【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は連続真空蒸着装置の入、出口部分で用いる真空シール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空中で金属またはセラミックス等を蒸発させて基板表面に蒸着させる真空蒸着法は、ほとんどの金属のメッキが可能であることなどの利点を有することから、次代のメッキ法として、従来の電気メッキ法や溶融メッキ法にとって代わるといわれる。しかし連続真空蒸着装置の入、出口部で必要となる真空シール装置の効率が悪いと、真空引きするための真空ポンプの容量が過大となり、そのためのエネルギ消費量も多大となる。
【０００３】
真空シール装置の効率を改善すべく本願の出願人は先に特許出願を行った（特願平４─１９２６６１、特開平５─３１１４４０「真空シール装置」）。
図３および図４は上記特許出願に開示された真空シール装置の図であり、図３は正断面図、図４は側断面図である。図に示すように、ケーシングａの対向する壁部となる左右の側壁部ｂに基板ｃを水平方向に通過させるための高圧側開口ｄと低圧側開口ｅを設け、かつ該ケーシングａ内の基板通過位置を上下で挟む位置に、基板ｃの幅方向に沿って多分割構造としたシールブロックｆを、密な状態で昇降可能に組み入れ、かつ各シールブロックｆに一端を連結したロッドｇの他端をそれぞれケーシングａの外部へ上下方向に摺動自在に突出させ、該突出部をボルトとして突出部にナットｈを螺着し、ナットｈの締め付け調整によって各シールブロックｆの昇降位置を調整できるようにし、上下のシールブロックｆにより基板ｃを水平方向に通過させるための隙間として可変オリフィスｉを形成させられるようにする。
【０００４】
ナットｈの締め付け調整により、基板ｃと対応する部分の上下のシールブロックｆを基板ｃの表、裏面に最小隙間となるように近接位置させるとともに、他のシールブロックｆを上下で当接させてこの部分の隙間Ｓを零にすると、基板ｃの厚み及び幅に対応するオリフィスｉを形成することができるので、高圧側開口ｄと低圧側開口ｅの間を上下のシールブロックｆによって精度よくシールすることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べた真空シール装置において、基板の板巾の種類が少ない場合には問題ないが、板巾の種類が多い場合にはシールブロックの分割数を増して対応せねばならず、機構が複雑になり、調節のための手間がかかる。本発明は上記問題に鑑み案出されたもので、多種類の板巾に対して柔軟に対応できる真空シール装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本願の真空シール装置は、対向する壁部に連続走行する帯状の基板を通過させるための高圧側開口と低圧側開口とを有するケーシング内に、基板通過位置を上下左右から囲むように配される直方体形状の４個のシールブロックを設け、各シールブロックは、基板の回りを時計回り、または反時計回りに、回る方向の上流側シールブロックの内側側面に、下流側シールブロックの一端面が、内側側面の長手方向に摺動可能に当接しており、各シールブロックを基板に向って相対移動させることにより基板とシールブロックの内側側面との隙間を調整可能に構成してある。
【０００７】
また、各シールブロックの外側側面にはシールブロックの長手方向に沿って溝が設けられていて、該溝内にシールブロック位置調整機の先端係合部が挿入されていて、シールブロックは位置調整機により基板に向って相対移動するとともに長手方向に摺動可能となっており、シールブロックの他端面にはケーシング側壁との間に圧縮ばねが連結されているのが好ましい。
【０００８】
また、各シールブロックの外側側面にはシールブロックの長手方向に沿って溝が設けられていて、該溝内にシールブロック位置調整機の先端係合部が挿入されていて、シールブロックは位置調整機により基板に向って相対移動するとともに長手方向に摺動可能となっており、シールブロックの一端面にはありが設けられ、シールブロックの内側側面にはあり溝が設けられていてもよい。
【０００９】
さらに上記位置調整機はモータとねじ機構により構成するのが好ましい。
【００１０】
次に本発明の作用を説明する。基板の回りを囲む４個のシールブロックは基板の回りを例えば時計回りに、回る方向の上流側のシールブロックの内側側面に、下流側のシールブロックの一端面が当接しているので、上流側のシールブロックを位置調節機により基板に近ずく方向に移動すると下流側のシールブロックをその方向に押すが、下流側のシールブロックはその方向に逃げることができるので、上流側のシールブロックを自由に近づけることができる。また上流側のシールブロックを基板から離す方向に動かすと、下流側のシールブロックはばねの力により上流側のシールブロックについて行くので、隙間があくことがない。上流側シールブロックの内側側面と下流側シールブロックの一端面とをあり溝とありに形成し、互に係合させるようにすればばねは不要となる。このように４個のシールブロックはそれぞれ独自に基板に対して近接離反することができるので基板との隙間を自由に調節することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の一形態について図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の真空シール装置の正断面図、図２は同じく側断面図である。図１および図２において、１はケーシングで、対向する壁部となる前後の側壁１ｃに、基板２を水平方向に通過させるための高圧側開口１ａと低圧側開口１ｂを有しており、側壁１ｃは図１に示すように上下および左右から外壁１ｄにより取り囲まれ箱体を形成している。
【００１２】
ケーシング１内には、側壁１ｃ，１ｃに摺動可能に挟まれて、４個のシールブロック３が配されている。シールブロック３は直方体形状で基板２の通過位置を上下左右から囲むように配される、上部シールブロック３ａ、下部シールブロック３ｃ、右側シールブロック３ｂ、左側シールブロック３ｄからなる。そして、それぞれのシールブロック３は時計回りに、上部シールブロック３ａの内側側面３ｅに右側シールブロック３ｂの一端３ｆが当接しており、右側シールブロック３ｂの内側側面３ｅに下部シールブロック３ｃの一端面３ｆが当接しており、下部シールブロック３ｃの内側側面３ｅに左側シールブロック３ｄの一端面３ｆが当接しており、左側シールブロック３ｄの内側側面３ｅに上部シールブロック３ａの一端面３ｆが当接している。各シールブロック３の外側側面３ｈには断面がＴ字形状の溝３ｉがシールブロック３の長手方向に沿って設けられている。４は圧縮ばねで一端がシールブロック３の他端面３ｇに連結され、他端がケーシング１の外壁１ｄに連結され、シールブロック３の一端面３ｆを上流側のシールブロック３の内側側面３ｅに押し付けている。
【００１３】
５はケーシング１の外壁１ｄに固着された架台で後述するシールブロック位置調整機６が取付けられている。６はシールブロック位置調整機で、モータ７、ねじ機構８およびケーシングの外壁１ｄを摺動可能に貫通するロッド９からなる。ロッド９の先端は四角形の係合部９ａとなっており、シールブロック外壁側面３ｈのＴ字形状の溝３ｉ内に挿入されていて、溝３ｉを摺動可能になっている。なお上部シールブロック３ａと下部シールブロック３ｃは長いので２個の位置調整機６により支持され、右側シールブロック３ｂと左側シールブロック３ａとは短いので１個の位置調整機により支持されている。このようにしてシールブロック３の内側側面３ｅにより、基板２の厚みおよび幅に対応する可変オリフィス１０が形成される。
【００１４】
次に作用を説明する。１例として上部シールブロック３ａを基板通過位置に近づける場合について説明する。上部シールブロック３ａに連結されている２個のシールブロック位置調整機６のモータ７を同期回転させて、ねじ機構８によりロッド９を下降させることにより上部シールブロック３ａを下降させる。上部シールブロック３ａの左側の一端面３ｆはばね４により押されて左側シールブロック３ｄの内側側面３ｅに当接しているが、上部シールブロック３ａが下降するときは摺動可能である。一方上部シールブロックの内側側面３ｅの右端は右側シールブロック３ｂの上部の一端面３ｆに当接しているので、上部シールブロック３ａが下降するときは右側シールブロックを圧縮ばね４に抗して下に押し下げようとするが、右側シールブロック３ｂを支持しているシールブロック位置調整機６の先端の係合部９ａは溝３ｉ内で摺動可能になっているので、上側シールブロック３ａにより押し下げられる。逆に上側シールブロック３ａを基板２から離そうとする場合には右側シールブロック３ｂの上側の一端面３ｆは離れようとするがばね４により押し上げられ、当接した状態が保たれる。
【００１５】
以上述べたように各シールブロック３は、互いに当接した状態を保ちながら、他のシールブロック３に邪魔されることなく独自に基板２の通過位置に対して近接または離反することができるので、可変オリフィス１０の基板通過位置に対する相対形状を自由に変えられ、シールブロック３と基板２との隙間を自由に調整することができる。
【００１６】
なお、本発明は以上述べた実施の形態に限定されるものではなく発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば上部シールブロック３ａや下部シールブロック３ｃに各２個の位置調整機６を連結しているが、モーメントに対抗できれば、１個であってもよい。また図５（図１のＡ−Ａ矢視部分の変形例を示す）のようにシールブロック３の内側側面３ｅにあり溝３ｊ、一端面３ｆにあり３ｋを形成し、互に係合させておけば、ばね４は不要となる。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の真空シール装置は基板通過位置を上下左右から囲むように４個のシールブロックを配し、各シールブロックは基板の回りに上流側のシールブロックの内側側面に下流側のシールブロックの一端面を摺動可能に当接させ、シールブロック内側に基板の厚みおよび幅に対応する可変オフィリスを形成するようにしたので、基板との隙間を自由に無段階に調整することができる。しかも従来に比べて機構が単純になり、操作しやすくなるなど優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空シール装置の正断面図である。
【図２】本発明の真空シール装置の側断面図である。
【図３】従来の真空シール装置の正断面図である。
【図４】従来の真空シール装置の側断面図である。
【図５】図１のＡ−Ａ矢視部分の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１ ケーシング
２ 基板
３ シールブロック
３ｅ シールブロックの内側側面
３ｆ シールブロックの一端面
３ｈ シールブロックの外側側面
３ｉ 溝
４ 圧縮ばね
６ シールブロック位置調整機[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a vacuum seal device used at the entrance and exit of a continuous vacuum deposition apparatus.
[0002]
[Prior art]
The vacuum deposition method, in which metal or ceramics is evaporated in vacuum and deposited on the substrate surface, has the advantage that most metals can be plated. Therefore, the conventional electroplating method is the next generation plating method. It is said that it replaces the hot dipping method. However, if the efficiency of the vacuum sealing device required at the entrance and exit of the continuous vacuum vapor deposition device is poor, the capacity of the vacuum pump for evacuation becomes excessive, and the energy consumption for that becomes large.
[0003]
In order to improve the efficiency of the vacuum seal device, the applicant of the present application has previously filed a patent application (Japanese Patent Application No. Hei 4-192661, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-31440 “Vacuum Seal Device”).
3 and 4 are views of the vacuum sealing device disclosed in the above-mentioned patent application. FIG. 3 is a front sectional view and FIG. 4 is a side sectional view. As shown in the figure, a high-pressure side opening d and a low-pressure side opening e for allowing the substrate c to pass in the horizontal direction are provided in the left and right side wall portions b which are the opposing wall portions of the casing a, and the substrate in the casing a A seal block f having a multi-divided structure along the width direction of the substrate c is incorporated at a position sandwiching the passage position between the upper and lower sides so as to be able to move up and down in a dense state, and the rod g having one end connected to each seal block f The ends of the seal blocks can be protruded to the outside of the casing a so as to be slidable in the vertical direction, and the nuts h are screwed onto the protrusions using the protrusions as bolts. The variable orifice i is formed as a gap for allowing the substrate c to pass in the horizontal direction by the upper and lower seal blocks f.
[0004]
By adjusting the tightening of the nut h, the upper and lower seal blocks f of the portion corresponding to the substrate c are positioned close to the front and rear surfaces of the substrate c so as to have a minimum gap, and the other seal blocks f are brought into contact with each other vertically. If the gap S in this portion is made zero, an orifice i corresponding to the thickness and width of the substrate c can be formed, and therefore the high-pressure side opening d and the low-pressure side opening e are accurately sealed by the upper and lower seal blocks f. can do.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the vacuum seal device described above, there is no problem when the board width of the board is small, but when the board width is large, the number of seal blocks must be increased and the mechanism is complicated. It takes time for adjustment. The present invention has been devised in view of the above problems, and an object thereof is to provide a vacuum seal device that can flexibly cope with various types of plate widths.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the vacuum seal device of the present application has a substrate passage position from the top, bottom, left, and right in a casing having a high-pressure side opening and a low-pressure side opening for passing a belt-like substrate continuously running on opposing walls. Four rectangular parallelepiped-shaped seal blocks are provided so as to surround each seal block, and each seal block is provided on the inner side surface of the upstream seal block in the clockwise direction or the counterclockwise direction around the substrate. One end surface of the block is slidably contacted in the longitudinal direction of the inner side surface, and the clearance between the substrate and the inner side surface of the seal block can be adjusted by moving each seal block relative to the substrate. It is.
[0007]
Further, a groove is provided on the outer side surface of each seal block along the longitudinal direction of the seal block, and a tip engagement portion of a seal block position adjusting machine is inserted into the groove, so that the position of the seal block is adjusted. It is preferable that the machine is relatively moved toward the substrate by the machine and is slidable in the longitudinal direction, and a compression spring is connected between the other end surface of the seal block and the casing side wall.
[0008]
Further, a groove is provided on the outer side surface of each seal block along the longitudinal direction of the seal block, and a tip engagement portion of a seal block position adjusting machine is inserted into the groove, so that the position of the seal block is adjusted. The seal block may be relatively moved toward the substrate and slidable in the longitudinal direction, and a dovetail may be provided on one end face of the seal block, and a dovetail groove may be provided on the inner side surface of the seal block.
[0009]
Furthermore, it is preferable that the position adjuster is constituted by a motor and a screw mechanism.
[0010]
Next, the operation of the present invention will be described. The four seal blocks surrounding the substrate are, for example, clockwise around the substrate, and one end surface of the downstream seal block is in contact with the inner side surface of the upstream seal block in the rotating direction. When the seal block is moved in the direction closer to the substrate by the position adjuster, the downstream seal block is pushed in that direction, but the downstream seal block can escape in that direction, so the upstream seal block can be freely moved. Can be approached. Further, when the upstream seal block is moved away from the substrate, the downstream seal block follows the upstream seal block by the force of the spring, so that there is no gap. If the inner side surface of the upstream side seal block and the one end surface of the downstream side seal block are formed with a groove and engaged with each other, the spring becomes unnecessary. Thus, the four seal blocks can independently approach and separate from the substrate, so that the gap with the substrate can be freely adjusted.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front sectional view of the vacuum seal device of the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a casing, which has a high-pressure side opening 1 a and a low-pressure side opening 1 b for allowing the substrate 2 to pass in the horizontal direction on front and rear side walls 1 c serving as opposing wall portions. As shown in FIG. 1, 1c is surrounded by an outer wall 1d from the top and bottom and from the left and right to form a box.
[0012]
In the casing 1, four seal blocks 3 are disposed so as to be slidable between the side walls 1c and 1c. The seal block 3 has a rectangular parallelepiped shape, and is composed of an upper seal block 3a, a lower seal block 3c, a right seal block 3b, and a left seal block 3d which are disposed so as to surround the passage position of the substrate 2 from above, below, left and right. Each seal block 3 is clockwise, with one end 3f of the right seal block 3b contacting the inner side surface 3e of the upper seal block 3a, and one end surface of the lower seal block 3c on the inner side surface 3e of the right seal block 3b. 3f is in contact, one end surface 3f of the left seal block 3d is in contact with the inner side surface 3e of the lower seal block 3c, and one end surface 3f of the upper seal block 3a is in contact with the inner side surface 3e of the left seal block 3d. ing. A groove 3 i having a T-shaped cross section is provided on the outer side surface 3 h of each seal block 3 along the longitudinal direction of the seal block 3. A compression spring 4 has one end connected to the other end surface 3g of the seal block 3, the other end connected to the outer wall 1d of the casing 1, and presses the one end surface 3f of the seal block 3 against the inner side surface 3e of the upstream seal block 3. ing.
[0013]
Reference numeral 5 denotes a frame fixed to the outer wall 1d of the casing 1 to which a seal block position adjusting machine 6 described later is attached. Reference numeral 6 denotes a seal block position adjuster, which includes a motor 7, a screw mechanism 8, and a rod 9 that slidably penetrates the outer wall 1d of the casing. The tip of the rod 9 is a rectangular engaging portion 9a, which is inserted into a T-shaped groove 3i on the side surface 3h of the seal block outer wall, and can slide in the groove 3i. Since the upper seal block 3a and the lower seal block 3c are long, they are supported by two position adjusters 6, and the right seal block 3b and the left seal block 3a are short and are supported by one position adjuster. In this way, the variable orifice 10 corresponding to the thickness and width of the substrate 2 is formed by the inner side surface 3e of the seal block 3.
[0014]
Next, the operation will be described. As an example, the case where the upper seal block 3a is brought close to the substrate passing position will be described. The motors 7 of the two seal block position adjusters 6 connected to the upper seal block 3a are synchronously rotated, and the rod 9 is lowered by the screw mechanism 8 to lower the upper seal block 3a. The left end surface 3f of the upper seal block 3a is pressed by the spring 4 and is in contact with the inner side surface 3e of the left seal block 3d, but can slide when the upper seal block 3a is lowered. On the other hand, the right end of the inner side surface 3e of the upper seal block is in contact with the upper end surface 3f of the upper side of the right seal block 3b, so that when the upper seal block 3a is lowered, the right seal block is moved downward against the compression spring 4. The engagement portion 9a at the tip of the seal block position adjusting machine 6 that supports the right seal block 3b is slidable in the groove 3i, so that it is pushed down by the upper seal block 3a. On the contrary, when the upper seal block 3a is to be separated from the substrate 2, the upper end surface 3f of the right seal block 3b tends to be separated but is pushed up by the spring 4 and kept in contact.
[0015]
As described above, each of the seal blocks 3 can independently approach or separate from the passing position of the substrate 2 without being obstructed by the other seal blocks 3 while maintaining a state in contact with each other. The relative shape of the variable orifice 10 with respect to the substrate passage position can be freely changed, and the gap between the seal block 3 and the substrate 2 can be freely adjusted.
[0016]
The present invention is not limited to the embodiment described above, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, two position adjusters 6 are connected to the upper seal block 3a and the lower seal block 3c, respectively, but may be one as long as it can counter the moment. Further, as shown in FIG. 5 (showing a modification of the AA arrow portion of FIG. 1), a groove 3j is formed on the inner side surface 3e of the seal block 3 and 3k is formed on the one end surface 3f, and they are engaged with each other. If it does, the spring 4 becomes unnecessary.
[0017]
【The invention's effect】
As described above, the vacuum seal apparatus of the present invention has four seal blocks arranged so as to surround the substrate passage position from the top, bottom, left, and right, and each seal block is downstream on the inner side surface of the upstream seal block around the substrate. Since one end face of the seal block is slidably contacted and a variable ophiris corresponding to the thickness and width of the board is formed inside the seal block, the gap between the board and the board can be freely adjusted steplessly. Can do. In addition, the mechanism is simpler than the conventional one, and it has excellent effects such as easy operation.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front sectional view of a vacuum seal device of the present invention.
FIG. 2 is a side sectional view of the vacuum seal device of the present invention.
FIG. 3 is a front sectional view of a conventional vacuum seal device.
FIG. 4 is a side sectional view of a conventional vacuum seal device.
FIG. 5 is a view showing a modification of the portion taken along the line AA in FIG. 1;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing 2 Board | substrate 3 Seal block 3e Inner side surface 3f of a seal block One end surface 3h of a seal block Outer side surface 3i of a seal block Groove 4 Compression spring 6 Seal block position adjuster
