JP3430910B2 - Cream solder printing apparatus and solder bump forming method for forming solder bumps - Google Patents
Cream solder printing apparatus and solder bump forming method for forming solder bumpsInfo
- Publication number
- JP3430910B2 JP3430910B2 JP07213398A JP7213398A JP3430910B2 JP 3430910 B2 JP3430910 B2 JP 3430910B2 JP 07213398 A JP07213398 A JP 07213398A JP 7213398 A JP7213398 A JP 7213398A JP 3430910 B2 JP3430910 B2 JP 3430910B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder
- mask plate
- cream
- substrate
- electronic component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L24/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/14—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
- H01L2224/1405—Shape
- H01L2224/14051—Bump connectors having different shapes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Screen Printers (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、基板や電子部品の
電極に半田バンプを形成するためのクリーム半田を印刷
するクリーム半田印刷装置およびこれらの電極上に半田
バンプを形成する半田バンプ形成方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cream solder printing apparatus for printing cream solder for forming solder bumps on electrodes of substrates and electronic parts, and a solder bump forming method for forming solder bumps on these electrodes. It is a thing.
【0002】[0002]
【従来の技術】基板や電子部品を半田付けする方法とし
て、基板や電子部品の電極に予め半田バンプを形成して
おき、この半田バンプにより半田付けを行う方法が広く
用いられている。この半田バンプの形成に際して、電極
上にクリーム半田を印刷する方法や半田ボールを搭載す
る方法などによって半田を供給し、その後加熱して供給
された半田を電極上で溶融させることにより、電極上に
半田バンプが形成される。2. Description of the Related Art As a method of soldering a substrate or an electronic component, a method of forming a solder bump on an electrode of the substrate or the electronic component in advance and performing the soldering by the solder bump is widely used. When forming this solder bump, solder is supplied by a method of printing cream solder on the electrode or a method of mounting a solder ball, and then the heated solder is melted on the electrode to form a solder on the electrode. Solder bumps are formed.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、半田付けは
電子回路を構成する電子部品を電気的に接続するもので
あるため、半田付け部は完全に導通しなければならず、
したがって半田バンプの部分的な欠落などの異常は許容
されない。By the way, since the soldering is to electrically connect the electronic parts constituting the electronic circuit, the soldering portion must be completely conductive,
Therefore, abnormalities such as partial missing of solder bumps cannot be tolerated.
【0004】しかしながら、半田バンプを形成する工程
においては、半田バンプの部分的な欠落やサイズ過小な
どの異常を絶無にすることは困難であり、少ない頻度
(従来実績では0.1%程度)ではあるが、異常が発生
する。これは、クリーム半田を印刷する方法では、印刷
に用いられるマスクプレートのパターン孔にクリーム半
田が残留して電極上に完全に印刷されない場合があるこ
と、また半田ボールを搭載する方法では、半田ボールの
搭載時に吸着ツールに半田ボールが付着したまま残留し
て電極上に完全に搭載されない搭載ミスが発生しやすい
こと、そしてこれらの要因を完全に除去することが実際
上きわめ難しいことに依るものである。However, in the process of forming the solder bumps, it is difficult to completely eliminate abnormalities such as partial missing of the solder bumps and size reduction, and the frequency is low (about 0.1% in the past results). However, an abnormality occurs. This is because in the method of printing cream solder, the cream solder may remain in the pattern holes of the mask plate used for printing and may not be completely printed on the electrodes. It is because solder balls remain attached to the suction tool during mounting and it is easy to make a mounting error that is not completely mounted on the electrode, and it is actually difficult to completely remove these factors. is there.
【0005】したがって、従来の半田バンプ形成方法で
は、品質上の信頼性を保証するため半田バンプ形成後に
検査を行うこととしており、検査により半田バンプの異
常が発見されると、高価な製品であるにもかかわらず品
質保証の要請から大部分が不良品としての廃却処分を余
儀なくされていた。このように、従来の半田バンプの形
成方法では、半田バンプの異常に起因する不良品の発生
が不可避で、全体の歩留りの向上には限度があるという
問題点があった。Therefore, in the conventional solder bump forming method, an inspection is performed after forming the solder bumps in order to guarantee reliability in quality, and if an abnormality of the solder bumps is found by the inspection, it is an expensive product. Nevertheless, most of them had to be disposed of as defective products due to quality assurance requests. As described above, the conventional method of forming solder bumps has a problem that defective products due to abnormalities of the solder bumps are unavoidable, and there is a limit to improvement of the overall yield.
【0006】そこで本発明は、半田バンプの異常の発生
を減少させ歩留りを向上させることができるクリーム半
田の印刷装置および半田バンプ形成方法を提供すること
を目的とする。It is therefore an object of the present invention to provide a cream solder printing apparatus and a solder bump forming method capable of reducing abnormalities of solder bumps and improving yield.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の半田バン
プ形成用のクリーム半田印刷装置は、基板または電子部
品を載置する載置部と、正規形状の半田バンプの体積に
相当する半田量を含むクリーム半田を収容できる内容積
を有し、正規形状の半田バンプに略外接する錐形状のパ
ターン孔を備えたマスクプレートと、このマスクプレー
トを前記載置部上の半田バンプが形成された基板または
電子部品に対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記
基板または電子部品上に装着された前記マスクプレート
上にクリーム半田を塗布する塗布手段と、前記マスクプ
レート上を摺動しながら移動してクリーム半田を前記パ
ターン孔内に充填させるスキージとを備えた。According to another aspect of the present invention, there is provided a cream solder printing apparatus for forming solder bumps, wherein a mounting portion on which a substrate or an electronic component is mounted, and a solder amount corresponding to a volume of a solder bump having a regular shape. A mask plate having an inner volume capable of accommodating a cream solder containing, and provided with a pyramidal pattern hole that substantially circumscribes a regular-shaped solder bump, and the solder bump on the mounting portion is formed on the mask plate. Elevating means for moving up and down relatively to the board or electronic component, application means for applying cream solder on the mask plate mounted on the board or electronic component, and moving while sliding on the mask plate And a squeegee for filling the pattern holes with cream solder.
【0008】請求項2記載の半田バンプ形成用のクリー
ム半田印刷装置は、基板または電子部品を載置する載置
部と、正規形状の半田バンプの体積に相当する半田量を
含むクリーム半田を収容できる内容積を有し、正規形状
の半田バンプ高さより低い略円筒形状のパターン孔を備
えたマスクプレートと、このマスクプレートを前記載置
部上の半田バンプが形成された基板または電子部品に対
して相対的に昇降させる昇降手段と、前記基板または電
子部品上に装着された前記マスクプレート上で前記パタ
ーン孔から突出した半田バンプを延展して前記パターン
孔の上部を塞ぐ延展手段と、前記マスクプレート上にク
リーム半田を塗布する塗布手段と、前記マスクプレート
上を摺動しながら移動してクリーム半田を前記パターン
孔内に充填させるスキージとを備えた。According to a second aspect of the present invention, there is provided a cream solder printing apparatus for forming solder bumps, in which a mounting portion for mounting a substrate or an electronic component and a cream solder containing a solder amount corresponding to a volume of a regular shaped solder bump are accommodated. A mask plate having an inner volume that can be formed and having a substantially cylindrical pattern hole that is lower than the height of a regular-shaped solder bump, and the mask plate with respect to the substrate or the electronic component on which the solder bump on the mounting portion is formed. And elevating means for relatively elevating and lowering, a extending means for extending a solder bump protruding from the pattern hole on the mask plate mounted on the substrate or the electronic component to close an upper portion of the pattern hole, and the mask Application means for applying cream solder on the plate, and moving while sliding on the mask plate to fill the pattern holes with the cream solder. And a Chigi.
【0009】請求項3記載の半田バンプ形成方法は、基
板又は電子部品に半田バンプを形成した後、前記基板ま
たは電子部品の電極のうち半田バンプの異常がある電極
上に半田バンプを形成する半田バンプ形成方法であっ
て、前記基板又は電子部品上に、正規形状の半田バンプ
の体積に相当する半田量を含むクリーム半田を収容でき
る内容積を有し正規形状の半田バンプに略外接する錐形
状のパターン孔を備えたマスクプレートを装着し、この
マスクプレート上でクリーム半田を印刷することにより
前記半田バンプの異常がある電極上にクリーム半田を供
給し、次いで前記基板又は電子部品を加熱することによ
り前記電極上でクリーム半田を溶融固化させて半田バン
プを形成するようにした。According to a third aspect of the present invention, there is provided a solder bump forming method, wherein after forming a solder bump on a substrate or an electronic component, the solder bump is formed on an electrode of the substrate or the electronic component where the solder bump is abnormal. A bump forming method, wherein a pyramidal shape having an inner volume capable of accommodating a cream solder including a solder amount corresponding to the volume of a regular-shaped solder bump on the substrate or the electronic component and substantially circumscribing the regular-shaped solder bump. Mounting a mask plate having pattern holes, and supplying the cream solder to the electrodes having abnormal solder bumps by printing the cream solder on the mask plate, and then heating the substrate or electronic component. Thus, the cream solder was melted and solidified on the electrodes to form solder bumps.
【0010】請求項4記載の半田バンプ形成方法は、基
板又は電子部品に半田バンプを形成した後、前記基板ま
たは電子部品の電極のうち半田バンプの異常がある電極
上に半田バンプを形成する半田バンプ形成方法であっ
て、前記基板又は電子部品上に、正規形状の半田バンプ
の体積に相当する半田量を含むクリーム半田を収容でき
る内容積を有し正規形状の半田バンプ高さより低い略円
筒形状のパターン孔を備えたマスクプレートを装着し、
このパターン孔より突出した半田バンプを延展手段によ
り延展して前記パターン孔の上面を塞いだ後に、前記マ
スクプレート上でクリーム半田を印刷して前記半田バン
プの異常がある電極上にクリーム半田を供給し、次いで
前記電極又は基板を加熱することにより前記電極上でク
リーム半田を溶融固化させて半田バンプを形成するよう
にした。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a solder bump forming method, wherein after forming a solder bump on a substrate or an electronic component, the solder bump is formed on an electrode of the electrode of the substrate or the electronic component having an abnormal solder bump. A bump forming method, wherein the substrate or the electronic component has a substantially cylindrical shape having an inner volume capable of accommodating a cream solder including a solder amount corresponding to the volume of a regular-shaped solder bump and having a lower height than a regular-shaped solder bump. Attach the mask plate with the pattern holes of
After the solder bumps protruding from the pattern holes are extended by the extension means to block the upper surface of the pattern holes, cream solder is printed on the mask plate to supply the cream solder to the electrodes having the abnormality of the solder bumps. Then, the cream solder is melted and solidified on the electrodes by heating the electrodes or the substrate to form solder bumps.
【0011】各請求項記載の発明によれば、正規形状の
半田バンプが形成された電極にはクリーム半田が入り込
まない形状のパターン孔を有するマスクプレートを装着
し、このマスクプレート上でクリーム半田を印刷するこ
とにより、半田バンプにサイズ過小や欠落などの異常が
ある電極にのみクリーム半田を供給して正常な半田バン
プを形成することができる。According to the invention described in each claim, a mask plate having a pattern hole having a shape in which cream solder does not enter is attached to the electrode on which the solder bump having a regular shape is formed, and the cream solder is placed on the mask plate. By printing, the cream solder can be supplied only to the electrodes having abnormalities such as an undersized or missing solder bump to form a normal solder bump.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】(実施の形態1)図1(a),
(b),(c),(d)、は本発明の実施の形態1の半
田バンプ形成方法の工程説明図、図2は同クリーム半田
印刷装置の側面図、図3(a),(b),(c),
(d)は同半田バンプ形成方法の工程説明図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION (Embodiment 1) FIG.
3B, 3C, and 3D are process explanatory diagrams of the solder bump forming method according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the cream solder printing apparatus, and FIGS. ), (C),
(D) is a process explanatory view of the same solder bump forming method.
【0013】まず図1(a)において、基板1の上面に
は半田バンプ形成用の電極2が設けられている。この基
板1を、電極2に対応したパターン孔4が設けられたマ
スクプレート3に対して位置合わせし、マスクプレート
を基板1に装着する。First, in FIG. 1A, an electrode 2 for forming a solder bump is provided on the upper surface of a substrate 1. The substrate 1 is aligned with the mask plate 3 provided with the pattern holes 4 corresponding to the electrodes 2, and the mask plate is mounted on the substrate 1.
【0014】次に図1(b)に示すように、マスクプレ
ート3上にクリーム半田5を塗布した後、マスクプレー
ト3上でスキージ6を摺動させることにより、パターン
孔4内にクリーム半田5が印刷される。そして図1
(c)に示すように、マスクプレート3と基板1を分離
することにより、パターン孔4内のクリーム半田5はパ
ターン孔4から抜け、電極2上に供給される。このと
き、パターン孔4からのクリーム半田5の版抜け不良に
よりクリーム半田5がパターン孔4内に残留し、電極2
上にクリーム半田が供給されない場合がある。Next, as shown in FIG. 1 (b), after applying the cream solder 5 on the mask plate 3, the squeegee 6 is slid on the mask plate 3 so that the cream solder 5 is placed in the pattern holes 4. Is printed. And Figure 1
As shown in (c), by separating the mask plate 3 and the substrate 1, the cream solder 5 in the pattern hole 4 escapes from the pattern hole 4 and is supplied onto the electrode 2. At this time, the cream solder 5 remains in the pattern hole 4 due to defective printing of the cream solder 5 from the pattern hole 4, and the electrode 2
The cream solder may not be supplied on top.
【0015】この後基板1はリフロー炉に送られ加熱さ
れる。これにより各電極2上のクリーム半田5が溶融
し、溶融半田が固化することにより図1(d)に示すよ
うに半田バンプ5’が形成されるが、前述のクリーム半
田5が供給されなかった電極2では、半田バンプ5’が
欠落した状態となっている。この半田バンプ5’が欠落
した欠落電極に、補充的に半田バンプを追加して形成す
るため、以下に述べるクリーム半田印刷装置にて再度ク
リーム半田5の印刷が行われる。After that, the substrate 1 is sent to a reflow furnace and heated. As a result, the cream solder 5 on each electrode 2 is melted, and the molten solder is solidified to form solder bumps 5'as shown in FIG. 1D, but the above-mentioned cream solder 5 is not supplied. In the electrode 2, the solder bump 5'is missing. Since the solder bumps 5 ′ are formed by additionally adding solder bumps to the missing electrodes where the solder bumps 5 ′ are missing, the cream solder 5 is printed again by the cream solder printing apparatus described below.
【0016】ここでクリーム半田印刷装置について説明
する。図2に示すように、載置部10上には半田バンプ
5’が形成された基板1が載置されている。基板1の上
方には、マスクプレート7が配設されている。載置部1
0は昇降手段であるシリンダ9により、マスクプレート
7に対して相対的に昇降可能となっている。マスクプレ
ート7には、円錐形状のパターン孔8が各電極2の位置
に対応して設けられている。シリンダ9を駆動してマス
クプレート7に対して基板1を上昇させることにより、
マスクプレート7は基板1に装着される。Here, the cream solder printing apparatus will be described. As shown in FIG. 2, the substrate 1 on which the solder bumps 5 ′ are formed is placed on the placing portion 10. A mask plate 7 is arranged above the substrate 1. Placement part 1
0 can be moved up and down relatively with respect to the mask plate 7 by a cylinder 9 as an elevating means. The mask plate 7 is provided with conical pattern holes 8 corresponding to the positions of the electrodes 2. By driving the cylinder 9 to raise the substrate 1 with respect to the mask plate 7,
The mask plate 7 is mounted on the substrate 1.
【0017】パターン孔8の形状寸法は、次の条件を満
たすように設定される。すなわちマスクプレート7が基
板1に装着された状態で、パターン孔8の内面が、既に
電極2上に形成された正規形状の半田バンプ5’の外周
と略外接し、かつパターン孔8の内面と半田バンプ5’
の外周との間に部分的に生じた隙間が、クリーム半田5
中に含まれる半田粒の大きさよりも小さくなるよう、パ
ターン孔8の形状寸法が設定される。また、パターン孔
8の内容積は、正規形状の半田バンプ5’の体積相当の
半田量を含むクリーム半田5を収容できるものとなって
いる。The shape dimensions of the pattern holes 8 are set so as to satisfy the following conditions. That is, in a state where the mask plate 7 is mounted on the substrate 1, the inner surface of the pattern hole 8 is substantially circumscribed with the outer periphery of the regular-shaped solder bump 5 ′ already formed on the electrode 2, and the inner surface of the pattern hole 8 is Solder bump 5 '
The gap created partially with the outer periphery of the cream solder 5
The shape dimension of the pattern hole 8 is set so as to be smaller than the size of the solder particles contained therein. Further, the inner volume of the pattern hole 8 can accommodate the cream solder 5 including the solder amount corresponding to the volume of the regular-shaped solder bump 5 ′.
【0018】マスクプレート7の上方には、クリーム半
田5の塗布手段であるディスペンサ11が配設されてい
る。ディスペンサ11は基板1上に装着されたマスクプ
レート7上にクリーム半田5を塗布する。またマスクプ
レート7上にはスキージ12が備えられている。マスク
プレート7上にクリーム半田5を塗布した状態でスキー
ジ12を摺動させることにより、欠落電極2上に位置す
るパターン孔8内にはクリーム半田5が充填される。Above the mask plate 7, a dispenser 11 which is a means for applying the cream solder 5 is arranged. The dispenser 11 applies the cream solder 5 onto the mask plate 7 mounted on the substrate 1. A squeegee 12 is provided on the mask plate 7. By sliding the squeegee 12 with the cream solder 5 applied on the mask plate 7, the cream solder 5 is filled in the pattern holes 8 located on the missing electrodes 2.
【0019】この半田バンプ形成用のクリーム半田印刷
装置は上記のように構成され、以下バンプ形成用のクリ
ーム半田印刷について説明する。図3(a)に示すよう
に、載置部上に載置された半田バンプ5’が既に形成さ
れ、欠落電極2を含む基板1を、シリンダ9(図2)に
よりマスクプレート7に対して上昇させ、図3(b)に
示すように基板1をマスクプレート7に位置あわせして
装着する。この後、ディスペンサ6によりマスクプレー
ト7上にクリーム半田5を塗布し、次いでスキージ11
をマスクプレート7上で摺動させて、欠落電極2上に位
置するパターン孔8内にクリーム半田を印刷する。The cream solder printing apparatus for forming solder bumps is configured as described above, and the cream solder printing for forming bumps will be described below. As shown in FIG. 3 (a), the solder bumps 5 ′ mounted on the mounting portion are already formed, and the substrate 1 including the missing electrodes 2 is attached to the mask plate 7 by the cylinder 9 (FIG. 2). The substrate 1 is lifted and the substrate 1 is aligned and mounted on the mask plate 7 as shown in FIG. After that, the cream solder 5 is applied on the mask plate 7 by the dispenser 6, and then the squeegee 11 is applied.
Is slid on the mask plate 7 to print the cream solder in the pattern hole 8 located on the missing electrode 2.
【0020】このとき、既に正常に半田バンプ5’が形
成されているパターン孔8には、クリーム半田5中の半
田粒は侵入することができないため、正規形状の半田バ
ンプ5’に付着するクリーム半田5はわずかな量であ
る。そして基板1とマスクプレート7を分離することに
より、図3(c)に示すように欠落電極2上には、正規
形状の半田バンプ5’の半田量に相当するクリーム半田
5が供給される。At this time, since the solder particles in the cream solder 5 cannot penetrate into the pattern holes 8 in which the solder bumps 5'are already properly formed, the cream adhered to the solder bumps 5'having a regular shape is formed. A small amount of solder 5 is present. Then, by separating the substrate 1 and the mask plate 7, the cream solder 5 corresponding to the solder amount of the regular-shaped solder bump 5 ′ is supplied onto the missing electrode 2 as shown in FIG. 3C.
【0021】この後基板1はリフロー炉に送られ、そこ
で基板1は加熱される。これにより、欠落電極2上のク
リーム半田5が溶融し、その後冷却固化して図2(d)
に示すように電極2上で正規形状の半田バンプ5’が形
成される。このとき既に正常に形成されていた半田バン
プ5’も同時に溶融し、冷却されて再び半田バンプ5’
を形成する。After that, the substrate 1 is sent to a reflow furnace, where the substrate 1 is heated. As a result, the cream solder 5 on the missing electrode 2 is melted, and then cooled and solidified to form the state shown in FIG.
As shown in FIG. 5, a solder bump 5 ′ having a regular shape is formed on the electrode 2. At this time, the solder bumps 5'which have already been normally formed are also melted at the same time, cooled, and then again solder bumps 5 '.
To form.
【0022】上述はある電極2上にクリーム半田5が全
く供給されず、半田バンプ5’が完全に欠落している半
田バンプの異常の場合を示しているが、電極2上にクリ
ーム半田5が少量しか供給されず、その結果サイズが過
小の半田バンプが形成された場合についても、上述と同
様の方法で正規形状の半田バンプを形成することができ
る。すなわち、サイズが過小の半田バンプが形成された
電極2に位置するパターン孔8では、半田バンプとパタ
ーン孔8の間には隙間が生じる。したがってクリーム半
田5の印刷により、この隙間にはクリーム半田5が進入
してサイズが過小の半田バンプに付着し半田量を補うこ
ととなる。そして再加熱によって半田バンプと半田バン
プに付着したクリーム半田が融合し、冷却固化した後に
は正常な半田量の正規形状の半田バンプ5’を形成する
ことができる。The above description shows a case where the cream solder 5 is not supplied onto a certain electrode 2 at all, and the solder bump 5'is completely missing, but the cream solder 5 on the electrode 2 is abnormal. Even when only a small amount of solder bumps are supplied, and as a result, an excessively small solder bump is formed, a solder bump having a regular shape can be formed by the same method as described above. That is, in the pattern hole 8 located in the electrode 2 on which the solder bump of which size is too small is formed, a gap is formed between the solder bump and the pattern hole 8. Therefore, when the cream solder 5 is printed, the cream solder 5 enters the gap and adheres to the solder bumps having an undersized size to supplement the amount of solder. Then, by reheating, the solder bumps and the cream solder attached to the solder bumps are fused, and after cooling and solidification, the solder bumps 5'having a normal shape and having a normal amount of solder can be formed.
【0023】なお、本実施の形態1では、まずクリーム
半田5を印刷して半田を電極2に供給することにより半
田バンプ5’を形成する例を示しているが、最初に半田
バンプ5’を形成する方法はこれに限定されず、これ以
外の方法、たとえば半田ボールを電極2上に搭載して半
田を供給する方法であってもよい。In the first embodiment, the cream solder 5 is first printed and the solder bump 5'is formed by supplying the solder to the electrode 2. However, first, the solder bump 5'is formed. The forming method is not limited to this, and other methods such as a method of mounting solder balls on the electrodes 2 and supplying solder may be used.
【0024】(実施の形態2)図4は本発明の実施の形
態2のクリーム半田印刷装置の側面図、図5(a),
(b),(c)、図6(a),(b),(c)は本発明
の実施の形態2の半田バンプ形成方法の工程説明図であ
る。(Second Embodiment) FIG. 4 is a side view of a cream solder printing apparatus according to a second embodiment of the present invention, FIG.
6B, 6C, 6A, 6B, and 6C are process explanatory diagrams of the solder bump forming method according to the second embodiment of the present invention.
【0025】まず、図4を参照して本発明の実施の形態
2のクリーム半田印刷装置について説明する。図4にお
いて、載置部10上には半田バンプ5’が形成された基
板1が載置されている。基板1の上方にはマスクプレー
ト13が配設されている。載置部10は昇降手段である
シリンダ9によりマスクプレート13に対して相対的に
昇降可能となっている。マスクプレート13には、パタ
ーン孔14が各電極2の位置に対応して設けられてい
る。First, a cream solder printing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 4, the substrate 1 on which the solder bumps 5 ′ are formed is placed on the placing portion 10. A mask plate 13 is arranged above the substrate 1. The mounting portion 10 can be moved up and down relatively with respect to the mask plate 13 by a cylinder 9 which is a lifting means. The mask plate 13 is provided with pattern holes 14 corresponding to the positions of the electrodes 2.
【0026】パターン孔14の形状寸法は、正規形状の
半田バンプ5’の高さhよりも低い高さ寸法tを有する
略円筒形状であり、かつ半田バンプ5’の体積相当の半
田量を含むクリーム半田5を収容できるような内容積と
なっている。シリンダ9を駆動してマスクプレート13
に対して基板1を上昇させることにより、マスクプレー
ト13は基板1に装着される。The pattern dimension of the pattern hole 14 is a substantially cylindrical shape having a height dimension t lower than the height h of the regular-shaped solder bump 5 ', and includes the amount of solder corresponding to the volume of the solder bump 5'. It has an internal volume that can accommodate the cream solder 5. The cylinder 9 is driven to drive the mask plate 13
By raising the substrate 1 with respect to the mask plate 13, the mask plate 13 is mounted on the substrate 1.
【0027】マスクプレート13の上方には、ローラ1
5が配設されている。マスクプレート13を基板1に装
着した状態でローラ15をマスクプレート13上で転動
させることにより、パターン孔14から突出した半田バ
ンプ5’の上端部をローラ15で押圧して延展する。延
展された半田バンプ5’は、後述のように押しつぶされ
て変形し、パターン孔14の上部を塞ぐ。Above the mask plate 13, the roller 1 is provided.
5 are provided. By rolling the roller 15 on the mask plate 13 with the mask plate 13 mounted on the substrate 1, the roller 15 presses the upper ends of the solder bumps 5 ′ protruding from the pattern holes 14 to extend them. The extended solder bump 5 ′ is crushed and deformed as described later to close the upper portion of the pattern hole 14.
【0028】また、マスクプレート13の上方には、ク
リーム半田5の塗布手段であるディスペンサ11が配設
されている。ディスペンサ11は基板1に装着されたマ
スクプレート13上にクリーム半田5を塗布する。また
マスクプレート13上にはスキージ12が備えられてい
る。マスクプレート13上にクリーム半田5を塗布した
状態でスキージ12を摺動させることにより、欠落電極
2上に位置するパターン孔14内にはクリーム半田5が
充填される。A dispenser 11 which is a means for applying the cream solder 5 is arranged above the mask plate 13. The dispenser 11 applies the cream solder 5 onto the mask plate 13 mounted on the substrate 1. A squeegee 12 is provided on the mask plate 13. By sliding the squeegee 12 with the cream solder 5 applied on the mask plate 13, the cream solder 5 is filled in the pattern holes 14 located on the missing electrodes 2.
【0029】このクリーム半田印刷装置は上記のように
構成され、次に半田バンプ形成用のクリーム半田印刷に
ついて説明する。図5(a)に示すように、載置部10
(図4)上に載置された半田バンプ5’が既に形成さ
れ、欠落電極2を有する基板1を、シリンダ9(図4)
によりマスクプレート13に対して上昇させ、図5
(b)に示すように基板1をマスクプレート13に位置
あわせして装着する。This cream solder printing apparatus is configured as described above, and the cream solder printing for forming solder bumps will be described below. As shown in FIG. 5A, the mounting portion 10
(FIG. 4) The substrate 1 having the solder bumps 5 ′ mounted thereon and the missing electrodes 2 is already formed on the cylinder 9 (FIG. 4).
To the mask plate 13 by
As shown in (b), the substrate 1 is aligned with and mounted on the mask plate 13.
【0030】そしてパターン孔14内の半田バンプ5’
の上部がマスクプレート13上に突出した状態で、図5
(c)に示すように延展手段であるローラ15をマスク
プレート13に押圧しながら転動させる。これにより半
田バンプ5’の上部はローラ15により押しつぶされて
延展され、パターン孔14の上部を塞いだ状態となる。
すなわち、パターン孔14の孔径及び高さ寸法tを適切
に設定することにより、前述のようにパターン孔14の
内容積を正規形状の半田バンプ5’の半田量相当の半田
を含むクリーム半田5の体積とほぼ同等とし、かつ半田
バンプ5’がローラ15で延展された状態でパターン孔
14の上部を塞ぐようにすることができる。Then, the solder bumps 5'in the pattern holes 14 are formed.
5 with the upper part of the mask protruding above the mask plate 13.
As shown in (c), the roller 15 which is a spreading means is pressed against the mask plate 13 to roll. As a result, the upper portion of the solder bump 5 ′ is crushed and expanded by the roller 15 and the upper portion of the pattern hole 14 is blocked.
That is, by appropriately setting the hole diameter and the height dimension t of the pattern hole 14, as described above, the cream solder 5 containing the solder having the inner volume of the pattern hole 14 in an amount corresponding to the solder amount of the solder bump 5 ′ of the regular shape is formed. The volume of the solder bumps 5 ′ may be substantially the same as the volume of the solder bumps 5 ′, and the upper portions of the pattern holes 14 may be closed with the solder bumps 5 ′ extended by the rollers 15.
【0031】次に、図6(a)に示すようにマスクプレ
ート13上にクリーム半田5を塗布し、スキージ12を
摺動させてクリーム半田5を印刷する。これにより、欠
落電極に位置するパターン孔14内にはクリーム半田5
が充填され、この後マスクプレート13と基板1を分離
することにより、図6(b)に示すように欠落電極2上
にクリーム半田5が供給される。このとき、既に半田バ
ンプ5’が形成された電極2上のパターン孔14の上部
は、延展された半田バンプ5’によって塞がれているた
め、欠落電極2上にのみクリーム半田5が供給される。Next, as shown in FIG. 6A, the cream solder 5 is applied on the mask plate 13, and the squeegee 12 is slid to print the cream solder 5. As a result, the cream solder 5 is placed in the pattern hole 14 located at the missing electrode.
Is filled, and then the mask plate 13 and the substrate 1 are separated, so that the cream solder 5 is supplied onto the missing electrode 2 as shown in FIG. 6B. At this time, since the upper part of the pattern hole 14 on the electrode 2 on which the solder bump 5 ′ has already been formed is closed by the extended solder bump 5 ′, the cream solder 5 is supplied only on the missing electrode 2. It
【0032】この後、基板1をリフロー炉にて加熱する
ことにより、半田バンプ5’およびクリーム半田5が溶
融し、溶融半田が冷却固化することにより、図6(c)
に示すように全ての電極2上に正規形状の半田バンプ
5’が形成される。なお、サイズが過小の半田バンプに
対しても本実施の形態2によるバンプ形成方法が適用可
能であること、及び最初の半田バンプの形成方法がクリ
ーム半田5の印刷によって半田を供給する方法に限定さ
れるものではないことについては、実施の形態1と同様
である。After that, by heating the substrate 1 in a reflow furnace, the solder bumps 5'and the cream solder 5 are melted, and the molten solder is cooled and solidified.
As shown in FIG. 3, solder bumps 5 ′ having a regular shape are formed on all the electrodes 2. Note that the bump forming method according to the second embodiment is applicable to solder bumps having an undersized size, and the first solder bump forming method is limited to the method of supplying solder by printing the cream solder 5. What is not done is the same as in the first embodiment.
【0033】上記各実施の形態に示すように、欠落やサ
イズの過小など、異常がある半田バンプの電極のみにク
リーム半田を供給できるようにマスクプレートのパター
ン孔の形状を設定し、このマスクプレートを半田バンプ
の異常があると判定された基板上に装着してクリーム半
田を印刷することにより、半田バンプの異常がある電極
を個別に特定することなく、必要な箇所に必要量のクリ
ーム半田を供給することができる。したがって、半田バ
ンプの異常があると判定された基板の補修を効率よく行
うことが可能となる結果として、従来は不良品として廃
却処分されていた基板や電子部品を良品化して有効に再
利用でき、製品歩留まりを向上させることができる。As shown in each of the above-mentioned embodiments, the shape of the pattern holes of the mask plate is set so that the cream solder can be supplied only to the electrodes of the solder bumps that are abnormal such as missing or undersized. Solder bumps are mounted on a board that has been determined to have an abnormality, and by printing cream solder, the required amount of cream solder can be applied to the required locations without individually identifying the electrodes with abnormal solder bumps. Can be supplied. Therefore, it becomes possible to efficiently repair the board judged to have an abnormality in the solder bump, and as a result, the board and electronic components that were previously discarded as defective products are made good and can be reused effectively. Therefore, the product yield can be improved.
【0034】また、上述のように半田バンプの異常があ
る電極を特定する必要がないことは、換言すれば、半田
バンプの有無やサイズに関する異常の検出を目的とした
外観検査を省略できることを意味している。すなわち最
初に半田バンプを形成した後に、上記各実施の形態の半
田バンプの形成方法を適用することを前提とすれば、検
査・補修に纏わる一連の工程、すなわち半田バンプの異
常がある電極を特定し、この電極を有する基板を分別し
てリペア工程に送り、当該基板の当該電極を補修すると
いう煩雑な管理を必要とする工程を省略することが可能
となる。前述のように、半田バンプの形成工程における
異常の発生率は0.1%のオーダーであり、この工程を
2回繰り返すことにより、最終的な異常の発生率を実際
上絶無に近い水準まで低下させることができるからであ
る。In addition, it is not necessary to specify the electrode having the abnormality of the solder bump as described above, in other words, it is possible to omit the visual inspection for the purpose of detecting the abnormality related to the presence or the size of the solder bump. is doing. That is, assuming that the solder bump forming method of each of the above-described embodiments is applied after the solder bumps are first formed, a series of steps involved in the inspection / repair, that is, the electrode having the solder bump abnormality is identified. However, it is possible to omit the step that requires complicated management of separating the substrate having the electrode and sending it to a repair step to repair the electrode of the substrate. As described above, the abnormality occurrence rate in the solder bump formation process is on the order of 0.1%, and by repeating this process twice, the final abnormality occurrence rate is actually reduced to a level close to zero. It can be done.
【0035】もちろん、半田バンプの異常を検査により
簡単に検出できる場合には、異常有りと判定されたもの
のみについて前述の半田バンプの形成方法を適用すれば
よい。この場合でも、補修箇所を特定することなく、単
にクリーム半田印刷およびリフローによる加熱という単
純な工程を追加するのみであることから、補修作業の効
率を向上させることができる。Of course, when the abnormality of the solder bump can be easily detected by the inspection, the above-described method of forming the solder bump may be applied only to the one determined to have the abnormality. Even in this case, the efficiency of repair work can be improved because a simple process of cream solder printing and heating by reflow is simply added without specifying a repair location.
【0036】[0036]
【発明の効果】本発明によれば、正規形状の半田バンプ
が形成された電極にはクリーム半田が入り込まない形状
のパターン孔を有するマスクプレートを装着し、このマ
スクプレート上でクリーム半田印刷を行うようにしたの
で、半田バンプにサイズ過小や欠落などの異常がある電
極にのみクリーム半田を印刷して供給することができ、
半田バンプの異常を効率よく補修することが可能とな
る。したがって、従来は不良品として廃却処分されてい
た基板や電子部品を良品化して有効に再利用でき、製品
歩留まりを向上させることができる。According to the present invention, a mask plate having a pattern hole having a shape in which cream solder does not enter is attached to an electrode on which a solder bump having a regular shape is formed, and cream solder printing is performed on this mask plate. As a result, cream solder can be printed and supplied only to the electrodes with abnormalities such as undersized or missing solder bumps.
It is possible to efficiently repair the solder bump abnormality. Therefore, it is possible to make a substrate or an electronic component, which has been conventionally disposed of as a defective product, discarded as a defective product, and to effectively reuse the substrate or the electronic component, and to improve the product yield.
【図1】(a)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成
方法の工程説明図
(b)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成方法の工
程説明図
(c)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成方法の工
程説明図
(d)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成方法の工
程説明図FIG. 1A is a process explanatory diagram of a solder bump forming method according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1B is a process explanatory diagram of a solder bump forming method according to a first embodiment of the present invention. Process explanatory drawing of the solder bump forming method of form 1 (d) Process explanatory drawing of the solder bump forming method of Embodiment 1 of this invention
【図2】本発明の実施の形態1のクリーム半田印刷装置
の側面図FIG. 2 is a side view of the cream solder printing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
【図3】(a)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成
方法の工程説明図
(b)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成方法の工
程説明図
(c)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成方法の工
程説明図
(d)本発明の実施の形態1の半田バンプ形成方法の工
程説明図3A is a process explanatory view of the solder bump forming method of the first embodiment of the present invention. FIG. 3B is a process explanatory view of the solder bump forming method of the first embodiment of the present invention. Process explanatory drawing of the solder bump forming method of form 1 (d) Process explanatory drawing of the solder bump forming method of Embodiment 1 of this invention
【図4】本発明の実施の形態2のクリーム半田印刷装置
の側面図FIG. 4 is a side view of the cream solder printing apparatus according to the second embodiment of the present invention.
【図5】(a)本発明の実施の形態2の半田バンプ形成
方法の工程説明図
(b)本発明の実施の形態2の半田バンプ形成方法の工
程説明図
(c)本発明の実施の形態2の半田バンプ形成方法の工
程説明図5A is a process explanatory diagram of a solder bump forming method according to a second embodiment of the present invention. FIG. 5B is a process explanatory diagram of a solder bump forming method according to a second embodiment of the present invention. Process explanatory drawing of solder bump forming method of form 2
【図6】(a)本発明の実施の形態2の半田バンプ形成
方法の工程説明図
(b)本発明の実施の形態2の半田バンプ形成方法の工
程説明図
(c)本発明の実施の形態2の半田バンプ形成方法の工
程説明図6A is a process explanatory diagram of a solder bump forming method according to a second embodiment of the present invention. FIG. 6B is a process explanatory diagram of a solder bump forming method according to a second embodiment of the present invention. Process explanatory drawing of solder bump forming method of form 2
1 基板 2 電極 3、7、13 マスクプレート 4、8、14 パターン孔 5 クリーム半田 5’ 半田バンプ 6、11 スキージ 9 シリンダ 10 載置部 12 ディスペンサ 15 ローラ 1 substrate 2 electrodes 3,7,13 Mask plate 4, 8, 14 pattern holes 5 cream solder 5'solder bump 6, 11 squeegee 9 cylinders 10 Placement section 12 dispensers 15 Laura
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−307562(JP,A) 実用新案登録3042814(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/34 B41F 15/08 B41F 15/40 H01L 21/60 H01L 23/12 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) Reference JP-A-7-307562 (JP, A) Utility model registration 3042814 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H05K 3 / 34 B41F 15/08 B41F 15/40 H01L 21/60 H01L 23/12
Claims (4)
正規形状の半田バンプの体積に相当する半田量を含むク
リーム半田を収容できる内容積を有し、正規形状の半田
バンプに略外接する錐形状のパターン孔を備えたマスク
プレートと、このマスクプレートを前記載置部上の半田
バンプが形成された基板または電子部品に対して相対的
に昇降させる昇降手段と、前記基板または電子部品上に
装着された前記マスクプレート上にクリーム半田を塗布
する塗布手段と、前記マスクプレート上を摺動しながら
移動してクリーム半田を前記パターン孔内に充填させる
スキージとを備えたことを特徴とする半田バンプ形成用
のクリーム半田印刷装置。1. A mounting portion for mounting a substrate or an electronic component,
A mask plate having an inner volume capable of accommodating a cream solder containing an amount of solder corresponding to the volume of a regular-shaped solder bump, and having a conical-shaped pattern hole that substantially circumscribes the regular-shaped solder bump, and the mask plate. Elevating means for moving up and down relative to a substrate or electronic component on which solder bumps are formed on the mounting portion, and application means for applying cream solder onto the mask plate mounted on the substrate or electronic component And a squeegee that slides on the mask plate and fills the pattern holes with cream solder, the cream solder printing apparatus for forming solder bumps.
正規形状の半田バンプの体積に相当する半田量を含むク
リーム半田を収容できる内容積を有し、正規形状の半田
バンプ高さより低い略円筒形状のパターン孔を備えたマ
スクプレートと、このマスクプレートを前記載置部上の
半田バンプが形成された基板または電子部品に対して相
対的に昇降させる昇降手段と、前記基板または電子部品
上に装着された前記マスクプレート上で前記パターン孔
から突出した半田バンプを延展して前記パターン孔の上
部を塞ぐ延展手段と、前記マスクプレート上にクリーム
半田を塗布する塗布手段と、前記マスクプレート上を摺
動しながら移動してクリーム半田を前記パターン孔内に
充填させるスキージとを備えたことを特徴とする半田バ
ンプ形成用のクリーム半田印刷装置。2. A mounting portion for mounting a substrate or an electronic component,
A mask plate having an inner volume capable of accommodating a cream solder containing an amount of solder corresponding to the volume of a regular-shaped solder bump and having a substantially cylindrical pattern hole lower than the height of the regular-shaped solder bump, and the mask plate Elevating means for moving up and down relative to a substrate or electronic component on which solder bumps are formed on the mounting portion, and solder protruding from the pattern hole on the mask plate mounted on the substrate or electronic component Extending means for extending the bump to close the upper portion of the pattern hole, applying means for applying cream solder on the mask plate, and moving while sliding on the mask plate to put the cream solder in the pattern hole. A cream solder printing apparatus for forming solder bumps, comprising a squeegee to be filled.
後、前記基板または電子部品の電極のうち半田バンプの
異常がある電極上に半田バンプを形成する半田バンプ形
成方法であって、前記基板又は電子部品上に、正規形状
の半田バンプの体積に相当する半田量を含むクリーム半
田を収容できる内容積を有し正規形状の半田バンプに略
外接する錐形状のパターン孔を備えたマスクプレートを
装着し、このマスクプレート上でクリーム半田を印刷す
ることにより前記電極上にクリーム半田を供給し、次い
で前記基板又は電子部品を加熱することにより前記電極
上でクリーム半田を溶融固化させて半田バンプを形成す
ることを特徴とする半田バンプ形成方法。3. A method of forming a solder bump, comprising forming a solder bump on a substrate or an electronic component, and then forming the solder bump on an electrode of the electrode of the substrate or the electronic component where the solder bump is abnormal. Alternatively, a mask plate having an inner volume capable of accommodating a cream solder containing an amount of solder corresponding to the volume of a regular-shaped solder bump and having a conical-shaped pattern hole that substantially circumscribes the regular-shaped solder bump is provided on the electronic component. After mounting, the cream solder is printed on the mask plate to supply the cream solder to the electrodes, and then the substrate or the electronic component is heated to melt and solidify the cream solder on the electrodes to form solder bumps. A method for forming solder bumps, which comprises forming the solder bumps.
後、前記基板または電子部品の電極のうち半田バンプの
異常がある電極上に半田バンプを形成する半田バンプ形
成方法であって、前記基板又は電子部品上に、正規形状
の半田バンプの体積に相当する半田量を含むクリーム半
田を収容できる内容積を有し正規形状の半田バンプ高さ
より低い略円筒形状のパターン孔を備えたマスクプレー
トを装着し、このパターン孔より突出した半田バンプを
延展手段により延展して前記パターン孔の上面を塞いだ
後に、前記マスクプレート上でクリーム半田を印刷して
前記半田バンプの異常がある電極上にクリーム半田を供
給し、次いで前記基板又は電子部品を加熱することによ
り前記電極上でクリーム半田を溶融固化させて半田バン
プを形成することを特徴とする半田バンプ形成方法。4. A solder bump forming method, comprising forming solder bumps on a substrate or an electronic component, and then forming the solder bumps on electrodes having abnormal solder bumps among electrodes of the substrate or electronic component. Alternatively, a mask plate having an approximately cylindrical pattern hole having an inner volume capable of accommodating cream solder containing a solder amount corresponding to the volume of a regular-shaped solder bump and having a substantially cylindrical pattern hole having a lower height than the regular-shaped solder bump is provided on the electronic component. After mounting, the solder bumps protruding from the pattern holes are spread by a spreading means to close the upper surface of the pattern holes, and then cream solder is printed on the mask plate to apply the cream to the electrodes having the abnormal solder bumps. Forming solder bumps by melting and solidifying the cream solder on the electrodes by supplying solder and then heating the substrate or electronic component. Solder bump forming method according to claim.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07213398A JP3430910B2 (en) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Cream solder printing apparatus and solder bump forming method for forming solder bumps |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07213398A JP3430910B2 (en) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Cream solder printing apparatus and solder bump forming method for forming solder bumps |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11274706A JPH11274706A (en) | 1999-10-08 |
JP3430910B2 true JP3430910B2 (en) | 2003-07-28 |
Family
ID=13480501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07213398A Expired - Fee Related JP3430910B2 (en) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Cream solder printing apparatus and solder bump forming method for forming solder bumps |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3430910B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI552824B (en) * | 2011-10-18 | 2016-10-11 | 千住金屬工業股份有限公司 | Method and apparatus for forming solder bump |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI285524B (en) * | 2003-03-10 | 2007-08-11 | Hitachi Metals Ltd | Method and apparatus for carrying electric conductive ball |
US7823762B2 (en) * | 2006-09-28 | 2010-11-02 | Ibiden Co., Ltd. | Manufacturing method and manufacturing apparatus of printed wiring board |
CN108713246B (en) * | 2015-12-15 | 2022-04-29 | 千住金属工业株式会社 | Method for correcting solder bump |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3042814U (en) | 1997-04-24 | 1997-11-04 | レイテック株式会社 | Printing plate |
-
1998
- 1998-03-20 JP JP07213398A patent/JP3430910B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3042814U (en) | 1997-04-24 | 1997-11-04 | レイテック株式会社 | Printing plate |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI552824B (en) * | 2011-10-18 | 2016-10-11 | 千住金屬工業股份有限公司 | Method and apparatus for forming solder bump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11274706A (en) | 1999-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3430910B2 (en) | Cream solder printing apparatus and solder bump forming method for forming solder bumps | |
EP1488880A2 (en) | Solder joint structure, soldering method, and electronic-component manufacturing apparatus using the same structure and the method | |
JP3518512B2 (en) | Flux for mounting solder balls | |
JP3829612B2 (en) | Solder bump forming apparatus, solder bump forming method, solder paste printing apparatus, and solder paste printing method | |
JPH0846349A (en) | Soldering | |
JP3529235B2 (en) | Screen printing machine and screen printing method | |
JP3549705B2 (en) | Printing method and printing apparatus | |
JP3346180B2 (en) | Solder bump formation method | |
JP3487177B2 (en) | Method of forming pre-coated solder | |
JP2002057453A (en) | Repairing method of semiconductor device | |
JPH05258986A (en) | Electronic component provided with solder chip, device and method of providing solder chip to component lead | |
JP3204020B2 (en) | Solder ball mounting method | |
JP2002134894A (en) | Solder bump forming apparatus and method therefor | |
JP2004096042A (en) | Supply method of connection material onto circuit board and supply device thereof | |
JP3150068B2 (en) | Manufacturing method of printed wiring board | |
JP3344049B2 (en) | Electronic components | |
JPH08236921A (en) | Method for soldering electronic parts | |
JPH0730014A (en) | Solder bump forming method | |
JP2000077841A (en) | Soldering method | |
JP3341616B2 (en) | Method of forming solder bumps | |
JP4102538B2 (en) | Electronic circuit board repair method | |
JP2003324271A (en) | Soldering method | |
JP4278279B2 (en) | Vacuum underfill method for flip chip assembly | |
JPH118468A (en) | Mounting method of electronic component | |
JP2024112569A (en) | Manufacturing method and manufacturing system for component mounting board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |