JP3505346B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学式変位測定装
置に関する。詳しくは、相対移動可能な光学格子を有
し、その光学格子からの透過光または反射光を所定処理
して相対移動変位量を測定する光学式変位測定装置に関
する。 【０００２】 【背景技術】物体間の相対移動変位量を検出して物理的
諸元（長さ、圧力、重量）を求めることが行われてい
る。その手段の１つとして、光学式変位測定装置が広く
利用されている。 【０００３】従来、この種の光学式変位測定装置とし
て、図４に示す構造が知られている。これは、長手方向
に沿って光学格子１を有するメインスケール２と、これ
と対応する参照光学格子３Ａ，３Ｂを有するインデック
ススケール４とを、相対移動する２つの物体（たとえ
ば、静止体と可動体）のそれぞれに取り付け、この両ス
ケール２，４を挟んで光源５および光電変換素子６Ａ，
６Ｂをインデックススケール４と一体的に配設し、さら
に、両光電変換素子６Ａ，６Ｂからの出力信号を処理す
るための増幅回路、波形成形回路、分割回路、方向弁別
回路などを選択的に含む信号処理回路７、可逆計数カウ
ンタ８およびデジタル表示器９などを設けた構造であ
る。 【０００４】従って、光源５および光電変換素子６Ａ，
６Ｂを有するインデックススケール４とメインスケール
２とを矢印Ｘ方向へ相対移動させると、両光学格子１，
３Ａ，３Ｂを透過した透過光が光電変換素子６Ａ，６Ｂ
で電気信号に変換され、その出力信号が信号処理回路７
で処理される。たとえば、相対移動変位量１μｍに対し
て１パルスのデジタル信号として処理される。その後、
そのパルス信号が可逆計数カウンタ８で計数され、その
値がデジタル表示器９に両スケール２、４の変位量とし
て表示される。なお、２つの光電変換素子６Ａ，６Ｂを
設けてあるのは、方向弁別機能を発揮させるためのもの
であり、また、分割方式によっては分解能を倍加向上さ
せるのに利用するためである。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の光学
式変位測定装置は、次のような欠点があった。すなわ
ち、光電変換素子６Ａ，６Ｂからの出力信号は、たとえ
ば、光学格子１，３Ａ，３Ｂのスリット幅を１０μｍ、
ピッチを２０μｍとすると、２０μｍ相当長を一周期と
する略正弦波形状のサイクリック信号となる。従って、
高精度化、高速化を図るためには、光学格子１，３Ａ，
３Ｂのスリット幅およびピッチをより微細化し、出力信
号周波数を高くする必要がある。 【０００６】しかし、このようにして高精度化、高速化
の要求に対して出力信号周波数を高くしていくと、耐ノ
イズ性が低下する。その結果、たとえば、測定中にノイ
ズなどに基づく計数誤差が１度でもあると、その測定工
程中におけるデジタル表示器への表示は意味のないもの
となり、製品不良をまぬかれないという致命的欠点につ
ながる。つまり、これらの２つの要求は相反するもの
で、高精度化、高速化の要求に対して出力信号周波数を
高くすると耐ノイズ性が低下し、耐ノイズ性を上げよう
とすると出力信号周波数を高くできない。 【０００７】本発明の目的は、このような従来の欠点を
解消し、高精度化、高速化の要求を維持しつつ、耐ノイ
ズ性を向上させることができる光学式変位測定装置を提
供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明の変位測定装置
は、静止体に対して可動体の移動変位量を測定する光学
式変位測定装置において、前記静止体に固定されかつ長
手方向に沿って光学格子を有するメインスケールと、前
記可動体に設けられかつ前記メインスケールの光学格子
に対応する参照光学格子を有するインデックススケール
と、この両スケールに光を照射する光源と、前記スケー
ルを透過した透過光または反射光を受光して電気信号に
変換する光電変換手段と、この光電変換手段にケーブル
を介して接続され光電変換手段からの信号を処理する信
号処理手段と、この信号処理手段と前記光電変換手段と
の間で前記ケーブルの周囲に沿って配設されたフェライ
トコアとを備え、前記静止体は、箱状の本体ケースを含
み構成され、前記可動体は、前記本体ケースの長手方向
に沿って移動可能に設けられかつ内部に前記信号処理手
段を収納配置した第１スライダ部と、前記本体ケース内
において前記インデックススケール、光源および光電変
換手段を保持した第２スライダ部と、前記第１スライダ
部および第２スライダ部を連結する連結部とを備え、前
記第１スライダ部の前記ケーブルが引き込まれる引込口
の周囲に沿って環状窪みが形成され、この環状窪み内に
接着剤を介して前記フェライトコアが埋設されているこ
とを特徴とする。 【０００９】このような構成によれば、信号処理手段と
光電変換手段との間でケーブルの周囲に沿ってフェライ
トコアが配設されているから、出力信号周波数を下げる
ことなく、耐ノイズ性を向上させることができる。つま
り、相反する高精度化、高速化と、耐ノイズ性を同時に
満足させることができる。しかも、単にフェライトコア
をケーブルの周囲に沿って配設するだけでよいから、簡
単かつ安価にできる。 【００１０】 また、静止体を箱状の本体ケースを含み
構成し、可動体を、前記本体ケースの長手方向に沿って
移動可能に設けられかつ内部に前記信号処理回路を収納
配置した第１スライダ部と、前記本体ケース内において
前記インデックススケール、光源および光電変換手段を
保持した第２スライダ部と、前記第１スライダ部および
第２スライダ部を連結する連結部とを備える構成とし、
さらに、前記第１スライダ部の前記ケーブルが引き込ま
れる引込口の周囲に沿って環状窪みを形成し、この環状
窪み内に接着剤を介してフェライトコアを埋設するよう
にしたので、フェライトコアを第１スライダ部にしっか
りと保持できるから、可動体の移動時の振動などによっ
てフェライトコアが脱落したり、比較的もろいフェライ
トコアが砕けるなどの問題もなくすことができる。 【００１１】 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。なお、以下の説明にあたって、図
４と同一構成要件については、同一符号を付し、その説
明を省略もしくは簡略化する。図１は本実施形態の光学
式変位測定装置を示す断面図、図２はその分解斜視図で
ある。同光学式変位測定装置は、静止体としての細長箱
状の本体ケース１０と、この本体ケース１０の長手方向
へ移動可能に設けられた可動体としてのスライダ２０と
を備えている。 【００１３】前記本体ケース１０の内部底壁には前記光
学格子１を有するメインスケール２が固定されている。
また、本体ケース１０の上壁中央には開口１１がその長
手方向に沿って形成されているとともに、その開口１１
の両側壁に溝１２がその長手方向に沿って形成され、こ
の溝１２内に前記開口１１を塞ぐとともに前記スライダ
２０の移動時に弾性変形しながらその移動を許容する覆
い１３が取り付けられている。 【００１４】前記スライダ２０は、前記本体ケース１０
の開口１１に沿って移動可能に設けられかつ内部に信号
処理手段としての前記信号処理回路７を収納配置した第
１スライダ部２１と、前記本体ケース１０内において前
記インデックススケール４、光源５および光電変換手段
としての光電変換素子６Ａ，６Ｂを保持した第２スライ
ダ部２２と、この第１スライダ部２１および第２スライ
ダ部２２を連結する連結部２３とを備えている。 【００１５】前記第１スライダ部２１は、内部に前記信
号処理回路７を収納したヘッド２１Ａと、このヘッド２
１Ａの下面に首部２１Ｂを介して連結されたガイドプレ
ート２１Ｃとを有している。前記第２スライダ部２２に
は、前記メインスケール２の上端面を転動するローラ２
２Ａと、メインスケール２の一側面を転動するローラ２
２Ｂとがそれぞれ設けられている。前記連結部２３は、
前記第１および第２スライダ部２１，２２の間に掛け渡
された棒状ばねによって構成されている。この棒状ばね
によって、第２スライダ部２２の各ローラ２２Ａ，２２
Ｂがメインスケール２の上端面および一側面に当接する
ように付勢されている。 【００１６】前記光電変換素子６Ａ，６Ｂと前記信号処
理回路７とは、ケーブル３０を介して接続されている。
ここで、信号処理回路７の近傍でかつ前記ケーブル３０
の周囲、具体的には、図３に示すように、第１スライダ
部２１の前記ケーブル３０が引き込まれる引込口３１の
周囲（信号処理回路７側の周囲）に沿って楕円状の環状
窪み３２が形成され、この環状窪み３２内に接着剤を介
してフェライトコア３３が埋設されている。 【００１７】従って、本実施形態によれば、スライダ２
０に形成したケーブル引込口３１の周囲に沿ってフェラ
イトコア３３を配設したので、出力信号周波数を下げる
ことなく、耐ノイズ性を向上させることができる。つま
り、相反する高精度化、高速化と耐ノイズ性とを同時に
満足させることができる。しかも、単にフェライトコア
３３を配設するだけでよいから、簡単かつ安価にでき
る。 【００１８】また、引込口３１の周囲に沿って環状窪み
３２を形成し、この環状窪み３２内に接着剤を介してフ
ェライトコア３３を埋設したので、フェライトコア３３
をスライダ２０にしっかりと保持できるから、スライダ
２０の移動時の振動などによってフェライトコア３３が
脱落したりすることがなく、しかも、比較的もろいフェ
ライトコア３３が砕けるなどの問題もなくすことができ
る。 【００１９】なお、上記実施形態では、両スケール２、
４に光を照射し、その透過光を受光して電気信号に変換
し、両スケール２、４の相対移動変位量を求める透過型
の変位測定装置について説明したが、本発明は、これに
限らず、スケール２、４からの反射光を電気信号に変換
し、両スケール２、４の相対移動変位量を求める反射型
の変位測定装置にも適用できる。 【００２０】また、上記実施形態では、信号処理回路７
は、増幅回路、波形成形回路、分割回路、方向弁別回路
などを選択的に含む構成としたが、増幅回路のみでもよ
く、あるいは、これら全てを含む構成でもよい。 【００２１】 【発明の効果】本発明の光学式変位測定装置によれば、
高精度化、高速化の要求を維持しつつ、耐ノイズ性を向
上させることができる。
置に関する。詳しくは、相対移動可能な光学格子を有
し、その光学格子からの透過光または反射光を所定処理
して相対移動変位量を測定する光学式変位測定装置に関
する。 【０００２】 【背景技術】物体間の相対移動変位量を検出して物理的
諸元（長さ、圧力、重量）を求めることが行われてい
る。その手段の１つとして、光学式変位測定装置が広く
利用されている。 【０００３】従来、この種の光学式変位測定装置とし
て、図４に示す構造が知られている。これは、長手方向
に沿って光学格子１を有するメインスケール２と、これ
と対応する参照光学格子３Ａ，３Ｂを有するインデック
ススケール４とを、相対移動する２つの物体（たとえ
ば、静止体と可動体）のそれぞれに取り付け、この両ス
ケール２，４を挟んで光源５および光電変換素子６Ａ，
６Ｂをインデックススケール４と一体的に配設し、さら
に、両光電変換素子６Ａ，６Ｂからの出力信号を処理す
るための増幅回路、波形成形回路、分割回路、方向弁別
回路などを選択的に含む信号処理回路７、可逆計数カウ
ンタ８およびデジタル表示器９などを設けた構造であ
る。 【０００４】従って、光源５および光電変換素子６Ａ，
６Ｂを有するインデックススケール４とメインスケール
２とを矢印Ｘ方向へ相対移動させると、両光学格子１，
３Ａ，３Ｂを透過した透過光が光電変換素子６Ａ，６Ｂ
で電気信号に変換され、その出力信号が信号処理回路７
で処理される。たとえば、相対移動変位量１μｍに対し
て１パルスのデジタル信号として処理される。その後、
そのパルス信号が可逆計数カウンタ８で計数され、その
値がデジタル表示器９に両スケール２、４の変位量とし
て表示される。なお、２つの光電変換素子６Ａ，６Ｂを
設けてあるのは、方向弁別機能を発揮させるためのもの
であり、また、分割方式によっては分解能を倍加向上さ
せるのに利用するためである。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の光学
式変位測定装置は、次のような欠点があった。すなわ
ち、光電変換素子６Ａ，６Ｂからの出力信号は、たとえ
ば、光学格子１，３Ａ，３Ｂのスリット幅を１０μｍ、
ピッチを２０μｍとすると、２０μｍ相当長を一周期と
する略正弦波形状のサイクリック信号となる。従って、
高精度化、高速化を図るためには、光学格子１，３Ａ，
３Ｂのスリット幅およびピッチをより微細化し、出力信
号周波数を高くする必要がある。 【０００６】しかし、このようにして高精度化、高速化
の要求に対して出力信号周波数を高くしていくと、耐ノ
イズ性が低下する。その結果、たとえば、測定中にノイ
ズなどに基づく計数誤差が１度でもあると、その測定工
程中におけるデジタル表示器への表示は意味のないもの
となり、製品不良をまぬかれないという致命的欠点につ
ながる。つまり、これらの２つの要求は相反するもの
で、高精度化、高速化の要求に対して出力信号周波数を
高くすると耐ノイズ性が低下し、耐ノイズ性を上げよう
とすると出力信号周波数を高くできない。 【０００７】本発明の目的は、このような従来の欠点を
解消し、高精度化、高速化の要求を維持しつつ、耐ノイ
ズ性を向上させることができる光学式変位測定装置を提
供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明の変位測定装置
は、静止体に対して可動体の移動変位量を測定する光学
式変位測定装置において、前記静止体に固定されかつ長
手方向に沿って光学格子を有するメインスケールと、前
記可動体に設けられかつ前記メインスケールの光学格子
に対応する参照光学格子を有するインデックススケール
と、この両スケールに光を照射する光源と、前記スケー
ルを透過した透過光または反射光を受光して電気信号に
変換する光電変換手段と、この光電変換手段にケーブル
を介して接続され光電変換手段からの信号を処理する信
号処理手段と、この信号処理手段と前記光電変換手段と
の間で前記ケーブルの周囲に沿って配設されたフェライ
トコアとを備え、前記静止体は、箱状の本体ケースを含
み構成され、前記可動体は、前記本体ケースの長手方向
に沿って移動可能に設けられかつ内部に前記信号処理手
段を収納配置した第１スライダ部と、前記本体ケース内
において前記インデックススケール、光源および光電変
換手段を保持した第２スライダ部と、前記第１スライダ
部および第２スライダ部を連結する連結部とを備え、前
記第１スライダ部の前記ケーブルが引き込まれる引込口
の周囲に沿って環状窪みが形成され、この環状窪み内に
接着剤を介して前記フェライトコアが埋設されているこ
とを特徴とする。 【０００９】このような構成によれば、信号処理手段と
光電変換手段との間でケーブルの周囲に沿ってフェライ
トコアが配設されているから、出力信号周波数を下げる
ことなく、耐ノイズ性を向上させることができる。つま
り、相反する高精度化、高速化と、耐ノイズ性を同時に
満足させることができる。しかも、単にフェライトコア
をケーブルの周囲に沿って配設するだけでよいから、簡
単かつ安価にできる。 【００１０】 また、静止体を箱状の本体ケースを含み
構成し、可動体を、前記本体ケースの長手方向に沿って
移動可能に設けられかつ内部に前記信号処理回路を収納
配置した第１スライダ部と、前記本体ケース内において
前記インデックススケール、光源および光電変換手段を
保持した第２スライダ部と、前記第１スライダ部および
第２スライダ部を連結する連結部とを備える構成とし、
さらに、前記第１スライダ部の前記ケーブルが引き込ま
れる引込口の周囲に沿って環状窪みを形成し、この環状
窪み内に接着剤を介してフェライトコアを埋設するよう
にしたので、フェライトコアを第１スライダ部にしっか
りと保持できるから、可動体の移動時の振動などによっ
てフェライトコアが脱落したり、比較的もろいフェライ
トコアが砕けるなどの問題もなくすことができる。 【００１１】 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。なお、以下の説明にあたって、図
４と同一構成要件については、同一符号を付し、その説
明を省略もしくは簡略化する。図１は本実施形態の光学
式変位測定装置を示す断面図、図２はその分解斜視図で
ある。同光学式変位測定装置は、静止体としての細長箱
状の本体ケース１０と、この本体ケース１０の長手方向
へ移動可能に設けられた可動体としてのスライダ２０と
を備えている。 【００１３】前記本体ケース１０の内部底壁には前記光
学格子１を有するメインスケール２が固定されている。
また、本体ケース１０の上壁中央には開口１１がその長
手方向に沿って形成されているとともに、その開口１１
の両側壁に溝１２がその長手方向に沿って形成され、こ
の溝１２内に前記開口１１を塞ぐとともに前記スライダ
２０の移動時に弾性変形しながらその移動を許容する覆
い１３が取り付けられている。 【００１４】前記スライダ２０は、前記本体ケース１０
の開口１１に沿って移動可能に設けられかつ内部に信号
処理手段としての前記信号処理回路７を収納配置した第
１スライダ部２１と、前記本体ケース１０内において前
記インデックススケール４、光源５および光電変換手段
としての光電変換素子６Ａ，６Ｂを保持した第２スライ
ダ部２２と、この第１スライダ部２１および第２スライ
ダ部２２を連結する連結部２３とを備えている。 【００１５】前記第１スライダ部２１は、内部に前記信
号処理回路７を収納したヘッド２１Ａと、このヘッド２
１Ａの下面に首部２１Ｂを介して連結されたガイドプレ
ート２１Ｃとを有している。前記第２スライダ部２２に
は、前記メインスケール２の上端面を転動するローラ２
２Ａと、メインスケール２の一側面を転動するローラ２
２Ｂとがそれぞれ設けられている。前記連結部２３は、
前記第１および第２スライダ部２１，２２の間に掛け渡
された棒状ばねによって構成されている。この棒状ばね
によって、第２スライダ部２２の各ローラ２２Ａ，２２
Ｂがメインスケール２の上端面および一側面に当接する
ように付勢されている。 【００１６】前記光電変換素子６Ａ，６Ｂと前記信号処
理回路７とは、ケーブル３０を介して接続されている。
ここで、信号処理回路７の近傍でかつ前記ケーブル３０
の周囲、具体的には、図３に示すように、第１スライダ
部２１の前記ケーブル３０が引き込まれる引込口３１の
周囲（信号処理回路７側の周囲）に沿って楕円状の環状
窪み３２が形成され、この環状窪み３２内に接着剤を介
してフェライトコア３３が埋設されている。 【００１７】従って、本実施形態によれば、スライダ２
０に形成したケーブル引込口３１の周囲に沿ってフェラ
イトコア３３を配設したので、出力信号周波数を下げる
ことなく、耐ノイズ性を向上させることができる。つま
り、相反する高精度化、高速化と耐ノイズ性とを同時に
満足させることができる。しかも、単にフェライトコア
３３を配設するだけでよいから、簡単かつ安価にでき
る。 【００１８】また、引込口３１の周囲に沿って環状窪み
３２を形成し、この環状窪み３２内に接着剤を介してフ
ェライトコア３３を埋設したので、フェライトコア３３
をスライダ２０にしっかりと保持できるから、スライダ
２０の移動時の振動などによってフェライトコア３３が
脱落したりすることがなく、しかも、比較的もろいフェ
ライトコア３３が砕けるなどの問題もなくすことができ
る。 【００１９】なお、上記実施形態では、両スケール２、
４に光を照射し、その透過光を受光して電気信号に変換
し、両スケール２、４の相対移動変位量を求める透過型
の変位測定装置について説明したが、本発明は、これに
限らず、スケール２、４からの反射光を電気信号に変換
し、両スケール２、４の相対移動変位量を求める反射型
の変位測定装置にも適用できる。 【００２０】また、上記実施形態では、信号処理回路７
は、増幅回路、波形成形回路、分割回路、方向弁別回路
などを選択的に含む構成としたが、増幅回路のみでもよ
く、あるいは、これら全てを含む構成でもよい。 【００２１】 【発明の効果】本発明の光学式変位測定装置によれば、
高精度化、高速化の要求を維持しつつ、耐ノイズ性を向
上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光学式変位測定装置の一実施形態
を示す断面図である。 【図２】同上実施形態の分解斜視図である。 【図３】同上実施形態における第１スライダ部の一部を
切り欠いた状態を示す図である。 【図４】一般的な光学式変位測定装置の構成を示す図で
ある。 【符号の説明】 １ 光学格子 ２ メインスケール ３Ａ，３Ｂ 参照光学格子 ４ インデックススケール ５ 光源 ６Ａ，６Ｂ 光電変換素子（光電変換手段） ７ 信号処理回路（信号処理手段） １０ 本体ケース（静止体） ２０ スライダ（可動体） ２１ 第１スライダ部 ２２ 第２スライダ部 ２３ 連結部 ３０ ケーブル ３１ 引込口 ３２ 環状窪み ３３ フェライトコア
を示す断面図である。 【図２】同上実施形態の分解斜視図である。 【図３】同上実施形態における第１スライダ部の一部を
切り欠いた状態を示す図である。 【図４】一般的な光学式変位測定装置の構成を示す図で
ある。 【符号の説明】 １ 光学格子 ２ メインスケール ３Ａ，３Ｂ 参照光学格子 ４ インデックススケール ５ 光源 ６Ａ，６Ｂ 光電変換素子（光電変換手段） ７ 信号処理回路（信号処理手段） １０ 本体ケース（静止体） ２０ スライダ（可動体） ２１ 第１スライダ部 ２２ 第２スライダ部 ２３ 連結部 ３０ ケーブル ３１ 引込口 ３２ 環状窪み ３３ フェライトコア
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フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭51−106457（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−97586（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−9007（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−22018（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−107189（ＪＰ，Ａ)
実開 平６−72118（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01D 5/26 - 5/38 Z
G01B 11/00 - 11/30 102 Z
H05K 9/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 静止体に対して可動体の移動変位量を測
定する光学式変位測定装置において、 前記静止体に固定されかつ長手方向に沿って光学格子を
有するメインスケールと、 前記可動体に設けられかつ前記メインスケールの光学格
子に対応する参照光学格子を有するインデックススケー
ルと、 この両スケールに光を照射する光源と、 前記スケールを透過した透過光または反射光を受光して
電気信号に変換する光電変換手段と、 この光電変換手段にケーブルを介して接続され光電変換
手段からの信号を処理する信号処理手段と、 この信号処理手段と前記光電変換手段との間で前記ケー
ブルの周囲に沿って配設されたフェライトコアとを備
え、 前記静止体は、箱状の本体ケースを含み構成され、 前記可動体は、前記本体ケースの長手方向に沿って移動
可能に設けられかつ内部に前記信号処理手段を収納配置
した第１スライダ部と、前記本体ケース内において前記
インデックススケール、光源および光電変換手段を保持
した第２スライダ部と、前記第１スライダ部および第２
スライダ部を連結する連結部とを備え、 前記第１スライダ部の前記ケーブルが引き込まれる引込
口の周囲に沿って環状窪みが形成され、この環状窪み内
に接着剤を介して前記フェライトコアが埋設されている
ことを特徴とする光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10726697A JP3505346B2 (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10726697A JP3505346B2 (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10300521A JPH10300521A (ja) | 1998-11-13 |
| JP3505346B2 true JP3505346B2 (ja) | 2004-03-08 |
Family
ID=14454706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10726697A Expired - Fee Related JP3505346B2 (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3505346B2 (ja) |
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| JP6147547B2 (ja) * | 2013-04-10 | 2017-06-14 | Dmg森精機株式会社 | 測長装置 |
| KR101646083B1 (ko) * | 2016-02-29 | 2016-08-08 | 김장호 | 디지털 스케일 |
-
1997
- 1997-04-24 JP JP10726697A patent/JP3505346B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10300521A (ja) | 1998-11-13 |
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