JP3502562B2 - Fluid pressure control device - Google Patents

Fluid pressure control device

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JP3502562B2
JP3502562B2 JP06199099A JP6199099A JP3502562B2 JP 3502562 B2 JP3502562 B2 JP 3502562B2 JP 06199099 A JP06199099 A JP 06199099A JP 6199099 A JP6199099 A JP 6199099A JP 3502562 B2 JP3502562 B2 JP 3502562B2
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motor
control device
fluid pressure
pressure control
shaft
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大輔 松本
伸広 藤原
茂 小森谷
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、遠隔操作により圧
力の制御を行う流体圧制御装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid pressure control device for controlling pressure by remote control.

【0002】[0002]

【従来の技術】ステッピングモータを用いて出力圧を遠
隔制御する流体圧制御装置(特開平7−191759号
公報)が知られている。この従来の流体圧制御装置で
は、入口ポートと出口ポートとを接続する通路の開閉を
行う弁体・弁座が配置され、第1ピストンによってフィ
ードバック室とパイロット室とが区画され、パイロット
室の他端は皿ばねで付勢された第2ピストンが配設され
ている。ステッピングモータの回転軸の回転は、第1・
第2カップリングによりバルブロッドの直線動作に変換
され、バルブロッドでバルブを操作してパイロット室へ
の流入やフィードバック室からの流出を制御している。
2. Description of the Related Art A fluid pressure control device (Japanese Patent Laid-Open No. 7-191759) for remotely controlling output pressure using a stepping motor is known. In this conventional fluid pressure control device, a valve body / valve seat that opens and closes a passage that connects an inlet port and an outlet port is arranged, and a feedback chamber and a pilot chamber are partitioned by the first piston, and A second piston biased by a disc spring is arranged at the end. The rotation of the rotating shaft of the stepping motor is
The linear motion of the valve rod is converted by the second coupling, and the valve rod operates the valve to control the inflow to the pilot chamber and the outflow from the feedback chamber.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の流体圧制御装置
には、ハンドル操作式流体圧制御装置のときの部品が残
っており、折角ステッピングモータを用いたのに、構造
が複雑である。本発明は、流体圧制御装置において、従
来のフィードバック室、パイロット室及びピストン(ダ
イヤフラム)を除去し、二次圧力は圧力センサで検出で
きるようにし、給気弁及び排気弁をモータの出力により
直接制御することを課題とする。
In the conventional fluid pressure control device, there are some components remaining in the case of the handle operation type fluid pressure control device, and the structure is complicated even though the bending stepping motor is used. In the fluid pressure control device of the present invention, the conventional feedback chamber, pilot chamber and piston (diaphragm) are removed, the secondary pressure can be detected by the pressure sensor, and the air supply valve and the exhaust valve are directly controlled by the output of the motor. The challenge is to control.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、流体圧制御装
置本体の入口ポートと出口ポートとを連通する通路に給
気弁が配設され、流体圧制御装置本体の一端にモータが
配設され、モータと給気弁との間の位置に排気弁が配設
され、モータの出力軸の回転動作がシャフトの直線動作
に変換され、モータの出力軸によって排気弁及び給気弁
が制御される流体圧制御装置において、シャフトの先端
に排気弁の当接部が形成され、給気弁の弁体にステムが
連結され、ステム内の連通路によりステムの先端の開口
と二次圧室とが連通され、ステムの先端とシャフトの先
端の当接部とにより排気弁が形成され、二次圧室と圧力
センサとを連通させるフィードバック通路が形成された
ことを第1構成とする。本発明は、第1構成において、
流体圧制御装置本体にフィードバックポートが形成さ
れ、フィードバック通路がフィードバックポートに接続
されたことを第2構成とする。本発明は、第1構成にお
いて、流体圧制御装置本体内に圧力センサが配設され、
フィードバック通路が圧力センサの検出部に連通された
ことを第3構成とする。本発明は、第1構成〜第3構成
において、モータの出力軸に連結部材が固定され、連結
部材の雌ねじ部又は雄ねじ部にシャフトの雄ねじ部又は
雌ねじ部が螺合され、流体圧制御装置本体に回り止めガ
イドが配設され、回り止めガイドによってシャフト回転
が防止されたことを第4構成とする。本発明は、第1構
成〜第4構成において、モータをステッピングモータと
なし、ステムの先端とシャフトの当接部とが接した位置
から、シャフトを所定の微小距離だけ後退させた位置を
原点となし、シャフトが原点から設定距離を超えて移動
しないように、かつ二次圧室の圧力をステッピングモー
タを通して与えられる目標値に追従するように制御する
ことを第5構成とする。本発明は、第1構成〜第4構成
において、モータをDCモータ又はACモータとなし、
二次圧室の圧力を前記モータを通して与えられる目標値
に追従するように制御し、モータ駆動電流が所定のリミ
ッタ電流を超えるときには前記モータを逆回転させるよ
うにしたことを第6構成とする。
According to the present invention, an air supply valve is provided in a passage that connects an inlet port and an outlet port of a fluid pressure control device body, and a motor is provided at one end of the fluid pressure control device body. The exhaust valve is disposed between the motor and the air supply valve, the rotational movement of the output shaft of the motor is converted into the linear movement of the shaft, and the exhaust valve and the air supply valve are controlled by the output shaft of the motor. In the fluid pressure control device, the abutment portion of the exhaust valve is formed at the tip of the shaft, the stem is connected to the valve body of the air supply valve, and the opening at the tip of the stem and the secondary pressure chamber are formed by the communication passage in the stem. The first configuration is that the exhaust valve is formed by the tip end of the stem and the abutting portion of the shaft end, and the feedback passage that connects the secondary pressure chamber and the pressure sensor is formed. The present invention provides, in a first configuration,
A second configuration is that a feedback port is formed in the fluid pressure control device main body and the feedback passage is connected to the feedback port. According to the present invention, in the first configuration, the pressure sensor is provided in the fluid pressure control device body,
The third configuration is that the feedback passage is communicated with the detection portion of the pressure sensor. In the first to third configurations of the present invention, the coupling member is fixed to the output shaft of the motor, the male screw portion or the female screw portion of the shaft is screwed to the female screw portion or the male screw portion of the coupling member, and the fluid pressure control device main body is provided. The rotation preventing guide is disposed in the shaft, and the rotation of the shaft is prevented by the rotation preventing guide. In the first to fourth configurations of the present invention, the motor is a stepping motor, and the position where the shaft is retracted by a predetermined minute distance from the position where the tip of the stem is in contact with the contact portion of the shaft is the origin. None, the fifth configuration is to control the shaft so as not to move beyond the set distance from the origin and to control the pressure in the secondary pressure chamber so as to follow the target value given through the stepping motor. In the first to fourth configurations of the present invention, the motor is a DC motor or an AC motor,
A sixth configuration is such that the pressure in the secondary pressure chamber is controlled so as to follow a target value given through the motor, and the motor is rotated in the reverse direction when the motor drive current exceeds a predetermined limiter current.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】図1〜図6は、本発明の流体圧制
御装置の実施の形態第1を示す。図1に示すように、流
体圧制御装置本体10は、弁ボディ11の両端にボンネット
12及びカバー13を配置し、連結することによって形成さ
れている。弁ボディ11の下端側(他端側)には中央ねじ
孔17が形成され、中央ねじ孔17にはカバー13の雄ねじが
螺合され、弁ボディ11とカバー13との間はOリングによ
って密封されている。カバー13の上側(内側)の中央部
に有底のガイド孔18が形成され、ガイド孔18には内側か
ら給気弁19の弁体20が摺動自在に挿入され、弁体20とガ
イド孔18との間はOリングによってシールされている。
1 to 6 show a first embodiment of a fluid pressure control device according to the present invention. As shown in FIG. 1, the fluid pressure control device main body 10 includes a bonnet at both ends of the valve body 11.
It is formed by arranging 12 and the cover 13 and connecting them. A central screw hole 17 is formed on the lower end side (the other end side) of the valve body 11, and a male screw of a cover 13 is screwed into the central screw hole 17, and a space between the valve body 11 and the cover 13 is sealed by an O ring. Has been done. A bottomed guide hole 18 is formed in the central portion on the upper side (inside) of the cover 13, and the valve body 20 of the air supply valve 19 is slidably inserted into the guide hole 18 from the inside. It is sealed with an O-ring between 18 and.

【0006】弁ボディ11には入口ポート23と出口ポート
24とが形成され、入口ポート23と出口ポート24とを連通
する通路に給気弁19が配設されている。入口ポート23は
一次圧室25に連通されるとともに、出口ポート24は二次
圧室26に連通され、一次圧室25と二次圧室26との間に給
気弁19の環状の弁座21が配設されている。弁体20は略逆
コップ状であり、弁体20の上面外周部には環状シール22
が装着され、スプリング27の弾発力により環状シール22
が弁座21に向けて付勢されている。弁ボディ11のボンネ
ット12側には凹部があり、この凹部とボンネット12の端
面とにより凹部室30が形成され、凹部室30と二次圧室26
側との間に隔壁29が形成されている。
The valve body 11 has an inlet port 23 and an outlet port.
24 is formed, and the air supply valve 19 is disposed in a passage that connects the inlet port 23 and the outlet port 24. The inlet port 23 is communicated with the primary pressure chamber 25, and the outlet port 24 is communicated with the secondary pressure chamber 26, and the annular valve seat of the air supply valve 19 is provided between the primary pressure chamber 25 and the secondary pressure chamber 26. 21 are provided. The valve body 20 has a substantially inverted cup shape, and an annular seal 22 is provided on the outer peripheral portion of the upper surface of the valve body 20.
Is attached, and the annular seal 22 is
Is urged toward the valve seat 21. There is a recess on the bonnet 12 side of the valve body 11, and this recess and the end surface of the bonnet 12 form a recess chamber 30, and the recess chamber 30 and the secondary pressure chamber 26
A partition wall 29 is formed between the partition wall and the side.

【0007】図1及び図3に示すように、隔壁29内で二
次圧室26と凹部室30との間の位置に大径部31A、中径部
31B及び小径部31Cからなる挿通孔31が形成され、挿通
孔31にステム33が挿通されている。中径部31Bに装着さ
れたOリング32によりステム33と挿通孔31との間がシー
ルされ、大径部31Aに装着された抜け止め金具34により
Oリング32の抜け出しが防止されている。ステム33の基
端(下端)は弁体20の上部の嵌合孔に嵌合され、嵌合部
分は密封されていない。ステム33には連通路37が形成さ
れ、連通路37によりステム33の先端(上端)の開口とス
テム33の側面の開口とが連通され、ステム33の側面の開
口は二次圧室26に面している。
As shown in FIGS. 1 and 3, a large diameter portion 31A and a medium diameter portion are formed in the partition wall 29 at a position between the secondary pressure chamber 26 and the recess chamber 30.
An insertion hole 31 composed of 31B and a small diameter portion 31C is formed, and the stem 33 is inserted into the insertion hole 31. The O-ring 32 attached to the medium diameter portion 31B seals between the stem 33 and the insertion hole 31, and the retaining metal fitting 34 attached to the large diameter portion 31A prevents the O-ring 32 from coming out. The base end (lower end) of the stem 33 is fitted into the fitting hole in the upper portion of the valve body 20, and the fitting portion is not sealed. A communication passage 37 is formed in the stem 33, and the communication passage 37 communicates the opening at the tip (upper end) of the stem 33 with the opening on the side surface of the stem 33, and the opening on the side surface of the stem 33 faces the secondary pressure chamber 26. is doing.

【0008】ボンネット12には大径部39A、中径部39B
及び小径部39Cからなる段付の貫通した挿通孔39が形成
されており、小径部39Cの開口は凹部室30に面してい
る。流体圧制御装置本体10の上端(一端)にモータ14が
配設されており、モータ14はボルト60によりプレート15
に固定され、プレート15はボンネット12の一端に配置さ
れ、ボルト61によりボンネット12に固定されている。ボ
ルト60の頭部は大径部39Aの内側に位置し、モータ14の
出力軸41がプレート15の開口40を通って大径部39A及び
中径部39Bの内側に突出している。大径部39A及び中径
部39Bの内側には所定の間隔をおいて連結部材42が配置
され、連結部材42の一方部分(上方部分)がモータ14の
出力軸41に取り付けられ、ねじにより固定されている。
The bonnet 12 has a large diameter portion 39A and a medium diameter portion 39B.
And a stepped through hole 39 having a small diameter portion 39C is formed, and the opening of the small diameter portion 39C faces the recess chamber 30. A motor 14 is disposed on the upper end (one end) of the fluid pressure control device body 10, and the motor 14 is mounted on a plate 15 by bolts 60.
The plate 15 is arranged at one end of the bonnet 12 and is fixed to the bonnet 12 by bolts 61. The head of the bolt 60 is located inside the large diameter portion 39A, and the output shaft 41 of the motor 14 passes through the opening 40 of the plate 15 and protrudes inside the large diameter portion 39A and the middle diameter portion 39B. A connecting member 42 is arranged inside the large-diameter portion 39A and the medium-diameter portion 39B at a predetermined interval, and one portion (upper portion) of the connecting member 42 is attached to the output shaft 41 of the motor 14 and fixed by screws. Has been done.

【0009】連結部材42の下方部分(他方部分)には他
端に開口する雌ねじ部43が形成され、雌ねじ部43にシャ
フト44の基端部の雄ねじ部45が螺合され、シャフト44の
先端部は、かじり防止のため断面が六角形状をなしてい
る。なお、連結部材42に雄ねじ部を形成し、シャフト44
に雌ねじ部を形成して、連結部材42とシャフト44とを螺
合させてもよい。挿通孔39の小径部39Cの開口部近傍に
回り止めガイド47が配設され、回り止めガイド47の内周
面にシャフト44の先端部の断面六角形状部分が摺動し、
シャフト44の回転が防止されている。従って、連結部材
42とシャフト44により、モータ14の出力軸41の回転動作
がシャフト44の直線動作(上下動)に変換される。モー
タ14を出力軸41の方向から見て、時計回り方向にモータ
14が回転すると、シャフト44は伸長(下降)方向へ直線
動作し、モータ14を逆転させるとシャフト44は後退(上
昇)方向へ直線動作する。
A female screw portion 43 having an opening at the other end is formed in the lower portion (the other portion) of the connecting member 42, and a male screw portion 45 at the base end portion of the shaft 44 is screwed into the female screw portion 43, and the tip of the shaft 44 is screwed. The section has a hexagonal cross section to prevent galling. A male screw is formed on the connecting member 42, and the shaft 44
A female screw portion may be formed on the connecting member 42 and the shaft 44 so as to be screwed together. A rotation stopping guide 47 is disposed in the vicinity of the opening of the small diameter portion 39C of the insertion hole 39, and the hexagonal cross section of the tip end portion of the shaft 44 slides on the inner peripheral surface of the rotation stopping guide 47.
The rotation of the shaft 44 is prevented. Therefore, the connecting member
The rotation motion of the output shaft 41 of the motor 14 is converted into the linear motion (vertical motion) of the shaft 44 by the shaft 42 and the shaft 44. When viewed from the direction of the output shaft 41 of the motor 14, the motor 14 is rotated clockwise.
When the shaft 14 rotates, the shaft 44 linearly moves in the extension (down) direction, and when the motor 14 is rotated in the reverse direction, the shaft 44 linearly moves in the backward (up) direction.

【0010】シャフト44の先端の中央部に窪んだ截頭円
錐形の当接部46が形成され、シャフト44の当接部46とス
テム33の先端とにより排気弁48が形成される。排気弁48
を通って排気される空気は、弁ボディ11に形成された排
気孔36を通って、凹部室30から外部へ排出される。図1
の状態のときに、シャフト44を伸長させると、シャフト
44の当接部46がステム33の先端に当接して排気弁48を閉
じる。シャフト44が更に伸長するとステム33が下降し、
スプリング27の弾発力に抗して弁体20を下降させ、給気
弁19を開き、圧縮空気が一次圧室25から二次圧室26へ流
れる。シャフト44を後退させるとステム33がスプリング
27に付勢されて上昇し、給気弁19を閉じ、次いで排気弁
48を開き、二次圧室26の空気がステム33内の連通路37、
凹部室30、排気孔36を通って排出される。
A truncated frustoconical contact portion 46 is formed at the center of the tip of the shaft 44, and an exhaust valve 48 is formed by the contact portion 46 of the shaft 44 and the tip of the stem 33. Exhaust valve 48
The air exhausted therethrough passes through the exhaust holes 36 formed in the valve body 11 and is exhausted from the recess chamber 30 to the outside. Figure 1
When the shaft 44 is extended in the
The contact portion 46 of 44 contacts the tip of the stem 33 to close the exhaust valve 48. When the shaft 44 extends further, the stem 33 descends,
The valve body 20 is lowered against the elastic force of the spring 27, the air supply valve 19 is opened, and compressed air flows from the primary pressure chamber 25 to the secondary pressure chamber 26. When the shaft 44 is retracted, the stem 33 springs.
Energized by 27 and rising, closing the intake valve 19 and then the exhaust valve
48 is opened, and the air in the secondary pressure chamber 26 allows the communication passage 37 in the stem 33,
It is discharged through the recessed chamber 30 and the exhaust hole 36.

【0011】隔壁29内で挿通孔31に隣接した位置に、凹
部室30に開口した下側嵌合孔50が形成され、下側嵌合孔
50は小径孔55を介して二次圧室26に連通されている。ボ
ンネット12の下端部で下側嵌合孔50の対向位置に上側嵌
合孔51が形成され、上側嵌合孔51は凹部室30に開口され
ている。下側嵌合孔50及び上側嵌合孔51に連通部材52の
下端部及び上端部がそれぞれ嵌合され、下側嵌合孔50及
び上側嵌合孔51の内面と連通部材52の外面との間はOリ
ングによってシールされている。ボンネット12にはその
側面に開口したフィードバックポート54が形成され、フ
ィードバックポート54は連通路53を介して上側嵌合孔51
の上端に連通され、更に連通部材52の内部通路及び小径
孔55を介して二次圧室26に連通されている。
A lower fitting hole 50 opening to the recessed chamber 30 is formed in the partition wall 29 at a position adjacent to the insertion hole 31.
50 is communicated with the secondary pressure chamber 26 via the small diameter hole 55. An upper fitting hole 51 is formed at the lower end of the bonnet 12 at a position facing the lower fitting hole 50, and the upper fitting hole 51 is opened in the recess chamber 30. The lower end and the upper end of the communication member 52 are fitted into the lower fitting hole 50 and the upper fitting hole 51, respectively, and the inner surface of the lower fitting hole 50 and the upper fitting hole 51 and the outer surface of the communication member 52 are connected to each other. The space is sealed by an O-ring. The bonnet 12 is formed with a feedback port 54 opening on its side surface, and the feedback port 54 has an upper fitting hole 51 through a communication passage 53.
Of the communication member 52, and further communicates with the secondary pressure chamber 26 through the internal passage of the communication member 52 and the small diameter hole 55.

【0012】図2に本発明の流体圧制御装置本体10を用
いたシステムが示され、流体圧制御装置本体10にはステ
ッピングモータ66が装備されている。空気圧源57からの
圧縮空気は入口ポート23に流入し、出力空気は出口ポー
ト24から流出される。二次圧力はフィードバックポート
54から配管を通して圧力センサ63に伝えられ、圧力セン
サ63の出力は配線を通してコントローラ64に伝送され
る。コントローラ64によって目標値の圧力と圧力センサ
63からのフィードバック値の圧力とが比較され、その圧
力差がパルス信号としてドライバ65に伝えられる。ドラ
イバ65でパルス信号が図4(b) の赤、黄、青、白の4 本
の導線への信号に変換され、ドライバ65からこれらの導
線を通ってステッピングモータ66に伝送される。ステッ
ピングモータ66の端子と導線との関係及び入力信号とス
テップとの関係は図4(a),(b) のとおりである。
FIG. 2 shows a system using the fluid pressure control device body 10 of the present invention. The fluid pressure control device body 10 is equipped with a stepping motor 66. Compressed air from the air pressure source 57 flows into the inlet port 23 and output air is discharged from the outlet port 24. Secondary pressure is feedback port
The pressure sensor 63 is transmitted from 54 to the pressure sensor 63 through piping, and the output of the pressure sensor 63 is transmitted to the controller 64 through wiring. Target pressure and pressure sensor by controller 64
The pressure of the feedback value from 63 is compared, and the pressure difference is transmitted to the driver 65 as a pulse signal. The driver 65 converts the pulse signal into signals for the four conductors of red, yellow, blue, and white in FIG. 4B, and the signals are transmitted from the driver 65 to the stepping motor 66 through these conductors. The relationship between the terminals of the stepping motor 66 and the conductors and the relationship between the input signal and the steps are as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b).

【0013】図5は、本発明の流体圧制御装置の実施の
形態第1の変形例を示す。図5の変形例において、図1
と同一の構成には図1と同じ符号を付し、共通部分の説
明は省略する。図5においては、図1,図2のフィード
バックポート54の位置に、圧力センサ63の収納室68を形
成し、収納室68の開口部にカバー69が配設されている。
収納室68の下端部と上側嵌合孔51の上端とを連通させる
装着孔70が形成され、収納室68から装着孔70に圧力セン
サ63の筒状部(圧力検知部)63Aが挿入されている。装
着孔70の内面と筒状部63Aとの間はOリングによりシー
ルされ、圧力センサ63の出力はカバー69を貫通した配線
71によって伝送される。図5のその他の構成は図1と同
様である。
FIG. 5 shows a first modification of the embodiment of the fluid pressure control device of the present invention. In the modification of FIG. 5, in FIG.
The same components as those of the above are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1, and the description of the common parts will be omitted. In FIG. 5, a storage chamber 68 for the pressure sensor 63 is formed at the position of the feedback port 54 in FIGS. 1 and 2, and a cover 69 is arranged at the opening of the storage chamber 68.
A mounting hole 70 that connects the lower end of the storage chamber 68 and the upper end of the upper fitting hole 51 is formed, and the tubular portion (pressure detection unit) 63A of the pressure sensor 63 is inserted from the storage chamber 68 into the mounting hole 70. There is. The inner surface of the mounting hole 70 and the cylindrical portion 63A are sealed by an O-ring, and the output of the pressure sensor 63 is a wiring that penetrates the cover 69.
Transmitted by 71. Other configurations in FIG. 5 are similar to those in FIG.

【0014】図6は図2のシステムの作動(機能)を示
すフローチャートであり、このフローチャートにしたが
ってシステムの作動を説明する。不図示のスイッチをオ
ンするとシステムの作動がスタートし、ステップS1で
二次圧力が出力されているか否かが判断される。ステッ
プS1で二次圧力が出力されていると判断されたとき
は、ステップS2でシャフト44を後退させてステム33を
上昇させ、給気弁19を閉じる方向へ設定距離だけ移動さ
せ、ステップS1へ戻る。ステップS1で二次圧力が出
力されていない(二次圧力ゼロ)と判断されたときは、
ステップS3へ進む。
FIG. 6 is a flow chart showing the operation (function) of the system of FIG. 2, and the operation of the system will be described with reference to this flow chart. When a switch (not shown) is turned on, the operation of the system starts, and it is determined in step S1 whether or not the secondary pressure is output. When it is determined in step S1 that the secondary pressure is being output, in step S2 the shaft 44 is retracted to raise the stem 33, and the intake valve 19 is closed by a set distance, and then step S1 is performed. Return. When it is determined in step S1 that the secondary pressure is not output (secondary pressure is zero),
Go to step S3.

【0015】ステップS3では二次圧力が出力されてい
るか否かが再び判断され、二次圧力が出力されていない
(二次圧力ゼロ)と判断されたときは、ステップS4で
シャフト44を前進させてステム33を下降させ、給気弁19
を開く方向へ設定距離だけ移動させ、ステップS3に戻
る。ステップS3で二次圧力が出力されていると判断さ
れたときは、ステップS5でステップモータ66の原点位
置(シャフト44の当接部がステム33の先端に接した位置
から所定の小距離(例えば0.1mm )離れた現在位置)を
設定する。次いでステップS6で許容圧力を設定し、ス
テップS7でステム下降方向及びステム上昇方向のリミ
ッタ位置を設定する。リミッタ位置の設定により、原点
位置からステム下降方向及びステム上昇方向へ移動でき
る距離が決められ、リミッタ位置を超えない限り、シャ
フト44や連結部材42がボンネット12内部と機械的にぶつ
かり動作できなくなるというステッピングモータ特有の
トラブル(脱調)の発生を防止することができる。
In step S3, it is again determined whether or not the secondary pressure is output. When it is determined that the secondary pressure is not output (secondary pressure is zero), the shaft 44 is advanced in step S4. Lower the stem 33 to release the air supply valve 19
Is moved by a set distance in the opening direction, and the process returns to step S3. When it is determined in step S3 that the secondary pressure is being output, in step S5 the origin position of the step motor 66 (a predetermined small distance from the position where the contact portion of the shaft 44 contacts the tip of the stem 33 (eg, 0.1 mm) present position) is set. Next, in step S6, the allowable pressure is set, and in step S7, the limiter position in the stem descending direction and the stem ascending direction is set. By setting the limiter position, the distance that can be moved from the origin position to the stem descending direction and the stem ascending direction is determined, and unless the limiter position is exceeded, the shaft 44 and the connecting member 42 mechanically collide with the inside of the bonnet 12 and cannot operate. It is possible to prevent occurrence of trouble (step-out) peculiar to the stepping motor.

【0016】ステップS8でコントローラに入力される
目標圧力(目標値)を読み込み、ステップS9で圧力セ
ンサ63から伝送される二次圧力を読み込む。ステップS
10で目標圧力と二次圧力との圧力差が許容圧力範囲内
か否かが判断され、許容圧力範囲内であると判断された
ときはステップS8へ戻る。ステップS10で圧力差が
許容圧力範囲内ではないと判断されたときは、ステップ
S11で〔目標圧力−二次圧力〕<0か否かの判断が行
われ、〔目標圧力−二次圧力〕<0であると判断された
ときは、ステップS15で二次圧力を低下させるために
モータ66の駆動角度及び回転方向(ステムの上昇方向)
を演算し、その演算結果をコントローラのメモリAに格
納する。
The target pressure (target value) input to the controller is read in step S8, and the secondary pressure transmitted from the pressure sensor 63 is read in step S9. Step S
At 10, it is determined whether the pressure difference between the target pressure and the secondary pressure is within the allowable pressure range. If it is determined that the pressure difference is within the allowable pressure range, the process returns to step S8. When it is determined in step S10 that the pressure difference is not within the allowable pressure range, it is determined in step S11 whether [target pressure-secondary pressure] <0, and [target pressure-secondary pressure] < If it is determined to be 0, the drive angle and the rotation direction of the motor 66 (the rising direction of the stem) in order to reduce the secondary pressure in step S15.
Is calculated and the calculation result is stored in the memory A of the controller.

【0017】ステップS16で、メモリAに格納された
モータの駆動演算値に従ってモータを駆動したとき、所
定の短時間後の位置(現在位置+移動距離)がステム上
昇方向のリミッタ位置を越えるか否かの判断が行われ
る。ステップS16でリミッタ位置を越えないと判断さ
れたときは、ステップS18でメモリAに格納されたモ
ータの駆動演算値に従ってモータを駆動し、ステップS
8へ戻る(ステップS18からステップS8へ戻ること
は以下同様)。また、ステップS16でリミッタ位置を
越えると判断されたときは、ステップS17でリミッタ
位置をメモリAへ書き込み、ステップS15でメモリA格
納した演算値を消去し(メモリAの演算値をリミッタ位
置の情報に書き換え)、ステップS18ではステップS
17でメモリAに書き込まれたリミッタ位置のデータに
従ってモータを駆動する。
In step S16, when the motor is driven according to the motor driving calculation value stored in the memory A, whether the position (current position + movement distance) after a predetermined short time exceeds the limiter position in the stem rising direction. The decision is made. If it is determined in step S16 that the limiter position is not exceeded, the motor is driven in accordance with the motor drive calculation value stored in the memory A in step S18, and step S18 is performed.
8 (returning from step S18 to step S8 is the same below). If it is determined in step S16 that the limiter position is exceeded, the limiter position is written in the memory A in step S17, and the calculated value stored in the memory A is erased in step S15 (the calculated value in the memory A is the limiter position information). In step S18, step S18
The motor is driven according to the limiter position data written in the memory A at 17.

【0018】ステップS11で〔目標圧力−二次圧力〕
<0ではないと判断されたときは、ステップS12で二
次圧力を増加させるためにモータ66の駆動角度及び回転
方向(ステムの下降方向)を演算し、その演算結果をコ
ントローラのメモリAに格納する。ステップS13で、
メモリAに格納されたモータの駆動演算値に従ってモー
タを駆動したとき、所定の短時間後の位置(現在位置+
移動距離)がステム下降方向のリミッタ位置を越えるか
否かの判断が行われる。ステップS13でリミッタ位置
を越えないと判断されたときは、ステップS18でメモ
リAに格納されたモータの駆動演算値に従ってモータを
駆動する。また、ステップS13でリミッタ位置を越え
ると判断されたときは、ステップS14でリミッタ位置
をメモリAへ書き込み(書き換え)、ステップS18で
はステップS14でメモリAに書き込まれたリミッタ位
置のデータに従ってモータを駆動する。
In step S11, [target pressure-secondary pressure]
When it is determined that it is not <0, the drive angle and the rotation direction of the motor 66 (the descending direction of the stem) are calculated in order to increase the secondary pressure in step S12, and the calculation result is stored in the memory A of the controller. To do. In step S13,
When the motor is driven according to the motor drive calculation value stored in the memory A, the position (current position + current position +
It is determined whether or not the moving distance) exceeds the limiter position in the stem descending direction. When it is determined in step S13 that the limiter position is not exceeded, the motor is driven according to the motor drive calculation value stored in the memory A in step S18. If it is determined in step S13 that the limiter position is exceeded, the limiter position is written (rewritten) in memory A in step S14, and in step S18 the motor is driven according to the limiter position data written in memory A in step S14. To do.

【0019】図6では、ローコスト化のためにモータと
してステッピングモータを使用し、シャフト44・連結部
材42の位置検出のための位置検出センサーは配設されな
い。そのため、モータの位置検出及びリミッタの検出を
演算により行った。しかし、位置検出センサーを用いて
も同様に駆動できることは当然である。
In FIG. 6, a stepping motor is used as a motor for cost reduction, and a position detecting sensor for detecting the positions of the shaft 44 and the connecting member 42 is not provided. Therefore, the position of the motor and the limiter are detected by calculation. However, it goes without saying that similar driving can be performed using a position detection sensor.

【0020】図7は、本発明の流体圧制御装置の実施の
形態第2のフローチャートを示す。実施の形態第2はモ
ータとしてDCモータ,ACモータを使用したものであ
り、実施の形態第2の流体圧力制御装置本体の構成は実
施の形態第1の流体圧力制御装置本体10と同一であるの
で、構成のその他の説明は省略する。
FIG. 7 shows a second flowchart of the embodiment of the fluid pressure control system of the invention. The second embodiment uses a DC motor or an AC motor as a motor, and the configuration of the second fluid pressure control device body of the second embodiment is the same as that of the first fluid pressure control device body 10 of the first embodiment. Therefore, the other description of the configuration is omitted.

【0021】図7のフローチャートにしたがって実施の
形態第2のシステムの作動を説明する。不図示のスイッ
チをオンするとシステムの作動がスタートし、ステップ
S1で目標圧力を読み込み、ステップS2で圧力センサ
63から入力される二次圧力を読み込む。ステップS3で
目標圧力と二次圧力との圧力差が許容範囲内か否かが判
断され、許容範囲内と判断されたときはステップS1へ
戻る。ステップS3で圧力差が許容範囲内ではないと判
断されたときは、ステップS4で〔目標圧力−二次圧
力〕<0か否かの判断が行われ、〔目標圧力−二次圧
力〕<0であると判断されたときは、ステップS8で二
次圧力を低下させるためにモータの駆動角度及び回転方
向(ステムの上昇方向)を演算し、その演算結果をコン
トローラのメモリAに格納する。
The operation of the second embodiment system will be described with reference to the flowchart of FIG. When the switch (not shown) is turned on, the operation of the system starts, the target pressure is read in step S1, and the pressure sensor is read in step S2.
Read the secondary pressure input from 63. In step S3, it is determined whether or not the pressure difference between the target pressure and the secondary pressure is within the allowable range. If it is determined that the pressure difference is within the allowable range, the process returns to step S1. When it is determined in step S3 that the pressure difference is not within the allowable range, it is determined in step S4 whether [target pressure-secondary pressure] <0 and [target pressure-secondary pressure] <0. If it is determined that the driving angle and the rotation direction of the motor (the rising direction of the stem) are calculated in step S8, the calculation result is stored in the memory A of the controller.

【0022】ステップS9でモータ駆動電流がリミッタ
電流よりも大きいか否かの判断が行われ、モータ駆動電
流がリミッタ電流よりも大きいと判断されたときは、ス
テップS10でモータを所定の設定角度逆転させて、ス
テップS9へ戻る。ステップS9でモータ駆動電流がリ
ミッタ電流よりも大きくないと判断されたときは、ステ
ップS1へ戻る。実施の形態第2ではモータ駆動電流を
制御しているので、リミッタ値の設定は電流により行わ
れており、モータ駆動電流がリミッタ電流を越えないと
きは、ストローク端などで過度な回転力を出すことはな
い。
In step S9, it is judged whether or not the motor drive current is larger than the limiter current. If it is judged that the motor drive current is larger than the limiter current, the motor is rotated by a predetermined set angle in step S10. Then, the process returns to step S9. When it is determined in step S9 that the motor drive current is not larger than the limiter current, the process returns to step S1. Since the motor drive current is controlled in the second embodiment, the limiter value is set by the current, and when the motor drive current does not exceed the limiter current, an excessive rotational force is generated at the stroke end or the like. There is no such thing.

【0023】ステップS4で〔目標圧力−二次圧力〕<
0ではないと判断されたときは、ステップS5で二次圧
力を増加させるためにモータの駆動角度及び回転方向
(ステムの下降方向)を演算し、その演算結果をコント
ローラのメモリAに格納する。ステップS6でモータ駆
動電流がリミッタ電流よりも大きいか否かの判断が行わ
れ、モータ駆動電流がリミッタ電流よりも大きいと判断
されたときは、ステップS7でモータを所定の設定角度
逆転させて、ステップS6へ戻る。ステップS6でモー
タ駆動電流がリミッタ電流よりも大きくないと判断され
たときは、ステップS1へ戻る。
In step S4, [target pressure-secondary pressure] <
When it is determined that the value is not 0, the drive angle and the rotation direction of the motor (the downward direction of the stem) are calculated in order to increase the secondary pressure in step S5, and the calculation result is stored in the memory A of the controller. In step S6, it is determined whether or not the motor drive current is larger than the limiter current. If it is determined that the motor drive current is larger than the limiter current, the motor is reversed by a predetermined set angle in step S7, Return to step S6. When it is determined in step S6 that the motor drive current is not larger than the limiter current, the process returns to step S1.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明の流体圧制御装置は、モータの回
転動作がシャフトの直線動作に変換され、シャフトの先
端に排気弁の当接部が形成され、給気弁の弁体にステム
が連結され、ステム内の連通路によりステムの先端の開
口と二次圧室とが連通され、ステムの先端とシャフトの
先端の当接部とにより排気弁が形成され、二次圧室と圧
力センサとを連通させるフィードバック通路が形成され
ている。このようにしたことにより、従来例のフィード
バック室、パイロット室及びピストン(ダイヤフラム)
が存在せず、二次圧力は圧力センサで検出できるように
なり、給気弁及び排気弁をモータの出力により直接制御
できる。従って、構成が簡単で、コストを低下させるこ
とができ、また構成が簡単であるので効率も高い。本発
明では、モータをステッピングモータとなし、ステムの
先端とシャフトの当接部とが接した位置から、シャフト
を所定の微小距離だけ後退させた位置を原点となし、シ
ャフトが原点から設定距離を超えて移動しないように制
御するので、位置検出センサが不要であり、ステッピン
グモータはDCモータ等より低価格であるので、流体圧
制御装置のコストを更に低減することができる。
According to the fluid pressure control device of the present invention, the rotational movement of the motor is converted into the linear movement of the shaft, the abutment portion of the exhaust valve is formed at the tip of the shaft, and the stem of the valve body of the intake valve is formed. The opening at the tip of the stem and the secondary pressure chamber communicate with each other through the communication passage in the stem, and the exhaust valve is formed by the contact portion between the tip of the stem and the tip of the shaft, and the secondary pressure chamber and the pressure sensor. A feedback passage is formed to communicate with and. By doing so, the feedback chamber, pilot chamber and piston (diaphragm) of the conventional example
The secondary pressure can be detected by the pressure sensor, and the intake valve and the exhaust valve can be directly controlled by the output of the motor. Therefore, the structure is simple, the cost can be reduced, and the structure is simple, so that the efficiency is high. In the present invention, the motor is a stepping motor, and the position where the shaft is retracted by a predetermined minute distance from the position where the tip of the stem is in contact with the contact portion of the shaft is the origin, and the shaft is the set distance from the origin. Since the control is performed so as not to move beyond, the position detection sensor is not necessary, and the stepping motor is less expensive than the DC motor or the like, so that the cost of the fluid pressure control device can be further reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1(a) は本発明の流体圧制御装置の実施の形
態第1の縦断面図であり、図1(b) は図1(a) の平面図
である。
FIG. 1 (a) is a first longitudinal sectional view of a first embodiment of a fluid pressure control device of the present invention, and FIG. 1 (b) is a plan view of FIG. 1 (a).

【図2】本発明の実施の形態第1を用いたシステム図で
ある。
FIG. 2 is a system diagram using the first embodiment of the present invention.

【図3】図1(a) のA部分の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a portion A of FIG.

【図4】図4(a) はステッピングモータの結線を示す図
であり、図4(b) はステッピングモータの入力信号と回
転との関係を示す図である。
FIG. 4 (a) is a diagram showing connection of a stepping motor, and FIG. 4 (b) is a diagram showing a relationship between an input signal of the stepping motor and rotation.

【図5】本発明の流体圧制御装置の実施の形態第1の変
形例の縦断面図である。
FIG. 5 is a vertical cross-sectional view of a first modified example of the embodiment of the fluid pressure control device of the present invention.

【図6】本発明の実施の形態第1のシステムのフローチ
ャートである。
FIG. 6 is a flowchart of a first system according to an embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施の形態第2のシステムのフローチ
ャートである。
FIG. 7 is a flowchart of a second system according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 流体圧制御装置本体 14 モータ 19 給気弁 23 入口ポート 24 出口ポート 26 二次圧室 33 ステム 37 連通路 41 出力軸 42 連結部材 44 シャフト 46 当接部 47 回り止めガイド 48 排気弁 54 フィードバックポート 63 圧力センサ 66 ステッピングモータ 10 Fluid pressure controller body 14 motor 19 Air supply valve 23 entrance port 24 exit port 26 Secondary pressure chamber 33 stems 37 passage 41 Output shaft 42 Connecting member 44 shaft 46 abutment 47 Non-rotating guide 48 exhaust valve 54 Feedback Port 63 Pressure sensor 66 stepper motor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 伸広 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (72)発明者 小森谷 茂 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (56)参考文献 特開 平7−191759(JP,A) 特開 平3−127210(JP,A) 実開 昭48−89022(JP,U) 実開 平2−98280(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05D 16/20 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Nobuhiro Fujiwara, Kinawadai, Taniwahara-mura, Tsukuba-gun, Ibaraki 4-2-2 SMC Tsukuba Technology Center (72) Inventor Shigeru Komoritani Kinawadai, Taniwa-mura, Tsukuba-gun, Ibaraki 4 -2-2 SMC Corp. Tsukuba Technology Center (56) Reference JP-A-7-191759 (JP, A) JP-A-3-127210 (JP, A) Actual development Sho-48-89022 (JP, U ) Actual Kaihei 2-98280 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G05D 16/20

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 流体圧制御装置本体の入口ポートと出口
ポートとを連通する通路に給気弁が配設され、流体圧制
御装置本体の一端にモータが配設され、モータと給気弁
との間の位置に排気弁が配設され、モータの出力軸の回
転動作がシャフトの直線動作に変換され、モータの出力
軸によって排気弁及び給気弁が制御される流体圧制御装
置において、シャフトの先端に排気弁の当接部が形成さ
れ、給気弁の弁体にステムが連結され、ステム内の連通
路によりステムの先端の開口と二次圧室とが連通され、
ステムの先端とシャフトの先端の当接部とにより排気弁
が形成され、二次圧室と圧力センサとを連通させるフィ
ードバック通路が形成されたことを特徴とする流体圧制
御装置。
1. A supply valve is provided in a passage that connects an inlet port and an outlet port of a fluid pressure control device main body, and a motor is provided at one end of the fluid pressure control device main body. In the fluid pressure control device in which the exhaust valve is disposed at a position between the two, the rotational movement of the output shaft of the motor is converted into the linear movement of the shaft, and the exhaust valve and the air supply valve are controlled by the output shaft of the motor. The exhaust valve abutment portion is formed at the tip of the stem, the stem is connected to the valve body of the air supply valve, and the communication passage in the stem connects the opening at the tip of the stem and the secondary pressure chamber,
A fluid pressure control device, wherein an exhaust valve is formed by a tip portion of a stem and a contact portion of a tip of a shaft, and a feedback passage is formed to connect a secondary pressure chamber and a pressure sensor.
【請求項2】 流体圧制御装置本体にフィードバックポ
ートが形成され、フィードバック通路がフィードバック
ポートに接続された請求項1記載の流体圧制御装置。
2. The fluid pressure control device according to claim 1, wherein a feedback port is formed in the fluid pressure control device body, and the feedback passage is connected to the feedback port.
【請求項3】 流体圧制御装置本体内に圧力センサが配
設され、フィードバック通路が圧力センサの検出部に連
通された請求項1記載の流体圧制御装置。
3. The fluid pressure control device according to claim 1, wherein a pressure sensor is arranged in the fluid pressure control device main body, and the feedback passage communicates with a detection portion of the pressure sensor.
【請求項4】 モータの出力軸に連結部材が固定され、
連結部材の雌ねじ部又は雄ねじ部にシャフトの雄ねじ部
又は雌ねじ部が螺合され、流体圧制御装置本体に回り止
めガイドが配設され、回り止めガイドによってシャフト
回転が防止された請求項1ないし3のいずれか一つに記
載の流体圧制御装置。
4. A connecting member is fixed to the output shaft of the motor,
The male screw part or the female screw part of the shaft is screwed to the female screw part or the male screw part of the connecting member, and the rotation preventing guide is arranged in the fluid pressure control device main body, and the shaft rotation is prevented by the rotation preventing guide. The fluid pressure control device according to claim 1.
【請求項5】 モータをステッピングモータとなし、ス
テムの先端とシャフトの当接部とが接した位置から、シ
ャフトを所定の微小距離だけ後退させた位置を原点とな
し、シャフトが原点から設定距離を超えて移動しないよ
うに、かつ二次圧室の圧力をステッピングモータを通し
て与えられる目標値に追従するように制御する請求項1
ないし4のいずれか一つに記載された流体圧制御装置。
5. The stepping motor is used as the motor, and the position where the shaft is retracted by a predetermined minute distance from the position where the tip of the stem is in contact with the contact part of the shaft is the origin, and the shaft is the set distance from the origin. 2. The pressure in the secondary pressure chamber is controlled so as not to move beyond the range and to follow the target value given through the stepping motor.
5. The fluid pressure control device as described in any one of 4 to 4.
【請求項6】 モータをDCモータ又はACモータとな
し、二次圧室の圧力を前記モータを通して与えられる目
標値に追従するように制御し、モータ駆動電流が所定の
リミッタ電流を超えるときには前記モータを逆回転させ
るようにした請求項1ないし4のいずれか一つに記載さ
れた流体圧制御装置。
6. The motor is a DC motor or an AC motor, the pressure of the secondary pressure chamber is controlled so as to follow a target value given through the motor, and when the motor drive current exceeds a predetermined limiter current, the motor is controlled. The fluid pressure control device according to claim 1, wherein the fluid pressure control device is configured to rotate in reverse.
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