JP3445155B2 - Flow control device - Google Patents
Flow control deviceInfo
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- JP3445155B2 JP3445155B2 JP18540998A JP18540998A JP3445155B2 JP 3445155 B2 JP3445155 B2 JP 3445155B2 JP 18540998 A JP18540998 A JP 18540998A JP 18540998 A JP18540998 A JP 18540998A JP 3445155 B2 JP3445155 B2 JP 3445155B2
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、流量制御装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow control device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、半導体製造装置においては、各
種のガスが用いられるが、これらのガスの流量を制御す
るため、各ガスの供給流路には流量制御装置が介装され
ている。また、実用新案登録第３００８５４２号には、
かかる流量制御装置に流体の流量を表示する動作表示部
を設けたものが開示されている。2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor manufacturing apparatus, various gases are used, and in order to control the flow rates of these gases, a flow rate control device is provided in the supply passage of each gas. In addition, in the utility model registration No. 3008542,
It is disclosed that such a flow control device is provided with an operation display section for displaying the flow rate of fluid.
【０００３】図４は、かかる従来の流量制御装置を示す
図であり、図４において、２は流体流路、３はマスフロ
ーコントローラ本体１０Ａから離れた位置に設けられた
装置表示部、４は電源部１０Ｂと装置表示部３を接続す
るケーブル、１０は流体流路２に介装されたマスフロー
コントローラ、１０Ａは流体測定を行うマスフローコン
トローラ本体、１１は流体流量に応じた表示を行うため
の動作表示部である。FIG. 4 is a diagram showing such a conventional flow rate control device. In FIG. 4, 2 is a fluid flow path, 3 is a device display section provided at a position away from the mass flow controller main body 10A, and 4 is a power source. A cable connecting the unit 10B and the device display unit 3, 10 is a mass flow controller interposed in the fluid flow path 2, 10A is a main body of the mass flow controller that performs fluid measurement, and 11 is an operation display for displaying according to the fluid flow rate. It is a department.
【０００４】次に動作について説明する。流体流路２の
入口から流入したガスは、図示しない流体センサ部によ
って整流され、その流量が検出され、図示しない流量制
御部において、設定信号Ｃに応じた制御が行われる。そ
して、ガスの流量はマスフローコントローラ１０の動作
表示部１１に表示されてその流量が視認される。Next, the operation will be described. The gas flowing in from the inlet of the fluid flow path 2 is rectified by a fluid sensor unit (not shown), its flow rate is detected, and the flow rate control unit (not shown) performs control according to the setting signal C. Then, the flow rate of the gas is displayed on the operation display unit 11 of the mass flow controller 10 and the flow rate is visually recognized.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような流量制御装
置を、例えば半導体製造装置等へ供給する流体の制御に
用いた場合、工程の調整作業等のために流体流量を一時
的にゼロにしたいことがある。上記の流量制御装置にお
いては、流量の設定信号をいちいちゼロに設定し直すこ
とが必要であり、しかも、元の流量に戻すには再度設定
し直さなければならず、操作が煩雑であった。When such a flow rate control device is used for controlling a fluid supplied to, for example, a semiconductor manufacturing apparatus, it is desired to temporarily reduce the fluid flow rate to zero for adjustment work of a process. Sometimes. In the above-mentioned flow rate control device, it is necessary to reset the flow rate setting signal to zero each time, and moreover, it has to be reset again to restore the original flow rate, and the operation is complicated.
【０００６】また、ガスの流量を表示する表示器で動作
モードも表示するようにした場合、全閉モードが選択さ
れたときに、流量表示からすぐに全閉モードであること
を示す「ＯＦＦ」表示に切り替えてしまうと、万一、調
節弁にリークがあったり、センサのゼロ点オフセットが
あったりしてもユーザはこれに気づかないままこの装置
を使用するおそれがある。従来の流量制御装置では、こ
のような解決しなければならない課題があった。この発
明は上記のような課題を解決するためになされたもの
で、操作性のよい流量制御装置を得ることを目的とす
る。また、この発明は、現在の動作モードから他の動作
モードに切り替えたときに新たな動作モードを確認可能
として、使い勝手の向上を図ることが可能な流量制御装
置を得ることを目的とする。When the operation mode is also displayed on the display for displaying the flow rate of gas, when the fully closed mode is selected, "OFF" indicating that the fully closed mode is immediately displayed from the flow rate display. If the display is switched, even if there is a leak in the control valve or a zero offset of the sensor, the user may use the device without noticing this. The conventional flow rate control device has a problem to be solved. The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to obtain a flow rate control device having good operability. Another object of the present invention is to obtain a flow rate control device capable of confirming a new operation mode when switching from the current operation mode to another operation mode and improving usability.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明に係る流量制御
装置は、動作モードとして、少なくとも、流量検出手段
によって検出された被測定流体の流量が所定流量となる
ように調節弁の開度を制御する制御モードと被測定流体
の流量がゼロとなるように調節弁の開度を制御する全閉
モードとを備えており、この動作モードの中からいずれ
かを選択する動作モード選択手段と、該動作モード選択
手段により選択された動作モードにしたがって駆動手段
を制御する制御手段と、前記被測定流体の流量および選
択された動作モードを表示可能な表示手段とを備え、こ
の表示手段が、被測定流体の流量または選択された動作
モードを表示するものであって、動作モード選択手段に
より全閉モードが選択されたとき、全閉モードが選択さ
れたときから所定時間が経過するまでは前記流量を表示
し、所定時間経過してから全閉モードを表示するもので
ある。 The flow rate control device according to the present invention controls, as an operation mode, at least the opening of the control valve so that the flow rate of the fluid to be measured detected by the flow rate detection means becomes a predetermined flow rate. And a fully closed mode for controlling the opening of the control valve so that the flow rate of the fluid to be measured becomes zero, and an operation mode selection means for selecting any one of the operation modes, and control means for controlling the driving means according to the operation mode selected by the operation mode selecting means, and a display means capable of displaying the flow rate and the selected operating mode of the fluid to be measured, this
The display means of the flow rate of the fluid to be measured or the selected operation.
The mode is displayed and the operation mode selection means
When the fully closed mode is selected, the fully closed mode is selected.
The above flow rate is displayed from when
However, after the specified time has elapsed, the fully closed mode is displayed.
is there.
【０００８】[0008]
【０００９】この発明に係る流量制御装置は、動作モー
ドとして、少なくとも、前記流量検出手段によって検出
された被測定流体の流量が所定流量となるように調節弁
の開度を制御する制御モードと被測定流体の流量がゼロ
となるように調節弁の開度を制御する全閉モードとを備
えており、この動作モードの中からいずれかを選択する
動作モード選択手段と、この動作モード選択手段により
選択された動作モードにしたがって前記駆動手段を制御
する制御手段と、前記被測定流体の流量および選択され
た動作モードを表示可能な表示手段とを備え、この表示
手段が、被測定流体の流量または選択された動作モード
を表示するものであって、動作モード選択手段により全
閉モードが選択されたとき、全閉モードが選択されたと
きから前記流量がゼロになるまでは流量を表示し、前記
流量がゼロになったときに全閉モードを表示するもので
ある。The flow rate control device according to the present invention has an operating mode.
At least, as detected by the flow rate detecting means
Control valve so that the measured flow rate of the measured fluid becomes a specified flow rate.
Control mode to control the opening of the and the flow rate of the measured fluid is zero
It has a fully closed mode that controls the opening of the control valve so that
Select one of these operation modes.
With the operation mode selection means and this operation mode selection means
Control the drive means according to the selected operation mode
Control means for controlling the flow rate of the fluid to be measured and selected
And a display means capable of displaying the operation mode, the display means displaying the flow rate of the fluid to be measured or the selected operation mode, and when the operation mode selecting means selects the fully closed mode. The flow rate is displayed from when the fully closed mode is selected until the flow rate becomes zero, and when the flow rate becomes zero, the fully closed mode is displayed.
【００１０】この発明に係る流量制御装置は、動作モー
ドとして、少なくとも、前記流量検出手段によって検出
された被測定流体の流量が所定流量となるように調節弁
の開度を制御する制御モードと被測定流体の流量がゼロ
となるように調節弁の開度を制御する全閉モードとを備
えており、この動作モードの中からいずれかを選択する
動作モード選択手段と、この動作モード選択手段により
選択された動作モードにしたがって前記駆動手段を制御
する制御手段と、前記被測定流体の流量および選択され
た動作モードを表示可能な表示手段とを備え、この表示
手段が、動作モード選択手段により現在の動作モードか
ら他の動作モードが選択されたとき、他の動作モードが
選択されたときから所定時間経過するまでは選択された
動作モードを表示し、所定時間経過してからは被測定流
体の流量を表示するように構成されたものである。The flow control device according to the present invention has an operating mode.
At least, as detected by the flow rate detecting means
Control valve so that the measured flow rate of the measured fluid becomes a specified flow rate.
Control mode to control the opening of the and the flow rate of the measured fluid is zero
It has a fully closed mode that controls the opening of the control valve so that
Select one of these operation modes.
With the operation mode selection means and this operation mode selection means
Control the drive means according to the selected operation mode
Control means for controlling the flow rate of the fluid to be measured and selected
And a display means capable of displaying the operation mode, the display means selecting another operation mode from the current operation mode by the operation mode selection means, and a predetermined time from when the other operation mode is selected. The selected operation mode is displayed until the time elapses, and the flow rate of the fluid to be measured is displayed after a predetermined time has elapsed.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。
実施の形態１.図１は本発明に係る流量制御装置の実施
の形態１の構成を示す図であり、図１において、２１は
流量制御装置である。この流量制御装置２１はソレノイ
ド弁（調節弁）を備え、動作モードに応じてこのソレノ
イド弁の開度を調節するようにし、かつ、この動作モー
ドと被測定流体の流量とを表示できるようにしたもので
ある。尚、動作モードについては後述する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below. Embodiment 1 FIG. 1 is a diagram showing a configuration of Embodiment 1 of a flow rate control device according to the present invention. In FIG. 1, 21 is a flow rate control device. The flow rate control device 21 is provided with a solenoid valve (control valve) so that the opening degree of the solenoid valve can be adjusted according to the operation mode, and the operation mode and the flow rate of the fluid to be measured can be displayed. It is a thing. The operation mode will be described later.
【００１２】２２は流量制御装置２１の流路ブロック、
２３は入口配管接続用ブロック、２５は被測定流体が流
れる円形断面の流路である。また、３１は被測定流体の
流れを整えるステンレス製の整流用金網、３２はステン
レス製の整流用金網３１を挟持するリング状のスペー
サ、３３はスペーサ３２を係止するための段部、３４は
被測定流体の流量を検出するマイクロフローセンサ（流
量検出手段）である。なお、この実施の形態１の被測定
流体としては、例えば、空気、窒素、アルゴン、炭酸、
酸素などの気体を対象としているが、本発明の対象はこ
れに限られず、液体用の流量計であってもよい。Reference numeral 22 is a flow path block of the flow control device 21,
Reference numeral 23 is an inlet pipe connecting block, and 25 is a flow path having a circular cross section through which the fluid to be measured flows. Further, 31 is a stainless steel rectifying wire net that regulates the flow of the fluid to be measured, 32 is a ring-shaped spacer that holds the stainless steel rectifying wire net 31, 33 is a step portion for locking the spacer 32, and 34 is It is a micro flow sensor (flow rate detection means) that detects the flow rate of the fluid to be measured. The fluid to be measured in the first embodiment is, for example, air, nitrogen, argon, carbonic acid,
Although a gas such as oxygen is targeted, the object of the present invention is not limited to this, and may be a flow meter for liquid.
【００１３】マイクロフローセンサ３４には、例えば、
本願出願人が特願平３−１０６５２８号に係る明細書等
において開示した半導体ダイアフラム構成のものを使用
することができる。すなわち、このマイクロフローセン
サ３４は、図示例を省略するが、発熱部とこの発熱部の
上流側および下流側に配設された２つの温度検出部を有
し、これら２つの温度検出部によって検出される温度の
差を一定に保つために必要な発熱部に対する供給電力か
ら流速に対応する流量を求めたり、あるいは一定電流ま
たは一定電力で発熱部を加熱し、２つの温度検出部によ
って検出される温度の差から流量を求めるたりすること
ができるように形成されている。そして、このマイクロ
フローセンサ３４は、熱絶縁された極めて薄いダイアフ
ラム構造を採用しているため、高速応答、低消費電力と
いう特長を備えている。３５〜３７は例えば合成ゴムか
らなるＯリングである。The microflow sensor 34 includes, for example,
It is possible to use the semiconductor diaphragm configuration disclosed in the specification and the like relating to Japanese Patent Application No. 3-106528 by the applicant of the present application. That is, although not shown in the drawing, the microflow sensor 34 has a heat generating portion and two temperature detecting portions arranged on the upstream side and the downstream side of the heat generating portion, and these two temperature detecting portions detect the temperature. The flow rate corresponding to the flow velocity is obtained from the electric power supplied to the heat generating portion required to keep the temperature difference constant, or the heat generating portion is heated with a constant current or constant power and detected by two temperature detecting portions. It is formed so that the flow rate can be obtained from the temperature difference. Since the microflow sensor 34 employs an extremely thin diaphragm structure that is thermally insulated, it has characteristics of high-speed response and low power consumption. 35-37 are O-rings made of, for example, synthetic rubber.
【００１４】４１は被測定流体の流れを制御するソレノ
イド弁（調節弁）、４２は被測定流体が流れる流路４３
と流路４４とが形成された弁座、４５は流路４３と流路
４４とを連通する弁室、４６は弁室４５に収納されて流
路４４を開閉する弁体、４７は弁体４６に連結された磁
性体のプランジャ、４８は通電されてプランジャ４７を
上下させるソレノイドコイル、４９は流路ブロック２２
と弁座４２との間をシールするシールリングである。Reference numeral 41 is a solenoid valve (control valve) for controlling the flow of the fluid to be measured, and 42 is a flow path 43 through which the fluid to be measured flows.
And a valve seat in which the flow path 44 is formed, 45 is a valve chamber that connects the flow path 43 and the flow path 44, 46 is a valve body that is housed in the valve chamber 45 to open and close the flow path 44, and 47 is a valve body. A magnetic plunger connected to 46, a solenoid coil 48 for energizing and moving the plunger 47 up and down, and 49 a flow path block 22.
It is a seal ring that seals between the valve seat 42 and the valve seat 42.
【００１５】前述の動作モードには全開モード、制御モ
ード及び全閉モードがあり、全開モードは、このソレノ
イド弁４１を全開するモードであり、制御モードはマイ
クロフローセンサ３４によって検出された被測定流体の
流量が所定流量となるようにソレノイド弁４１の開度を
制御するモードであり、全閉モードは被測定流体の流量
がゼロとなるようにソレノイド弁４１を閉止するモード
である。後述する操作により、動作モードを選択でき
る。The above-mentioned operation modes include a fully open mode, a control mode and a fully closed mode. The fully open mode is a mode in which the solenoid valve 41 is fully opened, and the control mode is the fluid to be measured detected by the microflow sensor 34. Is a mode in which the opening degree of the solenoid valve 41 is controlled so that the flow rate becomes a predetermined flow rate, and the fully closed mode is a mode in which the solenoid valve 41 is closed so that the flow rate of the fluid to be measured becomes zero. The operation mode can be selected by an operation described later.
【００１６】５１は制御部、５２はマイクロフローセン
サ３４からのセンサ信号を処理する信号処理回路、５３
はソレノイド弁４１を駆動する駆動回路（駆動手段）、
５４は制御部５１に所定の指令信号を入力するための入
力スイッチ、５５は現在の運転状態を表示するＬＥＤ表
示灯、５６は被測定流体の流量または動作モードを文字
表示する４桁の７セグメント表示器（表示手段）、５７
は信号処理回路５２によって処理された被測定流体の流
量の検出値、入力スイッチ５４からの指令信号を入力
し、これらの信号に基づいて駆動回路５３を制御するＣ
ＰＵ（制御手段）、５８はＣＰＵ５７に電圧、電流を供
給するとともにＣＰＵ５７との間で信号を入出力するた
めのコネクタ、５９は設定操作や演算処理のためのアル
ゴリズム、制御プログラムなどが予め書き込まれている
ＲＯＭ、６０はその流量制御装置に応じたパラメータ等
を記憶したＥＥＰＲＯＭ、６１は測定された流量データ
などを随時保存するＲＡＭである。Reference numeral 51 is a control unit, 52 is a signal processing circuit for processing the sensor signal from the microflow sensor 34, and 53.
Is a drive circuit (drive means) for driving the solenoid valve 41,
54 is an input switch for inputting a predetermined command signal to the control unit 51, 55 is an LED indicator for displaying the current operating state, and 56 is a 4-digit 7-segment for displaying the flow rate of the fluid to be measured or the operation mode in characters. Indicator (display means), 57
C inputs the detected value of the flow rate of the fluid to be measured processed by the signal processing circuit 52 and the command signal from the input switch 54, and controls the drive circuit 53 based on these signals C
PU (control means), 58 is a connector for supplying voltage and current to the CPU 57 and for inputting / outputting signals to / from the CPU 57, and 59 is pre-written with algorithms, control programs, etc. for setting operation and arithmetic processing. A ROM 60 is an EEPROM that stores parameters and the like according to the flow rate control device, and a reference numeral 61 is a RAM that stores measured flow rate data and the like as needed.
【００１７】次に入力スイッチ５４の各スイッチとＬＥ
Ｄ表示灯５５の各ランプの機能について説明する。５４
−１は動作モードを切り替えるときに押すＤＲＩＶＥス
イッチ（動作モード選択手段）であり、通常は押す毎に
全閉モードと制御モードが交互に切り替わるが、全開モ
ードにするときはＤＲＩＶＥスイッチ５４−１を２秒以
上押し続ける。５４−２はイベント設定等、特殊な設定
を行うときに押すモードスイッチ、５４−３、５４−４
は、それぞれ設定値を変更するときに押すダウンスイッ
チ（▽）、アップスイッチ（△）、５４−５は、アップ
スイッチ５４−４、ダウンスイッチ５４−３により設定
値を変更したとき、変更したその設定値を確定させると
きに押すＥＮＴスイッチであり、ＥＮＴスイッチ５４−
５はアラーム、リセットや積算リセット等をするスイッ
チとしても使用される。５４−６は７セグメント表示器
５６の表示内容を切り替えるときに押すＤＩＳＰスイッ
チであり、表示内容はＤＩＳＰスイッチ５４−６を押す
毎に瞬時ＰＶ値（流量計測値）→瞬時ＳＰ値（流量設定
値）→積算ＰＶ値→瞬時ＰＶ値→…のように循環して切
り替わる。Next, each switch of the input switch 54 and LE
The function of each lamp of the D indicator lamp 55 will be described. 54
Reference numeral -1 is a DRIVE switch (operation mode selection means) that is pressed when switching the operation mode. Normally, every time the switch is pressed, the fully closed mode and the control mode are alternately switched, but when the fully open mode is selected, the DRIVE switch 54-1 is switched. Press and hold for 2 seconds or more. Reference numeral 54-2 is a mode switch, 54-3, 54-4, which is pressed when performing special settings such as event settings.
The down switch (∇), the up switch (Δ), and 54-5, which are pressed when changing the set value, respectively, are changed when the set value is changed by the up switch 54-4 and the down switch 54-3. This is the ENT switch that is pressed to confirm the set value.
Reference numeral 5 is also used as a switch for performing an alarm, a reset, an integration reset, and the like. 54-6 is a DISP switch that is pressed when switching the display contents of the 7-segment display 56, and the displayed contents are the instantaneous PV value (flow rate measurement value) → the instantaneous SP value (flow rate setting value) every time the DISP switch 54-6 is pressed. ) → Integrated PV value → Instantaneous PV value → ...
【００１８】５５−１は７セグメント表示器５６に表示
された内容がＳＰ表示のときに点灯するＳＰランプ、５
５−２は７セグメント表示器５６に表示された内容がＰ
Ｖ表示のときに点灯するＰＶランプ、５５−３は瞬時流
量が設定値に一致している時に点灯し、動作モードが全
開モードのときに点滅するＯＫランプ、５５−４は異常
検出時に点灯するＡＬＡＲＭランプ、５５−５は７セグ
メント表示器５６に表示された内容が積算流量を示すと
きに点灯するＬランプ、５５−６は７セグメント表示器
５６に表示された内容が瞬時流量を示すときに点灯する
Ｌ／ｍｉｎランプである。Reference numeral 55-1 designates an SP lamp which is turned on when the content displayed on the 7-segment display 56 is SP display, 5
In 5-2, the content displayed on the 7-segment display 56 is P
A PV lamp that lights when V is displayed, 55-3 lights when the instantaneous flow rate matches the set value, an OK lamp that blinks when the operation mode is the full open mode, and 55-4 lights when an abnormality is detected. An ALARM lamp, 55-5 is an L lamp that lights when the content displayed on the 7-segment display 56 indicates the integrated flow rate, and 55-6 is when the content displayed on the 7-segment display 56 indicates the instantaneous flow rate. It is an L / min lamp that lights up.
【００１９】次に図２のフローチャートに基づいて動作
について説明する。まず、入力スイッチ５４のＤＲＩＶ
Ｅスイッチ５４−１が押されたときは動作モードを切り
替えると判定してステップＳＴ１からステップＳＴ２に
進む。ステップＳＴ２では、ＤＲＩＶＥスイッチ５４−
１の操作から全閉モードが選択されたかどうかを判定す
る。現在のモードが制御モードまたは全開モードである
ときにＤＲＩＶＥスイッチ５４−１が押されたら全閉モ
ードである。Next, the operation will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the DRIV of the input switch 54
When the E switch 54-1 is pressed, it is determined that the operation mode is switched, and the process proceeds from step ST1 to step ST2. At step ST2, the DRIVE switch 54-
It is determined from the operation 1 that the fully closed mode has been selected. If the DRIVE switch 54-1 is pressed when the current mode is the control mode or the full open mode, the full close mode is set.
【００２０】全閉モードが選択されたときは、駆動回路
５３からソレノイドコイル４８への通電を停止するよう
に制御する。これにより今までソレノイドコイル４８の
励磁作用で引き上げられていたプランジャ４７が予圧バ
ネの力で押し下げられる。全閉モードが選択されたと判
定したときは、ステップＳＴ３に進む。ステップＳＴ３
では、タイマをスタートさせる。ステップＳＴ４では、
７セグメント表示器５６に表示された流量表示をそのま
ま継続する。ステップＳＴ５では、タイマがタイムアッ
プしたかどうかを判定する。タイムアップしていないと
きは、ステップＳＴ４に戻り、タイムアップしたとき
は、ステップＳＴ６に進み、７セグメント表示器５６に
「ＯＦＦ」と表示して全閉モードであることを表示す
る。When the fully closed mode is selected, the drive circuit 53 is controlled so as to stop energizing the solenoid coil 48. As a result, the plunger 47, which has been pulled up by the exciting action of the solenoid coil 48, is pushed down by the force of the preload spring. When it is determined that the fully closed mode is selected, the process proceeds to step ST3. Step ST3
Now start the timer. In step ST4,
The flow rate display displayed on the 7-segment display 56 is continued. In step ST5, it is determined whether or not the timer has timed out. When the time has not expired, the process returns to step ST4, and when the time has expired, the process proceeds to step ST6 to display "OFF" on the 7-segment display 56 to indicate that it is in the fully closed mode.
【００２１】尚、タイマをスタートさせてからタイムア
ップするまでの時間はソレノイドコイル４８への通電を
停止してから弁体４６が弁座４２に完全に着座するまで
の時間及び７セグメント表示器５６を視認できる時間を
考慮して設定された時間であり、通常は１〜数秒に設定
しておけば良い。正常であれば、この間に弁体４６によ
り流路４４が閉じ、流量がゼロとなる。もし、この間に
流量がゼロにならなかったときはソレノイド弁４１がリ
ークしているか、マイクロフローセンサ３４のゼロ点が
オフセットしているか、なんらかの不具合が生じている
と考えられ、ユーザは７セグメント表示器５６の表示内
容をみてその不具合に気づくことになる。The time from the start of the timer to the time up is the time from the stop of energization of the solenoid coil 48 to the complete seating of the valve body 46 on the valve seat 42 and the 7-segment display 56. Is a time that is set in consideration of the time during which it can be visually recognized, and is normally set to 1 to several seconds. If it is normal, the flow path 44 is closed by the valve body 46 during this period, and the flow rate becomes zero. If the flow rate does not become zero during this time, it is considered that the solenoid valve 41 is leaking, the zero point of the microflow sensor 34 is offset, or some trouble has occurred, and the user displays a 7-segment display. By looking at the display contents of the container 56, the user will notice the malfunction.
【００２２】次に、制御モードが判定されたときは、ス
テップＳＴ２、ステップＳＴ７からステップＳＴ８に進
む。即ち、この判定は現在のモードが全閉モードである
ときにＤＲＩＶＥスイッチ５４−１が押されたときに行
われる。制御モードにおいては流路２５を流れる被測定
流体の流量がマイクロフローセンサ３４により検出さ
れ、その検出信号が信号処理回路５２において信号処理
され、ＣＰＵ５７に入力される。ＣＰＵ５７では、検出
信号に基づいて流量を演算し、流量が設定値に一致する
ように駆動回路５３を介してソレノイドコイル４８への
通電量を制御する。これにより、弁体４６が開き始め
る。Next, when the control mode is determined, the process proceeds from step ST2 and step ST7 to step ST8. That is, this determination is made when the DRIVE switch 54-1 is pressed when the current mode is the fully closed mode. In the control mode, the flow rate of the fluid to be measured flowing through the flow path 25 is detected by the microflow sensor 34, and the detection signal is processed by the signal processing circuit 52 and input to the CPU 57. The CPU 57 calculates the flow rate based on the detection signal, and controls the energization amount to the solenoid coil 48 via the drive circuit 53 so that the flow rate matches the set value. As a result, the valve body 46 starts to open.
【００２３】そして、制御モードが選択されたと判定し
たときはステップＳＴ８に進む。ステップＳＴ８では、
タイマをスタートさせる。ステップＳＴ９では、７セグ
メント表示器５６に例えば「ｏｎ］と表示して、制御モ
ードであることを表示する。ステップＳＴ１０におい
て、タイムアップしていないときは、ステップＳＴ９に
戻り、タイムアップしたときはステップＳＴ１１に進
む。ステップＳＴ１１では、例えば「００５６」という
ように、その流量を７セグメント表示器５６に表示して
流量表示を開始する。正常であれば、所定流量の被測定
流体が流路２５を流れてその流量が７セグメント表示器
５６に文字表示される。When it is determined that the control mode is selected, the process proceeds to step ST8. In step ST8,
Start the timer. In step ST9, for example, “on” is displayed on the 7-segment display 56 to indicate that it is in the control mode.When the time is not up in step ST10, the process returns to step ST9, and when the time is up, In step ST11, the flow rate is displayed on the 7-segment display 56, for example, "0056", and the flow rate display is started. If normal, a predetermined flow rate of the fluid to be measured flows through the flow path 25, and the flow rate is displayed in characters on the 7-segment display 56.
【００２４】次に全開モードであると判定したときは、
ステップＳＴ１２に進む。この判定は、ＤＲＩＶＥスイ
ッチ５４−１が２秒以上押されたときに行われる。ステ
ップＳＴ１２では、タイマをスタートさせる。ステップ
ＳＴ１３では、７セグメント表示器５６に「ＦＵＬＬ」
と表示して全開モードであることを表示する。ステップ
ＳＴ１４では、タイマがタイムアップしたかどうかを判
定し、タイムアップしたときは、ステップＳＴ１５に進
み、７セグメント表示器５６に流量表示を開始する。即
ち、流路２５を流れる被測定流体の流量が制御モードの
ときと同じようにマイクロフローセンサ３４により検出
され、その検出信号が信号処理回路５２において信号処
理され、ＣＰＵ５７によって流量が演算されて、演算さ
れた流量が７セグメント表示器５６に表示される。全開
モードでは、流量制御機能のない単なる流量計として用
いられる。Next, when it is determined that the full open mode is set,
Go to step ST12. This determination is made when the DRIVE switch 54-1 is pressed for 2 seconds or more. In step ST12, the timer is started. In step ST13, "FULL" is displayed on the 7-segment display 56.
Is displayed to indicate that it is in the full open mode. In step ST14, it is determined whether or not the timer has timed out. When the timer has timed out, the flow proceeds to step ST15 to start displaying the flow rate on the 7-segment display 56. That is, the flow rate of the fluid to be measured flowing through the flow path 25 is detected by the microflow sensor 34 as in the control mode, the detection signal is processed by the signal processing circuit 52, and the flow rate is calculated by the CPU 57. The calculated flow rate is displayed on the 7-segment display 56. In the fully open mode, it is used as a mere flow meter without a flow control function.
【００２５】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、動作モード選択手段としてのＤＲＩＶＥスイッチ５
４−１で動作モードを簡単に選択することができ、流量
に加えて動作モードも表示するようにしたので、視認性
が高まるという効果が得られる。また、動作モードが選
択されたとき、所定時間、流量が表示されるので、流量
が実際にゼロになったことを確認でき、特に全閉モード
を選択したにもかかわらず、流量がゼロにならなかった
ときは、その不具合を認識できるので、不具合が生じた
まま使用するといったことも防止できる。さらに、全閉
モードから制御モード又は全開モードを選択したとき
も、選択した制御モード又は全開モードが所定時間表示
されるので、選択した動作モードを確認できるという効
果もある。As described above, according to the first embodiment, the DRIVE switch 5 as the operation mode selecting means is used.
Since the operation mode can be easily selected in 4-1 and the operation mode is displayed in addition to the flow rate, the effect of improving the visibility can be obtained. Also, when the operation mode is selected, the flow rate is displayed for a predetermined time, so you can confirm that the flow rate actually became zero. If it does not exist, the defect can be recognized, so that it is possible to prevent the defect from being used. Further, even when the control mode or the fully open mode is selected from the fully closed mode, the selected control mode or the fully open mode is displayed for a predetermined time, so that the selected operation mode can be confirmed.
【００２６】実施の形態２．実施の形態２の構成は、実
施の形態１と同じである。次に図３のフローチャートに
基づいて実施の形態２の動作について説明する。尚、図
２のフローチャートと同じ動作をするステップについて
は、同一符号を付して説明を省略する。Embodiment 2. The configuration of the second embodiment is the same as that of the first embodiment. Next, the operation of the second embodiment will be described based on the flowchart of FIG. It should be noted that steps that perform the same operations as those in the flowchart of FIG. 2 will be assigned the same reference numerals and description thereof will be omitted.
【００２７】ステップＳＴ２において、全閉モードが選
択されたと判定されたときは、ステップＳＴ２１に進
み、７セグメント表示器５６に流量表示を開始する。ス
テップＳＴ２２では、ソレノイド弁４１が全閉となるよ
うに制御する。ステップＳＴ２３では、流量がゼロにな
ったか否かを判定する。流量がゼロではないときは、ス
テップＳＴ２２に戻る。そして流量がゼロになったとき
は、ステップＳＴ６に進み、７セグメント表示器５６に
「ＯＦＦ」と表示して全閉モードを表示する。When it is determined in step ST2 that the fully closed mode has been selected, the flow proceeds to step ST21, and the flow rate display is started on the 7-segment display 56. In step ST22, the solenoid valve 41 is controlled to be fully closed. In step ST23, it is determined whether or not the flow rate has become zero. When the flow rate is not zero, the process returns to step ST22. Then, when the flow rate becomes zero, the process proceeds to step ST6 to display "OFF" on the 7-segment display 56 to display the fully closed mode.
【００２８】また、制御モードが選択されたと判定され
たときは、ステップＳＴ７からステップＳＴ２４に進
み、制御モードであることを７セグメント表示器５６に
表示する。ステップＳＴ２５では、ソレノイド弁４１を
制御して被測定流体の流量を制御する。ステップＳＴ２
６では、被測定流体の流量が予め設定された値になった
か否かを判定する。流量が設定値になっていないとき
は、ステップＳＴ２５に戻り、設定値になったときは、
ステップＳＴ１１に進み、流量表示を開始する。If it is determined that the control mode is selected, the process proceeds from step ST7 to step ST24, and the 7-segment display 56 indicates that the control mode is selected. In step ST25, the solenoid valve 41 is controlled to control the flow rate of the fluid to be measured. Step ST2
At 6, it is determined whether or not the flow rate of the fluid to be measured has reached a preset value. When the flow rate has not reached the set value, the process returns to step ST25, and when it reaches the set value,
In step ST11, the flow rate display is started.
【００２９】また、全開モードが選択されたと判定され
たときは、ステップＳＴ２７に進み、７セグメント表示
器５６に「ＦＵＬＬ」と表示して全開モードであること
を表示する。ステップＳＴ２８では、ソレノイド弁４１
が全開となるように制御する。ステップＳＴ２８では、
ソレノイド弁４１が全開になったか否かを判定する。全
開ではないと判定したときは、ステップＳＴ２８に戻
り、全開になったと判定したときは、ステップＳＴ１５
に進み、７セグメント表示器５６に流量表示を開始す
る。If it is determined that the full open mode is selected, the process proceeds to step ST27, where "FULL" is displayed on the 7-segment display 56 to indicate that the full open mode is selected. At step ST28, the solenoid valve 41
Is controlled so that it is fully opened. In step ST28,
It is determined whether the solenoid valve 41 is fully opened. When it is determined that it is not fully opened, the process returns to step ST28, and when it is determined that it is fully opened, the process proceeds to step ST15.
Then, the flow rate display is started on the 7-segment display 56.
【００３０】以上のように、実施の形態２によれば、ソ
レノイド弁４１が完全に選択された動作モード通りに制
御されたときに動作モード表示、あるいは流量表示に切
り替えるので、確実に動作したか否かを視認することが
できる。As described above, according to the second embodiment, when the solenoid valve 41 is controlled according to the completely selected operation mode, the operation mode display or the flow rate display is switched. You can see whether or not.
【００３１】尚、上記実施の形態１および実施の形態２
では、動作モードとして、全閉モードと制御モードと全
開モードとを備えるものとしたが、これに限定されるも
のではなく、少なくとも全閉モードおよび制御モードを
備えていさえすればよい。また、上記の３つのモード以
外の動作モードを備えるものとしても良い。例えば、シ
ーケンスモードとして予めプログラムされた順に流量制
御を行うモードを設けることもできる。あるいは、所定
の弁開度を維持するモードや故障診断用のモード等も考
えられる。Incidentally, the above-mentioned first and second embodiments
In the above, the operation modes include the fully closed mode, the control mode, and the fully open mode, but the operation mode is not limited to this, and at least the fully closed mode and the control mode may be provided. Further, it may have an operation mode other than the above three modes. For example, it is possible to provide a sequence mode in which the flow rate is controlled in a pre-programmed order. Alternatively, a mode for maintaining a predetermined valve opening degree, a failure diagnosis mode, or the like may be considered.
【００３２】さらに、動作モード選択手段としては、上
記実施の形態１および実施の形態２で示した押しボタン
式のＤＲＩＶＥスイッチ５４−１の他、外部から所定の
電圧信号を加えてそれに応じた動作モードを選択するよ
うにしても良い。Further, as the operation mode selection means, in addition to the push-button type DRIVE switch 54-1 shown in the first and second embodiments, a predetermined voltage signal is added from the outside to operate in accordance therewith. The mode may be selected.
【００３３】さらにまた、表示手段としては、上記実施
の形態１および実施の形態２で示した７セグメント表示
器５６の他、液晶表示器でも良いし、流量を数字表示で
はなく棒グラフ表示するような表示器を用いることもで
きる。このような数字表示以外の表示器に動作モードを
表示するには、例えば各モードに応じた時間間隔で点滅
表示するようにすれば良い。Further, the display means may be a liquid crystal display other than the 7-segment display 56 shown in the first and second embodiments, and the flow rate may be displayed in a bar graph instead of a numerical display. A display can also be used. In order to display the operation mode on a display other than the numerical display, for example, blinking display may be performed at time intervals according to each mode.
【００３４】また、上記実施の形態１および実施の形態
２で調節弁としてソレノイド型のものを用いたが、当然
のことながらこれに限られず、電動モータや空気プラン
ジャをアクチュエータとして用いたものや、ボール弁、
バタフライ弁等を用いたもの等、様々な応用例を採用す
ることが可能である。Further, although the solenoid type valve is used as the control valve in the first and second embodiments, it is naturally not limited to this, and the one using the electric motor or the air plunger as the actuator, Ball valve,
It is possible to adopt various application examples such as those using a butterfly valve.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上のように、この発明に係る流量制御
装置によれば、動作モード選択手段により選択するだけ
で動作モードを簡単に選択することができ、流量に加え
て動作モードも表示されるので、視認性が高まるという
効果がある。As described above, according to the flow rate control device of the present invention, the operation mode can be easily selected only by the operation mode selection means, and the operation mode is displayed in addition to the flow rate. Therefore, there is an effect that the visibility is enhanced.
【００３６】この発明に係る流量制御装置によれば、流
量が実際にゼロになったことを確認できるという効果が
ある。According to the flow rate control device of the present invention, it is possible to confirm that the flow rate has actually become zero.
【００３７】この発明に係る流量制御装置によれば、他
の動作モードを選択したときに選択した動作モードを確
認できるという効果がある。The flow rate control device according to the present invention has an effect that the selected operation mode can be confirmed when another operation mode is selected.
【図１】この発明の流量制御装置の実施の形態１を示す
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a flow rate control device of the present invention.
【図２】図１の流量制御装置の動作を示すフローチャー
トである。FIG. 2 is a flowchart showing an operation of the flow rate control device of FIG.
【図３】この発明の流量制御装置の実施の形態２の動作
を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the second embodiment of the flow rate control device of the present invention.
【図４】従来の流量制御装置の構成を示すブロック図で
ある。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a conventional flow rate control device.
２５ 流路 ３４ マイクロフローセンサ（流量検出手段） ４１ ソレノイド弁（調節弁） ５３ 駆動回路（駆動手段） ５４−１ ＤＲＩＶＥスイッチ（動作モード選択手段） ５６ ７セグメント表示器（表示手段） ５７ ＣＰＵ（制御手段） 25 channels 34 Micro flow sensor (flow rate detection means) 41 Solenoid valve (control valve) 53 Drive circuit (drive means) 54-1 DRIVE switch (operation mode selection means) 56 7-segment display (display means) 57 CPU (control means)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−250742（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−84649（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−29913（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−250937（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−148559（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−92815（ＪＰ，Ｕ) 実開 平７−20527（ＪＰ，Ｕ) 登録実用新案3008542（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05D 7/06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-6-250742 (JP, A) JP-A-7-84649 (JP, A) JP-A-61-29913 (JP, A) JP-A-9- 250937 (JP, A) JP 10-148559 (JP, A) Actual development 5-92815 (JP, U) Actual development 7-20527 (JP, U) Registered utility model 3008542 (JP, U) (58 ) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G05D 7/06
Claims (3)
流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量
を検出する流量検出手段と、前記調節弁を駆動する駆動
手段とを有する流量制御装置において、 動作モードとして、少なくとも、前記流量検出手段によ
って検出された被測定流体の流量が所定流量となるよう
に調節弁の開度を制御する制御モードと被測定流体の流
量がゼロとなるように調節弁の開度を制御する全閉モー
ドとを備えており、この動作モードの中からいずれかを
選択する動作モード選択手段と、この 動作モード選択手段により選択された動作モードに
したがって前記駆動手段を制御する制御手段と、 前記被測定流体の流量および選択された動作モードを表
示可能な表示手段とを備え、この表示手段は、被測定流体の流量または選択された動
作モードを表示するものであって、動作モード選択手段
により全閉モードが選択されたとき、全閉モードが選択
されたときから所定時間が経過するまでは前記流量を表
示し、所定時間経過してから全閉モードを表示する こと
を特徴とする流量制御装置。1. A flow path through which a fluid to be measured flows, a control valve for adjusting the flow rate of the fluid to be measured, a flow rate detecting means for detecting the flow rate of the fluid to be measured, and a driving means for driving the control valve. In the flow rate control device having , the operation mode includes at least a control mode for controlling the opening degree of the control valve so that the flow rate of the fluid to be measured detected by the flow rate detecting means becomes a predetermined flow rate, and a flow rate of the fluid to be measured. fully closed mode and a, and the operation mode selecting means for selecting one from among the operation mode, the operation mode selected by the operation mode selecting means for controlling the degree of opening of the control valve so as to zero wherein comprising a control means for controlling the driving means, and a display capable of displaying means the flow rate and the selected operating mode of the fluid to be measured in accordance with, the display means, the flow of the fluid to be measured Quantity or selected movement
For displaying the operation mode, the operation mode selecting means
When fully closed mode is selected by, fully closed mode is selected
The above flow rate is displayed from the time when
The flow rate control device is characterized in that the full closed mode is displayed after a predetermined time has elapsed .
流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量
を検出する流量検出手段と、前記調節弁を駆動する駆動
手段とを有する流量制御装置において、 動作モードとして、少なくとも、前記流量検出手段によ
って検出された被測定流体の流量が所定流量となるよう
に調節弁の開度を制御する制御モードと被測定流体の流
量がゼロとなるように調節弁の開度を制御する全閉モー
ドとを備えており、この動作モードの中からいずれかを
選択する動作モード選択手段と、 この動作モード選択手段により選択された動作モードに
したがって前記駆動手段を制御する制御手段と、 前記被測定流体の流量および選択された動作モードを表
示可能な表示手段とを備え、 この 表示手段は、被測定流体の流量または選択された動
作モードを表示するものであって、動作モード選択手段
により全閉モードが選択されたとき、全閉モードが選択
されたときから前記流量がゼロになるまでは流量を表示
し、前記流量がゼロになったときに全閉モードを表示す
ることを特徴とする流量制御装置。 2. The flow path through which the fluid to be measured flows and the fluid to be measured.
A control valve for controlling the flow rate of the fluid, and the flow rate of the fluid to be measured
Flow rate detecting means for detecting the
And a flow control device having means, As an operation mode, at least the flow rate detecting means is used.
So that the flow rate of the measured fluid detected by
The control mode that controls the opening of the control valve and the flow of the fluid to be measured.
The fully closed mode that controls the opening of the control valve so that the amount becomes zero.
And one of these operating modes.
Operation mode selecting means for selecting, The operation mode selected by this operation mode selection means
Therefore, control means for controlling the drive means, The flow rate of the fluid to be measured and the selected operation mode are displayed.
And display means capable of displaying, this The display means indicates the flow rate of the fluid to be measured or the selected motion.
For displaying the operation mode, the operation mode selecting means
When fully closed mode is selected by, fully closed mode is selected
Flow rate is displayed from when
Display the fully closed mode when the flow rate becomes zero.
Characterized byRuruQuantity control device.
流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量
を検出する流量検出手段と、前記調節弁を駆動する駆動
手段とを有する流量制御装置において、 動作モードとして、少なくとも、前記流量検出手段によ
って検出された被測定流体の流量が所定流量となるよう
に調節弁の開度を制御する制御モードと被測定流体の流
量がゼロとなるように調節弁の開度を制御する全閉モー
ドとを備えており、この動作モードの中からいずれかを
選択する動作モード選択手段と、 この動作モード選択手段により選択された動作モードに
したがって前記駆動手段を制御する制御手段と、 前記被測定流体の流量および選択された動作モードを表
示可能な表示手段とを備え、 この 表示手段は、動作モード選択手段により現在の動作
モードから他の動作モードが選択されたとき、他の動作
モードが選択されたときから所定時間経過するまでは選
択された動作モードを表示し、所定時間経過してからは
被測定流体の流量を表示するように構成されたことを特
徴とする流量制御装置。 3. A flow path through which the fluid to be measured flows and the fluid to be measured.
A control valve for controlling the flow rate of the fluid, and the flow rate of the fluid to be measured
Flow rate detecting means for detecting the
And a flow control device having means, As an operation mode, at least the flow rate detecting means is used.
So that the flow rate of the measured fluid detected by
The control mode that controls the opening of the control valve and the flow of the fluid to be measured.
The fully closed mode that controls the opening of the control valve so that the amount becomes zero.
And one of these operating modes.
Operation mode selecting means for selecting, The operation mode selected by this operation mode selection means
Therefore, control means for controlling the drive means, The flow rate of the fluid to be measured and the selected operation mode are displayed.
And display means capable of displaying, this The display means displays the current operation by the operation mode selection means.
Other operation when another operation mode is selected from the modes
Select from the time the mode is selected until the specified time elapses.
Displays the selected operation mode, and after a predetermined time
It is specially configured to display the flow rate of the fluid to be measured.
CollectRuruQuantity control device.
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Citations (1)
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1998
- 1998-06-30 JP JP18540998A patent/JP3445155B2/en not_active Expired - Fee Related
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