JP3532680B2 - Method of manufacturing inkjet head - Google Patents
Method of manufacturing inkjet headInfo
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- JP3532680B2 JP3532680B2 JP29442895A JP29442895A JP3532680B2 JP 3532680 B2 JP3532680 B2 JP 3532680B2 JP 29442895 A JP29442895 A JP 29442895A JP 29442895 A JP29442895 A JP 29442895A JP 3532680 B2 JP3532680 B2 JP 3532680B2
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を噴射し
て記録を行うインクジェットヘッドの製造方法に関す
る。近年、コンピュータやワードプロセッサの汎用化に
伴い、これら電子機器の出力装置の一つであるプリンタ
が数多く使用されており、このプリンタの一つにインク
ジェットプリンタが普及してきている。そして、インク
ジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドに
おける印字品質の向上、低コスト化が要求されている。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an ink jet head that ejects ink droplets to perform recording. In recent years, with the generalization of computers and word processors, many printers, which are one of the output devices of these electronic devices, have been used, and inkjet printers have become popular as one of these printers. Further, there is a demand for improvement in printing quality and cost reduction in an inkjet head mounted in an inkjet printer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図６に、従来のインクジェットヘッドの
説明図を示す。図６（Ａ）に示すように、インクジェッ
トヘッド１１は、長方形状の外壁１２に囲まれ、下方に
弾性部材１３を介して加圧板１４が設けられると共に、
上方にノズル孔１５ａが形成されたノズル板１５が設け
られて圧力室１６が形成される。外壁１２にはインク供
給口１７が形成され、インク溜まり（図示せず）とイン
ク供給路１８を介して連通される。また、加圧板１４の
裏面にはピエゾ素子１９が取り付けられる。2. Description of the Related Art FIG. 6 shows an explanatory view of a conventional ink jet head. As shown in FIG. 6 (A), the inkjet head 11 is surrounded by a rectangular outer wall 12, and a pressure plate 14 is provided below it via an elastic member 13, and
A nozzle plate 15 having a nozzle hole 15a formed therein is provided to form a pressure chamber 16. An ink supply port 17 is formed in the outer wall 12 and communicates with an ink reservoir (not shown) via an ink supply passage 18. A piezo element 19 is attached to the back surface of the pressure plate 14.
【０００３】このようなインクジェットヘッド１１はピ
エゾ素子１９に電圧を印加する。インクジェットヘッド
１１におけるピエゾ素子１９に電圧を印加することによ
り、ピエゾ素子１９が変形して加圧板１４を上方に膨ら
むように弾性変形させる。加圧板１４は大きく撓み、上
方にほぼ平行移動する。この動作によって、圧力室１６
内のインク液がノズル孔１５ａから被印字物にインク滴
２０となって噴射される。Such an ink jet head 11 applies a voltage to the piezo element 19. By applying a voltage to the piezo element 19 in the inkjet head 11, the piezo element 19 is deformed and the pressure plate 14 is elastically deformed so as to bulge upward. The pressure plate 14 is largely bent and moves upward in a substantially parallel manner. By this operation, the pressure chamber 16
The ink liquid in the inside is ejected as ink droplets 20 from the nozzle holes 15a onto the printing object.
【０００４】一方、ピエゾ素子１９に対する印加電圧を
ゼロにすると、ピエゾ素子１９が弾性で元の位置に戻
り、それによって加圧板１４が元の位置に戻る。この動
作によって、圧力室１６内へインク液がインク供給口１
７より吸い込まれる。ここで、ノズル板１５は、セラミ
ック板、金属板、高分子樹脂板等にプレス加工、レーザ
加工、エッチング加工、モールド加工等の工程によって
ノズル孔１５ａとなる開口部が形成されたものである。
例えば図６（Ｂ）に示すように、金属板１５ｂにプレス
加工を施して円錐形とするテーパ部１５ａ1 と円筒形を
有するスレート部１５ａ2 とを形成している。そして、
スレート部１５ａ2 の先端におけるノズル孔１５ａの開
口部分に撥水層１５ｃが形成されている。On the other hand, when the applied voltage to the piezo element 19 is set to zero, the piezo element 19 elastically returns to its original position, which causes the pressure plate 14 to return to its original position. By this operation, the ink liquid enters the pressure chamber 16 and the ink supply port 1
It is sucked from 7. Here, the nozzle plate 15 is a ceramic plate, a metal plate, a polymer resin plate, or the like in which an opening to be the nozzle hole 15a is formed by a process such as press working, laser working, etching working, or molding working.
For example, as shown in FIG. 6B, the metal plate 15b is pressed to form a tapered portion 15a 1 having a conical shape and a slate portion 15a 2 having a cylindrical shape. And
A water repellent layer 15c is formed at the opening of the nozzle hole 15a at the tip of the slate portion 15a 2 .
【０００５】撥水層１５ｃの形成は、撥インク性の表面
処理剤を塗布、スパッタ、又はめっき等によりノズル板
１５の表面に付着又は合成により行っている。この場
合、表面処理層を形成しない部分にはレジストやワック
ス等のマスキング材により被覆している。The water repellent layer 15c is formed by applying an ink repellent surface treatment agent to the surface of the nozzle plate 15 by coating, sputtering, plating or the like, or by synthesizing the same. In this case, the portion where the surface treatment layer is not formed is covered with a masking material such as resist or wax.
【０００６】ところが、撥水層１５ｃの形成にあたっ
て、撥インク性の表面処理剤が形成された層とマスキン
グ材との境界面の特にノズル孔１５ａの開口部分でのマ
スキング材の不均一性や表面処理剤の必要以上の付着、
成長により、マスキング材を除去した後に該表面処理剤
がノズル孔１５ａのエッジにバリやだれ込み１５ｃ1 と
して残り、インク粒子の飛翔方向を妨げることになる。
このようなだれ込み１５ｃ1 の形成防止として、例えば
特開平６−２４６９２１号公報に記載されていることが
行われている。However, when forming the water-repellent layer 15c, the masking material has unevenness or surface at the boundary surface between the layer on which the ink-repellent surface treatment agent is formed and the masking material, especially at the opening of the nozzle hole 15a. Excessive adhesion of treatment agent,
The growth would prevent rest, the flying direction of the ink particles as burrs and sag included 15c 1 the surface treatment agent to the edge of the nozzle hole 15a after removal of the masking material.
Such a formation prevents the rolled into 15c 1, it has been performed that is described in Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-246921.
【０００７】ここで、図７に、従来のインクジェットヘ
ッドにおけるノズル板の製造工程図を示す。図７は、上
記特開平６−２４６９２１号公報に記載されている製造
工程図であり、まずノズル孔１５ａが形成された金属板
（ノズルプレート）１５ｂの表面にレジストとしての感
光性樹脂フィルム２１が形成される（図７（Ａ））。こ
の場合、感光性樹脂フィルム２１はノズル孔１５ａ内に
も入り込む。Here, FIG. 7 shows a manufacturing process diagram of a nozzle plate in a conventional ink jet head. FIG. 7 is a manufacturing process diagram described in JP-A-6-246921. First, a photosensitive resin film 21 as a resist is formed on the surface of a metal plate (nozzle plate) 15b in which nozzle holes 15a are formed. Formed (FIG. 7A). In this case, the photosensitive resin film 21 also enters the nozzle hole 15a.
【０００８】次いで、金属板１５ｂの裏面より紫外線を
照射し、当該金属板１５ｂをマスクとしてノズル孔１５
ａに充填された部分の感光性樹脂フィルム２１を硬化さ
せて硬化部２１ａを形成する（図７（Ｂ））。続いて、
金属板１５ｂの表面及び裏面にレジストとしての液状感
光性樹脂２２ａ，２２ｂを塗布し、裏面側より紫外線を
照射して該裏面に形成された液状感光性樹脂２２ｂを硬
化させる（図７（Ｃ））。そして、金属板１５ｂの表面
の感光性樹脂フィルム２１及び液状感光性樹脂２２ａを
現像により剥離して、表面上に硬化部２１ａのみを残す
（図７（Ｄ））。Next, ultraviolet rays are radiated from the back surface of the metal plate 15b, and the nozzle holes 15 are formed using the metal plate 15b as a mask.
The portion of the photosensitive resin film 21 filled in a is cured to form a cured portion 21a (FIG. 7 (B)). continue,
Liquid photosensitive resins 22a and 22b as resists are applied to the front and back surfaces of the metal plate 15b, and ultraviolet rays are irradiated from the back surface side to cure the liquid photosensitive resin 22b formed on the back surface (FIG. 7C). ). Then, the photosensitive resin film 21 and the liquid photosensitive resin 22a on the surface of the metal plate 15b are removed by development, and only the cured portion 21a is left on the surface (FIG. 7D).
【０００９】そこで、金属板１５ｂの表面上に撥インク
性の表面処理剤１５ｃを塗布し（図７（Ｅ））、硬化部
２１ａ及び裏面の硬化して感光性樹脂２２ｂを現像して
剥離し、金属板１５ｂの表面上にノズル孔１５ａの周辺
（ノズル孔１５ａの開口径の２０％を越えない範囲）以
外の部分に撥水層１５ｃが形成されるものである（図７
（Ｆ））。Therefore, an ink repellent surface treatment agent 15c is applied on the surface of the metal plate 15b (FIG. 7 (E)), and the cured portion 21a and the back surface are cured to develop and peel off the photosensitive resin 22b. The water-repellent layer 15c is formed on the surface of the metal plate 15b except the periphery of the nozzle hole 15a (a range not exceeding 20% of the opening diameter of the nozzle hole 15a) (FIG. 7).
(F)).
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかし、図７に示す製
造工程では、現像やリンスの工程を必要とし、また複数
種の感光性樹脂部材を使用する必要があることから、複
雑な工程が多く、ひいてはコスト高につながるという問
題がある。However, the manufacturing process shown in FIG. 7 requires many steps such as developing and rinsing steps and the need to use a plurality of types of photosensitive resin members. There is a problem that it leads to higher cost.
【００１１】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、簡易な製造工程で表面処理材のだれ込み等を防
止してノズル板形成の高精度化、低コスト化を図るイン
クジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とす
る。Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and manufactures an ink jet head for preventing the surface treatment material from dripping in a simple manufacturing process to improve the accuracy and cost of forming the nozzle plate. The purpose is to provide a method.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】図１に、本発明の原理図
を示す。上記課題を解決するために、請求項１では図１
に示すように、インク液が充填される圧力室の一方にノ
ズル孔が形成されたノズル板が設けられ、他方に変形自
在な加圧板が設けられて、アクチュエータにより該加圧
板を変形させることにより該ノズル孔よりインク滴を噴
射させるインクジェットヘッドであって、前記ノズル板
に前記ノズル孔を所定数形成する工程と（ステップ
（Ｓ）１）、該ノズル板の表面に樹脂フィルムを貼付し
て該ノズル孔を覆うと共に、該ノズル孔内に表面処理層
の付着を防止するレジスト部材を充填して該ノズル孔を
閉塞する工程（Ｓ２）と、該樹脂フィルムを除去し、該
レジスト部材を加熱して該ノズル孔の先端部分で該ノズ
ル板の表面と略同一面になるように平坦化させる工程
（Ｓ３）と、該ノズル板の表面上に表面処理層を形成す
る工程（Ｓ４）と、該ノズル孔に充填した該レジスト部
材を除去する工程（Ｓ５）と、を含んでインクジェット
ヘッドの製造方法が構成される。FIG. 1 shows the principle of the present invention. In order to solve the above-mentioned problems, in FIG.
As shown in, a nozzle plate having a nozzle hole is provided in one of the pressure chambers filled with the ink liquid, a deformable pressure plate is provided in the other, and the pressure plate is deformed by an actuator. An ink jet head for ejecting ink droplets from the nozzle hole, comprising a step of forming a predetermined number of the nozzle holes in the nozzle plate (step (S) 1), applying a resin film on the surface of the nozzle plate, and A surface treatment layer covering the nozzle hole and inside the nozzle hole
A step of filling a resist member for preventing the adhesion of the nozzle hole and closing the nozzle hole (S2), removing the resin film, heating the resist member, and forming the surface of the nozzle plate at the tip of the nozzle hole. A step of flattening the surfaces so that they are substantially flush with each other (S3), a step of forming a surface treatment layer on the surface of the nozzle plate (S4), and a step of removing the resist member filled in the nozzle holes (S5). ) And are included, the manufacturing method of an inkjet head is comprised.
【００１３】請求項２では、請求項１記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法において、前記ノズル孔内に前記
レジスト部材を充填するにあたり、該レジスト部材を前
記ノズル板の裏面よりラミネートにより付着させる。請
求項３では、請求項１又は２記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法において、前記レジスト部材は、耐腐食性
高分子樹脂が用いられる。According to a second aspect of the present invention, there is provided the ink jet device according to the first aspect.
In the method for manufacturing a print head , when the resist member is filled in the nozzle hole, the resist member is attached by laminating from the back surface of the nozzle plate. According to claim 3, the inkjet head according to claim 1 or 2.
In the method for manufacturing a substrate, a corrosion-resistant polymer resin is used for the resist member.
【００１４】請求項４では、請求項３記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法において、前記耐腐食性高分子樹
脂として感光性樹脂フィルムが用いられる。請求項５で
は、請求項３または４記載のインクジェットヘッドの製
造方法において、前記耐腐食性高分子樹脂を前記ノズル
孔先端部分で平坦化させるにあたり、該耐腐食性高分子
樹脂のガラス転移点を少なくとも越える温度で加熱して
軟化させる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the ink jet device according to the third aspect.
In the method of manufacturing a hot head, a photosensitive resin film is used as the corrosion resistant polymer resin. According to claim 5, the inkjet head according to claim 3 or 4 is manufactured.
In the manufacturing method, when the corrosion resistant polymer resin is flattened at the tip of the nozzle hole, it is heated and softened at a temperature at least higher than the glass transition point of the corrosion resistant polymer resin.
【００１５】請求項６では、請求項５記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法において、前記温度は、前記耐腐
食性高分子樹脂の硬化開始温度以下とする。請求項７で
は、請求項１〜６の何れか一項記載のインクジェットヘ
ッドの製造方法において、前記レジスト部材の加熱後
に、露光により該レジスト部材を硬化させる。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the ink jet device according to the fifth aspect.
In the method of manufacturing a hot head, the temperature is set to be not higher than the curing start temperature of the corrosion-resistant polymer resin. In claim 7, the inkjet printer according to any one of claims 1 to 6.
In the method for manufacturing a pad, after heating the resist member, the resist member is cured by exposure.
【００１６】請求項８では、請求項１〜７の何れか一項
記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記
表面処理層を形成するにあたり、フッ素系高分子又はシ
リコン系高分子樹脂、その他の撥インク性物質からなる
微粒子を含有する共析めっきで形成する。上述のように
請求項１の発明では、図１に示すようにノズル板にノズ
ル孔を形成した後、ノズル板の表面に樹脂フィルムを貼
付して該ノズル孔を覆うと共に、レジスト部材で該ノズ
ル孔を閉塞することにより樹脂フィルムにより規制さ
れ、レジスト部材はノズル板の表面と略同一面となる。
次いで、樹脂フィルムを除去し、加熱によりレジスト部
材をノズル孔先端部分でノズル板の表面と略同一面にな
るように平坦化し、ノズル板の表面上に表面処理層を形
成する。レジスト部材は表面処理層の付着を防止する性
質を有するので、レジスト部材を除去することにより、
ノズル板のレジスト部材以外の表面上に表面処理層を形
成することができ、その結果、表面処理層のノズル孔へ
のだれ込みを微小に抑えることが可能となり、簡易な製
造工程でノズル板形成の高精度化、低コスト化を図るこ
とが可能となる。According to an eighth aspect of the present invention, in the method of manufacturing an ink jet head according to any one of the first to seventh aspects, in forming the surface-treated layer, a fluorine-based polymer or a silicon-based polymer resin and other repellent agents are used. It is formed by eutectoid plating containing fine particles of an ink substance. As described above, in the invention of claim 1, after forming the nozzle hole in the nozzle plate as shown in FIG. 1, a resin film is attached to the surface of the nozzle plate to cover the nozzle hole, and the nozzle is covered with a resist member. It is regulated by the resin film by closing the hole, and the resist member becomes substantially flush with the surface of the nozzle plate.
Then, the resin film is removed, and the resist member is flattened by heating so that it is substantially flush with the surface of the nozzle plate at the tip of the nozzle hole , and a surface treatment layer is formed on the surface of the nozzle plate.
To achieve. The resist material has the property of preventing the adhesion of the surface treatment layer.
Since it has quality, by removing the resist member,
Form a surface treatment layer on the surface of the nozzle plate other than the resist member.
It can be formed, as a result, it is possible to suppress the sag included in the nozzle hole of the surface treatment layer minutely, high accuracy of the nozzle plate formed by a simple manufacturing process, and can reduce the cost Become.
【００１７】請求項２の発明では、レジスト部材をノズ
ル板の裏面よりラミネートにより付着する。これによ
り、ノズル板表面のノズル孔部分の汚れが少なくなり洗
浄工程を省略することが可能となる。請求項３又は４の
発明では、レジスト部材に例えば感光性樹脂フィルムの
耐腐食性高分子樹脂を用いる。これにより、ラミネート
により容易に付着され、露光のみで硬化することから工
程の簡素化、作業時間の短縮化を図ることが可能とな
る。According to the second aspect of the invention, the resist member is attached by laminating from the back surface of the nozzle plate. As a result, the nozzle holes on the surface of the nozzle plate are less contaminated, and the cleaning process can be omitted. In the invention of claim 3 or 4, for example, a corrosion-resistant polymer resin of a photosensitive resin film is used for the resist member. As a result, it is easily attached by lamination and cured only by exposure, so that it is possible to simplify the process and shorten the working time.
【００１８】請求項５又は６の発明では、例えば感光性
樹脂フィルムの耐腐食性高分子樹脂をガラス転移点以上
で硬化開始温度以下で加熱して軟化させる。これによ
り、ノズル孔への付回り、均一性、密着性が向上させ、
次工程でのマスキングを確実なものとすることが可能と
なる。In the invention of claim 5 or 6, for example, the corrosion-resistant polymer resin of the photosensitive resin film is heated above the glass transition point and below the curing start temperature to be softened. As a result, adhesion to the nozzle holes, uniformity, and adhesion are improved,
Masking in the next step can be ensured.
【００１９】請求項７の発明では、レジスト部材の加熱
後に露光により該レジスト部材を硬化させる。これによ
り、レジスト部材の硬化の時間短縮を図ることが可能と
なる。請求項８の発明では、表面処理層をフッ素系高分
子又はシリコン系高分子等の撥インク性物質からなる微
粒子を含有する共析めっきで形成する。これにより、耐
摩耗性、撥インク性、膜の均一性を図ることが可能とな
る。According to the invention of claim 7, the resist member is cured by exposure after heating the resist member. As a result, it is possible to shorten the curing time of the resist member. In the invention of claim 8, the surface treatment layer is formed by eutectoid plating containing fine particles of an ink repellent substance such as a fluorine-based polymer or a silicon-based polymer. This makes it possible to achieve abrasion resistance, ink repellency, and film uniformity.
【００２０】[0020]
【発明の実施の形態】図２に、本発明の一実施例の要部
断面図を示す。図２は、本発明の特徴を示すノズル板の
断面図を示したもので、インクジェットプリンタにおけ
るインクジェットヘッドユニットに搭載されたインクジ
ェットヘッドのノズル板に相当するものである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 2 shows a cross-sectional view of an essential part of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view of the nozzle plate showing the features of the present invention, which corresponds to the nozzle plate of the inkjet head mounted in the inkjet head unit of the inkjet printer.
【００２１】図２に示すノズル板３１は、基板３２にノ
ズル孔３３が所定数形成されたもので、ノズル孔３３は
テーパ部３３ａとストレート部３３ｂとにより構成され
る。そして、基板３２のノズル孔３３のストレート部３
３ｂ側の表面上に撥インク性の表面処理層３４が形成さ
れ、この表面処理層３４におけるノズル孔３３（ストレ
ート部３３ｂ）に対応する部分に開口部３４ａが形成さ
れる。すなわち、ノズル孔３３のストレート部３３ｂと
表面処理層３４の開口部３４ａがインク滴の噴射孔とな
る。The nozzle plate 31 shown in FIG. 2 is formed by forming a predetermined number of nozzle holes 33 in a substrate 32, and the nozzle holes 33 are composed of a tapered portion 33a and a straight portion 33b. Then, the straight portion 3 of the nozzle hole 33 of the substrate 32
An ink repellent surface treatment layer 34 is formed on the surface on the 3b side, and an opening 34a is formed in a portion of the surface treatment layer 34 corresponding to the nozzle hole 33 (straight portion 33b). That is, the straight portion 33b of the nozzle hole 33 and the opening 34a of the surface treatment layer 34 serve as ink droplet ejection holes.
【００２２】この場合、ノズル孔３３のストレート部３
３ｂには、表面処理層３４が入り込むだれ込みを生じる
もので、ストレート部３３ｂの穴径φ1 に対してだれ込
みで生じた表面処理層３４の開口部３４ａの穴径φ2 に
よってインク滴の噴射孔の穴径を変化させるが、開口部
３４ａの穴径φ2 をストレート部３３ｂの穴径φ1 より
３％の範囲内で小の径になるようにだれ込みを許容して
形成される。この３％の径の違いは表面処理層３４の開
口部３４ａと、ノズル孔３３のストレート部３３ｂの内
側面とをほぼ同一側面上に並ぶようにするためのもので
ある。In this case, the straight portion 3 of the nozzle hole 33
The surface treatment layer 34 enters into 3b to cause dripping. Due to the hole diameter φ 2 of the opening 34a of the surface treatment layer 34 caused by the sagging with respect to the hole diameter φ 1 of the straight portion 33b, an ink droplet Although the hole diameter of the injection hole is changed, the hole diameter φ 2 of the opening portion 34a is formed by allowing the sagging to be smaller than the hole diameter φ 1 of the straight portion 33b within a range of 3%. . The difference in diameter of 3% is to arrange the opening 34a of the surface treatment layer 34 and the inner side surface of the straight portion 33b of the nozzle hole 33 on substantially the same side surface.
【００２３】例えば、穴径φ1 が直径４０μm の場合
に、表面処理層３４の開口部３４ａの穴径φ2 が縮小値
で３％を越えない直径38.8μm 以上の大きさで制御され
て形成される。ところで、前述のように、表面処理層３
４がノズル孔３３のストレート部３３ｂへのだれ込みに
よって生じる噴射孔の寸法精度低下が印字品位に大きな
影響を及ぼすもので、画質に影響するインクドットのず
れが許容される量が一般に２０μm 程度とされている。
そして、ずれを生じる主な原因の一つにインク粒子速度
のバラツキがあり、印字品位に基づく速度バラツキが許
容される量は、中心速度に対して６％程度となる。For example, when the hole diameter φ 1 is 40 μm, the hole diameter φ 2 of the opening 34a of the surface treatment layer 34 is controlled to a size of 38.8 μm or more so that the reduction value does not exceed 3%. To be done. By the way, as described above, the surface treatment layer 3
No. 4 has a large influence on the printing quality due to the decrease in the dimensional accuracy of the ejection hole caused by the sagging of the nozzle hole 33 into the straight portion 33b. In general, the amount of ink dot deviation that affects the image quality is about 20 μm. Has been done.
One of the main causes of the deviation is the variation of the ink particle velocity, and the amount of the velocity variation based on the print quality is about 6% with respect to the center velocity.
【００２４】従って、印字品位を確保するインク粒子速
度のバラツキを６％以内に抑制するためには噴射孔の穴
径の変化（ノズル孔３３のストレート部３３ｂの穴径φ
1 に対する表面処理層３４の開口部３４ａの穴径φ2 ）
を３％以内にするものである。これによって、上述のよ
うに表面処理層３４の開口部３４ａの側面とノズル孔３
３のストレート部３３ｂの側面をほぼ同一側面上に並ぶ
ようにすることができ、インク飛翔特性を安定させ、印
字品位を向上させることができるものである。Therefore, in order to suppress the variation in the velocity of the ink particles that secures the printing quality within 6%, the change in the hole diameter of the ejection hole (the hole diameter φ of the straight portion 33b of the nozzle hole 33).
Diameter of the opening 34a of the surface treatment layer 34 relative to 1 phi 2)
Is within 3%. Thereby, as described above, the side surface of the opening 34a of the surface treatment layer 34 and the nozzle hole 3 are formed.
The side surfaces of the straight portion 33b of No. 3 can be arranged substantially on the same side surface, the ink flying characteristics can be stabilized, and the printing quality can be improved.
【００２５】ここで、図２のノズル板の具体的構成を説
明する。基板３２は、例えばセラミックス、ガラス、金
属等の弾性率の高い部材が選択される。使用条件として
はノズル孔３３はインクに浸漬することから、インクに
対して腐食等の構造変化を起こさない材料であることが
必要であり、本実施例では耐蝕性の高いステンレススチ
ール（例えばＳＵＳ３１６）を使用する。なお、樹脂基
板を用いてもよい。Here, a specific structure of the nozzle plate of FIG. 2 will be described. For the substrate 32, a member having a high elastic modulus such as ceramics, glass, or metal is selected. Since the nozzle holes 33 are immersed in the ink, it is necessary that the nozzle holes 33 are made of a material that does not cause structural changes such as corrosion to the ink. In this embodiment, stainless steel having high corrosion resistance (for example, SUS316) is used. To use. A resin substrate may be used.
【００２６】一方、表面処理層３４は、フッ素系高分子
樹脂膜やシリコン系高分子樹脂膜等が使用される。本実
施例ではポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）微粒
子を含有するニッケル共析めっきにより形成している。
これは、耐摩耗性、層厚の均一性、厚さ制御性が優れて
いることから品質安定化を図ることができるためであ
る。また、撥インク性においてもＰＴＦＥ樹脂自体の撥
インク性とほぼ同程度の特性（接触角にして９０度以
上）が得られ、安定したインク飛翔特性を得るに十分で
あるためである。On the other hand, for the surface treatment layer 34, a fluorine-based polymer resin film, a silicon-based polymer resin film, or the like is used. In this embodiment, nickel eutectoid plating containing polytetrafluoroethylene (PTFE) fine particles is used.
This is because the wear resistance, the uniformity of the layer thickness, and the thickness controllability are excellent, so that the quality can be stabilized. Also, in terms of ink repellency, a property (contact angle of 90 degrees or more) that is substantially the same as the ink repellency of the PTFE resin itself can be obtained, which is sufficient to obtain stable ink flying properties.
【００２７】ここで、図３に、本発明方法の製造工程図
を示す。図３（Ａ）に示すように、厚さ１００μｍ〜３
００μｍのステンレススチール（ＳＵＳ３１６）板の基
板３２を、プレス加工、エッチング加工、放電加工、レ
ーザ加工等の方法によって加工し、ノズル板３３を設け
る。ここでは、円錐形のノズル孔３３をプレス加工によ
って作製するもので、ノズル孔３３のストレート部３３
ｂは穴径４０μｍ，長さ２０μｍとし、テーパ部３３ａ
はテーパ角２０°としている。なお、樹脂基板を用いる
場合のノズル孔３３の形成はモールド加工等により行わ
れる。FIG. 3 shows a manufacturing process diagram of the method of the present invention. As shown in FIG. 3 (A), thickness 100μm~3
A nozzle plate 33 is provided by processing a substrate 32 of a stainless steel (SUS316) plate of 00 μm by a method such as press working, etching working, electric discharge working, and laser working. Here, the conical nozzle hole 33 is manufactured by pressing, and the straight portion 33 of the nozzle hole 33 is formed.
b has a hole diameter of 40 μm and a length of 20 μm, and has a tapered portion 33a.
Has a taper angle of 20 °. In addition, when the resin substrate is used, the nozzle holes 33 are formed by molding or the like.
【００２８】続いて、図３（Ｂ）に示すように、加工さ
れたノズル孔３３に対してレジスト部材である耐腐食性
高分子樹脂をラミネートしてノズル孔３３を閉塞する。
樹脂材としては後に剥離すること及び樹脂の加工特性を
考慮して感光性液体レジストを用いることができる。こ
こでは、光硬化性のアクリル系樹脂のドライフィルムレ
ジスト（ＤＦＲ）４１を用いている。この場合、ノズル
孔３３を閉塞させるために、例えば厚さ５０μm のもの
が使用される。ＤＦＲは十分な熱量を与えることによっ
て粘性を持つ液状となり、容易にノズル穴内部に充填す
ることができる。[0028] Subsequently, as shown in FIG. 3 (B), to close the nozzle hole 33 was laminated corrosion resistant polymer resin is a resist member against machined nozzle hole 33.
As the resin material, a photosensitive liquid resist can be used in consideration of the later peeling and the processing characteristics of the resin. Here, a photocurable acrylic resin dry film resist (DFR) 41 is used. In this case, in order to close the nozzle hole 33, for example, one having a thickness of 50 μm is used. The DFR becomes a viscous liquid by giving a sufficient amount of heat, and can be easily filled inside the nozzle hole.
【００２９】なお、ＤＦＲは所定の温度以上で硬化が開
始される性質のものである。また、液状時における剥離
に際しても水溶性のＤＦＲを使用すればアルカリ性水溶
液で容易に剥離できるものである。上記ラミネートは、
基板３２を裏面のＤＦＲ４１と表面のＰＥＴ（ポリエチ
レンテレフタレート）フィルム４２で基板３２を挟持さ
せ、ラミネータにより行われる。これにより、容易に密
着させることができ、後述の露光だけで硬化させること
ができることから工程が簡素化し、作業時間を短縮させ
ることができるものである。The DFR has the property of starting curing at a predetermined temperature or higher. Further, when peeling in a liquid state, if a water-soluble DFR is used, it can be easily peeled with an alkaline aqueous solution. The above laminate is
The substrate 32 is sandwiched between the DFR 41 on the back surface and the PET (polyethylene terephthalate) film 42 on the front surface, and the laminator is used. As a result, they can be brought into close contact with each other easily and can be cured only by the exposure described below, so that the process can be simplified and the working time can be shortened.
【００３０】その後、図３（Ｃ）に示すように、ＰＥＴ
フィルム４２を剥離し、例えばドライオーブンにより当
該ＤＦＲ４１のガラス転移点（例えば、７０℃）以上、
硬化開始温度（例えば、１３０℃）以下で加熱して軟化
させる。例えばＤＦＲ４１を本実施例では８０℃により
加熱する。これにより、ノズル孔３３の先端部分で平坦
化することができると共に、付回り、均一性、密着性が
良好となってマスキングを確実ならしめ、撥インク性表
面処理剤が付着するのを確実に防止することができる。
また、上記のような温度設定でマスキングを確実ならし
めることができるものである。[0030] Thereafter, as shown in FIG. 3 (C), PET
The film 42 is peeled off, and the glass transition point (for example, 70 ° C.) or higher of the DFR 41 is removed by a dry oven,
It is softened by heating below the curing start temperature (for example, 130 ° C.). For example, the DFR 41 is heated at 80 ° C. in this embodiment. As a result, the tip portion of the nozzle hole 33 can be flattened, and the covering, the uniformity, and the adhesion are improved to ensure the masking, and the ink repellent surface treatment agent is surely attached. Can be prevented.
Further, the masking can be surely performed by the above temperature setting.
【００３１】そして、ＤＦＲ４１の軟化後にいわゆるベ
タ露光により硬化させるもので、露光量は後述のめっき
工程で該ＤＦＲ４１が変化しない程度に十分に硬化する
光量としている。このように、露光によりＤＦＲ４１を
硬化させることで、硬化温度で加熱して硬化させるより
も短時間で硬化させることができるものである。Then, the DFR 41 is hardened by so-called solid exposure after softening, and the exposure amount is set to a light amount sufficient to harden the DFR 41 in the plating step described later. Thus, by curing the DFR 41 by exposure, the DFR 41 can be cured in a shorter time than heating and curing at the curing temperature.
【００３２】その後、水洗、電解脱脂、水洗、酸洗浄、
ストライクニッケルメッキを行い、図３（Ｄ）に示すよ
うにノズル開口部表面にニッケル共析めっきにより表面
処理層３４を形成する。この表面処理層３４の厚さはめ
っき工程時間、コスト、膜の均一性を考慮して２〜３μ
ｍとしている。これにより、耐摩耗性、撥インク性、膜
の均一性を向上させることができるものである。After that, washing with water, electrolytic degreasing, washing with water, acid washing,
Performs strike nickel plating, to form the surface treatment layer 34 of nickel eutectoid plating on the nozzle opening surface, as shown in Figure 3 (D). The thickness of the surface treatment layer 34 is 2 to 3 μ in consideration of plating process time, cost, and film uniformity.
m. Thereby, abrasion resistance, ink repellency, and film uniformity can be improved.
【００３３】そして、アルカリ性水溶液の剥離液中に浸
漬することにより、図３（Ｅ）に示すようにＤＦＲ４１
が剥離除去されてノズル板３１が完成するものである。
なお、基板３２にセラミック、ガラス、樹脂等の不導電
性のものが選択された場合には、図３（Ｄ）における表
面処理層３４の形成は無電解めっき（樹脂の場合には表
面に活性化溶液を塗布又は浸漬）により行えばよい。[0033] Then, by immersion in a stripping solution in an alkaline aqueous solution, as shown in FIG. 3 (E) DFR41
Are peeled off to complete the nozzle plate 31.
Incidentally, the ceramic substrate 32, if the glass, those non-conductive resin or the like is selected, the active on the surface when forming the surface treatment layer 34 in FIG. 3 (D) is electroless plating (resin The coating solution may be applied or dipped).
【００３４】このように、ＤＦＲ４１を基板３２の裏面
よりラミネートすることによりノズル孔３３の開口部分
の汚染が防止され、洗浄工程を省くことができる。ま
た、加熱によりノズル孔３３の先端部分で平坦化させる
ことから、ノズル開口部表面に行うニッケル共析めっき
による表面処理層３４がノズル孔３３内にだれ込むこと
が阻害され、正確にノズル孔３３（ストレート部３３
ｂ）及び表面処理層３４の開口部３４ａの寸法精度を維
持することができる。従って、ノズル孔３３のストレー
ト部３３ｂの側面と表面処理層３４の開口部３４ａの側
面とを穴径３％以内でほぼ同一側面で形成することがで
き、インク飛翔の安定化、印字品位の向上を図ることが
できるものである。As described above, by laminating the DFR 41 from the back surface of the substrate 32, the contamination of the opening portion of the nozzle hole 33 is prevented and the cleaning process can be omitted. Further, since the tip portion of the nozzle hole 33 is flattened by heating, the surface treatment layer 34 formed by nickel eutectoid plating on the surface of the nozzle opening is prevented from dripping into the nozzle hole 33, and the nozzle hole 33 is accurately formed. (Straight part 33
b) and the dimensional accuracy of the opening 34a of the surface treatment layer 34 can be maintained. Therefore, the side surface of the straight portion 33b of the nozzle hole 33 and the side surface of the opening portion 34a of the surface treatment layer 34 can be formed on substantially the same side surface within a hole diameter of 3%, stabilizing ink flying and improving printing quality. Can be achieved.
【００３５】なお、本実施例ではレジスト部材としての
耐腐食性高分子樹脂としてＤＦＲを用いた場合を示した
が、熱により溶融して付回りを均一にするものとしてシ
ート状のワックス、めっき用マスキング材、液体レジス
ト等の高分子樹脂を用いてもよい。In this embodiment, the case where DFR is used as the corrosion-resistant polymer resin as the resist member is shown. However, it is possible to use sheet-shaped wax or plating for melting the heat to make the covering even. A polymer resin such as a masking material or a liquid resist may be used.
【００３６】ところで、ノズル板形成にあたって、ノズ
ル孔が形成された基板の裏面からマスキングテープを貼
り合わせ、これをマスクとして基板表面に撥水層を形成
することが、例えば特開平５−３３００６０号公報によ
り知られているが、これは基板とマスキングテープの付
回り、均一性、密着性が悪く、ノズル孔の先端部分での
撥水層のだれ込みを生じるものであり、本発明が加熱処
理を行うことでだれ込みを防止することができるもので
ある。By the way, in forming the nozzle plate, a masking tape is attached from the back surface of the substrate in which the nozzle holes are formed, and the water repellent layer is formed on the surface of the substrate by using this as a mask. This is because the substrate and the masking tape are attached to each other, the uniformity and the adhesion are poor, and the water-repellent layer drips at the tip portion of the nozzle hole. By doing so, it is possible to prevent dripping.
【００３７】次に、図４に、本発明方法で製造されたノ
ズル板を使用したインクジェットヘッドの部分分解斜視
図を示す。図４に示すインクジェットヘッド５１は、金
属又はヤング率が１×１０10Ｐａ程度以上のプラスチッ
ク等のような剛性の高い部材（例えば感光性フィルム）
で形成された長方形状の外壁５２に囲まれて、圧力室５
３が形成されている。Next, FIG. 4 shows a partially exploded perspective view of an ink jet head using the nozzle plate manufactured by the method of the present invention. The inkjet head 51 shown in FIG. 4 is a member having high rigidity (for example, a photosensitive film) such as metal or plastic having a Young's modulus of about 1 × 10 10 Pa or more.
The pressure chamber 5 is surrounded by the rectangular outer wall 52 formed by
3 is formed.
【００３８】圧力室５３内には、インク供給口５４から
インク液が充填され、その前面側（図において上方）に
は、上述のノズル孔３３が穿設されたノズル板３２が接
合されている。ノズル孔３３は、外方の印字部（図示せ
ず）に向いており、圧力室５３内のインク液がノズル孔
３３からインク滴となって印字部に向かって吐出され
る。The pressure chamber 53 is filled with the ink liquid from the ink supply port 54, and the nozzle plate 32 having the above-mentioned nozzle hole 33 is joined to the front surface side (upper side in the drawing) of the pressure chamber 53. . The nozzle hole 33 faces the outer printing portion (not shown), and the ink liquid in the pressure chamber 53 is ejected from the nozzle hole 33 as an ink droplet toward the printing portion.
【００３９】圧力室５３の裏面側には、例えばヤング率
が１×１０5 〜１×１０9 Ｐａ程度のゴム又は樹脂等か
らなる弾力性のあるパッキング５５を間に挟み込んで、
弾性変形可能な加圧板５４が配置されている。加圧板５
４は長方形状に形成されて全面で圧力室５３に面してお
り、長手方向の両端部において、細いリブ５５によって
支持体５６に連結されている。それと直角の方向では自
由端になっている。On the back surface side of the pressure chamber 53, for example, an elastic packing 55 made of rubber or resin having a Young's modulus of about 1 × 10 5 to 1 × 10 9 Pa is sandwiched,
An elastically deformable pressure plate 54 is arranged. Pressure plate 5
4 is formed in a rectangular shape and faces the pressure chamber 53 over the entire surface, and is connected to the support 56 by thin ribs 55 at both ends in the longitudinal direction. It is a free end in the direction perpendicular to it.
【００４０】その加圧板５４の裏面には、電圧が印加さ
れると変形するピエゾ素子５７が密着して配置されてい
る。加圧板５４に対するピエゾ素子５７の当接面は長方
形であり、その長手方向は加圧板５４の長手方向と一致
している。５８は電極である。On the back surface of the pressure plate 54, a piezo element 57 that is deformed when a voltage is applied is closely arranged. The contact surface of the piezo element 57 with respect to the pressure plate 54 is rectangular, and the longitudinal direction thereof coincides with the longitudinal direction of the pressure plate 54. Reference numeral 58 is an electrode.
【００４１】続いて、図５に、図４のインクジェットヘ
ッドが適用されるインクジェットプリンタの全体概念図
を示す。図５に示すインクジェットプリンタ６１は、回
転駆動される搬送手段であるプラテンロール６２が外面
の半周に巻き付けられた記録紙６３を用紙送りするもの
で、プラテンロール６２の軸方向と平行に２本のステー
シャフト６４ａ，６４ｂが固定される。このステーシャ
フト６４ａ，６４ｂに摺動自在にキャリッジ６５が設け
られて往復駆動される。このキャリッジ６５上に上記イ
ンクジェットヘッド５１が所定数一体となったインクジ
ェットヘッドユニット６６がインク滴を吐出するノズル
を記録紙６３側に向かって配置されて構成される。そし
て、インク供給手段としてのインク溜まり６７よりチュ
ーブ６８を介してインクジェットヘッドユニット６６に
インクが供給されるものである。Next, FIG. 5 shows an overall conceptual view of an ink jet printer to which the ink jet head of FIG. 4 is applied. The inkjet printer 61 shown in FIG. 5 feeds a recording paper 63 wound around a half circumference of an outer surface of a platen roll 62, which is a rotationally driven conveyance means, and has two stays parallel to the axial direction of the platen roll 62. The shafts 64a and 64b are fixed. A carriage 65 is slidably provided on the stay shafts 64a and 64b and is reciprocally driven. On the carriage 65, an ink jet head unit 66 in which a predetermined number of the ink jet heads 51 are integrated is arranged so that nozzles for ejecting ink droplets are arranged toward the recording paper 63 side. Then, the ink is supplied to the inkjet head unit 66 from the ink reservoir 67 as an ink supply means through the tube 68.
【００４２】[0042]
【発明の効果】以上のように請求項１の発明によれば、
ノズル板にノズル孔を形成した後ノズル板の表面に樹脂
フィルムを貼付して該ノズル孔を覆うと共に、レジスト
部材で該ノズル孔を閉塞することにより樹脂フィルムに
より規制され、レジスト部材はノズル板の表面と略同一
面となる。次いで、樹脂フィルムを除去し、加熱により
レジスト部材をノズル孔先端部分でノズル板の表面と略
同一面になるように平坦化し、ノズル板の表面上に表面
処理層を形成する。レジスト部材は表面処理層の付着を
防止する性質を有するので、レジスト部材を除去するこ
とにより、ノズル板のレジスト部材以外の表面上に表面
処理層を形成することができ、その結果、表面処理層の
ノズル孔へのだれ込みを微小に抑えることが可能とな
り、簡易な製造工程でノズル板形成の高精度化、低コス
ト化を図ることができる。As described above, according to the invention of claim 1,
After forming the nozzle holes in the nozzle plate, a resin film is attached to the surface of the nozzle plate to cover the nozzle holes, and the nozzle holes are closed by a resist member to be regulated by the resin film. It is almost flush with the surface. Then removed resin film, a resist member is flattened so that the surface substantially flush nozzle plate at the nozzle hole tip portion by heating, the surface on the surface of the Roh nozzle plate
A treatment layer is formed. Resist member does not have surface treatment layer attached.
It has the property of preventing the resist member from being removed.
By, the surface on the surface of the nozzle plate other than the resist member
It is possible to form the treatment layer, and as a result, it is possible to minimize the sagging of the surface treatment layer into the nozzle hole, and it is possible to achieve high precision and low cost of nozzle plate formation with a simple manufacturing process. You can
【００４３】請求項２の発明によれば、レジスト部材を
ノズル板の裏面よりラミネートにより付着することによ
り、ノズル板表面のノズル孔部分の汚れが少なくなり洗
浄工程を省略することができる。請求項３又は４の発明
によれば、レジスト部材に例えば感光性樹脂フィルムの
耐腐食性高分子樹脂を用いることにより、ラミネートに
より容易に付着され、露光のみで硬化することから工程
の簡素化、作業時間の短縮化を図ることができる。According to the second aspect of the present invention, the resist member is attached from the back surface of the nozzle plate by laminating, so that the nozzle hole portion on the surface of the nozzle plate is less contaminated and the cleaning step can be omitted. According to the invention of claim 3 or 4, by using, for example, a corrosion-resistant polymer resin of a photosensitive resin film for the resist member, it is easily attached by laminating and is cured only by exposure, so that the process is simplified, The working time can be shortened.
【００４４】請求項５又は６の発明によれば、例えば感
光性樹脂フィルムの耐腐食性高分子樹脂をガラス転移点
以上で硬化開始温度以下で加熱して軟化させることによ
り、ノズル孔への付回り、均一性、密着性が向上させ、
次工程でのマスキングを確実なものとすることができ
る。According to the invention of claim 5 or 6, for example, the corrosion-resistant polymer resin of the photosensitive resin film is heated at a temperature not lower than the glass transition point and not higher than the curing start temperature so as to be softened, so that it is attached to the nozzle hole. Rotation, uniformity and adhesion are improved,
Masking in the next step can be ensured.
【００４５】請求項７の発明によれば、レジスト部材の
加熱後に露光により該レジスト部材を硬化させることに
より、レジスト部材の硬化の時間短縮を図ることができ
る。請求項８の発明によれば、表面処理層をフッ素系高
分子又はシリコン系高分子等の撥インク性物質からなる
微粒子を含有する共析めっきで形成することにより、耐
摩耗性、撥インク性、膜の均一性を図ることができる。According to the invention of claim 7, by curing the resist member by exposure after heating the resist member, the curing time of the resist member can be shortened. According to the invention of claim 8, the surface treatment layer is formed by eutectoid plating containing fine particles made of an ink-repellent substance such as a fluorine-based polymer or a silicon-based polymer, whereby wear resistance and ink repellency are obtained. The uniformity of the film can be improved.
【図１】本発明方法の原理説明図である。FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the method of the present invention.
【図２】本発明の一実施例の要部断面図である。FIG. 2 is a sectional view of an essential part of an embodiment of the present invention.
【図３】本発明方法の製造工程図である。FIG. 3 is a manufacturing process diagram of the method of the present invention.
【図４】本発明方法で製造されたノズル板を使用したイ
ンクジェットヘッドの部分分解斜視図である。FIG. 4 is a partially exploded perspective view of an inkjet head using a nozzle plate manufactured by the method of the present invention.
【図５】図４のインクジェットヘッドが適用されるイン
クジェットプリンタの全体概念図である。5 is an overall conceptual diagram of an inkjet printer to which the inkjet head of FIG. 4 is applied.
【図６】従来のインクジェットヘッドの説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a conventional inkjet head.
【図７】従来のインクジェットヘッドにおけるノズル板
の製造工程図である。FIG. 7 is a manufacturing process diagram of a nozzle plate in a conventional inkjet head.
３１ ノズル板 ３２ 基板 ３３ ノズル孔 ３３ａ テーパ部 ３３ｂ ストレート部 ３４ 表面処理層 ４１ ＤＦＲ ４２ ＰＥＴフィルム ５１ インクジェットヘッド ６１ インクジェットプリンタ 31 nozzle plate 32 substrates 33 nozzle holes 33a taper part 33b Straight part 34 Surface treatment layer 41 DFR 42 PET film 51 inkjet head 61 inkjet printer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−246921（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−309997（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−330060（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−125220（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/135 B41J 2/045 B41J 2/055 ─────────────────────────────────────────────────── --Continued from the front page (56) References JP-A-6-246921 (JP, A) JP-A-8-309997 (JP, A) JP-A-5-330060 (JP, A) JP-A-7- 125220 (JP, A) (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B41J 2/135 B41J 2/045 B41J 2/055
Claims (8)
ズル孔が形成されたノズル板が設けられ、他方に変形自
在な加圧板が設けられて、アクチュエータにより該加圧
板を変形させることにより該ノズル孔よりインク滴を噴
射させるインクジェットヘッドの製造方法において、 前記ノズル板に前記ノズル孔を所定数形成する工程と、 該ノズル板の表面に樹脂フィルムを貼付して該ノズル孔
を覆うと共に、該ノズル孔内に表面処理層の付着を防止
するレジスト部材を充填して該ノズル孔を閉塞する工程
と、 該樹脂フィルムを除去し、該レジスト部材を加熱して該
ノズル孔の先端部分で該ノズル板の表面と略同一面にな
るように平坦化させる工程と、 該ノズル板の表面上に表面処理層を形成する工程と、 該ノズル孔に充填した該レジスト部材を除去する工程
と、 を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。1. A nozzle plate in which a nozzle hole is formed is provided in one of pressure chambers filled with ink liquid, and a deformable pressure plate is provided in the other pressure chamber, and the pressure plate is deformed by an actuator. In a method of manufacturing an ink jet head for ejecting ink droplets from the nozzle holes, a step of forming a predetermined number of the nozzle holes on the nozzle plate, and a resin film being attached to the surface of the nozzle plate to cover the nozzle holes, Prevents adhesion of surface treatment layer in the nozzle hole
A step of filling the resist member to close the nozzle hole, removing the resin film, and heating the resist member so that the tip end portion of the nozzle hole becomes substantially flush with the surface of the nozzle plate. A method for manufacturing an inkjet head, comprising: a step of flattening, a step of forming a surface treatment layer on the surface of the nozzle plate, and a step of removing the resist member filled in the nozzle hole.
製造方法において、前記ノズル孔内に前記レジスト部材
を充填するにあたり、該レジスト部材を前記ノズル板の
裏面よりラミネートにより付着させることを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。2. The ink jet head manufacturing method according to claim 1, wherein, when the nozzle member is filled with the resist member, the resist member is attached by laminating from the back surface of the nozzle plate. Head manufacturing method.
ッドの製造方法において、前記レジスト部材は、耐腐食
性高分子樹脂が用いられることを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。3. The method of manufacturing an inkjet head according to claim 1, wherein the resist member is made of a corrosion-resistant polymer resin.
製造方法において、前記耐腐食性高分子樹脂として感光
性樹脂フィルムが用いられることを特徴とするインクジ
ェットヘッドの製造方法。4. The method of manufacturing an inkjet head according to claim 3, wherein a photosensitive resin film is used as the corrosion-resistant polymer resin.
ヘッドの製造方法において、前記耐腐食性高分子樹脂を
前記ノズル孔先端部分で平坦化させるにあたり、該耐腐
食性高分子樹脂のガラス転移点を少なくとも越える温度
で加熱して軟化させることを特徴とするインクジェット
ヘッドの製造方法。5. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 3, wherein the glass transition point of the corrosion-resistant polymer resin is flattened at the tip of the nozzle hole. A method for manufacturing an inkjet head, comprising heating at a temperature exceeding at least to soften.
製造方法において、前記温度は、前記耐腐食性高分子樹
脂の硬化開始温度以下とすることを特徴とするインクジ
ェットヘッドの製造方法。6. The method of manufacturing an inkjet head according to claim 5, wherein the temperature is equal to or lower than a curing start temperature of the corrosion-resistant polymer resin.
ジェットヘッドの製造方法において、前記レジスト部材
の加熱後に、露光により該レジスト部材を硬化させるこ
とを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。7. The method of manufacturing an inkjet head according to claim 1, wherein the resist member is cured by exposure after heating the resist member.
ジェットヘッドの製造方法において、前記表面処理層を
形成するにあたり、フッ素系高分子又はシリコン系高分
子樹脂、その他の撥インク性物質からなる微粒子を含有
する共析めっきで形成することを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。8. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the surface-treated layer is formed, a fluorine-based polymer or a silicon-based polymer resin, and another ink-repellent substance. A method for manufacturing an inkjet head, comprising forming by eutectoid plating containing fine particles of
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