JP3680834B2 - Sensor output converter - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、センサ出力変換装置に関する。特に、本発明は、被検知量に対応して変化するセンサの素子定数に基づき、被検知量をパルス等の所定の出力形式に変換して出力するセンサ出力変換装置に関する。
【0002】
【背景技術】
特開平11−258090号公報には、発振回路を用いて静電容量型の圧力センサの出力(静電容量値)を所定のパルスに変換し、検出した圧力値に応じた数のパルスを出力するようにし、安価な構成で正確な圧力を計測できるようにしたセンサ装置が開示されている。このセンサ装置は、圧力センサと、計測用の第1発振回路と、比較(リファレンス)用の第2発振回路と、基準クロック用の第3発振回路とを備えており、これらの発振回路から出力されるパルスをアップダウンカウンタでカウントすることによって圧力センサで検出されている圧力の値をパルス信号として出力するようにしている。
【0003】
計測用の第1発振回路は、圧力センサで検知している圧力値に応じて変化する静電容量を構成要素とするものであって、圧力センサの静電容量が変化すると発振周波数が変化する。比較用の第2発振回路は、一定の静電容量を有する固定コンデンサを構成要素とするものであって、圧力センサが標準状態にあるとき(例えば、圧力センサが1気圧を検知しているとき)の発振周波数と等しい一定周波数でパルスを出力する。基準用の第3発振回路は、クロック計測のための基準パルス(以下、このパルスをクロックパルスということがある。)を出力するものである。
【0004】
このセンサ装置による圧力の計測原理を図1により説明する。このセンサ装置が圧力の計測を開始すると、ラインL1に示すように、一定のアップカウント時間(クロックパルス数)T11の間、アップダウンカウンタは第2発振回路から出力されるパルスCK2をアップ(加算)カウントする。アップカウント時間T11の間にカウントされたパルス数をN1とすれば、アップダウンカウンタの値はN0+N1となる。ここでN0はアップダウンカウンタの初期設定値であって、計測開始時にアップダウンカウンタに保持されていた値である。
【0005】
つぎに、アップカウント時間T11と同じダウンカウント時間(クロックパルス数)T12(=T11)の間、ラインL2に示すように、アップダウンカウンタは第1発振回路から出力されるパルスCK1をダウン(減算)カウントする。ダウンカウント時間T12の間にカウントされたパルス数をN2とすれば、アップダウンカウンタのカウント値はN0+N1−N2となる。このとき、圧力センサが標準状態(例えば、1気圧の状態)にあれば、第1発振回路の発振周波数と第2発振回路の発振周波数は等しいので、N1=N2となり、アップダウンカウンタのカウント値はN0となる。このときのアップダウンカウンタの値は、第3発振回路から出力される基準パルスCK3毎にアップダウンカウンタのカウント値をダウンカウントしていけば、アップダウンカウンタのカウント値が0になるまでのクロックパルス数T13から求めることができる(ラインL3)。
【0006】
これに対し、圧力センサに加わる圧力が標準状態から変化している場合には、圧力変動による静電容量の変化に伴って第1発振回路の発振周波数が変化するので、ラインL4に示すように、ダウンカウント時間T12の間に第1発振回路から出力されるパルス数はN3(≠N2)となる。従って、ダウンカウント時間T12経過後のアップダウンカウンタのカウント値はN0+N1−N3となる。このときのアップダウンカウンタのカウント値N0+N1−N3と標準状態でのカウント値N0+N1−N2との差N3−N2が、標準状態における圧力と圧力センサで検知されている圧力との差に相当するものであるから、この差N3−N2を求めることによって圧力センサで検出した圧力を知ることができる。この検知圧力に相当するカウント値の差N3−N2は、ラインL3及びL5に示すように、アップダウンカウンタのカウント値を基準パルスCK3に同期させてダウンカウントさせたときに、ダウンカウンタのカウント値が0になるまでの間に出力されるクロックパルス数の差T13−T14から求めることができる。
【0007】
よって、この圧力センサでは、アップダウンカウンタのカウント値(初期設定値)N0からスタートし、第2発振回路から出力されるパルスCK2をアップカウント時間T11の間アップカウントし、ついで、第1発振回路から出力されるパルスCK1をダウンカウント時間T12の間ダウンカウントした後、第3発振回路から出力されるクロックパルスによってアップダウンカウンタのカウント値がゼロになるまでダウンカウントし、そのときのクロックパルス数T14を出力させれば、圧力センサで検出されている圧力の値に対応した信号を出力することができる。
【0008】
また、このセンサ装置では、比較用の第2発振回路は、発振周波数の温度特性が計測用の第1発振回路と同じになるように構成されている。そのため、温度変化に伴って圧力計測過程がラインL1及びL4の状態から変化しても、圧力計測過程は図1に破線で示すラインL6及びL7のようになり、アップカウント時間T11におけるアップダウンカウンタのアップカウント値の変化とダウンカウント時間T12におけるダウンカウント値の変化とが互いに打ち消し合い、カウント値の変化N2−N3はセンサ装置の温度によって変化しない。よって、センサ装置の温度によらず、正確に圧力を計測できる。
【0009】
しかし、第1発振回路と第2発振回路の温度特性を等しくすることは実際には困難である。そのため、圧力計測時の温度が異なると、図2に示すように、第1発振回路から出力されたパルスCK1をダウンカウント時間T12の間ダウンカウントした後のアップダウンカウンタの値が一致しなくなり、出力となるクロックパルス数T14が温度によって変動することになる。
【0010】
従って、上記のようなセンサ装置では、温度変化によって出力が影響を受ける恐れがあり、それによって計測精度が低下する恐れがあった。
【0011】
また、従来のセンサ装置では、回路内に不揮発性メモリを持ち、この不揮発性メモリに補正値を記憶させておき、メモリ内に記憶させた補正値を利用して検出された圧力と出力との関係が線形となるように補正している。
【0012】
しかし、従来のセンサ装置に用いられている補正方式は、出力データに補正演算を施すことによって線形出力となるように補正を加える方法である。このような方式では、乗算や除算を含む複雑な演算を行う必要があるので、論理演算回路を含む回路規模が大きくなる問題があった。
【0013】
また、回路規模を小さくする方法としては、補正データをテーブル形式で不揮発性メモリに記憶させておき、必要な補正データをテーブルから読み出す方式がある。このような補正用のテーブルを用いた方式では、回路規模は小さくすることができるが、大容量のメモリが必要となる。
【0014】
そのため、従来のセンサ装置においては、論理演算による方式にしろ、テーブル形式による方法にしろ、コストが高くついていた。
【0015】
【発明の開示】
本発明の第1の目的は、被検知量の変化に応じて変化する静電容量や抵抗値等の素子定数を所定の出力形式に変換して出力するセンサ出力変換装置において、温度や湿度等の環境条件による出力の変動を簡単に補正できるようにすることにある。
【0016】
また、本発明の第2の目的は、被検知量の変化に応じて変化する静電容量や抵抗値等の素子定数を所定の出力形式に変換して出力するセンサ出力変換装置において、被検知量と出力との線形性の補正を小さな回路規模と小さなメモリ容量で行えるようにすることにある。
【0017】
本発明にかかるセンサ出力変換装置は、被検知量と被検知量以外の要素の変化に伴って変化する検知部の素子定数の変化により発振周波数が変化する第1の発振回路と、被検知量の変化によらず被検知量以外の要素の変化に伴って発振周波数が変化する第2の発振回路と、前記第1の発振回路の発振周波数に基づいて被検知量の検出信号を出力する手段と、前記第2の発振回路の発振周波数の変化に基づき、被検知量以外の要素の変化に伴う前記検出信号の変化を補正する手段と、前記第2の発振回路から出力されるパルスをカウントする手段と、前記補正手段で用いられる補正値を格納した記憶手段とを備え、前記第2の発振回路から所定時間内に出力されるパルスを前記カウント手段によりカウントし、前記記憶手段の、当該カウント値に対応するアドレスから補正値を読み出し、当該補正値により補正された検出信号を前記出力手段から出力することを特徴としている。
【0018】
ここで、被検知量とは、センサ出力変換装置の用途に応じて、圧力、加速度、振動、傾き等であるが、特に被検知量の種類は限定されるものではない。また、素子定数とは、検知部により被検知量および被検知量以外の要素による検知量が変換された量であって、例えば静電容量値、抵抗値、インダクタンスなどである。また、被検知量以外の要素としては、例えば温度、湿度などの環境要素が挙げられる。
【0019】
本発明のセンサ出力変換装置にあっては、被検知量の変化によっては発振周波数が変化しない第2の発振回路の発振周波数の変化により被検知量以外の要素の変化を知ることができるので、これに基づいて予め求められているデータから第1の発振回路における被検知量以外の要素による発振周波数の変化を評価することができる。よって、被検知量を計測するための第1の発振回路の出力から、被検知量以外の要素による発振周波数の変化を除くことができ、出力手段から出力される検出信号が被検知量以外の要素による影響を含まないよう補正することができる。
【0020】
従って、本発明のセンサ出力変換装置によれば、被検知量以外の要素、例えば温度や湿度などによる出力誤差を簡単な構成で補正することができる。
【0021】
また、第2の発振回路のカウント値に所定の値を加えたり、引いたりすることによってアドレスを演算することができ、そのアドレスに格納された補正値を読み出し、この補正値を用いて被検知量以外の要素による検出信号の誤差を補正することができる。よって、乗算や除算のような演算を用いることなく補正値を求めることができ、演算方式の補正方法に比べて回路規模を小さくすることができ、またテーブル形式の補正方法に比べてメモリ容量も小さくすることができ、コストを安価にすることができる。
【0022】
本発明にかかる別なセンサ出力変換装置は、被検知量の変化に伴って変化する検知部の素子定数の変化により発振周波数が変化する発振回路と、前記発振回路の発振周波数に基づいて被検知量の検出信号を出力する手段と、前記発振回路から出力されるパルスをカウントする手段と、前記出力手段から出力される検出信号が被検知量に対して線形となるように補正するための補正値を格納した記憶手段とを備え、前記発振回路から所定時間内に出力されるパルスを前記カウント手段によりカウントし、前記記憶手段の、当該カウント値に対応するアドレスから補正値を読み出し、当該補正値により補正された検出信号を前記出力手段から出力するようにしたものである。
【0023】
本発明にかかる別なセンサ出力変換装置にあっては、発振回路の発振周波数の変化により被検知量を知ることができるので、予め求められているデータに基づいて出力手段から出力される検出信号と被検知量とが線形となるように補正するための補正値を求めることができる。よって、この補正値を用いることにより、センサ出力変換装置の出力が被検知量に対して線形となるよう、簡単な構成で補正することができる。
【0024】
しかも、本発明の別なセンサ出力変換装置によれば、第1の発振回路のカウント値に所定の値を加えたり、引いたりすることによってアドレスを演算することができ、そのアドレスに格納された補正値を読み出し、この補正値を用いて被検知量と出力との線形関係からの外れを補正することができる。よって、乗算や除算のような演算を用いることなく補正値を求めることができ、演算方式の補正方法に比べて回路規模を小さくすることができ、またテーブル形式の補正方法に比べてメモリ容量も小さくすることができ、コストを安価にすることができる。
【0025】
よって、本発明の別なセンサ出力変換装置によれば、センサ出力変換装置の出力が被検知量に対して線形となるように補正することができ、しかも、回路規模を大きくしたり、メモリ容量を増大させたりすることなく、コストの安価な方法によって線形性が得られるように補正することができる。
【0026】
なお、本発明の別なセンサ出力変換装置においても、被検知量の変化によっては発振周波数が変化しない第2の発振回路を用いることにより、温度や湿度等の変化による出力誤差を補正することもできる。
【0027】
また、本発明のセンサ出力変換装置又は本発明の別なセンサ出力変換装置における前記記憶手段は、前記カウント手段によりカウントされたカウント値に対して一定値加算又は減算したアドレスに、該当する補正値を格納している。
【0028】
このため、これらの態様によれば、記憶手段には補正値を格納したアドレスの他には、カウント値とアドレスとの関係を決める一定値を格納したアドレスが必要となるだけであって、記憶手段の容量を非常に少なくすることができる。また、この一定値を適当に定めることにより、記憶手段の空きアドレスを利用して補正値を格納することができる。
【0029】
なお、この発明の以上説明した構成要素は、可能な限り任意に組み合わせることができる。
【0030】
【発明を実施するための最良の形態】
図面を参照して、本発明に係る好ましい実施形態について以下に詳細に説明する。ここでは、圧力検出用のセンサ装置の場合について説明するが、本発明は特に圧力検出用のセンサ装置に限るものでなく、例えば特開平7−306223号公報に開示されているような加速度(振動)や傾きを検出するためのセンサ素子(加速度センサ)を用いたセンサ装置にも適用することができるなど、任意のセンサ装置に適用することが可能である。
【0031】
(第1の好ましい実施形態)
まず、本発明の第1の好ましい実施形態の原理を図8により説明する。このセンサ装置1は、圧力センサ2の出力によって発振周波数が変化する第1発振回路5と、圧力センサ2の出力によっては発振周波数が変化しない第2発振回路7と、時間計測用の第3発振回路10と、各発振回路5、7、10のパルスをカウントするアップダウンカウンタ15を備えている(図3参照)。
【0032】
しかして、このセンサ装置1にあっては、図8に示すように、始めの準備時間t1の間に、アップダウンカウンタ15のカウント値を初期設定値N0に設定し、基準データKを不揮発性メモリ17から読み出す。準備時間t1が経過すると、アップダウンカウンタ15により一定のアップカウント時間(一定クロック数)T1の間、第2発振回路7の発振パルスCK2のパルス数をアップカウントする。第2発振回路7の発振周波数は圧力センサ2の検出値に依らないので、アップカウント時間T1が経過した後のカウントアップ値は圧力センサ2の検出値には依らないが、周囲温度が変動すると、温度特性のため、図8のNA、NB、NCというようにカウントアップ値が変化する。なお、以下においては、カウントアップ値がNAであるとして説明する。
【0033】
不揮発性メモリ17の先頭アドレスには、カウントアップ値の固定部分(基準データK)が格納されており、補正データを格納するためのアドレスにはカウントアップ値の変動部分の値を割り当て、カウントアップ値の変動部分に相当するアドレス(=カウントアップ値−基準データK)には、対応するオフセット補正値が納められている。
【0034】
しかして、カウントアップ値がNAに確定したとすると、準備時間t2において、先頭アドレスから読み出した基準データKをカウントアップ値NAから引いてNA−Kを演算し、当該アドレスNA−Kからオフセット補正値ΔAを読み出す。ついで、一定のダウンカウント時間T2の開始直前にカウントアップ値NAからオフセット補正値ΔAを引いてアップダウンカウンタ15に設定(オフセット補正)し、アップダウンカウンタ15のカウント値をNA−ΔAに変更する。
【0035】
この後、カウント値NA−ΔAからスタートし、所定のダウンカウント時間T2の間、第1発振回路5から出力されたパルスCK1に同期させてアップダウンカウンタ15のカウント値をダウンカウントさせ、ダウンカウント時間T2が経過すると、ダウンカウントを停止する。ここで、不揮発性メモリ17に格納されているオフセット補正値は、図8に示すように、このダウンカウント時間T2が終了した時点において、温度が異なっていても検知圧力が同じであれば、1点に集束するように(つまり、同じカウント値となるように)予め実験的に定められている。
【0036】
このときのアップダウンカウンタ15のカウント値は、検知圧力を示す出力信号として出力されるものであって、第3発振回路10に同期させてアップダウンカウンタ15をダウンカウントし、アップダウンカウンタ15のカウント値が”0”になるまで第3発振回路10のパルスCK3を外部へ出力させることにより、アップダウンカウンタ15のカウント値だけのパルスCK3を外部へ出力することができる。
【0037】
図3はこのセンサ装置1の具体的構成を示すブロック構成図である。図3に示すように、センサ装置1は、被検知量である圧力の変化により静電容量が変化する静電容量型の圧力センサ2(検知部)と、圧力センサ2で検出した圧力の大きさをディジタルパルス列として出力するセンサ出力変換回路3とを備えている。
【0038】
圧力センサ2は、例えば図4(a)(b)に示すような構造を有している。図4(a)は圧力センサ2の分解斜視図、図4(b)はその断面図である。この圧力センサ2は、シリコン基板21の上面にガラス基板22を接合して構成されている。シリコン基板21の中央部には、その上面を薄くエッチングすると共に下面を深くエッチングすることにより薄肉のダイアフラム23が形成されており、ダイアフラム23は、その下面に導入された圧力(例えば、ガス圧)とその上面の圧力との差圧によって撓まされるようになっている。
【0039】
また、ダイアフラム23は導電性を有していて可動電極となっている。シリコン基板21の端部表面には絶縁部26が設けられており、絶縁部26にはダイアフラム23と電気的に導通したボンディングパッド24と、ダイアフラム23から絶縁されたボンディングパッド25とが設けられている。
【0040】
ガラス基板22は、ボンディングパッド25の一部とボンディングパッド24を露出させるようにしてシリコン基板21の上に重ねて接合されており、ガラス基板22の下面には、ダイアフラム23と対向させて金属蒸着膜からなる固定電極27が形成されている。また、ガラス基板22の下面には、固定電極27と導通した引き出し線28が設けられており、引き出し線28の端部はシリコン基板21上のボンディングパッド25に圧接し、シリコン基板21上のボンディングパッド25は固定電極27と導通している。
【0041】
しかして、ダイアフラム23(可動電極)と固定電極27とによって可変キャパシタが構成されており、その静電容量値はダイアフラム23に加わる圧力に応じてダイアフラム23が撓むことによって変化するので、圧力センサ2の静電容量を計測することによって圧力センサ2によって計測されている圧力の値を知ることができる。
【0042】
圧力センサ2のボンディングパッド24、25はセンサ出力変換回路3の入力端子に直接に、あるいは増幅回路を介して間接的に接続され、ダイアフラム23と固定電極27との間の静電容量値は、ボンディングパッド24、25間の静電容量としてセンサ出力変換回路3へ出力される。
【0043】
センサ出力変換回路3は、不揮発性メモリ17を除けば、主としてASICにより構成されている。また、不揮発性メモリ17はEEPROMのような書き替え可能な不揮発性メモリICによって構成されている。
【0044】
第1発振回路5は、圧力センサ2で検知している圧力(すなわち、圧力センサ2の静電容量)の変化に応じて発振周波数が変化する検知用パルスCK1を出力するCR発振回路であって、第1発振回路5には圧力センサ2と固定抵抗6とが接続されている。
【0045】
第2発振回路7は、比較(リファレンス)用パルスCK2を一定周波数で出力するCR発振回路であって、第2発振回路7には静電容量の固定された固定コンデンサ8と固定抵抗9とが接続されている。ここで、第2発振回路7の発振周波数は、第1発振回路5から出力されるパルスCK1の発振周波数と異なっていても差し支えない。また、第2発振回路7の発振周波数は、第1発振回路5の発振周波数と同じ温度特性を持つように設計されている。
【0046】
第3発振回路10は、時間計測用の基準となるクロックパルス(基準パルス)CK3を一定周期で出力するCR発振回路であって、第3発振回路10には固定コンデンサ11と固定抵抗12とが接続されている。ここで、第3発振回路10は、温度が変化しても発振周波数が変化しない、あるいは温度による発振周波数の変化ができるだけ小さくなるように設計されている。圧力センサ2を接続されている第2発振回路7では、圧力センサ2の構造上の制約などから発振周波数を温度変化に対して安定させることは難しいが、この第3発振回路10では、そのような制約が無いので、温度変化に対して発振周波数を安定させることができる。
【0047】
第1、第2及び第3発振回路5、7、10から出力されるパルスCK1、CK2、CK3は、セレクタ13へ送出される。また、第3発振回路10から出力されるクロックパルスCK3は、動作タイミング発生回路14にも送出される。
【0048】
動作タイミング発生回路14は、第3発振回路10から出力されたクロックパルスCK3を内蔵の分周回路(図示せず)で分周することにより複数の周期のタイミング信号を生成する。このタイミング信号としては、第1発振回路5、第2発振回路7及び第3発振回路10の発振を制御するイネーブル信号S1、S2及びS3、セレクタ13を制御する2ビットのセレクト信号S4、アップダウンカウンタ15のアップカウントとダウンカウントを切り替えるためのアップダウン信号S5、補正回路18の動作タイミングを制御する信号S6、演算回路16及び不揮発性メモリ17による基準データKとカウントダウン時間T2の読出しタイミングを制御する読出しタイミング信号S7がある。
【0049】
詳しくは、動作タイミング発生回路14から第1発振回路5へ送られる信号S1は、ダウンカウント時間T2の前の準備時間t2に第1発振回路5の発振を開始させるためのものであり、動作タイミング発生回路14から第2発振回路7へ送られる信号S2は、アップカウント時間T1の前の準備時間t1に第2発振回路7の発振を開始させるためのものであり、動作タイミング発生回路14から第3発振回路10へ送られる信号S3は、リセット時に第3発振回路10の発振を開始させるためのものである。
【0050】
リセット時に動作タイミング発生回路14から演算回路16及び不揮発性メモリ17へ読出しタイミング信号S7が出力されると、演算回路16は不揮発性メモリ17に対して補正データの先頭アドレスを含む信号S9を送信する。不揮発性メモリ17内の連続した所定アドレス領域には、図5に示すように先頭アドレス(000000)に基準データKが16ビットデータとして格納されており、その後のアドレス(000001〜011111)には補正データ(オフセット補正値)が32ビットデータとして格納されている。信号S9に応答して不揮発性メモリ17は演算回路16に先頭アドレス内の基準データKを信号S10により送り返す。読み出された基準データKは演算回路16により所定のデータ処理を施された後、信号S11によって補正回路18へ送られる。
【0051】
また、ダウンカウント時間T2の前に動作タイミング発生回路14から演算回路16及び不揮発性メモリ17へ読出しタイミング信号S7が出力されると、演算回路16は不揮発性メモリ17に対して所定アドレスを含む信号S9を送信し、それに対して不揮発性メモリ17は信号S8によりカウントダウン時間T2の値を動作タイミング発生回路14へ送り出す。
【0052】
セレクタ13は、動作タイミング発生回路14からのセレクト信号S4に応じて、第1〜第3発振回路5、7、10からのパルスCK1,CK2又はクロックパルスCK3のうち1つの発振パルスを選択し、パルスCK4としてアップダウンカウンタ15へ出力する。また、出力回路4からの出力時には、セレクト信号S4に応答してクロックパルスCK3をパルスCK5として補正回路18へ出力する。具体的には、パルスCK4としては、セレクト信号S4が”01”のときはパルスCK1を選択し、“10”のときはパルスCK2を選択し、“11”のときはクロックパルスCK3を選択し、“00”のときはいずれの発振信号も選択せず、その出力はプルダウン抵抗等によりグランドに接続してローレベルになる。
【0053】
アップダウンカウンタ15は、動作タイミング発生回路14からのアップダウン信号S5に応じて、セレクタ13から得られるパルスCK4(つまり、パルスCK1、CK2又はCK3)をカウントするカウンタである。このアップダウンカウンタ15は、アップダウン信号S5がローレベルのときは、パルス信号CK4の立ち上がりタイミングでカウント値を1ずつ増加(アップカウント)させ、アップダウン信号S5がハイレベルのときは、パルス信号CK4の立ち上がりタイミングでカウント値を1ずつ減少(ダウンカウント)させる。なお、アップダウンカウンタ15のカウント値は、リセット時に初期設定値N0に設定される。
【0054】
また、アップダウンカウンタ15は、補正回路18に対してアップカウント時間T1経過後のアップカウント値、ダウンカウント時間T2経過後のダウンカウント値、信号出力中においてカウント値が“0”になったときのゼロカウント信号を信号S12として補正回路18へ出力する。
【0055】
補正回路18が不揮発性メモリ17から読み出した基準データKは、信号S13により補正回路18からアップダウンカウンタ15へ送られ、アップダウン時間T1が経過した後、アップダウンカウンタ15のアップダウンカウント値と共に演算回路16へ送られる。アップダウンカウント値と基準値Kを受け取った演算回路16は、アップダウンカウント値から基準値Kを引いた値を指定アドレスとして不揮発性メモリ17へ送り、当該アドレスに格納されている補正データを読み出す。読み出された補正データは、補正回路18へ送られ、さらにアップダウンカウンタ15へ送られ、ダウンカウント時間T2が開始する前にアップダウンカウンタ15のアップカウント値を補正値だけ減少させる。
【0056】
補正回路18は、オフセット補正時には、アップダウンカウンタ15に基準データKを信号S13として送り、アップダウンカウンタ15から演算回路16へカウントアップ値NAと基準データKを信号S14として送る。演算回路16は、カウントアップ値NAから基準データKを減算し、その値NA−Kを指定アドレスとして不揮発性メモリ17からオフセット補正値ΔAを読み出し、オフセット補正値ΔAを信号S11として補正回路18へ送出する。そして、補正回路18は、このオフセット補正値ΔAを用いてアップダウンカウンタ15のカウントアップ値NAをΔAだけ減少させ、アップダウンカウンタ15の値をNA−ΔAに補正する。
【0057】
また、補正回路18は、準備時間t3の後で出力を開始すると同時に、セレクタ13から受け取ったパルスCK5(=CK3)からなるパルスCK6を出力回路4へ送り、パルス列からなる信号CKPoutとして出力回路4から外部へ出力し、アップダウンカウンタ15からゼロカウント信号を受け取ると、出力回路4からの出力Poutを停止させ、センサ出力変換回路3を動作停止させる。
【0058】
出力回路4から各発振回路5、7、10へ出力されている信号S15は、所定パルス列の出力信号Poutを出力し終わったら、各発振回路5、7、10の発振を停止させて電力消費を低減させるものである。
【0059】
また、アップカウント時間T1が経過した後のカウントアップ値は、信号S16によりアップダウンカウンタ15から外部のカウンタ19へ出力されており、そのカウントアップ値は信号S17でモニター20へ出力され、モニター20に表示される。よって、出力値Poutの異常が発生した場合には、モニター20を見ることにより、故障の原因が圧力センサ2にあるのか、センサ出力変換回路3にあるのかを容易に判別することができる。
【0060】
次に、上記のような構成のセンサ装置1の動作を図6の波形図及び図7のフロー図を用いて説明する。まず、センサ出力変換回路3の電源が投入されると(ステップS1)、ついでセンサ出力変換回路3がリセットされる(ステップS2)。このリセット時には、動作タイミング発生回路14からの信号S3によって第3発振回路10が発振を開始し、準備時間t1中に不揮発性メモリ17から先頭アドレスの基準データKが読み込まれる(ステップS3)。同時に、信号S2によって第2発振回路7が発振を開始し、リセットのための準備時間t1が経過すると、セレクタ13からアップダウンカウンタ15へ第2発振回路7のパルスCK2が送られ、アップダウンカウンタ15でCK2のパルス数がカウントされる(ステップS4)。こうしてカウントアップ時間T1が経過すると、その間のパルスCK2の数、すなわちカウントアップ値NAが確定する。
【0061】
ついで、準備時間t2中には、カウントアップ値NAと基準データKの差NA−Kからアドレスを決定し(ステップS5)、そのアドレスからオフセット補正値ΔAが読み込む(ステップS6)。このオフセット補正値ΔAの分だけアップダウンカウンタ15のカウント値を減少させてNA−ΔAに設定した(ステップS7)後、不揮発性メモリ17から所定のカウントダウン時間T2を読み出して設定し(ステップS8)、第1発振回路5を発振させる。
【0062】
準備時間t2が経過すると、セレクタ13を切り替える(ステップS9)ことによって、アップダウンカウンタ15に第1発振回路5のパルスCK1を送り、所定のダウンカウント時間T2の間、パルスCK1と同期させてカウント値NA−ΔAからカウント値を順次ダウンカウントしていく(ステップS10)。
【0063】
こうしてダウンカウント時間T2が経過した後のカウント値が出力回路4からの出力値となるものである。この出力値に対応した数のパルス列Poutを出力させるため、準備時間t3の後にセレクタ13を切り替えて(ステップS11)セレクタ13から補正回路18へクロックパルスCK3を送り、さらに出力回路4からクロックパルスCK3を出力できるようにする(ステップS12)。そして、アップダウンカウンタ15のカウント値が”0”になると、セレクタ13からの出力を遮断してクロックパルスCK3が出力されないようにし、圧力センサ2を動作停止させる(ステップS13)。
【0064】
なお、この実施形態では、ダウンカウント時間T2の直前にオフセット補正を行ったが、ダウンカウント時間T2が経過した後、ダウンカウント時間T3の前にオフセット補正を行うようにしてもよい。
【0065】
この実施形態によれば、上記のように簡単な方法で温度変化による出力誤差を簡単な方法で補正することができ、センサ装置1の計測精度を向上させることができる。
【0066】
(第2の好ましい実施形態)
上記第1の実施形態では、アップダウンカウンタ15のカウント値をオフセット補正することによってセンサ装置1の温度特性を補正したが、ここで説明する第2の実施形態では、オフセット補正に加えてスパン補正を行っている。ここでスパン補正とは、アップカウント値に応じて第1発振回路5のパルスCK1をダウンカウントする時間T2(スパン)を補正するものである。
【0067】
図9により、この第2の実施形態を説明するが、第1の実施形態で用いた構成要素と同一構成要素には、同一の符号を用いる。この第2の実施形態でも、アップダウンカウンタ15のカウント値を初期設定値N0に設定し、基準データKを不揮発性メモリ17から読み出すための準備時間t1が経過すると、アップダウンカウンタ15により一定のアップカウント時間T1の間、第2発振回路7の発振パルス数をアップカウントする。
【0068】
不揮発性メモリ17内のカウントアップ値の変動部分に相当するアドレス(=カウントアップ値−基準データK)には、対応するオフセット補正値とスパン補正値が納められている。
【0069】
しかして、カウントアップ値が例えばNAに確定したとすると、準備時間t2において、先頭アドレスから読み出した基準データをカウントアップ値NAから引いてNA−Kを演算し、当該アドレスNA−Kからオフセット補正値ΔAとスパン補正値δAを読み出す。ついで、アップダウンカウンタ15のカウント値NAからオフセット補正値ΔAを引くと共に標準のカウントダウン時間T2からスパン補正値δAを引き、第1発振回路5のパルスCK1をダウンカウントするダウンカウント時間をT2−δAに補正する。
【0070】
この後、スパン補正したダウンカウント時間T2−δAにおいては、カウント値NA−ΔAからスタートし、第1の発振回路から出力されたパルスCK1に同期させてアップダウンカウンタ15のカウント値をダウンカウントさせ、ダウンカウント時間T2−δAが経過すると、ダウンカウントを停止する。ここで、前記オフセット補正値及びスパン補正値は、図9に示すように、ダウンカウント時間T2終了時点において、温度が異なっていても検知圧力が同じであれば、アップダウンカウンタ15が同じカウント値となるように予め実験的に定められており、オフセット補正と併用する場合には、各スパン補正値は、温度と対応するオフセット補正値との関数となる。
【0071】
従って、出力中においては、第3発振回路10に同期させてアップダウンカウンタ15をダウンカウントし、アップダウンカウンタ15のカウント値が”0”になるまで第3発振回路10のパルスCK3を出力回路4を通して外部へ出力させることにより、アップダウンカウンタ15のカウント値だけのパルス数のパルスCK3を外部へ出力することができる。この出力は、温度によらず等しくなるので、温度による出力誤差が補正される。
【0072】
スパン補正は、従来はセンサ出力変換回路3の感度補正に用いられていたものである。図10に示すように、スパン補正を行う場合における最大圧力時と最小圧力時におけるパルス数の差と、スパン無補正の場合における最大圧力時と最小圧力時におけるパルス数の差とは変化する。このパルス数の差が大きいほどセンサ装置1の感度は良好になるので、スパン補正によりセンサ装置1の感度を調整できることが分かる。本発明は、このようなスパン補正を温度特性による出力誤差の補正に用いられるようにしたものである。
【0073】
また、ここでは、オフセット補正とスパン補正とを併用したが、スパン補正のみでも差し支えない。しかし、実際の使用においては、オフセット補正とスパン補正とを併用したものが好ましい。
【0074】
(第3の好ましい実施形態)
次に説明する本発明の第3の実施形態は、出力が線形となるように補正するものである。一般には、圧力センサ2で検出される圧力と出力回路4から出力される出力とは、用いている検知部の特性や製造誤差等によって、図12に実線で示すように線形から外れることがある。この実施形態では、このような場合に、オフセット補正によって図12に破線で示すように出力が被検知量に対して線形となるように補正している。以下、図11に従って当該実施形態による直線性の補正方法を説明する。
【0075】
図11に示すように、アップダウンカウンタ15のカウント値を初期設定値N0に設定し、基準データKを不揮発性メモリ17から読み出すための準備時間t1が経過すると、アップダウンカウンタ15により一定のダウンカウント時間T5の間、第1発振回路5の発振パルスの数をダウンカウントする。このダウンカウント値NA等は、補正前の圧力検出値であるから、図12の補正前出力(非線形)に相当するものである。
【0076】
不揮発性メモリ17内には、カウントダウン値NAの固定部分(基準データK)と補正量とが格納されており、カウントダウン値NAの固定部分である基準データKは先頭アドレスに格納されており、カウントダウン値NAの変動部分NA−Kをアドレスとして対応するオフセット補正値が納められている。このオフセット補正値は、カウントダウン時間T5及びT2においてカウントダウン値が線形特性から外れる量を表しており、図12に示すように出力回路4の出力が線形特性の上に乗るように補正する補正量に対応するものである。
【0077】
しかして、カウントダウン値が例えばNAであるとすると、カウントダウン値NAからスタートし、所定のアップカウント時間T1の間、第2の発振回路7から出力されたパルスCK2に同期させてアップダウンカウンタ15のカウント値をアップカウントさせ、アップカウント時間T1が経過すると、アップカウントを停止する。この時のアップカウント量をMとすると、アップダウンカウンタ15のカウント値はNA+Mとなる。
【0078】
この後の準備時間t2において、先頭アドレスから読み出した基準データKを先ほどのカウントダウン値NAから引いてNA−Kを演算し、当該アドレスNA−Kからオフセット補正値ΔAを読み出す。ついで、アップダウンカウンタ15のカウントアップ値NA+Mからオフセット補正値ΔAを引いてオフセット補正し、アップダウンカウンタ15のカウント値をNA+M−ΔAに変更する。
【0079】
この後、所定のカウントダウン時間T2の間、第1発振回路5から出力されたパルスCK1に同期させてアップダウンカウンタ15のカウント値をダウンカウントさせ、ダウンカウント時間T2が経過すると、ダウンカウントを停止する。
【0080】
このときのアップダウンカウンタ15のカウント値は、線形性を保つように補正されており、検知圧力を示す線形出力信号として出力されるものであって、第3発振回路10に同期させてアップダウンカウンタ15をダウンカウントし、アップダウンカウンタ15のカウント値が”0”になるまで第3発振回路10のパルスCK3を出力回路4を通して外部へ出力させることにより、アップダウンカウンタ15のカウント値だけのパルス数のパルスCK3を外部へ出力することができる。
【0081】
このような方式で直線性補正すれば、演算回路16等では、直線性補正のために乗算や除算を行う必要が無く、基準データKの引き算だけでよいので、演算用の回路規模が大きくなることがない。また、補正値もカウント値に対応する各アドレスに格納するだけでよく、テーブル形式の補正方法に比べてメモリ容量も小さくて済む。
【0082】
また、説明は省略するが、直線性補正においても、オフセット補正に変えてスパン補正を採用してもよく、あるいはオフセット補正とスパン補正とを併用してもよい。
【0083】
なお、この実施形態においては、パルスCK2を発生する第2発振回路7と、当該パルスCK2をカウントする時間T1とは省略してもよい。その場合、第1発振回路5のパルスCK1をカウントする過程(時間T5及びT2)では、アップダウンカウンタ15でカウントアップさせるようにしてもよい。ただし、第2発振回路7を用いてカウント時間T1に第2発振回路7を発振させ、T1=T5+T2となるようにすれば、従来例と同様な原理により温度補正等も行える。また、オフセット補正値やスパン補正値に直線性補正と温度や湿度等の環境要素の変化に対する補正とを同時に含ませてもよい。
【0084】
(その他の実施形態)
上記実施形態では、検知部として静電容量式の圧力センサを説明したが、ピエゾ抵抗等を用いた抵抗値検出型のセンサであってもよく、インダクタンス検出型のセンサであっても差し支えない。また、補正の対象は、温度特性に限らず、湿度特性などでもよい。
【0085】
本発明は、被検知量に対応して変化するセンサの素子定数に基づき、被検知量をパルス等の所定の出力形式に変換して出力するセンサ出力装置に関するものであって、例えば圧力検出用のセンサ装置(圧力センサ)、加速度(振動)や傾きを検出するためのセンサ素子(加速度センサ)を用いたセンサ装置などに適用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の圧力センサにおける圧力検出過程を説明する図である。
【図2】同上の圧力センサにおける課題を説明する図である。
【図3】本発明にかかる第1の好ましい実施形態による圧力検出用のセンサ装置の構成を示すブロック図である。
【図4】(a)は同上のセンサ装置に用いられている圧力センサの分解斜視図、(b)はその断面図である。
【図5】オフセット補正値を格納したメモリの構成を示す図である。
【図6】図3に示したセンサ装置の動作を説明するためのタイムチャートである。
【図7】図3に示したセンサ装置の動作を説明するためのフロー図である。
【図8】図3に示したセンサ装置の動作原理を説明する図である。
【図9】本発明にかかる第2の好ましい実施形態によるセンサ装置の動作を説明する図である。
【図10】スパン補正の意義を説明する図である。
【図11】本発明にかかる第3の好ましい実施形態によるセンサ装置の動作を説明する図である。
【図12】被検知量である圧力とセンサ出力との線形性及び非線形性を表した図である。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a sensor output conversion device. In particular, the present invention relates to a sensor output conversion device that converts a detected amount into a predetermined output format such as a pulse based on a sensor element constant that changes corresponding to the detected amount.
[0002]
[Background]
In Japanese Patent Laid-Open No. 11-258090, an output (capacitance value) of a capacitance type pressure sensor is converted into a predetermined pulse using an oscillation circuit, and a number of pulses corresponding to the detected pressure value are output. Thus, there is disclosed a sensor device that can measure an accurate pressure with an inexpensive configuration. This sensor device includes a pressure sensor, a first oscillation circuit for measurement, a second oscillation circuit for comparison (reference), and a third oscillation circuit for a reference clock, and outputs from these oscillation circuits. The value of the pressure detected by the pressure sensor is output as a pulse signal by counting the pulses to be detected by an up / down counter.
[0003]
The first oscillation circuit for measurement has a capacitance that changes according to the pressure value detected by the pressure sensor as a component, and the oscillation frequency changes when the capacitance of the pressure sensor changes. . The second oscillation circuit for comparison has a fixed capacitor having a constant capacitance as a component, and when the pressure sensor is in a standard state (for example, when the pressure sensor detects 1 atmosphere) The pulse is output at a constant frequency equal to the oscillation frequency of). The third reference oscillation circuit outputs a reference pulse for clock measurement (hereinafter, this pulse may be referred to as a clock pulse).
[0004]
The principle of pressure measurement by this sensor device will be described with reference to FIG. When the sensor device starts measuring pressure, the up / down counter increases (adds) the pulse CK2 output from the second oscillation circuit for a certain up count time (number of clock pulses) T11 as shown in a line L1. ) Count. If the number of pulses counted during the up-count time T11 is N1, the value of the up / down counter is N0 + N1. Here, N0 is an initial setting value of the up / down counter, and is a value held in the up / down counter at the start of measurement.
[0005]
Next, during the same down count time (number of clock pulses) T12 (= T11) as the up count time T11, the up / down counter reduces (subtracts) the pulse CK1 output from the first oscillation circuit, as shown by the line L2. ) Count. If the number of pulses counted during the down count time T12 is N2, the count value of the up / down counter is N0 + N1-N2. At this time, if the pressure sensor is in a standard state (for example, 1 atm), the oscillation frequency of the first oscillation circuit is equal to the oscillation frequency of the second oscillation circuit, so N1 = N2, and the count value of the up / down counter Becomes N0. The value of the up / down counter at this time is the clock until the count value of the up / down counter reaches 0 if the count value of the up / down counter is counted down for each reference pulse CK3 output from the third oscillation circuit. It can be obtained from the number of pulses T13 (line L3).
[0006]
On the other hand, when the pressure applied to the pressure sensor changes from the standard state, the oscillation frequency of the first oscillation circuit changes with the change in capacitance due to the pressure fluctuation, so that the line L4 shows. The number of pulses output from the first oscillation circuit during the down count time T12 is N3 (≠ N2). Therefore, the count value of the up / down counter after the elapse of the down count time T12 is N0 + N1-N3. The difference N3-N2 between the count value N0 + N1-N3 of the up / down counter at this time and the count value N0 + N1-N2 in the standard state corresponds to the difference between the pressure in the standard state and the pressure detected by the pressure sensor. Therefore, the pressure detected by the pressure sensor can be known by obtaining this difference N3-N2. As indicated by lines L3 and L5, the difference N3-N2 in the count value corresponding to the detected pressure is the count value of the down counter when the count value of the up / down counter is counted down in synchronization with the reference pulse CK3. It can be obtained from the difference T13-T14 in the number of clock pulses output until the value becomes zero.
[0007]
Therefore, this pressure sensor starts from the count value (initial setting value) N0 of the up / down counter, up-counts the pulse CK2 output from the second oscillation circuit for the up-count time T11, and then the first oscillation circuit. After down-counting the pulse CK1 outputted from the counter during the down-count time T12, the clock pulse outputted from the third oscillation circuit counts down until the count value of the up / down counter becomes zero, and the number of clock pulses at that time If T14 is output, a signal corresponding to the pressure value detected by the pressure sensor can be output.
[0008]
In this sensor device, the second oscillation circuit for comparison is configured such that the temperature characteristics of the oscillation frequency are the same as the first oscillation circuit for measurement. Therefore, even if the pressure measurement process changes from the state of the lines L1 and L4 with the temperature change, the pressure measurement process becomes like the lines L6 and L7 indicated by broken lines in FIG. 1, and the up / down counter at the up count time T11. The change in the up-count value and the change in the down-count value at the down-count time T12 cancel each other, and the change in the count value N2-N3 does not change with the temperature of the sensor device. Therefore, the pressure can be accurately measured regardless of the temperature of the sensor device.
[0009]
However, it is actually difficult to make the temperature characteristics of the first oscillation circuit and the second oscillation circuit equal. Therefore, if the temperature at the time of pressure measurement is different, as shown in FIG. 2, the value of the up / down counter after down-counting the pulse CK1 output from the first oscillation circuit for the down count time T12 does not match, The number of clock pulses T14 to be output varies with temperature.
[0010]
Therefore, in the sensor device as described above, the output may be affected by a temperature change, which may reduce the measurement accuracy.
[0011]
Further, the conventional sensor device has a nonvolatile memory in the circuit, stores the correction value in the nonvolatile memory, and uses the correction value stored in the memory to detect the pressure and the output. The relationship is corrected to be linear.
[0012]
However, the correction method used in the conventional sensor device is a method of correcting the output data so as to obtain a linear output by performing a correction operation. In such a system, since it is necessary to perform complicated operations including multiplication and division, there is a problem that the circuit scale including the logic operation circuit becomes large.
[0013]
As a method for reducing the circuit scale, there is a method in which correction data is stored in a nonvolatile memory in a table format and necessary correction data is read from the table. In the method using such a correction table, the circuit scale can be reduced, but a large-capacity memory is required.
[0014]
Therefore, in the conventional sensor device, whether it is a method using a logical operation or a method using a table format, the cost is high.
[0015]
DISCLOSURE OF THE INVENTION
A first object of the present invention is to provide a sensor output conversion device that converts element constants such as capacitance and resistance that change in accordance with changes in the amount to be detected into a predetermined output format, and outputs temperature, humidity, and the like. It is intended to make it possible to easily correct output fluctuations due to environmental conditions.
[0016]
A second object of the present invention is to provide a sensor output conversion device that converts element constants such as capacitance and resistance values that change in accordance with changes in the amount to be detected into a predetermined output format and outputs them. The purpose is to make it possible to correct the linearity between the quantity and the output with a small circuit scale and a small memory capacity.
[0017]
A sensor output conversion device according to the present invention includes a first oscillation circuit in which an oscillation frequency changes due to a change in an element constant of a detection unit that changes in accordance with changes in a detected amount and elements other than the detected amount, and a detected amount And a means for outputting a detection signal of the detected amount based on the oscillation frequency of the first oscillation circuit, and a second oscillation circuit whose oscillation frequency changes in accordance with changes in elements other than the detected amount regardless of changes in And a means for correcting a change in the detection signal due to a change in an element other than the amount to be detected based on a change in the oscillation frequency of the second oscillation circuit, and output from the second oscillation circuit pulse And a storage means storing a correction value used in the correction means, and output from the second oscillation circuit within a predetermined time pulse Is counted by the counting means, a correction value is read from an address corresponding to the count value of the storage means, and a detection signal corrected by the correction value is output from the output means.
[0018]
Where detected amount When Is pressure, acceleration, vibration, inclination, etc., depending on the application of the sensor output conversion device, but the type of the detected amount is not particularly limited. The element constant is the amount detected by the detector. Detected amount due to factors other than detected amount Is a converted amount, for example, a capacitance value, a resistance value, an inductance, or the like. Examples of elements other than the detected amount include environmental elements such as temperature and humidity.
[0019]
In the sensor output conversion device of the present invention, the change in the elements other than the detected amount can be known by the change in the oscillation frequency of the second oscillation circuit in which the oscillation frequency does not change depending on the change in the detected amount. Based on this, it is possible to evaluate changes in the oscillation frequency due to factors other than the amount to be detected in the first oscillation circuit from data obtained in advance. Therefore, the change of the oscillation frequency due to an element other than the detected amount can be excluded from the output of the first oscillation circuit for measuring the detected amount, and the detection signal output from the output means is other than the detected amount. Corrections can be made so as not to include the influence of elements.
[0020]
Therefore, according to the sensor output conversion device of the present invention, it is possible to correct an output error due to factors other than the detected amount, such as temperature and humidity, with a simple configuration.
[0021]
Also, The address can be calculated by adding or subtracting a predetermined value to the count value of the second oscillation circuit, and the correction value stored at the address is read out, and this correction value is used to detect other than the detected amount The error of the detection signal due to the element can be corrected. Therefore, the correction value can be obtained without using operations such as multiplication and division, the circuit scale can be reduced compared with the correction method of the calculation method, and the memory capacity is also larger than that of the correction method of the table format. The size can be reduced, and the cost can be reduced.
[0022]
Another sensor output conversion device according to the present invention includes an oscillation circuit in which an oscillation frequency changes due to a change in an element constant of a detection unit that changes in accordance with a change in the amount to be detected, and a detection target based on the oscillation frequency of the oscillation circuit Means for outputting a quantity detection signal, and output from the oscillation circuit pulse And a storage means storing a correction value for correcting the detection signal output from the output means to be linear with respect to the detected amount, and within a predetermined time from the oscillation circuit Output pulse Is counted by the counting means, the correction value is read from the address corresponding to the count value of the storage means, and the detection signal corrected by the correction value is output from the output means.
[0023]
In another sensor output conversion device according to the present invention, since the amount to be detected can be known from a change in the oscillation frequency of the oscillation circuit, the detection signal output from the output means based on data obtained in advance. And a correction value for correcting the detected amount to be linear. Therefore, by using this correction value, correction can be performed with a simple configuration so that the output of the sensor output conversion device is linear with respect to the detected amount.
[0024]
In addition, according to another sensor output conversion device of the present invention, an address can be calculated by adding or subtracting a predetermined value to the count value of the first oscillation circuit, and stored in the address. A correction value is read out, and the deviation from the linear relationship between the detected amount and the output can be corrected using the correction value. Therefore, the correction value can be obtained without using operations such as multiplication and division, the circuit scale can be reduced compared with the correction method of the calculation method, and the memory capacity is also larger than that of the correction method of the table format. The size can be reduced, and the cost can be reduced.
[0025]
Therefore, according to another sensor output conversion device of the present invention, the output of the sensor output conversion device can be corrected so as to be linear with respect to the detected amount, and the circuit scale can be increased or the memory capacity can be increased. Can be corrected so that linearity can be obtained by an inexpensive method.
[0026]
In another sensor output conversion device of the present invention, it is possible to correct an output error due to a change in temperature, humidity, etc. by using the second oscillation circuit whose oscillation frequency does not change depending on a change in the amount to be detected. it can.
[0027]
Also, The sensor output converter of the present invention or another sensor output converter of the present invention The storage means stores a corresponding correction value at an address obtained by adding or subtracting a constant value to the count value counted by the counting means.
[0028]
For this reason, according to these aspects, in addition to the address storing the correction value, the storage means only needs an address storing a fixed value that determines the relationship between the count value and the address. The capacity of the means can be greatly reduced. Further, by appropriately determining this fixed value, the correction value can be stored using the free address of the storage means.
[0029]
The above-described constituent elements of the present invention can be arbitrarily combined as much as possible.
[0030]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Here, the case of a sensor device for pressure detection will be described, but the present invention is not particularly limited to the sensor device for pressure detection. For example, acceleration (vibration) as disclosed in JP-A-7-306223 is disclosed. ) Or a sensor device using a sensor element (acceleration sensor) for detecting tilt, and can be applied to any sensor device.
[0031]
(First preferred embodiment)
First, the principle of the first preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The
[0032]
Therefore, in this
[0033]
The fixed address (reference data K) of the count-up value is stored at the start address of the
[0034]
If the count-up value is determined to be NA, at the preparation time t2, the reference data K read from the head address is subtracted from the count-up value NA to calculate NA-K, and offset correction is performed from the address NA-K. Read the value ΔA. Next, the offset correction value ΔA is subtracted from the count-up value NA and set in the up / down counter 15 (offset correction) immediately before the start of the fixed down-count time T2, and the count value of the up / down
[0035]
Thereafter, starting from the count value NA−ΔA, the count value of the up / down
[0036]
The count value of the up / down counter 15 at this time is output as an output signal indicating the detected pressure, and the up / down counter 15 counts down in synchronization with the
[0037]
FIG. 3 is a block configuration diagram showing a specific configuration of the
[0038]
For example, the
[0039]
The
[0040]
The
[0041]
Thus, the diaphragm 23 (movable electrode) and the fixed
[0042]
The
[0043]
The sensor
[0044]
The
[0045]
The
[0046]
The
[0047]
Pulses CK1, CK2, and CK3 output from the first, second, and
[0048]
The operation
[0049]
Specifically, the signal S1 sent from the operation
[0050]
When the read timing signal S7 is output from the operation
[0051]
When the read timing signal S7 is output from the operation
[0052]
The
[0053]
The up / down
[0054]
In addition, the up / down
[0055]
The reference data K read from the
[0056]
At the time of offset correction, the
[0057]
Further, the
[0058]
The signal S15 output from the
[0059]
The count-up value after the elapse of the up-count time T1 is output from the up / down counter 15 to the
[0060]
Next, the operation of the
[0061]
Next, during the preparation time t2, an address is determined from the difference NA−K between the count-up value NA and the reference data K (step S5), and the offset correction value ΔA is read from the address (step S6). After the count value of the up / down
[0062]
When the preparation time t2 elapses, the
[0063]
Thus, the count value after the elapse of the downcount time T2 becomes the output value from the
[0064]
In this embodiment, the offset correction is performed immediately before the down count time T2. However, the offset correction may be performed before the down count time T3 after the down count time T2 has elapsed.
[0065]
According to this embodiment, the output error due to the temperature change can be corrected by a simple method as described above, and the measurement accuracy of the
[0066]
(Second preferred embodiment)
In the first embodiment, the temperature characteristic of the
[0067]
Although the second embodiment will be described with reference to FIG. 9, the same reference numerals are used for the same components as those used in the first embodiment. Also in the second embodiment, when the count value of the up / down
[0068]
The corresponding offset correction value and span correction value are stored in an address (= count up value−reference data K) corresponding to the variable part of the count up value in the
[0069]
If the count-up value is determined to be NA, for example, at the preparation time t2, the reference data read from the head address is subtracted from the count-up value NA to calculate NA-K, and offset correction is performed from the address NA-K. The value ΔA and the span correction value δA are read out. Next, the offset correction value ΔA is subtracted from the count value NA of the up / down
[0070]
Thereafter, in the down-corrected time T2-δA with span correction, the count value of the up / down
[0071]
Therefore, during output, the up / down
[0072]
The span correction is conventionally used for the sensitivity correction of the sensor
[0073]
Here, offset correction and span correction are used together, but only span correction may be used. However, in actual use, a combination of offset correction and span correction is preferable.
[0074]
(Third preferred embodiment)
In the third embodiment of the present invention described below, the output is corrected so as to be linear. In general, the pressure detected by the
[0075]
As shown in FIG. 11, when the count value of the up / down
[0076]
In the
[0077]
Thus, if the countdown value is, for example, NA, the countdown value NA is started, and the up / down
[0078]
At the subsequent preparation time t2, the reference data K read from the head address is subtracted from the previous countdown value NA to calculate NA-K, and the offset correction value ΔA is read from the address NA-K. Next, the offset correction value ΔA is subtracted from the count-up value NA + M of the up / down counter 15 to perform offset correction, and the count value of the up / down
[0079]
Thereafter, the count value of the up / down
[0080]
The count value of the up / down counter 15 at this time is corrected so as to maintain linearity, and is output as a linear output signal indicating the detected pressure, and is synchronized with the
[0081]
If linearity correction is performed in this manner, the
[0082]
Although explanation is omitted, in the linearity correction, span correction may be adopted instead of offset correction, or offset correction and span correction may be used in combination.
[0083]
In this embodiment, the
[0084]
(Other embodiments)
In the above embodiment, the capacitive pressure sensor has been described as the detection unit. However, a resistance value detection type sensor using a piezoresistor or the like may be used, or an inductance detection type sensor may be used. Further, the correction target is not limited to the temperature characteristic, but may be a humidity characteristic or the like.
[0085]
The present invention relates to a sensor output device that converts a detected amount into a predetermined output format such as a pulse based on an element constant of a sensor that changes corresponding to the detected amount, and for example, for pressure detection It can be applied to a sensor device (pressure sensor), a sensor device using a sensor element (acceleration sensor) for detecting acceleration (vibration) and inclination.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating a pressure detection process in a conventional pressure sensor.
FIG. 2 is a diagram illustrating a problem in the pressure sensor same as above.
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a sensor device for pressure detection according to a first preferred embodiment of the present invention.
4A is an exploded perspective view of a pressure sensor used in the above sensor device, and FIG. 4B is a cross-sectional view thereof.
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a memory storing offset correction values.
6 is a time chart for explaining the operation of the sensor device shown in FIG. 3;
7 is a flowchart for explaining the operation of the sensor device shown in FIG. 3; FIG.
FIG. 8 is a diagram for explaining an operation principle of the sensor device shown in FIG. 3;
FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of a sensor device according to a second preferred embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a diagram illustrating the significance of span correction.
FIG. 11 is a diagram for explaining the operation of a sensor device according to a third preferred embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a diagram showing linearity and non-linearity between the pressure that is the detected amount and the sensor output.
Claims (3)
被検知量の変化によらず被検知量以外の要素の変化に伴って発振周波数が変化する第2の発振回路と、
前記第1の発振回路の発振周波数に基づいて被検知量の検出信号を出力する手段と、
前記第2の発振回路の発振周波数の変化に基づき、被検知量以外の要素の変化に伴う前記検出信号の変化を補正する手段と、
前記第2の発振回路から出力されるパルスをカウントする手段と、
前記補正手段で用いられる補正値を格納した記憶手段とを備え、
前記第2の発振回路から所定時間内に出力されるパルスを前記カウント手段によりカウントし、前記記憶手段の、当該カウント値に対応するアドレスから補正値を読み出し、当該補正値により補正された検出信号を前記出力手段から出力することを特徴とするセンサ出力変換装置。A first oscillation circuit in which an oscillation frequency is changed by a change in an element constant of a detection unit that changes in accordance with a change in a detected amount and an element other than the detected amount;
A second oscillation circuit whose oscillation frequency changes in accordance with a change in an element other than the detected amount regardless of a change in the detected amount;
Means for outputting a detection amount detection signal based on the oscillation frequency of the first oscillation circuit;
Means for correcting a change in the detection signal due to a change in an element other than the detected amount based on a change in the oscillation frequency of the second oscillation circuit;
Means for counting pulses output from the second oscillation circuit;
Storage means storing correction values used in the correction means,
A pulse output from the second oscillation circuit within a predetermined time is counted by the counting means, a correction value is read from an address corresponding to the count value of the storage means, and a detection signal corrected by the correction value Is output from the output means.
前記発振回路の発振周波数に基づいて被検知量の検出信号を出力する手段と、
前記発振回路から出力されるパルスをカウントする手段と、
前記出力手段から出力される検出信号が被検知量に対して線形となるように補正するための補正値を格納した記憶手段とを備え、
前記発振回路から出力されるパルスを前記カウント手段によりカウントし、前記記憶手段の、当該カウント値に対応するアドレスから補正値を読み出し、当該補正値により補正された検出信号を前記出力手段から出力するようにしたセンサ出力変換装置。An oscillation circuit in which the oscillation frequency changes due to a change in the element constant of the detection unit that changes with a change in the detected amount;
Means for outputting a detection amount detection signal based on the oscillation frequency of the oscillation circuit;
Means for counting pulses output from the oscillation circuit;
Storage means for storing a correction value for correcting the detection signal output from the output means to be linear with respect to the detected amount;
The pulse output from the oscillation circuit is counted by the counting means, the correction value is read from the address corresponding to the count value of the storage means, and the detection signal corrected by the correction value is output from the output means. A sensor output conversion device.
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