JP3776314B2 - 側方に分割された表面電極を含むスペーサを有するフラットパネル型ディスプレイの構造及び製造 - Google Patents

側方に分割された表面電極を含むスペーサを有するフラットパネル型ディスプレイの構造及び製造 Download PDF

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Description

【0001】
技術分野
本発明は、特に陰極線管(CRT)タイプのフラットパネル型ディスプレイに関連するものであり、詳述するとフラットパネル型ディスプレイに利用されるスペーサ装置の構造に係るものである。
【0002】
発明の背景
フラットパネル型CRTディスプレイは、発光材料に衝当する電子に応じてディスプレイの表示面上に画像を表示する薄く平坦なディスプレイである。電子は電界放出や熱電子放出のような機構によって生じさせることが可能である。通常フラットパネル型CRTディスプレイには、フェースプレート(即ち、表面プレート)構造体とバックプレート(即ち、ベースプレート)構造体が含まれ、それらは環状の外壁によって連結されている。結果として生じる密閉容器は、高真空に保持される。例えば大気圧などの外力によるディスプレイの圧壊を防止するために、通常は1以上のスペーサを外壁の中のプレート構造体の間に配置する。
【0003】
図1及び図2は互いに垂直な図であり、Schmidらの米国特許第5,675,212号に開示のような従来型のフラットパネル型CRTディスプレイの一部を示す。この従来型ディスプレイの構成部品には、バックプレート構造体20、フェースプレート構造体22、及びディスプレイに作用する外力に対抗するためのプレート構造体20、22の間に位置するスペーサの集まりが含まれる。バックプレート構造体20には、選択的に電子を放出する領域が含まれる。フェースプレート構造体22には、電子放出領域26から放出された電子の衝当によって光を放出する素子28が含まれる。発光素子28の各々は、対応する1つの電子放出素子26の向かい側に配置される。
【0004】
図1及び図2において複数のフ複数スペーサ24の中の1つが符号を付されており、それには、主要部をなすスペーサ壁30、端部電極32、34、一対の表面電極36、別の一対の表面電極38が含まれる。端部電極32、34は、プレート構造体20、22と各々接触するようにスペーサ壁30の対向する端部に配置される。表面電極36は、端部電極32と共に連続的なU字型の電極を形成する。表面電極38は、端部電極34と共に連続的なU字型の電極を形成する。
【0005】
フラットパネル型CRTディスプレイにおけるスペーサは、スペーサの存在しないディスプレイのフェースプレート構造体において電子が衝当するであろう位置から大きく異なる位置に電子が衝当するような電気的な作用を生じさせないことが望ましい。スペーサに起因する電子の横向きの正味の偏向量は、ゼロに近づけるべきである。この目標を達成することは、図1及び図2の従来型ディスプレイにおいて連続的な壁形状をなすスペーサ間の間隔が2つの電子放出領域以上であるときに特に必要とされる。スペーサ24が正味の電子の偏向の原因となる場合、最も近接するスペーサ24からの距離が異なる位置の領域26から放出された電子の正味の偏向は通常異なる。これは、ディスプレイの表示面に現れる望ましくない形状のような画像の劣化の誘因となる。
【0006】
領域26から素子28まで移動する電子の軌跡への正味の影響を低減するために、表面電極36、38がスペーサ24に沿って存在する電位場の制御に用いられる。しかし、Schmidらが述べているように、シート上に形成された電極36、38の2倍幅のストリップを有する壁の材料の大きなシートが電極36、38の中心線に沿って機械的に切断されるプロセスによって通常スペーサ24は形成される。切断工程の実施における機械的な制限のために、表面電極36又は38の各々の幅はその長さに応じて変化し得る。
【0007】
更に、表面電極の幅の変動は、スペーサ24によって電子の軌道がスペーサ長さに沿って変化する電気的作用を引き起こす。従って、スペーサ24に起因する正味の電子の偏向は、それらの長さに沿って変化する。例えばスペーサの長手方向に沿った1つの位置における正味の電子の偏向が概ねゼロであっても、スペーサの長手方向に沿った別の位置における正味の電子の偏向は著しい画像の劣化の原因となり得る。端部電極に接触する表面電極の幅の変動から生じる画像の劣化を防止することが望ましい。
【0008】
発明の開示
本発明によれば、分割された表面電極が、フラットパネル型ディスプレイの対をなすプレート構造体の間に配置されたスペーサの主部の表面上に重なる。分割された表面電極は、そのうちの1つがディスプレイの画像を生じさせる2つのプレート構造体から離隔され、またプレート構造体と接触する何れのスペーサの端部電極からも離隔される。表面電極は側方に離隔されている。つまり、何れかのプレート構造体に概ね垂直な方向から見ると、表面電極は互いに離隔された複数の電極セグメントに分割されている。
【0009】
一般にフラットパネル型ディスプレイは、別のプレート構造体から放出された電子に応じて画像を生成するプレート構造体が光を放出するフラットパネル型CRTディスプレイである。電子を放出するプレート構造体から光を放出するプレート構造体まで電子が移動する際に、通常は側方に離隔された表面電極のセグメントによって、スペーサによって生じた別の電子の偏向を補償(矯正)するように電子が偏向される。電極セグメントの位置及びサイズを適切に選択することによって、スペーサによって生じる正味の電子の偏向を非常に小さくすることが可能である。
【0010】
表面電極のセグメントは、通常はスペーサの抵抗特性によって概ね決定された電位に達する。スペーサに沿って存在する電位は、電子放出プレート構造体から発光プレート構造体までの間に増大するが、各電極セグメントに沿って存在する電位は概ね一定である。この一定の電位の効果によって、補償的な電子の偏向が生じる。
【0011】
表面電極を側方に離隔された複数のセグメントに分割することによって、スペーサのアクティブ領域長さ全体に沿って適切な電子の偏向の補償が容易となる。スペーサの長さは、通常はプレート構造体に概ね平行に側方に測定される。特に、概してスペーサの抵抗特性によってセグメント電位がプレート構造体からの距離と共に変化するように、必要な量の補償的電子の偏向を生じさせるために到達することが必要な各電極セグメントの電位の値は、プレート構造体からの距離に伴い変化する。一旦プレート構造体からの或る距離に対して望ましいセグメント電位が確立されると、プレート構造体に対する各セグメントからの距離は、補償的な電子の偏向の量に大きく影響することなく幾分変化し得る。
【0012】
対照的に、(a)分割されていない表面電極がここでの分割された表面電極の代わりに用いられた場合、また(b)分割されていない表面電極が、スペーサ主部上の分割された表面電極と概ね同様の位置に配置された場合、何が起こり得るかを考えて欲しい。分割されていない表面電極全体は、概ね単一の電位である。幾つかの理由(例えば製造におけるミスアライメント)によって、分割されていない表面電極が、プレート構造体に対して傾斜している場合、分割されていない表面電極を通る垂直方向の1つの断面が概ね正しい電位であり得る。しかしながら、分割されていない表面電極を通る他の任意の垂直方向の断面は、通常は不適切な電位である可能性があり、それによって不適切な量の補償的な電子の偏向を招く。本発明のフラットパネル型ディスプレイにおける表面電極の分割により、電極セグメントの位置決めにおける許容差が得られ、スペーサの概ね全てのアクティブ領域の長さを横切り望ましい電子の偏向の補償を達成し、従って分割されていない表面電極で起こるであろう位置決め許容差の欠如を克服する。
【0013】
本発明の表面電極の各セグメントによる補償的な電子の偏向の量は、セグメントの幅に依存する。従って、一般に電極セグメントの幅は十分調整することが必要である。
【0014】
特にCRTタイプの1つのフラットパネル型ディスプレイの製造において本発明の教示を適用するにあたり、通常はマスキング過程が表面電極のセグメントの幅を画定するのに用いられる。一般に、特にマスキング工程を実施するのに通常用いられるようなフォトリソグラフィーマスキングは、表面電極の幅を画定するためのSchmidらの米国特許第5,675,212号において従来用いられたような機械的な切断操作に比べて、マスキング工程においてより良好な寸法調整が可能である。従ってSchmidらと比較して、スペーサの存在により生じる正味の電子の偏向は、本発明においてはより一様にゼロに近付き得る。本発明は、先行技術において生じていた関連する画像の劣化を概ね解消する。
【0015】
好適実施例の説明
以下の記載における特定のタイプの薄いコーティングに関する説明に限り、用語「電気的に抵抗性」は、一般に1010−1013Ω/□のシート抵抗を有するスペーサ主部又はプレートのような対象物に対して適用するものである。一般に1013Ω/□よりも大きなシート抵抗を有する対象物は、「電気的に絶縁性」(または「誘電性」)と特徴づけられる。一般に1010Ω/□よりも小さなシート抵抗を有する対象物は、「導電性」と特徴づけられる。
【0016】
本明細書において、電気的に抵抗性のスペーサ主部に形成された薄いコーティング(ブランケットコーティング又はパターン形成されたコーティング)は、コーティングのシート抵抗とスペーサ主部のシート抵抗との関係に基づき「電気的に抵抗性」、「電気的に絶縁性」、又は「導電性」と特徴づけられる。コーティングのシート抵抗が、下に重なるスペーサ主部のシート抵抗の10%から10倍までの場合は、コーティングは「電気的に抵抗性」である。コーティングのシート抵抗が、スペーサ主部のシート抵抗の10倍を超える場合は、コーティングは「電気的に絶縁性」である。コーティングのシート抵抗が、スペーサ主部のシート抵抗の10%未満の場合は、コーティングは「導電性」である。
【0017】
用語「電気的に非絶縁性」は、電気的に抵抗性または導電性の薄いコーティングを含む対象物に適用する。例えば、1010Ω/□以下のシート抵抗を有する対象物は、一般に「電気的に非絶縁性」と特徴づけられる。同様に、用語「非導電性」は、電気的に抵抗性または電気的に絶縁性の対象物に適用される。少なくとも1010Ω/□のシート抵抗を有する対象物は、ここでは一般に「非導電性」と特徴づけられる。これらのカテゴリーは10V/μm未満の電界強度に限定される。
【0018】
以下で述べるように、通常フラットパネル型CRTディスプレイのバックプレート構造体とフェースプレート構造体との間に位置するスペーサは、(a)スペーサ主部、(b)各々がバックプレート構造体およびフェースプレート構造体と接触する対をなすエッジ電極(縁部電極)、及び(c)1以上の表面電極からなる。端部電極は、スペーサ主部の対向する端部(即ち、端部の表面)に沿って延在する。スペーサ主部のこれらの対向する2つの端部が、スペーサ主部が壁のように形成された場合に生じるようなエッジ部であるとき、端部電極はエッジ電極と呼ばれることもある。各表面電極は、スペーサ主部の表面(即ち、使用面)に沿って延在し、また通常は両方の端部電極から離隔される。
【0019】
ここで、一般にスペーサはバックプレート側およびフェースプレート側の電気的末端部(electrical ends)と称される2つの電気的末端部を有し、その付近で端部電極の各々がバックプレート構造体およびフェースプレート構造体と接触する。2つの端部電極におけるスペーサの物理的末端部に対するスペーサの2つの電気的末端部の位置は、各表面電極が両方の端部電極から離隔された場合については以下のような方法で決定する。
【0020】
第1に端部電極が概ねスペーサ主部の端部全体に沿って延在する場合、スペーサの対応する電気的末端部は端部電極において生じ、従ってスペーサの対応する物理的末端部に一致する。第2に端部電極が、スペーサ主部の端部の一部のみに沿って延在する場合、スペーサの対応する電気的末端部は、抵抗的に決定された量だけスペーサの物理的末端部を越えて移動する。特に、そのスペーサ(両方の端部および表面電極を含む)の抵抗率は、当のスペーサの端部全体に沿って延在する端部電極を有するより長いスペーサの抵抗率と概ね等しい。2つのスペーサ(即ち、一方は短縮された端部電極を有し、より長いもう一方は完全な端部電極を有する)間の物理的長さの差は、短縮された端部電極を有する表示されたスペーサの電気的末端部がその物理的末端部を超えて移動する距離である。
【0021】
本発明によるフラットパネル型CRTディスプレイの幾つかの実施例においては、表面電極は端部電極に接触し得る。この場合、スペーサの対応する電気的末端部は、抵抗的に決定された量だけ別の端部電極の方向にスペーサの上の方へ移される。表面電極が、スペーサ主部の端部の一部のみに沿って延在する端部電極と接触する場合、スペーサの対応する電気的末端部は、種々の因子に依存する抵抗的に決定された量だけ別の端部電極の方向にスペーサの上の方へ移動するか、或いはスペーサを越えて移動する。これらの2つのケースにおけるスペーサの電気的末端部及び物理的末端部の異なる距離は、前述の技術に従って決定される。
【0022】
図3及び図4は互いに垂直な図であり、本発明によるスペーサ装置を有するフラットパネル型CRTディスプレイのアクティブ領域部分を示す。図3及び図4のフラットパネル型CRTディスプレイは、フラットパネル型テレビ、並びにパーソナルコンピュータ、ラップトップ型コンピュータ、又はワークステーションに適するフラットパネル型ビデオモニタとして役立ち得る。本フラットパネル型ディスプレイの電気的容量の議論において、一般に電位は電圧源の電位よりも寧ろ仕事関数を含む表面電位である。
【0023】
図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイには、バックプレート構造体40、フェースプレート構造体42、及びプレート構造体40及び42の間に位置するスペーサ装置が含まれる。スペーサ装置は、側方に離隔されたスペーサ44の集まりからなる。図3及び図4の例において、各スペーサ44は概ね壁のような形状をなす。
【0024】
また、図3及び図4のディスプレイには、中にスペーサ44が配置される密封容器を形成するためにプレート構造体40及び42の間に配置された環状の外壁(図示せず)が含まれる。密封容器は低圧(一般に10-7torr未満)に保持される。複数のスペーサ44からなるスペーサ装置は、大気圧のようなディスプレイに作用する外力に対抗してプレート構造体40及び42の間隔を比較的一定に維持する。
【0025】
バックプレート構造体40には、適切な制御信号に応じて選択的に電子を放出する側方に離隔された領域46の行および列のアレイが含まれる。各電子放出領域46は、一般に多数の電子放出素子からなる。領域46は、平坦な電気的に絶縁性のバックプレート(個別には図示せず)の上に重なる。電子放出素子46の典型的な具現化の更なる知見については、Spindtらによる国際特許出願PCT/US99/01026(1999年1月15日出願)に示されており、それらの内容についてはここで言及することにより本明細書の一部とする。
【0026】
またバックプレート構造体40には、電子放出領域46よりも高い位置に配置された主要な構造体48が含まれる。つまり、主要な構造体48は、領域46に比べてバックプレート構造体40の外側表面から更に離隔されて延在する。一般に構造体48は、蜂の巣模様のように側方に形成される。領域46は、構造体48の開口部52を通して露出される。
【0027】
主要な構造体48は、通常は電子放出領域46から放出された電子を集束するシステムである。このため、電子集束システム48は非導電性のベース集束構造体52と、そのベース集束構造体52の頂部に位置してその側壁に延在する導電性の集束コーティング48とからなる。図3及び図4の例において、集束コーティング48は集束構造体52の側壁において下方に途中までのみ延在し、従って電子放出領域46から離隔されている。或いは、集束コーティング54が領域46から離隔されていれば、集束コーティング54は構造体52の側壁において下方に完全に延在し得る。どちらの場合においても、ディスプレイ動作の際に集束コーティング54には低い電子集束電位VL(通常は一定)が印加される。
【0028】
フェースプレート構造体42には、各々が電子放出領域46に対応する側方に離隔された発光素子56の行および列のアレイが含まれる。発光素子56(一般に蛍光体)は、透明な電気的に絶縁性のフェースプレート(個別には図示せず)の上に重なる。電子放出領域46から選択的に放出された電子の衝当によって、発光領域56が光を放出してフェースプレート構造体42の外側表面に画像を生成する。
【0029】
図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイは、白黒ディスプレイ又はカラーディスプレイでも良い。白黒ディスプレイの場合、各発光領域56及び対応する電子放出領域46が画素(ピクセル)を形成する。カラーディスプレイの場合、各発光素子56及び対応する電子放出領域46がサブピクセルを形成する。カラーピクセルは、赤、緑、及び青の3つの隣接するサブピクセルからなる。ディスプレイは側方に広がるピクセルによって確定されるアクティブ領域を有する。
【0030】
更にフェースプレート構造体42には、導電性のアノード層58が含まれる。図3及び図4の例において、アノード層58は、発光素子56の頂部に位置して素子56を側方に離隔する概ね蜂の巣模様の領域に延在する光反射体である。通常このフェースプレート構造体42の蜂の巣模様の領域には、アノード層58の下に重なる「ブラック」マトリクスが含まれる。ディスプレイ動作において、アノード層58は後方に向けられた光を或る程度反射して画像の輝度を増大させる。或いは、光反射性のアノード層58を、発光素子56の下に重なる透過性の導電性の層で代替することができる。どちらの場合においても、アノード層はディスプレイ動作においては高いアノード電位VH(通常は一定)を印加される。アノード電位VHは通常4〜10kVであり、集束電位VLよりも概ね大きな値である。
【0031】
壁形状をなすスペーサ44は、行方向に側方に延在する(即ち、電子放出領域46又は発光素子56の行に沿って延在する)。行方向は図3の平面に延在し、また図4の水平方向に延在する。各スペーサ44の長さは、行方向において測定されたものである。各スペーサ44の幅(即ち、高さ)は、図3及び図4の鉛直方向に測定したものである(即ち、バックプレート構造体40からフェースプレート構造体42までを測定したものか、或いはその逆に測定したものである)。図3に示すように、スペーサ44は領域46(又は素子56)の2行分よりも大きく側方に離隔されている。典型的な実施例においては、30行の領域46が連続するスペーサ44を離隔している。
【0032】
各スペーサ44は、電気的に抵抗性のスペーサ主部60、導電性のバックプレート側の端部電極62、導電性のフェースプレート側の端部電極64、及び側方に分割された導電性の表面電極66からなる。スペーサ主部60は、通常は壁のように形成され、それは少なくともディスプレイのアクティブ領域を横切り延在する。主要部をなすスペーサ壁60の鉛直方向に測定した幅(即ち、高さ)は、0.3〜2.0mm(標準的には1.25mm)である。主要部をなす壁60の厚みは、40〜100μm(標準的には50〜60μm)である。主要部をなす壁60は電気的に抵抗性の材料からなり、また場合によっては電気的に絶縁性の材料が壁60の中に分散されているので、壁60の全体的な性質は上端から下端まで電気的に抵抗性である。
【0033】
主要部をなす壁60の各々は、種々の方法で内部に形成され得る。主要部をなす壁60は、一層として或いは薄層からなる一群として形成され得る。好適実施例において、壁60は、主として例えば標準温度(0℃)のような所定の温度においてシート抵抗が比較的一定である電気的に抵抗性の材料で形成された壁形状の基板からなる。或いは、壁60は、所定の温度においてシート抵抗が比較的一定である電気的に抵抗性のコーティングで両方の基板表面を被覆された電気的に絶縁性の壁形状の基板として形成され得る。抵抗性のコーティングの厚みは通常約0.1μmである。どちらの場合においても、壁60の抵抗性の材料は、壁60の全幅に沿って連続的に延在する。
【0034】
また、主要部をなす壁60の抵抗性の材料は、一般に電子の二次的放出を抑制する非導電性の薄いコーティングで両方の表面を覆われている。二次的な放出を抑制するコーティングは、通常は電気的に抵抗性の材料からなる。主要部をなす壁16の構成要素の具体例は、Schmidらの米国特許第5,675,212号(前出)、Spindtらの米国特許第5,614,781号、Spindtらの米国特許第5,532,548号、及びSpindtらの国際特許出願PCT/US98/13141(1998年6月23日出願)に示されている。
【0035】
各スペーサ44の端部電極62及び64は、主要部をなすスペーサ壁60の両端に位置し、通常これらの2つの壁の端部の全体に沿って延在する。バックプレート側の端部電極62は、集束システム48の頂部に沿って、特に集束コーティング54の頂部表面に沿ってバックプレート構造体40と接触する。フェースプレート側の端部電極64は、発光素子56の間の蜂の巣模様の凹部におけるアノード層58に沿ってフェースプレート構造体42と接触する。端部電極62及び64の厚みは、50nm〜1μm(標準的には100nm)である。一般に端部電極62及び64は、例えばアルミニウム、クロム、ニッケル、又はニッケル−バナジウム合金のような金属からなる。
【0036】
各スペーサ44の主要部をなすスペーサ壁60は、対向する2つの表面を有する。表面電極66は、端部電極62及び64から離隔されたこれらの表面の1つに位置する。従って、表面電極66は、両方のプレート構造体40及び42から物理的及び電気的に離隔されている。表面電極66は、主要部をなす壁60の長手方向に沿って側方に延在する。表面電極66は、フェースプレート構造体42からバックプレート構造体40までの距離の少なくとも約4分の1にある。つまり、電極66をフェースプレート構造体42と電気的に接触させることなしに、バックプレート構造体40から電極66までの最小距離は、プレート構造体40と42との間の距離の約4分の1である。通常、電極66は構造体40よりも構造体42に幾分接近している。電極66の厚みは50nm〜1μm(標準的には100nm)である。一般に電極66は、例えばアルミニウム、クロム、ニッケル、又はニッケル−バナジウム合金のような金属からなる。
【0037】
集束システム48は、スペーサ44がバックプレート構造体40に接触するのに非常に都合の良い位置を与える。しかしながら、後述する理由によって、電子放出領域46、特にスペーサ44に近接する領域46から放出された電子は、プレート構造体40及び42(特にバックプレート構造体40)に対するスペーサ44の配置方法によって、最も近接するスペーサ44から離れる方向に偏向される。表面電極66の存在により、電子は偏向されて最も近接するスペーサ44の方向に戻され、最も近接するスペーサ44から離れる方向の偏向が補償される。よって、正味の電子の偏向はゼロに近付く。
【0038】
電子の偏向の補償を正確に行なうために、各スペーサの表面電極44は、N個の電極セグメント661、662、〜66Nに分割される。図4には7個の電極セグメント661〜667が示してあり、そのためNは少なくとも7である。電極セグメント661〜66Nは互いに側方に離隔されている。つまり、主要部をなすスペーサ壁60に対して垂直の方向に側方に見た場合、即ちバックプレート構造体40からフェースプレート構造体42へ(又はその逆)の方向に対して垂直に見た場合、電極セグメント661〜66Nは側方に離隔されている。一般にセグメント661〜66Nは、バックプレート構造体40の外側表面に対して平行に、行方向に一列に延在するように配置されている。電極セグメント661〜66Nは、壁60の概ね全てのアクティブ領域長さを横切り延在する。
【0039】
各スペーサ44の電極セグメント661〜66Nは、典型的には概ね全て同一サイズ及び同一形状である。図3の例においては、セグメント661〜66Nは同一サイズの長方形で示されている。長方形の場合、各セグメント66iは、鉛直方向に測定した50〜500μm(標準的には70μm)の幅WFiを有する(ここで、iは1〜Nまで変化する整数)。長方形の場合の各セグメント66iは、100μm〜2mm(標準的には300μm)の行方向に側方に測定した長さを有する。セグメント661〜66Nの中の連続したセグメントの側方の間隔は、5〜50μm(標準的には25μm)である。セグメント661〜66Nは、例えば楕円形(円形を含む)、ダイアモンド形、台形等の他の種々の形状をとり得る。セグメント661〜66Nのサイズ及び形状の各々は、各スペーサ44のセグメント66iからセグメント66iまでにおいて変化し得る。
【0040】
電極セグメント661〜66Nは電気的に「浮動(自由に変動)」している。言い換えれば、セグメント661〜66Nは、外部の電圧源に直接には接続されていない。各セグメント66iは、スペーサ44の抵抗特性、特に主要部をなすスペーサ壁60の抵抗特性によって決定された電位VFiに到達する。図4におけるセグメント661〜66Nは、バックプレート構造体40の外側表面に対して平行に、概ね一列に延在するように配置されているが、その列は厳密に直線でなくても良い。またセグメント661〜66Nの列は、バックプレートの外側の表面に対して若干傾斜していてもよい。結果として、1つのセグメント66iで到達する電位VFiは、別のセグメント66iで到達する電位VFiとは異なり得る。
【0041】
各スペーサ44の各電極セグメント66iの電位VFiは、表面電極66を有する主要部をなす壁60の表面と反対側の表面の鏡像位置まで主要部をなすスペーサ壁60を通常は貫く。特に、壁60の全体が電気的に抵抗性の材料からなる場合、セグメント電位VFiは、壁60を概ね貫く。壁60を電位が貫くために、通常は電極66に対応する位置の反対側の壁表面に分割した表面電極を設ける必要はない。それにも関わらず、そのような付加的な分割した表面電極を反対側の壁表面に設けることは可能である。また、介在する任意の電気的に絶縁性の材料が十分に厚く、壁60を電位が貫くことを著しく阻害する場合、通常は電極66に概ね相当する付加的な分割された表面電極が、電極66を有する壁表面の反対側に配置される。
【0042】
分割された表面電極66による補償的な電子の偏向の作用の理解には、次のような電気的な考察が含まれる。図3において、領域46における電子放出素子は、バックプレート構造体40の外側表面に対して概ね平行に延在する放出部位平面(emission-site plane)70から通常は電子を放出する。放出部位平面70は、電子放出領域46の上側表面よりも若干下側に位置する。
【0043】
バックプレート構造体40は、放出部位平面70に対して平行に延在する放出部位平面70から距離dLのバックプレート構造体の電気的末端平面72に位置する電気的末端部を有する。バックプレート構造体40の電気的末端部は、概ね平坦に位置しており、そこで構造体40の内側表面は、距離を置いて眺めると、電気的境界をなすように見える。構造体40の内側表面の形状における局所的な差異は、その電気的末端部の決定において電気的に平均化される。以下に述べるように、バックプレート構造体の電気的末端平面72の位置は、ディスプレイ動作において電子放出領域46に印加される電圧によって上下に若干移動する。
【0044】
集束コーティング54の頂部は、放出部位平面70の上方の距離dSに位置する。距離dSは、通常20〜70μm(標準的には40〜50μm)である。バックプレート構造体の電気的末端平面72までの距離dLは、通常は距離dSよりも小さい。図3の例における距離dLの値は正であり、ここで電気的末端平面72は放出部位平面70の上に重なる。幾つかの実施例においては、距離dLの値が負であり、電気的末端平面72が放出部位平面70の下方に位置し得る。
【0045】
スペーサ44は、放出部位平面70に対して平行に延在するバックプレート側のスペーサの電気的末端平面74に位置するバックプレート側の電気的末端部を有する。バックプレート側の端部電極62は、主要部をなすスペーサ壁60のバックプレート側のエッジ部を完全に覆っているので、スペーサ44のバックプレート側の電気的末端部は、端部電極62においてそれらのバックプレート側の物理的末端部と一致する。よって、バックプレート側のスペーサの電気的末端平面74は、放出部位平面70上方の距離dSに概ね位置する。距離dLは距離dSよりも小さいので、各スペーサ44のバックプレート側の電気的末端部は、バックプレート構造体の電気的末端部が位置する電気的末端平面72よりも上方に位置する。このバックプレート構造体の電気的末端平面72と各スペーサ44のバックプレート側の電気的末端部との離隔により、電子放出領域46付近から放出された電子が隣接するスペーサ44から離れる方向に最初に偏向されるように、バックプレート構造体40の付近のスペーサ44に沿って存在する電位場が影響を受ける。
【0046】
同様に、フェースプレート構造体42は、放出部位平面70に対して平行に延在する平面70上方の距離dHにおけるフェースプレート構造体の電気的末端平面76に位置する電気的末端部を有する。フェースプレート構造体42の電気的末端部は、概ね平坦に位置し、そこでアノード層58に沿った構造体42の内側表面は、距離を置いて眺めた場合に、電気的境界をなすように見える。
【0047】
スペーサ44は、放出部位平面70に対して平行に延在する平面70上方の距離dTにおけるフェースプレート側のスペーサの電気的末端平面78に位置するフェースプレート側の電気的末端部を有する。フェースプレート側の端部電極64が主要部をなすスペーサ壁60のフェースプレート側のエッジ部を完全に覆っている場合には、スペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部は、端部電極64においてそれらのフェースプレート側の物理的末端部と一致する。スペーサ44は、発光素子56の間の蜂の巣模様の凹部の中に延在するので、各スペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部は、フェースプレート構造体の電気的末端平面76から離隔される。
【0048】
詳述すると、バックプレート構造体40に関し、スペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部は、フェースプレート構造体の電気的末端平面76の上方に位置する。この幾何学的配置の効果により、領域46から放出された電子は、最も近接するスペーサ44から離れる方向に偏向される。表面電極66は、ベースプレート構造体の電気的末端平面72の上方に位置するスペーサ44のバックプレート側の電気的末端部に起因する最も近接するスペーサ44から離れる方向の電子の偏向だけでなく、フェースプレート構造体の電気的末端平面76の上方に位置するスペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部に起因する最も近接するスペーサ44から離れる方向の電子の偏向を補償するように、スペーサ44に沿って存在する電位場を混乱させる。
【0049】
或いは、バックプレート構造体40に関し、スペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部は、フェースプレート構造体の電気的末端平面76の下側に位置し得る。そのような構成によって領域46から放出された電子が最も近接するスペーサ44の方向に偏向され、従って表面電極66が生じさせることを必要とする補償的な電子の偏向の量を低減することができる。
【0050】
図5は、図3のフラットパネル型ディスプレイの種々の位置における電位場の定性的なグラフである。このグラフは、分割された表面電極66を含むスペーサ44が、バックプレート構造体40からフェースプレート構造体42までの電子の移動にどのように作用するかを理解するのに役立つ。また図5のグラフは、距離dL及びdHがどのように決定されるか、従ってプレート構造体40及び42の電気的末端部がどのように決定されるかを理解するのに役立つ。
【0051】
詳述すると、図5は、図3における鉛直方向の線80、82、及び84に沿った距離に対して電位がどのように変化するかを示す。図5において、鉛直方向の距離は放出部位平面70でゼロである。図5の曲線80*、82*、及び84*の各々は、線80、82、及び84に沿った電位をそれぞれ示す。後述するように、電位曲線80*及び84*は、プレート構造体40と42との間の空間において一本に集中している。この集中は、図5の共通の電位曲線86で表される。
【0052】
図3に示すように、鉛直方向の線80は、領域46の少なくとも1行分だけ最も近接するスペーサから離隔された電子放出領域46で放出部位平面70に沿って生じている。線80は、対応する発光素子56の上に重なるアノード層58の一部において終結している。従って、線80は鉛直方向の距離ゼロから距離dHまで延在する。
【0053】
鉛直方向の線82は、図3における左側のスペーサのスペーサ主部60の一方の表面に沿って、集束コーティング54の頂部から発光素子56の間の凹部に位置するアノード層の一部まで延在する。図3の例において、線82は左側のスペーサ44の表面電極セグメント663を通過している。或いは、線82は、左側のスペーサ44のスペーサ主部60の反対側の表面に沿って延在し得る。この場合、後述するように表面電極セグメント663に対応する平坦な領域が左下方及び右上方に曲がることを除けば、対応する電位曲線82*は図5に示すものと基本的に同様であると考えられる。
【0054】
鉛直方向の線84は、電子放出領域46の少なくとも1行分だけ最も近接するスペーサから離隔された集束コーティング54の頂部から始まり、発光素子56の間の凹部に位置するアノード層58の一部において終結する。横方向に関しては、線82及び線84は、下に重なる集束コーティング54の一部のエッジ部から概ね等しく側方に離隔された位置から始まる。線82及び線84の各々は鉛直方向の距離dSから距離dTまで延在する。
【0055】
電気的末端平面72におけるバックプレート構造体40の電気的末端部は、電位VLの等電位表面に関連して規定され、低い集束電圧が集束コーティング54に対して印加される。バックプレート構造体40の電気的末端部の位置の決定における例示を目的として、領域46が電子を放出する平面70に沿って存在する電位は図5において値VLをとる。従って、図5の例における電位VLの等電位表面は、集束コーティング54を通り、また電子放出領域46における平面70の一部を通り延在する。
【0056】
前述の事項を考慮して、鉛直方向の線80に沿った電位80*は、鉛直方向の距離ゼロにおける低い集束電位の値VLから鉛直方向の距離dHとdTとの間における高いアノード電位の値VHまで増大する。鉛直方向の線84に沿って存在する電位84*は、距離dSにおける低い値VLから距離dTのおける高い値VHまで増大する。図5における符号88及び90の各々は、鉛直方向の距離dS及び距離dTにおける電位曲線84*の端点を示す。プレート構造体40及び42からの距離が増大するにつれ、電位80*及び84*は、垂直方向の距離の増大に伴い線形に変化する電位86(即ち、曲線86は直線である)に集束する。
【0057】
図5の破線で示す直線86Lは、直線86を横軸における低い電位VLまで外挿したものである。直線86Lは、距離dLのおいてVLに到達し、従ってバックプレート構造体40の電気的末端部を規定する。本質的に、距離dLはバックプレート側の等電位表面までの、ここでは低い電位VLの主要な集束コーティング54までの電気的に平均的な距離である。ディスプレイ動作において、電子放出領域46に位置する電位VLの等電位表面の部分は、各領域46に印加された電位に応じて上下に移動する。この電位VLの等電位表面の移動により、バックプレート構造体40の電気的末端部はディスプレイ動作において上下に若干移動する(標準的には1μm未満)。ここでバックプレート構造体40の電気的末端部の移動がそのように小さい第1の理由は、連続した領域46の間の列方向の間隔に対する距離dLの割合が、図3及び図4のディスプレイにおいては(比較的)大きいためである。
【0058】
同様に、図5の破線で示す直線86Hは、直線86の高い電位VHまでの上側への外挿である。直線86Hは、距離dHのおいてVHに到達し、従ってフェースプレート構造体42の電気的末端部を規定する。距離dHは、高い電位VHのフェースプレート側の等電位表面(アノード層58)までの電気的に平均的な距離である。フェースプレート構造体42の電気的末端部は、ディスプレイ動作においては概ね固定されている。
【0059】
各表面電極セグメント66iは、放出部位平面70上方の鉛直方向の平均的距離dFiに位置している。換言すれば、距離dFiは、セグメント66iの幅WFiの半分までの鉛直方向の距離である。図3にはセグメント663の幅WF3及び距離dF3が示されている。dFBi及びdFTiは、平面70からセグメント66iの底部及び頂部までの垂直方向の距離をそれぞれ表すものとする。底部までの距離dFBiは、dFDi−WFi/2に等しい。頂部までの距離dFTiは、dFi+WFi/2に等しい。
【0060】
前述のように、鉛直方向の線82は、左側のスペーサ44の表面電極セグメント663を通過する。しかし、線82は同様にスペーサ44の別の任意の表面電極セグメント66iを通過する鉛直方向の線であり得る。一般化のために、以下では線82の電位82*は、左側のスペーサ44の任意の電極セグメント66iを通過する鉛直方向の線上の電位として取り扱う。
【0061】
電位曲線82*は、点88において電位曲線84*と同様の開始条件で始まる(即ち、距離dSにおける低い値VLで始まる)。バックプレート構造体40及び表面電極セグメント66i付近を除いて、電位82*は、鉛直方向の距離の関数として開始条件から距離dFBiにおける表面電極電位VFiまで概ね線形に増加する。電位82*が距離dSからdFBiに関して概ね線形に変化するのは、スペーサ主部60のシート抵抗が、所定の温度においてスペーサ主部60の幅(即ち、高さ)dT−dSに沿って概ね一定であることによる。低い値VLから表面電極電位VFiまでの変化において、曲線82*は、点92において曲線80*及び曲線84*の共通部分86と交差する。
【0062】
電位曲線82*は、距離dFBiからdFTiまでの電極セグメントの幅WFiを横切るときには概ね一定の電位VFiのままである。従って、曲線82*は点94において曲線80*及び曲線84*の共通部分86と再び交差する。図5に示すように、点94はセグメントの幅WFiの概ね半分の距離dFiにある。
【0063】
表面電極セグメント66i及びフェース構造体42付近を除いて、電位82*は、距離dFTiにおける表面電極電位VFiから距離dTにおける高い値VHまで概ね線形に増加し、従っての点90において電位84*と同様の終了条件で終結する。垂直方向の距離dFTiからdTまでに関する電位82*の概ね線形の変化は、スペーサ主部60のシート抵抗が、所定の温度においてその幅に沿って概ね一定であることによる。電極セグメント66i及びプレート構造体40及び42付近を除いて、距離dFTi−dT領域を横切る曲線82*の傾きは、距離dS−dFBi領域を横切る曲線82*の傾きに接近する。
【0064】
例えば任意のスペーサ44のようなフラットパネル型CRTディスプレイにおけるスペーサの電気的末端部の各々が、ディスプレイのバックプレート構造体及びフェースプレート構造体の電気的末端部と一致しない場合、スペーサの少なくとも表面の一部に沿って存在する電位は、バックプレート構造体とフェースプレート構造体の間の自由空間(即ち、スペーサのない空間)に存在するであろう電位場とは常に異なる。スペーサの近傍におけるバックプレート構造体からフェースプレート構造体までの電子の移動の軌跡は、スペーサに沿って存在するそのように変更された電位場によって、2つのプレート構造体の間の自由空間において同じ位置に存在するであろう電位場によるものとは違う作用を受ける。従って、スペーサは電子の軌跡に影響を及ぼす。
【0065】
分割された表面電極66を含むスペーサ44は、スペーサ44の電気的末端部がプレート構造体40及び42の電気的末端部から離隔されることによって生じる望ましくない電子の偏向を補償することにより、スペーサ44付近の電子放出領域から放出された電子の軌道に作用する。特に、スペーサ44のバックプレート側の電気的末端部は、距離dSにおける電気的末端平面74に位置し、従って距離dLにおけるバックプレート構造体40の電気的末端部の上方に位置する。バックプレート構造体40の電気的末端部とスペーサ44のバックプレート側の電気的末端部との不一致により、構造体40付近のスペーサ44に沿って存在する電位場は、スペーサ44のバックプレート側の電気的末端部がバックプレート構造体の電気的末端平面72に位置する場合、従って構造体40の電気的末端部に一致する場合に生じる電位よりも通常はより負の(より低い)値となる。結果として、スペーサ44近傍の電子放出領域46から放出された電子は、最初に最も近接するスペーサ44から離れる方向に偏向される。表面電極66は、電子を最も近接するスペーサ44の方向に偏向して戻すことによって、これらの初期の望ましくない電子の偏向を補償する。
【0066】
同様に、バックプレート構造体40に関し、スペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部は、距離dTにおける電気的末端平面78に位置し、従って距離dHにおけるフェースプレート構造体の電気的末端平面76の上方に位置する。フェースプレート構造体42の電気的末端部とスペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部との不一致により、構造体42付近のスペーサ44に沿って存在する電位場は、スペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部が平面76に位置する場合、従って構造体42の電気的末端部に一致する場合に生じる電位よりもより負の値となる。これにより領域46から放出された電子は、最も近接するスペーサ44から離れる方向に偏向される。また、表面電極66は、最も近接するスペーサ44の方向に電子を偏向して戻すことにより、この望ましくない電子の偏向を補償する。
【0067】
各スペーサ44の表面電極66は、次のような方法により偏向の補償を行う。前述のように、電位曲線82*及び電位曲線84*は、点88において同様の条件から始まり、点90において同様の条件で終結する。これは、鉛直方向の線82及び線84が集束コーティング54の頂部に関する対応する位置で始まるからである。要するに、曲線84*はプレート構造体40及び42の間の自由空間(即ち、スペーサ44の存在しない空間)において線82に沿って存在し得るであろう電位を表す。
【0068】
アノード電位VHが 放出部位平面70に沿って存在する電位よりも大きい場合、電子放出領域46から放出された電子は、バックプレート構造体40からフェースプレート構造体42までの移動の際に加速される。従って、放出された電子はフェースプレート構造体42付近においてはバックプレート構造体40付近よりもより速く移動する。より低速で移動する電子は、スペーサ44付近の電位場に応じて、より高速で移動する電子に比べてより引寄せられるか、或いはより反発される。
【0069】
スペーサ44に表面電極66が存在しない場合には、図3においてそのように変更された左側のスペーサ44付近の鉛直方向の線82に沿って結果として生じる電位は、図5の破線で表した直線96が示すように、鉛直方向の距離の増加に伴い点88から点90まで概ね線形に変化し得る。図において、電位96は電位84*よりも常に負の値をとる(端点88及び端点90を除く)。表面電極66が存在しない場合、そのように変更された左側のスペーサ44の表面における電位により、電子放出領域46、特に左側のスペーサ44に最も近接する2つの領域46付近から放出された電子はそのスペーサ44から離れる方向に偏向される。これは、曲線96が左側のスペーサ44の高さの約4分の1(又はそれ以上)の点に対応する鉛直方向の距離において曲線84*と交差するように、ディスプレイのフェースプレート側が改変されたとしても生じ得る。
【0070】
表面電極66が存在する場合には、曲線82*は点92及び点94において曲線84*と交差する。点88と点92の間においては、電位82*は電位84*に比べてより負の値である。従って、電子放出領域46、特に左側のスペーサ44に最も近接する2つの領域46付近から放出された電子は、垂直方向の点88から点92までの移動において受ける電位場によって、スペーサ44から離れる方向に偏向される。電位82*は電位84*に比べより負であるが、電位82*は電位84*に比較的接近している。点88及び点92によって画定された下側の領域における電位場による左側のスペーサ44から離れる方向の電子の偏向は、比較的小さいものである。
【0071】
点92と点94の間においては、電位82*は、共通電位86で表されている電位84*に比べてより正の(より高い)値である。電子放出領域46付近から放出された電子は、垂直方向の点92から点94までの距離の移動において受ける電位場によって、左側のスペーサ44の方向への矯正的な電子の偏向を受ける。図5で示すように、点88及び点92によって画定された中間領域における曲線82*及び曲線84*の間の領域は、点88及び点92によって画定された下側の領域における曲線84*と82との間の領域よりも非常に大きい。中間領域における電子の移動が下側の領域に比べてより高速であるとしても、中間領域における電位場による左側のスペーサ44の方向への電子の偏向は、下側の領域における電位場によるスペーサ44から離れる方向への電子の偏向に比べて非常に大きい。中間領域における曲線82*と曲線84*との間の領域の大きさは、従って左側のスペーサ44の方向への矯正的な電子の偏向の大きさは、スペーサ44の各表面電極セグメント66iの幅WLiによって決定される。
【0072】
点94と点90の間において、再び電位82*は電位84*に比べてより負の値をとる。従って、電子放出領域46付近から放出される電子は、垂直方向の点94から点90まで距離の移動において受ける電位場によって、左側のスペーサ44から離れる方向に偏向される。電子は、点94及び点90で画定された上側の領域において最大の速度に達し、従って上側の領域における電位82*の単位変化(unit changes)は、点92及び点94によって画定された中間領域における電位82*の単位変化よりも影響は小さい。表面電極セグメントの幅WFiの平均値が、或る規定された最小値を超え、また各表面電極セグメント66iが、バックプレート構造体40からフェースプレート構造体42までの距離の少なくとも約4分の1に位置する場合、最終的には電子放出領域46付近から放出された電子は表面電極66によって左側のスペーサ44の方向に偏向される結果となる。
【0073】
セグメント幅WFiの平均値及び平均セグメント距離dFiを適切に選択することによって、スペーサ44方向への電子の偏向により、スペーサ44のバックプレート側の電気的末端部がバックプレート構造体の電気的末端部の上方に位置することによる、またスペーサ44のフェースプレート側の電気的末端部がフェースプレート構造体42の電気的末端部の上方に位置することによるスペーサ44から離れる方向への電子の望ましくない偏向が矯正される。図3におけるカーブした破線98は、左側のスペーサ44に最も近接する電子放出領域の1つから放出された電子の典型的な軌道を示す。電子の軌道98が示すように、左側のスペーサ44から離れる方向の初期及び最終的な電子の偏向は、スペーサ44方向の中間の電子の偏向によって補償され、正味の電子の偏向はゼロに近付く。
【0074】
各表面電極セグメント66iによる補償的な電子の偏向の大きさは、セグメント幅WFi及びセグメント電位VFiに依存する。各電極セグメント66iが適正な量の補償的な電子の偏向を達成するために必要とする特定のVFi値の大きさは、通常はセグメント距離dFiの増加と共に増大する。
【0075】
前述のように、表面電極セグメント電位VFiはスペーサ44の抵抗特性によって決定される。特に、各スペーサ44のセグメント電位VFiの大きさは、セグメント距離dFiの増加に伴い増大する。重要なことは、各スペーサ44の抵抗特性によってそのVFiの大きさが鉛直方向の距離の増加に伴い増大する割合が、正確な量の補償的な電子の偏向を達成するために必要とするVFiの大きさが鉛直方向の距離に伴い増加する割合と概ね同様であることである。望ましい電子の偏向の補償を達成するために必要とされるVFiの大きさが、距離dFiの1つの選択された値に対して決定された場合、電極セグメント66iに起因する補償的な電子の偏向量は、距離dFiが選択された値dFiから上下に変動するに伴い比較的緩やかに変化する。
【0076】
特定の補償的な電子の偏向を達成するために必要とされるセグメント電位VFiの値は、電極セグメント66iが傾いている場合には、横方向に測定した電極セグメント66iの長さに沿って変化し得る。そのような傾斜は、傾斜したセグメント66iの長さに沿って補償誤差を招く可能性があるが、電極セグメント66iを適切に短くすることによって補償誤差をかなり小さくすることができる。
【0077】
重要なことは、セグメント距離dFiに対する偏向の補償の相対的な鈍感性が、表面電極66の長さに沿った電子の補償の大きさに著しい影響を与えることなしに、電極セグメント661から66Nの異なる1つが異なるdFiの値をとり得ることを示すことである。通常セグメント661から66Nが直線的に配置される一方で、各表面電極66は種々の方法によって傾斜させるか或いは湾曲させることができる。
【0078】
図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイは以下のような方法で製造する。プレート構造体40及び42と、スペーサ44を側方に外囲してプレート構造体40及び42と接触する外壁(図示せず)とは個別に製造する。また、スペーサ44も個別に製造する。構成部品40、42、及び44並びに外壁は、密封されたディスプレイの中の圧力が高真空(通常は10-7torr以下)となるように組立てる。ディスプレイの組立において、各スペーサ44のバックプレート側及びフェースプレート側の端部の各々が、望ましい位置で集束コーティング54及びアノード層58と接触するように、スペーサをプレート構造体40と42との間に挿入する。
【0079】
一般にスペーサ44は、分割された表面電極66の形状を確定するのにマスキング操作を用いるプロセスによって製造される。マスキング操作によってセグメント66iからセグメント66iまでのセグメント幅WFiを非常に一様にすることが可能となる。一般にスペーサ44の製造には、電極66を形成するための材料のブランケット層を被着する過程と、その後の不要な材料を除去する領域を画定するためにマスクを用いるブランケット層の不要な部位を選択的に除去する過程とを必要とする。マスクは電極66を形成する電極材料を被覆することが可能であり、またブランケット電極材料層の下側に設けられ不要な電極材料を剥離するために取り除かれる剥離層(lift-off layer)の形状を画定するために用いられ得る。或いは、電極材料が他の場所に堆積するのを防止するためのマスク(一般にシャドーマスクと称する)を用いて電極66を選択的に被着することができる。
【0080】
図6a〜図6b(まとめて「図6」とする)は、必要とする電極材料をマスクで被覆するブランケット被着/選択的除去技術を用いてどのようにスペーサ44を製造するかを示す。図6のプロセスの出発点は、スペーサ材料の概ね平坦なシート100である(図6a参照)。スペーサ主部60に分割されていないことを除けば、シート100には、厚みに関してスペーサ主部と同様に準備されたスペーサ主部60の材料が含まれている。
【0081】
図6bに示すように、表面電極66を形成する材料のブランケット層102をシート100上に被着する。ブランケット電極層102は、電極66と概ね同一の厚みである。少なくとも1つの電極66(通常は多数の電極66)の形状に横方向に構成されたフォトレジストマスク104が、電極層102の頂部に形成される。図6bは、フォトレジストマスク104が複数の電極66の形状をなす典型的な状況を示すものである。電極層102の露出された部分は、適切なエッチング剤で除去される。次にフォトレジストマスク104が除去される。図6cは、結果として得られた電極層102の残存部分が複数の表面電極66(その内の2つを図示)を形成する構造体を示す。
【0082】
ここでシート100は、端部電極62及び64が各スペーサ主部60のバックプレート側及びフェースプレート側の端部に形成されるプロセスによって、スペーサ主部60に分割される(図6d参照)。ここでスペーサ44の製造が完了する。続いてスペーサ44は、ディスプレイの組立工程においてプレート構造体40と42との間に挿入される。
【0083】
表面電極66の形成に剥離処理を用いる場合、出発点は図6aの構造体である。ブランケット剥離層をシート100の頂部に被着する。剥離層は、適切なフォトレジストマスクを剥離層上に形成し、適切なエッチング剤で被覆されていない剥離材料を除去し、そこでマスクを除去することによって電極66の逆の形状にパターン形成される。表面電極材料のブランケット層が、パターン形成された残りの剥離層及びシート100の被覆されていない材料上に被着される。次に剥離層が適切なエッチング剤によって除去され、従って上に重なる電極材料も除去される。電極材料の残存部が表面電極66を形成する。
【0084】
分割された表面電極66の形状がシャドーマスクによって画定される場合も製造プロセスは図6aの構造体から始まる。シャドーマスクはシート100の上方に位置し、電極66の予定した位置に開口部を有する。表面電極材料がシャドーマスク上に被着され、また開口部の中に被着され、図6cの構造体を形成する。シート100の切断し、更に端部電極62及び64の形成して図6dに示すようなスペーサ44を作り出す。
【0085】
図7及び図8は互いに垂直な図であり、本発明による図3及び図4のフラットパネル型CRTディスプレイの変更例を示すものである。スペーサ44のスペーサ主部60上に形成された表面電極の構成を除いては、図7及び図8のフラットパネル型ディスプレイは、図3及び図4のものと同様に形成されている。異なる表面電極を形成するための説明に必要なマスキングの変更を除けば、図7及び図8のディスプレイは、図3及び図4のディスプレイと同様の方法で製造される。
【0086】
図7及び図8のフラットパネル型ディスプレイにおいて、ディスプレイのアクティブ領域を横切り側方に延在する側方に分割された多数の導電性の表面電極が、各スペーサ部44のスペーサ主部60の1つの表面に配置される。図7及び図8は、各スペーサが3つに分割された導電性の表面電極110、112、及び114を含む実施例である。表面電極110、112、及び114の各々は、バックプレート構造体40からフェースプレート構造体42までの距離の少なくとも約4分の1に位置し、表面電極110はフェースプレート構造体42に最も接近し、表面電極114はフェースプレート構造体42から最も遠くに位置する。電極110、112、及び114は、通常はバックプレート構造体40よりもフェースプレート構造体42に幾分接近している。電極110、112、及び114は、電極66と同様の材料からなる。電極110、112、及び114の厚みは、通常は電極66と同様である。
【0087】
表面電極110の各々は、N個の側方に離隔されたセグメント1101、1102、〜110Nに分割される。同様に表面電極112の各々は、N個の側方に離隔されたセグメント1121、1122、〜112Nに分割される。同様に電極114の各々はN個の側方に離隔されたセグメント1141、1142、〜114Nに分割される。図8は電極110、112、及び114の各々の7つのセグメントを示し、従ってNは少なくとも7である。電極セグメント1101〜110Nの間、電極セグメント1121〜112Nの間、並びに電極セグメント1141〜114Nの間の側方の間隔は、通常は電極セグメント661〜66Nの間の側方の間隔と同様である。
【0088】
セグメント1101〜110Nは、通常は全て同じサイズ及び同じ形状である。セグメント1121〜112N及びセグメント1141〜114Nについても同様である。しかし、セグメントの集合1101〜110N、1121〜112N、及び1141〜114Nにおけるセグメントのサイズ及び形状は、それらセグメントの集合の何れか一方或いは両方と異なる電極のサイズ及び形状であり得る。図8においてセグメント1101〜110N、1121〜112N、及び1141〜114Nは長方形として示されているが、電極セグメント661〜66Nに関して先に述べたように他の任意の形状も可能である。
【0089】
電極セグメント110iの各々は、通常は電極セグメント112Iに対して完全に上方に位置する。また電極セグメント112iの各々は、電極セグメント114iに対して完全に上方に位置する。長方形の場合、セグメント110i、112i、及び114iの複合的な幅は、一般に幅WFiよりも若干大きい。
【0090】
図3及び図4のディスプレイと同様に、図7及び図8のディスプレイにおいては、プレート構造体40及び42の電気的末端部とスペーサ44の電気的末端部との不一致、特にバックプレート構造体40の電気的末端部とスペーサ44のバックプレート側の電気的末端部との不一致が、隣接するスペーサ44から離れる方向の望ましくない電子の偏向を招く。電極セグメント110i、112i及び114iの各々のセットは、通常は電極セグメント66iと同様に作用し、電子放出領域46、特に最も近接した領域46付近から放出された電子を最も近接したスペーサ44の方向に偏向させる。これにより、最も近接するスペーサ44から離れる方向の望ましくない電子の偏向は補償される。
【0091】
電極セグメント110i、112i、又は114iの各々の幅は、セグメント110i、112i、又は114iの目標とする(望ましい)幅とは常に若干異なる。図7及び図8の表面電極の構成は、互いに関連しない(即ち、概ね無作為な)誤差が電極セグメント110i、112i、及び114iに存在する場合に特に有効である。多数のセグメント110i、112i、及び114iを有することによって、3つのセグメント110i、112i、及び114iの各々の集合の実際の複合的な幅が、それらのセグメントの集合の目標とする複合的な幅に比較的近付くように、互いに関連しない誤差は平均化される傾向にある。
【0092】
表面電極66の製造に関して先に述べたブランケット被着/選択的除去プロセスのようなフォトリソグラフィーのマスキング処理によって形成された形状の幅における誤差の各々は、互いに相関を有する傾向にある。つまり、その形状の1つの実際の幅が、その形状の目標とする幅よりも大きいか或いは小さい場合、別の形状の各々の実際の幅は、概ね同じ量だけ別の形状の対応する目標の幅よりも大きいか或いは小さい。
【0093】
図7及び図8のフラットパネル型CRTディスプレイの変更例においては、分割された表面電極110、112、及び114の中の2つのみが存在する。例えば、分割された電極110及び114のみが存在する場合を考えて欲しい。図7及び図8のディスプレイと同様に、この変更例における上側の分割された電極110は、バックプレート構造体40からフェースプレート構造体40までの距離の少なくとも約4分の1にあり、通常はバックプレート構造体40よりもフェースプレート構造体42に接近している。一方で、その変更例における下側の分割された電極114は、フェースプレート構造体40からバックプレート構造体40までの距離の約4分の1未満にある。下側の電極114のこの配置によって、電子は最も近接するスペーサ44から離れる方向に偏向される。従って、上側の電極110は付加的な役割を担う。プレート構造体40及び42に対する各スペーサ44の電気的末端部の不一致の補償のために、最も近接するスペーサ44の方向に電子を偏向することに加えて、上側の電極110は、下側の電極114の配置による最も近接するスペーサ44から離れる電子の偏向の補償を行う。
【0094】
下側の表面電極114の配置による最も近接するスペーサ44から離れる方向の電子の偏向の大きさは、上側の表面電極110による最も近接するスペーサ44の方向への電子の偏向に比べて比較的小さい。この偏向の大きさの差は、電極110と114の目標幅の適切な調整によって得られる。重要なことは、電極110及び114の幅において互いに関連する誤差が存在する場合、各上側の電極セグメント110iの幅における誤差が、下側の電極セグメント114iの幅における誤差と概ね等しいことである。これらの誤差は概ね相殺されて、上側のセグメント110iの実際の幅と下側のセグメント114iの実際の幅との差が、上側のセグメント110iの目標幅と下側のセグメント114iの目標幅との差と非常に接近する。言い換えれば、セグメント110i及びセグメント114iの両方の幅に誤差が生じた場合にも、表面電極セグメントの幅における実際の差は、その目標とする差に非常に接近する。この変更例において電極110及び114の位置及び目標幅を適切に選択することによって、電子の偏向の良好な補償が得られる。
【0095】
本発明のフラットパネル型ディスプレイは、通常は次のように作動する。各々が電位VL及びVHである集束コーティング54及びアノード層58に関し、選択された電子放出領域46の1つに適切な電位差を印加し領域46に電子を放出させる。アノード層58が、放出された電子をフェースプレート構造体42の方向に引寄せ、集束コーティング54が、電子を対応する発光領域56の1つに集束する。分割された電極66のような表面電極が、前述のような方法で電子の軌跡を制御する。電子がフェースプレート構造体42に到達すると、それらはアノード層58を通過して対応する発光領域56に衝当し、それによって構造体の外側表面上に可視光を放出する。同様に別の発光素子56も選択的に活性化される。
【0096】
本発明の説明において用いた「上側」及び「頂部」のような方向を表す用語は、本発明の様々な構成要素がどのように組み合わされているかを読者が容易に理解出来るようにするための基準となる枠組みの設定のために用いられている。実際には、フラットパネル型CRTディスプレイの構成要素は、ここで用いる用語の示す方向とは異なる向きに配置されていることもある。説明を容易にするために方向を表す用語を便宜上用いるが、本発明は、ここで用いた方向を示す用語によって厳密に取り扱われているものとは異なる方向を有する実施形態も包含している。
【0097】
本発明について特定の実施例を引用して説明してきたが、この説明は単に例示の目的でなされたものであり、本発明の請求の範囲を限定するものと解釈してはならない。例えばスペーサ主部は、柱状として、或いは壁の組合せとして形成することができる。柱状のスペーサの断面は、柱の長手方向に沿って見た場合に、例えば円形、楕円形、又は長方形のような種々の形状をとり得る。壁の組合せにより形成されたスペーサ主部の長手方向に沿ってみた場合に、スペーサ主部は、「T」字型、「H」字型、或いは十字型の形状をとり得る。これらの変更例において、スペーサ主部に形成された側方に分割された表面電極の各々は、セグメント電位がスペーサ主部を側方に貫く範囲のような因子次第で、スペーサ主部に完全に又は周囲に部分的に延在してもよい(例えば、全体ではなく半分或いはそれ以上に周囲に延在してもよい)。
【0098】
スペーサのバックプレート側及びフェースプレート側の電気的末端部の各々がバックプレート及びフェースプレート構造体の電気的末端部の上方に位置する以外のメカニズムによって、スペーサから離れる方向の望ましくない電子の偏向が生じる場合において、フラットパネル型CRTディスプレイにおける電子放出領域付近から放出された電子をスペーサの方向に偏向するために、分割された表面電極66をスペーサ44と同様に構成されたスペーサの一部として形成し得る。各フェースプレート電極66が、依然としてバックプレート構造体よりもフェースプレート構造体に概ね接近している場合、前述の表面電極66に関する原理に従い、最も近接するスペーサの方向への補償的な電子の偏向が生じる。この点に関しては、表面電極110、112、及び114のような2以上の側方に分割された表面電極を各表面電極66の代わりに用いることができる。
【0099】
一方で、図7及び図8のディスプレイの前述の変更例のように、別のメカニズムによってスペーサ方向への望ましくない電子の偏向が生じた場合に、表面電極66に概ね類似の側方に分割された表面電極を用いて、スペーサを含むフラットパネル型CRTディスプレイの電子放出領域によって放出された電子を最も近接するスペーサから離れる方向に偏向することができる。最も近接するスペーサから離れる方向の望ましくない電子の偏向は、例えばスペーサのバックプレート側の電気的末端部がバックプレート構造体の電気的末端部の下方に位置するような種々の原因によって生じ得る。この場合、通常は分割された表面電極がバックプレート構造体からフェースプレート構造体までの距離の約4分の1未満に配置される。最も近接するスペーサの方向への補償的な電子の偏向は、表面電極66に適応した原理の逆の原理によって生じる。そのような分割された電極の各々の代わりに、2以上の側方に分割された表面電極を用いることができる。
【0100】
スペーサ44に沿って存在する電位場を制御するための別のメカニズムを、分割された表面電極66に関して用いることができる。スペーサ44を通る熱エネルギーの流れ(熱流)によって生じる電子の偏向は、Spindtの国際特許出願PCT/US99/03792(1999年2月22日出願)に開示の設計原理によって非常に低いレベルに低減することができる。場合によっては、外部で発生する電位を、一定の或いは全ての電極セグメント661〜66Nに印加し得る。或いは、端部電極62又は/及び端部電極64に接触する表面電極を、スペーサ主部60に設けることができる。
【0101】
逆に、場合によっては端部電極62又は/及び端部電極64を消去し得る。そのような場合には、各表面電極66は、スペーサ主部60の物理的末端部から依然として離隔され、従ってプレート構造体40及び42から離隔されている。表面電極110、112、及び114についても同様である。
【0102】
電界放出には、一般に表面放出と称される現象が含まれる。本発明のフラットパネル型CRTディスプレイにおけるバックプレート構造体40は、熱電子放出又は光電子放出によって作動する電子放出バックプレート構造体で代替し得る。制御電極が電子放出素子から選択的に電子を抜き出すのに用いられる一方で、バックプレート構造体は、ディスプレイ動作において連続的に電子を放出する電子放出素子からの電子を選択的に集束する電極を具備することができる。従って当業者は、本明細書の請求の範囲で画定されるような発明の厳密な目的及び精神から逸脱することなく種々の変更及び応用を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図2の平面1−1に沿って切った従来型のフラットパネル型CRTディスプレイの一部の断面図である。
【図2】 図1の平面2−2に沿って切った従来型のフラットパネル型CRTディスプレイの一部の断面図である。
【図3】 図4の平面3−3に沿って切った本発明によるフラットパネル型CRTディスプレイの一部の断面図である。
【図4】 図3の平面4−4に沿って切った本発明によるフラットパネル型CRTディスプレイの一部の断面図である。
【図5】 図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイの種々の位置における垂直方向の距離を関数とした電位のグラフである。
【図6a】 図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイに適するスペーサの製造プロセスの一工程を示す断面図である。
【図6b】 図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイに適するスペーサの製造プロセスの一工程を示す断面図である。
【図6c】 図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイに適するスペーサの製造プロセスの一工程を示す断面図である。
【図6d】 図3及び図4のフラットパネル型ディスプレイに適するスペーサの製造プロセスの一工程を示す断面図である。
【図7】 図8の平面7−7に沿って切った本発明による別のフラットパネル型CRTディスプレイの一部の断面図である。
【図8】 図7の平面8−8に沿って切った本発明による別のフラットパネル型CRTディスプレイの一部の断面図である。
図面および好適実施例の説明において、同一又は非常に類似した要素を表すために同様の参照符号を用いる。

Claims (18)

  1. フラットパネル型ディスプレイであって、
    第1のプレート構造体と、
    前記第1の構造体と共に連結されて気密容器を形成する画像を生成するための第2のプレート構造体と、
    前記ディスプレイに作用する外力に対抗するために前記気密容器内に配置された、スペーサ主部及び該スペーサ主部の表面上に位置する分割された表面電極を有するスペーサであって、前記表面電極が両方の前記プレート構造体から離隔された複数の電極セグメントを含み、各々のスペーサ主部の表面に対して概ね垂直な方向から見た場合に前記電極セグメントが互いに各プレート構造体の面の延在する方向に平行な方向に離隔されており、各電極セグメントが前記スペーサの抵抗特性によって概ね決定されるセグメント電位に到達する前記スペーサとを有することを特徴とするフラットパネル型ディスプレイ。
  2. 前記第2のプレート構造体が、前記第1のプレート構造体から放出された電子に応じて光を放出して画像を生成することを特徴とする請求項1に記載のディスプレイ。
  3. 前記スペーサが、
    前記スペーサ主部の第1の端部の上に重なり、前記第1のプレート構造体に接触し、また前記表面電極から離隔された第1の端部電極と、
    前記スペーサ主部の第1の端部とは反対側の第2の端部上に重なり、前記第2のプレート構造体と接触し、また前記表面電極から離隔された第2の端部電極とを更に含むことを特徴とする請求項1若しくは2に記載のディスプレイ。
  4. 前記スペーサ主部が1010−1013Ω/□のシート抵抗を有し、
    前記表面電極が1010Ω/□よりも小さいシート抵抗を有することを特徴とする請求項1乃至の何れかに記載のディスプレイ。
  5. 前記スペーサ主部が、
    所定の基板と、
    電子の二次的放出を抑制するために前記基板上に重なるコーティングとを有することを特徴とする請求項1乃至の何れかに記載のディスプレイ。
  6. 前記スペーサが、前記スペーサ主部の表面上に重なる少なくとも1つの付加的な表面電極を更に含み、各々のスペーサ主部の表面に対して概ね垂直な方向から見た場合に、各表面電極が別の表面電極に対して各プレート構造体の面の延在する方向に垂直な方向に離隔されていること特徴とする請求項1乃至の何れかに記載のディスプレイ。
  7. フラットパネル型ディスプレイ構造を形成する方法であって、
    スペーサ主部及び該スペーサ主部の表面上に位置する表面電極を有するようにスペーサを形成する過程であって、前記表面電極が、(a)前記スペーサの対向する第1及び第2の端部から離隔され、且つ(b)前記スペーサの表面に対して概ね垂直な方向から見た場合に前記スペーサの前記第1及び第2の端部の面の延在する方向に平行な方向に互いに離隔されている複数の電極セグメントに分割される前記スペーサの形成過程と、
    前記スペーサの第1及び第2の端部が第1及び第2のプレート構造体と各々接触し、且つディスプレイ動作において各電極セグメントが前記スペーサの抵抗特性によって概ね決定される所定のセグメント電位に到達するように、フラットパネル型ディスプレイの前記第1のプレート構造体と前記第2のプレート構造体との間に前記スペーサを挿入する過程であって、ディスプレイ動作において所定の画像が前記第2のプレート構造体上に生じる前記スペーサの挿入過程とを含むことを特徴とする方法。
  8. 前記第2のプレート構造体が、前記第1のプレート構造体から放出された電子に応じて光を放出して画像を生成することを特徴とする請求項に記載の方法。
  9. 前記形成過程が、
    シート状のスペーサ材料の上に電極層を被着する過程と、
    前記電極材料の残存部から前記電極セグメントを概ね形成するために、前記電極層の一部を選択的に除去する過程とを含むことを特徴とする請求項若しくはに記載の方法。
  10. 前記除去過程が、前記電極層の一部を選択的に除去する場合にマスクを用いて操作する過程を含むことを特徴とする請求項に記載の方法。
  11. 前記除去過程が、
    前記電極層上に前記マスクを形成する過程と、
    前記マスクで被覆されていない前記電極層の材料を除去する過程とを含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
  12. 前記除去過程及び被着過程が、
    前記シート状のスペーサ材料の上に剥離層を形成する過程と、
    前記剥離層上に前記マスクを形成する過程と、
    前記マスクで被覆されていない前記剥離層の材料を除去する過程と、
    前記マスクを除去する過程と、
    前記剥離層の残存材料及び前記シート状のスペーサ材料の被覆されていない材料の上に前記電極層を被着する過程と、
    上に重なる前記電極層の材料を除去するために、前記剥離層の残存材料を除去する過程とを含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
  13. 前記形成過程が、前記電極セグメントを概ね形成するために、シート状のスペーサ材料の上に電極材料を選択的に被着する過程を含むことを特徴とする請求項若しくはに記載の方法。
  14. 前記被着過程が、前記電極層の一部を選択的に被着する場合にマスクを用いて操作する過程を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。
  15. フラットパネル型ディスプレイであって、
    (a)電子を放出するための手段及び(b)放出された電子を集束するための手段を含む第1のプレート構造体であって、前記電子集束手段が、非導電性のベース構造体及び該ベース構造体の上に重なる導電性の集束コーティングを含む前記第1のプレート構造体と、
    前記第1の構造体と共に連結されて気密容器を形成する画像を生成するための第2のプレート構造体と、
    前記ディスプレイに作用する外力に対抗するために前記気密容器内に配置された、スペーサ主部及び該スペーサ主部の表面上に位置する分割された表面電極を有するスペーサであって、前記表面電極が両方の前記プレート構造体から離隔された複数の電極セグメントを含み、各々のスペーサ主部の表面に対して概ね垂直な方向から見た場合に前記電極セグメントが互いに各プレート構造体の面の延在する方向に平行な方向に離隔されており、各電極セグメントが前記スペーサの抵抗特性によって概ね決定されるセグメント電位に到達する前記スペーサとを有することを特徴とするフラットパネル型ディスプレイ。
  16. 前記第2のプレート構造体が、前記電子放出手段から放出された電子に応じて光を放出して画像を生成することを特徴とする請求項15に記載のディスプレイ。
  17. フラットパネル型ディスプレイ構造を形成する方法であって、
    スペーサ主部及び該スペーサ主部の表面上に位置する表面電極を有するようにスペーサを形成する過程であって、前記表面電極が、(a)前記スペーサの対向する第1及び第2の端部から離隔され、且つ(b)前記スペーサの表面に対して概ね垂直な方向から見た場合に前記スペーサの前記第1及び第2の端部の面の延在する方向に平行な方向に互いに離隔されている複数の電極セグメントに分割される前記スペーサの形成過程と、
    前記スペーサの第1及び第2の端部が第1及び第2のプレート構造体と各々接触し、且つ前記第1のプレート構造体が(a)電子を放出するための手段及び(b)そのように放出された電子を集束するための手段を含むように、かつディスプレイ動作において各電極セグメントが前記スペーサの抵抗特性によって概ね決定されるセグメント電位に到達するように、フラットパネル型ディスプレイの前記第1のプレート構造体と前記第2のプレート構造体との間に前記スペーサを挿入する過程であって、前記電子集束手段が、非導電性のベース構造体及び該ベース構造体の上に重なる導電性の集束コーティングを含み、ディスプレイ動作において所定の画像が前記第2のプレート構造体上に生じる前記スペーサの挿入過程とを含むことを特徴とする方法。
  18. 前記第2のプレート構造体が、前記電子放出手段から放出された後に前記電子集束手段における開口部を通過する電子に応じて光を放出して画像を生成することを特徴とする請求項19に記載の方法
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