JP3614268B2 - Flexure strain correction system for hard disk suspension - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はハードディスクドライブ用サスペンション等に用いられるフレキシャの静的ロール角或いはピッチ角を修正するための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ハードディスクドライブのサスペンションの技術に於ては、ハードディスクの容量の増大に伴い、スライダとディスクとの間のすき間を定めるFH(Fly Height)を一定の低い値に保持する必要が生じてきた。そのために、負圧スライダの使用や、組み付け作業の高精度化を行ってきたが、より一層フレキシャの高精度化が求められている。例えば、特開昭55−22296号公報には、ロードビームに衝当するべきディンプルをフレキシャに設け、アクセス用ヘッドをロール及びピッチ方向に変位可能に保持する構成が開示されているが、ロール特性をより一層改善することが望まれる。特に、近年ピコスライダと呼ばれる1(W)×1.25(L)×0.3(D)(mm)のオーダの小型のスライダを用いるようになると、得られる揚力が小さく、FHを安定化することが一層困難となることが問題となっている。
【0003】
このようなハードディスク用サスペンションに於いては、読み書き用のヘッドのフライハイトを好適にかつ安定して制御するために、フレキシャの形状及び寸法を正確に制御しなければならない。フレキシャに僅かなロール或いはピッチ方向のひずみがあった場合、スライダにトルクが働き、これがフライハイトの安定な制御に対して悪影響を及ぼす。特に、サスペンションの製造過程に於いては、様々な部品をロードビームに装着する工程があり、その間にサスペンション特にフレキシャに対して様々な外力を及ぼし、当初はひずみのないフレキシャであっても、最終的には±0.5度といった極めて厳しい公差を満足できない場合も生じ得る。特に、スライダの小型化に伴い、ロール方向のひずみがフライハイトに与える影響が大きくなることが知られている。
【0004】
そこで従来から、ロードビームをねじることによりフレキシャのゆがみを補償する方法が知られているが、フレキシャに対する支持荷重も変化することから、改めて荷重修正の工程が必要となる。また、サスペンションのもう1つの重要特性である共振特性は、ロードビームの形状に依存する。従ってロードビームによる修正は、その共振特性にも悪影響を与えてしまう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来技術の問題点に鑑み、本発明の主な目的はロードビームに対して力を加えることなしに、フレキシャのロール角を修正する事の出来る装置を提供することにある。
【0006】
本発明の第2の目的は、通常の製造過程に際して生産効率低下などの不具合を生じることなく、フレキシャのロール角を容易に修正することの出来る装置を提供することにある。
【0007】
本発明の第3の目的は、ロール角と共に静的なピッチ角の修正も可能な装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記した目的は本発明によれば、ロードビ−ムの先端部に取り付けられたフレキシャを有し、両部分のいずれかに設けられたディンプルを介して前記フレキシャを前記ロードビームに対して支持してなるハードディスク用サスペンションに於けるフレキシャのひずみを修正するための装置であって、ロードビームの基端部を保持するクランプ部と、軸線方向及び左右方向に変位可能にかつ前記フレキシャの先端部の一方の面に当接するべく配置された第1の修正ロッドと、軸線方向及び左右方向に変位可能にかつ前記フレキシャの先端部の他方の面に当接するべく配置された第2の修正ロッドと、前記両修正ロッドによって前記フレキシャに対してロール方向の偶力を与えるべく前記両修正ロッドを駆動するための手段と、前記修正ロッドの軸線方向変位を検出するための手段と、前記修正ロッドに加わる軸線方向負荷を検出するための手段と、前記両修正ロッドによって前記フレキシャに対して偶力を加えるように前記両修正ロッドの軸線方向変位を制御するための手段とを有することを特徴とする装置を提供することにより達成される。
【0009】
このようにしてフレキシャに対して純粋な偶力を加えることが出来るため、ロードビーム即ちディンプルに対して荷重を加えることなしにロール方向のひずみ即ち静的ロール角の修正を行うことが出来る。
【0010】
更に、フレキシャの左右の点に対して偶力を加えることによりロール角の修正をするばかりでなく、前記第1及び第2のロッドを、それぞれ前記ディンプルに対して軸線方向に略整合する前記フレキシャの先端部位置に当接するべき位置に移動可能とすれば、フレキシャの中心部にかつ片側のみから荷重を加えることによりフレキシャのピッチ角も修正することが出来る。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な実施形態について添付の図面を参照して詳しく説明する。
【0012】
図1は、本発明が適用された典型的なフレキシャ(Flexure)支持構造を示すもので、比較的な剛性の高いロードビーム1の遊端に、可撓性に富むフレキシャ2の一端を接合し、フレキシャ2に切り抜かれた舌片3に磁気ヘッド等のアクセスヘッドが固着される。ロードビーム1及びフレキシャ2は、適切な特性を有する任意の金属材料からなるものであってよいが、ステンレス鋼(SUS)からなるのが一般的である。図2に示されるように、ロードビーム1にはディンプル5と呼ばれる、通常0.25mm程度の半径を有する球面状の突起が設けられており、それによって、ディスク面にヘッド4がアクセスする際に、ヘッド4のピッチ方向の運動(図2)及びロール方向の運動(図3)を許容するように、フレキシャ3の背面を支持している。然るに、アクセスヘッドの読み書き位置6が、ヘッド4の一方の側に配置されており、アクセスヘッド4がフライングしているときの姿勢がFHに対して大きな影響を及ぼす。特に、アクセスヘッドのロール方向の運動がFHに大きな影響を与えることが知られている。
【0013】
図4は、本発明に基づく装置を単純化して示す斜視図で、固定されたベース10に開口10aが設けられている。開口10aの後方にはサスペンションの基端部即ちロードビーム1の基端部をクランプするためのクランプ部12が設けられ、サスペンションの先端部即ちフレキシャ2の先端部が、前記開口10aを臨むようにサスペンションの基端部がクランプ部12により支持されている。
【0014】
サスペンションのピッチ及びロール角は通常荷重状態位置で測定され、また、荷重状態の方が外力に対しても安定であるため、修正時は図5に示すようにフィクスチャ11で荷重状態位置に保っている。
【0015】
開口10aの上方には、修正ロッド14がロードセル16を介してY軸ステージ18に取り付けられ、Y軸ステージ18は、Z軸ステージ20に対してY軸方向即ち前後方向に変位することが出来る。一方Z軸ステージ20は、X軸ステージ22に対して上下方向即ちZ軸方向に変位可能であり、同じくX軸ステージ22は、固定されたステージ取付板24などの固定フレームに対して左右方向即ちX軸方向に変位可能に支持されている。
【0016】
固定ベース10の下側には、上記したものと同様な構造が配置されており、その修正ロッド14が、前記開口10aの下側からサスペンション1の先端部に当接するように突入している。
【0017】
更に、この構造の前方には固定柱26に取り付けられた鏡筒28が設けられ、修正ロッド14がフレキシャ2に当接する位置を正確に計測し得るようにしてある。即ち、鏡筒28は、フレキシャの先端部を拡大して観測し得るように固定されている。それにより、鏡筒28によりディンプルに照準を合わせ、次に左右の修正ロッド14がフレキシャに当接する位置に照準が合うまで鏡筒28をX軸方向に変位させ、その変位量から修正ロッド14の左右方向位置を求めることができる。また、上下の修正ロッド14の軸を合わせておき、それをX軸ステージ22でディンプル中心に調整した上で、上下のX軸ステージ22を同距離互いに相反する方向に移動させることで、ディンプルを中心にしてトルクを与えることができる。
【0018】
図6は、この装置の機能的な構成を示すもので、ロードセル16により検出されたひずみ量は、動ひずみアンプ34を介してAD変換器36に送られ、デジタル化されたひずみデータは、コンピュータ38に供給される。一方、修正ロッド14のX方向及びZ方向の変位は、2軸コントローラ30、32を介して、同じくコンピュータ38に供給される。
【0019】
このような構成により、フレキシャの上下に、かつまたディンプルから左右方向にほぼ等距離に修正ロッドを配置して各Z軸ステージを同速度で移動させることにより、フレキシャに偶力を加え、フレキシャをねじることが出来る。その結果、フレキシャのスプリングバックを考慮した所定のねじり変位をフレキシャに対して与えることにより、所望の永久変形路即ち修正量を確保する事が出来る。この場合、与えられたねじり変位に対する永久ねじり変形をテーブル化し、一回の修正動作により、所望量の修正ができるようにしておくとよい。また、測定に際して、修正ロッドがフレキシャに当接する瞬間は、ロードセルの検出値の急変する時点として検出することができ、その時点から、修正ロッドのZ軸方向の変位を制御すればよい。
【0020】
このようにしてロードビームに対して荷重を与えること無しに、ロール方向にフレキシャをねじって、静的ロール角を修正することが出来る。また、逆方向にねじって修正する必要がある場合には、上下の修正ロッドを各X軸ステージと共に左右方向に入れ替えればよい。また、フレキシャのピッチ角を修正したい場合には、図4に想像線により示したように修正ロッド14′をディンプルの前方かつフレキシャの略左右中心位置に配置し、上下いずれか一方の方向からフレキシャに対して変位を与えることにより、同様に静的ピッチ角を修正することが出来る。この場合、偶力でフレキシャにねじることが出来ないため、ロードビーム或いはディンプルに力が作用することが避けられないが、この場合にはその力が1.5gf以下の小さいものであるため、ロードビームに変形が残るようなことはない。また、修正時はフィクスチャにて荷重状態位置で保持されており、その荷重値は最低でも2.5gf以上あるので、修正中にロードビームが動くことはない。静的ピッチ角及びロール角を修正する場合、フレキシャの変形部に熱風を吹きかけることにより、修正量を増加させることが出来る。
【0021】
また、本発明によれば静的ロール角及び静的ピッチ角を他の部分に対して影響を及ぼすことなく個別に修正することが出来るため、図7に示されるように既設の製造ラインに於ける様々な工程(ST1)を経た後、荷重を従来のように修正し(ST2)、次に静的ロール角の修正を行い(ST3)更に静的ピッチ角の修正を行う過程(ST3)を付加することができる。そのため、製造ラインに於けるタクト時間に影響を及ぼすことなく、修正工程を、製造設備にそのまま組み込むことが可能である。また、従来であれば共振特性の変化から一定以上の修正が出来ない等の制約があったが、本発明によればそのような制約がないことから、フレキシャ或いはサスペンションの製造歩留まりを向上させることができる。
【0022】
【発明の効果】
このように、ロードビーム即ちディンプルに対して荷重を加えることなしにロール方向のひずみ即ち静的ロール角の修正を行うことが容易に可能となり、製造工程の簡素化及びハードディスクの高性能化及び高信頼性化に大きく寄与することができる。また、修正量が大きい場合も対処可能であることから、サスペンションの製造歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用された磁気ディスクサスペンションの構造を示す分解斜視図である。
【図2】図1の要部を示す縦断面図である。
【図3】図1の要部を示す横断面図である。
【図4】本発明に基づく修正装置の一実施例を単純化して示す模式的斜視図である。
【図5】フィクスチャにてサスペンションを荷重状態位置に保持した状況を示す要部拡大斜視図である。
【図6】図4の装置の機能的構成を示すダイヤグラム図である。
【図7】サスペンションの製造過程に対する修正工程の関係を示すフロー図である。
【符号の説明】
1 ロードビーム
2 フレキシャ
3 舌片
4 ヘッド
5 ディンプル
10 固定ベース
10a 開口
11 フィクスチャ
12 クランプ部
14 修正ロッド
16 ロードセル
18 Y軸ステージ
14 傾斜ステージ
20 Z軸ステージ
22 X軸ステージ
24 ステージ取付板
26 柱
28 鏡筒[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for correcting a static roll angle or pitch angle of a flexure used in a suspension for a hard disk drive or the like.
[0002]
[Prior art]
In the hard disk drive suspension technology, as the capacity of the hard disk increases, it has become necessary to keep FH (Fly Height), which defines the clearance between the slider and the disk, at a constant low value. For this purpose, negative pressure sliders have been used and the accuracy of assembling work has been improved, but higher accuracy of flexures has been demanded. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-22296 discloses a configuration in which dimples that strike a load beam are provided in a flexure and an access head is held so as to be displaceable in the roll and pitch directions. It is desired to further improve the above. In particular, when a small slider of the order of 1 (W) × 1.25 (L) × 0.3 (D) (mm) called a pico slider is used in recent years, the lift force obtained is small and the FH is stabilized. The problem is that it becomes more difficult.
[0003]
In such a hard disk suspension, the shape and dimensions of the flexure must be accurately controlled in order to suitably and stably control the fly height of the read / write head. When the flexure has a slight roll or pitch distortion, a torque acts on the slider, which adversely affects the stable control of the fly height. In particular, in the suspension manufacturing process, various parts are mounted on the load beam, and during that time various external forces are applied to the suspension, especially the flexure. In some cases, extremely tight tolerances such as ± 0.5 degrees cannot be satisfied. In particular, it is known that the effect of strain in the roll direction on fly height increases as the slider becomes smaller.
[0004]
Therefore, a method for compensating for flexure distortion by twisting a load beam is conventionally known. However, since the support load for the flexure also changes, a process for correcting the load is required again. The resonance characteristic, which is another important characteristic of the suspension, depends on the shape of the load beam. Therefore, the correction by the load beam adversely affects the resonance characteristics.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In view of the problems of the prior art, a main object of the present invention is to provide an apparatus capable of correcting a roll angle of a flexure without applying a force to a load beam.
[0006]
A second object of the present invention is to provide an apparatus capable of easily correcting the roll angle of a flexure without causing problems such as a decrease in production efficiency during a normal manufacturing process.
[0007]
A third object of the present invention is to provide an apparatus capable of correcting a static pitch angle together with a roll angle.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, the above-described object has a flexure attached to the tip of the load beam, and supports the flexure with respect to the load beam through dimples provided in either part. An apparatus for correcting distortion of a flexure in a hard disk suspension comprising: a clamp portion that holds a base end portion of a load beam; one of one end of the flexure that is displaceable in an axial direction and a left-right direction A first correction rod arranged to abut against the surface of the flexure; a second correction rod arranged to abut on the other surface of the tip of the flexure and displaceable in the axial direction and the left-right direction; Means for driving the correction rods to apply a couple in the roll direction to the flexure by the correction rods; Means for detecting a linear displacement; means for detecting an axial load applied to the correction rod; and an axial direction of the correction rods so as to apply a couple to the flexure by the correction rods. This is achieved by providing a device characterized in that it comprises means for controlling the displacement.
[0009]
Since a pure couple can be applied to the flexure in this way, the distortion in the roll direction, that is, the static roll angle can be corrected without applying a load to the load beam or dimple.
[0010]
In addition to correcting the roll angle by applying a couple of forces to the left and right points of the flexure, the flexure that substantially aligns the first and second rods in the axial direction with respect to the dimple, respectively. If it is possible to move to a position where it should come into contact with the position of the tip of the flexure, it is possible to correct the pitch angle of the flexure by applying a load to the central portion of the flexure from only one side.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0012]
FIG. 1 shows a typical flexure support structure to which the present invention is applied. One end of a
[0013]
FIG. 4 is a perspective view schematically showing the apparatus according to the present invention, and an opening 10 a is provided in a
[0014]
The pitch and roll angle of the suspension are normally measured at the load condition position, and the load condition is more stable against external force. Therefore, when the correction is made, the
[0015]
Above the opening 10 a, the
[0016]
A structure similar to that described above is disposed on the lower side of the
[0017]
Further, a
[0018]
FIG. 6 shows the functional configuration of this apparatus. The amount of strain detected by the
[0019]
With such a configuration, the correction rods are arranged at approximately the same distance from the top and bottom of the flexure and in the left-right direction from the dimple, and each Z-axis stage is moved at the same speed. Can be twisted. As a result, it is possible to secure a desired permanent deformation path, that is, a correction amount, by giving the flexure a predetermined torsional displacement considering the springback of the flexure. In this case, it is preferable to make a table of permanent torsional deformation with respect to a given torsional displacement so that a desired amount can be corrected by a single correction operation. Further, at the time of measurement, the moment when the correction rod contacts the flexure can be detected as the time when the detection value of the load cell changes suddenly, and the displacement of the correction rod in the Z-axis direction can be controlled from that time.
[0020]
In this way, the static roll angle can be corrected by twisting the flexure in the roll direction without applying a load to the load beam. In addition, when it is necessary to correct by twisting in the opposite direction, the upper and lower correction rods may be exchanged in the left-right direction together with each X-axis stage. In order to correct the pitch angle of the flexure, as shown by an imaginary line in FIG. 4, the correction rod 14 'is disposed in front of the dimple and at a substantially horizontal center position of the flexure, and the flexure is viewed from either the top or bottom. Similarly, the static pitch angle can be corrected by giving a displacement to. In this case, it is inevitable that the force is applied to the load beam or dimple because the flexure cannot be twisted by a couple of forces, but in this case, the force is small and less than 1.5 gf. There will be no deformation in the beam. Further, at the time of correction, it is held at the load state position by the fixture, and the load value is at least 2.5 gf, so that the load beam does not move during the correction. When correcting the static pitch angle and the roll angle, the correction amount can be increased by blowing hot air on the deformed portion of the flexure.
[0021]
In addition, according to the present invention, the static roll angle and the static pitch angle can be individually corrected without affecting other portions. Therefore, in the existing production line as shown in FIG. After the various steps (ST1), the load is corrected as before (ST2), the static roll angle is corrected (ST3), and the static pitch angle is further corrected (ST3). Can be added. Therefore, it is possible to incorporate the correction process as it is in the production facility without affecting the tact time in the production line. Further, in the past, there was a restriction that a certain amount of correction could not be made due to a change in resonance characteristics. However, according to the present invention, since there is no such restriction, the manufacturing yield of the flexure or suspension can be improved. Can do.
[0022]
【The invention's effect】
In this way, it is possible to easily correct the distortion in the roll direction, that is, the static roll angle, without applying a load to the load beam, that is, the dimple, thereby simplifying the manufacturing process and improving the performance and performance of the hard disk. This can greatly contribute to reliability. Moreover, since it is possible to cope with a case where the correction amount is large, the manufacturing yield of the suspension can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a structure of a magnetic disk suspension to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a main part of FIG.
3 is a cross-sectional view showing the main part of FIG. 1;
FIG. 4 is a schematic perspective view schematically showing an embodiment of a correction device according to the present invention.
FIG. 5 is an enlarged perspective view of a main part showing a state where a suspension is held at a load state position by a fixture.
6 is a diagram showing a functional configuration of the apparatus shown in FIG. 4; FIG.
FIG. 7 is a flowchart showing the relationship of the correction process to the suspension manufacturing process.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (2)
ロードビームの基端部を保持するクランプ部と、
軸線方向及び左右方向に変位可能にかつ前記フレキシャの先端部の一方の面に当接するべく配置された第1の修正ロッドと、
軸線方向及び左右方向に変位可能にかつ前記フレキシャの先端部の他方の面に当接するべく配置された第2の修正ロッドと、
前記両修正ロッドによって前記フレキシャに対してロール方向の偶力を与えるべく前記両修正ロッドを駆動するための手段と、
前記修正ロッドの軸線方向変位を検出するための手段と、
前記修正ロッドに加わる軸線方向負荷を検出するための手段と、
前記両修正ロッドによって前記フレキシャに対して偶力を加えるように前記両修正ロッドの軸線方向変位を制御するための手段とを有することを特徴とする装置。Flexure strain in a hard disk suspension having a flexure attached to the tip of the load beam and supporting the flexure against the load beam through dimples provided at either of the two portions. A device for correcting
A clamp that holds the base end of the load beam;
A first correction rod disposed so as to be displaceable in an axial direction and a left-right direction and in contact with one surface of the tip portion of the flexure;
A second correction rod disposed so as to be displaceable in an axial direction and a left-right direction and to contact the other surface of the tip portion of the flexure;
Means for driving the two correction rods to provide a roll couple to the flexure by the two correction rods;
Means for detecting an axial displacement of the correction rod;
Means for detecting an axial load applied to the correction rod;
Means for controlling the axial displacement of the two correction rods so as to apply a couple to the flexure by the two correction rods.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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