JP3623274B2 - Laser processing machine processing head - Google Patents

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Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はレーザー加工装置の加工ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明に関連する従来の技術として特表平０７−５０１２６６号がある。この従来の技術における基本的実施例を図６及び図７に示してある。
【０００３】
図６に示した例では、被加工物（１０）をその材料の融解温度以下の発火燃焼温度まで表面を予熱するためのレーザービーム（２３）が、可燃性ガス（１２）（例えば酸素）を前記被加工物（１０）に噴射するノズル（２０）の内部を同軸に通過する様に設けられている。
【０００４】
また図７に示した例では、予熱用のレーザービーム（２３）は、その軸線（２３’）が前記ノズル（２０）の縦軸（２０”）に対して切断進行方向（２８）において、前方に角度αだけ傾斜して設けられている。このレーザービーム（２３’）の焦点（２２）は被加工物表面（１１）の上方に設けられているので、ノズル（２０）の縦軸（２０”）を含む位置の被加工物表面（１１）に楕円形のビームスポットを生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図６に示す様な上述の従来技術においては、可燃性ガス（１２）が被加工物表面（１１）に噴射される位置の周囲にレーザービーム（２３）によって予熱される領域ができるので、ノズル（２０）と被加工物（１０）とを任意の方向に相対的に移動させることにより金属材料を切断をすることが可能ではある。しかし、このノズル（２０）の中を可燃性ガス（１２）とレーザービーム（２３）とを同軸に通過させる構造においては、ノズル（２０）内に供給される可燃性ガスの圧力の変動が集光レンズ（２９）に変動的変形を与えるので、レーザービーム（２３）の焦点位置（２２）がランダムに変化して予熱温度の制御を難しくする。
【０００６】
もし、ノズルの上部にレーザービーム（２３）が透過可能で、ガスの圧力に耐えるウインドを設ければ、前記集光レンズ（２９）のガス圧による変形は押さえられるが、この場合にはウインドによるレーザービーム（２３）の反射及び透過によりレーザービーム（２３）の減衰が発生する。さらに、このウインドをエネルギー密度の高い集光されたレーザービーム（２３）が透過するため、ウインドが吸収するエネルギーでウインドが熱膨脹してレンズ効果を生じ、やはりレーザービーム（２３）の焦点位置（２２）に変動を与えるという問題が生じる。
【０００７】
また図７に示した上述の従来技術においては、予熱用のレーザービーム（２３）は、その軸線（２３’）が前記ノズル（２０）の縦軸（２０”）に対して切断進行方向（２８）において、楕円形のビームスポットとして被加工物表面（１１）に照射されるので、予熱用のレーザービーム（２３）の照射位置を切断進行方向（２８）の変化に合わせて移動制御させる必要がある。
【０００８】
本発明は上述の如き問題点に鑑みてなされたものであり、切断加工部の全周にほぼ円環状の予熱領域を形成可能なレーザービームを集光する光学系を設ける共に、予熱領域に噴射する酸素ガスの圧力が前記光学系に及ばない様に設け、任意の方向に対して精度の高い切断が可能なレーザー加工装置の加工ヘッドを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載のレーザー加工装置の加工ヘッドは、レーザー加工装置の加工ヘッドに対して相対的に移動する金属材料の表面を該金属材料の融解温度以下の発火燃焼温度まで予熱し、酸素ガスのジェットを前記温度に予熱された予熱領域に噴射して前記金属材料を切断する装置において、前記加工ヘッドのハウジング内部に導入されたレーザービームを該レーザービームの光軸中心において反射する円錐状の反射鏡を前記ハウジング内に設け、該反射鏡からの反射光を前記金属材料の表面の上方位置に収束可能な円環状の凹面鏡を前記反射鏡に対向させて設け、該凹面鏡からのレーザービームが通過可能な複数のレーザービーム通過孔を前記ハウジングの底部に設け、該ハウジングの底部を冷却する冷却手段を設けると共に、前記ハウジング底部に前記レーザービームの光軸中心と同軸に酸素ガスのジェットを噴射可能なガスジェット噴射ノズルを設け、該ガスジェット噴射ノズルとガス供給管路とに連通するガスチャンバーを前記ハウジング底部に設けてなるものである。
【００１０】
請求項２に記載のレーザー加工装置の加工ヘッドは、請求項１に記載のレーザー加工装置の加工ヘッドにおいて、前記円環状の凹面鏡を複数に分割して設け、該複数に分割して設けた凹面鏡から反射されるレーザービームの位置に合わせてレーザービーム通過孔を前記ハウジング底部に設けてなるものである。
【００１２】
【作用】
請求項１の如きレーザー加工装置の加工ヘッドとすることにより、切断加工部の前周にほぼ円環状の予熱領域を形成することが可能であり、予熱領域に噴射する酸素ガスの圧力が前記光学系に及ばない。また、凹面鏡が取り付けられていない部分のハウジングが吸収した熱も速やかに除去することができると共に、ガスジェット噴射ノズルから噴射されるガスの圧力変動を少なくすることができる。
【００１３】
請求項２の如きレーザー加工装置の加工ヘッドとすることにより、凹面鏡の一部が破損した場合、破損した凹面鏡のみを交換することができる。
【００１５】
【実施例】
次に本発明に係わるレーザー加工装置の加工ヘッドの実施例について図面を参照しながら説明する。図１はレーザー加工装置の加工ヘッドの実施例の縦断面図を示したものであり図２はこの加工ヘッドの斜視図である。
【００１６】
さて、図１及び図２を参照するに、加工ヘッド１のハウジング３は底部５を備えた中空の円筒形状に形成してあり、このハウジング３の底部５にはこのハウジング内部に導入されたレーザービーム７をその光軸中心において反射する円錐状の反射鏡９が設けてある。
【００１７】
また、上記反射鏡９からの反射光を被加工材となる金属材料１１の表面１３の上方位置ｄに収束可能な円環状の凹面鏡１５を前記反射鏡９に対向させて設けてある。そして、この円環状の凹面鏡１５で反射されたレーザービーム７’が通過可能な複数のレーザービーム通過孔１７を前記ハウジング３の底部５に設けてある。
【００１８】
さらに、ハウジング３の底部５には前記レーザービーム７の光軸中心１９と同軸に酸素ガス２１のジェット２３を噴射可能なガスジェット噴射ノズル２５を設けてある。このガスジェット噴射ノズル２５が設てある前記ハウジング３の底部５には、酸素ガス２１のガス供給管路２７につながるガスチャンバー２９が設けてある。
【００１９】
また、前記円環状の凹面鏡１５が設けられているハウジング３の筒部分には、ハウジング３を冷却するための環状の冷却液流路３１を設けてある。この環状の冷却液流路３１に冷却液を供給する冷却液供給口３３と冷却液を排出する冷却液排出口３５とが適宜な位置に設けてある。
【００２０】
上記構成において、図示省略のレーザー光源からハウジング３の内部に導入されたレーザービーム７は、このレーザービーム７の光軸中心に設けた円錐状の反射鏡９により、その周囲に設けた円環状の凹面鏡１５に反射される。そして、この凹面鏡１５により再度反射されたレーザービーム７’はハウジング３の底部５に設けた複数のレーザービーム通過孔１７を通過して被加工材となる金属材料１１の表面１３に照射されることになる。このとき前記凹面鏡１５の焦点を前記金属材料１１の表面１３の上方位置ｄに収束する様に設けてあるので、この金属材料１１の表面１３にレーザービーム７’がほぼ円環状に拡散した予熱領域３７が形成されることになる。
【００２１】
そして、被加工材となる金属材料１１の表面１３の予熱領域３７はレーザービーム７’により、その金属材料の融解温度以下の発火燃焼温度まで予熱されることになる。例えば冷間圧延鋼板のＳＰＣの場合、発火燃焼温度は約１，２００℃であり、金属材料１１の表面１３の予熱領域３７への入力エネルギーを４〜５ｋＷ程度にすれば、深さ０．５ｍｍ程度までを数秒以内で１，２００℃に予熱することが可能である。
【００２２】
或いは、出力数ｋＷのレーザーを用いる場合でも、材質に応じて材料表面で６Ｗ／ｍｍ２ 〜９０Ｗ／ｍｍ２ のパワー密度を有するように、レーザーの焦点位置からの焦点はずし量を選ぶことによって、上記の条件に予熱することができる。なお従来の１つのレーザー光で行った場合の実験では、同パワー密度は３０Ｗ／ｍｍ２ 程度であった。
【００２３】
上述の様に金属材料１１の表面１３の予熱領域３７を、その金属材料の融解温度以下の発火燃焼温度まで予熱すると同時に、圧力４〜２０Ｂａｒ（約０．４ＭＰａ〜２ＭＰａ）の酸素ガスを噴射ノズル２５から金属材料１１の表面１３の切断加工部３９に噴射させながら金属材料１１を加工ヘッドに対して相対的に移動させることにより被加工材となる金属材料１１を任意の方向に切断することが可能である。
【００２４】
なお、前記ガスジェット噴射ノズル２５の近傍に設けた前記ガスチャンバー２９には、ガスジェット噴射ノズル２５での消費量より多い量の酸素ガスが常に供給され加圧貯留してある。そのため、設定された圧力に対して圧力変動がほとんどない安定した圧力の酸素ガスを噴射することができる。
【００２５】
また、前記円錐状の反射鏡９の頂角は９０度であるが、使用するレーザービーム７の直径の大小によて適宜な頂角を選択することが可能である。例えば図３は、レーザービーム７の直径が小さい場合で、頂角３０度の反射鏡９を使用した例である。図４はレーザービーム７の直径が大きい場合で、頂角１２０度の反射鏡９を使用した例である。なお、当然ながら反射鏡９の頂角を小さくすると反射されるレーザービーム７’の幅が大きくなり集光の仕方が短焦点レンズと相当の作用をし、逆に反射鏡９の頂角を大きくすると反射されるレーザービーム７’の幅が小さくなるので、長焦点レンズの相当の作用をする。なお凹面鏡のサイズも反射されるレーザービームの幅に合わせたものを使用することになる。
【００２６】
なおまた、前記凹面鏡１５は一体的な凹面鏡の代わりに複数の凹面鏡に分割して設けても同一の作用と効果を得ることが可能である。
【００２７】
【発明の効果】
以上の説明から理解されるように、請求項１に記載の発明によれば、切断加工部の全周にほぼ円環状の予熱領域を形成することが可能であり、また予熱領域に噴射する酸素ガスの圧力が前記光学系に及ばない。従って金属材料を加工ヘッドに対して相対的に移動させることにより金属材料を任意の方向に切断することができると共に、酸素ガスの圧力が前記光学系に及ばないので光学系の熱変形による予熱領域の温度変動が生じにくい。また、凹面鏡が取り付けられていない部分のハウジングが吸収した熱を速やかに除去することができるので光学系に対する熱影響を心配する必要がない。
【００２８】
請求項２に記載の発明によれば、凹面鏡の一部が破損した場合、破損した凹面鏡のみを交換できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるレーザー加工装置の加工ヘッドの実施例。
【図２】本発明に係わるレーザー加工装置の加工ヘッドの実施例の斜視図。
【図３】本発明に係わるレーザー加工装置の加工ヘッドの実施例における円錐状の反射鏡に頂角９０度の円錐状の反射鏡を用いた例。
【図４】本発明に係わるレーザー加工装置の加工ヘッドの実施例における円錐状の反射鏡に頂角１２０度の円錐状の反射鏡を用いた例。
【図５】金属材料の表面の予熱領域と切断加工部との位置関係を示した拡大図。
【図６】従来技術の実施例。
【図７】従来技術の別の実施例。
【符号の説明】
１ 加工ヘッド
３ ハウジング
５ 底部
７，７’ レーザービーム
９ 反射鏡
１１ 金属材料
１３ 表面
１５ 凹面鏡
１７ レーザービーム通過孔
１９ 光軸中心
２１ 酸素ガス
２３ ジェット
２５ ガスジェット噴射ノズル
２７ ガス供給管路
２９ ガスチャンバー
３１ 冷却液流路
３３ 冷却液供給口
３５ 冷却液排出口
３７ 予熱領域
３９ 切断加工部[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a processing head of a laser processing apparatus.
[0002]
[Prior art]
Japanese Unexamined Patent Publication No. 07-501266 is a conventional technique related to the present invention. A basic embodiment of this prior art is shown in FIGS.
[0003]
In the example shown in FIG. 6, the laser beam (23) for preheating the surface of the work piece (10) to an ignition combustion temperature below the melting temperature of the material produces combustible gas (12) (eg oxygen). The nozzle (20) for spraying the workpiece (10) is provided so as to pass coaxially.
[0004]
In the example shown in FIG. 7, the preheating laser beam (23) has its axis (23 ′) forward in the cutting direction (28) with respect to the longitudinal axis (20 ″) of the nozzle (20). Since the focal point (22) of the laser beam (23 ') is provided above the workpiece surface (11), the vertical axis (20) of the nozzle (20) is provided. An elliptical beam spot is produced on the work piece surface (11) at the position including ")".
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described prior art as shown in FIG. 6, since a region preheated by the laser beam (23) is formed around the position where the combustible gas (12) is injected onto the workpiece surface (11), the nozzle It is possible to cut the metal material by relatively moving (20) and the workpiece (10) in an arbitrary direction. However, in the structure in which the combustible gas (12) and the laser beam (23) pass coaxially through the nozzle (20), fluctuations in the pressure of the combustible gas supplied into the nozzle (20) are collected. Since variable deformation is given to the optical lens (29), the focal position (22) of the laser beam (23) changes randomly, making it difficult to control the preheating temperature.
[0006]
If a window that can transmit the laser beam (23) and can withstand the gas pressure is provided above the nozzle, deformation of the condenser lens (29) due to the gas pressure can be suppressed. The laser beam (23) is attenuated by reflection and transmission of the laser beam (23). Further, since the focused laser beam (23) having a high energy density passes through this window, the window is thermally expanded by the energy absorbed by the window to cause a lens effect, and the focal position (22) of the laser beam (23) is also produced. ) Will cause a problem.
[0007]
In the above-described prior art shown in FIG. 7, the preheating laser beam (23) has its axis (23 ') cut in the cutting direction (28) with respect to the longitudinal axis (20 ") of the nozzle (20). ), The workpiece surface (11) is irradiated as an elliptical beam spot. Therefore, it is necessary to control the movement of the irradiation position of the preheating laser beam (23) in accordance with the change in the cutting progress direction (28). is there.
[0008]
The present invention has been made in view of the above-described problems, and is provided with an optical system for condensing a laser beam capable of forming a substantially annular preheating region on the entire circumference of the cutting portion, and is injected into the preheating region. An object of the present invention is to provide a processing head of a laser processing apparatus which is provided so that the pressure of oxygen gas to be applied does not reach the optical system and is capable of cutting with high accuracy in an arbitrary direction.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the processing head of the laser processing apparatus according to claim 1 ignites the surface of the metal material moving relative to the processing head of the laser processing apparatus below the melting temperature of the metal material. In an apparatus for preheating to a combustion temperature and injecting an oxygen gas jet into a preheating region preheated to the temperature to cut the metal material, a laser beam introduced into the housing of the processing head is used as a light beam of the laser beam. A conical reflecting mirror reflecting in the center of the axis is provided in the housing, and an annular concave mirror capable of converging reflected light from the reflecting mirror at a position above the surface of the metal material is provided facing the reflecting mirror. A plurality of laser beam passage holes through which the laser beam from the concave mirror can pass are provided at the bottom of the housing, and cooling means for cooling the bottom of the housing is provided. And a gas jet injection nozzle capable of injecting a jet of oxygen gas coaxially with the optical axis center of the laser beam at the bottom of the housing, and a gas chamber communicating with the gas jet injection nozzle and a gas supply pipe It is provided at the bottom of the housing .
[0010]
The processing head of the laser processing apparatus according to claim 2 is the processing head of the laser processing apparatus according to claim 1, wherein the annular concave mirror is divided into a plurality of concave mirrors. in accordance with the position of the laser beam reflected from those formed by providing a laser beam passage hole in the housing bottom.
[0012]
[Action]
By using the processing head of the laser processing apparatus according to claim 1, it is possible to form a substantially annular preheating region on the front periphery of the cutting processing portion, and the pressure of the oxygen gas injected into the preheating region is the optical It does not reach the system. In addition, the heat absorbed by the portion of the housing to which the concave mirror is not attached can be quickly removed, and the pressure fluctuation of the gas injected from the gas jet injection nozzle can be reduced .
[0013]
By using the processing head of the laser processing apparatus according to the second aspect, when a part of the concave mirror is damaged, only the damaged concave mirror can be replaced.
[0015]
【Example】
Next, an embodiment of a processing head of a laser processing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an embodiment of a processing head of a laser processing apparatus, and FIG. 2 is a perspective view of the processing head.
[0016]
Now, referring to FIGS. 1 and 2, the housing 3 of the machining head 1 is formed in a hollow cylindrical shape having a bottom 5, and a laser introduced into the inside of the housing 5 is formed on the bottom 5 of the housing 3. A conical reflecting mirror 9 for reflecting the beam 7 at the center of the optical axis is provided.
[0017]
Further, an annular concave mirror 15 capable of converging the reflected light from the reflecting mirror 9 at an upper position d of the surface 13 of the metal material 11 serving as a workpiece is provided facing the reflecting mirror 9. A plurality of laser beam passage holes 17 through which the laser beam 7 ′ reflected by the annular concave mirror 15 can pass are provided in the bottom portion 5 of the housing 3.
[0018]
Further, a gas jet injection nozzle 25 capable of injecting a jet 23 of oxygen gas 21 coaxially with the optical axis center 19 of the laser beam 7 is provided at the bottom 5 of the housing 3. A gas chamber 29 connected to a gas supply line 27 for oxygen gas 21 is provided at the bottom 5 of the housing 3 where the gas jet injection nozzle 25 is provided.
[0019]
An annular coolant channel 31 for cooling the housing 3 is provided in the cylindrical portion of the housing 3 where the annular concave mirror 15 is provided. A coolant supply port 33 for supplying the coolant to the annular coolant channel 31 and a coolant discharge port 35 for discharging the coolant are provided at appropriate positions.
[0020]
In the above configuration, the laser beam 7 introduced from the laser light source (not shown) into the housing 3 is annularly provided around the conical reflector 9 provided at the center of the optical axis of the laser beam 7. Reflected by the concave mirror 15. Then, the laser beam 7 ′ reflected again by the concave mirror 15 passes through a plurality of laser beam passage holes 17 provided in the bottom portion 5 of the housing 3, and is irradiated onto the surface 13 of the metal material 11 serving as a workpiece. become. At this time, since the focal point of the concave mirror 15 is provided so as to converge at an upper position d of the surface 13 of the metal material 11, a preheating region in which the laser beam 7 'is diffused substantially annularly on the surface 13 of the metal material 11. 37 will be formed.
[0021]
And the preheating area | region 37 of the surface 13 of the metal material 11 used as a workpiece is preheated to the ignition combustion temperature below the melting temperature of the metal material by laser beam 7 '. For example, in the case of SPC of a cold-rolled steel sheet, the ignition combustion temperature is about 1,200 ° C., and if the input energy to the preheating region 37 of the surface 13 of the metal material 11 is about 4 to 5 kW, the depth is 0.5 mm. It is possible to preheat to 1,200 ° C. within a few seconds.
[0022]
Alternatively, even in the case of using the laser output number kW, so as to have a power density of 6W / mm 2 ~90W / mm 2 in the surface of the material according to the material, by choosing the amount defocusing from the focal position of the laser, The above conditions can be preheated. In an experiment conducted with one conventional laser beam, the power density was about 30 W / mm 2 .
[0023]
As described above, the preheating region 37 of the surface 13 of the metal material 11 is preheated to an ignition combustion temperature equal to or lower than the melting temperature of the metal material, and at the same time, oxygen gas having a pressure of 4 to 20 Bar (about 0.4 MPa to 2 MPa) is injected. The metal material 11 to be processed can be cut in any direction by moving the metal material 11 relative to the processing head while spraying from 25 to the cutting portion 39 of the surface 13 of the metal material 11. Is possible.
[0024]
Note that the gas chamber 29 provided in the vicinity of the gas jet injection nozzle 25 is always supplied with a larger amount of oxygen gas than the amount consumed by the gas jet injection nozzle 25 and stored under pressure. Therefore, it is possible to inject oxygen gas at a stable pressure with little pressure fluctuation with respect to the set pressure.
[0025]
The apex angle of the conical reflecting mirror 9 is 90 degrees, but an appropriate apex angle can be selected depending on the diameter of the laser beam 7 to be used. For example, FIG. 3 shows an example in which the reflector 9 having a vertex angle of 30 degrees is used when the diameter of the laser beam 7 is small. FIG. 4 shows an example in which the reflector 9 having a vertex angle of 120 degrees is used when the diameter of the laser beam 7 is large. Naturally, if the apex angle of the reflecting mirror 9 is reduced, the width of the reflected laser beam 7 'is increased, and the way of condensing has a considerable effect on the short focus lens, and conversely the apex angle of the reflecting mirror 9 is increased. As a result, the width of the reflected laser beam 7 'is reduced, so that the function of the long focus lens is considerable. In addition, the size of the concave mirror is used in accordance with the width of the reflected laser beam.
[0026]
Further, even if the concave mirror 15 is divided into a plurality of concave mirrors instead of an integral concave mirror, the same action and effect can be obtained.
[0027]
【The invention's effect】
As can be understood from the above description, according to the first aspect of the present invention, it is possible to form a substantially annular preheating region around the entire periphery of the cutting portion, and oxygen injected into the preheating region. The gas pressure does not reach the optical system. Accordingly, by moving the metal material relative to the processing head, the metal material can be cut in any direction, and the pressure of oxygen gas does not reach the optical system, so the preheating region due to thermal deformation of the optical system. Temperature fluctuations are less likely to occur. In addition, since the heat absorbed by the portion of the housing where the concave mirror is not attached can be quickly removed, there is no need to worry about the thermal effect on the optical system .
[0028]
According to the invention described in claim 2, when a part of the concave mirror is broken, there is an advantage that only the broken concave mirror can be replaced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows an embodiment of a processing head of a laser processing apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of an embodiment of a processing head of a laser processing apparatus according to the present invention.
FIG. 3 shows an example in which a conical reflecting mirror having an apex angle of 90 degrees is used as the conical reflecting mirror in the embodiment of the processing head of the laser processing apparatus according to the present invention.
FIG. 4 shows an example in which a conical reflecting mirror having an apex angle of 120 degrees is used as the conical reflecting mirror in the embodiment of the processing head of the laser processing apparatus according to the present invention.
FIG. 5 is an enlarged view showing a positional relationship between a preheating region on the surface of a metal material and a cut portion.
FIG. 6 shows an example of the prior art.
FIG. 7 shows another embodiment of the prior art.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing head 3 Housing 5 Bottom 7, 7 'Laser beam 9 Reflective mirror 11 Metal material 13 Surface 15 Concave mirror 17 Laser beam passage hole 19 Optical axis center 21 Oxygen gas 23 Jet 25 Gas jet injection nozzle 27 Gas supply line 29 Gas chamber 31 Coolant flow path 33 Coolant supply port 35 Coolant discharge port 37 Preheating area 39 Cutting section

Claims (2)

レーザー加工装置の加工ヘッドに対して相対的に移動する金属材料の表面を該金属材料の融解温度以下の発火燃焼温度まで予熱し、酸素ガスのジェットを前記温度に予熱された予熱領域に噴射して前記金属材料を切断する装置において、前記加工ヘッドのハウジング内部に導入されたレーザービームを該レーザービームの光軸中心において反射する円錐状の反射鏡を前記ハウジング内に設け、該反射鏡からの反射光を前記金属材料の表面の上方位置に収束可能な円環状の凹面鏡を前記反射鏡に対向させて設け、該凹面鏡からのレーザービームが通過可能な複数のレーザービーム通過孔を前記ハウジングの底部に設け、該ハウジングの底部を冷却する冷却手段を設けると共に、該ハウジング底部に前記レーザービームの光軸中心と同軸に酸素ガスのジェットを噴射可能なガスジェット噴射ノズルを設け、該ガスジェット噴射ノズルとガス供給管路とに連通するガスチャンバーを前記ハウジング底部に設けたことを特徴とするレーザー加工装置の加工ヘッド。The surface of the metal material that moves relative to the processing head of the laser processing apparatus is preheated to an ignition combustion temperature that is equal to or lower than the melting temperature of the metal material, and an oxygen gas jet is injected into a preheated region that is preheated to the temperature. In the apparatus for cutting the metal material, a conical reflecting mirror that reflects the laser beam introduced into the housing of the processing head at the center of the optical axis of the laser beam is provided in the housing. An annular concave mirror capable of converging reflected light at a position above the surface of the metal material is provided facing the reflecting mirror, and a plurality of laser beam passage holes through which the laser beam from the concave mirror can pass are provided at the bottom of the housing to provided with a cooling means for cooling the bottom of the housing, the laser beam of the optical axis center coaxial to the oxygen gas in the housing bottom Processing head of the jet provide a jettable gas jetting nozzle, the laser processing apparatus, wherein a gas chamber communicating with the said gas jet nozzle and a gas supply conduit provided in the housing bottom. 請求項１に記載のレーザー加工装置の加工ヘッドにおいて、前記円環状の凹面鏡を複数に分割して設け、該複数に分割して設けた凹面鏡から反射されるレーザービームの位置に合わせてレーザービーム通過孔を前記ハウジング底部に設けたことを特徴とするレーザー加工装置の加工ヘッド。 2. The processing head of the laser processing apparatus according to claim 1, wherein the annular concave mirror is divided into a plurality of parts, and the laser beam passes in accordance with the position of the laser beam reflected from the plurality of concave mirrors. A machining head of a laser machining apparatus, wherein a hole is provided in the bottom of the housing .
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