further, the valve rod 19 has a male screw portion 19a formed on the outer peripheral surface thereof, and a female screw portion 16a formed on the inner peripheral surface of the bonnet 16, and the male screw portion 19a and the female screw portion 16a are screwed together. A handle 24 is fitted to the base end portion of the valve stem 19 and is solidified so as to be integrally rotatable by a nut 25 and concealed by a cap 26. Further, an engaging protrusion 24 a is integrally formed on the lower surface of the handle 24. Further, a first indicator 27 is fixed to the outer peripheral portion of the upper end of the bonnet 16 by a fixing pin 28, and a second indicator 29 is rotatably fitted to the inner peripheral portion of the first indicator 27. On the other hand, a name plate 30 is fixed to the upper surface of the handle 24, and a transparent display window 31 is formed on the name plate 30.
[0021]
As shown in detail in FIG. 3, the first indicator 27 is formed by integrally forming a flange portion 27b on the upper portion of the cylindrical portion 27a. An inclined surface 27c is formed along the axial direction on the inner peripheral surface of the cylindrical portion 27a, and a fitting groove 27d is formed along the circumferential direction at a lower portion thereof, and an attachment hole 27e is formed. . And the display part 27f described as "OPEN" is provided in the upper surface of the flange part 27b. On the other hand, as shown in detail in FIG. 4, the second indicator 29 is configured by integrally forming a fan-shaped flange portion 29 b on the upper portion of the cylindrical portion 29 a. This cylindrical portion 29a is formed with four notches 29c along the axial direction, and a fitting projection 29d is formed along the circumferential direction on the lower outer peripheral surface of the cylindrical portion 29a. A locking projection 29e protruding in the direction is formed. And the display part 29f described as "SHUT" is provided in the upper surface of the collar part 29b.
[0022]
Accordingly, the first indicator 27 is fitted to the outer periphery of the upper end of the bonnet 16 and is fixed by the fixing pin 28. The second indicator 29 is inserted into the inner peripheral portion of the first indicator 27 from above, is attached by fitting the fitting protrusion 29d into the fitting groove 27d, and is rotatable in the circumferential direction. Then, after assembling the handle 24, the first indicator 27, and the second indicator 29, the handle 24 is rotated in the valve closing direction to move the valve rod 19 to the valve closing position. Comes into contact with the locking projection 29e of the second indicator 29 and rotates the second indicator 29 in the valve closing direction, and the display portion 29f of the second indicator 29 is positioned at the valve closing position. The display portion 27f of the first indicator 27 is positioned at the valve opening position when being fixed to the bonnet 16. Therefore, the display window 31 of the name plate 30 and the display portion 27 f “OPEN” of the first indicator 27 coincide with each other at the open position of the handle 24, and the display window 31 of the name plate 30 and the second indicator 29 at the closed position of the handle 24. Display portion 29f “SHUT”.
[0023]
In the fluid control valve of the present embodiment configured as described above, in the valve open state, the valve rod 19 is in the upper position and the diaphragm 18 is in a position separated from the valve seat 15. And 13 are in circulation, and the display portion 31 f “OPEN” of the first indicator 27 is displayed on the display window 31 of the name plate 30, and the gas fluid can flow from the gas flow path 12 to 13.
[0024]
Then, as shown in FIG. 1, the valve rod 19 is rotated together with the handle 24 from this valve open state, and the valve rod 19 is moved downward with respect to the bonnet 16 by the screwed relationship between the male screw portion 19a and the female screw portion 16a. Let Then, the valve rod 19 pushes down the thrust pad 23 on the front end side, and this thrust pad 23 pushes down the diaphragm 18 so that the diaphragm 18 comes into close contact with the valve seat 15 and the gas flow path 12 can be closed. . At this time, when the name plate 30 is rotated in the same direction together with the handle 24, the display portion 31f “SHUT” of the second indicator 29 is displayed on the display window 31 of the name plate 30, and the gas fluid is gas. It becomes impossible to flow from the flow path 12 to 13.
[0025]
Then, the valve seat 15 is deformed by long-term use, the position where the diaphragm 18 is brought into close contact with the valve seat 15 by the thrust pad 23 is shifted, and the closing angle position of the handle 24 may be shifted. In the case of the present embodiment, when the handle 24 is rotated and tightened in the valve closing direction, the engagement protrusion 24a of the handle 24 is connected to the second indicator 29 via the locking protrusion 29e of the second indicator 29. It rotates in the direction and the position is changed following. Therefore, by rotating the handle 24 and moving the thrust pad 23 (diaphragm 18) to the position where the valve seat 15 is deformed, the position of the display portion 29f of the second indicator 29 is changed to the valve closing position. It will be. Therefore, the display window 31 of the handle 24 and the display portion 29f of the second indicator 29 are always displayed in conformity with the closed positions of the gas flow paths 12 and 13 where the thrust pad 23 (diaphragm 18) is in close contact with the valve seat 15. Thus, the occurrence of an erroneous operation by the operator is prevented.
[0026]
FIG. 5 shows a cross section of a fluid control valve according to the second embodiment of the present invention.
[0027]
In the fluid control valve of this embodiment, as shown in FIG. 5, the valve body 41 is formed with a pair of front and rear gas passages 42 and 43 through which a gas fluid flows, and is orthogonal to the gas passages 42 and 43. Thus, a valve stem support hole 44 is formed, and the gas flow paths 42 and 43 communicate with the valve stem support hole 44 via communication passages 42a and 43a. A ring-shaped valve seat 45 is formed in the valve stem support hole 44 so as to surround the gas flow path 42. A tubular bonnet 47 is fitted to the valve body 41 via a flange member 46 so as to communicate with the valve stem support hole 44, and the bonnet 47 is fixed to the valve body 41 by a bonnet nut 48.
[0028]
In addition, a valve rod 49 is inserted into the bonnet 47, and a base end portion projects outward from the bonnet 47. A fitting portion 50 is formed at an intermediate portion of the valve rod 49 and an O-ring 51 is attached to the inner periphery of the bonnet 47 so as to be axially movable. A disc holder 52 that is fitted to the flange member 46 so as to be axially movable is fixed to the tip of the valve stem 49, and a disc 53 is fixed to the tip of the disc holder 52. By pushing down the disk 53 together with the disk holder 52 by lowering, the front surface of the disk 53 can be brought into close contact with the valve seat 45. A bellows 54 is mounted between the flange member 46 and the disc holder 52 to prevent fluid from leaking outside.
[0029]
Further, the fitting portion 50 of the valve stem 49 is formed with a male screw portion 50a on the outer peripheral surface, while a female screw portion 47a is formed on the inner peripheral surface of the bonnet 47, and the male screw portion 50a and the female screw portion 47a are screwed together. ing. A handle 55 is fitted to the base end portion of the valve rod 49 and is solidified so as to be integrally rotatable by a nut 56 and concealed by a cap 57. Further, an engaging protrusion 55a is integrally formed on the lower surface of the handle 55. Further, the first indicator 58 is fixed to the outer peripheral portion of the upper end of the bonnet 47 by a fixing pin 59, and the second indicator 60 is rotatably fitted to the inner peripheral portion of the first indicator 58. On the other hand, a name plate 61 is fixed to the upper surface of the handle 55, and a transparent display window 62 is formed on the name plate 61.
[0030]
The first indicator 58 is formed with a fitting groove 58d and is provided with a display portion 58f on which "OPEN" is written on the upper surface, while the second indicator 60 is formed with a fitting projection 60d and a locking projection. 60e is formed, and a display portion 60f on which “SHUT” is written is provided on the upper surface.
[0031]
Accordingly, the first indicator 58 is fitted to the outer periphery of the upper end of the bonnet 47 and is fixed by the fixing pin 59. The second indicator 60 is inserted into the inner peripheral portion of the first indicator 58 from above, is attached by fitting the fitting protrusion 60d into the fitting groove 58d, and is rotatable in the circumferential direction. Then, after assembling the handle 55, the first indicator 58, and the second indicator 60, the handle 55 is rotated in the valve closing direction to move the valve rod 49 to the valve closing position. Comes into contact with the locking projection 60e of the second indicator 60 and rotates the second indicator 60 in the valve closing direction, and the display portion 60f of the second indicator 60 is positioned at the valve closing position. The display portion 58 f of the first indicator 58 is positioned at the valve opening position when being fixed to the bonnet 47. Therefore, the display window 62 of the name plate 61 and the display portion 58 f “OPEN” of the first indicator 58 coincide with each other at the open position of the handle 55, and the display window 62 of the name plate 61 and the second indicator 60 at the closed position of the handle 55. Display part 60f “SHUT”.
[0032]
In the fluid control valve of the present embodiment configured as described above, in the valve open state, the valve rod 49 is in the upper position and the disk 53 is in a position separated from the valve seat 45. 43 is circulated, and the display portion 58 f “OPEN” of the first indicator 58 is displayed on the display window 62 of the name plate 61, and the gas fluid can flow from the gas flow path 42 to 43.
[0033]
Then, the valve rod 49 is rotated together with the handle 55 from this valve open state, and the valve rod 49 is moved downward with respect to the bonnet 47 by the screwed relationship between the male screw portion 50a and the female screw portion 47a. Then, the disc 53 on the tip end side of the valve rod 49 comes into close contact with the valve seat 45 and the gas flow path 42 can be closed. At this time, when the name plate 61 rotates in the same direction together with the handle 55, the display portion 62f “SHUT” of the second indicator 60 is displayed on the display window 62 of the name plate 61. It becomes impossible to flow from the flow paths 42 to 43.
[0034]
And the front part of the disk 53 is deformed by long-term use, the position where the disk 53 comes into close contact with the valve seat 45 is displaced, and the closing angle position of the handle 55 is displaced. In the case of this embodiment, when the handle 55 is rotated and tightened in the valve closing direction, the engagement projection 55a of the handle 55 is connected to the second indicator 60 via the locking projection 60e of the second indicator 60. It rotates in the direction and the position is changed following. Therefore, by rotating the handle 55 to a position where the deformed disk 53 comes into close contact with the valve seat 45, the position of the display section 60f of the second indicator 60 is changed to the valve closing position. Therefore, the display window 62 of the handle 55 and the display portion 60f of the second indicator 60 are always displayed in conformity with the closed positions of the gas flow paths 42 and 43 where the disk 53 is in close contact with the valve seat 45. The occurrence of an erroneous operation by a person is prevented.
[0035]
FIG. 6 shows a cross section of a fluid control valve according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 7 shows an outline of a display portion of the fluid control valve.
[0036]
The fluid control valve of the present embodiment has substantially the same configuration as that of the first embodiment described above except for the open / close display unit, and members having the same functions are denoted by the same reference numerals and overlapped. Is omitted.
[0037]
In the fluid control valve of the present embodiment, as shown in FIG. 6, a handle 71 is fitted to the base end portion of the valve rod 19, and is solidified so as to be integrally rotatable by a nut 72 and concealed by a cap 73. . Further, an engaging protrusion 71 a is integrally formed on the lower surface of the handle 71. Further, a first indicator 74 is rotatably fitted to the outer periphery of the upper end of the bonnet 16, and a second indicator 75 is rotatably fitted to the inner periphery of the first indicator 74. On the other hand, a name plate 76 is fixed to the upper surface portion of the handle 71, and a transparent display window 77 is formed on the name plate 76.
[0038]
As shown in detail in FIG. 7, the first indicator 74 is formed by integrally forming a flange portion 74b on the upper portion of the cylindrical portion 74a. The cylindrical portion 74a is formed with four notches 74c along the axial direction, and a lower portion thereof is bent inward to form a fitting portion 74d. The flange portion 74b is formed with a fan-shaped locking projection 74e, and a display portion 74f on which "OPEN" is described is provided on the upper surface. On the other hand, similarly to the first indicator 74, the second indicator 75 is configured by integrally forming a fan-shaped flange 75b on the upper portion of the cylindrical portion 75a. The cylindrical portion 75a is formed with four notches 75c along the axial direction, and a lower portion thereof is bent inward to form a fitting portion 75d. A locking protrusion 75e is formed on the flange portion 75b, and a display portion 75f on which “SHUT” is written is provided on the upper surface.
[0039]
Accordingly, the first indicator 74 is freely rotatable in the circumferential direction with the fitting portion 74 d fitted to the outer periphery of the upper end of the bonnet 16. And the fitting part 75d fits the upper end outer peripheral part of the bonnet 16 so that the 2nd indicator 75 may be located inside this 1st indicator 74, and the circumferential direction rotation is possible. After the handle 71, the first indicator 74, and the second indicator 75 are assembled, first, the handle 71 is rotated in the valve opening direction to move the valve rod 19 to the valve opening position. The projection 71a contacts the locking projection 74e of the first indicator 74 and rotates the first indicator 71 in the valve opening direction, and the display portion 74f of the first indicator 74 is positioned at the valve opening position. . Next, by rotating the handle 71 in the valve closing direction and moving the valve rod 19 to the valve closing position, the engagement protrusion 71a of the handle 71 comes into contact with the locking protrusion 75e of the second indicator 75, and this The second indicator 75 is rotated in the valve closing direction, and the display portion 75f of the second indicator 75 is positioned at the valve closing position. Therefore, the display window 77 of the name plate 76 and the display portion 74 f “OPEN” of the first indicator 74 coincide with each other at the open position of the handle 71, and the display window 77 of the name plate 76 and the second indicator 75 at the closed position of the handle 71. Display portion 75f “SHUT” matches.
[0040]
In the fluid control valve of the present embodiment configured as described above, as shown in FIG. 6, when the valve is opened, the valve rod 19 is in the upper position and the diaphragm 18 is in a position separated from the valve seat 15. Therefore, the gas flow paths 12 and 13 are in circulation, the display window 77 of the name plate 76 displays the display portion 74 f “OPEN” of the first indicator 74, and the gas fluid flows from the gas flow paths 12 to 13. Can flow into.
[0041]
Then, the valve rod 19 is rotated together with the handle 71 from this valve open state, and the valve rod 19 is moved downward with respect to the bonnet 16 by the screwed relationship between the male screw portion 19a and the female screw portion 16a. Then, the valve rod 19 pushes down the thrust pad 23 on the front end side, and this thrust pad 23 pushes down the diaphragm 18 so that the diaphragm 18 comes into close contact with the valve seat 15 and the gas flow path 12 can be closed. . At this time, when the name plate 76 is rotated in the same direction together with the handle 71, the display portion 77f of the second indicator 75 is displayed on the display window 77 of the name plate 76, and the gas fluid is gas. It becomes impossible to flow from the flow path 12 to 13.
[0042]
Then, the valve seat 15 may be deformed by long-term use, the position where the diaphragm 18 is brought into close contact with the valve seat 15 by the thrust pad 23 may be shifted, and the closing angle position of the handle 71 may be shifted. In the case of the present embodiment, when the handle 71 is rotated and tightened in the valve closing direction, the engagement protrusion 71a of the handle 71 and the second indicator 75 are connected to each other via the locking protrusion 75e. It rotates in the direction and the position is changed following. Therefore, by rotating the handle 71 and moving the thrust pad 23 (diaphragm 18) to a position where the valve seat 15 is deformed, the position of the display portion 75f of the second indicator 75 is changed to the valve closing position. It will be. Therefore, the display window 77 of the handle 71 and the display portion 75f of the second indicator 75 are always displayed in conformity with the closed positions of the gas flow paths 12 and 13 in which the thrust pad 23 (diaphragm 18) is in close contact with the valve seat 15. Thus, the occurrence of an erroneous operation by the operator is prevented.
[0043]
In addition, the contact portion between the fitting portion 20 of the valve stem 19 and the bonnet 16 at the valve opening position may be worn by long-term use, the valve opening position may be shifted, and the opening angle position of the handle 71 may be shifted. In the case of the present embodiment, when the handle 71 is rotated and tightened in the valve opening direction, the engagement protrusion 71a of the handle 71 and the first indicator 74 are connected to each other via the locking protrusion 74e of the first indicator 74. It rotates in the direction and the position is changed following. Accordingly, by rotating the handle 71 and moving the valve rod 19 to the valve open position, the position of the display portion 74f of the first indicator 74 is changed to the valve open position. For this reason, the display window 77 of the handle 71 and the display portion 74f of the first indicator 75 are always displayed in conformity with the valve open position, thereby preventing an erroneous operation by the operator.
[0044]
In the above-described embodiment, the fluid control valve of the present invention has been applied to various control valves. However, the present invention is not limited to this embodiment. For example, the present invention can also be applied to a valve having a valve seat in both the closed position and the open position of the valve. In this case, a first indicator having an “OPEN” display portion and a second indicator having a “SHUT” display portion; By mounting both of them in a rotatable manner, the same effects as those described above can be obtained.
[0045]
【The invention's effect】
As described above in detail in the embodiments, according to the fluid control valve of the present invention, the valve body having the fluid passage through which the fluid flows is provided with a valve seat so as to surround the fluid passage, A valve body capable of closing the fluid passage by attaching the valve rod in the rod support hole so as to be movable in the axial direction and closely contacting the valve seat at the tip is mounted, while a handle is connected to the base end of the valve rod. The valve stem can be moved through the moving mechanism by the rotation of the lever, and the first indicator having the first display portion and the second indicator having the second display portion are mounted on the valve body so as to be relatively rotatable relative to each other. The handle is provided with a display window for displaying either the first display unit or the second display unit according to the rotation position, and the handle or the valve stem is rotated in one direction. Position at the valve closing position Since the rotating part is provided, even if the valve seat is deformed by long-term use, the closing position of the fluid passage by the valve body is shifted and the closing angle position of the handle is shifted, the rotation of the handle in the closing direction The rotating part rotates the second indicator in one direction, the position of the second indicator is changed following the handle, and the display window of the handle and the second indicator are located at the closed position of the fluid passage by the valve body. The position with the second display unit can be surely adapted and displayed, and an erroneous operation by an operator can be prevented.
[0046]
Further, according to the fluid control valve of the present invention, the first indicator and the second indicator are rotatable relative to each other and rotatable relative to the valve body, and the first indicator is rotated in one direction on the handle or the valve stem. Since the first rotating part is provided and the second rotating part for rotating the second indicator in the other direction is provided, even if the valve seat is provided at the open position of the valve body, this valve Even if the seat is deformed by long-term use and the opening position of the fluid passage by the valve body is shifted and the opening angle position of the handle is shifted, the first rotating portion is moved to the first indicator as the handle rotates in the opening direction. The position of the first indicator is changed following the handle, and the display window of the handle and the first indicator of the first indicator are arranged at the position where the fluid passage is opened by the valve body. Position can be displayed reliably adapt.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a fluid control valve according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of a handle representing a display portion of a fluid control valve.
FIG. 3 is a schematic view of a first indicator.
FIG. 4 is a schematic view of a second indicator.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a fluid control valve according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a fluid control valve according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a schematic view of a display portion of a fluid control valve.
FIG. 8 is a cross-sectional view of a conventional fluid control valve.
FIG. 9 is a cross-sectional view of an essential part showing a valve closed state in a conventional fluid control valve.
[Explanation of symbols]
11, 41 Valve body
12, 13, 42, 43 Gas flow path
14, 44 Valve stem support hole
15 Valve seat
16, 47 Bonnet
16a, 47a Female thread (moving mechanism)
18 Diaphragm
19, 49 Valve stem
19a, 50a Male thread (moving mechanism)
23 Thrust pad
24, 55, 71 Handle
24a, 55a, 71a Engaging protrusion (rotating part)
27, 58, 74 First indicator
27f, 58f, 74f Display section
29, 60, 75 Second indicator
29e, 60e, 74e, 75e Locking protrusion
29f, 60f, 75f Display section
31, 62, 77 Display window
45 Valve seat
53 Disc (valve)
54 Bellows

Claims

A valve body having a fluid passage through which a fluid flows and a valve stem support hole communicating with the fluid passage, a valve seat provided so as to surround the fluid passage, and axially movable in the valve stem support hole A valve stem that is supported and has a proximal end portion located outside the valve body and a distal end portion facing the fluid passage; and the fluid passage that is attached to the distal end portion of the valve stem and closely contacts the valve seat. A valve body that can be closed, a handle connected to a base end portion of the valve stem located outside the valve body, and rotation of the handle causes the valve stem to be moved in the axial direction within the valve stem support hole. In a fluid control valve comprising a moving mechanism, a first indicator having a first display portion and a second indicator having a second display portion are mounted on the valve body so as to be relatively rotatable with respect to each other, while the handle is attached to the handle. Depending on the moving position, the first display unit or Serial with one of the second display unit is provided with a display window that is displayed that, provided the handle or rotating portion for positioning said second indicator in one direction the rotation is allowed valve closed position on the valve stem A fluid control valve characterized by.

2. The fluid control valve according to claim 1, wherein the first indicator and the second indicator are rotatable relative to each other and rotatable relative to the valve body, and the first indicator is attached to the handle or the valve stem. A fluid control valve characterized in that a first turning part for turning in one direction and a second turning part for turning the second indicator in the other direction are provided.