JP3450573B2 - Semiconductor laser device, driving method thereof, and optical communication system using the same - Google Patents

Semiconductor laser device, driving method thereof, and optical communication system using the same

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JP3450573B2 JP04953396A JP4953396A JP3450573B2 JP 3450573 B2 JP3450573 B2 JP 3450573B2 JP 04953396 A JP04953396 A JP 04953396A JP 4953396 A JP4953396 A JP 4953396A JP 3450573 B2 JP3450573 B2 JP 3450573B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高速変調時におい
ても動的波長変動を抑え、安定に高密度の波長多重光通
信などを実現するための光通信用光源装置及びそれを用
いた光通信方式、光通信システム等に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light source device for optical communication for suppressing a dynamic wavelength fluctuation even at the time of high-speed modulation and stably realizing high-density wavelength-multiplexed optical communication, and an optical communication using the same. System, optical communication system, etc.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、光通信分野において伝送容量の拡
大が望まれており、複数の波長あるいは光周波数を1本
の光ファイバに多重させた光周波数多重(光FDM)伝
送の開発が行なわれている。その光FDMにおいて、伝
送容量をなるべく多くするためには、波長間隔を小さく
することが重要である。その為には、光源となるレーザ
の占有周波数帯域あるいはスペクトル線幅が小さいこと
が望ましい。しかし、現状の光通信に用いられている光
源の直接強度変調方式は、変調時のスペクトル線幅が
0.3nm程度に広がってしまい、光FDMには向かな
い方式であることが指摘されている。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been a demand for expansion of transmission capacity in the field of optical communications, and development of optical frequency division multiplexing (optical FDM) transmission in which a plurality of wavelengths or optical frequencies are multiplexed in one optical fiber has been carried out. ing. In the optical FDM, it is important to reduce the wavelength interval in order to increase the transmission capacity as much as possible. For that purpose, it is desirable that the occupied frequency band or spectrum line width of the laser serving as the light source is small. However, it is pointed out that the direct intensity modulation method of the light source used for the current optical communication is not suitable for the optical FDM because the spectrum line width at the time of modulation spreads to about 0.3 nm. .

【0003】変調時に光源のスペクトル線幅が広がらな
い方式として、外部変調方式があり、マッハツェンダ型
変調器、半導体電界吸収型変調器などが提案、開発され
ている。特に、半導体電界吸収型変調器は、光源である
半導体レーザとの集積化が容易であるため、小型、低損
失などの利点から変調器集積型レーザの開発が行なわれ
ている。その変調器集積型レーザの例を図9に示す(1
992年電子情報通信学会春季大会予稿集C−20
3)。分布帰還型レーザ(DFB−LD)と多重量子井
戸による量子閉じ込めシュタルク効果(QCSE)を用
いた電界吸収型変調器(MD)とを直列に集積してお
り、数Vの電圧印加で20dB程度の消光比を得てい
る。尚、図9において、1001はn側電極、1002
はポリイミド、1003はn−InP基板、1004は
InP埋め込み層、1005はp電極、1006は無反
射コーティングである。
As a method for preventing the spectral line width of the light source from widening during modulation, there is an external modulation method, and Mach-Zehnder type modulators, semiconductor electroabsorption type modulators, etc. have been proposed and developed. In particular, a semiconductor electroabsorption modulator is easy to integrate with a semiconductor laser that is a light source, and therefore a modulator integrated laser has been developed because of its advantages such as small size and low loss. An example of the modulator integrated laser is shown in FIG. 9 (1
Proceedings of the 1992 IEICE Spring Conference C-20
3). A distributed feedback laser (DFB-LD) and an electro-absorption modulator (MD) using the quantum confined Stark effect (QCSE) with multiple quantum wells are integrated in series, and a voltage of several V is applied to obtain about 20 dB. The extinction ratio has been obtained. In FIG. 9, reference numeral 1001 denotes an n-side electrode, 1002
Is polyimide, 1003 is an n-InP substrate, 1004 is an InP buried layer, 1005 is a p electrode, and 1006 is a non-reflective coating.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、従
来例のような直列に変調器を集積したレーザでは、変調
時の波長変動(チャーピング)が、直接変調時に比べれ
ば小さいものの、0.03nm程度ある。これは、変調
器側の出射端面に残留反射がある場合に、変調器を駆動
することで、DFBレーザの活性層への戻り光量が変化
することに起因する。そこで、変調器出射端面の無反射
コーティング1006によって残留反射率を0.1%以
下に抑える必要があることが指摘されている。この様な
無反射コーティングを施すには、SiN膜などで精密な
組成および膜厚制御が必要となり、生産性が良くない。
However, in the laser in which the modulator is integrated in series as in the conventional example, the wavelength fluctuation (chirping) at the time of modulation is about 0.03 nm, though smaller than that at the time of direct modulation. . This is because the amount of light returning to the active layer of the DFB laser changes when the modulator is driven when there is residual reflection on the exit end face on the modulator side. Therefore, it has been pointed out that it is necessary to suppress the residual reflectance to 0.1% or less by the antireflection coating 1006 on the exit end face of the modulator. In order to apply such a non-reflective coating, precise composition and thickness control of SiN film etc. are required, and productivity is not good.

【0005】また、レーザと変調器の結合部では、組成
の異なる導波路を結合するため、結合損を小さく抑える
ための結晶成長技術に精度が要求される。具体的には、
変調器部を再成長する場合には、変調器の活性層とレー
ザの活性層の位置を正確に一致させ、接合部壁面(メサ
部)への横成長を抑えるなどの技術が必要になる。
Further, in the coupling portion of the laser and the modulator, since the waveguides having different compositions are coupled, the crystal growth technique for suppressing the coupling loss is required to have high precision. In particular,
When the modulator portion is regrown, a technique is required such that the active layer of the modulator and the active layer of the laser are accurately aligned with each other to suppress lateral growth on the wall surface (mesa portion) of the junction.

【0006】さらに、変調器を透過するときの伝搬ロス
が存在する。すなわち、変調器の活性層のエネルギーバ
ンドギャップがレーザの活性層のものと近いために吸収
があり、光ON状態(スルーの状態)でも損失がある。
この損失と変調器の消光比はトレードオフの関係にあ
り、素子設計上の制約が存在する。
In addition, there is a propagation loss when passing through the modulator. That is, since the energy band gap of the active layer of the modulator is close to that of the active layer of the laser, there is absorption, and there is a loss even in the optical ON state (through state).
This loss and the extinction ratio of the modulator have a trade-off relationship, and there are restrictions in device design.

【0007】このような課題に鑑み、本発明の目的は、
光導波路への光の閉じ込めを制御して光出力の変調を行
なうことで、変調時の波長変動を抑え、光出力が高く、
生産性の高い強度変調器集積型の半導体レーザであっ
、強度変調時の単一モード性を向上させるために、T
EモードとTMモードの利得を異ならせる手段を持つ半
導体レーザを提供すること(請求項1、2に対応)、上
記のような半導体レーザで高密度波長多重光伝送を行な
う光通信システムを提供すること(請求項3に対応)
ある。
In view of these problems, the object of the present invention is to
By controlling the confinement of light in the optical waveguide and modulating the optical output, wavelength fluctuation during modulation is suppressed, and the optical output is high.
It is a highly productive semiconductor laser with integrated intensity modulator.
In order to improve the single mode property during intensity modulation, T
Providing a semiconductor laser having means for making gains of E mode and TM mode different (corresponding to claims 1 and 2) , and providing an optical communication system for performing high-density wavelength-division multiplexed optical transmission using the semiconductor laser as described above. That is (corresponding to claim 3) .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の半導体レーザ装置は、発光用の活性層を少なくとも
一部に含む光導波路が共振器方向に伸びており、光導波
路の少なくとも一部の近傍にある近傍部分と光導波路で
の屈折率の分布状態を制御できるように構成されて
て、活性層は、光導波路の2つの導波モードであるTE
モードとTMモードの利得が異なり、活性層においてT
EモードとTMモードの利得を異ならせることが、TE
モードに利得を与えるヘビーホールの基底準位と電子の
基底準位間のエネルギーバンドギャップに対応する波長
より長波長側にブラッグ波長がくるように活性層近傍に
具備した回折格子のピッチを設定することで行われ、ブ
ラッグ波長におけるTEモードのしきい値利得がTMモ
ードより非常に低くしてある分布帰還型レーザであるこ
とを特徴とする。また、上記目的を達成する本発明の半
導体レーザ装置は、発光用の活性層を少なくとも一部に
含む光導波路が共振器方向に伸びており、光導波路の少
なくとも一部の近傍にある近傍部分と光導波路での屈折
率の分布状態を制御できるように構成されていて、活性
層は、光導波路の2つの導波モードであるTEモードと
TMモードの利得が異なり、活性層においてTEモード
とTMモードの利得を異ならせることが、TEモードに
利得を与えるヘビーホールの基底準位と電子の基底準位
間のエネルギーバンドギャップに対応する波長より長波
長側にブラッグ波長がくるように共振器方向に直列に設
けられた回折格子のピッチを設定することで行われ、ブ
ラッグ波長におけるTEモードのしきい値利得がTMモ
ードより非常に低くしてある分布反射型レーザである
とを特徴とする。
Means for Solving the Problems] To achieve the above object semiconductor laser device of the present invention, at least an active layer for emitting optical waveguide including a portion <br/> extends in the resonator direction, optical It is configured to be able to control the distribution of refractive index at least some of the portion near the optical waveguide in the vicinity of the waveguide
The active layer is TE, which is the two guiding modes of the optical waveguide.
Mode and TM mode have different gains and T in the active layer
Differentiating the gain between E mode and TM mode
Heavy hole ground level and electron
Wavelength corresponding to the energy band gap between ground levels
In the vicinity of the active layer so that the Bragg wavelength comes to the longer wavelength side
This is done by setting the pitch of the diffraction grating provided.
The TE mode threshold gain at the Ragg wavelength is TM
It is a distributed feedback laser that is much lower than the
And are characterized. In addition, a half of the present invention for achieving the above object
Conductor laser devices have at least a portion of the active layer for light emission.
The optical waveguide that includes it extends in the direction of the resonator,
Refraction in the optical waveguide and the neighboring part that is near at least a part
Configured to control the distribution of rates
The layer has two waveguide modes of the optical waveguide, TE mode and
The gain of TM mode is different, and TE mode in the active layer
And the gain of TM mode is different to TE mode
Heavy hole and electron ground levels that give gain.
Longer wavelength than the wavelength corresponding to the energy band gap between
Installed in series in the cavity direction so that the Bragg wavelength is on the long side.
This is done by setting the pitch of the worn grating.
The TE mode threshold gain at the Ragg wavelength is TM
It is a distributed reflection laser that is much lower than the laser diode.

【0009】[0009]

【0010】[0010]

【0011】また、上記目的を達成する為に、本発明の
光通信システムは、1本の光ファイバに上記の半導体レ
ーザ装置および受信装置を複数接続し、複数の波長の光
をそれぞれ強度変調して伝送させ、受信装置において波
長可変光バンドパスフィルタを通して所望の波長の光に
のせた信号のみを取り出すように、波長分割多重伝送す
ることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the optical communication system of the present invention is such that a plurality of the semiconductor laser device and the receiving device described above are connected to one optical fiber, and the light of a plurality of wavelengths is intensity-modulated. The wavelength division multiplexing transmission is performed so that only the signal on the light of the desired wavelength is extracted through the wavelength tunable optical bandpass filter in the receiving device.

【0012】[0012]

【0013】本発明の原理を具体例を用いて説明する。
本発明では、変調器と同等の構造をレーザと並列に集積
化して上記課題を解決する。本発明による具体的素子構
造を図1に沿って説明する。通常の埋め込みヘテロ構造
DFBレーザに類似しているが、埋め込み部は、レーザ
の活性層と隣接してその活性層よりはエネルギーバンド
ギャップの高い(屈折率の低い)近傍部分を有してい
る。この近傍部分(閉じ込め制御層)に逆電界を加える
と、エネルギーバンドギャップが低く(屈折率が高く)
なり、レーザ活性層のエネルギーバンドギャップに近づ
く。すると、レーザ発振光の横方向の閉じ込めが劣化
し、発振しきい値が上昇する。そのため、レーザ発振の
光出力が減衰する。このとき、閉じ込め制御層としては
単一結晶(bulk)を用いても多重量子井戸(MQ
W)を用いてもよい。bulkの場合は、フランツケル
ディシュ効果(F−K効果)と呼ばれる効果で、電圧印
加により基礎吸収端が長波長側にシフトすることで、屈
折率が高くなる。MQWの場合は、QCSEによってエ
キシトンのピークが長波長側にシフトすることで、屈折
率が高くなる。この閉じ込め制御層には、電圧ではなく
電流を流す方法もある。電流注入によってプラズマ効果
により屈折率が低下する。これによって光の閉じ込めが
向上してしきい値が低減し、光出力が増加する。以上の
原理は、図1とは若干構成を変更したものでも実質的に
同じである。
The principle of the present invention will be described using a specific example.
The present invention solves the above problem by integrating a structure equivalent to a modulator in parallel with a laser. A specific device structure according to the present invention will be described with reference to FIG. Similar to a typical buried heterostructure DFB laser, the buried portion has a portion adjacent to the active layer of the laser and having a higher energy bandgap (lower refractive index) than the active layer. When a reverse electric field is applied to this vicinity (confinement control layer), the energy band gap is low (refractive index is high).
And approaches the energy band gap of the laser active layer. Then, the lateral confinement of the laser oscillation light deteriorates and the oscillation threshold value rises. Therefore, the optical output of laser oscillation is attenuated. At this time, even if a single crystal (bulk) is used as the confinement control layer, the multiple quantum well (MQ
W) may be used. In the case of the bulk, an effect called the Franz-Keldysh effect (FK effect) is generated, and the fundamental absorption edge is shifted to the long wavelength side by applying a voltage, so that the refractive index is increased. In the case of MQW, the exciton peak shifts to the long wavelength side due to QCSE, which increases the refractive index. There is also a method in which a current is passed through the confinement control layer instead of a voltage. The current injection causes the plasma effect to reduce the refractive index. This improves light confinement, lowers the threshold and increases light output. The above principle is substantially the same even if the configuration is slightly modified from that of FIG.

【0014】以上説明したような方法によれば、レーザ
端面における反射率が従来例のように変化することがな
いので、モードが安定し、チャーピングを抑えることが
できる。また、レーザ活性層と閉じ込め制御層の結合
は、光の進行方向ではないので、従来例のような作製精
度は要求されない。さらに、伝搬ロスは従来例に比較し
て小さく、最大光パワーが向上する。
According to the method described above, the reflectance at the laser end face does not change as in the conventional example, so that the mode is stable and the chirping can be suppressed. Further, since the coupling between the laser active layer and the confinement control layer is not in the traveling direction of light, the manufacturing precision as in the conventional example is not required. Further, the propagation loss is smaller than that of the conventional example, and the maximum optical power is improved.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】実施例1 本発明による第1の実施例を説明する。図1は本発明に
よるDFBレーザの断面図(共振器方向と垂直な面での
断面)で、活性層はバンドギャップ波長で1.56μ
m、閉じ込め制御層はバンドギャップ波長で1.45μ
mとなるようなSCH−MQWとなっている。層構成を
以下に詳しく述べる。図1において、101は基板とな
るn−InP、102は深さ0.05μmの回折格子が
形成されたn−InPバッファ層、103は厚さ0.1
μmでバンドギャップ波長λg=1.25μmのn−I
nGaAsP下部光ガイド層、104は井戸層であるi
−In0.53Ga0.47As(厚さ7nm)、バリア層であ
るi−InGaAsP(λg=1.25μm、厚さ10
nm)10層からなる多重量子井戸構造の活性層、10
5は厚さ0.02μmのp−InGaAsP(λg=
1.25μm)の上部光ガイド層、106はp−InP
クラッド層、107はp−In0.53Ga0.47Asコンタ
クト層、108はp−InP埋め込み層、109は厚さ
0.2μmのp−InGaAsP(λg=1.15μ
m)、i−In0.53Ga0.47As井戸層(厚さ4nm)
とi−InGaAsP(λg=1.15μm、厚さ10
nm)バリア層10層、及び厚さ0.2μmのn−In
GaAsP(λg=1.15μm)から成るSCH−M
QW閉じ込め制御層、110はn−InP埋め込み層、
111,112はp側の電極であるCr/AuZnNi
/Au層、113,114はn側の電極であるAuGe
Ni/Au層、115は絶縁膜である。p−InPクラ
ッド層106での電極はオーミックを得やすいように、
一部Zn拡散によってキャリア濃度を高くした。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiment 1 A first embodiment according to the present invention will be described. FIG. 1 is a sectional view of a DFB laser according to the present invention (a section taken along a plane perpendicular to the cavity direction), in which the active layer has a bandgap wavelength of 1.56 μm.
m, the confinement control layer has a bandgap wavelength of 1.45μ
The SCH-MQW is such that m. The layer structure will be described in detail below. In FIG. 1, 101 is n-InP serving as a substrate, 102 is an n-InP buffer layer in which a diffraction grating having a depth of 0.05 μm is formed, and 103 has a thickness of 0.1.
n-I with band gap wavelength λg = 1.25 μm at μm
nGaAsP lower optical guide layer, 104 is a well layer i
-In 0.53 Ga 0.47 As (thickness 7 nm), i-InGaAsP (λg = 1.25 μm, thickness 10) which is a barrier layer
nm) active layer having a multi-quantum well structure consisting of 10 layers, 10
5 is p-InGaAsP (λg = 0.02 μm thick)
1.25 μm) upper optical guide layer, 106 is p-InP
A clad layer, 107 is a p-In 0.53 Ga 0.47 As contact layer, 108 is a p-InP buried layer, 109 is a 0.2 μm thick p-InGaAsP (λg = 1.15 μm) layer.
m), i-In 0.53 Ga 0.47 As well layer (thickness 4 nm)
And i-InGaAsP (λg = 1.15 μm, thickness 10
nm) 10 barrier layers and 0.2 μm thick n-In
SCH-M made of GaAsP (λg = 1.15 μm)
QW confinement control layer, 110 is n-InP buried layer,
111/112 are Cr / AuZnNi which are p-side electrodes
/ Au layer, 113 and 114 are AuGe which are n-side electrodes
The Ni / Au layer and 115 are insulating films. The electrode in the p-InP clad layer 106 is formed so as to easily obtain ohmic contact.
The carrier concentration was partially increased by Zn diffusion.

【0016】ここで、このDFBレーザでは格子整合系
の多重量子井戸層になっており、Ehh0−Ee0の遷移エ
ネルギーがElh0−Ee0の遷移エネルギーより小さいた
め、TEモードの利得がTMモードに比べて大きくなっ
ている。また、回折格子による分布帰還波長すなわちD
FBレーザの発振波長は、ヘビーホールと電子の基底準
位間遷移エネルギー(Ehh0−Ee0)に対応する波長
1.56μmよりわずかに長波長側になるように、回折
格子のピッチを設定した。これにより、TMモードの利
得はほとんどなく、TEモードのみで発振した。
[0016] Here, in this DFB laser has become a multi-quantum well layer of lattice-matched systems, because the transition energy E hh0 -E e0 is smaller than the transition energy of E LH0 -E e0, the gain of the TE mode TM It is bigger than the mode. Also, the distributed feedback wavelength by the diffraction grating, that is, D
The pitch of the diffraction grating was set so that the oscillation wavelength of the FB laser was slightly longer than the wavelength of 1.56 μm corresponding to the transition energy (E hh0 -E e0 ) between the ground level of heavy holes and electrons. . As a result, there was almost no gain in the TM mode, and oscillation occurred only in the TE mode.

【0017】以上の構成において、電極111と電極1
14間に順バイアス電流を流していくと、しきい値約2
0mAで発振する。ここで、電極112と電極113間
に逆電界をかけると、閉じ込め制御層109の屈折率が
高くなって活性層104への閉じ込めが劣化して、しき
い値が上昇し、光出力が減少する。レーザへのバイアス
電流が40mAのときの、逆電界の印加電圧と光出力の
関係を図2に示す。5Vの印加で約20dBの光出力の
減衰があることがわかる。電界は左右両側に印加するの
が効率的だが、片方だけでもよい。また、電極111と
電極113は短絡してもよい。
In the above structure, the electrode 111 and the electrode 1
When a forward bias current is passed between 14
It oscillates at 0 mA. Here, when a reverse electric field is applied between the electrodes 112 and 113, the refractive index of the confinement control layer 109 is increased, the confinement in the active layer 104 is deteriorated, the threshold value is increased, and the optical output is decreased. . FIG. 2 shows the relationship between the applied voltage of the reverse electric field and the optical output when the bias current to the laser is 40 mA. It can be seen that the optical output is attenuated by about 20 dB when 5 V is applied. It is efficient to apply the electric field to both the left and right sides, but only one may be applied. The electrodes 111 and 113 may be short-circuited.

【0018】そこで、電極112と電極113間に振幅
5Vのデジタル信号を印加すると、消光比約20dBの
強度変調ができる。この時、変調帯域はDC〜3GHz
であった。また、発振波長の動的変動すなわちチャーピ
ングは0.02nm程度であった。ただし、このときの
素子の端面処理は反射率1%程度の無反射コーティング
であり、従来例に比較すると作製精度を要求されないこ
とが分かる。
Therefore, when a digital signal with an amplitude of 5 V is applied between the electrode 112 and the electrode 113, intensity modulation with an extinction ratio of about 20 dB can be performed. At this time, the modulation band is DC to 3 GHz
Met. The dynamic fluctuation of the oscillation wavelength, that is, the chirping was about 0.02 nm. However, the end surface treatment of the element at this time is a non-reflective coating with a reflectance of about 1%, and it can be seen that the manufacturing accuracy is not required as compared with the conventional example.

【0019】本実施例では、レーザの活性層104とし
て無歪みMQWを用いたが、バンドギャップ波長1.5
5μmのInGaAsP単層や、圧縮歪みMQW(例え
ば、In0.7Ga0.3As(厚さ3nm)/InGaAs
P)を用いてTEモードとTMモードの利得差をさらに
大きくしてもよい。また、引っ張り歪みMQWを用い
て、TMモードの利得の方を大きくして、TMモード発
振の強度変調を行なうこともできる。閉じ込め制御層1
09はMQW構造としたが、バンドギャップ波長1.4
5μmのInGaAsP単層として、F−K効果を利用
してもよい。図1では閉じ込め制御層109と活性層1
04はほぼ同じ高さでそろっているが、多少ずれたり、
閉じ込め制御層が曲がっていてもかまわない。もちろ
ん、回折格子にλ/4シフト構造を導入したり、端面に
無反射コーティングを施して単一モード性を向上させる
ことも有用である。
In this embodiment, the unstrained MQW is used as the active layer 104 of the laser, but the bandgap wavelength is 1.5.
InGaAsP single layer of 5 μm, compressive strain MQW (for example, In 0.7 Ga 0.3 As (thickness 3 nm) / InGaAs)
P) may be used to further increase the gain difference between the TE mode and the TM mode. It is also possible to use the tensile strain MQW to increase the gain of the TM mode and perform intensity modulation of the TM mode oscillation. Confinement control layer 1
09 has an MQW structure, but has a bandgap wavelength of 1.4
The FK effect may be used as a 5 μm InGaAsP single layer. In FIG. 1, the confinement control layer 109 and the active layer 1
04 are almost the same height, but there are some deviations,
The confinement control layer may be curved. Of course, it is also useful to introduce a λ / 4 shift structure into the diffraction grating or to improve the single mode property by applying an antireflection coating to the end face.

【0020】本実施例によれば、レーザ端面における反
射率が従来例のように変化することがないので、モード
が安定し、上で述べたようにチャーピングを抑えること
ができる。また、レーザ活性層と変調器の活性層(閉じ
込め制御層)の結合は、光の進行方向ではないので、従
来例のような作製精度は要求されない。さらに、伝搬ロ
スは従来例に比較して小さく、最大光パワーが向上す
る。
According to the present embodiment, the reflectance at the laser end face does not change as in the prior art, so that the mode is stable and the chirping can be suppressed as described above. Further, since the coupling between the laser active layer and the active layer (confinement control layer) of the modulator is not in the traveling direction of light, the manufacturing precision as in the conventional example is not required. Further, the propagation loss is smaller than that of the conventional example, and the maximum optical power is improved.

【0021】実施例2 本発明による第2の実施例は、実施例1とほぼ同じ構成
(層の組成が若干異なる)のレーザで、埋め込みヘテロ
構造における閉じ込め制御層の屈折率変化を電流注入で
行なうものである。実施例1と異なる部分は、閉じ込め
制御層をバンドギャップ波長で1.48μmとなる層に
した点である。それにより閉じ込め制御層に電流注入が
ないときは、活性層と閉じ込め制御層のバンドギャップ
の差が小さく、光閉じ込めの効果が小さいため発振を抑
制できる。この層構成において、閉じ込め制御層への電
流注入がない場合に、発振しないようなバイアス電流
(しきい値電流近傍)をレーザ活性層に注入しておく。
閉じ込め制御層に電流を注入していくとプラズマ効果に
より屈折率が小さくなり、横方向の閉じ込めが良くなっ
て、しきい値利得が低減し、40mA程度でレーザ発振
する。これによって強度変調が可能となる。
Second Embodiment A second embodiment according to the present invention is a laser having substantially the same structure as that of the first embodiment (the composition of the layer is slightly different), and a change in the refractive index of the confinement control layer in the buried hetero structure is caused by current injection. It is something to do. The difference from Example 1 is that the confinement control layer is a layer having a bandgap wavelength of 1.48 μm. As a result, when no current is injected into the confinement control layer, the difference in band gap between the active layer and the confinement control layer is small, and the effect of optical confinement is small, so that oscillation can be suppressed. In this layer structure, a bias current (near the threshold current) that does not oscillate when no current is injected into the confinement control layer is injected into the laser active layer.
When the current is injected into the confinement control layer, the refractive index is reduced by the plasma effect, the lateral confinement is improved, the threshold gain is reduced, and laser oscillation occurs at about 40 mA. This allows intensity modulation.

【0022】実施例1と比べると、レーザ活性層に常時
注入する直流電流がしきい値以下と小さくなるため、消
費電力を低減できる。
Compared with the first embodiment, the DC current constantly injected into the laser active layer is smaller than the threshold value, so that the power consumption can be reduced.

【0023】実施例3 本発明による第3の実施例は、実施例1のレーザを共振
器方向に多電極化したものである。図3に本実施例によ
る3電極型のレーザの断面斜視図を示す(素子の右半分
を示す)。λ/4シフト407が電極402の中央に設
けてあり、両端面に無反射コーティングを施してある。
電極長は(401,404)、(402,405)、
(403,406)でそれぞれ300μm、100μ
m、300μmとしてある。それぞれの電流の比率を変
えることで発振波長を変化できる。本素子では、電極4
01の電流I1、電極402の電流I2、電極403の
電流I3として、I2/(I1+I2+I3)の値を
0.1から0.5まで変化させることで、発振波長を連
続的に約2nm変えることができる。これによって、本
素子を波長多重伝送の光源として使うことができる。
尚、図3において、図1の符号と同符号のものは同機能
部を示す。
Embodiment 3 In the third embodiment according to the present invention, the laser of Embodiment 1 has multiple electrodes in the cavity direction. FIG. 3 shows a sectional perspective view of a three-electrode type laser according to this embodiment (showing the right half of the device). A λ / 4 shift 407 is provided in the center of the electrode 402, and both end faces are antireflection coated.
The electrode length is (401, 404), (402, 405),
(403, 406) 300μm, 100μ respectively
m and 300 μm. The oscillation wavelength can be changed by changing the ratio of each current. In this element, the electrode 4
As the current I1 of 01, the current I2 of electrode 402, and the current I3 of electrode 403, the oscillation wavelength can be continuously changed by about 2 nm by changing the value of I2 / (I1 + I2 + I3) from 0.1 to 0.5. it can. This allows the device to be used as a light source for wavelength division multiplexing transmission.
In FIG. 3, the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same functional units.

【0024】強度変調の駆動は、電極405のみに振幅
8Vの電圧信号を印加することで行なうことができる。
実施例1より、電圧振幅が大きいのは、閉じ込め制御を
行なう領域が中央部のみと短いからである。しかし、実
施例1に比べると、寄生容量が低減されるので、変調帯
域が伸びて10GHzまでの変調が可能となる。
The intensity modulation drive can be performed by applying a voltage signal having an amplitude of 8 V only to the electrode 405.
The voltage amplitude is larger than that in the first embodiment because the region where confinement control is performed is short only in the central portion. However, since the parasitic capacitance is reduced as compared with the first embodiment, the modulation band is extended and the modulation up to 10 GHz becomes possible.

【0025】実施例4 本発明による第4の実施例は、分布反射(DBR)レー
ザに適用したものである。図4は本実施例によるDBR
レーザの共振器に平行な断面図で、これと垂直な断面す
なわち埋め込みヘテロ構造については実施例1とほぼ同
じである。電極511,512,513(レーザ注入電
極のみ示す)は実施例3と同様にレーザ注入電極、電界
印加電極ともに3つに分割されており、それぞれ、活性
領域、位相調整領域、DBR領域に対応する。DBR領
域の埋め込み層に電界を印加し、横方向の閉じ込めを弱
くすると、活性領域に分布反射される光量が減少し、し
きい値が上昇して光出力が減衰する。
Embodiment 4 The fourth embodiment according to the present invention is applied to a distributed Bragg reflector (DBR) laser. FIG. 4 is a DBR according to this embodiment.
A cross-sectional view parallel to the resonator of the laser, and a cross section perpendicular to the cross-section, that is, a buried heterostructure is almost the same as that of the first embodiment. The electrodes 511, 512, and 513 (only the laser injection electrode is shown) are divided into three, which are the laser injection electrode and the electric field application electrode, like the third embodiment, and correspond to the active region, the phase adjustment region, and the DBR region, respectively. . When an electric field is applied to the buried layer in the DBR region to weaken the lateral confinement, the amount of light distributed and reflected in the active region decreases, the threshold value increases, and the light output attenuates.

【0026】本素子では、活性層515を持つ活性領域
の層構成は実施例1とほぼ同じである。DBR領域で
は、InP基板516までエッチングしてから回折格子
を形成し、バンドギャップ波長1.4μmのInGaA
sP光ガイド層501、p−InPクラッド層502、
p−InGaAsコンタクト層503を再成長してい
る。また、これに対応して、閉じ込め制御層は、実施例
1と異なり、バンドギャップ波長1.3μmのMQWに
している。
In this device, the layer structure of the active region having the active layer 515 is almost the same as that of the first embodiment. In the DBR region, the InP substrate 516 is etched and then the diffraction grating is formed, and InGaA having a band gap wavelength of 1.4 μm is formed.
sP light guide layer 501, p-InP clad layer 502,
The p-InGaAs contact layer 503 is regrown. Correspondingly, unlike the first embodiment, the confinement control layer is an MQW having a bandgap wavelength of 1.3 μm.

【0027】本素子では、DBR領域及び位相調整領域
の注入電流(電極513と電極514間及び電極512
と電極514間)の変化によって、発振波長を約3nm
変えることができる。従って、実施例3のように波長多
重伝送の光源として使うことができる。
In the present device, the injection currents in the DBR region and the phase adjustment region (between the electrodes 513 and 514 and between the electrodes 512).
And the electrode 514) change the oscillation wavelength to about 3 nm.
Can be changed. Therefore, it can be used as a light source for wavelength division multiplexing transmission as in the third embodiment.

【0028】実施例5 本発明による第5の実施例は、実施例4と同様のDBR
レーザであるが、DBR領域の光導波路自体のバンドギ
ャップ波長を電界によって変化させるものである。図5
は、本実施例によるDBRレーザの共振器方向断面図で
あり、基板616に形成された回折格子上に、バンドギ
ャップ波長1.25μmの光ガイド層601、バンドギ
ャップ波長1.45μmのInGaAs/InGaAs
P10層のMQW層(実施例1の閉じ込め制御層109
と同じ)602、InPクラッド層603、InGaA
sコンタクト層604が再成長されている。横方向の埋
め込み構造は実施例1〜4と異なり、高抵抗のInPの
みで構成されている。活性層615を持つ活性領域の層
構成は実施例1と実質的に同じである。
Fifth Embodiment A fifth embodiment according to the present invention is the same DBR as the fourth embodiment.
Although it is a laser, it changes the bandgap wavelength of the optical waveguide itself in the DBR region by an electric field. Figure 5
FIG. 4B is a cross-sectional view of the DBR laser according to the present embodiment in the cavity direction. An optical guide layer 601 having a bandgap wavelength of 1.25 μm and an InGaAs / InGaAs having a bandgap wavelength of 1.45 μm are formed on a diffraction grating formed on a substrate 616.
MQW layer of P10 layer (confinement control layer 109 of Example 1)
602, InP clad layer 603, InGaA
The s contact layer 604 has been regrown. Unlike the first to fourth embodiments, the lateral burying structure is composed only of high-resistance InP. The layer structure of the active region having the active layer 615 is substantially the same as that of the first embodiment.

【0029】本素子で活性領域に電流注入(電極611
と電極614間)してDBR発振を得るが、DBR領域
に電界を印加(電極613と電極614間)すると、閉
じ込めが悪化して活性領域に分布反射される光量が減少
し、しきい値が上昇して光出力が減衰する。
In this device, current injection into the active region (electrode 611
And the electrode 614) to obtain DBR oscillation, but when an electric field is applied to the DBR region (between the electrode 613 and the electrode 614), confinement deteriorates and the amount of light distributed and reflected in the active region decreases, and the threshold value becomes It rises and the light output is attenuated.

【0030】このように本素子では、DBR領域の電界
によって強度変調を行なうので、波長可変動作は行なわ
ない。また、位相調整領域については、波長可変時に調
整するのではなく、DBR発振が安定になるような初期
設定のときに電極612を使う。あるいは、DBR領域
に逆電界を印加する際に活性領域からの電流の流れ込み
を防ぐために使うことができる。
As described above, in this device, since the intensity is modulated by the electric field in the DBR region, the wavelength variable operation is not performed. Further, regarding the phase adjustment region, the electrode 612 is used in the initial setting such that the DBR oscillation becomes stable, instead of adjusting when the wavelength is variable. Alternatively, it can be used to prevent current from flowing from the active region when applying a reverse electric field to the DBR region.

【0031】実施例6 実施例1から5まで、回折格子を有した動的単一モード
レーザの実施例を示してきたが、本発明の思想は、回折
格子がなく両端面へき開のファブリペローレーザにも適
用できる。構造は図1とほぼ同じで、下部光ガイド層1
03を0.02μmと薄くし回折格子は作製していな
い。単一モード性は良くないが、実施例1と同様に強度
変調することができる。本実施例は、波長多重を必要と
しない簡易的な光通信や、空間伝搬光通信などに適用す
ることができる。
Sixth Embodiment Although the first to fifth embodiments have shown the embodiments of the dynamic single mode laser having the diffraction grating, the idea of the present invention is that the Fabry-Perot laser without the diffraction grating and cleaved at both end surfaces. Can also be applied to. The structure is almost the same as in FIG.
03 was thinned to 0.02 μm, and no diffraction grating was produced. Although the single mode property is not good, intensity modulation can be performed as in the first embodiment. The present embodiment can be applied to simple optical communication that does not require wavelength multiplexing, spatial propagation optical communication, and the like.

【0032】実施例7 図6に本発明による第7の実施例であるDFBレーザの
断面図を示す。構造は実施例1とほぼ同じである。本実
施例では、活性層104と閉じ込め制御層109の電気
的絶縁性を高めるために、メサエッチング後に0.3μ
mの高抵抗InP層901を底面及び側面に成長させて
から、実施例1と同様に埋め込み成長したものである。
このInPの成長には、導波路の光の導波方向を逆メサ
方向にすると、減圧MOCVD法で成長することでメサ
側面と底面の成長レートがほぼ等しくなることを利用す
ればよい。
Embodiment 7 FIG. 6 shows a sectional view of a DFB laser which is a seventh embodiment of the present invention. The structure is almost the same as that of the first embodiment. In the present embodiment, in order to improve the electrical insulation between the active layer 104 and the confinement control layer 109, 0.3 μm after the mesa etching.
The high resistance InP layer 901 having a thickness of m is grown on the bottom surface and the side surface, and then the buried growth is performed as in the first embodiment.
For the growth of InP, it is sufficient to use that the growth rate of the side surface and the bottom surface of the mesa become substantially equal by growing by the low pressure MOCVD method when the waveguide direction of the light in the waveguide is the reverse mesa direction.

【0033】本実施例では、漏れ電流が低減できるため
レーザの活性層104への注入効率が向上して、しきい
値電流が低減できるとともに光出力のハイパワー化が可
能となる。
In this embodiment, since the leakage current can be reduced, the injection efficiency of the laser into the active layer 104 is improved, the threshold current can be reduced, and the optical output power can be increased.

【0034】実施例8 本実施例は、本発明による半導体レーザを用いた強度変
調光伝送を波長多重光LANシステムに応用する例であ
る。。図7に、この場合の各端末に接続される光−電気
変換部(ノード)の構成例を示し、図8にそのノードを
用いた光LANシステムの構成例を示す。
Embodiment 8 This embodiment is an example in which the intensity-modulated optical transmission using the semiconductor laser according to the present invention is applied to a wavelength division multiplexing optical LAN system. . FIG. 7 shows a configuration example of an optical-electrical conversion unit (node) connected to each terminal in this case, and FIG. 8 shows a configuration example of an optical LAN system using the node.

【0035】各部に接続された光ファイバ701を媒体
として、光信号がノードに取り込まれ、分岐部702に
よりその一部が波長可変フィルタを備えた受信装置70
3に入射する。波長可変フィルタとしては、ファイバフ
ァブリペロフィルタを用いたが、その他にマッハツェン
ダフィルタや干渉膜フィルタ等でもよい。この受信装置
703により所望の波長の光信号のみを取り出して信号
検波を行なう。一方、ノードから光信号を送信する場合
には、実施例3の波長可変DFBレーザあるいは実施例
4の波長可変DBRレーザ704を強度変調し、分岐部
707を介して光伝送路に入射せしめる。このとき、レ
ーザへの戻り光の影響を避けるために、アイソレータ7
06を入れてもよい。
An optical signal is taken into a node by using an optical fiber 701 connected to each unit as a medium, and a branching unit 702 partially receives the wavelength tunable filter 70.
It is incident on 3. A fiber Fabry-Perot filter is used as the wavelength tunable filter, but a Mach-Zehnder filter, an interference film filter, or the like may be used instead. The receiving device 703 extracts only an optical signal having a desired wavelength and performs signal detection. On the other hand, when the optical signal is transmitted from the node, the wavelength tunable DFB laser of the third embodiment or the wavelength tunable DBR laser 704 of the fourth embodiment is intensity-modulated and is incident on the optical transmission line via the branching unit 707. At this time, in order to avoid the influence of the returning light to the laser, the isolator 7
You may enter 06.

【0036】端末によっては、単一波長のみを送信すれ
ばよい場合があり、その場合は、実施例1のDFBレー
ザあるいは実施例5のDBRレーザを用いる。逆に、波
長可変範囲をさらに広げる必要がある場合には、複数の
波長可変レーザを設けてやればよい。
Depending on the terminal, it may be necessary to transmit only a single wavelength, and in that case, the DFB laser of the first embodiment or the DBR laser of the fifth embodiment is used. On the contrary, when it is necessary to further widen the wavelength tunable range, a plurality of wavelength tunable lasers may be provided.

【0037】光LANシステムのネットワークとして、
図8に示すものはバス型であり、AおよびBの方向にノ
ードを接続し、ネットワーク化された多数の端末および
センタを設置することができる。ただし、多数のノード
を接続するためには、光の減衰を補償するために光増幅
器を伝送路上に設置する必要がある。また、各端末にノ
ードを2つ接続し伝送路を2本にすることで、DQDB
方式による双方向の光伝送が可能となる。
As a network of the optical LAN system,
What is shown in FIG. 8 is a bus type, and nodes can be connected in the directions A and B, and a large number of networked terminals and centers can be installed. However, in order to connect a large number of nodes, it is necessary to install an optical amplifier on the transmission line to compensate for the attenuation of light. Also, by connecting two nodes to each terminal and using two transmission lines, DQDB
It enables bidirectional optical transmission by the method.

【0038】本発明による強度変調では、実施例1に述
べたように変調時の波長変動が0.02nm程度である
ため、波長可変幅2nmの場合、2/0.02=100
チャンネルの高密度波長多重伝送による光ネットワーク
システムを構築できる。また、ネットワークの形態とし
て、図8のAとBを接続したループ型や、スター型、あ
るいはそれらを複合した形態のものでもよい。
In the intensity modulation according to the present invention, since the wavelength variation at the time of modulation is about 0.02 nm as described in the first embodiment, when the wavelength variable width is 2 nm, 2 / 0.02 = 100.
An optical network system can be constructed by high-density wavelength division multiplexing transmission of channels. Further, the network may have a loop type in which A and B in FIG. 8 are connected, a star type, or a combination thereof.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上に説明したような本発明の構成によ
れば次のような効果がある。
According to the structure of the present invention as described above, the following effects can be obtained.

【0040】レーザ作製上の設計値からのずれに特性が
大きく左右されることがなく、変調時の波長変動を抑
え、光出力が高い強度変調器集積型の半導体レーザを安
定に歩留まりよく製造でき、半導体レーザで強度変調時
の単一モード性を向上させるために、TEモードとTM
モードの利得を異ならせることができる(請求項1、2
に対応)。本発明の半導体レーザで低コストで多重度の
高い波長多重光伝送を実現できる(請求項3に対応)
The characteristics are not greatly influenced by the deviation from the design value in the laser fabrication, the wavelength fluctuation at the time of modulation is suppressed, and the semiconductor laser of the intensity modulator integrated type having a high optical output can be stably manufactured with a high yield. , When intensity modulation with semiconductor laser
TE mode and TM to improve the single mode property of
The mode gains can be different (claims 1 and 2).
Corresponding to). With the semiconductor laser of the present invention, low cost and multiplicity
High wavelength division multiplexing optical transmission can be realized (corresponding to claim 3) .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるDFBレーザ(実施例1)の横断
面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a DFB laser (Example 1) according to the present invention.

【図2】光出力と印加電圧の関係を示す図。FIG. 2 is a diagram showing the relationship between light output and applied voltage.

【図3】本発明による3電極DFBレーザ(実施例3)
の縦断面斜視図。
FIG. 3 is a three-electrode DFB laser according to the present invention (Example 3).
FIG.

【図4】本発明による波長可変DBRレーザ(実施例
4)の縦断面図。
FIG. 4 is a vertical sectional view of a wavelength tunable DBR laser (Example 4) according to the present invention.

【図5】本発明によるDBRレーザ(実施例5)の縦断
面図。
FIG. 5 is a vertical sectional view of a DBR laser (Example 5) according to the present invention.

【図6】本発明によるDFBレーザ(実施例7)の横断
面図。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a DFB laser (Example 7) according to the present invention.

【図7】本発明によるレーザを用いた光LANシステム
に用いられる光−電気変換部の構成例を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration example of an optical-electrical conversion unit used in an optical LAN system using a laser according to the present invention.

【図8】光LANシステムのネットワークを説明する
図。
FIG. 8 is a diagram illustrating a network of an optical LAN system.

【図9】強度変調器集積型半導体レーザの従来例を示す
図。
FIG. 9 is a view showing a conventional example of an intensity modulator integrated semiconductor laser.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101,516,616 基板 102 バッファ層 103,105,501,601 光ガイド層 104,515,615 活性層 106,502,603 クラッド層 107,503,604 コンタクト層 108,110 埋め込み層 109,602 MQW層 111,112,113,114,401,402,4
03,404,405,406,511,512,51
3,514,611,612,613,614 電極 115 絶縁膜 407 λ/4シフト部 701 光ファイバ 702,707 光分岐器 703 波長選択受信器 704 本発明の半導体レーザ 706 光アイソレータ 901 高抵抗InP絶縁層 1001 n側電極 1002 ポリイミド 1003 n−InP基板 1004 InP埋め込み層 1005 p電極 1006 無反射コーティング
101, 516, 616 Substrate 102 Buffer layer 103, 105, 501, 601 Light guide layer 104, 515, 615 Active layer 106, 502, 603 Cladding layer 107, 503, 604 Contact layer 108, 110 Buried layer 109, 602 MQW layer 111, 112, 113, 114, 401, 402, 4
03,404,405,406,511,512,51
3, 514, 611, 612, 613, 614 Electrode 115 Insulating film 407 λ / 4 shift part 701 Optical fiber 702, 707 Optical branching device 703 Wavelength selective receiver 704 Semiconductor laser 706 of the present invention Optical isolator 901 High resistance InP insulating layer 1001 n-side electrode 1002 polyimide 1003 n-InP substrate 1004 InP burying layer 1005 p electrode 1006 anti-reflection coating

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H04J 14/00 H04B 9/00 E 14/02 // H01L 27/15 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 5/00 - 5/50 Front page continued (51) Int.Cl. 7 identification code FI H04J 14/00 H04B 9/00 E 14/02 // H01L 27/15 (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01S 5/00-5/50

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 発光用の活性層を少なくとも一部に含む
光導波路が共振器方向に伸びており、該光導波路の少な
くとも一部の近傍にある近傍部分と該光導波路での屈折
率の分布状態を制御できるように構成され、該活性層
は、該光導波路の2つの導波モードであるTEモードと
TMモードの利得が異なり、該活性層においてTEモー
ドとTMモードの利得を異ならせることが、TEモード
に利得を与えるヘビーホールの基底準位と電子の基底準
位間のエネルギーバンドギャップに対応する波長より長
波長側にブラッグ波長がくるように該活性層近傍に具備
した回折格子のピッチを設定することで行われ、ブラッ
グ波長におけるTEモードのしきい値利得がTMモード
より非常に低くしてある分布帰還型レーザであることを
特徴とする半導体レーザ装置。
1. An optical waveguide including an active layer for light emission in at least a part thereof extends in a resonator direction, and a refractive index distribution in the vicinity part in the vicinity of at least a part of the optical waveguide and the optical waveguide. The active layer is configured so that the gains of the two waveguide modes of the optical waveguide, that is, the TE mode and the TM mode, are different, and the TE layer and the TM mode have different gains in the active layer. Of the diffraction grating provided in the vicinity of the active layer so that the Bragg wavelength is on the longer wavelength side than the wavelength corresponding to the energy band gap between the heavy hole ground level and the electron ground level that gives a gain to the TE mode. A semiconductor laser characterized by being a distributed feedback laser which is made by setting a pitch and has a threshold gain of TE mode at Bragg wavelength much lower than that of TM mode. The device.
【請求項2】 発光用の活性層を少なくとも一部に含む
光導波路が共振器方向に伸びており、該光導波路の少な
くとも一部の近傍にある近傍部分と該光導波路での屈折
率の分布状態を制御できるように構成され、該活性層
は、該光導波路の2つの導波モードであるTEモードと
TMモードの利得が異なり、該活性層においてTEモー
ドとTMモードの利得を異ならせることが、TEモード
に利得を与えるヘビーホールの基底準位と電子の基底準
位間のエネルギーバンドギャップに対応する波長より長
波長側にブラッグ波長がくるように共振器方向に直列に
設けられた回折格子のピッチを設定することで行われ、
ブラッグ波長におけるTEモードのしきい値利得がTM
モードより非常に低くしてある分布反射型レーザである
ことを特徴とする半導体レーザ装置。
2. An optical waveguide including an active layer for light emission in at least a part thereof extends in the resonator direction, and a refractive index distribution in the vicinity part in the vicinity of at least a part of the optical waveguide and the optical waveguide. The active layer is configured so that the gains of the two waveguide modes of the optical waveguide, that is, the TE mode and the TM mode, are different, and the TE layer and the TM mode have different gains in the active layer. However, the diffraction provided in series in the cavity direction so that the Bragg wavelength is on the longer wavelength side than the wavelength corresponding to the energy band gap between the heavy hole ground level and the electron ground level that gives a gain to the TE mode. This is done by setting the pitch of the grid,
The TE mode threshold gain at the Bragg wavelength is TM
A semiconductor laser device characterized by being a distributed Bragg reflector laser whose mode is much lower than the mode.
【請求項3】 1本の光ファイバに請求項1又は2に記
載の半導体レーザ装置および受信装置を複数接続し、複
数の波長の光をそれぞれ強度変調して伝送させ、受信装
置において波長可変光バンドパスフィルタを通して所望
の波長の光にのせた信号のみを取り出すように、波長分
割多重伝送することを特徴とする光通信システム。
3. A plurality of the semiconductor laser device and the receiving device according to claim 1 or 2 are connected to one optical fiber, and light of a plurality of wavelengths is intensity-modulated and transmitted, and a wavelength tunable light is received in the receiving device. An optical communication system characterized by performing wavelength division multiplex transmission so that only a signal on which light of a desired wavelength is carried out is taken out through a bandpass filter.
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