JP3636831B2 - 超電導増幅器及びこれを利用した検出器 - Google Patents
超電導増幅器及びこれを利用した検出器 Download PDFInfo
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は超電導増幅器に関し、より具体的には、アナログ出力のSQUIDを3個以上直列に接続して構成した低雑音のアナログ超電導増幅器に関する。
【0002】
【従来の技術】
複数のSQUIDを直列に接続してアナログ増幅器を構成することは公知であり、例えば、アイイ−イ−イ− トランザクションズ オン マグネティクス(IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS) 1991年 27巻 ナンバー2、2924ペ−ジから2926ペ−ジに記載されている。上記の従来の超電導増幅器の回路の一例を図14に示す。この例では、SQUID直列接続体2を構成するSQUID1に電流源6を用いてバイアス電流を流すとともに、信号入力用の入力コイルの直列回路4の各コイルと直列接続体2を構成する各SQUID1とを磁気結合5させることによって、SQUID直列接続体2の各SQUIDから入力信号に応じた出力を得て、各SQUIDの出力電圧の和を端子3から超電導増幅器9の出力としていた。
【0003】
各SQUIDの入力電流と出力電圧の関係を図15に示す。SQUIDでは、出力電圧は磁束量子Φ0に対応する電流入力を周期とした周期関数になっている。ここで、例えば、磁束量子Φ0の0.25倍相当の入力電流をバイアス電流(電流源6による)を用いて、SQUIDの動作点として設定すると、入力電流と出力電圧の関係の関係は、0.25Φ0の点を中心として、増減するものとできる。したがって、実質的に特性の同じSQUIDを2個直列に接続した場合の入力電流と出力電圧の合計の関係は図16に示すように、同一入力に対して各SQUIDの2倍の出力を持つものとできる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、実際問題としては、特性をまったく同じに作ることは難しく、また、構造上実質的に同じものとできたとしても、置かれた環境の微妙な差による不揃いが生じるのが現実である。図17は極端な例ではあるが、直列に接続された二つのSQUIDが同じ入力電流を加えられながら、各SQUIDには磁束量子としては見かけ上倍半分の差異があるケースの入力電流と出力電圧の合計の関係を示す。図16および図17を対照して明らかなように、図17の状況では、SQUIDの直列接続による超電導増幅器の線形性や利得向上が十分に得られないことになる。
【0005】
したがって、SQUID直列接続体を構成する各SQUIDの構造が可能な限り均一であり、かつ、各SQUIDに入力される信号の各SQUIDへの作用の大きさが可能な限り等しくなるように構成する必要があることがわかる。
【0006】
ところが、SQUIDは非常に高感度な磁気センサであるため、その周囲に超電導体で構成した回路や超電導配線などがある場合、相互干渉を起こしSQUIDの特性が変化するという問題がある。従って、SQUIDを同一チップ上に複数個近接して配置した場合は、各SQUIDは相互干渉を起こし、単体で配置されている場合とは異なった特性を示す。例えばSQUIDを横一列に並べてSQUID直列接続体を構成した場合は、両端のSQUIDは片側にしかSQUIDが配置されないのに対して、それ以外のSQUIDは左右にSQUIDが配置されている。そのため、両端のSQUIDは他のSQUIDとは特性が異なる。
【0007】
従来のSQUID直列接続体による超電導増幅器は、各SQUIDの置かれた環境による特性のバラツキに対する配慮にかけており、全ての出力を超電導増幅器の出力の一部として足し合わせていたため、利得や線形性が悪いという問題があった。
【0008】
本発明の課題は、上記従来技術の持つ問題点を解決し、利得や線形性などの特性が良い高性能な超電導増幅器を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題は、SQUID直列接続体の各SQUIDが構造的及び環境的に実質的に同一条件にあるSQUIDの直列接続体部分の各SQUIDの出力電圧の和を出力電圧とすることによって解決することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳述する。
【0011】
本発明の第一の実施例を示す超電導増幅器の回路図を図1に、および回路パターンの上面模式図を図2に示す。本実施例においては、7個のSQUID1を超電導回路作製技術により1枚の基板上に形成してこれらを直列に接続することによりSQUID直列接続体2を構成し、電流源6を用いて1番目から7番目のSQUIDに直流バイアス電流を流した。図2に示すように、各SQUIDはケッチェン型のSQUIDであり、ワッシャコイル8の開口部の一辺を20μm、ジョセフソン接合7の臨界電流値を90μAとした。隣接して配置したSQUID1間のスペースは30μmとした。本実施例におけるSQUID直列接続体2を構成するSQUID1は、超電導体にNb、抵抗体にMoNx、ジョセフソン接合にNb/AlOx/Nbを用いて作製した。図には示されていないが、シャント抵抗は2Ω、ダンピング抵抗は6Ωとした。
【0012】
図2に示すように、入力コイル4をワッシャコイル8の上面に薄い絶縁膜を介して渦巻状に配置し、両者を磁気結合させることにより、入力コイル4から各SQUID1へ信号を入力した。本実施例においては、1個目から7個目のSQUIDに対して入力コイル4を結合させた。
【0013】
本実施例においては、2番目から6番目のSQUID1に生じた電圧を測定するように端子3を引きだし、端子3に生じる電圧を超電導増幅器9の出力とした。その結果、入力信号に対して線形性の良いアナログ増幅器を実現することができた。また、実施例1に述べた超電導増幅器9の出力電圧は、SQUID直列接続体2を構成しているSQUID1の出力電圧のほぼ5倍であった。
【0014】
すなわち、本実施例では、構造的には同一といえる7つのSQUIDを直線上に配列し、それぞれに対して、同一の入力電流を供給して環境条件を合わせるとともに、両側にSQUIDが配置される部分のSQUID直列接続体からのみ出力を得ることとして、構造および環境条件を実質的に同じものとした例である。
【0015】
図3は、第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図を示す。図2と対比して明らかなように、この実施例では、バイアス電流の配線がSQUID間を避けた構造である。バイアス電流の配線がSQUID間を避けたことにより、バイアス電流の値の変動がSQUIDに与える影響を小さくすることができる。
【0016】
図4は、図3とほぼ同様の構造である。図3では、個々のSQUIDの構造の天地が揃えられているのに対し、図4では、個々のSQUIDの構造の天地を逆にしてバイアス電流の流れる方向がインプットコイルが積層されている側からジョセフソン接合が存在する側になるように揃えられている点において図3の実施例と異なる。図3では、SQUID直列接続体に外部磁界が作用したとき、個々のSQUIDが同一方向を向いている為、個々のSQUIDの外部磁界による影響の対称性が良く、図4では、バイアス電流による影響の対称性が良いというメリットがある。
【0017】
図5は、第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図を示す。図5においては、(1)バイアス電流用の配線をSQUID間に配置しない、(2)バイアス電流の給電の向きが同じでありかつバイアス電流用の配線を短くできるメリットがある反面、図2と対比して明らかなように、この実施例では、SQUIDの向きを90°回転させ、バイアス電流の通路がSQUIDを介して直線的に流れる構造である。そのため、入力電流の通路がSQUIDと適当に離れた位置を通りながら渡り歩く形となる。この場合、符合Lで示す距離を十分に取らないと入力電流がコイルとして作用した以外にも渡り線を通しても作用することになり特性の不安定さにかかわる。
【0018】
次に、本発明の第一の実施例の応用形態を図6を参照して述べる。本応用例においては、SQUID直列接続体2の構成は本発明の第一の実施例と同様であるが、その他にセンサとして機能するセンサSQUID10を設ける。
【0019】
センサSQUID10もケッチェン型のSQUIDであり、電流源20を用いて、ジョセフソン接合13を有するSQUIDにバイアス電流を流す。ワッシャコイルの開口部の一辺を20μm、ジョセフソン接合13の臨界電流値を90μAとした。シャント抵抗15は4Ω、負荷抵抗11は4Ωとし、図には示されていないが、ダンピング抵抗は6Ωとした。
【0020】
センサSQUID10からの出力電圧を負荷抵抗11を用いて電流信号とし、SQUID直列接続体2を構成するSQUID1と結合する入力コイル4に流すが、入力コイル4の各部分14のインダクタンスは約100pHとした。また、隣接して配置したSQUID1間のスペースは30μmとした。
【0021】
本実施例におけるSQUID直列接続体2を構成するSQUID1、およびセンサSQUID10は共通の基板上に形成された。超電導体にNb、抵抗体にMoNx、ジョセフソン接合にNb/AlOx/Nbを用いて作製した。
【0022】
本応用例のように、SQUIDからの出力を、SQUID直列接続体2により増幅する場合は、センサSQUID10と、SQUID直列接続体2を構成する各SQUID1の特性が等しく、かつ、センサSQUID10に入力された磁束と同量の磁束をSQUID直列接続体2の各SQUID1に入力できるように入力コイル4の値を設計した。このように設計すると、センサSQUID10への入力信号の大きさに依存せず、SQUID直列接続体2の増幅率を一定に保ち、かつ、ダイナミックレンジを最大にすることができる。また、超電導増幅器9の利得は端子3の間に配置されているSQUID1の個数に比例し、また、入力コイル4のインダクタンスの値はSQUID直列接続体2を構成するSQUID1の個数に比例するため、設計が容易になるという利点もある。
【0023】
本第一の実施例の応用形態でも、SQUID直列接続体2を7つのSQUIDの直列構成として、その両側を除く5つのSQUIDの直列構成から出力を得た結果、SQUID直列接続体2はセンサSQUID10の出力を5倍に増幅できた。また、センサSQUID10、および、SQUID直列接続体2を構成するSQUID1の構造上の特性を実質的に等しくし、それぞれの動作点を0.25Φ0(Φ0は磁束量子)とすることにより、利得が5倍で、かつ線形性が良く、プラスマイナス0.25Φ0のダイナミックレンジを有する超電導測定装置を実現することができた。
【0024】
本発明の第二の実施例を示す超電導増幅器の回路図を図7に、回路パターンの上面模式図を図8に示す。本実施例においては、12個のSQUID1を直列に接続し、電流源6を用いて1番目から12番目のSQUIDにバイアス電流を流した。本実施例においてSQUID直列接続体2を構成するSQUID1は、第一の実施例と同様の設計値、材料を用いて作製した。本実施例において、図8に示すようにSQUID1は2行6列で配置し、上下および左右のSQUIDどうしは、30μmの間隔をおいて配置した。
【0025】
SQUID直列接続体2を構成するSQUID1を2行に分けて配置する場合、図7および図8からもわかるように、両端に相当する部分、すなわち1行1列目、2行1列目、1行6列目、2行6列目に配置されたSQUIDは、その他の部分のSQUIDと周辺構造などが異なるため、構造上の特性を一致させるようにしても、使用環境での特性が異なる。従って、本実施例においては、2行6列に配置されたSQUID1を、1行1列目、2行1列目、2行2列目、1行2列目、1行3列目という順に接続し、2行2列目から2行5列目までのSQUIDの出力電圧の合計が超電導増幅器の出力電圧となるように、端子3を引き出した。
【0026】
その結果、入力信号に対して線形性の良いアナログ超電導増幅器を実現することができた。また、本実施例では、SQUID直列接続体2を構成しているSQUID1の出力電圧のほぼ8倍を出力する超電導増幅器を実現することができた。
【0027】
12個のSQUIDを1行12列に配置してSQUID直列接続体を構成する場合は、最大で10個のSQUIDの電圧の合計を超電導増幅器の出力とすることができるが、本実施例のようにSQUID直列接続体を2行6列で配置した場合は、超電導増幅器の出力として取り出すことができる電圧は最大で8個のSQUIDの電圧の合計になる。しかし、SQUID直列接続体を配置できるスペースの横幅が狭い場合は、2行に並べて配置するのは有効な方法である。
【0028】
図9は、第二の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図を示す。図8と対比して明らかなように、この実施例では、各行でのSQUIDの向きが逆になった構造である。このように配置しても、同様の効果が得られることは明白である。
【0029】
図10は、図8と同一構造になるように各行でのSQUIDの向きを取り、バイアス電流の流路が各SQUID間を蛇行する形とした例である。
【0030】
図11は、各行間のSQUIDの向きをそろえた例であり、図9の実施例と本質的には同じである。ただし、1行目のSQUIDでは、ジョセフソン接合側に他のSQUIDが存在し、2行目のSQUIDでは、インプットコイルが積層されている側に他のSQUIDが存在する為、1行目と2行目では、環境が異なる。したがって、互いに、他のSQUIDが無視できる程度に1行目と2行目のスペースを取ることが必要である。
【0031】
図12(a)及び(b)は、図9の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図及び背面模式図を示す。(b)で破線で示すのは、SQUIDが他の面に形成されていることを示す。この実施例では、両面にパターンを形成する必要があるから、製作行程は増えるが、信号線の引き回しをバイアス電流線の引き回しを分離できるから、相互の干渉を削減できる点ではメリットが大きい。
【0032】
図13は、作成したSQUIDのすべての出力が利用できるように工夫された第三の実施例を示す回路パターンの上面模式図である。第一、第二の実施例では各SQUIDの構造上の均一性は作製技術の工夫で向上できても、直線上に配列される以上、使用環境での均一性の向上には限界がある。すなわち、端部がどうしても存在するからである。図13の実施例は、この点の改良をも意図したものであり、円周線上にSQUID1を等間隔で配列するものである。図13に置いて他の実施例と同じ符合で示すものはそれらと均等なものである。
【0033】
図13の実施例は、図2の配列と同じ発想での配線の引き回しを持って構成されているが、これらが、図5のような考え方での配線の引き回しの場合でも、同じように実現できることは明らかであろう。また、図12のように両面型に構成することもできる。
【0034】
【発明の効果】
以上詳述したごとく、本発明に従って超電導増幅器を構成することにより、利得や線形性が良い高性能の超電導増幅器を実現することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一の実施例を示す超電導増幅器の回路図。
【図2】第一の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図3】第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図4】第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図5】第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図6】第一の実施例の応用形態の例を示す回路図。
【図7】第二の実施例を示す超電導増幅器の回路図。
【図8】第二の実施例の超電導増幅器の回路パターンを示す上面模式図。
【図9】第二の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図10】図8に対応する他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図11】図8に対応する他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図12】(a)及び(b)はそれぞれ図8の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図及び背面模式図。
【図13】第三の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図14】従来の超電導増幅器の一例を示す回路図。
【図15】SQUIDの入力電流と出力電圧の関係を示す図。
【図16】実質的に特性の均一なSQUIDを2個直列に接続した場合の入力電流と出力電圧の合計の関係を示す図。
【図17】特性の大きく異なったSQUIDを2個直列に接続した場合の入力電流と出力電圧の合計の関係を示す図。
【符号の説明】
1…SQUID、2…SQUID直列接続体、3…端子、4…入力コイル、5…磁気結合、6および20…電流源、7、13…ジョセフソン接合、8…ワッシャコイル、9…超電導増幅器、10…センサSQUID、11…負荷抵抗、14…入力コイルの一部分、15…シャント抵抗。
【発明の属する技術分野】
本発明は超電導増幅器に関し、より具体的には、アナログ出力のSQUIDを3個以上直列に接続して構成した低雑音のアナログ超電導増幅器に関する。
【0002】
【従来の技術】
複数のSQUIDを直列に接続してアナログ増幅器を構成することは公知であり、例えば、アイイ−イ−イ− トランザクションズ オン マグネティクス(IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS) 1991年 27巻 ナンバー2、2924ペ−ジから2926ペ−ジに記載されている。上記の従来の超電導増幅器の回路の一例を図14に示す。この例では、SQUID直列接続体2を構成するSQUID1に電流源6を用いてバイアス電流を流すとともに、信号入力用の入力コイルの直列回路4の各コイルと直列接続体2を構成する各SQUID1とを磁気結合5させることによって、SQUID直列接続体2の各SQUIDから入力信号に応じた出力を得て、各SQUIDの出力電圧の和を端子3から超電導増幅器9の出力としていた。
【0003】
各SQUIDの入力電流と出力電圧の関係を図15に示す。SQUIDでは、出力電圧は磁束量子Φ0に対応する電流入力を周期とした周期関数になっている。ここで、例えば、磁束量子Φ0の0.25倍相当の入力電流をバイアス電流(電流源6による)を用いて、SQUIDの動作点として設定すると、入力電流と出力電圧の関係の関係は、0.25Φ0の点を中心として、増減するものとできる。したがって、実質的に特性の同じSQUIDを2個直列に接続した場合の入力電流と出力電圧の合計の関係は図16に示すように、同一入力に対して各SQUIDの2倍の出力を持つものとできる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、実際問題としては、特性をまったく同じに作ることは難しく、また、構造上実質的に同じものとできたとしても、置かれた環境の微妙な差による不揃いが生じるのが現実である。図17は極端な例ではあるが、直列に接続された二つのSQUIDが同じ入力電流を加えられながら、各SQUIDには磁束量子としては見かけ上倍半分の差異があるケースの入力電流と出力電圧の合計の関係を示す。図16および図17を対照して明らかなように、図17の状況では、SQUIDの直列接続による超電導増幅器の線形性や利得向上が十分に得られないことになる。
【0005】
したがって、SQUID直列接続体を構成する各SQUIDの構造が可能な限り均一であり、かつ、各SQUIDに入力される信号の各SQUIDへの作用の大きさが可能な限り等しくなるように構成する必要があることがわかる。
【0006】
ところが、SQUIDは非常に高感度な磁気センサであるため、その周囲に超電導体で構成した回路や超電導配線などがある場合、相互干渉を起こしSQUIDの特性が変化するという問題がある。従って、SQUIDを同一チップ上に複数個近接して配置した場合は、各SQUIDは相互干渉を起こし、単体で配置されている場合とは異なった特性を示す。例えばSQUIDを横一列に並べてSQUID直列接続体を構成した場合は、両端のSQUIDは片側にしかSQUIDが配置されないのに対して、それ以外のSQUIDは左右にSQUIDが配置されている。そのため、両端のSQUIDは他のSQUIDとは特性が異なる。
【0007】
従来のSQUID直列接続体による超電導増幅器は、各SQUIDの置かれた環境による特性のバラツキに対する配慮にかけており、全ての出力を超電導増幅器の出力の一部として足し合わせていたため、利得や線形性が悪いという問題があった。
【0008】
本発明の課題は、上記従来技術の持つ問題点を解決し、利得や線形性などの特性が良い高性能な超電導増幅器を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題は、SQUID直列接続体の各SQUIDが構造的及び環境的に実質的に同一条件にあるSQUIDの直列接続体部分の各SQUIDの出力電圧の和を出力電圧とすることによって解決することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳述する。
【0011】
本発明の第一の実施例を示す超電導増幅器の回路図を図1に、および回路パターンの上面模式図を図2に示す。本実施例においては、7個のSQUID1を超電導回路作製技術により1枚の基板上に形成してこれらを直列に接続することによりSQUID直列接続体2を構成し、電流源6を用いて1番目から7番目のSQUIDに直流バイアス電流を流した。図2に示すように、各SQUIDはケッチェン型のSQUIDであり、ワッシャコイル8の開口部の一辺を20μm、ジョセフソン接合7の臨界電流値を90μAとした。隣接して配置したSQUID1間のスペースは30μmとした。本実施例におけるSQUID直列接続体2を構成するSQUID1は、超電導体にNb、抵抗体にMoNx、ジョセフソン接合にNb/AlOx/Nbを用いて作製した。図には示されていないが、シャント抵抗は2Ω、ダンピング抵抗は6Ωとした。
【0012】
図2に示すように、入力コイル4をワッシャコイル8の上面に薄い絶縁膜を介して渦巻状に配置し、両者を磁気結合させることにより、入力コイル4から各SQUID1へ信号を入力した。本実施例においては、1個目から7個目のSQUIDに対して入力コイル4を結合させた。
【0013】
本実施例においては、2番目から6番目のSQUID1に生じた電圧を測定するように端子3を引きだし、端子3に生じる電圧を超電導増幅器9の出力とした。その結果、入力信号に対して線形性の良いアナログ増幅器を実現することができた。また、実施例1に述べた超電導増幅器9の出力電圧は、SQUID直列接続体2を構成しているSQUID1の出力電圧のほぼ5倍であった。
【0014】
すなわち、本実施例では、構造的には同一といえる7つのSQUIDを直線上に配列し、それぞれに対して、同一の入力電流を供給して環境条件を合わせるとともに、両側にSQUIDが配置される部分のSQUID直列接続体からのみ出力を得ることとして、構造および環境条件を実質的に同じものとした例である。
【0015】
図3は、第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図を示す。図2と対比して明らかなように、この実施例では、バイアス電流の配線がSQUID間を避けた構造である。バイアス電流の配線がSQUID間を避けたことにより、バイアス電流の値の変動がSQUIDに与える影響を小さくすることができる。
【0016】
図4は、図3とほぼ同様の構造である。図3では、個々のSQUIDの構造の天地が揃えられているのに対し、図4では、個々のSQUIDの構造の天地を逆にしてバイアス電流の流れる方向がインプットコイルが積層されている側からジョセフソン接合が存在する側になるように揃えられている点において図3の実施例と異なる。図3では、SQUID直列接続体に外部磁界が作用したとき、個々のSQUIDが同一方向を向いている為、個々のSQUIDの外部磁界による影響の対称性が良く、図4では、バイアス電流による影響の対称性が良いというメリットがある。
【0017】
図5は、第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図を示す。図5においては、(1)バイアス電流用の配線をSQUID間に配置しない、(2)バイアス電流の給電の向きが同じでありかつバイアス電流用の配線を短くできるメリットがある反面、図2と対比して明らかなように、この実施例では、SQUIDの向きを90°回転させ、バイアス電流の通路がSQUIDを介して直線的に流れる構造である。そのため、入力電流の通路がSQUIDと適当に離れた位置を通りながら渡り歩く形となる。この場合、符合Lで示す距離を十分に取らないと入力電流がコイルとして作用した以外にも渡り線を通しても作用することになり特性の不安定さにかかわる。
【0018】
次に、本発明の第一の実施例の応用形態を図6を参照して述べる。本応用例においては、SQUID直列接続体2の構成は本発明の第一の実施例と同様であるが、その他にセンサとして機能するセンサSQUID10を設ける。
【0019】
センサSQUID10もケッチェン型のSQUIDであり、電流源20を用いて、ジョセフソン接合13を有するSQUIDにバイアス電流を流す。ワッシャコイルの開口部の一辺を20μm、ジョセフソン接合13の臨界電流値を90μAとした。シャント抵抗15は4Ω、負荷抵抗11は4Ωとし、図には示されていないが、ダンピング抵抗は6Ωとした。
【0020】
センサSQUID10からの出力電圧を負荷抵抗11を用いて電流信号とし、SQUID直列接続体2を構成するSQUID1と結合する入力コイル4に流すが、入力コイル4の各部分14のインダクタンスは約100pHとした。また、隣接して配置したSQUID1間のスペースは30μmとした。
【0021】
本実施例におけるSQUID直列接続体2を構成するSQUID1、およびセンサSQUID10は共通の基板上に形成された。超電導体にNb、抵抗体にMoNx、ジョセフソン接合にNb/AlOx/Nbを用いて作製した。
【0022】
本応用例のように、SQUIDからの出力を、SQUID直列接続体2により増幅する場合は、センサSQUID10と、SQUID直列接続体2を構成する各SQUID1の特性が等しく、かつ、センサSQUID10に入力された磁束と同量の磁束をSQUID直列接続体2の各SQUID1に入力できるように入力コイル4の値を設計した。このように設計すると、センサSQUID10への入力信号の大きさに依存せず、SQUID直列接続体2の増幅率を一定に保ち、かつ、ダイナミックレンジを最大にすることができる。また、超電導増幅器9の利得は端子3の間に配置されているSQUID1の個数に比例し、また、入力コイル4のインダクタンスの値はSQUID直列接続体2を構成するSQUID1の個数に比例するため、設計が容易になるという利点もある。
【0023】
本第一の実施例の応用形態でも、SQUID直列接続体2を7つのSQUIDの直列構成として、その両側を除く5つのSQUIDの直列構成から出力を得た結果、SQUID直列接続体2はセンサSQUID10の出力を5倍に増幅できた。また、センサSQUID10、および、SQUID直列接続体2を構成するSQUID1の構造上の特性を実質的に等しくし、それぞれの動作点を0.25Φ0(Φ0は磁束量子)とすることにより、利得が5倍で、かつ線形性が良く、プラスマイナス0.25Φ0のダイナミックレンジを有する超電導測定装置を実現することができた。
【0024】
本発明の第二の実施例を示す超電導増幅器の回路図を図7に、回路パターンの上面模式図を図8に示す。本実施例においては、12個のSQUID1を直列に接続し、電流源6を用いて1番目から12番目のSQUIDにバイアス電流を流した。本実施例においてSQUID直列接続体2を構成するSQUID1は、第一の実施例と同様の設計値、材料を用いて作製した。本実施例において、図8に示すようにSQUID1は2行6列で配置し、上下および左右のSQUIDどうしは、30μmの間隔をおいて配置した。
【0025】
SQUID直列接続体2を構成するSQUID1を2行に分けて配置する場合、図7および図8からもわかるように、両端に相当する部分、すなわち1行1列目、2行1列目、1行6列目、2行6列目に配置されたSQUIDは、その他の部分のSQUIDと周辺構造などが異なるため、構造上の特性を一致させるようにしても、使用環境での特性が異なる。従って、本実施例においては、2行6列に配置されたSQUID1を、1行1列目、2行1列目、2行2列目、1行2列目、1行3列目という順に接続し、2行2列目から2行5列目までのSQUIDの出力電圧の合計が超電導増幅器の出力電圧となるように、端子3を引き出した。
【0026】
その結果、入力信号に対して線形性の良いアナログ超電導増幅器を実現することができた。また、本実施例では、SQUID直列接続体2を構成しているSQUID1の出力電圧のほぼ8倍を出力する超電導増幅器を実現することができた。
【0027】
12個のSQUIDを1行12列に配置してSQUID直列接続体を構成する場合は、最大で10個のSQUIDの電圧の合計を超電導増幅器の出力とすることができるが、本実施例のようにSQUID直列接続体を2行6列で配置した場合は、超電導増幅器の出力として取り出すことができる電圧は最大で8個のSQUIDの電圧の合計になる。しかし、SQUID直列接続体を配置できるスペースの横幅が狭い場合は、2行に並べて配置するのは有効な方法である。
【0028】
図9は、第二の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図を示す。図8と対比して明らかなように、この実施例では、各行でのSQUIDの向きが逆になった構造である。このように配置しても、同様の効果が得られることは明白である。
【0029】
図10は、図8と同一構造になるように各行でのSQUIDの向きを取り、バイアス電流の流路が各SQUID間を蛇行する形とした例である。
【0030】
図11は、各行間のSQUIDの向きをそろえた例であり、図9の実施例と本質的には同じである。ただし、1行目のSQUIDでは、ジョセフソン接合側に他のSQUIDが存在し、2行目のSQUIDでは、インプットコイルが積層されている側に他のSQUIDが存在する為、1行目と2行目では、環境が異なる。したがって、互いに、他のSQUIDが無視できる程度に1行目と2行目のスペースを取ることが必要である。
【0031】
図12(a)及び(b)は、図9の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンの上面模式図及び背面模式図を示す。(b)で破線で示すのは、SQUIDが他の面に形成されていることを示す。この実施例では、両面にパターンを形成する必要があるから、製作行程は増えるが、信号線の引き回しをバイアス電流線の引き回しを分離できるから、相互の干渉を削減できる点ではメリットが大きい。
【0032】
図13は、作成したSQUIDのすべての出力が利用できるように工夫された第三の実施例を示す回路パターンの上面模式図である。第一、第二の実施例では各SQUIDの構造上の均一性は作製技術の工夫で向上できても、直線上に配列される以上、使用環境での均一性の向上には限界がある。すなわち、端部がどうしても存在するからである。図13の実施例は、この点の改良をも意図したものであり、円周線上にSQUID1を等間隔で配列するものである。図13に置いて他の実施例と同じ符合で示すものはそれらと均等なものである。
【0033】
図13の実施例は、図2の配列と同じ発想での配線の引き回しを持って構成されているが、これらが、図5のような考え方での配線の引き回しの場合でも、同じように実現できることは明らかであろう。また、図12のように両面型に構成することもできる。
【0034】
【発明の効果】
以上詳述したごとく、本発明に従って超電導増幅器を構成することにより、利得や線形性が良い高性能の超電導増幅器を実現することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一の実施例を示す超電導増幅器の回路図。
【図2】第一の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図3】第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図4】第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図5】第一の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図6】第一の実施例の応用形態の例を示す回路図。
【図7】第二の実施例を示す超電導増幅器の回路図。
【図8】第二の実施例の超電導増幅器の回路パターンを示す上面模式図。
【図9】第二の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図10】図8に対応する他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図11】図8に対応する他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図12】(a)及び(b)はそれぞれ図8の実施例と同じ発想の他の構造の実施例の回路パターンを示す上面模式図及び背面模式図。
【図13】第三の実施例の回路パターンを示す上面模式図。
【図14】従来の超電導増幅器の一例を示す回路図。
【図15】SQUIDの入力電流と出力電圧の関係を示す図。
【図16】実質的に特性の均一なSQUIDを2個直列に接続した場合の入力電流と出力電圧の合計の関係を示す図。
【図17】特性の大きく異なったSQUIDを2個直列に接続した場合の入力電流と出力電圧の合計の関係を示す図。
【符号の説明】
1…SQUID、2…SQUID直列接続体、3…端子、4…入力コイル、5…磁気結合、6および20…電流源、7、13…ジョセフソン接合、8…ワッシャコイル、9…超電導増幅器、10…センサSQUID、11…負荷抵抗、14…入力コイルの一部分、15…シャント抵抗。
Claims (4)
- 3個以上のSQUIDを直列に接続して構成したSQUID直列接続体と、前記SQUID直列接続体のバイアス電流源と、前記SQUID直列接続体への信号入力手段とを具備し、前記各SQUIDが一つ又は複数の直線上に配列され、前記SQUID直列接続体の両端側に配置された前記SQUIDを除く残りの前記SQUIDの出力電圧の和を出力電圧とすることを特徴とする超電導増幅器。
- 請求項1に記載の超電導増幅器において、前記SQUID直列接続体のバイアス電流を前記各SQUID間で引き回すための配線と前記各SQUIDへの入力信号を前記各SQUID間で引き回すための配線とを異なる面に形成することを特徴とする超電導増幅器。
- 3個以上のSQUIDを直列に接続して構成したSQUID直列接続体と、前記SQUID直列接続体のバイアス電流源と、前記SQUID直列接続体への信号入力手段とを具備し、前記各SQUIDが円周線上に等間隔で配列され、前記SQUID直列接続体を構成する全ての前記SQUIDの出力電圧の和を出力電圧とすることを特徴とする超電導増幅器。
- 3個以上のSQUIDを直列に接続して構成したSQUID直列接続体と、前記SQUID直列接続体のバイアス電流源と、前記SQUID直列接続体への信号入力手段とを具備し、前記各SQUIDが直線上に配列され、前記SQUID直列接続体の両端側に配置された前記SQUIDを除く残りの前記SQUIDの出力電圧の和を出力電圧とする超電導増幅器と、該超電導増幅器を形成した基板と同一の基板上に配置されたセンサSQUIDとを有し、該センサSQUIDの出力を前記超電導増幅器の入力とすることを特徴とする超電導測定装置。
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