JP3563791B2

JP3563791B2 - Automatic oxygen concentration controller for inert atmosphere reflow furnace

Info

Publication number: JP3563791B2
Application number: JP31350694A
Authority: JP
Inventors: 明夫谷口; 準一勝瀬; 俊浩小原
Original assignee: Tamura Corp
Current assignee: Tamura Corp
Priority date: 1994-12-16
Filing date: 1994-12-16
Publication date: 2004-09-08
Anticipated expiration: 2019-09-08
Also published as: JPH08172263A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、リフローはんだ付けに使用される不活性雰囲気リフロー炉の炉体内を所定の低酸素濃度雰囲気に制御するための酸素濃度自動制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、不活性雰囲気リフロー炉の炉体内雰囲気を所定の低酸素濃度に制御する場合は、酸素濃度計と不活性ガスの注入量を制御する自動制御装置とを組合せて、酸素濃度の制御を行っている。
【０００３】
また、本発明の出願人は、特願平５−１３５８６６号の明細書および図面にて、リフロー炉内の雰囲気中の酸素濃度を測定しながら、所望の酸素濃度に近付けるために、不活性ガスの注入量をコントロールするとともに、必要に応じて雰囲気中に空気を強制的に供給するエアミックス法による酸素濃度制御方法およびその装置を提案している。この提案済みの酸素濃度制御装置は、酸素濃度計と制御装置とが分離したものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように酸素濃度計と制御装置とが分離したものは、酸素濃度計および制御装置が汎用目的で作られているため、リフロー炉内の酸素濃度制御を行うのに、濃度測定レンジの切換時の検出や、制御定数の決定およびエアミックス制御を自動化することが難しいという問題があった。
【０００５】
例えば、濃度測定レンジが切換ると別のパラメータを設定する必要があるにもかかわらず、従来は酸素濃度計が測定レンジを変えたときに、制御装置がそれに追従できなかった。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、濃度測定レンジの切換時の検出や、制御定数の決定や、エアミックス制御の自動化などを容易に行える不活性雰囲気リフロー炉専用の酸素濃度自動制御装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、不活性ガスおよび空気を注入して所定の低酸素濃度雰囲気を形成したリフロー用の炉体内より炉体内雰囲気を取出し、その雰囲気中の酸素濃度を測定して炉体内に注入される不活性ガスおよび空気の流量を制御する不活性雰囲気リフロー炉用の酸素濃度自動制御装置であって、制御装置本体内に、炉体内雰囲気をサンプリングして雰囲気中の酸素濃度を測定する酸素濃度計と、この酸素濃度計から得られた酸素濃度情報に基づき炉体内に供給される不活性ガスおよび空気の流量を制御する酸素濃度制御回路とを、一体的に設けた構成の不活性雰囲気リフロー炉用の酸素濃度自動制御装置である。
【０００８】
【作用】
本発明は、酸素濃度制御回路によって、酸素濃度計に対する濃度測定レンジの切換指示や、制御定数の決定や、不活性ガスおよび空気の自動供給に係るエアミックス制御を行う。
【０００９】
【実施例】
以下、本発明を図１および図２に示される一実施例を参照しながら詳細に説明する。
【００１０】
図２は、本発明に係る不活性雰囲気はんだ付け用のリフロー炉および酸素濃度制御系を示す。
【００１１】
１１はリフロー用の炉体であり、この炉体１１の一側および他側に開口部１２が設けられ、この一側および他側の開口部１２を経て、ワーク（部品実装基板）Ｗを炉体内に搬入し炉体外に搬出する搬送コンベヤ１３が設けられている。
【００１２】
前記炉体１１は、仕切板１１ａにより内部を区画されて、複数の予加熱室およびリフロー室が形成されている。その各室にはヒータ１４、ブロワ１５および図示しない案内板が設けられ、高温の不活性雰囲気を循環する雰囲気循環系が形成されている。
【００１３】
この炉体１１内で、ヒータ１４により加熱された雰囲気がブロワ１５に吸引される経路中を横断する形で、前記ワーク搬送用のコンベヤ１３が設けられ、この搬送コンベヤ１３により炉体１１内に搬入されたワークＷを、高温の雰囲気によりリフローはんだ付けするようにしている。
【００１４】
前記炉体１１の少なくともリフロー室に対し、炉内酸素濃度を制御する自動制御系が設けられている。このリフロー室には、炉内の雰囲気をサンプリングして外部制御装置に取込むための雰囲気取込管１６がワーク搬送部近傍まで挿入され、さらに、窒素ガスなどの不活性ガスを炉内に供給するための不活性ガス供給管１７と、空気を炉内に供給するための空気供給管１８とがそれぞれ下部より挿入されている。
【００１５】
すなわち、この酸素濃度自動制御系は、炉内に不活性ガス（窒素ガス）を強制的に注入する不活性ガス供給系と、炉内に空気を強制的に混入する空気供給系とを併設してなるエアミックス制御系である。
【００１６】
不活性ガス供給系は、窒素タンクまたは窒素発生装置などの不活性ガス供給源２１から炉体１１内に至る不活性ガス供給管１７中に減圧弁２２および流量調整弁２３が設けられている。この流量調整弁２３は外部信号により制御可能の制御モータなどにより流量を可変調整できる。
【００１７】
空気供給系は、コンプレッサなどの空圧源２４から炉体１１内に至る空気供給管１８中に減圧弁２５および流量調整弁２６が設けられている。この流量調整弁２６も外部信号により制御可能の制御モータなどにより流量を可変調整できる。
【００１８】
前記雰囲気取込管１６は酸素濃度自動制御装置本体２７に接続され、この制御装置本体２７の出力端子は、不活性ガス量制御ライン２８および空気量制御ライン２９を経て、不活性ガス用流量調整弁２３および空気用流量調整弁２６の各制御モータ部にそれぞれ接続されている。
【００１９】
次に、この図２に示されるリフロー炉および酸素濃度制御系の動作を説明すると、炉体１１の内部に不活性ガス供給管１７および空気供給管１８から窒素ガスおよび空気をそれぞれ送込み、ブロワ１５により撹拌する。
【００２０】
この炉体内に供給された気体と炉体外部からの影響がバランスした状態で酸素濃度が平衡状態となる。一方、コンベヤ１３により外部から搬入されるワークＷによって外部から炉体内に酸素が持込まれ、平衡状態が乱される。
【００２１】
そこで、炉体内雰囲気を雰囲気取込管１６によりサンプリングして、酸素濃度自動制御装置本体２７に取込み、酸素濃度を測定し、その結果から演算を行って適切な流量の不活性ガスおよび空気を炉体１１内へ注入するための制御を行う。すなわち、流量調整弁２３を制御して炉体内に供給される窒素ガスなどの不活性ガスを流量制御するとともに、流量調整弁２６を制御して炉体内に供給される空気を流量制御する。
【００２２】
次に、図１を参照して前記酸素濃度自動制御装置本体２７の構成を説明する。
【００２３】
酸素濃度自動制御装置本体２７の内部にバイパスアウト管路３１、サンプリングイン管路３２およびサンプリングアウト管路３３が配管されている。バイパスアウト管路３１にはバルブ３４が設けられている。
【００２４】
前記サンプリングイン管路３２には前記雰囲気取込管１６が接続され、このサンプリングイン管路３２中に設けられたポンプ３５により、炉体１１内の不活性雰囲気がサンプリング吸引される。
【００２５】
このポンプ３５の吐出管路は、前記バイパスアウト管路３１への分岐用管継手３６を経て流量計３７に連通され、さらにこの流量計３７を経て検出セル３８ａに連通され、さらにこの検出セル３８ａを経て前記サンプリングアウト管路３３に連通されている。
【００２６】
前記流量計３７は、前記検出セル３８ａに取込まれる炉体内雰囲気の流量を検出するための流量センサであり、バルブ３４を経て排気される雰囲気流量を調整することにより、流量計３７を経て検出セル３８ａに供給される炉体内雰囲気流量を設定された値に保つことができる。
【００２７】
前記検出セル３８ａは、内蔵ヒータにより約８００ ℃に加熱されるジルコニア素子を主要構成としたジルコニアセンサであり、加熱された状態では雰囲気中の酸素濃度に応じた起電力を発生するから、その起電力を検出信号ラインを経て酸素濃度測定回路３８ｂに導き、測定する。この検出セル３８ａおよび酸素濃度測定回路３８ｂにより、炉体内雰囲気中の酸素濃度を測定する酸素濃度計３８を構成している。
【００２８】
前記酸素濃度測定回路３８ｂは、測定信号ラインを経て酸素濃度制御回路４１に接続されている。この酸素濃度制御回路４１には操作指示パネル４２が接続され、さらに不活性ガス量制御ライン４３および空気量制御ライン４４が接続されている。
【００２９】
この酸素濃度制御回路４１は、操作指示パネル４２により設定された制御指令値（酸素濃度設定値）と前記測定回路３８ｂから得られた信号との偏差を比例・積分・微分演算して、必要な不活性ガス供給流量および空気供給流量を制御し得る電気信号を出力するＰＩＤ制御回路を有し、この制御回路４１から引出された不活性ガス量制御ライン４３は、前記不活性ガス量制御ライン２８に接続され、空気量制御ライン４４は前記空気量制御ライン２９に接続されている。
【００３０】
次に、図１に示された酸素濃度自動制御装置本体２７の動作例を説明する。
【００３１】
炉体１１内の雰囲気（酸素濃度）をサンプリングイン管路３２からポンプ３５によって取込む。流量計３７によって検出セル３８ａへの流量をセル形状と大きさから例えば５００ｃｃ／分に調整し、酸素濃度測定回路３８ｂにより炉体内雰囲気中の酸素濃度を測定する。
【００３２】
この測定された酸素濃度を酸素濃度制御回路４１で演算処理して、不活性ガス量制御ライン４３および空気量制御ライン４４に０〜１０ボルトの制御電圧をそれぞれ出力する。
【００３３】
前記炉体１１内から取込管１６を経て制御装置本体２７に取込まれる雰囲気の総流量は例えば１０００ｃｃ／分に制御して、濃度測定の遅れ時間を調整する。すなわち、前記総流量を大きくすることにより配管による遅れが小さくなるので炉体内の低酸素濃度ガスを短い時間で検出セル３８ａに取込むことができる。この検出遅れ時間は、ＰＩＤ制御にとって一次遅れとなるのであまり遅れ時間が長いと制御不可能になる。
【００３４】
このとき、総流量１０００ｃｃ／分のうち検出セル３８ａで必要としない５００ｃｃ／分の雰囲気は、バイパスアウト管路３１中のバルブ３４で流量調整して制御装置本体２７の外部に排気する。
【００３５】
さらに、炉内でリフローはんだ付けに使用された雰囲気中には腐食性ガス、被毒物性ガスが混在しているが、これらのガスを直接検出セル３８ａに入れると濃度測定不良やセルの故障の原因となるため、実際の使用に際しては酸素濃度自動制御装置本体２７の手前の管路中に活性炭フィルタを挿入することにより不純物の除去を行うとよい。
【００３６】
また、酸素濃度制御回路４１は、酸素濃度測定回路３８ｂをも制御する。例えば、自らの受入準備が整った段階で、酸素濃度測定回路３８ｂに対し濃度測定レンジの切換を指示する。
【００３７】
このように、酸素濃度制御回路４１は、酸素濃度測定、不活性ガス供給および空気供給の全てを制御でき、前記濃度測定レンジの切換時の検出や、炉体１１の構造、炉体内温度、ブロワ１５の駆動速度および配管系などに対応する制御定数の決定や、不活性ガスおよび空気の絶対的供給量または相対的供給量を制御するエアミックス制御を、酸素濃度制御回路４１により自動化できる。
【００３８】
そして、酸素濃度が上がった場合は不活性ガスの流量を増やし、また、必要以上に酸素濃度が下がってしまった場合は空気を流量調整しながら加えることにより、不活性ガスの流量を極端に絞ることなく雰囲気中の酸素濃度を迅速に上昇復帰させ、酸素濃度を一定の範囲内で安定させるようにする。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、炉体内雰囲気中の酸素濃度を測定する酸素濃度計と、不活性ガスおよび空気を流量制御する酸素濃度制御回路とを一体不可分に構成することにより、濃度測定レンジの切換時の検出や、制御定数の決定や、エアミックス制御の自動化を行うことが容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る酸素濃度自動制御装置本体の内部構造を示すブロック図である。
【図２】同上制御装置本体を不活性雰囲気リフロー炉に適用した例を示す炉体断面図および流体回路図である。
【符号の説明】
１１炉体
２７制御装置本体
３８酸素濃度計
４１酸素濃度制御回路[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to an automatic oxygen concentration control device for controlling the inside of a furnace of an inert atmosphere reflow furnace used for reflow soldering to a predetermined low oxygen concentration atmosphere.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when controlling the atmosphere in a furnace of an inert atmosphere reflow furnace to a predetermined low oxygen concentration, the oxygen concentration is controlled by combining an oxygen concentration meter and an automatic control device for controlling an injection amount of an inert gas. ing.
[0003]
In addition, the applicant of the present invention uses the specification and drawings of Japanese Patent Application No. 5-135866 to measure the oxygen concentration in the atmosphere in the reflow furnace and, in order to approach the desired oxygen concentration, use an inert gas. A method and an apparatus for controlling an oxygen concentration by an air mixing method, which controls the injection amount of oxygen and forcibly supplies air into the atmosphere as necessary. In this proposed oxygen concentration control device, the oxygen concentration meter and the control device are separated.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
When the oxygen concentration meter and the control device are separated as described above, the oxygen concentration meter and the control device are made for general purpose. There is a problem that it is difficult to automate the detection of the air condition, the determination of the control constant, and the air mix control.
[0005]
For example, when the concentration measurement range is switched, it is necessary to set another parameter, but conventionally, when the oximeter changed the measurement range, the control device could not follow it.
[0006]
The present invention has been made in view of such a point, and an oxygen concentration dedicated to an inert atmosphere reflow furnace that can easily detect when a concentration measurement range is switched, determine a control constant, and automate air mix control, etc. It is an object to provide an automatic control device.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, an atmosphere inside the furnace is taken out of the furnace for reflow in which an inert gas and air are injected to form a predetermined low oxygen concentration atmosphere, and the oxygen concentration in the atmosphere is measured and injected into the furnace. An oxygen concentration automatic control device for an inert atmosphere reflow furnace for controlling a flow rate of an inert gas and air, wherein an oxygen concentration meter for sampling an atmosphere in a furnace and measuring an oxygen concentration in the atmosphere in a control device body. And an oxygen concentration control circuit for controlling the flow rate of the inert gas and air supplied into the furnace based on the oxygen concentration information obtained from the oxygen concentration meter. Oxygen concentration automatic control device.
[0008]
[Action]
According to the present invention, an oxygen concentration control circuit performs an instruction to switch a concentration measurement range to an oximeter, determines a control constant, and performs air mix control relating to automatic supply of inert gas and air.
[0009]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to an embodiment shown in FIGS.
[0010]
FIG. 2 shows a reflow furnace for inert atmosphere soldering and an oxygen concentration control system according to the present invention.
[0011]
Reference numeral 11 denotes a furnace body for reflow. Openings 12 are provided on one side and the other side of the furnace body 11, and the work (component mounting board) W is passed through the openings 12 on the one side and the other side. A transport conveyor 13 is provided which is carried into the body and carried out of the furnace body.
[0012]
The inside of the furnace body 11 is partitioned by a partition plate 11a, and a plurality of preheating chambers and reflow chambers are formed. Each of the chambers is provided with a heater 14, a blower 15, and a guide plate (not shown) to form an atmosphere circulation system for circulating a high-temperature inert atmosphere.
[0013]
In the furnace body 11, a conveyor 13 for transferring the work is provided so as to traverse the path in which the atmosphere heated by the heater 14 is sucked by the blower 15. The carried-in work W is reflow-soldered in a high-temperature atmosphere.
[0014]
An automatic control system for controlling the oxygen concentration in the furnace is provided at least in the reflow chamber of the furnace body 11. Into this reflow chamber, an atmosphere intake pipe 16 for sampling the atmosphere in the furnace and taking it into an external controller is inserted up to the vicinity of the work transfer section, and further supplies an inert gas such as nitrogen gas into the furnace. An inert gas supply pipe 17 for supplying air and an air supply pipe 18 for supplying air into the furnace are inserted from below.
[0015]
That is, this automatic oxygen concentration control system is provided with an inert gas supply system for forcibly injecting an inert gas (nitrogen gas) into the furnace and an air supply system for forcibly mixing air into the furnace. It is an air mix control system.
[0016]
In the inert gas supply system, a pressure reducing valve 22 and a flow control valve 23 are provided in an inert gas supply pipe 17 extending from an inert gas supply source 21 such as a nitrogen tank or a nitrogen generator to the inside of the furnace body 11. The flow rate adjusting valve 23 can variably adjust the flow rate by a control motor or the like which can be controlled by an external signal.
[0017]
In the air supply system, a pressure reducing valve 25 and a flow regulating valve 26 are provided in an air supply pipe 18 extending from an air pressure source 24 such as a compressor to the inside of the furnace body 11. The flow rate adjusting valve 26 can also variably adjust the flow rate by a control motor or the like which can be controlled by an external signal.
[0018]
The atmosphere intake pipe 16 is connected to an oxygen concentration automatic control device main body 27, and an output terminal of the control device main body 27 passes through an inert gas amount control line 28 and an air amount control line 29 to adjust the flow rate of inert gas. The control motors of the valve 23 and the air flow control valve 26 are connected to each other.
[0019]
Next, the operation of the reflow furnace and the oxygen concentration control system shown in FIG. 2 will be described. Nitrogen gas and air are sent from the inert gas supply pipe 17 and the air supply pipe 18 into the furnace body 11, respectively. Stir with 15.
[0020]
The oxygen concentration is in an equilibrium state in a state where the gas supplied into the furnace and the influence from the outside of the furnace are balanced. On the other hand, oxygen is carried into the furnace from the outside by the work W carried in from the outside by the conveyor 13, and the equilibrium state is disturbed.
[0021]
Therefore, the atmosphere in the furnace is sampled by the atmosphere intake pipe 16, taken into the oxygen concentration automatic control device main body 27, the oxygen concentration is measured, and a calculation is performed based on the result. Control for injecting into the body 11 is performed. That is, the flow rate control valve 23 is controlled to control the flow rate of an inert gas such as nitrogen gas supplied into the furnace, and the flow rate control valve 26 is controlled to control the flow rate of air supplied to the furnace body.
[0022]
Next, the configuration of the oxygen concentration automatic control device main body 27 will be described with reference to FIG.
[0023]
A bypass-out pipe 31, a sampling-in pipe 32, and a sampling-out pipe 33 are provided inside the oxygen concentration automatic control device main body 27. A valve 34 is provided in the bypass out line 31.
[0024]
The atmosphere intake pipe 16 is connected to the sampling-in pipe 32, and the inert atmosphere in the furnace body 11 is sampled and sucked by a pump 35 provided in the sampling-in pipe 32.
[0025]
The discharge pipe of the pump 35 is connected to a flow meter 37 via a pipe joint 36 for branching to the bypass-out pipe 31, further connected to a detection cell 38a through the flow meter 37, and further connected to the detection cell 38a. Through the sampling-out pipe 33.
[0026]
The flowmeter 37 is a flow sensor for detecting the flow rate of the atmosphere in the furnace taken into the detection cell 38a, and detects the flow rate through the flowmeter 37 by adjusting the flow rate of the atmosphere exhausted through the valve 34. The furnace atmosphere flow rate supplied to the cell 38a can be maintained at a set value.
[0027]
The detection cell 38a is a zirconia sensor mainly composed of a zirconia element heated to about 800 ° C. by a built-in heater. In the heated state, the detection cell 38a generates an electromotive force corresponding to the oxygen concentration in the atmosphere. The electric power is guided to the oxygen concentration measuring circuit 38b through the detection signal line and measured. The detection cell 38a and the oxygen concentration measuring circuit 38b constitute an oxygen concentration meter 38 for measuring the oxygen concentration in the atmosphere in the furnace.
[0028]
The oxygen concentration measurement circuit 38b is connected to an oxygen concentration control circuit 41 via a measurement signal line. An operation instruction panel 42 is connected to the oxygen concentration control circuit 41, and further, an inert gas amount control line 43 and an air amount control line 44 are connected.
[0029]
The oxygen concentration control circuit 41 performs a proportional / integral / differential operation on a deviation between a control command value (oxygen concentration set value) set by the operation instruction panel 42 and a signal obtained from the measuring circuit 38b, and performs necessary calculations. It has a PID control circuit that outputs an electric signal capable of controlling the flow rate of the inert gas and the flow rate of the air. The inert gas amount control line 43 drawn from the control circuit 41 is connected to the inert gas amount control line 28. , And the air amount control line 44 is connected to the air amount control line 29.
[0030]
Next, an operation example of the oxygen concentration automatic control device main body 27 shown in FIG. 1 will be described.
[0031]
The atmosphere (oxygen concentration) in the furnace body 11 is taken in from the sampling-in pipe 32 by the pump 35. The flow rate to the detection cell 38a is adjusted to, for example, 500 cc / min from the cell shape and size by the flow meter 37, and the oxygen concentration in the furnace atmosphere is measured by the oxygen concentration measurement circuit 38b.
[0032]
The measured oxygen concentration is subjected to arithmetic processing in an oxygen concentration control circuit 41, and control voltages of 0 to 10 volts are output to an inert gas amount control line 43 and an air amount control line 44, respectively.
[0033]
The total flow rate of the atmosphere taken into the control device main body 27 from the inside of the furnace body 11 via the intake pipe 16 is controlled to, for example, 1000 cc / min to adjust the delay time of the concentration measurement. That is, since the delay caused by the piping is reduced by increasing the total flow rate, the low oxygen concentration gas in the furnace can be taken into the detection cell 38a in a short time. This detection delay time is a first-order delay for the PID control, and if the delay time is too long, control becomes impossible.
[0034]
At this time, of the total flow rate of 1000 cc / min, the atmosphere of 500 cc / min which is not required in the detection cell 38a is exhausted to the outside of the control device main body 27 by adjusting the flow rate by the valve 34 in the bypass out pipe 31.
[0035]
Furthermore, in the atmosphere used for reflow soldering in the furnace, corrosive gas and poisonous substance gas are mixed, but if these gases are directly introduced into the detection cell 38a, the concentration measurement failure or the cell failure may occur. Therefore, in actual use, it is advisable to remove impurities by inserting an activated carbon filter into a pipe before the oxygen concentration automatic control device main body 27.
[0036]
The oxygen concentration control circuit 41 also controls the oxygen concentration measurement circuit 38b. For example, when the self-preparation is completed, the oxygen concentration measuring circuit 38b is instructed to switch the concentration measuring range.
[0037]
As described above, the oxygen concentration control circuit 41 can control all of the oxygen concentration measurement, the supply of the inert gas, and the air supply, and detects when the concentration measurement range is switched, the structure of the furnace body 11, the furnace temperature, the blower temperature, and the like. The determination of the control constants corresponding to the drive speed and the piping system of 15 and the air mix control for controlling the absolute supply amount or the relative supply amount of the inert gas and air can be automated by the oxygen concentration control circuit 41.
[0038]
When the oxygen concentration is increased, the flow rate of the inert gas is increased, and when the oxygen concentration is decreased more than necessary, the flow rate of the inert gas is extremely reduced by adding the air while adjusting the flow rate. The oxygen concentration in the atmosphere is quickly raised and returned without causing the oxygen concentration to stabilize within a certain range.
[0039]
【The invention's effect】
According to the present invention, an oxygen concentration meter that measures the oxygen concentration in the atmosphere inside the furnace and an oxygen concentration control circuit that controls the flow rate of the inert gas and the air are integrally formed, so that the concentration measurement range can be switched. Detection, determination of control constants, and automation of air mix control can be easily performed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing an internal structure of an oxygen concentration automatic control device main body according to the present invention.
FIG. 2 is a sectional view of a furnace body and a fluid circuit diagram showing an example in which the control device body is applied to an inert atmosphere reflow furnace.
[Explanation of symbols]
11 Furnace body 27 Control device main body 38 Oxygen concentration meter 41 Oxygen concentration control circuit

Claims

An atmosphere inside the furnace is taken out of the furnace for reflow in which an inert gas and air are injected to form a predetermined low oxygen concentration atmosphere, and the oxygen concentration in the atmosphere is measured, and the inert gas injected into the furnace is measured. An oxygen concentration automatic control device for an inert atmosphere reflow furnace that controls the flow rate of air,
An oxygen concentration meter that samples the atmosphere inside the furnace and measures the oxygen concentration in the atmosphere inside the control device body, and inert gas and air supplied into the furnace based on the oxygen concentration information obtained from the oxygen concentration meter An oxygen concentration automatic control device for an inert atmosphere reflow furnace, wherein an oxygen concentration control circuit for controlling the flow rate of the oxygen gas is integrally provided.