JP3507308B2 - Method and apparatus for measuring magnetic field of magnetic head - Google Patents

Method and apparatus for measuring magnetic field of magnetic head

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JP3507308B2
JP3507308B2 JP29573297A JP29573297A JP3507308B2 JP 3507308 B2 JP3507308 B2 JP 3507308B2 JP 29573297 A JP29573297 A JP 29573297A JP 29573297 A JP29573297 A JP 29573297A JP 3507308 B2 JP3507308 B2 JP 3507308B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ヘッド
の磁界発生部から得られる磁界の測定に係り、特に高周
波帯において磁気ヘッドから発生する磁界強度、さらに
は磁界波形を高精度に測定できる磁気ヘッドの磁界測定
方法および磁界測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the measurement of a magnetic field obtained from a magnetic field generator of a magnetic head, for example, and in particular to a magnetic field capable of measuring the magnetic field strength generated from the magnetic head in a high frequency band and further the magnetic field waveform with high accuracy. The present invention relates to a magnetic field measuring method for a head and a magnetic field measuring apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ヘッドなどから発生する磁界を測定
する方法には、従来よりホール素子を用いる方法、磁束
検出コイルを用いる方法が一般的に使用され、その他M
R素子やMFMなどの方法がある。図5は、従来の磁界
測定方法を示し、(A)はホール素子による検出方法を
示す回路構成図、(B)は検出コイルによる回路構成図
である。
2. Description of the Related Art As a method for measuring a magnetic field generated from a magnetic head or the like, a method using a Hall element and a method using a magnetic flux detecting coil have been generally used.
There are methods such as R element and MFM. 5A and 5B show a conventional magnetic field measuring method, FIG. 5A is a circuit configuration diagram showing a detection method using a Hall element, and FIG. 5B is a circuit configuration diagram using a detection coil.

【0003】ホール素子による測定方法は、最も一般的
に使用されている方法である。図5(A)に示すホール
素子1の一端に電流Iが流され、この電流Iに直角な方
向から磁束密度Bの磁界を与えられると、ホール効果に
よりホール素子1の他端側に電圧が発生する。この時発
生する起電力Vは、Rhをホール係数、dをホール素子
の厚さとするとV=Rh・B・I/d[v]で示され、
被測定磁界を電圧値に換算して測定できるようになって
いる。また、直流増幅器は交流増幅器に比べ安定性がよ
くないことから、一般的にはホール素子1に流す電流I
が交流定電流発生器2から得られ、被測定磁界が直流で
も、ホール素子1に発生する電圧は電流と同じ周波数の
交流信号となり、その振幅が被測定磁界の大きさと一致
する。この電圧を増幅器3で増幅し、同期整流器4にお
いて交流電流信号で同期検波することにより、磁界の大
きさと極性を知ることができる。被測定磁界が交流の場
合は、磁界が交流電流の周波数で変調を受けることにな
るが、ホール素子1に発生する電圧を増幅し、同期検波
することにより交流磁界の大きさを測定することができ
るものとなっている。
The measuring method using the Hall element is the most commonly used method. When a current I is applied to one end of the Hall element 1 shown in FIG. 5A and a magnetic field having a magnetic flux density B is applied from a direction perpendicular to the current I, a voltage is applied to the other end of the Hall element 1 by the Hall effect. Occur. The electromotive force V generated at this time is represented by V = Rh · B · I / d [v], where Rh is the Hall coefficient and d is the thickness of the Hall element.
The measured magnetic field can be converted into a voltage value for measurement. In addition, since the DC amplifier is less stable than the AC amplifier, the current I flowing through the hall element 1 is generally used.
Is obtained from the AC constant current generator 2, and even if the magnetic field to be measured is DC, the voltage generated in the Hall element 1 becomes an AC signal having the same frequency as the current, and its amplitude matches the magnitude of the magnetic field to be measured. By amplifying this voltage with the amplifier 3 and synchronously detecting it with the alternating current signal in the synchronous rectifier 4, the magnitude and polarity of the magnetic field can be known. When the magnetic field to be measured is an alternating current, the magnetic field is modulated at the frequency of the alternating current. However, by amplifying the voltage generated in the Hall element 1 and performing synchronous detection, the magnitude of the alternating magnetic field can be measured. It is possible.

【0004】一方、図5(B)に示す磁束検出コイルを
用いた方法では、巻数nの検出コイル5が使用され、こ
の検出コイル5に単位時間t内に磁束φが鎖交すると、
電磁誘導の法則により検出コイル5の両端には、V=−
n・dφ/dtの電圧が発生する。この電圧Vを増幅器
6で増幅することにより、磁界の強さに比例した電圧V
を得ることができる。また電磁誘導の法則より、検出コ
イル5に誘起される電圧Vは、磁界の変化する速さ、す
なわち周波数fに比例するため、高周波領域では検出コ
イル5の巻数nを低減できるものとなっている。
On the other hand, in the method using the magnetic flux detecting coil shown in FIG. 5B, the detecting coil 5 having the number of turns n is used, and when the detecting coil 5 is interlinked with the magnetic flux φ within a unit time t,
According to the law of electromagnetic induction, V = − is applied to both ends of the detection coil 5.
A voltage of n · dφ / dt is generated. By amplifying this voltage V by the amplifier 6, the voltage V proportional to the strength of the magnetic field
Can be obtained. Further, according to the law of electromagnetic induction, the voltage V induced in the detection coil 5 is proportional to the changing speed of the magnetic field, that is, the frequency f, so that the number of turns n of the detection coil 5 can be reduced in the high frequency region. .

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た各方法で磁気ヘッドの磁界強度を測定しようとした場
合、以下に示すような問題がある。上記ホール素子1を
使用した方法では、測定可能な周波数帯が数KHzと低
いものであるため、数10MHz帯で駆動される最近の
磁気ヘッドに対応できないという問題がある。
However, when attempting to measure the magnetic field strength of the magnetic head by the above-mentioned methods, there are the following problems. Since the measurable frequency band is as low as several KHz, the method using the Hall element 1 has a problem that it cannot be applied to a recent magnetic head driven in the several tens MHz band.

【0006】また、上記検出コイル5を用いた方法で
は、理論的に高周波帯で有効な測定が可能である。しか
しながら、検出コイル5を用いた上記のような測定装置
および方法では、高周波帯になればなるほど放射ノイズ
の影響を受けやすい。例えば10MHz以上の周波数帯
では、磁界を測定しているのか、あるいはノイズを測定
しているのか解らなくなるほど放射ノイズの影響が大き
いことが一般的に知られている。すなわち、磁気ヘッド
の駆動周波数帯と放射ノイズの周波数帯とは、共に数1
0MHzの周波数帯で一致するため、最も検出したい数
10MHz帯における磁界強度を高精度で測定すること
ができないという問題があった。
Further, the method using the detection coil 5 theoretically enables effective measurement in a high frequency band. However, in the above-described measuring device and method using the detection coil 5, the higher the frequency band is, the more susceptible it is to radiation noise. For example, in the frequency band of 10 MHz or more, it is generally known that the influence of radiation noise is so great that it becomes difficult to know whether the magnetic field is being measured or the noise is being measured. That is, the drive frequency band of the magnetic head and the frequency band of the radiation noise are both equal to
Since they coincide with each other in the frequency band of 0 MHz, there is a problem that the magnetic field strength in the tens of MHz band that is most desired to be detected cannot be measured with high accuracy.

【0007】特に、検出コイルに1ターンなどの巻数の
極めて少ないコイルを使用した場合には、高周波帯にな
るほど検出感度が向上され、僅な磁束の変化を検出でき
るものとなるが、これに伴って磁気ヘッドの駆動コイル
などからの放射ノイズも相対的に大きな値で検出されて
しまうため、検出コイル5からの磁界出力は全体的にノ
イズの影響が大きいものとなる。
In particular, when a coil with a very small number of turns such as one turn is used as the detection coil, the detection sensitivity is improved in the higher frequency band and a slight change in magnetic flux can be detected. Since radiation noise from the drive coil of the magnetic head is also detected with a relatively large value, the magnetic field output from the detection coil 5 is largely affected by noise.

【0008】また、フィルタ等を使用してもノイズを除
去することも考えられるが、磁界出力の信号とノイズの
出力信号が同様の周波帯であるため、ノイズのみを正確
に除去することは困難である。よって、上記従来の測定
装置および測定方法では、高精度に磁界強度を測定する
ことができないものであった。さらに検出コイルを用い
た測定方法では、微分波形が得られることになるため、
磁気ヘッドの磁界発生部から発せられる磁界の変化状態
を適切に把握することができない。
Although it is possible to remove the noise by using a filter or the like, it is difficult to accurately remove only the noise because the magnetic field output signal and the noise output signal are in the same frequency band. Is. Therefore, the above-mentioned conventional measuring device and measuring method cannot measure the magnetic field strength with high accuracy. Furthermore, in the measurement method using the detection coil, since a differential waveform is obtained,
It is not possible to properly grasp the change state of the magnetic field generated from the magnetic field generation unit of the magnetic head.

【0009】本発明は上記従来の課題を解決するための
ものであり、高周波帯における磁界強度さらには磁界波
形を高精度に測定できる磁気ヘッドの磁界測定方法およ
び磁界測定装置を提供することを目的としている。
The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic field measuring method and a magnetic field measuring apparatus for a magnetic head capable of measuring the magnetic field strength in the high frequency band and further the magnetic field waveform with high accuracy. I am trying.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの磁
界測定方法は、以下の工程を有することを特徴とするも
のである。 (a) 磁気ヘッドに交流電流を与え、磁気検出手段で
1の位置における磁気ヘッドからの磁界出力を検出して
第1の検出値とする工程、 (b)磁気ヘッドに(a)工程と同じ交流電流を与えた
まま、前記磁気検出手段を前記第1の位置に対し前記磁
気ヘッドから徐々に離間させ、検出磁界出力が一定レベ
ルに収束したときの前記磁気検出手段の位置を第2の位
置とするとともに、この位置での磁気ヘッドからの磁界
出力を第2の検出値とする工程、 (c)前記 第1と第2の検出値の差をとる工程。
The magnetic head magnetic field measuring method of the present invention is characterized by including the following steps.
Of. (A) provide an alternating current to the magnetic head, the magnetic sensing means
The step of the first detection value by detecting the magnetic field output of the magnetic heads do we in one position, to give the same alternating current (a) and step (b) the magnetic head
As it is, the magnetism detecting means is set to the magnetism with respect to the first position.
Air head so that the detected magnetic field output is at a constant level.
The position of the magnetic detection means when it converges to the second position.
And the magnetic field from the magnetic head at this position
A step of setting an output as a second detection value, and (c) a step of obtaining a difference between the first and second detection values .

【0011】[0011]

【0012】すなわち、本発明では、磁気検出手段で少
なくとも2回磁界の測定を行うが、この2回の測定にお
いて、検出磁界強度を異ならせ、且つ同じ程度のノイズ
を検出できるようにして、2つの検出値の差をとること
により、前記ノイズを相殺するものである。したがっ
て、第2の検出値を得るときに、磁界検出手段を磁界発
生部から十分に離し、第2の検出値としてほぼノイズの
みを検出することが好ましい。
That is, in the present invention, the magnetic field is measured at least twice by the magnetic detection means. In the two measurements, the detected magnetic field strengths are made different and the same level of noise can be detected. The noise is canceled by taking the difference between the two detection values. Therefore, when obtaining the second detection value, it is preferable to sufficiently separate the magnetic field detection means from the magnetic field generation unit so that only the noise is detected as the second detection value.

【0013】上記において、磁気検出手段は、磁気抵抗
効果素子または1ターン以上の検出コイルである。
In the above, the magnetic detection means is a magnetoresistive effect element or a detection coil having one or more turns.

【0014】これらの素子を用いることにより、例えば
MHz帯域のきわめて高い周波数の磁界の検出が可能で
ある。
By using these elements, it is possible to detect a magnetic field having an extremely high frequency in the MHz band, for example.

【0015】また、磁気検出手段を検出コイルとし、こ
の検出コイルでの検出出力を積分して、磁界発生部から
の磁界波形が検出されるものとすると、高い周波数帯域
の磁界を検出できるとともに、磁界波形の検出が可能に
なる。すなわち、従来不可能とされていた、MHz帯域
などの高い周波数の発生磁界の波形を高精度に検出でき
る。
If the magnetic detection means is a detection coil and the detection output of this detection coil is integrated to detect the magnetic field waveform from the magnetic field generator, a magnetic field in a high frequency band can be detected and The magnetic field waveform can be detected. That is, it is possible to detect with high accuracy the waveform of the magnetic field generated at a high frequency such as the MHz band, which has been impossible in the past.

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】また、本発明の磁界測定装置は、磁気ヘッ
ドの設置部と、前記磁気ヘッドに交流電流を与える駆動
回路と、磁気ヘッドからの磁界出力を検出する1ターン
以上の検出コイルと、前記検出コイルを磁気ヘッドに
して第1の位置および前記第1の位置よりも磁気ヘッ
ドから離れており、磁気ヘッドからの検出磁界出力が一
定レベルに収束する第2の位置とに対向させるコイル支
持部と、前記第1の位置で前記検出コイルにより検出し
た磁気ヘッドからの磁界出力の大きさを示す第1の検出
値と前記第2の位置で前記検出コイルにより検出した磁
気ヘッドからの磁界出力の大きさを示す第2の検出値と
の差をとるとともに前記検出値を積分する解析回路と、
が設けられていることを特徴とするものである。
Further, the magnetic field measuring apparatus of the present invention comprises a magnetic head installation portion, a drive circuit for applying an alternating current to the magnetic head, a detection coil having one or more turns for detecting a magnetic field output from the magnetic head , Pair the detection coil with the magnetic head .
The first position by, and the first magnetic heads than the position
The magnetic field output from the magnetic head is
A coil support portion facing a second position where it converges to a constant level, and detection by the detection coil at the first position.
Magnetic detected by the detection coil in the first detection value indicative of the magnitude and the second position of the magnetic field output from the magnetic head
An analysis circuit that takes a difference from a second detection value indicating the magnitude of the magnetic field output from the air head and integrates the detection value;
Is provided.

【0019】[0019]

【0020】本発明は、ファラデーの電磁誘導の法則を
基本とするものである。すなわち、磁気ヘッドの駆動周
波数が高くなればなるほど、磁気ヘッドから発生される
磁束の変化率(dφ/dt)が高くなる。よって、検出
コイル内を鎖交する全磁束の変化率も高くなるため、こ
れに起因して発生する起電力も大きくなる。また、この
起電力は検出コイルの巻数に比例するため、極めて高い
周波数帯ではコイルの巻き数が1ターンであっても十分
な磁界出力を得ることが可能である。
The present invention is based on Faraday's law of electromagnetic induction. That is, the higher the drive frequency of the magnetic head, the higher the rate of change (dφ / dt) of the magnetic flux generated from the magnetic head. Therefore, the rate of change of the total magnetic flux interlinking in the detection coil also increases, and the electromotive force generated due to this also increases. Further, since this electromotive force is proportional to the number of turns of the detection coil, it is possible to obtain a sufficient magnetic field output even when the number of turns of the coil is 1 in an extremely high frequency band.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を参照
して説明する。図1は、本発明における磁気ヘッドの磁
界測定装置を示す回路構成図である。図1に示す磁界測
定装置では、発振器11に増幅器12が接続され、この
増幅器12に被測定磁界である磁気ヘッドHが接続され
ている。発振器11と増幅器12とで、磁気ヘッドHに
交流磁界を与える駆動回路が構成されている。磁気ヘッ
ドHは例えば光磁気ディスク装置用であり、スライダに
コアが埋設されて、コアの対向ギャップ部が磁界発生部
とされているものであり、磁気ヘッドHは所定の保持治
具(接地部)に前記スライダを介して固定保持されてい
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a circuit diagram showing a magnetic head magnetic field measuring apparatus according to the present invention. In the magnetic field measuring apparatus shown in FIG. 1, an oscillator 12 is connected to an amplifier 12, and a magnetic head H which is a magnetic field to be measured is connected to the amplifier 12. The oscillator 11 and the amplifier 12 constitute a drive circuit that gives an AC magnetic field to the magnetic head H. The magnetic head H is, for example, for a magneto-optical disk device, in which a core is embedded in a slider and the facing gap part of the core serves as a magnetic field generating part. The magnetic head H is a predetermined holding jig (ground part). ) Is fixedly held via the slider.

【0022】磁気ヘッドHの近傍には、磁界強度を測定
する磁気検出手段として検出コイル13が設けられてい
る。この検出コイル13は、コイル支持部に支持されて
いる。このコイル支持部は、同じ距離だけ2段階に移動
するマニュピレータなどであり、このコイル支持部の移
動動作により、検出コイル13は、磁気ヘッドHの磁界
発生部にきわめて接近する位置と、その位置からわずか
に離れる位置とへ移動させられる。前記検出コイル13
の出力端子は波形記録手段14に接続されている。ま
た、増幅器12の出力が電流プローブ15で取得され、
波形記録手段14に入力されている。そして、この波形
記録手段14には解析手段16が接続されている。
A detection coil 13 is provided near the magnetic head H as a magnetic detection means for measuring the magnetic field strength. The detection coil 13 is supported by the coil supporting portion. The coil support portion is a manipulator or the like that moves in the same distance in two steps. Due to the movement operation of the coil support portion, the detection coil 13 is extremely close to the magnetic field generation portion of the magnetic head H, and from that position. It can be moved to a slightly separated position. The detection coil 13
The output terminal of is connected to the waveform recording means 14. In addition, the output of the amplifier 12 is acquired by the current probe 15,
It is input to the waveform recording means 14. An analyzing means 16 is connected to the waveform recording means 14.

【0023】発振器11は、例えばパルスジェネレータ
ーなどであり、DCから数10MHzまでの方形波を出
力できるものが使用される。磁気ヘッドHは、発振器1
1からの出力信号を増幅器12で増幅された駆動信号を
受けて駆動される。あるいは発振器11の駆動信号が所
定の駆動電流を供給可能である場合には、発振器11か
らの出力信号により直接磁気ヘッドHを駆動するもので
あってもよい。電流プローブ15で取得された駆動信号
の電流波形は、検出コイル13からの磁界出力信号のト
リガ信号として使用される。よって、検出コイル13の
磁界出力が微弱な信号であっても、確実に同期が取れる
ようになる。なお、増幅器12の電流出力の代わりに、
例えば発振器11の出力信号を直接波形記録手段14に
入力してもよい。
The oscillator 11 is, for example, a pulse generator or the like, and one that can output a square wave from DC to several tens MHz is used. The magnetic head H includes an oscillator 1
The output signal from 1 is driven by receiving the drive signal amplified by the amplifier 12. Alternatively, when the drive signal of the oscillator 11 can supply a predetermined drive current, the magnetic head H may be directly driven by the output signal from the oscillator 11. The current waveform of the drive signal acquired by the current probe 15 is used as the trigger signal of the magnetic field output signal from the detection coil 13. Therefore, even if the magnetic field output of the detection coil 13 is a weak signal, the synchronization can be reliably achieved. In addition, instead of the current output of the amplifier 12,
For example, the output signal of the oscillator 11 may be directly input to the waveform recording means 14.

【0024】図1では、検出コイル13の磁界出力が直
接波形記録手段14に入力されている。波形記録手段1
4は、例えばディジタイジング・オシロスコープやディ
ジタルメモリなどが使用される。波形記録手段14がデ
ィジタイジング・オシロスコープである場合には、表示
画面にディジタル処理後の検出コイル13の磁界出力波
形(微分波形)および電流プローブ15の電流波形が直
接表示される。ただし、検出コイル13で取得される磁
界出力波形は、上述したV=−n・dφ/dtにより表
わされる微分波形を電圧値に換算したものである。また
波形記録手段14がディジタルメモリである場合には、
波形記録手段14内にディジタル処理後の検出コイル1
3の磁界出力波形(微分波形)および駆動電流の波形デ
ータが一時的に格納される。
In FIG. 1, the magnetic field output of the detection coil 13 is directly input to the waveform recording means 14. Waveform recording means 1
4, a digitizing oscilloscope, a digital memory, or the like is used. When the waveform recording means 14 is a digitizing oscilloscope, the magnetic field output waveform (differential waveform) of the detection coil 13 and the current waveform of the current probe 15 after digital processing are directly displayed on the display screen. However, the magnetic field output waveform acquired by the detection coil 13 is the differential value represented by V = −n · dφ / dt described above converted into a voltage value. When the waveform recording means 14 is a digital memory,
Detection coil 1 after digital processing in waveform recording means 14
3, the magnetic field output waveform (differential waveform) and the drive current waveform data are temporarily stored.

【0025】波形記録手段14に記録された検出コイル
13の磁界出力のデータは、解析手段(解析回路)16
に取り込まれ解析される。解析手段16は、例えばコン
ピュータから構成されており、コンピュータ内に組み込
まれた解析ソフトウエアにより、各種の解析が可能とな
る。例えば、波形記録手段14内に格納されている検出
コイル13の磁界出力のデータを取り込み、解析ソフト
ウエアにより積分処理がなされた後の磁界強度を示す波
形がコンピュータ上の表示装置に表示できるようになっ
ている。
The data of the magnetic field output of the detection coil 13 recorded in the waveform recording means 14 is used as the analyzing means (analyzing circuit) 16
Is taken in and analyzed. The analysis unit 16 is composed of, for example, a computer, and various kinds of analyzes can be performed by analysis software installed in the computer. For example, the data of the magnetic field output of the detection coil 13 stored in the waveform recording means 14 is fetched so that the waveform showing the magnetic field strength after the integration processing by the analysis software can be displayed on the display device on the computer. Has become.

【0026】[0026]

【実施例】以下、本発明における磁界測定装置を用いた
磁界測定方法について具体的に説明する。なお、以下に
示す実施例では、線径15μmの極細導線を1ターン巻
いてガラス基板に接着し、その表面に厚さ20μmの保
護シートが被せられ、コイル13の内径が75μm、保
護シート表面からコイルの中心までの実効距離が30μ
mに形成した検出コイル13を磁気検出手段として使用
したものである。
EXAMPLES A magnetic field measuring method using the magnetic field measuring apparatus according to the present invention will be specifically described below. In the examples described below, a fine conductor wire having a wire diameter of 15 μm is wound one turn and adhered to a glass substrate, a surface of which is covered with a protective sheet having a thickness of 20 μm, and an inner diameter of the coil 13 is 75 μm. Effective distance to the center of the coil is 30μ
The detection coil 13 formed in m is used as magnetic detection means.

【0027】図2(A)は検出コイルの磁界出力を示
し、符号は検出コイルを磁気ヘッドに接近させた状態
(第1の位置)における第1の磁界出力(第1の検出
値)の波形図、符号は検出コイルを磁気ヘッドから離
間させた状態(第2の位置)での第2の磁界出力(第2
の検出値)の波形図、図2(B)は(A)の第1の磁界
出力から第2の磁界出力を差し引いた波形図であ
る。
FIG. 2A shows the magnetic field output of the detection coil, and the reference numeral represents the waveform of the first magnetic field output (first detection value) when the detection coil is brought close to the magnetic head (first position). In the figure, the reference numeral indicates the second magnetic field output (second position) when the detection coil is separated from the magnetic head (second position).
2B is a waveform diagram in which the second magnetic field output is subtracted from the first magnetic field output in FIG. 2A.

【0028】上述の検出コイル13を磁気ヘッドHに近
接させると、図2(A)の第1の磁界出力に示すよう
な出力信号が検出される。また検出コイル13を磁気ヘ
ッドから徐々に離間させると、その磁界出力も徐々に小
さくなり、ほぼ一定のレベルに収束する。この一定レベ
ルで測定される磁界出力は、磁気ヘッドHのコイルなど
から発生する放射ノイズと推測され、磁気ヘッドHのみ
を完全にシールドすることは不可能であるため、必ず磁
界出力に重畳されて検出される。また放射ノイズは、磁
界出力が磁気ヘッドHの周囲に極めて近接的に発生する
のに比べ、より遠隔的に生じることが確認できる。よっ
て、磁気ヘッドHから検出コイル13を徐々に離間さ
せ、一定のレベルとなる位置で磁界出力を測定すること
により、放射ノイズを検出することができる。なお、本
実施例での磁気ヘッドHの磁界発生部と磁気検出手段の
検出コイルとの距離(スペーシング)は、第1の位置で
0.03mm、第2の位置で2.3mmとした。
When the above-mentioned detection coil 13 is brought close to the magnetic head H, an output signal as shown in the first magnetic field output of FIG. 2A is detected. Further, when the detection coil 13 is gradually separated from the magnetic head, the magnetic field output also gradually decreases and converges to a substantially constant level. The magnetic field output measured at this constant level is presumed to be radiation noise generated from the coil of the magnetic head H, and it is impossible to completely shield only the magnetic head H. To be detected. Further, it can be confirmed that the radiation noise is generated more remotely than the magnetic field output is generated extremely close to the periphery of the magnetic head H. Therefore, the radiation noise can be detected by gradually separating the detection coil 13 from the magnetic head H and measuring the magnetic field output at a position where the level is constant. The distance (spacing) between the magnetic field generator of the magnetic head H and the detection coil of the magnetic detection means in this embodiment was 0.03 mm at the first position and 2.3 mm at the second position.

【0029】したがって、検出コイル13を接近させた
状態で検出した第1の磁界出力から放射ノイズの第2
の磁界出力を差し引くことにより、放射ノイズを排除
した磁気ヘッド自身の磁界出力を求めることができる。
このように差分のみを求めたのが図2(B)に示す磁界
出力波形(微分波形)である。なお、検出コイル13で
取得される第1の磁界出力および第2の磁界出力
は、上述の波形記録手段においてディジタルデータとし
て記録されるため、これらのデータを解析手段に取り込
み各時間ごとの差分を求めることにより、放射ノイズを
除去することができる。よって、高周波帯に至るまで磁
気ヘッドの磁界出力(微分波形)を高精度で取得するこ
とができる。また後述するように、この磁界出力を積分
することにより、磁界強度を得ることが可能である。
Therefore, from the first magnetic field output detected in the state where the detection coil 13 is approached, the second emission noise is detected.
By subtracting the magnetic field output of, the magnetic field output of the magnetic head itself excluding the radiation noise can be obtained.
Thus, only the difference is obtained is the magnetic field output waveform (differential waveform) shown in FIG. Since the first magnetic field output and the second magnetic field output acquired by the detection coil 13 are recorded as digital data in the above-mentioned waveform recording means, these data are taken into the analysis means and the difference for each time is calculated. By determining, the radiation noise can be removed. Therefore, the magnetic field output (differential waveform) of the magnetic head can be acquired with high accuracy up to the high frequency band. Further, as will be described later, it is possible to obtain the magnetic field strength by integrating this magnetic field output.

【0030】図3および図4は、それぞれ駆動周波数が
5MHzの場合と30MHzの場合における解析結果の
一例を示し、共に(A)は駆動電流波形、(B)は正極
性における磁界強度波形、(C)は逆極性における磁界
強度波形である。この測定では、磁気ヘッドの実際の駆
動信号と同様とするため、発振器11から方形波を出力
させており、図3および図4の(A)は、電流プローブ
で検出される発振器11又は増幅器12の電流波形を示
している。ただし、図4(A)に示すように周波数が高
くなると立上りの鈍い部分が顕著に現れ、方形波が維持
されていない。
FIGS. 3 and 4 show examples of the analysis results when the driving frequency is 5 MHz and 30 MHz, respectively, in which (A) is the driving current waveform, (B) is the magnetic field strength waveform in the positive polarity, C) is a magnetic field strength waveform in reverse polarity. In this measurement, since it is similar to the actual drive signal of the magnetic head, a square wave is output from the oscillator 11, and the oscillator 11 or the amplifier 12 detected by the current probe is shown in FIGS. The current waveform of is shown. However, as shown in FIG. 4 (A), when the frequency becomes high, a blunt rising portion appears remarkably, and the square wave is not maintained.

【0031】一方(B)および(C)は検出コイルで検
出された磁界波形から上述の方法により放射ノイズを除
去し、これを積分して磁界強度を求めたものである。図
3、図4の(B)および(C)の磁界強度出力は、共に
磁気ヘッドHの入力端子に接続される増幅器12の極性
を換えた場合の磁界強度波形をそれぞれ示している。な
お、(B)および(C)に示す磁界波形図は、時間的な
細かな変動を除去するため、予め複数回取得して平均化
したデータ(averaging)をディジタルオシロで取り込
んだものである。本来、磁気ヘッドHの入力端子と増幅
器12の出力端子の正・逆の極性を入れ換えて測定して
も、同様の磁界強度が測定されるはずである。
On the other hand, (B) and (C) are obtained by removing the radiation noise from the magnetic field waveform detected by the detection coil by the above-mentioned method and integrating it to obtain the magnetic field strength. The magnetic field strength outputs in FIGS. 3 and 4B respectively show magnetic field strength waveforms when the polarity of the amplifier 12 connected to the input terminal of the magnetic head H is changed. The magnetic field waveform charts shown in (B) and (C) are obtained by digitally capturing data (averaging) obtained in advance and averaged a plurality of times in order to remove minute fluctuations with time. Originally, the same magnetic field strength should be measured even if the polarities of the input terminal of the magnetic head H and the output terminal of the amplifier 12 are reversed.

【0032】しかしながら、本実施例では極性が異なる
だけで磁界強度波形に違いが測定された。この原因とし
ては、発振器11又は増幅器12のアース回りに起因す
るものと考えられる。このような場合には、例えば正極
および逆極の双方におけるデータを取得しこれを平均化
することにより、精度の高い磁界強度波形を得ることが
できる。すなわち、正極および逆極の測定値を波形記録
手段14にそれぞれ記録し、これらのデータを解析手段
に取り込んで平均化することにより、より精度の高い磁
界強度波形を得ることが可能である。
However, in this embodiment, the difference in the magnetic field strength waveform was measured only by the different polarities. It is considered that this is due to the earth around the oscillator 11 or the amplifier 12. In such a case, a highly accurate magnetic field strength waveform can be obtained by, for example, acquiring data for both the positive pole and the reverse pole and averaging the data. That is, it is possible to obtain a more accurate magnetic field strength waveform by recording the measured values of the positive pole and the reverse pole in the waveform recording means 14, respectively, and taking these data into the analyzing means and averaging them.

【0033】なお、上記に図1おいて検出コイル13の
出力端子と波形記録手段14の間に駆動周波数に応答可
能な外付けの積分器を介装させると、ディジタルオシロ
スコープの表示画面に直接磁界波形を表示することがで
き、又はディジタルメモリでは磁界波形を直接取得する
ことが可能である。よって、解析手段16内における積
分処理を不要とすることができる。また、本発明におけ
る磁気検出手段は1ターンコイルに限られるものではな
く、例えばMR素子等を使用することも可能である。但
し、MR素子の出力は既に積分後の磁界強度そのもので
あるため、解析装置における積分処理は不要となる。
If an external integrator capable of responding to the driving frequency is provided between the output terminal of the detection coil 13 and the waveform recording means 14 in FIG. 1, the magnetic field is directly displayed on the display screen of the digital oscilloscope. The waveform can be displayed, or the magnetic field waveform can be obtained directly in digital memory. Therefore, it is possible to eliminate the need for integration processing in the analysis means 16. Further, the magnetic detection means in the present invention is not limited to the one-turn coil, and it is possible to use, for example, an MR element or the like. However, since the output of the MR element is already the magnetic field strength itself after the integration, the integration processing in the analysis device becomes unnecessary.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、数10M
Hz帯の高い周波数帯まで放射ノイズの影響の少ない磁
気ヘッドの磁界強度特性を測定することができる。
According to the present invention described in detail above, several tens of millions
It is possible to measure the magnetic field strength characteristic of the magnetic head that is less affected by radiation noise up to the high frequency band of Hz.

【0035】また、正極で測定した磁界強度と逆極で磁
界強度とを平均化することにより、より高精度の磁界強
度を測定することができる。
Further, by averaging the magnetic field strength measured at the positive pole and the magnetic field strength at the opposite pole, it is possible to measure the magnetic field strength with higher accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明における磁気ヘッドの磁界測定装置を示
す回路構成図、
FIG. 1 is a circuit configuration diagram showing a magnetic head magnetic field measuring apparatus according to the present invention;

【図2】(A)は検出コイルの磁界出力波形、(B)は
近接状態と離間状態との差分の磁界出力波形、
2A is a magnetic field output waveform of a detection coil, FIG. 2B is a magnetic field output waveform of a difference between a close state and a separated state, FIG.

【図3】磁気ヘッドの駆動周波数が5MHzの場合にお
ける解析結果を示し、(A)は駆動電流波形、(B)は
正極性の磁界強度波形、(C)は逆極性の磁界強度波
形、
3A and 3B show analysis results when the drive frequency of the magnetic head is 5 MHz, where (A) is a drive current waveform, (B) is a positive magnetic field strength waveform, and (C) is a reverse polarity magnetic field strength waveform.

【図4】磁気ヘッドの駆動周波数が30MHzの場合に
おける解析結果を示し、(A)は駆動電流波形、(B)
は正極性の磁界強度波形、(C)は逆極性の磁界強度波
形、
FIG. 4 shows analysis results when the magnetic head drive frequency is 30 MHz, (A) shows a drive current waveform, and (B) shows
Is a positive magnetic field strength waveform, (C) is a reverse polarity magnetic field strength waveform,

【図5】従来の磁界測定方法を示し、(A)はホール素
子による検出方法を示す回路構成図、(B)は検出コイ
ルによる回路構成図、
5A and 5B show a conventional magnetic field measurement method, FIG. 5A is a circuit configuration diagram showing a detection method using a Hall element, and FIG. 5B is a circuit configuration diagram using a detection coil.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 発振器 12 増幅器 13 検出コイル 14 波形記録手段 15 電流プローブ 16 解析手段 H 磁気ヘッド 11 oscillator 12 amplifier 13 Detection coil 14 Waveform recording means 15 Current probe 16 Analytical means H magnetic head

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/455 G01R 29/00 - 29/26 G01R 33/00 - 33/26 Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 5/455 G01R 29/00-29/26 G01R 33/00-33/26

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 以下の工程を有する磁気ヘッドの磁界測
定方法。 (a) 磁気ヘッドに交流電流を与え、磁気検出手段で
1の位置における磁気ヘッドからの磁界出力を検出して
第1の検出値とする工程、 (b)磁気ヘッドに(a)工程と同じ交流電流を与えた
まま、前記磁気検出手段を前記第1の位置に対し前記磁
気ヘッドから徐々に離間させ、検出磁界出力が一定レベ
ルに収束したときの前記磁気検出手段の位置を第2の位
置とするとともに、この位置での磁気ヘッドからの磁界
出力を第2の検出値とする工程、 (c)前記 第1と第2の検出値の差をとる工程。
1. A magnetic field measurement of a magnetic head having the following steps :
Fixed method. (A) provide an alternating current to the magnetic head, the magnetic sensing means
The step of the first detection value by detecting the magnetic field output of the magnetic heads do we in one position, to give the same alternating current (a) and step (b) the magnetic head
As it is, the magnetism detecting means is set to the magnetism with respect to the first position.
Air head so that the detected magnetic field output is at a constant level.
The position of the magnetic detection means when it converges to the second position.
And the magnetic field from the magnetic head at this position
A step of setting an output as a second detection value, and (c) a step of obtaining a difference between the first and second detection values .
【請求項2】 前記磁気検出手段は、磁気抵抗効果素子
または1ターン以上の検出コイルである請求項1記載の
磁気ヘッドの磁界測定方法。
Wherein said magnetic detecting means, the magnetic field measurement method of claim 1 Symbol placement of the magnetic head is a magnetoresistive effect element or one or more turns of the detection coil.
【請求項3】 前記磁気検出手段が検出コイルであり、
この検出コイルでの検出出力を積分して、磁界発生部か
らの磁界波形が検出される請求項記載の磁気ヘッドの
磁界測定方法。
Wherein the magnetic detection means is a detection coil,
3. The magnetic field measuring method for a magnetic head according to claim 2 , wherein the detection output of the detection coil is integrated to detect the magnetic field waveform from the magnetic field generator.
【請求項4】 磁気ヘッドの設置部と、前記磁気ヘッド
に交流電流を与える駆動回路と、磁気ヘッドからの磁界
出力を検出する1ターン以上の検出コイルと、前記検出
コイルを磁気ヘッドに対して第1の位置および前記第
1の位置よりも磁気ヘッドから離れており、磁気ヘッド
からの検出磁界出力が一定レベルに収束する第2の位置
とに対向させるコイル支持部と、前記第1の位置で前記
検出コイルにより検出した磁気ヘッドからの磁界出力の
大きさを示す第1の検出値と前記第2の位置で前記検出
コイルにより検出した磁気ヘッドからの磁界出力の大き
さを示す第2の検出値との差をとるとともに前記検出値
を積分する解析回路と、が設けられていることを特徴と
する磁気ヘッドの磁界測定装置。
4. A magnetic head installation portion, a drive circuit for applying an alternating current to the magnetic head, and a magnetic field from the magnetic head.
A detection coil of one turn or more for detecting the output, and the detection
The first position against the coil in a magnetic head, and the first
The magnetic head is farther from the position 1 than the magnetic head.
Of the magnetic field output from the magnetic head detected by the detection coil at the first position, facing the second position where the detected magnetic field output from the device converges to a constant level .
The size of the magnetic field output from the magnetic head detected by the first detection value and the second of the detection coil at a position indicating the magnitude
A magnetic field measuring apparatus for a magnetic head, which is provided with an analysis circuit for taking a difference from a second detected value indicating the height and integrating the detected value.
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