JP3507938B2 - Linear motor drive method - Google Patents

Linear motor drive method

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JP3507938B2
JP3507938B2 JP06470297A JP6470297A JP3507938B2 JP 3507938 B2 JP3507938 B2 JP 3507938B2 JP 06470297 A JP06470297 A JP 06470297A JP 6470297 A JP6470297 A JP 6470297A JP 3507938 B2 JP3507938 B2 JP 3507938B2
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linear motor
linear
linear motors
tendency
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータ駆動
方法に関し、特に、工作機械等に使用されるスライド部
材の両側に配設された一対のリニアモータの駆動を円滑
にすることができるリニアモータ駆動方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor driving method, and more particularly to a linear motor capable of smoothly driving a pair of linear motors arranged on both sides of a slide member used in a machine tool or the like. The present invention relates to a driving method.

【0002】[0002]

【従来の技術】工作機械においてワークと工具との位置
を調節するために、ワーク及び工具の支持具を別個に移
動させるリニアモータが使用されている。特開平6−2
97286号公報は、この場合のリニアモータの制御方
法を示している。しかし、この場合では、例えばY軸の
リニアモータの位置を検出し、この検出結果を制御装置
に入力し、機械制御装置の指定に基づいて近づけられる
Y位置と比較されて、各リニアモータの制御に使用され
ている。
2. Description of the Related Art In a machine tool, in order to adjust the positions of a work and a tool, a linear motor for moving the support of the work and the tool separately is used. JP-A-6-2
Japanese Patent Publication No. 97286 shows a control method of a linear motor in this case. However, in this case, for example, the position of the Y-axis linear motor is detected, the detection result is input to the control device, and is compared with the Y position that is approached based on the designation of the machine control device to control each linear motor. Is used for.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例で
は、工作機械のスライド部材の両側に配置されている一
対のリニアモータをそれぞれ別個に制御しているので、
該一対のリニアモータ間の速度及び位置の調和を取るこ
とが容易ではなかった。このため、前記スライド部材を
円滑に移動させて、前記スライド部材の位置の調節を速
やかに行うことが容易ではないという問題点があった。
したがって、本願発明の目的は、上述の従来例の欠点を
なくし、工作機械等における位置調整のためのスライド
部材の移動を円滑に行うことができるように、該スライ
ド部材の両端に配設された一対のリニアモータの位置の
制御を円滑に行うことができるリニアモータ駆動方法を
提供することである。
However, in the above-mentioned conventional example, since the pair of linear motors arranged on both sides of the slide member of the machine tool are individually controlled,
It was not easy to match the speed and position between the pair of linear motors. Therefore, there is a problem in that it is not easy to smoothly move the slide member and quickly adjust the position of the slide member.
Therefore, an object of the present invention is to dispose the slide member at both ends of the slide member so as to eliminate the drawbacks of the above-mentioned conventional example and to smoothly move the slide member for position adjustment in a machine tool or the like. It is an object of the present invention to provide a linear motor driving method capable of smoothly controlling the positions of a pair of linear motors.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本願の第1の発明の構成は、1つのスライド部材の
両側を一対のリニアモータにて同期駆動する駆動方法に
おいて、前記一対のリニアモータのうち一方のリニアモ
ータの位置を一対の位置センサのうち一方の位置センサ
にて検出し、前記一対のリニアモータのうち他方のリニ
アモータの位置を前記一対の位置センサのうち他方の位
置センサにて検出し、前記一対の位置センサから前記一
対のリニアモータを駆動する駆動ユニット内の前記一対
のリニアモータに対応する一対のサーボへ与える帰還信
号の付与形態を、前記スライド部材の送り運動における
運動特性に応じて切替手段により変更可能としたことを
特徴とするリニアモータ駆動方法である。
In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The configuration of the first aspect of the present invention is the driving method for synchronously driving both sides of one of the slide member by a pair of linear motors, the pair of linear Linear motor of one of the motors
The position of the controller is one of a pair of position sensors
Of the linear motor of the pair of linear motors.
The position of the motor is the position of the other of the pair of position sensors.
Position sensor to detect the one from the pair of position sensors.
A mode of applying a feedback signal to the pair of servos corresponding to the pair of linear motors in the drive unit for driving the pair of linear motors can be changed by the switching means according to the movement characteristics of the feed movement of the slide member. A linear motor driving method characterized by the above.

【0005】上記第1の発明の構成により、1つのスラ
イド部材の両側を一対のリニアモータにて同期駆動する
駆動方法において、前記一対のリニアモータのうち一方
のリニアモータの位置を一対の位置センサのうち一方の
位置センサにて検出し、前記一対のリニアモータのうち
他方のリニアモータの位置を前記一対の位置センサのう
ち他方の位置センサにて検出し、前記一対の位置センサ
から前記一対のリニアモータを駆動する駆動ユニット内
前記一対のリニアモータに対応する一対のサーボへ与
える帰還信号の付与形態を、前記スライド部材の送り運
動における運動特性に応じて切替手段により変更可能と
しているので、X軸、Y軸及びZ軸の各スライド部材の
送り運動における動特性の差異があっても、同一構成の
駆動ユニットを採用できる。つまり、各スライド部材の
動特性に特有な駆動ユニットを製造する必要性を排除で
きる。
According to the driving method of synchronously driving both sides of one slide member with a pair of linear motors according to the configuration of the first invention, one of the pair of linear motors is used.
The position of the linear motor of one of a pair of position sensors
Of the pair of linear motors detected by the position sensor
The position of the other linear motor is detected by the pair of position sensors.
In the drive unit that detects the other position sensor and drives the pair of linear motors from the pair of position sensors
Since the mode of applying the feedback signal to the pair of servos corresponding to the pair of linear motors can be changed by the switching means according to the movement characteristics of the feed movement of the slide member, the X axis, the Y axis, and the Z axis. Even if there is a difference in the dynamic characteristics of the feed motions of the slide members, the drive units having the same configuration can be adopted. In other words, it is possible to eliminate the need to manufacture a drive unit that is unique to the dynamic characteristics of each slide member.

【0006】更に、第2の発明の構成は、上記第1の発
明の構成において、前記切替手段が、外部からの切替信
号に応じて、前記一対の位置センサのうち一方の位置セ
ンサの出力を該一方の位置センサにより位置を検出され
る前記一方のリニアモータを駆動する一方のサーボのみ
に帰還信号として入力できるとともに、前記一対の位置
センサのうち他方の位置センサの出力を前記一対のサー
ボの各々に帰還信号として入力できることである。
Further, in the structure of the second invention, in the structure of the first invention, the switching means outputs the output of one of the pair of position sensors in response to a switching signal from the outside. The position is detected by the one position sensor
That said it is possible to input as one of a servo only the feedback signal to drive one of the linear motor is that the output of the other of the position sensor of the pair of position sensors can be input as a feedback signal to each of said pair of servo.

【0007】上記第2の発明の構成により、上記第1の
発明の構成の作用とともに、前記切替手段が、外部から
の切替信号に応じて、前記一対の位置センサのうち一方
の位置センサの出力を該一方の位置センサにより位置を
検出される前記一方のリニアモータを駆動する一方のサ
ーボのみに帰還信号として入力できるとともに、前記一
対の位置センサのうち他方の位置センサの出力を前記一
対のサーボの各々に帰還信号として入力できるので、前
記一対のリニアモータを相互に関連づけて制御すること
ができる。この結果、前記スライド部材の移動を円滑に
行うことができる。
With the configuration of the second invention, in addition to the operation of the configuration of the first invention, the switching means outputs the output of one of the pair of position sensors in response to a switching signal from the outside. The position of the
Since a feedback signal can be input only to one servo that drives the one linear motor that is detected, the output of the other position sensor of the pair of position sensors can be input to each of the pair of servos as a feedback signal. The pair of linear motors can be controlled in association with each other. As a result, the slide member can be moved smoothly.

【0008】更に、第3の発明の構成は、一つの制御軸
のための一対のリニアモータを駆動する駆動ユニットを
備えるものにおいて、前記一対のリニアモータのうち先
行傾向にあるリニアモータへの目標偏差は、前記一対の
リニアモータの目標位置指令と該先行傾向にあるリニア
モータに対応する位置センサの帰還信号とに基づいて求
め、前記一対のリニアモータのうち遅れ傾向にあるリニ
アモータへ与える目標偏差は、前記目標位置指令と該遅
れ傾向にあるリニアモータに対応する位置センサ及び前
記先行傾向にあるリニアモータに対応する位置センサの
帰還信号とに基づいて求め、前記遅れ傾向にあるリニア
モータへ与える目標偏差を前記先行傾向にあるリニアモ
ータへ与える目標偏差よりも前記一対のリニアモータの
送り速度に応じて増加するようにしたことを特徴とする
リニアモータ駆動方法である。
Further, according to the third aspect of the present invention, in a drive unit for driving a pair of linear motors for one control shaft, the target of the linear motor having the preceding tendency among the pair of linear motors. The deviation is obtained based on the target position command of the pair of linear motors and the feedback signal of the position sensor corresponding to the linear motor having the preceding tendency, and the target given to the linear motor having the delay tendency of the pair of linear motors. The deviation is obtained based on the target position command and the feedback signals of the position sensor corresponding to the linear motor having the delay tendency and the position sensor corresponding to the linear motor having the preceding tendency, and the deviation to the linear motor having the delay tendency is obtained. Depending on the feed speed of the pair of linear motors rather than the target deviation given to the linear motor in the preceding tendency A linear motor driving method is characterized in that so as to pressure.

【0009】上記第3の発明の構成により、一つの制御
軸のための一対のリニアモータを駆動する駆動ユニット
を備えるものにおいて、前記一対のリニアモータのうち
先行傾向にあるリニアモータへの目標偏差は、前記一対
のリニアモータの目標位置指令と該先行傾向にあるリニ
アモータに対応する位置センサの帰還信号とに基づいて
求め、前記一対のリニアモーアのうち遅れ傾向にあるリ
ニアモータへ与える目標偏差は、前記目標位置指令と該
遅れ傾向にあるリニアモータに対応する位置センサ及び
前記先行傾向にあるリニアモータに対応する位置センサ
の帰還信号とに基づいて求め、前記遅れ傾向にあるリニ
アモータへ与える目標偏差を前記先行傾向にあるリニア
モータへ与える目標偏差よりも前記一対のリニアモータ
の送り速度に応じて増加するようにしているので、遅れ
傾向にあるリニアモータを先行するリニアモータに追従
させるように制御することができる。このため、前記送
り速度が変化しても、一つの制御軸のための一対のリニ
アモータの位置をそろえることができる。
According to the third aspect of the present invention, in the drive unit for driving the pair of linear motors for one control shaft, the target deviation to the linear motor having the preceding tendency among the pair of linear motors. Is obtained on the basis of the target position command of the pair of linear motors and the feedback signal of the position sensor corresponding to the linear motor having the preceding tendency, and the target deviation given to the linear motor having the delay tendency of the pair of linear mowers is A target to be given to the linear motor having the delay tendency, which is obtained based on the target position command and a feedback signal of the position sensor corresponding to the linear motor having the delay tendency and the position sensor corresponding to the linear motor having the preceding tendency Depending on the feed speed of the pair of linear motors, the deviation from the target deviation given to the preceding linear motors Since so as to increase, it is possible to control so as to follow the linear motor preceding the linear motor in a delayed tendency. Therefore, even if the feed speed changes, the positions of the pair of linear motors for one control shaft can be aligned.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本願発明の
実施の形態を説明する。図1は、本願発明が適用される
工作機械の概観を表している。図1に示す工作機械1に
おいて、工具主軸4とワークを固定する図示しないテー
ブルとの位置を調整するために、後述する図2に示すX
軸リニアモータ1a、1b、Y軸リニアモータ2a、2
b及びZ軸リニアモータ3a、3bが配設されている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an overview of a machine tool to which the present invention is applied. In the machine tool 1 shown in FIG. 1, in order to adjust the positions of the tool spindle 4 and a table (not shown) for fixing the work, an X shown in FIG.
Axis linear motors 1a, 1b, Y axis linear motors 2a, 2
b and Z-axis linear motors 3a and 3b are provided.

【0011】ベッド9上にコラム8が固定され、後述す
るX軸レール11a、11bに沿ってX軸方向に移動可
能なサドル7とベッド9との間にX軸リニアモータ1
a、1bが配設されている。更に、後述するY軸レール
12a、12bに沿ってY軸方向に移動可能な主軸ベッ
ド6とサドル7との間にY軸リニアモータ2a、2bが
配設され、後述するZ軸レール13a〜13cに沿って
Z軸方向に移動可能な主軸保持ラム5と主軸ベッド6と
の間にZ軸リニアモータ3a、3bが配設されている。
なお、X軸レール11aがコラム8に配設され、X軸レ
ール11bがベッド9に配設されている。Y軸レール1
2a、12bがサドル7に配設され、Z軸レール13
a、13b、13cが主軸ベッド6に配設されている。
また、矢印21はX軸方向を示し、矢印22はY軸方向
を示している。更に、Z軸方向は、X軸方向及びY軸方
向に直交する方向である。
A column 8 is fixed on a bed 9, and an X-axis linear motor 1 is provided between a bed 9 and a saddle 7 which is movable in the X-axis direction along X-axis rails 11a and 11b described later.
a and 1b are provided. Further, Y-axis linear motors 2a and 2b are arranged between a main shaft bed 6 and a saddle 7 which are movable in the Y-axis direction along Y-axis rails 12a and 12b which will be described later, and Z-axis rails 13a to 13c which will be described later. Z-axis linear motors 3a and 3b are arranged between a spindle holding ram 5 and a spindle bed 6 which are movable in the Z-axis direction.
The X-axis rail 11a is arranged on the column 8 and the X-axis rail 11b is arranged on the bed 9. Y-axis rail 1
2a and 12b are arranged on the saddle 7, and the Z-axis rail 13
The spindle beds 6 are provided with a, 13b, and 13c.
The arrow 21 indicates the X-axis direction, and the arrow 22 indicates the Y-axis direction. Furthermore, the Z-axis direction is a direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction.

【0012】図2は、図1に示す工作機械に使用される
制御システムのブロックを示している。図2において、
CNC(Computer Numerical Control)31は、CPU
31a、メモリ31b及びインタフェース31cからな
り、X軸駆動ユニット32、Y軸駆動ユニット35及び
Z軸駆動ユニット36を制御する。X軸駆動ユニット3
2は、一対のX軸リニアモータ1a、1bの駆動をする
ものであり、第1サーボ32a、第2サーボ32b及び
分配切換器32cからなる。第1サーボ32aはCPU
33a、メモリ33b及びインタフェース33cからな
り、第2サーボ32bはCPU34a、メモリ34b及
びインタフェース34cからなる。前記リニアモータ1
aはスライド部材1c(図1のサドル7に相当する。)
の一方の端に配設され、前記リニアモータ1bは該スラ
イド部材1cの他方の端に配設されている。位置センサ
41aはリニアモータ1aの位置を検出するように配設
され、位置センサ41bはリニアモータ1bの位置を検
出するように配設されている。
FIG. 2 shows a block of a control system used in the machine tool shown in FIG. In FIG.
CNC (Computer Numerical Control) 31 is a CPU
31a, memory 31b and interface 31c, and controls the X-axis drive unit 32, the Y-axis drive unit 35, and the Z-axis drive unit 36. X-axis drive unit 3
Reference numeral 2 drives the pair of X-axis linear motors 1a and 1b, and includes a first servo 32a, a second servo 32b, and a distribution switch 32c. The first servo 32a is a CPU
33a, a memory 33b and an interface 33c, and the second servo 32b includes a CPU 34a, a memory 34b and an interface 34c. The linear motor 1
a is a slide member 1c (corresponding to the saddle 7 in FIG. 1).
The linear motor 1b is disposed at one end of the slide member 1c, and the linear motor 1b is disposed at the other end of the slide member 1c. The position sensor 41a is arranged to detect the position of the linear motor 1a, and the position sensor 41b is arranged to detect the position of the linear motor 1b.

【0013】Y軸駆動ユニット35は、一対のY軸リニ
アモータ2a、2bを駆動するものである。位置センサ
42aはリニアモータ2aの位置を検出するように配設
され、一方、位置センサ42bはリニアモータ2bの位
置を検出するように配設されている。Z軸駆動ユニット
36は、一対のZ軸リニアモータ3a、3bを駆動する
ものである。位置センサ43aはリニアモータ3aの位
置を検出するように配設され、一方、位置センサ43b
はリニアモータ3bの位置を検出するように配設されて
いる。
The Y-axis drive unit 35 drives the pair of Y-axis linear motors 2a and 2b. The position sensor 42a is arranged to detect the position of the linear motor 2a, while the position sensor 42b is arranged to detect the position of the linear motor 2b. The Z-axis drive unit 36 drives the pair of Z-axis linear motors 3a and 3b. The position sensor 43a is arranged to detect the position of the linear motor 3a, while the position sensor 43b is
Are arranged to detect the position of the linear motor 3b.

【0014】図3は、X、Y、Zの各制御軸に入力され
る帰還信号の3つの付与形態を示している。図3(a)
は帰還モード00の場合を示している。この場合、分配
切換器32cは切替信号00を受けて帰還モード00に
なり、位置センサ41aの位置検出値C1’(t) のみを
第1サーボ32a及び第2サーボ32bの両方に帰還し
ている。図3(b)は帰還モード01の場合を示してい
る。この場合、分配切換器32cは切替信号01を受け
て帰還モード01になり、位置センサ41aの位置検出
値C1’(t) を第1サーボ32aに帰還し、位置センサ
41bの位置検出値C2’(t) を第2サーボ32bに帰
還している。図3(c)は帰還モード10の場合を示し
ている。この場合、分配切換器32cは切替信号10を
受けて帰還モード10になり、位置センサ41aの位置
検出値C1’(t) を第1サーボ32a及び第2サーボ3
2bに帰還し、位置センサ41bの位置検出値C2’
(t) を第2サーボ32bに帰還している。
FIG. 3 shows three modes of providing the feedback signals input to the X, Y and Z control axes. Figure 3 (a)
Indicates the case of the feedback mode 00. In this case, the distribution switch 32c receives the switching signal 00 and becomes the feedback mode 00, and only the position detection value C1 ′ (t) of the position sensor 41a is fed back to both the first servo 32a and the second servo 32b. . FIG. 3B shows the case of the feedback mode 01. In this case, the distribution switch 32c receives the switching signal 01 and becomes the feedback mode 01, and returns the position detection value C1 ′ (t) of the position sensor 41a to the first servo 32a, and the position detection value C2 ′ of the position sensor 41b. (t) is fed back to the second servo 32b. FIG. 3C shows the case of the feedback mode 10. In this case, the distribution switch 32c receives the switching signal 10 and enters the feedback mode 10, and the position detection value C1 ′ (t) of the position sensor 41a is set to the first servo 32a and the second servo 3a.
2b, and the position detection value C2 'of the position sensor 41b is returned.
(t) is fed back to the second servo 32b.

【0015】図2に示すCNC31のインタフェース
(I/F)31cからは、X,Y,Z軸の各駆動ユニッ
ト32、35、36に目標位置C1(t) と送り速度V1
(t) が図8の単位微小時間Δt間隔で入力される。輪郭
制御においては、補間演算をCNC31のCPU31a
が処理し、この処理後の軌跡データに基づいて前記目標
位置C1(t) と送り速度V1(t) が指令される。また、
X軸駆動ユニット32には、CNC31から帰還モード
信号00、01、10が選択的に第1サーボ32a、第
2サーボ32b及び分配切換器32cに入力される。前
記帰還モード信号は、Y軸駆動ユニット35及びZ軸駆
動ユニット36にも同様に入力される。
From the interface (I / F) 31c of the CNC 31 shown in FIG. 2, the target position C1 (t) and the feed speed V1 are supplied to the X, Y, and Z axis drive units 32, 35, and 36, respectively.
(t) is input at a unit minute time Δt interval in FIG. In the contour control, interpolation calculation is performed by the CPU 31a of the CNC 31.
The target position C1 (t) and the feed speed V1 (t) are commanded based on the processed trajectory data. Also,
Feedback mode signals 00, 01, and 10 are selectively input from the CNC 31 to the X-axis drive unit 32 to the first servo 32a, the second servo 32b, and the distribution switch 32c. The feedback mode signal is similarly input to the Y-axis drive unit 35 and the Z-axis drive unit 36.

【0016】図4は、帰還モード00、01、10の動
作のフローチャートを示し、図5は図4の続きを示して
いる。例として図2のX軸駆動ユニット32について以
下動作を説明する。なお、図6は駆動ユニット32内の
第2サーボ32bのCPU34aが図4の目標位置計算
ステップにおいて実行する処理の具体的内容を前記帰還
信号の3つの付与形態毎に示している。また、Y軸駆動
ユニット35及びZ軸駆動ユニット36のフローチャー
トは、X軸駆動ユニット32のフローチャートと同様で
ある。 (1) 帰還モード00 今、CNC31から帰還モード信号00が指定された状
態で、図8のt時点においてCNC31から目標位置C
1(t) と指令速度V1(t) がX軸駆動ユニット32の第
1サーボ32a及び第2サーボ32bに入力されたと仮
定する。この指令に応じて第1サーボ32aは入力され
た目標位置C(1) と位置センサ41aの帰還信号C1’
(t) との目標偏差P1(t) を算出し、この偏差出力によ
りX軸の下部に配置したリニアモータ1aのための図示
しないサーボアンプを駆動する。なお、第1サーボ32
aの動作は下記の帰還モード01、10において同一で
あり、制御自体は周知であるので、第1サーボ32aの
CPU33aが実行するプログラムのフローチャートは
省略されている。
FIG. 4 shows a flow chart of the operation of the feedback modes 00, 01 and 10, and FIG. 5 shows a continuation of FIG. As an example, the operation of the X-axis drive unit 32 shown in FIG. 2 will be described below. Note that FIG. 6 shows the specific contents of the processing executed by the CPU 34a of the second servo 32b in the drive unit 32 in the target position calculation step of FIG. 4 for each of the three application modes of the feedback signal. The flowcharts of the Y-axis drive unit 35 and the Z-axis drive unit 36 are the same as the flowcharts of the X-axis drive unit 32. (1) Feedback mode 00 Now, with the feedback mode signal 00 specified by the CNC 31, at the time t in FIG.
It is assumed that 1 (t) and the command speed V1 (t) are input to the first servo 32a and the second servo 32b of the X-axis drive unit 32. In response to this command, the first servo 32a receives the input target position C (1) and the feedback signal C1 'from the position sensor 41a.
A target deviation P1 (t) with respect to (t) is calculated, and a servo amplifier (not shown) for the linear motor 1a arranged below the X axis is driven by this deviation output. The first servo 32
Since the operation of a is the same in the following feedback modes 01 and 10, and the control itself is well known, the flowchart of the program executed by the CPU 33a of the first servo 32a is omitted.

【0017】一方、第2サーボ32bは、そのCPU3
4aが図4のステップ101〜107を実行する。この
場合、ステップ105の目標偏差P1(t) の算出におい
ては、下部リニアモータ1a用の位置センサ41aから
の帰還信号C1’(t) を利用し、ステップ106にて出
力する目標偏差P1(t) が所定値e以下になった時(ス
テップ107)、ステップ120において、次の微小時
間経過時点(図8のt+Δt時点)における目標位置C
1(t) の指令をCNC31に要求する。
On the other hand, the second servo 32b has its CPU 3
4a executes steps 101 to 107 of FIG. In this case, in the calculation of the target deviation P1 (t) in step 105, the feedback signal C1 '(t) from the position sensor 41a for the lower linear motor 1a is used, and the target deviation P1 (t) output in step 106 is used. ) Is less than or equal to the predetermined value e (step 107), the target position C at the next minute time elapse (t + Δt in FIG. 8) is determined in step 120.
Request 1 (t) command to the CNC 31.

【0018】(2) 帰還モード01 今、このモードが指令された状態で、図8のt時点にお
いて、CNC31から目標位置C1(t) と指令速度V1
(t) がX軸駆動ユニット32の第1及び第2サーボ32
a、32bに入力されたと仮定する。第1サーボ32a
は、帰還モード00と同様に動作する。第2サーボ32
bは、そのCPU34aが図4のステップ101〜10
3、108〜111を実行する。この場合、ステップ1
09の目標偏差P2(t) の算出においては、上部リニア
モータ1b用の位置センサ41bからの帰還信号C2’
(t) を利用し、ステップ110にて出力する目標偏差P
2(t) が所定値e以下になった時(ステップ111)、
ステップ120において、次の微小時間経過時点(図8
のt+Δt時点)における目標位置C1(t) の指令をC
NC31に要求する。
(2) Feedback mode 01 Now, with this mode commanded, at time t in FIG. 8, the target position C1 (t) and command speed V1 are sent from the CNC 31.
(t) is the first and second servos 32 of the X-axis drive unit 32
It is assumed that the data is input to a and 32b. First servo 32a
Operates similarly to the feedback mode 00. Second servo 32
In b, the CPU 34a has steps 101 to 10 in FIG.
3, 108 to 111 are executed. In this case, step 1
In calculating the target deviation P2 (t) of 09, the feedback signal C2 ′ from the position sensor 41b for the upper linear motor 1b is used.
Using (t), the target deviation P output in step 110
When 2 (t) becomes less than the predetermined value e (step 111),
At step 120, when the next minute time elapses (see FIG.
Of the target position C1 (t) at time t + Δt)
Request to NC31.

【0019】(3) 帰還モード10 今、このモードが指定された状態で、図8のt時点にお
いて、CNC31から目標位置C1(t) と指令速度V1
(t) がX軸駆動ユニット32の第1サーボ32a及び第
2サーボ32bに入力されたと仮定する。第1サーボ3
2aは、帰還モード00と同様に作動する。第2サーボ
32bは、そのCPU34aが図4のステップ101〜
103、112〜119を実行する。この場合、ステッ
プ116においては、目標偏差P1(t) と第2サーボ3
2bが出力する目標偏差P2’(t) が算出される。即
ち、最初に目標偏差P2’(t) が次式により算出され
る。 P2’(t) =C1(t) −C2’(t)+αi{P1(t−
Δt)−(P2(t−Δt)} この場合、制御開始時点においては、上部及び下部リニ
アモータ1a、1bの位置は同一であるので、ステップ
115においてP1(t−Δt)及びP2(t−Δt)
が何れも零にセットされる。
(3) Feedback mode 10 With this mode specified, the target position C1 (t) and the command speed V1 from the CNC 31 at the time t in FIG.
It is assumed that (t) is input to the first servo 32a and the second servo 32b of the X-axis drive unit 32. First servo 3
2a operates similarly to the feedback mode 00. In the second servo 32b, the CPU 34a has steps 101 to 101 in FIG.
103, 112 to 119 are executed. In this case, in step 116, the target deviation P1 (t) and the second servo 3
The target deviation P2 '(t) output by 2b is calculated. That is, first, the target deviation P2 '(t) is calculated by the following equation. P2 ′ (t) = C1 (t) −C2 ′ (t) + αi {P1 (t−
Δt)-(P2 (t-Δt)} In this case, since the positions of the upper and lower linear motors 1a and 1b are the same at the start of control, in step 115, P1 (t-Δt) and P2 (t- Δt)
Are set to zero.

【0020】しかし、制御開始時点以外の微小時間経過
時点(図8のt時点)においては、微小時間Δt前の時
点(図8のt−Δt時点)における制御のために既に算
出されてメモリ34bに記憶されている目標偏差の差に
重み係数αiを乗算した補正値が算出されて加算され
る。ここで、重み係数αiは、図7のテーブルから指令
速度V1(t) に応じてステップ112において選択的に
読み出される係数が加算される。このため、X軸の上部
リニアモータ1b用の図示しないサーボアンプへ出力さ
れる目標偏差P2’(t) は、現時点(図8のt時点)か
ら微小時間前の先の時点(図8のt−Δt時点)におけ
る下部リニアモータ1aと上部リニアモータ1bとの運
動位置の差を加味したものとして算出される。むろん、
リニアモータ1a、1bの駆動速度が増加するにつれ
て、上部及び下部リニアモータ1a、1b間の位置ずれ
量が増大するので、図7に示すように重み係数αiもこ
れに応じて数値が大きくされる。
However, at a minute time elapsed time (time t in FIG. 8) other than the control start time, the memory 34b has already been calculated for control at a time minute before the minute time Δt (time t-Δt in FIG. 8). A correction value obtained by multiplying the difference between the target deviations stored in 1 by the weighting coefficient αi is calculated and added. Here, the weighting coefficient αi is added with the coefficient selectively read out in step 112 from the table of FIG. 7 according to the commanded speed V1 (t). For this reason, the target deviation P2 ′ (t) output to the servo amplifier (not shown) for the X-axis upper linear motor 1b is set to a point (t in FIG. 8) that is a minute time before the current point (t in FIG. 8). It is calculated by adding the difference in the movement position between the lower linear motor 1a and the upper linear motor 1b at −Δt). Of course,
As the driving speed of the linear motors 1a, 1b increases, the amount of positional deviation between the upper and lower linear motors 1a, 1b increases, so that the weighting coefficient αi is also increased accordingly as shown in FIG. .

【0021】また、次回の微小時間経過時点(図8にお
けるt+Δt時点)におけるステップ116での目標偏
差P2’(t) の計算に使用するために、今回の時点(図
8におけるt時点)において、目標偏差P1(t) とP2
(t) とが次式により計算される。 P1(t) =C1(t) −C1’(t) P2(t) =C1(t) −C2’(t) 次のステップ117においては、目標偏差P2’(t) が
上部リニアモーア1bのサーボアンプに出力され、これ
により遅れ傾向にあるリニアモーア(例えば、上部リニ
アモータ1b)を先行するリニアモータ(例えば、下部
リニアモータ1a)に追従させるように制御される。
Further, in order to use for the calculation of the target deviation P2 '(t) in step 116 at the next minute time elapse (time t + Δt in FIG. 8), at this time (time t in FIG. 8), Target deviations P1 (t) and P2
(t) and are calculated by the following equation. P1 (t) = C1 (t) -C1 '(t) P2 (t) = C1 (t) -C2' (t) In the next step 117, the target deviation P2 '(t) is the servo of the upper linear mower 1b. The linear mower (for example, the upper linear motor 1b) which is output to the amplifier and tends to be delayed is controlled so as to follow the preceding linear motor (for example, the lower linear motor 1a).

【0022】このため、遅れ傾向にあるリニアモータ側
の帰還信号が実際の検出値よりも遅れた位置を示すよう
に見せかけ、これにより遅れ傾向にあるリニアモータ側
には実際の目標偏差よりも大きな見かけ上の目標値を付
与し、送り方向の後方に傾斜した状態で前進する傾向の
動的運動特性のスライド部材1cを傾斜のない状態で前
進するように制御する。ステップ118においては、次
回の微小時間経過時点(図8におけるt+Δt時点)に
おけるステップ116での目標偏差P2’(t) の計算に
使用するために、今回のステップ116において算出さ
れた目標偏差P1(t) とP2(t) がメモリ34bに記憶
される。
Therefore, the feedback signal on the side of the linear motor, which tends to be delayed, is made to appear to indicate a position which is delayed from the actual detected value, which makes the linear motor on the side of the delayed tendency larger than the actual target deviation. An apparent target value is given, and the slide member 1c having a dynamic motion characteristic that tends to move forward in a tilted direction in the feed direction is controlled to move forward in a non-tilted state. In step 118, the target deviation P1 (calculated in step 116 this time is used for calculation of the target deviation P2 ′ (t) in step 116 at the next minute time lapse time (time t + Δt in FIG. 8). t) and P2 (t) are stored in the memory 34b.

【0023】更に、ステップ119において、目標偏差
P2’(t) が所定値e以下になる時に、ステップ120
で次の微小時間経過時点(図8のt+Δt時点)の目標
位置C1(t) がCNC31に要求される。そして、位置
決め完了時にCNC31から第2サーボ32bに動作オ
フ指令が与えられたことがステップ121において判別
されるとき、第2サーボ32bのCPU34aは図4及
び図5のプログラムの実行を終了する。
Further, when the target deviation P2 '(t) becomes less than or equal to the predetermined value e in step 119, step 120
Then, the target position C1 (t) at the time when the next minute time has elapsed (time t + Δt in FIG. 8) is requested of the CNC 31. Then, when it is determined in step 121 that the operation off command is given from the CNC 31 to the second servo 32b at the time of completion of positioning, the CPU 34a of the second servo 32b ends the execution of the programs of FIGS. 4 and 5.

【0024】以上の構成により、X軸駆動においては、
前記一対のリニアモータ1a、1bに対応する位置セン
サ41a、41bから前記一対のリニアモータ1a、1
bに対応する一対のサーボ32a、32bへ与える帰還
信号の付与形態を、スライド部材1cの送り運動におけ
る運動特性に応じて切換手段としての分配切換器32c
により変更可能としてるので、X軸、Y軸及びZ軸の各
スライド部材1c等の送り運動における動特性の差異が
あっても、同一構成の駆動ユニット32、35、36を
使用できる。つまり、各スライド部材1c等の動特性に
特有な駆動ユニットを製造する必要性を排除できる。
With the above construction, in X-axis drive,
From the position sensors 41a, 41b corresponding to the pair of linear motors 1a, 1b to the pair of linear motors 1a, 1b.
The distribution switching device 32c as switching means determines the form of applying the feedback signal to the pair of servos 32a and 32b corresponding to b according to the motion characteristics of the feed motion of the slide member 1c.
The drive units 32, 35, and 36 having the same configuration can be used even if there is a difference in the dynamic characteristics in the feed motion of the X-axis, Y-axis, and Z-axis slide members 1c and the like. That is, it is possible to eliminate the need to manufacture a drive unit unique to the dynamic characteristics of each slide member 1c and the like.

【0025】更に、前記分配切換器32cが、CNC3
1からの切替信号に応じて、前記一対の位置センサ41
a、41bのうち一方の位置センサの出力を該一方の位
置センサに対応するリニアモータを駆動する一方のサー
ボのみに帰還信号として入力できるとともに、前記一対
の位置センサ41a、41bのうち他方の位置センサの
出力を前記一対のサーボ32a、32bの各々に帰還信
号として入力できるので、前記一対のリニアモータ1
a、1bを相互に関連づけて制御することができる。こ
の結果、前記スライド部材1cの移動を円滑に行うこと
ができる。
Further, the distribution switching device 32c is the CNC 3
In response to the switching signal from the pair 1, the pair of position sensors 41
The output of one of the position sensors a and 41b can be input as a feedback signal to only one servo that drives the linear motor corresponding to the one position sensor, and the other position of the pair of position sensors 41a and 41b can be input. Since the output of the sensor can be input as a feedback signal to each of the pair of servos 32a and 32b, the pair of linear motors 1
It is possible to control a and 1b in association with each other. As a result, the slide member 1c can be moved smoothly.

【0026】更に、一つの制御軸のための一対のリニア
モータ1a、1bを駆動する駆動ユニット32を備える
ものにおいて、前記一対のリニアモータ1a、1bのう
ち先行傾向にあるリニアモータへの目標偏差は、前記一
対のリニアモータ1a、1bの目標位置指令と該先行傾
向にあるリニアモータに対応する位置センサの帰還信号
とに基づいて求め、前記一対のリニアモーア1a、1b
のうち遅れ傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差
は、前記目標位置指令と該遅れ傾向にあるリニアモータ
に対応する位置センサ及び前記先行傾向にあるリニアモ
ータに対応する位置センサの帰還信号とに基づいて求
め、前記遅れ傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差
を前記先行傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差よ
りも前記一対のリニアモータの送り速度に応じて増加す
るようにしているので、遅れ傾向にあるリニアモータを
先行するリニアモータに追従させるように制御すること
ができる。このため、前記送り速度が変化しても、一つ
の制御軸のための一対のリニアモータ1a、1bの位置
をそろえることができる。
Further, in the one provided with the drive unit 32 for driving the pair of linear motors 1a and 1b for one control shaft, the target deviation to the linear motor having the preceding tendency among the pair of linear motors 1a and 1b. Is obtained based on the target position command of the pair of linear motors 1a and 1b and the feedback signal of the position sensor corresponding to the linear motor having the preceding tendency, and the pair of linear mowers 1a and 1b is obtained.
The target deviation given to the linear motor having the tendency of delay is based on the target position command and the feedback signal of the position sensor corresponding to the linear motor having the tendency of delay and the position sensor corresponding to the linear motor having the tendency of preceding. The target deviation given to the linear motor having the delay tendency is increased in accordance with the feed speed of the pair of linear motors than the target deviation given to the linear motor having the preceding tendency. A linear motor can be controlled so as to follow the preceding linear motor. Therefore, even if the feed speed changes, the positions of the pair of linear motors 1a and 1b for one control shaft can be aligned.

【0027】なお、上記実施の形態において、各駆動ユ
ニット32、35、36には、サーボのCPUを2つ設
けているが、1つのCPUにすることもできる。
In the above embodiment, each drive unit 32, 35, 36 is provided with two servo CPUs, but it is also possible to use one CPU.

【0028】[0028]

【発明の効果】本願の第1の発明に係わるリニアモータ
駆動方法によれば、X軸、Y軸及びZ軸の各スライド部
材の送り運動における動特性の差異があっても、同一構
成の駆動ユニットを使用できる。つまり、各スライド部
材の動特性に特有な駆動ユニットを製造する必要性を排
除できる。このため、特に、本願発明のリニアモータ駆
動方法を採用した工作機械のワークと工具との位置調整
の精度を向上させることができる。更に、第2の発明に
係わるリニアモータ駆動方法によって、上記第1の発明
の効果とともに、一対のリニアモータを相互に関連づけ
て制御することができるため、前記スライド部材の移動
を一層円滑に行うことができる。このため、特に、本願
発明のリニアモータ駆動方法を採用した工作機械のワー
クと工具との位置調整の精度を一層向上させることがで
きる。更に、第3の発明に係わるリニアモータの駆動方
法によれば、遅れ傾向にあるリニアモータを先行するリ
ニアモータに追従するように制御することができるた
め、X軸等の制御軸のための一対のリニアモータの制御
を円滑に行うことができる。このため、特に、本願発明
のリニアモータ駆動方法を採用した工作機械のワークと
工具の位置調整を更に向上させることができる。
According to the linear motor driving method of the first invention of the present application, even if there is a difference in the dynamic characteristics in the feed motion of the X-axis, Y-axis, and Z-axis slide members, the drive having the same structure is performed. Units can be used. In other words, it is possible to eliminate the need to manufacture a drive unit that is unique to the dynamic characteristics of each slide member. Therefore, in particular, it is possible to improve the accuracy of position adjustment between the work and the tool of the machine tool that employs the linear motor driving method of the present invention. Further, by the linear motor driving method according to the second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, a pair of linear motors can be controlled in association with each other, so that the slide member can be moved more smoothly. You can Therefore, in particular, the accuracy of position adjustment between the work and the tool of the machine tool that employs the linear motor driving method of the present invention can be further improved. Further, according to the linear motor driving method of the third aspect of the present invention, the linear motor having a delay tendency can be controlled so as to follow the preceding linear motor. The linear motor can be smoothly controlled. Therefore, particularly, the position adjustment of the work and the tool of the machine tool adopting the linear motor driving method of the present invention can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本願発明が適用される工作機械の概観正面図で
ある。
FIG. 1 is a schematic front view of a machine tool to which the present invention is applied.

【図2】図1に示す工作機械に使用される制御システム
のブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram of a control system used in the machine tool shown in FIG.

【図3】X軸駆動ユニットに入力される帰還信号の3つ
の付与形態を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing three modes of applying feedback signals input to an X-axis drive unit.

【図4】図2のX軸駆動ユニット内のサーボ2のCPU
が実行する処理の概要を示すフローチャートである。
4 is a CPU of the servo 2 in the X-axis drive unit of FIG.
3 is a flowchart showing an outline of processing executed by the.

【図5】図4の続きを示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing a continuation of FIG.

【図6】サーボ2のCPUが図4の目標位置計算ステッ
プにおいて実行する処理の具体的内容を前記帰還信号の
3つの付与形態毎に示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing the specific contents of the processing executed by the CPU of the servo 2 in the target position calculation step of FIG. 4 for each of the three application modes of the feedback signal.

【図7】重み係数テーブルの説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a weighting coefficient table.

【図8】単位微小時間毎に目標位置が指令されることの
説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram of commanding a target position for each unit micro time.

【符号の説明】 1a、1b リニアモータ 1c スライド部材 2a、2b リニアモータ 3a、3b リニアモータ 32 X軸制御ユニット 32a、32b サーボ 32c 分配切換器 35 X軸制御ユニット 36 X軸制御ユニット 41a、41b 位置センサ 42a、42b 位置センサ 43a、43b 位置センサ[Explanation of symbols] 1a, 1b Linear motor 1c slide member 2a, 2b linear motor 3a, 3b linear motor 32 X-axis control unit 32a, 32b servo 32c distribution switch 35 X-axis control unit 36 X-axis control unit 41a, 41b Position sensor 42a, 42b Position sensor 43a, 43b Position sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−297286(JP,A) 特開 平2−261003(JP,A) 特開 平5−83970(JP,A) 特開 平2−114879(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02P 5/00 101 H02P 7/00 101 B23Q 5/28 B23Q 15/00 G05B 19/18 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-6-297286 (JP, A) JP-A-2-261003 (JP, A) JP-A-5-83970 (JP, A) JP-A-2- 114879 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H02P 5/00 101 H02P 7/00 101 B23Q 5/28 B23Q 15/00 G05B 19/18

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 1つのスライド部材の両側を一対のリニ
アモータにて同期駆動する駆動方法において、前記一対のリニアモータのうち一方のリニアモータの位
置を一対の位置センサのうち一方の位置センサにて検出
し、 前記一対のリニアモータのうち他方のリニアモータの位
置を前記一対の位置センサのうち他方の位置センサにて
検出し、 前記一対の 位置センサから前記一対のリニアモータを駆
動する駆動ユニット内の前記一対のリニアモータに対応
する一対のサーボへ与える帰還信号の付与形態を、前記
スライド部材の送り運動における運動特性に応じて切替
手段により変更可能としたことを特徴とするリニアモー
タ駆動方法。
1. A driving method for synchronously driving both sides of one slide member with a pair of linear motors, wherein the position of one linear motor of the pair of linear motors
Position is detected by one of the pair of position sensors
And the other linear motor position of the pair of linear motors
Position with the other position sensor of the pair of position sensors
Detected and drive the pair of linear motors from the pair of position sensors.
It is characterized in that the form of applying the feedback signal to the pair of servos corresponding to the pair of linear motors in the moving drive unit can be changed by the switching means in accordance with the motion characteristics of the feed motion of the slide member. Linear motor driving method.
【請求項2】 前記切替手段が、外部からの切替信号に
応じて、前記一対の位置センサのうち一方の位置センサ
の出力を該一方の位置センサにより位置を検出される前
記一方のリニアモータを駆動する一方のサーボのみに帰
還信号として入力できるとともに、前記一対の位置セン
サのうち他方の位置センサの出力を前記一対のサーボの
各々に帰還信号として入力できることを特徴とする請求
項1記載のリニアモータ駆動方法。
2. Before the switching means detects the position of the output of one position sensor of the pair of position sensors in response to a switching signal from the outside.
The feedback signal can be input to only one servo that drives one linear motor, and the output of the other position sensor of the pair of position sensors can be input to each of the pair of servos as a feedback signal. The linear motor driving method according to claim 1.
【請求項3】 一つの制御軸のための一対のリニアモー
タを駆動する駆動ユニットを備えるものにおいて、 前記一対のリニアモータのうち先行傾向にあるリニアモ
ータへの目標偏差は、前記一対のリニアモータの目標位
置指令と該先行傾向にあるリニアモータに対応する位置
センサの帰還信号とに基づいて求め、 前記一対のリニアモータのうち遅れ傾向にあるリニアモ
ータへ与える目標偏差は、前記目標位置指令と該遅れ傾
向にあるリニアモータに対応する位置センサ及び前記先
行傾向にあるリニアモータに対応する位置センサの帰還
信号とに基づいて求め、 前記遅れ傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差を前
記先行傾向にあるリニアモータへ与える目標偏差よりも
前記一対のリニアモータの送り速度に応じて増加するよ
うにしたことを特徴とするリニアモータ駆動方法。
3. A drive unit for driving a pair of linear motors for one control shaft, wherein a target deviation to a linear motor having a preceding tendency among the pair of linear motors is the linear motor of the pair of linear motors. Of the target position command and the feedback signal of the position sensor corresponding to the linear motor having the preceding tendency, and the target deviation given to the linear motor having the delaying tendency among the pair of linear motors is Based on the position sensor corresponding to the linear motor having the delay tendency and the feedback signal of the position sensor corresponding to the linear motor having the preceding tendency, a target deviation given to the linear motor having the delayed tendency is set to the preceding tendency. The target deviation given to a certain linear motor is increased according to the feed speed of the pair of linear motors. Characteristic linear motor driving method.
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