JP3753181B2 - Gas analysis method - Google Patents

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本発明は、ガス分析方法に関し、より詳しくは標準ガス発生装置と、この標準ガス発生装置で製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置とを有する標準ガス発生装置を用いたガス分析方法、試料混合ガス分析法、直線性判定方法、繰返し再現性判定方法に関する。   The present invention relates to a gas analysis method, and more specifically, a gas analysis method and a sample using a standard gas generation device having a standard gas generation device and a gas sample introduction device for introducing a standard gas produced by the standard gas generation device. The present invention relates to a mixed gas analysis method, a linearity determination method, and a repeatability determination method.

ガスクロマトグラフを用いて定量分析を行うためには、濃度既知の標準ガスにより、あらかじめ校正をしておく必要がある。この標準ガスは、通常メーカが作製したものを用いており、普通はボンベ詰めであり、製造に要する期間は数日から数週間かかるものもある。そして、多成分を広範囲の濃度で定量分析するためには、あらかじめ多数の標準ガスを用意しておく必要がある。   In order to perform quantitative analysis using a gas chromatograph, it is necessary to calibrate in advance with a standard gas having a known concentration. This standard gas is usually produced by a manufacturer and is usually packed in a cylinder, and the time required for production may take several days to several weeks. In order to quantitatively analyze multicomponents over a wide range of concentrations, it is necessary to prepare a large number of standard gases in advance.

また、従来の希釈器は、試料が導入されたバッファタンクの圧力を測定し、その分圧(希釈倍率)から、成分の濃度を決定している。そのため、所定濃度にするのにバッファタンクの分圧を調整しなければならず、その調整方法は、バッファタンクへの試料流入量を制御することで行っていた。しかし、流入量の制御のみで所定濃度を繰り返し再現するためには、極めて微量に、長時間かけてバッファタンクに導入しなければならない。   The conventional diluter measures the pressure of the buffer tank into which the sample is introduced, and determines the concentration of the component from the partial pressure (dilution ratio). For this reason, the partial pressure of the buffer tank has to be adjusted to obtain a predetermined concentration, and the adjustment method is performed by controlling the amount of sample flowing into the buffer tank. However, in order to repeatedly reproduce the predetermined concentration only by controlling the inflow amount, it must be introduced into the buffer tank over an extremely small amount of time.

そして、ガスクロマトグラフを用いて気体試料を分析する場合には、採取した気体試料をガスタイトシリンジでガスクロマトグラフに導入する方法と、ガスクロマトグラフ導入部に設置された計量管により導入する方法とがある。   When a gas sample is analyzed using a gas chromatograph, there are a method of introducing the collected gas sample into the gas chromatograph with a gas tight syringe and a method of introducing it with a measuring tube installed in the gas chromatograph introduction part. .

ガスタイトシリンジを用いる場合は、全てが手作業であるため、専任の分析者が必要であり、また多数の試料を連続して分析するには、終夜を徹した作業となる。   When a gas tight syringe is used, since it is all manual work, a dedicated analyst is required, and in order to analyze a large number of samples continuously, the work is all night.

さらに、計量管を用いる方法は、一般にプロセスガスクロマトグラフに用いられる場合で、固定されたライン中の気体試料を連続的に分析するのに用いられている。そして、気体試料をラインから計量管に導入するため、試料自体に圧力がなければならず、また、正確な測定のためには、計量管部分までのラインを充分試料でパージする必要があり、多量の試料が必要となる。   Furthermore, a method using a measuring tube is generally used for a process gas chromatograph, and is used to continuously analyze a gas sample in a fixed line. In order to introduce a gas sample from the line to the measuring tube, the sample itself must be under pressure, and for accurate measurement, the line up to the measuring tube must be sufficiently purged with the sample, A large amount of sample is required.

本発明は上述したガスクロマトグラフを用いて気体試料を分析する場合における各種要請に鑑みて提案されたものであり、いかなる圧力状態(加圧、大気圧、負圧)の気体試料であっても分析手段に導入できて、多数の気体試料を連続全自動で分析が可能な気体試料導入装置と、測定する気体試料に合わせた標準ガスが容易に製造できる標準ガス発生装置を用いたガス分析方法、試料混合ガス分析法、直線性判定方法、繰返し再現性判定方法を提供することを目的としている。 The present invention has been proposed in view of various requirements in the case of analyzing a gas sample using the gas chromatograph described above, and analyzes any gas sample in any pressure state (pressurized, atmospheric pressure, negative pressure). A gas analysis method using a gas sample introduction device capable of being introduced into a means and capable of analyzing a large number of gas samples continuously and fully automatically, and a standard gas generator capable of easily producing a standard gas according to the gas sample to be measured, An object of the present invention is to provide a sample mixed gas analysis method, a linearity determination method, and a repeatability determination method.

本発明のガス分析方法は、標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用いたガス分析方法において、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程が全自動で実施されることを特徴としている。   The gas analysis method of the present invention determines a gas sample introduction pressure in a gas analysis method using a gas analyzer having a standard gas generator and a gas sample introduction device for introducing a standard gas produced by the standard gas generator. Compare and confirm the reproducibility of the results obtained by repeatedly analyzing the same sample, the introducing pressure determining step, the introducing step of introducing the gas sample into the analysis means, the gas analyzing step of analyzing the introduced gas sample, It includes a comparison process, an alarm process for issuing an alarm if the comparison result is abnormal, and a data storage process for storing the analysis result, and each of these processes is performed fully automatically.

ここで、前記導入工程に際して使用される気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して1本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク(特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク)を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。   Here, the gas sample introduction device used in the introduction step is provided with a plurality of containers filled with either gas or liquid with pipes each provided with a selection valve and a flow rate regulator in parallel. A switching valve that switches the connection of a plurality of pipes by providing a main pipe that communicates with each of the pipes, providing a plurality of buffer tanks (particularly preferably, a plurality of buffer tanks equipped with pressure gauges) in series. The switching valve is connected to each of a pipe communicating with the buffer tank, the other end of the main pipe, a pipe communicating with the analyzer, and a pipe communicating with the measuring pipe, and switches the connection of these pipes. It is preferable that a plurality of valves for opening and closing a pipe line made of the pipe and a vacuum pump for sucking a gas in the pipe line are provided.

次に、本発明の混合ガスの分析方法は、標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用い、試料混合ガスを気体試料として導入し、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程を全自動で実施してガス分析を行い、標準ガスの分析結果を用いて試料混合ガスの成分を決定することを特徴ととしている。   Next, the mixed gas analyzing method of the present invention uses a gas analyzer having a standard gas generator and a gas sample introducing device for introducing a standard gas produced by the standard gas generator, and using the sample mixed gas as a gas sample. Introducing and determining the introduction pressure of the gas sample, the introduction step of introducing the gas sample into the analysis means, the gas analysis step of analyzing the introduced gas sample, and repeatedly analyzing the same sample Including a comparison process that compares and confirms the reproducibility of the results obtained, an alarm process that issues an alarm if the comparison result is abnormal, and a data storage process that stores the analysis results. The gas analysis is performed, and the component of the sample mixed gas is determined using the analysis result of the standard gas.

ここで、前記導入工程に際して使用される気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して1本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク(特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク)を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。   Here, the gas sample introduction device used in the introduction step is provided with a plurality of containers filled with either gas or liquid with pipes each provided with a selection valve and a flow rate regulator in parallel. A switching valve that switches the connection of a plurality of pipes by providing a main pipe that communicates with each of the pipes, providing a plurality of buffer tanks (particularly preferably, a plurality of buffer tanks equipped with pressure gauges) in series. The switching valve is connected to each of a pipe communicating with the buffer tank, the other end of the main pipe, a pipe communicating with the analyzer, and a pipe communicating with the measuring pipe, and switches the connection of these pipes. It is preferable that a plurality of valves for opening and closing a pipe line made of the pipe and a vacuum pump for sucking a gas in the pipe line are provided.

また、本発明のガス分析装置の直線性判定方法は、標準ガス発生装置及び該標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を含むガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性を判定する直線性判定方法において、気体試料の導入圧力を選択する圧力選択工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の直線性を判定する直線性判定工程とを有することを特徴としている。   The linearity determination method of the gas analyzer of the present invention includes a standard gas generator and a sample introduction pressure and an analysis result of a gas analyzer including a gas sample introduction device for introducing a standard gas produced by the standard gas generator. In the linearity determination method for determining linearity, a pressure selection step for selecting an introduction pressure of a gas sample, an introduction step for introducing the gas sample into the analysis means, a gas analysis step for analyzing the introduced gas sample, and analysis And a linearity determining step for determining the linearity of the result.

この直線性判定方法において、その導入工程に際して使用された気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して1本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク(特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク)を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。   In this linearity determination method, the gas sample introduction device used in the introduction step is parallel to a plurality of containers filled with either gas or liquid, each with a selection valve and a flow rate regulator. Provide a main pipe that is connected to each of these pipes and integrated into one pipe, and a plurality of buffer tanks (particularly preferably, a plurality of buffer tanks equipped with pressure gauges) are provided in series to connect a plurality of pipes. The switching valve is connected to each of a pipe communicating with the buffer tank, the other end of the main pipe, a pipe communicating with the analyzer, and a pipe communicating with the measuring pipe. It is preferable to provide a plurality of valves for opening and closing the pipe made of the pipe and a vacuum pump for sucking gas in the pipe.

さらに、ガス分析方法の分析結果の繰返し再現性を判定する本発明の繰返し再現性判定方法は、標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置とを有するガス分析装置を使用して行うガス分析方法の分析結果の繰返し再現性を判定する繰返し再現性判定方法において、繰返し回数を設定する繰返し回数設定工程と、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程、とを含んでいる。   Furthermore, the repeatability determination method of the present invention for determining the repeatability of the analysis result of the gas analysis method has a standard gas generator and a gas sample introduction device for introducing a standard gas produced by the standard gas generator. In a repeatability determination method for determining repeatability of analysis results of a gas analysis method performed using a gas analyzer, a repeat count setting step for setting a repeat count and an introduction pressure determination for determining a gas sample introduction pressure A process, an introduction step of introducing a gas sample into the analysis means, a gas analysis step of analyzing the introduced gas sample, a comparison step of comparing and confirming the reproducibility of the analysis result, and an alarm if the comparison result is abnormal An alarm process to be issued, and a data storage process to store the analysis result.

この繰返し再現性判定方法において、その導入工程に際して使用された気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して1本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク(特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク)を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。   In this iterative reproducibility determination method, the gas sample introduction device used in the introduction process is arranged in parallel with a plurality of containers filled with either gas or liquid, each with a selection valve and a flow regulator. A plurality of buffer tanks (particularly preferably, a plurality of buffer tanks equipped with pressure gauges) are provided in series, and communicated with each of the pipes. A switching valve for switching the connection is provided, and the switching valve is connected to each of a pipe communicating with the buffer tank, the other end of the main pipe, a pipe communicating with the analyzer, and a pipe communicating with the measuring pipe. It is configured to switch the connection of the pipe, and it is preferable to provide a plurality of valves for opening and closing the pipe line composed of the pipe and a vacuum pump for sucking the gas in the pipe line. Arbitrariness.

或いは、前記ガス分析装置は、標準ガス発生装置と気体試料導入装置とを有し、前記標準ガス発生装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれを1本の主配管の一端に連通し、その主配管の他端には複数のバッファタンク(特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク)を直列に連通し、前記主配管から分岐して試料採取口及び希釈ガス挿入口のそれぞれに連通する配管を設け、これらの配管より成る管路を開閉して切換える複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けており、前記気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して1本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク(特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク)を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。   Alternatively, the gas analyzer has a standard gas generator and a gas sample introduction device, and the standard gas generator has a selection valve and a flow rate adjustment respectively in a plurality of containers filled with either gas or liquid. Piping with a vessel is provided in parallel, and each of these pipes communicates with one end of one main pipe, and the other end of the main pipe is equipped with a plurality of buffer tanks (particularly preferably equipped with pressure gauges). A plurality of buffer tanks) connected in series, branched from the main pipe and provided with pipes connected to the sample collection port and the dilution gas insertion port, and a plurality of valves for switching by opening and closing the pipes composed of these pipes And a vacuum pump for sucking the gas in the pipe line, and the gas sample introduction device includes a selection valve and a flow regulator respectively in a plurality of containers filled with either gas or liquid Intervening A plurality of buffer tanks (particularly preferably, a plurality of buffer tanks equipped with pressure gauges) are provided in series, and are connected in parallel to each other. A switching valve for switching the connection of a plurality of pipes is provided, and the switching valve is connected to each of a pipe communicating with the buffer tank, the other end of the main pipe, a pipe communicating with the analyzer, and a pipe communicating with the measuring pipe. The connection of these pipes is switched, and a plurality of valves for opening and closing the pipe line composed of the pipes and a vacuum pump for sucking the gas in the pipe line are provided. preferable.

なお、本発明に使用するガス分析装置は、ガスクロマトグラフが好ましい。そして、分析装置は複数台併設しても良い。また、本発明の分析方法は、シーケンサによって自動制御し、パーソナルコンピュータでデータ処理、工程管理及び報告書作成をするのが好ましい。   The gas analyzer used in the present invention is preferably a gas chromatograph. A plurality of analyzers may be provided. Moreover, it is preferable that the analysis method of the present invention is automatically controlled by a sequencer, and data processing, process management and report creation are performed by a personal computer.

本発明は以上説明した様に構成されているので、測定したい気体試料に合わせて内蔵した希釈器により多種の標準ガスを製造し、そしていかなる圧力状態(加圧、大気圧、負圧)の気体試料でも、分析者が希望する設定圧力でガスクロマトグラフに導入して、ガスクロマトグラフの校正を行うことができ、試料の正確な分析ができる。そして、いかなる圧力状態の試料でも全自動でガスクロマトグラフに導入できる。そのため、ガス分析、試料混合ガス分析、直線性判定、繰返し再現性判定を全自動で、正確かつ効率的に行うことができる。   Since the present invention is configured as described above, various standard gases are produced by a built-in diluter according to the gas sample to be measured, and the gas is in any pressure state (pressurized, atmospheric pressure, negative pressure). Even a sample can be introduced into a gas chromatograph at a set pressure desired by an analyst, and the gas chromatograph can be calibrated, so that the sample can be accurately analyzed. A sample in any pressure state can be fully automatically introduced into the gas chromatograph. Therefore, gas analysis, sample mixed gas analysis, linearity determination, and repeatability determination can be performed automatically and accurately and efficiently.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図1には、本発明の標準ガス製造用ガス希釈器Dの流路系統が示されている。図示しない試料ガス、混合標準ガス、及び複数の純ガス(液)をそれぞれ充填した(ここに示す例では合計16本)ボンベから、選択用の通常時閉型バルブb1〜b16が介装されて流量調整器c1〜c16にそれぞれ接続され、さらに通常時閉型バルブd1〜d16をそれぞれ介装した配管a1〜a16が並列に設けられ、これらの配管a1〜a16は符号Lで示す主配管の1本にまとめられ、通常時閉型バルブV1を介して第1のバッファタンクB1に接続されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a flow path system of a gas diluter D for producing a standard gas according to the present invention. The normally closed valves b1 to b16 for selection are provided from cylinders filled with a sample gas (not shown), a mixed standard gas, and a plurality of pure gases (liquids) (total of 16 in this example). Pipings a1 to a16 connected to the flow rate regulators c1 to c16, respectively, and further provided with normally closed valves d1 to d16, respectively, are provided in parallel. The book is collected into a book and connected to the first buffer tank B1 via the normally closed valve V1.

第1のバッファタンクB1はバルブV3を介して第2のバッファタンクB2に、更にバルブV4を介して第1の真空ポンプVP1に接続されている。また、前記主配管LのバルブV1と第1のバッファタンクB1との間からは、配管L2が分岐されてバルブV2を介して試料採取口Sに接続され、そして、希釈ガスが導入される配管L1が、バルブfから流量調整器g及びバルブhを介装して接続されている。   The first buffer tank B1 is connected to the second buffer tank B2 via the valve V3, and further connected to the first vacuum pump VP1 via the valve V4. A pipe L2 branches from between the valve V1 of the main pipe L and the first buffer tank B1 and is connected to the sample sampling port S via the valve V2, and a pipe into which dilution gas is introduced. L1 is connected from the valve f through the flow rate regulator g and the valve h.

なお、前記第1、第2のバッファタンクB1、B2は、恒温槽CB内に配設されており、その容量は、例えば、前段のB1は、200〜400ミリリットル(ml)、後段のB2は400〜600ミリリットル(ml)程度が適している。また、バルブ、流量調整器、配管等も、試料の液化を防ぐため加温されている。 一方、前記配管a1〜a16のバルブb1〜b16と流量調整器c1〜c16間からは、それぞれバルブe1〜e16を介して配管が一本にまとめられ、第2の真空ポンプVP2に接続されている。   The first and second buffer tanks B1 and B2 are disposed in the thermostatic chamber CB. For example, the capacity of the first B1 is 200 to 400 milliliters (ml), and the second B2 is B2. About 400 to 600 milliliters (ml) is suitable. Valves, flow regulators, pipes, and the like are also heated to prevent sample liquefaction. On the other hand, the piping from the valves b1 to b16 and the flow rate regulators c1 to c16 of the pipings a1 to a16 are combined into one through the valves e1 to e16 and connected to the second vacuum pump VP2. .

ここで、符号j1、j2は前記第1、第2の真空ポンプVP1、VP2のバイパスを開閉するバルブを示す。そして、符号P1〜P3は圧力計を示しており、換言すれば、第1及び第2のバッファタンクB1、B2は圧力計P1、P2、P3を装備しているのである。   Here, reference numerals j1 and j2 denote valves for opening and closing the bypasses of the first and second vacuum pumps VP1 and VP2. Reference numerals P1 to P3 indicate pressure gauges. In other words, the first and second buffer tanks B1 and B2 are equipped with pressure gauges P1, P2, and P3.

次に、本発明の標準ガス製造用ガス希釈器Dによる標準ガスの製造方法を、図2〜図8を参照して説明する。なお、図中、黒塗りのバルブは閉弁状態を示している。   Next, a method for producing a standard gas using the gas diluter D for producing a standard gas according to the present invention will be described with reference to FIGS. In the figure, the black valve indicates a closed state.

まず、分圧が高い場合(例えば、200mmHg以上)には、上記のバッファタンクB1のみを使う。
(A1) 図2に示す様に、希釈したい純ガスライン(図示の例ではa1、L)を、配管L1から導入した希釈用ガスでパージする(ライン洗浄第1工程)。この場合、バッファタンク内の負圧と希釈用ガスの加圧により導入される。
(A2) 次に、真空ポンプVP1、VP2でそのラインを真空引きし、圧力計P1、P2、P3により0mmHgであることの確認をする。
(A3) そして、必要に応じて、希釈したい純ガスラインをその純ガスでパージし、試料によるラインのともあらいを行う。
(A5) 試料の充填に当たり、分圧が高い場合は、図3に示す様に、バルブV3を閉じてバッファタンクB1のみを用い、図示の例では、配管a1より試料ガスを所定圧力まで充填する(試料の充填工程)。
(A6) 次に、バルブV1を閉じてバッファタンクB1の前後の圧力計P1、P2が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化を図り、その圧力値を記録する(試料の均圧化工程)。この際、単位時間当たりの圧力値の変動をチェックし、該変動幅が予め決められた許容差以内に入ったならば、「均圧化」が為されたものとする。
(A7) 次に、図4に示す様に、希釈ガスを所定圧力まで充填する(希釈ガスの充填工程)。
(A8) そして、バッファタンクB1の前後の圧力計P1、P2が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化を図り、その圧力値を記録する(希釈ガスの均圧化工程)。
(A9) こうして図5に示す様に、標準ガス採取口Sからバッグ、シリンダあるいは分析計へ標準ガスを採取する(標準ガス採取工程)。
(A10) ガス採取後には、使用した全てのラインを真空ポンプVP1、VP2で真空引きをし、標準ガスの排除を行う(ライン洗浄工程)。
First, when the partial pressure is high (for example, 200 mmHg or more), only the buffer tank B1 is used.
(A1) As shown in FIG. 2, the pure gas line to be diluted (a1, L in the illustrated example) is purged with the dilution gas introduced from the pipe L1 (line cleaning first step). In this case, it introduce | transduces by the negative pressure in a buffer tank, and pressurization of the gas for dilution.
(A2) Next, the line is evacuated by the vacuum pumps VP1 and VP2, and it is confirmed that the pressure is 0 mmHg by the pressure gauges P1, P2 and P3.
(A3) Then, if necessary, the pure gas line to be diluted is purged with the pure gas, and the sample is lined up.
(A5) When filling the sample, if the partial pressure is high, as shown in FIG. 3, the valve V3 is closed and only the buffer tank B1 is used. In the illustrated example, the sample gas is filled up to a predetermined pressure from the pipe a1. (Sample filling step).
(A6) Next, the valve V1 is closed and the pressure gauges P1 and P2 before and after the buffer tank B1 are kept stable until the pressure becomes equal, and the pressure is equalized. Pressure process). At this time, the fluctuation of the pressure value per unit time is checked, and if the fluctuation range falls within a predetermined tolerance, it is assumed that “pressure equalization” has been performed.
(A7) Next, as shown in FIG. 4, the dilution gas is filled up to a predetermined pressure (dilution gas filling step).
(A8) Then, the pressure gauges P1 and P2 before and after the buffer tank B1 are kept stable until they have the same value, and the pressure is equalized, and the pressure value is recorded (dilution gas equalization step).
(A9) Thus, as shown in FIG. 5, the standard gas is sampled from the standard gas sampling port S to the bag, cylinder or analyzer (standard gas sampling step).
(A10) After gas sampling, all the used lines are evacuated by the vacuum pumps VP1 and VP2, and the standard gas is eliminated (line cleaning process).

一方、分圧が小さい場合には、上記の(A5)試料の充填工程から(A9)標準ガス採取工程までの工程に、下記の様にバッファタンクをB1、B2の2個を用いる。
(A5´) 試料の充填工程では、図6に示す様に、バルブV3を開けてバッファタンクB1、B2の両方を用いて試料を所定圧力まで充填する。
(A6´) そして、試料の均圧化工程では、圧力計P1、P2、P3を用いて均圧化を図る。
(A7´) 希釈ガスの充填工程では、図7に示す様に希釈ガスを両方のバッファタンクB1、B2に所定圧まで充填する。
(A8´) 希釈ガスの均圧化工程では、圧力計P1、P2、P3を用いて均圧化を図る。
(A9´) 標準ガス採取工程では、図8に示す様に、両タンクB1、B2を連通して標準ガス採取口Sからバッグ、シリンダあるいは分析計へ標準ガスを採取する。
On the other hand, when the partial pressure is small, two buffer tanks B1 and B2 are used in the steps from the above (A5) sample filling step to (A9) standard gas sampling step.
(A5 ′) In the sample filling step, as shown in FIG. 6, the valve V3 is opened and the sample is filled to a predetermined pressure using both the buffer tanks B1 and B2.
(A6 ′) Then, in the pressure equalization step of the sample, pressure equalization is achieved using pressure gauges P1, P2, and P3.
(A7 ′) In the dilution gas filling step, as shown in FIG. 7, the dilution gas is filled into both buffer tanks B1 and B2 to a predetermined pressure.
(A8 ′) In the step of equalizing the dilution gas, the pressure is equalized using pressure gauges P1, P2, and P3.
(A9 ′) In the standard gas sampling step, as shown in FIG. 8, the standard gas is sampled from the standard gas sampling port S to the bag, cylinder or analyzer through the two tanks B1 and B2.

上記の様に、本発明の標準ガス製造用ガス希釈器Dによれば、複数のバッファタンクB1、B2を直列に接続し、所定の分圧が高い場合には1個のバッファタンクB1を、分圧が低い場合には2個のバッファタンクB1、B2を使用することで、試料の導入流量が極めて微量であっても所定の分圧にすることができる。そして、各種の純ガスを並列に接続しているので、多種の成分の標準ガスを製造することができる。   As described above, according to the gas diluter D for standard gas production of the present invention, a plurality of buffer tanks B1 and B2 are connected in series, and when a predetermined partial pressure is high, one buffer tank B1 is When the partial pressure is low, by using two buffer tanks B1 and B2, a predetermined partial pressure can be obtained even if the introduction flow rate of the sample is very small. Since various pure gases are connected in parallel, standard gases of various components can be produced.

また、図9には、本発明の気体試料導入装置Tの流路系統が示されている。図示左側の各ガス(液)ボンベの接続された配管a1〜a16は、前記実施形態と同様である。そして、これらの配管a1〜a16は、1本の主配管LAにまとめられ、バルブV1を介して(6方バルブとして構成されている)切換え弁V2Aの一方の口に連通されている。また、切換え弁V2Aの他の口からは、第1のバッファタンクB1に接続され、そして、バルブV3を介して第2のバッファタンクB2に、更にバルブV4を介して第1の真空ポンプVP1に連通されている。さらに、切換え弁V2Aの他の口は、キャリヤガスが導入される配管L2A、ガス分析装置(ガスクロマトグラフ)Aに試料ガスを導入する配管、計量管MTに連通する配管に連通されている。これらは、通常時には主配管LAから計量管MTを通ってバッファタンクB1に(計量管MTはバッファタンクB1の上流に位置して)連通し、キャリヤガスが導入される配管L2Aは、ガス分析装置Aに連通する様に配設されている。   FIG. 9 shows a flow path system of the gas sample introduction device T of the present invention. The pipes a1 to a16 to which the gas (liquid) cylinders on the left side of the figure are connected are the same as in the above embodiment. These pipes a1 to a16 are combined into one main pipe LA and communicated with one port of the switching valve V2A (configured as a six-way valve) via the valve V1. Further, the other port of the switching valve V2A is connected to the first buffer tank B1, and is connected to the second buffer tank B2 via the valve V3 and further to the first vacuum pump VP1 via the valve V4. It is communicated. Further, the other port of the switching valve V2A is connected to a pipe L2A into which the carrier gas is introduced, a pipe for introducing the sample gas into the gas analyzer (gas chromatograph) A, and a pipe connected to the measuring pipe MT. Normally, these communicate with the buffer tank B1 from the main pipe LA through the measuring pipe MT (the measuring pipe MT is located upstream of the buffer tank B1), and the pipe L2A into which the carrier gas is introduced is connected to the gas analyzer. It is arranged so as to communicate with A.

なお、前記第1及び第2のバッファタンクB1、B2、計量管MT、切換弁V2Aは、恒温槽CB内に配設されている。また、バルブ、流量調整器、配管等も、試料の液化を防ぐため、加温されている。   The first and second buffer tanks B1 and B2, the measuring pipe MT, and the switching valve V2A are disposed in the thermostatic chamber CB. Valves, flow regulators, piping, and the like are also heated to prevent sample liquefaction.

一方、配管a1〜a16の集結部には洗浄用ガスが供給される配管L1Aがバルブiを介装して連通されている。   On the other hand, a pipe L1A to which a cleaning gas is supplied is communicated with a concentrated portion of the pipes a1 to a16 via a valve i.

次に、本発明の気体試料導入装置Tによるガス分析装置への気体試料の導入方法を、図10〜図13を参照して説明する。
(B1) まず、図10に示す様に、測定したい気体試料ライン(図示の例では配管a1のバルブb1から配管LAのバッファタンクB2後のバルブV4まで)に、ガスクロマトグラフのキャリアガスと同種の洗浄用ガスを配管L1Aから導入してパージする(ライン洗浄第1工程)。
(B2) そして、真空ポンプVP1、VP2で、そのラインを真空引きし、圧力計P1、P2、P3により0mmHgであることを確認する(ライン洗浄第2工程)。なお、この第1、第2の洗浄工程を繰り返すことでより効果的なライン洗浄ができる。
(B3) 次に、測定したい気体試料ラインを試料ガスによってパージする(試料によるラインのともあらい第1工程)。
(B4) そして、そのラインを真空ポンプVP1、VP2で真空引きし、圧力計P1、P2、P3により0mmHgであることの確認をする(試料によるラインのともあらい第2工程)。このともあらい第1、第2工程を繰り返せば、より効果的にライン中の不純物の除去が行える。なお、このともあらい第1、第2工程は、省略してもよい。
(B5) 次に、図11に示す様に、計量管MT、バッファタンクB1に試料ガスを充填する(試料の充填工程)。
(B6) そして、切換え弁V2AとバッファタンクB1の前後の圧力計P1、P2が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化をはかる(試料の均圧化工程)。なお、「均圧化」については、前記工程(A6)で説明したのと同様である。
(B7) 次に、図12に示す様に、切換え弁V2Aを切換えて試料ガスをガスクロマトグラフ側へ導入する(試料のガス分析装置への導入工程)。
(B8) そして、測定終了後には、測定した気体試料ラインを真空引きして試料ガスを除去する(ライン洗浄工程)。
Next, a method for introducing a gas sample into the gas analyzer using the gas sample introducing device T of the present invention will be described with reference to FIGS.
(B1) First, as shown in FIG. 10, a gas sample line to be measured (in the example shown, from the valve b1 of the pipe a1 to the valve V4 after the buffer tank B2 of the pipe LA) has the same kind as the carrier gas of the gas chromatograph. A cleaning gas is introduced from the pipe L1A and purged (first line cleaning step).
(B2) Then, the lines are evacuated by the vacuum pumps VP1 and VP2, and it is confirmed by the pressure gauges P1, P2 and P3 that the pressure is 0 mmHg (second line cleaning step). In addition, more effective line cleaning can be performed by repeating the first and second cleaning steps.
(B3) Next, the gas sample line to be measured is purged with the sample gas (the first step which may be a line with the sample).
(B4) Then, the line is evacuated by the vacuum pumps VP1 and VP2, and it is confirmed that the pressure is 0 mmHg by the pressure gauges P1, P2 and P3 (the second step which may be a line by the sample). If both the first and second steps are repeated, impurities in the line can be removed more effectively. Note that the first and second steps may be omitted.
(B5) Next, as shown in FIG. 11, the measuring tube MT and the buffer tank B1 are filled with sample gas (sample filling step).
(B6) Then, the pressure gauges P1 and P2 before and after the switching valve V2A and the buffer tank B1 are stabilized and kept at the same value to equalize the pressure (sample pressure equalization step). The “equal pressure equalization” is the same as described in the step (A6).
(B7) Next, as shown in FIG. 12, the switching valve V2A is switched to introduce the sample gas into the gas chromatograph (introduction step of the sample into the gas analyzer).
(B8) After the measurement, the measured gas sample line is evacuated to remove the sample gas (line cleaning step).

ガス分析装置A1に導入する試料ガスの圧力が低い場合には、バッファタンクはB1、B2の2個を使用する。すなわち、
(B5´) 試料充填工程においては、図17に示す様に、計量管MT、バッファタンクB1及びB2に試料を充填する。
(B6´) また、試料の均圧化工程では、圧力計P1、P2、P3が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化をはかる。
なお、(B1)−(B4)、(B7)、(B8)については同様であるため、重複説明は省略する。
When the pressure of the sample gas introduced into the gas analyzer A1 is low, two buffer tanks B1 and B2 are used. That is,
(B5 ′) In the sample filling step, as shown in FIG. 17, the measuring tube MT and the buffer tanks B1 and B2 are filled with the sample.
(B6 ′) Further, in the pressure equalization step of the sample, the pressure gauges P1, P2, and P3 are allowed to stand until the pressure gauges P1, P2, and P3 become stable and have the same value, thereby equalizing the pressure.
Since (B1)-(B4), (B7), and (B8) are the same, redundant description is omitted.

この様に、本発明の気体試料導入装置Tによれば、計量管MTの後流にバッファタンクB1、B2が設けられている。従来は、計量管が小さい(0.5〜2ミリリットル)(0.5−2ml)ので、計量管のみでは、導入する試料の圧力状態が一定でないため、導入圧力を設定する事は不可能であったが、本発明の方法によれば、いかなる圧力状態(加圧、大気圧、負圧)の気体試料でも、分析者が希望する設定圧力でガスクロマトグラフに導入することができる。また、例えば、100ミリリットル(ml)以下の少量の気体試料でもガス分析装置Aに導入することができる。   Thus, according to the gas sample introduction device T of the present invention, the buffer tanks B1 and B2 are provided downstream of the measuring pipe MT. Conventionally, since the measuring tube is small (0.5 to 2 ml) (0.5-2 ml), it is impossible to set the introducing pressure because the pressure state of the sample to be introduced is not constant with only the measuring tube. However, according to the method of the present invention, a gas sample in any pressure state (pressurized, atmospheric pressure, negative pressure) can be introduced into the gas chromatograph at a set pressure desired by the analyst. For example, even a small amount of gas sample of 100 milliliters (ml) or less can be introduced into the gas analyzer A.

次に、本発明に用いられるガス分析装置Aの構成を説明する。図14に示す分析手段G1には、一般にガスクロマトグラフが使用されている。そして、その分析手段G1の分析結果のデータを記憶する分析結果記憶手段G2と、そのデータの再現性を比較し判定する比較手段G3とが設けられ、比較回数をカウントして所定回以内であれば分析手段G1にフィードバックし、分析結果が異常であればメッセージを出力する警報手段G6に信号を送る比較回数カウンタG5が設けられ、また、導入ガスのデータ、分析結果データ等を保存するデータ保存手段G4が設けられている。   Next, the configuration of the gas analyzer A used in the present invention will be described. A gas chromatograph is generally used for the analysis means G1 shown in FIG. An analysis result storage means G2 for storing data of the analysis result of the analysis means G1 and a comparison means G3 for comparing and determining the reproducibility of the data are provided, and the number of comparisons is counted within a predetermined number of times. For example, a comparison number counter G5 that feeds back to the analysis means G1 and outputs a message to the alarm means G6 that outputs a message if the analysis result is abnormal is provided, and data storage for storing the introduced gas data, analysis result data, etc. Means G4 is provided.

図15には標準ガス(純ガス)の分析方法のフローチャートが示されている。まず、標準ガス値を入力し(ステップS1)、導入圧力を決定する(ステップS2、導入圧決定工程)。そして、標準ガス発生装置Dで製造した標準ガスを気体試料導入装置Tを介して分析手段G1に導入する(ステップS3、導入工程)。次に、導入圧が許容範囲内かどうか判定し(ステップS4)、NoであればステップS3に戻る。Yesであれば、ガス分析を行う(ステップS5、ガス分析工程)。そして、その結果を分析結果記憶手段G2に記憶して比較手段G3にて2回連続の再現性を確認する(ステップS6、比較工程)。それが、Noであれば、比較回数カウンタG5でカウントし、そして所定回数以内かどうか判定する(ステップS8)。Yesであれば、ステップS3に戻り分析を繰り返し、Noであれば、警報手段G6にてメッセージを出力して(ステップS9、警報工程)終了する。そして、ステップS6がYesであれば、データ保存手段G4にて導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存し(ステップS7、データ保存工程)、終了する。   FIG. 15 shows a flowchart of a standard gas (pure gas) analysis method. First, the standard gas value is input (step S1), and the introduction pressure is determined (step S2, introduction pressure determination step). And the standard gas manufactured with the standard gas generator D is introduce | transduced into the analysis means G1 via the gas sample introduction apparatus T (step S3, introduction process). Next, it is determined whether or not the introduction pressure is within an allowable range (step S4). If No, the process returns to step S3. If Yes, gas analysis is performed (step S5, gas analysis step). And the result is memorize | stored in the analysis result memory | storage means G2, and the continuous reproducibility is confirmed twice by the comparison means G3 (step S6, comparison process). If it is No, it is counted by the comparison number counter G5, and it is determined whether or not it is within a predetermined number of times (step S8). If Yes, the process returns to Step S3 and the analysis is repeated. If No, a message is output by the alarm means G6 (Step S9, alarm process), and the process ends. If step S6 is Yes, the data storage means G4 stores the introduction pressure and the data of the peak area of the gas chromatograph (step S7, data storage step), and the process ends.

図16には混合ガスの分析を行うガス分析装置の構成が示されている。図14で説明した構成に対して、さらに、データ保存手段G4から試料ガスの成分を計算し、その生データの総和を演算する総和演算手段G7が設けられ、その総和演算手段G7で総和が許容範囲を越えた場合にメッセージを出力する第2の警報手段G6Aと、総和演算手段G7の結果をノーマライズするノーマライズ手段G8と、その結果を印刷出力するプリンタ表示器G9とが設けられている。   FIG. 16 shows the configuration of a gas analyzer for analyzing a mixed gas. In addition to the configuration described with reference to FIG. 14, there is further provided a sum calculation means G7 for calculating the component of the sample gas from the data storage means G4 and calculating the sum of the raw data, and the sum calculation means G7 allows the sum to be allowed. There are provided second alarm means G6A for outputting a message when the range is exceeded, normalizing means G8 for normalizing the result of the sum calculating means G7, and a printer display G9 for printing out the result.

図17には、前記の図16に示した構成による混合ガスの分析方法のフローチャートが示されている。まず、混合ガス値を入力し(ステップS1A)、導入圧を決定する(ステップS2、導入圧決定工程)。そして、気体試料導入装置Tを介して、混合ガスを分析手段G1に導入し(ステップS3A、導入工程)、導入圧が許容範囲内かどうか判定する(ステップS4)。Noであれば、ステップS1Aに戻り、Yesであれば、ガス分析を行う(ステップS5、ガス分析工程)。そして、その結果を分析結果記憶手段G2に記憶して比較手段G3にて2回連続の再現性を確認する(ステップS6、比較工程)。Noであれば、比較回数カウンタG5でカウントし、それが所定回数以内かどうか判定する(ステップS8)。Yesであれば、ステップS3Aに戻り分析を繰り返し、Noであれば、警報手段G6にてメッセージを出力して(ステップS9、警報工程)終了する。そして、ステップS6でYesであれば、データ保存手段G4にて各成分の導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存し(ステップS7A、データ保存工程)、成分演算手段G7において標準ガス分析結果から成分を計算する(ステップS10)。次に、総和演算手段G8で生データの総和が100%±1%か判定し、Noであれば第2の警報手段G6Aでメッセージを出力して(ステップS14)終了する.Yesであればノーマライズ手段G9にて、総和が100%にノーマライズし(ステップS12)、分析結果をプリンタ表示器G10でプリントアウトし(ステップS13)、終了する。   FIG. 17 shows a flowchart of a method for analyzing a mixed gas having the configuration shown in FIG. First, the mixed gas value is input (step S1A), and the introduction pressure is determined (step S2, introduction pressure determination step). Then, the mixed gas is introduced into the analysis means G1 via the gas sample introduction device T (step S3A, introduction step), and it is determined whether or not the introduction pressure is within an allowable range (step S4). If it is No, it will return to step S1A, and if it is Yes, gas analysis will be performed (step S5, gas analysis process). And the result is memorize | stored in the analysis result memory | storage means G2, and the continuous reproducibility is confirmed twice by the comparison means G3 (step S6, comparison process). If No, it is counted by the comparison number counter G5, and it is determined whether or not it is within a predetermined number (step S8). If Yes, the process returns to Step S3A and the analysis is repeated. If No, a message is output from the alarm means G6 (Step S9, alarm process), and the process ends. If YES in step S6, the data storage means G4 stores the introduction pressure of each component and the peak area data of the gas chromatograph (step S7A, data storage process), and the component calculation means G7 stores the standard gas analysis result. The component is calculated from (Step S10). Next, the total calculation means G8 determines whether the total sum of the raw data is 100% ± 1%. If No, the second alarm means G6A outputs a message (step S14) and the process is terminated. If Yes, the normalizing means G9 normalizes the sum to 100% (step S12), prints the analysis result on the printer display G10 (step S13), and ends.

図18には、ガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性判定に使用する構成が示されている。すなわち、圧力選定手段G11と、分析手段G1と、データ保存手段G4と、結果を出力するプリンタ表示器G10と、メッセージを出力する警報手段G6とで構成されている。   FIG. 18 shows a configuration used for determining the linearity of the sample introduction pressure and the analysis result of the gas analyzer. That is, it comprises pressure selection means G11, analysis means G1, data storage means G4, printer display G10 that outputs the result, and alarm means G6 that outputs a message.

図19に、ガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性判定方法のフローチャートが示されている。まず、圧力選択手段G11にて、分析手段G1に導入するガス種を選択し(ステップS21、圧力選択工程)、導入圧力を決定する(ステップS22)。そして、気体試料導入装置Tを介して分析手段G1に選択したガスを導入し(ステップS23、導入工程)、導入圧が範囲内かどうか判定する(ステップS24)。Noであれば、ステップS21に戻り、Yesであれば、ガス分析を行い(ステップS25、ガス分析工程)、データ保存手段G4にて導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存する(ステップS26、データ保存工程)。そして、ステップS22で決定した導入圧力変数(例えば、100〜700mmHg)が終了したか判定し(ステップS27)、Noであれば、ステップS22に戻り、次の導入圧力で分析を行う。変数を終了してステップS27がYesであれば、プリンタ表示器G10で、グラフ表示してプリントアウトする(ステップS28)。その結果から直線性の判定を行い(ステップS29、直線性判定工程)、Yesであれば終了、Noであれば、警報手段G6によりメッセージを出力し(ステップS30、警報工程)、終了する。   FIG. 19 shows a flowchart of a method for determining the linearity of the sample introduction pressure of the gas analyzer and the analysis result. First, the pressure selection means G11 selects the gas type to be introduced into the analysis means G1 (step S21, pressure selection step), and determines the introduction pressure (step S22). Then, the selected gas is introduced into the analysis means G1 through the gas sample introduction device T (step S23, introduction step), and it is determined whether the introduction pressure is within the range (step S24). If No, the process returns to step S21. If Yes, gas analysis is performed (step S25, gas analysis process), and the data storage means G4 stores the introduction pressure and the data of the peak area of the gas chromatograph (step S26). Data storage process). Then, it is determined whether or not the introduction pressure variable (for example, 100 to 700 mmHg) determined in Step S22 has ended (Step S27). If No, the process returns to Step S22 and analysis is performed at the next introduction pressure. If the variable is terminated and step S27 is Yes, the printer display G10 displays a graph and prints out (step S28). From the result, linearity is determined (step S29, linearity determination step). If Yes, the process ends. If No, a message is output by the alarm means G6 (step S30, alarm process), and the process ends.

図20及び図21に分析結果の繰返し再現性判定に使用する構成が示されている。図20は、標準ガスの分析の繰返し再現性判定の構成を示し、繰返し回数設定手段G12を設け、それ以降の構成は前記図14で説明した構成と同様に構成されている。そして、図21は、混合ガスの分析の繰返し再現性判定の構成を示し、同様に繰返し回数設定手段G12を設け、それ以降の構成は前記図16で説明した構成と同様に構成されている。   FIG. 20 and FIG. 21 show a configuration used for determining the reproducibility of the analysis result. FIG. 20 shows a configuration for determining the reproducibility of the analysis of the standard gas, provided with a repetition number setting means G12, and the subsequent configuration is the same as the configuration described in FIG. FIG. 21 shows a configuration for determining the reproducibility of the analysis of the mixed gas. Similarly, the repetition number setting means G12 is provided, and the subsequent configuration is the same as the configuration described in FIG.

図22には、分析結果の繰返し再現性判定方法のフローチャートが示されている。まず、繰返し回数設定手段G12において、繰返し再現性判定をするガス種、ガス濃度、繰返し回数を入力し(ステップS41、繰返し回数設定工程)、導入圧力を決定する(ステップS42、導入圧決定工程)。そして、標準ガス発生器D(標準ガスの場合)、気体試料導入装置Tを介して測定ガスを分析手段G1に導入し(ステップS43、導入工程)、導入圧が範囲内かどうか判定する(ステップS44)。Noであれば、ステップS43に戻り、Yesであれば、ガス分析を行い(ステップS45、ガス分析工程)、分析結果記憶手段G2に記憶する。そして、比較手段G3にて、繰返し回数が所定回数以内かどうか判定し(ステップS46)、Yesであれば、比較回数カウンタG5でカウントしてステップS43に戻り、この際、異常値であれば、警報手段G6でメッセージを出力する。Noであれば、データ保存手段G4で、導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存し(ステップS47、データ保存工程)、各データ、標準偏差等をプリントアウト(ステップS48)して終了する。   FIG. 22 shows a flowchart of a method for determining the repeatability of analysis results. First, in the repetition number setting means G12, the gas type, the gas concentration, and the number of repetitions for determining reproducibility are input (step S41, repetition number setting step), and the introduction pressure is determined (step S42, introduction pressure determination step). . Then, the measurement gas is introduced into the analysis means G1 via the standard gas generator D (in the case of the standard gas) and the gas sample introduction device T (step S43, introduction process), and it is determined whether the introduction pressure is within the range (step). S44). If it is No, it will return to step S43, and if it is Yes, a gas analysis will be performed (step S45, gas analysis process), and it memorize | stores in the analysis result memory | storage means G2. Then, the comparison means G3 determines whether or not the number of repetitions is within a predetermined number (step S46). If Yes, the comparison is counted by the comparison number counter G5 and returns to step S43. A message is output by the alarm means G6. If No, the data storage means G4 stores the data of the introduction pressure and the peak area of the gas chromatograph (step S47, data storage process), prints out each data, standard deviation, etc. (step S48) and ends. .

本発明の標準ガス製造用ガス希釈器の流路系統を示す図。The figure which shows the flow-path system of the gas diluter for standard gas manufacture of this invention. 図1のライン洗浄第1工程を示す流路系統図。The flow-path system figure which shows the line washing | cleaning 1st process of FIG. 図1の試料の充填工程を示す流路系統図。FIG. 2 is a flow path system diagram illustrating a filling process of the sample in FIG. 1. 図1の希釈ガスの充填工程を示す流路系統図。FIG. 2 is a flow path system diagram showing a dilution gas filling step of FIG. 1. 図1の標準ガスの採取工程を示す流路系統図。The flow-path system figure which shows the extraction process of the standard gas of FIG. 分圧が低い場合の試料の充填工程を示す流路系統図。The flow-path system diagram which shows the filling process of the sample when partial pressure is low. 図6の希釈ガスの充填工程を示す流路系統図。FIG. 7 is a flow path system diagram showing a dilution gas filling step of FIG. 6. 図6の標準ガスの採取工程を示す流路系統図。FIG. 7 is a flow path system diagram showing the standard gas sampling step of FIG. 6. 本発明の気体試料導入装置の流路系統を示す図。The figure which shows the flow-path type | system | group of the gas sample introduction apparatus of this invention. 図9のライン洗浄第1工程を示す流路系統図。The flow-path system figure which shows the line washing | cleaning 1st process of FIG. 図9の試料の充填工程を示す流路系統図。FIG. 10 is a flow path system diagram illustrating a filling process of the sample of FIG. 9. 図9の試料のガスクロマトグラフへの導入工程を示す流路系統図。The flow-path system | strain diagram which shows the introduction process to the gas chromatograph of the sample of FIG. 図9の試料の充填工程を示す流路系統図。FIG. 10 is a flow path system diagram illustrating a filling process of the sample of FIG. 9. 本発明の分析装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the analyzer of this invention. 標準ガスの分析のフローチャート図。The flowchart figure of the analysis of standard gas. 混合ガス分析の構成示すブロック図。The block diagram which shows the structure of mixed gas analysis. 混合ガスの分析のフローチャート図。The flowchart figure of the analysis of mixed gas. 分析装置の直線性判定の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the linearity determination of an analyzer. 分析装置の直線性判定のフローチャート図。The flowchart figure of the linearity determination of an analyzer. 標準ガスの分析の再現性判定の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the reproducibility determination of the analysis of standard gas. 混合ガスの分析の再現性判定の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the reproducibility determination of the analysis of mixed gas. 繰り返し再現性判定のフローチャート図。The flowchart figure of repeated reproducibility determination.

符号の説明Explanation of symbols

A・・・ガス分析装置
B1、B2・・・バッファタンク
D・・・希釈器
MT・・・計量管
L、L1、L2、L1A,L2A・・・配管
P1〜P3・・・圧力計
S・・・試料採取口
T・・・気体試料導入装置
V1〜V4、V2A・・・バルブ
VP1、VP2・・・真空ポンプ
a1〜a16・・・配管
b1〜b16・・・バルブ
c1〜c16・・・流量調整器
d1〜d16・・・バルブ
e1〜e16・・・バルブ
f・・・バルブ
g・・・流量調整器
h、i、j1、j2・・・バルブ
A ... Gas analyzer B1, B2 ... Buffer tank D ... Diluter MT ... Metering tube L, L1, L2, L1A, L2A ... Piping P1-P3 ... Pressure gauge S ..Sample sampling port T ... Gas sample introduction device V1-V4, V2A ... Valve VP1, VP2 ... Vacuum pump a1-a16 ... Piping b1-b16 ... Valve c1-c16 ... Flow regulators d1 to d16 ... Valve e1 to e16 ... Valve f ... Valve g ... Flow regulators h, i, j1, j2 ... Valve

Claims (4)

標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用いたガス分析方法において、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程が全自動で実施されることを特徴とするガス分析方法。 In a gas analysis method using a standard gas generator and a gas analyzer having a gas sample introduction device for introducing a standard gas produced by the standard gas generator, an introduction pressure determination step for determining an introduction pressure of the gas sample, and a gas The introduction process of introducing the sample into the analysis means, the gas analysis process of analyzing the introduced gas sample, the comparison process of comparing and confirming the reproducibility of the results obtained by repeatedly analyzing the same sample, and the comparison result is abnormal If so, a gas analysis method comprising an alarm process for issuing an alarm and a data storage process for storing an analysis result, and each of these processes is performed fully automatically. 標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用い、試料混合ガスを気体試料として導入し、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程を全自動で実施してガス分析を行い、標準ガスの分析結果を用いて試料混合ガスの成分を決定することを特徴とする試料混合ガスの分析方法。 An introduction pressure for introducing a sample gas mixture as a gas sample and determining an introduction pressure of the gas sample using a gas analyzer having a standard gas generator and a gas sample introduction device for introducing a standard gas produced by the standard gas generator. A determination step, an introduction step of introducing a gas sample into the analysis means, a gas analysis step of analyzing the introduced gas sample, and a comparison step of comparing and confirming the reproducibility of the results obtained by repeatedly analyzing the same sample , Including an alarm process for issuing an alarm if the comparison result is abnormal, and a data storage process for storing the analysis result, and performing these processes fully automatically to perform the gas analysis, and to obtain the analysis result of the standard gas A method for analyzing a sample mixed gas, comprising: determining a component of the sample mixed gas. 標準ガス発生装置及びこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を含むガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性を判定する直線性判定方法において、気体試料の導入圧力を選択する圧力選択工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の直線性を判定する直線性判定工程とを有することを特徴とするガス分析装置の直線性判定方法。 Introduction of gas sample in linearity determination method for determining linearity of sample introduction pressure and analysis result of gas analyzer including standard gas generator and gas sample introduction device for introducing standard gas produced by this standard gas generator A pressure selection step for selecting pressure, an introduction step for introducing a gas sample into the analysis means, a gas analysis step for analyzing the introduced gas sample, and a linearity determination step for determining linearity of the analysis result A method for determining linearity of a gas analyzer characterized by the following. 標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置とを有するガス分析装置を使用して行うガス分析方法の分析結果の繰返し再現性を判定する繰返し再現性判定方法において、繰返し回数を設定する繰返し回数設定工程と、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程、とを含むことを特徴とする繰返し再現性判定方法。 Repetitive reproducibility judgment for judging repetitive reproducibility of analysis results of a gas analysis method performed using a gas analyzer having a standard gas generator and a gas sample introduction device for introducing a standard gas produced by the standard gas generator In the method, a repetition number setting step for setting the number of repetitions, an introduction pressure determination step for determining the introduction pressure of the gas sample, an introduction step for introducing the gas sample into the analysis means, and a gas analysis for analyzing the introduced gas sample Repetitive reproducibility characterized in that it includes a process, a comparison process for comparing and confirming the reproducibility of the analysis result, an alarm process for issuing an alarm if the comparison result is abnormal, and a data storage process for storing the analysis result Judgment method.
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