JP3425963B2

JP3425963B2 - Controller

Info

Publication number: JP3425963B2
Application number: JP01951492A
Authority: JP
Inventors: 道雄山路; 兼嗣山本
Original assignee: 清原まさ子
Priority date: 1992-01-08
Filing date: 1992-01-08
Publication date: 2003-07-14
Anticipated expiration: 2018-07-14
Also published as: JPH05187572A

Description

【発明の詳細な説明】【０００１】【産業上の利用分野】本発明は、主に半導体製造装置や
原子力発電プラント等に於いて使用される高純度ガスの
流量調整用に利用されるものであり、特に高温の領域で
使用する流体作動型の制御器に関する。【０００２】【従来の技術】一般に、半導体製造装置等に於いて使用
される高純度ガス用の制御器は、所謂パーティクルフリ
ーやデッドスペースフリーと云う特性が厳しく要求され
る。その為、半導体製造の分野では、前記パーティクル
フリーやデッドスペースフリーの要求を構造的に充足し
易いダイヤフラム型の制御器（特にダイレクトダイヤフ
ラム弁）が多く使用されている。従来、この種制御器と
しては、例えば図３に示す構造のものが知られている。
即ち、前記制御器は、流体入口２５、流体出口２６、弁
室２７及び弁座２８を有するボディ２９と、弁室２７の
気密を保持すると共に、その中央部が上下動して弁座２
８へ当離座するダイヤフラム３０と、ダイヤフラム３０
の周縁部をボディ２９との間で気密状に挾持する筒状の
ボンネット３１と、ボンネット３１をボディ２９に固定
するボンネットナット３２と、ボンネット３１に昇降自
在に支持され、下降時にダイヤフラム３０の中央部を下
降させるステム３３と、ボンネット３１に設けられ、ス
テム３３を駆動する流体圧アクチュエータ３４と、ステ
ム３３を常時上方へ附勢するスプリング３５等から構成
されて居り、常時開弁状態になっている。又、流体圧ア
クチュエータ３４は、ステム３３の上部を囲繞すべくボ
ンネット３１に取り付けられ、作動用流体の出入口３６
を有するアクチュエータシリンダ３７と、ステム３３の
上端部に設けられ、アクチュエータシリンダ３７内を昇
降動するピストン３８と、ピストン３８に設けられ、ア
クチュエータシリンダ３７の内周面を摺動するシール材
３９等から成る。而して、アクチュエータシリンダ３７
内に作動用流体（圧力流体）を供給すると、スプリング
３５の弾性力に抗してピストン３８及びステム３３が下
降すると共に、ダイヤフラム３０の中央部が下方へ押さ
れて弁座２８に当座し、又、アクチュエータシリンダ３
７内の流体圧を開放すると、スプリング３５の弾性力に
よりピストン３８及びステム３３が上昇すると共に、ダ
イヤフラム３０がその弾性力及びボディ２９内の流体圧
により上昇して弁座２８から離座するようになってい
る。前記制御器は、弁室からの流体の漏洩を皆無にでき
る等、優れた実用的効用を有するものである。【０００３】【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体製造
装置等に於いては、前記制御器を高温の領域例えば半導
体製造装置に利用される各種炉の内部や炉の近傍で使用
する場合がある。ところが、従来の制御器に於いては、
流体圧アクチュエータ３４のシール材３９に通常Ｏリン
グが使用されて居り、このＯリングは使用温度限界が約
１８０℃である。その為、制御器を高温領域で使用する
と、シール材３９即ちＯリングが熱の影響を受けて寿命
が短くなったり、或いは流体圧アクチュエータ３４のシ
ール性が低下して流体圧アクチュエータ３４が良好且つ
正確に作動しないと云う問題がある。又、Ｏリングの使
用温度限界以上の高温領域では、前記制御器を使用でき
ないと云う問題もあった。【０００４】本発明は、上記の問題点を解消する為に創
案されたものであり、その目的は高温の領域でも良好に
使用できると共に、シール性にも優れた流体作動型の制
御器を提供するにある。【０００５】【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の制御器は流体入口、流体出口、弁室及び弁
座を備えた金属製ボディと、前記弁室の底面に形成した
弁座の上方に対向状に配設され、弁体を構成する逆皿形
の金属製ダイヤフラムと、弁室内へ上方より挿着されて
前記金属製ボディに固定されると共に、その下端面によ
り前記ダイヤフラムの外周縁部をボディとの間で気密状
に挾圧する筒状のボンネットと、ボンネットを挿通して
昇降動自在に支持され、その下端が金属製ダイヤフラム
の上面を下方へ押圧するステムと、ボンネットの上端に
着脱自在に固定したアクチエータボディと、下端にフラ
ンジ部を及び上面に作動用流体の出入口を有するコネク
タを夫々備え、前記アクチエータボディの上面へフラン
ジ部を対接させて気密状に且つ着脱自在に固定した筒形
のアクチエータシリンダと、アクチエータシリンダの内
方へ延設したステムの上端に固定したピストンと、ピス
トンとフランジ部との間に介設され、その上端部をピス
トンの外周縁部へ及び下端部をフランジへ夫々気密状に
固着した耐熱金属製のベローズと、ベローズの内方に位
置してアクチエータボディとピストンとの間に介設さ
れ、ピストンを上方へ押圧するスプリングと、から構成
したことを発明の基本構成とするものである。【０００６】【作用】制御器が例えば常開型のダイヤフラム弁の場
合、アクチュエータシリンダ内に作動用流体を供給する
と、スプリングの弾性力に抗してピストン及びステムが
下降すると共に、ダイヤフラムの中央部が下方へ押し下
げられて直接若しくは間接的に弁座に当座し、閉弁状態
になる。又、アクチュエータシリンダ内の流体圧を開放
すると、スプリングの弾性力によりピストン及びステム
が上昇すると共に、ダイヤフラムがその弾性力及び流体
圧により上方へ変位して弁座から離座し、開弁状態にな
る。この制御器は、流体圧アクチュエータのシール材に
耐熱性に優れた金属製のベローズを使用している為、可
なりの高温領域でも使用することができるうえ、シール
材が熱の悪影響を受け難くなる。その結果、シール材の
寿命が低下したり、或いはシール性が低下したりすると
云うこともない。延いては、高温の領域で使用しても良
好且つ正確に作動することになる。【０００７】【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の第１実施例に係る流体作動
型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ダイヤ
フラム２を直接弁座に当離座させて開閉を行うようにし
たダイヤフラム弁であり、ボディ１、ダイヤフラム２、
ボンネット３、ボンネットナット４、ステム５、ダイヤ
フラム押え６、流体圧アクチュエータ７及びスプリング
８等から構成されて居り、常開型となっている。【０００８】前記ボディ１は、耐熱性に優れたステンレ
ス鋼等の金属材により形成されて居り、両側には流体入
口９及び流体出口１０が、上部には流体入口９及び流体
出口１０に連通する上方が開放された凹状の弁室１１が
夫々形成されている。又、弁室１１の底面には弁座１２
が形成されていると共に、弁室１１の内周面下側には段
部が形成されている。尚、１３は流体入口９及び流体出
口１０に溶着されたスリーブ、１４はスリーブ１３に外
嵌されたユニオンナットである。【０００９】前記ダイヤフラム２は、弁座１２の上方に
配設されて居り、弁室１１の気密を保持すると共に、そ
の中央部が上下動して弁座１２に当離座するようになっ
ている。本実施例では、ダイヤフラム２は、耐熱性に優
れた特殊ステンレス鋼等の金属製薄板により中央部を上
方へ膨出せしめた皿状に形成されて居り、その周縁部が
弁室１１内周面の段部に載置され、弁室１１内へ挿入し
たボンネット３の下端部とボディ１に螺着したボンネッ
トナット４とにより、段部側へ押圧され、気密状態で挾
持固定されている。【００１０】前記ボンネット３は、耐熱性に優れたステ
ンレス鋼等の金属材により筒形状に形成されて居り、ボ
ディ１の弁室１１内に挿入され、ボンネットナット４を
締め込むことにより、ボディ１側へ押圧固定されてい
る。【００１１】前記ステム５は、耐熱性に優れたステンレ
ス鋼等の金属材により形成されて居り、上部がボンネッ
ト３から突出すべくボンネット３内に昇降自在に挿通さ
れている。又、ステム５の下端部にはダイヤフラム２の
中央部に当接するダイヤフラム押え６が設けられて居
り、このダイヤフラム押え６も耐熱性に優れたステンレ
ス鋼等の金属材により形成されている。【００１２】前記流体圧アクチュエータ７は、ボンネッ
ト３の上部に設けられ、空気等の作動用流体によりステ
ム５を下降させるものであり、アクチュエータシリンダ
１５、ピストン１６及びベローズ１７等から成る。具体
的には、アクチュエータシリンダ１５は、耐熱性に優れ
たステンレス鋼等の金属材により形成されて居り、ボン
ネット３の上部に螺着された円板状のアクチュエータボ
ディ１８と、アクチュエータボディ１８にボルト１９に
より固定された環状のフランジ２０と、フランジ２０に
溶着され、ステム５を囲繞するアクチュエータキャップ
２１と、アクチュエータキャップ２１に螺着され、作動
用流体の出入口２２を有するコネクター２３等から成
る。又、ピストン１６は、耐熱性に優れたステンレス鋼
等の金属材により円板状に形成されて居り、ステム５の
上端部にナット２４により固定され、ステム５と共にア
クチュエータシリンダ１５内を昇降するように為されて
いる。更に、ベローズ１７は、耐熱性に優れたステンレ
ス材により作製されて居り、アクチュエータシリンダ１
５とピストン１６との間に介設され、両者間をシールす
るものである。即ち、ベローズ１７は、その上端がピス
トン１６に、又、その下端がフランジ２０に夫々固着さ
れている。【００１３】前記スプリング８は、耐熱性に優れたステ
ンレス鋼等の金属材により形成されて居り、流体圧アク
チュエータ７のアクチュエータボディ１８とピストン１
６との間に介設され、ステム５を常時上方へ附勢してい
る。【００１４】次に、前記制御器の作動について説明す
る。制御器を閉弁状態にする場合には、コネクター２３
の出入口２２から作動用流体（圧力流体）をアクチュエ
ータシリンダ１５内に供給する。そうすると、ピストン
１６及びステム５がスプリング８の弾性力に抗して下降
すると共に、ダイヤフラム押え６を介してダイヤフラム
２の中央部が下方へ押し下げられる。これによって、ダ
イヤフラム２が弾性変形し、弁座１２に当座して閉弁状
態になる。そして、制御器を開弁状態にする場合には、
アクチュエータシリンダ１５内の圧力を開放する。そう
すると、ピストン１６及びステム５がスプリング８の弾
性力により上昇すると共に、ダイヤフラム２がその弾性
力や流体圧により元の形状に復元し、弁座１２から離座
して開弁状態になる。この制御器は、各部材を耐熱性に
優れた金属材により形成している為、可なりの高温（本
実施例では約３５０℃）の領域でも使用することができ
る。又、流体圧アクチュエータ７のシール材に耐熱性に
優れた金属製のベローズ１７を使用している為、シール
材が熱の悪影響を受け難くなる。その結果、シール材の
寿命が低下したり、或いはシール性が低下したりすると
云うこともない。延いては、高温の領域で使用しても良
好且つ正確に作動することになる。【００１５】図２は本発明の第２実施例に係る流体作動
型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ステム
５の下端部に設けたディスク４０を弁座１２に当離座さ
せて開閉を行うと共に、ベローズ４１により流体の漏洩
を防止するようにしたベローズ弁であり、ボディ１、ボ
ンネット３、ステム５、ディスク４０、カバー４２、ス
テンレス製のベローズ４１、流体圧アクチュエータ７及
びスプリング８等から構成されて居り、前記流体圧アク
チュエータ７は上記第１実施例のものと同様構造に構成
されている。この制御器も上記第１実施例のものと同様
の作用効果を奏し得る。【００１６】上記第１実施例に於いては、ダイヤフラム
２を直接弁座１２に当離座させるようにしたが、ダイヤ
フラム２の下方にディスクを昇降自在に配設し、ディス
クに設けたディスクパッキンを弁座１２に当離座させる
ようにしても良い。【００１７】上記第１実施例に於いては、制御器を常開
型としたが、常閉型としても良い。【００１８】上記各実施例に於いては、アクチュエータ
ボディ１８とピストン１６との間にスプリング８を介設
してステム５を常時上方へ附勢するようにしたが、スプ
リング８を他の場所に介設してステム５を常時上方へ附
勢するようにしても良い。【００１９】上記各実施例に於いては、流体圧アクチュ
エータ７をダイヤフラム弁とベローズ弁に夫々取り付け
るようにしたが、流体圧アクチュエータ７を取り付ける
弁（制御器）の構造は上記各実施例のものに限定される
ものではなく、ステム５の昇降動によりボディ１の流体
通路が開閉される制御器であれば、如何なる構造の制御
器に流体圧アクチュエータ７を取り付けるようにしても
良い。例えば、グローブバルブ、ゲートバルブ或いはニ
ードルバルブに流体圧アクチュエータ７を取り付けるよ
うにしても良い。【００２０】【発明の効果】上述の通り、本発明の流体作動型の制御
器は、流体圧アクチュエータのアクチュエータシリンダ
とピストンとの間に、耐熱性に優れた金属製のベローズ
を介設し、当該ベローズによってアクチュエータシリン
ダとピストンとの間をシールする構成とした為、流体圧
アクチュエータのシール材にＯリングを使用した従来の
流体作動型の制御器に比較して可なりの高温領域でも使
用することができるうえ、シール材（ベローズ）も熱の
悪影響を受け難い。その結果、熱によりシール材の寿命
が低下したり、或いはシール性が低下したりすると云う
こともない。延いては、制御器を高温の領域で使用して
も良好且つ正確に作動することになる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is mainly used for adjusting a flow rate of a high-purity gas used in a semiconductor manufacturing apparatus or a nuclear power plant. And more particularly to a fluid-operated controller for use in high temperature areas. 2. Description of the Related Art Generally, a controller for a high-purity gas used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like is strictly required to have so-called particle-free and dead-space-free characteristics. For this reason, in the field of semiconductor manufacturing, a diaphragm-type controller (particularly, a direct diaphragm valve), which is structurally easy to satisfy the particle-free and dead-space-free requirements, is often used. Conventionally, as this type of controller, for example, a controller having a structure shown in FIG. 3 is known.
That is, the controller maintains the airtightness of the body 29 having the fluid inlet 25, the fluid outlet 26, the valve chamber 27 and the valve seat 28 and the valve chamber 27, and moves the valve seat 2 up and down at the center thereof.
8 and a diaphragm 30
A cylindrical bonnet 31 for hermetically sandwiching the periphery of the bonnet 31 with the body 29; a bonnet nut 32 for fixing the bonnet 31 to the body 29; It is composed of a stem 33 for lowering the portion, a fluid pressure actuator 34 provided on the bonnet 31 for driving the stem 33, a spring 35 for constantly urging the stem 33 upward, etc., and is in a normally open state. I have. A fluid pressure actuator 34 is attached to the bonnet 31 so as to surround the upper portion of the stem 33, and a working fluid inlet / outlet 36 is provided.
, A piston 38 provided at the upper end of the stem 33 and moving up and down in the actuator cylinder 37, and a seal member 39 provided on the piston 38 and sliding on the inner peripheral surface of the actuator cylinder 37. Become. Thus, the actuator cylinder 37
When the working fluid (pressure fluid) is supplied to the inside, the piston 38 and the stem 33 are lowered against the elastic force of the spring 35, and the central portion of the diaphragm 30 is pushed downward to abut on the valve seat 28, Actuator cylinder 3
When the fluid pressure in the valve 7 is released, the piston 38 and the stem 33 are raised by the elastic force of the spring 35, and the diaphragm 30 is raised by the elastic force and the fluid pressure in the body 29 to be separated from the valve seat 28. It has become. The controller has excellent practical utility, such as eliminating leakage of fluid from the valve chamber. In a semiconductor manufacturing apparatus or the like, when the controller is used in a high-temperature area, for example, in or near various furnaces used in a semiconductor manufacturing apparatus. There is. However, in the conventional controller,
An O-ring is usually used for the seal member 39 of the fluid pressure actuator 34, and the operating temperature limit of this O-ring is about 180 ° C. Therefore, when the controller is used in a high temperature region, the seal member 39, that is, the O-ring is affected by the heat, and the life is shortened, or the sealing performance of the fluid pressure actuator 34 is reduced, so that the fluid pressure actuator 34 is improved. There is a problem that it does not work correctly. There is also a problem that the controller cannot be used in a high-temperature region exceeding the operating temperature limit of the O-ring. The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a fluid-operated controller which can be used favorably even in a high-temperature region and has excellent sealing properties. To be. In order to achieve the above object, a controller according to the present invention comprises a fluid inlet, a fluid outlet, a valve chamber and a valve.
Metal body with seat and formed on the bottom of the valve chamber
Inverted dish shape, which is arranged above the valve seat and faces the valve, and constitutes the valve body
Metal diaphragm and inserted into the valve chamber from above
It is fixed to the metal body and has a lower end face.
The outer peripheral edge of the diaphragm is hermetically sealed with the body.
And insert the hood into a cylindrical hood
It is supported so that it can move up and down freely, and its lower end is a metal diaphragm.
And the upper end of the bonnet
Removably fixed actuator body and
Connector having an inlet and outlet for working fluid on the top surface
Fins on the upper surface of the actuator body.
Cylindrical shape with airtight and detachably fixed with the parts facing each other
Actuator cylinder and the actuator cylinder
A piston fixed to the upper end of the stem
Between the tongue and the flange, and
Ton's outer rim and lower end to flange, respectively
The bellows made of heat-resistant metal and
Between the actuator body and the piston.
And a spring that presses the piston upwards is a basic configuration of the present invention. When the controller is, for example, a normally-open diaphragm valve, when a working fluid is supplied into the actuator cylinder, the piston and the stem descend against the elastic force of the spring, and the central portion of the diaphragm is moved. Is pressed down and directly or indirectly rests on the valve seat, and the valve is closed. Also, when the fluid pressure in the actuator cylinder is released, the piston and the stem rise by the elastic force of the spring, and the diaphragm is displaced upward by the elastic force and the fluid pressure to separate from the valve seat and open the valve. Become. Since this controller uses a metal bellows with excellent heat resistance for the seal material of the fluid pressure actuator, it can be used even in a very high temperature range, and the seal material is not easily affected by heat. Become. As a result, it does not mean that the life of the sealing material is reduced or that the sealing performance is reduced. As a result, it will operate satisfactorily and accurately even when used in a high temperature region. An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a fluid-operated controller according to a first embodiment of the present invention. The controller is configured so that a diaphragm 2 is directly opened and closed by a valve seat to open and close. A valve, a body 1, a diaphragm 2,
It is composed of a bonnet 3, a bonnet nut 4, a stem 5, a diaphragm holder 6, a fluid pressure actuator 7, a spring 8, and the like, and is a normally open type. The body 1 is formed of a metal material such as stainless steel having excellent heat resistance, and has a fluid inlet 9 and a fluid outlet 10 on both sides and a fluid inlet 9 and a fluid outlet 10 on an upper portion. A concave valve chamber 11 whose upper part is open is formed. A valve seat 12 is provided on the bottom surface of the valve chamber 11.
Are formed, and a step is formed below the inner peripheral surface of the valve chamber 11. Reference numeral 13 denotes a sleeve welded to the fluid inlet 9 and the fluid outlet 10, and reference numeral 14 denotes a union nut fitted on the sleeve 13. The diaphragm 2 is disposed above the valve seat 12 so as to maintain the airtightness of the valve chamber 11 and to move the center thereof up and down so as to come into contact with and separate from the valve seat 12. I have. In the present embodiment, the diaphragm 2 is formed in a dish shape having a central portion bulged upward by a thin metal plate made of a special heat-resistant stainless steel or the like, and its peripheral portion is formed on the inner peripheral surface of the valve chamber 11. The bonnet 3 is mounted on the stepped portion, and is pressed toward the stepped portion by the lower end of the bonnet 3 inserted into the valve chamber 11 and the bonnet nut 4 screwed to the body 1, and is clamped and fixed in an airtight state. The bonnet 3 is formed in a cylindrical shape from a metal material such as stainless steel having excellent heat resistance, is inserted into the valve chamber 11 of the body 1, and is tightened by tightening the bonnet nut 4. It is pressed and fixed to the side. The stem 5 is made of a metal material such as stainless steel having excellent heat resistance, and is inserted into the bonnet 3 so that its upper part can protrude from the bonnet 3 so as to be able to move up and down. At the lower end of the stem 5, there is provided a diaphragm retainer 6 which is in contact with the center of the diaphragm 2, and this diaphragm retainer 6 is also made of a metal material such as stainless steel having excellent heat resistance. The fluid pressure actuator 7 is provided above the bonnet 3 and lowers the stem 5 by a working fluid such as air. The fluid pressure actuator 7 includes an actuator cylinder 15, a piston 16, a bellows 17, and the like. Specifically, the actuator cylinder 15 is formed of a metal material such as stainless steel having excellent heat resistance, and has a disk-shaped actuator body 18 screwed on the upper part of the bonnet 3 and a bolt attached to the actuator body 18. An annular flange 20 fixed by 19, an actuator cap 21 welded to the flange 20 and surrounding the stem 5, a connector 23 screwed to the actuator cap 21 and having a working fluid inlet / outlet 22 and the like. The piston 16 is formed in a disk shape from a metal material such as stainless steel having excellent heat resistance, is fixed to an upper end of the stem 5 by a nut 24, and moves up and down in the actuator cylinder 15 together with the stem 5. It has been done. Further, the bellows 17 is made of stainless steel having excellent heat resistance, and the
It is interposed between the piston 5 and the piston 16 to seal between them. That is, the bellows 17 has its upper end fixed to the piston 16 and its lower end fixed to the flange 20. The spring 8 is formed of a metal material such as stainless steel which has excellent heat resistance, and the actuator body 18 of the fluid pressure actuator 7 and the piston 1
6, and constantly urges the stem 5 upward. Next, the operation of the controller will be described. When closing the controller, the connector 23
The working fluid (pressure fluid) is supplied into the actuator cylinder 15 from the inlet / outlet 22 of the actuator. Then, the piston 16 and the stem 5 are lowered against the elastic force of the spring 8, and the center of the diaphragm 2 is pushed down through the diaphragm presser 6. As a result, the diaphragm 2 is elastically deformed and comes into contact with the valve seat 12 to close the valve. When the controller is to be opened,
The pressure in the actuator cylinder 15 is released. Then, the piston 16 and the stem 5 are raised by the elastic force of the spring 8, and the diaphragm 2 is restored to the original shape by the elastic force and the fluid pressure, is separated from the valve seat 12, and is opened. Since this controller is made of a metal material having excellent heat resistance, the controller can be used even at a considerably high temperature (about 350 ° C. in this embodiment). Further, since the metal bellows 17 having excellent heat resistance is used for the sealing material of the fluid pressure actuator 7, the sealing material is less likely to be adversely affected by heat. As a result, it does not mean that the life of the sealing material is reduced or that the sealing performance is reduced. As a result, it will operate satisfactorily and accurately even when used in a high temperature region. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a fluid-operated controller according to a second embodiment of the present invention. The controller applies a disk 40 provided at the lower end of the stem 5 to the valve seat 12. It is a bellows valve which is opened and closed while being separated from the body, and which prevents leakage of fluid by a bellows 41. The body 1, the bonnet 3, the stem 5, the disk 40, the cover 42, the stainless steel bellows 41, the fluid pressure actuator 7 and a spring 8, etc., and the fluid pressure actuator 7 has the same structure as that of the first embodiment. This controller can also provide the same operation and effect as those of the first embodiment. In the first embodiment, the diaphragm 2 is directly contacted with and separated from the valve seat 12, but the disk is disposed below the diaphragm 2 so as to be able to move up and down, and the disk packing provided on the disk is provided. May be brought into and out of contact with the valve seat 12. In the first embodiment, the controller is of the normally open type, but may be of the normally closed type. In each of the above embodiments, the spring 8 is interposed between the actuator body 18 and the piston 16 to urge the stem 5 upward at all times. The stem 5 may be always urged upward by interposing. In each of the above embodiments, the fluid pressure actuator 7 is attached to each of the diaphragm valve and the bellows valve. However, the structure of the valve (controller) to which the fluid pressure actuator 7 is attached is the same as that of each of the above embodiments. However, the fluid pressure actuator 7 may be attached to a controller having any structure as long as the fluid passage of the body 1 is opened and closed by the vertical movement of the stem 5. For example, the fluid pressure actuator 7 may be attached to a globe valve, a gate valve, or a needle valve. As described above, the fluid-operated controller of the present invention has a metal bellows having excellent heat resistance interposed between an actuator cylinder and a piston of a fluid pressure actuator. The bellows seals the space between the actuator cylinder and the piston. Therefore, the bellows can be used even in a considerably high temperature region as compared with a conventional fluid-operated controller using an O-ring as a seal member of the fluid pressure actuator. In addition, the sealing material (bellows) is not easily affected by heat. As a result, the heat does not shorten the life of the sealing material or decrease the sealing performance. In turn, the controller will work well and accurately when used in hot areas.

【図面の簡単な説明】【図１】本発明の第１実施例に係る流体作動型の制御器
の縦断面図である。【図２】本発明の第２実施例に係る流体作動型の制御器
の縦断面図である。【図３】従来の流体作動型の制御器の縦断面図である。【符号の説明】１はボディ、３はボンネット、５はステム、７は流体圧
アクチュエータ、９は流体入口、１０は流体出口、１１
は弁室、１２は弁座、１５はアクチュエータシリンダ、
１６はピストン、１７はベローズ。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a vertical sectional view of a fluid-operated controller according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a fluid-operated controller according to a second embodiment of the present invention. FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a conventional fluid-operated controller. [Description of Signs] 1 is a body, 3 is a bonnet, 5 is a stem, 7 is a fluid pressure actuator, 9 is a fluid inlet, 10 is a fluid outlet, 11
Is a valve chamber, 12 is a valve seat, 15 is an actuator cylinder,
16 is a piston, 17 is a bellows.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平３−260072（ＪＰ，Ａ) 特開平３−107684（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−283280（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−31787（ＪＰ，Ａ) 特開昭64−26071（ＪＰ，Ａ) 実開平２−60776（ＪＰ，Ｕ) 実開昭62−190873（ＪＰ，Ｕ) 特公昭62−13588（ＪＰ，Ｂ２) 特公平１−60712（ＪＰ，Ｂ２) 実公昭61−46296（ＪＰ，Ｙ２) 実公平３−9740（ＪＰ，Ｙ２) 実公昭46−1035（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16K 31/12 - 31/165 F16K 7/00 - 7/20 ──────────────────────────────────────────────────続き Continuation of front page (56) References JP-A-3-260072 (JP, A) JP-A-3-107684 (JP, A) JP-A-62-283280 (JP, A) JP-A-62-283280 31787 (JP, A) JP-A-64-26071 (JP, A) JP-A-2-60776 (JP, U) JP-A-62-190873 (JP, U) JP-B-62-13588 (JP, B2) Tokiko Hei 1-60712 (JP, B2) Jiko 61-46296 (JP, Y2) Jiko 3-9740 (JP, Y2) Jiko 46-1035 (JP, Y1) (58) Fields surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) F16K 31/12-31/165 F16K ⁷ /00-7/20

Claims

(57) [Claims 1] A fluid inlet, a fluid outlet, a valve chamber and a valve seat are provided.
Of the metal body and the valve seat formed on the bottom of the valve chamber.
Inverted dish-shaped metal that is arranged facing upward and forms a valve body
And a metal diaphragm inserted into the valve chamber from above.
Metal body, and the lower end
The outer peripheral edge of the diaphragm is tightly pressed between the body and the body
To move up and down by inserting a tubular bonnet
Freely supported, the lower end of which is the upper surface of the metal diaphragm
And the stem that presses down
Actuator body and flange at lower end
And a connector having a working fluid inlet / outlet on the upper surface.
And a flange on the upper surface of the actuator body.
A cylindrical actuator fixed in an airtight and detachable manner
Extend to the inside of the actuator cylinder and the actuator cylinder
The piston fixed to the upper end of the installed stem and the piston
It is interposed between the flange and the upper end of the piston.
Attach to the outer edge and the lower end to the flange in an airtight manner.
Heat resistant metal bellows and located inside the bellows
The piston is interposed between the actuator body and the piston.
And a spring for pressing the ton upward .