JP3719972B2 - Flat panel display - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、平面表示装置に係わり、特に多数の電子ビーム透過孔を有する板状構造体を備えた平面表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、省スペースの大型ディスプレイを目指して、FED(フィールド・エミッション・ディスプレイ)やPDP(プラスマ・ディスプレイ・パネル)等、平面表示装置の開発が進められている。特に、大型化が容易なFEDとして、電子源として表面伝導型電子源を用いたSEDの開発が進められている。
【0003】
SEDは、所定の間隙を持って対向配置された第1基板および第2基板を有し、これら第1および第2基板は枠状の側壁を介して周辺部を互いに接合することにより真空外囲器を構成している。第1基板の内面には、赤、青、緑の3色に発光する蛍光体層が形成され、第2基板の内面には蛍光体を励起する電子放出源として、各画素に対応する多数の表面伝導型電子源が配列されている。各表面伝導型電子源は電子放出部、電子放出部に電圧を印加する一対の電極等から構成される。
【0004】
第1基板と第2基板との間には板状構造体が設置され、この板状構造体には各画素および各表面伝導型電子源に対応して配列された多数の電子ビーム透過孔が形成されている。また、第1および第2基板間には、これら基板間の間隙を維持するための多数の柱状スペーサが配置されている。
【0005】
各電子源から放出された電子ビームは、板状構造体の対応する電子ビーム透過孔を通過し、第1基板に印加された電圧により、所望の蛍光体上に衝突し、蛍光体を発光させる。板状構造体には、第1基板への印加電圧、画面サイズ、画素ピッチに応じて、第1基板より高電圧、同電圧、あるいは低電圧のいずれかが選択される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
第1基板と第2基板とを封着して外囲器を製造する際、第1基板、第2基板、および板状構造体には300℃以上の高温に加熱される。しかしながら、加熱の際、第1基板、第2基板、および板状構造体の熱膨脹係数を常温から300℃以上の全温度領域において合せることは難しい。そのため、第1基板、第2基板、および板状構造体の間に熱膨張の差による位置ズレが生じ、場合によっては第1基板および第2基板の破損を引き起こす恐れがある。
【0007】
これを解決する方法として、第1基板、第2基板および板状構造体間の固定を緩やかなものとしておき、熱膨張を逃がす方法が考えられる。しかしながら、FEDの場合、第2基板上の電子源から放出された電子ビームは、これら電子源に1対1に対応した板状構造体の電子ビーム透過孔を通過し、対応する蛍光体を正確に励起しなければならず、第1基板、第2基板、および板状構造体は高い精度の位置合せが要求される。従って、第1基板、第2基板、および板状構造体の相互位置は、厳密に固定されていなければならない。
【0008】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、製造時の第1基板、第2基板、および板状構造体の熱膨張差を緩和し、第1基板、第2基板、あるいは板状構造体の損傷を生じることなく、これら第1基板、第2基板、板状構造体を高精度で位置合わせ可能な平面表示装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の一態様に係る平面表示装置は、内面に蛍光体層が形成された第1基板と、上記第1基板と対向配置されているとともに、上記蛍光体層に向けて電子ビームを放出する多数の電子源が設けられた第2基板と、第1基板と第2基板との間に配置され、上記電子源に対応した多数の電子ビーム透過孔が設けられた板状構造体と、を備え、上記板状構造体は、上記蛍光体層に対向しているとともに上記多数の電子ビーム通過孔が形成された有効部と、上記有効部の周囲に位置した無孔部と、を備えほぼ矩形状に形成され、上記板状構造体の角部は、上記第1基板および第2基板の少なくとも一方に固定され、上記板状構造体は、上記無孔部に形成された複数の凹部を有し上記第1基板および第2基板に対する熱膨張差を緩和する熱膨張緩和部、および、上記角部に形成され上記第1基板および第2基板に対する熱膨張差を緩和する熱膨張緩和部の少なくとも一方を備えたことを特徴としている。
【0010】
上記構成の平面表示装置においては、板状構造体に熱膨張差を緩和する熱膨張緩和部を設けることにより、製造時の第1基板、第2基板および板状構造体の熱膨張差を緩和し、第1および第2基板、あるいは板状構造体の破壊することなく、第1基板、第2基板および板状構造体を高精度に位置合わせすることが可能となる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を、平面表示装置としてSEDに適用した実施の形態について説明する。
【0012】
SEDは絶縁基板としてそれぞれ矩形状のガラスからなる第1基板12および第2基板10を備え、これら第1および第2基板は1.0〜3.0mm程度の隙間を置いて対向配置されている。第2基板10は第1基板12よりも僅かに大きな寸法に形成される。また、第1基板12および第2基板は、ガラスからなる矩形枠状の側壁14を介して、その周縁部同士が接合され、フラットな矩形状の真空外囲器15が構成される。側壁14は、例えば、低融点ガラスからなるフリットガラス20、あるいはインジウム等により第1基板12および第2基板10の周縁部に封着されている。
【0013】
第1基板12の内面には蛍光体スクリーン16がスクリーン印刷法やフォトリソグラフィ等既存の形成法を用いて形成されている。この蛍光体スクリーン16は、電子線の衝突で赤、緑、青に発光する蛍光体層R、G、B、および蛍光体層の間に形成された黒色着色層を配列することにより構成される。各蛍光体層R、G、Bは、ストライプ状あるいは矩形のドット状に形成される。
【0014】
蛍光体スクリーン16上には、アルミニウム等からなるメタルバック17が真空蒸着やラミネート法等公知の技術を用いて形成されている。なお、第1基板12と蛍光体スクリーン16との間に、例えばITO、ネサ(SnO2)からなる透明導電膜、あるいはカラーフィルタ膜を設けてもよい。
【0015】
第2基板10の内面には、蛍光体層を励起する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型電子放出素子18が形成されている。これらの電子放出素子18は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、第2基板10上には、電子放出素子18に電圧を印加するための図示しない多数本の配線がマトリック状に設けられている。
【0016】
第1基板12と第2基板10との間には、板状構造体として矩形状のグリッド24が設置されている。グリッド24には、複数の柱状の第1および第2スペーサ30a、30bが一体的に設けられ、グリッドの両面から突出している。そして、第1および第2スペーサ30a、30bは、第1基板および第2基板の内面にそれぞれ当接し、真空外囲器15に作用する大気圧荷重を支持している。
【0017】
図2ないし図4に示すように、グリッド24はガラスとほぼ等しい熱膨張係数を有した金属材料によってほぼ矩形状に形成されている。また、グリッド24は、多数の電子ビーム通過孔が形成された矩形状の有効部40と、有効部の周囲に位置した矩形枠状の無孔部42と、を有している。
【0018】
詳細に述べると、グリッド24は第1基板12の内面に対向した第1表面24aおよび第2基板10の内面に対向した第2表面24bを有している。そして、グリッド24は、例えば、4隅が第1基板12および第2基板10の少なくとも一方に固定され、これらの基板と平行に配置されている。
【0019】
また、グリッド24は、蛍光体スクリーン16に対向しているとともに多数の電子ビーム通過孔26が形成された矩形状の有効部40と、有効部の周囲に位置した矩形枠状の無孔部42と、を有している。電子ビーム通過孔26は、電子放出素子18に対向して所定のピッチで配列されている。更に、グリッド24には、複数のスペーサ開孔28が形成されている。これらのスペーサ開孔28は、有効部40および無孔部42の両方に所定のピッチで配列されている。
【0020】
グリッド24は、例えば鉄−ニッケル系の金属板により厚さ0.1〜0.2mmに形成されているとともに、その表面には、例えば、低融点ガラスを塗布、焼成することにより形成した絶縁膜が形成される。この絶縁膜は、金属板を酸化処理によって得られた酸化膜からなる絶縁膜であっても構わない。また、必要に応じて、これら絶縁膜上に高抵抗膜を形成してもよい。
【0021】
グリッド24の第1表面24a上には、各スペーサ開孔28に重ねて第1スペーサ30aが一体的に立設され、その延出端は、メタルバック17および蛍光体スクリーン16の黒色着色層を介して第1基板12の内面に当接している。グリッド24の第2表面24b上には、各スペーサ開孔28に重ねて第2スペーサ30bが一体的に立設され、その延出端は、第2基板10の内面に当接している。そして、各スペーサ開孔28、第1および第2スペーサ30a、30bは互いに整列して位置し、第1および第2スペーサはこのスペーサ開孔28を介して互いに一体的に連結されている。
第1および第2スペーサ30a、30bの各々は、グリッド24側から延出端に向かって径が小さくなった先細テーパ状に形成されている。
【0022】
各スペーサ開孔28の径は、第1および第2スペーサ30a、30bのグリッド側端の径よりも十分に小さく設定されている。そして、第1スペーサ30aおよび第2スペーサ30bをスペーサ開孔28と同軸的に整列して一体的に設けることにより、第1および第2スペーサはスペーサ開孔を通して互いに連結され、グリッド24を両面から挟み込んだ状態でグリッド24と一体に形成されている。
【0023】
図4および図5に示すように、グリッド24は、無孔部42の4隅に形成された熱膨張緩和部44、および同じく無孔部42の4隅に形成された位置決めマーク46を備えている。
【0024】
各熱膨張緩和部44は、例えば、3mm×2mmのほぼ長方形の第1貫通孔47を、幅0.2mmのブリッジ48を挟んで2行3列に配列し、また、これら第1貫通孔47の両側に形成された1.0mm×5.5mmの一対の細長い第2貫通孔50を配列して形成されている。第1貫通孔47は、グリッド24の対角軸とほぼ直交する方向に延び、第2貫通孔50は対角軸と平行な方向に延びている。
【0025】
そして、各熱膨張緩和部44は、第1あるいは第2基板12、10に対するグリッド24の固定部51と有効部40との間に設けられている。そして、各熱膨張緩和部44は、第1基板12、第2基板10、およびグリッド24が熱膨張した際、スプリング効果を発揮し、すなわち、グリッド24の面方向に伸縮し、基板とグリッドとの間の熱膨張差を緩和する。
【0026】
各位置決めマーク46は、例えば、φ0.2mmの貫通孔52をピッチ0.5mmで3行3列に配列して形成されている。そして、SEDを組立てる際、グリッド24の位置決めマーク46と第1および第2基板12、10の少なくとも一方に設けられた図示しない位置決めマークとを基準として、グリッド24を第1および第2基板に対して位置決めする。
【0027】
なお、位置決めマーク46は少なくとも2箇所に設けられていればよく、その位置は任意に選択可能である。また、各位置決めマーク46の形状は種々選択することができる。
【0028】
次に、上記のように構成されたグリッド24、スペーサ30a、30b、およびこれを備えたSEDの製造方法について説明する。
まず、グリッド24の素材として、板厚0.1mmのFe−Ni合金を基材を用意する。この基材に付着している圧延油や防錆油などを高温のアルカリ系溶液で脱脂し、水洗後、この基材の両面にカゼイン系レジストを塗布、乾燥し、厚さ数μmの感光膜を形成する。続いて、基材の両面に一対のフォトマスクを真空密着した後、露光し、これらフォトマスクのパタ−ンを感光膜に焼き付ける。
【0029】
次に、パタ−ンが焼き付けられた感光膜を、工水を用いて現像し、未感光部を除去し、更に、無水クロム酸による硬膜処理、水洗い、乾燥およびベ−キングを行ない、上記一対のフォトマスクのパタ−ンに対応するエッチングレジストパタ−ンを得る。この後、エッチングレジストパタ−ンに従って基材を塩化第二鉄エッチング液で両面からスプレ−エッチングし、多数の電子ビーム通過孔26を形成する。そして、基材を水洗し、最後に、レジストパタ−ンをアルカリ系溶液で剥離することにより、多数の電子ビーム透過孔を有したグリッド24が作成される。
【0030】
また、電子ビーム通過孔26を形成する際、同時に、熱膨張緩和部44となる第1および第2貫通孔47、50、並びに、位置決めマーク46となる貫通孔52をエッチングにより形成する。なお、これらの貫通孔47、50、52は、電子ビーム通過孔26を形成後、レーザ光、放電加工等を用いて形成することも出来る。
【0031】
続いて、金型を用いてグリッド24の両面に柱状スペーサを形成する。金型は、グリッド24の第1表面24a上に形成するスペーサ用の第1金型と、第2表面24b上に形成するスペーサ用の第2金型との2個を用意する。各金型は、形成するスペーサの形状に対応した貫通孔を有した板状をなし、これらの貫通孔はグリッド24のスペーサ開孔28と対応する位置に設けられている。
【0032】
まず、第1および第2金型間にグリッド24を挟み込み密着させる。この状態で、紫外線硬化型の樹脂およびガラスフィラーを含むガラスペーストを、第1金型の貫通孔側から供給し、第1金型の貫通孔、グリッド24のスペーサ開孔28、および第2金型の貫通孔に充填する。
【0033】
次に、紫外線によりガラスペーストを露光した後、グリッドに第1および第2金型を密着させた状態で、これらを300℃程度で焼成する。これにより、第1および第2金型の貫通孔の内面に塗布された樹脂が分解除去され、貫通孔とスペーサとの間に間隙が形成される。その後、第1および第2金型をグリッド24から取り外し、500℃以上に加熱してガラスペーストから樹脂分を焼き飛ばすとともにガラスフィラーをガラス化する。これにより、グリッド24の両面に第1および第2スペーサ30a、30bが形成される。
【0034】
なお、金型を用いた製造方法では、金型の貫通孔と、グリッド24のスペーサ開孔28との間に精度の良い位置合わせが要求される。本実施の形態では、グリッド24に形成された位置決めマーク46の貫通孔52を用い、この貫通孔に挿通したピンによりグリッド24と金型との位置合わせを行った。
【0035】
上記のように製造されたスペーサ付きのグリッド24を用いてSEDを製造する場合、予め、電子放出素子18が設けられているとともに側壁14が接合された第2基板10と、蛍光体スクリーン16およびメタルバック17の設けられた第1基板10とを用意しておく。
【0036】
そして、グリッド24を、位置決めマーク46を利用して第1あるいは第2基板10、12に位置決めした後、第1あるいは第2基板に固定する。この状態で、第1、第2基板10、12、およびグリッド24を真空チャンバ内に配置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁14を介して第1基板12を第2基板10に接合する。これにより、グリッド24を備えたSEDが製造される。
【0037】
以上のように構成されたSEDによれば、例えば、製造時、第1基板12、第2基板10、およびグリッド24が300℃以上に加熱され熱膨張する。これらの基板とグリッド24とはほぼ同一の熱膨張係数を有した材料により形成されているが、熱容量の差もあり、熱膨張量を完全に一致されることは難しい。しかし、上記構成のSEDによれば、第1および第2基板12、10とグリッド24との間に熱膨張差が生じた場合、グリッドの各熱膨張緩和部44がスプリング効果を発揮し、すなわち、グリッド24の面方向に伸縮し、第1および第2基板とグリッドとの間の熱膨張差を吸収あるいは緩和する。従って、熱膨張差に起因する基板およびグリッドの損傷を防止することできる。これにより、製造時における昇温、降温の勾配を急にすることができ、生産性の向上を図ることが可能となる。
【0038】
同時に、グリッド24の電子ビーム通過孔26を、第1基板10上の蛍光体スクリーン16および第2基板12上の電子放出素子18に対して正確な位置に保持することができ、画像品位の向上を図ることが可能となる。
【0039】
実際に、上記実施の形態のように熱膨張緩和部44を備えたグリッドを組み込んだSEDと、熱膨張緩和部を持たないグリッドを組み込んだSEDとを比較した結果、本実施の形態に係るSEDでは、グリッド24による電子ビームのケラレが減少し、SED全体としての輝度が上昇した。
【0040】
なお、上述した実施の形態において、各熱膨張緩和部44は複数の貫通孔により形成したが、これに限らず、図6に示すように、複数の切り込みあるいはスリット54は、それぞれグリッド24の対角軸と直交する方向に延びた複数列に形成されている。この場合、グリッド24の熱膨張、特に、対角軸方向に沿った熱膨張を効果的に緩和することができる。
【0041】
また、図7に示すように、各熱膨張緩和部44は、グリッド24を例えば、板厚の50%程度ハーフエッチングすることによりパターン形成された複数の凹部56によって構成しても良い。図7(a)に示す熱膨張緩和部44によれば、複数の凹部56は、それぞれグリッド24の対角軸と直交する方向に延びた複数列に形成されている。この場合、グリッド24の熱膨張、特に、対角軸方向に沿った熱膨張を効果的に緩和することができる。
【0042】
図7(c)に示す熱膨張緩和部44によれば、複数の凹部56は、それぞれグリッド24の隅部に沿って円弧状に延びた複数列に形成されている。この場合、グリッド24の熱膨張、特に、グリッドの中心に対し放射方向に沿った熱膨張を効果的に緩和することができる。
【0043】
また、図8に示す熱膨張緩和部44は、グリッド24の一部を蛇腹状に折り曲げた複数の折曲げ部58により形成されている。各折曲げ部58は、例えば、グリッド24の対角軸と直交する方向に延びている。グリッド24の板厚方向に沿った折曲げ部58の高さhは約1mm程度に形成されている。この場合、グリッド24の熱膨張、特に、グリッド24の対角軸方向に沿った熱膨張を効果的に緩和することができる。
【0044】
その他、この発明は上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、基板に対してグリッドを固定する位置は、グリッドの角部に限らず、グリッドの各辺の中間部等、任意に設定することが可能である。同様に、グリッドの熱膨張緩和部は、グリッドの角部に限らず、固定部の位置に応じて任意に設定可能である。
【0045】
また、グリッドの熱膨張緩和部は、貫通孔、凹部、折曲げ部に限定されることなく、スプリング効果を有する構成であれば種々選択可能である。
【0046】
更に、電子源は、表面導電型電子放出素子に限らず、電界放出型、カーボンナノチューブ等、種々選択可能である。また、この発明は、上述したSEDに限定されることなく、他方式のFEDにも適用可能である。
【0047】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、板状構造体に熱膨張差を緩和する熱膨張緩和部を設けることにより、製造時の第1基板、第2基板、および板状構造体の熱膨張差を緩和し、第1基板、第2基板、あるいは板状構造体の損傷を生じることなく、これら第1基板、第2基板、板状構造体を高精度で位置合わせでき、画像品位の向上した平面表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態に係るSEDを示す斜視図。
【図2】図1の線A−Aに沿って破断した上記SEDの斜視図。
【図3】上記SEDを拡大して示す断面図。
【図4】上記SEDにおけるグリッドの平面図。
【図5】上記グリッドの一部を拡大して示す平面図。
【図6】この発明の第2の実施の形態に係るSEDのグリッドの熱膨張緩和部を示す平面図。
【図7】この発明の第3の実施の形態に係るSEDのグリッドの熱膨張緩和部を示す平面図および断面図。
【図8】この発明の第4の実施の形態に係るSEDのグリッドの熱膨張緩和部を示す断面図。
【符号の説明】
10…第1基板
12…第2基板
14…側壁
15…真空外囲器
16…蛍光体スクリーン
18…電子放出素子
24…グリッド
24a…第1表面
24b…第2表面
26…電子ビーム通過孔
28…スペーサ開孔
30a…第1スペーサ
30b…第2スペーサ
44…熱膨張緩和部
46…位置決めマーク
47、50、52…透孔
54…切り込み
56…凹部
58…折曲げ部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a flat display device, and more particularly to a flat display device including a plate-like structure having a large number of electron beam transmission holes.
[0002]
[Prior art]
In recent years, flat display devices such as FED (field emission display) and PDP (plasma display panel) have been developed with the aim of space-saving large displays. In particular, as an FED that can be easily increased in size, development of an SED using a surface conduction electron source as an electron source has been underway.
[0003]
The SED has a first substrate and a second substrate that are arranged to face each other with a predetermined gap, and these first and second substrates are surrounded by a vacuum by joining their peripheral parts to each other through a frame-shaped side wall. Make up the vessel. A phosphor layer that emits red, blue, and green light is formed on the inner surface of the first substrate, and an electron emission source that excites the phosphor is formed on the inner surface of the second substrate. Surface conduction electron sources are arranged. Each surface conduction electron source includes an electron emission portion, a pair of electrodes for applying a voltage to the electron emission portion, and the like.
[0004]
A plate-like structure is installed between the first substrate and the second substrate. The plate-like structure has a number of electron beam transmission holes arranged corresponding to each pixel and each surface conduction electron source. Is formed. In addition, a large number of columnar spacers are arranged between the first and second substrates to maintain a gap between these substrates.
[0005]
The electron beam emitted from each electron source passes through the corresponding electron beam transmission hole of the plate-like structure, collides with the desired phosphor by the voltage applied to the first substrate, and causes the phosphor to emit light. . As the plate-like structure, one of a higher voltage, the same voltage, or a lower voltage than the first substrate is selected according to the voltage applied to the first substrate, the screen size, and the pixel pitch.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
When the envelope is manufactured by sealing the first substrate and the second substrate, the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure are heated to a high temperature of 300 ° C. or higher. However, when heating, it is difficult to match the thermal expansion coefficients of the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure in the entire temperature range from room temperature to 300 ° C. or higher. Therefore, a positional shift due to a difference in thermal expansion occurs between the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure, and in some cases, the first substrate and the second substrate may be damaged.
[0007]
As a method for solving this problem, a method is considered in which the fixing between the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure is made loose to allow thermal expansion to escape. However, in the case of the FED, the electron beam emitted from the electron source on the second substrate passes through the electron beam transmission hole of the plate-like structure corresponding to the electron source on a one-to-one basis. The first substrate, the second substrate, and the plate-like structure are required to be aligned with high accuracy. Therefore, the mutual positions of the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure must be strictly fixed.
[0008]
The present invention has been made in view of the above points, and its purpose is to alleviate the difference in thermal expansion between the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure during manufacturing, and the first substrate, the second substrate, or An object of the present invention is to provide a flat display device capable of aligning the first substrate, the second substrate, and the plate structure with high accuracy without causing damage to the plate structure.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a flat display device according to an aspect of the present invention is provided with a first substrate having a phosphor layer formed on an inner surface thereof, opposed to the first substrate, and disposed on the phosphor layer. A second substrate provided with a large number of electron sources for emitting an electron beam toward the substrate, and a plurality of electron beam transmission holes corresponding to the electron sources disposed between the first substrate and the second substrate . A plate-like structure, wherein the plate-like structure is opposed to the phosphor layer and has an effective portion in which the plurality of electron beam passage holes are formed, and a non-layered structure positioned around the effective portion. And a corner portion of the plate structure is fixed to at least one of the first substrate and the second substrate, and the plate structure is formed on the non-hole portion. has formed a plurality of recesses were Netsu膨for the first substrate and the second substrate Thermal expansion absorbing portions to mitigate differences, and is characterized in that it comprises at least one of the thermal expansion absorbing portions to mitigate the thermal expansion difference with respect to the first substrate and the second substrate is formed in the corner portion.
[0010]
In the flat display device having the above-described configuration, the thermal expansion difference between the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure during manufacturing is reduced by providing the plate-like structure with a thermal expansion relaxation portion that reduces the thermal expansion difference. In addition, the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure can be aligned with high accuracy without destroying the first and second substrates or the plate-like structure.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments in which the present invention is applied to an SED as a flat display device will be described.
[0012]
The SED includes a
[0013]
A
[0014]
A
[0015]
On the inner surface of the
[0016]
Between the 1st board |
[0017]
As shown in FIGS. 2 to 4, the
[0018]
More specifically, the
[0019]
The
[0020]
The
[0021]
On the
Each of the first and
[0022]
The diameter of each
[0023]
As shown in FIGS. 4 and 5, the
[0024]
Each thermal
[0025]
Each thermal
[0026]
Each
[0027]
The positioning marks 46 need only be provided in at least two places, and the positions can be arbitrarily selected. The shape of each
[0028]
Next, a method for manufacturing the
First, as a material for the
[0029]
Next, the photosensitive film on which the pattern is baked is developed using industrial water, the unexposed part is removed, and further, the film is cured with chromic anhydride, washed with water, dried and baked. An etching resist pattern corresponding to the pattern of the pair of photomasks is obtained. Thereafter, the substrate is spray-etched from both sides with a ferric chloride etchant in accordance with the etching resist pattern to form a large number of electron beam passage holes 26. Then, the substrate is washed with water, and finally, the resist pattern is peeled off with an alkaline solution, whereby a
[0030]
Further, when forming the electron
[0031]
Subsequently, columnar spacers are formed on both sides of the
[0032]
First, the
[0033]
Next, after exposing the glass paste with ultraviolet rays, these are baked at about 300 ° C. with the first and second molds in close contact with the grid. Thereby, the resin applied to the inner surfaces of the through holes of the first and second molds is decomposed and removed, and a gap is formed between the through hole and the spacer. Thereafter, the first and second molds are removed from the
[0034]
In addition, in the manufacturing method using a metal mold | die, accurate positioning is requested | required between the through-hole of a metal mold | die and the
[0035]
When the SED is manufactured using the
[0036]
The
[0037]
According to the SED configured as described above, for example, during manufacturing, the
[0038]
At the same time, the electron
[0039]
Actually, as a result of comparing the SED incorporating the grid having the thermal
[0040]
In the above-described embodiment, each thermal
[0041]
Moreover, as shown in FIG. 7, each thermal
[0042]
According to the thermal
[0043]
Further, the thermal
[0044]
In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention. For example, the position where the grid is fixed with respect to the substrate is not limited to the corner portion of the grid, but can be arbitrarily set such as an intermediate portion of each side of the grid. Similarly, the thermal expansion relaxation portion of the grid is not limited to the corner portion of the grid, and can be arbitrarily set according to the position of the fixed portion.
[0045]
Moreover, the thermal expansion relaxation part of a grid is not limited to a through-hole, a recessed part, and a bending part, If it is a structure which has a spring effect, various selection is possible.
[0046]
Furthermore, the electron source is not limited to the surface conduction electron-emitting device, but can be variously selected such as a field emission type and a carbon nanotube. Further, the present invention is not limited to the above-described SED, but can be applied to other types of FEDs.
[0047]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, by providing the plate-like structure with the thermal expansion relaxation portion that reduces the difference in thermal expansion, the first substrate, the second substrate, and the plate-like structure at the time of manufacturing are provided. The first substrate, the second substrate, and the plate-like structure can be aligned with high accuracy without reducing the difference in thermal expansion and causing damage to the first substrate, the second substrate, or the plate-like structure. It is possible to provide a flat display device that is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an SED according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the SED broken along the line AA in FIG. 1; FIG.
FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the SED.
FIG. 4 is a plan view of a grid in the SED.
FIG. 5 is an enlarged plan view showing a part of the grid.
FIG. 6 is a plan view showing a thermal expansion relaxation portion of a grid of an SED according to a second embodiment of the present invention.
FIGS. 7A and 7B are a plan view and a cross-sectional view showing a thermal expansion relaxation portion of a grid of an SED according to a third embodiment of the present invention. FIGS.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a thermal expansion relaxation portion of a grid of an SED according to a fourth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (6)
上記第1基板と対向配置されているとともに、上記蛍光体層に向けて電子ビームを放出する多数の電子源が設けられた第2基板と、
第1基板と第2基板との間に配置され、上記電子源に対応した多数の電子ビーム透過孔が設けられた板状構造体と、を備え、
上記板状構造体は、上記蛍光体層に対向しているとともに上記多数の電子ビーム通過孔が形成された有効部と、上記有効部の周囲に位置した無孔部と、を備えほぼ矩形状に形成され、上記板状構造体の角部は、上記第1基板および第2基板の少なくとも一方に固定され、
上記板状構造体は、上記無孔部に形成された複数の凹部を有し上記第1基板および第2基板に対する熱膨張差を緩和する熱膨張緩和部、および、上記角部に形成され上記第1基板および第2基板に対する熱膨張差を緩和する熱膨張緩和部の少なくとも一方を備えたことを特徴とする平面表示装置。A first substrate having a phosphor layer formed on the inner surface;
A second substrate provided opposite to the first substrate and provided with a number of electron sources for emitting an electron beam toward the phosphor layer;
A plate-like structure disposed between the first substrate and the second substrate and provided with a number of electron beam transmission holes corresponding to the electron source,
The plate-like structure includes an effective portion facing the phosphor layer and having a large number of electron beam passage holes, and a non-hole portion positioned around the effective portion, and is substantially rectangular. And the corners of the plate-like structure are fixed to at least one of the first substrate and the second substrate,
The plate-like structure has a plurality of recesses formed in the non-hole part, and has a thermal expansion relaxation part that relaxes a thermal expansion difference with respect to the first substrate and the second substrate , and the corner part, A flat display device comprising at least one of thermal expansion relaxation portions for relaxing a thermal expansion difference with respect to the first substrate and the second substrate .
上記スペーサは、上記板状構造体上に一体的に設けられたスペーサを含んでいることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の平面表示装置。A plurality of spacers that maintain a distance between the first substrate and the second substrate;
The spacer is flat display device according to any one of claims 1 to 5, characterized in that it includes a spacer provided integrally on the plate-like structure.
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