JP3585156B2

JP3585156B2 - Centering device for disk-shaped rotating object

Info

Publication number: JP3585156B2
Application number: JP27300698A
Authority: JP
Inventors: 隆小原
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1998-09-28
Filing date: 1998-09-28
Publication date: 2004-11-04
Anticipated expiration: 2018-09-28
Also published as: JP2000100001A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブルに載置された光ディスクのガラス原盤などの円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行うための円盤状被回転体のセンタリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクのガラス原盤露光装置において、光ディスクのマスターとなるべきガラス原盤の中心がターンテーブルの回転中心からずれていると、ガラス原盤に対する回転記録中にダイナミックアンバランスによって振動が発生し、ガラス原盤に記録されるトラックピッチなどの記録精度が低下する。近年登場したＤＶＤでは、狭ピッチ化による記録容量の向上が図られており、トラックピッチの記録精度が低下するとＤＶＤの品質低下が著しくなる。
【０００３】
ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブルに載置されたガラス原盤の中心とのセンタリングは、ダイヤルゲージやマイクロメータを使用して作業者が調節する方法が広く採用されており、そのセンタリング精度は作業者の経験により変動する。
【０００４】
これに対し、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブルに載置されたガラス原盤の中心とのセンタリングを、作業者の経験に頼らずに自動的に行えるようにしたセンタリング装置が、特開平７−２４００３７号公報に記載されている。この公報に記載されたセンタリング装置は、ガラス原盤を載置するターンテーブルの周囲にベースプレートを設け、このベースプレート上に少なくとも３個以上のリンクアームを回動自在に等角度間隔で設け、そのリンクアーム上に設けた案内駒がターンテーブルの回転中心に対して同一方向へ等距離移動してガラス原盤の外周部に当接するようにし、この当接によりガラス原盤を位置決めし、ターンテーブルの回転中心とガラス原盤の中心とのセンタリングを行うものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
特開平７−２４００３７号公報に記載されたセンタリング装置では、リンクアーム上に設けられた案内駒により位置決めされるガラス原盤の位置が、ターンテーブルの周囲に配置されたベースプレートとターンテーブルとの位置関係の影響を受ける。つまり、ベースプレートの中心とターンテーブルとの中心とが正確にセンタリングされていないと、ターンテーブルの回転中心とガラス原盤の中心とのセンタリングを正確に行えない。
【０００６】
ベースプレートは重量物であり、このベースプレートをターンテーブルの回転中心に対して正確に位置決めする作業は非常に困難である。
【０００７】
ベースプレートをターンテーブルの回転中心に対して位置決めした後、ベースプレートをネジ止めなどにより固定するが、期間の経過とともにベースプレートが位置ずれを発生することがあり、この位置ずれが発生した場合にはベースプレートを位置調節しなければならず、煩雑である。
【０００８】
また、特開平７−２４００３７号公報に記載されたセンタリング装置では、ターンテーブルの回転中心とガラス原盤の中心とのセンタリング時において、案内駒がガラス原盤を押圧したときにこのガラス原盤から作用する反力を案内駒で受ける。この時、この反力がリンクアームを撓ませる方向のモーメントになるにも関わらず、リンクアームはピボット軸のみで支持されているため、リンクアームが撓むことにより案内駒が傾き、センタリング精度が低下する。
【０００９】
そこで本発明は、ターンテーブルの回転中心に対してこのターンテーブルの周囲に設置された固定テーブルの設置位置がずれていても、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブル上に載置された円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行える円盤状被回転体のセンタリング装置を提供することを目的とする。
【００１０】
さらに本発明は、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めするときに、円盤状被回転体から作用する反力により第２案内輪が傾くことを防止し、第２案内輪の傾きによってターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度が低下することを防止できる円盤状被回転体のセンタリング装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置は、円盤状被回転体を載置して回転中心の周りに回転駆動される円柱状のターンテーブルの周囲にこのターンテーブルの回転中心と略同心状に配置されて装置基台に固定された固定テーブルと、前記固定テーブルの周囲に配置され、この固定テーブルと同一中心にて回動自在な回動テーブルと、前記固定テーブルに設けられ、前記ターンテーブルの回転中心に対して略等角度間隔で配置された少なくとも３個以上の第１支点と、一端が前記第１支点により回動自在に保持され、前記ターンテーブルの外周部に沿う向きに配置された円弧状の第１リンクと、前記第１リンクの他端に回転自在に取り付けられ、この第１リンクが前記第１支点の周りに回動することにより前記ターンテーブルの外周部に接離する第１案内輪と、前記第１案内輪が前記ターンテーブルの外周部から離反する方向へ前記第１リンクを回動させる向きにこの第１リンクを付勢する付勢体と、一端が前記第１案内輪の回転中心上に位置する第２支点により前記第１リンクの他端に回動自在に連結された第２リンクと、前記第２リンクの他端に回転自在に取り付けられ、この第２リンクが前記第２支点の周りに前記ターンテーブルの回転中心方向へ回動したときに前記円盤状被回転体の外周部に当接してこの円盤状被回転体を前記ターンテーブルの回転中心方向へ押圧する第２案内輪と、前記第２リンクにこの第２リンクの一端側から他端側へ延出して形成されたガイド溝と、前記回動テーブルに取り付けられ、この回動テーブルを所定方向へ回動させたときに前記第１リンクの円弧状外周部を前記ターンテーブルの回転中心方向へ押圧する第３案内輪と、前記回動テーブルに設けられて前記ガイド溝に嵌合され、この回動テーブルを所定方向へ回動させたときにこのガイド溝内を移動することにより前記第２案内輪が前記円盤状被回転体の外周部を押圧する位置へ前記第２リンクを前記第２支点の周りに回動させる第３支点と、を有し、前記回動テーブルを所定方向へ回動させたときに、前記第１案内輪が前記ターンテーブルの外周部に当接し、ついで、全ての前記第２案内輪が前記ターンテーブルの回転中心方向へ同一量動いて前記円盤状被回転体の外周部を押圧し、この円盤状被回転体を位置決めする。
【００１２】
従って、固定テーブルと同一中心上に設けられた回動テーブルを所定方向へ回動させると、第３案内輪が第１リンクの円弧状外周部をターンテーブルの回転中心方向へ押圧することにより第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接する。さらに、第３支点が回動テーブルと一体に回動することによりこの第３支点が第２リンクのガイド溝内を移動し、第２リンクが第１案内輪の回転中心上に設けられた第２支点を中心として回動することにより各第２リンクに取り付けられた第２案内輪がターンテーブルの回転中心方向へ同一量動き、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めする。そして、第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接した後に、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧するので、円盤状被回転体を押圧している各第２案内輪はターンテーブルの外周部から等距離に位置することになり、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が微小にずれている場合であっても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００１３】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、前記第２リンクの下面に当接する受け座を前記第３支点に設けた。
【００１４】
従って、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第２リンクが撓むことが受け座によって防止され、第２リンクが撓むことに伴なう第２案内輪の傾きが防止され、第２案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下が防止される。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、一端が前記固定テーブルに固着され他端が前記第１リンクに固着されて前記ターンテーブルの半径方向へ弾性変形可能な弾性体を設けた。
【００１６】
従って、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第１リンクが撓むことが弾性体によって防止され、第１リンクが撓むことに伴なう第１案内輪の傾きが防止され、第１案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下が防止される。
請求項４記載の発明は、請求項１，２又は３記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、前記第３案内輪の少なくとも外周部を、前記ターンテーブルの半径方向へ変形可能な弾性部材により形成した。
【００１７】
従って、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が大きくずれている場合には、そのずれを第３案内輪の弾性部材が吸収し、各第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接し、その後、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めする。このため、ターンテーブルの回転中心に対する固定テーブルの設置位置が大きくずれていても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００１８】
請求項５記載の発明は、請求項１，２，３又は４記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、回動テーブルを所定方向へ回動させる駆動手段を設けた。
【００１９】
従って、回動テーブルを駆動手段で回動させることによりターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを行え、センタリング作業の作業能率が向上する。
【００２０】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、前記駆動手段としてエアシリンダを設け、このエアシリンダを駆動する圧縮空気流路中に圧縮空気圧を調節する圧力制御手段を設けた。
【００２１】
従って、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに、圧力制御手段によってエアシリンダを駆動する圧縮空気圧を低くすることにより、円盤状被回転体から第２案内輪に作用する反力が小さくなり、第２案内輪や第１案内輪の傾きが抑えられ、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度が高くなる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施の形態を図１ないし図３に基づいて説明する。回転中心Ａの周りに回転駆動される円柱状のターンテーブル１が設けられ、このターンテーブル１にはその上端部に載置された円盤状被回転体であるガラス原盤２を固定するエア吸引式の固定機構（図示せず）が設けられている。
【００２３】
ターンテーブル１の周囲にはこのターンテーブル１の回転中心Ａと略同心状に円筒状の固定テーブル３が配置されている。固定テーブル３は、小径部４と大径部５とから形成され、大径部５が図示しない装置基台に固定されている。小径部４の外周部には、リング状の回動テーブル６が軸受７を介してこの小径部４の周りに回動自在に取り付けられている。
【００２４】
小径部４の上端面には、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して略等角度間隔で３個の第１支点８ａ，８ｂ，８ｃが取り付けられている。これらの第１支点８ａ，８ｂ，８ｃには、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの一端が回動自在に保持されている。これらの第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃは円弧状に形成され、ターンテーブル１の外周部に沿う向きに配置されている。第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの他端には第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃが固定され、これらの第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃには、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃが第１支点８ａ，８ｂ，８ｃの周りに回動することによりターンテーブル１の外周部に接離する第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃが回転自在に取り付けられている。
【００２５】
第１支点８ａ，８ｂ，８ｃの外周には、付勢体である捩りコイルスプリング１２ａ，１２ｂ，１２ｃが配置されている。これらの捩りコイルスプリング１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、その一端が小径部４の上端面に固定され、他端が第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの下面に固定され、第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃがターンテーブル１の外周部から離反する方向へ第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃを回動させる向きにこれらの第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃを付勢している。
【００２６】
第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃには円弧状に形成された第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの一端が回動自在に連結され、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの他端には第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃが回転自在に取り付けられている。これらの第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃは、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃの周りにターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ回動したときにガラス原盤２の外周部に当接し、このガラス原盤２をターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ押圧する。
【００２７】
また、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃには、その一端側から他端側へ延出した円弧状のガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃが形成されている。
【００２８】
回動テーブル６には、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して略等角度間隔で３個の第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃと、３個の第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃとが取り付けられている。第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、回動テーブル６を時計周り方向へ回動させたときに、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの円弧状外周部をターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ押圧する。第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、ガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内に移動自在に嵌合され、回動テーブル６を時計周り方向へ回動させたときにガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの他端側へ移動することにより、第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧する方向へ第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃを回動させる。
【００２９】
固定テーブル３の大径部５には、支軸１８によりこの支軸１８の周りに回動自在に駆動手段であるエアシリンダ１９が回動自在に取り付けられている。回動テーブル６には外周側へ突出したリンク２０が固定されており、エアシリンダ１９のロッド２１の先端部とリンク２０の先端部とが支軸２２により回動自在に連結されている。
【００３０】
エアシリンダ１９には電磁弁２３と２つの圧縮空気流路２４，２５とを介してエアポンプ２６が接続されている。一方の圧縮空気流路２４はセンタリング動作時に圧縮空気が供給される流路であり、他方の圧縮空気流路２５はセンタリング開放時に圧縮空気が供給される流路である。圧縮空気流路２４の途中には、センタリング動作時に供給される圧縮空気圧を調節する圧力制御手段２７が設けられている。
【００３１】
このような構成において、ガラス原盤２をターンテーブル１上に載置した後、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２の中心とのセンタリングを行う。図１は、センタリングを行う前の状態を示し、図２及び図３は、センタリングを行った状態を示している。
【００３２】
このセンタリング時には、ロッド２１が縮む方向へエアシリンダ１９を駆動させ、回動テーブル６を時計周り方向へ回動させ、この回動テーブル６と一体に第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃと第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃとを回動させる。
【００３３】
第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃが時計周り方向へ回動することにより、これらの第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃが第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの円弧状外周部をターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ押圧し、第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃがターンテーブル１の外周部に当接する。
【００３４】
さらに、第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃが時計周り方向へ回動することにより、これらの第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃはガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を移動し、この移動に伴って第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃの回転中心上に設けられた第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃを中心として回動する。そして、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃに取り付けられた第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ同一量動き、第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧してこのガラス原盤２を位置決めし、センタリングが終了する。
【００３５】
このセンタリングにおいて、第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃがターンテーブル１の外周部に当接した後に第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧するので、各第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃはターンテーブル１の外周部から等距離に位置することになる。このため、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して固定テーブル３の設置位置が微小にずれている場合であっても、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００３６】
ここで、第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃの構造に関して、その外周部又は全体を弾性部材により形成し、この弾３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃがターンテーブル１の外周部に当接したときに必要に応じてターンテーブル１の半径方向へ変形するようにしてもよい。
【００３７】
第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃをこのような構造とすることにより、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して固定テーブル３の設置位置が大きくずれている場合には、第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃが第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの円弧状外周部を押圧したときに第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弾性部材が変形してそのずれを吸収することができ、各第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃをターンテーブル１の外周部に当接させることができる。このため、ターンテーブル１の回転中心Ａに対する固定テーブル３の設置位置が大きくずれている場合でも、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００３８】
また、このセンタリング時における回動テーブル６の回動を、エアシリンダ１９を駆動させることにより行うため、センタリングの作業能率が向上する。
【００３９】
さらに、センタリング時において第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧したときにエアシリンダ１９に供給される圧縮空気圧を圧力制御手段２７によって低くすることにより、ガラス原盤２から第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃに作用する反力が小さくなる。そして、その反力による第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃや第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの撓みが抑えられ、これにより、第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃや第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃの傾きが抑えられ、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２中心とのセンタリング精度が高くなる。
【００４０】
つぎに、本発明の第二の実施の形態を図４ないし図６に基づいて説明する。なお、図１ないし図３において説明した部分と同じ部分は同じ符号で示し、説明も省略する。この実施の形態では、第一の実施の形態で説明した構造に加えて、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃと、弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃとが設けられている。
【００４１】
受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃは第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃの外周部に設けられ、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃの上端部が第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの下面に当接されている。弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃは棒状に形成されており、その一端が小径部４の上端部に固着され、他端が第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの下面に固着され、ターンテーブル１の半径方向へ変形可能に設けられている。
【００４２】
このような構成において、センタリング時に第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧したとき、その押圧に対する反力がガラス原盤２から第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃや第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃに作用する。しかし、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃを設けることにより、ガラス原盤２から作用する反力によって第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが撓むことが防止される。さらに、弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃを設けることにより、ガラス原盤２から作用する反力によって第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃが撓むことが防止される。
【００４３】
そして、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの撓みが防止されることにより第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃの傾きが防止され、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの撓みが防止されることにより第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃの傾きが防止される。従って、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃ及び弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃを設けることにより、センタリング時において第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃや第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃが傾くことによるセンタリング精度の低下を防止することができる。
【００４４】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブル上に載置された円盤状被回転体の中心とのセンタリング時において、一端を固定テーブルに回動自在に取り付けた第１リンクの他端に設けた第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接し、ついで、この第１案内輪の回転中心上に位置する第２支点を中心として回動する第２リンクの他端に取り付けられた第２案内輪がターンテーブルの回転中心方向へ同一量動き、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めする。従って、円盤状被回転体を押圧している各第２案内輪はターンテーブルの外周部から等距離に位置することになり、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が微小にずれている場合であっても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行うことができる。
【００４５】
請求項２記載の発明によれば、第２リンクの下面に当接する受け座を第３支点に設けたので、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第２リンクが撓むことを受け座によって防止でき、第２リンクが撓むことに伴なう第２案内輪の傾きを防止でき、第２案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下を防止できる。
【００４６】
請求項３記載の発明によれば、一端が固定テーブルに固着され他端が第１リンクに固着されてターンテーブルの半径方向へ弾性変形可能な弾性体を設けたので、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第１リンクが撓むことを弾性体によって防止でき、第１リンクが撓むことに伴なう第１案内輪の傾きを防止でき、第１案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下を防止できる。
【００４７】
請求項４記載の発明によれば、第３案内輪の少なくとも外周部をターンテーブルの半径方向へ変形可能な弾性部材により形成したので、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が大きくずれている場合には、そのずれを第３案内輪の弾性部材により吸収でき、センタリング時には各第１案内輪をターンテーブルの外周部に当接させることができ、その後、第２案内輪を円盤状被回転体の外周部に押圧してこの円盤状被回転体を位置決めすることができる。従って、ターンテーブルの回転中心に対する固定テーブルの設置位置が大きくずれている場合であっても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行うことができる。
【００４８】
請求項５記載の発明によれば、回動テーブルを所定方向へ回動させる駆動手段を設けたので、センタリング時にはこの駆動手段によって回動テーブルを回動させることによりセンタリングを行うことができ、センタリング作業の作業能率を向上させることができる。
【００４９】
請求項６記載の発明によれば、回動テーブルを所定方向へ回動させる駆動手段としてエアシリンダを設け、このエアシリンダを駆動する圧縮空気流路中に圧縮空気圧を調節する圧力制御手段を設けたので、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときにおけるエアシリンダを駆動する圧縮空気圧を低くすることにより、円盤状被回転体から第２案内輪に作用する反力を小さくすることができ、これにより第２案内輪や第１案内輪の傾きを抑えてターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態を示す平面図である。
【図２】センタリング動作時の状態を示す平面図である。
【図３】その一部を破断にして示す正面図である。
【図４】本発明の第二の実施の形態を示す平面図である。
【図５】センタリング動作時の状態を示す平面図である。
【図６】その一部を破断にして示す正面図である。
【符号の説明】
１ターンテーブル
２円盤状被回転体
３固定テーブル
６回動テーブル
８ａ，８ｂ，８ｃ第１支点
９ａ，９ｂ，９ｃ第１リンク
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ第２支点
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ第１案内輪
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ付勢体
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ第２リンク
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ第２案内輪
１５ａ，１５ｂ，１５ｃガイド溝
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ第３案内輪
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ第３支点
１９駆動手段，エアシリンダ
２７圧力制御手段
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ受け座
２９ａ，２９ｂ，２９ｃ弾性体
Ａターンテーブルの回転中心[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a centering device for a disk-shaped object to be rotated for accurately centering a rotation center of a turntable and a center of a disk-shaped object to be rotated such as a glass master disk of an optical disk placed on the turntable.
[0002]
[Prior art]
In the optical disc glass master exposure device, if the center of the glass master to be the master of the optical disc is deviated from the rotation center of the turntable, vibration occurs due to dynamic imbalance during rotation recording on the glass master, and recording is performed on the glass master. The recording accuracy, such as the track pitch, is reduced. In a DVD that has recently appeared, the recording capacity has been improved by narrowing the pitch. If the recording accuracy of the track pitch is reduced, the quality of the DVD is significantly reduced.
[0003]
The centering of the center of rotation of the turntable and the center of the glass master placed on this turntable is widely adjusted by a worker using a dial gauge or a micrometer. Fluctuates with the experience of the elderly
[0004]
On the other hand, Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 7-1995 discloses a centering device that automatically performs centering between the center of rotation of a turntable and the center of a glass master placed on the turntable without relying on the experience of an operator. No. 240037. In the centering device described in this publication, a base plate is provided around a turntable on which a glass master is placed, and at least three or more link arms are rotatably provided on the base plate at equal angular intervals. The guide piece provided above moves in the same direction with respect to the rotation center of the turntable in the same direction so as to abut on the outer peripheral portion of the glass master. The centering with the center of the glass master is performed.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the centering device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-240037, the position of a glass master positioned by a guide piece provided on a link arm is determined by the positional relationship between a base plate disposed around the turntable and the turntable. Affected by That is, if the center of the base plate and the center of the turntable are not accurately centered, the center of rotation of the turntable and the center of the glass master cannot be accurately centered.
[0006]
The base plate is heavy, and it is very difficult to accurately position the base plate with respect to the center of rotation of the turntable.
[0007]
After positioning the base plate with respect to the center of rotation of the turntable, fix the base plate with screws or the like.However, the base plate may be displaced with the lapse of time. The position must be adjusted, which is complicated.
[0008]
Further, in the centering device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-240037, when the guide piece presses the glass master during centering of the center of rotation of the turntable and the center of the glass master, a countermeasure acting from the glass master is used. Receive power with guide pieces. At this time, the link arm is supported only by the pivot shaft, although the reaction force is a moment in the direction of bending the link arm. descend.
[0009]
Therefore, the present invention provides a method for controlling the rotation center of a turntable and a disc-shaped disk mounted on the turntable, even if the fixed table installed around the turntable is displaced from the rotation center of the turntable. An object of the present invention is to provide a centering device for a disk-shaped object to be rotated, which can accurately center the object to be rotated.
[0010]
Further, according to the present invention, when the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated object to position the disk-shaped rotated object, the second guide wheel is moved by the reaction force acting from the disk-shaped rotated object. An object of the present invention is to provide a centering device for a disk-shaped object to be rotated, which can prevent the center of rotation of the turntable and the center of the disk-shaped object to be rotated from being degraded due to the inclination of the second guide wheel. Aim.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The centering device for a disk-shaped object to be rotated according to the first aspect of the present invention includes a disk-shaped object to be rotated placed around a columnar turntable that is driven to rotate around the center of rotation. A fixed table disposed substantially concentrically and fixed to the device base; a rotating table disposed around the fixed table and rotatable around the same center as the fixed table; And at least three or more first fulcrums arranged at substantially equal angular intervals with respect to the center of rotation of the turntable, and one end rotatably held by the first fulcrum. An arc-shaped first link disposed in a direction along the first link, the first link being rotatably attached to the other end of the first link, and the first link pivoting around the first fulcrum, thereby turning the turntable; A first guide wheel that comes into contact with and separates from an outer peripheral portion of the turntable; and a biasing device that biases the first link in a direction in which the first guide wheel rotates in a direction away from the outer peripheral portion of the turntable. A second link rotatably connected to the other end of the first link by a second fulcrum, one end of which is located on the rotation center of the first guide wheel; When the second link rotates around the second fulcrum in the direction of the rotation center of the turntable, the second link comes into contact with the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated object to remove the disk-shaped rotated object. A second guide wheel that presses in the direction of the center of rotation of the turntable; a guide groove formed in the second link from one end of the second link to the other end; When the rotating table is rotated in a predetermined direction, A third guide wheel that presses the arc-shaped outer peripheral portion of the first link in the direction of the rotation center of the turntable; and a third guide wheel that is provided on the turntable and is fitted into the guide groove. The second link rotates around the second fulcrum to a position where the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated body by moving in the guide groove when the second link is rotated. A third fulcrum to be rotated, and when the rotary table is rotated in a predetermined direction, the first guide wheel comes into contact with an outer peripheral portion of the turntable, and then all of the second guide wheels Moves the same amount in the direction of the rotation center of the turntable and presses the outer peripheral portion of the disk-shaped object to be rotated, thereby positioning the disk-shaped object to be rotated.
[0012]
Therefore, when the rotating table provided on the same center as the fixed table is rotated in a predetermined direction, the third guide wheel presses the arc-shaped outer peripheral portion of the first link in the direction of the rotation center of the turntable. One guide wheel is in contact with the outer periphery of the turntable. Furthermore, the third fulcrum moves in the guide groove of the second link by rotating the third fulcrum integrally with the rotating table, and the second link is provided on the rotation center of the first guide wheel. By rotating about two fulcrums, the second guide wheels attached to the respective second links move by the same amount in the direction of the rotation center of the turntable, and the second guide wheels press the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated member. The lever-shaped disc-shaped rotated object is positioned. Then, after the first guide wheel abuts on the outer peripheral portion of the turntable, the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated object, so that each second guide pressing the disk-shaped rotated object is pressed. The wheel is located at the same distance from the outer periphery of the turntable, and even if the fixed table is slightly displaced from the center of rotation of the turntable, the wheel will be in a disc shape with the center of rotation of the turntable. Centering with the center of the rotated body can be performed accurately.
[0013]
According to a second aspect of the present invention, in the centering device for a disk-shaped object to be rotated according to the first aspect of the present invention, a receiving seat abutting on a lower surface of the second link is provided at the third fulcrum.
[0014]
Therefore, when the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated body, the receiving link prevents the second link from being bent by the reaction force acting from the disk-shaped rotated body, and the second link is bent. As a result, the inclination of the second guide wheel is prevented, and the centering accuracy between the center of rotation of the turntable and the center of the disc-shaped driven body due to the inclination of the second guide wheel is prevented.
[0015]
According to a third aspect of the present invention, in the centering device for a disk-shaped object to be rotated according to the first or second aspect of the invention, one end is fixed to the fixed table, and the other end is fixed to the first link. An elastic body elastically deformable in the radial direction is provided.
[0016]
Therefore, when the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated object, the elastic body prevents the first link from being bent by the reaction force acting from the disk-shaped rotated object, and the first link is bent. As a result, the inclination of the first guide wheel is prevented, and a decrease in the centering accuracy of the center of rotation of the turntable and the center of the disc-shaped rotated object due to the inclination of the first guide wheel is prevented.
According to a fourth aspect of the present invention, in the centering device for a disk-shaped object to be rotated according to the first, second or third aspect of the invention, at least an outer peripheral portion of the third guide wheel can be deformed in a radial direction of the turntable. It was formed by an elastic member.
[0017]
Therefore, when the installation position of the fixed table is largely shifted with respect to the rotation center of the turntable, the shift is absorbed by the elastic member of the third guide wheel, and each first guide wheel is located on the outer peripheral portion of the turntable. Then, the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated object to position the disk-shaped rotated object. For this reason, even if the installation position of the fixed table with respect to the rotation center of the turntable is largely deviated, the centering of the rotation center of the turntable and the center of the disk-shaped rotated object can be accurately performed.
[0018]
According to a fifth aspect of the present invention, in the centering device for a disk-shaped object to be rotated according to the first, second, third or fourth aspect of the present invention, a driving means for rotating the rotary table in a predetermined direction is provided.
[0019]
Therefore, centering the center of rotation of the turntable and the center of the disc-shaped rotated object can be performed by rotating the rotating table by the driving means, thereby improving the work efficiency of the centering operation.
[0020]
According to a sixth aspect of the present invention, in the centering device for a disk-shaped object to be rotated according to the fifth aspect of the present invention, an air cylinder is provided as the driving means, and a compressed air pressure is adjusted in a compressed air flow path for driving the air cylinder. Pressure control means.
[0021]
Accordingly, when the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disc-shaped driven body, the pressure control means lowers the compressed air pressure for driving the air cylinder, thereby acting on the second guide wheel from the disc-shaped driven body. And the inclination of the second guide wheel and the first guide wheel is suppressed, and the centering accuracy between the center of rotation of the turntable and the center of the disk-shaped driven body increases.
[0022]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. A cylindrical turntable 1 that is driven to rotate around a rotation center A is provided. The turntable 1 is an air suction type that fixes a glass master 2 that is a disk-shaped rotating object placed on the upper end thereof. (Not shown) is provided.
[0023]
Around the turntable 1, a cylindrical fixed table 3 is disposed substantially concentrically with the rotation center A of the turntable 1. The fixed table 3 is formed of a small diameter portion 4 and a large diameter portion 5, and the large diameter portion 5 is fixed to a device base (not shown). A ring-shaped rotating table 6 is attached to the outer peripheral portion of the small diameter portion 4 via a bearing 7 so as to be rotatable around the small diameter portion 4.
[0024]
Three first fulcrums 8a, 8b, 8c are attached to the upper end surface of the small diameter portion 4 at substantially equal angular intervals with respect to the rotation center A of the turntable 1. One ends of the first links 9a, 9b, 9c are rotatably held at these first fulcrums 8a, 8b, 8c. These first links 9a, 9b, 9c are formed in an arc shape, and are arranged in a direction along the outer peripheral portion of the turntable 1. Second fulcrums 10a, 10b, and 10c are fixed to the other ends of the first links 9a, 9b, and 9c, and the first links 9a, 9b, and 9c are connected to the first fulcrums 10a, 10b, and 10c. First guide wheels 11a, 11b, 11c rotatably attached to the outer peripheral portion of the turntable 1 by being rotated around 8a, 8b, 8c.
[0025]
Torsion coil springs 12a, 12b, and 12c, which are urging members, are arranged on the outer periphery of the first fulcrums 8a, 8b, and 8c. One end of each of the torsion coil springs 12a, 12b, 12c is fixed to the upper end surface of the small diameter portion 4, and the other end is fixed to the lower surface of the first link 9a, 9b, 9c. 11c urges the first links 9a, 9b, 9c in a direction to rotate the first links 9a, 9b, 9c in a direction away from the outer peripheral portion of the turntable 1.
[0026]
One ends of arc-shaped second links 13a, 13b, 13c are rotatably connected to the second fulcrums 10a, 10b, 10c, and a second guide is connected to the other ends of the second links 13a, 13b, 13c. The wheels 14a, 14b, 14c are rotatably mounted. These second guide wheels 14a, 14b, and 14c are used when the second links 13a, 13b, and 13c rotate in the direction of the rotation center A of the turntable 1 around the second fulcrums 10a, 10b, and 10c. And presses the glass master 2 in the direction of the rotation center A of the turntable 1.
[0027]
The second links 13a, 13b, 13c are formed with arcuate guide grooves 15a, 15b, 15c extending from one end to the other end.
[0028]
Three third guide wheels 16a, 16b, 16c and three third fulcrums 17a, 17b, 17c are attached to the rotation table 6 at substantially equal angular intervals with respect to the rotation center A of the turntable 1. Have been. The third guide wheels 16a, 16b, 16c cause the arc-shaped outer peripheral portions of the first links 9a, 9b, 9c to move in the direction of the rotation center A of the turntable 1 when the turntable 6 is turned clockwise. Press. The third fulcrums 17a, 17b, 17c are movably fitted into the guide grooves 15a, 15b, 15c, and move through the guide grooves 15a, 15b, 15c when the rotating table 6 is rotated clockwise. By moving to the other end side of the second links 13a, 13b, 13c, the second guide wheels 14a, 14b, 14c rotate the second links 13a, 13b, 13c in a direction in which the outer peripheral portion of the glass master 2 is pressed. Let it.
[0029]
An air cylinder 19 serving as a driving means is rotatably attached to the large-diameter portion 5 of the fixed table 3 around the support shaft 18 by a support shaft 18. A link 20 protruding to the outer peripheral side is fixed to the turning table 6, and a tip of the rod 21 of the air cylinder 19 and a tip of the link 20 are rotatably connected by a support shaft 22.
[0030]
An air pump 26 is connected to the air cylinder 19 via a solenoid valve 23 and two compressed air passages 24 and 25. One compressed air channel 24 is a channel to which compressed air is supplied during the centering operation, and the other compressed air channel 25 is a channel to which compressed air is supplied when the centering is opened. In the middle of the compressed air flow path 24, a pressure control means 27 for adjusting the compressed air pressure supplied during the centering operation is provided.
[0031]
In such a configuration, after placing the glass master 2 on the turntable 1, centering between the rotation center A of the turntable 1 and the center of the glass master 2 is performed. FIG. 1 shows a state before centering is performed, and FIGS. 2 and 3 show a state after centering is performed.
[0032]
At the time of centering, the air cylinder 19 is driven in the direction in which the rod 21 contracts, and the turntable 6 is turned clockwise. The third guide wheels 16a, 16b, 16c and the third The fulcrums 17a, 17b, and 17c are rotated.
[0033]
When the third guide wheels 16a, 16b, 16c rotate clockwise, the third guide wheels 16a, 16b, 16c move the arc-shaped outer peripheral portions of the first links 9a, 9b, 9c of the turntable 1. The first guide wheels 11a, 11b, 11c are pressed against the rotation center A, and abut against the outer peripheral portion of the turntable 1.
[0034]
Further, when the third fulcrums 17a, 17b, 17c rotate clockwise, the third fulcrums 17a, 17b, 17c move in the guide grooves 15a, 15b, 15c, and the third fulcrums 17a, 17b, 17c move in the guide grooves 15a, 15b, 15c. The two links 13a, 13b, 13c rotate about second fulcrums 10a, 10b, 10c provided on the rotation centers of the first guide wheels 11a, 11b, 11c. Then, the second guide wheels 14a, 14b, 14c attached to the second links 13a, 13b, 13c move the same amount in the direction of the rotation center A of the turntable 1, and the second guide wheels 14a, 14b, 14c move Is pressed to position the glass master 2 and the centering is completed.
[0035]
In this centering, after the first guide wheels 11a, 11b, 11c come into contact with the outer peripheral portion of the turntable 1, the second guide wheels 14a, 14b, 14c press the outer peripheral portion of the glass master 2, so that each second guide wheel The wheels 14a, 14b, 14c are located at the same distance from the outer periphery of the turntable 1. For this reason, even when the installation position of the fixed table 3 is slightly deviated from the rotation center A of the turntable 1, the centering between the rotation center A of the turntable 1 and the center of the glass master 2 is accurately performed. I can do it.
[0036]
Here, regarding the structure of the third guide wheels 16a, 16b, 16c, the outer periphery or the whole is formed of an elastic member, and when the bullet 3 guide wheels 16a, 16b, 16c abut on the outer periphery of the turntable 1. Alternatively, the turntable 1 may be deformed in the radial direction as necessary.
[0037]
With such a structure of the third guide wheels 16a, 16b, 16c, when the installation position of the fixed table 3 is largely shifted with respect to the rotation center A of the turntable 1, the third guide wheels 16a, 16b, 16c are provided. The elastic members of the third guide wheels 16a, 16b, 16c can be deformed to absorb the displacement when the outer peripheral portions 16b, 16c press the arc-shaped outer peripheral portions of the first links 9a, 9b, 9c. The guide wheels 11a, 11b, 11c can be brought into contact with the outer peripheral portion of the turntable 1. For this reason, even when the installation position of the fixed table 3 with respect to the rotation center A of the turntable 1 is largely shifted, the centering between the rotation center A of the turntable 1 and the center of the glass master 2 can be performed accurately.
[0038]
Further, since the rotation of the rotary table 6 at the time of centering is performed by driving the air cylinder 19, the work efficiency of centering is improved.
[0039]
Furthermore, when the second guide wheels 14a, 14b, 14c press the outer peripheral portion of the glass master 2 at the time of centering, the compressed air pressure supplied to the air cylinder 19 is reduced by the pressure control means 27, so that the glass master 2 The reaction force acting on the second guide wheels 14a, 14b, 14c is reduced. Then, the bending of the second links 13a, 13b, 13c and the first links 9a, 9b, 9c due to the reaction force is suppressed, whereby the second guide wheels 14a, 14b, 14c and the first guide wheels 11a, 11b, 11c is suppressed, and the centering accuracy between the rotation center A of the turntable 1 and the center of the glass master 2 is increased.
[0040]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In this embodiment, in addition to the structure described in the first embodiment, receiving seats 28a, 28b, 28c and elastic bodies 29a, 29b, 29c are provided.
[0041]
The receiving seats 28a, 28b, 28c are provided on the outer peripheral portions of the third fulcrums 17a, 17b, 17c, and the upper ends of the receiving seats 28a, 28b, 28c are in contact with the lower surfaces of the second links 13a, 13b, 13c. . The elastic bodies 29a, 29b, 29c are formed in a rod shape, one end of which is fixed to the upper end of the small diameter portion 4 and the other end is fixed to the lower surface of the first link 9a, 9b, 9c. It is provided so as to be deformable in the direction.
[0042]
In such a configuration, when the second guide wheels 14a, 14b, 14c press the outer peripheral portion of the glass master 2 at the time of centering, a reaction force against the pressing is applied from the glass master 2 to the second links 13a, 13b, 13c and the first link. Acts on the links 9a, 9b, 9c. However, the provision of the receiving seats 28a, 28b, 28c prevents the second links 13a, 13b, 13c from being bent by the reaction force acting from the glass master 2. Further, by providing the elastic bodies 29a, 29b, 29c, the first links 9a, 9b, 9c are prevented from being bent by the reaction force acting from the glass master 2.
[0043]
The second links 13a, 13b, and 13c are prevented from bending, whereby the second guide wheels 14a, 14b, and 14c are prevented from tilting, and the first links 9a, 9b, and 9c are prevented from bending. The inclination of one guide wheel 11a, 11b, 11c is prevented. Therefore, by providing the receiving seats 28a, 28b, 28c and the elastic bodies 29a, 29b, 29c, the centering accuracy due to the inclination of the second guide wheels 14a, 14b, 14c and the first guide wheels 11a, 11b, 11c during centering. Can be prevented from decreasing.
[0044]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, at the time of centering the center of rotation of the turntable and the center of the disk-shaped rotated object placed on the turntable, one end is rotatably attached to the fixed table. A first guide wheel provided at the other end of one link abuts on the outer peripheral portion of the turntable, and then a second link pivoting about a second fulcrum located on the rotation center of the first guide wheel is provided. The second guide wheel attached to the end moves by the same amount in the direction of the rotation center of the turntable, and the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated object to position the disk-shaped rotated object. Accordingly, each of the second guide wheels pressing the disk-shaped rotated object is located at an equal distance from the outer peripheral portion of the turntable, and the installation position of the fixed table is slightly shifted with respect to the rotation center of the turntable. Even in this case, the center of rotation of the turntable and the center of the disk-shaped rotated object can be accurately centered.
[0045]
According to the second aspect of the present invention, since the receiving seat abutting on the lower surface of the second link is provided at the third fulcrum, when the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disk-shaped rotated body, the disk-shaped rotating body is pressed. The second link can be prevented from bending by the reaction force acting from the rotating body by the seat, and the second guide wheel can be prevented from tilting due to the second link bending, and the second guide wheel can be tilted. , The centering accuracy between the center of rotation of the turntable and the center of the disk-shaped object to be rotated can be prevented from lowering.
[0046]
According to the third aspect of the present invention, one end is fixed to the fixed table and the other end is fixed to the first link, and the elastic body which is elastically deformable in the radial direction of the turntable is provided. The elastic body can prevent the first link from being bent by the reaction force acting from the disc-shaped rotated body when the outer peripheral portion of the rotary body is pressed, and the first link accompanying the bending of the first link can be prevented. The guide wheels can be prevented from tilting, and the centering accuracy between the center of rotation of the turntable and the center of the disk-shaped driven body due to the tilting of the first guide wheels can be prevented.
[0047]
According to the fourth aspect of the invention, since at least the outer peripheral portion of the third guide wheel is formed of an elastic member that can be deformed in the radial direction of the turntable, the fixed table is installed at a large position relative to the rotation center of the turntable. In the case of a deviation, the deviation can be absorbed by the elastic member of the third guide wheel, and the first guide wheel can be brought into contact with the outer periphery of the turntable at the time of centering. The disc-shaped rotated object can be positioned by pressing against the outer peripheral portion of the rotating object. Therefore, even if the installation position of the fixed table is largely deviated from the rotation center of the turntable, the centering between the rotation center of the turntable and the center of the disc-shaped rotated object can be accurately performed.
[0048]
According to the fifth aspect of the present invention, since the driving means for rotating the rotating table in the predetermined direction is provided, the centering can be performed by rotating the rotating table by the driving means at the time of centering. Work efficiency of work can be improved.
[0049]
According to the sixth aspect of the present invention, an air cylinder is provided as driving means for rotating the rotary table in a predetermined direction, and a pressure control means for adjusting compressed air pressure is provided in a compressed air flow path for driving the air cylinder. Therefore, by reducing the compressed air pressure driving the air cylinder when the second guide wheel presses the outer peripheral portion of the disc-shaped driven body, the reaction force acting on the second guide wheel from the disc-shaped driven body is reduced. Thus, the inclination of the second guide wheel or the first guide wheel can be suppressed, and the centering accuracy between the center of rotation of the turntable and the center of the disc-shaped rotated object can be increased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a state during a centering operation.
FIG. 3 is a front view showing a part of the cutaway.
FIG. 4 is a plan view showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a plan view showing a state during a centering operation.
FIG. 6 is a front view showing a part of the broken part.
[Explanation of symbols]
1 Turntable
2 Disk-shaped rotating object
3 fixed table
6 Rotating table
8a, 8b, 8c First fulcrum
9a, 9b, 9c 1st link
10a, 10b, 10c Second fulcrum
11a, 11b, 11c First guide wheel
12a, 12b, 12c biasing body
13a, 13b, 13c Second link
14a, 14b, 14c Second guide wheel
15a, 15b, 15c Guide groove
16a, 16b, 16c Third guide wheel
17a, 17b, 17c Third fulcrum
19 Drive means, air cylinder
27 Pressure control means
28a, 28b, 28c
29a, 29b, 29c elastic body
A Turntable rotation center

Claims

A fixed table which is arranged concentrically with the center of rotation of the turntable around a cylindrical turntable on which a disk-shaped object to be rotated is placed and driven to rotate around the center of rotation, and fixed to the device base. When,
A rotating table arranged around the fixed table and rotatable at the same center as the fixed table;
At least three or more first fulcrums provided on the fixed table and arranged at substantially equal angular intervals with respect to the rotation center of the turntable;
An arc-shaped first link, one end of which is rotatably held by the first fulcrum and arranged in a direction along an outer peripheral portion of the turntable;
A first guide wheel rotatably attached to the other end of the first link, wherein the first link pivots around the first fulcrum and comes into contact with and separates from the outer periphery of the turntable;
An urging body for urging the first link in a direction in which the first guide wheel rotates the first link in a direction away from an outer peripheral portion of the turntable;
A second link having one end rotatably connected to the other end of the first link by a second fulcrum located on the rotation center of the first guide wheel;
The second link is rotatably attached to the other end of the second link, and when the second link rotates around the second fulcrum in the direction of the rotation center of the turntable, the second link comes into contact with the outer peripheral portion of the disc-shaped rotated object. A second guide wheel for contacting and pressing the disc-shaped rotated object toward the rotation center of the turntable;
A guide groove formed in the second link so as to extend from one end of the second link to the other end;
A third guide wheel attached to the turntable, which presses the arc-shaped outer peripheral portion of the first link toward the center of rotation of the turntable when the turntable is turned in a predetermined direction;
The second guide wheel is provided on the turning table, is fitted into the guide groove, and moves in the guide groove when the turning table is turned in a predetermined direction, whereby the second guide wheel is rotated by the disk-shaped rotating member. A third fulcrum for rotating the second link around the second fulcrum to a position where the outer periphery of the body is pressed;
Has,
When the rotating table is rotated in a predetermined direction, the first guide wheels come into contact with the outer peripheral portion of the turntable, and then all the second guide wheels are the same in the direction of the rotation center of the turntable. A centering device for a disk-shaped object to be rotated, which presses an outer peripheral portion of the disk-shaped object to be rotated and positions the disk-shaped object to be rotated.

2. The centering device for a disk-shaped object to be rotated according to claim 1, wherein a receiving seat abutting on a lower surface of the second link is provided at the third fulcrum.

3. The centering device for a disk-shaped object to be rotated according to claim 1, wherein one end is fixed to the fixed table and the other end is fixed to the first link, and an elastic body elastically deformable in a radial direction of the turntable is provided. .

4. The centering device for a disk-shaped object to be rotated according to claim 1, wherein at least an outer peripheral portion of the third guide wheel is formed of an elastic member which is deformable in a radial direction of the turntable.

5. The centering device for a disk-shaped object to be rotated according to claim 1, further comprising a driving means for rotating the rotation table in a predetermined direction.

6. The centering device for a disk-shaped object to be rotated according to claim 5, wherein an air cylinder is provided as the driving means, and pressure control means for adjusting a compressed air pressure in a compressed air flow path for driving the air cylinder is provided.