JP3588884B2 - Method for measuring magnetic layer thickness of magnetic tape - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、いわゆる塗布型の磁気記録媒体の技術分野に属する発明であり、この塗布型の磁気テープの磁性層厚み測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
オーディオ装置やビデオ装置,コンピュータ装置等で用いられる記録媒体としては、磁性粉末,結合剤及び各種添加剤を有機溶媒に分散,混練することで調製される磁性塗料を、非磁性支持体上に塗布,乾燥することで磁性層が形成される,いわゆる塗布型の磁気記録媒体が生産性,汎用性に優れることから主流を占めている。
【0003】
これら各種磁気記録再生装置においては、近年、小型軽量化、高画質化、長時間化が進められ、それに伴い上記塗布型の磁気記録媒体に対しても高密度記録化が強く要望されるようになっている。
【0004】
上記塗布型の磁気記録媒体の高密度記録領域での特性を改善するにために、近年では、従来より用いられている酸化鉄系磁性粉末に代わり鉄又は鉄を主体とする金属材料から構成される金属磁性粉末が上記磁性層に含有させる磁性粉末として使用されるようになっている。
【0005】
この種の磁気記録媒体においては、磁性層をなるべく薄層化して、記録過程時の自己減磁損失、再生過程時の厚み損矢を低下させることが行われている。この磁性層の薄層化に伴って、静磁気特性が向上し、記録過程時の自己減時損失、再生過程時の厚み損失が改善されるが、薄層化に伴って走行耐久性が劣る傾向がみられる。そこで、磁性層とヘッド、ガイドピン等の走行系との接触による緩衝の抑制を図るべく非磁性層を下塗り層として設ける方法が提案されている。
【0006】
ところで、この塗布型の磁気記録媒体においては、上記のような薄膜化等の観点から、形成される磁性層の塗布厚を簡易かつ正確に測定することが望まれている。特に、非磁性支持体上に下層非磁性層と強磁性金属粉末を磁性粉とする上層磁性層が形成された、いわゆる二層構造の磁気テープにあっては、上層磁性層の塗布厚が一層薄膜化されているために、正確に測定することが強く望まれている。
【0007】
これは前記膜厚が電磁変換特性に大きく影響するからである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような塗布型の磁気記録媒体において、その塗布膜厚を測定するためには、従来、X線とβ線を併用して使用していた。この装置としては、物質中でのX線、β線の減衰を測定し、その物質の既知の吸収係数を用いて試料の厚さを決定するという原理を用いるものが知られている。
【0009】
しかしながら、上記X線とβ線を併用した測定は、その分解能が0.1μm程度というように低いという問題を有していた。今後、塗布型の磁気記録媒体の磁性層の塗布膜厚は、一層薄膜化される傾向にあるが、上記X線とβ線を併用した測定では、かかる傾向に充分し対応し得るものではない。
【0010】
また、X線とβ線を併用した測定は、モニタ表示が行えず、測定範囲の変更が困難である。さらに、熟練した特定の者しか取り扱えないもので、危険を伴い、装置も大型化する問題を有していた。
【0011】
そこで本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、分解能が高く、しかも、簡易且つ正確に磁気テープの磁性層の塗布厚みの測定が行える測定方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気テープの磁性層厚み測定方法は、上記の目的を達成するため、透明な非磁性支持体上に強磁性金属粉末を磁性粉とする磁性層が形成された磁気テープに対して、波長λが600nmのレーザー光を透過させて透過した光の強度を測定することによって、磁性層の塗布厚を測定することを特徴とする。
【0013】
また、前記磁性層の塗布厚が1.0μm未満であることを特徴とする。
【0014】
他方、本発明の磁気テープの磁性層厚み測定方法に用いられる測定装置は、透明な非磁性支持体上に強磁性金属粉末を磁性粉とする磁性層が形成された磁気テープに対して光を透過させる発光部と、この透過した光を受光する受光部と、受光部の光の強度をモニタ表示するモニタ表示部とを備えている。
【0015】
また、発光部からの光の径を絞る絞りレンズが配されている。
【0016】
また、発光部と受光部の間に磁気テープを載置する載置台が設けられ、この載置台が移動可能になされている。
【0017】
まず、本発明の磁気テープの磁性層厚み測定方法によれば、磁気テープに対して光を透過させて、透過した光の強度を測定することによって、磁性層の塗布厚を測定する。したがって、磁性層の塗布厚を定量的に測定することによって、磁性層の塗布厚のムラを測定することができるようになる。
【0018】
そして、光の波長λが600nm以上である場合は、磁性層の塗布厚の測定分解能は、20nm程度まで高くなる。
【0019】
しかし、光の波長λが600nm未満では、受光部で透過したレーザー光の強さを測定する場合、光の強度が弱くなりすぎて測定ができない場合が考えられる。したがって、波長600nm以上であるレーザー光が本発明のサンプルテープの磁性層厚み測定方法に好ましい。
【0020】
他方、本発明の磁気テープの磁性層厚み測定方法に用いられる測定装置によれば、磁気テープに対して光を透過させ、この透過した光を受光部が受光すると、受光部の光の量をモニタ表示することができる。したがって、磁気テープの磁性層厚み測定が容易に行え、特に熟練を要しない。
【0021】
また、レーザー光のスポット径を絞りレンズで調節することにより、測定範囲を変更することができる。
【0022】
本発明の測定の対象となる磁気テープは、透明な非磁性支持体上に強磁性金属粉末を磁性粉とする磁性層が形成された塗布型の磁気テープである。磁性層として強磁性金属薄膜を蒸着形成してなる、いわゆる蒸着テープは、光透過性が悪く適当でない。
【0023】
なお、この透明な非磁性支持体としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、或いは、アラミド等である必要がある。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0025】
本発明の磁気テープの磁性層厚み測定方法に用いられる測定装置は、光を発光する発光部1と、絞りレンズ2と、サンプルテープTを載置する載置台であるステージ3と、発光部1からのレーザー光を受光する受光部4と、光量を測定して表示するモニタ表示部5とから構成されている。
【0026】
発光部1は、レーザー光P1を発光する光源となるもので、本実施の形態では、波長600nmのレーザー光P1が発光されるようになされている。
【0027】
絞りレンズ2は、発光部1から発光されたレーザー光のスポット半径を調整するもので、レーザー光P1をこの絞りレンズ2により10μmまで絞れるようになされている。
【0028】
ステージ3は、測定の対象となるサンプルテープTを載置するためのもので、縦方向(y方向)と横方向(x方向)の両方向に一定範囲で移動可能となされている。また、このステージ3は、モニタ表示部5に接続されて、上記移動量を測定することができるようになされている。
【0029】
なお、このような移動可能なステージ3を使用しなくとも、例えば、発光部1と受光部3の間を長尺状の磁気テープを順次搬送することにより、磁気テープの塗布厚を測定するようにしても良い。
【0030】
サンプルテープTとしては、透明な非磁性支持体上に強磁性金属粉末を磁性粉とする磁性層が形成された、いわゆる塗布型磁気テープである。
【0031】
受光部4は、磁性層が形成されたサンプルテープTを透過したレーザー光P2を受光するもので、透過したレーザー光の量をモニタ表示するモニタ表示部5と接続されている。
【0032】
モニタ表示部5は、例えば、発光部1から発光されたレーザー光P1の強さと、受光部4でのレーザー光P2の強さを比較することによって、磁性層の塗布厚を測定するもので、演算処理機能が内蔵されている。したがって、このモニタ表示部5は受光部4でのレーザー光P2の強さを測定することによって、サンプルテープTの磁性層の塗布厚を測定することができる。
【0033】
本測定装置は、上記構成からなるものであるから、サンプルテープTに対してレーザー光P1を透過させ、この透過したレーザー光P2を受光部4が受光すると、モニタ表示部5が受光部4のレーザー光P2の強さをモニタ表示することができる。
【0034】
したがって、上記ステージ3を一定方向に移動させるながら、サンプルテープの塗布膜厚みについて定量的な測定を行うことにより、モニタ表示部5を見ながら、いわゆる線分析や面分析が行われる。
【0035】
例えば、測定される対象が非磁性支持体上に下層非磁性層と強磁性金属粉末を磁性粉とする上層磁性層が形成された、いわゆる二層構造のサンプルテープTを用いた場合は、図2に示すように、レーザー光P2が透過する。ここで、図2に示すように、磁気テープの磁性層の塗布厚さにムラがあると光の透過率が異なるために、明確にこの塗布ムラを測定することができる。そこで、予め、一定の範囲で透過するレーザー光P2の強さを統計的に測定しておく。
【0036】
すなわち、測定対象のサンプルテープTについて、上記統計的に測定の結果よりもレーザー光P2の強さが強いか弱いかにより塗布厚を測定することができる。この結果、さらに定量的な測定を繰り返すことにより、磁性層の厚みムラを測定することができるようになる。また、レーザー光P1のスポット径を絞りレンズ2で調節することにより、測定範囲を絞ることにより、磁性層の厚みムラの原因である塗布スジの厚み変動を評価することができるようになる。
【0037】
そこで次に、上記構成の装置を使用して実際に強磁性金属粉末を磁性粉とする磁性層が形成されたサンプルテープTの磁性層厚とこの磁性層厚のムラを測定した。ここでは、上記二層構造のサンプルテープTを用い、上層磁性層の塗布厚が0.1〜0.2μmという薄膜である場合である。
【0038】
ここでは、発光部1から発光されたレーザー光P1を絞りレンズ2でスポット径を10μm〜5mmの範囲に設定した。また、光の波長λが600nmである場合は、磁性層の塗布厚の測定分解能は、20nm程度まで可能である。
【0039】
塗布厚みのムラは、サンプルテープTを透過したレーザー光P2の強度によって評価される。通常、磁性層の厚みは、透過率=1/10-Absで示される吸光度Absに比例する。ここに吸光度Absとは、透過率10%=0.1=10-1のときAbs=1,透過率1%=0.01=10-2のときAbs=2として表される。
【0040】
したがって、上記二層構造のサンプルテープTの上層磁性層の塗布厚を測定する場合、図3に示すように、この上層磁性層の厚さ(μm)とレーザー光P2の吸光度(Abs)が一定の比例関係が現れる。これを上記装置による測定方法を用いてモニタ表示部5で表示しながら調べることができる。図3は、磁気記録媒体の上層磁性層の厚さと透過率との関係を示す図の例であるが、両者には一定の比例関係が生じている。しかし、上層磁性層の塗布厚が同じでも、上記図2に示すように、白い線の部分と黒い線の部分又は凝集物があるところでは、吸光度(Abs)が異なることがわかる。したがって、塗布厚のムラがわかることになる。
【0041】
また、この図2から、磁性層の塗布厚が1.0μm未満であっても測定可能であることがわかる。なお、非磁性支持体上に下層非磁性層と強磁性金属粉末を磁性粉とする上層磁性層が形成され、上層磁性層の塗布厚が0.5μm以下であっても測定可能である。
【0042】
に、上記装置の場合において、好ましい波長λを調べた。その結果を示すものが図4である。
【0043】
この図4から明らかなように、光の波長λが600nmから760nmの範囲で測定したところ、光の波長λが600nm未満であることが、吸光度(Abs)に大きな差が見られ、分解能が高いことがわかる。そして、光の波長λが600nmである場合は、10〜20nm単位の分解能で評価することができる。
【0044】
しかし他方、光の波長λが600nm未満では、受光部4で透過したレーザー光P2の強さを測定する場合、光の強度が弱くなりすぎて測定ができない場合が考えられる。したがって、波長600nm以上であるレーザー光P1が本発明のサンプルテープTの磁性層厚み測定方法及び測定装置に好ましい。
【0045】
そして、このような装置の場合、上層磁性層の透過率は下層非磁性層の透過率の3倍程度が実際の測定上正確な測定結果が得られる。また、上記装置の場合、1回の測定範囲は、直径φ10μm〜10mmまでの範囲で、サンプリングの時間は最短で1sec/1回まで測定可能である。
【0046】
なお、上記図2は、光の波長λが760nmで測定したもので、下層非磁性層が透過率40%で塗布厚が0.16μm、上層磁性層が透過率30%で塗布厚が0.50μmの場合である。
【0047】
ところで、従来装置ではX線とβ線を併用して使用していたために、その分解能は0.1μm程度であった。これに対して、上記構成の装置によれば、光の波長λが600nmである場合10〜20nm単位の分解能で評価することができる。
【0048】
したがって、本発明によれば、従来装置の1/5〜1/10の分解能で塗布膜厚を測定することができるようになる。また、また、レーザー光のスポット径を絞りレンズ2で10μmまで絞ることにより、測定範囲を絞ることにより、磁性層の厚みムラの原因である塗布スジの厚み変動を評価することができるようになる。
【0049】
以上、上記実施の形態の説明では、二層構造の磁気テープの上層磁性層の厚み測定について説明したが、本発明は、いわゆる塗布型の磁気記録媒体であれば二層構造のものに限定されるものではないことは言うまでもない。また、二層構造の磁気テープの上層磁性層の厚み測定と同様の原理により、下層非磁性層の厚み等も測定できるものである。そして、近年、二層構造の磁気テープには、下層が磁性層のものも開発されているが、このような場合にも適用されることは言うまでもない。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、透明な非磁性支持体上に強磁性金属粉末を磁性粉とする磁性層が形成された磁気テープに対して、波長λが600nmのレーザー光を透過させて透過した光の強度を測定するものであるから、従来のX線とβ線を併用した測定方法に比べ、1/5〜1/10の分解能で塗布膜厚を測定することが可能となり、著しく高い分解能が得られるために、薄膜化の傾向にある磁気テープの磁性層厚みを正確に測定することができる。
【0051】
特に、非磁性支持体上に下層非磁性層と強磁性金属粉末を磁性粉とする上層磁性層が形成された、いわゆる二層構造の磁気テープの上層磁性層の塗布厚を正確に測定することできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気テープの磁性層厚み測定方法に用いられる測定装置の構成を示す図である。
【図2】磁気テープにレーザー光を透過させた状態を示す一部拡大平面図である。
【図3】非磁性支持体上に下層非磁性層と強磁性金属粉末を磁性粉とする上層磁性層が形成された磁気記録媒体の上層磁性層の厚さと透過率との関係を示す図である。
【図4】光の波長と透過率との関係を示す図である。
【符号の説明】
1 発光部
2 絞りレンズ
3 載置台(ステージ)
4 受光部
5 モニタ表示部
P1 発光した光
P2 透過した光
T 磁気テープ(サンプルテープ)
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention belongs to the technical field of so-called coating type magnetic recording media, and relates to a method for measuring the thickness of a magnetic layer of the coating type magnetic tape.
[0002]
[Prior art]
As a recording medium used in audio devices, video devices, computer devices, etc., a magnetic paint prepared by dispersing and kneading a magnetic powder, a binder and various additives in an organic solvent is coated on a non-magnetic support. A so-called coating type magnetic recording medium, in which a magnetic layer is formed by drying, is dominant because of its excellent productivity and versatility.
[0003]
In recent years, in these various magnetic recording / reproducing apparatuses, miniaturization, weight reduction, high image quality, and long time have been promoted, and accordingly, high-density recording has been strongly demanded for the coating type magnetic recording medium. Has become.
[0004]
In order to improve the characteristics in the high-density recording area of the above-mentioned coating type magnetic recording medium, in recent years, instead of the iron oxide-based magnetic powder conventionally used, it is composed of iron or a metal material mainly containing iron. Metal magnetic powder is used as the magnetic powder to be contained in the magnetic layer.
[0005]
In this type of magnetic recording medium, the magnetic layer is made as thin as possible to reduce self-demagnetization loss during the recording process and thickness loss during the reproduction process. As the thickness of the magnetic layer is reduced, the magnetostatic properties are improved, and the self-time loss during the recording process and the thickness loss during the reproduction process are improved. There is a tendency. Therefore, a method has been proposed in which a nonmagnetic layer is provided as an undercoat layer in order to suppress buffering caused by contact between the magnetic layer and a traveling system such as a head and guide pins.
[0006]
By the way, in this coating type magnetic recording medium, it is desired to simply and accurately measure the coating thickness of the magnetic layer to be formed from the viewpoint of thinning as described above. In particular, in the case of a so-called two-layer magnetic tape in which a lower non-magnetic layer and an upper magnetic layer using ferromagnetic metal powder as magnetic powder are formed on a non-magnetic support, the coating thickness of the upper magnetic layer is further increased. Because of the thin film, accurate measurement is strongly desired.
[0007]
This is because the film thickness greatly affects the electromagnetic conversion characteristics.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a coating type magnetic recording medium, X-rays and β-rays have conventionally been used in combination in order to measure the coating film thickness. As this apparatus, there is known an apparatus which uses the principle of measuring the attenuation of X-rays and β-rays in a substance and determining the thickness of the sample using a known absorption coefficient of the substance.
[0009]
However, the measurement using the X-ray and the β-ray together has a problem that the resolution is as low as about 0.1 μm. In the future, the coating film thickness of the magnetic layer of the coating type magnetic recording medium tends to be thinner, but the measurement using the X-ray and the β-ray together cannot sufficiently cope with such a tendency. .
[0010]
Further, measurement using both X-rays and β-rays cannot be displayed on a monitor, and it is difficult to change the measurement range. Furthermore, it can be handled only by a specific skilled person, causing a danger, and has a problem that the device becomes large.
[0011]
The present invention, such has been proposed in view of the conventional circumstances, high resolution, moreover, to provide a measure how that allows measurement of coating thickness of easily and accurately the magnetic tape of the magnetic layer With the goal.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The magnetic layer thickness measuring method of the magnetic tape of the present invention, in order to achieve the above object, for a magnetic tape having a magnetic layer formed of a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder on a transparent non-magnetic support, The coating thickness of the magnetic layer is measured by transmitting the laser light having a wavelength λ of 600 nm and measuring the intensity of the transmitted light.
[0013]
Further, the coating thickness of the magnetic layer is less than 1.0 μm.
[0014]
On the other hand, the measuring apparatus used in the method for measuring the thickness of the magnetic layer of the magnetic tape of the present invention emits light to a magnetic tape in which a magnetic layer having a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder is formed on a transparent non-magnetic support. The light-emitting device includes a light-emitting unit that transmits light, a light-receiving unit that receives the transmitted light, and a monitor display unit that monitors and displays the light intensity of the light-receiving unit .
[0015]
An aperture lens for reducing the diameter of light from the light emitting unit is provided.
[0016]
A mounting table for mounting a magnetic tape is provided between the light emitting unit and the light receiving unit, and the mounting table is movable .
[0017]
First, according to the method for measuring the thickness of a magnetic layer of a magnetic tape of the present invention, the thickness of a magnetic layer is measured by transmitting light to the magnetic tape and measuring the intensity of the transmitted light. Therefore, by quantitatively measuring the coating thickness of the magnetic layer, the unevenness of the coating thickness of the magnetic layer can be measured.
[0018]
When the wavelength λ of the light is 600 nm or more, the measurement resolution of the coating thickness of the magnetic layer is increased to about 20 nm.
[0019]
However, when the wavelength λ of the light is less than 600 nm, when measuring the intensity of the laser light transmitted through the light receiving unit, the intensity of the light may be too weak to measure. Therefore, laser light having a wavelength of 600 nm or more is preferable for the method for measuring the thickness of the magnetic layer of the sample tape of the present invention.
[0020]
On the other hand, according to the measuring device used in the magnetic layer thickness measuring method of the magnetic tape of the present invention, light is transmitted to the magnetic tape, and when the transmitted light is received by the light receiving portion, the amount of light of the light receiving portion is reduced. Monitor display is possible. Therefore, the measurement of the thickness of the magnetic layer of the magnetic tape can be easily performed, and no special skill is required.
[0021]
Further, the measurement range can be changed by adjusting the spot diameter of the laser beam with the aperture lens.
[0022]
The magnetic tape to be measured in the present invention is a coating type magnetic tape in which a magnetic layer using a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder is formed on a transparent non-magnetic support. A so-called vapor deposition tape formed by vapor-depositing a ferromagnetic metal thin film as a magnetic layer is not suitable because of poor light transmittance.
[0023]
The transparent nonmagnetic support needs to be polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, aramid, or the like.
[0024]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0025]
The measuring apparatus used in the method for measuring the thickness of a magnetic layer of a magnetic tape according to the present invention includes a light emitting unit 1 that emits light, an aperture lens 2, a stage 3 as a mounting table on which a sample tape T is mounted, and a light emitting unit 1. And a monitor display unit 5 for measuring and displaying the amount of light.
[0026]
The light emitting unit 1 is a light source that emits the laser light P1, and in the present embodiment, emits the laser light P1 having a wavelength of 600 nm.
[0027]
The aperture lens 2 adjusts the spot radius of the laser light emitted from the light emitting unit 1, and the laser light P 1 can be stopped down to 10 μm by the aperture lens 2.
[0028]
The stage 3 is for mounting the sample tape T to be measured, and is movable within a certain range in both the vertical direction (y direction) and the horizontal direction (x direction). The stage 3 is connected to the monitor display unit 5 so that the movement amount can be measured.
[0029]
In addition, even if such a movable stage 3 is not used, for example, a long magnetic tape is sequentially conveyed between the light emitting unit 1 and the light receiving unit 3 to measure the coating thickness of the magnetic tape. You may do it.
[0030]
The sample tape T is a so-called coating type magnetic tape in which a magnetic layer using a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder is formed on a transparent non-magnetic support.
[0031]
The light receiving section 4 receives the laser light P2 transmitted through the sample tape T on which the magnetic layer is formed, and is connected to a monitor display section 5 for monitoring and displaying the amount of the transmitted laser light.
[0032]
The monitor display unit 5 measures the coating thickness of the magnetic layer by comparing the intensity of the laser light P1 emitted from the light emitting unit 1 with the intensity of the laser light P2 at the light receiving unit 4, for example. It has a built-in arithmetic processing function. Therefore, the monitor display section 5 can measure the applied thickness of the magnetic layer of the sample tape T by measuring the intensity of the laser beam P2 at the light receiving section 4.
[0033]
Since this measuring device has the above-described configuration, the laser light P1 is transmitted through the sample tape T, and when the transmitted laser light P2 is received by the light receiving unit 4, the monitor display unit 5 detects the laser light P2. The intensity of the laser beam P2 can be displayed on a monitor.
[0034]
Therefore, while moving the stage 3 in a certain direction, by performing a quantitative measurement on the coating film thickness of the sample tape, so-called line analysis or surface analysis is performed while looking at the monitor display unit 5.
[0035]
For example, when the object to be measured is a sample tape T having a so-called two-layer structure in which a lower non-magnetic layer and an upper magnetic layer having a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder are formed on a non-magnetic support, FIG. As shown in FIG. 2, the laser beam P2 is transmitted. Here, as shown in FIG. 2, if there is unevenness in the coating thickness of the magnetic layer of the magnetic tape, the transmittance of light is different, so that the coating unevenness can be clearly measured. Therefore, the intensity of the laser beam P2 transmitted in a certain range is statistically measured in advance.
[0036]
That is, the coating thickness of the sample tape T to be measured can be measured based on whether the intensity of the laser beam P2 is stronger or weaker than the result of the above-described statistical measurement. As a result, the thickness unevenness of the magnetic layer can be measured by repeating quantitative measurement. Further, by adjusting the spot diameter of the laser beam P1 with the aperture lens 2, the measurement range is narrowed, so that the variation in the thickness of the coating streak which causes the thickness unevenness of the magnetic layer can be evaluated.
[0037]
Then, the thickness of the magnetic layer of the sample tape T on which the magnetic layer using the ferromagnetic metal powder as the magnetic powder was actually formed and the unevenness of the thickness of the magnetic layer were measured using the apparatus having the above configuration. Here, a case is described in which the sample tape T having the two-layer structure is used and the upper magnetic layer is a thin film having a coating thickness of 0.1 to 0.2 μm.
[0038]
Here, the spot diameter of the laser beam P1 emitted from the light emitting section 1 was set to a range of 10 μm to 5 mm by the aperture lens 2. When the light wavelength λ is 600 nm, the measurement resolution of the coating thickness of the magnetic layer can be up to about 20 nm.
[0039]
The unevenness in the coating thickness is evaluated by the intensity of the laser beam P2 transmitted through the sample tape T. Usually, the thickness of the magnetic layer is proportional to the absorbance Abs represented by transmittance = 1 / 10-Abs. Here, the absorbance Abs is expressed as Abs = 1 when the transmittance is 10% = 0.1 = 10-1 and Abs = 2 when the transmittance is 1% = 0.01 = 10-2.
[0040]
Therefore, when measuring the coating thickness of the upper magnetic layer of the sample tape T having the two-layer structure, as shown in FIG. 3, the thickness (μm) of the upper magnetic layer and the absorbance (Abs) of the laser beam P2 are constant. A proportional relationship appears. This can be examined while being displayed on the monitor display unit 5 by using the measuring method by the above-mentioned device. FIG. 3 is an example of a diagram showing the relationship between the thickness of the upper magnetic layer and the transmittance of the magnetic recording medium, and both have a certain proportional relationship. However, even when the coating thickness of the upper magnetic layer is the same, as shown in FIG. 2, it can be seen that the absorbance (Abs) differs between the white line portion and the black line portion or where there is an aggregate. Therefore, unevenness of the coating thickness can be recognized.
[0041]
FIG. 2 shows that the measurement can be performed even when the coating thickness of the magnetic layer is less than 1.0 μm. The measurement can be performed even when a lower nonmagnetic layer and an upper magnetic layer using a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder are formed on a nonmagnetic support, and the coating thickness of the upper magnetic layer is 0.5 μm or less.
[0042]
In the following, in the case of the above SL device, it examined the preferred wavelength lambda. FIG. 4 shows the result.
[0043]
As is clear from FIG. 4, when the light wavelength λ was measured in the range of 600 nm to 760 nm, a large difference in the absorbance (Abs) was found when the light wavelength λ was less than 600 nm, and the resolution was high. You can see that. When the light wavelength λ is 600 nm, the evaluation can be performed with a resolution of 10 to 20 nm.
[0044]
On the other hand, when the wavelength λ of the light is less than 600 nm, when measuring the intensity of the laser beam P2 transmitted through the light receiving unit 4, the intensity of the light may be too weak to measure. Therefore, the laser beam P1 having a wavelength of 600 nm or more is preferable for the method and apparatus for measuring the thickness of the magnetic layer of the sample tape T of the present invention.
[0045]
In the case of such an apparatus, an accurate measurement result in actual measurement is obtained when the transmittance of the upper magnetic layer is about three times the transmittance of the lower nonmagnetic layer. In addition, in the case of the above-mentioned apparatus, a single measurement range is within a range of φ10 μm to 10 mm in diameter, and a sampling time can be measured as short as 1 sec / 1 time.
[0046]
FIG. 2 shows the measurement at a light wavelength λ of 760 nm. The lower non-magnetic layer has a transmittance of 40% and a coating thickness of 0.16 μm. The upper magnetic layer has a transmittance of 30% and a coating thickness of 0.1 μm. This is the case of 50 μm.
[0047]
By the way, in the conventional apparatus, since the X-ray and the β-ray are used in combination, the resolution is about 0.1 μm. On the other hand, according to the apparatus having the above configuration, when the light wavelength λ is 600 nm, the evaluation can be performed with a resolution of 10 to 20 nm.
[0048]
Therefore, according to the present invention, the coating film thickness can be measured with a resolution of 1/5 to 1/10 of that of the conventional apparatus. Further, the spot diameter of the laser beam is narrowed down to 10 μm by the aperture lens 2, thereby narrowing the measurement range, thereby making it possible to evaluate the thickness fluctuation of the coating streak which causes the thickness unevenness of the magnetic layer. .
[0049]
As described above, the measurement of the thickness of the upper magnetic layer of the magnetic tape having the two-layer structure has been described in the above description of the embodiment. However, the present invention is limited to a so-called coating type magnetic recording medium having a two-layer structure. Needless to say, it is not. Also, the thickness of the lower non-magnetic layer and the like can be measured by the same principle as the measurement of the thickness of the upper magnetic layer of the magnetic tape having a two-layer structure. In recent years, a magnetic tape having a lower layer has been developed for a magnetic tape having a two-layer structure, but it goes without saying that the present invention is also applied to such a case.
[0050]
【The invention's effect】
According to the present invention, a laser beam having a wavelength λ of 600 nm is transmitted through a magnetic tape in which a magnetic layer having a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder is formed on a transparent nonmagnetic support. Because it measures intensity, it is possible to measure the coating film thickness with a resolution of 1/5 to 1/10 compared to the conventional measurement method using both X-rays and β-rays. Therefore, it is possible to accurately measure the thickness of the magnetic layer of the magnetic tape, which tends to be thin.
[0051]
In particular, to accurately measure the coating thickness of the upper magnetic layer of a so-called two-layer magnetic tape in which a lower non-magnetic layer and an upper magnetic layer using a ferromagnetic metal powder as a magnetic powder are formed on a non-magnetic support. can.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a measuring device used in a method for measuring a magnetic layer thickness of a magnetic tape of the present invention.
FIG. 2 is a partially enlarged plan view showing a state where laser light is transmitted through a magnetic tape.
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the thickness and the transmittance of the upper magnetic layer of a magnetic recording medium in which a lower nonmagnetic layer and an upper magnetic layer using ferromagnetic metal powder as magnetic powder are formed on a nonmagnetic support. is there.
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between light wavelength and transmittance.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light-emitting part 2 Aperture lens 3 Mounting stage (stage)
4 light receiving unit 5 monitor display unit P1 emitted light P2 transmitted light T Magnetic tape (sample tape)

Claims (2)

透明な非磁性支持体上に強磁性金属粉末を磁性粉とする磁性層が形成された磁気テープに対して、波長λが600nmのレーザー光を透過させて透過した光の強度を測定することによって、磁性層の塗布厚を測定することを特徴とする磁気テープの磁性層厚み測定方法。By transmitting a laser beam having a wavelength λ of 600 nm to a magnetic tape having a magnetic layer formed of ferromagnetic metal powder as a magnetic powder on a transparent non-magnetic support, measuring the intensity of the transmitted light. A method for measuring the thickness of a magnetic layer of a magnetic tape, comprising measuring a coating thickness of the magnetic layer. 前記磁性層の塗布厚が1.0μm未満であることを特徴とする請求項1記載の磁気テープの磁性層厚み測定方法。2. The method for measuring a magnetic layer thickness of a magnetic tape according to claim 1, wherein the coating thickness of the magnetic layer is less than 1.0 μm .
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