JP3775866B2

JP3775866B2 - Linear actuator

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Publication number: JP3775866B2
Application number: JP24236896A
Authority: JP
Inventors: 正行細野; 博宮地; 成央上野
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1996-09-12
Filing date: 1996-09-12
Publication date: 2006-05-17
Anticipated expiration: 2016-09-12
Also published as: JPH1089312A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復させるリニアアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このリニアアクチュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送している。
【０００３】
従来技術に係るリニアアクチュエータ（実開平６−４７７０８号公報参照）を図１６および図１７に示す。この流体圧シリンダ１は、中央部に直線ころがり軸受２が膨出形成されたシリンダ本体３と、前記直線ころがり軸受２の案内作用下に直線状に往復動作するテーブル４とを有する。
【０００４】
前記テーブル４の一側面には永久磁石５が固着され、またシリンダ本体３の一側面には一組のねじ６ａ、６ｂを介してガイドレール７が締結される。前記ガイドレール７には軸線方向に沿って長溝８が形成され、前記長溝８の所定位置に装着された磁気近接スイッチ９によって永久磁石５の磁気作用を検知することにより、テーブル４の位置を検出している。
【０００５】
なお、前記ガイドレール７に近接するシリンダ本体３の一側面部には、管継手を螺入して配管用チューブを接続するための一組の流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂ（一方は図示せず）が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の流体圧シリンダ１では、磁気近接スイッチ９が装着されるガイドレール７をねじ６ａ、６ｂによってシリンダ本体３の一側面部にねじ締結しているため、前記シリンダ本体３の側面部には前記ねじ６ａ、６ｂを螺入するためのねじ穴を形成する必要があり、前記ねじ穴を穿孔するためにシリンダ室の内壁面とシリンダ本体３の外壁面との間の肉厚Ｌ（図１７参照）を厚く形成しなければならない。この結果、シリンダ本体３の短手方向の幅Ｗを縮小することができないため、装置全体の小型・軽量化を図ることが不可能となる難点がある。
【０００７】
また、従来技術に係る流体圧シリンダ１では、シリンダ本体３の流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂに対して配管用チューブを接続するための管継手を螺入する際、前記流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂよりも外部側に突出するガイドレール７が障害となって配管作業が煩雑となる不都合がある。
【０００８】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、配管作業を簡便に行うことができるとともに、シリンダ本体の短手方向の幅を縮小して装置全体の小型・軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体出入ポートに連通するシリンダ室を有し、側面部に軸線方向に沿って延在する溝部が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
センサ装着用の長溝が形成され、前記溝部に沿って嵌挿され該溝部に保持される係止部が設けられたブロック体と、
前記長溝の所定位置に選択的に装着されるセンサと、
前記ブロック体に設けられ、該ブロック体を前記シリンダ本体の側面部の所定位置に固定する固定手段と、
を備え、
前記溝部は、前記シリンダ本体の相互に対向する一組の側面部に形成され、前記固定手段を介して前記シリンダ本体の一方の側面部の前記溝部に前記ブロック体を固定するとともに他方の側面部の前記溝部に流体出入ポートを閉塞する閉塞プレートを固定し、前記ブロック体と閉塞プレートは、相互に交換可能に設けられることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、流体出入ポートから導入された圧力流体はシリンダ室に供給され、ピストンを所定方向に押圧する。前記ピストンの変位作用下にシリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルが往復動作する。
【００１１】
また、本発明によれば、センサ装着用の長溝が形成されたブロック体をシリンダ本体に連結する際、シリンダ本体の側面部に形成された溝部に沿ってブロック体に設けられた係止部を嵌挿することにより、ブロック体をシリンダ本体に簡便に連結することができる。従って、ブロック体をねじ止めする必要がないため、シリンダ室の内壁面からシリンダ本体の外壁面までの肉厚を薄く形成することができ、シリンダ本体の短手方向の幅を縮小することが可能となる。さらに、本発明によれば、前記シリンダ本体の相互に対向する一組の側面部にそれぞれ溝部が形成され、固定手段を介して前記シリンダ本体の一方の側面部の前記溝部に前記ブロック体を固定するとともに他方の側面部の前記溝部に流体出入ポートを閉塞する閉塞プレートを固定することにより、前記ブロック体と閉塞プレートは、設置環境に対応して相互に交換することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１３】
図１において参照数字２０は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。このリニアアクチュエータ２０は、シリンダ本体２２と、前記シリンダ本体２２の長手方向に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル２４と、前記シリンダ本体２２の一方の側面部にねじ止めされるセンサ取付用レール（ブロック体）２６と、前記センサ取付用レール２６に対向するシリンダ本体２２の他方の側面部にねじ止めされるプレート（閉塞プレート）２７とを有する。
【００１４】
図１並びに図８に示されるように、前記シリンダ本体２２の上面部には、相互に対向する一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂが該シリンダ本体２２と一体的に膨出形成され、前記一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂには、複数のボールベアリング２９が転動して無限循環軌道を構成するボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２ａ、３２ｂとが長手方向に沿ってそれぞれ形成される。
【００１５】
また、図５に示されるように、前記一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂ間の略中央部には一組のねじ３４を介して直方体状のストッパブロック３６が固設され、前記ストッパブロック３６に近接する部位には、軸線と略直交する方向に貫通する一組の取付用孔部４０ａ、４０ｂが形成される。
【００１６】
さらに、図６に示されるように、前記シリンダ本体２２の内部には軸線方向に沿って略平行に並設された一組の貫通孔４２ａ、４２ｂが形成され、前記貫通孔４２ａ、４２ｂ内には、略同一形状に形成され、外周面にシールリング４４およびダンパ４６が装着されたピストン４８と、前記ピストン４８に連結されたピストンロッド５０とがそれぞれ収装される。
【００１７】
各貫通孔４２ａ、４２ｂの一端部は、止め輪５２を介して装着されるエンドキャップ５４によって気密に閉塞され、前記貫通孔４２ａ、４２ｂの他端部は、ピストンロッド５０の外周面に摺接する環状凸部５６によって閉塞される。前記環状凸部５６から外部に露呈するピストンロッド５０は、止め輪を介してシリンダ本体２２に保持されたロッドパッキン５８およびカラー６０によってシールされる。
【００１８】
この場合、一組の貫通孔４２ａ、４２ｂをそれぞれ閉塞するエンドキャップ５４と環状凸部５６とによって、実質的に、第１シリンダ室６２ａ、６２ｂおよび第２シリンダ室６３ａ、６３ｂが形成され、前記第１シリンダ室６２ａ、６２ｂおよび第２シリンダ室６３ａ、６３ｂは、連通路６７ａ、６７ｂを介してそれぞれ連通するように形成される。
【００１９】
また、シリンダ本体２２の相互に対向する両側面には、一組の第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂおよび第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂが該シリンダ本体２２の軸線を対称軸としてそれぞれ線対称に配置され、前記第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂは第１シリンダ室６２ａ、６２ｂにそれぞれ連通し、第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂは第２シリンダ室６３ａ、６３ｂにそれぞれ連通するように形成されている。なお、前記ピストンロッド５０の先端部にはロックナット６６を介してフローティングブッシュ６８が連結される。
【００２０】
図７に示されるように、シリンダ本体２２の相互に対向する両側面部には、センサ取付用レール２６およびプレート２７を該シリンダ本体２２に装着するための一組の溝部６９ａ、６９ｂが形成され、前記一組の溝部６９ａ、６９ｂはそれぞれ線対称に形成される。
【００２１】
図１に示されるように、スライドテーブル２４は、一組のボルト７０ａ、７０ｂを介して断面略Ｌ字状に略直交してねじ締結されるテーブル７２とエンドプレート７４とから構成され、前記エンドプレート７４に形成された半円形状の孔部７６を介してフローティングブッシュ６８が保持される。なお、前記エンドプレート７４に形成された孔部内に図示しない緩衝部材が挿入され、前記緩衝部材はスライドテーブル２４の一方の変位終端位置においてエンドプレート７４がシリンダ本体２２の端面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能を営む。
【００２２】
前記テーブル７２には、４個のワーク保持用孔部８０ａ〜８０ｄと、シリンダ本体２２の取付用孔部４０ａ、４０ｂに対応し且つ連通する一組の通し穴８２ａ、８２ｂが形成される（図１並びに図３参照）。この場合、前記通し穴８２ａ、８２ｂを通じてテーブル７２の上面側から図示しないボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂに螺入してシリンダ本体２２を他の部材に取り付け、あるいはシリンダ本体２２の底面側からボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂに直接螺入して取り付けることが可能である（図５参照）。このように、作業者は、リニアアクチュエータ２０の取付方向を上方向または下方向のいずれかを選択することができる。
【００２３】
図７に示されるように、スライドテーブル２４の下面部には、長手方向に沿って延在する一組のガイド部８４ａ、８４ｂが一体的に膨出形成され、前記ガイド部８４ａ、８４ｂの対向する側面部には、ボール転動溝８６ａ、８６ｂが長手方向に沿って形成される。また、所定間隔離間する一組のガイド部８４ａ、８４ｂ間には、ストッパブロック３６の形状に対応し軸線方向に沿って所定長だけ延在する切欠部８８が形成される（図５並びに図７参照）。
【００２４】
図５に示されるように、前記切欠部８８の一端部には、スライドテーブル２４の変位量調整手段として機能するアジャスタボルト９０がロックナット９２を介して螺入され、前記アジャスタボルト９０の先端部には、例えば、ウレタン等のゴムからなる緩衝部材９４が装着される。
【００２５】
この場合、アジャスタボルト９０はスライドテーブル２４と一体的に変位し、緩衝部材９４がストッパブロック３６に当接することにより、スライドテーブル２４の移動量が規制される。また、前記アジャスタボルト９０および緩衝部材９４は、スライドテーブル２４の一端部の略中央に軸線方向に沿って設けられているため（図３並びに図５参照）、スライドテーブル２４が変位終端位置に到達する際に前記スライドテーブル２４に付与される偏荷重を減少させる機能を営む。この結果、スライドテーブル２４に載置される図示しないワークに対して偏荷重が伝達されることを阻止することができる。
【００２６】
スライドテーブル２４をシリンダ本体２２の軸線方向に沿って案内するガイド機構は、前記スライドテーブル２４の下面部に一体的に膨出形成され、両側面に相互に対向する一組のボール転動溝８６ａ、８６ｂが形成されたガイド部８４ａ、８４ｂと、前記ガイド部８４ａ、８４ｂの両側に所定距離離間しシリンダ本体２２の上面部に一体的に膨出形成され、ボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２ａ、３２ｂとがそれぞれ形成された一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂとを含む。前記ガイドブロック２８ａ、２８ｂの両端部には、カバー９６ａ、９６ｂおよび図示しないスクレーパがそれぞれねじ止めされる。
【００２７】
図２に示されるように、シリンダ本体２２の両側面部には、センサ取付用レール２６およびプレート２７がそれぞれ対向し且つ着脱自在に設けられる。前記センサ取付用レール２６の一方の側面には長手方向に沿って略平行な二条の長溝９８ａ、９８ｂが形成され、前記長溝９８ａ、９８ｂ内の所定部位には図示しないセンサが選択的に係着される。前記センサ取付用レール２６の他方の側面には、断面くの字状に切り欠かれた切欠部１００が長手方向に沿って形成される。前記切欠部１００を設けることにより、後述する磁性体を円滑に変位させることが可能となる。
【００２８】
前記センサ取付用レール２６およびプレート２７には、溝部６９ａ、６９ｂの断面形状に対応して幅広となる段部を有し、シリンダ本体２２に対して該センサ取付用レール２６およびプレート２７を保持する係止部１０２ａ、１０２ｂが長手方向に沿ってそれぞれ形成される。
【００２９】
この場合、前記係止部１０２ａ、１０２ｂを溝部６９ａ、６９ｂの一端部から挿入し前記溝部６９ａ、６９ｂに沿ってスライドさせることにより、前記センサ取付用レール２６およびプレート２７がシリンダ本体２２に簡便に装着され、あるいはシリンダ本体２２から簡便に取り外すことが可能となる。このように、センサ取付用レール２６およびプレート２７は、それぞれの溝部６９ａ、６９ｂに対して選択可能に装着されるとともに、相互に交換可能に形成される。
【００３０】
前記センサ取付用レール２６およびプレート２７には、それぞれ、図２並びに図６に示されるように、長手方向と略直交する方向に貫通し環状段部を有する一組のねじ穴１０４が所定間隔離間して形成され、各ねじ穴１０４には先端部が略テーパ状に形成された押しねじ（固定手段）１０６、１０８がそれぞれ螺入される。
【００３１】
センサ取付用レール２６に螺入される押しねじ１０６には、該押しねじ１０６の軸線方向に沿って貫通する通路１１０が形成され（図６参照）、前記通路１１０は、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（または第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）にそれぞれ連通するように形成される。また、プレート２７に螺入される押しねじ１０８は、第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ（または第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）を閉塞する機能を営む。
【００３２】
前記押しねじ１０６、１０８の先端部には環状突起部１１２が形成され、前記環状突起部１１２を第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂまたは第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂに嵌挿することにより、センサ取付用レール２６およびプレート２７をシリンダ本体２２の側面部にそれぞれ位置決めして装着することができる。また、前記押しねじ１０６、１０８の環状突起部１１２には、その連結部位を気密に保持するために断面三角形状のＯリング１１４が装着される。なお、前記押しねじ１０６、１０８は、図２に示されるように、センサ取付用レール２６並びにプレート２７の内側から各ねじ穴１０４に螺入される。
【００３３】
図２並びに図４に示されるように、シリンダ本体２２の一側面部にはねじ１１６を介して金具１１８が締結され、前記金具１１８の一部を上下左右の四方向から折曲させた爪片１２０によって円柱状の磁性体１２２が保持される。この場合、前記磁性体１２２は、センサ取付用レール２６に形成された断面くの字状の切欠部１００に臨むように配設される。
【００３４】
本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００３５】
まず、作業者は、その選択によりシリンダ本体２２の一方の側面にセンサ取付用レール２６を装着し、該シリンダ本体２２の他方の側面にプレート２７を装着する。この場合、前記センサ取付用レール２６並びにプレート２７は、シリンダ本体２２の側面に同一形状に形成された一組の溝部６９ａ、６９ｂに沿って係止部１０２ａ、１０２ｂをスライドさせながら嵌挿することにより、シリンダ本体２２に簡便に装着することができる。
【００３６】
前記センサ取付用レール２６並びにプレート２７をシリンダ本体２２に装着する際、該センサ取付用レール２６並びにプレート２７の内側から一組の押しねじ１０６、１０８を螺入し（図２参照）、前記押しねじ１０６、１０８の先端部に形成された環状突起部１１２がそれぞれ第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂおよび第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂにそれぞれ嵌挿されることにより、前記センサ取付用レール２６並びにプレート２７がシリンダ本体２２の所定位置に位置決め保持される（図６参照）。
【００３７】
続いて、前記センサ取付用レール２６のねじ穴１０４に図示しない管継手を螺入する。その際、前記ねじ穴１０４の周囲には外部に突出して障害となるものが何ら存在しないため、従来技術と比較して簡便に管継手を装着することが可能となる。
【００３８】
このような準備作業を経た後、図示しない流体圧供給源から供給された圧力流体を押しねじ１０６の通路１１０を介して一方の第１流体出入ポート６４ｂに導入する。この場合、他方の第１流体出入ポート６４ａは、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態にしておく。
【００３９】
前記圧力流体は、第１流体出入ポート６４ｂに連通する一方の第１シリンダ室６２ｂに供給され、ピストン４８を矢印Ｘ₁方向に押圧する（図６参照）。前記ピストン４８の押圧作用下にピストンロッド５０に係合するエンドプレート７４が矢印Ｘ₁方向に変位し、ボールベアリング２９の転動作用下に前記エンドプレート７４と一体的にスライドテーブル２４が変位する。
【００４０】
前記スライドテーブル２４が矢印Ｘ₁方向に向かって変位する過程において、該スライドテーブル２４に伴って変位するアジャスタボルト９０に装着された緩衝部材９４がストッパブロック３６に当接することにより変位終端位置に至る。この場合、ロックナット９２を緩めてアジャスタボルト９０のねじ込み量を調整することにより、スライドテーブル２４の変位量を増減変更することが可能である。
【００４１】
前記とは逆方向にスライドテーブル２４を変位させる場合には、他方の第１流体出入ポート６４ａに圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体は他方の第１シリンダ室６２ａに導入され、ピストン４８を矢印Ｘ₂方向に向かって押圧する。前記ピストン４８の押圧作用下に、ピストンロッド５０に係合するエンドプレート７４を介してスライドテーブル２４が矢印Ｘ₂方向に変位し、エンドプレート７４に設けられた図示しない緩衝部材がシリンダ本体２２の端面に当接することにより変位終端位置に至る。
【００４２】
第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、センサ取付用レール２６をシリンダ本体２２にねじ止めすることがなく、前記シリンダ本体２２の溝部６９ａ（６９ｂ）にセンサ取付用レール２６の係止部１０２ａを前記溝部６９ａ（６９ｂ）に沿って嵌挿することにより、簡便に装着することができるとともに、第１および第２シリンダ室６２ｂ（６３ｂ）の内壁面とシリンダ本体２２の外壁面との肉厚Ｌ₁（図７参照）を従来技術と比較して薄く形成することができる。
【００４３】
このように、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、従来技術と比較して、第１および第２シリンダ室６２ｂ（６３ｂ）の内壁面とシリンダ本体２２の外壁面との肉厚Ｌ₁を薄く形成することによりシリンダ本体２２の短手方向の幅Ｗ₁を縮小することができ、この結果、装置全体の小型・軽量化を図ることが可能となる。
【００４４】
また、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、配管作業に際し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ並びに第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂの周囲には外部に突出して障害となるものが何ら存在しないため、簡便に第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ並びに第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂに管継手を接続することができる。
【００４５】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０を図９〜図１２に示す。なお、以下の実施の形態において、同一の構成要素には同一の参照符号を付し、異なる構成要素についてのみ説明する。
【００４６】
第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０では、一端部に縮径したオリフィス１３２を有し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）に連通する一組の第１ねじ穴１３４と、先端部にテーパ部１３６を有する押しねじ１３８が螺入される一組の第２ねじ穴１４０とをセンサ取付用レール１４２に設けている。
【００４７】
すなわち、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、押しねじ１０６に通路１１０を形成することにより、センサ取付用レール２６をシリンダ本体２２に固定する機能と第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）に圧力流体を供給する機能とを併用させているのに対し、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０では、それぞれの機能を分離させている点で異なっている。
【００４８】
この場合、第１ねじ穴１３４には、流体圧供給源に連通するチューブを接続するための図示しない管継手が螺入され、一方、第２ねじ穴１４０には押しねじ１３８が螺入され、前記押しねじ１３８の螺入作用下にテーパ部１３６がシリンダ本体２２の外壁面を押圧することにより、センサ取付用レール１４２がシリンダ本体２２に位置決め保持される。
【００４９】
また、プレート１４４には、押しねじ１３８を螺入するためのねじ穴１４６が貫通形成され、前記ねじ穴１４６に沿って螺入される押しねじ１３８によって該プレート１４４がシリンダ本体２２の所定位置に位置決め保持される。
【００５０】
参照数字１４８はリング状のシールパッキンを示し、センサ取付用レール１４２の円形凹部１４９に装着されたシールパッキン１４８は、オリフィス１３２と第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）との連結部位を気密に保持する機能を営み、一方、プレート１４４の円形凹部１４９に装着されたシールパッキン１４８は、第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ（第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）を気密に閉塞する機能を営む。
【００５１】
次に、本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０を図１３〜図１５に示す。
【００５２】
第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、一端部に縮径したオリフィス１５２を有し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）に連通する一組のねじ穴１５４と、一組のボルト取付用孔部１５６とをセンサ取付用レール１５８に貫通形成するとともに、シリンダ本体２２の溝部６９ａ、６９ｂに沿って嵌挿される一組の固定ブロック１６０を別個に形成している。前記固定ブロック１６０には、溝部６９ａ、６９ｂの形状に対応し上下方向に沿って幅広となる係止部１６２が形成されている。
【００５３】
この場合、ボルト取付用孔部１５６を挿通させたボルト１６４によって一組の固定ブロック１６０を緊締することにより、センサ取付用レール１５８がシリンダ本体２２に位置決め保持される。
【００５４】
また、プレート１６６には、押しねじ１３８を螺入するためのねじ穴１６８が貫通形成され、前記ねじ穴１６８に沿って押しねじ１３８を螺入し、前記押しねじ１３８の先端部に係合するパッキン１７０によって第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ（第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）が気密に閉塞される。
【００５５】
第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０および第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、押しねじおよびボルトをセンサ取付用レール１４２およびプレート１４４の外側から取着している点で第１の実施の態様に係るリニアクチュエータ２０と異なる。
【００５６】
なお、第２および第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０、１５０の作用効果は、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００５８】
すなわち、シリンダ本体の短手方向の幅を縮小して装置全体の小型・軽量化を図ることができる。
【００５９】
また、流体出入ポートの周囲には外部に突出して障害となるものが何ら存在しないため、簡便に流体出入ポートに管継手を接続することができ、配管作業を簡便に行うことができる。
【００６０】
さらに、前記シリンダ本体を他の部材に取り付ける取付方向の自由度を増大させることができる。
【００６１】
さらにまた、変位量調整手段をスライドテーブルの一端部の中央に設けることにより、前記スライドテーブルの変位終端位置で発生する偏荷重を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図１に示すリニアアクチュエータの平面図である。
【図４】図１に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図１のＶＩ−ＶＩ線に沿った横断面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図１０】図９に示すリニアクチュエータの横断面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿った縦断面図である。
【図１２】図１０のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図１３】本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図１４】図１３に示すリニアアクチュエータの横断面図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿った縦断面図である。
【図１６】従来技術に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図１７】図１６に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【符号の説明】
２０、１３０、１５０…リニアアクチュエータ
２２…シリンダ本体２４…スライドテーブル
２６、１４２、１５８…センサ取付用レール
２７、１４４、１６６…プレート２８ａ、２８ｂ…ガイドブロック
３０ａ、３０ｂ…ボール循環穴３２ａ、３２ｂ…ボール転動溝
４０ａ、４０ｂ…取付用孔部４２ａ、４２ｂ…貫通孔
４８…ピストン５０…ピストンロッド
６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ…シリンダ室
６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂ…流体出入ポート
６９ａ、６９ｂ…溝部７２…テーブル
７４…エンドプレート９０…アジャスタボルト
９４…緩衝部材９８ａ、９８ｂ…長溝
１００…切欠部１０２ａ、１０２ｂ、１６２…係止部
１０４、１３４、１４０、１４６、１５４、１６８…ねじ穴
１０６、１０８、１３８…押しねじ１１０…通路
１１２…環状突起部１１４…Ｏリング
１１８…金具１２０…爪片
１２２…磁性体１３２、１５２…オリフィス
１６０…固定ブロック[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a linear actuator that reciprocates a slide table along an axial direction of a cylinder body by introducing a pressure fluid from a fluid inlet / outlet port.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, linear actuators have been used as means for conveying workpieces and the like. The linear actuator conveys the workpiece placed on the slide table by reciprocating the slide table along the cylinder body in a straight line.
[0003]
A linear actuator according to the prior art (see Japanese Utility Model Laid-Open No. 6-47708) is shown in FIGS. This fluid pressure cylinder 1 has a cylinder body 3 in which a linear roller bearing 2 bulges at the center, and a table 4 that reciprocates linearly under the guiding action of the linear roller bearing 2.
[0004]
A permanent magnet 5 is fixed to one side of the table 4, and a guide rail 7 is fastened to one side of the cylinder body 3 via a set of screws 6 a and 6 b. A long groove 8 is formed in the guide rail 7 along the axial direction, and the position of the table 4 is detected by detecting the magnetic action of the permanent magnet 5 by the magnetic proximity switch 9 mounted at a predetermined position of the long groove 8. is doing.
[0005]
A set of fluid pressure supply ports 10a and 10b (one of which is not shown) for screwing a pipe joint and connecting a tube for piping to one side of the cylinder body 3 adjacent to the guide rail 7 are provided. ) Is formed.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the fluid pressure cylinder 1, the guide rail 7 to which the magnetic proximity switch 9 is attached is screwed to one side surface of the cylinder body 3 by screws 6 a and 6 b, so Needs to be formed with screw holes for screwing the screws 6a and 6b, and a wall thickness L between the inner wall surface of the cylinder chamber and the outer wall surface of the cylinder body 3 (see FIG. 17) must be formed thick. As a result, the width W in the short direction of the cylinder body 3 cannot be reduced, which makes it difficult to reduce the overall size and weight of the apparatus.
[0007]
Moreover, in the fluid pressure cylinder 1 according to the prior art, when the pipe joint for connecting the tube for piping is screwed into the fluid pressure supply ports 10a and 10b of the cylinder body 3, the fluid pressure supply ports 10a and 10b are connected. In addition, there is a disadvantage that the guide rail 7 protruding outward is an obstacle and the piping work becomes complicated.
[0008]
The present invention has been made to overcome the above-described disadvantages, and can perform piping work easily and reduce the width of the cylinder body in the short direction to reduce the overall size and weight of the apparatus. It is an object of the present invention to provide a linear actuator that can be used.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, the present invention includes a cylinder body having a cylinder chamber communicating with a fluid inlet / outlet port and having a groove portion extending in the axial direction on a side surface portion;
  A slide table that reciprocates along the axial direction of the cylinder body;
  A cylinder mechanism for reciprocating the slide table under the displacement action of a piston slidably disposed along the cylinder chamber;
  A block body provided with a locking portion formed with a long groove for mounting the sensor, fitted along the groove, and held in the groove;
  A sensor selectively mounted at a predetermined position of the long groove;
  A fixing means provided on the block body and fixing the block body to a predetermined position of a side surface portion of the cylinder body;
  With,
  The groove portion is formed on a pair of side portions facing each other of the cylinder body, and fixes the block body to the groove portion on one side surface portion of the cylinder body through the fixing means, and the other side surface portion. A block plate for closing the fluid inlet / outlet port is fixed in the groove portion of the block, and the block body and the block plate are provided so as to be interchangeable with each other.It is characterized by that.
[0010]
According to the present invention, the pressure fluid introduced from the fluid inlet / outlet port is supplied to the cylinder chamber and presses the piston in a predetermined direction. The slide table reciprocates along the axial direction of the cylinder body under the displacement action of the piston.
[0011]
  Further, according to the present invention, when connecting the block body in which the long groove for mounting the sensor is connected to the cylinder body, the locking portion provided on the block body along the groove section formed on the side surface portion of the cylinder body is provided. By inserting and inserting, the block body can be easily connected to the cylinder body. Therefore, since it is not necessary to screw the block body, the thickness from the inner wall surface of the cylinder chamber to the outer wall surface of the cylinder body can be reduced, and the width of the cylinder body in the short direction can be reduced. It becomes.Further, according to the present invention, a groove portion is formed in each of the pair of side portions facing each other of the cylinder body, and the block body is fixed to the groove portion of one side surface portion of the cylinder body via a fixing means. At the same time, by fixing the closing plate that closes the fluid inlet / outlet port in the groove portion on the other side surface portion, the block body and the closing plate can be exchanged with each other in accordance with the installation environment.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of the linear actuator according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
[0013]
In FIG. 1, reference numeral 20 indicates a linear actuator according to the first embodiment of the present invention. The linear actuator 20 includes a cylinder body 22, a slide table 24 that reciprocates linearly along the longitudinal direction of the cylinder body 22, and a sensor mounting rail that is screwed to one side surface of the cylinder body 22. (Block body) 26 and a plate (blocking plate) 27 screwed to the other side surface portion of the cylinder body 22 facing the sensor mounting rail 26.
[0014]
As shown in FIGS. 1 and 8, a pair of guide blocks 28 a and 28 b facing each other are formed on the upper surface of the cylinder body 22 so as to bulge integrally with the cylinder body 22. In the blocks 28a and 28b, a plurality of ball bearings 29 roll to form ball circulation holes 30a and 30b and ball rolling grooves 32a and 32b that form an endless circulation track, respectively, along the longitudinal direction.
[0015]
Further, as shown in FIG. 5, a rectangular parallelepiped stopper block 36 is fixedly provided in a substantially central portion between the pair of guide blocks 28a and 28b via a pair of screws 34, and is close to the stopper block 36. A pair of mounting holes 40a and 40b penetrating in a direction substantially orthogonal to the axis is formed in the portion to be performed.
[0016]
Furthermore, as shown in FIG. 6, a pair of through holes 42a and 42b arranged in parallel in the axial direction are formed inside the cylinder body 22, and the through holes 42a and 42b are formed in the through holes 42a and 42b. Are formed in substantially the same shape, and a piston 48 having a seal ring 44 and a damper 46 mounted on the outer peripheral surface thereof, and a piston rod 50 connected to the piston 48 are accommodated.
[0017]
One end of each of the through holes 42a and 42b is hermetically closed by an end cap 54 that is mounted via a retaining ring 52, and the other end of the through holes 42a and 42b is in sliding contact with the outer peripheral surface of the piston rod 50. It is closed by the annular projection 56. The piston rod 50 exposed to the outside from the annular convex portion 56 is sealed by a rod packing 58 and a collar 60 held by the cylinder body 22 via a retaining ring.
[0018]
In this case, the first cylinder chambers 62a and 62b and the second cylinder chambers 63a and 63b are substantially formed by the end cap 54 and the annular convex portion 56 that respectively close the pair of through holes 42a and 42b. The first cylinder chambers 62a and 62b and the second cylinder chambers 63a and 63b are formed so as to communicate with each other via communication passages 67a and 67b.
[0019]
A pair of first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b and second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b are symmetrical with respect to the axis of the cylinder body 22 on the opposite side surfaces of the cylinder body 22, respectively. The first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b communicate with the first cylinder chambers 62a and 62b, respectively, and the second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b communicate with the second cylinder chambers 63a and 63b, respectively. Yes. A floating bush 68 is connected to the tip of the piston rod 50 via a lock nut 66.
[0020]
As shown in FIG. 7, a pair of groove portions 69 a and 69 b for mounting the sensor mounting rail 26 and the plate 27 to the cylinder body 22 are formed on the opposite side surfaces of the cylinder body 22. The pair of grooves 69a and 69b are formed in line symmetry.
[0021]
As shown in FIG. 1, the slide table 24 is composed of a table 72 and an end plate 74 that are screw-fastened substantially orthogonally in a substantially L-shaped cross section via a pair of bolts 70a and 70b. The floating bush 68 is held through a semicircular hole 76 formed in the plate 74. A buffer member (not shown) is inserted into a hole formed in the end plate 74, and the buffer member is generated when the end plate 74 contacts the end surface of the cylinder body 22 at one displacement end position of the slide table 24. Operates the function to reduce the impact.
[0022]
The table 72 is formed with four workpiece holding holes 80a to 80d and a pair of through holes 82a and 82b corresponding to and communicating with the mounting holes 40a and 40b of the cylinder body 22 (see FIG. 1 and FIG. 3). In this case, a bolt (not shown) is screwed into the mounting holes 40a and 40b from the upper surface side of the table 72 through the through holes 82a and 82b to attach the cylinder body 22 to other members, or from the bottom surface side of the cylinder body 22 Bolts can be directly screwed into the mounting holes 40a and 40b (see FIG. 5). Thus, the operator can select either the upward direction or the downward direction as the mounting direction of the linear actuator 20.
[0023]
As shown in FIG. 7, a set of guide portions 84a and 84b extending along the longitudinal direction is integrally formed on the lower surface portion of the slide table 24 so as to be opposed to the guide portions 84a and 84b. Ball rolling grooves 86a and 86b are formed along the longitudinal direction in the side surface portion. Further, between the pair of guide portions 84a and 84b spaced apart by a predetermined distance, a notch portion 88 corresponding to the shape of the stopper block 36 and extending by a predetermined length along the axial direction is formed (FIGS. 5 and 7). reference).
[0024]
As shown in FIG. 5, an adjuster bolt 90 that functions as a displacement amount adjusting means of the slide table 24 is screwed into one end portion of the notch portion 88 via a lock nut 92, and a tip end portion of the adjuster bolt 90 is inserted. For example, a buffer member 94 made of rubber such as urethane is attached.
[0025]
In this case, the adjuster bolt 90 is displaced integrally with the slide table 24, and the movement amount of the slide table 24 is regulated by the buffer member 94 coming into contact with the stopper block 36. Further, the adjuster bolt 90 and the buffer member 94 are provided along the axial direction substantially at the center of one end of the slide table 24 (see FIGS. 3 and 5), so that the slide table 24 reaches the displacement end position. In doing so, it functions to reduce the offset load applied to the slide table 24. As a result, it is possible to prevent an unbalanced load from being transmitted to a workpiece (not shown) placed on the slide table 24.
[0026]
A guide mechanism that guides the slide table 24 along the axial direction of the cylinder body 22 is integrally formed on the lower surface portion of the slide table 24 so as to bulge, and a pair of ball rolling grooves 86a facing each other on both side surfaces. , 86b and guide portions 84a, 84b formed on both sides of the guide portions 84a, 84b. It includes a pair of guide blocks 28a, 28b formed with moving grooves 32a, 32b, respectively. Covers 96a and 96b and a scraper (not shown) are screwed to both ends of the guide blocks 28a and 28b, respectively.
[0027]
As shown in FIG. 2, sensor mounting rails 26 and plates 27 are respectively provided on both side surfaces of the cylinder body 22 so as to be detachable. Two long grooves 98a and 98b that are substantially parallel to the longitudinal direction are formed on one side surface of the sensor mounting rail 26, and a sensor (not shown) is selectively attached to a predetermined portion in the long grooves 98a and 98b. Is done. On the other side surface of the sensor mounting rail 26, a cutout portion 100 cut out in a cross-sectional shape is formed along the longitudinal direction. By providing the notch 100, it is possible to smoothly displace a magnetic body to be described later.
[0028]
The sensor mounting rail 26 and the plate 27 have a wide stepped portion corresponding to the cross-sectional shape of the grooves 69 a and 69 b, and hold the sensor mounting rail 26 and the plate 27 with respect to the cylinder body 22. Locking portions 102a and 102b are respectively formed along the longitudinal direction.
[0029]
In this case, the sensor mounting rail 26 and the plate 27 can be easily attached to the cylinder body 22 by inserting the locking portions 102a and 102b from one end of the groove portions 69a and 69b and sliding along the groove portions 69a and 69b. It can be attached or easily removed from the cylinder body 22. As described above, the sensor mounting rail 26 and the plate 27 are selectively attached to the respective grooves 69a and 69b and are formed to be interchangeable with each other.
[0030]
As shown in FIGS. 2 and 6, the sensor mounting rail 26 and the plate 27 are each provided with a pair of screw holes 104 that penetrate in a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction and have an annular stepped portion. Each of the screw holes 104 is screwed with push screws (fixing means) 106 and 108 each having a substantially tapered tip.
[0031]
A passage 110 penetrating along the axial direction of the push screw 106 is formed in the push screw 106 screwed into the sensor mounting rail 26 (see FIG. 6), and the passage 110 is connected to the first fluid inlet / outlet port 64a. , 64b (or the second fluid inlet / outlet ports 65a, 65b), respectively. The push screw 108 screwed into the plate 27 functions to close the second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b (or the first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b).
[0032]
An annular projection 112 is formed at the tip of the push screws 106, 108, and the annular projection 112 is fitted into the first fluid inlet / outlet ports 64a, 64b or the second fluid inlet / outlet ports 65a, 65b, thereby providing a sensor. The mounting rail 26 and the plate 27 can be positioned and mounted on the side surfaces of the cylinder main body 22, respectively. In addition, an O-ring 114 having a triangular cross section is attached to the annular projection 112 of the push screws 106 and 108 in order to keep the connecting portion airtight. The push screws 106 and 108 are screwed into the screw holes 104 from the inside of the sensor mounting rail 26 and the plate 27 as shown in FIG.
[0033]
As shown in FIGS. 2 and 4, a metal fitting 118 is fastened to one side surface of the cylinder body 22 via a screw 116, and a claw piece in which a part of the metal fitting 118 is bent from four directions, up, down, left, and right. A cylindrical magnetic body 122 is held by 120. In this case, the magnetic body 122 is disposed so as to face the notch 100 having a cross-sectional shape formed in the sensor mounting rail 26.
[0034]
The linear actuator 20 according to the first embodiment of the present invention is basically configured as described above. Next, the operation and effects thereof will be described.
[0035]
First, the operator attaches the sensor mounting rail 26 to one side surface of the cylinder body 22 by the selection, and attaches the plate 27 to the other side surface of the cylinder body 22. In this case, the sensor mounting rail 26 and the plate 27 are inserted while sliding the locking portions 102a, 102b along a pair of grooves 69a, 69b formed in the same shape on the side surface of the cylinder body 22. Thus, the cylinder body 22 can be easily mounted.
[0036]
When mounting the sensor mounting rail 26 and the plate 27 to the cylinder body 22, a set of set screws 106 and 108 are screwed from the inside of the sensor mounting rail 26 and the plate 27 (see FIG. 2), and the pressing The annular projection 112 formed at the tip of each of the screws 106 and 108 is fitted into the first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b and the second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b, respectively. 27 is positioned and held at a predetermined position of the cylinder body 22 (see FIG. 6).
[0037]
Subsequently, a pipe joint (not shown) is screwed into the screw hole 104 of the sensor mounting rail 26. At that time, since there is no obstacle that protrudes outside around the screw hole 104, it is possible to easily attach the pipe joint as compared with the prior art.
[0038]
After such preparatory work, the pressure fluid supplied from a fluid pressure supply source (not shown) is introduced into one first fluid inlet / outlet port 64b via the passage 110 of the push screw 106. In this case, the other first fluid inlet / outlet port 64a is opened to the atmosphere under the operation of a switching valve (not shown).
[0039]
The pressure fluid is supplied to one first cylinder chamber 62b communicating with the first fluid inlet / outlet port 64b, and the piston 48 is moved to an arrow X.₁Press in the direction (see FIG. 6). An end plate 74 that engages with the piston rod 50 under the pressing action of the piston 48 is indicated by an arrow X.₁The slide table 24 is displaced integrally with the end plate 74 under the rolling operation of the ball bearing 29.
[0040]
The slide table 24 has an arrow X₁In the process of displacing in the direction, the buffer member 94 mounted on the adjuster bolt 90 that is displaced along with the slide table 24 comes into contact with the stopper block 36 to reach the displacement end position. In this case, the amount of displacement of the slide table 24 can be increased or decreased by loosening the lock nut 92 and adjusting the screwing amount of the adjuster bolt 90.
[0041]
When the slide table 24 is displaced in the opposite direction, the pressure fluid is supplied to the other first fluid inlet / outlet port 64a. The supplied pressure fluid is introduced into the other first cylinder chamber 62a, and the piston 48 is moved to the arrow X.₂Press toward the direction. Under the pressing action of the piston 48, the slide table 24 is moved to the arrow X via the end plate 74 engaged with the piston rod 50.₂The buffer member (not shown) provided on the end plate 74 abuts against the end surface of the cylinder body 22 to reach the displacement end position.
[0042]
In the linear actuator 20 according to the first embodiment, the sensor mounting rail 26 is not screwed to the cylinder body 22, and the locking portion of the sensor mounting rail 26 is inserted into the groove 69 a (69 b) of the cylinder body 22. By inserting and inserting 102 a along the groove 69 a (69 b), it can be easily attached, and the wall between the inner wall surface of the first and second cylinder chambers 62 b (63 b) and the outer wall surface of the cylinder body 22 can be mounted. Thickness L₁(See FIG. 7) can be formed thinner than in the prior art.
[0043]
As described above, in the linear actuator 20 according to the present embodiment, the wall thickness L between the inner wall surface of the first and second cylinder chambers 62b (63b) and the outer wall surface of the cylinder body 22 is compared with the prior art.₁Width W in the short direction of the cylinder body 22₁As a result, the entire apparatus can be reduced in size and weight.
[0044]
Further, in the linear actuator 20 according to the present embodiment, there is no obstacle that protrudes outside around the first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b and the second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b during piping work. Therefore, the pipe joint can be easily connected to the first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b and the second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b.
[0045]
Next, a linear actuator 130 according to a second embodiment of the present invention is shown in FIGS. In the following embodiments, the same components are denoted by the same reference numerals, and only different components will be described.
[0046]
The linear actuator 130 according to the second embodiment has an orifice 132 with a reduced diameter at one end and a set of first fluid communication ports 64a and 64b (second fluid flow ports 65a and 65b). One screw hole 134 and a pair of second screw holes 140 into which a push screw 138 having a tapered portion 136 at the tip is screwed are provided in the sensor mounting rail 142.
[0047]
That is, in the linear actuator 20 according to the first embodiment, the passage 110 is formed in the push screw 106 to fix the sensor mounting rail 26 to the cylinder body 22 and the first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b ( The linear actuator 130 according to the second embodiment is different from the second fluid inlet / outlet port 65a, 65b) in that the function of supplying the pressure fluid is used together. ing.
[0048]
In this case, a pipe joint (not shown) for connecting a tube communicating with the fluid pressure supply source is screwed into the first screw hole 134, while a push screw 138 is screwed into the second screw hole 140, The taper portion 136 presses the outer wall surface of the cylinder body 22 under the screwing action of the push screw 138, whereby the sensor mounting rail 142 is positioned and held on the cylinder body 22.
[0049]
The plate 144 is formed with a screw hole 146 through which the push screw 138 is screwed, and the plate 144 is brought into a predetermined position of the cylinder body 22 by the push screw 138 screwed along the screw hole 146. Positioned and held.
[0050]
Reference numeral 148 indicates a ring-shaped seal packing, and the seal packing 148 attached to the circular recess 149 of the sensor mounting rail 142 has an orifice 132 and first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b (second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b). The seal packing 148 attached to the circular recess 149 of the plate 144 has the second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b (first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b). Serves the function of blocking airtightly.
[0051]
Next, a linear actuator 150 according to a third embodiment of the present invention is shown in FIGS.
[0052]
In the linear actuator 150 according to the third embodiment, a set of screws having an orifice 152 with a reduced diameter at one end and communicating with the first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b (second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b). A hole 154 and a set of bolt mounting holes 156 are formed through the sensor mounting rail 158, and a set of fixed blocks 160 that are fitted and inserted along the grooves 69a and 69b of the cylinder body 22 are formed separately. is doing. The fixing block 160 is formed with a locking portion 162 that corresponds to the shape of the groove portions 69a and 69b and is wide in the vertical direction.
[0053]
In this case, the sensor mounting rail 158 is positioned and held on the cylinder body 22 by tightening the pair of fixed blocks 160 with the bolts 164 inserted through the bolt mounting holes 156.
[0054]
The plate 166 is formed with a screw hole 168 through which the push screw 138 is screwed. The push screw 138 is screwed along the screw hole 168 and engaged with the tip of the push screw 138. The second fluid inlet / outlet ports 65a and 65b (first fluid inlet / outlet ports 64a and 64b) are hermetically closed by the packing 170.
[0055]
In the linear actuator 130 according to the second embodiment and the linear actuator 150 according to the third embodiment, the first set screw and the bolt are attached from the outside of the sensor mounting rail 142 and the plate 144. This is different from the linear actuator 20 according to the embodiment.
[0056]
In addition, since the effect of the linear actuators 130 and 150 according to the second and third embodiments is the same as that of the linear actuator 20 according to the first embodiment, detailed description thereof is omitted.
[0057]
【The invention's effect】
According to the present invention, the following effects can be obtained.
[0058]
That is, the width of the cylinder body in the short direction can be reduced to reduce the size and weight of the entire apparatus.
[0059]
Further, since there is no obstacle that protrudes outside around the fluid inlet / outlet port, a pipe joint can be easily connected to the fluid inlet / outlet port, and piping work can be easily performed.
[0060]
Furthermore, the freedom degree of the attachment direction which attaches the said cylinder main body to another member can be increased.
[0061]
Furthermore, by providing the displacement amount adjusting means at the center of one end portion of the slide table, it is possible to reduce the uneven load generated at the displacement end position of the slide table.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a linear actuator according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the linear actuator shown in FIG.
3 is a plan view of the linear actuator shown in FIG. 1. FIG.
4 is a side view of the linear actuator shown in FIG. 1. FIG.
5 is a longitudinal sectional view taken along line VV in FIG. 3. FIG.
6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG.
7 is a longitudinal sectional view taken along line VII-VII in FIG.
8 is a longitudinal sectional view taken along line VIII-VIII in FIG.
FIG. 9 is an exploded perspective view of a linear actuator according to a second embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view of the linear actuator shown in FIG.
11 is a longitudinal sectional view taken along line XI-XI in FIG.
12 is a longitudinal sectional view taken along line XII-XII in FIG.
FIG. 13 is an exploded perspective view of a linear actuator according to a third embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view of the linear actuator shown in FIG.
15 is a longitudinal sectional view taken along line XV-XV in FIG.
FIG. 16 is a perspective view of a linear actuator according to a conventional technique.
17 is a side view of the linear actuator shown in FIG.
[Explanation of symbols]
20, 130, 150 ... linear actuator
22 ... Cylinder body 24 ... Slide table
26, 142, 158 ... rails for sensor mounting
27, 144, 166 ... Plates 28a, 28b ... Guide blocks
30a, 30b ... Ball circulation holes 32a, 32b ... Ball rolling grooves
40a, 40b ... mounting holes 42a, 42b ... through holes
48 ... Piston 50 ... Piston rod
62a, 62b, 63a, 63b ... cylinder chamber
64a, 64b, 65a, 65b ... fluid access port
69a, 69b ... groove 72 ... table
74 ... End plate 90 ... Adjuster bolt
94: Buffer member 98a, 98b ... Long groove
100: Notch portion 102a, 102b, 162 ... Locking portion
104, 134, 140, 146, 154, 168 ... screw holes
106, 108, 138 ... push screw 110 ... passage
112 ... annular projection 114 ... O-ring
118 ... Metal 120 ... Nail pieces
122 ... Magnetic body 132, 152 ... Orifice
160 ... fixed block

Claims

A cylinder body having a cylinder chamber communicating with the fluid inlet / outlet port and having a groove portion extending in the axial direction on the side surface portion;
A slide table that reciprocates along the axial direction of the cylinder body;
A cylinder mechanism for reciprocating the slide table under the displacement action of a piston slidably disposed along the cylinder chamber;
A block body provided with a locking portion formed with a long groove for mounting the sensor, fitted along the groove, and held in the groove;
A sensor selectively mounted at a predetermined position of the long groove;
A fixing means provided on the block body and fixing the block body to a predetermined position of a side surface portion of the cylinder body;
Equipped with a,
The groove portion is formed on a pair of side portions facing each other of the cylinder body, and fixes the block body to the groove portion on one side surface portion of the cylinder body through the fixing means, and the other side surface portion. linear actuator wherein securing the closing plate for closing the fluid and out port to the groove, the block body and the closing plate, characterized by Rukoto provided so as to be interchangeable for.

In the linear actuator according to claim 1, wherein the fixing means includes a linear actuator and having a fixed block which is fastened via a setscrew or bolts, are screwed into threaded holes formed through the block body.

3. The linear actuator according to claim 1, wherein the engaging portion is formed integrally with the block body or a fixed block provided separately from the block body.

The linear actuator according to claim 2, wherein a passage communicating with the fluid inlet / outlet port is formed in the push screw.

2. The linear actuator according to claim 1, wherein one side surface of the block body is cut out so that a magnetic body attached to the slide table faces.

In the linear actuator according to any one of claims 1 to 5, the linear actuator, wherein a guide mechanism for the slide table along the axial direction of the cylinder body guide is provided.

In the linear actuator according to any one of claims 1 to 6, provided at the center of one end of the slide table, linear actuator, characterized in that it comprises a displacement amount adjusting means for adjusting the displacement amount of the slide table .

The linear actuator according to any one of claims 1 to 7 , wherein an attachment means for attaching the cylinder body to another member is provided so as to be selectable from any direction on the slide table side or the cylinder body side. Linear actuator.