JP3481791B2 - Boron measuring method and apparatus, ultrapure water production apparatus and operating method thereof - Google Patents
Boron measuring method and apparatus, ultrapure water production apparatus and operating method thereofInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料液中の硼素濃
度の測定方法及び装置に関し、さらに詳述すると、純
水、超純水等に含まれるｐｐｂオーダー、ｐｐｔオーダ
ーといった微量の硼素の測定に好適に用いられる方法及
び装置に関する。また、本発明は、上記硼素測定装置を
用いた超純水（純水を含む）の製造装置及びその運転方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for measuring the concentration of boron in a sample solution, and more specifically, it will measure a minute amount of boron such as ppb order or ppt order contained in pure water or ultrapure water. The present invention relates to a method and an apparatus preferably used for. The present invention also relates to an apparatus for producing ultrapure water (including pure water) using the above boron measuring apparatus and a method for operating the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体産業におけるシリコンウエハの洗
浄等には、不純物を高度に除去した超純水が使用されて
いるが、近年の半導体デバイスの高集積度化に伴い、超
純水をさらに高い水質とすることが求められている。そ
の中で、原水に含まれる硼素が難除去性物質として注目
され、超純水中の硼素濃度を可能な限り低減することが
望まれている。そのため、超純水製造プラントにおいて
は、プラントを構成する各装置における処理水中の硼素
濃度を監視しながら運転を行うことが必要になりつつあ
る。2. Description of the Related Art Ultrapure water from which impurities have been highly removed is used for cleaning silicon wafers in the semiconductor industry. With the recent increase in the degree of integration of semiconductor devices, the use of ultrapure water has become even higher. Water quality is required. Among them, boron contained in raw water is drawing attention as a substance that is difficult to remove, and it is desired to reduce the boron concentration in ultrapure water as much as possible. Therefore, in an ultrapure water production plant, it is becoming necessary to operate while monitoring the boron concentration in the treated water in each device that constitutes the plant.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】試料液中に含まれるｐ
ｐｂオーダー、ｐｐｔオーダーの微量の硼素を測定する
手段としては、ＩＣＰ−ＭＳ（誘導結合プラズマ−質量
分析装置）や、ＩＣＰ発光分析装置（誘導結合プラズマ
発光分析装置）を用いる方法がある。しかし、これらの
装置は、いずれも大型で高価であるとともに、取り扱い
が面倒であり、しかもオンライン化が困難である上、装
置の校正に手間がかかるという問題があるため、超純水
製造プラント等の工業プラントにおいて、運転状態を監
視するために装置各所に配置する監視計器としては適当
でない。[Problems to be Solved by the Invention] p contained in a sample solution
As a means for measuring a minute amount of boron on the pb order or the ppt order, there is a method using an ICP-MS (inductively coupled plasma-mass spectrometer) or an ICP emission spectrometer (inductively coupled plasma emission spectrometer). However, all of these devices are large and expensive, cumbersome to handle, and difficult to put online, and there is a problem that the calibration of the device is time-consuming, so that the ultrapure water production plant etc. Is not suitable as a monitoring instrument to be placed at various places in the industrial plant to monitor the operating condition.
【０００４】また、ＪＩＳには、試料液にマンニトール
を添加してから中和滴定を行う硼素測定方法が規定され
ているが、この方法はｐｐｍオーダーの硼素を測定する
ことはできるものの、ｐｐｂオーダー（特に一桁）、ｐ
ｐｔオーダーの微量の硼素を測定することは難しく、ま
たオンライン化が困難である。[0004] In addition, JIS defines a boron measuring method in which mannitol is added to a sample solution and then neutralization titration is performed. This method can measure ppm order boron, but is in ppb order. (Especially one digit), p
It is difficult to measure a very small amount of boron in the pt order, and it is difficult to put it online.
【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、試料液中に含まれるｐｐｂオーダー、ｐｐｔオーダ
ーの微量の硼素濃度を小型の装置を用いて簡便かつ安価
に測定することができるとともに、オンライン化、装置
の校正が容易であり、したがって超純水製造プラント等
の工業プラントにおいて各装置の処理水中の硼素濃度を
監視する場合などに好適に使用することができる硼素測
定方法及び装置、並びに、該硼素測定装置を用いた超純
水製造装置及びその運転方法を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to easily and inexpensively measure a minute amount of boron concentration of ppb order or ppt order contained in a sample solution using a small apparatus. , On-line, it is easy to calibrate the device, and therefore can be suitably used when monitoring the concentration of boron in the treated water of each device in an industrial plant such as ultrapure water production plant, a boron measuring method and device, Another object of the present invention is to provide an ultrapure water producing apparatus using the boron measuring apparatus and an operating method thereof.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するため、硼酸イオンと反応して錯体を形成する多価
アルコールを試料液に添加するとともに、該試料液の導
電率又は抵抗率に基づいて試料液中の硼素濃度を求める
に当たり、前記多価アルコール又はその溶液の脱塩処理
を行ってから該多価アルコール又はその溶液を試料液に
添加することを特徴とする硼素測定方法を提供する。ま
た、本発明は、硼酸イオンと反応して錯体を形成する多
価アルコールを試料液に添加する多価アルコール添加機
構と、試料液の導電率又は抵抗率を検出する導電率／抵
抗率検出機構と、導電率／抵抗率検出機構で検出した試
料液の導電率又は抵抗率に基づいて試料液中の硼素濃度
を求める演算部とを具備するとともに、前記多価アルコ
ール添加機構が多価アルコール又はその溶液の脱塩処理
を行う脱塩処理部を備え、多価アルコール添加機構によ
り多価アルコールを試料液に添加するに当たり、前記脱
塩処理部で多価アルコール又はその溶液の脱塩処理を行
ってから該多価アルコール又はその溶液を試料液に添加
することを特徴とする硼素測定装置を提供する。さら
に、本発明は、上記硼素測定装置を用いた超純水製造装
置及びその運転方法を提供する。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention adds a polyhydric alcohol which reacts with borate ions to form a complex to a sample solution, and the conductivity or resistivity of the sample solution. In determining the boron concentration in the sample solution based on, a method for measuring boron, characterized in that the polyhydric alcohol or the solution thereof is desalted and then the polyhydric alcohol or the solution is added to the sample solution. provide. Further, the present invention provides a polyhydric alcohol addition mechanism for adding a polyhydric alcohol that reacts with borate ions to form a complex to a sample solution, and a conductivity / resistivity detection mechanism for detecting the conductivity or the resistivity of the sample solution. And a calculation unit for obtaining the boron concentration in the sample liquid based on the conductivity or the resistivity of the sample liquid detected by the conductivity / resistivity detection mechanism, and the polyhydric alcohol addition mechanism is a polyhydric alcohol or Equipped with a desalting unit for desalting the solution, the polyalcohol or its solution is desalted in the desalting unit when the polyhydric alcohol is added to the sample solution by the polyhydric alcohol addition mechanism. A boron measuring apparatus is characterized in that the polyhydric alcohol or a solution thereof is added to a sample solution after that. Further, the present invention provides an ultrapure water production system and a method for operating the same, which uses the above boron measurement system.
【０００７】本発明において、硼酸イオンと反応して錯
体を形成する多価アルコールとしては、必ずしも限定さ
れないが、下記式（Ａ）で示されるマンニトール、下記
式（Ｂ）で示されるソルビトール又は下記式（Ｃ）で示
されるグリセリンを好適に用いることができる。なお、
下記式においてマンニトール及びソルビトールはいずれ
もＤ体を示したが、Ｌ体を使用することもできる。In the present invention, the polyhydric alcohol which reacts with borate ions to form a complex is not necessarily limited, but mannitol represented by the following formula (A), sorbitol represented by the following formula (B) or the following formula: Glycerin represented by (C) can be preferably used. In addition,
In the formula below, both mannitol and sorbitol showed D-form, but L-form can also be used.
【化１】 [Chemical 1]
【０００８】マンニトール、ソルビトール、グリセリン
といった多価アルコールを試料液中に添加した場合、上
記多価アルコールが試料液中に存在する硼酸イオンと反
応して強酸性の錯体を形成し、試料液のｐＨが低下す
る。このとき、試料液中の硼素が微量であっても、多価
アルコールを添加することによって試料液のｐＨが変動
し、試料液の導電率又は抵抗率が大きく変化する。した
がって、試料液中の硼素濃度と試料液の導電率又は抵抗
率との関係を予め求めておけば、試料液中の硼素が微量
の場合でも、試料液の導電率又は抵抗率に基づいて試料
液中の硼素濃度を求めることができる。また、本発明の
硼素測定装置は、多価アルコール添加機構と、小型の装
置である導電率計又は抵抗率計を備えた導電率／抵抗率
検出機構とを用いて作製できるため、小型で安価である
とともに、取り扱いが簡単であり、しかもオンライン
化、装置の校正が容易である。When a polyhydric alcohol such as mannitol, sorbitol or glycerin is added to the sample solution, the polyhydric alcohol reacts with borate ions present in the sample solution to form a strongly acidic complex, and the pH of the sample solution is lowered. Is reduced. At this time, even if the amount of boron in the sample solution is very small, the pH of the sample solution is changed by adding the polyhydric alcohol, and the conductivity or the resistivity of the sample solution is greatly changed. Therefore, if the relationship between the boron concentration in the sample solution and the conductivity or the resistivity of the sample solution is obtained in advance, the sample is calculated based on the conductivity or the resistivity of the sample solution even when the amount of boron in the sample solution is very small. The boron concentration in the liquid can be determined. Further, the boron measuring apparatus of the present invention can be manufactured by using a polyhydric alcohol adding mechanism and a conductivity / resistivity detecting mechanism including a small-sized conductivity meter or a resistivity meter, and thus is small and inexpensive. In addition, it is easy to handle, and it is easy to go online and calibrate the device.
【０００９】この場合、本発明において多価アルコール
と反応して錯体を形成する硼酸イオンは、ＢＯ3 3-、Ｂ
Ｏ2 2-、［Ｂ3Ｏ6］3-、Ｂ（ＯＨ）4 -である。硼酸イオ
ンと多価アルコールが反応すると、例えば下記に示した
ように硼酸イオンと多価アルコールとが結合し強酸とな
る。なお、（Ａ）はマンニトールに硼酸イオンが結合し
たもの、（Ｂ）はソルビトールに硼酸イオンが結合した
もの、（Ｃ）はグリセリンに硼酸イオンが結合したもの
を示す。In this case, in the present invention, borate ions which react with a polyhydric alcohol to form a complex include BO 3 3− , B 3
O 2 2− , [B 3 O 6 ] 3− , and B (OH) 4 − . When the borate ion reacts with the polyhydric alcohol, for example, as shown below, the borate ion and the polyhydric alcohol combine to form a strong acid. Note that (A) shows mannitol bound with borate ions, (B) shows sorbitol bound with borate ions, and (C) shows glycerin bound with borate ions.
【化２】 [Chemical 2]
【００１０】本発明では、試料液に多価アルコール又は
その溶液（以下これらをまとめて多価アルコール液とい
うこともある）を添加するものであるが、多価アルコー
ル液はイオン性不純物を含まないことがその不純物由来
の抵抗率変動による硼酸イオン濃度の測定誤差をおさえ
る点で望ましい。したがって、多価アルコール液を試料
液に添加するに際しては、多価アルコール液を予め脱塩
処理し、試料液に添加するまで外気を遮断して保管して
おく手段、あるいは、多価アルコール液を試料液に添加
する流路に脱塩処理部を設置し、多価アルコール液を試
料液に添加する前に上記脱塩処理部によって多価アルコ
ール液の脱塩処理を行う手段を採用することが好まし
い。これらの手段において、多価アルコール液の脱塩処
理には、イオン交換装置、電気再生型脱塩装置といった
液中のイオン性不純物を除去する公知の装置を利用する
ことができる。In the present invention, a polyhydric alcohol or a solution thereof (hereinafter sometimes collectively referred to as polyhydric alcohol liquid) is added to the sample liquid, but the polyhydric alcohol liquid does not contain ionic impurities. It is preferable that the measurement error of the borate ion concentration due to the fluctuation of the resistivity due to the impurities is suppressed. Therefore, when adding the polyhydric alcohol solution to the sample solution, the polyhydric alcohol solution is desalted in advance and a means for storing the polyhydric alcohol solution in a state where the outside air is blocked until it is added to the sample solution, or It is possible to install a desalting treatment unit in the flow path to be added to the sample liquid, and to adopt a means for performing desalting treatment of the polyhydric alcohol liquid by the desalting treatment unit before adding the polyhydric alcohol liquid to the sample liquid. preferable. In these means, for the desalting treatment of the polyhydric alcohol liquid, a known device for removing ionic impurities in the liquid, such as an ion exchange device or an electric regeneration type desalination device, can be used.
【００１１】本発明においては、多価アルコールを試料
液に添加するとともに、試料液の導電率又は抵抗率に基
づいて試料液中の硼素濃度を求める。この場合、ベース
の導電率又は抵抗率がほぼ一定の試料液であれば、多価
アルコールを添加した後（錯体形成後）の試料液の導電
率又は抵抗率を検出するだけで試料液中の硼素濃度を求
めることができるが、通常は、多価アルコールの添加前
及び添加後（錯体形成後）における試料液の導電率又は
抵抗率を検出し、それらの差に基づいて試料液中の硼素
濃度を求めることが適当である。In the present invention, the polyhydric alcohol is added to the sample solution, and the boron concentration in the sample solution is determined based on the conductivity or the resistivity of the sample solution. In this case, in the case of a sample solution in which the conductivity or resistivity of the base is almost constant, the conductivity or resistivity of the sample solution after addition of the polyhydric alcohol (after complex formation) is simply detected. The boron concentration can be determined. Usually, the conductivity or resistivity of the sample solution before and after the addition of polyhydric alcohol (after complex formation) is detected, and the boron concentration in the sample solution is calculated based on the difference between them. It is appropriate to determine the concentration.
【００１２】試料液の導電率又は抵抗率の検出には、公
知の導電率計又は抵抗率計を用いることができるが、試
料液中の硼素が微量の場合には、低導電率域を正確に測
定することが可能な抵抗率計を用いることが測定精度の
点でより好ましい。また、試料液の導電率又は抵抗率を
正確に検出するためには、試料液の導電率が２μＳ／ｃ
ｍ以下であること望ましい。これは、多価アルコール添
加前後の導電率又は抵抗率の変化が小さいため、これを
正確に検出するためには、バックグラウンドとなる試料
液の導電率を低くおさえておくことが必要であるという
理由からである。A known conductivity meter or resistivity meter can be used to detect the conductivity or the resistivity of the sample solution. However, when the sample solution contains a very small amount of boron, the low conductivity range can be accurately measured. It is more preferable from the viewpoint of measurement accuracy to use a resistivity meter capable of measuring. Further, in order to accurately detect the conductivity or resistivity of the sample solution, the conductivity of the sample solution should be 2 μS / c.
It is desirable that it is m or less. This is because the change in conductivity or resistivity before and after the addition of polyhydric alcohol is small, so to accurately detect this, it is necessary to keep the conductivity of the sample liquid as the background low. Because of the reason.
【００１３】本発明においては、試料液中の硼素量と添
加する多価アルコール量とのモル比が１：１〜１：１０
０００００の範囲、好ましくは１：２〜１：１０００の
範囲となるように試料液に多価アルコールを添加するこ
とが適当である。多価アルコールが少なすぎると試料液
中の硼素と多価アルコールとが十分に反応しないため導
電率又は抵抗率の変化が少なくなることがあり、逆に多
価アルコールが多すぎると多価アルコールが無駄にな
る。In the present invention, the molar ratio of the amount of boron in the sample liquid to the amount of polyhydric alcohol added is 1: 1 to 1:10.
It is suitable to add the polyhydric alcohol to the sample solution so as to be in the range of 00000, preferably 1: 2 to 1: 1000. If the polyhydric alcohol is too small, the boron and the polyhydric alcohol in the sample solution do not react sufficiently, and thus the change in the conductivity or the resistivity may be small. Conversely, if the polyhydric alcohol is too much, the polyhydric alcohol is To be wasted.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】本発明に係る硼素測定装置及び超
純水製造装置を実施形態例として示すが、本発明の硼素
測定装置及び超純水製造装置は下記例に限定されるもの
ではない。図１〜図３はそれぞれ本発明に係る硼素測定
装置の一実施形態例を示すフロー図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The boron measuring apparatus and the ultrapure water producing apparatus according to the present invention will be shown as an embodiment, but the boron measuring apparatus and the ultrapure water producing apparatus of the present invention are not limited to the following examples. . 1 to 3 are flowcharts showing an embodiment of a boron measuring apparatus according to the present invention.
【００１５】図１の硼素測定装置は、試料液２が導入さ
れる試料液導入管４と、試料液導入管４に連結された多
価アルコール添加機構６と、多価アルコール添加機構６
の連結箇所より下流側に存して試料液導入管４に設けら
れた導電率／抵抗率検出機構８と、導電率／抵抗率検出
機構８と連絡する演算部１０とを備えている。多価アル
コール添加機構６は、多価アルコール液貯留部１２と、
流入端が多価アルコール液貯留部１２に連結され、流出
端が試料液導入管４に連結された注入ライン１３とを備
えている。注入ライン１３には、多価アルコール液注入
ポンプ１４及び多価アルコール液中のイオン性不純物を
除去する脱塩処理部１６が介装されている。The boron measuring apparatus shown in FIG. 1 has a sample liquid introducing pipe 4 into which the sample liquid 2 is introduced, a polyhydric alcohol adding mechanism 6 connected to the sample liquid introducing pipe 4, and a polyhydric alcohol adding mechanism 6.
A conductivity / resistivity detecting mechanism 8 provided on the sample liquid introducing tube 4 and located downstream of the connection point of 1 and a computing unit 10 communicating with the conductivity / resistivity detecting mechanism 8. The polyhydric alcohol adding mechanism 6 includes a polyhydric alcohol liquid storage section 12,
An inflow end is connected to the polyhydric alcohol solution storage portion 12, and an outflow end is provided with an injection line 13 connected to the sample liquid introduction tube 4. The injection line 13 is provided with a polyhydric alcohol liquid injection pump 14 and a desalination processing unit 16 for removing ionic impurities in the polyhydric alcohol liquid.
【００１６】図１の装置では、硼酸イオンと反応して錯
体を形成する多価アルコール又はその溶液が多価アルコ
ール液貯留部１２に貯留されている。この多価アルコー
ル液は、脱塩処理部１６で脱塩処理された後、注入ライ
ン１３から試料液導入管４を流れる試料液に添加され
る。そして、多価アルコール液添加後の試料液の導電率
又は抵抗率が導電率／抵抗率検出機構８で検出されると
ともに、その出力に基づいて演算部１０で試料液中の硼
素濃度が演算され、出力される。本装置は、試料液のベ
ースの導電率又は抵抗率がほぼ一定である場合に好適に
使用される。In the apparatus of FIG. 1, a polyhydric alcohol or a solution thereof which reacts with borate ions to form a complex is stored in the polyhydric alcohol liquid storage section 12. The polyhydric alcohol solution is desalted by the desalting unit 16 and then added to the sample solution flowing from the injection line 13 to the sample solution introduction pipe 4. Then, the conductivity or resistivity of the sample solution after the addition of the polyhydric alcohol solution is detected by the conductivity / resistivity detection mechanism 8, and the boron concentration in the sample solution is calculated by the calculation unit 10 based on the output thereof. , Is output. The present device is preferably used when the conductivity or resistivity of the base of the sample liquid is almost constant.
【００１７】図２の硼素測定装置は、図１の装置と同様
の試料液導入管４及び多価アルコール添加機構６と、多
価アルコール添加機構６の連結箇所より上流側に存して
試料液導入管４に設けられた第１の導電率／抵抗率検出
機構２０と、上記連結箇所より下流側に存して試料液導
入管４に設けられた第２の導電率／抵抗率検出機構２２
と、両導電率／抵抗率検出機構２０，２２と連絡する演
算部１０とを備えている。The boron measuring device shown in FIG. 2 is located in the sample liquid introducing pipe 4 and the polyhydric alcohol adding mechanism 6 similar to the device shown in FIG. A first conductivity / resistivity detection mechanism 20 provided on the introduction tube 4 and a second conductivity / resistivity detection mechanism 22 provided on the sample liquid introduction tube 4 downstream of the connection point.
And a computing unit 10 in communication with both conductivity / resistivity detection mechanisms 20 and 22.
【００１８】図２の装置では、多価アルコール添加前の
試料液の導電率又は抵抗率が第１の導電率／抵抗率検出
機構２０で検出され、多価アルコール添加後の試料液の
導電率又は抵抗率が第２の導電率／抵抗率検出機構２２
で検出されるとともに、両導電率／抵抗率検出機構２
０，２２の出力の差に基づいて演算部１０で試料液中の
硼素濃度が演算され、出力される。In the apparatus of FIG. 2, the conductivity or resistivity of the sample solution before the addition of the polyhydric alcohol is detected by the first conductivity / resistivity detection mechanism 20, and the conductivity of the sample solution after the addition of the polyhydric alcohol is detected. Alternatively, the second conductivity / resistivity detection mechanism 22 has a second resistivity.
Both conductivity / resistivity detection mechanism 2
Based on the difference between the outputs of 0 and 22, the calculation unit 10 calculates the boron concentration in the sample solution and outputs it.
【００１９】図３の硼素測定装置は、試料液２が導入さ
れる試料液導入管４と、試料液導入管４に連結された多
価アルコール添加機構３０と、多価アルコール添加機構
３０の連結箇所より下流側に存して試料液導入管４に設
けられた導電率／抵抗率検出機構３２と、導電率／抵抗
率検出機構３２と連絡する演算部１０とを備えている。
多価アルコール添加機構３０は、両端が多価アルコール
液貯留部１２に連結された循環ライン３４と、流入端が
循環ライン３４に連結され、流出端が試料液導入管４に
連結された注入ライン３６とを備えている。循環ライン
３４には循環ポンプ３８及び脱塩処理部１６が介装さ
れ、注入ライン３６には多価アルコール液注入ポンプ１
４及び電磁弁４０が介装されている。また、電磁弁４０
は制御部４２と連絡し、制御部４２は演算部１０と連絡
している。In the boron measuring apparatus shown in FIG. 3, the sample liquid introducing pipe 4 into which the sample liquid 2 is introduced, the polyhydric alcohol adding mechanism 30 connected to the sample liquid introducing pipe 4, and the polyhydric alcohol adding mechanism 30 are connected. It is provided with a conductivity / resistivity detection mechanism 32 provided on the sample liquid introduction pipe 4 and located downstream of the location, and a calculation unit 10 in communication with the conductivity / resistivity detection mechanism 32.
The polyhydric alcohol adding mechanism 30 has a circulation line 34 whose both ends are connected to the polyhydric alcohol liquid storage unit 12, and an injection line whose inflow end is connected to the circulation line 34 and whose outflow end is connected to the sample liquid introducing pipe 4. 36 and. A circulation pump 38 and a desalination processing unit 16 are provided in the circulation line 34, and a polyhydric alcohol liquid injection pump 1 is provided in the injection line 36.
4 and the solenoid valve 40 are interposed. Also, the solenoid valve 40
Is in communication with the control unit 42, and the control unit 42 is in communication with the calculation unit 10.
【００２０】図３の装置では、制御部４２の制御によっ
て電磁弁４０を閉じ、試料液に多価アルコール液を添加
することなく試料液を導電率／抵抗率検出機構３２に導
入することにより、多価アルコール添加前の試料液の導
電率又は抵抗率が導電率／抵抗率検出機構３２で検出さ
れる。また、制御部４２の制御によって電磁弁４０を開
き、この状態で多価アルコール添加機構３０から試料液
導入管４を流れる試料液に多価アルコール液を添加した
後、試料液を導電率／抵抗率検出機構３２に導入するこ
とにより、多価アルコール添加後の試料液の導電率又は
抵抗率が導電率／抵抗率検出機構３２で検出される。そ
して、上記のようにして多価アルコールの添加の前後に
おける試料液の導電率又は抵抗率が導電率／抵抗率検出
機構３２で順次又は交互に検出されるとともに、その多
価アルコールの添加の前後における導電率又は抵抗率の
出力の差に基づいて演算部１０で試料液中の硼素濃度が
演算され、出力される。なお、図３の装置では、循環ポ
ンプ３８を常時作動させて多価アルコール液が循環ライ
ン３４を常時循環するようにしてある。このようにした
のは、多価アルコール液を循環させつつ脱塩処理部１６
で処理することにより、液質の安定した多価アルコール
液が得られるからである。In the apparatus of FIG. 3, the electromagnetic valve 40 is closed under the control of the control unit 42 and the sample solution is introduced into the conductivity / resistivity detection mechanism 32 without adding the polyhydric alcohol solution to the sample solution. The conductivity / resistivity of the sample liquid before the addition of the polyhydric alcohol is detected by the conductivity / resistivity detection mechanism 32. Further, the solenoid valve 40 is opened under the control of the control unit 42, and in this state, the polyhydric alcohol solution is added from the polyhydric alcohol adding mechanism 30 to the sample solution flowing through the sample solution introducing pipe 4, and then the conductivity / resistance of the sample solution is changed. By introducing into the rate detection mechanism 32, the electrical conductivity or the resistivity of the sample liquid after the addition of the polyhydric alcohol is detected by the electrical conductivity / resistivity detection mechanism 32. Then, as described above, the conductivity or the resistivity of the sample solution before and after the addition of the polyhydric alcohol is sequentially or alternately detected by the conductivity / resistivity detection mechanism 32, and before and after the addition of the polyhydric alcohol. The boron concentration in the sample liquid is calculated by the calculation unit 10 on the basis of the difference between the outputs of the electrical conductivity or the resistivity in the above, and the result is output. In the apparatus of FIG. 3, the circulation pump 38 is constantly operated so that the polyhydric alcohol liquid constantly circulates in the circulation line 34. This is because the desalination processing unit 16 is used while circulating the polyhydric alcohol liquid.
This is because a polyhydric alcohol liquid having a stable liquid quality can be obtained by treating with.
【００２１】図１〜図３の硼素測定装置において、導電
率／抵抗率検出機構としては、試料液中の導電率若しく
は抵抗率又は導電率若しくは抵抗率に対応する物理量を
出力するものを使用することができる。また、多価アル
コール添加機構の脱塩処理部としては、例えば、非再生
型混床式イオン交換装置、電気再生式イオン交換装置等
のイオン交換装置を用いることができる。In the boron measuring apparatus of FIGS. 1 to 3, as the conductivity / resistivity detecting mechanism, one which outputs the conductivity or the resistivity in the sample liquid or the physical quantity corresponding to the conductivity or the resistivity is used. be able to. Further, as the desalting treatment section of the polyhydric alcohol addition mechanism, for example, an ion exchange device such as a non-regeneration type mixed bed type ion exchange device or an electric regeneration type ion exchange device can be used.
【００２２】また、図１〜図３の装置においては、例え
ば、下記のような変更又は付加を行うことが可能であ
る。
図１〜図３の装置では、導電率／抵抗率検出機構の出
力から試料液中の硼素濃度を演算する演算部を設けた
が、演算部は必ずしも必要ではなく、導電率／抵抗率検
出機構の出力値を用いて測定者等が試料液中の硼素濃度
を計算するようにしてもよい。
試料液中の硼素濃度が一定値以上となったとき、ある
いは、多価アルコールの添加の前後における試料液の導
電率又は抵抗率の差が一定値以上となったときに警報出
力を出す機構を設けることができる。警報出力は、例え
ばリレーの開閉を行うなどの手段によって出すことがで
きる。これにより、本発明の硼素測定装置を自動の監視
計器として使用することが可能となる。
試料液中の硼素濃度に対応した信号を出力する機構を
設けることができる。出力としては、計器に指示値を表
示させる出力の他、アナログ又はデジタルの伝送出力と
いった従来の各種監視計器に備えられているいずれの態
様でも採用することができる。これにより、試料液中の
硼素濃度を簡便に知ることができるようになる。
本発明の硼素測定装置の出力は、必ずしも硼素濃度を
直接表示する必要はなく、多価アルコール添加後の導電
率又は抵抗率の変化、あるいは、多価アルコール添加前
後の導電率又は抵抗率の差の変化を出力可能なものであ
れば足りる。ただし、この場合には、測定者等が導電率
／抵抗率検出機構の出力値から硼素濃度を計算する必要
がある。
多価アルコール添加機構の連結箇所とその下流の導電
率／抵抗率検出機構との間において試料液導入管にスパ
イラル管等の撹拌部を設け、多価アルコールと硼素との
反応を進行させることができる。Further, in the apparatus shown in FIGS. 1 to 3, for example, the following modifications or additions can be made. In the apparatus shown in FIGS. 1 to 3, a calculation unit for calculating the boron concentration in the sample solution from the output of the conductivity / resistivity detection mechanism is provided, but the calculation unit is not always necessary, and the conductivity / resistivity detection mechanism is not necessary. The measurer or the like may calculate the boron concentration in the sample liquid by using the output value of. A mechanism that outputs an alarm when the concentration of boron in the sample solution exceeds a certain value or when the difference in conductivity or resistivity of the sample solution before and after the addition of polyhydric alcohol exceeds a certain value Can be provided. The alarm output can be output by means such as opening and closing a relay. This makes it possible to use the boron measuring device of the present invention as an automatic monitoring instrument. A mechanism for outputting a signal corresponding to the boron concentration in the sample solution can be provided. As the output, in addition to the output for displaying the indicated value on the measuring instrument, any mode provided in various conventional monitoring instruments such as analog or digital transmission output can be adopted. This makes it possible to easily know the boron concentration in the sample solution. The output of the boron measuring device of the present invention does not necessarily need to directly indicate the boron concentration, but changes in conductivity or resistivity after addition of polyhydric alcohol, or difference in conductivity or resistivity before and after addition of polyhydric alcohol. Anything that can output the change in is sufficient. However, in this case, a measurer or the like needs to calculate the boron concentration from the output value of the conductivity / resistivity detection mechanism. A stirring section such as a spiral tube may be provided in the sample liquid introduction tube between the connection point of the polyhydric alcohol addition mechanism and the downstream conductivity / resistivity detection mechanism to allow the reaction between the polyhydric alcohol and boron to proceed. it can.
【００２３】図４及び図５はそれぞれ本発明に係る超純
水製造装置の一実施形態例を示すフロー図である。図４
の超純水製造装置において、５２は原水貯槽、５４は前
処理系システム、５６は濾過水槽、５８は一次純水系シ
ステム、６０は二次純水系システムを示す。一次純水系
システム５８には、脱塩装置６２、脱塩水槽６４、逆浸
透膜装置６６、逆浸透膜透過水層６８、真脱気装置７
０、再生型混床式イオン交換装置７２が順次設置されて
いる。二次純水系システム６０には、純水貯槽７４、紫
外線酸化装置７６、カートリッジポリッシャ７８、限外
濾過膜装置８０が順次設置されている。また、本装置で
は、一次純水系システム５８において、再生型混床式脱
塩装置７２の下流側に本発明の硼素測定装置９０が設置
されている。4 and 5 are flow charts showing an embodiment of an ultrapure water producing system according to the present invention. Figure 4
In the ultrapure water producing apparatus of No. 5, 52 is a raw water storage tank, 54 is a pretreatment system, 56 is a filtered water tank, 58 is a primary pure water system, and 60 is a secondary pure water system. The primary pure water system 58 includes a desalination device 62, a desalination water tank 64, a reverse osmosis membrane device 66, a reverse osmosis membrane permeation water layer 68, and a true degassing device 7.
0, a regenerative mixed bed type ion exchange device 72 is sequentially installed. In the secondary pure water system 60, a pure water storage tank 74, an ultraviolet oxidation device 76, a cartridge polisher 78, and an ultrafiltration membrane device 80 are sequentially installed. Further, in the present apparatus, in the primary pure water system 58, the boron measuring apparatus 90 of the present invention is installed downstream of the regenerative mixed bed type desalination apparatus 72.
【００２４】図４の装置では、以下の手順で処理が行わ
れる。まず、原水中に含まれる懸濁物質及び有機物の一
部が前処理システム５４で除去された後、その処理水が
濾過水槽５６を経て一次純水系システム５８に供給さ
れ、脱塩装置６２、逆浸透膜装置６６、真脱気装置７
０、再生型混床式イオン交換装置７２に順次通水され
る。脱塩装置６２は、例えば２床３塔式イオン交換装置
等のイオン交換装置であって、水中の不純物イオンの除
去を行う。逆浸透膜装置６６は、水中の無機イオン、有
機物、微粒子等の除去を行う。真空脱気装置７０は、水
中の溶存酸素の除去を行う。再生型混床式イオン交換装
置７２は、残存するイオン等を除去して高純度の純水を
製造する。In the apparatus shown in FIG. 4, processing is performed in the following procedure. First, after a part of the suspended solids and organic substances contained in the raw water is removed by the pretreatment system 54, the treated water is supplied to the primary pure water system 58 via the filtered water tank 56, and the desalting device 62, reverse Permeation membrane device 66, true degassing device 7
0, water is sequentially passed through the regenerative mixed bed type ion exchange device 72. The desalting device 62 is, for example, an ion exchange device such as a two-bed, three-column type ion exchange device, and removes impurity ions in water. The reverse osmosis membrane device 66 removes inorganic ions, organic substances, fine particles, etc. in the water. The vacuum deaerator 70 removes dissolved oxygen in water. The regenerative mixed-bed ion exchange device 72 removes residual ions and the like to produce high-purity pure water.
【００２５】一次純水系システム５８の処理水（一次純
水）は、二次純水系システム６０の純水貯槽７４に供給
される。純水貯槽７４には、不活性ガスである窒素ガス
が封入されている。純水貯槽７４を出た純水は、紫外線
酸化装置７６、カートリッジポリッシャ７８、限外濾過
膜装置８０に順次通水される。紫外線酸化装置７６は、
純水貯槽７４からの純水に紫外線を照射し、純水中の有
機物を酸化分解するとともに、バクテリアの殺菌を行
う。カートリッジポリッシャ７８は、非再生型混床式イ
オン交換装置であって、供給されるイオン負荷がほとん
どない超純水に近い純水中のイオンをさらに除去する。
限外濾過膜装置８０は、水中の残存微粒子等を除去して
超純水を製造する。得られた超純水は、使用場所８２に
供給される。なお、超純水は、使用場所８２で使用して
いる時及び使用していない時のいずれの場合でも二次純
水循環配管８４を通って純水貯槽７４に戻り、常時循環
している。The treated water of the primary pure water system 58 (primary pure water) is supplied to the pure water storage tank 74 of the secondary pure water system 60. The pure water storage tank 74 is filled with nitrogen gas which is an inert gas. The pure water discharged from the pure water storage tank 74 is sequentially passed through the ultraviolet oxidation device 76, the cartridge polisher 78, and the ultrafiltration membrane device 80. The ultraviolet oxidation device 76 is
The pure water from the pure water storage tank 74 is irradiated with ultraviolet rays to oxidize and decompose organic matter in the pure water and sterilize bacteria. The cartridge polisher 78 is a non-regeneration type mixed-bed ion exchange device, and further removes ions in the pure water which is supplied to the ultrapure water having almost no ion load.
The ultrafiltration membrane device 80 removes residual fine particles in water to produce ultrapure water. The obtained ultrapure water is supplied to the place of use 82. The ultrapure water returns to the pure water storage tank 74 through the secondary pure water circulation pipe 84 and is always circulated whether it is used at the place of use 82 or not.
【００２６】図５の超純水製造装置は、図４の超純水製
造装置において、一次純水系システム５８に、逆浸透膜
装置６６、電気再生式脱塩装置（ＥＤＩ）９２、硼素選
択性イオン交換樹脂を用いたイオン交換装置である硼素
ポリッシャ９４を順次設置するとともに、一次純水系シ
ステム５８において硼素ポリッシャ９４の下流側に本発
明の硼素測定装置９０を設置したものである。電気再生
式脱塩装置９２は水中の不純物イオンの除去を行うも
の、硼素ポリッシャ９４は水中の硼酸イオンを選択的に
除去するものである。その他の点は図４の装置と同じで
あるため、同一の構成部分には同一参照符号を付して説
明を省略する。The ultrapure water production system of FIG. 5 is the same as the ultrapure water production system of FIG. 4, except that a primary pure water system 58, a reverse osmosis membrane system 66, an electric regenerative desalination system (EDI) 92, and boron selectivity. The boron polisher 94, which is an ion exchange device using an ion exchange resin, is sequentially installed, and the boron measuring device 90 of the present invention is installed downstream of the boron polisher 94 in the primary pure water system 58. The electric regeneration type desalination device 92 removes impurity ions in water, and the boron polisher 94 selectively removes borate ions in water. Since the other points are the same as those of the apparatus of FIG. 4, the same components are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００２７】イオン交換樹脂を用いたイオン交換装置、
例えば２床３塔式イオン交換装置、再生型混床式イオン
交換装置、非再生型混床式イオン交換装置等を設置した
超純水（純水を含む）の製造装置では、上記イオン交換
装置からの硼素の漏出が早期に生じることが多い。した
がって、イオン交換樹脂を用いたイオン交換装置の運転
状況を監視して健全な運転を行うためには、該イオン交
換装置の処理水中の硼素濃度を監視することが好まし
い。また、イオン交換装置以外の脱塩装置でも、健全な
運転を行うためには、該装置の処理水中の硼素濃度を監
視することが好ましい。さらに、硼素ポリッシャ等のポ
リッシャ装置は、すでに脱塩処理がなされている純水か
らさらに微量の不純物イオンを取り除く装置であり、健
全な運転のためにはその処理水中の硼素濃度の自動測定
装置を設置し、処理水中の硼素濃度が所定の値以上とな
った時にイオン交換樹脂の再生又は交換を行うことが望
ましい。An ion exchange device using an ion exchange resin,
For example, in a device for producing ultrapure water (including pure water) having a two-bed, three-tower type ion exchange device, a regenerative mixed-bed ion exchange device, a non-regenerative mixed-bed ion exchange device, etc. Leakage of boron from the often occurs prematurely. Therefore, in order to monitor the operating condition of the ion exchange apparatus using the ion exchange resin and perform sound operation, it is preferable to monitor the boron concentration in the treated water of the ion exchange apparatus. Further, even in a desalting device other than the ion exchange device, in order to perform sound operation, it is preferable to monitor the boron concentration in the treated water of the device. Further, a polisher device such as a boron polisher is a device for removing a trace amount of impurity ions from pure water that has already been desalted, and for sound operation, use an automatic measuring device for the boron concentration in the treated water. It is desirable that the ion exchange resin is installed or regenerated or replaced when the concentration of boron in the treated water exceeds a predetermined value.
【００２８】図４及び図５の超純水製造装置は、上記観
点から好ましいものである。すなわち、図４及び図５の
超純水製造装置は、イオン交換樹脂を用いたイオン交換
装置の後段に本発明の硼素測定装置９０を設置し、この
硼素測定装置でイオン交換装置の処理水中の硼素濃度を
測定することにより、処理水中の硼素濃度を監視した
り、処理水中の硼素濃度が所定の値以上となった時にイ
オン交換樹脂の再生又は交換を行ったりすることがで
き、イオン交換装置の適切なメンテナンスを行うことが
できるものである。The ultrapure water production system of FIGS. 4 and 5 is preferable from the above viewpoint. That is, in the ultrapure water producing apparatus of FIGS. 4 and 5, the boron measuring apparatus 90 of the present invention is installed at the subsequent stage of the ion exchanging apparatus using the ion exchange resin, and the boron measuring apparatus is used to treat the treated water in the ion exchanging apparatus. By measuring the boron concentration, it is possible to monitor the boron concentration in the treated water and to regenerate or replace the ion exchange resin when the boron concentration in the treated water exceeds a predetermined value. That is, proper maintenance can be performed.
【００２９】したがって、本発明は、被処理水からイオ
ン性不純物を除去する脱塩装置を具備するとともに、該
脱塩装置の出口又は下流側に本発明の硼素測定装置が設
置され、前記脱塩装置の処理水中の硼素濃度を前記硼素
測定装置で測定する超純水製造装置を提供する。この場
合、脱塩装置としては、イオン交換樹脂を用いたイオン
交換装置が特に適当である。また、本発明は、脱塩装置
としてイオン交換装置を備えた前記本発明超純水製造装
置の運転方法であって、前記イオン交換装置の出口又は
下流側に設置した本発明の硼素測定装置で測定した硼素
濃度が所定値以上となったときに、イオン交換装置のイ
オン交換樹脂の再生又は交換を行う超純水製造装置の運
転方法を提供する。Therefore, the present invention comprises a desalting apparatus for removing ionic impurities from water to be treated, and the boron measuring apparatus of the present invention is installed at the outlet or the downstream side of the desalting apparatus, and the desalination is performed. Provided is an ultrapure water production system for measuring the boron concentration in treated water of the system with the boron measurement system. In this case, as the desalting device, an ion exchange device using an ion exchange resin is particularly suitable. Further, the present invention is a method for operating the ultrapure water producing apparatus of the present invention equipped with an ion exchange apparatus as a desalting apparatus, wherein the boron measuring apparatus of the present invention is installed at the outlet or the downstream side of the ion exchange apparatus. Provided is a method for operating an ultrapure water production system, which regenerates or replaces an ion exchange resin of an ion exchange system when a measured boron concentration exceeds a predetermined value.
【００３０】[0030]
【実施例】図２に示した装置を用い、試料液中の硼素濃
度と試料液の抵抗率との関係を調べた。この場合、試料
液として硼素を含まない純水及び所定濃度の硼素を含む
純水を用い、各試料液に多価アルコールとしてマンニト
ールを添加した場合の試料液の抵抗率を測定した。多価
アルコール液としては、マンニトールを１２．５ｇ／ｌ
の濃度で含む多価アルコール水溶液を用い、試料液への
多価アルコールの添加量は、試料液中の硼素量と添加す
る多価アルコール量とのモル比が１：１０００となるよ
うにした。試料液の流量は１５リットル／ｈｒ、多価ア
ルコール液の流量は１．４４リットル／ｈｒであった。
また、第１及び第２の両導電率／抵抗率検出機構２０，
２２の抵抗率計としてはオルガノ（株）製ＭＨ−４を用
い、脱塩処理部１６にはロームアンドハース社製アンバ
ーライトＥＧ−４を充填したイオン交換樹脂塔を用い
た。結果を表１に示す。表１より、本発明の硼素測定方
法及び装置によれば、ｐｐｂオーダーの微量の硼素を測
定できることが確認された。EXAMPLE The relationship between the boron concentration in the sample solution and the resistivity of the sample solution was examined by using the apparatus shown in FIG. In this case, pure water containing no boron and pure water containing a predetermined concentration of boron were used as the sample liquids, and the resistivity of the sample liquids when mannitol was added as the polyhydric alcohol to each sample liquid was measured. As the polyhydric alcohol liquid, mannitol is 12.5 g / l
Using a polyhydric alcohol aqueous solution containing a concentration of 1, the polyhydric alcohol was added to the sample solution such that the molar ratio of the amount of boron in the sample solution to the amount of polyhydric alcohol to be added was 1: 1000. The flow rate of the sample solution was 15 liters / hr, and the flow rate of the polyhydric alcohol solution was 1.44 liters / hr.
Further, both the first and second conductivity / resistivity detection mechanisms 20,
MH-4 manufactured by Organo Corporation was used as the resistivity meter of No. 22, and an ion exchange resin tower filled with Amberlite EG-4 manufactured by Rohm and Haas was used for the desalting treatment section 16. The results are shown in Table 1. From Table 1, it was confirmed that the boron measuring method and apparatus of the present invention can measure a small amount of boron on the ppb order.
【００３１】[0031]
【表１】 [Table 1]
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る硼素
測定方法及び装置は、試料液中に含まれるｐｐｂオーダ
ー、ｐｐｔオーダーの微量の硼素濃度を小型の装置を用
いて簡便かつ安価に測定することができるとともに、オ
ンライン化、装置の校正が容易であり、したがって超純
水製造プラント等の工業プラントにおいて各装置の処理
水中の硼素濃度を監視する場合などに好適に使用するこ
とができる。また、本発明に係る超純水製造装置によれ
ば、イオン交換装置等の脱塩装置の処理水中に含まれる
硼素濃度を監視して、脱塩装置の健全な運転を行うこと
ができる。さらに、本発明に係る超純水製造装置の運転
方法によれば、処理水中の硼素濃度が所定の値以上とな
った時にイオン交換樹脂の再生又は交換を行うことによ
り、イオン交換装置の適切なメンテナンスを行うことが
できる。As described above, the method and apparatus for measuring boron according to the present invention is capable of simply and inexpensively measuring a minute amount of ppb-order or ppt-order boron concentration contained in a sample solution using a small apparatus. In addition, it is easy to carry out on-line and calibrate the device, and therefore, it can be suitably used when monitoring the boron concentration in the treated water of each device in an industrial plant such as an ultrapure water production plant. Further, according to the ultrapure water production system of the present invention, it is possible to monitor the concentration of boron contained in the treated water of the desalination device such as the ion exchange device and to perform the sound operation of the desalination device. Furthermore, according to the method for operating the ultrapure water production system according to the present invention, the ion exchange resin is regenerated or exchanged when the concentration of boron in the treated water becomes a predetermined value or more, so that the ion exchange system can be operated properly. Maintenance can be performed.
【図１】本発明に係る硼素測定装置の一実施形態例を示
すフロー図である。FIG. 1 is a flow chart showing an embodiment of a boron measuring apparatus according to the present invention.
【図２】本発明に係る硼素測定装置の一実施形態例を示
すフロー図である。FIG. 2 is a flow chart showing an embodiment of a boron measuring apparatus according to the present invention.
【図３】本発明に係る硼素測定装置の一実施形態例を示
すフロー図である。FIG. 3 is a flow chart showing an embodiment of a boron measuring apparatus according to the present invention.
【図４】本発明に係る超純水製造装置の一実施形態例を
示すフロー図である。FIG. 4 is a flow chart showing an embodiment of an ultrapure water production system according to the present invention.
【図５】本発明に係る超純水製造装置の一実施形態例を
示すフロー図である。FIG. 5 is a flow chart showing an embodiment of an ultrapure water production system according to the present invention.
２ 試料液 ４ 試料液導入管 ６ 多価アルコール添加機構 ８ 導電率／抵抗率検出機構 １０ 演算部 １２ 多価アルコール液貯留部 １４ 多価アルコール液注入ポンプ １６ 脱塩処理部 ２０ 第１の導電率／抵抗率検出機構 ２２ 第２の導電率／抵抗率検出機構 ３０ 多価アルコール添加機構 ３２ 導電率／抵抗率検出機構 ５８ 一次純水系システム ６０ 二次純水系システム ７２ 再生型混床式イオン交換装置 ９０ 硼素測定装置 ９４ 硼素ポリッシャ 2 Sample solution 4 Sample liquid introduction tube 6 Polyhydric alcohol addition mechanism 8 Conductivity / resistivity detection mechanism 10 Operation part 12 Polyhydric alcohol liquid storage 14 Polyhydric alcohol injection pump 16 Desalination processing section 20 First conductivity / resistivity detection mechanism 22 Second conductivity / resistivity detection mechanism 30 Polyhydric alcohol addition mechanism 32 Conductivity / resistivity detection mechanism 58 Primary Pure Water System 60 Secondary pure water system 72 Regenerative mixed bed ion exchanger 90 Boron measuring device 94 Boron polisher
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−138894（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−21344（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−260725（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−135154（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−117744（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/00 - 27/10 C02F 1/42 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-50-138894 (JP, A) JP-A 64-21344 (JP, A) JP-A-7-260725 (JP, A) JP-A 56- 135154 (JP, A) JP-A-8-117744 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 27/00-27/10 C02F 1/42
Claims (8)
価アルコールを試料液に添加するとともに、該試料液の
導電率又は抵抗率に基づいて試料液中の硼素濃度を求め
るに当たり、前記多価アルコール又はその溶液の脱塩処
理を行ってから該多価アルコール又はその溶液を試料液
に添加することを特徴とする硼素測定方法。1. A polyhydric alcohol reacts with borate ions to form a complex with added to the sample solution, per the seek boron concentration in the sample solution based on a conductivity or resistivity of the sample liquid, the multi Desalination of polyhydric alcohol or its solution
The polyhydric alcohol or its solution after
A method for measuring boron, characterized by being added to .
料液の導電率又は抵抗率の差に基づいて試料液中の硼素
濃度を求める請求項１に記載の硼素測定方法。2. The boron measuring method according to claim 1, wherein the boron concentration in the sample solution is determined based on the difference in conductivity or resistivity of the sample solution before and after the addition of the polyhydric alcohol.
トール又はグリセリンである請求項１又は２に記載の硼
素測定方法。3. A boron measuring method according to claim 1 or 2 the polyhydric alcohol is mannitol, sorbitol or glycerin.
価アルコールを試料液に添加する多価アルコール添加機
構と、試料液の導電率又は抵抗率を検出する導電率／抵
抗率検出機構と、導電率／抵抗率検出機構で検出した試
料液の導電率又は抵抗率に基づいて試料液中の硼素濃度
を求める演算部とを具備するとともに、前記多価アルコ
ール添加機構が多価アルコール又はその溶液の脱塩処理
を行う脱塩処理部を備え、多価アルコール添加機構によ
り多価アルコールを試料液に添加するに当たり、前記脱
塩処理部で多価アルコール又はその溶液の脱塩処理を行
ってから該多価アルコール又はその溶液を試料液に添加
することを特徴とする硼素測定装置。4. A polyhydric alcohol addition mechanism for adding a polyhydric alcohol that reacts with borate ions to form a complex to a sample solution, and a conductivity / resistivity detection mechanism for detecting the conductivity or the resistivity of the sample solution. And a calculation unit for determining the boron concentration in the sample liquid based on the conductivity or the resistivity of the sample liquid detected by the conductivity / resistivity detection mechanism, and the polyhydric alcohol addition mechanism is a polyhydric alcohol or its comprising a desalination unit which performs desalted solution, polyhydric alcohols by the addition mechanism of polyhydric alcohols Upon adding the sample solution, by desalting process polyhydric alcohol or its solution in the desalting unit The boron measuring apparatus, wherein the polyhydric alcohol or the solution thereof is added to the sample solution.
ールの添加の前後における試料液の導電率又は抵抗率を
それぞれ検出するものである請求項４に記載の硼素測定
装置。5. The boron measurement according to claim 4, wherein the conductivity / resistivity detection mechanism detects the conductivity or the resistivity of the sample liquid before and after the addition of the polyhydric alcohol, respectively.
Equipment .
ルビトール又はグリセリンを用いる請求項４又は５に記
載の硼素測定装置。6. The boron measuring apparatus according to claim 4 , wherein mannitol, sorbitol or glycerin is used as the polyhydric alcohol.
脱塩装置を具備するとともに、該脱塩装置の出口又は下
流側に請求項４、５又は６に記載の硼素測定装置が設置
され、前記脱塩装置の処理水中の硼素濃度を前記硼素測
定装置で測定する超純水製造装置。7. A desalting apparatus for removing ionic impurities from water to be treated is provided, and the boron measuring apparatus according to claim 4, 5 or 6 is installed at an outlet or a downstream side of the desalting apparatus, An ultrapure water production system for measuring the boron concentration in the treated water of the desalination system by the boron measurement system.
請求項７に記載の超純水製造装置の運転方法であって、
前記イオン交換装置の出口又は下流側に設置した請求項
４、５又は６に記載の硼素測定装置で測定した硼素濃度
が所定値以上となったときに、イオン交換装置のイオン
交換樹脂の再生又は交換を行う超純水製造装置の運転方
法。8. The method for operating the ultrapure water production system according to claim 7 , further comprising an ion exchange device as the desalting device,
Installed at the outlet or the downstream side of the ion exchange device
A method for operating an ultrapure water production system, which regenerates or replaces an ion exchange resin of an ion exchange system when the boron concentration measured by the boron measurement system described in 4, 5, or 6 becomes a predetermined value or more.
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