JP3512993B2 - RF amplifier tube and method of manufacturing the same - Google Patents

RF amplifier tube and method of manufacturing the same

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JP3512993B2
JP3512993B2 JP28394197A JP28394197A JP3512993B2 JP 3512993 B2 JP3512993 B2 JP 3512993B2 JP 28394197 A JP28394197 A JP 28394197A JP 28394197 A JP28394197 A JP 28394197A JP 3512993 B2 JP3512993 B2 JP 3512993B2
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ジェイ セイス アラン
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エル−3・コミュニケ−ションズ・コ−ポレ−ション
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、進行波管またはクライ
ストロンのようなマイクロ増幅管に関し、より詳細には
ミリ波レンジ内のマイクロウェーブ信号を増幅するため
の一体的極片形RF増幅管の製造方法に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to micro-amplifier tubes such as traveling wave tubes or klystrons, and more particularly to integrated pole-piece RF amplifier tubes for amplifying microwave signals in the millimeter wave range. It relates to a manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来技術】進行波管(TWT)またはクライストロン
のようなマイクロウェーブ増幅管は、当技術分野では周
知となっている。これらマイクロウェーブ管は、マイク
ロウェーブ周波数レンジ内のRF(無線周波数)信号を
増幅するよう、すなわち利得を上げるようになってい
る。
Microwave amplifier tubes such as traveling wave tubes (TWT) or klystrons are well known in the art. These microwave tubes are adapted to amplify, or increase the gain, of RF (radio frequency) signals within the microwave frequency range.

【0003】結合キャビティ形TWTは、一般に、一連
の同調キャビティを有し、これらキャビティは、キャビ
ティ間に形成されたアイリスにより、リンクすなわち結
合されている。管内に導入されたマイクロウェーブRF
信号は、結合キャビティの各々を通過しながら、管内を
伝わる。
Coupled cavity TWTs generally have a series of tuning cavities that are linked or coupled by an iris formed between the cavities. Microwave RF introduced in the tube
The signal travels in the tube as it passes through each of the coupling cavities.

【0004】代表的結合キャビティ形TWTは、このよ
うに形成された30個ものキャビティを有することがあ
る。RF信号が管内で伝わる際、RF信号のたどる通路
は、ジグザグ状に曲がるので、進行波信号の有効速度が
低下し、信号に影響が現れる。
A typical coupled cavity TWT may have as many as 30 cavities thus formed. When the RF signal travels in the pipe, the path that the RF signal follows bends in a zigzag shape, so that the effective speed of the traveling wave signal decreases and the signal is affected.

【0005】このタイプの結合キャビティ形管により形
成される低速波は、「スローウェーブ」として知られて
いる。
The slow waves formed by this type of coupled cavity tube are known as "slow waves."

【0006】各キャビティは、管の長さを長くするビー
ムトンネルにより、更にリンクされる。増幅されたRF
出力信号を発生するには、ビームトンネルを通過するよ
うに、電子ビームを放出しなければならない。この電子
ビームは、トンネル領域に形成された磁界により案内さ
れ、RF信号と相互作用し、所望の増幅を行う。
Each cavity is further linked by a beam tunnel which increases the length of the tube. Amplified RF
To generate the output signal, the electron beam must be emitted as it passes through the beam tunnel. This electron beam is guided by the magnetic field formed in the tunnel region and interacts with the RF signal to provide the desired amplification.

【0007】この結果生じるRF出力信号の周波数のバ
ンド幅は、キャビティの大きさを変えることにより変更
でき、更にRF出力信号の強度は、電子ビームの電圧お
よび電流を変えることにより変更できる。
The resulting frequency bandwidth of the RF output signal can be changed by changing the size of the cavity, and the intensity of the RF output signal can be changed by changing the voltage and current of the electron beam.

【0008】RF増幅管は、「一体的極片」または「ス
リップオン極片」のいずれかを利用できる。この極片
は、ビームトンネルに対し磁束を通す磁気材料から形成
される。一体的極片は、ビーム領域に向かって内側へ延
びる真空容器の一部を形成するが、スリップオン極片
は、管の真空容器の完全に外部に位置する。
RF amplifier tubes can utilize either "integral pole pieces" or "slip-on pole pieces". The pole piece is formed of a magnetic material that conducts magnetic flux to the beam tunnel. The integral pole piece forms part of a vacuum vessel which extends inwardly towards the beam region, while the slip-on pole piece lies completely outside the tube's vacuum vessel.

【0009】トンネル領域内で誘導される磁界は、管領
域の外部に位置するマグネットから、極片を通って放射
状に延びる磁束線により得られる。このタイプの電子ビ
ームの合焦法は、周期的永久マグネット(PPM)合焦
法として知られている。
The magnetic field induced in the tunnel region is obtained by magnetic flux lines extending radially through the pole pieces from a magnet located outside the tube region. This type of electron beam focusing method is known as the Periodic Permanent Magnet (PPM) focusing method.

【0010】極片が、キャビティ壁だけでなく、トンネ
ルの一部を形成していると、ビーム領域内に磁束が生じ
る。そのため、ビームのスティフネスの値、すなわちλ
/Lは大きくなり、ビームの合焦に好ましい条件が得
られる。この理由から、一体的極片形RF増幅管は、ス
リップオン極片管よりも好ましい。
If the pole pieces form part of the tunnel as well as the cavity walls, a magnetic flux will be created in the beam region. Therefore, the beam stiffness value, that is, λ
p / L becomes large, and favorable conditions for beam focusing are obtained. For this reason, integral pole piece RF amplifier tubes are preferred over slip-on pole piece tubes.

【0011】クライストロンは、電子ビームが通過する
多数のキャビティを含むことがある点で、結合キャビテ
ィ形TWTに類似している。クライストロンは、電子ビ
ームへの変調を増幅し、RF電流を含む、高度に集群化
されたビームを発生する。
The klystron is similar to the coupled cavity TWT in that it may include multiple cavities through which the electron beam passes. The klystron amplifies the modulation into the electron beam and produces a highly bunched beam containing RF current.

【0012】クライストロンは、キャビティが一般に結
合されない点で、結合キャビティ形TWTと異なってい
る。しかし、クライストロンのキャビティの一部は、2
つ以上のキャビティが電子ビームと相互作用できるよう
に結合されることがある。この特定タイプのクライスト
ロンは、拡張形相互作用出力回路として知られている。
The klystron differs from the coupled cavity TWT in that the cavities are generally uncoupled. However, part of the klystron cavity is 2
One or more cavities may be coupled so that they can interact with the electron beam. This particular type of klystron is known as an extended interaction output circuit.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】RF増幅管の大きな課
題は、熱の効率的な除去にある。電子ビームが、管のキ
ャビティを通ってドリフトする際、トンネル壁で停止し
た浮遊電子から生じた熱エネルギーは、磁性材料のリラ
クタンス変化、キャビティ表面の熱変形、またはトンネ
ル壁の溶融を防止するよう、管から除かなければならな
い。
A major problem with RF amplifier tubes is the efficient removal of heat. As the electron beam drifts through the cavity of the tube, the thermal energy generated from the stray electrons stopped at the tunnel wall prevents reluctance changes in the magnetic material, thermal deformation of the cavity surface, or melting of the tunnel wall, Must be removed from the tube.

【0014】この熱除去のため、通常、ヒートシンクへ
熱を伝える磁気材料から成る部分に、銅板が接合され
る。この銅は、ヒートパスの熱抵抗を下げ、トンネルの
強度が危険なレベルより低くなるようにする。代表的な
円筒形キャビティにおける最小ヒートパスの長さは、キ
ャビティの半径である。
To remove this heat, a copper plate is usually bonded to a portion made of a magnetic material that transfers heat to a heat sink. This copper lowers the thermal resistance of the heat path, making the tunnel strength below dangerous levels. The minimum heat path length in a typical cylindrical cavity is the cavity radius.

【0015】RF増幅管の別の問題は、マイクロウェー
ブスペクトルのミリ波長レンジ内のRF信号、すなわち
ミリ波を増幅するように、これら管を製造することが、
より困難となることである。これらの極短波長の信号
は、キャビティおよび結合ノッチを形成する際の公差を
正確にすることを求める。
Another problem with RF amplifier tubes is that they can be manufactured to amplify RF signals, or millimeter waves, in the millimeter wavelength range of the microwave spectrum.
It will be more difficult. These very short wavelength signals require precise tolerances in forming the cavities and coupling notches.

【0016】周期的マイクロウェーブ構造体では、(R
F電磁界から見て)内側の寸法の周期ごとのバラツキが
大きくなる結果、管内でのRFの反射回数が増える。次
にこのため、管とRF入力導波管とのインピーダンスマ
ッチングが劣化し、周期性を表す値は、マッチング劣化
しなかった場合よりも低下する。
In the periodic microwave structure, (R
As a result of the greater variation in the inner dimension (as viewed from the F field) with each cycle, the number of RF reflections in the tube increases. Then, for this reason, the impedance matching between the tube and the RF input waveguide deteriorates, and the value representing the periodicity becomes lower than that in the case where the matching deterioration does not occur.

【0017】これらの要因の結果、管で得られる利得値
が低下する。従って、周波数が高くなるにつれて、部品
の公称寸法が低下すると、周期ごとの寸法のバラツキを
小さくしなければならない。
As a result of these factors, the gain value obtained with the tube is reduced. Therefore, as the frequency increases, the nominal dimension of the component decreases, and the dimensional variation from cycle to cycle must be reduced.

【0018】従来の一体的極片RF増幅管では、磁気お
よび非磁気部品は、通常は別々に機械加工して、重ねら
れ、次にろう付けされている。ミリ波長で作動するよう
設計された管では、周期ごとの寸法のバラツキは、この
部品に要求される公差だけでなく、部品間のろう付け領
域の不均一性によっても決まることが多い。
In conventional unitary pole piece RF amplifier tubes, the magnetic and non-magnetic components are usually machined separately, laminated and then brazed. In tubes designed to operate at millimeter wavelengths, the dimensional variations from cycle to cycle are often determined by the tolerances required for this part as well as the non-uniformity of the braze area between the parts.

【0019】通常より多くの周期、および従ってより多
くの部品が必要となる高い周波数では、特に極片に銅プ
レートを加えて、キャビティ壁に沿う熱伝導度を改善し
なければならない場合、積層体に沿う公差の累積をなく
すことは、より困難となり、コスト高となる。
At higher frequencies, where more periods are usually needed, and thus more components are required, especially if copper plates have to be added to the pole pieces to improve the thermal conductivity along the cavity walls. Eliminating the accumulation of tolerances along is more difficult and costly.

【0020】従って、一体的な極片形RF増幅管は、作
動周波数が高くなるにつれて、また部品数が多くなるに
つれて、有効性が低下する。寸法のバラツキの問題を解
消するための放電加工技術を用いて、銅の単一ブロック
から管を機械加工することが多い。軽量のPPM合焦を
望む場合、その後、管に別の磁気回路をスリップオン
し、ろう付けする。
Therefore, the unitary pole-piece type RF amplification tube becomes less effective as the operating frequency increases and as the number of parts increases. Tubes are often machined from a single block of copper using electrical discharge machining techniques to eliminate dimensional variation problems. If light PPM focusing is desired, then the tube is slipped on and brazed with another magnetic circuit.

【0021】しかし、一体的極片を除き、その結果、ト
ンネル壁に磁束を導入すると、一体的極片形RF増幅管
の望ましい合焦性能が失われる。λp/Lの比は大幅に
小さくなり、より高いビーム電圧しか合焦できない。
However, the elimination of the integral pole piece and, consequently, the introduction of magnetic flux into the tunnel wall detracts from the desired focusing performance of the integral pole piece RF amplifier tube. The λp / L ratio is significantly reduced and only higher beam voltages can be focused.

【0022】従って、望ましいビーム合焦をするため、
トンネル壁まで完全にまたは少なくとも部分的に延びた
極片を有し、かつミリ波RF信号を増幅する一体的極片
形RF増幅管を提供することが望ましい。
Therefore, to achieve the desired beam focus,
It would be desirable to provide an integral pole piece RF amplifier tube having a pole piece extending completely or at least partially to the tunnel wall and for amplifying millimeter wave RF signals.

【0023】更に、トンネル壁からの熱の除去を改善す
るため、銅板がキャビティ壁に沿って極片に接触してい
る一体的極片形RF増幅管を提供することも望ましい。
It is further desirable to provide an integral pole piece RF amplifier tube in which the copper plate contacts the pole piece along the cavity wall to improve heat removal from the tunnel wall.

【0024】更に、上記特徴を有し、公差の累積という
悪影響を除いた一体的極片形RF増幅管を製造する比較
的安価な方法を提供することが好ましい。
Further, it is preferable to provide a relatively inexpensive method of manufacturing an integral pole piece type RF amplification tube having the above characteristics and eliminating the adverse effect of accumulating tolerances.

【0025】[0025]

【課題を解決するための手段】従って、本発明の主たる
目的は、ミリ波RF信号を増幅し、改善されたビーム合
焦をするよう、トンネル壁まで延びた極片を有する一体
的極片形RF増幅管とその製造方法を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, a primary object of the present invention is to provide an integral pole piece configuration having a pole piece extending to the tunnel wall for amplifying millimeter wave RF signals and for improved beam focusing. An object is to provide an RF amplification tube and a manufacturing method thereof.

【0026】本発明の別の目的は、ミリ波RF信号を増
幅し、キャビティ壁に沿って極片と接触する銅プレート
を有し、熱に対する耐久性を改善し、高温作動から生じ
得るキャビティ表面の熱変形、磁気材料のリラクタンス
変化、およびトンネル壁の溶融を最小とする一体的極片
形RF増幅管を提供することにある。
Another object of the invention is to have a copper plate that amplifies the millimeter wave RF signal and contacts the pole pieces along the cavity wall to improve heat resistance and possible cavity surface resulting from high temperature operation. To provide an integral pole piece RF amplifier tube that minimizes thermal deformation, magnetic material reluctance changes, and tunnel wall melting.

【0027】本発明の更に別の目的は、公差の累積とい
う悪影響を除いた、一体的極片形RF増幅管を製造する
ための低コストの方法を提供することにある。
Yet another object of the present invention is to provide a low cost method for manufacturing an integral pole piece RF amplifier tube which eliminates the deleterious effects of tolerance accumulation.

【0028】上記およびそれ以外の目的を達成するた
め、交互に、かつ一体的とした複数の磁気および非磁気
プレートを有する積層構造体を有するRF増幅管が提供
される。
To achieve the above and other objectives, an RF amplification tube having a laminated structure having a plurality of magnetic and non-magnetic plates alternately and integrally provided is provided.

【0029】この構造体は、実質的に平面状の外側表
面、および内側ビームトンネルを有する。磁束が、まず
磁気プレートを通り、次に、トンネル内に進入する磁界
を形成する複数のマグネットが設けられる。この構造体
のエッジには、平面状の表面が設けられ、回路に平面状
の境界ヒートシンクを取り付けできるようになってい
る。
The structure has a substantially planar outer surface and an inner beam tunnel. A plurality of magnets are provided that form a magnetic field in which the magnetic flux first passes through the magnetic plate and then enters the tunnel. The edge of this structure is provided with a planar surface to allow attachment of a planar boundary heat sink to the circuit.

【0030】非磁気プレートの各々は、ヒートシンクを
取り付けた後、共振キャビティとなる一つ以上のスロッ
トを有する。
Each of the non-magnetic plates has one or more slots that are resonant cavities after the heat sink is attached.

【0031】ビームトンネルは、各磁気プレートを貫通
し、各キャビティを通って、電子ビームを通過できるよ
うにしてある。平面状の構造にすることにより、低コス
トの構造が得られるとともに、RF増幅の必要なバンド
幅が得られる。非磁気プレートは、この構造体からの熱
の除去に寄与している。
A beam tunnel penetrates each magnetic plate and allows each electron beam to pass through each cavity. The planar structure provides a low cost structure and the required bandwidth for RF amplification. The non-magnetic plate contributes to the removal of heat from this structure.

【0032】本発明の第1実施例では、磁気プレートの
一部にノッチが設けられ、これらノッチは、キャビティ
を結合している。これらノッチの位置は、第1平面状表
面と一致する第1エッジと、この第1平面状表面と逆の
第2平面状表面と一致する第2エッジとの間で交互に位
置する。
In the first embodiment of the present invention, notches are provided in a part of the magnetic plate, and these notches connect the cavities. The positions of these notches are alternating between a first edge coinciding with the first planar surface and a second edge coinciding with a second planar surface opposite the first planar surface.

【0033】これとは異なり、ノッチの位置を、すべ
て、一つの平面状表面に一致していてもよいし、ノッチ
の第1部分が第1平面状表面と一致し、ノッチの第2部
分が第2平面状表面と一致するように、前者と後者の配
置例を組み合わせてもよい。
Alternatively, the positions of the notches may all coincide with one planar surface, or the first portion of the notch may coincide with the first planar surface and the second portion of the notch. The arrangement examples of the former and the latter may be combined so as to coincide with the second planar surface.

【0034】本発明の種々の実施例では、RF増幅管
は、結合キャビティ形進行波管を形成する。
In various embodiments of the present invention, the RF amplifier tube forms a coupled cavity traveling wave tube.

【0035】本発明の第2実施例では、ノッチは設けら
れず、キャビテイも結合されないままである。この実施
例では、RF増幅管はクライストロンを構成することに
なる。
In the second embodiment of the invention, notches are not provided and the cavities remain uncoupled. In this embodiment, the RF amplification tube will form a klystron.

【0036】本発明に係わるRF増幅管を製造するため
の方法は、一体的に形成された積層構造体となるよう、
複数の磁気プレートと非磁気プレートとを交互に組み合
わせる工程を含む。
The method for manufacturing the RF amplification tube according to the present invention is such that an integrally formed laminated structure is obtained.
The process includes alternately combining a plurality of magnetic plates and non-magnetic plates.

【0037】隣接する非磁気プレートに一部進入するノ
ッチを、磁気プレートの所定のものにカットできる。こ
うして選択されたエッジは、構造体の第1側面と、この
第1側面と逆の第2側面との間で、交互に位置していて
もよいし、すべて一方の側面に沿っていてもよい。
Notches partially entering adjacent non-magnetic plates can be cut into predetermined ones of the magnetic plates. The edges thus selected may alternate between the first side of the structure and the second side opposite this first side, or all along one side. .

【0038】次に一つ以上のスロットを、非磁気プレー
トのうちの所定プレートを通るようカットする。この構
造体の側面に、平面状のヒートシンクを設けると、スロ
ットは、同調キャビティとなり、ノッチは、これらキャ
ビティ結合する。
Next, one or more slots are cut through a given one of the non-magnetic plates. When a planar heat sink is provided on the side surface of this structure, the slot becomes a tuning cavity and the notch couples these cavities.

【0039】下記の好ましい実施例の詳細な説明を当業
者が検討すれば、本発明の上記以外の利点および目的
と、本発明のミリ波周波数用一体的極片形RF増幅管の
構成について、より完全に理解できる思う。次に、添付
図面を参照して説明する。
Those of ordinary skill in the art will study the following detailed description of the preferred embodiment, and as to other advantages and purposes of the present invention, as well as the construction of the present invention integral pole piece RF amplifier tube for millimeter wave frequencies. I think I can understand it more completely. Next, description will be given with reference to the accompanying drawings.

【0040】[0040]

【実施例】まず図1及び図4を参照する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Referring first to FIGS.

【0041】これらの図には、本発明に関するRF増幅
回路が示されている。管10は、積層構造体から形成さ
れ、この積層構造体は、複数の非磁気プレート18と、
磁気プレート16から成り、これらのプレートは、交互
に組み立てられ、一体的に形成されている。組み立てら
れた管10は、細長く、全体が長方形となっており、両
端に配置されたエンドプレート12と、第1側面23
と、この第1側面23と反対側の第2側面25と、第3
側面27と、第3側面27と反対側の第4側面29とを
有している。
In these figures, the RF amplifier circuit according to the present invention is shown. The tube 10 is formed of a laminated structure that includes a plurality of non-magnetic plates 18 and
It consists of magnetic plates 16 which are alternately assembled and integrally formed. The assembled tube 10 is elongated and has a rectangular shape as a whole, and the end plates 12 arranged at both ends and the first side surface 23 are provided.
And a second side surface 25 opposite to the first side surface 23 and a third side surface 25.
It has a side surface 27 and a fourth side surface 29 opposite to the third side surface 27.

【0042】後述するように、管10の一端部で生じた
電子ビームは、TWT内に形成された複数のキャビティ
を通過し、TWTの逆の端部から出る。
As will be described later, the electron beam generated at one end of the tube 10 passes through a plurality of cavities formed in the TWT and exits from the opposite end of the TWT.

【0043】磁気プレート16と非磁気プレート18
は、全体として長方形となっている。磁気プレート16
として好ましい材料は、鉄である。
Magnetic plate 16 and non-magnetic plate 18
Is rectangular as a whole. Magnetic plate 16
A preferred material for iron is iron.

【0044】極片としても知られている磁気プレート1
6は、エッジに配置されたノッチ22を有する。図に示
したノッチ22は、全体が長方形をしており、極片の幅
方向に半分より短い長さだけ延びている。しかし、別の
ノッチ形状、例えば円形も有利に使用できることは、知
られていることである。
Magnetic plate 1 also known as pole piece
6 has a notch 22 located at the edge. The notch 22 shown in the figure has a rectangular shape as a whole and extends in the width direction of the pole piece by a length shorter than half. However, it is known that other notch shapes, for example circular shapes, can also be used to advantage.

【0045】各磁気プレート16のノッチの位置は、第
1側面23側のエッジと第2側面25側のエッジとの間
に、交互に設けられている。
The positions of the notches of each magnetic plate 16 are alternately provided between the edge on the first side surface 23 side and the edge on the second side surface 25 side.

【0046】図4に最も良く示すように、第1の磁気プ
レート161 のノッチ22の位置は、第1側面23にあ
り、次の磁気プレート162 のノッチ22は、第2側面
25に設けられている。第3の磁気プレート163 のノ
ッチ22は、第1磁気プレート161 と同じように第1
側面23にある。
As best shown in FIG. 4, the position of the notch 22 of the first magnetic plate 16 1 is on the first side surface 23, and the notch 22 of the next magnetic plate 16 2 is provided on the second side surface 25. Has been. The notch 22 of the third magnetic plate 16 3 is similar to the first magnetic plate 16 1 in the first notch 22.
Located on side 23.

【0047】上記とは異なり、ノッチの位置は、TWT
10の一方の側面にすべてがあってもよいし、ノッチ2
2の一部が第1側面23にあり、一部が第2側面25に
あるように2つの配置例を組み合わせてもよい。
Unlike the above, the position of the notch depends on the TWT.
10 may be all on one side or notch 2
Two arrangement examples may be combined such that a part of 2 is on the first side surface 23 and a part of the 2 is on the second side surface 25.

【0048】更に別の実施例として、単一の磁気プレー
ト16が、2つ以上のノッチ22、例えば極片の両端に
設けられたノッチを有していてもよい。
As a further alternative, the single magnetic plate 16 may have more than one notch 22, for example notches provided at opposite ends of the pole piece.

【0049】後述するように、これらノッチは、隣接キ
ャビティに対する結合パスとなる。
As will be described below, these notches provide coupling paths for adjacent cavities.

【0050】非磁気プレート18は、磁気プレート極片
16に対して隣接して設けられており、極片と交互に設
けられている。非磁気プレート18として好ましい材料
は、銅である。
The non-magnetic plates 18 are provided adjacent to the magnetic plate pole pieces 16 and are provided alternately with the pole pieces. The preferred material for the non-magnetic plate 18 is copper.

【0051】非磁気プレート18は、1つ以上のスロッ
ト24を有する。スロット24は、全体が平行六面体の
形状をしており、第1側面23から第2側面25まで、
非磁気プレート18を完全に貫通している。スロット2
4の形状は、断面が楕円形となるようになっていてもよ
い。
The non-magnetic plate 18 has one or more slots 24. The slot 24 has a parallelepiped shape as a whole, and from the first side surface 23 to the second side surface 25,
It completely penetrates the non-magnetic plate 18. Slot 2
The shape of 4 may be elliptical in cross section.

【0052】上記とは異なり、スロット24は、第3側
面27と第4側面29との間で延びていてもよい。スロ
ットの方向は、第1側面23と第2側面25との間に延
びる第1方向と、側面27と29との間に延びる第2方
向に交互になっていてもよい。これらスロット24は。
同調キャビティ26を構成する。
Unlike the above, the slot 24 may extend between the third side surface 27 and the fourth side surface 29. The directions of the slots may alternate between a first direction extending between the first side surface 23 and the second side surface 25 and a second direction extending between the side surfaces 27 and 29. These slots 24.
The tuning cavity 26 is constructed.

【0053】磁気プレート16と非磁気プレート18が
一体的になるよう、交互に配置されているので、管10
の中には、連続パスが形成され、このパスは、各キャビ
ティを貫通し、各ノッチの上を横断し、隣接キャビティ
まで延びている。このパスは、図5の断面図にも示され
ている。
Since the magnetic plates 16 and the non-magnetic plates 18 are alternately arranged so as to be integrated, the tube 10
A continuous path is formed therein, which passes through each cavity, crosses over each notch, and extends to an adjacent cavity. This path is also shown in the cross-sectional view of FIG.

【0054】管10の長手方向には、電子ビームトンネ
ル14が完全に貫通している。このトンネル14の全体
の形状は円形であり、各キャビティ26を通過し、これ
らキャビティをリンクしている。このビームトンネル
は、完成した結合キャビティ形管10を電子ビームが通
過するためのパスを構成している。
An electron beam tunnel 14 is completely penetrated in the longitudinal direction of the tube 10. The overall shape of this tunnel 14 is circular and passes through and links the cavities 26. This beam tunnel constitutes a path for the electron beam to pass through the completed coupled cavity tube 10.

【0055】キャビティ26は、上記のように、ノッチ
22により結合されており、管10は、結合キャビティ
形進行波管増幅器として働く。作動中、電子ビームは、
結合キャビティを通過するRF信号と相互に作用する。
ビームからのエネルギーは、RF信号に伝えられ、RF
信号のパワーを増加する。
Cavity 26 is coupled by notch 22 as described above, and tube 10 acts as a coupled cavity traveling wave tube amplifier. During operation, the electron beam
It interacts with the RF signal passing through the coupling cavity.
The energy from the beam is transferred to the RF signal,
Increase the power of the signal.

【0056】磁気プレート16および非磁気プレート1
8は、第1側面23と第2側面25と同一面となるエッ
ジを有している。後述するように、第1側面23と第2
側面25は、ヒートシンク34を取り付けるための平ら
な表面32、32’となっている。
Magnetic plate 16 and non-magnetic plate 1
8 has an edge that is flush with the first side surface 23 and the second side surface 25. As will be described later, the first side surface 23 and the second side surface 23
The side surface 25 is a flat surface 32, 32 'for mounting the heat sink 34.

【0057】第3側面27と第4側面29は、各非磁気
プレート18および磁気プレート16のいくつかの他方
のエッジと同一面になっている。しかし、個々の磁気プ
レート16は、第3側面27および第4側面29から外
側に延び、耳部36を形成している。側面と耳部36の
組み合わせにより、マグネット42を設置するための取
り付け位置が決められる。図2に示すマグネット42
は、実質的に長方形であるが、他の形状、例えば円筒形
でもよい。
The third side surface 27 and the fourth side surface 29 are flush with some other edges of the non-magnetic plate 18 and the magnetic plate 16. However, the individual magnetic plates 16 extend outwardly from the third side surface 27 and the fourth side surface 29 and form the ears 36. The combination of the side surface and the ear portion 36 determines the attachment position for installing the magnet 42. The magnet 42 shown in FIG.
Is substantially rectangular, but may have other shapes, for example cylindrical.

【0058】図2に示すように、マグネット42は、T
WT10に対する取り付け位置に取り付けられ、磁束線
44が磁気プレート16を通る磁界を形成している。磁
束線は、磁気プレート16を貫通し、非磁気プレート1
8を飛び越し、隣接する磁気プレート16に進入してい
る。磁束線44は、ビームトンネル14も横断し、電子
ビームの合焦を行う。
As shown in FIG. 2, the magnet 42 has a T
Mounted in a mounting position with respect to the WT 10, the magnetic flux lines 44 form a magnetic field through the magnetic plate 16. The magnetic flux lines penetrate the magnetic plate 16 and the non-magnetic plate 1
8 and jumps into the adjacent magnetic plate 16. The magnetic flux lines 44 also traverse the beam tunnel 14 and focus the electron beam.

【0059】次に磁束線44は、ノッチ22により形成
された空間を飛び越し、再度隣接するキャビティ26を
通過し、第1磁気プレート16に戻る。ここで、スロッ
ト24およびノッチ22の形状を変えることにより、ヒ
ートシンクの表面32をビームトンネル14に接近さ
せ、管10の熱処理能力を更に改善することもできる。
Next, the magnetic flux line 44 jumps over the space formed by the notch 22, passes through the adjacent cavity 26 again, and returns to the first magnetic plate 16. Here, the shape of the slot 24 and the notch 22 can be changed to bring the surface 32 of the heat sink closer to the beam tunnel 14 to further improve the heat treatment capability of the tube 10.

【0060】次に図6を参照する。この図には、管10
がクライストロン作動を行うことができる別の実施例が
示されている。磁気プレート16の一部には、ノッチが
設けられていない。
Next, referring to FIG. In this figure, the tube 10
There is shown another embodiment in which a Klystron operation can be performed. Notches are not provided in a part of the magnetic plate 16.

【0061】電子ビームが管10を通過する際、キャビ
ティ26内に電磁界が形成され、これにより、RF信号
が発生される。当技術分野では知られているように、キ
ャビティ26の一部は、ノッチ22により結合され、バ
ンド幅の改善された拡張型相互作用出力回路として作動
できる。
As the electron beam passes through the tube 10, an electromagnetic field is formed in the cavity 26, which produces an RF signal. As is known in the art, a portion of cavity 26 is coupled by notch 22 and can operate as an enhanced interactive output circuit with improved bandwidth.

【0062】本発明に関するRF増幅管10を組み立て
るには、全体が長方形をした磁気および非磁気プレート
の積層構造体を形成しなければならない。磁気および非
磁気プレートは、中心整列孔を有する。各整列孔には、
薄肉のモリブデン管が挿入され、交互に配置したプレー
トを整列できるようになっている。
To assemble the RF amplification tube 10 according to the present invention, a laminated structure of magnetic and non-magnetic plates of generally rectangular shape must be formed. The magnetic and non-magnetic plates have central alignment holes. Each alignment hole has
A thin molybdenum tube was inserted to allow alternating plates to be aligned.

【0063】一旦プレートを組み立てた後、ろう付けま
たは他の接合技術により積層構造体となるよう、一体的
に形成する。各非磁気プレートは、パイロット孔52を
有し、この孔は、第1側面23に関連したエッジから第
2側面25に関連したエッジまで延びている。図3に、
組み立て前の非磁気プレート18のパイロット孔52の
一例を示す。
Once the plates are assembled, they are integrally formed into a laminated structure by brazing or other joining technique. Each non-magnetic plate has a pilot hole 52 extending from the edge associated with the first side surface 23 to the edge associated with the second side surface 25. In Figure 3,
An example of the pilot hole 52 of the non-magnetic plate 18 before assembly is shown.

【0064】磁気プレートおよび非磁気プレートの構造
体を、一体的ユニットになるよう、互いにろう付けする
と、パイロット孔52は、この構造体の幅方向に貫通
し、後述するように、キャビティを切り抜くための機構
となっている。
When the magnetic plate and non-magnetic plate structures are brazed together to form an integral unit, the pilot holes 52 penetrate the width of the structure to cut out cavities as described below. It is a mechanism of.

【0065】次の工程は、長方形の管10の露出エッジ
を、適当な形状まで小さくすることである。側面を直角
にした後、側面23および25に、所望のノッチ22を
切削する。これらノッチは、磁気プレート16の厚み方
向を完全に横断するよう延び、各隣接する非磁気プレー
ト18内まで、部分的に延びている。当技術分野で知ら
れているように、好ましい切削技術は、所望する公差条
件によって決まる。
The next step is to reduce the exposed edges of the rectangular tube 10 to the proper shape. After making the sides square, the desired notches 22 are cut in the sides 23 and 25. These notches extend completely across the thickness of the magnetic plate 16 and extend partially into each adjacent non-magnetic plate 18. As is known in the art, the preferred cutting technique will depend on the tolerance requirements desired.

【0066】ノッチ22を形成した後、キャビティ26
を切り抜く。これらキャビティ26を切断する好ましい
方法は、ワイヤ電子放電機械加工(EDM)法である。
この技術を使用する場合、パイロット孔52を通過する
よう、1本のワイヤを供給し、不要の銅材料を切削して
除くことにより、キャビティ壁を切削することなく、ス
ロット24を残す。
After forming the notch 22, the cavity 26
Cut out. The preferred method of cutting these cavities 26 is wire electron discharge machining (EDM).
When using this technique, one wire is fed through the pilot hole 52 and the unwanted copper material is cut away to leave the slot 24 without cutting the cavity wall.

【0067】この工程を繰り返し、管10内に、キャビ
ティ26を形成する。キャビティ26を形成した後、キ
ャビティ26を接合しているノッチ22から、連続した
パスが生じる。
By repeating this process, the cavity 26 is formed in the tube 10. After forming the cavity 26, a continuous path results from the notch 22 joining the cavity 26.

【0068】次に、ワイヤEDM方法を使用して、第1
側面23および第2側面25を直角にし、ヒートシンク
表面32、32’を設ける。このワイヤEDM法を用い
て、磁気プレート16および非磁気プレート18の側部
部分を除去し、露出した耳部36のみを残すこともでき
る。所望により、この最後の工程は、図1に示すように
3つの極片おきに、または図2に示すように2つの極片
おきに、耳部を残すように実施できる。
Then, using the wire EDM method, the first
Side 23 and second side 25 are at right angles and heat sink surfaces 32, 32 'are provided. The wire EDM method can also be used to remove the side portions of the magnetic plate 16 and non-magnetic plate 18 leaving only the exposed ears 36. If desired, this last step can be performed leaving ears every three pole pieces, as shown in FIG. 1, or every two pole pieces, as shown in FIG.

【0069】モリブデン管は、このワイヤEDM法によ
っても除去され、工作機械を使用して、電磁ビームトン
ネル14を形成する。
The molybdenum tube is also removed by this wire EDM method and a machine tool is used to form the electromagnetic beam tunnel 14.

【0070】管10を形成する際の最終工程は、エンド
プレート12に、入口および出口ポートを設けることで
ある。これらポートは、RF信号が管10に入力され、
かつ管から出力できるようにするためのものである。こ
れらポートは、従来のフライス加工またはEDM法によ
っても形成できる。仕上げられたTWT10は、ヒート
シンク面32に固定されたヒートシンク34を有しても
よい。
The final step in forming the tube 10 is to provide the end plate 12 with inlet and outlet ports. RF signals are input to the tube 10 at these ports,
And it is for making it possible to output from the tube. These ports can also be formed by conventional milling or EDM methods. The finished TWT 10 may have a heat sink 34 secured to the heat sink surface 32.

【0071】一体的極片型RF増幅管10を使用するに
は、管と他の同じような回路を、完全な増幅アセンブリ
に組み立てなければならない。仕上げられた結合キャビ
ティ形管10に、マッチング回路を追加し、RF入力ポ
ートと管自体との間のRFインピーダンスをマッチング
できる。このマッチング回路は、結合キャビティ形管1
0の一部となるよう、通常機械加工されている。
To use the integral pole piece RF amplifier tube 10, the tube and other similar circuits must be assembled into a complete amplifier assembly. A matching circuit can be added to the finished coupled cavity tube 10 to match the RF impedance between the RF input port and the tube itself. The matching circuit is a combined cavity tube 1.
It is usually machined to be part of zero.

【0072】次に、管10には、図7に示すような他の
管部分を組み合わせて、電子銃62および電子ビームコ
レクタ64とすることができる。電子銃62は、加熱さ
れて電子を放出するカソード63を有する。これら電子
は、管10のビームトンネル14内に設けられた磁界に
よって電子ビーム66となるよう合焦される。コレクタ
64は、電子が管10を出た後、これら電子を受けて放
散される。
Next, the tube 10 can be combined with other tube portions as shown in FIG. 7 to form the electron gun 62 and the electron beam collector 64. The electron gun 62 has a cathode 63 that is heated to emit electrons. These electrons are focused into an electron beam 66 by the magnetic field provided in the beam tunnel 14 of the tube 10. The collector 64 receives these electrons and dissipates them after they leave the tube 10.

【0073】当業者であれば、ラミネート構造体、およ
び全体が平らな表面を有するRF増幅管を使用すれば、
製造が比較的低コストとなることが明らかであろう。ス
ロットを形成する銅プレートは、ビームトンネルからヒ
ートシンクに熱を伝えることにより、熱に対する頑丈さ
を更に大きくしている。また誤差の累積を起こすことな
く、所望のミリ波周波数バンドが正確に得られる。
Those skilled in the art will appreciate that using laminate structures and RF amplifier tubes with generally flat surfaces,
It will be clear that manufacturing is relatively low cost. The copper plates that form the slots provide additional heat robustness by transferring heat from the beam tunnel to the heat sink. In addition, a desired millimeter wave frequency band can be accurately obtained without accumulating errors.

【0074】以上、ミリ波周波数用の結合キャビティ型
進行波管の好ましい実施例を説明したので、当業者に
は、本発明の上記目的および利点が得られることは明ら
かであろう。また当業者であれば、本発明の精神および
範囲内で種々の変更、適応および別の実施例が可能であ
ることは明らかであろう。
Now that the preferred embodiment of a coupled cavity traveling wave tube for millimeter wave frequencies has been described, it will be apparent to those skilled in the art that the above objects and advantages of the present invention may be obtained. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, adaptations and other embodiments can be made within the spirit and scope of the present invention.

【0075】例えば、ワイヤEDM法の代わりに、他の
精密な切削法、例えばフライス加工または孔あけ加工が
使用できる。当技術分野で知られているように、増幅す
べきRF信号の周波数レンジによって、構成部品の大き
さが決まる。これらの大きさは、別のRF周波数信号お
よびRFレベルを考慮すると、大幅に変わり得る。
For example, instead of the wire EDM method, other precision cutting methods such as milling or drilling can be used. As is known in the art, the frequency range of the RF signal to be amplified determines the component size. These magnitudes can vary significantly when considering different RF frequency signals and RF levels.

【0076】更に、所望の管特性を得たい場合、非磁気
プレート18と同じように、極片16にもスロット24
を設けることができること、および極片と同じように非
磁気プレートにノッチ22を設けることができること
も、明らかである。また非磁気プレート18または磁気
プレート16にも、多数のスロット24を設けることが
できる。
Further, when desired tube characteristics are desired, the slot 24 is provided in the pole piece 16 as in the non-magnetic plate 18.
It is also clear that the notches 22 can be provided in the non-magnetic plate as well as the pole pieces. The non-magnetic plate 18 or the magnetic plate 16 can also be provided with a large number of slots 24.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による一体的極片形RF増幅管の斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view of an integral pole piece RF amplifier tube according to the present invention.

【図2】磁束線および熱束線を示す一体的極片形RF増
幅管の部分斜視図である。
FIG. 2 is a partial perspective view of an integral pole piece type RF amplification tube showing magnetic flux lines and heat flux lines.

【図3】露出されたパイロット孔を有する組み立てられ
ていない非磁気プレートの斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of an unassembled non-magnetic plate with exposed pilot holes.

【図4】図1の一体的極片形RF増幅管の分解図であ
る。
FIG. 4 is an exploded view of the integral pole piece RF amplifier tube of FIG.

【図5】図2の5−5線に沿った一体的極片形RF増幅
管の内部の断面図である。
5 is a sectional view of the inside of the integral pole piece type RF amplification tube taken along the line 5-5 of FIG.

【図6】クライストロン動作のための一体的極片形RF
増幅管の部分斜視図である。
FIG. 6 Integral pole-piece RF for klystron operation
It is a partial perspective view of an amplification tube.

【図7】電子銃およびコレクタに組み立てられたRF増
幅管の側断面図である。
FIG. 7 is a side sectional view of an RF amplification tube assembled to an electron gun and a collector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 管 14 ビームトンネル 16 磁気プレート 18 非磁気プレート 22 ノッチ 24 スロット 23,25,27,29 側面 26 キャビティ 32,32´ 表面 34 ヒートシンク 36 耳部 42 マグネット 44 磁束線 52 パイロット孔 62 電子銃 63 カソード 64 コレクタ 66 電子ビーム 10 tube 14 beam tunnel 16 Magnetic plate 18 Non-magnetic plate 22 notches 24 slots 23, 25, 27, 29 Side surface 26 Cavity 32, 32 'Surface 34 Heat sink 36 ears 42 magnets 44 magnetic flux line 52 pilot hole 62 electron gun 63 cathode 64 collector 66 electron beam

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダグラス ビー ライオン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94070 サンカルロス ノーザムアヴェ ニュー 48 (56)参考文献 特開 昭63−34836(JP,A) 特開 昭58−188033(JP,A) 特開 昭55−154036(JP,A) 特開 平4−118836(JP,A) 特公 昭44−20167(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 9/14 H01J 23/00 - 23/54 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Douglas B. Lion USA California 94070 San Carlos Northam Avenue 48 (56) References JP 63-34836 (JP, A) JP 58-188033 (JP, A) ) JP-A-55-154036 (JP, A) JP-A-4-118836 (JP, A) JP-B-44-20167 (JP, B1) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 9/14 H01J 23/00-23/54

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ミリ波RF信号を増幅するための一体的
極片結合キャビティ形進行波管を製造する方法であっ
て、 複数の磁気プレート及び非磁気プレートを交互に組み立
て、 積層構造となるように前記プレートを一体形成し、 前記積層構造体の少なくとも一側面に、実質的に平面状
の表面を形成し、積層構造体にキャビティを切削する、 工程を有する一体的極片結合キャビティ形進行波管の製
造方法。
1. A method of manufacturing an integrally pole piece coupled cavity type traveling wave tube for amplifying a millimeter wave RF signal, wherein a plurality of magnetic plates and non-magnetic plates are assembled alternately to form a laminated structure. An integral pole-piece coupled cavity type traveling wave including the steps of integrally forming the plate on at least one side surface of the laminated structure and cutting a cavity in the laminated structure. Pipe manufacturing method.
【請求項2】 ミリ波RF信号を増幅するための一体的
極片結合キャビティ形進行波管を製造する方法であっ
て、 複数の磁気プレート及び非磁気プレートを交互に組み立
る、 積層構造となるように前記プレートを一体形成する、 積層構造体にキャビティを切削する、 工程を有する一体的極片結合キャビティ形進行波管の製
造方法。
2. An integral unit for amplifying a millimeter wave RF signal.
It is a method to manufacture a pole piece coupled cavity type traveling wave tube.
To set up multiple magnetic plates and non-magnetic plates alternately.
That, integrally forming the plate such that the laminated structure, cutting a cavity in the laminated structure, manufactured integral pole piece coupled cavity type traveling wave tube having a step
Build method.
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