JP3510468B2 - Surface defect inspection equipment - Google Patents

Surface defect inspection equipment

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JP3510468B2
JP3510468B2 JP02611098A JP2611098A JP3510468B2 JP 3510468 B2 JP3510468 B2 JP 3510468B2 JP 02611098 A JP02611098 A JP 02611098A JP 2611098 A JP2611098 A JP 2611098A JP 3510468 B2 JP3510468 B2 JP 3510468B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、車体パネル等のプ
レス成形品に対して、その表面における凹凸等の表面欠
陥を検査するのに用いる表面欠陥の検査装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface defect inspection apparatus used for inspecting surface defects such as irregularities on the surface of a press-formed product such as a vehicle body panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の表面欠陥の検査装置としては、
例えば、特開平8−5573号公報に記載されたものと
がある。同公報に記載された装置は、被検査面の一方側
において、被検査面に対して10度以下の浅い照射角度
で斜め上方から光を照射すると共に、被検査面の他方側
において、同じく被検査面に対して10度以下の浅い撮
像角度で斜め上方から被検査面を撮像し、被検査面上の
異物や凹凸等の表面欠陥を影(暗)として撮像するもの
であって、画像処理において、撮像した原画像を全範囲
同じしきい値で二値化処理することにより表面欠陥を抽
出している。
2. Description of the Related Art As an inspection device for this type of surface defect,
For example, there is one described in JP-A-8-5573. The apparatus described in the publication irradiates light on one side of the surface to be inspected at a shallow irradiation angle of 10 degrees or less from obliquely above, and also on the other side of the surface to be inspected, Image processing is performed by imaging a surface to be inspected obliquely from above at a shallow imaging angle of 10 degrees or less with respect to the inspection surface, and imaging a surface defect such as foreign matter or unevenness on the surface to be inspected as a shadow (dark). In, the surface defect is extracted by binarizing the captured original image with the same threshold value over the entire range.

【0003】また、照射角度よりも大きい撮像角度で被
検査面を撮像し、被検査面上の表面欠陥を明として撮像
するようにした検査装置もあった。
Further, there is also an inspection apparatus in which the surface to be inspected is imaged at an imaging angle larger than the irradiation angle and the surface defects on the surface to be inspected are imaged as bright.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記したよ
うに表面欠陥を明として撮像する検査装置において、原
画像が輝度傾斜を有する場合、画像処理にて原画像を全
範囲同じしきい値で二値化処理すると、輝度傾斜中にあ
る表面欠陥の輝度よりも高い輝度の部分がノイズとして
抽出されてしまうので、表面欠陥のみを検出することが
困難であるという問題があり、このような問題を解決す
ることが課題であった。
However, in the inspection apparatus which picks up surface defects as bright as described above, when the original image has a brightness gradient, the original image is imaged with the same threshold value over the entire range by image processing. When the binarization process is performed, a portion having a brightness higher than the brightness of the surface defect in the brightness gradient is extracted as noise, so there is a problem that it is difficult to detect only the surface defect. The solution was a challenge.

【0005】[0005]

【発明の目的】本発明は、上記従来の課題に着目して成
されたもので、車体パネル等のプレス成形品における表
面欠陥の検査に好適であって、照明角度よりも大きい撮
像角度で表面欠陥を明として撮像する検査装置におい
て、原画像が輝度傾斜を有する場合に、被検査面上の微
小な凹凸等の表面欠陥を高い検出率で自動検出すること
ができる表面欠陥の検査装置を提供することを目的とし
ている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and is suitable for inspecting surface defects in a press-molded product such as a vehicle body panel and the like, and the surface is taken at an imaging angle larger than the illumination angle. Provided is a surface defect inspection device capable of automatically detecting a surface defect such as minute unevenness on a surface to be inspected at a high detection rate when an original image has a brightness gradient in an inspection device which images a defect as bright. The purpose is to do.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明に係わる表面欠陥
の検査装置は、請求項1として、曲面状を成す被検査面
に対して傾斜した照射角度で光を照射する照明手段と、
照明手段に対向して配置され且つ照明手段の照射角度よ
りも大きい撮像角度で被検査面を撮像する撮像手段と、
撮像手段で撮像した原画像から表面欠陥を検出する画像
処理手段を備え、画像処理手段が、照明手段からの光照
射方向に輝度傾斜を有する原画像をその輝度傾斜方向で
ある一方向に微分処理して一方向微分画像を作成する一
方向微分フィルタと、一方向微分画像を平滑化処理して
平滑化画像を作成する平滑化フィルタと、一方向微分画
像から平滑化画像を差分演算して差分画像を作成する差
分演算フィルタと、差分画像を一定のしきい値で二値化
処理して二値化画像を作成する二値化フィルタを備えて
いる構成とし、請求項2として、平滑化フィルタが、一
方向微分画像を十字参照型で複数回平滑化処理して十字
参照型複数回平滑化画像を作成する十字参照型複数回平
滑化フィルタであり、差分演算フィルタが、一方向微分
画像から十字参照型複数回平滑化画像を差分演算して差
分画像を作成するフィルタである構成とし、請求項3と
して、平滑化フィルタが、一方向微分画像を全周囲参照
型で複数回平滑化処理して全周囲参照型複数回平滑化画
像を作成する全周囲参照型複数回平滑化フィルタであ
り、差分演算フィルタが、一方向微分画像から全周囲参
照型複数回平滑化画像を差分演算して差分画像を作成す
るフィルタである構成とし、請求項4として、一方向微
分フィルタが、撮像手段からの原画像を一方向に且つ撮
像手段の撮像視野で決定される原画像中の表面欠陥の大
きさ合わせた大きさで微分処理して一方向微分画像を作
成する一方向最適サイズ微分フィルタであり、平滑化フ
ィルタが、一方向微分画像を一方向に且つ一方向微分画
像中の表面欠陥の大きさ合わせた大きさで平滑化処理し
て一方向平滑化画像を作成する一方向最適サイズ平滑化
フィルタであり、差分演算フィルタが、一方向微分画像
から一方向平滑化画像を差分演算して差分画像を作成す
るフィルタである構成とし、請求項5として、被検査面
を一方向に移動させる搬送手段と、被検査面の種類情報
を入力する種類情報入力手段と、被検査面の種類入力情
報に対応した被検査面の曲面状角度情報を選定する曲面
状角度情報選定手段と、搬送手段により搬送されている
被検査面の位置を検出する位置検出手段と、曲面状角度
情報選定手段からの曲面状角度情報と位置検出手段から
の位置検出情報とに基づいて照明手段および撮像手段の
角度および高さを制御する位置制御手段を備えた構成と
しており、上記の構成を課題を解決するための手段とし
ている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a surface defect, which comprises illuminating means for irradiating light at an irradiation angle inclined with respect to a surface to be inspected having a curved surface.
An image pickup unit which is arranged so as to face the illumination unit and which picks up an image of the surface to be inspected at an image pickup angle larger than the irradiation angle of the illumination unit;
The image processing unit includes an image processing unit that detects a surface defect from the original image captured by the image capturing unit, and the image processing unit differentially processes the original image having a brightness gradient in the light irradiation direction from the illumination unit in one direction that is the brightness gradient direction. And a unidirectional differential filter that creates a unidirectional differential image, a smoothing filter that smoothes the unidirectional differential image to create a smoothed image, and a differential operation of the smoothed image from the unidirectional differential image The smoothing filter according to claim 2, further comprising: a difference calculation filter that creates an image, and a binarization filter that creates a binarized image by binarizing the difference image with a constant threshold value. Is a cross-reference multiple-time smoothing filter that creates a cross-reference multiple times smoothed image by smoothing the one-way differential image with cross-reference multiple times. Cross reference The smoothing image is configured to be a filter that performs a difference operation on the smoothed image a plurality of times to create a difference image. An all-around reference multiple-time smoothing filter that creates a reference multiple-time smoothed image, and a difference calculation filter creates a difference image by performing a difference operation on the all-around reference multiple-time smoothed image from a one-way differential image. A unidirectional differential filter according to claim 4, wherein the one-way differential filter has a size that matches the size of the surface defect in the original image determined in one direction and in the imaging field of view of the imaging device. Is a one-way optimal size differential filter that performs differential processing to create a one-way differential image, and the smoothing filter is a size that matches the one-way differential image in one direction and the size of surface defects in the one-way differential image. Is a one-way optimal size smoothing filter that creates a one-way smoothed image by performing a smoothing process with a differential calculation filter, and a difference calculation filter creates a difference image by performing a difference operation on the one-way smoothed image from the one-way differential image. The transport means for moving the surface to be inspected in one direction, the type information inputting means for inputting type information of the surface to be inspected, and the object to be inspected corresponding to the type input information of the surface to be inspected. Curved surface angle information selecting means for selecting curved surface angle information, position detecting means for detecting the position of the surface to be inspected being conveyed by the conveying means, and curved surface angle information from the curved surface angle information selecting means The configuration is provided with position control means for controlling the angle and height of the illumination means and the imaging means based on the position detection information from the position detection means, and the above configuration is used as means for solving the problems. There is.

【0007】なお、上記の構成において、被検査面に対
する照明手段の照射角度は、例えば10度以下の低角度
であり、被検査面に対する撮像手段の撮像角度は、例え
ば15〜40度の中間角度とするのが望ましい。
In the above arrangement, the irradiation angle of the illumination means with respect to the surface to be inspected is a low angle of, for example, 10 degrees or less, and the imaging angle of the imaging means with respect to the surface to be inspected is, for example, an intermediate angle of 15 to 40 degrees. Is desirable.

【0008】[0008]

【発明の作用】本発明の請求項1に係わる表面欠陥の検
査装置では、照明手段により、被検査面に対して傾斜し
た照射角度で光を照射し、より望ましくは被検査面に対
して真横に近い小さな照射角度で光を照射すると共に、
撮像手段により、光照射の対向側において照射角度より
も大きい中間の撮像角度で被検査面を撮像する。このと
き、原画像は、被検査面に凹凸等の表面欠陥があると、
照射光が表面欠陥の部分で乱反射するので、その表面欠
陥を乱反射光として撮像しており、且つ視野内は照明手
段からの光照射方向に輝度傾斜を有するものとなる。
In the surface defect inspection apparatus according to the first aspect of the present invention, the illuminating means irradiates light at an irradiation angle inclined with respect to the surface to be inspected, and more preferably, it is directly adjacent to the surface to be inspected. While irradiating light with a small irradiation angle close to
The imaging means images the surface to be inspected at an intermediate imaging angle larger than the irradiation angle on the side opposite to the light irradiation. At this time, if the original image has surface defects such as irregularities on the surface to be inspected,
Since the irradiation light is diffusely reflected at the surface defect portion, the surface defect is imaged as diffuse reflection light, and the field of view has a brightness gradient in the light irradiation direction from the illumination means.

【0009】そこで、当該表面欠陥の検査装置では、画
像処理手段により、表面欠陥のエッジ抽出を行うために
撮像手段からの原画像を輝度傾斜方向である一方向に微
分処理して一方向微分画像を作成する。このとき、原画
像は輝度傾斜を有し、表面欠陥はその輝度傾斜に対して
急激な輝度変化をしているため、一方向微分画像では表
面欠陥が他の部分よりも急峻な山谷形状となって現れ
る。次に、画像処理手段は、一方向微分画像を平滑化処
理して平滑化画像を作成する。この平滑化処理を行う
と、微分画像で急峻な山谷形状であった表面欠陥が周囲
の輝度の低い部分と比較され、その頂上部分が潰れる状
態となる。
In view of this, in the surface defect inspection apparatus, the image processing means differentiates the original image from the image pickup means in one direction, which is the luminance inclination direction, in order to extract the edge of the surface defect, and the one-way differential image. To create. At this time, since the original image has a brightness gradient and the surface defect changes abruptly with respect to the brightness gradient, the surface defect has a sharper peak-valley shape than the other part in the one-way differential image. Appears. Next, the image processing means smoothes the one-way differential image to create a smoothed image. When this smoothing process is performed, the surface defect, which has a steep ridge-valley shape in the differential image, is compared with the surrounding low-luminance portion, and the top portion thereof is crushed.

【0010】次に、画像処理手段は、一方向微分画像か
ら平滑化画像を差分演算して差分画像を作成する。ここ
では、一方向微分画像で急峻な山谷形状を呈する表面欠
陥が、平滑化画像で頂上部分が潰れた形状の表面欠陥と
の差分により、表面欠陥の急峻な頂上部分のみが残るこ
ととなる。このとき、輝度に傾斜をもっていた傾斜成分
も傾斜度合いに応じた平滑化画像が疑似しきい値として
作用し、これにより除去される。つまり、この差分画像
の作成により、傾斜していた輝度の傾斜成分(絶対値成
分)が除去され、平滑化処理された輝度の絶対値成分
(疑似しきい値)より大きい部分すなわち表面欠陥等の
突出した部分だけが残る。そして、画像処理手段は、輝
度傾斜成分が除去された差分画像を一定値で二値化処理
することにより、二値化画像において表面欠陥のみを検
出し得ることとなる。
Next, the image processing means calculates the difference of the smoothed image from the one-way differential image to create a difference image. Here, only the steep top portion of the surface defect remains due to the difference between the surface defect having a steep peak and valley shape in the one-way differential image and the surface defect having a shape in which the top portion is collapsed in the smoothed image. At this time, the smoothed image corresponding to the degree of tilt also acts as a pseudo threshold value for the tilt component having a tilt in luminance, and is thereby removed. In other words, the creation of this difference image removes the slanted luminance gradient component (absolute value component), and makes the smoothing-processed luminance larger than the absolute value component (pseudo-threshold), that is, a surface defect or the like. Only the protruding part remains. Then, the image processing means can detect only the surface defect in the binarized image by binarizing the difference image from which the luminance gradient component is removed with a constant value.

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【0013】本発明の請求項2に係わる表面欠陥の検査
装置では、画像処理手段を構成する一方向微分フィル
タ、十字参照型複数回平滑化フィルタ、差分演算フィル
タおよび二値化フィルタにより、一方向微分画像、十字
参照型複数回平滑化画像、差分画像および二値化画像を
作成し、とくに、十字参照型複数回平滑化フィルタによ
り、一方向微分画像を十字参照型で複数回平滑化処理
し、差分演算フィルタにより、一方向微分画像から十字
参照型複数回平滑化画像を差分演算し、最終的に、原画
像における輝度傾斜成分を除去して表面欠陥のみを検出
し得る。
In the surface defect inspection apparatus according to the second aspect of the present invention, the one-way differential filter, the cross-reference type multiple smoothing filter, the difference calculation filter and the binarization filter which constitute the image processing means are used to make one direction. Create differential images, cross-referenced multiple smoothed images, difference images, and binarized images.Especially, cross-referenced multiple smoothing filters are used to cross-reference smooth one-way differential images multiple times. By using the difference calculation filter, the cross-reference type smoothed image is subjected to difference calculation from the one-way differential image, and finally the luminance gradient component in the original image can be removed to detect only the surface defect.

【0014】本発明の請求項3に係わる表面欠陥の検査
装置では、画像処理手段を構成する一方向微分フィル
タ、全周囲参照型複数回平滑化フィルタ、差分演算フィ
ルタおよび二値化フィルタにより、一方向微分画像、全
周囲型複数回平滑化画像、差分画像および二値化画像を
作成し、とくに、全周囲参照型複数回平滑化フィルタに
より、一方向微分画像を全周囲参照型で複数回平滑化処
理し、差分演算フィルタにより、一方向微分画像から全
周囲型複数回平滑化画像を差分演算し、最終的に、原画
像における輝度傾斜成分を除去して表面欠陥のみを検出
し得る。
In the surface defect inspection apparatus according to the third aspect of the present invention, the unidirectional differential filter, the omnidirectional reference type multiple smoothing filter, the difference calculation filter and the binarization filter which constitute the image processing means, Creates a directional differential image, an omnidirectional multiple-time smoothed image, a difference image, and a binarized image, and in particular, uses a omnidirectional reference-type multiple smoothing filter to smooth a unidirectional differential image multiple times with the omnidirectional reference type. Processing, and the difference calculation filter performs the difference calculation of the omnidirectional multiple times smoothed image from the one-way differential image, and finally the luminance gradient component in the original image can be removed to detect only the surface defect.

【0015】本発明の請求項4に係わる表面欠陥の検査
装置では、画像処理手段を構成する一方向最適サイズ微
分フィルタ、一方向最適サイズ平滑化フィルタ、差分演
算フィルタおよび二値化フィルタにより、一方向微分画
像、一方向平滑化画像、差分画像および二値化画像を作
成し、とくに、一方向最適サイズ微分フィルタによっ
て、撮像手段からの原画像を一方向に且つ撮像手段の撮
像視野で決定される原画像中の表面欠陥の大きさ合わせ
た大きさで微分処理し、一方向最適サイズ平滑化フィル
タによって、一方向微分画像を一方向に且つ一方向微分
画像中の表面欠陥の大きさ合わせた大きさで平滑化処理
し、最終的に、原画像における輝度傾斜成分を除去して
表面欠陥のみを検出し得る。
In the surface defect inspection apparatus according to the fourth aspect of the present invention, the one-way optimum size differential filter, the one-way optimum size smoothing filter, the difference calculation filter and the binarization filter which constitute the image processing means A directional differential image, a unidirectional smoothed image, a differential image and a binarized image are created, and in particular, the original image from the image pickup means is determined in one direction and in the image pickup field of the image pickup means by the unidirectional optimum size differential filter. Differentiate the size of the surface defects in the original image according to the size, and use the one-way optimal size smoothing filter to match the size of the surface defects in the one-way differential image to the one-way differential image. Only the surface defect can be detected by performing the smoothing processing on the size and finally removing the luminance gradient component in the original image.

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】[0018]

【0019】[0019]

【0020】本発明の請求項5に係わる表面欠陥の検査
装置では、搬送手段により被検査面を一方向に移動させ
る一方で、位置検出手段により被検査面の位置を検出す
ると共に、曲面状角度情報選定手段により、種類情報入
力手段からの被検査面の種類入力情報に対応した被検査
面の曲面状角度情報を選定し、位置制御手段によって、
曲面状角度情報選定手段からの曲面状角度情報と位置検
出手段からの位置検出情報とに基づいて照明手段および
撮像手段の角度および高さを制御する。つまり、一方向
に移動する曲面状の被検査面に対してその一部に光照射
を行って撮像をする場合には、被検査面の移動に伴って
被検査面に対する照射角度および撮像角度が変化する。
そこで、当該表面欠陥の検査装置では、位置制御手段に
よって照明手段および撮像手段の角度および高さを制御
することにより、被検査面に対する照射角度および撮像
角度を一定し得ることとなる。
In the surface defect inspecting apparatus according to the fifth aspect of the present invention, the surface of the surface to be inspected is detected by the position detecting means while the surface of the surface to be inspected is moved by the conveying means in one direction, and the curved surface angle is measured. The information selection means selects curved surface angle information of the surface to be inspected corresponding to the type input information of the surface to be inspected from the type information input means, and the position control means
The angle and height of the illumination means and the image pickup means are controlled based on the curved surface angle information from the curved surface angle information selection means and the position detection information from the position detection means. That is, when a part of a curved surface to be inspected that moves in one direction is irradiated with light to capture an image, the irradiation angle and the imaging angle with respect to the surface to be inspected change as the surface to be inspected moves. Change.
Therefore, in the surface defect inspection apparatus, the irradiation angle and the imaging angle with respect to the surface to be inspected can be made constant by controlling the angle and the height of the illumination unit and the imaging unit by the position control unit.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明の請求項1に係わる表面欠陥の検
査装置によれば、撮像手段で撮像した原画像が輝度傾斜
を有する場合であっても、原画像における輝度傾斜成分
を除去して表面欠陥のみを確実に検出することができ、
例えば車体パネル等の曲面状のプレス成形品における表
面欠陥の検査に好適であって、被検査面上の微小な凹凸
等の表面欠陥を高い検出率で自動検出することができ
る。
With the surface defect inspection apparatus according to the first aspect of the present invention, even if the original image picked up by the image pickup means has a luminance tilt, the luminance tilt component in the original image is removed. Only surface defects can be reliably detected,
For example, it is suitable for inspecting surface defects in a curved press-formed product such as a vehicle body panel, and can automatically detect surface defects such as minute irregularities on a surface to be inspected at a high detection rate.

【0022】[0022]

【0023】本発明の請求項2に係わる表面欠陥の検査
装置によれば、一方向微分フィルタ、十字参照型複数回
平滑化フィルタ、差分演算フィルタおよび二値化フィル
タを備えた画像処理手段を採用したことにより、請求項
1と同様に、原画像における輝度傾斜成分を除去して表
面欠陥のみを検出することができ、とくに、一方向微分
フィルタおよび十字参照型複数回平滑化フィルタによ
り、検出精度のさらなる向上に貢献することができる。
According to the surface defect inspection apparatus of the second aspect of the present invention, the image processing means including the one-way differential filter, the cross reference type multiple smoothing filter, the difference calculation filter and the binarization filter is adopted. As a result, like the first aspect, it is possible to remove the luminance gradient component in the original image and detect only the surface defect. In particular, the one-way differential filter and the cross-reference type multiple smoothing filter enable detection accuracy. Can contribute to the further improvement of.

【0024】本発明の請求項3に係わる表面欠陥の検査
装置によれば、一方向微分フィルタ、全周囲参照型複数
回平滑化フィルタ、差分演算フィルタおよび二値化フィ
ルタを備えた画像処理手段を採用したことにより、請求
項1と同様に、原画像における輝度傾斜成分を除去して
表面欠陥のみを検出することができ、とくに、一方向微
分フィルタおよび全周囲参照型複数回平滑化フィルタに
より、検出精度のさらなる向上に貢献することができ
る。
According to the surface defect inspection apparatus of the third aspect of the present invention, the image processing means including the one-way differential filter, the omnidirectional reference type multiple smoothing filter, the difference calculation filter and the binarization filter is provided. By adopting, as in claim 1, it is possible to remove the luminance gradient component in the original image and detect only the surface defect, and in particular, by the one-way differential filter and the omnidirectional reference type multiple smoothing filter, This can contribute to further improvement in detection accuracy.

【0025】本発明の請求項4に係わる表面欠陥の検査
装置によれば、一方向最適サイズ微分フィルタ、一方向
最適サイズ平滑化フィルタ、差分演算フィルタおよび二
値化フィルタを備えた画像処理手段を採用したことによ
り、請求項1と同様に、原画像における輝度傾斜成分を
除去して表面欠陥のみを検出することができ、とくに、
一方向最適サイズ微分フィルタおよび一方向最適サイズ
平滑化フィルタにより、検出精度のさらなる向上に貢献
することができる。
According to the surface defect inspection apparatus of the fourth aspect of the present invention, the image processing means including the one-way optimum size differential filter, the one-way optimum size smoothing filter, the difference calculation filter and the binarizing filter is provided. By adopting the same method as in claim 1, it is possible to remove the luminance gradient component in the original image and detect only the surface defect.
The one-way optimum size differential filter and the one-way optimum size smoothing filter can contribute to further improvement in detection accuracy.

【0026】[0026]

【0027】[0027]

【0028】[0028]

【0029】[0029]

【0030】本発明の請求項5に係わる表面欠陥の検査
装置によれば、請求項1〜4と同様の効果を得ることが
できるうえに、搬送手段、種類情報入力手段、曲面状角
度情報選定手段、位置検出手段および位置制御手段を採
用したことから、被検査面が曲面状であっても、被検査
面に対する照射角度および撮像角度を常に一定にするこ
とができ、これにより、撮像条件を常に一定にして表面
欠陥の検査精度を良好に維持することができる。
According to the surface defect inspection apparatus of the fifth aspect of the present invention, the same effects as those of the first to fourth aspects can be obtained, and in addition, the conveying means, the type information inputting means, and the curved surface angle information selection. Since the means, the position detection means, and the position control means are adopted, even if the surface to be inspected is a curved surface, the irradiation angle and the imaging angle with respect to the surface to be inspected can be made constant at all times. The inspection accuracy for surface defects can be kept constant and good can be maintained.

【0031】[0031]

【実施例】図1〜図3は、本発明に係わる表面欠陥の検
査装置の第1実施例を説明する図である。この実施例で
は、プレス成形された自動車の車体パネルの表面欠陥を
検査する場合を示している。
1 to 3 are views for explaining a first embodiment of a surface defect inspection apparatus according to the present invention. In this example, the case of inspecting the surface defects of the press-formed automobile body panel is shown.

【0032】図1に示す表面欠陥の検査装置は、車体パ
ネルPの外側表面である被検査面Fに対して傾斜した照
射角度θsで光を照射する照明手段1と、照明手段1に
対向して配置され且つ照明手段1の照射角度θsよりも
大きい撮像角度θcで被検査面Fを撮像する撮像手段2
と、撮像手段2で撮像した画像から表面欠陥を検出する
画像処理手段3を備えている。
The apparatus for inspecting surface defects shown in FIG. 1 illuminates means 1 for irradiating light at an irradiation angle θs inclined with respect to a surface F to be inspected, which is an outer surface of a vehicle body panel P, and faces the illuminating means 1. Image pickup means 2 for picking up the surface F to be inspected at an image pickup angle θc larger than the irradiation angle θs of the illumination means 1.
And an image processing means 3 for detecting a surface defect from an image picked up by the image pickup means 2.

【0033】車体パネルPは、例えばドアパネルであ
り、このため被検査面Fとなる外側表面が曲面状を成し
ている。車体パネルPは、被検査面Fを上向きにした状
態で搬送手段4により一方向(図1では左方向)に一定
の速度で搬送される。この搬送手段4としては、プレス
ライン中の車体パネル搬送用のコンベアを利用すること
ができる。
The vehicle body panel P is, for example, a door panel, and therefore the outer surface serving as the surface F to be inspected has a curved surface. The vehicle body panel P is transported in one direction (leftward in FIG. 1) by the transporting unit 4 at a constant speed with the surface F to be inspected facing upward. As the carrying means 4, a conveyor for carrying a vehicle body panel in a press line can be used.

【0034】照明手段1は、光照射部L1と、光源を含
むコントローラ5Aと、コントローラ5Aから光照射部
L1に光を送る光ファイバー6Aを備えている。光照射
部L1は、光を線状に集光してライン状に照射する光学
系を備えると共に、モータ類を駆動源とする駆動機構7
Aによって被検査面Fに対する照射角度θsおよび高さ
を調整し得るように保持してある。光源には、例えば、
ハロゲンランプ、メタルハライドあるいはキセノンメタ
ルハライドを使用している。照明手段1は、搬送手段4
の搬送方向上流側に光照射部L1を配置し、被検査面F
に対して例えば10度以下の近い小さな照射角度θsで
光を照射する。
The illuminating means 1 is provided with a light irradiation section L1, a controller 5A including a light source, and an optical fiber 6A for sending light from the controller 5A to the light irradiation section L1. The light irradiation unit L1 includes an optical system that collects light linearly and irradiates the light linearly, and a drive mechanism 7 that uses a motor as a drive source.
It is held so that the irradiation angle θs and height with respect to the surface F to be inspected can be adjusted by A. The light source, for example,
Uses a halogen lamp, metal halide or xenon metal halide. The illuminating means 1 is a conveying means
The light irradiation part L1 is arranged on the upstream side in the conveyance direction of the
On the other hand, light is emitted at a small irradiation angle θs of, for example, 10 degrees or less.

【0035】撮像手段2はカメラC1を備えている。カ
メラC1は、例えばCCDカメラを用いることができ、
モータ類を駆動源とする駆動機構8Aによって被検査面
Fに対する撮像角度θcおよび高さを調整し得るように
保持してある。撮像手段2は、搬送手段4の搬送方向下
流側において、照明手段1に対向する状態でカメラC1
を配置し、被検査面Fに対して照明手段1の照射角度θ
sよりも大きい角度、例えば15〜40度の中間の撮像
角度θcで撮像を行う。
The image pickup means 2 comprises a camera C1. As the camera C1, for example, a CCD camera can be used,
It is held so that the imaging angle θc and height with respect to the surface F to be inspected can be adjusted by a drive mechanism 8A using a motor as a drive source. The image pickup means 2 is located on the downstream side of the conveying means 4 in the conveying direction and faces the illuminating means 1 in the camera C1.
And the irradiation angle θ of the illumination means 1 with respect to the surface F to be inspected
Imaging is performed at an angle larger than s, for example, an intermediate imaging angle θc of 15 to 40 degrees.

【0036】なお、この実施例では、照明手段1が、搬
送手段4の搬送方向下流側に、もう一組の光照射部L
2、コントローラ5B、光ファイバー6Bおよび駆動機
構7Bを備えていると共に、撮像手段2が、搬送手段4
の搬送方向上流側に、もう一組のカメラC2および駆動
機構8Bを備えており、後記する切り換えの手段によっ
て光照射方向および画像処理手段3への入力画像が切り
換えられる。
In this embodiment, the illuminating means 1 is arranged on the downstream side of the conveying means 4 in the conveying direction, and another set of light irradiating section L is provided.
2, the controller 5B, the optical fiber 6B, and the drive mechanism 7B, and the image pickup means 2 includes the conveying means 4
On the upstream side in the transport direction of the above, another set of the camera C2 and the drive mechanism 8B is provided, and the light irradiation direction and the input image to the image processing means 3 are switched by the switching means described later.

【0037】また、この実施例では、撮像手段2が2つ
のカメラC1,C2を備えていることから、撮像手段2
と画像処理手段3の間には、画像処理手段3に対する入
力画像の切り換えを行う画像入力切り換え手段9が設け
てある。さらに、画像処理手段3から出力された表面欠
陥検出画像は表示手段10において表示される。
Further, in this embodiment, since the image pickup means 2 is provided with the two cameras C1 and C2, the image pickup means 2 is provided.
An image input switching means 9 for switching an input image to the image processing means 3 is provided between the image processing means 3 and the image processing means 3. Further, the surface defect detection image output from the image processing means 3 is displayed on the display means 10.

【0038】画像処理手段3は、撮像手段2からの原画
像を微分処理して得た微分画像から、微分画像を平滑化
処理して得た平滑化画像を差分演算し、その差分画像を
一定のしきい値で二値化処理して二値化画像を得る手段
であって、図3に示すように、撮像手段2からの原画像
を後述する輝度傾斜方向である一方向に微分処理して一
方向微分画像を作成する一方向微分フィルタ21と、一
方向微分画像を一方向に平滑化処理して一方向平滑化画
像を作成する一方向平滑化フィルタ22と、一方向微分
画像から一方向平滑化画像を差分演算して差分画像を作
成する差分演算フィルタ13と、差分画像を一定のしき
い値で二値化処理して二値化画像を作成する二値化フィ
ルタ14を備えている。
The image processing means 3 performs a difference operation on the smoothed image obtained by smoothing the differential image from the differential image obtained by differentiating the original image from the image pickup means 2, and makes the difference image constant. 3, which is a means for obtaining a binarized image by performing binarization processing with a threshold value of 1. As shown in FIG. 3, the original image from the image pickup means 2 is differentiated in one direction, which is a luminance inclination direction described later. A one-way differential filter 21 for creating a one-way differential image, a one-way smoothing filter 22 for smoothing a one-way differential image in one direction to create a one-way smoothed image, and a one-way differential image A difference calculation filter 13 that performs a difference calculation on the direction-smoothed image to create a difference image, and a binarization filter 14 that performs a binarization process on the difference image with a certain threshold value to create a binarized image are provided. There is.

【0039】さらに、表面欠陥の検査装置は、先述した
搬送手段4のほかに、被検査面Fの種類情報を入力する
種類情報入力手段15と、被検査面Fの種類入力情報に
対応した被検査面Fの曲面状角度情報を選定する曲面状
角度情報選定手段16と、搬送手段4により搬送されて
いる被検査面Fの位置を検出する位置検出手段17と、
曲面状角度情報選定手段16からの曲面状角度情報と位
置検出手段17からの位置検出情報とに基づいて照明手
段1および撮像手段2の角度および高さを制御する位置
制御手段18と、光照射方向および画像処理手段3への
入力画像の切り換えを行う切り換え制御手段19を備え
ている。
Further, the surface defect inspection apparatus includes, in addition to the above-described transporting means 4, type information input means 15 for inputting type information of the surface F to be inspected, and a type of object corresponding to type input information of the surface F to be inspected. Curved surface angle information selection means 16 for selecting curved surface angle information of the inspection surface F, and position detection means 17 for detecting the position of the surface F to be inspected being conveyed by the conveying means 4.
Position control means 18 for controlling the angle and height of the illumination means 1 and the image pickup means 2 based on the curved surface angle information from the curved surface angle information selecting means 16 and the position detection information from the position detecting means 17, and light irradiation. A switching control unit 19 for switching the direction and the input image to the image processing unit 3 is provided.

【0040】位置検出手段17は、スイッチあるいはセ
ンサであって、搬送手段4に対して固定部位に設けてあ
り、検査エリアに移動してきた被検査面(車体パネル
P)Fを検出する。この位置検出手段17の検出信号と
搬送手段4の搬送速度に基づいて、被検査面Fの移動位
置ならびに撮像手段2の各カメラC1,C2による撮像
位置を知ることができる。
The position detecting means 17 is a switch or a sensor, is provided at a fixed portion with respect to the conveying means 4, and detects the surface to be inspected (vehicle body panel P) F that has moved to the inspection area. Based on the detection signal of the position detecting means 17 and the conveying speed of the conveying means 4, the moving position of the surface F to be inspected and the image pickup positions of the cameras C1 and C2 of the image pickup means 2 can be known.

【0041】曲面状角度情報選定手段16、位置制御手
段18および切り換え制御手段19は、この実施例では
ホストコンピュータ20内に構成してある。曲面状角度
情報選定手段16には、ホストコンピュータ20外の種
類情報入力手段15からの情報が入力される。種類情報
入力手段15は、車種によって異なる車体パネルPの諸
寸法などの情報(CAD情報)を備えている。また、曲
面状角度情報選定手段16は、種類情報入力手段15か
ら検査対象となる車体パネルPのCAD情報を入力して
被検査面Fの湾曲度等を算出する。したがって、先の位
置検出手段17からの信号と曲面状角度情報選定手段1
6からの信号に基づいて、被検査面Fの移動に伴って順
次変化する撮像位置の被検査面形状を知ることができ
る。
The curved surface angle information selection means 16, the position control means 18 and the switching control means 19 are configured in the host computer 20 in this embodiment. Information from the type information input means 15 outside the host computer 20 is input to the curved surface angle information selection means 16. The type information input means 15 is provided with information (CAD information) such as various dimensions of the vehicle body panel P which varies depending on the type of vehicle. Further, the curved surface angle information selection means 16 inputs the CAD information of the body panel P to be inspected from the type information input means 15 to calculate the degree of curvature of the surface F to be inspected. Therefore, the signal from the previous position detecting means 17 and the curved surface angle information selecting means 1
Based on the signal from 6, it is possible to know the shape of the surface to be inspected at the imaging position that sequentially changes as the surface F to be inspected moves.

【0042】位置制御手段18は、位置検出手段17お
よび曲面状角度情報選定手段16からの信号に基づい
て、照明手段1における各光照射部L1,L2の駆動機
構7A,7Bおよび撮像手段2における各カメラC1,
C2の駆動機構8A,8Bに駆動の指令信号を送り、こ
れにより、移動する被検査面Fに対する照射角度θsお
よび撮像角度θcが常に一定になるように各光照射部L
1,L2および各カメラC1,C2の角度および高さを
変化させる。
The position control means 18 is based on the signals from the position detection means 17 and the curved surface angle information selection means 16, and the drive mechanisms 7A and 7B of the light irradiation sections L1 and L2 in the illumination means 1 and the image pickup means 2 are included. Each camera C1,
A drive command signal is sent to the drive mechanisms 8A and 8B of C2, whereby the irradiation angles θs and the imaging angles θc with respect to the moving inspection surface F are always constant.
1, L2 and the angles and heights of the cameras C1 and C2 are changed.

【0043】切り換え制御手段19は、位置検出手段1
7からの信号に基づいて、照明手段1の各コントローラ
5A,5Bおよび画像入力切り換え手段9に対して切り
換えの指令信号を送り、光照射方向および画像処理手段
3への入力画像の切り換えを行う。これにより、当該表
面欠陥の検査装置では、被検査面Fの搬送方向前半部の
検査に、上流側の光照射部L1および下流側のカメラC
1を使用し、被検査面Fの搬送方向後半部の検査に、下
流側の光照射部L2および上流側のカメラC2を使用す
るようにしている。
The switching control means 19 is the position detecting means 1
Based on the signal from 7, the switching command signal is sent to each of the controllers 5A and 5B of the illuminating means 1 and the image input switching means 9 to switch the light irradiation direction and the input image to the image processing means 3. Thus, in the surface defect inspection apparatus, the upstream light irradiation unit L1 and the downstream camera C are used to inspect the front half of the surface F to be inspected in the transport direction.
1 is used, and the light irradiation unit L2 on the downstream side and the camera C2 on the upstream side are used to inspect the second half of the surface F to be inspected in the transport direction.

【0044】次に、上記構成を備えた表面欠陥の検査装
置の作用を説明する。
Next, the operation of the surface defect inspection apparatus having the above structure will be described.

【0045】表面欠陥の検査装置は、搬送手段4により
被検査面Fを一方向に一定の速度で移動させながら、照
明手段1の光照射部L1により、被検査面Fに対して小
さな照射角度θsで光を照射すると共に、撮像手段2の
カメラC1により、光照射の対向側において照射角度θ
sよりも大きい中間の撮像角度θcで被検査面Fを撮像
する。このとき、被検査面Fに凹凸状の表面欠陥がある
と、照射光が表面欠陥の部分で乱反射するので、表面欠
陥は乱反射光として撮像される。
The surface defect inspection apparatus uses the light irradiating section L1 of the illuminating means 1 to move the surface F to be inspected in one direction at a constant speed by means of the transport means 4, while making a small irradiation angle to the surface F to be inspected. While irradiating light at θs, the camera C1 of the image pickup means 2 causes the irradiation angle θ on the opposite side of light irradiation.
The surface F to be inspected is imaged at an intermediate imaging angle θc larger than s. At this time, if the surface F to be inspected has an uneven surface defect, the irradiation light is diffusely reflected at the surface defect portion, so that the surface defect is imaged as diffusely reflected light.

【0046】図2(a)に示すように、原画像は、低角
度のライン状光照射による光舌部Aを含み、表面欠陥E
が強調されていると共に、図2(b)にも示す如く視野
内は光照射方向に輝度傾斜を有するものとなっており、
低角度からの光照射によって輝度傾斜方向のみの輝度が
急激に上下変化する特徴を有しているので、輝度傾斜方
向に急峻な山谷形状となり、これに直交する方向におい
ては緩やかな輝度変化となる。この原画像に対して、画
像処理手段3は、最初に表面欠陥Eのエッジ抽出を行う
ために、一方向微分フィルタ21により、輝度傾斜方向
にのみ感度が高くなるように、原画像を輝度傾斜方向
(y方向)に微分処理して、図2(c)に示す一方向微
分画像を作成する。この一方向微分画像では、表面欠陥
Eが輝度傾斜に対して急激な輝度変化をしているため、
表面欠陥Eは他の部分よりも突出した急峻な山谷形状と
なって現れる。次に、画像処理手段3は、一方向平滑化
フィルタ22により、輝度変化の大きい輝度傾斜方向の
みを参照し、一方向微分画像を平滑化処理して図2
(d)に示す一方向平滑化画像を作成する。この一方向
平滑化画像では、表面欠陥Eの急峻な山谷形状の頂上が
周囲の低輝度の部分と比較され、平均化されることによ
って頂上部分が潰れた状態となる。
As shown in FIG. 2 (a), the original image includes the optical tongue A due to the low-angle linear light irradiation, and the surface defect E
Is emphasized, and as shown in FIG. 2B, the field of view has a brightness gradient in the light irradiation direction.
It has the characteristic that the brightness in only the brightness tilt direction changes rapidly up and down by the light irradiation from a low angle, so that it becomes a steep ridge-valley shape in the brightness tilt direction, and the brightness changes gently in the direction orthogonal to this. . For this original image, the image processing means 3 first performs the edge extraction of the surface defect E by the one-way differential filter 21 so that the original image is subjected to the luminance inclination so that the sensitivity is increased only in the luminance inclination direction. Differentiation is performed in the direction (y direction) to create the one-way differential image shown in FIG. In this one-way differential image, since the surface defect E has a sharp change in brightness with respect to the brightness gradient,
The surface defect E appears as a steep ridge-valley shape protruding from other portions. Next, the image processing means 3 performs a smoothing process on the unidirectional differential image by the unidirectional smoothing filter 22 by referring only to the luminance inclination direction in which the luminance change is large, and FIG.
The one-way smoothed image shown in (d) is created. In this one-way smoothed image, the peaks of the surface defect E having a steep peak and valley shape are compared with the surrounding low-luminance portions, and the peaks are crushed by averaging.

【0047】こののち、画像処理手段3は、差分演算フ
ィルタ13により、一方向微分画像(c)から一方向平
滑化画像(d)を差分演算し、図2(e)に示す差分画
像を作成する。この差分画像では、一方向微分画像で急
峻な山谷形状を呈する表面欠陥Eが、一方向平滑化画像
で頂上部分が潰れた形状の表面欠陥Eとの差分によっ
て、頂上部分のみが残ることになる。このとき、輝度に
傾斜をもっていた傾斜成分も傾斜度合に一方向平滑化画
像が疑似しきい値として作用し、これにより除去され
る。つまり、上記の差分演算処理により、傾斜していた
輝度の傾斜成分(絶対値成分)が除去され、平滑化処理
された輝度の絶対値成分(疑似しきい値)より大きい部
分である表面欠陥Eの突出部分だけが残ることとなる。
そして、画像処理手段3は、最後に、二値化処理フィル
タ14により、差分画像を一定のしきい値で全面を二値
化処理し、図2(f)に示す二値化画像を作成し、表面
欠陥Eのみを検出する。
After that, the image processing means 3 calculates the difference of the unidirectional smoothed image (d) from the unidirectional differential image (c) by the difference calculation filter 13 to create the difference image shown in FIG. 2 (e). To do. In this difference image, the surface defect E having a steep peak-and-valley shape in the one-way differential image is left only in the top portion due to the difference from the surface defect E in which the top portion is collapsed in the one-way smoothed image. . At this time, the one-way smoothed image also acts as a pseudo threshold depending on the degree of inclination, and the inclination component having the inclination in luminance is also removed. In other words, the above-described difference calculation process removes the inclined luminance gradient component (absolute value component), and the surface defect E, which is a portion larger than the smoothed luminance absolute value component (pseudo threshold). Only the protruding part of will remain.
Then, finally, the image processing means 3 binarizes the entire difference image with a constant threshold value by the binarization processing filter 14 to create the binarized image shown in FIG. , Only the surface defect E is detected.

【0048】このように、当該表面欠陥の検査装置は、
照明角度θsよりも大きい撮像角度θcで表面欠陥Eを
明として撮像し、原画像が輝度傾斜を有する場合に、一
方向微分フィルタ21、一方向平滑化フィルタ22、差
分演算フィルタ13および二値化フィルタ14を備えた
画像処理手段3により、原画像における輝度傾斜成分を
除去して表面欠陥Eのみを自動的に検出し得るものとな
っている。
As described above, the surface defect inspection apparatus is
When the surface defect E is imaged with the imaging angle θc larger than the illumination angle θs as bright and the original image has a brightness gradient, the one-way differential filter 21, the one-way smoothing filter 22, the difference calculation filter 13, and the binarization. The image processing means 3 provided with the filter 14 can automatically detect only the surface defect E by removing the luminance gradient component in the original image.

【0049】[0049]

【0050】[0050]

【0051】[0051]

【0052】[0052]

【0053】図4は、本発明に係わる表面欠陥の検査装
置の第2実施例を説明する図であって、画像処理手段の
構成および処理フローを示している。
FIG. 4 is a view for explaining the second embodiment of the surface defect inspection apparatus according to the present invention, and shows the structure and processing flow of the image processing means.

【0054】この実施例の画像処理手段は、撮像手段2
からの原画像を一方向に微分処理して一方向微分画像を
作成する一方向微分フィルタ21と、一方向微分画像を
十字参照型で複数回平滑化処理して十字参照型複数回平
滑化画像を作成する十字参照型複数回平滑化フィルタ3
2と、一方向微分画像から十字参照型複数回平滑化画像
を差分演算して差分画像を作成する差分演算フィルタ1
3と、差分画像を一定のしきい値で二値化処理して二値
化画像を作成する二値化フィルタ14を備えている。
The image processing means of this embodiment is the image pickup means 2.
Unidirectional differential filter 21 that creates a unidirectional differential image by differentiating the original image from unidirectional differential image, and unidirectional differential image is smoothed multiple times by cross reference type and cross referenced multiple times smoothed image Cross reference multiple smoothing filter 3
2 and a difference calculation filter 1 for generating a difference image by performing a difference calculation on a cross-referenced plural times smoothed image from a one-way differential image
3 and a binarizing filter 14 for binarizing the difference image with a constant threshold value to create a binarized image.

【0055】上記の画像処理手段は、基本的な処理過程
は先の実施例と同様であるが、平滑化処理において、例
えば図12(b)に示す十字参照型複数回平滑化フィル
タ32により、十字型に複数回の平滑化処理を行う。こ
れにより、傾斜輝度成分がより確実に除去され、最終的
に表面欠陥のみが確実に検出される。
The above-mentioned image processing means has the same basic processing steps as those of the previous embodiment, but in the smoothing processing, for example, by the cross reference type multiple smoothing filter 32 shown in FIG. Smoothing is performed multiple times in a cross shape. As a result, the tilt luminance component is more surely removed, and finally only the surface defect is surely detected.

【0056】図5は、本発明に係わる表面欠陥の検査装
置の第3実施例を説明する図であって、画像処理手段の
構成および処理フローを示している。
FIG. 5 is a diagram for explaining the third embodiment of the surface defect inspection apparatus according to the present invention, and shows the configuration and processing flow of the image processing means.

【0057】この実施例の画像処理手段は、撮像手段2
からの原画像を一方向に微分処理して一方向微分画像を
作成する一方向微分フィルタ21と、一方向微分画像を
全周囲参照型で複数回平滑化処理して全周囲参照型複数
回平滑化画像を作成する全周囲参照型複数回平滑化フィ
ルタ42と、一方向微分画像から全周囲参照型複数回平
滑化画像を差分演算して差分画像を作成する差分演算フ
ィルタ13と、差分画像を一定のしきい値で二値化処理
して二値化画像を作成する二値化フィルタ14を備えて
いる。
The image processing means of this embodiment is the image pickup means 2.
Unidirectional differential filter 21 that creates a unidirectional differential image by differentiating the original image from unidirectional differential image, and unidirectional differential image is smoothed multiple times by omnidirectional reference type and omnidirectional reference type is smoothed multiple times. An all-surrounding reference type multiple smoothing filter 42 that creates a normalized image; a difference calculation filter 13 that performs a difference calculation on the all-surrounding reference type multiple times smoothing image from a one-way differential image to create a difference image; A binarization filter 14 for binarizing the image with a constant threshold value to create a binarized image is provided.

【0058】上記の画像処理手段は、基本的な処理過程
は先の実施例と同様であるが、平滑化処理において、例
えば図12(c)に示す全周囲参照型複数回平滑化フィ
ルタ32により、全周囲にわたって複数回の平滑化処理
を行う。これにより、傾斜輝度成分がより確実に除去さ
れて、最終的に表面欠陥のみが確実に検出される。
The above-mentioned image processing means has the same basic processing steps as those of the previous embodiment, but in the smoothing processing, for example, by the all-around reference type multiple smoothing filter 32 shown in FIG. , Perform smoothing processing multiple times over the entire circumference. As a result, the tilt luminance component is more surely removed, and finally only the surface defect is surely detected.

【0059】図6は、本発明に係わる表面欠陥の検査装
置の第4実施例を説明する図であって、画像処理手段の
構成および処理フローを示している。
FIG. 6 is a view for explaining the fourth embodiment of the surface defect inspection apparatus according to the present invention, and shows the structure and processing flow of the image processing means.

【0060】この実施例の画像処理手段は、撮像手段2
からの原画像を一方向に且つ撮像手段2の撮像視野で決
定される原画像中の表面欠陥の大きさ合わせた大きさで
微分処理して一方向微分画像を作成する一方向最適サイ
ズ微分フィルタ31と、一方向微分画像を一方向に且つ
一方向微分画像中の表面欠陥の大きさ合わせた大きさで
平滑化処理して一方向平滑化画像を作成する一方向最適
サイズ平滑化フィルタ52と、一方向微分画像から一方
向平滑化画像を差分演算して差分画像を作成する差分演
算フィルタ13と、差分画像を一定のしきい値で二値化
処理して二値化画像を作成する二値化フィルタ14を備
えている。
The image processing means of this embodiment is the image pickup means 2.
One-way optimal size differential filter for differentiating the original image from the image in one direction with a size that matches the size of the surface defect in the original image determined by the image pickup field of the image pickup means 2 to create a one-way differential image. 31 and a unidirectional optimum size smoothing filter 52 that creates a unidirectional smoothed image by smoothing the unidirectional differential image in one direction and with a size that matches the size of the surface defects in the unidirectional differential image. , A difference calculation filter 13 for calculating a difference image by performing a difference calculation on a one-way smoothed image from a one-way differential image, and a binarized image by binarizing the difference image with a certain threshold value. The digitizing filter 14 is provided.

【0061】上記の画像処理手段では、図11(b)に
示すような一方向最適サイズ微分フィルタ31により、
輝度傾斜一方向のみで且つ表面欠陥の占めるドット数に
合わせた大きさで微分処理を行う。つまり、表面欠陥
は、低角度からの光照射によって輝度傾斜方向のみの輝
度が急激に上下変化する特徴を有しているので、原画像
では輝度傾斜方向に急峻な山谷形状となり、その頂上と
裾野の範囲は撮像視野によってドット数が決まる。
In the above image processing means, the one-way optimum size differential filter 31 as shown in FIG.
Differentiation is performed only in one direction of the brightness gradient and with a size according to the number of dots occupied by surface defects. In other words, the surface defect has the characteristic that the brightness in the brightness inclination direction changes rapidly up and down by light irradiation from a low angle, so in the original image, it becomes a steep ridge-valley shape in the brightness inclination direction, and its top and skirt. In the range of, the number of dots is determined by the imaging field of view.

【0062】そこで、一方向最適サイズ微分フィルタ3
1のサイズを図11(a)に示す原画像中の表面欠陥E
の大きさに合わせれば、表面欠陥Eの頂上から裾野まで
の急激な輝度変化の範囲において微分を行うことがで
き、表面欠陥Eの大きさに適した最も効果の高い微分処
理となる。つまり、原画像の分解能(ドット数)は個々
に決まるため、撮像視野によって分解能の大きさ(1ド
ットの占める大きさ)が決まる。よって、撮像視野毎に
抽出したい表面欠陥が占める大きさ(ドット数)が決ま
るため、この表面欠陥の占める大きさに合わせてほぼ同
じ大きさの微分フィルタのサイズで微分処理を行う。こ
れにより、表面欠陥のエッジ抽出を行うための輝度の傾
斜度合いを確認する大きさ(ドット数)が表面欠陥の頂
上から裾野までの範囲になるため、表面欠陥の輝度傾斜
に対しての感度が最も高くなり、微分画像において表面
欠陥が最も急峻な山谷形状となって現れる。
Therefore, the one-way optimum size differential filter 3
1 shows the size of the surface defect E in the original image shown in FIG.
In accordance with the size of the surface defect E, differentiation can be performed in the range of abrupt luminance change from the top to the foot of the surface defect E, and the most effective differentiation processing suitable for the size of the surface defect E can be obtained. That is, since the resolution (the number of dots) of the original image is individually determined, the size of the resolution (the size occupied by one dot) is determined by the imaging visual field. Therefore, since the size (the number of dots) occupied by the surface defect to be extracted is determined for each imaging field of view, the differential processing is performed with the size of the differential filter having substantially the same size according to the size occupied by the surface defect. As a result, the size (the number of dots) for confirming the degree of inclination of the brightness for extracting the edge of the surface defect is in the range from the top to the skirt of the surface defect, so that the sensitivity to the brightness inclination of the surface defect is high. It becomes the highest and the surface defects appear in the steepest peak-valley shape in the differential image.

【0063】さらに、画像処理手段は、微分画像におけ
る表面欠陥の急峻な山谷形状を平坦にするため、図12
(a)に示す一方向最適サイズ平滑化フィルタ52によ
り、表面欠陥の占めるドット数に合わせた大きさで、輝
度変化の大きい輝度傾斜方向のみを参照して平滑化処理
を行う。これにより、急峻な山谷形状の頂上が表面欠陥
の裾野にあたるドット数までの低輝度の部分と比較さ
れ、平均化されて頂上部分が潰れるように作用する。こ
の一方向最適サイズ平滑化フィルタ52のサイズについ
ては、微分画像中の表面欠陥の大きさに合わせること
で、表面欠陥の頂上から裾野までの急激な輝度変化の範
囲において平滑化することができ、表面欠陥のサイズに
適した最も効果の高い平滑化処理となる。
Further, the image processing means flattens the steep peaks and valleys of the surface defects in the differential image.
The one-direction optimum size smoothing filter 52 shown in (a) performs the smoothing process with reference to only the brightness inclination direction having a size corresponding to the number of dots occupied by surface defects and having a large brightness change. As a result, the steep peaks and valleys are compared with the low-brightness portion up to the number of dots corresponding to the skirt of the surface defect, and the peak portions are averaged so that the peak portions are crushed. The size of the one-direction optimum size smoothing filter 52 can be smoothed in a range of abrupt luminance change from the top to the skirt of the surface defect by adjusting the size of the surface defect in the differential image. It is the most effective smoothing treatment suitable for the size of surface defects.

【0064】図7は、本発明に係わる表面欠陥の検査装
置の参考例を説明する図であって、画像処理手段の構成
および処理フローを示している。
FIG. 7 is a view for explaining a reference example of the surface defect inspection apparatus according to the present invention, and shows the structure and processing flow of the image processing means.

【0065】この参考例の画像処理手段は、撮像手段2
からの原画像を微分処理して微分画像を作成する微分フ
ィルタ11と、微分画像を平滑化処理して平滑化画像を
作成する平滑化フィルタ12と、平滑化画像を一定値
(+β)で加算演算処理して一定値加算画像を作成する
一定値加算演算フィルタ30と、微分画像から一定値加
算画像を差分演算して差分画像を作成する差分演算フィ
ルタ13と、差分画像を一定のしきい値で二値化処理し
て二値化画像を作成する二値化フィルタ14を備えてい
る。
The image processing means of this reference example is the image pickup means 2.
A differential filter 11 that differentially processes the original image to create a differential image, a smoothing filter 12 that smoothes the differential image to create a smoothed image, and a smoothed image with a constant value (+ β) A constant value addition calculation filter 30 that performs a calculation process to create a constant value addition image, a difference calculation filter 13 that calculates a difference image of a constant value addition image from a differential image to create a difference image, and a difference image with a constant threshold value. A binarizing filter 14 for binarizing the image to create a binarized image is provided.

【0066】上記の画像処理手段では、一定値加算演算
フィルタ30により、平滑化フィルタ12で平滑化処理
した平滑化画像に一定値(+β)を加え、画像全体を底
上げする。これにより、被検査面上の塵や埃等の異物あ
るいは画像処理段階での電気的な要因によって小さなノ
イズが発生している場合に、平滑化画像に表面欠陥の頂
上よりも小さい一定値(+β)を加えることにより、こ
れらのノイズを差分演算の段階で除去することができ
る。そして、上記一定値(+β)をしきい値として差分
画像を二値化処理すれば、表面欠陥のみが検出される。
さらに、加算する一定値の大きさを利用して、表面欠陥
の大きさを判別することも可能である。
In the above image processing means, the constant value addition arithmetic filter 30 adds a constant value (+ β) to the smoothed image smoothed by the smoothing filter 12 to raise the entire image. As a result, when a small noise is generated due to dust or other foreign matter on the surface to be inspected or an electrical factor at the image processing stage, the smoothed image has a constant value (+ β that is smaller than the peak of the surface defect). ) Is added, these noises can be removed at the stage of the difference calculation. Then, if the difference image is binarized using the above-mentioned constant value (+ β) as a threshold value, only surface defects are detected.
Further, it is possible to determine the size of the surface defect by using the size of the constant value to be added.

【0067】図8は、本発明に係わる表面欠陥の検査装
置の他の参考例を説明する図であって、画像処理手段の
構成および処理フローを示している。
FIG. 8 is a diagram for explaining another reference example of the surface defect inspection apparatus according to the present invention, showing the configuration and processing flow of the image processing means.

【0068】この参考例の画像処理手段は、撮像手段2
からの原画像を複数回微分処理して複数回微分画像を作
成する複数回微分フィルタ41と、複数回微分画像を平
滑化処理して平滑化画像を作成する平滑化フィルタ22
と、複数回微分画像から平滑化画像を差分演算して差分
画像を作成する差分演算フィルタ13と、差分画像を一
定のしきい値で二値化処理して二値化画像を作成する二
値化フィルタ14を備えている。
The image processing means of this reference example is the image pickup means 2.
Differentiating filter 41 for differentiating the original image from the above multiple times to create multiple differentiating images, and smoothing filter 22 for smoothing the multiple differentiating images to create smoothed images
And a difference calculation filter 13 that creates a difference image by performing a difference operation on a smoothed image from a plurality of differential images, and a binary value that creates a binarized image by binarizing the difference image with a certain threshold value. The digital filter 14 is provided.

【0069】上記の画像処理手段では、複数回微分フィ
ルタ41により、原画像を複数回微分処理する。そし
て、最終的には、先の実施例と同様に、輝度傾斜成分が
除去されて表面欠陥のみが検出される。
In the image processing means, the original image is differentiated multiple times by the multiple differentiation filter 41. Then, finally, as in the previous embodiment, the luminance gradient component is removed and only the surface defect is detected.

【0070】図9は、本発明に係わる表面欠陥の検査装
置のさらに他の参考例を説明する図であって、画像処理
手段の構成および処理フローを示している。
FIG. 9 is a view for explaining still another reference example of the surface defect inspection apparatus according to the present invention, showing the configuration and processing flow of the image processing means.

【0071】この参考例の画像処理手段は、撮像手段2
からの原画像を微分処理して微分画像を作成する微分フ
ィルタ11と、微分画像を複数回平滑化処理して複数回
平滑化画像を作成する複数回平滑化フィルタ62と、微
分画像から複数回平滑化画像を差分演算して差分画像を
作成する差分演算フィルタ13と、差分画像を一定のし
きい値で二値化処理して二値化画像を作成する二値化フ
ィルタ14を備えている。
The image processing means of this reference example is the image pickup means 2.
A differential filter 11 that performs a differential process on the original image to create a differential image, a smoothing filter 62 that performs a smoothing process on the differential image a plurality of times to create a smoothed image a plurality of times, and a plurality of times from the differential image a plurality of times. A difference calculation filter 13 that performs a difference calculation on a smoothed image to create a difference image, and a binarization filter 14 that performs a binarization process on the difference image with a certain threshold value to create a binarized image are provided. .

【0072】上記の画像処理手段では、複数回平滑化フ
ィルタ62により、微分画像を複数回平滑化処理する。
つまり、表面欠陥の大きさは様々であることから、1回
の平滑化処理で効果が得られる表面欠陥はその大きさと
数が限られる。これを防止するため、複数回平滑化フィ
ルタ62で微分画像を複数回平滑化処理することによ
り、フィルタのサイズと合わない表面欠陥についてもそ
の急峻な山谷形状を十分に潰すことが可能となる。
In the above image processing means, the differential image is smoothed a plurality of times by the smoothing filter 62 a plurality of times.
That is, since the sizes of surface defects are various, the size and number of surface defects that can be obtained by one smoothing process are limited. In order to prevent this, the differential image is smoothed a plurality of times by the smoothing filter 62, so that it is possible to sufficiently crush the steep peaks and valleys of surface defects that do not match the size of the filter.

【0073】図10は、本発明に係わる表面欠陥の検査
装置のさらに他の参考例を説明する図であって、画像処
理手段の構成および処理フローを示している。
FIG. 10 is a view for explaining still another reference example of the apparatus for inspecting surface defects according to the present invention, showing the configuration and processing flow of the image processing means.

【0074】この参考例の画像処理手段は、撮像手段2
からの原画像を複数回微分処理して複数回微分画像を作
成する複数回微分フィルタ41と、複数回微分画像を複
数回平滑化処理して複数回平滑化画像を作成する複数回
平滑化フィルタ62と、複数回微分画像から複数回平滑
化画像を差分演算して差分画像を作成する差分演算フィ
ルタ13と、差分画像を一定のしきい値で二値化処理し
て二値化画像を作成する二値化フィルタ14を備えてい
る。
The image processing means of this reference example is the image pickup means 2.
Differential filter 41 that creates a plurality of differential images by differentiating the original image from the above, and a multiple smoothing filter that creates a plurality of smoothed images by performing a multiple smoothing process on the multiple differential images 62, a difference calculation filter 13 that creates a difference image by performing a difference operation on a smoothed image a plurality of times from a plurality of differential images, and a binarized image by binarizing the difference image with a certain threshold value. The binarizing filter 14 is provided.

【0075】上記の画像処理手段では、複数回微分フィ
ルタ41および複数回平滑化フィルタ62により、先の
参考例を合わせた作用効果を得ることができる。
In the above-mentioned image processing means, the plural-differential filter 41 and the plural-times smoothing filter 62 make it possible to obtain the working effects of the above-mentioned reference examples.

【0076】なお、上記各実施例において、一定値とし
たしきい値は、差分演算によって抽出される部分の輝度
の大きさよりも小さい値とすれば良く、例えば経験値に
よって決定することができる。
In each of the above embodiments, the threshold value set to a constant value may be a value smaller than the magnitude of the luminance of the portion extracted by the difference calculation, and can be determined by, for example, an empirical value.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係わる表面欠陥の検査装置の第1実施
例を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a first embodiment of a surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図2】画像処理手段による画像処理過程(a)〜
(f)を示す説明図である。
FIG. 2 is an image processing step (a) by image processing means.
It is explanatory drawing which shows (f).

【図3】図1に示す表面欠陥の検査装置における画像処
理手段の構成および処理フローを示すブロック図であ
る。
3 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of an image processing unit in the surface defect inspection apparatus shown in FIG.

【図4】本発明に係わる表面欠陥の検査装置の第2実施
例における像処理手段の構成および処理フローを示すブ
ロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of image processing means in a second embodiment of the surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図5】本発明に係わる表面欠陥の検査装置の第3実施
例における像処理手段の構成および処理フローを示すブ
ロック図である。
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of image processing means in a third embodiment of the surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図6】本発明に係わる表面欠陥の検査装置の第4実施
例における像処理手段の構成および処理フローを示すブ
ロック図である。
FIG. 6 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of image processing means in a fourth embodiment of the surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図7】本発明に係わる表面欠陥の検査装置の参考例に
おける像処理手段の構成および処理フローを示すブロッ
ク図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of image processing means in a reference example of a surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図8】本発明に係わる表面欠陥の検査装置の他の参考
例における像処理手段の構成および処理フローを示すブ
ロック図である。
FIG. 8 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of image processing means in another reference example of the surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図9】本発明に係わる表面欠陥の検査装置のさらに他
の参考例における像処理手段の構成および処理フローを
示すブロック図である。
FIG. 9 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of an image processing means in still another reference example of the surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図10】本発明に係わる表面欠陥の検査装置のさらに
他の参考例における像処理手段の構成および処理フロー
を示すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram showing a configuration and a processing flow of image processing means in still another reference example of the surface defect inspection apparatus according to the present invention.

【図11】原画像および微分フィルタを示す各々説明図
(a)(b)である。
FIG. 11 is explanatory diagrams (a) and (b) showing an original image and a differential filter.

【図12】一方向平滑化フィルタ、十字参照型の平滑化
フィルタおよび全周囲参照型の平滑化フィルタを示す各
々説明図(a)(b)(c)、ならびに表面欠陥を含む
微分輝度傾斜を示す説明図(d)である。
12A and 12B are explanatory views showing a unidirectional smoothing filter, a cross-reference smoothing filter, and an omnidirectional reference smoothing filter, respectively, and FIGS. 12A and 12B show differential luminance gradients including surface defects. It is explanatory drawing (d) shown.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 辻 正 文 神奈川県横浜市神奈川区宝町2番地 日 産自動車株式会社 内 (56)参考文献 特開 平2−108167(JP,A) 特開 平2−93313(JP,A) 特開 平5−223548(JP,A) 特開 平4−148814(JP,A) 特開 平8−128965(JP,A) 特開 平7−306017(JP,A) 特開 平8−86634(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/30 G01N 21/892 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Masafumi Tsuji 2 Takaracho, Kanagawa-ku, Yokohama, Kanagawa Nissan Motor Co., Ltd. (56) Reference JP-A-2-108167 (JP, A) JP-A-2 -93313 (JP, A) JP 5-223548 (JP, A) JP 4-148814 (JP, A) JP 8-128965 (JP, A) JP 7-306017 (JP, A) ) JP-A-8-86634 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01B 11/30 G01N 21/892

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 曲面状を成す被検査面に対して傾斜した
照射角度で光を照射する照明手段と、照明手段に対向し
て配置され且つ照明手段の照射角度よりも大きい撮像角
度で被検査面を撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像し
た原画像から表面欠陥を検出する画像処理手段を備え、
画像処理手段が、照明手段からの光照射方向に輝度傾斜
を有する原画像をその輝度傾斜方向である一方向に微分
処理して一方向微分画像を作成する一方向微分フィルタ
と、一方向微分画像を平滑化処理して平滑化画像を作成
する平滑化フィルタと、一方向微分画像から平滑化画像
を差分演算して差分画像を作成する差分演算フィルタ
と、差分画像を一定のしきい値で二値化処理して二値化
画像を作成する二値化フィルタを備えていることを特徴
とする表面欠陥の検査装置。
1. An illuminating means for irradiating light at an irradiation angle inclined to a surface to be inspected having a curved surface, and an inspected object at an imaging angle which is arranged so as to face the illuminating means and is larger than the irradiation angle of the illuminating means. And an image processing unit for detecting a surface defect from an original image captured by the image capturing unit.
A one-way differential filter for creating a one-way differential image by differentiating an original image having a brightness gradient in a light irradiation direction from the illuminating means in one direction which is the brightness gradient direction, and a one-way differential image. Smoothing process to create a smoothed image, a difference calculation filter that calculates the difference of the smoothed image from the one-way differential image to create a difference image, and a difference image with a certain threshold. An apparatus for inspecting a surface defect, comprising a binarizing filter that performs binarization processing to create a binarized image.
【請求項2】 平滑化フィルタが、一方向微分画像を十
字参照型で複数回平滑化処理して十字参照型複数回平滑
化画像を作成する十字参照型複数回平滑化フィルタであ
り、差分演算フィルタが、一方向微分画像から十字参照
型複数回平滑化画像を差分演算して差分画像を作成する
フィルタであることを特徴とする請求項1に記載の表面
欠陥の検査装置。
2. A smoothing filter is a cross-reference multiple-time smoothing filter that creates a cross-reference multiple-times smoothed image by smoothing a one-way differential image by cross-reference multiple times, and performs a difference calculation. 2. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the filter is a filter that performs a difference operation on a cross-referenced multiple times smoothed image from a one-way differential image to create a difference image.
【請求項3】 平滑化フィルタが、一方向微分画像を全
周囲参照型で複数回平滑化処理して全周囲参照型複数回
平滑化画像を作成する全周囲参照型複数回平滑化フィル
タであり、差分演算フィルタが、一方向微分画像から全
周囲参照型複数回平滑化画像を差分演算して差分画像を
作成するフィルタであることを特徴とする請求項1に記
載の表面欠陥の検査装置。
3. A smoothing filter is a omnidirectional reference type multiple smoothing filter that creates a omnidirectional reference type multiple times smoothed image by performing smoothing processing on a unidirectional differential image multiple times using the omnidirectional reference type. 2. The apparatus for inspecting surface defects according to claim 1, wherein the difference calculation filter is a filter that performs a difference calculation on the omnidirectional reference type plural times smoothed image from the one-way differential image to create a difference image.
【請求項4】 一方向微分フィルタが、撮像手段からの
原画像を一方向に且つ撮像手段の撮像視野で決定される
原画像中の表面欠陥の大きさ合わせた大きさで微分処理
して一方向微分画像を作成する一方向最適サイズ微分フ
ィルタであり、平滑化フィルタが、一方向微分画像を一
方向に且つ一方向微分画像中の表面欠陥の大きさ合わせ
た大きさで平滑化処理して一方向平滑化画像を作成する
一方向最適サイズ平滑化フィルタであり、差分演算フィ
ルタが、一方向微分画像から一方向平滑化画像を差分演
算して差分画像を作成するフィルタであることを特徴と
する請求項1に記載の表面欠陥の検査装置。
4. A one-way differential filter differentially processes the original image from the image pickup means in one direction and with a size corresponding to the size of a surface defect in the original image determined by the image pickup field of view of the image pickup means. It is a one-way optimal size differential filter that creates a directional differential image, and the smoothing filter smoothes the unidirectional differential image in one direction and with a size that matches the size of the surface defects in the unidirectional differential image. It is a one-way optimal size smoothing filter that creates a one-way smoothed image, and the difference calculation filter is a filter that creates a difference image by performing a difference operation on the one-way smoothed image from the one-way differential image. The surface defect inspection apparatus according to claim 1.
【請求項5】 被検査面を一方向に移動させる搬送手段
と、被検査面の種類情報を入力する種類情報入力手段
と、被検査面の種類入力情報に対応した被検査面の曲面
状角度情報を選定する曲面状角度情報選定手段と、搬送
手段により搬送されている被検査面の位置を検出する位
置検出手段と、曲面状角度情報選定手段からの曲面状角
度情報と位置検出手段からの位置検出情報とに基づいて
照明手段および撮像手段の角度および高さを制御する位
置制御手段を備えたことを特徴とする請求項1〜4のい
ずれかに記載の表面欠陥の検査装置。
5. A conveyance means for moving the surface to be inspected in one direction, a type information input means for inputting type information of the surface to be inspected, and a curved angle of the surface to be inspected corresponding to the input information of type of the surface to be inspected. Curved angle information selecting means for selecting information, position detecting means for detecting the position of the surface to be inspected being conveyed by the conveying means, curved angle information from the curved angle information selecting means and position detecting means 5. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, further comprising position control means for controlling an angle and a height of the illumination means and the image pickup means based on the position detection information.
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