JP3601860B2 - Ceramic chip dividing device - Google Patents

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Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、セラミック基板を分割してチップ電子部品の基板に用いるセラミックチップを製造するセラミックチップ分割装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図８（Ａ）は、チップ抵抗器をに用いるセラミックチップを製造する場合に用いるセラミック基板１０１の一例を示している。このセラミック基板１０１には、長手方向と直交する方向に延びる複数の分割スリットＳ…が長手方向に所定の間隔を開けて形成されている。図８（Ｂ）に示すように、通常この分割スリットＳはセラミック基板１０１の両面に対向するように形成されている。なおこの分割スリットＳ…をセラミック基板１０１の片面にのみ形成してもよいのは勿論である。このセラミック基板１０１では、分割スリットＳ…を形成した後に、セラミック基板１０１の幅方向（長手方向と直交する方向）の両側端面と、セラミック基板１０１の表面の縁部分を覆うように電極構成用導電層１０２，１０２が形成されている。なおこの電極構成用導電層１０２，１０２の構成は、任意であり、セラミック基板１０１の表面だけに形成されるものでも、表面と側面に跨がって形成されるものでも、表面と側面と裏面に跨がって形成されるものでもいずれでもよい。また電極構成用導電層１０２，１０２の構造は、導電層が１層からなる単層構造でも、複数の導電層が重ねられて形成される多層構造でもいずれでもよい。
【０００３】
このようなセラミック基板１０１からセラミックチップを形成するために、従来は図８（Ｃ）に概念的に示すようなセラミックチップ分割機構を用いている。１０３は大径の上側ローラであり、１０４は小径の下側ローラである。上側ローラ１０３は、セラミック基板１０１を下側に押すように図示しない付勢機構によって付勢されている。上側ローラ１０３の回転中心線と下側ローラ１０４の回転中心線とはセラミック基板１０１の搬送方向（矢印で示した方向）にずらされて配置されいる。上側ローラ１０３と下側ローラ１０４との間でセラミック基板１０１が挟持された状態で、下側ローラ１０４とセラミック基板１０１との対向点を支点とし上側ローラ１０３とセラミック基板１０１との対向点を力点としてセラミック基板１０１に力が加わり、分割スリットＳに沿って１個のセラミックチップが分割される。ちなみに１個のセラミックチップの縦横の寸法は、一般的に１．６×０．８ｍｍ以下である。なお図示していないが、セラミック基板１０１の搬送は主として下側ローラ１０４の上を通過するように移動する搬送ベルトによって行われる。また搬送ベルトの外に、上側ローラにガイドされて移動し、少なくともセラミック基板１０１が分割される際に搬送ベルトとの間でセラミック基板を挟み込む追従ベルトを用いている。そして搬送ベルトには、図示しないセラミック基板供給装置からセラミック基板が所定の間隔をあけて順次供給される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
セラミック基板供給装置としては、一般に市販されている自動部品供給装置が利用される。しかしながらセラミック基板供給装置から搬送ベルトに正しくセラミック基板が供給されない場合がある。その発生確率は、セラミック基板供給装置の性能によって決まるが、発生確率を零にすることは難しい。上側ローラ１０３及び下側ローラ１０４の径寸法及び材質、上側ローラ１０３の付勢力等は、搬送ベルトによって搬送されてくるセラミック基板の姿勢を予め想定して定めているため、想定しない姿勢でセラミック基板が搬送されてきた場合、分割不良が発生し、歩留まりが悪くなる。
【０００５】
本発明の目的は、搬送ベルトによって搬送されてくるセラミック基板の姿勢が予め想定した姿勢（正常な姿勢）とは異なる場合に、姿勢が異常なセラミック基板を自動的に排除した後に、分割作業を自動的に再開するセラミックチップ分割装置を提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、セラミック基板が反転して搬送されきたり、重なって搬送されてきた場合に、それらの姿勢が異常なセラミック基板を自動的に排除した後に、分割作業を自動的に再開するセラミックチップ分割装置を提供することにある。
【０００７】
本発明の別の目的は、搬送ベルトによって搬送されてくるセラミック基板の姿勢が予め想定した姿勢（正常な姿勢）とは異なる場合に、複雑な排除装置を用いることなく姿勢が異常なセラミック基板を自動的に排除した後に、分割作業を自動的に再開するセラミックチップ分割装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、姿勢が異常なセラミック基板の前に搬送されているセラミック基板を分割した後に、異常なセラミック基板を排除することができるセラミックチップ分割装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の更に他の目的は、姿勢が異常なセラミック基板を絶対に分割することがないセラミックチップ分割装置を提供することにある。
【００１０】
本発明の更に別の目的は、姿勢が異常なセラミック基板を排除中に更に姿勢が異常なセラミック基板を検出した場合には、後から検出した姿勢が異常なセラミック基板も排出できるセラミックチップ分割装置を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、姿勢が異常なセラミック基板の排除中は搬送ベルトに更にセラミック基板を供給することがないセラミックチップ分割装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明のセラミックチップの分割装置は、長手方向と直交する方向に延びる複数の分割スリットが長手方向に所定の間隔を開けて形成されたセラミック基板を搬送ベルトにより搬送する。ここで搬送ベルトは、連続生産を可能にするためには、閉ループ状に構成された無端のベルトが好ましい。搬送ベルトは、セラミック基板を搬送し得るものであれば、その材質及び構造は任意であり、コンベアのように複数の素材を連結して構成されるものも含まれる。セラミック基板を分割する際に、セラミック基板が滑らないように表面部にゴム等の摩擦抵抗の大きな材料層を形成しておくのが好ましい。
【００１３】
搬送ベルトの搬送経路中には、搬送されてきたセラミック基板を分割スリットに沿って分割する基板分割機構を配置する。基板分割機構の構成は任意であるが、上側ローラと下側ローとの間でセラミック基板を挟んで基板を分割する機構が好ましい。この場合には、搬送ベルトの上側に回転中心線が搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる大径の上側ローラを配置する。なお追従ベルトを用いる場合には、上側ローラは追従ベルトをガイドするガイドローラとしての機能も有する。上側ローラの構造は、セラミック基板の分割に用いることができるものであればどのような構造でもよいが、セラミック基板に広く力を加えるために、外周面部にはゴム等の弾力性を有する弾力層を有しているのが好ましい。上側ローラのほぼ全体を弾力性材料によって形成してもよい。外周面部に弾力層があると、分割されるセラミック基板の面に沿って上側ローラの表面部が変形するため、セラミック基板が破損するのを防止できる。
【００１４】
上側ローラは、上側ローラ支持機構によって回転自在に支持されている。上側ローラ支持機構は、上側ローラが回転中心線を中心にして回転するように支持できる構造であればいかなる構造であってもよい。なお上側ローラに案内されて搬送ベルトとの間でセラミック基板を挟む追従ベルトを用いてもよい。追従ベルトは、セラミック基板を分割する前に搬送ベルトで搬送されてきたセラミック基板を搬送ベルトと協働して挟み、分割されたセラミックチップを搬送ベルトに押し付けて、セラミックチップが飛び散らないようにする機能を有している。追従ベルトの構造は、搬送ベルトの構造と同様でよい。
【００１５】
搬送ベルトの下側には、回転中心線が搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる小径の下側ローラを設ける。この下側ローラは、下側ローラ支持機構に回転自在に支持されている。上側ローラと下側ローラの位置関係は、セラミック基板を分割できれば任意であるが、上側ローラの回転中心線と下側ローラの回転中心線とを搬送方向にずらしておくのが好ましい。ずらす方向は、上側ローラの回転中心線が下側ローラの回転中心線よりも搬送方向の前方（セラミック基板が移動していく方向）に位置するように、言い換えると下側ローラの回転中心線が上側ローラの回転中心線よりも手前側に位置するようにずらすのが好ましい。上側ローラの回転中心線と下側ローラの回転中心線とをずらす場合のずらし量（上側ローラの回転中心線を通る垂線と下側ローラの回転中心線を通る垂線との間の寸法）は、分割するセラミックチップの寸法によって定める。
【００１６】
本発明においては、セラミック基板供給装置と基板分割機構との間に、搬送ベルトにより搬送されるセラミック基板の姿勢が正常であるか否かを判定する姿勢判定装置を配置する。この姿勢判定装置は、予め想定したセラミック基板の姿勢が正常であるか否かを判定できるものであれば、どの様なセンサを用いてもよく、またどの様な構成を備えていてもよい。例えば、セラミック基板が反転しているか否かを検出する反転検出器１６や、セラミック基板が重なり合っているか否かを検出する重なり検出器１７等をセンサとして用いることができる。反転検出器１６と重なり検出器１７の二種類の検出器を用意すれば、セラミック基板がどのような状態で供給されても、安価且つ簡単にほぼセラミック基板の姿勢を正確に判定できる。またテレビカメラのビデオ信号から姿勢を判定する姿勢判定装置を用いることもできる。
【００１７】
本発明では、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると、姿勢が異常なセラミック基板が基板分割機構により分割されないように、基板分割機構を非作動状態にした後に姿勢が異常なセラミック基板を搬送ベルト２上から排除し、排除終了後に基板分割機構を作動状態に自動復帰させる基板排除機構を設ける。基板排除機構の構成は、特に限定されるものではなく、上側ローラを作動位置から非作動位置に退避させて搬送ベルトを更に送ることにより、姿勢が異常なセラミック基板を排除してもよく、またエアーノズルを搬送ベルトに隣接して配置してエアーの吹き付けにより姿勢が異常なセラミック基板を排除してもよく、また真空吸着装置により姿勢が異常なセラミック基板を排除するようにしてもよい。搬送ベルトを利用してセラミック基板の排除を行う場合には、搬送ベルトを停止させる必要はないが、エアーノズルや真空吸着装置を用いる場合には、搬送ベルトを停止させてセラミック基板の排除動作を行うのが好ましい。
【００１８】
上側ローラを作動位置から非作動位置に退避させて搬送ベルトを更に送ることにより、姿勢が異常なセラミック基板を排除する場合の基板排除機構は、例えば上側ローラ自動位置決め機構（７，８，９，１１，７１）と基板搬送阻止装置１８とから構成することができる。ここで上側ローラ自動位置決め機構は、姿勢判定装置（１６，１７）がセラミック基板の姿勢の異常を判定するまでは上側ローラ１０を作動位置（下側ローラ５と協働して基板を分割する位置）に位置させ、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると所定時間経過後に上側ローラ１０を非作動位置（搬送ベルト２から上方に離れて搬送ベルト上のセラミック基板の通過を許容する位置）に位置させ、基板排除後は上側ローラ１０を作動位置に復帰させるように構成すればよい。また基板搬送阻止装置１８は、姿勢判定装置（１６，１７）と基板分割機構（５，１０）との間に配置されて、搬送ベルト２によるセラミック基板の搬送を阻止する前進位置と搬送ベルトにおるセラミック基板の搬送を許容する後退位置との間を移動するストッパ部材１８１を備え、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると、ストッパ部材を前進位置に移動させてストッパ部材１８１より手前にあるセラミック基板の搬送を阻止し、所定時間経過後にストッパ部材１８１を後退位置に移動させるように構成すればよい。このような構成にすると、姿勢判定装置（１６，１７）がセラミック基板の姿勢の異状を判定した後に、ストッパ部材１８１が手前のセラミック基板の搬送を阻止する。ストッパ部材１８１が搬送を阻止している間、ストッパ部材の搬送方向前方に位置している正常な姿勢のセラミック基板は分割される。この正常な姿勢のセラミック基板の分割が終了した後、上側ローラ１０が非作動位置に移動するとともにストッパ部材１８１が後退位置に移動し、ストッパ部材１８１によって止められていた姿勢が異常なセラミック基板を含むセラミック基板が搬送ベルト２によって搬送されて排除される。このような構成によると、姿勢が異常なセラミック基板を排除する際に姿勢が正常なセラミック基板を排除する率が低下して、製造効率が高くなる。
【００１９】
なお多少製造効率が下がってもよいのであれば、基板搬送阻止装置１８を用いずに、上側ローラ自動位置決め機構だけで基板排除機構を構成してもい。この場合、上側ローラ自動位置決め機構は、姿勢判定装置（１６，１７）がセラミック基板の姿勢の異常を判定するまでは上側ローラ１０を作動位置に位置させ、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると上側ローラを非作動位置に位置させ、所定時間経過後に上側ローラを作動位置に自動復帰させるように動作すればよい。ここで「所定時間」とは、搬送ベルトによって少なくとも姿勢が異常なセラミック基板を排出できる時間である。なおこの場合に、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定した後に、ある一定時間が経過した後に上側ローラを非作動位置に移動させてもよい。この「一定時間」とは、姿勢判定装置と基板分割機構との間にあるセラミック基板を分割できる時間よりも短い時間にする。なおこのようにすると前述の基板搬送阻止装置１８を用いる場合と同様に、製造効率を高めることができる。しかしセラミック基板供給装置の性能によって、セラミック基板の供給状態には差が生じるため、この「一定時間」はかなり短いものとなる可能性がある。
【００２０】
上側ローラ支持機構が上側ベースに固定されていて、上側ローラが上側ベースと一緒に移動する場合には、上側ローラを移動するために上側ベースを移動させる必要がある。このような場合には、上側ローラ自動位置決め機構（７，８，９，１１，７１）に代えて上側ベース位置決め装置（８，９，７１）を用いればよい。上側ベース位置決め装置（８，９，７１）を用いた場合にも、上側ローラが移動することには変わりがなく、上側ベース位置決め装置の動作のシーケンス及び基板搬送阻止装置の動作のシーケンスは、上側ローラ自動位置決め装置を用いる場合と同じである。即ち上側ベース位置決め装置のシーケンスは、判定信号が出力された後姿勢判定装置（１６，１７）と上側ローラ１０及び下側ローラ５との間に位置するセラミック基板を分割するのに必要な第１の予め定めた時間経過した後に上側ベース７を非作動位置に移動させ、その後姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な第２の予め定めた時間経過した後に上側ベース７を作動位置に復帰させるように定める。また基板搬送阻止装置１８のシーケンスは、判定信号が出力されるとストッパ部材１８１を直ちに前進位置に移動させ、その後第１の予め定めた時間経過した後にストッパ部材１８１を後退位置に戻すように定める。
【００２１】
姿勢判定装置（１６，１７）が判定信号を出力した後に姿勢が異常なセラミック基板を排除するまでの間に更に姿勢が異常なセラミック基板を姿勢判定装置（１６，１７）の存在を判定した場合には、上側ベース位置決め装置（８，９，７１）のシーケンスを、上側ベース７が非作動位置に移動した後に第２の予め定めた時間が経過するまでに姿勢判定装置（１６，１７）が判定信号を出力すると、更に第３の予め定めた時間経過した後に上側ベース７を動作位置に復帰させるように定めればよい。なお上側ベース位置決め装置は上側ローラ自動位置決め装置の一つであるから、このシーケンスは上側ローラ自動位置決め装置を用いると考えた場合に当然使用できる。
【００２２】
搬送ベルトの搬送を利用して姿勢が異常なセラミック基板を排除する場合には、セラミック基板供給装置からのセラミック基板の供給を停止する必要は必ずしもない。しかしながらセラミック基板の排除動作を実行するにあたって、セラミック基板供給装置からのセラミック基板の供給を停止させてもよい。その場合、例えばセラミック基板供給装置は、反転検出器１６及び重なり検出器１７の少なくとも一方が検出信号を出力すると、予め定めたシーケンスに従ってセラミック基板の供給を停止した後に供給を再開するように構成すればよい。その場合のセラミック基板供給装置の動作シーケンスは、例えば検出信号が出力されると直ちにセラミック基板の供給を停止し、検出信号が出力されて前述の第１及び第２の予め定めた時間が経過した後にセラミック基板の供給を再開するように定めればよい。このようにセラミック基板供給装置を制御すると、正常でありながら排除されるセラミック基板の数を減らすことができて、製造効率を高めることができる。
【００２３】
【作用】
本発明では、セラミック基板供給装置から搬送ベルトに正しくセラミック基板が供給されていない場合には、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定する。そして基板排除機構は、姿勢が異常なセラミック基板が基板分割機構により分割されないように、基板分割機構を非作動状態にした後に姿勢が異常なセラミック基板を搬送ベルト上から排除し、排除終了後に基板分割機構を作動状態に自動復帰させる。したがって本発明によれば、セラミック基板が反転して搬送されきたり、重なって搬送されてきた場合に、それらの姿勢が異常なセラミック基板を自動的に排除した後に、分割作業を自動的に再開することができる。
【００２４】
【実施例】
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。図１は、本発明のセラミックチップ分割装置の一実施例の概略構成図であり、同図において１は装置全体を支持するための主フレームである。この主フレーム１には、ゴム製の無端の搬送ベルト２を駆動してガイドする搬送ベルト駆動ガイド機構３と、搬送ベルト２の張りを調節する第１のベルト張り調整装置４と、セラミック基板分割用の下側ローラ５を支持する下側ローラ支持機構６（図２参照）とが固定されている。また主フレーム１には、上側ベース７を上下動させる際のガイドとして用いられる一対のスライドガイド８，８と、上側ベース７の駆動源として設けられたエスケープシリンダ７１及び荷重シリンダ９とが固定されている。そして上側ベース７には、セラミック基板分割用の上側ローラ１０を支持する上側ローラ支持機構１１と、追従ベルト１２をガイドする追従ベルトガイド機構１３と、追従ベルト１２の張りを調節する第２のベルト張り調整装置１４とが取り付けられている。なお主フレーム１及び上側ベース７には、その他の機構や装置等の機器も取付けられている。
【００２５】
搬送ベルト駆動ガイド機構３は、図示しない駆動用モータによって回転駆動される駆動ローラ３１と、２つ従動ローラ３２〜３３とから構成される。これらのローラ３１〜３３は、搬送ベルト２をガイドするガイドローラを構成する。駆動ローラ３１は、図示しない主電源スイッチがオン状にある場合で、図示しない制御装置から停止信号が出力されない限り一定の回転速度で回転している。またこれらのローラ３１〜３３のうち、従動ローラ３３は搬送ベルト２の張りを調整する第１のベルト張り調整装置４のローラ支持機構によって位置調整されるテンションローラとして機能する。即ち、従動ローラ３３は、ガイドローラを構成するだけでなく、第１のベルト張り調整装置４の部品としても用いられている。
【００２６】
なお図示していないが、搬送ベルト２の手前側（矢印１５で示す搬送方向と反対の方向）には、セラミック基板を搬送ベルト２上に所定の間隔をあけて送り出すセラミック基板供給装置が配置されている。セラミック基板供給装置は、細長いセラミック基板を表面を上に向けた状態で、セラミック基板の長手方向が矢印１５で示す搬送方向に向くようにして、セラミック基板を搬送ベルト２の上に供給する。なおこの種の部品供給装置は一般に市販されているので説明は省略する。
【００２７】
第１のベルト張り調整装置４は、主フレーム１に固定された軸４１と軸４１に中間部分が回転自在に支持されたテンションアーム４２とからなるローラ支持機構と、このローラ支持機構を駆動するための駆動力を発生する駆動源としての流体シリンダ４３とを備えている。テンションアーム４２の一端には、前述の従動ローラ３３が回動自在に支持されており、他端は流体シリンダ４３の動作軸に駆動可能に結合されている。本実施例では、流体シリンダ４３としてエアーシリンダを用いている。工場内には通常エアー供給源が配置されているため、流体シリンダ４３としてエアーシリンダを用いることは容易であり、しかもエアーシリンダは制御が容易でしかも安価であるため、操作性がよく、装置全体の価格を下げることができる。
【００２８】
下側ローラ５は、超硬合金製の棒状ローラから構成される。セラミック基板から１．６×０．８ｍｍのセラミックチップを分割する場合、下側ローラの直径寸法は約３ｍｍのものを用いる。本実施例では、下側ローラ５を図２に概略的に示し、図３（Ａ）及び（Ｂ）に具体的に示した下側ローラ支持機構６によって支持している。図３（Ａ）は図２の下側ローラ支持機構６の要部正面図であり、図３（Ｂ）は図２の下側ローラ支持機構６の要部平面図である。これらの図において、下側ローラ支持機構６は、所定の間隔を開けて配置した一対のフレーム板６１，６２に両端が支持された第１及び第２の回転軸６３，６４を備えている。第１及び第２の回転軸６３，６４は、下側ローラ５の回転中心線ＣＬ１の下側に位置して下側ローラ５の回転中心線ＣＬ１の両側に配置され且つそれぞれ下側ローラ５の回転中心線ＣＬｌと平行に延びる第１及び第２の回転中心線Ｃ１及びＣ２を中心にして回転するように配置されている。
【００２９】
第１の回転軸６３には、連続して並べられた６個のベアリング６５ａ〜６５ｆが回転自在に嵌合されている。これらのベアリング６５ａ〜６５ｆはそれぞれ第１の回転軸を中心にして回動する回転体を構成し、ベアリング６５ａ〜６５ｆは全体として第１の回転部材を構成している。本実施例では、６個のベアリング６５ａ〜６５ｆを用いて１つの回転部材を構成しているが、軸線方向の寸法が長いベアリングを用いる場合には、１つのベアリングによって１つの回転部材を構成してもよい。また第２の回転軸６４には、２つのベアリング６５ｇ及び６５ｈが回転自在に嵌合されている。この２つのベアリング６５ｇ及び６５ｈは、それぞれ第２の回転部材を構成している。即ち本実施例では、１つのベアリングによって１つの第２の回転部材が構成されている。２つのベアリング６５ｇ及び６５ｈは、連続して並べられた６個のベアリング６５ａ〜６５ｆからなる第１の回転部材の長手方向（軸線方向）両側に位置するようにそれぞれ配置されている。なお本実施例においては、第１の回転軸６３とベアリング６５ａ〜６５ｆとにより第１の回転手段が構成され、第２の回転軸６４と２つのベアリング６５ｇ及び６５ｈによって第２の回転手段が構成されている。
【００３０】
第１の回転軸６３に支持されたベアリング６５ａ〜６５ｆ（複数の回転体）と第２の回転軸６４に支持されたベアリング６５ｇ及び６５ｈ（複数の回転体）の外径寸法ｒ１ 及びｒ２ とその配置構成は、ベアリング６５ａ〜６５ｈの外周面の一部が、下側ローラ５に沿い且つ下側ローラ５が回転し得るように下側ローラ５を下側から支持する支持面を形成するように定められている。本実施例においては、この考え方を具体化するために図４に示すような構成を採用している。即ち、第１及び第２の回転中心線Ｃ１及びＣ２間の寸法Ｄを、第１の回転部材（６５ａ〜６５ｆ）の半径ｒ１ と第２の回転部材（６５ｇと６５ｈ）の半径ｒ２ とを加算した値より小さく且つ第１及び第２の回転部材のそれぞれの外周面で下側ローラ５を支持し得るように定める。なお本実施例では、第１及び第２の回転部材を構成するベアリング６５ａ〜６５ｈは、直径寸法が等しい同規格のベアリングである。
【００３１】
本実施例においては、一連のベアリング６５ａ〜６５ｆの長手方向の両側にそれぞれベアリング６５ｇ及び６５ｈを配置することにより、第１の回転部材と第２の回転部材とが下側ローラ５の長手方向に交互に配置された状態を形成しているが、第１の回転軸６３に取り付けるベアリングと第２の回転軸６４に取り付けるベアリングとを交互に並ぶように、別の言い方をすると互い違いに並ぶようにして、第１の回転部材と第２の回転部材とが下側ローラ５の長手方向に交互に配置された状態を形成してもよい。
【００３２】
本実施例では、第１及び第２の回転部材をベアリングによって第１及び第２の回転軸とは別体に構成しているが、一対のフレーム板６１及び６２に両端を回転自在に支持させた第１及び第２の回転軸の外周部に第１及び第２の回転部材をそれぞれ一体に形成してもよい。即ち回転する第１及び第２の回転軸の一部が第１及び第２の回転部材を構成するようにしてもよい。
【００３３】
本実施例では、ベアリングの外周面の一部によって構成する支持面で支持した下側ローラ５が長手方向に移動するのを阻止するために、下側ローラ支持機構に、下側ローラ５の長手方向両側に位置して下側ローラの長手方向への移動を阻止する移動阻止面（Ｓ１及びＳ２）を設けている。具体的には、一対のフレーム板６１及び６２の内側側面、即ち対向面Ｓ１及びＳ２により移動阻止面を構成している。
【００３４】
上側ローラ支持機構１１は、図５に示すように、一対の支持フレーム１１１及び１１２を備えている。一方の支持フレーム１１１は上側ベース７の壁部によって構成された平板状構造を有しており、他方の支持フレーム１１２は縦断面形状が逆Ｌ字状をなす形状を有している。一対の支持フレーム１１１及び１１２の双方には一対の軸受１１３及び１１４が固定され、一対の軸受１１３及び１１４には上側ローラ１０が固定される回転軸１１５が支持されている。回転軸１１５の一端には雄ねじが形成され、この雄ねじには抜け止めナット１１６が螺合されている。このような構造によって、上側ローラ１０を支持する回転軸１１５の軸線は、搬送方向と直交する水平方向に延びる回転中心線を構成している。この回転軸１１５に支持された上側ローラ１０は、金属製の円筒体１０ａの外周に環状のゴム製の弾力層１０ｂが接合された構造を有している。弾力層１０ｂは、追従ベルト１２をガイドし且つセラミック基板を分割するのに適した弾力性を有している。
【００３５】
追従ベルトガイド機構１３は、上側ベースに回転自在に固定された第１及び第２の追従ローラ１３１及び１３２と、追従ベルト１２の張りを調節する第２のベルト張り調整装置１４のテンションローラを構成する追従ローラ１３３と、上側ローラ１０とによって構成されている。追従ローラ１３３は、上側ベース７に固定されて追従ローラ１３３を水平方向に位置調整可能に支持する図示しないローラ支持機構に支持されており、このローラ支持機構はエアシリンダからなる流体シリンダ１４１によって駆動されている。
【００３６】
なお本実施例においては、搬送ベルト２の上側に配置された上側ローラ１０と、搬送ベルト２の下側に配置されて上側ローラ１０とセラミック基板を挟むことによりセラミック基板を分割する下側ローラ５等により基板分割機構が構成されている。
【００３７】
上側ベース７をスライドガイド８，８及びエスケープシリンダ７１によって上下動させる。上側ベース７を押し上げたり下げたりするエスケープシリンダ７１もエアーシリンダによって構成されている。上側ベース７と、スライドガイド８，８と、エスケープシリンダ７１と、荷重シリンダ９と、上側ローラ支持機構１１とは、上側ローラ自動位置決め機構を構成している。この上側ローラ自動位置決め機構は、反転検出器１６と重なり検出器１７とによって構成される姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定するまでは上側ローラ１０を作動位置（下側ローラと協働してセラミック基板を分割する位置、即ち図１に示した位置）に位置させ、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると所定時間経過（第１の予め定めた時間）後に上側ローラ１０を非作動位置（下側ローラと協働してセラミック基板を分割することができない位置、即ち図１に示した位置から上に所定距離移動した位置）に位置させ、基板排除後（姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な第２の予め定めた時間経過した後）は上側ローラ１０を作動位置に復帰させるシーケンスに従って動作する。なお上側ローラ１０は、上側ベース７と一緒に移動するため、別の言い方をすると、スライドガイド８，８とエスケープシリンダ７１と荷重シリンダ９とは、上側ベース７を分割動作を行うための作動位置または分割動作を行うことができない非作動位置に位置させる上側ベース位置決め装置を構成している。このように表現した場合、上側ベース位置決め装置は、姿勢判定装置から判定信号が出力されると、予め定めたシーケンスに従って上側ベース７を非作動位置に移動させた後に上側ベース７を作動位置に復帰させるものと表現できる。
【００３８】
図１に示した上側ベース７または上側ローラ１０を下側ローラ５に向かって付勢する付勢機構が設けられている。この付勢機構は荷重シリンダ９である。
【００３９】
反転検出器１６は、搬送ベルト２上のセラミック基板が反転しているか否かを検出し、重なり検出器１７は、セラミック基板が重なり合っているか否かを検出する。これら反転検出器１６及び重なり検出器１７は、図示しないセラミック基板供給装置と基板分割機構（５，１０）との間に配置されて搬送ベルト２により搬送されるセラミック基板の姿勢が正常であるか否かを判定する前述の姿勢判定装置を構成する。反転検出器１６及び重なり検出器１７は、それぞれ搬送ベルト２に向かって光を照射し、反射してきた光の状態からセラミック基板の状態を判定するように構成されている。この種の検出器としては、例えばキーエンス株式会社が光電スイッチの名称で販売している検出器を用いることができる。
【００４０】
セラミック基板の表面には、オーバーコート等の表面処理が施されているため、表面と裏面とでは光の反射率または反射量が異なる。そこで反転検出器１６は予め定めた基準値より光の反射率または反射量が多いか少ないかにより、搬送されてきたセラミック基板が表か裏かを判定して、セラミック基板が反転している場合（裏面を上に向けている場合）を検出すると検出信号を出力する。また２枚のセラミック基板が部分的に重なった場合、基板が重なっている部分から反射される光は、他の部分から反射される光よりも強くなる。そこで重なり検出器１７は、反射してくる光の量に大きな変動があるか否かを検出し、反射光の変動量が基準値以上ある場合に、基板が重なったと判定して検出信号を出力する。
【００４１】
反転検出器１６及び重なり検出器１７から出力される検出信号は、姿勢判定装置の判定信号として、エスケープシリンダ７１及び荷重シリンダ９の図示しない駆動装置と基板搬送阻止装置１８とに入力される。荷重シリンダ９は、判定信号を受けとると、前述のシーケンスに従って動作する。なお姿勢判定装置の構成は、本実施例に限定されるものではなく、検出センサとしてカメラを用い、カメラからのビデオ信号に基づいて画像処理技術により、セラミック基板の姿勢が正常であるか異常であるかを判定して判定信号を出力するような周知の姿勢判定装置を用いてもよいのは勿論である。
【００４２】
基板搬送阻止装置１８は、姿勢判定装置（１６，１７）と基板分割機構（５，１０）との間に配置されて、搬送ベルト２によるセラミック基板の搬送を阻止する前進位置と搬送ベルト２によるセラミック基板の搬送を許容する後退位置（図１の状態）との間を移動するストッパ部材１８１を備えている。基板搬送阻止装置１８は、姿勢判定装置を構成する反転検出器１６及び重なり検出器１７の少なくとも一方が検出信号（判定信号）を出力すると、予め定めたシーケンスに従ってストッパ部材１８１を前進位置に移動させてストッパ部材１８１より手前にあるセラミック基板の搬送を阻止した後、ストッパ部材１８１を後退位置に戻すように構成されている。具体的にこのシーケンスは、判定信号が出力されるとストッパ部材１８１を直ちに前進位置に移動させ、その後第１の予め定めた時間経過した後にストッパ部材１８１を後退位置に戻すように定められている。なおストッパ部材１８１の駆動源として、エアシリンダを用いることができる。
【００４３】
本実施例においては、前述の上側ローラ自動位置決め機構と基板搬送阻止装置１８から、姿勢判定装置（１６，１７）がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると、姿勢が異常なセラミック基板が基板分割機構（５，１０）により分割されないように基板分割機構を非作動状態にした後に姿勢が異常なセラミック基板を搬送ベルト２上から排除し、排除終了後に基板分割機構を作動状態に自動復帰させる基板排除機構が構成されている。次に、この基板排除機構の動作を簡単に説明する。
【００４４】
まず図示しないセラミック基板供給装置から搬送ベルト２上に所定の間隔をあけて送り出されたセラミック基板の姿勢の異常を姿勢判定装置（１６，１７）が検出して判定信号が出力されると、基板搬送阻止装置１８はストッパ部材１８１を直ちに前進位置に移動させて、ストッパ部材１８１より手前にある（セラミック基板供給装置側または搬送方向１５と反対側にある）セラミック基板の通過を阻止する。ストッパ部材１８１が前進位置に移動した後に、第１の予め定めた時間経過するまでは、上側ローラ１０は作動位置に置かれており、その間にストッパ部材１８１と下側ローラ５との間にあるセラミック基板を分割する。第１の予め定めた時間が経過した後、基板搬送阻止装置１８はストッパ部材１８１を後退位置に戻すとともに、上側ローラ自動位置決め機構（７，８，９，１１，７１）またはベース位置決め装置（８，９，７１）は、上側ローラ１０または上側ベース７を非作動位置に移動させる。この状態でも搬送ベルト２は搬送動作を継続しているため、搬送ベルト上のセラミック基板は移動する。その後上側ローラ自動位置決め機構またはベース位置決め装置は、姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な第２の予め定めた時間経過した後に上側ローラ１０または上側ベース７を作動位置に復帰させる。この第２の予め定めた時間の間に、姿勢が異常なセラミック基板は搬送方向に移動し、図示しないセラミックチップ収容器内に落下して、搬送ベルト２上から排出される。第２の予め定めた時間が経過した後、上側ローラ自動位置決め機構（７，８，９，１１，７１）またはベース位置決め装置（８，９，７１）は、上側ローラ１０または上側ベース７を作動位置に復帰させる。これによってセラミック基板の分割作業が自動的に再開される。
【００４５】
図示しないセラミックチップ収容器内に落下した、分割されないセラミック基板は、後に「ふるい」の原理を応用した自動選別機を用いて集められて、セラミック基板供給装置に戻される。
【００４６】
本実施例においては、姿勢の異常なセラミック基板を排除している間も、セラミック基板供給装置を作動させているが、この期間セラミック基板供給装置を停止させてもよい。この場合には、セラミック基板供給装置の動作のシーケンスを、判定信号（検出信号）が出力されると直ちにセラミック基板の供給を停止し、判定信号が出力されて第１及び第２の予め定めた時間が経過した後にセラミック基板の供給を再開するように定めればよい。このようにすると姿勢が異常なセラミック基板を排出している間に更に姿勢が異常なセラミック基板が供給されるのを防止できる。姿勢が異常なセラミック基板が供給される確率は、非常に少ないため、搬送ベルト２の駆動と同様にセラミック基板供給装置を常時作動させても実質的に問題はない。しかしながらセラミック基板供給装置を常時作動させる場合に更に精度を高めるためには、例えば、姿勢が異常なセラミック基板を排出している間に（前述の第２の予め定めた時間の間に）更に姿勢が異常なセラミック基板が供給されたことを姿勢判定装置が検出した場合には、前述の第２の予め定めた時間に更に第３の予め定めた時間を加算し、この第３の予め定めた時間が経過した後に上側ベースを作動位置に復帰させるようにすればよい。
【００４７】
本実施例においては、上側ローラ１０を非作動位置に変位させて、搬送ベルト２を更に送ることにより姿勢が異常なセラミック基板を搬送ベルト上から排除しているが、姿勢が異常なセラミック基板の排除はこれに限定されるものではない。例えば、搬送ベルト２の側方から姿勢が異常なセラミック基板にエアーを吹き付けて、搬送ベル２上からセラミック基板を排除するようにしてもよい。またその他の方法により排除してもよいのは勿論である。
【００４８】
本実施例においては、基板搬送阻止装置１８を用いることにより、ストッパ部材１８１より搬送方向前方側に位置する（ストッパ部材１８１の位置を既に通過して分割機構の手前側に位置する）セラミック基板の分割を行える利点があるが、基板搬送阻止装置１８を用いずに基板排除機構を構成してもよい。基板搬送阻止装置１８を用いない場合には、姿勢判定装置（１６，１７）が判定信号を出力すると同時または一定の短い時間経過後に、上側ローラ自動位置決め機構またはベース位置決め装置を動作させて、上側ローラ１０または上側ベース７を非作動位置に移動させる。そしてその後に、上側ローラ自動位置決め機構（７，８，９，１１，７１）またはベース位置決め装置（８，９，７１）が、姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な予め定めた時間経過した後に上側ローラ１０または上側ベース７を作動位置に復帰させればよい。
【００４９】
本実施例のセラミックチップ分割装置には、下側ローラ５が下側ローラ支持機構６によって支持されているか否かを検出し、下側ローラ５が下側ローラ支持機構６によって支持されていないときには警報信号を発生する下側ローラ検出装置が設けてある。この下側ローラ検出装置は、付勢機構を構成する荷重シリンダ９によって付勢されている上側ローラ１０の位置を直接または間接的に検出する位置検出手段２２と、上側ローラ１０が予め定めた基準位置よりも下側に位置していることを位置検出手段２２が検出すると警報信号を発生する警報信号発生手段２３とから構成される。本実施例で用いる位置検出手段２２は、上側ローラ１０または上側ベース７が作動位置にあるときに、上側ベース７が基準位置より下がっているか否かを検出する。例えば、上側ベース７に反射板２２１を固定して、この反射板２２１に位置検出用センサ２２２から光を照射し、上側ベース７が基準位置より下がって反射板２２１から反射光が戻ってこなくなったことを検出して、上側ローラ１０または上側ベース７が予め定めた基準位置よりも下側に位置していると判断する。
【００５０】
位置検出手段２２の構成は実施例に限定されるものではなく、例えば位置検出手段２２をリミットスイッチを用いて構成することもできる。図６は、リミットスイッチを位置検出用センサ２２２´とする場合の構成の一例を示している。この場合には、上側ベース７に設けた支持軸２２３に一端が回動自在に固定され、中間部分が主フレーム１に固定された支持軸２２４に回動自在に固定されたアーム２２５の他端で、リミットスイッチからなる位置検出用センサ２２２´を操作する。下側ローラ５の直径寸法は小さいため、下側ローラ５が無い場合に、上側ベース７が変位する量は僅かである。そこでこの例では、アーム２２５の長さを適宜に設定することにより、上側ベース７の変位量を増幅している。このようにすると、確実に下側ローラ５の有無を検出することができる。
【００５１】
下側ローラ検出装置から警報信号が出力されているときには、セラミックチップ分割装置を停止させるかまたは非動作状態にするとともに、ブザーやランプ、または文字情報により下側ローラが無いことを表示する。
【００５２】
また本実施例では、追従ベルト１２が搬送ベルト２から離れる方向に移動した後に、搬送ベルト２または追従ベルト１２に貼り付いたセラミックチップを搬送ベルト２または追従ベルト１２からそれぞれ掻き取る第１及び第２の掻き取り器２４及び２５を備えている。これら第１及び第２の掻き取り器２４及び２５は、先端が対応するベルト２，１２と接触するスクレーパ２４１及び２５１と該スクレーパをベルトに向かって付勢するスクレーパ付勢機構とから構成される。そして各掻き取り器２４及び２５に対しては、スクレーパ２４１，２５１がベルト２，１２に接触しているか否かを検出して、接触していないことを検出すると警報信号を発生するスクレーパ接触検出器が設けられている。
【００５３】
図７（Ａ）は、第１及び第２の掻き取り器２４及び２５の取付け状態の一例を示している。なおこの例では、追従ベルト１２をガイドする追従ローラ１３２が、搬送ベルト２を駆動ガイドする駆動ローラ３１よりも、搬送方向後方に配置された変形例である。このような構成にすると、追従ベルト１２から掻き取り器２４によって掻き取ったセラミックチップを図示しないセラミックチップ収納器に直接落下させることができる。第１の掻き取り器２４は、上側ベース７に取付けられている。図７（Ａ）では、第１の掻き取り器２４が、追従ベルト１２に接触しない状態で描かれているが、実際には図示しないスクレーパ付勢機構によって付勢されて、スクレーパ２４１の先端が追従ベルト１２の表面に接触する。
【００５４】
第２の掻き取り器２５は、図７（Ｂ）に示すように、駆動ローラ３１の下側に配置されており、また第２の掻き取り器２５はスクレーパ２５１によって掻き取ったセラミックチップの落下方向を規制する落下方向規制ガード２５２及び２５３を備えている。この落下方向規制ガード２５２及び２５３は、スクレーパ２５１によって掻き取ったセラミックチップが側方（紙面の厚み方向）に飛び散らないようにセラミックチップの落下方向を規制する。図７（Ｃ）には、第２の掻き取り器２５が取付けられた主フレーム１の背面側の状態を示している。第２の掻き取り器２５は、主フレーム１に形成したガイド溝１ａに嵌合されて上下方向に移動するスライダ２５４に固定されている。このスライダ２５４は、一端が主フレーム１に固定されたバネ２５５によって常時上の方向に引っ張られている。その結果、第２の掻き取り器２５の本体が搬送ベルト２側に引っ張られて、スクレーパ２５１の先端が搬送ベルトに押し付けられる。ガイド溝１ａの斜め上側には、スライダ２５４の上端部に設けた突起部２５４ａによって駆動されるリミットスイッチ２５６が取付けられている。スクレーパ２５１が磨耗したり、外れたりした場合には、スライダ２５４が上に移動して、その突起部２５４ａがリミットスイッチ２５６をオンさせる。これによってスクレーパ２５１の磨耗や外れを検出する。リミットスイッチ２５６がオンすると、警報信号発生手段２３から警報信号が出力される。この例では、スライダ２５４、バネ２５５、ガイド溝１ａによってスクレーパ付勢機構が構成され、スライダ２５４の突起部２５４ａとリミットスイッチ２５６と、警報信号発生手段２３とによりスクレーパ接触検出器が構成されている。なお第１の掻き取り器２４に対しても、図７（Ｃ）に示した構造と同様のスクレーパ付勢機構及びスクレーパ接触検出器が設けられている。本実施例では、警報信号発生手段２３を位置検出手段２２の出力と、第１及び第２の掻き取り器２４及び２５のスクレーパ接触検出器の一部として兼用しているが、各検出手段に対して別個に警報信号発生手段を設けてもよい。またリミットスイッチ２５６の出力をそのまま警報信号として、ブザーやランブ等の表示手段を作動させ、更にその警報信号により装置を停止または非動作状態にするようにしてもよい。
【００５５】
以下本願明細書に記載した複数の発明のうち、いくつかの発明についてその構成要件を列挙する。
【００５６】
（１）長手方向と直交する方向に延びる複数の分割スリットが前記長手方向に所定の間隔を開けて形成されたセラミック基板を搬送する無端の搬送ベルト２と、
前記搬送ベルトの上側に配置された上側ローラ１０と、
前記上側ローラを回転自在に支持する上側ローラ支持機構と、
前記上側ローラに案内されて前記搬送ベルトとの間で前記セラミック基板を挟む追従ベルト１２と、
前記搬送ベルトの下側に配置された下側ローラ５と、
前記下側ローラを回転自在に支持する下側ローラ支持機構６とを具備し、
前記上側ローラと前記下側ローラとの間で前記セラミック基板を前記分割スリットに沿って分割するセラミックチップ分割装置であって、
前記上側ローラ１０を分割動作を行うための作動位置または分割動作を行うことができない非作動位置に位置させる上側ローラ自動位置決め装置７１と、
前記上側ローラ１０及び下側ローラ５の手前に配置されて前記搬送ベルトにより搬送されるセラミック基板の姿勢が正常であるか否かを判定する姿勢判定装置（１６，１７）と、
前記姿勢判定装置（１６，１７）と前記上側ローラ１０及び前記下側ローラ５との間に配置され、前記搬送ベルト２によるセラミック基板の搬送を阻止する前進位置または前記搬送ベルトにおけるセラミック基板の搬送を許容する後退位置に置かれるストッパ部材１８１と前記ストッパ部材を移動させる駆動装置を備えた基板搬送阻止装置１８とを具備し、
前記上側ローラ自動位置決め装置（７，８，９，１１，７１）は、前記姿勢判定装置（１６，１７）から判定信号が出力されると、予め定めたシーケンスに従って前記上側ベースを非作動位置に移動させた後に前記上側ベースを前記作動位置に復帰させるように構成され、
また前記基板搬阻止装置１８は、前記姿勢判定装置から判定信号が出力されると、予め定めたシーケンスに従って前記ストッパ部材を前記前進位置に移動させた後前記ストッパ部材１８１を前記後退位置に戻すように構成されていることを特徴とするセラミックチップ分割装置。
【００５７】
（２）前記上側ローラ自動位置決め装置（７，８，９，１１，７１）の前記シーケンスは、前記判定信号が出力された後前記姿勢判定装置（１６，１７）と前記上側ローラ１０及び下側ローラ５との間に位置するセラミック基板を分割するのに必要な第１の予め定めた時間経過した後に前記上側ローラ１０を非作動位置に移動させ、その後姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な第２の予め定めた時間経過した後に前記上側ローラ１０を作動位置に復帰させるように定められており、
基板搬送阻止装置１８の前記シーケンスは、前記判定信号が出力されると前記ストッパ部材１８１を直ちに前記前進位置に移動させ、その後第１の予め定めた時間経過した後に前記ストッパ部材１８１を前記後退位置に戻すように定められている上記（１）に記載のセラミックチップ分割装置。
【００５８】
（３）前記上側ローラ自動位置決め装置（７，８，９，１１，７１）の前記シーケンスは、前記上側ローラ１０が非作動位置に移動した後に前記第２の予め定めた時間が経過するまでに前記姿勢判定装置（１６，１７）が判定信号を出力すると、更に第３の予め定めた時間経過した後に前記上側ローラ１０を動作位置に復帰させるように定められている上記（２）に記載のセラミックチップ分割装置。
【００５９】
（４）長手方向と直交する方向に延びる複数の分割スリットが前記長手方向に所定の間隔を開けて形成されたセラミック基板を所定の間隔をあけて送り出すセラミック基板供給装置と、
前記セラミック基板供給装置から供給された前記セラミック基板を搬送する無端の搬送ベルト２と、
前記搬送ベルトの上側に配置され且つ回転中心線が前記搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる上側ローラ１０と、
前記上側ローラを回転自在に支持する上側ローラ支持機構と、
前記上側ローラ１０に案内されて前記搬送ベルト２との間で前記セラミック基板を挟む追従ベルト１２と、
前記搬送ベルトの下側に配置され且つ回転中心線が前記搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる下側ローラ５と、
前記下側ローラを回転自在に支持する下側ローラ支持機構６とを具備し、
前記上側ローラの前記回転中心線ＣＬ２が前記搬送方向の前方側に位置するように前記上側ローラの前記回転中心線ＣＬ１と前記下側ローラ５の前記回転中心線とが前記搬送方向１５にずらされて配置され、
前記上側ローラ１０と前記下側ローラ５との間で前記セラミック基板を前記分割スリットに沿って分割するセラミックチップ分割装置であって、
前記上側ローラ１０を分割動作を行うための作動位置または分割動作を行うことができない非作動位置に位置させる上側ローラ自動位置決め装置（７，８，９，１１，７１）と、
前記下側ローラの手前に配置されて前記搬送ベルトによって搬送されるセラミック基板が反転しているか否かを検出する反転検出器１６と、
前記下側ローラの手前に配置されて前記搬送ベルトによって搬送される複数のセラミック基板が重なり合っているか否かを検出する重なり検出器１７と、
前記反転検出器及び前記重なり検出器と前記下側ローラとの間に配置され、前記搬送ベルトによるセラミック基板の搬送を阻止する前進位置または前記搬送ベルトにおけるセラミック基板の搬送を許容する後退位置に置かれるストッパ部材１８１と前記ストッパ部材を移動させる駆動装置を備えた基板搬送阻止装置１８と、
前記セラミック基板供給装置は、前記反転検出器１６及び前記重なり検出器１７の少なくとも一方が検出信号を出力すると、予め定めたシーケンスに従ってセラミック基板の供給を停止した後に供給を再開するように構成され、
前記上側ローラ自動位置決め装置７１は、前記反転検出器及び前記重なり検出器の少なくとも一方が検出信号を出力すると、予め定めたシーケンスに従って前記上側ローラ１０を非作動位置に移動させた後に前記上側ローラを前記作動位置に復帰させるように構成され、
また前記基板搬送阻止装置１８は、前記反転検出器１６及び前記重なり検出器１７の少なくとも一方が検出信号を出力すると、予め定めたシーケンスに従って前記ストッパ部材を前記前進位置に移動させた後前記ストッパ部材１８１を前記後退位置に戻すように構成されていることを特徴とするセラミックチップ分割装置。
【００６０】
（５）前記ベース位置決め装置（８，９，７１）の前記シーケンスは、前記検出信号が出力された後前記反転検出器１６及び前記重なり検出器１７と前記下側ローラ５との間に位置するセラミック基板を分割するのに必要な第１の予め定めた時間経過した後に前記上側ベース７を非作動位置に移動させ、その後姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な第２の予め定めた時間経過した後に前記上側ベース７を動作位置に復帰させるように定められており、
基板搬送阻止装置１８の前記シーケンスは、前記検出信号が出力されると前記ストッパ部材１８１を直ちに前記前進位置に移動させ、その後前記第１の予め定めた時間経過した後に前記ストッパ部材を前記後退位置に戻すように定められており、
前記セラミック基板供給装置の前記シーケンスは、前記検出信号が出力されると直ちにセラミック基板の供給を停止し、前記検出信号が出力されて前記第１及び第２の予め定めた時間が経過した後に前記セラミック基板の供給を再開するように定められている上記（６）に記載のセラミックチップ分割装置。
【００６１】
【発明の効果】
本発明によれば、セラミック基板供給装置から搬送ベルトに正しくセラミック基板が供給されていない場合には、姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定し、基板排除機構が姿勢が異常なセラミック基板が基板分割機構により分割されないように、基板分割機構を非作動状態にした後に姿勢が異常なセラミック基板を搬送ベルト上から排除し、排除終了後に基板分割機構を作動状態に自動復帰させるので、セラミック基板が反転して搬送されきたり、重なって搬送されてきた場合に、それらの姿勢が異常なセラミック基板を自動的に排除した後に、分割作業を自動的に再開することができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のセラミックチップ分割装置の一実施例の概略構成図である。
【図２】下側ローラ支持機構の要部斜視図である。
【図３】（Ａ）は図２の下側ローラ支持機構の要部斜視図であり、（Ｂ）は図２の下側ローラ支持機構の要部平面図である。
【図４】下側ローラの支持条件の説明に用いる概念図である。
【図５】上側ローラ支持機構の構造を示す断面図である。
【図６】位置検出器の例を示す概念図である。
【図７】（Ａ）は第１及び第２の掻き取り器及びの取付状態の一例を示す図であり、（Ｂ）は図７（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図であり、（Ｃ）は第２の掻き取り器のスクレーパ付勢機構及びスクレーパ接触検出器の一例を示す図である。
【図８】（Ａ）はチップ抵抗器をに用いるセラミックチップを製造する場合に用いるセラミック基板の一例を示しており、（Ｂ）は図８（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図であり、（Ｃ）はセラミック基板を分割する際の状態を説明するために用いる図である。
【符号の説明】
１ 主フレーム
２ 搬送ベルト
３ 搬送ベルト駆動ガイド機構
４ 第１のベルト張り調整装置
５ 下側ローラ
６ 下側ローラ支持機構
７ 上側ベース
８ スライドガイド
９ 荷重シリンダ
１０ 上側ローラ
１１ 上側ローラ支持機構
１２ 追従ベルト
１３ 追従ベルトガイド機構
１４ 第２のベルト張り調整装置
１６ 反転検出器
１７ 重なり検出器
１８ 基板搬送阻止装置
２０ アーム
２１ バネ
２２ 位置検出手段
２３ 警報発生手段
２４ 第１の掻き取り器
２５ 第２の掻き取り器
７１ エスケープシリンダ[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a ceramic chip dividing apparatus for dividing a ceramic substrate to produce a ceramic chip used for a substrate of a chip electronic component.
[0002]
[Prior art]
FIG. 8A shows an example of a ceramic substrate 101 used for manufacturing a ceramic chip using a chip resistor. In the ceramic substrate 101, a plurality of divided slits S extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction are formed at predetermined intervals in the longitudinal direction. As shown in FIG. 8B, usually, the split slit S is formed so as to face both surfaces of the ceramic substrate 101. Needless to say, the divided slits S may be formed only on one side of the ceramic substrate 101. In the ceramic substrate 101, after forming the split slits S..., The conductive material for the electrode configuration is formed so as to cover both end surfaces in the width direction (direction orthogonal to the longitudinal direction) of the ceramic substrate 101 and the edge portion of the surface of the ceramic substrate 101. Layers 102, 102 are formed. The configuration of the electrode forming conductive layers 102, 102 is arbitrary, and may be formed only on the surface of the ceramic substrate 101, may be formed over the front and side surfaces, or may be formed on the front, side and rear surfaces. Any of those that are formed over the frame may be used. The structure of the electrode forming conductive layers 102, 102 may be either a single-layer structure in which the conductive layer is composed of one layer or a multilayer structure in which a plurality of conductive layers are stacked.
[0003]
In order to form a ceramic chip from such a ceramic substrate 101, a ceramic chip dividing mechanism conceptually shown in FIG. 8C is conventionally used. 103 is a large-diameter upper roller, and 104 is a small-diameter lower roller. The upper roller 103 is urged by an urging mechanism (not shown) so as to push the ceramic substrate 101 downward. The rotation center line of the upper roller 103 and the rotation center line of the lower roller 104 are displaced from each other in the direction in which the ceramic substrate 101 is conveyed (the direction indicated by the arrow). With the ceramic substrate 101 sandwiched between the upper roller 103 and the lower roller 104, the point of opposition between the lower roller 104 and the ceramic substrate 101 is used as a fulcrum, and the point of opposition between the upper roller 103 and the ceramic substrate 101 is a point of emphasis. Is applied to the ceramic substrate 101, and one ceramic chip is divided along the division slit S. Incidentally, the vertical and horizontal dimensions of one ceramic chip are generally 1.6 × 0.8 mm or less. Although not shown, the transfer of the ceramic substrate 101 is mainly performed by a transfer belt that moves so as to pass over the lower roller 104. In addition, a follower belt is used, which is guided by an upper roller and moves so as to sandwich the ceramic substrate at least when the ceramic substrate 101 is divided, outside the transport belt. Then, ceramic substrates are sequentially supplied to the conveyor belt at predetermined intervals from a ceramic substrate supply device (not shown).
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
As the ceramic substrate supply device, an automatic component supply device that is generally commercially available is used. However, there is a case where the ceramic substrate is not correctly supplied to the transport belt from the ceramic substrate supply device. The occurrence probability is determined by the performance of the ceramic substrate supply device, but it is difficult to make the occurrence probability zero. The diameter and material of the upper roller 103 and the lower roller 104, the urging force of the upper roller 103, and the like are determined in advance by assuming the posture of the ceramic substrate conveyed by the conveyor belt. Is transported, defective division occurs, and the yield decreases.
[0005]
An object of the present invention is to automatically separate a ceramic substrate having an abnormal posture when the posture of the ceramic substrate conveyed by the conveyor belt is different from a posture assumed in advance (normal posture), and then perform a dividing operation. An object of the present invention is to provide a ceramic chip dividing apparatus which automatically restarts.
[0006]
Another object of the present invention is to automatically restart a division work after automatically removing a ceramic substrate having an abnormal posture when the ceramic substrate has been conveyed in an inverted or overlapping manner. To provide a ceramic chip dividing device.
[0007]
Another object of the present invention is to remove a ceramic substrate having an abnormal posture without using a complicated removing device when the posture of a ceramic substrate conveyed by a conveyor belt is different from a posture assumed in advance (normal posture). An object of the present invention is to provide a ceramic chip dividing device that automatically restarts a dividing operation after being automatically removed.
[0008]
Another object of the present invention is to provide a ceramic chip dividing apparatus capable of dividing a ceramic substrate being transported before a ceramic substrate having an abnormal posture and removing the abnormal ceramic substrate.
[0009]
It is still another object of the present invention to provide a ceramic chip dividing apparatus which never separates a ceramic substrate having an abnormal posture.
[0010]
Still another object of the present invention is to provide a ceramic chip dividing apparatus capable of discharging a ceramic substrate having an abnormal posture after detecting a ceramic substrate having an abnormal posture while removing the ceramic substrate having an abnormal posture. Is to provide.
[0011]
It is another object of the present invention to provide a ceramic chip dividing apparatus which does not supply any more ceramic substrates to the conveyor belt while removing a ceramic substrate having an abnormal posture.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The ceramic chip dividing device of the present invention conveys a ceramic substrate having a plurality of split slits extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction formed at predetermined intervals in the longitudinal direction by a conveying belt. Here, in order to enable continuous production, the transport belt is preferably an endless belt configured in a closed loop. The material and structure of the conveyor belt are arbitrary as long as the conveyor belt can convey the ceramic substrate, and include a conveyor belt formed by connecting a plurality of materials, such as a conveyor. When dividing the ceramic substrate, it is preferable to form a material layer having a high frictional resistance such as rubber on the surface so that the ceramic substrate does not slip.
[0013]
A substrate dividing mechanism that divides the conveyed ceramic substrate along the dividing slit is arranged in the conveying path of the conveying belt. The structure of the substrate dividing mechanism is arbitrary, but a mechanism for dividing the substrate by sandwiching the ceramic substrate between the upper roller and the lower row is preferable. In this case, a large-diameter upper roller whose rotation center line extends in a direction orthogonal to the transport direction of the transport belt is disposed above the transport belt. When a follow-up belt is used, the upper roller also has a function as a guide roller for guiding the follow-up belt. The structure of the upper roller may be any structure as long as it can be used to divide the ceramic substrate, but in order to apply force to the ceramic substrate widely, an elastic layer having elasticity such as rubber is provided on the outer peripheral surface. It is preferable to have Substantially the entire upper roller may be formed of a resilient material. If there is an elastic layer on the outer peripheral surface, the surface of the upper roller is deformed along the surface of the ceramic substrate to be divided, so that the ceramic substrate can be prevented from being damaged.
[0014]
The upper roller is rotatably supported by an upper roller support mechanism. The upper roller support mechanism may have any structure as long as the upper roller can support the upper roller to rotate about the rotation center line. Note that a follower belt that is guided by the upper roller and sandwiches the ceramic substrate between the conveyor belt and the conveyor belt may be used. The follower belt sandwiches the ceramic substrate conveyed by the conveyor belt in cooperation with the conveyor belt before dividing the ceramic substrate, and presses the divided ceramic chips against the conveyor belt to prevent the ceramic chips from scattering. Has a function. The structure of the following belt may be the same as the structure of the transport belt.
[0015]
On the lower side of the conveyor belt, there is provided a small-diameter lower roller whose rotation center line extends in a direction perpendicular to the conveying direction of the conveyor belt. The lower roller is rotatably supported by the lower roller support mechanism. The positional relationship between the upper roller and the lower roller is arbitrary as long as the ceramic substrate can be divided, but it is preferable that the rotational center line of the upper roller and the rotational center line of the lower roller are shifted in the transport direction. The shifting direction is such that the rotation center line of the upper roller is located ahead of the rotation center line of the lower roller (in the direction in which the ceramic substrate moves) in the transport direction, in other words, the rotation center line of the lower roller is It is preferable to shift the upper roller so that it is located closer to the rotation center line of the upper roller. The shift amount (dimension between a perpendicular passing through the rotation center line of the upper roller and a perpendicular passing through the rotation center line of the lower roller) when the rotation center line of the upper roller and the rotation center line of the lower roller are shifted is: It is determined by the size of the ceramic chip to be divided.
[0016]
In the present invention, an attitude determination device that determines whether the attitude of the ceramic substrate conveyed by the conveyance belt is normal is disposed between the ceramic substrate supply device and the substrate dividing mechanism. This posture determination device may use any sensor and may have any configuration as long as it can determine whether the posture of the ceramic substrate assumed in advance is normal. For example, an inversion detector 16 for detecting whether or not the ceramic substrate is inverted, an overlap detector 17 for detecting whether or not the ceramic substrates are overlapped, and the like can be used as sensors. If two types of detectors, an inversion detector 16 and an overlap detector 17, are prepared, the attitude of the ceramic substrate can be accurately determined at low cost and easily regardless of the state in which the ceramic substrate is supplied. Also, an attitude determination device that determines an attitude from a video signal of a television camera can be used.
[0017]
In the present invention, when the posture determination device determines that the ceramic substrate has an abnormal posture, the ceramic substrate having the abnormal posture after the substrate dividing mechanism is deactivated so that the ceramic substrate having the abnormal posture is not divided by the substrate dividing mechanism. Is removed from the conveyor belt 2, and after the removal is completed, a substrate removing mechanism for automatically returning the substrate dividing mechanism to the operating state is provided. The configuration of the substrate removing mechanism is not particularly limited, and the upper substrate may be retracted from the operating position to the non-operating position to further feed the transport belt, thereby removing the ceramic substrate having an abnormal posture, An air nozzle may be arranged adjacent to the conveyance belt to remove the ceramic substrate having an abnormal posture by blowing air, or the ceramic substrate having an abnormal posture may be removed by a vacuum suction device. It is not necessary to stop the transfer belt when removing the ceramic substrate using the transfer belt.However, when using an air nozzle or a vacuum suction device, the transfer belt is stopped to remove the ceramic substrate. It is preferred to do so.
[0018]
A substrate removing mechanism for removing the ceramic substrate having an abnormal posture by retracting the upper roller from the operating position to the non-operating position and further feeding the transport belt includes, for example, an upper roller automatic positioning mechanism (7, 8, 9, 11, 71) and the substrate transfer inhibiting device 18. Here, the upper roller automatic positioning mechanism keeps the upper roller 10 in the operating position (the position at which the substrate is divided in cooperation with the lower roller 5) until the posture determination device (16, 17) determines that the posture of the ceramic substrate is abnormal. ), And when the posture determination device determines that the posture of the ceramic substrate is abnormal, after a predetermined time elapses, the upper roller 10 is moved to the non-operation position (a position where the upper roller 10 is separated upward from the conveyance belt 2 and allowed to pass through the ceramic substrate on the conveyance belt). ), And after the substrate is removed, the upper roller 10 may be returned to the operating position. Further, the substrate transport preventing device 18 is disposed between the attitude determination device (16, 17) and the substrate dividing mechanism (5, 10), and is provided at a forward position for preventing the transport of the ceramic substrate by the transport belt 2 and at the transport belt. A stopper member 181 that moves between a retracted position that allows the ceramic substrate to be transported, and when the posture determination device determines that the posture of the ceramic substrate is abnormal, the stopper member is moved to the forward position to be positioned before the stopper member 181. The transfer of the ceramic substrate may be prevented, and the stopper member 181 may be moved to the retracted position after a predetermined time has elapsed. With such a configuration, after the posture determination devices (16, 17) determine abnormalities in the posture of the ceramic substrate, the stopper member 181 prevents the conveyance of the front ceramic substrate. While the stopper member 181 prevents the conveyance, the ceramic substrate in the normal posture located forward of the stopper member in the conveyance direction is divided. After the division of the ceramic substrate in the normal posture is completed, the upper roller 10 moves to the non-operation position and the stopper member 181 moves to the retreat position, and the posture of the ceramic substrate stopped by the stopper member 181 is abnormal. The contained ceramic substrate is transported by the transport belt 2 and is removed. According to such a configuration, when removing the ceramic substrate having the abnormal posture, the rate of removing the ceramic substrate having the normal posture is reduced, and the manufacturing efficiency is increased.
[0019]
If the manufacturing efficiency can be reduced to some extent, the substrate removal mechanism may be constituted only by the upper roller automatic positioning mechanism without using the substrate transport inhibiting device 18. In this case, the upper roller automatic positioning mechanism keeps the upper roller 10 at the operating position until the posture determining device (16, 17) determines that the ceramic substrate has an abnormal posture. Is determined, the upper roller may be positioned at the non-operation position, and the operation may be performed so that the upper roller automatically returns to the operation position after a predetermined time has elapsed. Here, the “predetermined time” is a time during which the ceramic substrate having at least an abnormal posture can be discharged by the transport belt. In this case, the upper roller may be moved to the non-operation position after a certain period of time has elapsed after the posture determination device has determined that the posture of the ceramic substrate is abnormal. This “constant time” is a time shorter than the time during which the ceramic substrate between the attitude determination device and the substrate dividing mechanism can be divided. In this case, the manufacturing efficiency can be improved as in the case of using the above-described substrate transfer prevention device 18. However, since the supply state of the ceramic substrate varies depending on the performance of the ceramic substrate supply device, the “certain time” may be considerably short.
[0020]
When the upper roller support mechanism is fixed to the upper base and the upper roller moves together with the upper base, it is necessary to move the upper base to move the upper roller. In such a case, an upper base positioning device (8, 9, 71) may be used instead of the upper roller automatic positioning mechanism (7, 8, 9, 11, 71). Even when the upper base positioning device (8, 9, 71) is used, the upper roller is still moved, and the sequence of the operation of the upper base positioning device and the sequence of the operation of the substrate transfer prevention device are This is the same as when using the automatic roller positioning device. That is, in the sequence of the upper base positioning device, the first substrate necessary to divide the ceramic substrate positioned between the posture determination device (16, 17) and the upper roller 10 and the lower roller 5 after the determination signal is output. After the predetermined time has elapsed, the upper base 7 is moved to the non-operation position, and thereafter, after the second predetermined time necessary for discharging the ceramic substrate having the abnormal posture has elapsed, the upper base 7 is returned to the operation position. It is decided to return. Further, the sequence of the substrate transport inhibiting device 18 is determined such that the stopper member 181 is immediately moved to the forward position when the determination signal is output, and thereafter the stopper member 181 is returned to the retracted position after a first predetermined time has elapsed. .
[0021]
When the posture determination device (16, 17) determines the presence of the posture determination device (16, 17) even after the posture determination device (16, 17) outputs the determination signal and before removing the ceramic substrate having the abnormal posture. In the meantime, the sequence of the upper base positioning device (8, 9, 71) is changed by the posture determination device (16, 17) until the second predetermined time elapses after the upper base 7 is moved to the non-operation position. When the determination signal is output, the upper base 7 may be set to return to the operating position after a third predetermined time has elapsed. Since the upper base positioning device is one of the upper roller automatic positioning devices, this sequence can be used naturally when it is considered that the upper roller automatic positioning device is used.
[0022]
In a case where the ceramic substrate having an abnormal posture is removed by using the conveyance of the conveyance belt, it is not always necessary to stop the supply of the ceramic substrate from the ceramic substrate supply device. However, when performing the operation of removing the ceramic substrate, the supply of the ceramic substrate from the ceramic substrate supply device may be stopped. In that case, for example, when at least one of the inversion detector 16 and the overlap detector 17 outputs a detection signal, the ceramic substrate supply device is configured to stop supply of the ceramic substrate according to a predetermined sequence and then restart supply. Just fine. In this case, the operation sequence of the ceramic substrate supply device is such that, for example, the supply of the ceramic substrate is stopped immediately after the detection signal is output, and the first and second predetermined times have elapsed since the detection signal was output. The supply of the ceramic substrate may be determined later. By controlling the ceramic substrate supply apparatus in this manner, the number of ceramic substrates that are removed while being normal can be reduced, and manufacturing efficiency can be increased.
[0023]
[Action]
In the present invention, when the ceramic substrate is not correctly supplied to the conveyor belt from the ceramic substrate supply device, the posture determination device determines an abnormality in the posture of the ceramic substrate. The substrate removing mechanism removes the ceramic substrate having the abnormal posture from the conveyor belt after disabling the substrate dividing mechanism so that the ceramic substrate having the abnormal posture is not divided by the substrate dividing mechanism. The splitting mechanism is automatically returned to the operating state. Therefore, according to the present invention, in the case where the ceramic substrates have been transported in an inverted manner or have been transported in an overlapping manner, the division work is automatically restarted after automatically removing the ceramic substrates having abnormal postures. be able to.
[0024]
【Example】
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of a ceramic chip dividing device according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a main frame for supporting the entire device. The main frame 1 has a conveyor belt drive guide mechanism 3 for driving and guiding a rubber endless conveyor belt 2, a first belt tension adjusting device 4 for adjusting the tension of the conveyor belt 2, and a ceramic substrate dividing device. A lower roller supporting mechanism 6 (see FIG. 2) for supporting the lower roller 5 for use is fixed. Further, a pair of slide guides 8 and 8 used as guides for moving the upper base 7 up and down, and an escape cylinder 71 and a load cylinder 9 provided as a drive source of the upper base 7 are fixed to the main frame 1. ing. The upper base 7 has an upper roller support mechanism 11 for supporting the upper roller 10 for dividing the ceramic substrate, a follower belt guide mechanism 13 for guiding the follower belt 12, and a second belt for adjusting the tension of the follower belt 12. The tension adjusting device 14 is attached. The main frame 1 and the upper base 7 are also provided with other devices such as mechanisms and devices.
[0025]
The transport belt drive guide mechanism 3 includes a drive roller 31 that is driven to rotate by a drive motor (not shown), and two driven rollers 32 to 33. These rollers 31 to 33 constitute guide rollers for guiding the transport belt 2. The drive roller 31 is rotating at a constant rotation speed unless a stop signal is output from a control device (not shown) when a main power switch (not shown) is on. In addition, among these rollers 31 to 33, the driven roller 33 functions as a tension roller whose position is adjusted by a roller support mechanism of the first belt tension adjusting device 4 that adjusts the tension of the transport belt 2. That is, the driven roller 33 is used not only as a guide roller but also as a component of the first belt tension adjusting device 4.
[0026]
Although not shown, a ceramic substrate supply device that feeds the ceramic substrates onto the conveyor belt 2 at a predetermined interval is disposed on the front side of the conveyor belt 2 (the direction opposite to the conveyance direction indicated by the arrow 15). ing. The ceramic substrate supply device supplies the ceramic substrate onto the transport belt 2 such that the longitudinal direction of the ceramic substrate faces the transport direction indicated by the arrow 15 with the elongated ceramic substrate facing upward. In addition, since this kind of component supply apparatus is generally commercially available, description thereof is omitted.
[0027]
The first belt tension adjusting device 4 drives a roller supporting mechanism including a shaft 41 fixed to the main frame 1 and a tension arm 42 having an intermediate portion rotatably supported on the shaft 41. And a fluid cylinder 43 as a driving source for generating a driving force for the driving. The driven roller 33 described above is rotatably supported at one end of the tension arm 42, and the other end is drivably connected to the operating shaft of the fluid cylinder 43. In this embodiment, an air cylinder is used as the fluid cylinder 43. Since an air supply source is usually arranged in the factory, it is easy to use an air cylinder as the fluid cylinder 43, and since the air cylinder is easy to control and inexpensive, the operability is good, and Price can be reduced.
[0028]
The lower roller 5 is composed of a bar-shaped roller made of cemented carbide. When a ceramic chip of 1.6 × 0.8 mm is divided from the ceramic substrate, the diameter of the lower roller is about 3 mm. In this embodiment, the lower roller 5 is schematically shown in FIG. 2 and is supported by the lower roller support mechanism 6 specifically shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B). FIG. 3A is a front view of a main part of the lower roller supporting mechanism 6 of FIG. 2, and FIG. 3B is a plan view of a main part of the lower roller supporting mechanism 6 of FIG. In these drawings, the lower roller supporting mechanism 6 includes first and second rotating shafts 63 and 64 whose both ends are supported by a pair of frame plates 61 and 62 arranged at a predetermined interval. The first and second rotation shafts 63 and 64 are located below the rotation center line CL1 of the lower roller 5 and are disposed on both sides of the rotation center line CL1 of the lower roller 5 and respectively. It is arranged to rotate about first and second rotation center lines C1 and C2 extending in parallel with the rotation center line CL1.
[0029]
Six bearings 65a to 65f arranged continuously are rotatably fitted to the first rotating shaft 63. Each of these bearings 65a to 65f forms a rotating body that rotates about a first rotation axis, and the bearings 65a to 65f as a whole form a first rotating member. In the present embodiment, one rotating member is configured by using the six bearings 65a to 65f. However, when a bearing having a long dimension in the axial direction is used, one rotating member is configured by one bearing. You may. Two bearings 65g and 65h are rotatably fitted to the second rotating shaft 64. The two bearings 65g and 65h each constitute a second rotating member. That is, in this embodiment, one bearing constitutes one second rotating member. The two bearings 65g and 65h are respectively arranged so as to be located on both sides in the longitudinal direction (axial direction) of the first rotating member including the six bearings 65a to 65f arranged continuously. In this embodiment, the first rotating shaft 63 and the bearings 65a to 65f constitute first rotating means, and the second rotating shaft 64 and the two bearings 65g and 65h constitute second rotating means. Have been.
[0030]
Outer diameters r1 and r2 of bearings 65a to 65f (a plurality of rotating bodies) supported by first rotating shaft 63 and bearings 65g and 65h (a plurality of rotating bodies) supported by second rotating shaft 64 The arrangement configuration is such that a part of the outer peripheral surface of the bearings 65a to 65h forms a support surface that supports the lower roller 5 from below so that the lower roller 5 can rotate along the lower roller 5. Stipulated. In the present embodiment, a configuration as shown in FIG. 4 is employed to realize this concept. That is, the dimension D between the first and second rotation center lines C1 and C2 is added to the radius r1 of the first rotating member (65a to 65f) and the radius r2 of the second rotating member (65g and 65h). The lower roller 5 is set to be smaller than the set value and to be able to support the lower roller 5 on the outer peripheral surfaces of the first and second rotating members. In this embodiment, the bearings 65a to 65h constituting the first and second rotating members are bearings of the same standard having the same diameter.
[0031]
In the present embodiment, by arranging the bearings 65g and 65h on both sides in the longitudinal direction of the series of bearings 65a to 65f, the first rotating member and the second rotating member are arranged in the longitudinal direction of the lower roller 5. Although they are arranged alternately, the bearings attached to the first rotating shaft 63 and the bearings attached to the second rotating shaft 64 are arranged alternately, that is, alternately arranged. Thus, a state in which the first rotating members and the second rotating members are alternately arranged in the longitudinal direction of the lower roller 5 may be formed.
[0032]
In the present embodiment, the first and second rotating members are formed separately from the first and second rotating shafts by bearings, but both ends are rotatably supported by a pair of frame plates 61 and 62. The first and second rotating members may be formed integrally with the outer peripheral portions of the first and second rotating shafts, respectively. That is, a part of the rotating first and second rotating shafts may constitute the first and second rotating members.
[0033]
In this embodiment, in order to prevent the lower roller 5 supported by a support surface constituted by a part of the outer peripheral surface of the bearing from moving in the longitudinal direction, the lower roller supporting mechanism is provided with Movement prevention surfaces (S1 and S2) are provided on both sides in the direction to prevent the lower roller from moving in the longitudinal direction. Specifically, the inner side surfaces of the pair of frame plates 61 and 62, that is, the opposing surfaces S1 and S2 constitute a movement preventing surface.
[0034]
The upper roller support mechanism 11 includes a pair of support frames 111 and 112, as shown in FIG. One support frame 111 has a plate-like structure constituted by the wall of the upper base 7, and the other support frame 112 has a shape whose vertical cross-sectional shape is an inverted L-shape. A pair of bearings 113 and 114 are fixed to both the pair of support frames 111 and 112, and a rotating shaft 115 to which the upper roller 10 is fixed is supported by the pair of bearings 113 and 114. A male screw is formed at one end of the rotating shaft 115, and a retaining nut 116 is screwed to the male screw. With such a structure, the axis of the rotation shaft 115 that supports the upper roller 10 forms a rotation center line that extends in a horizontal direction orthogonal to the transport direction. The upper roller 10 supported by the rotating shaft 115 has a structure in which an annular rubber elastic layer 10b is joined to the outer periphery of a metal cylindrical body 10a. The elastic layer 10b has elasticity suitable for guiding the following belt 12 and dividing the ceramic substrate.
[0035]
The following belt guide mechanism 13 comprises first and second following rollers 131 and 132 rotatably fixed to the upper base, and a tension roller of a second belt tension adjusting device 14 for adjusting the tension of the following belt 12. And the upper roller 10. The follower roller 133 is supported by a roller support mechanism (not shown) that is fixed to the upper base 7 and supports the follower roller 133 so that the position of the follower roller 133 can be adjusted in the horizontal direction. The roller support mechanism is driven by a fluid cylinder 141 composed of an air cylinder. Have been.
[0036]
In this embodiment, the upper roller 10 disposed above the conveyor belt 2 and the lower roller 5 disposed below the conveyor belt 2 and separating the ceramic substrate by sandwiching the upper roller 10 and the ceramic substrate. Thus, a substrate dividing mechanism is constituted.
[0037]
The upper base 7 is moved up and down by slide guides 8 and 8 and an escape cylinder 71. An escape cylinder 71 that pushes up and down the upper base 7 is also formed by an air cylinder. The upper base 7, the slide guides 8, 8, the escape cylinder 71, the load cylinder 9, and the upper roller support mechanism 11 constitute an upper roller automatic positioning mechanism. The upper roller automatic positioning mechanism keeps the upper roller 10 in the operating position (in cooperation with the lower roller) until the posture determination device constituted by the reversal detector 16 and the overlap detector 17 determines that the posture of the ceramic substrate is abnormal. The position of the ceramic substrate is divided at the position shown in FIG. 1 (ie, the position shown in FIG. 1). Is located at a non-operation position (a position where the ceramic substrate cannot be divided in cooperation with the lower roller, that is, a position moved a predetermined distance upward from the position shown in FIG. 1), and after removing the substrate (the posture is abnormal). (After a second predetermined time required to discharge the ceramic substrate), the operation is performed according to a sequence for returning the upper roller 10 to the operating position. In other words, since the upper roller 10 moves together with the upper base 7, in other words, the slide guides 8, 8, the escape cylinder 71, and the load cylinder 9 are actuated positions for dividing the upper base 7. Alternatively, the upper base positioning device is configured to be positioned at the non-operation position where the dividing operation cannot be performed. In this case, when the determination signal is output from the posture determination device, the upper base positioning device returns the upper base 7 to the operating position after moving the upper base 7 to the non-operating position according to a predetermined sequence. Can be expressed as
[0038]
An urging mechanism for urging the upper base 7 or the upper roller 10 shown in FIG. 1 toward the lower roller 5 is provided. This urging mechanism is a load cylinder 9.
[0039]
The inversion detector 16 detects whether the ceramic substrate on the conveyor belt 2 is inverted, and the overlap detector 17 detects whether the ceramic substrates overlap. The inversion detector 16 and the overlap detector 17 are arranged between a ceramic substrate supply device (not shown) and the substrate dividing mechanism (5, 10), and the posture of the ceramic substrate conveyed by the conveyor belt 2 is normal. The above-described posture determination device for determining whether or not to perform the determination is configured. The inversion detector 16 and the overlap detector 17 are configured to irradiate light toward the transport belt 2 and determine the state of the ceramic substrate from the state of the reflected light. As this type of detector, for example, a detector sold by Keyence Corporation under the name of a photoelectric switch can be used.
[0040]
Since the surface of the ceramic substrate has been subjected to a surface treatment such as overcoating, the light reflectance or the amount of reflection differs between the front surface and the back surface. Therefore, the inversion detector 16 determines whether the transferred ceramic substrate is upside down or upside down based on whether the light reflectance or the reflection amount is larger or smaller than a predetermined reference value, and when the ceramic substrate is inverted. When detecting (when the back surface is facing upward), a detection signal is output. When two ceramic substrates partially overlap, light reflected from a portion where the substrates overlap is stronger than light reflected from other portions. Therefore, the overlap detector 17 detects whether there is a large change in the amount of reflected light, and when the amount of change in the reflected light is equal to or more than a reference value, determines that the substrates are overlapped and outputs a detection signal. I do.
[0041]
The detection signals output from the inversion detector 16 and the overlap detector 17 are input to the drive device (not shown) of the escape cylinder 71 and the load cylinder 9 and the substrate transport prevention device 18 as the determination signal of the attitude determination device. When receiving the determination signal, the load cylinder 9 operates according to the above-described sequence. Note that the configuration of the posture determination device is not limited to the present embodiment, and a camera is used as a detection sensor, and the image processing technology based on a video signal from the camera determines whether the posture of the ceramic substrate is normal or abnormal. It is a matter of course that a well-known attitude determination device that determines whether or not there is an object and outputs a determination signal may be used.
[0042]
The substrate transport preventing device 18 is disposed between the posture determining device (16, 17) and the substrate dividing mechanism (5, 10), and is configured to move the ceramic substrate by the transport belt 2 forward and to prevent the ceramic substrate from being transported. A stopper member 181 is provided which moves between a retracted position (the state shown in FIG. 1) allowing the transfer of the ceramic substrate. When at least one of the inversion detector 16 and the overlap detector 17 constituting the attitude determination device outputs a detection signal (determination signal), the substrate transport prevention device 18 moves the stopper member 181 to the forward position according to a predetermined sequence. After stopping the transfer of the ceramic substrate located in front of the stopper member 181, the stopper member 181 is returned to the retracted position. Specifically, this sequence is set so that the stopper member 181 is immediately moved to the forward position when the determination signal is output, and thereafter the stopper member 181 is returned to the retracted position after a first predetermined time has elapsed. . Note that an air cylinder can be used as a drive source of the stopper member 181.
[0043]
In the present embodiment, when the posture determination device (16, 17) determines an abnormality in the posture of the ceramic substrate from the above-described upper roller automatic positioning mechanism and the substrate transport prevention device 18, the ceramic substrate having the abnormal posture is replaced by the substrate dividing mechanism. After the substrate dividing mechanism is deactivated so as not to be divided by (5, 10), the ceramic substrate having an abnormal posture is removed from the conveyor belt 2, and after the removal is completed, the substrate dividing mechanism is automatically returned to the operating state. A mechanism is configured. Next, the operation of the substrate removing mechanism will be briefly described.
[0044]
First, when a posture determination device (16, 17) detects an abnormality in the posture of the ceramic substrate sent out at a predetermined interval from the ceramic substrate supply device (not shown) onto the conveyor belt 2 and outputs a determination signal, the substrate is detected. The transfer prevention device 18 immediately moves the stopper member 181 to the forward position, and prevents passage of the ceramic substrate located in front of the stopper member 181 (on the ceramic substrate supply device side or the side opposite to the transfer direction 15). After the stopper member 181 moves to the advanced position, the upper roller 10 is in the operating position until a first predetermined time has elapsed, during which the upper roller 10 is located between the stopper member 181 and the lower roller 5. Divide the ceramic substrate. After the first predetermined time has elapsed, the substrate transfer inhibiting device 18 returns the stopper member 181 to the retracted position, and the upper roller automatic positioning mechanism (7, 8, 9, 11, 71) or the base positioning device (8). , 9, 71) moves the upper roller 10 or the upper base 7 to the inoperative position. Even in this state, since the conveyance belt 2 continues the conveyance operation, the ceramic substrate on the conveyance belt moves. Thereafter, the upper roller automatic positioning mechanism or the base positioning device returns the upper roller 10 or the upper base 7 to the operating position after a second predetermined time required for discharging the ceramic substrate having the abnormal posture. During this second predetermined time, the ceramic substrate having an abnormal posture moves in the transport direction, falls into a ceramic chip container (not shown), and is discharged from the transport belt 2. After the second predetermined time has elapsed, the upper roller automatic positioning mechanism (7, 8, 9, 11, 71) or the base positioning device (8, 9, 71) operates the upper roller 10 or the upper base 7. Return to position. As a result, the dividing operation of the ceramic substrate is automatically restarted.
[0045]
The undivided ceramic substrates that have fallen into the ceramic chip container (not shown) are collected later using an automatic sorter that applies the principle of “sieving” and returned to the ceramic substrate supply device.
[0046]
In this embodiment, the ceramic substrate supply device is operated while the ceramic substrate having the abnormal posture is removed, but the ceramic substrate supply device may be stopped during this period. In this case, the supply sequence of the ceramic substrate is stopped immediately after the determination signal (detection signal) is output, the determination signal is output, and the first and second predetermined operation sequences of the operation of the ceramic substrate supply device are determined. The supply of the ceramic substrate may be restarted after a lapse of time. In this way, it is possible to prevent the supply of a ceramic substrate having an abnormal posture while discharging the ceramic substrate having an abnormal posture. Since the probability that a ceramic substrate having an abnormal posture is supplied is extremely small, there is substantially no problem even if the ceramic substrate supply device is constantly operated as in the case of driving the transport belt 2. However, in order to further improve the accuracy when the ceramic substrate supply device is constantly operated, for example, while the ceramic substrate having the abnormal posture is being discharged, the posture is further increased (during the second predetermined time described above). When the attitude determination device detects that the abnormal ceramic substrate is supplied, the third predetermined time is further added to the second predetermined time, and the third predetermined time is added. The upper base may be returned to the operating position after a lapse of time.
[0047]
In the present embodiment, the upper-side roller 10 is displaced to the non-operation position, and the conveyance belt 2 is further fed to remove the ceramic substrate having an abnormal posture from the conveyance belt. The exclusion is not limited to this. For example, air may be blown onto the ceramic substrate having an abnormal posture from the side of the conveyor belt 2 to remove the ceramic substrate from the conveyor bell 2. Of course, it may be excluded by other methods.
[0048]
In the present embodiment, the use of the substrate transfer prevention device 18 allows the ceramic substrate located at the front side in the transfer direction from the stopper member 181 (to pass through the position of the stopper member 181 and to be located on the near side of the dividing mechanism). Although there is an advantage that the division can be performed, the substrate removal mechanism may be configured without using the substrate transport prevention device 18. When the substrate transport prevention device 18 is not used, the upper roller automatic positioning mechanism or the base positioning device is operated at the same time as the posture determination device (16, 17) outputs the determination signal or after a short period of time has elapsed. The roller 10 or the upper base 7 is moved to the non-operation position. Then, after that, the upper roller automatic positioning mechanism (7, 8, 9, 11, 71) or the base positioning device (8, 9, 71) sets a predetermined time required for discharging the ceramic substrate having an abnormal posture. After the lapse of time, the upper roller 10 or the upper base 7 may be returned to the operating position.
[0049]
The ceramic chip dividing device of this embodiment detects whether or not the lower roller 5 is supported by the lower roller support mechanism 6 and determines whether the lower roller 5 is not supported by the lower roller support mechanism 6. A lower roller detection device for generating an alarm signal is provided. The lower roller detecting device includes a position detecting means 22 for directly or indirectly detecting the position of the upper roller 10 urged by the load cylinder 9 constituting the urging mechanism, and a reference It comprises an alarm signal generating means 23 for generating an alarm signal when the position detecting means 22 detects that it is located below the position. The position detecting means 22 used in the present embodiment detects whether the upper base 7 is lower than the reference position when the upper roller 10 or the upper base 7 is at the operating position. For example, the reflector 221 is fixed to the upper base 7, and light is emitted from the position detecting sensor 222 to the reflector 221, so that the upper base 7 is lower than the reference position and the reflected light does not return from the reflector 221. That is, it is determined that the upper roller 10 or the upper base 7 is located below the predetermined reference position.
[0050]
The configuration of the position detecting means 22 is not limited to the embodiment, and for example, the position detecting means 22 may be configured using a limit switch. FIG. 6 shows an example of a configuration when the limit switch is a position detection sensor 222 '. In this case, one end is rotatably fixed to a support shaft 223 provided on the upper base 7, and the other end of an arm 225 rotatably fixed to a support shaft 224 whose intermediate portion is fixed to the main frame 1. Then, the position detection sensor 222 'including the limit switch is operated. Since the diameter of the lower roller 5 is small, the amount of displacement of the upper base 7 when the lower roller 5 is not provided is small. Therefore, in this example, the amount of displacement of the upper base 7 is amplified by appropriately setting the length of the arm 225. In this manner, the presence or absence of the lower roller 5 can be reliably detected.
[0051]
When an alarm signal is output from the lower roller detection device, the ceramic chip dividing device is stopped or inactivated, and the absence of the lower roller is indicated by a buzzer, a lamp, or character information.
[0052]
Further, in this embodiment, after the following belt 12 moves in the direction away from the conveyor belt 2, first and second scrapes of the ceramic chips stuck to the conveyor belt 2 or the following belt 12 from the conveyor belt 2 or the following belt 12 respectively. Two scrapers 24 and 25 are provided. The first and second scrapers 24 and 25 are composed of scrapers 241 and 251 whose tips contact the corresponding belts 2 and 12, and a scraper biasing mechanism for biasing the scrapers toward the belts. . The scrapers 24 and 25 detect whether or not the scrapers 241 and 251 are in contact with the belts 2 and 12 and generate a warning signal when detecting that they are not in contact with the belts 2 and 12. A vessel is provided.
[0053]
FIG. 7A shows an example of an attached state of the first and second scrapers 24 and 25. Note that this example is a modified example in which the following roller 132 that guides the following belt 12 is disposed behind the driving roller 31 that drives and guides the conveying belt 2 in the conveyance direction. With such a configuration, the ceramic chips scraped by the scraper 24 from the following belt 12 can be directly dropped into a ceramic chip storage device (not shown). The first scraper 24 is attached to the upper base 7. In FIG. 7A, the first scraper 24 is drawn in a state in which the first scraper 24 is not in contact with the following belt 12, but is actually urged by a scraper urging mechanism (not shown) so that the tip of the scraper 241 is moved. It contacts the surface of the following belt 12.
[0054]
The second scraper 25 is disposed below the driving roller 31 as shown in FIG. 7B, and the second scraper 25 drops the ceramic chip scraped by the scraper 251. It is provided with fall direction regulation guards 252 and 253 for regulating the direction. The falling direction regulating guards 252 and 253 regulate the falling direction of the ceramic chip so that the ceramic chip scraped by the scraper 251 does not fly laterally (in the thickness direction of the paper). FIG. 7C shows a state on the back side of the main frame 1 to which the second scraper 25 is attached. The second scraper 25 is fixed to a slider 254 that is fitted in a guide groove 1a formed in the main frame 1 and moves vertically. The slider 254 is constantly pulled upward by a spring 255 having one end fixed to the main frame 1. As a result, the main body of the second scraper 25 is pulled toward the conveyor belt 2, and the tip of the scraper 251 is pressed against the conveyor belt. A limit switch 256 driven by a projection 254a provided on the upper end of the slider 254 is attached diagonally above the guide groove 1a. When the scraper 251 is worn or detached, the slider 254 moves upward, and the protrusion 254a turns on the limit switch 256. Thereby, the wear or detachment of the scraper 251 is detected. When the limit switch 256 is turned on, an alarm signal is output from the alarm signal generator 23. In this example, the slider 254, the spring 255, and the guide groove 1a constitute a scraper urging mechanism, and the protrusion 254a of the slider 254, the limit switch 256, and the alarm signal generating means 23 constitute a scraper contact detector. . The first scraper 24 is also provided with a scraper urging mechanism and a scraper contact detector similar to the structure shown in FIG. 7C. In this embodiment, the alarm signal generating means 23 is also used as the output of the position detecting means 22 and as a part of the scraper contact detectors of the first and second scrapers 24 and 25. On the other hand, an alarm signal generating means may be separately provided. Alternatively, the output of the limit switch 256 may be used as an alarm signal as it is to activate a display means such as a buzzer or a lamp, and the alarm signal may be used to stop or inactivate the device.
[0055]
Hereinafter, constituent elements of some inventions among a plurality of inventions described in the specification of the present application are listed.
[0056]
(1) An endless transport belt 2 that transports a ceramic substrate formed with a plurality of divided slits extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction at predetermined intervals in the longitudinal direction;
An upper roller 10 disposed above the transport belt,
An upper roller support mechanism that rotatably supports the upper roller,
A follower belt 12 that is guided by the upper roller and sandwiches the ceramic substrate between the conveyor belt and the conveyor belt;
A lower roller 5 disposed below the conveyor belt;
A lower roller supporting mechanism 6 that rotatably supports the lower roller,
A ceramic chip dividing device that divides the ceramic substrate along the dividing slit between the upper roller and the lower roller,
An upper roller automatic positioning device 71 for positioning the upper roller 10 at an operating position for performing the dividing operation or a non-operating position where the dividing operation cannot be performed;
An attitude determination device (16, 17) disposed before the upper roller 10 and the lower roller 5 and configured to determine whether the attitude of the ceramic substrate transported by the transport belt is normal;
A forward position, which is disposed between the attitude determination device (16, 17) and the upper roller 10 and the lower roller 5, and prevents the transfer of the ceramic substrate by the transfer belt 2, or the transfer of the ceramic substrate on the transfer belt A stopper member 181 placed at a retracted position that allows the stopper member, and a substrate transfer inhibiting device 18 including a driving device for moving the stopper member.
When the determination signal is output from the attitude determination device (16, 17), the upper roller automatic positioning device (7, 8, 9, 11, 71) moves the upper base to the non-operation position according to a predetermined sequence. Configured to return the upper base to the operating position after being moved,
Further, when the determination signal is output from the attitude determination device, the substrate transport prevention device 18 moves the stopper member to the advance position according to a predetermined sequence, and then returns the stopper member 181 to the retracted position. A ceramic chip dividing device, characterized in that:
[0057]
(2) The sequence of the upper roller automatic positioning device (7, 8, 9, 11, 71) is such that the posture determination device (16, 17), the upper roller 10 and the lower side after the determination signal is output. After the first predetermined time required to divide the ceramic substrate located between the roller 5 and the roller 5 has elapsed, the upper roller 10 is moved to the non-operation position, and then the ceramic substrate having an abnormal posture is discharged. Is set to return the upper roller 10 to the operating position after a second predetermined time required for
The sequence of the substrate transport inhibiting device 18 is such that when the determination signal is output, the stopper member 181 is immediately moved to the advance position, and thereafter, after a first predetermined time has elapsed, the stopper member 181 is moved to the retracted position. The ceramic chip dividing device according to (1), wherein the device is set to return to (1).
[0058]
(3) The sequence of the upper roller automatic positioning device (7, 8, 9, 11, 71) is such that the second predetermined time elapses after the upper roller 10 moves to the non-operation position. The above (2), wherein when the attitude determination device (16, 17) outputs a determination signal, the upper roller 10 is returned to the operating position after a third predetermined time has elapsed. Ceramic chip dividing device.
[0059]
(4) a ceramic substrate supply device for feeding a ceramic substrate formed with a plurality of split slits extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction at predetermined intervals in the longitudinal direction at predetermined intervals;
An endless transport belt 2 that transports the ceramic substrate supplied from the ceramic substrate supply device;
An upper roller 10 disposed above the transport belt and having a rotation center line extending in a direction orthogonal to a transport direction of the transport belt;
An upper roller support mechanism that rotatably supports the upper roller,
A follower belt 12 that is guided by the upper roller 10 and sandwiches the ceramic substrate between the conveyor belt 2 and
A lower roller 5 disposed below the transport belt and having a rotation center line extending in a direction orthogonal to the transport direction of the transport belt;
A lower roller supporting mechanism 6 that rotatably supports the lower roller,
The rotation center line CL1 of the upper roller and the rotation center line of the lower roller 5 are shifted in the conveyance direction 15 so that the rotation center line CL2 of the upper roller is located on the front side in the conveyance direction. Placed
A ceramic chip dividing device that divides the ceramic substrate between the upper roller 10 and the lower roller 5 along the dividing slit,
An upper roller automatic positioning device (7, 8, 9, 11, 71) for positioning the upper roller 10 at an operating position for performing the splitting operation or a non-operating position where the splitting operation cannot be performed;
An inversion detector 16 that is arranged in front of the lower roller and detects whether the ceramic substrate conveyed by the conveyance belt is inverted,
An overlap detector 17 that is arranged in front of the lower roller and detects whether a plurality of ceramic substrates conveyed by the conveyance belt overlap each other,
It is arranged between the inversion detector and the overlap detector and the lower roller, and is located at a forward position where the conveyance of the ceramic substrate is prevented by the conveyance belt or at a retreat position where the conveyance of the ceramic substrate by the conveyance belt is allowed. A substrate transport inhibiting device 18 including a stopper member 181 to be moved and a driving device for moving the stopper member;
When at least one of the inversion detector 16 and the overlap detector 17 outputs a detection signal, the ceramic substrate supply device is configured to stop supply of the ceramic substrate according to a predetermined sequence and then restart supply.
When at least one of the inversion detector and the overlap detector outputs a detection signal, the upper roller automatic positioning device 71 moves the upper roller 10 to a non-operation position according to a predetermined sequence, and then moves the upper roller to the inactive position. Configured to return to the operating position,
When at least one of the inversion detector 16 and the overlap detector 17 outputs a detection signal, the substrate transport prevention device 18 moves the stopper member to the forward position according to a predetermined sequence, and then moves the stopper member. 181 is configured to return to the retracted position.
[0060]
(5) The sequence of the base positioning device (8, 9, 71) is located between the inversion detector 16 and the overlap detector 17 and the lower roller 5 after the detection signal is output. After a lapse of a first predetermined time required to divide the ceramic substrate, the upper base 7 is moved to the inoperative position, and then a second predetermined time required to discharge the ceramic substrate having an abnormal posture. Is set to return the upper base 7 to the operating position after a lapse of time.
The sequence of the substrate transport inhibiting device 18 is such that, when the detection signal is output, the stopper member 181 is immediately moved to the advance position, and after the first predetermined time has elapsed, the stopper member 181 is moved to the retracted position. Is set to return to,
The sequence of the ceramic substrate supply device, the supply of the ceramic substrate is stopped immediately after the detection signal is output, after the detection signal is output and the first and second predetermined time has elapsed, The ceramic chip dividing apparatus according to the above (6), wherein the supply of the ceramic substrate is restarted.
[0061]
【The invention's effect】
According to the present invention, when the ceramic substrate is not correctly supplied to the conveyor belt from the ceramic substrate supply device, the posture determination device determines an abnormality in the posture of the ceramic substrate, and the substrate removing mechanism determines whether the ceramic substrate has an abnormal posture. Since the substrate dividing mechanism is deactivated, the ceramic substrate with an abnormal posture is removed from the conveyor belt after the substrate dividing mechanism is deactivated, and the substrate dividing mechanism is automatically returned to the operating state after the elimination. When the substrates are transported in an inverted manner or when they are transported in an overlapped manner, there is an advantage that the dividing operation can be automatically restarted after automatically removing the ceramic substrates having abnormal postures.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of a ceramic chip dividing device according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a main part of a lower roller support mechanism.
3A is a perspective view of a main part of the lower roller supporting mechanism in FIG. 2, and FIG. 3B is a plan view of a main part of the lower roller supporting mechanism in FIG.
FIG. 4 is a conceptual diagram used for explaining a supporting condition of a lower roller.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a structure of an upper roller support mechanism.
FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating an example of a position detector.
FIG. 7A is a diagram showing an example of an attached state of the first and second scrapers and FIG. 7B is a sectional view taken along line BB of FIG. 7A; () Is a diagram showing an example of a scraper biasing mechanism and a scraper contact detector of the second scraper.
8A shows an example of a ceramic substrate used for manufacturing a ceramic chip using a chip resistor, FIG. 8B is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 8A, (C) is a figure used for explaining a state at the time of dividing a ceramic substrate.
[Explanation of symbols]
1 main frame
2 Conveyor belt
3 Conveyor belt drive guide mechanism
4 First belt tension adjusting device
5 Lower roller
6 Lower roller support mechanism
7 Upper base
8 slide guide
9 Load cylinder
10 Upper roller
11 Upper roller support mechanism
12 Following belt
13 Following belt guide mechanism
14 Second belt tension adjusting device
16 Inversion detector
17 Overlap detector
18 Board transfer prevention device
20 arms
21 Spring
22 Position detecting means
23 Alarm generation means
24 First scraper
25 Second scraper
71 Escape cylinder

Claims (9)

長手方向と直交する方向に延びる複数の分割スリットが前記長手方向に所定の間隔を開けて形成されたセラミック基板を所定の間隔をあけて送り出すセラミック基板供給装置と、
前記セラミック基板供給装置から供給された前記セラミック基板を搬送する搬送ベルト（２）と、
前記搬送ベルト（２）の搬送経路中に配置されて搬送されてきた前記セラミック基板を前記分割スリットに沿って分割する基板分割機構（５，１０）とを具備するセラミックチップ分割装置であって、
前記セラミック基板供給装置と前記基板分割機構との間に配置されて前記搬送ベルトにより搬送されるセラミック基板の姿勢が正常であるか否かを判定する姿勢判定装置（１６，１７）と、
前記姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると、姿勢が異常なセラミック基板が前記基板分割機構（５，１０）により分割されないように前記基板分割機構を非作動状態にした後に前記姿勢が異常なセラミック基板を前記搬送ベルト（２）上から排除し、排除終了後に前記基板分割機構を作動状態に自動復帰させる基板排除機構（９，１８，７１）とを具備したことを特徴とするセラミックチップ分割装置。A ceramic substrate supply device for feeding a plurality of divided slits extending in a direction perpendicular to the longitudinal direction at predetermined intervals in a ceramic substrate formed at predetermined intervals in the longitudinal direction,
A conveyor belt (2) for conveying the ceramic substrate supplied from the ceramic substrate supply device;
A ceramic chip dividing device, comprising: a substrate dividing mechanism (5, 10) that divides the ceramic substrate, which is disposed in a conveying path of the conveying belt (2) and is conveyed, along the dividing slit.
An attitude determination device (16, 17) disposed between the ceramic substrate supply device and the substrate dividing mechanism and configured to determine whether the attitude of the ceramic substrate transported by the transport belt is normal;
When the attitude determination device determines that the attitude of the ceramic substrate is abnormal, the attitude is determined after disabling the substrate dividing mechanism so that the ceramic substrate having the abnormal attitude is not split by the substrate dividing mechanism (5, 10). A ceramic removing means for removing an abnormal ceramic substrate from the conveyor belt and automatically returning the substrate dividing mechanism to an operating state after the removal is completed; Chip dividing device. 前記姿勢判定装置は、セラミック基板が反転しているか否かを検出する反転検出器（１６）と、セラミック基板が重なり合っているか否かを検出する重なり検出器（１７）とを備えている請求項１に記載のセラミックチップ分割装置。The said attitude | position determination apparatus is provided with the inversion detector (16) which detects whether the ceramic substrate was inverted, and the overlap detector (17) which detects whether the ceramic substrates have overlapped. 2. The ceramic chip dividing device according to 1. 前記基板分割機構は前記搬送ベルトの上側に配置された上側ローラ（１０）と、前記搬送ベルトの下側に配置されて前記上側ローラと前記セラミック基板を挟むことにより前記セラミック基板を分割する下側ローラ（５）とを具備し、
前記基板排除機構は、
前記姿勢判定装置（１６，１７）がセラミック基板の姿勢の異常を判定するまでは前記上側ローラ（１０）を作動位置に位置させ、前記姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると所定時間経過後に前記上側ローラ（１０）を非作動位置に位置させ、基板排除後は前記上側ローラ（１０）を前記作動位置に復帰させる上側ローラ自動位置決め機構（７，８，９，１１，７１）と、
前記姿勢判定装置（１６，１７）と前記基板分割機構（５，１０）との間に配置されて、前記搬送ベルト（２）によるセラミック基板の搬送を阻止する前進位置と前記搬送ベルトにおるセラミック基板の搬送を許容する後退位置との間を移動するストッパ部材（１８１）を備え、前記姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると、前記ストッパ部材を前記前進位置に移動させて前記ストッパ部材（１８１）より手前にあるセラミック基板の搬送を阻止し、前記所定時間経過後に前記ストッパ部材（１８１）を前記後退位置に移動させる基板搬送阻止装置（１８）とからなる請求項１または２に記載のセラミックチップ分割装置。The substrate dividing mechanism includes an upper roller (10) disposed above the transport belt, and a lower side disposed below the transport belt to divide the ceramic substrate by sandwiching the upper roller and the ceramic substrate. And a roller (5).
The substrate removing mechanism includes:
The upper roller (10) is kept at the operating position until the posture determination device (16, 17) determines an abnormality in the posture of the ceramic substrate. An upper roller automatic positioning mechanism (7, 8, 9, 11, 71) for positioning the upper roller (10) at a non-operation position after a lapse of time and returning the upper roller (10) to the operation position after removing the substrate; ,
A forward position, which is disposed between the attitude determination devices (16, 17) and the substrate dividing mechanism (5, 10), for preventing the transfer of the ceramic substrate by the transfer belt (2), and the ceramic in the transfer belt A stopper member (181) that moves between a retreat position that allows the substrate to be transported, and when the posture determination device determines that the posture of the ceramic substrate is abnormal, the stopper member is moved to the forward position and the stopper is moved. 3. A substrate transport inhibiting device (18) for preventing a ceramic substrate located before a member (181) from being transported and moving the stopper member (181) to the retracted position after the predetermined time has elapsed. A ceramic chip dividing device as described in the above. 前記基板分割機構は前記搬送ベルトの上側に配置された上側ローラ（１０）と、前記搬送ベルト（２）の下側に配置されて前記上側ローラ（１０）と前記セラミック基板を挟むことにより前記セラミック基板を分割する下側ローラ（５）とを具備し、
前記基板排除機構は、前記姿勢判定装置（１６，１７）がセラミック基板の姿勢の異常を判定するまでは前記上側ローラ（１０）を作動位置に位置させ、前記姿勢判定装置がセラミック基板の姿勢の異常を判定すると前記上側ローラを非作動位置に位置させ、所定時間経過後に前記上側ローラを前記作動位置に自動復帰させる上側ローラ自動位置決め機構（９）により構成されている請求項１または２に記載のセラミックチップ分割装置。The substrate dividing mechanism includes an upper roller (10) disposed above the transport belt, and an upper roller (10) disposed below the transport belt (2) to sandwich the ceramic substrate with the upper roller (10). A lower roller (5) for dividing the substrate,
The substrate removing mechanism positions the upper roller (10) in the operating position until the posture determination device (16, 17) determines an abnormality in the posture of the ceramic substrate, and the posture determination device determines the posture of the ceramic substrate. 3. An automatic upper roller positioning mechanism (9) configured to position the upper roller at a non-operation position when an abnormality is determined, and to automatically return the upper roller to the operation position after a lapse of a predetermined time. Ceramic chip dividing device. 長手方向と直交する方向に延びる複数の分割スリットが前記長手方向に所定の間隔を開けて形成されたセラミック基板を搬送する無端の搬送ベルト（２）と、
前記搬送ベルトの上側に配置され且つ回転中心線が前記搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる上側ローラ（１０）と、
前記上側ローラを回転自在に支持する上側ローラ支持機構を備えた上側ベース（７）と、
前記上側ベース（７）に取付けられたガイドローラ及び前記上側ローラに案内されて前記搬送ベルトとの間で前記セラミック基板を挟む追従ベルト（１２）と、
前記搬送ベルトの下側に配置され且つ回転中心線が前記搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる下側ローラ（５）と、
前記下側ローラを回転自在に支持する下側ローラ支持機構（６）とを具備し、前記上側ローラと前記下側ローラとの間で前記セラミック基板を前記分割スリットに沿って分割するセラミックチップ分割装置であって、
前記上側ベース（７）を分割動作を行うための作動位置または分割動作を行うことができない非作動位置に位置させる上側ベース位置決め装置（８，９，７１）と、
前記上側ローラ（１０）及び下側ローラ（５）の手前に配置されて前記搬送ベルトにより搬送されるセラミック基板の姿勢が正常であるか否かを判定する姿勢判定装置（１６，１７）と、
前記姿勢判定装置（１６，１７）と前記上側ローラ（１０）及び前記下側ローラ（５）との間に配置され、前記搬送ベルト（２）によるセラミック基板の搬送を阻止する前進位置または前記搬送ベルトにおけるセラミック基板の搬送を許容する後退位置に置かれるストッパ部材（１８１）と前記ストッパ部材を移動させる駆動装置を備えた基板搬送阻止装置（１８）とを具備し、
前記上側ベース位置決め装置（８，９，７１）は、前記姿勢判定装置（１６，１７）から判定信号が出力されると、予め定めたシーケンスに従って前記上側ベースを非作動位置に移動させた後に前記上側ベースを前記作動位置に復帰させるように構成され、
また前記基板搬送阻止装置（１８）は、前記姿勢判定装置から判定信号が出力されると、予め定めたシーケンスに従って前記ストッパ部材を前記前進位置に移動させた後前記ストッパ部材（１８１）を前記後退位置に戻すように構成されていることを特徴とするセラミックチップ分割装置。An endless transport belt (2) for transporting a ceramic substrate formed with a plurality of split slits extending in a direction perpendicular to the longitudinal direction at predetermined intervals in the longitudinal direction;
An upper roller (10) disposed above the transport belt and having a rotation center line extending in a direction perpendicular to the transport direction of the transport belt;
An upper base (7) having an upper roller supporting mechanism for rotatably supporting the upper roller;
A guide roller attached to the upper base (7) and a follower belt (12) guided by the upper roller and sandwiching the ceramic substrate between the transport belt and the guide roller;
A lower roller (5) disposed below the transport belt and having a rotation center line extending in a direction perpendicular to the transport direction of the transport belt;
A lower roller supporting mechanism (6) for rotatably supporting the lower roller, wherein the ceramic substrate is divided along the dividing slit between the upper roller and the lower roller. A device,
An upper base positioning device (8, 9, 71) for positioning the upper base (7) in an operating position for performing a splitting operation or a non-operating position where a splitting operation cannot be performed;
An attitude determination device (16, 17) disposed before the upper roller (10) and the lower roller (5) to determine whether the attitude of the ceramic substrate transported by the transport belt is normal;
A forward position or the transfer position which is disposed between the attitude determination device (16, 17) and the upper roller (10) and the lower roller (5), and prevents the transfer of the ceramic substrate by the transfer belt (2); A stopper member (181) placed at a retracted position allowing the transfer of the ceramic substrate on the belt; and a substrate transfer prevention device (18) including a driving device for moving the stopper member.
When the determination signal is output from the attitude determination device (16, 17), the upper base positioning device (8, 9, 71) moves the upper base to a non-operation position in accordance with a predetermined sequence, and then, Configured to return the upper base to the operating position;
When the determination signal is output from the attitude determination device, the substrate transport prevention device (18) moves the stopper member to the forward position according to a predetermined sequence, and then moves the stopper member (181) to the retreat position. A ceramic chip dividing device configured to return to a position. 前記上側ベース位置決め装置（８，９，７１）の前記シーケンスは、前記判定信号が出力された後前記姿勢判定装置（１６，１７）と前記上側ローラ（１０）及び下側ローラ（５）との間に位置するセラミック基板を分割するのに必要な第１の予め定めた時間を経過した後に前記上側ベース（７）を非作動位置に移動させ、その後姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な第２の予め定めた時間経過した後に前記上側ベース（７）を作動位置に復帰させるように定められており、
基板搬送阻止装置（１８）の前記シーケンスは、前記判定信号が出力されると前記ストッパ部材（１８１）を直ちに前記前進位置に移動させ、その後第１の予め定めた時間経過した後に前記ストッパ部材（１８１）を前記後退位置に戻すように定められている請求項５に記載のセラミックチップ分割装置。The sequence of the upper base positioning device (8, 9, 71) is such that the position determination device (16, 17), the upper roller (10) and the lower roller (5) are connected after the determination signal is output. After a lapse of a first predetermined time required to divide the ceramic substrate located therebetween, the upper base (7) is moved to the non-operation position, and then the upper base (7) is discharged. The upper base (7) is set to return to the operating position after a required second predetermined time has elapsed,
The sequence of the substrate transport inhibiting device (18) is such that, when the determination signal is output, the stopper member (181) is immediately moved to the advance position, and after a first predetermined time has elapsed, the stopper member (181) is moved. 181) The ceramic chip dividing device according to claim 5, wherein the device is set to return to the retracted position. 前記上側ベース位置決め装置（８，９，７１）の前記シーケンスは、前記上側ベース（７）が非作動位置に移動した後に前記第２の予め定めた時間が経過するまでに前記姿勢判定装置（１６，１７）が判定信号を出力すると、更に第３の予め定めた時間経過した後に前記上側ベース（７）を動作位置に復帰させるように定められている請求項６に記載のセラミックチップ分割装置。The sequence of the upper base positioning device (8, 9, 71) is such that the posture determination device (16) is operated until the second predetermined time elapses after the upper base (7) moves to the inoperative position. 7. The ceramic chip dividing device according to claim 6, wherein when the determination signal is output by the first and second components, the upper base is returned to the operating position after a third predetermined time has elapsed. 長手方向と直交する方向に延びる複数の分割スリットが前記長手方向に所定の間隔を開けて形成されたセラミック基板を所定の間隔をあけて送り出すセラミック基板供給装置と、
前記セラミック基板供給装置から供給された前記セラミック基板を搬送する無端の搬送ベルト（２）と、
前記搬送ベルトの上側に配置され且つ回転中心線が前記搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる上側ローラ（１０）と、
前記上側ローラを回転自在に支持する上側ローラ支持機構を備えた上側ベース（７）と、
前記上側ベース（７）に取付けられたガイドローラ（１３１〜１３３）及び前記上側ローラ（１０）に案内されて前記搬送ベルト（２）との間で前記セラミック基板を挟む追従ベルト（１２）と、
前記搬送ベルトの下側に配置され且つ回転中心線が前記搬送ベルトの搬送方向と直交する方向に延びる下側ローラ（５）と、
前記下側ローラを回転自在に支持する下側ローラ支持機構（６）とを具備し、前記上側ローラの前記回転中心線（ＣＬ２）が前記搬送方向の前方側に位置するように前記上側ローラの前記回転中心線（ＣＬ１）と前記下側ローラ（５）の前記回転中心線とが前記搬送方向（１５）にずらされて配置され、
前記上側ローラ（１０）と前記下側ローラ（５）との間で前記セラミック基板を前記分割スリットに沿って分割するセラミックチップ分割装置であって、
前記上側ベース（７）を分割動作を行うための作動位置または分割動作を行うことができない非作動位置に位置させる上側ベース位置決め装置（８，９，７１）と、
前記下側ローラの手前に配置されて前記搬送ベルトによって搬送されるセラミック基板が反転しているか否かを検出する反転検出器（１６）と、
前記下側ローラの手前に配置されて前記搬送ベルトによって搬送される複数のセラミック基板が重なり合っているか否かを検出する重なり検出器（１７）と、前記反転検出器及び前記重なり検出器と前記下側ローラとの間に配置され、前記搬送ベルトによるセラミック基板の搬送を阻止する前進位置または前記搬送ベルトにおけるセラミック基板の搬送を許容する後退位置に置かれるストッパ部材（１８１）と前記ストッパ部材を移動させる駆動装置を備えた基板搬送阻止装置（１８）と、
前記セラミック基板供給装置は、前記反転検出器（１６）及び前記重なり検出器（１７）の少なくとも一方が検出信号を出力すると、予め定めたシーケンスに従ってセラミック基板の供給を停止した後に供給を再開するように構成され、
前記上側ベース位置決め装置（８，９，７１）は、前記反転検出器及び前記重なり検出器の少なくとも一方が検出信号を出力すると、予め定めたシーケンスに従って前記上側ベース（７）を非作動位置に移動させた後に前記上側ベースを前記作動位置に復帰させるように構成され、
また前記基板搬阻止装置（１８）は、前記反転検出器（１６）及び前記重なり検出器（１７）の少なくとも一方が検出信号を出力すると、予め定めたシーケンスに従って前記ストッパ部材を前記前進位置に移動させた後前記ストッパ部材（１８１）を前記後退位置に戻すように構成されていることを特徴とするセラミックチップ分割装置。A ceramic substrate supply device for feeding a plurality of divided slits extending in a direction perpendicular to the longitudinal direction at predetermined intervals in a ceramic substrate formed at predetermined intervals in the longitudinal direction,
An endless transport belt (2) for transporting the ceramic substrate supplied from the ceramic substrate supply device;
An upper roller (10) disposed above the transport belt and having a rotation center line extending in a direction perpendicular to the transport direction of the transport belt;
An upper base (7) having an upper roller supporting mechanism for rotatably supporting the upper roller;
A follower belt (12) guided by the guide rollers (131 to 133) attached to the upper base (7) and the upper roller (10) and sandwiching the ceramic substrate between the conveyor belt (2);
A lower roller (5) disposed below the transport belt and having a rotation center line extending in a direction perpendicular to the transport direction of the transport belt;
A lower roller supporting mechanism (6) for rotatably supporting the lower roller, wherein the rotation center line (CL2) of the upper roller is positioned forward in the transport direction. The rotation center line (CL1) and the rotation center line of the lower roller (5) are arranged so as to be shifted in the transport direction (15);
A ceramic chip dividing device for dividing the ceramic substrate along the dividing slit between the upper roller (10) and the lower roller (5),
An upper base positioning device (8, 9, 71) for positioning the upper base (7) in an operating position for performing a splitting operation or a non-operating position where a splitting operation cannot be performed;
An inversion detector (16) disposed before the lower roller and detecting whether or not the ceramic substrate conveyed by the conveyance belt is inverted;
An overlap detector (17) disposed before the lower roller and detecting whether or not a plurality of ceramic substrates conveyed by the conveyor belt are overlapped; the inversion detector and the overlap detector; A stopper member (181) disposed between the side roller and a forward position for preventing the transfer of the ceramic substrate by the transfer belt or a retracted position for allowing the transfer of the ceramic substrate on the transfer belt; and moving the stopper member. A substrate transport inhibiting device (18) having a driving device for causing
When at least one of the inversion detector (16) and the overlap detector (17) outputs a detection signal, the ceramic substrate supply device stops supply of the ceramic substrate according to a predetermined sequence and then resumes supply. Is composed of
The upper base positioning device (8, 9, 71) moves the upper base (7) to a non-operation position according to a predetermined sequence when at least one of the inversion detector and the overlap detector outputs a detection signal. Is configured to return the upper base to the operating position after the
Further, when at least one of the inversion detector (16) and the overlap detector (17) outputs a detection signal, the substrate transport prevention device (18) moves the stopper member to the forward position according to a predetermined sequence. The ceramic chip dividing device is configured to return the stopper member (181) to the retracted position after the operation. 前記ベース位置決め装置（８，９，７１）の前記シーケンスは、前記検出信号が出力された後前記反転検出器（１６）及び前記重なり検出器（１７）と前記下側ローラ（５）との間に位置するセラミック基板を分割するのに必要な第１の予め定めた時間経過した後に前記上側ベース（７）を非作動位置に移動させ、その後姿勢が異常なセラミック基板を排出するのに必要な第２の予め定めた時間経過した後に前記上側ベース（７）を動作位置に復帰させるように定められており、
基板搬送阻止装置（１８）の前記シーケンスは、前記検出信号が出力されると前記ストッパ部材（１８１）を直ちに前記前進位置に移動させ、その後前記第１の予め定めた時間経過した後に前記ストッパ部材を前記後退位置に戻すように定められており、
前記セラミック基板供給装置の前記シーケンスは、前記検出信号が出力されると直ちにセラミック基板の供給を停止し、前記検出信号が出力されて前記第１及び第２の予め定めた時間が経過した後に前記セラミック基板の供給を再開するように定められている請求項８に記載のセラミックチップ分割装置。The sequence of the base positioning device (8, 9, 71) is such that after the detection signal is output, the inversion detector (16) and the overlap detector (17) are connected to the lower roller (5). After the first predetermined time necessary to divide the ceramic substrate located at the predetermined time elapses, the upper base (7) is moved to the non-operation position, and thereafter, it is necessary to discharge the ceramic substrate having an abnormal posture. The upper base (7) is set to return to the operating position after a lapse of a second predetermined time;
The sequence of the substrate transport inhibiting device (18) is such that, when the detection signal is output, the stopper member (181) is immediately moved to the advance position, and after the first predetermined time has elapsed, the stopper member (181) is moved. Is set to return to the retracted position,
The sequence of the ceramic substrate supply device, the supply of the ceramic substrate is stopped immediately after the detection signal is output, after the detection signal is output and the first and second predetermined time has elapsed, 9. The ceramic chip dividing device according to claim 8, wherein the supply of the ceramic substrate is restarted.
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