JP3497700B2 - Servomotor - Google Patents

Servomotor

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JP3497700B2
JP3497700B2 JP21635397A JP21635397A JP3497700B2 JP 3497700 B2 JP3497700 B2 JP 3497700B2 JP 21635397 A JP21635397 A JP 21635397A JP 21635397 A JP21635397 A JP 21635397A JP 3497700 B2 JP3497700 B2 JP 3497700B2
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wire
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俊治 樋渡
晃 岡田
奈美 佐々木
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、速度制御及び位置
制御が可能なサーボモータに係り、特に、高温,高真
空,高放射線等の特殊環境下で使用されるサーボモータ
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servomotor capable of speed control and position control, and more particularly to a servomotor used under special environments such as high temperature, high vacuum and high radiation.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より高温,高真空,高放射線等の特
殊環境下で使用されるサーボモータは開発されている。
ちなみにこれら特殊環境用のサーボモータとして個別の
条件では以下のような性能を有するサーボモータが開発
されている。すなわち、温度では最高300℃のもの、
真空度では最高10-8Paのもの、高放射線性では最大
105 Gyのものが開発されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, servo motors used under special environments such as high temperature, high vacuum and high radiation have been developed.
By the way, as these servo motors for special environments, servo motors having the following performances have been developed under individual conditions. That is, the maximum temperature is 300 ° C,
A vacuum of up to 10 -8 Pa and a high radiation of up to 10 5 Gy have been developed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
高温,高真空,高放射線の3要件を全て満足できるサー
ボモータはまだ実現されていない。その理由は、これら
3要件を満足できる材料が限定されること、また環境に
よって材料が劣化して変化し、特性が変化することなど
が挙げられる。例えば、セラミック,ガラスなどの無機
材料は本環境条件に適合しているが、巻線成形の困難さ
など製造上の問題がある。また、導体は、温度によって
抵抗値が変化するため、フィードバック量に誤差を生
じ、正確な速度制御,位置制御ができなくなるという問
題があった。このように、高温,高真空,高放射線下で
使用するサーボモータには構成材料と制御の両面で実用
化を阻む要因があった。
However, a servomotor which can satisfy all of these three requirements of high temperature, high vacuum and high radiation has not yet been realized. The reason is that the materials that can satisfy these three requirements are limited, and that the materials deteriorate and change due to the environment, and the characteristics change. For example, inorganic materials such as ceramics and glass are suitable for this environmental condition, but there are manufacturing problems such as difficulty in winding forming. Further, since the resistance value of the conductor changes depending on the temperature, there is a problem that an error occurs in the feedback amount and accurate speed control and position control cannot be performed. As described above, the servomotor used under high temperature, high vacuum, and high radiation has a factor that hinders its practical use in terms of both constituent materials and control.

【0004】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は高温,高真空,高放射線下のような厳し
い環境下でも正確な速度制御と位置制御が可能なサーボ
モータを提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a servomotor capable of performing accurate speed control and position control even in a severe environment such as high temperature, high vacuum and high radiation. It is in.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の請求項1は、永久磁石フィールドを有する
ロータと、積層されたアマチュアコアに3相コイルを巻
回して磁極を構成するステータと、前記ロータの回転角
を検出するレゾルバとから成るサーボモータにおいて、
前記ステータ用コイル及び前記レゾルバ用コイルは、ニ
ッケルメッキ銅導体に緻密化セラミック層と無機ポリマ
含浸ガラスファイバを二重に被覆した耐熱ワイヤ線を用
いて高温・高放射線領域に適用したことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, the first aspect of the present invention is to form a magnetic pole by winding a three-phase coil around a rotor having a permanent magnet field and a laminated armature core. In a servo motor including a stator and a resolver that detects a rotation angle of the rotor,
The stator coil and the resolver coil are characterized by being applied in a high temperature / high radiation region by using a heat-resistant wire wire in which a densified ceramic layer and an inorganic polymer-impregnated glass fiber are doubly coated on a nickel-plated copper conductor. To do.

【0006】本発明の請求項2は、永久磁石フィールド
を有するロータと、積層されたアマチュアコアに3相コ
イルを巻回して磁極を構成するステータと、前記ロータ
の回転角を検出するレゾルバとから成るサーボモータに
おいて、前記ステータ用コイル及び前記レゾルバ用コイ
ルは、ステンレスクラッド銅導体に緻密化セラミック層
とアルミナ繊維組層を二重に被覆した耐熱ワイヤを用い
て高温・高放射線領域に適用したことを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a rotor having a permanent magnet field, a stator having a three-phase coil wound around a laminated armature core to form magnetic poles, and a resolver for detecting a rotation angle of the rotor. In the servo motor, the stator coil and the resolver coil are applied to a high temperature / high radiation region by using a heat resistant wire in which a densified ceramic layer and an alumina fiber braid layer are doubly coated on a stainless clad copper conductor. Is characterized by.

【0007】本発明の請求項3は、永久磁石フィールド
を有するロータと、積層されたアマチュアコアに3相コ
イルを巻回して磁極を構成するステータと、前記ロータ
の回転角を検出するレゾルバとから成るサーボモータに
おいて、前記サーボモータ及びレゾルバのステータは絶
縁銅線(Y〜H種絶縁)で構成した及びロータ全体をキ
ャニングし、且つ、ステータコイル口出し線部をフィー
ドスルーを介して外部に取り出すと共に、前記ステータ
と前記ロータ各々を真空バウンダリ構成とし、高真空領
域に用いたことを特徴とする。
A third aspect of the present invention comprises a rotor having a permanent magnet field, a stator having a three-phase coil wound around a laminated armature core to form magnetic poles, and a resolver for detecting a rotation angle of the rotor. In the servomotor, the stator of the servomotor and the resolver is made of insulated copper wire (Y to H type insulation), the entire rotor is canned, and the stator coil lead wire portion is taken out to the outside through a feedthrough. The stator and the rotor each have a vacuum boundary structure and are used in a high vacuum region.

【0008】本発明の請求項4は、永久磁石フィールド
を有するロータと、積層されたアマチュアコアに3相コ
イルを巻回して磁極を構成したステータと、前記ロータ
の回転角を検出するレゾルバとから成るサーボモータに
おいて、ニッケルメッキ銅導体に緻密化セラミック層と
無機ポリマ含浸ガラスファイバを二重に被覆した耐熱ワ
イヤ線又はステンレスクラッド銅導体に緻密化セラミッ
ク層とアルミナ繊維組層を二重に被覆した耐熱ワイヤ
と、前記サーボモータ及び前記レゾルバのステータ及び
ロータ全体をキャニングし、且つ、そのステータコイル
口出し線部をフィードスルーを介して外部に取り出すと
共に、前記ステータと前記ロータ各々を真空バウンダリ
構成とし、高温・高真空・高放射線領域に用いたことを
特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a rotor having a permanent magnet field, a stator having a three-phase coil wound around a laminated armature core to form magnetic poles, and a resolver for detecting a rotation angle of the rotor. In a servo motor consisting of, a nickel-plated copper conductor is doubly coated with a densified ceramic layer and an inorganic polymer-impregnated glass fiber, or a stainless-clad copper conductor is doubly coated with a densified ceramic layer and an alumina fiber layer. A heat-resistant wire, the servomotor and the stator and rotor of the resolver as a whole are canned, and the stator coil lead-out wire portion is taken out to the outside via a feedthrough, and the stator and the rotor each have a vacuum boundary structure, It is characterized by being used in high temperature, high vacuum, and high radiation regions.

【0009】[0009]

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図1は、本発明の一実施例(請求項
1ないし請求項4対応)であるサーボモータの構成図で
ある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of a servomotor that is an embodiment (corresponding to claims 1 to 4 ) of the present invention.

【0011】同図において、1は円筒形に成型した希土
類コバルト磁石2をシャフト3の中央部に配置し、永久
磁石フィールドを構成したロータであり、軸受4により
回転自在に支承されている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a rotor in which a cylindrical rare earth cobalt magnet 2 is arranged in the central portion of a shaft 3 to form a permanent magnet field, which is rotatably supported by a bearing 4.

【0012】一方、磁石2の外周に一定量のエアギャッ
プを設けてステータ5が配置されている。このステータ
5は、電磁銅板を積層したアマチュアコア6の内周方向
に複数のスロットを設け、このスロットに耐熱用ワイヤ
を亀甲状に巻回した3相のステータコイル7を挿入して
耐熱性材料で絶縁被覆する。
On the other hand, the stator 5 is arranged with a certain amount of air gap provided on the outer periphery of the magnet 2. This stator 5 is provided with a plurality of slots in the inner peripheral direction of an amateur core 6 formed by laminating electromagnetic copper plates, and a three-phase stator coil 7 formed by winding a heat-resistant wire in a hexagonal shape is inserted into the slots to form a heat-resistant material. Insulate with.

【0013】これらロータ1及びステータ5をフレーム
8,フランジ9で保持してモータ部10を構成する。1
1はモータ部10とモータの回転角を検出するためのレ
ゾルバ12を接続するためのカップリングである。
The rotor 1 and the stator 5 are held by the frame 8 and the flange 9 to form a motor section 10. 1
Reference numeral 1 is a coupling for connecting the motor unit 10 and a resolver 12 for detecting the rotation angle of the motor.

【0014】レゾルバ12は、回転トランス13とロー
タ14からなる回転子15及び固定トランス16とステ
ータ17からなる固定子18で構成する。回転トランス
13及び固定トランス16は変圧器と同様な構造であ
り、それぞれ耐熱用ワイヤを巻回して構成している。ま
た、ロータ14及びステータ17はモータ10のステー
タ5と同様に積層コアに耐熱用ワイヤを巻回して構成す
る。回転子15は軸受19で回転自在に支承し、カップ
リング11に接続する。なお、本発明のサーボモータで
は、前記耐熱用ワイヤにニッケルメッキ銅導体に緻密化
セラミック層と、無機ポリマ含浸ガラスファイバを二重
に被覆した線材もしくはステンレスクラッド銅導体に緻
密化セラミック層とアルミナ繊維組層を二重に被覆した
線材を使用する。また、レゾルバ12で使用する耐熱用
ワイヤの材料はモータ部10と同一のものを使用する。
The resolver 12 comprises a rotor 15 composed of a rotary transformer 13 and a rotor 14, and a stator 18 composed of a fixed transformer 16 and a stator 17. The rotary transformer 13 and the fixed transformer 16 have a structure similar to that of a transformer, and are each configured by winding a heat resistant wire. Further, the rotor 14 and the stator 17 are configured by winding a heat resistant wire around a laminated core similarly to the stator 5 of the motor 10. The rotor 15 is rotatably supported by a bearing 19 and is connected to the coupling 11. In the servomotor of the present invention, the heat-resistant wire has a nickel-plated copper conductor and a densified ceramic layer, and a wire rod in which an inorganic polymer-impregnated glass fiber is doubly coated or a stainless clad copper conductor has a densified ceramic layer and an alumina fiber. A wire with double coated braiding is used. The heat-resistant wire used in the resolver 12 is the same as that used in the motor section 10.

【0015】高温,高真空用サーボモータとして、上記
したような構成例を示したが、これ以外の材料で従来か
ら使用されている絶縁銅線(Y〜H種絶縁)を用い、図
1に示す如くモータ部のロータ1とステータ5及びレゾ
ルバ12の回転子15と固定子18をキャニングし、各
々の口出し線をフィードスルー20を介して外部にとり
出すことにより、各部を密閉構造とすることで真空バウ
ンダリを構成することができるため高真空用のサーボモ
ータを構成することができる。また、耐熱用ワイヤとキ
ャニング構造の併用により、高温,高真空,高放射線用
のサーボモータを構成することができる。
An example of the above-described structure has been shown as the servo motor for high temperature and high vacuum, but an insulated copper wire (Y to H type insulation) conventionally used with other materials is used, and FIG. As shown, the rotor 1 and the stator 5 of the motor unit, the rotor 15 and the stator 18 of the resolver 12 are canned, and each lead wire is taken out through the feedthrough 20 to form a sealed structure. Since the vacuum boundary can be formed, a servomotor for high vacuum can be formed. Further, by using the heat resistant wire and the canning structure together, a servo motor for high temperature, high vacuum and high radiation can be constructed.

【0016】次に、レゾルバの速度・位置検出回路の構
成を図2のブロック図を参照して説明する。同図におい
て、検出回路は基準発信回路21,励磁回路22の位相
比較回路23とこの出力信号を取り込む電圧制御発信器
24及び位置カウンタ25で構成される。また、レゾル
バ12に設置した熱電対26の温度検出回路27とこの
温度情報を基にレゾルバ出力信号を自動的に補正する温
度補償回路28をレゾルバ12と位相比較回路23間に
設ける。
Next, the structure of the speed / position detection circuit of the resolver will be described with reference to the block diagram of FIG. In the figure, the detection circuit is composed of a reference transmission circuit 21, a phase comparison circuit 23 of the excitation circuit 22, a voltage control transmission device 24 which takes in the output signal, and a position counter 25. Further, a temperature detection circuit 27 for the thermocouple 26 installed in the resolver 12 and a temperature compensation circuit 28 for automatically correcting the resolver output signal based on this temperature information are provided between the resolver 12 and the phase comparison circuit 23.

【0017】次に、本実施例の作用を説明する。ステー
タ5を励磁すると、フレミングの左手の法則により、磁
極と電流の流れる方向・位置の関係からロータ1が回転
する。この際、磁極の磁束分布を正弦波とし、磁極の回
転位置に合わせて正弦波の電流位相を制御すると、磁束
と電流の積に比例する一定トルクを発生する。この運動
原理とレゾルバ12の速度・位置検出とによりステータ
5の電流を制御し、サーボモータが駆動される。
Next, the operation of this embodiment will be described. When the stator 5 is excited, according to Fleming's left-hand rule, the rotor 1 rotates due to the relationship between the magnetic poles and the direction / position of current flow. At this time, if the magnetic flux distribution of the magnetic pole is a sine wave and the current phase of the sine wave is controlled according to the rotational position of the magnetic pole, a constant torque proportional to the product of the magnetic flux and the current is generated. The servomotor is driven by controlling the current of the stator 5 by the principle of motion and the speed / position detection of the resolver 12.

【0018】レゾルバ12を2相入力方式としたとき、
すなわち図3に示すように、励磁回路22から2相;E
R1-R2 =Esinωt,ER3-R4 =Ecosωtの励磁
をすると、レゾルバ12の回転角θだけシフトしたE
S1−S2=KEsin(ωt−θ)なる出力信号が得られ
る。ここでEは入力電圧、Kは変圧比、ω=2πfでf
は励磁周波数である。この出力信号と、基準発信回路2
1の位相比較を行い、位相差に応じた電圧信号を作って
電圧制御発信器24に与えると、電圧制御発信器24で
はこの電圧に応じた周波数を出力する。これを励磁回路
22に加えることにより基準発信回路21とレゾルバ1
2の出力の位相が一致するように電圧制御発信器24の
周波数,位相が変化するため、電圧制御発信器24の周
波数から速度が検出でき、また電圧制御発信器24の出
力と基準発信回路21の位相のずれから回転位置が検出
できる。ここで、レゾルバ12が高温になると、コイル
の抵抗値が変化するため常温時と比較すると出力信号値
に差異がでる。温度検出回路27と温度補償回路28
は、熱電対26で得られたレゾルバの温度を検出し、前
記の誤差を自動的に補正することができる。
When the resolver 12 is a two-phase input system,
That is, as shown in FIG. 3, two phases from the excitation circuit 22; E
When R1-R2 = Esinωt and E R3-R4 = Ecosωt are excited, E is shifted by the rotation angle θ of the resolver 12.
An output signal of S1−S2 = KEsin (ωt−θ) is obtained. Where E is the input voltage, K is the transformation ratio, and ω = 2πf
Is the excitation frequency. This output signal and the reference transmission circuit 2
When the phase comparison of 1 is performed and a voltage signal corresponding to the phase difference is created and given to the voltage control oscillator 24, the voltage control oscillator 24 outputs a frequency corresponding to this voltage. By adding this to the excitation circuit 22, the reference transmission circuit 21 and the resolver 1
Since the frequency and phase of the voltage controlled oscillator 24 are changed so that the phases of the outputs of 2 are matched, the speed can be detected from the frequency of the voltage controlled oscillator 24, and the output of the voltage controlled oscillator 24 and the reference oscillator circuit 21. The rotational position can be detected from the phase shift of. Here, when the resolver 12 has a high temperature, the resistance value of the coil changes, so that there is a difference in the output signal value as compared with that at the normal temperature. Temperature detection circuit 27 and temperature compensation circuit 28
Can detect the temperature of the resolver obtained by the thermocouple 26 and automatically correct the above error.

【0019】モータ10及びレゾルバ12は、耐熱用ワ
イヤを使用しているため、高温,高放射線下で使用する
ことができる。本発明に適用したニッケルメッキ銅導体
に、緻密化セラミック層と無機ポリマ含浸ガラスファイ
バを二重に被覆した耐熱ワイヤ線を使用すれば、400
℃,100MGyの耐環境性を有する。また、ステンレ
スクラッド銅導体に緻密化セラミック層とアルミナ繊維
組層を二重に被覆した耐熱ワイヤ線では300℃まで耐
え得る。これらの材料は、無機質分を主成分としてお
り、アウトガスの発生量を抑えることができるため、1
-6Torr程度の真空条件下でも十分に使用すること
が可能である。
Since the motor 10 and the resolver 12 use heat resistant wires, they can be used under high temperature and high radiation. If the heat-resistant wire wire in which the densified ceramic layer and the inorganic polymer-impregnated glass fiber are doubly coated is used for the nickel-plated copper conductor applied to the present invention, 400
It has an environment resistance of 100 ° C and 100 MGy. A heat-resistant wire wire obtained by doubly coating a densified ceramic layer and an alumina fiber braided layer on a stainless clad copper conductor can withstand up to 300 ° C. These materials have an inorganic component as a main component and can suppress the amount of outgas generated.
It can be sufficiently used even under a vacuum condition of about 0 -6 Torr.

【0020】また、前記のような特殊な材料を使用しな
くてもモータ10及びレゾルバ12の巻線部全体をキャ
ニングすればアウトガスの放出を防ぐことができ、超高
真空環境下での使用が可能となる。更に、耐熱ワイヤの
使用とキャニング構造を併用すれば、それぞれの利点で
ある高温,高真空,高放射線特性が得られる。
Further, even if the above-mentioned special material is not used, outgassing can be prevented from being emitted by canning the entire winding portion of the motor 10 and the resolver 12, so that it can be used in an ultrahigh vacuum environment. It will be possible. Further, by using the heat-resistant wire and the canning structure together, the advantages of high temperature, high vacuum and high radiation can be obtained.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように各請求項の発明によ
れば、下記の如き効果を奏する。すなわち、請求項1に
よると、ニッケルメッキ銅導体に緻密化セラミック層
と、無機ポリマ含浸ガラスファイバを二重に被覆した耐
熱ワイヤ線をステータコイル及びレゾルバ用コイルとし
て用いることにより高温,高放射線用のサーボモータを
提供することができる。
As described above, according to the invention of each claim, the following effects can be obtained. That is, according to claim 1, a nickel-plated copper conductor is used as a stator coil and a resolver coil by using a heat-resistant wire wire in which a densified ceramic layer and an inorganic polymer-impregnated glass fiber are double coated. A servo motor can be provided.

【0022】請求項2によると、ステンレスクラッド銅
導体に緻密化セラミック層とアルミナ繊維組層を二重に
被覆した耐熱ワイヤとステータコイル及びレゾルバ用コ
イルとして用いることにより高温,高放射線用のサーボ
モータを提供することができる。
According to a second aspect of the present invention, by using the stainless clad copper conductor as a heat-resistant wire in which a densified ceramic layer and an alumina fiber braid layer are doubly coated, a stator coil and a resolver coil, a servomotor for high temperature and high radiation can be obtained. Can be provided.

【0023】請求項3によると、従来使用されている絶
縁銅線(Y〜H種絶縁)で構成されたモータ及びレゾル
バのステータとロータ全体をキャニングし、且つ、ステ
ータコイル口出し線部をフィードスルーを介して外部に
とり出し、ステータとロータ各々を真空バウンダリ構成
とすることで高真空用サーボモータを提供することがで
きる。
According to the third aspect of the present invention, the stator and rotor of the motor and the resolver, which are composed of conventionally used insulated copper wires (Y to H class insulation), are entirely canned, and the lead wire portion of the stator coil is fed through. It is possible to provide a servomotor for high vacuum by taking it out to the outside through a vacuum boundary structure of each of the stator and the rotor.

【0024】請求項4によると、耐熱ワイヤを使用し、
耐熱ワイヤの使用部分であるステータコイル及びレゾル
バ用コイル部をキャニング構造とすることで高真空のサ
ーボモータを提供することができる。
According to claim 4, using a heat resistant wire,
A high-vacuum servomotor can be provided by using a canning structure for the stator coil and the resolver coil portion, which are the portions where the heat-resistant wire is used.

【0025】[0025]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるサーボモータの構成
図。
FIG. 1 is a configuration diagram of a servo motor that is an embodiment of the present invention.

【図2】本発明のサーボモータの速度・位置制御装置の
一実施例を示すブロック図。
FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment of a speed / position control device for a servo motor according to the present invention.

【図3】本発明のレゾルバの作用を説明するための図。FIG. 3 is a view for explaining the action of the resolver of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ロータ、2…コバルト磁石、3…シャフト、4…軸
受、5…ステータ、6…アマチュアコア、7…ステータ
コイル、8…フレーム、9…フランジ、10…モータ
部、11…カップリング、12…レゾルバ、13…回転
トランス、14…ロータ、15…回転子、16…固定ト
ランス、17…ステータ、18…固定子、19…軸受、
20…フィードスルー、21…基準発信回路、22…励
磁回路、23…位相比較回路、24…電圧制御発信器、
25…位置カウンタ、26…熱電対、27…温度検出回
路、28…温度補償回路。
1 ... Rotor, 2 ... Cobalt magnet, 3 ... Shaft, 4 ... Bearing, 5 ... Stator, 6 ... Amateur core, 7 ... Stator coil, 8 ... Frame, 9 ... Flange, 10 ... Motor part, 11 ... Coupling, 12 ... resolver, 13 ... rotary transformer, 14 ... rotor, 15 ... rotor, 16 ... fixed transformer, 17 ... stator, 18 ... stator, 19 ... bearing,
20 ... Feedthrough, 21 ... Reference oscillation circuit, 22 ... Excitation circuit, 23 ... Phase comparison circuit, 24 ... Voltage control oscillator,
25 ... Position counter, 26 ... Thermocouple, 27 ... Temperature detection circuit, 28 ... Temperature compensation circuit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H02K 24/00 H02K 21/14 M // H02K 21/14 11/00 D B (56)参考文献 特開 平4−54849(JP,A) 特開 平5−205534(JP,A) 特開 平7−176218(JP,A) 特開 平4−299045(JP,A) 特開 平4−317543(JP,A) 特開 昭62−148814(JP,A) 実開 昭62−51944(JP,U) 実開 昭61−14887(JP,U) 実開 昭63−161315(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02K 3/02 G01D 5/245 101 G01P 3/44 H02K 3/30 H02K 11/00 H02K 24/00 H02K 21/14 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI H02K 24/00 H02K 21/14 M // H02K 21/14 11/00 D B (56) Reference JP-A-4-54849 ( JP, A) JP 5-205534 (JP, A) JP 7-176218 (JP, A) JP 4-299045 (JP, A) JP 4-317543 (JP, A) JP 62-148814 (JP, A) Actual development 62-51944 (JP, U) Actual development 61-14887 (JP, U) Actual development 63-161315 (JP, U) (58) Fields investigated (Int .Cl. 7 , DB name) H02K 3/02 G01D 5/245 101 G01P 3/44 H02K 3/30 H02K 11/00 H02K 24/00 H02K 21/14

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 永久磁石フィールドを有するロータと、
積層されたアマチュアコアに3相コイルを巻回して磁極
を構成するステータと、前記ロータの回転角を検出する
レゾルバとから成るサーボモータにおいて、前記ステー
タ用コイル及び前記レゾルバ用コイルは、ニッケルメッ
キ銅導体に緻密化セラミック層と無機ポリマ含浸ガラス
ファイバを二重に被覆した耐熱ワイヤ線を用いて高温・
高放射線領域に適用したことを特徴とするサーボモー
タ。
1. A rotor having a permanent magnet field,
In a servomotor comprising a stator having a magnetic pole formed by winding a three-phase coil around laminated amateur cores, and a resolver for detecting a rotation angle of the rotor, the stator coil and the resolver coil are nickel-plated copper. Using a heat-resistant wire with a densified ceramic layer and an inorganic polymer-impregnated glass fiber double coated on the conductor,
A servo motor characterized by being applied to a high radiation region.
【請求項2】 永久磁石フィールドを有するロータと、
積層されたアマチュアコアに3相コイルを巻回して磁極
を構成するステータと、前記ロータの回転角を検出する
レゾルバとから成るサーボモータにおいて、前記ステー
タ用コイル及び前記レゾルバ用コイルは、ステンレスク
ラッド銅導体に緻密化セラミック層とアルミナ繊維組層
を二重に被覆した耐熱ワイヤを用いて高温・高放射線領
域に適用したことを特徴とするサーボモータ。
2. A rotor having a permanent magnet field,
In a servomotor including a stator having a magnetic pole formed by winding a three-phase coil around a laminated amateur core, and a resolver for detecting a rotation angle of the rotor, the stator coil and the resolver coil are made of stainless clad copper. A servo motor characterized by being applied to a high temperature and high radiation region by using a heat resistant wire in which a densified ceramic layer and an alumina fiber braided layer are doubly coated on a conductor.
【請求項3】 絶縁銅線(Y〜H種絶縁)で構成したサ
ーボモータ及びレゾルバのステータ及びロータ全体をキ
ャニングし、且つ、ステータコイル口出し線部をフィー
ドスルーを介して外部に取り出すと共に、前記ステータ
と前記ロータ各々を真空バウンダリ構成とし、高真空領
域に用いたことを特徴とするサーボモータ。
3. A servo motor and a stator of a resolver, which are made of insulated copper wire (Y to H class insulation), and the entire rotor are canned, and the stator coil lead wire portion is taken out through a feedthrough to the outside. A servo motor characterized in that a stator and the rotor each have a vacuum boundary structure and are used in a high vacuum region.
【請求項4】 永久磁石フィールドを有するロータと、
積層されたアマチュアコアに3相コイルを巻回して磁極
を構成したステータと、前記ロータの回転角を検出する
レゾルバとから成るサーボモータにおいて、ニッケルメ
ッキ銅導体に緻密化セラミック層と無機ポリマ含浸ガラ
スファイバを二重に被覆した耐熱ワイヤ線又はステンレ
スクラッド銅導体に緻密化セラミック層とアルミナ繊維
組層を二重に被覆した耐熱ワイヤと、前記サーボモータ
と前記レゾルバのステータ及びロータ全体をキャニング
し、且つ、そのステータコイル口出し線部をフィードス
ルーを介して外部に取り出すと共に、前記ステータと前
記ロータ各々を真空バウンダリ構成とし、高温・高真空
・高放射線領域に用いたことを特徴とするサーボモー
タ。
4. A rotor having a permanent magnet field,
In a servomotor including a stator having a magnetic pole formed by winding a three-phase coil around a laminated amateur core, and a resolver for detecting a rotation angle of the rotor, a densified ceramic layer and an inorganic polymer-impregnated glass on a nickel-plated copper conductor. Heat-resistant wire double coated with a heat-resistant wire wire or stainless clad copper conductor double-coated with a dense ceramic layer and an alumina fiber braided layer, and the entire servo motor and resolver stator and rotor canning, Further, the servo motor is characterized in that the stator coil lead-out wire portion is taken out to the outside through a feedthrough, and the stator and the rotor each have a vacuum boundary structure and are used in a high temperature, high vacuum, and high radiation region.
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