JP3555638B2 - Ink jet recording head - Google Patents

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Description

【0001】
【発明が属する技術の分野】
本発明は、ノズルプレート、流路形成部材、及び振動板を積層し、振動板の表面にたわみ振動モードの圧電振動子を取付けたインクジェット記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
ノズルプレート、流路形成部材、及び振動板を積層し、振動板の表面にたわみ振動モードの圧電振動子を取付けたインクジェット記録ヘッドは、これら大部分の部材をセラミックにより構成されているため、各部材をグリーンシートの状態で積層して、これを焼成することにより接着剤を使用することなく固定できるため、接合工程が不要となり、製造工程の簡素化を図ることができるという利点を備えている。
このような記録ヘッドは、圧電振動子の個別電極から延長された接続端子にフレキシブルケーブルを半田付けにより接続して外部の駆動回路から駆動信号を受けて印刷データに合わせてインク滴を吐出する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、印字品質の向上や印刷速度の向上を図るために多数のノズルが形成された記録ヘッドにあっては、個別電極の数が極めて多くなり、これにともなって1つ1つの個別電極の半田付け領域が小さくなり、フレキシブルケーブルとの接続に使用する半田が接続端子から溢れて駆動電極まで流れ出し、個別電極を構成している柔軟な金属、例えば金(Au)等の膜が溶融半田によって溶食される「金食われ現象」が生じる。このような金食われ現象が生じると、個別電極と接続端子との間の導電関係が断たれるため、インク滴を吐出することができなくなるという問題が発生する。
【0004】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは個別電極とフレキシブルケーブルとの半田付けに起因する個別電極の溶食を防止することができるインクジェット式記録ヘッドを提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような問題を解消するために本発明においては、ノズル開口と共通のインク室に連通して一方の面を蓋部材により封止された圧力発生室と、前記蓋部材の表面に前記圧力発生室に対応するように形成された圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の極をなす個別電極と、該個別電極と対向するように前記蓋部材の表面に形成され、外部回路と前記個別電極とを接続するフレキシブルケーブルの接続領域となる接続端子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記個別電極の一端に補助電極を接続形成して接続端子の形成領域に引き出すとともに、前記接続端子の前記補助電極側に、前記フレキシブルケーブルと前記接続端子とを接続する半田の流れ込みを防止するための突出部を形成して構成されている。
【0006】
【発明の実施の形態】
そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
図1は、本発明の記録ヘッドの一実施例を示す組立斜視図であり、また図2は1つの圧力発生室近傍での断面構造を示す図で、図中符号2は第1の蓋部材で、厚さ10μm程度のジルコニアの薄板から構成され、その表面に一方の極となる共通電極4が形成され、その表面に後述する圧力発生室3、3に対向するようにPZT等からなる圧電振動子5、5’が固定され、さらにその表面に金等の比較的柔軟な金属の層からなる個別電極6、6’が形成され、さらに個別電極6、6’と後述する接続端子7、7’とを導電的に接続する相互が電気的に独立する補助電極21、21’が個別電極6、6’と対向する位置に形成されている。
【0007】
また接続電極7は、好ましくは図5(イ)に示したように補助電極側21、21’側の上部が若干の盛り上がるように突出部7aを備えるように形成するのが望まし。
【0008】
7、7は、第1の蓋部材2の側方に形成された接続端子で、図5(イ)に示したように補助電極21、21を介して個別電極6、6’の形成時にその一部をここまで引き出し、かつ間隙Gを空けて個別電極6、6’に導電的に接続されている。
【0009】
8は、スペーサで、圧力発生室3、3’を形成するのに適した厚さ、例えば150μmのジルコニア(ZrO)などのセラミックス板に通孔を穿設して構成され、後述する第2の蓋部材9と第1の蓋部材2により両面を封止されて前述の圧力発生室3、3’を形成している。
【0010】
9は、第2の蓋部材で、やはりジルコニア等のセラミック板に後述するインク供給口13、13’と圧力発生室3、3’とを接続する連通孔10、10’と、ノズル開口18、18’と圧力発生室3、3’の他端とを接続するノズル連通孔11、11’とを穿設して構成され、スペーサ8の他面に固定されている。
【0011】
これら各部材2、8、9は、粘土状のセラミックス材料を所定の形状に成形し、これを積層して焼成することにより接着剤を使用することなくアクチュエータユニット1に纏められている。
【0012】
12は、インク供給口形成基板で、アクチュエータユニット1の固定基板を兼ねるとともに、圧力発生室3、3’側の一端側に後述する共通のインク室15、15と圧力発生室3、3’とを接続するインク供給口13、13’が設けられ、また圧力発生室3、3’の他端側にはノズル開口18、18’に接続するノズル連通孔14、14’が設けられている。
【0013】
19は、共通のインク室形成基板で、図示しないインクタンクからのインクの流入を受ける共通のインク室15、15’と、ノズル開口18、18’と接続するノズル連通孔16、16’を設けて構成され、他方の面をノズルプレート17により封止されて共通のインク室15、15’を形成している。
【0014】
17は、前述のノズルプレートで、ノズル連通孔11、14、16、及びノズル連通孔11’、14’、16’を介して圧力発生室3、3’に連通するようにノズル開口18、18’が形成されている。
【0015】、
これらインク供給口形成基板12、共通のインク室形成基板19、及びノズルプレート17は、それぞれの間に熱溶着フィルムや接着剤等の接着層により固定して流路ユニット20に纏められる。
【0016】
この流路ユニット20と前述のアクチュエータユニット1とを熱溶着フィルムや接着剤等により固定して記録ヘッドが構成されている。
【0017】
30はフレキシブルケーブルで、記録ヘッドと駆動回路とを接続できる長さを有するリード部31、31’と、中央部にアクチュエータユニット1の接続端子7、7’を跨ぐことができる幅Wを備えた凸部32、32’を設けた可撓性フィルムをベース材33とし、その表面に接続部35、35’及びこれと導電関係を形成して外部駆動回路に接続するための導電パターン36、36’を形成して構成されている。このベース材は、半田付け時の熱に耐える材料、例えばポリイミドなどで構成しておくのが望ましい。
【0018】
図4は、上述したフレキシブルケーブル30の一実施例を示すもので、凸部32、32’にはアクチュエータユニット1の接続端子7、7’の配列ピッチに一致させて半田接続に適した接続部35、35’が形成されている。
【0019】
これら接続部35、35’はケーブル長手方向に2分され、一半のもの(図中下側のもの)はリード部31の導電パターン36に、また他半のもの(図中、上側のもの)はリード部31’の導電パターン36’に接続されている。
【0020】
また、共通の電極4、4’と重なる位置には、この電極4、4’と外部駆動回路とを接続する共通の電極接続用パターン38、38’が形成され、半田付け領域以外は表面がレジスト等の絶縁保護膜で被覆されている。
【0021】
このように構成された接続端子7、または接続部35、35’に半田ペーストを塗布した状態で、位置決め用のマーク24、24と、フレキシブルケーブル30の共通の電極接続用パターン38、38’上に形成されたのマーク39、39’とを一致するように位置合わせすると、フレキシブルケーブル30の接続部35、35’がアクチュエータユニット1の接続端子7、7’に一致する。
【0022】
この状態で、フレキシブルケーブル30のベース材33の表面から半田ペーストを溶融させるに足る温度に加熱すると、溶融した半田Hの一部が溢れ出して個別電極6側に流れようとするが、フレキシブルケーブル30の表面を絶縁しているレジスト層40が接続端子7の端部の突出部7aよりもさらに上部電極6側まで剥離されていて接続部35に連続する銅等の導電パターンが露出しているため、図5(ロ)に示したように接続端子7の端部の突出部7aから溢れ出した半田Hは、接続端子7の端部の突出部7aの近傍に露出している導電パターンの良好な半田の濡れ性に引かれてこれに吸い寄せられて補助電極21や、さらには個別電極6に付着するのが防止される。
【0023】
また、たとえ導電パターンに吸着されずに補助電極21の表面にまで流れ出したとしても、ここは比較的低温であるから、急速に冷却されて個別電極6にまで流れることができない。
【0024】
図6(イ)は、本発明の他の実施例を示すもので、この実施例においては、接続端子7の下部に半田の濡れ性が低く、かつ接続端子7を構成する銀や銅等の金属と蓋部材2との接着性を確保できるアルミニュームやクロムの膜41を形成するとともに、この膜40の一部40aを接続端子21の表面の個別電極6の近傍にまで延長したものである。
【0025】
この実施例によれば、半田付け時に溢れ出した半田Hが、膜41aとの濡れを確保できずに弾かれて、図6(ロ)に示したように半田と濡れ性が良い接続端子7に吸着されるため、個別電極6側に流れ出すのが防止される。なお、上述の実施例においては膜41を延長することにより接続端子と個別電極との間に半田に対する濡れ性の低い領域を形成したが、補助電極21自体をアルミニュームやクロムなどの半田の濡れ性が低い材料で構成し、接続端子21と個別電極6の端部6aとの間に間隙Gを確保するようにしても同様の作用を奏することは明らかである。
【0026】
図7(イ)は、接続端子近傍を拡大して示すもので、圧電振動子5の表面に形成された個別電極6を、接続端子7の端部との間に一定の間隙Gを明けるように補助電極21に導電的に接続し、接続端子7の端部から前述の間隙Gを埋めて上部電極6の端部6aよりもさらに圧電振動子5側に及ぶように、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などの耐熱性を備え、かつ半田による侵食を受けない材料により絶縁層42を形成したものである。
【0027】
フレキシブルケーブル30のベース材33の表面から半田ペーストを溶融させるに足る温度に加熱すると、溶融した半田Hの一部が溢れ出して個別電極6側に流れようとするが、接続端子7の個別電極6側には絶縁層42の盛り上り部が存在するため、図7(ロ)に示したように溶融半田はこれを乗り越えることができず、またここを乗り越えたとしてもこの凹部に収容されて個別電極6にまで流れることができない。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、フレキシブルケーブルの半田付け時の半田の流れを接続端子の突出部で食止めることでき、半田による個別電極の溶食を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施例を示す組立て斜視図である。
【図2】同上インクジェット式記録ヘッドを圧力発生室近傍の構造を示す断面図である。
【図3】アクチュエータユニットの表面に形成された接続端子の構造を示す図である。
【図4】同上インクジェット式記録ヘッドに接続されるフレキシブルケーブルに形成された導電パターンの一実施例を示す図である。
【図5】図(イ)、(ロ)は、それぞれ本発明の一実施例を、接続端子近傍を拡大して示す図と、フレキシブルケーブルを半田付けした状態を示す図である。
【図6】図(イ)、(ロ)は、それぞれ本発明の一実施例を、接続端子近傍を拡大して示す図と、フレキシブルケーブルを半田付けした状態を示す図である。
【図7】図(イ)、(ロ)はそれぞれ本発明の一実施例を、接続端子近傍を拡大して示す図と、フレキシブルケーブルを半田付けした状態を示す図である。
【符号の説明】
1 アクチュエータユニット
2 第1の蓋部材
3、3’ 圧力発生室
4、4’ 共通の電極
5、5’ 圧電振動子
6、6’ 個別電極
7、7’ 接続端子
18、18’ ノズル開口
20 流路ユニット
21 補助電極
30 フレキシブルケーブル
31、31’ リード部
32、32’ 凸部
33 ベース材
35、35’ 接続部
H 半田
[0001]
[Field of the Invention]
The present invention relates to an ink jet recording head in which a nozzle plate, a flow path forming member, and a vibration plate are laminated, and a piezoelectric vibrator in a flexural vibration mode is mounted on a surface of the vibration plate.
[0002]
[Prior art]
An ink jet recording head in which a nozzle plate, a flow path forming member, and a vibration plate are stacked, and a piezoelectric vibrator in a flexural vibration mode is mounted on the surface of the vibration plate, since most of these members are made of ceramic. Since the members can be laminated in the state of a green sheet and fired, the members can be fixed without using an adhesive, so that there is an advantage that a joining process is unnecessary and a manufacturing process can be simplified. .
In such a recording head, a flexible cable is connected by soldering to a connection terminal extended from an individual electrode of the piezoelectric vibrator, and receives a drive signal from an external drive circuit to discharge ink droplets in accordance with print data.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in a recording head in which a large number of nozzles are formed in order to improve the printing quality and the printing speed, the number of individual electrodes becomes extremely large. The soldering area used for connection with the flexible cable overflows from the connection terminal and flows to the drive electrode, and the flexible metal, such as gold (Au), forming the individual electrode is melted by the molten solder. Eating "gold-eating phenomenon" occurs. When such a gold erosion phenomenon occurs, the conductive relationship between the individual electrode and the connection terminal is broken, so that there is a problem that the ink droplet cannot be ejected.
[0004]
The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of preventing erosion of an individual electrode due to soldering between the individual electrode and a flexible cable. It is to provide.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve such a problem, according to the present invention, a pressure generation chamber which communicates with a nozzle opening and a common ink chamber and has one surface sealed by a lid member, and a pressure generation chamber formed on a surface of the lid member. A piezoelectric vibrator formed to correspond to the chamber, an individual electrode forming one pole of the piezoelectric vibrator, and formed on the surface of the lid member so as to face the individual electrode; In an ink jet recording head having a connection terminal serving as a connection region of a flexible cable for connecting an electrode, an auxiliary electrode is connected to one end of the individual electrode, and the auxiliary electrode is drawn out to a connection terminal formation region . A projection is formed on the auxiliary electrode side to prevent the flow of solder for connecting the flexible cable and the connection terminal to each other.
[0006]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Therefore, the details of the present invention will be described below based on the illustrated embodiment.
FIG. 1 is an assembled perspective view showing an embodiment of a recording head according to the present invention, and FIG. 2 is a view showing a sectional structure in the vicinity of one pressure generating chamber. And a common electrode 4 serving as one of the poles is formed on the surface of the zirconia thin plate having a thickness of about 10 μm. The vibrators 5, 5 'are fixed, and individual electrodes 6, 6' made of a relatively flexible metal layer such as gold are formed on the surface thereof. Further, the individual electrodes 6, 6 'and connection terminals 7, Auxiliary electrodes 21 and 21 ′ which are electrically independent of each other and which are electrically connected to 7 ′ are formed at positions facing the individual electrodes 6 and 6 ′.
[0007]
Further, it is desirable that the connection electrode 7 be formed so as to have a protruding portion 7a so that the upper portions of the auxiliary electrode sides 21 and 21 'are slightly raised as shown in FIG.
[0008]
Reference numerals 7 and 7 denote connection terminals formed on the sides of the first lid member 2, which are formed when the individual electrodes 6 and 6 'are formed via the auxiliary electrodes 21 and 21 as shown in FIG. A part is drawn out to this point, and is electrically connected to the individual electrodes 6, 6 'with a gap G therebetween.
[0009]
Reference numeral 8 denotes a spacer which is formed by piercing a through hole in a ceramic plate made of zirconia (ZrO 2 ) having a thickness suitable for forming the pressure generating chambers 3 and 3 ′, for example, 150 μm. Both surfaces are sealed by the lid member 9 and the first lid member 2 to form the above-described pressure generating chambers 3 and 3 '.
[0010]
Reference numeral 9 denotes a second lid member, which is a communication hole 10 and 10 'for connecting ink supply ports 13 and 13' and pressure generating chambers 3 and 3 'described later to a ceramic plate also made of zirconia or the like; Nozzle communication holes 11 and 11 ′ connecting the other end of the pressure generating chambers 3 and 3 ′ with the other are formed and fixed to the other surface of the spacer 8.
[0011]
These members 2, 8, and 9 are formed into a predetermined shape by forming a clay-like ceramic material, laminated, and fired to form the actuator unit 1 without using an adhesive.
[0012]
Reference numeral 12 denotes an ink supply port forming substrate, which also serves as a fixed substrate of the actuator unit 1 and has common ink chambers 15 and 15 and pressure generating chambers 3 and 3 'to be described later at one end of the pressure generating chambers 3 and 3'. Are provided, and the other end sides of the pressure generating chambers 3, 3 'are provided with nozzle communication holes 14, 14' connected to the nozzle openings 18, 18 '.
[0013]
Reference numeral 19 denotes a common ink chamber forming substrate which is provided with common ink chambers 15 and 15 'for receiving inflow of ink from an ink tank (not shown), and nozzle communication holes 16 and 16' connected to the nozzle openings 18 and 18 '. The other surface is sealed by a nozzle plate 17 to form common ink chambers 15, 15 '.
[0014]
Reference numeral 17 denotes the aforementioned nozzle plate, which has nozzle openings 18 and 18 so as to communicate with the pressure generating chambers 3 and 3 'via the nozzle communication holes 11, 14, 16 and the nozzle communication holes 11', 14 ', 16'. 'Has been formed.
[0015]
The ink supply port forming substrate 12, the common ink chamber forming substrate 19, and the nozzle plate 17 are fixed to each other by an adhesive layer such as a heat-sealing film or an adhesive, and are integrated into the channel unit 20.
[0016]
The flow path unit 20 and the above-described actuator unit 1 are fixed with a heat welding film, an adhesive, or the like to form a recording head.
[0017]
Numeral 30 denotes a flexible cable having lead portions 31 and 31 'having a length capable of connecting the recording head and the drive circuit, and having a width W at a central portion capable of straddling the connection terminals 7 and 7' of the actuator unit 1. A flexible film provided with convex portions 32, 32 'is used as a base material 33, and connection portions 35, 35' and conductive patterns 36, 36 for forming a conductive relationship therewith and connecting to an external drive circuit are formed on the surface thereof. 'Is formed. The base material is desirably made of a material that can withstand heat during soldering, such as polyimide.
[0018]
FIG. 4 shows an embodiment of the above-described flexible cable 30, in which the protrusions 32, 32 'correspond to the arrangement pitch of the connection terminals 7, 7' of the actuator unit 1 and are suitable for solder connection. 35, 35 'are formed.
[0019]
These connecting portions 35 and 35 'are divided into two in the longitudinal direction of the cable, and one half (the lower one in the drawing) is connected to the conductive pattern 36 of the lead portion 31 and the other half (the upper one in the drawing). Is connected to the conductive pattern 36 'of the lead portion 31'.
[0020]
In addition, common electrode connection patterns 38, 38 'for connecting the electrodes 4, 4' to an external drive circuit are formed at positions overlapping the common electrodes 4, 4 ', and the surfaces other than the soldering area are formed. It is covered with an insulating protective film such as a resist.
[0021]
In the state where the solder paste is applied to the connection terminals 7 or the connection portions 35, 35 'thus configured, the positioning marks 24, 24 and the common electrode connection patterns 38, 38' of the flexible cable 30 are formed. When the marks 39, 39 'formed on the flexible cable 30 are aligned with each other, the connecting portions 35, 35' of the flexible cable 30 match the connecting terminals 7, 7 'of the actuator unit 1.
[0022]
In this state, when the surface of the base material 33 of the flexible cable 30 is heated to a temperature sufficient to melt the solder paste, a part of the molten solder H overflows and flows to the individual electrode 6 side. The resist layer 40 that insulates the surface of the connection terminal 30 is peeled further to the upper electrode 6 side than the protruding portion 7a at the end of the connection terminal 7, and the conductive pattern such as copper continuous to the connection portion 35 is exposed. Therefore, as shown in FIG. 5B, the solder H that has overflowed from the protruding portion 7a at the end of the connection terminal 7 is exposed to the conductive pattern exposed near the protruding portion 7a at the end of the connection terminal 7. The good wettability of the solder attracts and attracts the solder to prevent the solder from adhering to the auxiliary electrodes 21 and further to the individual electrodes 6.
[0023]
Even if it flows to the surface of the auxiliary electrode 21 without being adsorbed by the conductive pattern, it is cooled rapidly and cannot flow to the individual electrode 6 because the temperature is relatively low.
[0024]
FIG. 6A shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, solder wettability is low under the connection terminal 7 and silver or copper or the like constituting the connection terminal 7 is used. A film 41 made of aluminum or chromium capable of securing the adhesion between the metal and the lid member 2 is formed, and a part 40 a of the film 40 is extended to the vicinity of the individual electrode 6 on the surface of the connection terminal 21. .
[0025]
According to this embodiment, the solder H overflowing during soldering is repelled without being able to secure the wettability with the film 41a, and the connection terminal 7 having good wettability with the solder as shown in FIG. Is prevented from flowing to the individual electrode 6 side. In the above-described embodiment, a region having low wettability with respect to solder is formed between the connection terminal and the individual electrode by extending the film 41. However, the auxiliary electrode 21 itself is formed by the wettability of solder such as aluminum or chrome. It is apparent that the same effect can be obtained even if the gap G is secured between the connection terminal 21 and the end 6a of the individual electrode 6 by using a material having low property.
[0026]
FIG. 7A shows an enlarged view of the vicinity of the connection terminal. The individual electrodes 6 formed on the surface of the piezoelectric vibrator 5 are separated from the end of the connection terminal 7 by a certain gap G. An epoxy resin or a polyimide resin so as to be conductively connected to the auxiliary electrode 21 and to fill the gap G from the end of the connection terminal 7 and further to the piezoelectric vibrator 5 side beyond the end 6 a of the upper electrode 6. The insulating layer 42 is formed of a material having heat resistance such as that described above and which is not eroded by solder.
[0027]
When the solder paste is heated from the surface of the base material 33 of the flexible cable 30 to a temperature sufficient to melt the solder paste, a part of the molten solder H overflows and flows to the individual electrode 6 side. On the 6th side, there is a raised portion of the insulating layer 42, so that the molten solder cannot get over this as shown in FIG. 7B, and even if it gets over it, it is accommodated in this recess. It cannot flow to the individual electrodes 6.
[0028]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the flow of solder at the time of soldering a flexible cable can be stopped by the protruding portions of the connection terminals, and the erosion of individual electrodes by solder can be reliably prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an assembled perspective view showing one embodiment of an ink jet recording head of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of the same ink jet recording head in the vicinity of a pressure generating chamber.
FIG. 3 is a diagram illustrating a structure of a connection terminal formed on a surface of an actuator unit.
FIG. 4 is a view showing one embodiment of a conductive pattern formed on a flexible cable connected to the ink jet recording head.
FIGS. 5A and 5B are diagrams showing an embodiment of the present invention in an enlarged manner in the vicinity of a connection terminal and a diagram showing a state in which a flexible cable is soldered, respectively.
6 (a) and 6 (b) are a diagram showing an embodiment of the present invention in an enlarged view near a connection terminal and a diagram showing a state in which a flexible cable is soldered.
FIGS. 7 (a) and 7 (b) are a diagram showing an embodiment of the present invention in an enlarged view in the vicinity of a connection terminal and a diagram showing a state in which a flexible cable is soldered.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator unit 2 First lid member 3, 3 'Pressure generating chamber 4, 4' Common electrode 5, 5 'Piezoelectric vibrator 6, 6' Individual electrode 7, 7 'Connection terminal 18, 18' Nozzle opening 20 Flow Road unit 21 Auxiliary electrode 30 Flexible cable 31, 31 'Lead part 32, 32' Convex part 33 Base material 35, 35 'Connection part H Solder

Claims (2)

ノズル開口と共通のインク室に連通して一方の面を蓋部材により封止された圧力発生室と、前記蓋部材の表面に前記圧力発生室に対応するように形成された圧電振動子と、前記圧電振動子の一方の極をなす個別電極と、該個別電極と対向するように前記蓋部材の表面に形成され、外部回路と前記個別電極とを接続するフレキシブルケーブルの接続領域となる接続端子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記個別電極の一端に補助電極を接続形成して接続端子の形成領域に引き出すとともに、前記接続端子の前記補助電極側に、前記フレキシブルケーブルと前記接続端子とを接続する半田の流れ込みを防止するための突出部を形成してなるインクジェット式記録ヘッド。
A pressure generating chamber which is in communication with the nozzle opening and the common ink chamber and one surface of which is sealed by a lid member, and a piezoelectric vibrator formed on the surface of the lid member so as to correspond to the pressure generating chamber, An individual electrode forming one pole of the piezoelectric vibrator; and a connection terminal formed on a surface of the lid member so as to face the individual electrode and serving as a connection region of a flexible cable for connecting an external circuit and the individual electrode. In the ink jet recording head having
An auxiliary electrode is connected to one end of the individual electrode and drawn out to a connection terminal forming area, and at the auxiliary electrode side of the connection terminal, solder for connecting the flexible cable and the connection terminal is prevented from flowing. An ink jet recording head formed with a protrusion.
前記補助電極の表面が、前記接続端子に比較して半田に対する濡れ性の低い導電材料で形成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the surface of the auxiliary electrode is formed of a conductive material having a lower wettability to solder than the connection terminal.
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