JP3654928B2 - Solid-state imaging device and imaging system - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、固体撮像装置に係わり、特に感光画素の光電変換時間を異ならせて動解像度の向上をはかった固体撮像装置とそれを用いた撮像システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
CCD(電荷転送素子)等を用いた固体撮像素子は、小型,軽量,高信頼性,保守がしやすい等の多くの特徴があり、広い分野の電子式カメラに応用されている。また、最近ではHD−TVカメラ(高精細テレビジョンカメラ)用としても開発され、実用化されている。
【0003】
HD−TVカメラでは、多画素,ワイド画面(アスペクト比9:16)で高精細な画像が得られているため、動いている被写体を撮像した時に、システムによる動解像度の劣化が著しく、画質を大幅に低下させる。この対策として従来、NTSC方式では固体撮像素子の感光画素の光電変換時間を可変する電子シャッタ動作が採用されている。しかしながら、電子シャッタ動作では信号量が減少するため、S/Nが劣化する問題がある。この問題を以下に、簡単に説明する。
【0004】
標準動作では、撮像素子の感光画素の光電変換時間を1/60秒として動作させている。この時間に被写体が移動すると、モニタ再生像上で動いた被写体がボケてしまい、システム上の動解像度が劣化する。この対策として電子シャッタ動作により、例えば光電変換時間を1/10(通常1/125〜1/1000秒に可変できる)として動作させる。この場合、光電変換時間が1/10となり信号量も1/10と大幅に減少するため、S/Nが大幅に劣化する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このように現在のテレビカメラでは、動いている被写体を撮像した時にシステムによる動解像度の劣化が発生し、画質を著しく低下させる。特に次世代のHD−TVカメラでは、ワイド画面で高精細な画像が得られるため、動解像度の劣化による画質はさらに悪くなる。この対策として電子シャッタ動作があるが、感度が低下するためゲインアップによるノイズの増加や、レンズ絞りを開くことにより焦点深度が浅くなるなどの問題がある。
【0006】
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、S/Nの劣化を抑えて動解像度を改善させることができ、高画質の再生像が得られる固体撮像装置とそれを用いた撮像システムを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
即ち本発明(請求項1)は、固体撮像装置において、半導体基板上に複数の感光画素を配列してなる固体撮像素子と、この固体撮像素子を駆動すると共に該素子の感光画素の光電変換時間を制御する駆動回路と、この駆動回路により複数の光電変換時間を有する信号を得て、光電変換時間の長い第1の信号に対して所定レベル以上をクリップすると共に、このクリップした信号と光電変換時間の短い第2の信号を加算する手段と、該手段により加算した信号を増幅して出力する際に、第2の信号に対する増幅率を第1の信号に対する増幅率より大きく設定した信号処理回路とを具備してなることを特徴とする。
【0008】
また本発明(請求項2)は、固体撮像装置において、半導体基板上に複数の感光画素を配列してなる固体撮像素子と、この固体撮像素子を駆動すると共に該素子の感光画素の光電変換時間を制御する駆動回路と、この駆動回路により複数の光電変換時間を有する信号を得て、光電変換時間の長い第1の信号に対して所定レベル以上をクリップすると共に、このクリップした信号と光電変換時間の短い第2の信号を加算する手段と、該手段により加算した信号を増幅して出力する際に、第2の信号に対する増幅率を複数に分けて異ならせ、少なくとも一部を第1の信号に対する増幅率よりも大きくし、かつ加算した信号レベルの増大に伴い増幅率が順次小さくなるよう設定した信号処理回路とを具備してなることを特徴とする。
【0009】
また本発明(請求項4)は、上記構成の固体撮像装置を用いた撮像システムにおいて、固体撮像素子及び駆動回路に同期パルスを与える同期パルス発生回路と、固体撮像素子の受光部に被写体の像を結像するレンズと、同期パルス発生回路からの同期パルスに応じて動作し、信号処理回路の出力信号を元にビデオ信号を作成するプロセスアンプとを具備してなることを特徴とする。
【0010】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、次のものがあげられる。
(1) 固体撮像素子はフィールド周期で動作し、フィールド単位で光電変換時間の長い信号と光電変換時間の短い信号を交互に出力する。
(2) 固体撮像素子はフィールド周期で動作し、各フィールドにおいて光電変換時間の長い信号と光電変換時間の短い信号を出力する。
(3) 固体撮像素子は複数フィールド周期で動作し、複数フィールド単位で光電変換時間の長い信号と光電変換時間の短い信号を交互に出力する。例えば、2フィールドで1フレームを構成し、フレーム単位で1フィールド期間蓄積した信号と2フィールド期間蓄積した信号を交互に出力する。
(4) 固体撮像素子は垂直方向に隣接する2画素の信号を加算するものであり、各画素はフィールド毎に光電変換時間が長いものと短いものに交互に切り替わり、かつ隣接する加算画素では光電変換時間が異なっている。
【0011】
また本発明(請求項5)は、固体撮像装置において、半導体基板上に複数の感光画素を配列してなる固体撮像素子と、この固体撮像素子を駆動すると共に該素子の感光画素の光電変換時間を制御する駆動回路と、この駆動回路により複数の光電変換時間を有する信号を得て、光電変換時間の長い第1の信号と光電変換時間の短い第2の信号を別々に出力する手段と、第2の信号に対する増幅率を第1の信号に対する増幅率より大きく設定して各々の信号を増幅し、増幅した信号を加算して1つの信号にする信号処理回路とを具備してなることを特徴とする。
【0012】
また本発明(請求項6)は、固体撮像装置において、半導体基板上に複数の感光画素を配列してなる固体撮像素子と、この固体撮像素子を駆動すると共に、垂直方向に隣接する画素の一方の光電変換時間をTb 、他方の光電変換時間をTa +Tc (=Tb )に設定し、かつフィールド毎に各々の画素で光電変換時間をTb とTa+Tc に交互に切り替える駆動回路と、光電変換時間Tb で得られる信号Qb 及び光電変換時間Tc で得られる信号Qc を加算した信号Qb +Qc と光電変換時間Ta で得られる信号Qa とを別々に出力する手段と、信号Qa に対する増幅率を信号Qb +Qc に対する増幅率より大きく設定して各々の信号を増幅し、増幅した信号を加算して1つの信号にする信号処理回路とを具備してなることを特徴とする。
【0013】
また本発明(請求項7)は、上記構成の固体撮像装置を用いた撮像システムにおいて、固体撮像素子及び駆動回路に同期パルスを与える同期パルス発生回路と、固体撮像素子の受光部に被写体の像を結像するレンズと、同期パルス発生回路からの同期パルスに応じて動作し、信号処理回路の出力信号を元にビデオ信号を作成するプロセスアンプとを具備してなることを特徴とする。
【0014】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、次のものがあげられる。
(1) 水平方向に隣接する感光画素間には感光画素の信号電荷を垂直方向に転送する垂直CCDがそれぞれ配置され、これらの垂直CCDの端部には、垂直CCDで転送された信号電荷を水平方向に転送するための水平CCDが2本配置されていること。
(2) 垂直方向に隣接する感光画素の一方の光電変換時間が長く、他方の光電変換時間が短いこと。
(3) 垂直方向に隣接する感光画素の一方の光電変換時間が長く、他方の光電変換時間が短く、かつ各々の画素においてフィールド毎に光電変換時間が交互に切り替えられること。
【0015】
【作用】
本発明(請求項1〜4)によれば、固体撮像素子の駆動において電子シャッタ動作を利用しているため、動いている被写体を撮像した時に発生する動解像度の劣化が防止できる。さらに、固体撮像素子の信号処理において、光電変換時間が短い信号に対する増幅率を上げることにより、モニタ再生画像で目立ちやすい小信号レベルのノイズを増加させないため、S/Nの劣化を防止できる。つまり、従来の電子シャッタ動作とは異なり、S/Nの劣化を招くことなく動解像度の向上をはかることができ、より高画質の再生像を得ることが可能となる。
【0016】
また本発明(請求項5〜7)によれば、固体撮像素子では光電変換時間が短い信号で動解像度の良い信号が得られ、光電変換時間が長い信号でS/Nの良い信号が得られる。この2つの信号を信号処理回路で加算する時、ノイズがモニタ再生画像で目立ちやすい小信号レベルではS/Nの良い信号成分を多くすることでS/Nの劣化を防止する。さらに、ノイズがモニタ再生画像で目立ち難い大きな信号レベルでは動解像度が良い信号成分を多くする。このようにして、S/Nの劣化を抑えて動解像度の向上をはかることができ、より高画質の再生像を得ることが可能となる。
【0017】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
(実施例1)
図1は本発明の第1の実施例に係わる固体撮像装置を示す概略構成図であり、撮像素子部と信号処理部を示している。撮像素子部はFIT−CCDとなっており、感光画素PD、イメージ部の信号電荷転送部である垂直CCD(I−CCD)、1フィールド期間のメモリ部(M)、信号電荷を排出するためのドレイン(ID)、メモリ部(M)と水平CCD(H−CCD)間の分離ゲート(BGゲート)、出力信号リセットトランジスタ(R)、オンチップアンプ(A)などで構成される。
【0018】
また、FIT−CCDの出力信号SigOSの信号処理回路(信号再生回路)は、増幅率の異なるA1 ,A2 のアンプと、その出力を切換えて1つの信号とするスイッチS1 ,S2 と、入力信号SigOSの所定レベルを検出するコンパレータCと、コンパレータCの出力を反転するインバータNと、出力信号SigM の高レベルをクリップするホワイトクリップ(W.CLIP)回路で構成されている。
【0019】
イメージ部は4相の駆動パルス(φI1 〜φI4 )、ストレージ部も4相の駆動パルス(φS1 〜φS4 )、また水平CCDは2相パルス(φH1 、φH2 )で駆動される。これらの駆動パルスは、図示しない駆動回路から供給される。
【0020】
このFIT−CCDでは、感光画素PD部で光電変換時間Ta ,Tb の期間蓄積した信号電荷を第1の信号読出し及び第2の信号読出しでI−CCD部へ転送する。感光画素PDの光電変換時間は、第1フィールドではPD1 がTb 期間、PD3 がTa 期間とし、第2フィールドではPD1 がTa 期間、PD3 がTb 期間とし、信号電荷の蓄積を行う。
【0021】
本実施例におけるFIT−CCDの第(I)の動作方式を図2に示す。VBLはブランキング信号、φI1 ,φI3 はイメージ部の感光画素PD1 ,PD3 から信号を垂直CCD(I−CCD)に転送するゲートとI−CCDの4相駆動の転送ゲートを兼ねた電極に印加するパルス、PD1 ,PD3 はそれぞれ感光画素PD1 ,PD3 の信号電荷量を示している。
【0022】
第1フィールド期間にPD1 に蓄積された信号電荷Qは、φI1 のP11パルスでI−CCDに読出され、高速転送排出パルスSOによってFIT−CCDのID部より排出される。従って、信号として用いるQb 電荷はP11とP12期間のTb 期間のみ蓄積される。PD3 における信号電荷Qa は、φI3 のP32パルスからP33パルスのTa 期間蓄積される。
【0023】
そして、P12,P33のパルスでI−CCDに読出されI−CCDで加算される。さらに、高速フレーム転送パルスFTでメモリ部へ転送され、水平CCDを経て出力される。水平CCDの出力信号SigOSとしては、Qa とQb を加算した信号が得られる。なお、この信号を図5(a)に示しておく。
【0024】
また、第2フィールドでは第1フィールドと逆に、PD1 でTa 期間の信号Qa を、PD3 でTb 期間の信号Qb を蓄積する動作を行う。これらの動作によりPD1 とPD3 の信号の重み付けが異なり、垂直解像度が向上するメリットがある。
【0025】
PD1 ,PD3 の信号電荷Qa ,Qb がQkpレベルでクリップされるように、φI1 ,φI3 のVfsレベルをセットする。Qkpレベル以下の小信号レベルではQa により光電変換時間が長くなり、S/Nの良い信号が得られる。Qkpレベル以上の大信号では、電子シャッタ動作によりQb の動解像度の良い信号が得られる。これらの信号(Qa ,Qb )を加算した出力信号では、動解像度が良くS/Nの劣化しない信号が得られる。
【0026】
ここで、上記のクリップ動作をより詳しく説明する。図3は、FIT−CCDの画素部の断面図とポテンシャル図を示している。図3(a)の画素部は、p型の基板に感光画素PD部とCCD転送部がn型で形成され、感光画素PD部の信号読出しはI−CCD部の転送電極と同じφI1 ,φI3 のポリSi電極と共通化している。
【0027】
第1フィールドのt3 時の感光画素PD1 ,PD3 の信号電荷の蓄積状態を、図3(b)に示す。PD部でオーバフローした信号電荷は、I−CCDへ流れ込む。図3(c)のt4 時には、PD1 部で蓄積した信号電荷をφI1 のゲートにVfs電圧を印加し、ポテンシャルをφfsレベルとしI−CCDへ読出す。PD3 部では、図3(b)と同様にオーバフローした信号電荷QはI−CCD部へ流れ出す。即ち、大きな信号電荷をクリップした状態となる。このレベルは、φI1,3 の印加電圧VH レベルを制御し、ポテンシャルφH を変化させることで制御できる。
【0028】
図3(d)のt5 時には、I−CCDの信号電荷の排出と光電変換時間の短い信号電荷Qb をPD1 部で蓄積する。そして、図3(e)のt6 時にφI1 ,φI3 のゲートにVfs電圧(ポテンシャルφfs)を印加してI−CCD部に読出す。この動作により、PD1 部で光電変換時間の短い信号電荷Qb を、PD3 部では大きな信号電荷をクリップしたQa が得られる。クリップ信号レベルは、ポテンシャルφfs−φH で制限されるため、φfs又はφH のレベルのいずれかを制御してもよい。
【0029】
図4は、I−CCD部のポテンシャルφと感光画素PDで光電変換した信号電荷Qを示している。第1フィールド期間では、感光画素PD1 でTb 期間の光信号が光電変換されQb が蓄積される。また、感光画素PD3 ではTa 期間の光信号が光電変換されQa の信号電荷が蓄積される。
【0030】
t1 時には、φI1 ,φI3 にVfsの読出し電圧が印加され、信号電荷Qa ,Qb がI−CCD部に読出される。このとき、φI2 ,φI4 はφL レベルに設定してある。次のt2 時には、φI3 ,φI4 ,φI1 をφH レベルとし、信号電荷Qa +Qb の加算をI−CCD部で行う。この後、高速FTパルス(φI1 ,φI2 ,φI3 ,φI4 の4相パルス)にてメモリ部へ転送し、第2フィールド期間に水平CCDを経て、出力アンプAで電圧に変換して出力する。
【0031】
第2フィールド期間の光電変換は、第1フィールドと光電変換時間を入れ替えて、感光画素PD1 でTa 期間、PD3 でTb 期間とし、信号電荷をそれぞれQa ,Qb 蓄積する。t1 時には、第1フィールドと同様にI−CCD部に信号電荷Qa ,Qb を読出す。t2 時には、第1フィールドとは異なり、φI1 ,φI2 ,φI3 をφH レベルとし、φI4 をφL レベルとする。すると、第1フィールド時と異なった感光画素の信号電荷Qa +Qb の信号が得られる。
【0032】
この結果、CCDの出力信号は、図5(a)に示すQa とQb を加算した信号が得られる。この出力信号SigOSはVkpレベル以下がQa +Qb の成分で、Vkp以上の信号がQb の成分で構成される。
【0033】
次に、FIT−CCDの出力信号SigOSの信号処理回路(信号再生回路)の動作について説明する。この回路は図1に示すように、増幅率の異なるA1 ,A2 のアンプ、スイッチS1 ,S2 、コンパレータC、インバータN、ホワイトクリップ(W.CLIP)回路で構成されている。
【0034】
入力信号SigOSがVkpレベルより小さい時、コンパレータCの出力がHレベルとなりスイッチS1 をONにする。このとき、インバータNの出力は、LレベルとなりスイッチS2 はOFFにする。このときの出力信号SigM =SigOS×A1 (増幅率)となる。
【0035】
また、入力信号SigOSがVkpレベルより大きいときは、コンパレータCの出力がLレベルとなりスイッチS1 をOFFにする。一方、インバータNの出力はHレベルとなりスイッチS2 をONにする。このときの出力信号はSigM =SigOS×A2 (増幅率)となる。出力信号SigM が大きくなり過ぎたときは、ホワイトクリッパ(W、CLIP)回路にてVw.c.レベル以上の信号をクリップする。
【0036】
この信号再生回路動作による光電変換特性(光入力に対する信号の変化を表わす特性)を図5(b)に示す。クリップレベルVkp以上で増幅率を上げることにより、光電変換時間の短い信号に対する増幅率が上がり、光入力に対する出力信号の傾きも大きくなっている。
【0037】
FIT−CCDの出力信号SigOSは、異なった光電変換時間の信号(Qa +Qb )を加算しているため、光入力レベルIkp以上で傾きを持った信号となる。信号処理回路の出力信号SigM は、アンプの増幅度をA2 >A1 とし、Vkpレベルで切換えているため、Vkp点で傾きのない出力信号SigM が得られる。また、出力信号SigM は、Vw.c レベルで高レベルの信号をクリップしている。
【0038】
出力信号SigM は、Vkpレベル以上の信号は、光電変換時間が短い信号Qb の成分であり、動解像度の良い信号が得られる。また、Vkpレベル以下では光電変換時間が長い信号Qa の成分であり、Vkpレベル以下の信号のS/Nを劣化させない信号が得られる。ここで、モニタの再生画像で目立ちやすいノイズ成分は一般にVkpよりも小さいため、クリップレベルVkp以上で増幅率を上げることによるノイズの増大は殆どない。
【0039】
一般にモニタ再生像上のノイズは、10%程度以下の低信号レベルではノイズが、100%信号レベル時に比較して約10倍検知しやすくなっている。このシステム的な特徴を生かして、例えば10%以下の信号を光電変換時間を1/60秒と長くしてノイズの少ない信号とし、10%以上の信号を光電変換時間を1/10(1/600秒)とし、動解像度の良い信号を得る。そして、信号再生回路にてVkp点を標準信号Mの10%に設定することによって、10%以上の信号の増幅度を10%以下の信号の10倍としてモニタで再生することで、モニタ再生画像上でS/Nの劣化がなく、動解像度の良い信号が得られる。
【0040】
このように本実施例によれば、システム的な特徴を生かした、低信号レベルと高信号レベルの光電変換時間を異ならせた撮像素子の駆動と、高信号レベルの信号(光電変換時間の短い信号)の増幅度を大きくする信号再生回路により、SN比の劣化がなく動解像度の良いモニタ再生画像が得られるようになる。
(実施例2)
次に、本発明の第2の実施例について説明する。基本的な回路構成は図1と同様であるが、この実施例では、撮像素子部の動作方式が異なっている。本実施例における撮像素子部の動作方式(II)を図6に示す。この方式は、第(I)の方式より信号量を2倍に増大させることができる(Qa ,Qb とも)。
【0041】
PD1 では、光電変換時間Ta とTb の両方の信号Qa1,Qb1が得られるように、φI1 のP11にVfs1 を印加し、P12にVfs2 の電圧を印加する。同様にPD3 でも、φI3 のP31にVfs1 、P32にVfs2 を印加しQa3,Qb3の信号電荷を得る。そして、I−CCD内で図4と同様にQa1,Qb1,Qa3,Qb3を加算し、FIT−CCD出力信号SigOSでQa +Qb が得られる。Qa (Qa1+Qa3)は、1フィールド期間の長い時間蓄積した信号であり、Qb (Qb1+Qb3)はTb 期間の電子シャッタ動作で得た信号である。
【0042】
Qa のクリップ信号レベルVkpはP11,P31のVfs1 電圧が設定する。Qkpより大きな信号電荷は、Vfs1 より大きな読出し電圧Vfs2 で読出す。FIT−CCDの出力SigOSでは、Qkpより小さな信号Qa は1フィールド期間蓄積したS/Nの良い信号が得られ、Qkpより大きな信号Qb はTb 期間の電子シャッタ動作した動解像度の良い信号が得られる。
【0043】
図7に、本実施例におけるクリップ動作を説明するために、FIT−CCDの画素部の断面図とポテンシャル図を示す。図7(a)は図3(a)と同じ構成となっている。
【0044】
図7(b)のt1 時には、感光画素PDで光電変換した信号電荷を蓄積している。図7(c)のt2 時には、読出しゲートI−CCD(φI1 ,φI3 )にVfs1 電圧を印加(ポテンシャルφfs1 )し、φfs1 以上の信号電荷をI−CCD部へ読出す。即ち、Qa の信号は、φfs1 以上の大きな信号電荷をクリップした動作ができる。
【0045】
そして、図7(d)のt3 時に再び光電変換時間の短い信号電荷Qb をPD部に蓄積する。さらに、図7(e)のt4 時にI−CCD(φI1 ,φI3 )にVfs2 電圧を印加(ポテンシャルφfs2 )し、Qa +Qb の信号電荷をI−CCD部に読出す。
【0046】
なお、図7(c)のt2 時にクリップ動作を行わない小さな信号電荷の時には、Qa の信号の光電変換時間がTa +Tb となる。クリップ動作時には、Qa の信号の光電変換時間がTa 、Qb の光電変換時間がTb となる。
(実施例3)
図8は、本発明の第3の実施例に係わる撮像システムの回路構成を示すブロック図である。この装置は、光信号を集光するレンズ41、FIT−CCD42、カメラ用同期パルス発生回路43、CCD駆動Aパルス発生回路44、Bパルス発生回路45、駆動パルスミックス回路46、CCDドライバ47、信号再生回路48、プロセスアンプ50で構成される。
【0047】
感光画素PD1 ,PD3 の光電変換時間(蓄積時間)Ta ,Tb の制御は、駆動Aパルス発生回路(光電変換時間Ta )44と駆動Bパルス発生回路(光電変換時間Tb )45の出力をパルスミックス回路46でミックスすることにより行われ、同時にCCD42をドライバ47で駆動できる。
【0048】
CCD42の出力信号SigOSは、信号再生回路48内でレベルスライス回路C4 ,C5 ,C6 を使って3つに分離され、増幅度の異なったアンプA4 ,A5 ,A6 により増幅される。A4 ,A5 ,A6 によりそれぞれ増幅された信号出力Sig1 ,Sig2 ,Sig3 を加算回路51で加算し、SigM として信号再生回路48より出力する。そして、プロセスアンプ50にて黒レベルセット、γ補正、BLK処理などを行い、ビデオ出力信号を得る。
【0049】
この信号再生回路48の入力信号SigOSと出力信号SigM の光電変換特性を図9に示す。SigOSは、出力信号Vkp以下がS/Nの良いSigA で、Vkp以上が動解像度の良いSigB が得られる。光電変換時間が異なるためVkp点によって光入力レベルに対して傾きを持った(knee特性)SigOSが得られる。この動作により、飽和入力光量がIm1からIm2に増大する利点もあることが分かる。従来の飽和光量はIm1である。
【0050】
信号再生回路48では、入力光量のIkp点以下をSig1 、Ikp〜Im1の範囲をSig2 、Im1以上をSig3 と分離し、信号処理している。標準のビデオ出力信号(700mVp-p 、100%)レベルをVm とし、光入力レベル0〜Im までが信号再生回路出力で傾きが直線に変化するようにアンプA4 ,A5 のゲインを調整し、Sig3 のレベルは、モニタで再生できるようにVm 点より傾きを持たせて圧縮できるアンプA6 のゲイン設定とする。
【0051】
以上の駆動方式と信号再生回路により、モニタ上でノイズ検知レベルの高い小さな信号レベル(Vkp点以下)はS/Nの良い信号Qa の成分とし、ノイズが比較的検知しづらい大きな信号レベル(Vkp点以上)は、動解像度の良い信号Qb の成分とすることでモニタ再生像上でS/Nの劣化がなく、動解像度の良い信号が得られる。
(実施例4)
次に、本発明の第4の実施例について説明する。基本的な回路構成は図1と同様であるが、この実施例では、撮像素子部の動作方式が異なっている。本実施例における撮像素子部の動作方式(III) を図10に示す。
【0052】
この方式は、光電変換時間の長い方の感光画素の光電変換時間Ta を1フレーム(2フィールド)期間とし、S/Nの良い信号Qa を得る。さらに、光電変換時間の短い方の感光画素では光電変換時間Tb を1フィールド期間とし、信号Qb を得る。この方式を用いることによって動解像度の劣化なしにS/Nを改善できる。
【0053】
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものではない。実施例では、感光画素を垂直方向で加算して、インタレース撮像方式で説明したが、全感光画素の信号を独立に順次読出すプロブレススキャン撮像方式にも適用することができる。光電変換時間は、長い方も短い方も任意に設定できる。例えば、短い方の光電変換時間を1/30秒、長い方の光電変換時間を1/15秒とすることや、また短い方の光電変換時間を1/60秒よりも短くすることなども可能である。また、異なった光電変換時間を3つ以上とすることで、信号レベルに対応した動解像度の改善ができる。
【0054】
また、信号処理回路はアナログ処理方式で説明したが、これをデジタル処理にすることで信号再生動作が確実に実行でき、被写体に対応した動作が簡単に行えるようになる。さらに、光電変換部にアモルファスシリコンなどの光電変換膜をCCD上部に積層した光電変換膜積層型CCDにも用いることができる。また、本発明ではFIT−CCDで説明したが、FIT−CCDに限らず、IT−CCDなどにも適用できる。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
(実施例5)
図11は、本発明の第5の実施例に係わる固体撮像装置の概略構成図であり、撮像素子部と駆動回路部及び信号処理部を示している。撮像素子部は、インターライン転送型CCD(IT−CCD)10を用い、感光画素PD11、信号電荷Qを転送するための垂直CCD(V−CCD)12と2線方式の水平CCD(H−CCD)13、信号電荷Qを電圧に変換して出力するためのオンチップアンプA14、また感光画素PD11の余分な信号を掃出するためのドレインSD15からなる。
【0055】
駆動回路部は、CCDの駆動タイミング発生回路16とV−CCD用ドライバ17からなる。また、信号処理部は、2線出力信号Sa ,Sb に対応して利得の異なるアンプ18と2線出力信号Sa ,Sb を1線出力信号Sm にするための加算回路19からなる。
【0056】
タイミング発生回路16では、感光画素11のPD1 ,PD2 に入射する光を信号電荷に変換し、蓄積するための光電変換時間Ta ,Tb の2種類を発生させる。このとき、光電変換時間はTa ≦Tb となるように設定する。そして、ドライバ17(17a,17b) を使って感光画素11のPD1 の光電変換時間をTa とし、PD2 の光電変換時間をTb に設定する。この結果として感光画素PD1 ,PD2 で得られた信号電荷を、Qa ,Qb とする。
【0057】
上記の信号電荷Qa ,Qb を垂直CCD12を動作させ2本の水平CCD13(13a,13b) へ別々に転送する。具体的には、信号電荷Qa を水平CCD13aに転送し、信号電荷Qb を水平CCD13bに転送する。そして、水平CCD転送電極φH1 ,φH2 にパルスを印加し、オンチップアンプ14(14a,14b) へ転送して電圧に変換し、信号電荷Qa を電圧信号Sa 、信号電荷Qb を電圧信号Sb として撮像素子より出力する。
【0058】
光電変換時間が短かい信号Sa は、光電変換時間の長い信号Sb より動いている被写体の解像度(動解像度)が良い。しかし、光電変換時間が短かいため信号レベルがSb と比較して小さくなる。そこで、信号処理部で動解像度は良いが信号レベルが小さいSa の信号のアンプゲインをGa とし、動解像度は良くないが信号レベルが大きいSb の信号のアンプゲインをGb とする。このとき、アンプゲインをGa ≧Gb と設定し、そのアンプ出力を加算回路19を用いて1線出力信号Sm とする。この動作により、Sm の信号では動解像度の良い信号が得られる。従来の電子シャッタ動作と異なり、光電変換時間の短い信号Sa に光電変換時間の長い信号Sb 成分を混合するためS/Nが改善できる。
【0059】
図12に、本実施例におけるIT−CCDの動作図を示す。VBLは同期信号の垂直ブランキング信号、Pta,Ptbは感光画素PDa ,PDb の光電変換時間を制御するためのパルス、Qpda ,Qpdb は感光画素PDa ,PDb に時間的に蓄積する信号電荷量を示している。
【0060】
感光画素PDa の信号電荷は、まず第1フィールド期間中に蓄積した信号電荷をPtaのパルスP1 によって垂直CCDに読み出し、掃出ドレインSDに読み出す。そして、次のP2 パルスまでの期間のTa 時間に再蓄積した信号電荷Qa が信号電荷となる。Qa の信号電荷は、電子シャッタが動作した信号となるため、動解像度の良い信号が得られる。
【0061】
一方、感光画素PDb の信号電荷は1フィールド期間中ずっと蓄積し、PtbのP3 パルスで垂直CCDへ転送する。この信号電荷Qb は、光電変換時間が長く信号電荷量が大きいため、S/Nの良い信号が得られる。そして、これらの信号電荷Qa ,Qb は、垂直CCD及び水平CCDを経てオンチップアンプで電圧に変換しCCDより出力する。
【0062】
次に、第2フィールドも第1フィールドと同じ動作を行い、動解像度の良い信号電荷Qa と信号電荷量の大きいQb の信号を得る。
図13に本実施例における信号処理部の動作を示す。横軸に入射光量、縦軸に各部の信号電圧を示す。図13(a)は、IT−CCD10の2線出力信号の一方Sa の信号を示す。また、図13(b)にもう一方のSb の信号を示す。Sa の信号は信号レベルは小さいが動解像度の良い信号が得られる。一方、Sb の信号は、動解像度は良くないが信号レベルが大きいため、S/Nの良い信号が得られる。
【0063】
次に、Sa の信号をGa 倍した信号を図13(c)に示す。また、Sb の信号をGb 倍(この時は×1)した信号を図13(d)に示す。この2つのアンプのゲインがGa >Gb となっているため、Ga ×Sa 信号では、動解像度の良い信号レベルが増大している。
【0064】
そして、2つの信号(Ga ×Sa +Gb ×Sb )を加算した信号Sm では、動解像度の良い信号成分Sa とS/Nの良い成分Sb により、従来の電子シャッタ動作と違い、動解像度を改善してもS/Nの良い信号が得られる。例えば、光電変換時間をTa :Tb =1/10:1とし、アンプゲインをGa :Gb =10:1とすることで、動解像度を約10倍改善することができる。
(実施例6)
図14は、本発明の第6の実施例に係わる固体撮像装置を示す概略構成図である。なお、図11と同一部分には同一符号を付して、ここではその説明は省略する。
【0065】
本実施例が第5の実施例と異なる点は、タイミング発生回路16にフィールドFI毎にTa とTb を切換えるスイッチを設けたことにある。この駆動により、第1フィールドでは、感光画素PD1 で信号電荷Qa を、PD2 で信号電荷Qb を蓄積する。次の第2フィールドでは、感光画素PD1 で信号電荷Qb を、PD2 で信号電荷Qa を蓄積する。これらの信号電荷Qa ,Qb を信号処理部で加算することによって、垂直方向で1画素ずれ、さらに信号の重み付けが光電変換時間をTa <Tb とした時、信号電荷量をQa <Qb となるため、垂直解像度が向上する。その他は、第5の実施例と同じ構成で同じ動作を行う。
【0066】
図15に、本実施例におけるIT−CCDの動作図を示す。感光画素PD1 の信号電荷を読み出すパルス(又は、信号電荷の蓄積時間を定めるパルス)PF1 は、光電変換時間Tb とTa がフィールド毎に入れ替っている。また、感光画素PD2 を読み出すパルスPF2 は、PF1 とインターレース関係でTa とTb がフィールド毎に入れ替わる。
【0067】
このような駆動パルスによって、感光画素PD1 に蓄積される信号電荷Qfd1 は、フィールド毎にQb とQa が入れ替わる。また、感光画素PD2 の信号電荷Qfd2 は、フィールド毎にQfd1 と反対にQa とQb が入れ替わる。信号処理は、図13と同様の処理を行う。
(実施例7)
図16は、本発明の第7の実施例に係わる固体撮像装置を示す概略構成図である。なお、図11と同一部分には同一符号を付して、ここではその説明は省略する。
【0068】
本実施例の装置構成は、第6の実施例である図14と同じである。第6の実施例と異なる点は、第1フィールドでは感光画素PD1 の信号電荷をP1 パルスにより読み出した後、PD2 側へ転送する。そして、感光画素PD2 の信号電荷をP3 パルスで読み出した時に加算することである。
【0069】
第5及び第6の実施例では、P1 パルスで読み出した信号電荷をSD部へ排出していたが、本実施例ではこれを信号電荷Qb として用いることで、さらにQb の信号電荷量を大きくできS/Nを改善できる。第2フィールドでは、第6の実施例と同様、垂直方向に1画素ずらして第1フィールドと同様の動作を行う。その他は、第6の実施例と同じ動作を行う。
【0070】
図17に、本実施例におけるIT−CCDの動作図を示す。動作的には、第6の実施例と同じで、第6の実施例で排出していた信号電荷QC を垂直CCDで信号電荷Qb'と加算してQb の信号とすることで、S/Nの良い信号電荷Qb が増加し、さらにS/Nの良い信号が得られる。
(実施例8)
図18(a)に、本発明の第8の実施例における信号処理部の構成を示す。撮像素子と駆動部には、第5〜第7の実施例を適用できる。
【0071】
CCD出力信号Sa はVak点をニー(knee)ポイントとしてVak以上の信号増幅度を大きくするニー伸長回路を通す。一方、信号Sb はVbk点をニーポイントとして、Vbk以上の信号増幅度を小さくするニー圧縮回路を通す。そして、得られたそれぞれの信号SakとSbkを加算回路で加算してSm 信号とする。
【0072】
本実施例における入射光量に対する出力信号の特性を、図19(a)〜(e)に示す。図19(a)にCCD出力信号Sa を示す。信号レベルは小さいが、動解像度の良い信号が得られる。図19(b)にCCD出力信号Sb を示す。信号Sa よりSb の方が光電変換時間が長い分だけ大きな信号レベルが得られる。このため、S/N比の良い信号がSb より得られる。
【0073】
次に、図19(c)に示すように、Sa 信号が入射信号Ik より大きな入射光量の時(Vakレベル以上)増幅度を大きくする。即ち、入射光量がIk よりも大きくなった時、ニー伸長回路により増幅度を大きくしてニー伸長動作を行う。これにより、K点(Vak以上)より傾きが大きくなる信号Sakが得られる。
【0074】
一方、図19(d)に示すように、Sb 信号が入射信号IK より大きな入射光量の時(Vbkレベル以上)増幅度を小さくする。即ち、入射光量がIk よりも大きくなった時、ニー圧縮回路により増幅度を小さくしてニー伸長動作を行う。これにより、K点(Vbk以上)より傾きが小さくなる信号Sbkが得られる。
【0075】
そして、2つの信号SakとSbkを加算してSm 信号が得られる。Sm 信号は、図19(e)に示すように入射光量がIk より小さい時、動解像度の良い信号成分Sa を小さくし、S/Nの良い信号成分Sb を大きくする。また、入射光量がIk より大きい時、動解像度の良い信号成分Sa を大きくし、S/Nの良い信号成分Sb を小さくすることもできる。
【0076】
このような信号処理により、モニタ上でノイズが目立ちやすい小さな信号レベルではS/Nを良くし、ノイズが比較的目立ちにくい大きな信号レベルは、動解像度の良い信号成分Sa を大きくし、動解像度の改善効果をより大きくすることができる。
(実施例9)
図18(b)に、本発明の第9の実施例における信号処理部の構成を示す。撮像素子と駆動部には、第5〜第7の実施例を適用できる。
【0077】
CCD出力信号Sa はアンプによりG倍する。一方、信号Sb は、γ回路により入射光量が小さい時は増幅度を大きくし、入射光量が大きい時の増幅度が小さくなるように増幅する。そして、2つの信号(G×Sa とγ×Sb )を加算して1つの信号Sm を得る。
【0078】
本実施例における入射光量に対する出力信号の特性を、図20(a)〜(e)に示す。CCD出力信号Sa とSb は図20(a)と図20(b)に示す。これらの特性は、図19の(a)(b)と同じである。図20(c)では、入力信号Sa をG倍して直線的に増加する信号GSa を示す。一方、図20(d)では、Sb の信号がγ回路により入射光量が小さい時に増幅度が大きく、入射光量が大きくなるにしたがって増幅度が小さくなるようなγSb の特性が得られる。
【0079】
この2つの信号(G×Sa とγ×Sb )を加算して1つの信号Sm を得る。このSm 信号の特性を図20(e)に示す。
本実施例では、第8の実施例と同様にモニタ上でノイズが目立ちやすい小さな出力信号レベルでは、動解像度の良い信号成分Sa レベルを小さくし、S/Nの良い信号Sb 成分を大きくしている。また、モニタ上でノイズが目立ちにくい大きな出力信号レベルでは、動解像度の良い信号成分Sa レベルを大きくし、S/Nの良い信号Sb 成分を小さくすることで、動解像度の改善効果を高めている。その他の信号処理方式を用いて信号Sa 成分とSb 成分比を変えることでも、同様の動解像度の改善ができる。
(実施例10)
図18(c)に、本発明の第10の実施例における信号処理部の構成を示す。撮像素子と駆動部には、第5〜第7の実施例が適用できる。
【0080】
CCD出力信号Sa は、ニー圧縮回路によりVak以上の信号増幅度を小さくする。そして、Vamレベルより大きくなった時にクリップ動作を行う。この回路で得られた信号をSakとする。そして、Sb 信号は高レベルクリップ回路によりVbmより大きな信号をクリップする。その出力をSbm信号とし、2つの信号SakとSbmを加算した信号をSm 信号とする。
【0081】
本実施例における入射光量に対する出力信号の特性を、図21(a)〜(e)に示す。CCD出力信号Sa の特性を図21(a)に示し、Sb の特性を図21(b)に示す。信号Sb は入射光量Im'より大きな信号は飽和してしまいVbm' でクリップした信号となる。このとき、クリップレベルが画素毎に大きく異なるため、18(c)に示した高レベルクリップ回路により図21(d)に示すようにVbmレベルでクリップするようにする。このときの最大入射光量を、Im とする。
【0082】
一方、CCD出力信号Sa は光電変換時間が短かいため、入射光量がIm'より大きくなっても飽和せずにVam' まで増加する。この信号を利用して、ニー圧縮回路により図21(c)に示すように入射光量Im より大きな信号の増幅度を小さくする。即ち、K点より大きな信号を圧縮した動作を行う。また、Sakの信号もVamレベルでクリップし、画素毎の飽和のバラツキをカットする。
【0083】
そして、2つの信号を加算した信号Sm は、図21(e)の特性を示す。最大入射光量を従来のIm よりN倍大きなレベルまで信号が得られる。例えば、信号Sa の光電変換時間を1フィールドの1/10に設定することで、最大入射光量が約10倍(N=10)向上できる。
(実施例11)
図22は、本発明の第11の実施例に係わる撮像システムの回路構成を示すブロック図である。この実施例は、第3の実施例のような撮像システムを構成するに際し、第5〜第7の実施例における固体撮像装置を用いたものである。具体的には、光信号を集光するレンズ20、IT−CCD10、カメラ用同期パルス発生回路21、タイミング発生回路16,CCDドライバ17、信号再生回路28、プロセスアンプ22で構成される。
【0084】
光電変換時間Ta ,Tb の制御は同期パルス発生回路21からの同期パルスを受けるタイミング発生回路16で行い、同時にCCD10をドライバ17により駆動する。CCD10の出力信号Sai,Sb を信号再生回路28内で利得の異なるアンプ18で増幅し、加算回路19により合成し、信号Sm として出力する。そして、プロセスアンプ22にて黒レベルセット、γ補正、BLK処理などを行い、ビデオ出力信号を得る。
【0085】
このような構成であっても、第5〜第7の実施例と同様な効果が得られるのは勿論のことである。
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものではない。実施例では、撮像素子にIT−CCDを用いたが、IT−CCDに限らずFIT−CCDなどにも適用できる。また、光電変換部にアモルファスシリコンなどの光電変換膜をCCD上部に積層した光電変換膜積層型CCDにも用いることができる。また、撮像素子の出力信号を別々に取り出すために2線出力方式を用いたが、3線出力方式でもよく、1線出力方式で時間的に分割して光電変換時間の異なる信号を出力してよい。
【0086】
また、実施例では感光画素での光電変換時間の異なる信号を別々の画素で蓄積したが、同一の画素を用いても実施できる。さらに実施例では、インターレース方式で説明したが、ノンインターレース方式でも実施できる。また、光電変換時間単位をフィールド単位としたが、数フィールド単位でもフレーム単位、数フムーム単位でも任意に長い光電変換時間と短かい光電変換時間を設定することができる。
【0087】
また、信号処理回路はアナログ処理方式で説明したが、これをデジタル処理にすることで信号処理方式の自由度が増大する。さらに、メモリを使用することで長い光電変換時間の信号や静止している信号を加算することで、さらにS/Nの良い信号が得られる。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0088】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明(請求項1〜4)によれば、低信号レベルと高信号レベルの光電変換時間を異ならせた撮像素子の駆動と、高信号レベル以上の信号(光電変換時間の短い信号)の増幅度を大きくする信号処理回路を用いることによって、動いている被写体を撮像した時に発生する動解像度の改善がS/Nの劣化なしに実現できる。つまり、S/Nの劣化を招くことなく動解像度を改善させることができ、高画質の再生像が得られる固体撮像装置を実現することが可能となる。
【0089】
また、本発明(請求項5〜7)によって、光信号の光電変換時間を異ならせた撮像素子の駆動により、動解像度の良い信号と信号レベルの減少を抑えたS/Nの良い信号を撮像素子より出力する。そして、信号処理回路を用いて2つの信号を加算し1つの信号とする。この時、モニタ上でノイズが目立つ小さな信号レベルでは、S/Nの良い信号成分を大きくする。また、ノイズが目立ちにくい大きな信号レベルでは、動解像度の良い信号成分を大きくなるように加算する。この動作によりS/Nの劣化を抑えて動解像度を改善させることができ、高画質の再生像が得られる固体撮像装置を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例に係わる固体撮像装置を示す概略構成図。
【図2】第1の実施例における固体撮像装置の第(I)の動作方式を示す図。
【図3】第1の実施例におけるクリップ動作を説明するためのもので、FIT−CCDの画素構成とポテンシャルを示す図。
【図4】第1の実施例におけるI−CCD部のポテンシャルφと感光画素PDで光電変換した信号電荷Qを示す図。
【図5】第1の実施例における信号再生回路動作による光電変換特性(光入力に対する信号の変化を表わす特性)を示す図。
【図6】第2の実施例における固体撮像装置の第(II)の動作方式を示す図。
【図7】第2の実施例におけるクリップ動作を説明するためのもので、FIT−CCDの画素構成とポテンシャルを示す図。
【図8】第3の実施例に係わる撮像システムの回路構成を示すブロック図。
【図9】第3の実施例における信号再生回路の入力信号SigOSと出力信号SigM の光電変換特性を示す図。
【図10】第4の実施例における固体撮像装置の第(III) の動作方式を示す図。
【図11】第5の実施例に係わる固体撮像装置を示す概略構成図。
【図12】第5の実施例におけるIT−CCDの動作図を示す図。
【図13】第5の実施例における信号処理部の動作を示す図。
【図14】第6の実施例に係わる固体撮像装置を示す概略構成図。
【図15】第6の実施例におけるIT−CCDの動作図を示す図。
【図16】第7の実施例に係わる固体撮像装置を示す概略構成図。
【図17】第7の実施例におけるIT−CCDの動作図を示す図。
【図18】第8〜第10の実施例における信号処理部の構成を示す図。
【図19】第8の実施例における入射光量に対する出力信号の特性を示す図。
【図20】第9の実施例における入射光量に対する出力信号の特性を示す図。
【図21】第10の実施例における入射光量に対する出力信号の特性を示す図。
【図22】第11の実施例に係わる撮像システムの回路構成を示すブロック図。
【符号の説明】
PD…感光画素
I−CCD…垂直信号電荷転送部
H−CCD…水平信号電荷転送部
M…1フィールド期間のメモリ部
ID…信号排出用ドレイン
BG…分離ゲート
A…オンチップアンプ
R…リセットトランジスタ
A1 ,A2 …アンプ
S1 ,S2 …スイッチ
C…コンパレータ
N…インバータ
W.CLIP…ホワイトクリップ回路
10…インターライン転送型CCD(IT−CCD)
11…感光画素PD
12…垂直CCD(V−CCD)
13…水平CCD(H−CCD)
14…オンチップアンプ
15…ドレインSD
16…駆動タイミング発生回路[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a solid-state imaging device, and more particularly, to a solid-state imaging device in which dynamic resolution is improved by changing photoelectric conversion times of photosensitive pixels and an imaging system using the same.
[0002]
[Prior art]
A solid-state imaging device using a CCD (charge transfer device) or the like has many features such as small size, light weight, high reliability, and easy maintenance, and is applied to electronic cameras in a wide field. Recently, it has also been developed and put into practical use for HD-TV cameras (high-definition television cameras).
[0003]
With HD-TV cameras, high-definition images are obtained on a multi-pixel, wide screen (aspect ratio 9:16), so that when moving subjects are imaged, the resolution of the dynamic resolution by the system is significant and the image quality is reduced. Decrease significantly. Conventionally, the NTSC system employs an electronic shutter operation that varies the photoelectric conversion time of the photosensitive pixels of the solid-state imaging device. However, there is a problem that the S / N deteriorates because the signal amount decreases in the electronic shutter operation. This problem will be briefly described below.
[0004]
In the standard operation, the photoelectric conversion time of the photosensitive pixel of the image sensor is operated at 1/60 seconds. If the subject moves during this time, the subject that has moved on the monitor reproduction image will be blurred, and the dynamic resolution on the system will deteriorate. As a countermeasure against this, for example, the photoelectric conversion time is set to 1/10 (usually variable from 1/125 to 1/1000 seconds). In this case, the photoelectric conversion time becomes 1/10, and the signal amount is greatly reduced to 1/10, so that the S / N is greatly deteriorated.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, in the current television camera, when the moving subject is imaged, the dynamic resolution is deteriorated by the system, and the image quality is remarkably lowered. Particularly in the next-generation HD-TV camera, since a high-definition image can be obtained on a wide screen, the image quality is further deteriorated due to degradation of dynamic resolution. As a countermeasure, there is an electronic shutter operation. However, since sensitivity is lowered, there are problems such as an increase in noise due to gain increase and a decrease in depth of focus by opening the lens aperture.
[0006]
The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide a solid-state imaging device capable of improving dynamic resolution by suppressing S / N degradation and obtaining a high-quality reproduced image. And an imaging system using the same.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention adopts the following configuration.
That is, according to the present invention (claim 1), in a solid-state imaging device, a solid-state imaging device in which a plurality of photosensitive pixels are arranged on a semiconductor substrate, and the photoelectric conversion time of the photosensitive pixels of the device while driving the solid-state imaging device. A drive circuit for controlling the signal, a signal having a plurality of photoelectric conversion times obtained by the drive circuit, and clipping a predetermined level or more with respect to the first signal having a long photoelectric conversion time, and the clipped signal and the photoelectric conversion A means for adding the second signal having a short time, and a signal processing circuit in which the amplification factor for the second signal is set larger than the amplification factor for the first signal when the signal added by the means is amplified and output. It is characterized by comprising.
[0008]
According to the present invention (claim 2), in the solid-state imaging device, a solid-state imaging device in which a plurality of photosensitive pixels are arranged on a semiconductor substrate, and the photoelectric conversion time of the photosensitive pixels of the device while driving the solid-state imaging device. A drive circuit for controlling the signal, a signal having a plurality of photoelectric conversion times obtained by the drive circuit, and clipping a predetermined level or more with respect to the first signal having a long photoelectric conversion time, and the clipped signal and the photoelectric conversion A means for adding the second signal having a short time, and when the signal added by the means is amplified and outputted, the amplification factor for the second signal is divided into a plurality of parts, and at least a part of the first signal is And a signal processing circuit that is set to be larger than the amplification factor for the signal and set so that the amplification factor sequentially decreases as the added signal level increases.
[0009]
According to the present invention (Claim 4), in the imaging system using the solid-state imaging device having the above-described configuration, a synchronization pulse generating circuit that applies a synchronization pulse to the solid-state imaging device and the drive circuit, and an object image on the light receiving unit of the solid-state imaging device And a process amplifier that operates in response to the synchronization pulse from the synchronization pulse generation circuit and creates a video signal based on the output signal of the signal processing circuit.
[0010]
Here, preferred embodiments of the present invention include the following.
(1) The solid-state imaging device operates in a field cycle, and alternately outputs a signal having a long photoelectric conversion time and a signal having a short photoelectric conversion time in a field unit.
(2) The solid-state imaging device operates in a field cycle, and outputs a signal having a long photoelectric conversion time and a signal having a short photoelectric conversion time in each field.
(3) The solid-state imaging device operates in a multiple field cycle, and alternately outputs a signal having a long photoelectric conversion time and a signal having a short photoelectric conversion time in units of a plurality of fields. For example, one frame is composed of two fields, and a signal accumulated for one field period and a signal accumulated for two field periods are alternately output in units of frames.
(4) The solid-state imaging device adds signals of two adjacent pixels in the vertical direction. Each pixel is alternately switched between one having a long photoelectric conversion time and one having a short photoelectric conversion time for each field. Conversion time is different.
[0011]
According to the present invention (Claim 5), in a solid-state imaging device, a solid-state imaging device in which a plurality of photosensitive pixels are arranged on a semiconductor substrate, and the photoelectric conversion time of the photosensitive pixels of the device while driving the solid-state imaging device. A drive circuit for controlling the signal, a means for obtaining a signal having a plurality of photoelectric conversion times by the drive circuit, and separately outputting a first signal having a long photoelectric conversion time and a second signal having a short photoelectric conversion time; A signal processing circuit for amplifying each signal by setting the amplification factor for the second signal to be larger than the amplification factor for the first signal, and adding the amplified signals into one signal. Features.
[0012]
According to the present invention (Claim 6), in the solid-state image pickup device, a solid-state image pickup device in which a plurality of photosensitive pixels are arranged on a semiconductor substrate, and the solid-state image pickup device are driven and one of pixels adjacent in the vertical direction A driving circuit that sets the photoelectric conversion time of Tb, the other photoelectric conversion time to Ta + Tc (= Tb), and alternately switches the photoelectric conversion time between Tb and Ta + Tc for each pixel for each field, and photoelectric conversion time Tb A signal Qb + Qc obtained by adding the signal Qb obtained in the above and the signal Qc obtained in the photoelectric conversion time Tc and a signal Qa obtained in the photoelectric conversion time Ta are separately output, and the amplification factor for the signal Qa is set for the signal Qb + Qc. And a signal processing circuit configured to amplify each signal by setting it larger than the amplification factor and add the amplified signals to one signal.
[0013]
According to the present invention (Claim 7), in the imaging system using the solid-state imaging device having the above-described configuration, a synchronization pulse generating circuit that applies a synchronization pulse to the solid-state imaging device and the drive circuit, and an object image on the light receiving unit of the solid-state imaging device. And a process amplifier that operates in response to the synchronization pulse from the synchronization pulse generation circuit and creates a video signal based on the output signal of the signal processing circuit.
[0014]
Here, preferred embodiments of the present invention include the following.
(1) Vertical CCDs that transfer the signal charges of the photosensitive pixels in the vertical direction are arranged between the photosensitive pixels adjacent in the horizontal direction, and the signal charges transferred by the vertical CCD are placed at the ends of these vertical CCDs. Two horizontal CCDs for horizontal transfer are arranged.
(2) One photoelectric conversion time of a photosensitive pixel adjacent in the vertical direction is long and the other photoelectric conversion time is short.
(3) One photoelectric conversion time of photosensitive pixels adjacent in the vertical direction is long, the other photoelectric conversion time is short, and the photoelectric conversion time is alternately switched for each field in each pixel.
[0015]
[Action]
According to the present invention (claims 1 to 4), since the electronic shutter operation is used for driving the solid-state imaging device, it is possible to prevent deterioration of dynamic resolution that occurs when a moving subject is imaged. Further, in the signal processing of the solid-state imaging device, by increasing the amplification factor for a signal having a short photoelectric conversion time, noise of a small signal level that is conspicuous in a monitor reproduction image is not increased, and thus S / N deterioration can be prevented. That is, unlike the conventional electronic shutter operation, it is possible to improve the dynamic resolution without incurring S / N degradation, and it is possible to obtain a higher quality reproduced image.
[0016]
According to the present invention (claims 5 to 7), a solid-state imaging device can obtain a signal with a good dynamic resolution with a signal with a short photoelectric conversion time, and a signal with a long S / N with a signal with a long photoelectric conversion time. . When the two signals are added by the signal processing circuit, the S / N deterioration is prevented by increasing the signal component having a good S / N at a small signal level where noise is conspicuous in the monitor reproduction image. Furthermore, the signal component with good dynamic resolution is increased at a large signal level where noise is not noticeable in the monitor reproduction image. In this way, it is possible to improve the dynamic resolution by suppressing the deterioration of S / N, and it is possible to obtain a higher quality reproduced image.
[0017]
【Example】
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
(Example 1)
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a solid-state imaging device according to a first embodiment of the present invention, and shows an imaging element unit and a signal processing unit. The image pickup device portion is a FIT-CCD, which is a photosensitive pixel PD, a vertical CCD (I-CCD) that is a signal charge transfer portion of the image portion, a memory portion (M) for one field period, and for discharging signal charges. A drain (ID), a separation gate (BG gate) between the memory unit (M) and the horizontal CCD (H-CCD), an output signal reset transistor (R), an on-chip amplifier (A), and the like.
[0018]
The signal processing circuit (signal reproduction circuit) for the output signal SigOS of the FIT-CCD includes amplifiers A1 and A2 having different amplification factors, switches S1 and S2 whose outputs are switched to one signal, and an input signal SigOS. Comparator C for detecting a predetermined level, an inverter N for inverting the output of comparator C, and a white clip (W.CLIP) circuit for clipping the high level of output signal SigM.
[0019]
The image portion is driven by four-phase drive pulses (φI1 to φI4), the storage portion is driven by four-phase drive pulses (φS1 to φS4), and the horizontal CCD is driven by two-phase pulses (φH1 and φH2). These drive pulses are supplied from a drive circuit (not shown).
[0020]
In this FIT-CCD, signal charges accumulated in the photoelectric conversion time Ta and Tb in the photosensitive pixel PD section are transferred to the I-CCD section by the first signal readout and the second signal readout. The photoelectric conversion time of the photosensitive pixel PD is such that the PD1 is in the Tb period and the PD3 is in the Ta period in the first field, the PD1 is in the Ta period and the PD3 is in the Tb period in the second field, and signal charges are accumulated.
[0021]
FIG. 2 shows the (I) operation method of the FIT-CCD in this embodiment. VBL is a blanking signal, and .phi.I1 and .phi.I3 are applied to electrodes serving as gates for transferring signals from the photosensitive pixels PD1 and PD3 of the image portion to a vertical CCD (I-CCD) and a transfer gate for four-phase driving of the I-CCD. Pulses PD1 and PD3 indicate the signal charge amounts of the photosensitive pixels PD1 and PD3, respectively.
[0022]
The signal charge Q accumulated in PD1 in the first field period is read to the I-CCD by the P11 pulse of φI1, and discharged from the ID part of the FIT-CCD by the high-speed transfer discharge pulse SO. Accordingly, the Qb charge used as a signal is accumulated only during the Tb period of the P11 and P12 periods. The signal charge Qa in PD3 is accumulated during the Ta period from P32 pulse to P33 pulse of φI3.
[0023]
Then, it is read to the I-CCD by the pulses P12 and P33 and added by the I-CCD. Further, it is transferred to the memory unit by the high-speed frame transfer pulse FT, and is output through the horizontal CCD. As the output signal SigOS of the horizontal CCD, a signal obtained by adding Qa and Qb is obtained. This signal is shown in FIG.
[0024]
In the second field, contrary to the first field, PD1 stores the signal Qa in the Ta period, and PD3 stores the signal Qb in the Tb period. By these operations, the signal weights of PD1 and PD3 are different, and there is an advantage that the vertical resolution is improved.
[0025]
The Vfs levels of φI1 and φI3 are set so that the signal charges Qa and Qb of PD1 and PD3 are clipped at the Qkp level. At small signal levels below the Qkp level, the photoelectric conversion time is lengthened by Qa, and a signal with good S / N can be obtained. With a large signal of Qkp level or higher, a signal with good Qb dynamic resolution can be obtained by the electronic shutter operation. With the output signal obtained by adding these signals (Qa, Qb), a signal with good dynamic resolution and no S / N degradation can be obtained.
[0026]
Here, the above clip operation will be described in more detail. FIG. 3 shows a cross-sectional view and a potential diagram of the pixel portion of the FIT-CCD. In the pixel portion of FIG. 3A, a photosensitive pixel PD portion and a CCD transfer portion are formed in an n-type on a p-type substrate, and signal reading of the photosensitive pixel PD portion is the same as the transfer electrodes of the I-CCD portion. This is shared with other poly-Si electrodes.
[0027]
FIG. 3B shows the signal charge accumulation state of the photosensitive pixels PD1 and PD3 at time t3 in the first field. The signal charge overflowed in the PD section flows into the I-CCD. At time t4 in FIG. 3C, the signal charge accumulated in the PD1 portion is read out to the I-CCD by applying a Vfs voltage to the gate of .phi.I1 and setting the potential to .phi.fs level. In the PD3 portion, the signal charge Q that has overflowed flows out to the I-CCD portion in the same manner as in FIG. That is, a large signal charge is clipped. This level can be controlled by controlling the applied voltage VH level of φI1,3 and changing the potential φH.
[0028]
At time t5 in FIG. 3D, the signal charge Qb of the I-CCD is discharged and the signal charge Qb having a short photoelectric conversion time is accumulated in the PD1 portion. Then, at time t6 in FIG. 3 (e), Vfs voltage (potential φfs) is applied to the gates of φI1 and φI3 to read out to the I-CCD section. With this operation, a signal charge Qb having a short photoelectric conversion time in the PD1 portion and a signal charge Qa obtained by clipping a large signal charge in the PD3 portion can be obtained. Since the clip signal level is limited by the potential φfs−φH, either the φfs or φH level may be controlled.
[0029]
FIG. 4 shows the potential φ of the I-CCD unit and the signal charge Q photoelectrically converted by the photosensitive pixel PD. In the first field period, the light signal in the Tb period is photoelectrically converted and Qb is accumulated in the photosensitive pixel PD1. In the photosensitive pixel PD3, the optical signal in the period Ta is photoelectrically converted and the signal charge of Qa is accumulated.
[0030]
At t1, a read voltage of Vfs is applied to φI1 and φI3, and signal charges Qa and Qb are read to the I-CCD unit. At this time, φI2 and φI4 are set to φL level. At the next t2, .phi.I3, .phi.I4, and .phi.I1 are set to .phi.H level, and signal charges Qa + Qb are added in the I-CCD section. Thereafter, it is transferred to the memory section by a high-speed FT pulse (four-phase pulses of φI1, φI2, φI3, and φI4), converted into a voltage by the output amplifier A through the horizontal CCD in the second field period, and output.
[0031]
In the photoelectric conversion in the second field period, the photoelectric conversion time is switched between the first field and the photosensitive pixel PD1 is set to the Ta period and PD3 is set to the Tb period, and the signal charges are stored in Qa and Qb, respectively. At t1, the signal charges Qa and Qb are read out to the I-CCD unit as in the first field. At t2, unlike the first field, φI1, φI2, and φI3 are set to φH level and φI4 is set to φL level. Then, a signal charge Qa + Qb of the photosensitive pixel different from that in the first field is obtained.
[0032]
As a result, the CCD output signal is obtained by adding Qa and Qb shown in FIG. This output signal SigOS is composed of Qa + Qb component below Vkp level and Qb component above Vkp.
[0033]
Next, the operation of the signal processing circuit (signal reproduction circuit) for the output signal SigOS of the FIT-CCD will be described. As shown in FIG. 1, this circuit is composed of A1 and A2 amplifiers having different amplification factors, switches S1 and S2, a comparator C, an inverter N, and a white clip (W.CLIP) circuit.
[0034]
When the input signal SigOS is smaller than the Vkp level, the output of the comparator C becomes H level and the switch S1 is turned on. At this time, the output of the inverter N becomes L level and the switch S2 is turned OFF. At this time, the output signal SigM = SigOS × A1 (amplification factor).
[0035]
When the input signal SigOS is higher than the Vkp level, the output of the comparator C becomes L level and the switch S1 is turned OFF. On the other hand, the output of the inverter N becomes H level and the switch S2 is turned ON. The output signal at this time is SigM = SigOS × A2 (amplification factor). When the output signal SigM becomes too large, a signal of Vw.c. level or higher is clipped by a white clipper (W, CLIP) circuit.
[0036]
FIG. 5B shows photoelectric conversion characteristics (characteristics representing changes in signals with respect to optical input) due to the operation of the signal regeneration circuit. By increasing the amplification factor at the clip level Vkp or higher, the amplification factor for a signal with a short photoelectric conversion time increases, and the slope of the output signal with respect to the optical input also increases.
[0037]
The output signal SigOS of the FIT-CCD is a signal having an inclination at the optical input level Ikp or higher because the signals (Qa + Qb) having different photoelectric conversion times are added. Since the output signal SigM of the signal processing circuit is switched at the Vkp level with the amplification degree of the amplifier being A2> A1, an output signal SigM having no inclination is obtained at the Vkp point. The output signal SigM clips a high level signal at the Vw.c level.
[0038]
The output signal SigM is a signal Qb component with a short photoelectric conversion time when the signal is Vkp level or higher, and a signal with good dynamic resolution can be obtained. Further, a signal Qa component having a long photoelectric conversion time below the Vkp level is obtained, and a signal that does not deteriorate the S / N of the signal below the Vkp level is obtained. Here, the noise component that is conspicuous in the reproduced image of the monitor is generally smaller than Vkp, so that there is almost no increase in noise due to increasing the amplification factor at the clip level Vkp or higher.
[0039]
In general, the noise on the monitor reproduction image is about 10 times easier to detect at a low signal level of about 10% or less than at the 100% signal level. Taking advantage of this system characteristic, for example, a signal of 10% or less is made a signal with less noise by increasing the photoelectric conversion time to 1/60 seconds, and a signal of 10% or more is converted into a photoelectric conversion time of 1/10 (1 / 600 seconds) to obtain a signal with good dynamic resolution. Then, by setting the Vkp point to 10% of the standard signal M in the signal reproduction circuit, the amplification degree of the signal of 10% or more is reproduced on the monitor as 10 times the signal of 10% or less. A signal with good dynamic resolution can be obtained with no S / N degradation.
[0040]
As described above, according to this embodiment, taking advantage of system characteristics, driving of the image sensor with different low signal level and high signal level photoelectric conversion times and high signal level signals (short photoelectric conversion time). The signal reproduction circuit for increasing the amplification degree of the signal) can provide a monitor reproduction image with good dynamic resolution without deterioration of the SN ratio.
(Example 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The basic circuit configuration is the same as in FIG. 1, but in this embodiment, the operation method of the image sensor section is different. FIG. 6 shows an operation method (II) of the image pickup element portion in the present embodiment. This method can double the amount of signal compared to the (I) method (both Qa and Qb).
[0041]
In PD1, Vfs1 is applied to P11 of φI1 and a voltage of Vfs2 is applied to P12 so that both signals Qa1 and Qb1 of photoelectric conversion times Ta and Tb can be obtained. Similarly, in PD3, Vfs1 is applied to P31 of φI3 and Vfs2 is applied to P32 to obtain signal charges of Qa3 and Qb3. Then, Qa1, Qb1, Qa3, Qb3 are added in the I-CCD as in FIG. 4, and Qa + Qb is obtained from the FIT-CCD output signal SigOS. Qa (Qa1 + Qa3) is a signal accumulated for a long time in one field period, and Qb (Qb1 + Qb3) is a signal obtained by the electronic shutter operation in the Tb period.
[0042]
The clip signal level Vkp of Qa is set by the Vfs1 voltage of P11 and P31. A signal charge larger than Qkp is read with a read voltage Vfs2 larger than Vfs1. In the output SigOS of the FIT-CCD, a signal Qa smaller than Qkp provides a signal having a good S / N accumulated for one field period, and a signal Qb larger than Qkp obtains a signal having a good dynamic resolution due to the electronic shutter operation in the Tb period. .
[0043]
FIG. 7 shows a cross-sectional view and a potential diagram of the pixel portion of the FIT-CCD in order to explain the clip operation in this embodiment. FIG. 7A has the same configuration as FIG.
[0044]
At time t1 in FIG. 7B, signal charges photoelectrically converted by the photosensitive pixel PD are accumulated. At time t2 in FIG. 7 (c), a Vfs1 voltage is applied to the read gate I-CCD (φI1, φI3) (potential φfs1), and signal charges equal to or higher than φfs1 are read out to the I-CCD portion. That is, the Qa signal can be operated by clipping a large signal charge of φfs1 or more.
[0045]
Then, the signal charge Qb having a short photoelectric conversion time is again stored in the PD section at t3 in FIG. Further, at time t4 in FIG. 7E, the Vfs2 voltage is applied to the I-CCD (φI1, φI3) (potential φfs2), and the signal charge of Qa + Qb is read out to the I-CCD unit.
[0046]
In the case of a small signal charge that does not perform the clipping operation at t2 in FIG. 7C, the photoelectric conversion time of the Qa signal is Ta + Tb. During the clipping operation, the photoelectric conversion time of the Qa signal is Ta, and the photoelectric conversion time of Qb is Tb.
(Example 3)
FIG. 8 is a block diagram showing a circuit configuration of an imaging system according to the third embodiment of the present invention. This device includes a
[0047]
The photoelectric conversion times (accumulation time) Ta and Tb of the photosensitive pixels PD1 and PD3 are controlled by pulse mixing the outputs of the drive A pulse generation circuit (photoelectric conversion time Ta) 44 and the drive B pulse generation circuit (photoelectric conversion time Tb) 45. The mixing is performed by the
[0048]
The output signal SigOS of the
[0049]
FIG. 9 shows the photoelectric conversion characteristics of the input signal SigOS and the output signal SigM of the
[0050]
In the
[0051]
With the above driving method and signal reproduction circuit, a small signal level with a high noise detection level (Vkp point or less) on the monitor is a component of the signal Qa having a good S / N, and a large signal level (Vkp that is relatively difficult to detect noise). If the signal Qb has a good dynamic resolution, a signal having a good dynamic resolution can be obtained without any S / N degradation on the monitor reproduced image.
(Example 4)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. The basic circuit configuration is the same as in FIG. 1, but in this embodiment, the operation method of the image sensor section is different. FIG. 10 shows the operation method (III) of the image sensor section in this embodiment.
[0052]
In this method, the photoelectric conversion time Ta of the photosensitive pixel having the longer photoelectric conversion time is set to one frame (two fields) period, and a signal Qa having a good S / N is obtained. Further, in the photosensitive pixel having a shorter photoelectric conversion time, the photoelectric conversion time Tb is set to one field period to obtain a signal Qb. By using this method, S / N can be improved without degradation of dynamic resolution.
[0053]
In addition, this invention is not limited to each Example mentioned above. In the embodiment, the photosensitive pixels are added in the vertical direction and the interlace imaging method has been described. However, the present invention can also be applied to a progress scan imaging method in which signals of all photosensitive pixels are sequentially read out sequentially. The photoelectric conversion time can be set arbitrarily as long or short. For example, the shorter photoelectric conversion time can be 1/30 seconds, the longer photoelectric conversion time can be 1/15 seconds, or the shorter photoelectric conversion time can be shorter than 1/60 seconds. It is. In addition, by setting three or more different photoelectric conversion times, it is possible to improve the dynamic resolution corresponding to the signal level.
[0054]
Although the signal processing circuit has been described in the analog processing system, the signal reproduction operation can be surely executed by performing digital processing, and the operation corresponding to the subject can be easily performed. Furthermore, it can also be used for a photoelectric conversion film stacked CCD in which a photoelectric conversion film such as amorphous silicon is stacked on the top of the CCD in the photoelectric conversion portion. In the present invention, the FIT-CCD has been described. However, the present invention is not limited to the FIT-CCD but can be applied to an IT-CCD. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
(Example 5)
FIG. 11 is a schematic configuration diagram of a solid-state imaging apparatus according to the fifth embodiment of the present invention, and shows an imaging element unit, a drive circuit unit, and a signal processing unit. The image sensor unit uses an interline transfer type CCD (IT-CCD) 10, a
[0055]
The drive circuit section comprises a CCD drive
[0056]
The
[0057]
The signal charges Qa and Qb are separately transferred to the two horizontal CCDs 13 (13a and 13b) by operating the
[0058]
The signal Sa having a short photoelectric conversion time has a better resolution (dynamic resolution) of the moving subject than the signal Sb having a long photoelectric conversion time. However, since the photoelectric conversion time is short, the signal level is smaller than Sb. Therefore, the amplifier gain of the Sa signal having a good dynamic resolution but a low signal level in the signal processing unit is set to Ga, and the amplifier gain of the Sb signal having a low signal level but a high signal level is set to Gb. At this time, the amplifier gain is set as Ga ≧ Gb, and the amplifier output is set as a one-line output signal Sm using the
[0059]
FIG. 12 shows an operation diagram of the IT-CCD in this embodiment. VBL is a vertical blanking signal of the synchronization signal, Pta and Ptb are pulses for controlling the photoelectric conversion time of the photosensitive pixels PDa and PDb, and Qpda and Qpdb are signal charge amounts accumulated in the photosensitive pixels PDa and PDb over time. ing.
[0060]
As for the signal charge of the photosensitive pixel PDa, first, the signal charge accumulated during the first field period is read to the vertical CCD by the pulse P1 of Pta, and then read to the sweep drain SD. Then, the signal charge Qa re-accumulated during the time Ta until the next P2 pulse becomes the signal charge. Since the signal charge of Qa is a signal obtained by operating the electronic shutter, a signal with good dynamic resolution can be obtained.
[0061]
On the other hand, the signal charge of the photosensitive pixel PDb is accumulated throughout one field period and transferred to the vertical CCD by the P3 pulse P3. Since this signal charge Qb has a long photoelectric conversion time and a large amount of signal charge, a signal having a good S / N can be obtained. These signal charges Qa and Qb are converted into voltage by an on-chip amplifier through a vertical CCD and a horizontal CCD and output from the CCD.
[0062]
Next, the second field performs the same operation as the first field to obtain a signal charge Qa having a good dynamic resolution and a signal Qb having a large signal charge amount.
FIG. 13 shows the operation of the signal processing unit in this embodiment. The horizontal axis represents the amount of incident light, and the vertical axis represents the signal voltage of each part. FIG. 13A shows a signal Sa on the 2-line output signal of the IT-
[0063]
Next, a signal obtained by multiplying the signal Sa by Ga is shown in FIG. FIG. 13D shows a signal obtained by multiplying the Sb signal by Gb (× 1 at this time). Since the gains of these two amplifiers satisfy Ga> Gb, the signal level with good dynamic resolution increases in the Ga × Sa signal.
[0064]
The signal Sm obtained by adding the two signals (Ga.times.Sa + Gb.times.Sb) improves the dynamic resolution unlike the conventional electronic shutter operation by the signal component Sa having a good dynamic resolution and the component Sb having a good S / N. Even with this, a signal with good S / N can be obtained. For example, when the photoelectric conversion time is Ta: Tb = 1/10: 1 and the amplifier gain is Ga: Gb = 10: 1, the dynamic resolution can be improved about 10 times.
(Example 6)
FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing a solid-state imaging apparatus according to the sixth embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to FIG. 11 and an identical part, and the description is abbreviate | omitted here.
[0065]
This embodiment differs from the fifth embodiment in that a switch for switching Ta and Tb for each field FI is provided in the
[0066]
FIG. 15 shows an operation diagram of the IT-CCD in this embodiment. In the pulse PF1 for reading the signal charge of the photosensitive pixel PD1 (or the pulse for determining the signal charge accumulation time) PF1, the photoelectric conversion times Tb and Ta are switched for each field. In the pulse PF2 for reading out the photosensitive pixel PD2, Ta and Tb are switched for each field in an interlaced relationship with PF1.
[0067]
With such a drive pulse, the signal charge Qfd1 accumulated in the photosensitive pixel PD1 is switched between Qb and Qa for each field. Further, the signal charge Qfd2 of the photosensitive pixel PD2 is switched between Qa and Qb in the opposite direction to Qfd1 for each field. The signal processing is the same as that in FIG.
(Example 7)
FIG. 16 is a schematic configuration diagram showing a solid-state imaging apparatus according to the seventh embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to FIG. 11 and an identical part, and the description is abbreviate | omitted here.
[0068]
The apparatus configuration of this embodiment is the same as that of FIG. 14 which is the sixth embodiment. The difference from the sixth embodiment is that in the first field, the signal charge of the photosensitive pixel PD1 is read by the P1 pulse and then transferred to the PD2 side. The signal charge of the photosensitive pixel PD2 is added when it is read out with the P3 pulse.
[0069]
In the fifth and sixth embodiments, the signal charge read by the P1 pulse is discharged to the SD portion. However, in this embodiment, by using this as the signal charge Qb, the signal charge amount of Qb can be further increased. S / N can be improved. In the second field, as in the sixth embodiment, the same operation as that in the first field is performed by shifting one pixel in the vertical direction. The other operations are the same as those in the sixth embodiment.
[0070]
FIG. 17 shows an operation diagram of the IT-CCD in this embodiment. The operation is the same as in the sixth embodiment, and the signal charge QC discharged in the sixth embodiment is added to the signal charge Qb ′ by the vertical CCD to obtain a signal of Qb. The signal charge Qb with good S / N increases and a signal with good S / N can be obtained.
(Example 8)
FIG. 18A shows the configuration of the signal processing unit in the eighth embodiment of the present invention. The fifth to seventh embodiments can be applied to the image sensor and the drive unit.
[0071]
The CCD output signal Sa passes through a knee expansion circuit that increases a signal amplification degree equal to or higher than Vak with the Vak point as a knee point. On the other hand, the signal Sb is passed through a knee compression circuit for reducing the signal amplification degree equal to or higher than Vbk with the Vbk point as a knee point. Then, the obtained signals Sak and Sbk are added by an adding circuit to obtain an Sm signal.
[0072]
The characteristics of the output signal with respect to the amount of incident light in this embodiment are shown in FIGS. FIG. 19A shows the CCD output signal Sa. Although the signal level is small, a signal with good dynamic resolution can be obtained. FIG. 19B shows the CCD output signal Sb. A larger signal level can be obtained for Sb than for the signal Sa because the photoelectric conversion time is longer. For this reason, a signal having a good S / N ratio is obtained from Sb.
[0073]
Next, as shown in FIG. 19C, the degree of amplification is increased when the Sa signal has a larger incident light quantity than the incident signal Ik (above the Vak level). That is, when the incident light quantity becomes larger than Ik, the knee expansion operation is performed with the amplification degree increased by the knee expansion circuit. As a result, a signal Sak having a slope larger than the point K (Vak or more) is obtained.
[0074]
On the other hand, as shown in FIG. 19D, when the Sb signal has a larger incident light quantity than the incident signal IK (above the Vbk level), the amplification degree is reduced. That is, when the incident light quantity becomes larger than Ik, the knee expansion operation is performed with the amplification degree reduced by the knee compression circuit. As a result, a signal Sbk having a smaller slope than the point K (Vbk or more) is obtained.
[0075]
Then, the two signals Sak and Sbk are added to obtain the Sm signal. As shown in FIG. 19E, the Sm signal reduces the signal component Sa with good dynamic resolution and increases the signal component Sb with good S / N when the amount of incident light is smaller than Ik. Further, when the amount of incident light is larger than Ik, the signal component Sa having good dynamic resolution can be increased and the signal component Sb having good S / N can be reduced.
[0076]
By such signal processing, the S / N is improved at a small signal level where noise is conspicuous on the monitor, and the signal component Sa having good dynamic resolution is increased at a large signal level where noise is relatively inconspicuous. The improvement effect can be further increased.
Example 9
FIG. 18B shows the configuration of the signal processing unit in the ninth embodiment of the present invention. The fifth to seventh embodiments can be applied to the image sensor and the drive unit.
[0077]
The CCD output signal Sa is multiplied by G by an amplifier. On the other hand, the signal Sb is amplified by the γ circuit so that the amplification is increased when the amount of incident light is small, and is decreased when the amount of incident light is large. Then, two signals (G × Sa and γ × Sb) are added to obtain one signal Sm.
[0078]
The characteristics of the output signal with respect to the amount of incident light in this embodiment are shown in FIGS. The CCD output signals Sa and Sb are shown in FIGS. 20 (a) and 20 (b). These characteristics are the same as those shown in FIGS. FIG. 20C shows a signal GSa that linearly increases by multiplying the input signal Sa by G. On the other hand, in FIG. 20D, a characteristic of γSb is obtained such that the amplification degree is large when the incident light quantity of the Sb signal is small by the γ circuit and the amplification degree decreases as the incident light quantity increases.
[0079]
These two signals (G × Sa and γ × Sb) are added to obtain one signal Sm. The characteristics of this Sm signal are shown in FIG.
In this embodiment, as in the eighth embodiment, the signal component Sa with good dynamic resolution is reduced and the signal Sb component with good S / N is increased at a small output signal level where noise is conspicuous on the monitor. Yes. In addition, at a large output signal level where noise is not noticeable on the monitor, the signal component Sa level with good dynamic resolution is increased, and the signal Sb component with good S / N is reduced, thereby improving the dynamic resolution improvement effect. . The same dynamic resolution can be improved by changing the signal Sa component and Sb component ratio using other signal processing methods.
(Example 10)
FIG. 18C shows the configuration of the signal processing unit in the tenth embodiment of the present invention. The fifth to seventh embodiments can be applied to the image sensor and the drive unit.
[0080]
The CCD output signal Sa is reduced in signal amplification by V knee or more by a knee compression circuit. Then, the clip operation is performed when it becomes larger than the Vam level. The signal obtained by this circuit is Sak. The Sb signal clips a signal larger than Vbm by a high level clipping circuit. The output is the Sbm signal, and the signal obtained by adding the two signals Sak and Sbm is the Sm signal.
[0081]
The characteristics of the output signal with respect to the amount of incident light in this embodiment are shown in FIGS. The characteristic of the CCD output signal Sa is shown in FIG. 21A, and the characteristic of Sb is shown in FIG. The signal Sb becomes a signal clipped by Vbm ′ because a signal larger than the incident light amount Im ′ is saturated. At this time, since the clipping level differs greatly from pixel to pixel, clipping is performed at the Vbm level as shown in FIG. 21 (d) by the high level clipping circuit shown in FIG. 18 (c). The maximum amount of incident light at this time is Im.
[0082]
On the other hand, since the CCD output signal Sa has a short photoelectric conversion time, it does not saturate and increases to Vam ′ even when the amount of incident light exceeds Im ′. Utilizing this signal, the knee compression circuit reduces the amplification degree of the signal larger than the incident light amount Im as shown in FIG. That is, an operation in which a signal larger than the K point is compressed is performed. Further, the Sak signal is also clipped at the Vam level, and the saturation variation for each pixel is cut.
[0083]
A signal Sm obtained by adding the two signals exhibits the characteristics shown in FIG. A signal can be obtained up to a level N times larger than the conventional Im with the maximum incident light quantity. For example, by setting the photoelectric conversion time of the signal Sa to 1/10 of one field, the maximum incident light quantity can be improved about 10 times (N = 10).
(Example 11)
FIG. 22 is a block diagram showing a circuit configuration of an imaging system according to the eleventh embodiment of the present invention. This embodiment uses the solid-state imaging device in the fifth to seventh embodiments when configuring the imaging system as in the third embodiment. Specifically, the
[0084]
The photoelectric conversion times Ta and Tb are controlled by the
[0085]
Of course, even with such a configuration, the same effects as those of the fifth to seventh embodiments can be obtained.
In addition, this invention is not limited to each Example mentioned above. In the embodiment, the IT-CCD is used as the image pickup device, but the present invention is not limited to the IT-CCD but can be applied to a FIT-CCD. Further, it can also be used in a photoelectric conversion film stacked type CCD in which a photoelectric conversion film such as amorphous silicon is stacked on the top of the CCD in the photoelectric conversion portion. Also, the 2-wire output method was used to extract the output signals of the image sensor separately, but the 3-wire output method may be used, and signals having different photoelectric conversion times are output by dividing the time in the 1-wire output method. Good.
[0086]
In the embodiment, signals having different photoelectric conversion times in the photosensitive pixels are accumulated in different pixels, but the present invention can also be implemented using the same pixels. Furthermore, although the interlace system has been described in the embodiment, the present invention can also be implemented using a non-interlace system. Further, although the photoelectric conversion time unit is a field unit, a long photoelectric conversion time and a short photoelectric conversion time can be set arbitrarily in units of several fields, frames, and units of several humes.
[0087]
Further, although the signal processing circuit has been described in the analog processing system, the degree of freedom of the signal processing system increases by making this a digital process. Furthermore, by using a memory and adding a signal having a long photoelectric conversion time or a stationary signal, a signal having a better S / N can be obtained. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
[0088]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention (claims 1 to 4), driving of an image sensor in which photoelectric conversion times of a low signal level and a high signal level are made different from each other, and a signal (photoelectric conversion time) higher than the high signal level. By using a signal processing circuit that increases the amplification degree of a short signal), an improvement in dynamic resolution that occurs when a moving subject is imaged can be realized without S / N degradation. That is, it is possible to improve the dynamic resolution without incurring S / N degradation, and to realize a solid-state imaging device that can obtain a high-quality reproduced image.
[0089]
In addition, according to the present invention (claims 5 to 7), a signal having a good dynamic resolution and a signal having a good S / N with a decrease in signal level suppressed can be picked up by driving an image pickup device having different photoelectric conversion times of optical signals. Output from the element. Then, using the signal processing circuit, the two signals are added to form one signal. At this time, a signal component with good S / N is increased at a small signal level where noise is conspicuous on the monitor. In addition, at a large signal level where noise is not noticeable, a signal component with good dynamic resolution is added so as to increase. By this operation, it is possible to improve the dynamic resolution by suppressing the deterioration of S / N, and it is possible to realize a solid-state imaging device capable of obtaining a high-quality reproduced image.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a solid-state imaging device according to a first embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating a (I) operation method of the solid-state imaging device according to the first embodiment.
FIG. 3 is a diagram illustrating a pixel configuration and potential of a FIT-CCD for explaining a clipping operation in the first embodiment.
FIG. 4 is a diagram showing a potential φ of an I-CCD unit and a signal charge Q photoelectrically converted by a photosensitive pixel PD in the first embodiment.
FIG. 5 is a diagram showing a photoelectric conversion characteristic (characteristic representing a change in a signal with respect to optical input) by a signal regeneration circuit operation in the first embodiment.
FIG. 6 is a diagram illustrating a (II) operation method of the solid-state imaging device according to the second embodiment.
FIG. 7 is a diagram illustrating a pixel configuration and potential of a FIT-CCD for explaining a clipping operation in a second embodiment.
FIG. 8 is a block diagram showing a circuit configuration of an imaging system according to a third embodiment.
FIG. 9 is a diagram showing photoelectric conversion characteristics of an input signal SigOS and an output signal SigM of the signal reproduction circuit in the third embodiment.
FIG. 10 is a diagram showing a (III) operation method of the solid-state imaging device according to the fourth embodiment.
FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing a solid-state imaging apparatus according to a fifth embodiment.
FIG. 12 is a diagram showing an operation diagram of the IT-CCD in the fifth embodiment.
FIG. 13 is a diagram illustrating an operation of a signal processing unit in a fifth embodiment.
FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing a solid-state imaging apparatus according to a sixth embodiment.
FIG. 15 is a diagram showing an operation diagram of the IT-CCD in the sixth embodiment.
FIG. 16 is a schematic configuration diagram showing a solid-state imaging apparatus according to a seventh embodiment.
FIG. 17 is a diagram showing an operation diagram of the IT-CCD in the seventh embodiment.
FIG. 18 is a diagram showing a configuration of a signal processing unit in the eighth to tenth embodiments.
FIG. 19 is a diagram showing the characteristics of an output signal with respect to the amount of incident light in the eighth embodiment.
FIG. 20 is a diagram showing the characteristics of an output signal with respect to the amount of incident light in the ninth embodiment.
FIG. 21 is a diagram showing the characteristics of an output signal with respect to the amount of incident light in the tenth embodiment.
FIG. 22 is a block diagram showing a circuit configuration of an image pickup system according to an eleventh embodiment.
[Explanation of symbols]
PD: Photosensitive pixels
I-CCD ... vertical signal charge transfer unit
H-CCD ... Horizontal signal charge transfer unit
M: Memory part for one field period
ID ... Drain for signal discharge
BG ... Separation gate
A ... On-chip amplifier
R ... Reset transistor
A1, A2 ... Amplifier
S1, S2 ... switch
C ... Comparator
N ... Inverter
W. CLIP ... White clip circuit
10. Interline transfer type CCD (IT-CCD)
11 ... Photosensitive pixel PD
12 ... Vertical CCD (V-CCD)
13 ... Horizontal CCD (H-CCD)
14 ... On-chip amplifier
15 ... Drain SD
16 ... Drive timing generation circuit
Claims (7)
前記駆動回路は、固体撮像素子から光電変換時間の長い第1の信号を得るための第1のパルスと固体撮像素子から光電変換時間の短い第2の信号を得るための第2のパルスを発生するパルス発生回路を有し、第1のパルスと第2のパルスで固体撮像素子を駆動し、前記固体撮像素子の信号読み出し部であるゲート電極に所定の電圧を印加して第1の信号の所定レベル以上を読み出しクリップし、クリップした第1の信号と第2の信号と加算し、加算した信号を固体撮像素子から信号処理回路へ出力するものであり、
前記信号処理回路は、前記加算した信号を増幅して出力する際に、前記クリップレベルの上下で増幅率を変えると共に、前記クリップレベルよりも大きいレベルで増幅率を変えることにより、第2の信号に対する実質的な増幅率を複数に分けて異ならせ、少なくとも一部を第1の信号に対する実質的な増幅率よりも大きくし、かつ加算した信号レベルの増大に伴い増幅率が順次小さくなるよう設定したものであることを特徴とする固体撮像装置。 A solid-state imaging device having a signal charge storage unit for storing a plurality of photosensitive pixels on a semiconductor substrate and storing photoelectrically converted signal charges, and a signal readout unit for reading out the accumulated signal charge amount, and driving the solid-state imaging device And a signal processing circuit for controlling the photoelectric conversion time of the photosensitive pixel of the element and a signal processing circuit for processing the output signal of the solid-state image sensor driven by controlling the photoelectric conversion time by the driving circuit. In the device
The drive circuit generates a first pulse for obtaining a first signal having a long photoelectric conversion time from the solid-state image sensor and a second pulse for obtaining a second signal having a short photoelectric conversion time from the solid-state image sensor. The solid-state imaging device is driven by the first pulse and the second pulse, and a predetermined voltage is applied to a gate electrode which is a signal reading unit of the solid-state imaging device to generate a first signal Read and clip a predetermined level or higher, add the clipped first signal and second signal, and output the added signal from the solid-state imaging device to the signal processing circuit,
When the signal processing circuit amplifies and outputs the added signal, the signal processing circuit changes the amplification factor above and below the clip level and changes the amplification factor at a level larger than the clip level, thereby generating a second signal. Is set so that the amplification factor is gradually reduced as the added signal level is increased, and at least a part is made larger than the substantial amplification factor for the first signal. the solid-state imaging device, characterized in that to those were.
前記駆動回路は、固体撮像素子から光電変換時間の長い第1の信号を得るための第1のパルスと固体撮像素子から光電変換時間の短い第2の信号を得るための第2のパルスを発生するパルス発生回路を有し、第1のパルスと第2のパルスで固体撮像素子を駆動し、固体撮像素子より得られた第1の信号と第2の信号を信号処理回路へ出力するものであり、
前記信号処理回路は、第2の信号に対する増幅率を第1の信号に対する増幅率より大きく設定して各々の信号を増幅し、増幅した第1の信号と第2の信号を加算して1つの信号に合成するものであることを特徴とする固体撮像装置。A solid-state imaging device formed by arranging a plurality of photosensitive pixels in a semiconductor substrate, a driving circuit for controlling the photoelectric conversion time of the photosensitive pixels of the element to drive the solid-state imaging device, the photoelectric conversion time by the driving circuit In a solid-state imaging device comprising: a signal processing circuit that processes an output signal of a solid-state imaging device that is controlled and driven;
The drive circuit generates a first pulse for obtaining a first signal having a long photoelectric conversion time from the solid-state image sensor and a second pulse for obtaining a second signal having a short photoelectric conversion time from the solid-state image sensor. The solid-state imaging device is driven by the first pulse and the second pulse, and the first signal and the second signal obtained from the solid-state imaging device are output to the signal processing circuit. Yes,
The signal processing circuit amplifies each signal by setting the amplification factor for the second signal to be larger than the amplification factor for the first signal, adds the amplified first signal and the second signal , the solid-state imaging device, characterized in that is to combining the signals.
前記駆動回路は、固体撮像素子から光電変換時間の長い第1の信号を得るための第1のパルスと固体撮像素子から光電変換時間の短い第2の信号を得るための第2のパルスを発生するパルス発生回路を有し、第1のパルスと第2のパルスで固体撮像素子を駆動し、固体撮像素子より得られた第1の信号と第2の信号を信号処理回路へ出力するものであり、The drive circuit generates a first pulse for obtaining a first signal having a long photoelectric conversion time from the solid-state image sensor and a second pulse for obtaining a second signal having a short photoelectric conversion time from the solid-state image sensor. The solid-state imaging device is driven by the first pulse and the second pulse, and the first signal and the second signal obtained from the solid-state imaging device are output to the signal processing circuit. Yes,
前記信号処理回路は、第2の信号に対する実質的な増幅率を複数に分けて異ならせ、少なくとも一部を第1の信号に対する実質的な増幅率よりも大きくし、かつ第2の信号レベルの増大に伴い増幅率が順次小さくなるよう設定し、増幅した第1の信号と第2の信号を加算して1つの信号に合成するものであることを特徴とする固体撮像装置。The signal processing circuit divides the substantial amplification factor for the second signal into a plurality of parts, makes at least a part larger than the substantial amplification factor for the first signal, and has a second signal level. A solid-state imaging device, characterized in that the amplification factor is set so as to sequentially decrease with increasing, and the first and second amplified signals are added and synthesized into one signal.
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