JP3448177B2 - Direct gas analysis method - Google Patents

Direct gas analysis method

Info

Publication number
JP3448177B2
JP3448177B2 JP01487597A JP1487597A JP3448177B2 JP 3448177 B2 JP3448177 B2 JP 3448177B2 JP 01487597 A JP01487597 A JP 01487597A JP 1487597 A JP1487597 A JP 1487597A JP 3448177 B2 JP3448177 B2 JP 3448177B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
laser
pipe
shutoff valve
measurement pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP01487597A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH10213544A (en
Inventor
浩平 伊藤
祥啓 出口
博久 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP01487597A priority Critical patent/JP3448177B2/en
Publication of JPH10213544A publication Critical patent/JPH10213544A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3448177B2 publication Critical patent/JP3448177B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザを用いたガ
スの直接分析方法において、分析装置の安全性の向上に
寄与するものである
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention provides a direct method for analyzing gas using a laser, but contributes to the improvement of the safety of the analyzer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、発電プラント等でのガス濃度の計
測においては、主要ガス成分はガスクロマトグラフィー
等でオンラインで計測することが可能であるが、微量な
ガス成分及ひガス中に含まれる粉体の組成については、
ガス及び粉体を吸引した後に、分析しており、オンライ
ンでの計測は困難であった。
2. Description of the Related Art Conventionally, in measuring gas concentration in a power plant, etc., main gas components can be measured online by gas chromatography, etc., but they are contained in trace gas components and gas. For powder composition,
Since the gas and powder were sucked, they were analyzed, and it was difficult to measure them online.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】微量なガス成分及び粉
体組成等についても、レーザを用いたガス分析装置を設
置することにより、オンラインでの監視が可能となる。
しかしながら、レーザを用いたガス分析装置において
は、配管に直接分析装置を設置する為、配管から分析装
置へのリークが生じた場合、レーザを用いたガスの分析
装置に修復不可能な影響を及ぼす可能性がある。
Even a trace amount of gas components and powder composition can be monitored online by installing a gas analyzer using a laser.
However, in the gas analyzer using the laser, since the analyzer is directly installed in the pipe, if a leak occurs from the pipe to the analyzer, the gas analyzer using the laser has an irreparable influence. there is a possibility.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題は、圧力が大気
圧以上である被計測ガス配管から計測用配管を分岐さ
せると共に該計測用配管にレーザを用いたガスの分析装
置を収納した密閉容器を接続し、更に、前記計測用配管
に遮断弁及びレーザ光学窓を備えたフランジを介装した
ガスの直接分析方法において、前記レーザ光学窓を備え
たフランジを二重にし、二つのレーザ光学窓を備えたフ
ランジによって仕切られた空間内の内圧の上昇、前記計
測用配管との差圧の低下より、前記計測用配管からの
ガスのリークを検知し、ガスのリークが検知された場
合、前記レーザを用いたガスの分析装置によるレーザを
速やかに停止し、前記計測用配管に設置された遮断弁を
閉とすることを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The above-mentioned problem is that a measurement pipe is branched from a pipe of a gas to be measured whose pressure is equal to or higher than the atmospheric pressure, and the measurement pipe is hermetically sealed and contains a gas analyzer using a laser. In a method for directly analyzing a gas, in which a container is connected, and further, a flange having a shutoff valve and a laser optical window is provided in the measuring pipe, the flange having the laser optical window is doubled, and two laser optical increase in the internal pressure in the space partitioned by a flange provided with a window, more reduction in pressure difference between the measurement pipe, to detect the leakage of gas from the measuring pipe, if the gas leak is detected The laser by the gas analyzer using the laser is quickly stopped, and the shutoff valve installed in the measuring pipe is closed.

【0005】更に、二つのレーザ光学窓を備えたフラン
ジによって仕切られた空間に遮断弁を介して大気開放す
るラインを接続し、ガスのリークが検知された場合、大
気開放ラインの遮断弁を開とすることをも特徴とする。
Further, a line opened to the atmosphere is connected to a space partitioned by a flange provided with two laser optical windows through a shutoff valve, and when a gas leak is detected, the shutoff valve of the atmospheric release line is opened. It is also characterized by

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明に係るレーザを用いたガス
分析装置の一例を図2に示す。同図に示すように、ガス
を輸送する配管1にパージ5付き光学窓6が設けられる
と共にこの光学窓6の外側にはレンズ4、ミラー8、プ
ラズマ用レーザ3及び成分励起用レーザ7が配置されて
いる。
FIG. 2 shows an example of a gas analyzer using a laser according to the present invention. As shown in the drawing, an optical window 6 with a purge 5 is provided in a pipe 1 for transporting gas, and a lens 4, a mirror 8, a plasma laser 3 and a component excitation laser 7 are arranged outside the optical window 6. Has been done.

【0007】プラズマ用レーザ3は、プラズマを生成さ
せる為のレーザであり、レンズ4及び光学窓5を通し
て、配管1内の被計測場2へ集光することにより、そこ
に存在する気体、液体、固体をプラズマ化する。
The plasma laser 3 is a laser for generating plasma, and is focused on the measured field 2 in the pipe 1 through the lens 4 and the optical window 5 so that the gas, liquid, The solid is turned into plasma.

【0008】成分励起用レーザ7は、物質中の被測定成
分の励起波長に対応する波長を発生するレーザであり、
ミラー8、レンズ4及び光学窓5を通じて、プラズマ用
レーザ3と同期して配管1内の被計測場2に入射するこ
とにより、レーザ誘起されたプラズマ中の被測定成分を
蛍光させる。プラズマ発光並びに成分励起用レーザ7に
より励起された被測定成分が発する蛍光は、光学窓5及
びミラー9を介してレンズ10で集光され、分光器11
に入射され、CCDカメラ12にてそれぞれ検出され
る。
The component excitation laser 7 is a laser which generates a wavelength corresponding to the excitation wavelength of the component to be measured in the substance,
The component to be measured in the laser-induced plasma is made to fluoresce by being incident on the measured field 2 in the pipe 1 in synchronization with the laser 3 for plasma through the mirror 8, the lens 4 and the optical window 5. The fluorescence emitted by the component to be measured excited by the plasma emission and the component excitation laser 7 is condensed by the lens 10 via the optical window 5 and the mirror 9, and the spectroscope 11
And is detected by the CCD camera 12.

【0009】それぞれの信号はコンピュータ13に転送
され、プラズマ発光の信号より、被計測場2の成分組成
並びに、プラズマ温度を求め、その情報から蛍光強度の
補正をおこない、被計測場2に存在する微量成分の濃度
を算出する。尚、プラズマ用レーザ3と成分励起用レー
ザ7の発振とCCDカメラ12とは、ライン14により
同期させられる。
The respective signals are transferred to the computer 13, the component composition of the measured field 2 and the plasma temperature are obtained from the plasma emission signal, and the fluorescence intensity is corrected from the information, and the signals are present in the measured field 2. Calculate the concentrations of trace constituents. The oscillations of the plasma laser 3 and the component excitation laser 7 and the CCD camera 12 are synchronized by the line 14.

【0010】〔実施例1〕 本発明に係るガスの直接分析方法の一実施例を図1に示
す。同図に示すように、ガス配管15から計測用配管1
6が分岐すると共にこの計測用配管16に遮断弁17を
介して密閉容器21が接続され、遮断弁17と密閉容器
21との間には、レーザ光学窓18を備えたフランジ1
9が二重に介設されている。
Embodiment 1 FIG. 1 shows an embodiment of the gas direct analysis method according to the present invention. As shown in the figure, from the gas pipe 15 to the measurement pipe 1
6 is branched and a closed container 21 is connected to the measurement pipe 16 via a shutoff valve 17, and a flange 1 having a laser optical window 18 is provided between the shutoff valve 17 and the closed container 21.
9 are doubly interposed.

【0011】密閉容器21内には、図2に示すプラズマ
用レーザ3、成分励起用レーザ7及び分光器11等より
なるレーザを用いたガス分析装置20が密閉して設置さ
れている。レーザ光学窓18は、可視材料(例えば、ガ
ラス等)よりなり、フランジ19の中心部はレーザ光が
通過するが、ガス等は通過せず密閉性を有するものであ
る。
A gas analyzer 20 using a laser including a plasma laser 3, a component excitation laser 7 and a spectroscope 11 shown in FIG. 2 is hermetically installed in a closed container 21. The laser optical window 18 is made of a visible material (for example, glass), and the central portion of the flange 19 allows laser light to pass therethrough, but does not allow gas or the like to pass therethrough and has a hermeticity.

【0012】二つのフランジ19の間は、レーザ光学窓
18により密閉された空間22であり、この空間22に
圧力計25が接続されると共に大気放出ライン24が接
続される。大気開放ライン24には、遮断弁23が備え
られている。空間22の圧力は圧力計25により計測さ
れている。
A space 22 sealed by the laser optical window 18 is provided between the two flanges 19. A pressure gauge 25 is connected to the space 22 and an atmosphere discharge line 24 is connected to the space 22. The air release line 24 is equipped with a shutoff valve 23. The pressure in the space 22 is measured by the pressure gauge 25.

【0013】従って、ガス分析時は、遮断弁17を開
け、ガス配管15からガスをレーザ光学窓18の前部に
通し、この部分にプラズマを発生させ分析する。ガス分
析中に計測用配管16から、空間22側にガスのリーク
が生じ、空間22の圧力が低下したことが圧力計25に
より計測され、配管15と差圧が一定以上に達した場
合、速やかにプラズマ化を停止させ、計測用配管16の
遮断弁17を閉とする。また、大気放出ライン24の遮
断弁23を開とし、空間22内のリークガスを系外に放
出する。
Therefore, at the time of gas analysis, the shutoff valve 17 is opened, the gas is passed from the gas pipe 15 to the front part of the laser optical window 18, and plasma is generated in this part for analysis. When the gas leaks from the measurement pipe 16 to the space 22 side during the gas analysis and the pressure in the space 22 is reduced by the pressure gauge 25, and when the differential pressure between the pipe 15 and the pressure reaches a certain level or more, promptly Then, the plasma generation is stopped and the shutoff valve 17 of the measurement pipe 16 is closed. Further, the shutoff valve 23 of the atmosphere release line 24 is opened to release the leak gas in the space 22 to the outside of the system.

【0014】上述したようにガス分析装置20は、光学
機器であるため、熱的影響に弱く、又、圧力に対しても
影響され、修復不可能な支障を起こす虞があるので、常
温、常圧でのガス分析が望ましい。そこで、本実施例で
は、ガス分析装置20の昇温又は圧力上昇を防ぐため、
ガス配管15から計測用配管16を分岐して、これにガ
ス分析装置20を接続している。また、ガス分析装置2
0とガスとの接触を回避するため、レーザ光学窓18を
二重に設けている。
As described above, since the gas analyzer 20 is an optical device, it is vulnerable to thermal influences, and is also affected by pressure, which may cause irreparable trouble. Gas analysis at pressure is desirable. Therefore, in the present embodiment, in order to prevent the temperature rise or pressure rise of the gas analyzer 20,
A measurement pipe 16 is branched from the gas pipe 15, and a gas analyzer 20 is connected to this. In addition, the gas analyzer 2
In order to avoid contact between 0 and gas, the laser optical window 18 is doubled.

【0015】但し、レーザ光学窓18は遮断弁17に比
べて密閉性能が弱いため、ガスのリークが発生し、ガス
分析装置20に修復不可能な影響が発生する虞がある。
そこで、二重のレーザ光学窓18に挟まれた空間22に
ガスがリークしたことを検知すると、そのリークガスを
速やかに系外に排出して、そのリークガスがガス分析装
置20に接触しないようにしている。これにより、ガス
のリークによるガス分析装置20の損傷を確実に防ぐこ
とが可能となる。
However, since the laser optical window 18 has a weaker sealing performance than the shutoff valve 17, gas leakage may occur and the gas analyzer 20 may be irreparably affected.
Therefore, when it is detected that the gas leaks into the space 22 sandwiched between the double laser optical windows 18, the leak gas is promptly discharged out of the system so that the leak gas does not come into contact with the gas analyzer 20. There is. This makes it possible to reliably prevent damage to the gas analyzer 20 due to gas leakage.

【0016】〔実施例2〕 本発明に係るガスの直接分析方法の一実施例を図3に示
す。同図に示すように、ガス配管15から計測用配管1
6が分岐すると共にこの計測用配管16に遮断弁17を
介して密閉容器21が接続され、遮断弁17と密閉容器
21との間には、レーザ光学窓18を備えたフランジ1
9が二重に介設されている。
Example 2 An example of the gas direct analysis method according to the present invention is shown in FIG. As shown in the figure, from the gas pipe 15 to the measurement pipe 1
6 is branched and a closed container 21 is connected to the measurement pipe 16 via a shutoff valve 17, and a flange 1 having a laser optical window 18 is provided between the shutoff valve 17 and the closed container 21.
9 are doubly interposed.

【0017】密閉容器21内には、図2に示すプラズマ
用レーザ3、成分励起用レーザ7及び分光器11等より
なるレーザを用いたガス分析装置20が密閉して設置さ
れている。レーザ光学窓18は、可視材料(例えば、ガ
ラス等)よりなり、フランジ19の中心部はレーザ光が
通過するが、ガス等は通過せず密閉性を有するものであ
る。
A gas analyzer 20 using a laser including a plasma laser 3, a component excitation laser 7 and a spectroscope 11 shown in FIG. 2 is hermetically installed in the closed container 21. The laser optical window 18 is made of a visible material (for example, glass), and the central portion of the flange 19 allows laser light to pass therethrough, but does not allow gas or the like to pass therethrough and has a hermeticity.

【0018】二つのフランジ19の間は、レーザ光学窓
18により密閉された空間22であり、この空間22に
差圧計26が接続されると共に大気放出ライン24が接
続される。大気開放ライン24には、遮断弁23が備え
られている。空間22と配管15の差圧は差圧計26に
より計測されている。
A space 22 sealed by the laser optical window 18 is provided between the two flanges 19, and a differential pressure gauge 26 and an atmosphere discharge line 24 are connected to the space 22. The air release line 24 is equipped with a shutoff valve 23. The differential pressure between the space 22 and the pipe 15 is measured by a differential pressure gauge 26.

【0019】従って、ガス分析時は、遮断弁17を開
け、ガス配管15からガスをレーザ光学窓18の前部に
通し、この部分にプラズマを発生させ分析する。ガス分
析中に計測用配管16から、空間22側にガスのリーク
が生じ、空間22の圧力が低下し、配管15と差圧が一
定以上に達したことが差圧計26により計測された場
合、速やかにプラズマ化を停止させ、計測用配管16の
遮断弁17を閉とする。また、大気放出ライン24の遮
断弁23を開とし、空間22内のリークガスを系外に放
出する。
Therefore, at the time of gas analysis, the shutoff valve 17 is opened, gas is passed from the gas pipe 15 to the front part of the laser optical window 18, and plasma is generated in this part for analysis. When the gas leaks from the measurement pipe 16 to the space 22 during the gas analysis, the pressure in the space 22 is reduced, and the differential pressure with the pipe 15 reaches a certain level or more by the differential pressure gauge 26, The plasma conversion is stopped immediately and the shutoff valve 17 of the measurement pipe 16 is closed. Further, the shutoff valve 23 of the atmosphere release line 24 is opened to release the leak gas in the space 22 to the outside of the system.

【0020】上述したようにガス分析装置20は、光学
機器であるため、熱的影響に弱く、又、圧力に対しても
影響され、修復不可能な支障を起こす虞があるので、常
温、常圧でのガス分析が望ましい。そこで、本実施例で
は、ガス分析装置20の昇温又は圧力上昇を防ぐため、
ガス配管15から計測用配管16を分岐して、これにガ
ス分析装置20を接続している。また、ガス分析装置2
0とガスとの接触を回避するため、レーザ光学窓18を
二重に設けている。
As described above, since the gas analyzer 20 is an optical device, it is vulnerable to thermal influences, and is also affected by pressure, which may cause irreparable troubles. Gas analysis at pressure is desirable. Therefore, in the present embodiment, in order to prevent the temperature rise or pressure rise of the gas analyzer 20,
A measurement pipe 16 is branched from the gas pipe 15, and a gas analyzer 20 is connected to this. In addition, the gas analyzer 2
In order to avoid contact between 0 and gas, the laser optical window 18 is doubled.

【0021】但し、レーザ光学窓18は遮断弁17に比
べて密閉性能が弱いため、ガスのリークが発生し、ガス
分析装置20に修復不可能な影響が発生する虞がある。
そこで、二重のレーザ光学窓18に挟まれた空間22に
ガスがリークしたことを検知すると、そのリークガスを
速やかに系外に排出して、そのリークガスがガス分析装
置20に接触しないようにしている。これにより、ガス
のリークによるガス分析装置20の損傷を確実に防ぐこ
とが可能となる。
However, since the laser optical window 18 has a weaker sealing performance than the shutoff valve 17, gas leakage may occur and the gas analyzer 20 may be irreparably affected.
Therefore, when it is detected that gas has leaked into the space 22 sandwiched between the double laser optical windows 18, the leak gas is promptly discharged to the outside of the system so that the leak gas does not come into contact with the gas analyzer 20. There is. This makes it possible to reliably prevent damage to the gas analyzer 20 due to gas leakage.

【0022】〔実施例3〕 本発明に係るガスの直接分析方法の一実施例を図4に示
す。同図に示すように、ガス配管15から計測用配管1
6が分岐すると共にこの計測用配管16に遮断弁17を
介して密閉容器21が接続され、遮断弁17と密閉容器
21との間には、レーザ光学窓18を備えたフランジ1
9が二重に介設されている。
[Embodiment 3] FIG. 4 shows an embodiment of the gas direct analysis method according to the present invention. As shown in the figure, from the gas pipe 15 to the measurement pipe 1
6 is branched and a closed container 21 is connected to the measurement pipe 16 via a shutoff valve 17, and a flange 1 having a laser optical window 18 is provided between the shutoff valve 17 and the closed container 21.
9 are doubly interposed.

【0023】密閉容器21内には、図2に示すプラズマ
用レーザ3、成分励起用レーザ7及び分光器11等より
なるレーザを用いたガス分析装置20が密閉して設置さ
れている。レーザ光学窓18は、可視材料(例えば、ガ
ラス等)よりなり、フランジ19の中心部はレーザ光が
通過するが、ガス等は通過せず密閉性を有するものであ
る。
A gas analyzer 20 using a laser including a plasma laser 3, a component excitation laser 7 and a spectroscope 11 shown in FIG. 2 is hermetically installed in the closed container 21. The laser optical window 18 is made of a visible material (for example, glass), and the central portion of the flange 19 allows laser light to pass therethrough, but does not allow gas or the like to pass therethrough and has a hermeticity.

【0024】二つのフランジ19の間は、レーザ光学窓
18により密閉された空間22であり、この空間22に
温度計27が接続されると共に大気放出ライン24が接
続される。大気開放ライン24には、遮断弁23が備え
られている。空間22の温度は温度計27により計測さ
れている。
A space 22 sealed by the laser optical window 18 is provided between the two flanges 19, and a thermometer 27 is connected to the space 22 and an atmosphere emission line 24 is connected thereto. The air release line 24 is equipped with a shutoff valve 23. The temperature of the space 22 is measured by a thermometer 27.

【0025】従って、ガス分析時は、遮断弁17を開
け、ガス配管15からガスをレーザ光学窓18の前部に
通し、この部分にプラズマを発生させ分析する。ガス分
析中に計測用配管16から、空間22側にガスのリーク
が生じ、空間22の温度が低下し、所定の温度に達した
ことが温度計27により計測された場合、速やかにプラ
ズマ化を停止させ、計測用配管16の遮断弁17を閉と
する。また、大気放出ライン24の遮断弁23を開と
し、空間22内のリークガスを系外に放出する。
Therefore, at the time of gas analysis, the shutoff valve 17 is opened, gas is passed from the gas pipe 15 to the front part of the laser optical window 18, and plasma is generated in this part for analysis. When gas leaks from the measurement pipe 16 to the space 22 side during the gas analysis, the temperature of the space 22 decreases, and the temperature reaches a predetermined temperature by the thermometer 27, it is promptly turned into plasma. The measurement is stopped, and the shutoff valve 17 of the measurement pipe 16 is closed. Further, the shutoff valve 23 of the atmosphere release line 24 is opened to release the leak gas in the space 22 to the outside of the system.

【0026】上述したようにガス分析装置20は、光学
機器であるため、熱的影響に弱く、又、圧力に対しても
影響され、修復不可能な支障を起こす虞があるので、常
温、常圧でのガス分析が望ましい。そこで、本実施例で
は、ガス分析装置20の昇温又は圧力上昇を防ぐため、
ガス配管15から計測用配管16を分岐して、これにガ
ス分析装置20を接続している。また、ガス分析装置2
0とガスとの接触を回避するため、レーザ光学窓18を
二重に設けている。
As described above, since the gas analyzer 20 is an optical device, it is vulnerable to thermal influences, and is also affected by pressure, which may cause irreparable troubles, so that it is normal at room temperature. Gas analysis at pressure is desirable. Therefore, in the present embodiment, in order to prevent the temperature rise or pressure rise of the gas analyzer 20,
A measurement pipe 16 is branched from the gas pipe 15, and a gas analyzer 20 is connected to this. In addition, the gas analyzer 2
In order to avoid contact between 0 and gas, the laser optical window 18 is doubled.

【0027】但し、レーザ光学窓18は遮断弁17に比
べて密閉性能が弱いため、ガスのリークが発生し、ガス
分析装置20に修復不可能な影響が発生する虞がある。
そこで、二重のレーザ光学窓18に挟まれた空間22に
ガスがリークしたことを検知すると、そのリークガスを
速やかに系外に排出して、そのリークガスがガス分析装
置20に接触しないようにしている。これにより、ガス
のリークによるガス分析装置20の損傷を確実に防ぐこ
とが可能となる。
However, since the laser optical window 18 has a weaker sealing performance than the shutoff valve 17, gas leakage may occur and the gas analyzer 20 may be irreparably affected.
Therefore, when it is detected that the gas leaks into the space 22 sandwiched between the double laser optical windows 18, the leak gas is promptly discharged out of the system so that the leak gas does not come into contact with the gas analyzer 20. There is. This makes it possible to reliably prevent damage to the gas analyzer 20 due to gas leakage.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明では、レーザ光学窓を二重に設け、こ
れにて仕切られた空間に、圧力計又は圧力差圧計設け
て、圧力変化検出してガスリークと判断するため、ガ
スリークが一定以上となったときに、計測(プラズマ発
生)を中止し、前部の遮断弁を閉じ、更には、リークし
たガスを大気開放ラインへ逃がすため、レーザを用いた
ガスの分析装置の安全性が確保され、該計測装置の信頼
性の向上に寄与する。
As described above in detail with reference to the embodiments, in the present invention, two laser optical windows are provided, and a pressure gauge or a pressure differential pressure gauge is provided in the space partitioned by the laser optical windows. Te, for determining that gas leakage by detecting a pressure change, when the gas leakage becomes constant or stops the measurement (plasma generation), closes the front of the shut-off valve, and further, the air opens the leak gas Since the gas is released to the line, the safety of the gas analyzer using the laser is ensured, which contributes to the improvement of the reliability of the measuring device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例1のガスの直接分析装置の安全
装置を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a safety device of a direct gas analyzer according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明に係るレーザを用いたガス分析装置の一
例を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a gas analyzer using a laser according to the present invention.

【図3】本発明の実施例2のガスの直接分析装置の安全
装置を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a safety device of a direct gas analyzer according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例3のガスの直接分析装置の安全
装置を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a safety device of a gas direct analyzer according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 配管 2 被計測場 3 プラズマ用レーザ 4,10 レンズ 5 パージ 6 光学窓 7 成分励起用レーザ 8,9 ミラー 11 分光器 12 CCDカメラ 13 コンピュータ 14 ライン 15 ガス配管 16 計測用分岐管 17,23 遮断弁 18 レーザ光学窓 19 フランジ 20 レーザを用いたガス分析装置 21 密封容器 22 空間 24 大気開放ライン 25 圧力計 26 差圧計 27 温度計 1 piping 2 measurement site 3 Laser for plasma 4,10 lens 5 Purge 6 Optical window Laser for 7-component excitation 8,9 mirror 11 Spectrometer 12 CCD camera 13 Computer 14 lines 15 gas piping 16 Measuring branch pipe 17,23 Shut-off valve 18 Laser optical window 19 flange 20 Gas analyzer using laser 21 sealed container 22 space 24 atmosphere open line 25 pressure gauge 26 Differential pressure gauge 27 Thermometer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭58−170537(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/00 - 21/61 G01N 21/62 - 21/74 PATOLIS─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Bibliographic references Sho 58-170537 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 21/00-21/61 G01N 21 / 62-21/74 PATOLIS

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧力が大気圧以上である被計測ガスの配
管から計測用配管を分岐させると共に該計測用配管にレ
ーザを用いたガスの分析装置を収納した密閉容器を接続
し、更に、前記計測用配管に遮断弁及びレーザ光学窓を
備えたフランジを介装したガスの直接分析方法におい
て、前記レーザ光学窓を備えたフランジを二重にし、二
つのレーザ光学窓を備えたフランジによって仕切られた
空間内の内圧の上昇により、前記計測用配管からのガス
のリークを検知し、ガスのリークが検知された場合、前
記レーザを用いたガスの分析装置によるレーザを速やか
に停止し、前記計測用配管に設置された遮断弁を閉とす
ることを特徴とするガスの直接分析方法
1. A measuring pipe is branched from a pipe of a gas to be measured whose pressure is atmospheric pressure or more, and a closed container containing a gas analyzer using a laser is connected to the measuring pipe, and further, In a method for directly analyzing a gas in which a measurement pipe is provided with a flange provided with a shutoff valve and a laser optical window, the flange provided with the laser optical window is doubled, and two laser optical windows are provided. Due to the increase of the internal pressure in the space partitioned by the flange, the gas leak from the measuring pipe is detected, and if the gas leak is detected, the laser is quickly detected by the gas analyzer using the laser. A method for direct analysis of gas, which comprises stopping and closing a shutoff valve installed in the measuring pipe.
【請求項2】 圧力が大気圧以上である被計測ガスの配
管から計測用配管を分岐させると共に該計測用配管にレ
ーザを用いたガスの分析装置を収納した密閉容器を接続
し、更に、前記計測用配管に遮断弁及びレーザ光学窓を
備えたフランジを介装したガスの直接分析方法におい
て、前記レーザ光学窓を備えたフランジを二重にし、二
つのレーザ光学窓を備えたフランジによって仕切られた
空間と前記計測用配管との差圧の低下により、前記計測
用配管からのガスのリークを検知し、ガスのリークが検
知された場合、前記レーザを用いたガスの分析装置によ
るレーザを速やかに停止し、前記計測用配管に設置され
た遮断弁を閉とすることを特徴とするガスの直接分析
2. A measuring pipe is branched from a pipe of a gas to be measured having a pressure equal to or higher than atmospheric pressure, and a closed container accommodating a gas analyzer using a laser is connected to the measuring pipe. In a method for directly analyzing a gas in which a measurement pipe is provided with a flange provided with a shutoff valve and a laser optical window, the flange provided with the laser optical window is doubled, and two laser optical windows are provided. Due to the decrease in the differential pressure between the space partitioned by the flange and the measurement pipe, a gas leak from the measurement pipe is detected, and when a gas leak is detected, the gas is analyzed using the laser. A method for direct analysis of gas, characterized in that the laser by the device is quickly stopped and the shutoff valve installed in the measurement pipe is closed.
Law .
【請求項3】 圧力が大気圧以上である被計測ガスの配
管から計測用配管を分岐させると共に該計測用配管にレ
ーザを用いたガスの分析装置を収納した密閉容器を接続
し、更に、前記計測用配管に遮断弁及びレーザ光学窓を
備えたフランジを介装したガスの直接分析方法におい
て、前記レーザ光学窓を備えたフランジを二重にし、二
つのレーザ光学窓を備えたフランジによって仕切られた
空間に遮断弁を会して大気開放するラインを接続し、該
空間内の内圧の上昇により、前記計測用配管からのガス
のリークを検知し、ガスのリークが検知された場合、前
記レーザを用いたガスの分析装置によるレーザを速やか
に停止し、前記計測用配管に設置された遮断弁を閉と
し、前記大気開放ラインの遮断弁を開とすることを特徴
するガスの直接分析方法
3. A measuring pipe is branched from a pipe of a gas to be measured whose pressure is atmospheric pressure or more, and a closed container containing a gas analyzer using a laser is connected to the measuring pipe. In a method for directly analyzing a gas in which a measurement pipe is provided with a flange provided with a shutoff valve and a laser optical window, the flange provided with the laser optical window is doubled, and two laser optical windows are provided. A line that opens the atmosphere by connecting a shutoff valve to the space partitioned by the flange is detected, and a gas leak from the measurement pipe is detected due to an increase in the internal pressure in the space, and a gas leak is detected. In the case of the gas, the laser by the gas analyzer using the laser is quickly stopped, the shutoff valve installed in the measurement pipe is closed, and the shutoff valve of the atmosphere release line is opened. direct analysis of Law.
【請求項4】 圧力が大気圧以上である被計測ガスの配
管から計測用配管を分岐させると共に該計測用配管にレ
ーザを用いたガスの分析装置を収納した密閉容器を接続
し、更に、前記計測用配管に遮断弁及びレーザ光学窓を
備えたフランジを介装したガスの直接分析方法におい
て、前記レーザ光学窓を備えたフランジを二重にし、二
つのレーザ光学窓を備えたフランジによって仕切られた
空間に遮断弁を会して大気開放するラインを接続し、該
空間と前記計測用配管との差圧の低下により、前記計測
用配管からのガスのリークを検知し、ガスのリークが検
知された場合、前記レーザを用いたガスの分析装置によ
るレーザを速やかに停止し、前記計測用配管に設置され
た遮断弁を閉とし、前記大気開放ラインの遮断弁を開と
することを特徴するガスの直接分析方法
4. A measurement pipe is branched from a pipe of a gas to be measured whose pressure is atmospheric pressure or more, and a closed container containing a gas analyzer using a laser is connected to the measurement pipe, and further, In a method for directly analyzing a gas in which a measurement pipe is provided with a flange provided with a shutoff valve and a laser optical window, the flange provided with the laser optical window is doubled, and two laser optical windows are provided. Connecting a line that opens the atmosphere by meeting a shutoff valve in a space partitioned by a flange, and detects a gas leak from the measurement pipe due to a decrease in differential pressure between the space and the measurement pipe, When a gas leak is detected, the laser by the gas analyzer using the laser is immediately stopped, the shutoff valve installed in the measurement pipe is closed, and the shutoff valve of the atmosphere release line is opened. Characterized by Direct analysis method of gas.
JP01487597A 1997-01-29 1997-01-29 Direct gas analysis method Expired - Lifetime JP3448177B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP01487597A JP3448177B2 (en) 1997-01-29 1997-01-29 Direct gas analysis method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP01487597A JP3448177B2 (en) 1997-01-29 1997-01-29 Direct gas analysis method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10213544A JPH10213544A (en) 1998-08-11
JP3448177B2 true JP3448177B2 (en) 2003-09-16

Family

ID=11873198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP01487597A Expired - Lifetime JP3448177B2 (en) 1997-01-29 1997-01-29 Direct gas analysis method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3448177B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012217120A1 (en) * 2012-09-24 2014-03-27 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh EUV radiation generating device and method of operation therefor
CN106770074A (en) * 2017-03-03 2017-05-31 东北师范大学 Flue dust polycyclic aromatic hydrocarbon on-Line Monitor Device based on laser plasma
CN109029855A (en) * 2018-07-06 2018-12-18 芜湖奕辰模具科技有限公司 A kind of laser cutting uses air tightness detection equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10213544A (en) 1998-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4772789A (en) Leak imaging using differential absorption
JP4615129B2 (en) Infrared gas analyzer and method of operating the analyzer
JP4515261B2 (en) System and process for detecting leakage of seal products
US6640615B1 (en) System for determining the integrity of a package or packaging material based on its transmission of a test gas
US3672207A (en) Apparatus for verifying hermeticity of small electronic assemblies
EP0473173A2 (en) Apparatus and method for detecting leaks in packages
US6108096A (en) Light absorption measurement apparatus and methods
KR101852802B1 (en) Fastening structure for brittle-fracturable panel, and method for fastening light transmission window panel comprising brittle-fracturable panel employing same
JPH07286927A (en) Method and equipment for leakage test
CN102177423A (en) Wavelength-modulation spectroscopy method
CN104756607A (en) EUV radiation generating device and operating method therefor
KR20010021565A (en) Method for calibration of a spectroscopic sensor
JP3448177B2 (en) Direct gas analysis method
US9007577B2 (en) Analytical instrumentation in hazardous environments via static pressurization
TW480332B (en) Contaminant identification and concentration determination by monitoring the wavelength, or intensity at a specific wavelength, of the output of an intracavity laser
JP4061779B2 (en) Leakage measuring device and leak inspection device
US20030133536A1 (en) X-ray fluorescence spectrometer
US6494080B2 (en) Gas analyzer and a method for operating the same
US11828705B2 (en) Apparatus and method for spectroscopically detecting a sample
FR2653559A1 (en) DEVICE FOR DETERMINING, BY MOLECULAR FLUORESCENCE, THE CONCENTRATION OF A COMPONENT TO BE MONITORED IN A GAS MIXTURE IN CIRCULATION.
JPS60259933A (en) Gas leakage detector
JP3988069B2 (en) Spectroscopic measurement cell
RU2766300C1 (en) Laser system for detecting emergency operation of a nuclear reactor
JP2008014687A (en) Crack penetration detection method using leak light
EP4141414A1 (en) Device and method for measuring multiple analyte concentrations in a measuring medium

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030603

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080704

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090704

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100704

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120704

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130704

Year of fee payment: 10

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term