JP3601996B2

JP3601996B2 - Liner for protecting pellicle adhesive layer and pellicle having the same

Info

Publication number: JP3601996B2
Application number: JP5804399A
Authority: JP
Inventors: 愛彦永田
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1999-03-05
Filing date: 1999-03-05
Publication date: 2004-12-15
Anticipated expiration: 2019-03-05
Also published as: JP2000258896A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においてリソグラフィーを行う際に、パターンが描かれた露光原版等のゴミよけとして使用されるリソグラフィー用のペリクルの粘着層保護用に用いられるライナーおよびこのライナーを具備するペリクルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においては、シリコンウエーハなどの半導体ウエーハまたは液晶用原版上に露光原版（本明細書中ではフォトマスク、レチクル等を総称した意味で用いる）を配置し、この露光原版に光を照射してこれを透過した光によりパターンを転写すること、すなわちリソグラフィーが行われている。
【０００３】
しかしながら、このような工程において露光原版に異物（ゴミ）が付着していると、この異物が光を吸収したり光を曲げてしまうため、半導体ウエーハや液晶用原版上に転写されるパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれ、その結果、半導体用デバイスや液晶表示用デバイスの性能や製造歩留りの低下をもたらすといった問題が生じる。
【０００４】
このような問題を回避するため、通常、リソグラフィーは、クリーンルーム内で行われる。しかしながら、クリーンルーム内でも露光原版を完全に清浄に保つことは困難である。そこで、露光原版の表面に異物等が付着しないように、露光用の光を良く透過させるペリクルを装着する方法が採られている。
【０００５】
このようなペリクルについて、図３を用いて簡単に説明する。
このペリクル１は、ペリクル枠２と、このペリクル枠２の上端面に接着されたペリクル膜３とから概略構成されてなるものである。このペリクル膜３は通常ペリクル枠２の上端面に接着剤層４を介して接着される。また、ペリクル枠２の下端面には、ペリクル１を露光原版に密着させるための粘着層５が設けられ、その表面には粘着層５を保護するためのライナー６が貼り付けられている。
【０００６】
上記ペリクル１は、上述したように半導体リソグラフィーの工程で使用されるものであることから、ペリクル枠２、ペリクル膜３、粘着層５等に高い清浄性が要求される。特にペリクル膜３上の異物は直接露光にかかわる部分であることから、０．５μｍ程度の異物が付着していても問題となる。
したがって、このような異物がペリクル膜３上に存在しないことを製造工程において検査・確認する必要があり、厳密な検査が必要とされている。
【０００７】
このようなペリクル膜の検査方法としては、ペリクル枠を、ハンドリング用治具に取り付け、その治具を手で持ち、検査用の暗室に入り、集光ランプでスポットライトをペリクル膜の表面に当て、ペリクル膜に付着している異物等を目視で検査する方法等がある。
しかし、この方法では、ペリクル膜の表面やペリクル枠で反射した集光ランプのスポットライトが作業者の目に当たるため、眩しくて目に負担がかかり、目自体の健康にも悪く、長時間の検査が続けられず、作業能率が低下するとともに、異物の見落としなどが発生し、検出精度が低下する恐れがある。
【０００８】
一方、目視によらない透明体の検査方法としては、レーザー光を照射し透明体表面あるいは内部に存在する異物等からの散乱光をホトマルチプライヤーにより検出する方法、または顕微鏡を備えた電荷結合素子カメラ（以下、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメラとする場合がある。）により拡大された異物そのものを検出する方法などが行われていた。
【０００９】
しかしながら、第１の方法では、測定の再現性は極めて高いが、例えばペリクルフレーム近傍（数ｍｍ巾）部分については、フレームによるレーザー光の干渉、レーザー光の強度分布（一般にガウス分布）による分布の裾野部分のフレームによる散乱、レーザー光の回折効果等により測定が不可能であるという問題点がある。
また、第２の方法、すなわち顕微鏡を備えたＣＣＤカメラによる方法では、小さな粒子径の異物を検出するためには、顕微鏡の倍率を上げる必要があり、したがって検査に膨大な時間を要するため実用性に乏しいという問題点がある。
【００１０】
このような問題点のない方法として、高輝度ハロゲンランプ等の光源を用い、この光源からの光をペリクル膜に照射して、その透過光を高感度の電荷結合素子カメラ（以下、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメラとする場合がある。）を用いて検査する方法がある。
しかしながら、この検査方法では、ペリクル枠近傍のペリクル膜を検査しようとした場合、以下のような問題点がある。
【００１１】
すなわち、図３に示すように、ペリクル枠２の下端面には露光原版に接着するための粘着層５およびこの粘着層５を保護するためのライナー６が設けられている。このライナー６の内側の端部は、例えばペリクル収納容器内にペリクルを収納する際の位置決め等のため、ペリクル枠２の内側から突出している。したがって、このライナー６の突出部分に検査用の光が照射された場合に散乱光が発生し、この散乱光のため、ペリクル枠近傍のペリクル膜の検査が困難となるというものである。これは、透過光を目視で検査しようとする場合においても同様の問題となるものである。
このような問題を解決するために、検査用の光を透過しないライナーを用いることが検討され、実際に光を透過しないライナーも使用されてきた。
【００１２】
一方、近年この粘着層保護用のライナーに関しては、粘着層へ貼り付ける際に高い貼り付け位置精度が要求されるようになってきた。これは、ペリクルを露光原版に貼り付ける際、近年オートマウンターが用いられるようになってきたことがその理由の一つとなっている。
すなわち、このオートマウンターはペリクルを収納しているペリクル収納容器内からペリクルを把持し、所定の位置まで搬送した後、露光原版に貼り付けるのであるが、ペリクルはペリクル収納容器内で上記ライナーの内側に突出した端部により位置決めされている場合がある。したがって、この場合ライナーの粘着層上の貼り付け位置がずれていると、ペリクル収納容器内でのペリクルの位置がずれてしまい、オートマウンターがペリクルを把持することができないという問題が生じる場合がある。したがって、ライナーは、高い貼り付け位置精度で粘着層へ貼り付ける必要がある。
【００１３】
このようなライナーの粘着層への高い貼り付け位置精度を得るために、例えば図１および図２に示すような画像処理を利用したＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置が用いられている。
このライナー位置決め貼り付け装置は、複数の光源１１と、この光源１１から照射される光を検知するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２により検知された画像によりペリクル１を移動させるステージ１３とから概略構成されてなるものである。
【００１４】
上記ライナー位置決め貼り付け装置においては、まずＣＣＤカメラ１２がペリクル枠２からはみ出しているライナー６の幅を、例えばペリクル枠２の異なる６カ所の位置で計測し、それぞれの位置において均等なはみ出し幅（突出幅）となるようにステージ１３によりペリクル１を移動する。そして、ライナー６を、粘着層５上の位置決めされた位置に貼り付ける。
ここで、図１に示すように、ライナー６のはみ出し幅を均等とするためには、ペリクル枠２の外周部とライナー６の端部の位置をＣＣＤカメラ１２により検知する必要があるが、ペリクル枠２の外周部の位置を検知する場合は、光源１１から照射され、ライナー６を透過した光をＣＣＤカメラ１２により検知する必要がある。
【００１５】
このような場合に上述したような光を全く透過させないライナーを用いた場合は、上記装置による位置決めが全くできず、したがってライナーを高い貼り付け位置精度で粘着層に貼り付けることができない。
さらに、このような光を全く透過させないライナーでは、粘着層上に異物が付着したとしても、ライナーが不透明のためにライナー貼り付け後は粘着層上の異物や傷等の検査ができず、異物などが付着したまま製品として出荷されてしまうおそれがあった。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたもので、ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うことができ、かつペリクルの粘着層に高い貼り付け位置精度でライナーを貼り付けることができ、さらにライナーを貼り付けた後の粘着層上の異物等の検査も可能なペリクル粘着層保護用ライナーおよびこのライナーを具備するペリクルを提供することを主目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、請求項１において、ライナー位置決め貼り付け装置の光源から照射される光の光線透過率が１．０％以上であり、ペリクル膜上の異物を検査する際の検査光（ハロゲンランプ）照射による光線透過率が８５％以下であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナーにより上記目的を達成するようにしたものである。
このように、ペリクル粘着層保護用ライナーのライナー位置決め貼り付け装置の光源から照射される光の光線透過率が１．０％以上であり、ペリクル膜上の異物を検査する際の検査光（ハロゲンランプ）照射による光線透過率が８５％以下とすることにより、光線透過率が１．０％以上であるので、上述した画像処理を利用したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場合に、ライナーを透過する光をＣＣＤカメラが検知することが可能であり、ライナーを高い貼り付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けることができる。
また、光線透過率が８５％以下であるので、ペリクル膜上の異物等を検査する際、検査光をライナーが強く散乱することがないので、ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うことができる。
【００１８】
この場合、上記ライナーが染料を含有する樹脂製であること（請求項２）、もしくは、表面にコーティング層を有する樹脂製であること（請求項３）が好ましい。
ここで、樹脂製が好ましいのは、樹脂製であれば取り扱いが容易であり、かつ粘着層から剥離可能に貼着する際に必要な可撓性を有するためである。また、樹脂に染料を含有させるか、もしくは樹脂表面のコーティング層の厚み等を調整することにより、光線透過率を容易に１．０％〜８５％に制御することが可能であるからである。
【００１９】
さらに、請求項４に記載した発明は、上述したペリクル粘着層保護用ライナーを具備するペリクルである。
本発明のペリクルは、上述したペリクル粘着層保護用ライナーを具備するペリクルであるので、ライナーが高い取り付け位置精度で粘着層に貼り付けられており、さらにペリクル膜上の異物等の検査も容易に行うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明のペリクル粘着層保護用ライナーは、光線透過率が１．０％〜８５％であるところに特徴を有するものである。
ここで、光線透過率を１．０％以上としたのは、光線透過率が１．０％未満では、上述した画像処理を利用したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場合に、ライナーを透過する光がＣＣＤカメラで検知することができず、このためペリクル枠からはみ出すライナーの幅を測定することができないことから、ライナーを高い貼り付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けることができないからである。
【００２１】
また、光線透過率が８５％以下としたのは、光線透過率が８５％を越えると、ペリクル膜上の異物等を検査する際、検査光がライナーにより強く散乱することになり、ペリクル膜上の異物等の検査することができなくなってしまうからである。
本発明におけるより好ましいライナーの光線透過率は、上述したライナーの貼り付け位置精度およびペリクル膜上の異物等の検査の関係から、５％〜６０％の範囲内である。
【００２２】
本発明のペリクル粘着層保護用ライナーに用いられる材料としては、上記光線透過率が得られる材料であれば特に限定されるものではないが、樹脂製であることが好ましい。これは、樹脂であれば取り扱いが容易であり、かつ粘着層に剥離可能に貼着する際に必要な可撓性を有するためである。
本発明において、好ましい樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂（ＰＦＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン（ＰＰ）等を挙げることができる。
【００２３】
本発明のライナーは、上述したように光線透過率が１．０％〜８５％の範囲内である必要があるが、このような光線透過率を有するライナ−の材料としては、その材料自体が当初からこのような光線透過率を有するものであればそのまま用いることも可能であるし、透明な材料に加工・処理を施すことにより上記光線透過率の範囲に調整したものを用いてもよい。
このような透明な材料に加工・処理を施したものとしては、例えば透明な材料に染料を含有させたものを挙げることができ、好ましくは透明な樹脂に染料を含有させたものである。このように、透明な樹脂に染料を添加することにより、樹脂の光線透過率を上記光線透過率の範囲内に容易に調整することができる。
【００２４】
ここで、樹脂に含有させる染料とは、樹脂を染色するための染料のみならず透明な樹脂の光線透過率を低下させる例えば顔料等の添加剤であればいかなるものをも含むものである。このような染料としては、例えばカーボンブラック、アゾ染料、キノリン染料等を挙げることができる。
樹脂に染料を含有させる方法としては、例えば樹脂に練り込む方法等が挙げられる。
【００２５】
また透明な材料に加工・処理を施した材料の他の例としては、表面にコーティング層を有する材料を挙げることができ、好ましくは表面にコーティング層を有する樹脂等を挙げることができる。このように、透明な樹脂表面にコーティング層を形成することにより、樹脂の光線透過率を容易に上記光線透過率の範囲内に調整することができる。
このようなライナー材料表面をコーティングする方法としては、光線透過率を低下させるものであれば特に限定されるものではなく、例えば塗布、スパッタリング、蒸着等を挙げることができる。
この表面コーティング層の材料としては、例えばＳｉ、Ａｌ、ＳｉＣ、ＳｉＮ等を挙げることができ、これらを単独又は複合して用いてもよい。
【００２６】
次に、このようなライナーを具備するペリクルについて説明する。
本発明のペリクルは、例えば図３に示すように、ペリクル枠２と、このペリクル枠２の上端面に接着されたペリクル膜３とから概略構成されてなるものである。このペリクル膜３は通常ペリクル枠２の上端面に接着剤層４を介して接着される。また、ペリクル枠２の下端面には、ペリクル１を露光原版に密着させるための粘着層５が設けられ、その表面には粘着層５を保護するためのライナー６が貼り付けられている。
本発明のペリクル１は、このライナー６の光線透過率を、上述したように１．０％〜８５％の範囲内としたところに特徴を有するものである。
【００２７】
本発明のペリクルに用いられるペリクル枠の形状は、特に限定されるものではなく、円形のものでも方形のものでもよい。
またその材質も特に限定されるものではなく、例えばアルミ材に陽極酸化処理を行ったもの、ステンレスなどの金属、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、アクリル樹脂、ポリエチレンなどの樹脂、青板ガラス等の材料を挙げることができる。
ペリクル枠表面については、通常サンドブラストや化学研磨によって粗化されるが、本発明においては、このペリクル枠表面の粗化の方法について特に限定されるものではない。例えば、アルミ材を使用した場合には、カーボランダム、ガラスビーズ等によって表面をブラスト処理し、さらにＮａＯＨ等によって化学研磨を行い表面を粗化する方法等が知られている。
【００２８】
このようなペリクル枠の上端面にはペリクル膜が張設される。このペリクル膜を形成する材料としては、光をよく通過させる材料であれば特に限定されるものではないが、例えばニトロセルロース、酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース、変性ポリビニルアルコール、フッ素系ポリマーなどが好ましく、特に好ましくはフッ素系ポリマー、中でもテトラフルオロエチレンとフッ化ビニリデンとの共重合体、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとフッ化ビニリデンとの三元共重合体、テトラフルオロエチレンと環状パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モノマーとの共重合体等の非晶質フッ素系ポリマーが好ましい。
【００２９】
このような非晶質フッ素系ポリマーは、高い光線透過率を有しており、短波長から長波長領域まで広く使用することができ、耐光性も優れているからである。市販されている非晶質フッ素系ポリマーとしては、サイトップ（旭硝子（株）製、商品名）、テフロンＡＦ（デュポン（株）製、商品名）等を挙げることができる。
これらのポリマーは、ペリクル膜製造時に必要に応じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系の溶媒などで適宜溶解した後、膜が形成される。
【００３０】
本発明のペリクルには、上記ペリクル膜をペリクル枠に接着するために、通常ペリクル枠の上端面に接着剤層が設けられる。
この接着剤層に用いられる接着剤の種類については、特に制限はなく、加熱して接着を行う場合は、熱可塑性の樹脂や熱硬化性の樹脂が接着剤として用いられ、光硬化を利用して接着を行う場合は、光硬化型樹脂が接着剤として用いられる。
このような接着剤の例としては、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマー等を挙げることができ、中でもフッ素系ポリマーが好ましい。具体的には、フッ素系ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製、商品名）等を挙げることができる。
【００３１】
上記ペリクル枠の下端面にはペリクルを露光原版に接着するための粘着層が設けられる。
このような粘着層を形成する材料としては、本発明は特に限定されるものではないが、両面粘着テープ、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤等を挙げることができ、特に好ましくはシリコーン樹脂粘着剤である。
この粘着層の表面には。粘着層を保護するためのライナーが貼着されている。本発明のペリクルは、このライナーの光線透過率が１．０％〜８５％である点に大きな特徴を有するものである。このライナーについては、すでに詳述したので、ここでは説明を省略する。
なお、本発明のペリクルにおいては、ペリクル枠内周面に異物捕捉用の粘着剤をコーティングしてもよい。
上述した本発明のペリクルは、従来のペリクルが通常製造される製造方法と同様の製造方法により製造することができる。
【００３２】
【実施例】
以下、本発明を実施例と比較例とを挙げて説明する。
（実施例１）
初めに、ペリクル枠として、枠外寸１００ｍｍ×１００ｍｍ×６ｍｍ、ペリクル枠厚さ２ｍｍのアルミニウム合金製フレームを用意した。このペリクル枠を表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧１．５ｋｇのサンドブラスト装置にて１０分間表面処理し、表面を粗化した。次いで、ＮａＯＨ処理浴中にて１０秒間処理し洗浄した後、陽極酸化、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化皮膜を形成した。
【００３３】
このアルミニウム合金製のペリクル枠を純水と超音波洗浄装置を併用して、洗浄した。次いで、このペリクル枠の内周面にスプレーコーティング装置を用いて、シリコーン系粘着剤を１μｍコーティングした。
次いで、テフロンＡＦ１６００（米国デュポン社製、商品名）をフッ素系溶剤・フロリナートＦＣ−７５（米国スリーエム社製、商品名）に溶解させて濃度８重量％の溶液を調製した。
【００３４】
次に、この溶液により、直径２００ｍｍ、厚さ６００μｍの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて膜の厚みが０．８μｍの透明膜であるペリクル膜を形成した。
そして、このペリクル膜と、ペリクル製造用治具の外寸２００ｍｍ×２００ｍｍ×５ｍｍ幅、厚さ５ｍｍの枠とを、エポキシ系接着剤アラルダイトラピッド（昭和高分子（株）製、商品名）を用いて接着させた後、水中でシリコン基板面から剥離した。
【００３５】
上記アルミニウム合金製のペリクル枠の一端面にシリコーン系粘着剤を塗布し、１００℃で１０分間加熱し乾燥硬化させ、粘着層を形成した。また、このアルミニウム合金製ペリクル枠フレームの別な一端面上にフッ素系溶媒ＣＴソルブ１８０（旭硝子（株）製、商品名）に希釈したフッ素系高分子ポリマーＣＴＸ（旭硝子（株）製、商品名）を塗布し、１００℃で１０分間加熱し乾燥・硬化させ接着剤層を形成した。
【００３６】
また、別にカーボンブラックを練り込み、光線透過率を６０％としたＰＥＴ製ライナーを用意し、ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置によってペリクル枠の上記粘着層上への貼り合わせを行ったところ、正確に位置決めして貼り合わせることができた。
そして、上記テフロンＡＦ１６００のペリクル膜表面に、上記ペリクル枠の接着剤層を密着させた後、ＩＲランプにてペリクル枠を加熱してペリクル枠とペリクル膜とを融着させた。ペリクル枠とペリクル製造用治具の枠との二つの枠はペリクル枠の接着面を上向きにして固定用治具に取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクル枠の外側のペリクル製造用治具の枠を引き上げて固定し、ペリクル枠外側のペリクル膜に０．５ｇ／ｃｍの張力を加えた。
【００３７】
次いで、スカラーロボットに取り付けたカッターに、チューブ式ディスペンサを用いてフロリナートＦＣ７５（デュポン社製、商品名）を毎分１０マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクル枠の接着剤層の外周部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクル枠外側の不要なペリクル膜を切断・除去した。
完成したペリクルのペリクル膜面に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着させた。これにハロゲンランプを照射しながらペリクル枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果を表１にまとめる。
【００３８】
【表１】

【００３９】
表１から明らかなように、本実施例では上述したようにＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置によって、ペリクル枠の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせを正確に行うことができ、かつ上記異物（ポリスチレン製標準粒子）を１００％検出することができた。
【００４０】
（比較例１）
光線透過率９０％の未処理ＰＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にしてペリクルを調製した。
得られたペリクルのペリクル膜面に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着させた。これにハロゲンランプを照射しながらペリクル枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果を表１にまとめる。
表１から明らかなように、ライナー位置決め貼り付け装置によるペリクル枠の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせは正確に行うことができたが、上記異物（ポリスチレン製標準粒子）の検出率は５０％であり、ペリクル枠近傍の異物の検査には問題があった。
【００４１】
（実施例２）
光線透過率５％のＰＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にしてペリクルを調製した。
得られたペリクルのペリクル膜面に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着させた。これをハロゲンランプを照射しながらペリクル枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果を表１にまとめる。
表１から明らかなように、本実施例ではライナー位置決め貼り付け装置によってペリクル枠の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせを正確に行うことができ、かつ上記異物（ポリスチレン製標準粒子）は１００％検出することができた。
【００４２】
（比較例２）
光線透過率０．３％のＰＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にしてペリクルの製造を試みたが、ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置による粘着層上へライナーの貼り合わせにおいて、位置検出ができず正確な位置決め・貼り合わせを行うことができなかった。
【００４３】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００４４】
【発明の効果】
本発明は、光線透過率が、１．０％〜８５％であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナーである。
このように、ペリクル粘着層保護用ライナーの光線透過率を１．０％〜８５％とすることにより、光線透過率が１．０％以上であるので、上述した画像処理を利用したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場合でも、ライナーを透過する光をＣＣＤカメラが検知することが可能であり、ライナーを高い貼り付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けることができる。
また、光線透過率が８５％以下であるので、ペリクル膜上の異物等を検査する際、検査光をライナーが強く散乱することがないので、ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置により、ペリクル枠の粘着層上へライナーを貼り合わせている状態を示す説明図である。
【図２】図１に示すライナー位置決め貼り付け装置の全体を示す説明図である。
【図３】一般的なペリクルを示す断面図である。
【符号の説明】
１ … ペリクル、２ … ペリクル枠、３ … ペリクル膜、
４ … 接着剤層、５ … 粘着層、６ … ライナー、
１１ … 光源、１２ … ＣＣＤカメラ、１３ … ステージ。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to protection of an adhesive layer of a pellicle for lithography, which is used as a dust shield for a pattern-exposed master when performing lithography in the manufacture of semiconductor devices such as LSIs and VLSIs or liquid crystal display devices. And a pellicle provided with the liner.
[0002]
[Prior art]
In the manufacture of semiconductor devices such as LSIs and VLSIs or liquid crystal display devices, an exposure original (a photomask, a reticle, and the like is used in a generic sense in this specification) is formed on a semiconductor wafer such as a silicon wafer or a liquid crystal original. ), And irradiating the exposed original plate with light and transferring a pattern with the transmitted light, that is, lithography is performed.
[0003]
However, if foreign matter (dust) adheres to the exposure original in such a process, the foreign matter absorbs light or bends the light, so that the pattern transferred onto the semiconductor wafer or the liquid crystal original is deformed. In addition, the edge becomes rough and the white background becomes black and stains, impairing the dimensions, quality, appearance, etc., resulting in a decrease in the performance and manufacturing yield of semiconductor devices and liquid crystal display devices. Such a problem occurs.
[0004]
To avoid such problems, lithography is usually performed in a clean room. However, it is difficult to keep the exposure master completely clean even in a clean room. Therefore, a method has been adopted in which a pellicle that transmits light for exposure well is attached so that foreign matter or the like does not adhere to the surface of the exposure original plate.
[0005]
Such a pellicle will be briefly described with reference to FIG.
The pellicle 1 is roughly composed of a pellicle frame 2 and a pellicle film 3 adhered to an upper end surface of the pellicle frame 2. This pellicle film 3 is usually bonded to the upper end surface of the pellicle frame 2 via an adhesive layer 4. An adhesive layer 5 for bringing the pellicle 1 into close contact with the exposure master is provided on the lower end surface of the pellicle frame 2, and a liner 6 for protecting the adhesive layer 5 is attached to the surface.
[0006]
Since the pellicle 1 is used in the semiconductor lithography process as described above, high cleanliness is required for the pellicle frame 2, the pellicle film 3, the adhesive layer 5, and the like. In particular, since the foreign matter on the pellicle film 3 is a part involved in direct exposure, even if a foreign matter of about 0.5 μm adheres, there is a problem.
Therefore, it is necessary to inspect and confirm in the manufacturing process that such foreign matter does not exist on the pellicle film 3, and a strict inspection is required.
[0007]
As a method of inspecting such a pellicle film, a pellicle frame is attached to a handling jig, the jig is held in a hand, the dark room for inspection is entered, and a spotlight is applied to the surface of the pellicle film by a condensing lamp. In addition, there is a method of visually inspecting foreign substances and the like adhering to the pellicle film.
However, in this method, since the spotlight of the condenser lamp reflected by the surface of the pellicle film or the pellicle frame hits the operator's eyes, it is dazzling and burdens the eyes, and the health of the eyes themselves is poor. Is not continued, the work efficiency is reduced, and oversight of foreign matter is caused, and the detection accuracy may be reduced.
[0008]
On the other hand, as a method of inspecting a transparent body without visual observation, a method of irradiating a laser beam and detecting scattered light from a foreign substance present on the surface or inside of the transparent body by a photomultiplier, or a charge-coupled device equipped with a microscope A method of detecting a foreign substance itself enlarged by a camera (hereinafter, sometimes referred to as a CCD (Charge Coupled Device) camera) has been performed.
[0009]
However, in the first method, although the reproducibility of the measurement is extremely high, for example, in the vicinity (a few mm width) of the pellicle frame, the interference of the laser beam by the frame and the distribution of the laser beam intensity distribution (generally Gaussian distribution). There is a problem that the measurement cannot be performed due to scattering by the frame of the foot portion, diffraction effect of the laser beam, and the like.
Further, in the second method, that is, a method using a CCD camera equipped with a microscope, it is necessary to increase the magnification of the microscope in order to detect a foreign substance having a small particle diameter. There is a problem that is poor.
[0010]
As a method that does not have such a problem, a light source such as a high-intensity halogen lamp is used, a light from this light source is irradiated onto a pellicle film, and the transmitted light is transmitted through a high-sensitivity charge-coupled device camera (hereinafter, referred to as CCD (Charge In some cases, the inspection may be performed using a Coupled Device) camera.
However, this inspection method has the following problems when inspecting the pellicle film near the pellicle frame.
[0011]
That is, as shown in FIG. 3, an adhesive layer 5 for adhering to the original exposure plate and a liner 6 for protecting the adhesive layer 5 are provided on the lower end surface of the pellicle frame 2. The inner end of the liner 6 projects from the inside of the pellicle frame 2 for positioning or the like when the pellicle is stored in the pellicle storage container, for example. Therefore, when the protruding portion of the liner 6 is irradiated with light for inspection, scattered light is generated, and the scattered light makes it difficult to inspect the pellicle film near the pellicle frame. This is the same problem when the transmitted light is to be visually inspected.
In order to solve such a problem, use of a liner that does not transmit light for inspection has been studied, and a liner that does not actually transmit light has been used.
[0012]
On the other hand, in recent years, with regard to this liner for protecting an adhesive layer, high sticking position accuracy has been required when sticking to the adhesive layer. One of the reasons is that an auto mounter has recently been used when attaching a pellicle to an exposure master.
That is, this auto mounter grips the pellicle from inside the pellicle storage container storing the pellicle, transports the pellicle to a predetermined position, and affixes the pellicle to the exposure master, but the pellicle is inside the liner inside the pellicle storage container. May be positioned by the protruding end. Therefore, in this case, if the sticking position of the liner on the adhesive layer is shifted, the position of the pellicle in the pellicle storage container is shifted, which may cause a problem that the auto mounter cannot grip the pellicle. . Therefore, the liner needs to be attached to the adhesive layer with high attachment position accuracy.
[0013]
In order to obtain such high positioning accuracy of the liner on the adhesive layer, for example, a liner positioning / sticking apparatus having an image processing positioning mechanism by a CCD camera using image processing as shown in FIGS. 1 and 2 is used. Have been.
The liner positioning / sticking device is schematically composed of a plurality of light sources 11, a CCD camera 12 for detecting light emitted from the light source 11, and a stage 13 for moving the pellicle 1 based on an image detected by the CCD camera 12. It has been done.
[0014]
In the liner positioning / sticking apparatus, first, the CCD camera 12 measures the width of the liner 6 protruding from the pellicle frame 2 at, for example, six different positions of the pellicle frame 2 and, at each position, a uniform protruding width ( The pellicle 1 is moved by the stage 13 so as to have a projection width. Then, the liner 6 is affixed to the positioned position on the adhesive layer 5.
Here, as shown in FIG. 1, in order to make the protrusion width of the liner 6 uniform, the positions of the outer peripheral portion of the pellicle frame 2 and the end of the liner 6 need to be detected by the CCD camera 12, but the pellicle When detecting the position of the outer peripheral portion of the frame 2, it is necessary to detect the light emitted from the light source 11 and transmitted through the liner 6 by the CCD camera 12.
[0015]
In such a case, when a liner that does not transmit any light as described above is used, positioning by the above device cannot be performed at all, and therefore, the liner cannot be stuck to the adhesive layer with a high sticking position accuracy.
Furthermore, even in the case of such a liner that does not transmit light at all, even if foreign matter adheres to the adhesive layer, the liner is opaque. There is a possibility that the product will be shipped as a product with the components attached.
[0016]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in view of such a problem, and can easily inspect foreign substances on a pellicle film, and can attach a liner to an adhesive layer of a pellicle with high attachment position accuracy. A main object of the present invention is to provide a liner for protecting a pellicle pressure-sensitive adhesive layer which can be inspected for foreign substances on the pressure-sensitive adhesive layer after the liner is attached, and a pellicle provided with the liner.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to claim 1, The light transmittance of the light emitted from the light source of the liner positioning / sticking device is 1.0% or more, and the light transmittance by inspection light (halogen lamp) irradiation when inspecting foreign matter on the pellicle film is 85% or less. The above object is achieved by a pellicle pressure-sensitive adhesive layer protective liner, characterized in that:
Thus, the liner for protecting the pellicle adhesive layer The light transmittance of the light emitted from the light source of the liner positioning / sticking device is 1.0% or more, and the light transmittance by inspection light (halogen lamp) irradiation when inspecting foreign matter on the pellicle film is 85% or less. Since the light transmittance is 1.0% or more, the CCD camera can detect the light transmitted through the liner when the liner positioning / sticking device using the above-described image processing is used. Thus, the liner can be attached to the adhesive layer of the pellicle with high attachment position accuracy.
Also, since the light transmittance is 85% or less, when inspecting foreign matter on the pellicle film, the liner does not strongly scatter the inspection light, so that the foreign matter on the pellicle film can be easily inspected. Can be.
[0018]
In this case, the liner is preferably made of a resin containing a dye (Claim 2) or a resin having a coating layer on the surface (Claim 3).
Here, the resin is preferable because it is easy to handle if it is made of a resin and has the necessary flexibility when it is removably attached to the adhesive layer. Also, the light transmittance can be easily controlled to 1.0% to 85% by adding a dye to the resin or adjusting the thickness of the coating layer on the resin surface.
[0019]
Further, the invention described in claim 4 is a pellicle including the liner for protecting the pellicle adhesive layer described above.
Since the pellicle of the present invention is a pellicle provided with the above-mentioned pellicle adhesive layer protective liner, the liner is attached to the adhesive layer with a high mounting position accuracy, and inspection of foreign substances on the pellicle film can be easily performed. It can be carried out.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.
The pellicle pressure-sensitive adhesive layer protective liner of the present invention is characterized in that the light transmittance is 1.0% to 85%.
Here, the reason why the light transmittance is set to 1.0% or more is that if the light transmittance is less than 1.0%, the light is transmitted through the liner when the liner positioning and pasting apparatus using the above-described image processing is used. Because the light cannot be detected by the CCD camera and the width of the liner that protrudes from the pellicle frame cannot be measured, the liner cannot be stuck to the adhesive layer of the pellicle with high sticking position accuracy. is there.
[0021]
The reason why the light transmittance is set to 85% or less is that if the light transmittance exceeds 85%, the inspection light is strongly scattered by the liner when inspecting foreign substances on the pellicle film. This is because it becomes impossible to inspect foreign substances and the like.
In the present invention, the more preferable light transmittance of the liner is in the range of 5% to 60% in view of the above-described liner sticking position accuracy and inspection of foreign matter on the pellicle film.
[0022]
The material used for the pellicle pressure-sensitive adhesive layer protective liner of the present invention is not particularly limited as long as it is a material capable of obtaining the above light transmittance, but is preferably made of resin. This is because resin is easy to handle and has the necessary flexibility when it is removably attached to the adhesive layer.
In the present invention, preferred resins include, for example, polyethylene terephthalate (PET), polytetrafluoroethylene (PTFE), phenol-formaldehyde resin (PFA), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), polyvinyl chloride, polypropylene (PP) ) And the like.
[0023]
As described above, the liner of the present invention is required to have a light transmittance in the range of 1.0% to 85%. As a material of the liner having such a light transmittance, the material itself is used. As long as it has such a light transmittance from the beginning, it can be used as it is, or a material adjusted to the above light transmittance range by processing and processing a transparent material may be used.
Examples of such a transparent material processed and treated include a transparent material containing a dye, and preferably a transparent resin containing a dye. As described above, by adding the dye to the transparent resin, the light transmittance of the resin can be easily adjusted within the range of the light transmittance.
[0024]
Here, the dye contained in the resin includes not only a dye for dyeing the resin but also any additive such as a pigment which reduces the light transmittance of the transparent resin. Examples of such a dye include carbon black, an azo dye, and a quinoline dye.
Examples of a method of incorporating a dye into the resin include a method of kneading the resin.
[0025]
Another example of a material obtained by processing and processing a transparent material includes a material having a coating layer on the surface, and preferably a resin having a coating layer on the surface. Thus, by forming the coating layer on the transparent resin surface, the light transmittance of the resin can be easily adjusted within the range of the light transmittance.
The method of coating the surface of the liner material is not particularly limited as long as it reduces the light transmittance, and examples thereof include coating, sputtering, and vapor deposition.
Examples of the material for the surface coating layer include Si, Al, SiC, SiN, and the like, and these may be used alone or in combination.
[0026]
Next, a pellicle having such a liner will be described.
The pellicle of the present invention, as shown in FIG. 3, for example, is generally composed of a pellicle frame 2 and a pellicle film 3 adhered to an upper end surface of the pellicle frame 2. This pellicle film 3 is usually bonded to the upper end surface of the pellicle frame 2 via an adhesive layer 4. An adhesive layer 5 for bringing the pellicle 1 into close contact with the exposure master is provided on the lower end surface of the pellicle frame 2, and a liner 6 for protecting the adhesive layer 5 is attached to the surface.
The pellicle 1 of the present invention is characterized in that the light transmittance of the liner 6 is in the range of 1.0% to 85% as described above.
[0027]
The shape of the pellicle frame used for the pellicle of the present invention is not particularly limited, and may be circular or square.
The material is not particularly limited. For example, anodized aluminum material, metal such as stainless steel, polyacetal, polycarbonate, polymethyl methacrylate (PMMA), acrylic resin, polyethylene resin, and blue. Materials such as sheet glass can be used.
The surface of the pellicle frame is usually roughened by sandblasting or chemical polishing, but the method of roughening the surface of the pellicle frame is not particularly limited in the present invention. For example, when an aluminum material is used, a method of blasting the surface with carborundum, glass beads, or the like, and further performing chemical polishing with NaOH or the like to roughen the surface is known.
[0028]
A pellicle film is stretched on the upper end surface of such a pellicle frame. The material for forming the pellicle film is not particularly limited as long as it is a material that allows light to pass well.For example, nitrocellulose, cellulose acetate, cellulose propionate, modified polyvinyl alcohol, and a fluorine-based polymer are preferable. Particularly preferred is a fluorine-based polymer, among which a copolymer of tetrafluoroethylene and vinylidene fluoride, a terpolymer of tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene and vinylidene fluoride, and a tetrafluoroethylene and cyclic perfluoroether group An amorphous fluorine-based polymer such as a copolymer with a fluorine-containing monomer is preferred.
[0029]
This is because such an amorphous fluorine-based polymer has a high light transmittance, can be widely used from a short wavelength to a long wavelength region, and has excellent light resistance. Examples of commercially available amorphous fluorine-based polymers include Cytop (trade name, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) and Teflon AF (trade name, manufactured by Dupont Co., Ltd.).
These polymers may be used by dissolving them in a solvent as needed at the time of manufacturing the pellicle film. For example, the films are formed after being appropriately dissolved in a fluorine-based solvent or the like.
[0030]
The pellicle of the present invention is usually provided with an adhesive layer on the upper end surface of the pellicle frame in order to adhere the pellicle film to the pellicle frame.
There is no particular limitation on the type of the adhesive used for the adhesive layer, and when bonding by heating, a thermoplastic resin or a thermosetting resin is used as the adhesive, and light curing is used. In the case of performing the bonding, a photocurable resin is used as the adhesive.
Examples of such an adhesive include fluorine-based polymers such as an acrylic resin adhesive, an epoxy resin adhesive, a silicone resin adhesive, and a fluorine-containing silicone adhesive, and among them, a fluorine-based polymer is preferable. Specific examples include fluorine-based polymer CT69 (trade name, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.).
[0031]
An adhesive layer for adhering the pellicle to the exposure master is provided on the lower end surface of the pellicle frame.
As a material for forming such an adhesive layer, the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a double-sided adhesive tape, a silicone resin adhesive, an acrylic adhesive, and particularly preferably a silicone resin adhesive. Agent.
On the surface of this adhesive layer. A liner for protecting the adhesive layer is attached. The pellicle of the present invention is characterized in that the light transmittance of the liner is 1.0% to 85%. Since this liner has been described in detail, the description is omitted here.
In the pellicle of the present invention, the inner peripheral surface of the pellicle frame may be coated with an adhesive for capturing foreign matter.
The above-described pellicle of the present invention can be manufactured by the same manufacturing method as that for manufacturing a conventional pellicle.
[0032]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described with reference to Examples and Comparative Examples.
(Example 1)
First, as a pellicle frame, an aluminum alloy frame having a frame outer dimension of 100 mm × 100 mm × 6 mm and a pellicle frame thickness of 2 mm was prepared. After the surface of the pellicle frame was washed, the surface was roughened by using glass beads for 10 minutes using a sandblasting apparatus with a discharge pressure of 1.5 kg. Then, after treating and washing in a NaOH treatment bath for 10 seconds, anodizing, black dyeing and sealing treatment were performed to form a black oxide film on the surface.
[0033]
The pellicle frame made of this aluminum alloy was cleaned using pure water and an ultrasonic cleaning device together. Next, a silicone-based pressure-sensitive adhesive was coated on the inner peripheral surface of the pellicle frame at 1 μm using a spray coating device.
Next, Teflon AF1600 (trade name, manufactured by DuPont, USA) was dissolved in a fluorinated solvent, Fluorinert FC-75 (trade name, manufactured by 3M, USA) to prepare a solution having a concentration of 8% by weight.
[0034]
Next, a pellicle film as a transparent film having a film thickness of 0.8 μm was formed on the mirror-polished silicon substrate surface having a diameter of 200 mm and a thickness of 600 μm using this solution using a spin coater.
Then, the pellicle film and a frame having the outer dimensions of 200 mm × 200 mm × 5 mm width and 5 mm thickness of the pellicle manufacturing jig are formed by using an epoxy-based adhesive Aralditrapid (trade name, manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.). After being adhered to each other, they were separated from the silicon substrate surface in water.
[0035]
A silicone-based pressure-sensitive adhesive was applied to one end surface of the aluminum alloy pellicle frame, heated at 100 ° C. for 10 minutes, and dried and cured to form a pressure-sensitive adhesive layer. Also, on another end surface of the aluminum alloy pellicle frame frame, a fluoropolymer CTX (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name) diluted with a fluorine solvent CT Solve 180 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) ) Was applied, heated at 100 ° C. for 10 minutes, dried and cured to form an adhesive layer.
[0036]
Separately, a carbon liner is kneaded, a PET liner having a light transmittance of 60% is prepared, and a pellicle frame is bonded onto the adhesive layer by a liner positioning bonding apparatus having an image processing positioning mechanism using a CCD camera. As a result, accurate positioning and bonding were possible.
After the adhesive layer of the pellicle frame was brought into close contact with the pellicle film surface of the Teflon AF1600, the pellicle frame was heated by an IR lamp to fuse the pellicle frame and the pellicle film. The two frames, the pellicle frame and the pellicle manufacturing jig frame, were attached to a fixing jig with the bonding surface of the pellicle frame facing upward and fixed so as not to be relatively displaced. Next, the frame of the pellicle manufacturing jig outside the pellicle frame was pulled up and fixed, and a tension of 0.5 g / cm was applied to the pellicle film outside the pellicle frame.
[0037]
Next, while using a tube type dispenser, 10 μl of Florinert FC75 (trade name, manufactured by DuPont) was dropped on the cutter attached to the scalar robot along the outer periphery of the adhesive layer of the pellicle frame. While moving the pellicle, unnecessary pellicle film outside the pellicle frame was cut and removed.
Standard polystyrene particles having a particle diameter of 0.3 μm were attached to the pellicle film surface of the completed pellicle. While irradiating this with a halogen lamp, an area within a range of 5 mm inside the pellicle frame was inspected. The results are summarized in Table 1.
[0038]
[Table 1]

[0039]
As is clear from Table 1, in the present embodiment, the positioning and bonding of the pellicle frame onto the adhesive layer are accurately performed by the liner positioning and bonding apparatus having the image processing positioning mechanism using the CCD camera as described above. And 100% of the above foreign substances (polystyrene standard particles) were detected.
[0040]
(Comparative Example 1)
A pellicle was prepared in the same manner as in Example 1, except that an untreated PET liner having a light transmittance of 90% was used.
Polystyrene standard particles having a particle diameter of 0.3 μm were adhered to the pellicle film surface of the obtained pellicle. While irradiating this with a halogen lamp, an area within a range of 5 mm inside the pellicle frame was inspected. The results are summarized in Table 1.
As is clear from Table 1, the positioning and bonding of the pellicle frame onto the adhesive layer by the liner positioning and bonding apparatus could be performed accurately, but the detection rate of the foreign matter (polystyrene standard particles) was 50%. %, And there was a problem in inspecting foreign matter near the pellicle frame.
[0041]
(Example 2)
Light transmittance 5% of A pellicle was prepared in the same manner as in Example 1 except that a PET liner was used.
Polystyrene standard particles having a particle diameter of 0.3 μm were adhered to the pellicle film surface of the obtained pellicle. This was inspected for an area within a range of 5 mm inside the pellicle frame while irradiating it with a halogen lamp. The results are summarized in Table 1.
As is clear from Table 1, in the present embodiment, the positioning and bonding of the pellicle frame onto the adhesive layer can be accurately performed by the liner positioning and bonding apparatus, and the foreign matter (polystyrene standard particles) is 100%. % Could be detected.
[0042]
(Comparative Example 2)
Light transmittance 0.3% of A pellicle was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a PET liner was used. However, when the liner was bonded onto the adhesive layer by the liner positioning and bonding apparatus having an image processing positioning mechanism using a CCD camera, Detection was not possible and accurate positioning and bonding could not be performed.
[0043]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device having the same operation and effect can be realized by the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
[0044]
【The invention's effect】
The present invention is a liner for protecting a pellicle adhesive layer, which has a light transmittance of 1.0% to 85%.
Since the light transmittance of the liner for protecting the pellicle pressure-sensitive adhesive layer is 1.0% to 85% as described above, the light transmittance is 1.0% or more. Even when the attachment device is used, the light transmitted through the liner can be detected by the CCD camera, and the liner can be attached to the adhesive layer of the pellicle with high attachment position accuracy.
Also, since the light transmittance is 85% or less, when inspecting foreign matter on the pellicle film, the liner does not strongly scatter the inspection light, so that the foreign matter on the pellicle film can be easily inspected. Can be.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory view showing a state in which a liner is pasted on an adhesive layer of a pellicle frame by a liner positioning / pasting apparatus having an image processing positioning mechanism by a CCD camera.
FIG. 2 is an explanatory view showing the entire liner positioning / sticking apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 3 is a sectional view showing a general pellicle.
[Explanation of symbols]
1 pellicle, 2 pellicle frame, 3 pellicle film,
4 ... adhesive layer, 5 ... adhesive layer, 6 ... liner,
11: Light source, 12: CCD camera, 13: Stage.

Claims

The light transmittance of the light emitted from the light source of the liner positioning / sticking device is 1.0% or more, and the light transmittance by inspection light (halogen lamp) irradiation when inspecting foreign matter on the pellicle film is 85% or less. A liner for protecting a pellicle adhesive layer, characterized in that:

The liner for protecting a pellicle adhesive layer according to claim 1, wherein the liner is made of a resin containing a dye.

The liner for protecting a pellicle adhesive layer according to claim 1, wherein the liner is made of a resin having a coating layer on the surface.

A pellicle, comprising the liner for protecting a pellicle pressure-sensitive adhesive layer according to any one of claims 1 to 3.