JP3487052B2 - 磁気ヘッド支持機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、情報を磁気的に記
録・再生するディスク記憶装置に装着される磁気ヘッド
支持機構に関し、さらに詳しくは、スライダの低浮上量
化による高速・高記録密度の磁気ディスク装置に適用し
て有効な技術に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、実用に供されている磁気ディスク
装置のヘッド支持機構の典型的な例は特開昭５５−２２
２９６号公報に記載されているものである。磁気ヘッド
を搭載したスライダは、ジンバルの舌部の接触する領域
全域を接着剤等で固定されている。ジンバルはスライダ
がディスク面に追従できるようにディスク面垂直方向に
は柔軟な構造となっている。ジンバルにはディンプルと
呼ばれる突起が設けてあり、スライダはディンプルの頂
点を支点として自由に回転できる。ロードアームはジン
バルを保持する剛体部と、ディンプルを介してスライダ
に必要な荷重を与えるばね部で構成されている。 【０００３】特公昭５８−４３８２６号公報に記載のフ
ロッピーディスク用の磁気ヘッド支持装置の例では、固
定基台に回転可能に支持された可動基台を設け、固定基
台と可動基台の先端部にジンバルを取り付け、ジンバル
の中心に磁気ヘッドの上面を接着剤等で固定している。
さらに、磁気ヘッドのディスク面に垂直な方向の変位を
抑制しスライダに必要な荷重をかけるためにジンバル背
面中心を支える支えピンを設けている。 【０００４】特開平１−１７９２８７号公報に記載の例
では、放射状に形成される４本の腕でジンバルを構成し
ている。その中で互いに隣り合わない２本の腕の先端部
をスライダに固定し、残りの２本の先端部をロードアー
ムに固定することにより、ヘッド支持機構を構成してい
る。また、ジンバルとスライダの間にスペーサを設け
る、もしくはスライダ側のジンバル取り付け面に溝を設
けることにより、スライダの回転の自由度を確保してい
る。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】特開昭５５−２２２９
６号公報に開示のヘッド支持機構では、スライダはジン
バルの舌部の接触する領域全域を接着剤等で固定されて
いる。このため、ジンバルの舌部の初期的な反りやねじ
れ、あるいは接着時の応力、押し付け荷重やヘッド組み
立て作業時の外乱等による反りやねじれによりスライダ
が変形し、スライダの浮上面の反り・ねじれが発生し、
スライダの浮上量がばらつく。あるいは、スライダの初
期的な反り・ねじれ、接着時の応力、荷重や外乱等によ
る反りやねじれが、ジンバル舌部に影響し、スライダ浮
上面の初期姿勢角のばらつきを生じさせ、浮上量がばら
つく。さらに、多くの磁気ヘッド支持機構では、ジンバ
ル舌部はステンレス鋼、スライダはセラミック、接着剤
はアクリルやエポキシ系の樹脂でできており、線膨張係
数は大きい方から、接着剤、ジンバル舌部、スライダの
順になっている。そのため、稼動中のディスク装置内の
温度変化に伴い接着剤が他の２者よりも大きく伸縮し、
バイメタル効果によりジンバル舌部及びスライダに曲げ
変形が起こり、スライダの浮上面に反り・ねじれが生
じ、浮上量が変化する。 【０００６】浮上量ばらつきにより浮上量が設計値より
も低くなりすぎた場合には、スライダとディスクが接触
し、ディスク上のデータを損傷する危険性があるため、
浮上量設計値を低くした高記録密度のディスク装置を実
現することができない。一方、浮上量ばらつきにより浮
上量が高くなりすぎた場合には、ヘッドと記録媒体間の
距離が大きくなり、記録・再生時に誤りが発生しやすく
なるため、高速・高記録密度のディスク装置を実現でき
ない。 【０００７】特公昭５８−４３８２６号公報の磁気ヘッ
ド支持装置でも、スライダの上面すべてを用いて固定し
ているため、前述のジンバルとスライダの反り・ねじれ
の相互の変形による浮上量ばらつきが発生し、高速・高
記録密度の磁気ディスク装置を実現することができな
い。 【０００８】特開平１−１７９２８７号公報のヘッド支
持機構では、上記の従来技術と同様に反り・ねじれの影
響が現れるのに加え、ジンバルのスライダ取り付け面が
２ヶ所に分割されるため、スライダへの押し付け荷重に
より、２ヶ所のスライダ取り付け面が引っ張られること
により浮上面の反りが発生しやすい。スライダ取り付け
面間のねじれが特に影響しやすい。 【０００９】本発明の目的は、ヘッド組み立て時に起こ
るジンバルやスライダの反り・ねじれ等による浮上量ば
らつきを低減することにより、スライダの低浮上化を実
現することが可能な磁気ヘッド支持技術を提供すること
にある。 【００１０】本発明の他の目的は、磁気ディスク装置の
稼動時のスライダ浮上量変化を抑制し、記録・再生時の
誤りの発生を抑えることによって、高速・高記録密度の
磁気ディスク装置を実現することが可能な磁気ヘッド支
持技術を提供することにある。 【００１１】 【課題を解決するための手段】本発明は、磁気ヘッドを
搭載したスライダをジンバル舌部またはスライダスペー
サ部またはスライダスペーサに接着により固定した磁気
ヘッド支持機構において、ジンバル舌部またはスライダ
スペーサ部またはスライダスペーサのスライダ背面と対
向する面の反対側の一部もしくは全面にエッチング等を
施すことにより、部分的に板厚を薄くしたものである。 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。 【００１３】（実施の形態１）図１は本発明の第１の実
施の形態である磁気ヘッド支持機構の先端部の構造の一
例を拡大して示す断面図、図２は本実施の形態の磁気ヘ
ッド支持機構を構成するジンバルを取り出して示す斜視
図、図３は本実施の形態の磁気ヘッド支持機構の斜視
図、図４は本実施の形態の磁気ヘッド支持機構の平面図
である。 【００１４】図１〜図４に示すように、磁気ヘッドを搭
載したスライダ１のスライダ背面１ａがジンバル舌部２
ａに接着剤３で固定される。ジンバル２は、ジンバル舌
部２ａ、腕部２ｂ及びロードアーム４への取り付け部２
ｃからなっており、取り付け部２ｃは溶接点５を介して
ロードアーム４と接合されている。ジンバル舌部２ａ
は、スライダ背面１ａと対向する面の反対側の一部もし
くは全面にエッチング等を施すことにより、ジンバル２
の他の部分（板厚ｔ０）と比べて板厚ｔ１が薄くなって
いる。ジンバル２の腕部２ｂはディスク６に平行な方向
には変形しにくく、垂直な方向には変形しやすい構造で
あり、ジンバル舌部２ａがロードアーム４の先端部に設
けられたディンプル４ａと接している。こうすることに
より、スライダ１はディンプル４ａを中心として、ディ
スク６に平行な軸の回りに柔軟に回転することができ、
スライダ浮上面１ｂの初期姿勢角と浮上時の姿勢の差に
よる浮上量ばらつきを抑えると同時に、ディスク６の表
面のうねりにスライダ１が追従しながら浮上することが
可能になる。 【００１５】ロードアーム４はディンプル４ａを有する
先端部、ジンバル２の腕部２ｂに比べて変形しにくい剛
体部４ｂ、ディンプル４ａを介してスライダ１にディス
ク６に垂直な押し付け荷重を付与するばね部４ｃ、及び
マウント７を介してガイドアーム８に接続されるベース
部からなる。図４は、ガイドアーム８の基部を中心にデ
ィスク６の半径方向に回転し、ヘッドがディスク６上の
所定のトラックにアクセスする、インラインアクセス方
式を示している。 【００１６】ジンバル２はディスク面に平行な方向には
変形しにくく、垂直な方向には変形しやすいことが、ス
ライダ１の安定した浮上のために望ましい。そのため
に、多くの磁気ヘッド支持機構では、ステンレス鋼の薄
い板材をエッチング及びプレス成形することにより形成
されたジンバルを用い、腕部２ｂのように柔軟で平らな
部分がディスク６と平行になるような構造をとってい
る。しかし実際には、荷重の付与及び姿勢角ばらつきに
より腕部２ｂはディスク６に垂直な方向に変形し、正確
に平行な状態を保つことはできない。この変形のため、
ディスク６に平行な方向の負荷に対する腕部２ｂの剛性
及び強度は、正確に平行な状態にある場合と比べて低
い。荷重19.6〜58.8mN(2〜6gf)では厚さ２５μｍ以下の
板材でこの差が顕著になるため、実用では、これより厚
い板材が多く用いられる。 【００１７】接着剤３にはアクリルやエポキシ系の樹脂
が多く用いられる。これが紫外線照射または加熱等で硬
化することにより、ジンバル舌部２ａとスライダ背面１
ａが接着される。スライダ１にはセラミックが多く用い
られる。この場合、線膨張係数は大きい順に接着剤３、
ジンバル舌部２ａ、スライダ１となる。ヘッド組み立て
工程における接着時加熱温度から室温までの冷却の間、
接着剤３は、スライダ１及びジンバル舌部２ａに比べて
大きく収縮し、スライダ背面１ａ及びジンバル舌部２ａ
の接着剤側は、各々の面に平行な引っ張り応力を受け
る。この応力によりスライダ１は曲げ変形し、スライダ
浮上面１ｂは凸形状になる。この時の変形量は、接着剤
３の厚さ、スライダ背面１ａ及びジンバル舌部２ａの平
坦さ、ジンバル舌部２ａ及びスライダ１の厚さにより異
なる。変形量のばらつきによるスライダ浮上面１ｂの平
坦さのばらつきは、スライダ浮上量ばらつきを引き起こ
すため、低浮上量による高記録密度のディスク装置を実
現できなくなる。 【００１８】スライダ１とジンバル舌部２ａの接着後の
応力及び周囲の雰囲気の湿度等により、接着剤３にはク
リープもしくは吸湿等による伸びが発生する。この伸び
によりスライダ１の曲げ変形が緩和され、時間に伴い、
スライダ浮上面１ｂの平坦さが変化する。この変化及び
変化量のばらつきにより、ヘッド組み立て直後の検査で
のスライダ浮上量とディスク装置組み立て後の浮上量と
の間に差とばらつきが生じる。このため、低浮上量によ
る高記録密度のディスク装置での信頼性を確保できなく
なる。 【００１９】ディスク装置の起動直後と定常稼動時では
ディスク装置内部のヘッド周囲の温度は異なる。また、
ディスク装置を設置してある場所の気温の変化によって
も、ディスク装置内の温度は変化する。これらの温度変
化に伴い、接着剤３はスライダ１及びジンバル舌部２ａ
に比べて大きく伸縮する。この伸縮は、上述のヘッド組
み立て工程の場合と同様、スライダ浮上面１ｂの平坦さ
の変化をもたらす。この変化により、ディスク装置の稼
動時にスライダ浮上量が変化すると、ディスク６上の記
録媒体とスライダ１上のヘッドとの距離が変化し、記録
・再生時の誤りが発生しやすくなるため、高速・高記録
密度のディスク装置を実現できなくなる。 【００２０】ヘッド組み立て時の接着剤３の収縮による
スライダ１の変形量のばらつきを小さくすること、スラ
イダ１とジンバル舌部２ａの接着後の接着剤３の時間に
伴う伸びを小さくすること、及び、ディスク装置稼動時
の温度変化に伴う接着剤３の伸縮によるスライダ１の変
形を小さくすることが、高速・高記録密度のディスク装
置を実現するために必要である。 【００２１】ヘッド組み立て時のスライダ１の変形量ば
らつきを低減するためには、接着剤３の厚さを一定にす
ることが有効であり、接着剤３の時間に伴う伸びを小さ
くするためには、接着後の接着剤３の応力・ひずみを小
さくすること、温度変化に伴うスライダ１の変形を小さ
くするためには、ジンバル舌部２ａ及び接着剤３に比べ
てスライダを変形しにくくすることが、有効である。 【００２２】上述した以外の方法、例えば、線膨張係数
の小さい接着剤、ジンバル材、スライダ材の選定による
方法などは、接着強度、ジンバルの剛性・強度、接着工
程に要する時間・設備によるヘッドの生産能力ヘの影響
等、非常に多くの検討項目と開発コストの増大をもたら
す。 【００２３】上述した３つの方法の中で、最も実現しや
すいものは、ジンバル舌部２ａ及び接着剤３に比べてス
ライダ１を変形しにくくすることである。言い換えれ
ば、スライダ１に比べて、ジンバル舌部２ａ及び接着剤
３の剛性を小さくしてやることである。 【００２４】ジンバル舌部２ａ及び接着剤３の低剛性化
は、厚さを薄くすることによるのが効果的である。接着
剤３の厚さは、ヘッド組み立て工程でこれを制御するの
は非常に困難であるが、多くの場合１〜５μｍ程度であ
り、通常用いられるスライダの厚さと比べて十分に小さ
い。また、多く用いられる接着剤及びスライダ材のヤン
グ率を比較しても、接着剤の剛性は十分に小さい。 【００２５】一方、ジンバル舌部２ａに用いられるステ
ンレス鋼のヤング率とスライダ１に用いられるセラミッ
クのヤング率は多くの場合、同じオーダーである。ジン
バル舌部２ａの厚さは、多くの実用的なジンバルが一定
の厚さの一枚の板材から作られるため、上述の腕部２ｂ
と同じく２５μｍと同等かそれよりも厚い。 【００２６】図５は、ジンバル舌部の板厚とヘッド組み
立て前後でのスライダ浮上面の平坦さの変化量の関係を
有限要素法によるモデルを用いて解析した結果の一例を
示す説明図である。横軸は舌部の板厚、縦軸は平坦さの
変化量を表す。エラーバーは、接着剤の厚さが１μｍば
らつくことによる平坦さの変化量のばらつきを示す。舌
部の板厚が薄くなるにつれ、平坦さの変化量、ばらつき
とも小さくなっている。 【００２７】図６は、図５と同じ方法により得られた、
ジンバル舌部板厚と、スライダ浮上面の平坦さの変化量
の舌部板厚及び接着剤厚に対する感度の関係を表す線図
である。横軸は舌部板厚、縦軸は感度である。板厚が減
少するにつれて板厚感度は緩やかに増加しているが、接
着剤厚感度は急速に減少している。 【００２８】図５及び図６より明らかなように、ヘッド
組み立てに伴う浮上面の平坦さばらつきを抑えるために
は、ジンバル舌部の板厚は２５μｍ以下で薄いほうが良
く、実用的な強度確保のためには、５μｍ以上であるこ
とが望ましい。 【００２９】図１〜図４に示す第１の実施の形態では、
ジンバル２を一枚の板からエッチング加工する際に、ジ
ンバル舌部２ａのスライダ背面１ａと対向する面と反対
側を、ディンプル４ａと接する部分を除いてエッチング
し、ジンバル舌部２ａの厚さ（ｔ１）が他の部分（厚さ
ｔ０）と比べて薄くなるようにしてある。このようにす
ることにより、ヘッド組み立て時及びディスク装置稼動
時の温度変化に伴う接着剤３の伸縮によるスライダ１の
変形を小さくすることができ、スライダ背面１ａ及びジ
ンバル舌部２ａの平坦さのばらつき、対向する被接着面
の相対的な傾斜ばらつき、接着工程での押し付け力ばら
つき等に起因する接着剤３の厚さばらつきによる、ヘッ
ド組み立て時のスライダ１変形量ばらつきを低減するこ
とが可能となる。スライダ１の変形量が小さくなること
により接着剤３の内部に発生する応力も小さくなるた
め、クリープ及び吸湿による接着剤３の時間に伴う伸び
も小さくなる。 【００３０】温度、湿度等の環境条件による接着剤３の
変形に伴うスライダ１の変形と変形量ばらつきを小さく
することにより、ヘッド組み立て時から装置稼動時まで
のスライダ浮上面１ｂの平坦さは一定に保たれ、スライ
ダ１の浮上量ばらつきが低減され、安定した低浮上によ
る高速・高記録密度のディスク装置が実現可能となる。 【００３１】（実施の形態２）図７、図８、図９は、本
発明の第２の実施の形態を示す。図７は本発明を適用し
た磁気ヘッド支持機構の第２の実施の形態の一例を示す
斜視図、図８は本実施の形態の磁気ヘッド支持機構の先
端部の構造を拡大して示す断面図、図９は本実施の形態
を構成するジンバルの構造の一例を示す斜視図である。 【００３２】磁気ヘッドを搭載したスライダ９をスライ
ダ背面９ａにてジンバル１０のジンバル舌部１０ａに接
着剤１１で固定し、ジンバル１０は、ジンバル舌部１０
ａ、腕部１０ｂ及びロードアーム１２との取り付け部１
０ｃからなっており、取り付け部１０ｃは溶接点１３を
介してロードアーム１２と接合されている。ジンバル舌
部１０ａは、スライダ背面９ａと対向する面の反対側の
一部もしくは全面にエッチング等を施すことにより、ジ
ンバル１０の他の部分と比べて板厚が薄くなっている。
ジンバルの腕部１０ｂはディスクに平行な方向には変形
しにくく、垂直な方向には変形しやすい構造であり、ジ
ンバル舌部１０ａに設けられたディンプル１０ｄにてロ
ードアーム１２と接している。こうすることにより、ス
ライダ９はディンプル１０ｄを中心として、ディスクに
平行な軸の回りに柔軟に回転することができ、スライダ
浮上面９ｂの初期姿勢角と浮上時の姿勢の差による浮上
量ばらつきを抑えると同時に、ディスク表面のうねりに
スライダ９が追従しながら浮上することが、可能にな
る。 【００３３】この第２の実施の形態では、ジンバル舌部
１０ａのスライダ背面９ａと対向する面の反対側を、デ
ィンプル１０ｄの部分を除いてエッチングしてある。こ
れによりジンバル舌部１０ａの厚さｔ１を他の領域の厚
さｔ０よりも薄くし、剛性を選択的に小さくすることが
できるので、第１の実施の形態と同様に、環境による接
着剤１１の伸縮によるスライダ９の変形を低減し、ヘッ
ド組み立て時及びディスク装置稼動時のスライダ浮上面
９ｂの平坦さの変化とばらつきを縮小できる。したがっ
て、安定した低浮上による高速・高記録密度のディスク
装置を実現することが可能となる。 【００３４】（実施の形態３）図１０、図１１、図１２
は、本発明の第３の実施の形態を示す。図１０は本発明
を適用した磁気ヘッド支持機構の第３の実施の形態の一
例を示す斜視図、図１１は本実施の形態の磁気ヘッド支
持機構の先端部を拡大して示す斜視図、図１２は本実施
の形態の磁気ヘッド支持機構の先端部を拡大して示す断
面図である。 【００３５】この第３の実施の形態の磁気ヘッド支持機
構では、磁気ヘッドを搭載したスライダ１４がスライダ
背面１４ａにてスライダスペーサ部１６に接着剤１５で
固定され、スライダスペーサ部１６、環状柔軟部１７と
スライダスペーサ部１６を接続する内腕部１８、環状柔
軟部１７とロードアーム部２０を接続する外腕部１９及
びロードアーム部２０は、一枚の板材から一体的に形成
される。 【００３６】環状柔軟部１７、内腕部１８及び外腕部１
９は、スライダ１４がディスク面のうねり等に追従でき
るようにするために、スライダ背面１４ａと対向する面
にエッチング等を施すことにより、ロードアーム部２０
と比べて板厚が薄くなっている。これにより、スライダ
１４と環状柔軟部１７、内腕部１８及び外腕部１９の間
に隙間を確保でき、スライダ１４は、内腕部１８及び外
腕部１９を軸として自由に回転できる。 【００３７】スライダスペーサ部１６の板厚ｔ１は、ス
ライダ背面１４ａと対向する面の反対側の一部または全
面にエッチング等を施すことにより、本来の板材の板厚
ｔ０もしくはロードアーム部２０の板厚ｔ０よりも薄く
なっている。こうすることにより、第１及び第２の実施
の形態でのジンバル舌部と同様に、スライダスペーサ部
１６の剛性を選択的に小さくし、ヘッド組み立て時やデ
ィスク装置稼動時の環境による接着剤１５の伸縮による
スライダ１４の変形を小さくし、スライダ浮上面１４ｂ
の平坦さの変化とばらつきを縮小し、浮上量ばらつきを
低減することができ、低浮上による高速・高記録密度の
ディスク装置が実現可能となる。 【００３８】（実施の形態４）図１３、図１４、図１５
は、本発明の第４の実施の形態を示す。図１３は本発明
を適用した磁気ヘッド支持機構の第４の実施の形態の一
例を示す斜視図、図１４は本実施の形態の磁気ヘッド支
持機構の先端部を拡大して示す斜視図、図１５は本実施
の形態の磁気ヘッド支持機構を構成するスライダスペー
サを取り出して示す斜視図である。 【００３９】この第４の実施の形態の磁気ヘッド支持機
構では、磁気ヘッドを搭載したスライダ２１はスライダ
背面２１ａにてスライダスペーサ２３に接着剤２２で固
定され、スライダスペーサ２３とジンバル２４は互いに
接触する領域よりも小さい固定領域２５で溶接等により
固定される。ジンバル２４は、環状柔軟部２４ａ、スラ
イダスペーサ取り付け部２４ｂ、ロードアーム固定部２
４ｅ、環状柔軟部２４ａとスライダスペーサ取り付け部
２４ｂを接続する内腕部２４ｃ、環状柔軟部２４ａとロ
ードアーム固定部２４ｅを接続する外腕部２４ｄを一体
的に形成して構成され、溶接等によりロードアーム２６
に固定される。 【００４０】ジンバル２４は平らであり、スライダ背面
２１ａとスライダスペーサ取り付け部２４ｂとの間にス
ライダスペーサ２３を挟むことにより、スライダ背面２
１ａとジンバル２４の間に隙間ができ、スライダ２１は
内腕部２４ｃ及び外腕部２４ｄを軸として自由に回転す
ることができるので、スライダ２１はディスク面のうね
りに追従しながら浮上することができる。 【００４１】スライダスペーサ２３の板厚ｔ１は、ロー
ドアーム２６と同じかそれよりも厚い板厚の板材を用
い、スライダ背面２１ａと対向する面の反対側の固定領
域２５との固定部を除く部分にエッチング等を施すこと
により、加工前の板材の板厚ｔ０よりも薄くなってい
る。こうすることにより、スライダ背面２１ａとジンバ
ル２４の間の隙間を確保すると同時に、第１、第２の実
施の形態のジンバル舌部及び第３の実施の形態のスライ
ダスペーサ部と同様に、スライダスペーサ２３の剛性を
選択的に小さくし、ヘッド組み立て時及びディスク装置
稼動時の環境による接着剤２２の伸縮に伴うスライダ２
１の変形を小さくし、スライダ浮上面２１ｂの平坦さの
変化とばらつきを縮小し、スライダ浮上量のばらつきを
小さくし、低浮上による高速・高記録密度のディスク装
置を実現することが可能になる。 【００４２】以上説明したように、本発明の磁気ヘッド
支持機構の各実施の形態によれば、ヘッド組み立て時及
びディスク装置稼働時の環境に起因する接着剤の伸縮に
よるスライダ浮上面の変形及びばらつきを縮小すること
により、スライダ浮上量のばらつき及び変動を小さくで
きる。この結果、スライダ浮上量が低く、データの書き
込み・再生時の誤りが少ない、高速・高記録密度の磁気
ディスク装置を実現することが可能になる。 【００４３】 【発明の効果】本発明の磁気ヘッド支持機構によれば、
ヘッド組み立て時に起こるジンバルやスライダの反り・
ねじれ等による浮上量ばらつきを低減することにより、
スライダの低浮上化を実現することができる、という効
果が得られる。 【００４４】また、磁気ディスク装置の稼動時のスライ
ダ浮上量変化を抑制し、記録・再生時の誤りの発生を抑
えることによって、高速・高記録密度の磁気ディスク装
置を実現することができる、という効果が得られる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の第１の実施の形態である磁気ヘッド支
持機構の先端部の構造の一例を拡大して示す断面図であ
る。 【図２】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド支持機
構を構成するジンバルを取り出して示す斜視図である。 【図３】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド支持機
構の斜視図である。 【図４】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド支持機
構の平面図である。 【図５】ジンバル舌部の板厚とヘッド組み立て前後での
スライダ浮上面の平坦さの変化量の関係を有限要素法に
よるモデルを用いて解析した結果の一例を示す説明図で
ある。 【図６】ジンバル舌部板厚と、スライダ浮上面の平坦さ
の変化量の舌部板厚及び接着剤厚に対する感度の関係の
一例を表す線図である。 【図７】本発明を適用した磁気ヘッド支持機構の第２の
実施の形態の一例を示す斜視図である。 【図８】本発明の第２の実施の形態の磁気ヘッド支持機
構の先端部の構造を拡大して示す断面図である。 【図９】本発明の第２の実施の形態を構成するジンバル
の構造の一例を示す斜視図である。 【図１０】本発明を適用した磁気ヘッド支持機構の第３
の実施の形態の一例を示す斜視図である。 【図１１】本発明の第３の実施の形態の磁気ヘッド支持
機構の先端部を拡大して示す斜視図である。 【図１２】本発明の第３の実施の形態の磁気ヘッド支持
機構の先端部を拡大して示す断面図である。 【図１３】本発明を適用した磁気ヘッド支持機構の第４
の実施の形態の一例を示す斜視図である。 【図１４】本発明の第４の実施の形態の磁気ヘッド支持
機構の先端部を拡大して示す斜視図である。 【図１５】本発明の第４の実施の形態の磁気ヘッド支持
機構を構成するスライダスペーサを取り出して示す斜視
図である。 【符号の説明】 １…スライダ、１ａ…スライダ背面、１ｂ…スライダ浮
上面、２…ジンバル、２ａ…ジンバル舌部、２ｂ…腕
部、２ｃ…取り付け部、３…接着剤、４…ロードアー
ム、４ａ…ディンプル、４ｂ…剛体部、４ｃ…ばね部、
５…溶接点、６…ディスク、７…マウント、８…ガイド
アーム、９…スライダ、９ａ…スライダ背面、９ｂ…ス
ライダ浮上面、１０…ジンバル、１０ａ…ジンバル舌
部、１０ｂ…腕部、１０ｃ…取り付け部、１０ｄ…ディ
ンプル、１１…接着剤、１２…ロードアーム、１３…溶
接点、１４…スライダ、１４ａ…スライダ背面、１４ｂ
…スライダ浮上面、１５…接着剤、１６…スライダスペ
ーサ部、１７…環状柔軟部、１８…内腕部、１９…外腕
部、２０…ロードアーム部、２１…スライダ、２１ａ…
スライダ背面、２１ｂ…スライダ浮上面、２２…接着
剤、２３…スライダスペーサ、２４…ジンバル、２４ａ
…環状柔軟部、２４ｂ…スライダスペーサ取り付け部、
２４ｃ…内腕部、２４ｄ…外腕部、２４ｅ…ロードアー
ム固定部、２５…固定領域、２６…ロードアーム。

フロントページの続き (72)発明者 益川 哲男 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所 ストレージシステム事 業部内 (72)発明者 高橋 賢治 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所 ストレージシステム事 業部内 (72)発明者 吉松 稔兼 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所 ストレージシステム事 業部内 (72)発明者 大澤 英紀 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所 ストレージシステム事 業部内 (72)発明者 竹内 芳徳 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所 ストレージシステム事 業部内 (56)参考文献 特開 平５−151730（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−153215（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−22296（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−190712（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−159502（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−220258（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−179287（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 21/16 G11B 5/56

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】磁気ヘッドを搭載したスライダと、前記ス
   ライダを接着剤を介して保持するスライダスペーサと、
   前記スライダスペーサをスライダスペーサ取り付け部で
   保持しロードアームを介してガイドアームに接続される
   ジンバルとを有し、 前記スライダスペーサの前記ジンバル側の面において、
   前記スライダスペーサ取り付け部に固定される固定部以
   外の領域面を、前記固定部の領域面より低い所定の平坦
   面とすることを特徴とする磁気ヘッド支持機構。