JP3745665B2 - Nozzle device - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はノズル装置に関し、特にノズルへ供給される液体の事前処理に関する。
【0002】
【従来の技術】
生化学などの分野においては、ノズルを利用して試薬や希釈液などの液体を吐出するために、分注装置をはじめとするノズル装置が利用される。ノズル装置には、図3に示されるようなもの、すなわち液体瓶100内の液体102を分注ポンプ104で吸引して、ノズル106から吐出するものがある。液体102は、品質上の理由から、通常、使用される直前まで液体瓶100ごと冷却され、あるいは使用中においても液体瓶100ごと冷却されている。また、液体瓶100は、多数回の分注に対応するために当初多量の液体102で満たされており、かなりの重量を有している。したがって、液体瓶100は、ノズル装置の下方に配置されることが一般的である。これにより、分注ポンプ104としては、一般的に、負圧をかけて液体102を汲み上げる方式のものが利用される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
液体瓶100内の冷却状態にある液体102は、実際にノズル106に供給されるまでに温度が上昇する。これによって、液体102に溶け込んでいる気体が発泡し微小気泡が発生する。また、分注ポンプ104により液体102の吸引時に加えられる負圧によって、この気泡の発生が更に助長される。これにより、ノズル106から吐出される液体102に気泡が混入する。いずれにしても、吐出する液体中に不必要に含まれる気泡の除去が要望されている。
【0004】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、ノズルから吐出する液体中に気泡を含まないようにすることができるノズル装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために、本発明は、液体供給源から供給された冷却された薬液または希釈液である液体をノズルにより吐出するノズル装置において、前記液体供給源からの液体を非冷却状態で溜めて前記液体中の気泡を除去し、その液体を排出する気泡除去槽と、前記液体供給源の液体を前記気泡除去槽に注入する注入手段と、前記気泡除去槽に上方から前記液体を注入する注入口と、前記気泡除去槽の下方から前記液体を排出する排出口と、前記気泡除去槽内に溜まった前記液体の液面レベルを検知する液面センサと、予め設定された液面レベルの下限値に関するデータを記憶し、前記検知された液面レベルに基づいて前記注入手段を作動させ、前記気泡除去槽内の液体の液面レベルを前記下限値以上に制御する制御部と、前記気泡除去槽から排出された液体を前記ノズルに供給する供給手段と、を含み、前記下限値は、前記気泡除去槽に上方から注入された液体が排出口に至るまでの間、液体の温度上昇に伴う気泡発生と当該気泡および液体注入時に存在した気泡排出とができる深さ以上であることを特徴とする。
【0006】
上記構成によれば、液体供給源とノズルとの間の経路上に気泡除去槽が設けられ、この気泡除去槽において、液体供給源からの液体が溜められ、液中における気泡が上方に追い出されることにより、この気泡が除去される。これにより、気泡を含まない液体、あるいは気泡を発生しにくい安定した液体をノズルから吐出させることができる。
【0007】
こで、注入口と排出口とは上下に離間して設けられる。これにより、注入口から注入された液体が直接排出口から排出されることを防止できる。
【0008】
また、上記構成によれば、気泡除去槽内に溜められる液体の量を適切な量に調整することができる。
【0009】
本発明の好適な態様では、前記気泡除去槽として、前記注入手段によって前記液体が注入される第1気泡除去槽と、前記第1気泡除去槽の後段に設けられた第2気泡除去槽と、が設けられ、更に前記第1気泡除去槽から前記第2気泡除去槽へ前記液体を導く連通部が設けられ、前記第2気泡除去槽から前記ノズルへ前記液体が排出されることを含むことを特徴とする。ここで、この連通部は、第1気泡除去槽と第2気泡除去槽との間に設けられ、液体を溜めて気泡を除去する1つ又は複数のさらなる気泡除去槽を含む構成であってもよい。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、発明の好適な実施の形態(以下、実施形態という)について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係るノズル装置の概略的な構成を示す図である。
【0011】
汲取り管22及び24は、液体タンク10から液体12を汲み取るために利用される配管であり、その一端は液体タンク10内に挿入される。汲取り管が2つあるので、例えば、一方の汲取り管22で液体タンク10の液体12を汲み取っている間に、他方の汲取り管24に新しい液体タンク10をセットすることができる。
【0012】
切換弁26は、2つの汲取り管22及び24のうち使用する汲取り管を切り替えるための弁である。本実施形態の切換弁26は、手作業によって切り換えられるが、例えば、使用中の液体タンク10内の液体残量等に基づいて自動的に切り換わる構成であってもよい。
【0013】
注入ポンプ28は、制御部34の制御に基づいて作動し、液体タンク10の液体12を汲取り管22又は24、切換弁26及び吸引管30を介して吸引し、その液体12を注入管32を介して気泡除去槽14に注入する。本実施形態では、注入ポンプ28としてペリスタポンプを使用している。
【0014】
気泡除去槽14は、内部に空洞部16を有する。本実施形態では、5回から10回の分注分に相当する液体12が溜められる容量を有している。気泡除去槽14は、その上部に開口を有しており、空洞部16と連通している。気泡除去槽14には、その上方から空洞部16に注入管32の一端側が挿入されて固定されている。この一端側の端部には、気泡除去槽14に液体12を注ぎ込む注入口38が形成されている。なお、この注入管32の一端側は、気泡除去槽14の内壁に沿って傾斜した形状を有している。気泡除去槽14の底部には、ノズル20側に液体12を排出する排出口40が形成されている。なお、この気泡除去槽14の上部は、異物の混入を防止するために、図示されていない蓋によって覆われている。気泡除去槽14における気泡除去のメカニズムについては、後に詳述する。
【0015】
気泡除去槽14には、光又は超音波などを利用した液面センサ42が設けられている。この液面センサ42は、気泡除去槽14内に溜められた液体12の液面レベルを検出し、検出信号を制御部34に出力する。
【0016】
制御部34には、気泡除去槽14内の液面レベルの上限値と下限値に関するデータが設定されている。なお、このデータは必要に応じてユーザーによって設定できる構成であってもよい。制御部34は、入力される液面レベルに関する信号に基づいて、気泡除去槽14内の液体12の液面レベルがこの上限値と下限値との間に保たれるように、注入ポンプ28を作動させる。これにより、気泡除去槽14内に必要量の液体12が補われ、適当な量の液体12が溜まった状態が保たれる。なお、気泡除去槽14内に適当な液体量を保たせるために、ノズル20から吐出される液体12の吐出量に基づいて注入ポンプ28を作動させ、気泡除去槽14内に液体12を補う構成であってもよい。
【0017】
排出管44は、気泡除去槽14から排出される液体12を分注ポンプ46に流出させる配管であり、一方端が排出口40に接続され、かつ他方端が分注ポンプ46に接続されている。排出管44は、気泡除去槽14内における液面レベルの下限よりも低い位置に配設されている。これにより、気泡除去槽14から排出された液体12は、その自重によって分注ポンプ46に流れ込む。
【0018】
分注ポンプ46は、制御部34による制御に基づいて作動し、ノズル20から液体12を吐出させる。なお、この分注ポンプ46は、液体12に負圧をかけることなくその液体12を内部に取り込みノズル20側に供給する方式のポンプであることが望ましい。
【0019】
ノズル20は、ノズル搬送部50によって3次元的に移動自在に設けられており、ノズル搬送部50によって所望の位置に搬送される。また、ノズル20は分注管48を介して分注ポンプ46と接続されており、分注ポンプ46の作動によって液体12を吐出する。なお、このノズル20は、吸引に用いられてもよい。
【0020】
次に、気泡除去槽14における気泡除去に関するメカニズムについて説明する。注入ポンプ28の作動によって、液体タンク10で冷却状態にある液体12が注入口38から吐出され、気泡除去槽14内に注入される。この経路上において、液体12は、室温方向へ次第に温度が上昇する。これにより、液体12は、気泡を発生しやすい不安定な状態、あるいは実際に気泡を含んだ状態になる。この液体12は、気泡除去槽14の空洞部16において一旦開放される。これにより、液体12に含まれていた気泡が除去される。ここで、本実施形態の気泡除去槽14は室温下において利用される。したがって、空洞部16に溜まっている液体12は、排出されるまでに気泡を発生し、発生した気泡は液面へ向かって上昇する。なお、気泡除去槽14は、ヒータ等を利用して積極的に温度調整を行う構成であってもよい。
【0021】
ここで、排出口40から気泡を排出させないためには、液面から排出口40までの深さが、適当に確保される必要があるが、上述したように、空洞部16では、これを考慮した下限値以上の深さが確保されるような液面が保たれているので、排出口からは、気泡を含まない、あるいは気泡を発生しにくい安定した液体12が排出される。
【0022】
次に、図2を用いて気泡除去槽における別の構成例について説明する。この図2に示す気泡除去槽ユニット52は、第1気泡除去槽54、第2気泡除去槽56及び連通管58とから構成されている。第1気泡除去槽54と第2気泡除去槽56は、互いに分離された液体収容槽であり、連通管58によって連結されている。第1気泡除去槽54には、注入管32が、その上方から内部に挿入されて固定されている。一方、第2気泡除去槽56の底部には、ノズル20側に液体12を排出する排出口40が設けられている。なお、第1気泡除去槽54及び第2気泡除去槽56のそれぞれの上部は、異物の混入を防止するために、図示されていない蓋によって覆われている。
【0023】
ここで、連通管58は、第1気泡除去槽54と第2気泡除去槽56とをこれらの底部付近で連結している。これにより、例えば、注入管32から液体12が注入された際に、仮に、第1気泡除去槽54において、不用意に液体12の状態が乱れたとしても、第2気泡除去槽56では静的な状態が保たれ、また、第1気泡除去槽54で発生した気泡も第2気泡除去槽56側に移動しにくい。その結果、気泡を含まない、あるいは気泡が発生しにくい安定した状態の液体12を排出口40から排出することができる。
【0024】
なお、第1気泡除去槽54において、溜められた液体12を攪拌する適切な攪拌手段(図示せず)を適切な位置に設け、積極的に液体12に刺激を加えて気泡を形成排除させてもよい。この構成においては、この攪拌手段によって、第1気泡除去槽54内で気泡が形成されるが、連通管58からは、気泡を含まない、あるいは気泡の含有量が少ない液体12が第2気泡除去槽56に流れ込む。これにより、第2気泡除去槽56は安定した液体12で満たされ、排出口40からは、さらに気泡を発生しにくい液体12が排出される。
【0025】
以上、ノズル装置における実施形態について説明した。もし汲取り管がひとつだけしかないノズル装置の場合には本発明は、更に有効である。つまり、このようなノズル装置において、液体タンク10を交換する間に注入ポンプ28が気体を吸い込んだとしても、これら気泡除去槽14あるいは気泡除去ユニット52において液体12をバッファリングしているので、この気体は排除される。また、気体が排除された液体12を用いて分注を行うこととなるので、液体タンク10の交換の度にノズル装置を停止する必要がない。
【0026】
【発明の効果】
本発明によれば、ノズルから気泡を含まない液体を吐出可能なノズル装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るノズル装置の概略的な構成を示す図である。
【図2】 気泡除去槽における別の構成としての気泡除去ユニットの構造を示す図である。
【図3】 従来におけるノズル装置の概略的な構成を示す図である。
【符号の説明】
10 液体タンク、12 液体、14 気泡除去槽、16 空洞部、20 ノズル、22 汲取り管、24 汲取り管、26 切換弁、28 注入ポンプ、30 吸引管、32 注入管、38 注入口、40 排出口、42 液面センサ、44 排出管、46 分注ポンプ、48 分注管。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a nozzle device, and more particularly to pretreatment of a liquid supplied to a nozzle.
[0002]
[Prior art]
In fields such as biochemistry, a nozzle device such as a dispensing device is used to discharge a liquid such as a reagent or a diluent using a nozzle. Some nozzle devices are as shown in FIG. 3, that is, a device in which the liquid 102 in the liquid bottle 100 is sucked by the dispensing pump 104 and discharged from the nozzle 106. For reasons of quality, the liquid 102 is usually cooled with the liquid bottle 100 until just before use, or is cooled with the liquid bottle 100 even during use. In addition, the liquid bottle 100 is initially filled with a large amount of liquid 102 in order to cope with multiple dispensing, and has a considerable weight. Therefore, the liquid bottle 100 is generally disposed below the nozzle device. Thereby, as the dispensing pump 104, the thing of the system which pumps up the liquid 102 by applying a negative pressure is generally utilized.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The temperature of the liquid 102 in the cooling state in the liquid bottle 100 rises before being actually supplied to the nozzle 106. As a result, the gas dissolved in the liquid 102 is foamed and microbubbles are generated. Further, the generation of the bubbles is further promoted by the negative pressure applied when the liquid 102 is sucked by the dispensing pump 104. Thereby, bubbles are mixed in the liquid 102 discharged from the nozzle 106. In any case, it is desired to remove bubbles that are unnecessarily contained in the liquid to be discharged.
[0004]
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a nozzle device that can prevent bubbles from being included in the liquid discharged from the nozzle.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a nozzle device for discharging a liquid, which is a cooled chemical solution or a diluted solution, supplied from a liquid supply source by a nozzle, and the liquid from the liquid supply source is in an uncooled state. A bubble removing tank that removes bubbles from the liquid that has been stored and discharges the liquid; an injection unit that injects the liquid from the liquid supply source into the bubble removing tank; An inlet for discharging the liquid from below the bubble removal tank, a liquid level sensor for detecting a liquid level of the liquid accumulated in the bubble removal tank, and a preset liquid level. Storing the data relating to the lower limit value of the control unit, operating the injection means based on the detected liquid level, and controlling the liquid level of the liquid in the bubble removal tank to be equal to or higher than the lower limit value, Air bubble removal The liquid discharged from the bath comprises a supply means for supplying to said nozzle, said lower limit, while the liquid injected from above into the bubble removal tank up to the outlet, with increasing temperature of the liquid and characterized in that the bubble generation and the bubble and there was bubble discharge and can be more than the depth of the time liquid injection.
[0006]
According to the above configuration, the bubble removal tank is provided on the path between the liquid supply source and the nozzle. In this bubble removal tank, the liquid from the liquid supply source is stored, and the bubbles in the liquid are expelled upward. As a result, the bubbles are removed. Thereby, the liquid which does not contain a bubble, or the stable liquid which is hard to generate a bubble can be discharged from a nozzle.
[0007]
In here, it is spaced apart vertically from the inlet and outlet. Thereby, it can prevent that the liquid inject | poured from the injection port is discharged | emitted directly from a discharge port.
[0008]
Moreover, according to the said structure, the quantity of the liquid stored in a bubble removal tank can be adjusted to an appropriate quantity.
[0009]
In a preferred aspect of the present invention, as the bubble removal tank, a first bubble removal tank into which the liquid is injected by the injection means, a second bubble removal tank provided at a subsequent stage of the first bubble removal tank, And a communication part for guiding the liquid from the first bubble removal tank to the second bubble removal tank is further provided, and the liquid is discharged from the second bubble removal tank to the nozzle. Features. Here, the communication portion may be provided between the first bubble removal tank and the second bubble removal tank, and may include one or more additional bubble removal tanks that collect liquid and remove bubbles. Good.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a nozzle device according to the present invention.
[0011]
The drawing pipes 22 and 24 are pipes used to draw the liquid 12 from the liquid tank 10, and one end thereof is inserted into the liquid tank 10. Since there are two pumping tubes, for example, while the liquid 12 in the liquid tank 10 is being pumped by one pumping tube 22, the new liquid tank 10 can be set in the other pumping tube 24.
[0012]
The switching valve 26 is a valve for switching a pumping pipe to be used out of the two pumping pipes 22 and 24. The switching valve 26 of the present embodiment is switched manually, but may be configured to automatically switch based on, for example, the remaining amount of liquid in the liquid tank 10 in use.
[0013]
The injection pump 28 operates based on the control of the control unit 34, sucks the liquid 12 in the liquid tank 10 through the pumping pipe 22 or 24, the switching valve 26 and the suction pipe 30, and the liquid 12 is injected into the injection pipe 32. Through the bubble removal tank 14. In the present embodiment, a peristaltic pump is used as the infusion pump 28.
[0014]
The bubble removal tank 14 has a cavity 16 inside. In the present embodiment, the liquid 12 corresponding to 5 to 10 dispenses is stored. The bubble removal tank 14 has an opening at the top thereof and communicates with the cavity 16. One end side of the injection tube 32 is inserted into the bubble removing tank 14 and fixed to the cavity 16 from above. An inlet 38 for pouring the liquid 12 into the bubble removing tank 14 is formed at the end on one end side. Note that one end side of the injection tube 32 has a shape inclined along the inner wall of the bubble removing tank 14. A discharge port 40 for discharging the liquid 12 to the nozzle 20 side is formed at the bottom of the bubble removal tank 14. Note that the upper portion of the bubble removal tank 14 is covered with a lid (not shown) in order to prevent foreign matter from entering. The bubble removal mechanism in the bubble removal tank 14 will be described in detail later.
[0015]
The bubble removal tank 14 is provided with a liquid level sensor 42 using light or ultrasonic waves. The liquid level sensor 42 detects the liquid level of the liquid 12 stored in the bubble removal tank 14 and outputs a detection signal to the control unit 34.
[0016]
In the control unit 34, data relating to the upper limit value and the lower limit value of the liquid level in the bubble removal tank 14 is set. The data may be configured to be set by the user as needed. The control unit 34 controls the infusion pump 28 so that the liquid level of the liquid 12 in the bubble removing tank 14 is kept between the upper limit value and the lower limit value based on the input signal related to the liquid level. Operate. As a result, a necessary amount of the liquid 12 is supplemented in the bubble removing tank 14, and a state where an appropriate amount of the liquid 12 is accumulated is maintained. In order to maintain an appropriate amount of liquid in the bubble removal tank 14, the injection pump 28 is operated based on the discharge amount of the liquid 12 discharged from the nozzle 20 to supplement the liquid 12 in the bubble removal tank 14. It may be.
[0017]
The discharge pipe 44 is a pipe that causes the liquid 12 discharged from the bubble removal tank 14 to flow out to the dispensing pump 46, and has one end connected to the discharge port 40 and the other end connected to the dispensing pump 46. . The discharge pipe 44 is disposed at a position lower than the lower limit of the liquid level in the bubble removal tank 14. Thereby, the liquid 12 discharged | emitted from the bubble removal tank 14 flows into the dispensing pump 46 with the dead weight.
[0018]
The dispensing pump 46 operates based on the control by the control unit 34 and discharges the liquid 12 from the nozzle 20. The dispensing pump 46 is desirably a pump that takes in the liquid 12 and supplies it to the nozzle 20 side without applying a negative pressure to the liquid 12.
[0019]
The nozzle 20 is provided so as to be three-dimensionally movable by the nozzle transport unit 50 and is transported to a desired position by the nozzle transport unit 50. The nozzle 20 is connected to a dispensing pump 46 via a dispensing pipe 48 and discharges the liquid 12 by the operation of the dispensing pump 46. The nozzle 20 may be used for suction.
[0020]
Next, a mechanism related to bubble removal in the bubble removal tank 14 will be described. By the operation of the injection pump 28, the liquid 12 that is cooled in the liquid tank 10 is discharged from the injection port 38 and injected into the bubble removal tank 14. On this path, the temperature of the liquid 12 gradually increases in the room temperature direction. As a result, the liquid 12 is in an unstable state in which bubbles are likely to be generated, or actually includes bubbles. This liquid 12 is once opened in the cavity 16 of the bubble removal tank 14. Thereby, bubbles contained in the liquid 12 are removed. Here, the bubble removal tank 14 of the present embodiment is used at room temperature. Therefore, the liquid 12 accumulated in the cavity 16 generates bubbles before being discharged, and the generated bubbles rise toward the liquid level. The bubble removal tank 14 may be configured to positively adjust the temperature using a heater or the like.
[0021]
Here, in order to prevent the bubbles from being discharged from the discharge port 40, it is necessary to ensure an appropriate depth from the liquid surface to the discharge port 40. However, as described above, the cavity portion 16 takes this into consideration. Since the liquid level is maintained such that a depth equal to or greater than the lower limit is ensured, the stable liquid 12 that does not contain bubbles or hardly generates bubbles is discharged from the discharge port.
[0022]
Next, another configuration example of the bubble removal tank will be described with reference to FIG. The bubble removal tank unit 52 shown in FIG. 2 includes a first bubble removal tank 54, a second bubble removal tank 56, and a communication pipe 58. The first bubble removal tank 54 and the second bubble removal tank 56 are liquid storage tanks separated from each other, and are connected by a communication pipe 58. In the first bubble removal tank 54, the injection tube 32 is inserted and fixed from above. On the other hand, a discharge port 40 for discharging the liquid 12 is provided on the nozzle 20 side at the bottom of the second bubble removal tank 56. Note that the upper portions of the first bubble removal tank 54 and the second bubble removal tank 56 are covered with a lid (not shown) in order to prevent foreign substances from entering.
[0023]
Here, the communication pipe 58 connects the first bubble removal tank 54 and the second bubble removal tank 56 in the vicinity of their bottoms. Thus, for example, even when the liquid 12 is inadvertently disturbed in the first bubble removal tank 54 when the liquid 12 is injected from the injection tube 32, the second bubble removal tank 56 is static. In addition, the air bubbles generated in the first bubble removal tank 54 are difficult to move to the second bubble removal tank 56 side. As a result, the liquid 12 in a stable state that does not contain bubbles or is unlikely to generate bubbles can be discharged from the discharge port 40.
[0024]
In the first bubble removal tank 54, an appropriate stirring means (not shown) for stirring the accumulated liquid 12 is provided at an appropriate position, and the liquid 12 is positively stimulated to eliminate the formation of bubbles. Also good. In this configuration, bubbles are formed in the first bubble removal tank 54 by this stirring means, but the liquid 12 containing no bubbles or containing a small amount of bubbles is removed from the communication pipe 58 by the second bubble removal. It flows into the tank 56. As a result, the second bubble removal tank 56 is filled with the stable liquid 12, and the liquid 12 that hardly generates bubbles is discharged from the discharge port 40.
[0025]
The embodiment of the nozzle device has been described above. The present invention is more effective in the case of a nozzle device having only one fetch pipe. That is, in such a nozzle device, even if the injection pump 28 sucks in the gas while the liquid tank 10 is replaced, the liquid 12 is buffered in the bubble removal tank 14 or the bubble removal unit 52. The gas is excluded. Further, since the dispensing is performed using the liquid 12 from which the gas is excluded, it is not necessary to stop the nozzle device every time the liquid tank 10 is replaced.
[0026]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the nozzle apparatus which can discharge the liquid which does not contain a bubble from a nozzle can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a nozzle device according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a structure of a bubble removing unit as another configuration in the bubble removing tank.
FIG. 3 is a diagram illustrating a schematic configuration of a conventional nozzle device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Liquid tank, 12 Liquid, 14 Bubble removal tank, 16 Cavity part, 20 Nozzle, 22 Fume pipe, 24 Fume pipe, 26 Switching valve, 28 Injection pump, 30 Suction pipe, 32 Injection pipe, 38 Inlet, 40 Discharge port, 42 level sensor, 44 discharge pipe, 46 dispensing pump, 48 dispensing pipe.

Claims (2)

液体供給源から供給された冷却された薬液または希釈液である液体をノズルにより吐出するノズル装置において、
前記液体供給源からの液体を非冷却状態で溜めて前記液体中の気泡を除去し、その液体を排出する気泡除去槽と、
前記液体供給源の液体を前記気泡除去槽に注入する注入手段と、
前記気泡除去槽に上方から前記液体を注入する注入口と、
前記気泡除去槽の下方から前記液体を排出する排出口と、
前記気泡除去槽内に溜まった前記液体の液面レベルを検知する液面センサと、
予め設定された液面レベルの下限値に関するデータを記憶し、前記検知された液面レベルに基づいて前記注入手段を作動させ、前記気泡除去槽内の液体の液面レベルを前記下限値以上に制御する制御部と、
前記気泡除去槽から排出された液体を前記ノズルに供給する供給手段と、
を含み、
前記下限値は、前記気泡除去槽に上方から注入された前記液体が前記排出口に至るまでの間に、液体の温度上昇に伴う気泡発生と当該気泡および液体注入時に存在した気泡排出とができる深さ以上であることを特徴とするノズル装置。
In a nozzle device for discharging a liquid that is a cooled chemical solution or a diluent supplied from a liquid supply source by a nozzle,
A bubble removal tank for storing the liquid from the liquid supply source in an uncooled state to remove bubbles in the liquid and discharging the liquid;
Injection means for injecting the liquid of the liquid supply source into the bubble removing tank;
An inlet for injecting the liquid from above into the bubble removing tank;
A discharge port for discharging the liquid from below the bubble removing tank;
A liquid level sensor for detecting a liquid level of the liquid accumulated in the bubble removing tank;
Data relating to a preset lower limit value of the liquid level is stored, the injection means is operated based on the detected liquid level, and the liquid level of the liquid in the bubble removing tank is set to the lower limit value or more. A control unit to control;
Supply means for supplying the liquid discharged from the bubble removal tank to the nozzle;
Including
The lower limit, while the liquid injected from above into the bubble removal tank up to the outlet, the bubble discharging and of that existed at the time the bubble generation and the bubble and liquid injection with increasing temperature of the liquid Nozzle device characterized by being deeper than possible.
請求項1記載のノズル装置において、
前記気泡除去槽として、
前記注入手段によって前記液体が注入される第1気泡除去槽と、
前記第1気泡除去槽の後段に設けられた第2気泡除去槽と、
が設けられ、更に
前記第1気泡除去槽から前記第2気泡除去槽へ前記液体を導く連通部が設けられ、前記第2気泡除去槽から排出された液体が前記供給手段でノズルに供給されることを含むことを特徴とするノズル装置。
The nozzle device according to claim 1.
As the bubble removal tank,
A first bubble removal tank into which the liquid is injected by the injection means;
A second bubble removal tank provided downstream of the first bubble removal tank;
And a communication portion for guiding the liquid from the first bubble removal tank to the second bubble removal tank, and the liquid discharged from the second bubble removal tank is supplied to the nozzle by the supply means. A nozzle device comprising:
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