JP3452150B2 - Temperature control device - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、温度制御装置に係り、
特に急速加熱あるいは急速冷却を行うに際し、立上がり
および立ち下がりが急俊でかつ、多段の温度サイクルを
設定することができる温度制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a temperature control device,
In particular, the present invention relates to a temperature control device that has rapid rise and fall and can set a multi-stage temperature cycle when performing rapid heating or rapid cooling.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体部品などの信頼性試験等に使用す
る加熱冷却装置には極めて高精度の温度管理と、立上が
りおよび立ち下がりが急俊であることが求められる。例
えばこれらの部品の信頼性を予測するためには短時間で
試料を周期的に加熱冷却させる必要がある。2. Description of the Related Art A heating / cooling device used for reliability testing of semiconductor parts and the like is required to have extremely accurate temperature control and rapid rising and falling. For example, in order to predict the reliability of these parts, it is necessary to periodically heat and cool the sample in a short time.
【０００３】しかしながら、装置内の加熱冷却される部
分が熱容量を持つため、追従性が十分に得られず、急俊
なプロファイルを示す温度制御は極めて困難であった。
特に多段の温度設定を行う必要のある場合、所望の温度
に安定化されるまでの時間の短縮は極めて困難であると
いう問題があった。However, since the portion to be heated and cooled in the apparatus has a heat capacity, sufficient followability cannot be obtained, and temperature control showing a steep profile has been extremely difficult.
Particularly, when it is necessary to set the temperature in multiple stages, there is a problem that it is extremely difficult to shorten the time until the temperature is stabilized at a desired temperature.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】このように温度変化に
対する追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行うこと
ができる低コストの温度制御装置が求められているが、
従来この要求を満たすことのできる装置はなかった。As described above, there is a demand for a low-cost temperature control device which can perform rapid temperature control with high accuracy and good followability to temperature changes.
Conventionally, there is no device that can meet this demand.
【０００５】本発明は前記実情に鑑みてなされたもの
で、追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行うことが
できる温度制御装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a temperature control device which can perform temperature control with good followability, rapidness, and high precision.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、熱媒体としての液体を第１
の設定温度に維持せしめてなる第１の蓄液タンクと、熱
媒体としての液体を第２の設定温度に維持せしめてなる
第２の蓄液タンクと、前記第１または第２の蓄液タンク
から前記液体を供給することにより目的温度に保持せし
められる温度調節ブロックと、前記温度調節ブロックに
接触して設置された温度センサと、前記温度調節ブロッ
クに接触して設置された熱源と、前記液体の温度調節ブ
ロックへの送出対象となる第１または第２の蓄液タンク
の切り替えを行なう第１の切り替え弁と、前記第１また
は第２の蓄液タンクから前記温度調節ブロックへの液体
供給経路と該温度調整ブロックから前記第１または第２
の蓄液タンクへの液体帰還経路間に設けられるバイパス
流路の切り替えを行う第２の切り替え弁と、前記第１お
よび第２の切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置とを
具備し、前記第１および第２の蓄液タンクの熱容量は前
記温度調節ブロックの熱容量に比べて大きく構成され、
かつ前記弁制御装置は、前記第１および第２の切り替え
弁を駆動し、いずれの蓄液タンクから液体を供給するか
によって前記温度調節ブロックの温度調節を行なうとと
共に、前記蓄液タンクを切り替える前、次の蓄液タンク
から供給される液体を所定時間前記液体供給経路から前
記バイパス流路へと流した後に前記温度調節ブロックに
流すようにしながら、前記温度センサの出力に応じて前
記熱源を制御することにより、前記温度調節ブロックの
温度を一定に維持するように構成されることを特徴とす
る。In order to achieve the above object, the first aspect of the present invention uses a liquid as a heat medium.
First storage tank which is maintained at the set temperature of No. 2, a second storage tank which is maintained at a second set temperature of liquid as a heat medium, and the first or second storage tank A temperature control block that is kept at a target temperature by supplying the liquid from a temperature sensor, a temperature sensor installed in contact with the temperature control block, a heat source installed in contact with the temperature control block, and the liquid First switching valve for switching the first or second liquid storage tank to be sent to the temperature control block, and a liquid supply path from the first or second liquid storage tank to the temperature control block. And the temperature control block from the first or second
A second switching valve for switching a bypass flow path provided between the liquid return paths to the liquid storage tank, and a valve control device for controlling opening / closing of the first and second switching valves, The heat capacities of the first and second liquid storage tanks are larger than the heat capacities of the temperature control blocks,
Further, the valve control device drives the first and second switching valves to control the temperature of the temperature control block depending on which liquid storage tank is to supply the liquid, and switches the liquid storage tank. Before and after flowing the liquid supplied from the next liquid storage tank for a predetermined time from the liquid supply path to the bypass flow path and then to the temperature control block, the heat source is turned on according to the output of the temperature sensor. It is characterized in that the temperature of the temperature control block is maintained constant by controlling the temperature.
【０００７】また、請求項２記載の発明は、熱媒体とし
ての液体を第１の設定温度に維持せしめてなる第１の蓄
液タンクと、熱媒体としての液体を第２の設定温度に維
持せしめてなる第２の蓄液タンクと、前記第１または第
２の蓄液タンクから前記液体を供給することにより目的
温度に保持せしめられる温度調節ブロックと、前記温度
調節ブロックに接触して設置された温度センサと、前記
温度調節ブロックに接触して設置された熱源と、前記液
体の温度調節ブロックへの送出対象となる第１または第
２の蓄液タンクの切り替えを行なう第１の切り替え弁
と、前記第１の切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置
とを具備し、前記第１および第２の蓄液タンクの熱容量
は前記温度調節ブロックの熱容量に比べて大きく構成さ
れ、かつ前記弁制御装置は、前記第１の切り替え弁を駆
動し、いずれの蓄液タンクから液体を供給するかによっ
て温度調節を行なうとともに、前記温度調節ブロックの
温度が第１または第２の設定温度に到達した後、前記第
１の切り替え弁を制御して第１および第２の蓄液タンク
から液体の供給を停止し、前記温度センサの出力に応じ
て前記熱源を制御することにより、前記温度調節ブロッ
クの温度を一定に維持するように構成されることを特徴
とする。Further, according to the invention as defined in claim 2, the first liquid storage tank for keeping the liquid as the heat medium at the first set temperature and the liquid for the heat medium at the second set temperature. A second liquid storage tank, which is at most, a temperature control block that is kept at a target temperature by supplying the liquid from the first or second liquid storage tank, and is installed in contact with the temperature control block. A temperature sensor, a heat source installed in contact with the temperature control block, and a first switching valve for switching the first or second liquid storage tank to which the liquid is sent to the temperature control block. And a valve control device that controls opening and closing of the first switching valve, wherein the heat capacities of the first and second liquid storage tanks are larger than the heat capacities of the temperature control blocks, and the valve control is performed. The apparatus controls the temperature by driving the first switching valve and from which liquid storage tank the liquid is supplied, and after the temperature of the temperature control block reaches the first or second set temperature. , The temperature of the temperature control block by controlling the first switching valve to stop the supply of liquid from the first and second liquid storage tanks and controlling the heat source according to the output of the temperature sensor. Is configured to be kept constant.
【０００８】[0008]
【０００９】[0009]
【００１０】[0010]
【作用】上記構成によれば、第１および第２の蓄液タン
クのいずれから熱媒体となる液体を供給するかを選択
し、これを急速に入れ替えることにより、温度調節ブロ
ックの温度を急速に変化させることができ、多段の温度
制御に対しスイッチングの高速化をはかることができ
る。According to the above construction, the temperature of the temperature control block is rapidly changed by selecting which of the first and second liquid storage tanks to supply the liquid serving as the heat medium, and rapidly replacing the liquid. The temperature can be changed, and the switching speed can be increased for the multi-step temperature control.
【００１１】すなわち、第１の目的温度（〜第１の設定
温度）に設定したいとき、弁制御装置によって切り替え
弁を第１の蓄液タンクに対して開く。このとき温度調節
ブロック内には第１の設定温度の液体が供給され、この
温度調節ブロックは急速に第１の目的温度に到達せしめ
られる。That is, when it is desired to set the first target temperature (to the first set temperature), the valve control device opens the switching valve to the first liquid storage tank. At this time, the liquid of the first preset temperature is supplied into the temperature control block, and the temperature control block is made to reach the first target temperature rapidly.
【００１２】そして続いて第２の目的温度（〜第２の設
定温度）に設定したいときはさらに、弁制御装置によっ
て切り替え弁を第２の蓄液タンクに対して開く。すると
温度調節ブロック内には第２の設定温度の液体が供給さ
れ、この温度調節ブロックは急速に第２の目的温度に到
達せしめられる。Subsequently, when it is desired to set the second target temperature (to the second set temperature), the valve control device further opens the switching valve to the second liquid storage tank. Then, the liquid of the second preset temperature is supplied into the temperature control block, and the temperature control block is quickly made to reach the second target temperature.
【００１３】このように液体の入れ替えのみで温度設定
がなされるため、高速で温度設定を行うことが可能とな
る。Since the temperature is set only by changing the liquid as described above, the temperature can be set at a high speed.
【００１４】なお、切り替えに際しては、第１の蓄液タ
ンクに対して弁を開いた状態で第２の蓄液タンクから液
体の供給を開始し、供給開始後第１の蓄液タンクに対す
る弁を閉じるようにすれば、液体供給用のポンプがしめ
きり運転するのを避けることができる。When switching, the liquid supply is started from the second liquid storage tank with the valve opened to the first liquid storage tank, and after the supply is started, the valve to the first liquid storage tank is opened. If it is closed, it is possible to avoid the liquid supply pump from running down.
【００１５】特に、請求項１記載の発明によれば、第１
および第２の切り替え弁を駆動し、第１と第２のいずれ
かの蓄液タンクから液体を供給するかによって温度調節
ブロックの温度調節を行なう構成を備えると共に、蓄液
タンクを切り替える前、第２の切り替え弁を駆動し、次
の蓄液タンクから供給される液体を液体供給経路からバ
イパス流路へと流した後に温度調節ブロックに流すよう
にしながら、温度センサの出力に応じて熱源を制御する
ことにより、温度調節ブロックの温度を一定に維持する
ように構成される。かかる構成によれば、第１の切り替
え弁の切り替えと同時にバイパス流路を制御する第２の
切り替え弁を開き所定時間バイパス流路に液体を流した
後、温度調節ブロックに流すようにしたことにより、途
中の循環路の温度を目的温度にした後温度調節ブロック
に流れ込むため、目的温度に到達するまでの時間を短縮
することができ、より急峻に温度設定をすることができ
る。In particular, according to the invention of claim 1, the first
And a configuration in which the temperature of the temperature control block is adjusted by driving the second switching valve to supply the liquid from either the first or second liquid storage tank, and before switching the liquid storage tank, The heat source is controlled according to the output of the temperature sensor while driving the switching valve of No. 2 and flowing the liquid supplied from the next liquid storage tank from the liquid supply path to the bypass flow path and then to the temperature control block. By doing so, the temperature of the temperature control block is kept constant. According to this configuration, the second switching valve that controls the bypass passage is opened at the same time as the switching of the first switching valve, and the liquid is caused to flow through the bypass passage for a predetermined time, and then the liquid is caused to flow through the temperature control block. Since the temperature of the intermediate circulation path is set to the target temperature and then flows into the temperature control block, the time required to reach the target temperature can be shortened and the temperature can be set more steeply.
【００１６】さらに望ましくは、上記構成に加え、目的
温度としたい温度調節ブロックの温度を直接検出し、そ
の出力に応じて弁の開閉を制御するようにすれば目的温
度をより正確に設定することができる。More preferably, in addition to the above configuration, the target temperature can be set more accurately by directly detecting the temperature of the desired temperature control block and controlling the opening / closing of the valve according to the output. You can
【００１７】また熱媒体としての液体としてはシリコン
オイル、水のほか比重が小さく粘度の小さい液体であれ
ば他の液体を用いるようにしてもよい。As the liquid as the heat medium, other liquid such as silicon oil and water may be used as long as it has a small specific gravity and a small viscosity.
【００１８】また、本発明によれば、熱源を具備し、温
度保持時には、サーモモジュールあるいはヒータなどの
熱源を用いて温度調節ブロックを温度制御するブロック
温調を用いるようにしているため、長時間にわたり、同
一温度を維持する必要のある場合には、温度の切り替え
時、すなわち立上がりおよび立下りに際してのみ、熱媒
体として液体を用い、温度保持時には、サーモモジュー
ルあるいはヒータなどの熱源を用いて温度調節ブロック
を温度制御するため、効率的で信頼性の高い温度制御を
行うことが可能となる。Further, according to the present invention, since the heat source is provided and the block temperature control for controlling the temperature of the temperature control block by using the heat source such as the thermomodule or the heater is used when the temperature is maintained, the temperature control is performed for a long time. When it is necessary to maintain the same temperature, the liquid is used as the heat medium only when switching the temperature, that is, at the time of rising and falling, and at the time of maintaining the temperature, the temperature is adjusted using a heat source such as a thermomodule or a heater. Since the temperature of the block is controlled, efficient and highly reliable temperature control can be performed.
【００１９】[0019]
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照しつ
つ詳細に説明する。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.
【００２０】この温度制御装置は、図１に説明図を示す
ように、第１の設定温度Ｔ1 に維持された熱媒体として
のシリコンオイルを供給した第１の蓄液タンク１ａと、
第２の設定温度Ｔ2 に維持された熱媒体としてのシリコ
ンオイルを供給した第２の蓄液タンク１ｂと、第３の設
定温度Ｔ3 に維持された熱媒体としてのシリコンオイル
を供給した第３の蓄液タンク１ｃとが断熱部材２を介し
て一体化せしめられてなる蓄液タンク部１と、これに接
続され循環路３への切り替えを行う電磁弁４と、蓄液タ
ンク１から循環路３に液体を送出するマグネットドライ
ブ式のポンプ５と、循環路３の一部に熱接触するように
配設された温度調節ブロック６と、温度調節ブロック６
の恒温時の加熱あるいは冷却を行うサーモモジュール９
とから構成され、弁制御装置１０によって電磁弁４の切
り替えを行い、温度制御ブロック６に載置された部品の
温度サイクルテストを行うように構成されている。な
お、循環路３の熱容量は各蓄液タンクの熱容量の１０分
の１程度であり十分に小さいものとする。また第１乃至
第３の蓄液タンクには、それぞれ図示しない温度センサ
が設けられている。As shown in the explanatory view of FIG. 1, this temperature control device includes a first liquid storage tank 1a supplied with silicon oil as a heat medium which is maintained at a first set temperature T 1 .
A second liquid storage tank 1b supplied with silicon oil as a heat medium maintained at the second set temperature T 2 and a second liquid storage tank 1b supplied with silicon oil as a heat medium maintained at the third set temperature T 3 . A liquid storage tank unit 1 in which a liquid storage tank 1c of No. 3 is integrated via a heat insulating member 2, an electromagnetic valve 4 connected to the liquid storage tank unit 1 for switching to a circulation path 3, and a circulation from the liquid storage tank 1 A magnet drive type pump 5 for delivering a liquid to the passage 3, a temperature adjustment block 6 arranged so as to make thermal contact with a part of the circulation passage 3, and a temperature adjustment block 6
Thermo module 9 for heating or cooling at constant temperature
The solenoid valve 4 is switched by the valve control device 10, and the temperature cycle test of the components mounted on the temperature control block 6 is performed. The heat capacity of the circulation path 3 is about 1/10 of the heat capacity of each liquid storage tank, which is sufficiently small. Further, the first to third liquid storage tanks are respectively provided with temperature sensors (not shown).
【００２１】次に、この温度制御装置の動作についてタ
イムチャートを参照しつつ説明する。 図２に示すよう
に、目的温度がＴ´1 ，Ｔ´2 ，Ｔ´3 と、階段状に変
化していくような温度制御を行うものであるとする。図
３は第１乃至第３の蓄液タンクの切り替えのタイムチャ
ートである。Next, the operation of this temperature control device will be described with reference to a time chart. As shown in FIG. 2, object temperature T'1, T'2, and T'3, and performs a temperature control as will change stepwise. FIG. 3 is a time chart for switching the first to third liquid storage tanks.
【００２２】まず、第１乃至第３の蓄液タンクはそれぞ
れ第１乃至第３の設定温度Ｔ´1w，Ｔ´2w，Ｔ´3wに設
定されているものとする。これらの実際の温度はＴ1w，
Ｔ2w，Ｔ3wで表されている。[0022] First, the first to third蓄液tank first to each third set temperature T'1 w, T'2w, assumed to be set to T'3w. These actual temperatures are T 1w ,
It is represented by T 2w and T 3w .
【００２３】初期状態として温度調節ブロックは目的温
度Ｔ´3 に設定され実際に温度センサ７はＴ3 を示して
いるものとする。この状態で弁制御装置１０からの指令
により、電磁弁４が駆動されて第１の蓄液タンクから温
度Ｔ´1wに設定されたシリコンオイルがポンプ５によっ
て循環路３に噴出せしめられると循環路３ではＴ3wのシ
リコンオイルにＴ1wのシリコンオイルが混ざりながら急
速にＴ1wのシリコンオイルにおき替わり、温度調節ブロ
ック６の温度は第１の設定温度Ｔ´1wに等しいＴ1wにな
る。このようにして急速に第１の目的温度Ｔ´1 近くま
で低下せしめられる。The temperature control block as an initial state actually the temperature sensor 7 is set to a target temperature T'3 is assumed to show the T 3. In this state, when the solenoid valve 4 is driven by a command from the valve control device 10 and the silicon oil set to the temperature T ′ 1w from the first liquid storage tank is spouted into the circulation path 3 by the pump 5, the circulation path 3 rapidly instead placed in a silicon oil of T 1 w while intermingled silicone oil T 1 w silicone oil of T 3w in 3, the temperature of the temperature adjusting block 6 becomes equal T 1 w to the first set temperature T'1 w. Thus it is caused to drop to the first target temperature T'1 near rapidly by.
【００２４】続いて、弁制御装置１０からの指令によ
り、電磁弁４が駆動されて第１の蓄液タンクからの流路
が閉じられ、これに代わり温度Ｔ´2wに設定されたシリ
コンオイルがポンプ５によって循環路３に噴出せしめら
れると循環路３ではＴ2wのシリコンオイルがＴ1wのシリ
コンオイルに混ざりながら急速にＴ2wのシリコンオイル
におき替わり、温度調節ブロック６の温度は第２の設定
温度Ｔ´2wに等しいＴ2wになる。このようにして急速に
第２の目的温度Ｔ´2 に近付くように上昇せしめられ
る。[0024] Then, by a command from the valve control device 10, the flow path from the first蓄液tank electromagnetic valve 4 is driven is closed, silicone oil thereto is set in place the temperature T'2w is When it is ejected to the circulation path 3 by the pump 5, in the circulation path 3, T 2w silicon oil is rapidly replaced with T 2w silicon oil while being mixed with T 1w silicon oil, and the temperature of the temperature control block 6 is set to the second value. It becomes equal T 2w the set temperature T'2w. Thus it is raised as rapidly approach the second target temperature T'2 of and.
【００２５】さらに、弁制御装置１０からの指令によ
り、電磁弁４が駆動されて第２の蓄液タンクからの流路
が閉じられ、これに代わり温度Ｔ´3wに設定されたシリ
コンオイルがポンプ５によって循環路３に噴出せしめら
れると循環路３ではＴ3wのシリコンオイルがＴ2wのシリ
コンオイルに混ざりながら急速にＴ3wのシリコンオイル
におき替わり、温度調節ブロック６の温度は第３の設定
温度Ｔ´3wに等しいＴ3wになる。このようにして急速に
第３の目的温度Ｔ´3 に近付くように上昇せしめられ
る。Furthermore, by a command from the valve control device 10, the flow path from the second蓄液tank is closed solenoid valve 4 is driven, which set in place the temperature T'3w in silicon oil pump When it is ejected to the circulation path 3 by 5, the T 3w silicon oil is rapidly replaced by the T 3w silicon oil while being mixed with the T 2w silicon oil in the circulation path 3, and the temperature of the temperature control block 6 is set to the third setting. It becomes equal T 3w temperature T'3w. Thus it is raised as rapidly approach the third target temperature T'3 of and.
【００２６】このようにして高速に３段の温度サイクル
を繰り返すことができる。In this way, the three-step temperature cycle can be repeated at high speed.
【００２７】なお、恒温状態を維持する場合にはヒータ
またはサーモモジュールによる温度制御を続行するよう
にすればよい。When the constant temperature state is maintained, the temperature control by the heater or the thermo module may be continued.
【００２８】しかしながら、微視的にみると、図４に示
すように蓄液タンクの設定温度は実際には循環路３で温
度の異なるシリコンオイルや温度調節ブロックの熱容量
により、実際の温度は設定温度から僅かに変動する。こ
のため、温度調節ブロックの実際の温度も目的温度から
僅かにずれることになる。温度調節ブロックの実際の温
度を目的温度に一致させるには、蓄液タンクの温度のず
れを考慮して補償する必要がある。However, microscopically, as shown in FIG. 4, the set temperature of the liquid storage tank is actually set by the silicone oil having different temperatures in the circulation path 3 and the heat capacity of the temperature control block. Slight variation from temperature. Therefore, the actual temperature of the temperature control block also slightly deviates from the target temperature. In order to make the actual temperature of the temperature control block equal to the target temperature, it is necessary to consider and compensate for the deviation of the temperature of the liquid storage tank.
【００２９】なお、前記実施例ではマグネットドライブ
式ポンプを用いたが、電磁ポンプを用いるようにしても
よい。Although the magnet drive type pump is used in the above embodiment, an electromagnetic pump may be used.
【００３０】次に、本発明の第２の実施例の温度制御装
置について説明する。Next, a temperature controller according to the second embodiment of the present invention will be described.
【００３１】この装置では図５に示すように、前記第１
の実施例の構成に第２の切り替え弁１１を追加し、蓄液
タンクの切り替え前、すなわち定温状態のときに次の蓄
液タンクのシリコンオイルをバイパスさせることによ
り、次の蓄液タンクの設定温度に近付けておくようにす
るともに、さらに温度調節ブロックの温度を検出する温
度センサ７と、目的温度に到達した後は、温度調節ブロ
ックに接触して設置されたヒータ１２を用いて温度制御
するようにしたことを特徴とする。In this device, as shown in FIG.
The second switching valve 11 is added to the configuration of the embodiment, and the next storage tank is set by bypassing the silicon oil of the next storage tank before switching the storage tank, that is, in the constant temperature state. In addition to keeping the temperature close to the temperature, the temperature is controlled by using the temperature sensor 7 that further detects the temperature of the temperature control block and the heater 12 that is installed in contact with the temperature control block after reaching the target temperature. It is characterized by doing so.
【００３２】次に、この温度制御装置の動作についてタ
イムチャートを参照しつつ説明する。 図６に示すよう
に、目的温度がＴ´1 ，Ｔ´2 ，Ｔ´3 ，Ｔ´1 …と、
階段状に上昇・下降していくような温度制御を行うもの
であるとする。図７は第１乃至第３の蓄液タンクおよび
バイパスの切り替えのタイムチャートである。Next, the operation of this temperature control device will be described with reference to a time chart. As shown in FIG. 6, the target temperatures are T ′ 1 , T ′ 2 , T ′ 3 , T ′ 1, ...
It is assumed that the temperature is controlled so that the temperature rises and falls stepwise. FIG. 7 is a time chart for switching the first to third liquid storage tanks and the bypass.
【００３３】図２および３に示した第１の実施例の動作
と異なるのは、第２の切り替え弁１１によって、定温状
態のときに次の蓄液タンクのシリコンオイルをバイパス
させることにより、次の蓄液タンクの設定温度に近付け
ておくように構成されている点と、第１の蓄液タンクの
設定温度は第１の目的温度に比べて低く、第２および第
３の蓄液タンクの設定温度はそれぞれ第２および第３の
目的温度に比べて高く設定されている点であり、このタ
イムチャートには図示しないが、目的温度に到達した
後、次の目的温度に切り替える間は温度センサ７の出力
に応じてヒータ１２によって温度調節を行うようにして
いる。The difference from the operation of the first embodiment shown in FIGS. 2 and 3 is that the second switching valve 11 causes the silicon oil in the next storage tank to be bypassed in the constant temperature state. And the set temperature of the first liquid storage tank is lower than the first target temperature, and the set temperature of the second and third liquid storage tanks is set lower than the first target temperature. The set temperatures are set higher than the second and third target temperatures, respectively, and although not shown in this time chart, the temperature sensor is used while the target temperature is reached and then the temperature is switched to the next target temperature. The temperature is adjusted by the heater 12 according to the output of 7.
【００３４】なおこのバイパスは第１ないし第３の蓄液
タンクの切り替え開始後それぞれ所定時間だけ開かれ、
後は閉じるように、時間でオンオフしてもよい。This bypass is opened for a predetermined time after the switching of the first to third storage tanks is started,
It may be turned on and off depending on the time so as to be closed later.
【００３５】このようにして第１の実施例よりもさらに
高精度の温度サイクルを提供することが可能となる。In this way, it is possible to provide a more accurate temperature cycle than that of the first embodiment.
【００３６】このようにして極めて容易に、急俊で高精
度の温度制御を行うことが可能となる。この装置は、特
に短時間毎に温度を変化させる必要がある場合や、短時
間の温度サイクル試験を行う場合などに特に有効であ
る。In this way, it is possible to perform temperature control with rapidness and high accuracy extremely easily. This apparatus is particularly effective when it is necessary to change the temperature for each short time or when a temperature cycle test for a short time is performed.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、第１と第２のいずれかの蓄液タンクから液
体を供給するかによって温度調節ブロックの温度調節を
行なうことを基本としつつ、蓄液タンクを切り替える
前、次の蓄液タンクから供給される液体を液体供給経路
からバイパス流路へと流した後に温度調節ブロックに流
しながら、温度センサの出力に応じて熱源を制御するこ
とにより、温度調節ブロックの温度を一定に維持するよ
うにしているため、蓄液タンクの切り替え前に次の蓄液
タンクの設定温度に近づけておくことで、設定温度のよ
り高速な切り替え実現できると共に、切り替え後におけ
る温度センサ出力に応じた熱源制御による温度調節ブロ
ックの温度調節精度を向上させることができる。また、
請求項２記載の発明によれば、第１と第２のいずれかの
蓄液タンクから液体を供給するかによって温度調節ブロ
ックの温度調節を行なうため、第１と第２の設定温度と
の間で設定温度の高速切り替えを実現できると共に、温
度調節ブロックの温度が第１または第２の設定温度に到
達した後、温度センサ出力に応じた熱源制御により温度
調節ブロックの温度を一定に維持することによって、温
度制御の精度も向上させることができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, the temperature adjustment of the temperature adjustment block is performed depending on whether the liquid is supplied from the first or second liquid storage tank. Basically, before switching the liquid storage tank, while flowing the liquid supplied from the next liquid storage tank from the liquid supply path to the bypass flow path and then to the temperature control block, the heat source is changed according to the output of the temperature sensor. Since the temperature of the temperature control block is kept constant by controlling the temperature, it is possible to switch the set temperature faster by setting it close to the set temperature of the next liquid storage tank before switching the liquid storage tank. This can be realized, and the temperature adjustment accuracy of the temperature adjustment block can be improved by the heat source control according to the output of the temperature sensor after switching. Also,
According to the second aspect of the present invention, the temperature of the temperature control block is adjusted depending on whether the liquid is supplied from the first or second liquid storage tank. Therefore, the temperature is adjusted between the first and second set temperatures. It is possible to realize high-speed switching of the set temperature with and to keep the temperature of the temperature control block constant by controlling the heat source according to the output of the temperature sensor after the temperature of the temperature control block reaches the first or second set temperature. Therefore, the accuracy of temperature control can be improved.
【図１】本発明の第１の実施例の温度制御装置を示す図FIG. 1 is a diagram showing a temperature control device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】同装置による温度制御のタイムチャートを示す
図FIG. 2 is a diagram showing a time chart of temperature control by the device.
【図３】同装置による電磁弁の切り替えのタイムチャー
トを示す図FIG. 3 is a diagram showing a time chart of switching of solenoid valves by the device.
【図４】同装置による温度制御のタイムチャートの要部
を示す説明図FIG. 4 is an explanatory diagram showing a main part of a time chart of temperature control by the device.
【図５】本発明の第２の実施例の温度制御装置を示す図FIG. 5 is a diagram showing a temperature control device according to a second embodiment of the present invention.
【図６】同装置による温度制御のタイムチャートを示す
図FIG. 6 is a diagram showing a time chart of temperature control by the device.
【図７】同装置による電磁弁の切り替えのタイムチャー
トを示す図FIG. 7 is a diagram showing a time chart of switching of solenoid valves by the device.
１ａ 第１の蓄液タンク １ｂ 第２の蓄液タンク １ｃ 第３の蓄液タンク ２ 断熱部材 ３ 循環路 ４ 電磁弁 ５ マグネットドライブ式のポンプ ６ 温度調節ブロック ７ 温度センサ ９ サーモモジュール １０ 弁制御装置 １１ 第２の切り替え弁 1a First storage tank 1b Second storage tank 1c Third storage tank 2 Thermal insulation member 3 circuit 4 Solenoid valve 5 Magnet drive type pump 6 Temperature control block 7 Temperature sensor 9 Thermo module 10 valve controller 11 Second switching valve
Claims (2)
維持せしめてなる第１の蓄液タンクと、 熱媒体としての液体を第２の設定温度に維持せしめてな
る第２の蓄液タンクと、 前記第１または第２の蓄液タンクから前記液体を供給す
ることにより目的温度に保持せしめられる温度調節ブロ
ックと、 前記温度調節ブロックに接触して設置された温度センサ
と、 前記温度調節ブロックに接触して設置された熱源と、 前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第１ま
たは第２の蓄液タンクの切り替えを行なう第１の切り替
え弁と、 前記第１または第２の蓄液タンクから前記温度調節ブロ
ックへの液体供給経路と該温度調整ブロックから前記第
１または第２の蓄液タンクへの液体帰還経路間に設けら
れるバイパス流路の切り替えを行う第２の切り替え弁
と、 前記第１および第２の切り替え弁の開閉を制御する弁制
御装置とを具備し、 前記第１および第２の蓄液タンクの熱容量は前記温度調
節ブロックの熱容量に比べて大きく構成され、 かつ前記弁制御装置は、前記第１および第２の切り替え
弁を駆動し、いずれの蓄液タンクから液体を供給するか
によって前記温度調節ブロックの温度調節を行なうとと
共に、前記蓄液タンクを切り替える前、次の蓄液タンク
から供給される液体を所定時間前記液体供給経路から前
記バイパス流路へと流した後に前記温度調節ブロックに
流すようにしながら、前記温度センサの出力に応じて前
記熱源を制御することにより、前記温度調節ブロックの
温度を一定に維持するように構成されることを特徴とす
る温度制御装置。1. A first liquid storage tank in which a liquid as a heat medium is maintained at a first set temperature, and a second liquid storage in which a liquid as a heat medium is maintained at a second set temperature. A tank; a temperature control block for keeping the target temperature by supplying the liquid from the first or second liquid storage tank; a temperature sensor installed in contact with the temperature control block; A heat source installed in contact with the block; a first switching valve for switching the first or second liquid storage tank to be delivered to the temperature control block of the liquid; and the first or second A second flow path provided between the liquid supply path from the liquid storage tank to the temperature control block and the liquid return path from the temperature control block to the first or second liquid storage tank is switched. A switching valve and a valve control device that controls opening and closing of the first and second switching valves, and the heat capacities of the first and second liquid storage tanks are larger than the heat capacities of the temperature control blocks. Further, the valve control device drives the first and second switching valves to control the temperature of the temperature control block according to which liquid storage tank supplies the liquid, and at the same time, the liquid storage tank. Before switching the, the liquid supplied from the next liquid storage tank is made to flow to the temperature control block after flowing from the liquid supply path to the bypass flow path for a predetermined time, while the liquid is supplied depending on the output of the temperature sensor. A temperature control device configured to maintain a constant temperature of the temperature control block by controlling a heat source.
維持せしめてなる第１の蓄液タンクと、 熱媒体としての液体を第２の設定温度に維持せしめてな
る第２の蓄液タンクと、 前記第１または第２の蓄液タンクから前記液体を供給す
ることにより目的温度に保持せしめられる温度調節ブロ
ックと、 前記温度調節ブロックに接触して設置された温度センサ
と、 前記温度調節ブロックに接触して設置された熱源と、 前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第１ま
たは第２の蓄液タンクの切り替えを行なう第１の切り替
え弁と、 前記第１の切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置とを
具備し、 前記第１および第２の蓄液タンクの熱容量は前記温度調
節ブロックの熱容量に比べて大きく構成され、 かつ前記弁制御装置は、前記第１の切り替え弁を駆動
し、いずれの蓄液タンクから液体を供給するかによって
温度調節を行なうとともに、前記温度調節ブロックの温
度が第１または第２の設定温度に到達した後、前記第１
の切り替え弁を制御して第１および第２の蓄液タンクか
ら液体の供給を停止し、前記温度センサの出力に応じて
前記熱源を制御することにより、前記温度調節ブロック
の温度を一定に維持するように構成されることを特徴と
する温度制御装置。2. A first liquid storage tank which maintains a liquid as a heat medium at a first set temperature, and a second liquid storage tank which maintains a liquid as a heat medium at a second set temperature. A tank; a temperature control block for keeping the target temperature by supplying the liquid from the first or second liquid storage tank; a temperature sensor installed in contact with the temperature control block; A heat source installed in contact with the block; a first switching valve for switching between the first and second liquid storage tanks to be delivered to the temperature control block of the liquid; and a first switching valve of the first switching valve. A valve control device for controlling opening and closing, wherein the heat capacities of the first and second liquid storage tanks are configured to be larger than the heat capacities of the temperature control blocks, and the valve control device includes the first switching device. Driving the example valve, and performs temperature adjustment by either supplying a liquid from any 蓄液 tank, after the temperature of the temperature regulating block has reached the first or second set temperature, said first
The switching valve is controlled to stop the supply of the liquid from the first and second liquid storage tanks, and the heat source is controlled according to the output of the temperature sensor to maintain the temperature of the temperature control block constant. The temperature control device is configured to:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03158194A JP3452150B2 (en) | 1994-03-01 | 1994-03-01 | Temperature control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03158194A JP3452150B2 (en) | 1994-03-01 | 1994-03-01 | Temperature control device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07240486A JPH07240486A (en) | 1995-09-12 |
| JP3452150B2 true JP3452150B2 (en) | 2003-09-29 |
Family
ID=12335161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03158194A Expired - Fee Related JP3452150B2 (en) | 1994-03-01 | 1994-03-01 | Temperature control device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3452150B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8600543B2 (en) | 2008-11-10 | 2013-12-03 | Kelk Ltd. | Apparatus and method for controlling temperature of semiconductor wafers |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1994
- 1994-03-01 JP JP03158194A patent/JP3452150B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8600543B2 (en) | 2008-11-10 | 2013-12-03 | Kelk Ltd. | Apparatus and method for controlling temperature of semiconductor wafers |
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